KR101743323B1

KR101743323B1 - 지원 정보 표시 방법, 기판 처리 장치의 보수 지원 방법, 지원 정보 표시 제어 장치, 기판 처리 시스템 및 기록 매체

Info

Publication number: KR101743323B1
Application number: KR1020140015683A
Authority: KR
Inventors: 도시아키 고다마; 도오루 야마우치; 센쇼 고바야시; 히로시 나카무라; 가쿠 이케다; 가즈야 우오야마
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2013-02-25
Filing date: 2014-02-11
Publication date: 2017-06-02
Also published as: TWI656499B; JP6082272B2; US20140240484A1; TW201510909A; US9810905B2; JP2014164482A; KR20140106401A

Abstract

본 발명의 과제는, 작업자가 요구하는 정보나 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 시각적으로 작업자에게 제공하는 것이다. 기판 처리 시스템(100A)의 표시 제어 장치(40)는, 작업자에 의한 기판 처리 장치(10)의 메인터넌스 작업시에 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이(HMD)(30)에 표시하기 위해, HMD(30)가 구비하는 카메라를 통해 기판 처리 장치(10)에 있어서 메인터넌스를 행할 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하고, 취득한 영상에 포함되는 소정의 부위에 관한 지원 정보를 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하고, 추정한 지원 정보를 화상화하고, 작성된 화상을 HMD(30)에 표시함으로써, 작업자에게 지원 정보를 시인시킨다.

Description

지원 정보 표시 방법, 기판 처리 장치의 보수 지원 방법, 지원 정보 표시 제어 장치, 기판 처리 시스템 및 기록 매체{SUPPORT INFORMATION DISPLAY METHOD, MAINTENANCE SUPPORT METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, SUPPORT INFORMATION DISPLAY CONTROL APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND RECORDING MEDIUM}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 처리하는 기판 처리 장치의 수리나 보수, 점검 등을 할 때에, 작업자에게 유용한 정보(지원 정보)를 제공하기 위한 지원 정보 표시 방법, 지원 정보 표시 방법을 이용한 기판 처리 장치의 보수 지원 방법, 지원 정보 표시 방법을 실행하는 지원 정보 표시 제어 장치, 지원 정보 표시 제어 장치를 구비하는 기판 처리 시스템, 지원 정보 표시 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기록 매체에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼에 플라즈마 에칭 처리 등을 실시하는 기판 처리 장치에서는, 프로세스 이상이나 장애가 발생한 경우에, 작업자가 감시창(뷰 포트)이나 장치 화면을 확인하여 기판 처리 장치의 상태를 확인하고, 수리 등을 행하고 있다. 이때, 프로세스 처리의 결과 판정이나 장애 조사를 확실하고 또한 신속하게 행하기 위해, 기판을 처리할 때에 있어서 발생하는 온도, 가스 유량, 압력, 주파수, RF 파워 등의 정보를 수집하고, 수집한 정보를 연산하고, 수집한 정보 및 연산한 결과 중 적어도 한쪽을 축적하는 기판 처리 장치가 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

일본 특허 출원 공개 제2012-186455호 공보

그러나, 감시창이나 장치 화면을 통해 시각적으로 얻어지는 정보는 한정되어 있다. 또한, 상기 특허문헌 1에는, 작업자에 의한 수리 등의 작업에 대해, 축적된 정보를 어떻게 하여 도움이 되게 할 것인지에 대해 개시되어 있지 않다.

또한, 반도체 웨이퍼의 사이즈의 대형화에 수반하여, 기판 처리 장치를 대형화함과 함께, 구성이 복잡하게 되는 경향이 있으므로, 수리나 보수, 점검의 작업 내용이 보다 많아지고, 또한 복잡한 것으로 되어 왔다. 그 때문에, 작업자에게 있어서, 장치 세부의 구성을 정확하게 파악하는 것이 곤란해져 왔다. 또한, 작업시에 모바일 컴퓨터 등을 조작하여 매뉴얼이나 장치 구성을 확인하고 있던 것에서는, 작업 효율이 나쁘다. 또한, 작업자가 기판 처리 장치의 설치 장소에 관한 정보를 갖고 있지 않은 경우에, 다른 장치나 기계가 작업자에게 위험을 미칠 우려도 있다.

본 발명의 목적은, 기판 처리 장치의 보수나 점검, 수리 등을 행하는 작업자에 대해, 작업자가 요구하는 정보나 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 시각적으로 작업자에게 제공할 수 있는 지원 정보 표시 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명의 목적은, 이 지원 정보 표시 방법을 이용한 기판 처리 장치의 보수 지원 방법, 이 지원 정보 표시 방법을 실행하는 지원 정보 표시 제어 장치, 이 지원 정보 표시 제어 장치를 구비하는 기판 처리 시스템 및 지원 정보 표시 방법을 컴퓨터에 실행시키기 위한 프로그램을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시형태에 따른 지원 정보 표시 방법은, 컴퓨터가, 작업자에 의한 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 상기 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 표시하는 지원 정보 표시 방법으로서, 상기 헤드 마운트 디스플레이가 구비하는 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행할 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하는 영상 취득 스텝과, 상기 영상 취득 스텝에 의해 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 소정의 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하는 추정 스텝과, 상기 추정 스텝에서 추정한 지원 정보를 화상화하는 화상 작성 스텝과, 상기 화상 작성 스텝에서 작성된 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써 상기 작업자에게 상기 지원 정보를 시인시키는 표시 스텝을 갖는다.

