JPH1171168A - アルミナ基セラミックス焼結体及びその製造方法 - Google Patents
アルミナ基セラミックス焼結体及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】アルミナ基セラミックスは、融点が高いために
熱的に安定であり耐摩耗性、化学的安定性に優れるとい
った優れた材料である反面、靱性が低いという問題があ
り、その改善が望まれている。 【解決手段】本発明は、Al2O3、VA族金属酸化物及
びSiO2を含有する混合物からなる成形体を焼成する
ことにより、焼成中にアルミナ粒子を異方成長させ、高
強度と高靱性とを同時に達成することを可能にしたアル
ミナ基セラミックス焼結体及びその製造方法を提供す
る。
熱的に安定であり耐摩耗性、化学的安定性に優れるとい
った優れた材料である反面、靱性が低いという問題があ
り、その改善が望まれている。 【解決手段】本発明は、Al2O3、VA族金属酸化物及
びSiO2を含有する混合物からなる成形体を焼成する
ことにより、焼成中にアルミナ粒子を異方成長させ、高
強度と高靱性とを同時に達成することを可能にしたアル
ミナ基セラミックス焼結体及びその製造方法を提供す
る。
Description
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は焼結体中のアルミナ
粒子を異方成長させ、高強度と高靱性とを同時に達成す
ることを可能にするアルミナ基セラミックス焼結体及び
その製造方法に関する。特に高強度、高靱性が要求され
る構造用材料、耐摩耗性材料、切削工具材料等の適用に
好適な、また高温環境下での使用に好適なアルミナ基セ
ラミックス焼結体及びその製造方法に関する。
粒子を異方成長させ、高強度と高靱性とを同時に達成す
ることを可能にするアルミナ基セラミックス焼結体及び
その製造方法に関する。特に高強度、高靱性が要求され
る構造用材料、耐摩耗性材料、切削工具材料等の適用に
好適な、また高温環境下での使用に好適なアルミナ基セ
ラミックス焼結体及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】アルミナは融点が高いために熱的に安定
であり、耐摩耗性、化学的安定性に優れた材料である。
しかしアルミナ焼結体の靱性は一般に約3MPa・m
0.5と低いために、構造材料としては靱性値の高い窒化
ケイ素や炭化ケイ素等の非酸化物セラミックスが現在主
流となっている。しかしアルミナは酸化物であることか
ら非酸化物セラミックスと比較し、本質的に耐酸化性や
耐食性に優れている材料であると考えられる。さらにア
ルミナは大気中での焼成が可能であり、焼成雰囲気の制
御が必要な非酸化物セラミックスと比較し、製造コスト
が低く抑えられるという利点も有している。したがって
アルミナ焼結体の高靱性化が達成されれば、アルミナ焼
結体の応用範囲はさらに広がっていくものと推測されて
いる。
であり、耐摩耗性、化学的安定性に優れた材料である。
しかしアルミナ焼結体の靱性は一般に約3MPa・m
0.5と低いために、構造材料としては靱性値の高い窒化
ケイ素や炭化ケイ素等の非酸化物セラミックスが現在主
流となっている。しかしアルミナは酸化物であることか
ら非酸化物セラミックスと比較し、本質的に耐酸化性や
耐食性に優れている材料であると考えられる。さらにア
ルミナは大気中での焼成が可能であり、焼成雰囲気の制
御が必要な非酸化物セラミックスと比較し、製造コスト
が低く抑えられるという利点も有している。したがって
アルミナ焼結体の高靱性化が達成されれば、アルミナ焼
結体の応用範囲はさらに広がっていくものと推測されて
いる。
【0003】異方性酸化物粒子をアルミナ焼結体中に含
むことによって亀裂進展の抵抗を高め、アルミナにおい
て欠点といわれている破壊靱性を向上させる方法が以下
のように開示されている;
むことによって亀裂進展の抵抗を高め、アルミナにおい
て欠点といわれている破壊靱性を向上させる方法が以下
のように開示されている;
【0004】(1) アルミナマトリックス中に板状ア
ルミナ粒子を分散させる方法(特開昭61-256963号公
報);
ルミナ粒子を分散させる方法(特開昭61-256963号公
報);
【0005】(2) アルミナにLiF、NaF、KF
等のフッ化物を混合し、焼結時に液相を生じさせてアル
ミナ粒子を板状に成長させる方法(特開平6-87649号公
報);
等のフッ化物を混合し、焼結時に液相を生じさせてアル
ミナ粒子を板状に成長させる方法(特開平6-87649号公
報);
【0006】(3) アルミナに数百ppm程度の微量
のSiO2を添加することによって、アルミナ粒子を板
状に成長させる方法(PROGRESS IN CERAMIC BASIC
SCIENCE:CHALLENGE TOWARD THE 21ST CENTURY,161-
169(1996));
のSiO2を添加することによって、アルミナ粒子を板
状に成長させる方法(PROGRESS IN CERAMIC BASIC
SCIENCE:CHALLENGE TOWARD THE 21ST CENTURY,161-
169(1996));
【0007】(4) アルミナ焼結体を焼結後に熱処理
をすることによって板状アルミナ粒子を成長させる方法
(特開平7-257963号公報);
をすることによって板状アルミナ粒子を成長させる方法