일 실시예에 있어서, 상기 지원 정보는, 상기 소정의 부위의 온도 또는 압력, 상기 소정의 부위를 흐르는 가스종, 상기 소정의 부위에 대한 메인터넌스의 내용을 나타내는 매뉴얼, 상기 소정의 부위의 부품 교환 시기 중 적어도 하나를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 상기 표시 스텝에서는, 상기 작업자가 상기 헤드 마운트 디스플레이를 통해 실제로 시인하고 있는 상기 소정의 부위의 영상에, 상기 화상 작성 스텝에서 작성된 화상을 중첩하여 표시한다.

일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소에 있어서 발생한 재해 정보 또는 상기 장소에 설치되어 있는 다른 장치가 상기 작업자에게 접근하고 있는 것을 나타내는 정보를 취득하는 정보 취득 스텝을 더 갖고, 상기 화상 작성 스텝에서는, 상기 정보 취득 스텝에서 취득한 정보를 화상화하고, 상기 표시 스텝에서는, 상기 화상 작성 스텝에서 작성된 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 더 표시한다.

일 실시예에 있어서, 상기 표시 스텝에서는, 상기 작업자가 복수인 경우에, 적어도 1명의 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이의 카메라를 통해 얻어지는 영상을, 다른 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 표시한다.

일 실시예에 있어서, 상기 표시 스텝에서 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시되는 영상을, 네트워크를 통해, 상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소와는 다른 장소에 있는 정보 단말의 디스플레이에 표시하는 외부 표시 스텝과, 상기 외부 표시 스텝에 의해 상기 정보 단말의 디스플레이에 표시된 영상을 본 기술자로부터의 어드바이스를 상기 작업자에게 전달하는 전달 스텝을 더 갖는다.

일 실시예에 있어서, 상기 화상 작성 스텝에서는, 상기 소정의 부위의 그래픽 영상이 작성되고, 상기 표시 스텝에서는, 상기 헤드 마운트 디스플레이에 스크린이 걸린 상태로 되어, 상기 작업자는, 상기 소정의 부위를 직시할 수 없고, 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시되는 상기 그래픽 영상만이 시인 가능하게 된다.

본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 보수 지원 방법은, 작업자에 의한 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 표시함으로써 상기 메인터넌스 작업을 지원하는 기판 처리 장치의 보수 지원 방법으로서, 컴퓨터가, 상기 헤드 마운트 디스플레이가 구비하는 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하고, 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 소정의 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하고, 추정한 지원 정보를 화상화하고, 작성된 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써, 상기 지원 정보가 상기 작업자에게 시인되고, 상기 지원 정보는, 상기 소정의 부위의 온도 또는 압력, 상기 소정의 부위를 흐르는 가스종, 상기 소정의 부위에 대한 메인터넌스의 내용을 나타내는 매뉴얼, 상기 소정의 부위의 부품 교환 시기 중 적어도 하나를 포함한다.

본 발명의 일 실시형태에 따른 지원 정보 표시 제어 장치는, 작업자에 의한 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 상기 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 표시하는 지원 정보 표시 제어 장치로서, 상기 헤드 마운트 디스플레이가 구비하는 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하는 영상 취득부와, 상기 영상 취득부가 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 소정의 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하는 추정부와, 상기 추정부가 추정한 지원 정보를 화상화하는 화상 작성부와, 상기 화상 작성부가 작성한 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써, 상기 작업자에게 상기 지원 정보를 시인시키는 표시 제어부를 구비하고, 상기 지원 정보는, 상기 소정의 부위의 온도 또는 압력, 상기 소정의 부위를 흐르는 가스종, 상기 소정의 부위에 대한 메인터넌스의 내용을 나타내는 매뉴얼, 상기 소정의 부위의 부품 교환 시기 중 적어도 하나를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 상기 표시 제어부는, 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시되는 영상을, 네트워크를 통해, 상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소와는 다른 장소에 있는 정보 단말의 디스플레이에 표시하고, 상기 정보 단말의 디스플레이에 표시된 영상을 본 기술자로부터의 어드바이스를 상기 작업자에게 전달한다.