(特開平7-257963号公報);
【0008】(5) アルミナマトリックス中に板状ラ
ンタンβ−アルミネ−トを析出させる方法(特開昭63-13
4551号公報);
ンタンβ−アルミネ−トを析出させる方法(特開昭63-13
4551号公報);
【0009】(6) (5)にさらに、SiO2を添加
する方法(特開平7-277814号公報);
する方法(特開平7-277814号公報);
【0010】(7) アルミナに40%程度の五酸化ニ
オブを混合し焼結することにより、針状晶AlNbO4
を析出させる方法(J.Am.Ceram.Soc.,79,(9),2266-2270
(1996));及び
オブを混合し焼結することにより、針状晶AlNbO4
を析出させる方法(J.Am.Ceram.Soc.,79,(9),2266-2270
(1996));及び
【0011】(8) アルミナ粉末に、アルミナとの共
晶点が1600℃以下の金属酸化物を添加混合し、成形
後、焼成するに際し、マイクロ波加熱等の手段を用いて
室温から焼成温度までを8℃/min以上の昇温速度で
昇温する等して、長径が3μm以下、アスペクト比が
1.5以下の等方性アルミナ結晶粒と、長径10μm以
上、アスペクト比が3以上の異方性アルミナの結晶粒を
それぞれ所定比率で含有せしめる方法(特開平9-87008
号公報)。
晶点が1600℃以下の金属酸化物を添加混合し、成形
後、焼成するに際し、マイクロ波加熱等の手段を用いて
室温から焼成温度までを8℃/min以上の昇温速度で
昇温する等して、長径が3μm以下、アスペクト比が
1.5以下の等方性アルミナ結晶粒と、長径10μm以
上、アスペクト比が3以上の異方性アルミナの結晶粒を
それぞれ所定比率で含有せしめる方法(特開平9-87008
号公報)。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の方
法では、以下のような課題がある。
法では、以下のような課題がある。
【0013】(1)の方法では、板状粒子が強度向上の
ために添加されているが、板状粒子を予め混合する当該
方法では板状粒子は焼結を阻害するように働くために、
靱性向上の目的で大きい板状粒子を添加した場合や添加
量を増やした場合には緻密な焼結体が得られない。
ために添加されているが、板状粒子を予め混合する当該
方法では板状粒子は焼結を阻害するように働くために、
靱性向上の目的で大きい板状粒子を添加した場合や添加
量を増やした場合には緻密な焼結体が得られない。
【0014】(2)の方法では、ジルコニアや炭化物、
ウィスカー等の分散相を混合せず、アルミナ粒子をフッ
化物の効果のみで板状に成長させた場合((実施例2)
の試料番号8〜12)、破壊靱性値は4.8MPa・m
O ・ 5以下であり、高靱性な材料であるとは言い難い。
ウィスカー等の分散相を混合せず、アルミナ粒子をフッ
化物の効果のみで板状に成長させた場合((実施例2)
の試料番号8〜12)、破壊靱性値は4.8MPa・m
O ・ 5以下であり、高靱性な材料であるとは言い難い。
【0015】(3)の方法では、300ppmのSiO
2添加で靱性値は最大の3.5MPa・m0.5であり、靱
性向上効果は非常に低い。又SiO2添加のみでは巨大
な板状アルミナ粒子と微細な板状アルミナ粒子が混在す
る不均質な焼結体となり、強度、破壊靱性の低下を招い
てしまう。
2添加で靱性値は最大の3.5MPa・m0.5であり、靱
性向上効果は非常に低い。又SiO2添加のみでは巨大
な板状アルミナ粒子と微細な板状アルミナ粒子が混在す
る不均質な焼結体となり、強度、破壊靱性の低下を招い
てしまう。
【0016】(4)の方法では、板状粒子のサイズが大
きく、強度値が380〜530MPaと低い値に留まっ
ている。また焼結後に熱処理をしなければならないとい
う点で作業工程を増やしてしまい製造コスト等の面で好
ましくない。
きく、強度値が380〜530MPaと低い値に留まっ
ている。また焼結後に熱処理をしなければならないとい
う点で作業工程を増やしてしまい製造コスト等の面で好
ましくない。
【0017】(5)の方法では、破壊靱性は3.4MP
a・mO ・ 5程度までしか向上せず、靱性向上効果は小さ
い。
a・mO ・ 5程度までしか向上せず、靱性向上効果は小さ
い。
【0018】(6)の方法では、 SiO2を同時に混
合することによってアルミナ粒子も板状化させ高靱性化
を達成している。しかしランタン−β−アルミネートは
アルミナよりもヤング率の低い物質であり、ヤング率の
高いアルミナを異方成長させた方が亀裂進展の抵抗を高
める(破壊靱性を向上させる)ためには有利である。
合することによってアルミナ粒子も板状化させ高靱性化
を達成している。しかしランタン−β−アルミネートは
アルミナよりもヤング率の低い物質であり、ヤング率の
高いアルミナを異方成長させた方が亀裂進展の抵抗を高
める(破壊靱性を向上させる)ためには有利である。
【0019】(7)の方法では、破壊靱性値は5.3M
Pa・m0 ・ 5と高い値が出ているものの、針状晶AlN
bO4のサイズが大きいため強度値は320MPaと低
い値に留まっている。また高価である五酸化ニオブを4
0%も含んでいるためコストの面でも好ましくない。
Pa・m0 ・ 5と高い値が出ているものの、針状晶AlN
bO4のサイズが大きいため強度値は320MPaと低
い値に留まっている。また高価である五酸化ニオブを4
0%も含んでいるためコストの面でも好ましくない。
【0020】(8)の方法では、特性面で必ずしも満足
できるものではなく、製造面でも特殊なマイクロ波加熱
装置を使用するため、コスト等の面で好ましくない。
できるものではなく、製造面でも特殊なマイクロ波加熱
装置を使用するため、コスト等の面で好ましくない。
【0021】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、高強度か
つ高靱性のアルミナ基セラミックス焼結体を製造すべく
次のように検討を進めた。
つ高靱性のアルミナ基セラミックス焼結体を製造すべく
次のように検討を進めた。
【0022】焼結体中のアルミナ粒子を異方成長させる
ことにより、アルミナの破壊靱性を向上させることがで
きると考えられる。なぜなら、破壊の際に異方成長した
粒子によってクラックの進展経路が偏向することにより
進展の際のエネルギーが増加し、クラックの進展抵抗で
ある破壊靱性が向上するからである。即ちこのクラック
の偏向の度合いが大きいほど破壊靱性は大きくなる。し
たがって、等軸状粒子の焼結体よりも形状異方性粒子の
焼結体の方が偏向の度合いが大きくなり高靱性の焼結体
となる。
ことにより、アルミナの破壊靱性を向上させることがで
きると考えられる。なぜなら、破壊の際に異方成長した
粒子によってクラックの進展経路が偏向することにより
進展の際のエネルギーが増加し、クラックの進展抵抗で
ある破壊靱性が向上するからである。即ちこのクラック
の偏向の度合いが大きいほど破壊靱性は大きくなる。し
たがって、等軸状粒子の焼結体よりも形状異方性粒子の
焼結体の方が偏向の度合いが大きくなり高靱性の焼結体
となる。
【0023】そこで、焼成と同時にアルミナ粒子を異方
成長させることを目的に鋭意研究を行った。その結果、
Al203、 VA族金属酸化物及びSiO2を含有する混
合物の成形体を焼成することによって、焼成中にアルミ
ナ粒子が異方成長し、高強度及び高靱性を有するアルミ
ナ基セラミックス焼結体が製造できることを見出し本発
明を完成するに至った。即ち、本発明によればVA族金
属酸化物とSiO2を同時添加することにより、SiO2
のみを添加するよりも、よりアスペクト比の大きい粒子
を成長させ、より高靱性でより高強度の焼結体を取得す
ることができる。さらに、密度や硬度に優れた焼結体と
することや緻密性に優れた焼結体の取得も可能である。
成長させることを目的に鋭意研究を行った。その結果、
Al203、 VA族金属酸化物及びSiO2を含有する混
合物の成形体を焼成することによって、焼成中にアルミ
ナ粒子が異方成長し、高強度及び高靱性を有するアルミ
ナ基セラミックス焼結体が製造できることを見出し本発
明を完成するに至った。即ち、本発明によればVA族金
属酸化物とSiO2を同時添加することにより、SiO2
のみを添加するよりも、よりアスペクト比の大きい粒子
を成長させ、より高靱性でより高強度の焼結体を取得す
ることができる。さらに、密度や硬度に優れた焼結体と
することや緻密性に優れた焼結体の取得も可能である。
【0024】
【発明の実施の形態】本発明は、 VA族金属酸化物と
SiO2を含有し、焼結体中のアルミナ粒子が異方成長
していることで高強度及び高靱性のアルミナ焼結体を提
供する。さらに、本発明はその製造方法即ち、アルミナ
(Al203)、 VA族金属酸化物及びSiO2を含有する
混合物を成形し、焼成することを含む製造方法を提供す
る。
SiO2を含有し、焼結体中のアルミナ粒子が異方成長
していることで高強度及び高靱性のアルミナ焼結体を提
供する。さらに、本発明はその製造方法即ち、アルミナ
(Al203)、 VA族金属酸化物及びSiO2を含有する
混合物を成形し、焼成することを含む製造方法を提供す
る。
【0025】本発明に使用するアルミナは、従来アルミ
ナセラミックス焼結体に使用されるものであればよく、
特に、高純度のα−アルミナ(例えば、純度99.99
%以上)粉末が好ましい。
ナセラミックス焼結体に使用されるものであればよく、
特に、高純度のα−アルミナ(例えば、純度99.99
%以上)粉末が好ましい。
【0026】本発明に使用するVA族金属酸化物は、市
販の粉末を用いることができる。その添加率に関して
は、アルミナに対し少なくとも1種以上を好ましくは
0.05〜2.5mol%、より好ましくは0.06〜
1mol%、最も好ましくは0.08〜0.5mol%
添加する。少な過ぎると緻密化が起こらず、多過ぎると
アルミナ粒子は異方成長せず、等軸状の粒子となってし
まい靱性向上効果が得られないので好ましくない。
販の粉末を用いることができる。その添加率に関して
は、アルミナに対し少なくとも1種以上を好ましくは
0.05〜2.5mol%、より好ましくは0.06〜
1mol%、最も好ましくは0.08〜0.5mol%
添加する。少な過ぎると緻密化が起こらず、多過ぎると
アルミナ粒子は異方成長せず、等軸状の粒子となってし
まい靱性向上効果が得られないので好ましくない。
【0027】VA族金属酸化物としては、 Nb2O5、
Ta2O5及びV2O5等があるが、V2O5は焼成中に揮発
してしまい目的とする焼結体が得られ難いという点でN
b2O5及びTa2O5が特に好ましい。
Ta2O5及びV2O5等があるが、V2O5は焼成中に揮発
してしまい目的とする焼結体が得られ難いという点でN
b2O5及びTa2O5が特に好ましい。
【0028】本発明で使用するSiO2は無機ケイ酸等