본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 시스템은, 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 기판 처리 장치와, 작업자에 의한 상기 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 작업자가 장착하는 헤드 마운트 디스플레이와, 상기 작업자가 상기 메인터넌스 작업시에 시인하는 영상을 촬영하는 카메라와, 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 화상으로서 실시간으로 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써 상기 지원 정보를 상기 작업자에게 제공하는 지원 정보 표시 제어 장치를 구비하고, 상기 지원 정보 표시 제어 장치는, 상기 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 상기 작업자가 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하는 영상 취득부와, 상기 영상 취득부가 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 정보를 축적하는 데이터베이스와, 상기 데이터베이스에 축적된 정보로부터 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 추정하는 추정부와, 상기 추정부가 추정한 지원 정보를 화상화하는 화상 작성부와, 상기 화상 작성부가 작성한 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써, 상기 작업자에게 상기 지원 정보를 시인시키는 표시 제어부를 구비하고, 상기 지원 정보는, 상기 소정의 부위의 온도 또는 압력, 상기 소정의 부위를 흐르는 가스종, 상기 소정의 부위에 대한 메인터넌스의 내용을 나타내는 매뉴얼, 상기 소정의 부위의 부품 교환 시기 중 적어도 하나를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 반도체 웨이퍼를 처리하는 반도체 제조 장치이다.

일 실시예에 있어서, 상기 지원 정보 표시 제어 장치와 네트워크를 통해 접속되는 정보 단말을 더 갖고, 상기 지원 정보 표시 제어 장치는, 상기 정보 단말의 디스플레이에 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시되어 있는 영상과 동일한 영상을 표시시킨다.

본 발명의 일 실시형태에 따른 기록매체는, 컴퓨터에, 작업자에 의한 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 상기 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 표시하는 지원 정보 표시 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기록 매체로서, 상기 지원 정보 표시 방법은, 상기 헤드 마운트 디스플레이가 구비하는 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하는 영상 취득 스텝과, 상기 영상 취득 스텝에 의해 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 소정의 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하는 추정 스텝과, 상기 추정 스텝에서 추정한 지원 정보를 화상화하는 화상 작성 스텝과, 상기 화상 작성 스텝에서 작성된 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써, 상기 작업자에게 상기 지원 정보를 시인시키는 표시 스텝을 갖는다.

본 발명에 따르면, 헤드 마운트 디스플레이(HMD : Head Mount Display)와 확장 현실(AR : Augmented Reality)을 조합하여, 필드 엔지니어 등의 작업자가 요구하는 정보나 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를, 보수, 점검, 수리 등의 메인터넌스 작업시에 실시간으로 시각적으로 작업자에게 제공할 수 있다.

구체적으로는, 작업자의 시선을 검지하여, 작업자가 HMD를 통해 시인하고 있는 영상과 동등한 영상을 카메라로 취득하고, 취득한 영상에 데이터베이스에 저장된 각종 정보를 화상화 또는 영상화하여, HMD에 단독으로 또는 중첩하여 표시한다. 이에 의해, 작업자는, 예를 들어 실제로 시인하고 있는 배관이나 챔버에 겹쳐, 온도나 가스종, 압력 등의 시인 불가능한 정보를 취득할 수 있으므로, 안전하게 작업을 행할 수 있게 된다. 또한, 작업의 진행에 따라서 적절한 작업 매뉴얼을 실시간으로 HMD에 표시함으로써, 적극적으로 작업 지원을 행하는 것이 가능하게 된다. 또한, 작업자가 시인한 부위에 대해, 소모 부품의 교환 시기 등을 표시시킴으로써, 보다 세밀한 메인터넌스가 가능하게 된다.

그 외에도, 작업자가 시인하고 있는 영상을 실시간으로 숙련 기술자가 감시하고, 숙련 기술자가 작업자에 대해 구체적인 작업 내용 등을 지시함으로써, 작업 효율을 높이는 동시에, 보다 적절한 대처를 행할 수 있다. 이에 더하여, 복수의 사람이 작업을 행하는 경우에, 서로 상대가 사각에 있기 때문에 직접적으로는 시인할 수 없는 경우라도, 상대가 시인하고 있는 영상을 서로 확인하면서 작업을 행함으로써, 상대가 보이지 않는 것에 기인하는 사고의 발생을 방지하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템이 구비하는 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 평면도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 관한 제1 기판 처리 시스템의 전체 구성을 모식적으로 도시하는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 관한 제2 기판 처리 시스템의 전체 구성을 모식적으로 도시하는 도면.
도 4는 도 2 또는 도 3의 기판 처리 시스템을 이용하여, 2인 작업을 행하는 경우의 각 작업원의 위치와 시인 영상(시야)을 모식적으로 도시하는 도면.

이하에, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 여기서는, 기판으로서 직경이 450㎜(φ450)인 반도체 웨이퍼(이하,「웨이퍼」라 함)에 플라즈마 처리를 실시하는 기판 처리 장치를, 작업원에 의한 보수나 점검, 수리(이하,「메인터넌스」라 총칭함)의 대상으로 하는 것으로 한다. 그리고, 이 기판 처리 장치의 메인터넌스를 행하는 작업자에 대해 메인터넌스에 유용한 지원 정보를 제공하는 지원 정보 표시 제어 장치를 이 기판 처리 장치에 적용하여 구성되는 기판 처리 시스템에 대해 설명하는 것으로 한다.

이하의 설명에서는, 우선, 기판 처리 장치의 전체 구조에 대해 설명하고, 그 후, 기판 처리 시스템의 구성과 기능에 대해 상세하게 설명한다.