の市販の粉末を用いることができる。その添加率に関し
てはアルミナに対し、好ましくは0.01〜4mol
%、より好ましくは0.03〜2mol%、最も好まし
くは0.05〜1mol%である。少な過ぎるとアルミ
ナ粒子は異方成長せず等軸状となってしまい破壊靱性向
上効果が得られず、また、多過ぎるとアルミナの粗大粒
が成長し強度低下を招くので好ましくない。
の市販の粉末を用いることができる。その添加率に関し
てはアルミナに対し、好ましくは0.01〜4mol
%、より好ましくは0.03〜2mol%、最も好まし
くは0.05〜1mol%である。少な過ぎるとアルミ
ナ粒子は異方成長せず等軸状となってしまい破壊靱性向
上効果が得られず、また、多過ぎるとアルミナの粗大粒
が成長し強度低下を招くので好ましくない。
【0029】本発明の焼結体を製造するには、 Al2
03、 VA族金属酸化物及びSiO2の混合物を成形
し、次いで焼成すればよい。この焼成に際して、緻密化
させると同時にアルミナ粒子を異方成長させることがで
きる。焼成温度は従来使用される温度が適宜選択される
が、好ましくは1320℃〜1600℃の範囲、より好
ましくは1350℃〜1550℃の範囲、最も好ましく
は1380℃〜1500℃で焼成することにより緻密化
する。低過ぎると緻密な焼結体が得られず、高過ぎると
アルミナ粒子が等軸状になってしまい靱性向上効果が得
られず、またアルミナ粒子が粗大化してしまうため強度
低下を招き、好ましくない。
03、 VA族金属酸化物及びSiO2の混合物を成形
し、次いで焼成すればよい。この焼成に際して、緻密化
させると同時にアルミナ粒子を異方成長させることがで
きる。焼成温度は従来使用される温度が適宜選択される
が、好ましくは1320℃〜1600℃の範囲、より好
ましくは1350℃〜1550℃の範囲、最も好ましく
は1380℃〜1500℃で焼成することにより緻密化
する。低過ぎると緻密な焼結体が得られず、高過ぎると
アルミナ粒子が等軸状になってしまい靱性向上効果が得
られず、またアルミナ粒子が粗大化してしまうため強度
低下を招き、好ましくない。
【0030】焼成時間は10分間〜5時間の範囲が好ま
しい。より好ましくは1〜4時間で、最も好ましくは
1.5〜3時間である。短か過ぎると緻密化が起こらな
い、又はアルミナ粒子の異方成長が進まず優れた特性が
得られ難い。長過ぎるとアルミナ粒子は粗大化してしま
い強度低下を招く。
しい。より好ましくは1〜4時間で、最も好ましくは
1.5〜3時間である。短か過ぎると緻密化が起こらな
い、又はアルミナ粒子の異方成長が進まず優れた特性が
得られ難い。長過ぎるとアルミナ粒子は粗大化してしま
い強度低下を招く。
【0031】本発明で得られる焼結体において、 アル
ミナ粒子のアスペクト比(長軸と短軸の比)は、焼結体
を鏡面研磨し、サーマルエッチング等の手法でエッチン
グを行った後、SEM(Scanning Electron Microsco
pe:走査型電子顕微鏡)等で組織観察をすることによっ
て求められる。SEMで組織観察したときに、アルミナ
粒子のアスペクト比の平均値は2以上であることが好ま
しい。アスペクト比の平均値が2未満の場合は、クラッ
クの進展経路の偏向効果が小さく、高靱性が得られ難い
ので好ましくない。より好ましくは、平均値2〜5であ
る。
ミナ粒子のアスペクト比(長軸と短軸の比)は、焼結体
を鏡面研磨し、サーマルエッチング等の手法でエッチン
グを行った後、SEM(Scanning Electron Microsco
pe:走査型電子顕微鏡)等で組織観察をすることによっ
て求められる。SEMで組織観察したときに、アルミナ
粒子のアスペクト比の平均値は2以上であることが好ま
しい。アスペクト比の平均値が2未満の場合は、クラッ
クの進展経路の偏向効果が小さく、高靱性が得られ難い
ので好ましくない。より好ましくは、平均値2〜5であ
る。
【0032】本発明で得られる焼結体において、長径2
μm以上10μm未満、アスペクト比2以上のアルミナ
粒子と、長径10μm以上のアルミナ粒子の存在割合
は、焼結体を鏡面研磨し、サーマルエッチング等の手法
でエッチングを行った後、SEM等で組織観察し、画像
処理解析装置によって画像解析することにより求められ
る。特に好ましくは、SEMで組織観察し、組織を画像
解析した際に焼結体中に長径2μm以上10μm未満の
アルミナ粒子、特にアスペクト比2以上の形状異方性を
もつアルミナ粒子が面積比で20%以上含むものであ
る。これより少ないとクラックの進展経路の特に好まし
い偏向効果や特に好ましい高靱性が得られ難い。また、
長径10μm以上の粗大なアルミナ粒子が面積比で20
%以下であることが特に好ましい。これより多いと粗大
なアルミナ粒子が破壊起源となり特に好ましい強度を維
持できなくなる。
μm以上10μm未満、アスペクト比2以上のアルミナ
粒子と、長径10μm以上のアルミナ粒子の存在割合
は、焼結体を鏡面研磨し、サーマルエッチング等の手法
でエッチングを行った後、SEM等で組織観察し、画像
処理解析装置によって画像解析することにより求められ
る。特に好ましくは、SEMで組織観察し、組織を画像
解析した際に焼結体中に長径2μm以上10μm未満の
アルミナ粒子、特にアスペクト比2以上の形状異方性を
もつアルミナ粒子が面積比で20%以上含むものであ
る。これより少ないとクラックの進展経路の特に好まし
い偏向効果や特に好ましい高靱性が得られ難い。また、
長径10μm以上の粗大なアルミナ粒子が面積比で20
%以下であることが特に好ましい。これより多いと粗大
なアルミナ粒子が破壊起源となり特に好ましい強度を維
持できなくなる。
【0033】本発明の焼結体に関し、焼結体の曲げ強度
が500MPa以上が好ましい、又破壊靱性が5MPa
・m0.5以上であることが好ましい。
が500MPa以上が好ましい、又破壊靱性が5MPa
・m0.5以上であることが好ましい。
【0034】本発明の焼結体は、その方法が容易である
常圧焼結法の他に、ホットプレス(HP)又はホットア
イソスタチックプレス(HIP)により緻密化すること
もできる。さらに、高密度の焼結体を得るためには、常
圧焼結法によって相対密度95%以上の焼結体を作製し
た後、処理圧力500〜2000kg/cm2、処理温
度1200℃〜1600℃でホットアイソスタチックプ
レス(HIP)処理するのが好ましい。
常圧焼結法の他に、ホットプレス(HP)又はホットア
イソスタチックプレス(HIP)により緻密化すること
もできる。さらに、高密度の焼結体を得るためには、常
圧焼結法によって相対密度95%以上の焼結体を作製し
た後、処理圧力500〜2000kg/cm2、処理温
度1200℃〜1600℃でホットアイソスタチックプ
レス(HIP)処理するのが好ましい。
【0035】本発明の焼成雰囲気としては酸化雰囲気の
他に、窒素ガスやアルゴンガス等の非酸化雰囲気又は真
空中での焼成も可能である。
他に、窒素ガスやアルゴンガス等の非酸化雰囲気又は真
空中での焼成も可能である。
【0036】本発明においてアルミナ粒子が異方成長す
るメカニズムは定かではないが、おそらく焼成時にA1
203−VA族金属酸化物−SiO2系の液相が生成するこ
とによってアルミナ粒子が異方性の高い粒子に成長する
ものと考えられる。
るメカニズムは定かではないが、おそらく焼成時にA1
203−VA族金属酸化物−SiO2系の液相が生成するこ
とによってアルミナ粒子が異方性の高い粒子に成長する
ものと考えられる。
【0037】本発明の焼結体に、酸化チタン(TiO2
等)や希土類金属酸化物(Y2O3、Yb2O3等)等の金
属酸化物を、好ましくは、Al2O3に対して0.01〜
0.50mol%程度添加することによって硬度を改善
することができる。この場合、アルミナ粒子の形状異方
性が損なわれることはない。硬度を改善することによっ
て高硬度が必要な分野、特に耐摩耗部材や切削工具への
応用が好適な材料となる。
等)や希土類金属酸化物(Y2O3、Yb2O3等)等の金
属酸化物を、好ましくは、Al2O3に対して0.01〜
0.50mol%程度添加することによって硬度を改善
することができる。この場合、アルミナ粒子の形状異方
性が損なわれることはない。硬度を改善することによっ
て高硬度が必要な分野、特に耐摩耗部材や切削工具への
応用が好適な材料となる。
【0038】
【実施例】次に、本発明におけるアルミナ基セラミック
ス焼結体の製造方法と、それによって得られる焼結体に
ついて具体的に説明する。
ス焼結体の製造方法と、それによって得られる焼結体に
ついて具体的に説明する。
【0039】(実施例1)α−アルミナ原料(純度9
9.99%以上、平均粒径0.6μm)とNb205原料
(純度99.9%、平均粒径2.0μm)及びSiO2
原料(純度99.9%、平均粒径0.1μm)を表1に
示す組成で、蒸留水を溶媒とし湿式混合した。乾燥粉末
をCIP成形して得られた成形体を大気中、抵抗加熱炉
において表1に示す温度で2時間焼成を行い、焼結体を
作製した。
9.99%以上、平均粒径0.6μm)とNb205原料
(純度99.9%、平均粒径2.0μm)及びSiO2
原料(純度99.9%、平均粒径0.1μm)を表1に
示す組成で、蒸留水を溶媒とし湿式混合した。乾燥粉末
をCIP成形して得られた成形体を大気中、抵抗加熱炉
において表1に示す温度で2時間焼成を行い、焼結体を
作製した。
【0040】得られた焼結体の密度はアルキメデス法に
より評価を行った。アスペクト比については得られた焼
結体を鏡面研磨した後サーマルエッチングを行い、SE
Mによる組織観察写真において粒子を数十個抽出し、そ
れぞれの長径と短径の比を求め、これらの平均値を算出
した。また長径2μm以上10μm未満、アスペクト比
2以上のアルミナ粒子と、長径10μm以上のアルミナ
粒子の存在割合は、焼結体を鏡面研磨し、サーマルエッ
チングでエッチングを行った後、SEMで組織観察し、
画像処理解析装置によって画像解析することにより求め
た。強度はJIS R1601で定める室温3点曲げ強
度測定により評価を行った。破壊靱性はJIS R16
07で定めるSEPB法により、硬度はJIS R16
10に定める方法により評価を行った。結果を表1に示
す。
より評価を行った。アスペクト比については得られた焼
結体を鏡面研磨した後サーマルエッチングを行い、SE
Mによる組織観察写真において粒子を数十個抽出し、そ
れぞれの長径と短径の比を求め、これらの平均値を算出
した。また長径2μm以上10μm未満、アスペクト比
2以上のアルミナ粒子と、長径10μm以上のアルミナ
粒子の存在割合は、焼結体を鏡面研磨し、サーマルエッ
チングでエッチングを行った後、SEMで組織観察し、
画像処理解析装置によって画像解析することにより求め
た。強度はJIS R1601で定める室温3点曲げ強
度測定により評価を行った。破壊靱性はJIS R16