도 1은 기판 처리 장치(10)의 개략 구성을 도시하는 평면도이다. 기판 처리 장치(10)는, 웨이퍼(W)를 매엽으로(1매씩) 플라즈마 처리를 실시하도록 구성되어 있다. 상세하게는, 기판 처리 장치(10)는, 평면에서 보아 대략 오각 형상의 트랜스퍼 모듈(11)(기판 반송실)과, 트랜스퍼 모듈(11)의 주위에 방사 형상으로 배치되어 트랜스퍼 모듈(11)에 접속된 6개의 프로세스 모듈(12)(기판 처리실)과, 트랜스퍼 모듈(11)에 대향하여 배치된 로더 모듈(13)과, 트랜스퍼 모듈(11) 및 로더 모듈(13) 사이에 개재되는 2개의 로드 로크 모듈(14)(대기/진공 절환실)을 구비한다.

프로세스 모듈(12)은 진공 챔버를 갖고, 진공 챔버 내에는 웨이퍼(W)를 재치하기 위한 원기둥 형상의 스테이지(15)가 설치되어 있다. 프로세스 모듈(12)에서는, 스테이지(15)에 웨이퍼(W)가 재치된 후에, 진공 챔버 내를 감압하여 처리 가스를 도입함과 함께, 진공 챔버 내에 고주파 전력을 인가하여 플라즈마를 생성시키고, 생성된 플라즈마에 의해 웨이퍼(W)에 에칭 처리 등의 플라즈마 처리를 실시한다.

또한, 프로세스 모듈(12)과 트랜스퍼 모듈(11)은, 개폐 가능한 게이트 밸브(16)에 의해 구획된다. 또한, 프로세스 모듈(12)에는, 가스 공급 장치(22)로부터 도시하지 않은 배관을 통해 각종 가스가 공급된다.

프로세스 모듈(12)이 구비하는 스테이지(15)에는, 스테이지(15)의 상면으로부터 돌출 가능하게, 적어도 3개의 가느다란 막대 형상의 리프트 핀이 설치되어 있다. 이들 리프트 핀은, 평면에서 보아 동일 원주 상에 배치되어 있고, 스테이지(15)의 상면으로부터 돌출됨으로써 스테이지(15)에 재치된 웨이퍼(W)를 지지하여 들어 올림과 함께, 스테이지(15) 내로 퇴출됨으로써 지지한 웨이퍼(W)를 스테이지(15)에 재치한다.

트랜스퍼 모듈(11)은, 진공(감압) 상태로 유지되어 있고, 그 내부에는, 2개의 스카라 아암 타입의 2개의 반송 아암(17a)과, 내부에 배치된 도시하지 않은 가이드 레일을 갖는 제1 반송 기구(17)가 배치되어 있다. 2개의 반송 아암(17a)은 각각, 선회 가능하고 또한 신축 가능하게 구성되어 있고, 그 선단에는 웨이퍼(W)를 지지하는 포크(엔드 이펙터)(17b)가 장착되어 있다. 제1 반송 기구(17)는, 가이드 레일을 따라 이동 가능하며, 각 프로세스 모듈(12) 및 각 로드 로크 모듈(14) 사이에서 웨이퍼(W)를 반송한다.

로드 로크 모듈(14)은, 진공 분위기와 대기압 분위기로 절환 가능한 내압 가변실로서 구성되어 있다. 로드 로크 모듈(14)의 내부에는, 웨이퍼(W)를 재치하기 위한 원기둥 형상의 스테이지(18)가 배치되어 있고, 스테이지(18)에는, 프로세스 모듈(12)의 스테이지(15)에 설치된 리프트 핀과 마찬가지로, 스테이지(18)의 상면으로부터 돌출 가능하게 리프트 핀이 설치되어 있다.

로드 로크 모듈(14)은, 웨이퍼(W)를 로더 모듈(13)로부터 트랜스퍼 모듈(11)로 반송할 때에는, 우선, 내부를 대기압으로 유지하여 로더 모듈(13)로부터 웨이퍼(W)를 수취하고, 이어서 내부를 진공까지 감압하여 트랜스퍼 모듈(11)로 웨이퍼(W)를 전달한다. 반대로, 웨이퍼(W)를 트랜스퍼 모듈(11)로부터 로더 모듈(13)로 반송할 때에는, 우선, 내부를 진공으로 유지하여 트랜스퍼 모듈(11)로부터 웨이퍼(W)를 수취하고, 이어서 내부를 대기압으로 승압하여 로더 모듈(13)로 웨이퍼(W)를 전달한다.

로더 모듈(13)은, 직방체 형상의 대기 반송실로서 구성되어 있고, 길이 방향의 한쪽 측면에 로드 로크 모듈(14)이 접속되고, 길이 방향의 다른 쪽 측면에는, 복수의 웨이퍼(W)를 수용하는 용기인 도시하지 않은 후프를 재치하기 위한 복수(여기서는 3개)의 후프 재치대(19)가 접속되어 있다.