07で定めるSEPB法により、硬度はJIS R16
10に定める方法により評価を行った。結果を表1に示
す。
【0041】表1からも明らかなように、本発明品はア
ルミナ粒子のアスペクト比の平均が2以上の焼結体とな
り、特に本発明品は焼結体をSEMで組織観察したとき
の焼結体組織において、長径2μm以上10μm未満、
アスペクト比2以上の形状異方性を持つアルミナ粒子が
面積比で20%以上、また長径10μm以上の粗大なア
ルミナ粒子が面積比で20%以下の焼結体となり、室温
3点曲げ強度が500MPa以上、破壊靱性が5MPa
・m0.5以上であり、強度及び靱性に優れた材料が得ら
れることがわかる。
ルミナ粒子のアスペクト比の平均が2以上の焼結体とな
り、特に本発明品は焼結体をSEMで組織観察したとき
の焼結体組織において、長径2μm以上10μm未満、
アスペクト比2以上の形状異方性を持つアルミナ粒子が
面積比で20%以上、また長径10μm以上の粗大なア
ルミナ粒子が面積比で20%以下の焼結体となり、室温
3点曲げ強度が500MPa以上、破壊靱性が5MPa
・m0.5以上であり、強度及び靱性に優れた材料が得ら
れることがわかる。
【0042】試料1ではNb205、SiO2ともに添加
しなかったためアルミナ粒子は異方成長せず、破壊靱性
は低いままだった。
しなかったためアルミナ粒子は異方成長せず、破壊靱性
は低いままだった。
【0043】試料2ではSiO2のみを微量添加した
が、異方成長の効果は薄く破壊靱性は向上しなかった。
が、異方成長の効果は薄く破壊靱性は向上しなかった。
【0044】試料3ではSiO2の添加量を増やしたが
組織が不均質となり、強度、破壊靱性ともに低下してし
まった。
組織が不均質となり、強度、破壊靱性ともに低下してし
まった。
【0045】試料4ではNb205のみ添加したがアルミ
ナ粒子は異方成長せず、破壊靱性は向上しなかった。
ナ粒子は異方成長せず、破壊靱性は向上しなかった。
【0046】試料6では焼成温度が低く、緻密化しなか
った。
った。
【0047】試料9では焼成温度が高く、アルミナ粒子
が十分に異方成長しておらずアルミナ粒子が粗大化し強
度が低下してしまった。
が十分に異方成長しておらずアルミナ粒子が粗大化し強
度が低下してしまった。
【0048】試料12ではSiO2添加量が多くアルミ
ナ粒子が粗大化してしまい強度が低下してしまった。
ナ粒子が粗大化してしまい強度が低下してしまった。
【0049】試料16ではNb205添加量が多く、アル
ミナ粒子が十分に異方成長しておらずアルミナ粒子が等
軸状に近くなってしまい、破壊靱性の向上が小さかっ
た。
ミナ粒子が十分に異方成長しておらずアルミナ粒子が等
軸状に近くなってしまい、破壊靱性の向上が小さかっ
た。
【0050】
【表1】
【0051】(実施例2)実施例1で得られた試料7及
び9に関し、Ar雰囲気中、1300℃、1000kg
/cm2、1時間HIP処理を行い、緻密化を行った。
び9に関し、Ar雰囲気中、1300℃、1000kg
/cm2、1時間HIP処理を行い、緻密化を行った。
【0052】得られた焼結体の評価、即ち密度、アスペ
クト比の平均値及び長径2μm以上10μm未満、アス
ペクト比2以上のアルミナ粒子と、長径10μm以上の
アルミナ粒子の存在割合、強度、破壊靱性、硬度につい
ての評価は実施例1と同様の方法を使用して行った。結
果を表2に示す。
クト比の平均値及び長径2μm以上10μm未満、アス
ペクト比2以上のアルミナ粒子と、長径10μm以上の
アルミナ粒子の存在割合、強度、破壊靱性、硬度につい
ての評価は実施例1と同様の方法を使用して行った。結
果を表2に示す。
【0053】
【表2】
【0054】表2から明らかなように、焼成後にHIP
処理を行うことによってアスペクト比を変化させること
なく、またアルミナ粒子の形状異方性を保持したままさ
らに緻密化することができる。その結果、靱性を低下さ
せることなく、強度をさらに向上させることができ、強
度600MPa以上、破壊靱性5MPa・m0.5以上の
材料が得られることがわかる。
処理を行うことによってアスペクト比を変化させること
なく、またアルミナ粒子の形状異方性を保持したままさ
らに緻密化することができる。その結果、靱性を低下さ
せることなく、強度をさらに向上させることができ、強
度600MPa以上、破壊靱性5MPa・m0.5以上の
材料が得られることがわかる。
【0055】(実施例3)実施例1及び2で得られた試
料1(比較品)、試料7、試料7−HIPの1000℃
での高温強度、及び耐熱衝撃温度を測定した。
料1(比較品)、試料7、試料7−HIPの1000℃
での高温強度、及び耐熱衝撃温度を測定した。
【0056】高温強度はJIS R1604に定める1
000℃での高温3点曲げ強度測定により評価を行っ
た。耐熱衝撃試験は試験片を4×6×25mmに研削加
工し、所定の温度に保持した後、20℃の水中へ投入し
て急冷し、亀裂の有無を蛍光探傷法によって確認するこ
とにより行った。水中急冷後に試験片に亀裂の入らなか
ったときの最も高い温度差を耐熱衝撃温度として求め
た。結果を表3に示す。
000℃での高温3点曲げ強度測定により評価を行っ
た。耐熱衝撃試験は試験片を4×6×25mmに研削加
工し、所定の温度に保持した後、20℃の水中へ投入し
て急冷し、亀裂の有無を蛍光探傷法によって確認するこ
とにより行った。水中急冷後に試験片に亀裂の入らなか
ったときの最も高い温度差を耐熱衝撃温度として求め
た。結果を表3に示す。
【0057】
【表3】
【0058】本発明の試料は1000℃での高温強度3
00MPa以上、耐熱衝撃温度250℃以上であり、高
温強度、耐熱衝撃性に優れた材料が得られることがわか
る。
00MPa以上、耐熱衝撃温度250℃以上であり、高
温強度、耐熱衝撃性に優れた材料が得られることがわか
る。
【0059】(実施例4)試料7の組成に、表4に示す
割合でTiO2もしくはYb2O3を添加し、実施例1に
示した方法と同様の方法で焼結体を作製した。焼成温度
は表4にそれぞれ示す。得られた焼結体をアルゴン雰囲
気中、表4に示すHIP処理温度、1000kg/cm
2、1時間HIP処理を行い、緻密化を行った。
割合でTiO2もしくはYb2O3を添加し、実施例1に
示した方法と同様の方法で焼結体を作製した。焼成温度
は表4にそれぞれ示す。得られた焼結体をアルゴン雰囲
気中、表4に示すHIP処理温度、1000kg/cm
2、1時間HIP処理を行い、緻密化を行った。
【0060】得られた焼結体の密度、長径2μm以上1
0μm未満アスペクト比2以上のアルミナ粒子と長径1
0μm以上のアルミナ粒子の存在割合等の評価は実施例
1と同様の方法で行った。結果を表4に示す。
0μm未満アスペクト比2以上のアルミナ粒子と長径1
0μm以上のアルミナ粒子の存在割合等の評価は実施例
1と同様の方法で行った。結果を表4に示す。
【0061】
【表4】
【0062】表4から明らかなように、TiO2もしく
はYb2O3を添加することにより、アルミナ粒子の形状
異方性、強度及び靱性を保持したまま硬度が1700以
上に回復し、高硬度が必要な分野への応用に好適な材料
が得られることがわかる。
はYb2O3を添加することにより、アルミナ粒子の形状
異方性、強度及び靱性を保持したまま硬度が1700以
上に回復し、高硬度が必要な分野への応用に好適な材料
が得られることがわかる。
【0063】
【発明の効果】アルミナ基セラミックス焼結体におい
て、Al203、VA族金属酸化物及びSiO2を含有する
混合物からなる成形体を焼成することにより、焼成中に
アルミナ粒子が異方成長する。その結果、強度及び破壊
靱性の優れたアルミナ基焼結体が得られる。
て、Al203、VA族金属酸化物及びSiO2を含有する
混合物からなる成形体を焼成することにより、焼成中に
アルミナ粒子が異方成長する。その結果、強度及び破壊
靱性の優れたアルミナ基焼結体が得られる。
Claims (10)
- 【請求項1】VA族金属酸化物及びSiO2を含有し、焼
結体中のアルミナ粒子が異方成長していることを特徴と
するアルミナ基セラミックス焼結体。 - 【請求項2】Al2O3に対するVA族金属酸化物の添加
率が0.05〜2.5mol%であり、 Al2O3に対
するSiO2の添加率が0.01〜4mol%である請
求項1に記載の焼結体。 - 【請求項3】Al2O3に対するVA族金属酸化物の添加
率が0.06〜1mol%であり、Al2O3に対するS
iO2の添加率が0.03〜2mol%である請求項1
又は2に記載の焼結体。 - 【請求項4】VA族金属酸化物がNb2O5及びTa2O5
の少なくとも1種である請求項1〜3に記載の焼結体。 - 【請求項5】焼結体組織において、焼結体をSEMで組
織観察したときに長径が2μm以上10μm未満のアル
ミナ粒子を面積比で少なくとも20%を、長径が少なく
とも10μmのアルミナ粒子を面積比で多くとも20%
を、それぞれ含有する請求項1〜4に記載の焼結体。 - 【請求項6】焼結体中のアルミナ粒子のアスペクト比の
平均値が少なくとも2である請求項1〜5に記載の焼結
体。 - 【請求項7】焼結体の曲げ強度が少なくとも500MP
a及び破壊靱性が少なくとも5MPa・m0.5である請
求項1に記載の焼結体。 - 【請求項8】Al2O3、VA族金属酸化物及びSiO2を
含有する混合物を成形し、焼成する工程又は当該工程の
後さらにHIP処理する工程を含むことを特徴とする請
求項1〜7に記載のアルミナ基セラミックス焼結体の製
造方法。 - 【請求項9】焼成温度が1320〜1600℃であり、
アルミナ粒子が異方成長している請求項8に記載の製造
方法。 - 【請求項10】酸化チタン及び希土類金属酸化物の少な
くとも1種を含有し、硬度が改善された請求項1に記載
の焼結体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9361900A JPH1171168A (ja) | 1997-06-26 | 1997-12-10 | アルミナ基セラミックス焼結体及びその製造方法 |
US09/103,112 US6143678A (en) | 1997-06-26 | 1998-06-23 | Sintered alumina-based ceramics and process for producing same |
DE69801551T DE69801551T2 (de) | 1997-06-26 | 1998-06-26 | Sinterkeramik auf Basis von Aluminiumoxid und Verfahren zu ihrer Herstellung |
EP98111907A EP0887324B1 (en) | 1997-06-26 | 1998-06-26 | Sintered alumina-based ceramics and process for producing same |