로더 모듈(13)의 내부에는, 웨이퍼(W)를 반송하는 제2 반송 기구(20)가 배치되어 있고, 제2 반송 기구(20)는 도시하지 않은 가이드 레일과, 스카라 아암 타입의 반송 아암(20a)을 갖고 있다. 반송 아암(20a)은, 가이드 레일을 따라 이동 가능하며, 또한 선회 가능하고 또한 신축 가능하게 구성되어 있다. 제1 반송 장치(17)와 마찬가지로, 반송 아암(20a)의 선단에는 웨이퍼(W)를 지지하는 포크(20b)가 장착되어 있다. 로더 모듈(13)에서는, 제2 반송 기구(20)가, 후프 재치대(19)에 재치된 후프와 각 로드 로크 모듈(14) 사이에서 웨이퍼(W)를 반송한다.

기판 처리 장치(10)는, 예를 들어 컴퓨터로 이루어지는 제어부(21)를 갖고, 제어부(21)는 기판 처리 장치(10)의 각 구성 요소[예를 들어, 트랜스퍼 모듈(11)이나 프로세스 모듈(12)]의 동작을 제어한다.

도 2는 기판 처리 장치(10)의 메인터넌스를 행하는 필드 엔지니어 등의 작업자(이하, 간단히「작업자」라 함)가 메인터넌스 작업을 행할 때 필요로 하는 정보나, 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 제공하는 지원 정보 표시 제어 장치(40)(이하,「표시 제어 장치(40)」라 기재함)를 기판 처리 장치(10)에 적용하여 구성되는 제1 기판 처리 시스템(100A)의 전체 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다.

기판 처리 시스템(100A)은, 대략적으로 기판 처리 장치(10)의 제어부(21), 헤드 마운트 디스플레이(30)(이하,「HMD(30)」라 기재함), 표시 제어 장치(40) 및 고객처 호스트 컴퓨터(45)에 의해 구성된다. 또한, 표시 제어 장치(40)는, 대략적으로 데이터베이스 컴퓨터(41)와 화상 작성 컴퓨터(42)에 의해 구성된다.

작업자는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 안경 타입의 HMD(30)를 장착하는 것으로 한다. 작업자는, HMD(30)를 장착한 상태에서는, 일반적인 안경이나 선글래스를 사용하였을 때와 마찬가지로, HMD(30)를 통해 기판 처리 장치(10)를 시인할 수 있다.

HMD(30)는, 작업자의 시선을 검지함으로써, 작업자의 시야 중 작업자가 주목하고 있는 영역의 영상을 중심으로 하여 촬영(취득)하는 카메라를 구비하고 있다. 또한, HMD(30)에 부수되는 카메라는, 작업자의 조작에 의해, 일부를 확대하여 영상을 취득하는 줌 기능을 구비하고 있어도 된다. 또한, 카메라는, 작업자가 HMD(30)를 장착하였을 때의 정면 시선에 맞추어, 작업자의 시야와 동등 또는 보다 넓은 범위의 영상을 취득할 수 있는 것이어도 된다. 카메라는, 1개이어도 되고, 복수의 시점에서 복수의 영상을 동시에 취득할 수 있도록 복수이어도 된다.

HMD(30)의 카메라로 촬영되는 영상은, 무선 기술을 이용하여, HMD(30)의 무선기로부터 표시 제어 장치(40)로 보내진다. 여기서, 기존의 기술을 이용하여, HMD(30)의 무선기의 위치를 파악함으로써, 작업자의 위치를 시인할 수 있다. 따라서, 상시적으로, 작업자의 위치 정보가 표시 제어 장치(40)로 송신되고, 필요에 따라서, 표시 제어 장치(40)에 있어서 지원 정보의 작성 처리에 이용된다. 지원 정보라 함은, 작업자가 요구하는 정보나 작업자에 주지시키고자 하는 정보를 가리키고, 그 구체예에 대해서는, 후술한다.

표시 제어 장치(40)의 데이터베이스 컴퓨터(41)는, 제어부(21), HMD(30) 및 고객처 호스트 컴퓨터(45)와의 사이에서 필요한 정보의 송수신에 관한 제어를 행한다. 또한, 데이터베이스 컴퓨터(41)는, 기판 처리 장치(10)의 메인터넌스에 관한 정보를 데이터베이스로서 구비하고 있고, 이 데이터베이스에 축적된 정보와, 제어부(21), HMD(30) 및 고객처 호스트 컴퓨터(45)로부터 수집한 정보에 기초하여, 작업자에게 제공하는 지원 정보를 추정한다. 또한, 데이터베이스 컴퓨터(41)는, 추정한 지원 정보를 화상화하여 HMD(30)에 공급하기 위해, 화상 작성 컴퓨터(42)에 대해, 지원 정보의 화상화를 지시함과 함께, 화상화에 필요한 정보를 제공한다. 화상 작성 컴퓨터(42)는, 데이터베이스 컴퓨터(41)로부터의 지시에 기초하여, HMD(30)에 공급하는 지원 정보로서, HMD(30)에 표시하는 화상이나 영상을 작성하고, HMD(30)에 공급한다.