US09/599,226 US6383963B1 (en) | 1997-06-26 | 2000-06-22 | Sintered alumina-based ceramics and process for producing same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9-185779 | 1997-06-26 | ||
JP18577997 | 1997-06-26 | ||
JP9361900A JPH1171168A (ja) | 1997-06-26 | 1997-12-10 | アルミナ基セラミックス焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1171168A true JPH1171168A (ja) | 1999-03-16 |
Family
ID=26503321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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JP2010120796A (ja) * | 2008-11-18 | 2010-06-03 | Tosoh Corp | 高靭性且つ透光性の着色アルミナ焼結体及びその製造方法並びに用途 |
JP2010120795A (ja) * | 2008-11-18 | 2010-06-03 | Tosoh Corp | 高靭性且つ透光性の着色アルミナ焼結体及びその製造方法並びに用途 |
US8207077B2 (en) | 2007-10-29 | 2012-06-26 | Kyocera Corporation | Abrasion-resistant sintered body, sliding member, and pump |
JP2012229159A (ja) * | 2012-07-03 | 2012-11-22 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corp | 蓄熱部材及びこれを用いた熱交換器 |
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WO2012135762A2 (en) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Refractory object, glass overflow forming block, and process of forming and using the refractory object |
WO2012142348A2 (en) | 2011-04-13 | 2012-10-18 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Refractory object including beta alumina and processes of making and using the same |
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CN107257780A (zh) | 2015-02-24 | 2017-10-17 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 耐火制品和制备方法 |
CN110903076B (zh) * | 2019-12-03 | 2020-12-25 | 浙江科奥陶业有限公司 | 一种通氢钼棒加热炉用刚玉耐火制品及其应用方法 |
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JPS61256963A (ja) | 1985-05-09 | 1986-11-14 | 株式会社 リケン | 高強度アルミナ焼結体及びその製造方法 |
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1997
- 1997-12-10 JP JP9361900A patent/JPH1171168A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-23 US US09/103,112 patent/US6143678A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-26 EP EP98111907A patent/EP0887324B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-06-26 DE DE69801551T patent/DE69801551T2/de not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-06-22 US US09/599,226 patent/US6383963B1/en not_active Expired - Fee Related
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