HMD(30)는, 화상 작성 컴퓨터(42)로부터 공급되는 화상이나 영상을, 작업자가 시인할 수 있도록, 작업자의 시인 영상에 중첩하여 표시하거나, 혹은 작업자의 직접적인 시인 영상을 가리고 표시하거나, 혹은 작업자의 시야 범위의 끝의 영역(작업자가 시선을 움직임으로써 시인할 수 있는 위치)에 표시할 수 있다.

제어부(21)는, 무선 LAN 등의 네트워크를 통해 표시 제어 장치(40)와 통신 가능하게 접속되어 있고, 표시 제어 장치(40)로부터의 조회에 따라서, 기판 처리 장치(10)의 구조나 상태에 관한 정보, 예를 들어 제1 반송 장치(17)의 가동 상태(움직임), 프로세스 모듈(12)에 있어서의 진공 챔버의 진공도나 내부 온도, 웨이퍼(W)의 위치, 게이트 밸브(16)의 개폐 상태, 각종 배관을 흐르는 가스종 등을 표시 제어 장치(40)에 제공한다.

또한, 예를 들어 기판 처리 장치(10)에 있어서의 고정 정보, 예를 들어 프로세스 모듈(12)에 접속된 각종 배관의 배치, 각종 배관의 용도, 각 배관을 흐르는 가스종 등에 대해서는, 표시 제어 장치(40)의 데이터베이스 컴퓨터(41)에 미리 등록되어 있어도 된다. 데이터베이스 컴퓨터(41)에 등록되어 있는 정보에 대해서는 제어부(21)에의 조회를 생략할 수 있다.

고객처 호스트 컴퓨터(45)는, 기판 처리 장치(10)가 설치되어 있는 클린룸 등의 장소의 레이아웃, 기판 처리 장치(10) 이외의 장치나 기계의 움직임 등을 관리하고 있고, 무선 LAN 등의 네트워크를 통해 표시 제어 장치(40)와 통신 가능하게 접속되어 있다. 작업자가, 기판 처리 장치(10)의 제조 회사 또는 그 관련 회사의 관계자인 경우에는, 작업자는, 기판 처리 장치(10)가 설치되어 있는 클린룸 등의 장소의 레이아웃이나 클린룸에 배치된 다른 장치 등에 대해서는 주지하고 있지 않다. 따라서, 고객처 호스트 컴퓨터(45)가 보유하는 정보를 활용함으로써, 작업자에 대해 제공 가능한 지원 정보를 충실하게 할 수 있다.

표시 제어 장치(40)는, HMD(30)의 카메라를 통해 얻어지는 영상 정보와 확장 현실(AR : Augmented Reality)을 조합하여, 작업자가 요구하는 정보[작업자의 눈에는 직접적으로는 보이지 않는 온도(열), 압력, 가스종 등의 정보 등]나 작업자에 주지시키고자 하는 정보[기판 처리 장치(10)가 설치되어 있는 장소에 배치된 다른 장치에 관한 정보 등] 등의 지원 정보를 추정하는 연산 처리를 행한다. 그리고, 표시 제어 장치(40)는, 연산 처리의 결과인 지원 정보를, 메인터넌스 작업시에 실시간으로 화상이나 영상으로서 HMD(30)에 표시함으로써, 작업자에게 시인할 수 있도록 제공한다.

기판 처리 시스템(100A)에 있어서의 HMD(30)에의 지원 정보의 표시 형태, 즉, 작업자에의 지원 정보의 제공 형태에 대해, 이하에 구체예(제1 예∼제4 예)를 들어 설명한다.

제1 예에서는, 작업자의 눈에는 직접적으로는 보이지 않는 온도(열)나 압력, 가스종 등의 정보를 가시화하여, 실제로 시인하고 있는 부위의 영상에 중첩 표시한다. 이에 의해, 예를 들어 고온으로 되어 있는 부위에 부주의하게 접촉하거나 하여 화상을 입는 등의 사고나, 충전된 가스에 의해 양압으로 되어 있는 부분을 부주의하게 개방해 버리는 것에 의한 가스 누설 등의 사고의 발생을 방지할 수 있다.

예를 들어, 작업자가, 도 2에 도시하는 시인 영상 A에 나타내는 3개의 배관(51, 52, 53)을 실제로 시인하고 있고, 배관(51, 52, 53)에는 각각 마커로서의 바코드(51a, 52a, 53a)가 부착되어 있는 것으로 한다. 또한, 본 설명을 위해 이용하는 부호 51∼53, 51a∼53a, 55, 56 및 후술하는 α, β, γ의 문자 자체는 시인 영상 A에 표시되는 것은 아니다.

작업자의 HMD(30)의 조작에 의해 또는 HMD(30)의 카메라의 영상으로부터 자동적으로, 표시 제어 장치(40)의 데이터베이스 컴퓨터(41)는, HMD(30)로부터 취득한 영상의 바코드(51a∼53a)를 인식하고, 바코드(51a∼53a)와 결부(관련)된 지원 정보를 취득한다. 여기서는, 지원 정보로서, 배관(51, 52, 53)을 흐르는 가스종, 방향, 위험성(유독성)에 관한 정보 등의, 사람의 눈으로는 볼 수 없는 정보가 취득 된 것으로 한다. 또한, 지원 정보는, 데이터베이스 컴퓨터(41)에 미리 저장되어 있는 것이어도 되고, 제어부(21)에 대해 조회를 행한 결과로서 취득한 것이어도 된다.

데이터베이스 컴퓨터(41)는, 지원 정보를 취득하면, 취득한 지원 정보를 화상 정보로서 HMD(30)에 표시시키기 위해, 화상 작성 컴퓨터(42)에 지원 정보의 화상화를 명령한다. 화상 작성 컴퓨터(42)는, 데이터베이스 컴퓨터(41)로부터 취득한 지원 정보를 화상화하고, 작성한 화상(지원 정보 화상)을 작업자가 시인하고 있는 영상에 중첩되도록 HMD(30)에 송신한다.

데이터베이스 컴퓨터(41)가 취득한 지원 정보에, 배관(51)을 흐르는 가스는 독성이 강하고, 배관(52)을 흐르는 가스에는 독성이 없고, 배관(53)을 흐르는 가스는, 배관(51)을 흐르는 가스보다도 독성이 낮다는 정보가 포함되어 있는 것으로 한다. 이 경우, 도 2에 도시하는 시인 영상 A와 같이, 예를 들어 작업자가 실제로 시인하고 있는 배관(51, 52, 53)의 각각에, 가스의 흐름을 나타내는 화살표 α, β, γ가 표시되는 동시에, 배관(51)에는 독성이 강한 것을 나타내는 짙은 도트 해칭 틀(55)이 중첩 표시되고, 배관(53)에는 독성이 있는 것을 나타내는 옅은 도트 해칭 틀(56)이 중첩 표시된다. 이에 의해, 작업자는, 배관(51∼53)의 상태를 확인할 수 있고, 또한 배관(51∼53)에 대한 작업을 행할 때의 주의 환기를 작업자에게 재촉할 수 있다.

또한, 도 2의 시인 영상 A에서는, 도트의 농담으로 가스의 독성을 표현하고 있지만, 실제의 화상에서는, 독성이 강한 가스가 흐르고 있는 배관(51)에 대해 나타낸 도트 해칭 틀(55) 전체를 비치는 적색으로, 또한 배관(53)에 대해 나타낸 도트 해칭 틀(56) 전체를 비치는 황색 등으로 표시하거나 할 수 있고, 이에 의해 독성에 대한 판단을 직감적으로 용이하게 할 수 있다. 또한, 여기서는, 가스의 독성의 강함을 농담이나 색으로 표현하는 것으로 하였지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어 각 배관에 가스종의 화학식이나 명칭이 표시되도록 해도 된다.

시인 영상 A에서는 배관(51∼53)을 들었지만, 예를 들어 프로세스 모듈(12)의 진공 챔버에 대한 메인터넌스를 위해 진공 챔버의 덮개를 개방하는 작업을 행하는 경우에는, 진공 챔버의 덮개에 대한 현실의 시인 영상에, 진공 챔버 내의 압력이나 온도를 색으로 구분하여 표시함(예를 들어, 상압 또한 상온이면 안전한 것을 나타내는 청색, 감압 또는 고온이면 위험한 것을 나타내는 적색으로 함)으로써, 작업자에게 주의 환기를 재촉할 수 있다. 또한, 데이터베이스 컴퓨터(41)가, 진공 챔버의 상태에 따른 금후의 작업의 진행 플로우를 취득 가능한 경우에는, HMD(30)에 그 진행 플로우를 표시시킴으로써, 작업자의 작업을 지원할 수도 있다.

제2 예에서는, 표시 제어 장치(40)는, 기판 처리 장치(10)의 내부를 가시화한다. 즉, 표시 제어 장치(40)는, 외부로부터는 시인이 곤란한 기판 처리 장치(10)의 내부 부위의 2D 그래픽 또는 3D 그래픽을 작성하고, 작성한 그래픽 영상을 HMD(30)에 표시한다. 이에 의해, 작업자가, 기판 처리 장치(10)의 내부의 상황을 파악하여, 각종 구동 부위의 가동 상태를 확인할 수 있도록 한다.

예를 들어, 진공 분위기에서의 처리를 행하는 프로세스 모듈(12)의 진공 챔버는, 알루미늄 등의 불투명한 재료로 구성되어 있으므로, 감시창으로부터의 육안에 의해 얻어지는 정보는 많지는 않다. 따라서, 작업자가, 기판 처리 장치(10)의 외부로부터 프로세스 모듈(12)을 보았을 때에 프로세스 모듈(12)의 외면에 마련된 바코드를 시인하면, 그 위치로부터 프로세스 모듈(12)의 내부를 투시하였을 때의 간결한 그래픽 영상(지원 정보 화상)이, 도 2의 시인 영상 B와 같이 HMD(30)에 표시된다.

시인 영상 B의 그래픽 영상은, 데이터베이스 컴퓨터(41)가 제어부(21)에 대해, 기판 처리 장치(10)의 가동 상황을 조회하고, 제어부(21)로부터 취득하는 가동 상황에 관한 정보를 화상 작성 컴퓨터(42)로 영상화함으로써 작성할 수 있고, 제어부(21)로부터 계속해서 정보를 취득함으로써, 동화상으로서의 표시가 가능하게 된다.

그래픽 영상을 HMD(30)에 표시할 때에는, HMD(30)에 대한 표시 조작에 의해, 작업자는 HMD(30)에 스크린이 걸린 상태로 되어 프로세스 모듈(12)의 외벽을 직시할 수 없고, 그래픽 영상만이 보이도록 해도 된다. 한편, 외벽을 비치도록 그래픽 영상을 비출 수도 있다. 또한, 도 2에서는 2D 그래픽 영상을 나타냈지만, 3D 그래픽 영상이어도 된다. 또한, 시인하는 바코드에 따라서, 프로세스 모듈(12)만의 그래픽 영상만을, 제1 반송 장치(17)만의 그래픽 영상만을, 혹은 웨이퍼(W)의 위치만을 나타내는 그래픽 영상만을, HMD(30)에 표시하도록 해도 된다. 또한, 시인 영상 B에는, 편의상, 포크(17b)를 나타내는 부호 「17b」 등을 나타내고 있지만, 이들 부호는 HMD(30)에 실제로 표시되는 것은 아니다.

제3 예에서는, 표시 제어 장치(40)는, 기판 처리 장치(10)가 설치된 클린룸 내에 있어서 웨이퍼(W)를 수용한 후프를 반송하는 무인 반송 장치 등의 기판 처리 장치(10) 이외의 장치의 움직임에 관한 정보를 화상으로서 HMD(30)에 표시한다. 이에 의해, 작업자가 무인 반송 장치와 접촉하거나 하는 사고를 미연에 방지할 수 있다.

구체적으로는, 데이터베이스 컴퓨터(41)는, HMD(30)의 카메라 영상을 송신하는 무선기의 위치를 작업자의 위치로서 특정하고, 동시에, 고객처 호스트 컴퓨터(45)로부터 무인 반송 장치 등의 움직임에 관한 정보를 취득한다. 그리고, 작업자와 무인 반송 장치 등과의 거리가 미리 정해진 일정 거리를 하회하였을 때에, 무인 반송 장치 등이 작업자에게 접근하고 있는 것과, 그 거리 및 방향을 화상으로서 HMD(30)에 표시하여 작업자에게 시인시키어, 작업자에게 주의를 재촉한다. 이에 의해, 작업자의 안전 확보를 도모할 수 있다.

제4 예에서는, 표시 제어 장치(40)는, 기판 처리 장치(10)가 설치된 클린룸 내에서 재해가 발생하였을 때에, 작업원에 대해, 대처 방법의 지시나 피난 유도를 행한다. 예를 들어, 작업자가 기판 처리 장치(10)의 메인터넌스를 행하고 있을 때에, 클린룸 내에서 기판 처리 장치(10) 또는 다른 장치로부터의 발화나 가스 누설 등의 사고(재해)가 발생한 경우에는, 클린룸을 관리하는 고객처 호스트 컴퓨터(45)로부터 표시 제어 장치(40)에 재해 정보(발생 위치, 재해 내용 등)가 보내진다.

표시 제어 장치(40)는 수신한 재해 정보를 화상화하여 HMD(30)에 표시하고, 그때에 동시에, 대처 방법(예를 들어, 작은 발화인 경우에 초기 소화를 행하기 위해 소화기의 설치 위치의 지시, 가스 누설인 경우에 긴급 개폐 밸브를 폐쇄하기 위한 조작 순서, 혹은 클린룸으로부터의 피난 루트의 지시 등)을 표시한다. 이에 의해, 작업원의 안전 확보를 도모할 수 있고, 또한 큰 재해로의 발전을 억제할 수 있다.

도 3은, 기판 처리 장치(10)의 작업자에 대해 필요한 정보를 제공하는 표시 제어 장치(40)를 기판 처리 장치(10)에 적용하여 구성되는 제2 기판 처리 시스템(100B)의 전체 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다.

기판 처리 시스템(100B)은, 도 2에 도시한 기판 처리 시스템(100A)과 비교하면, 표시 제어 장치(40)는, 고객처 호스트 컴퓨터(45)와는 연계되어 있지 않고, 한편, 인터넷 등의 도시하지 않은 네트워크를 통해 기판 처리 장치(10)의 설치 장소와는 다른 원격지 등의 장소에 있는 정보 단말로서의 퍼스널 컴퓨터(PC)(61, 62)와 연계되어 있는 점에서 다르고, 또한 표시 제어 장치(40)의 데이터베이스 컴퓨터(41)가 기판 처리 장치(10)의 메인터넌스용 작업 매뉴얼을 구비하는 점에서 다르고, 또한 작업자로부터 음성 정보를 표시 제어 장치(40)로 송신할 수 있는 동시에, 작업자는 표시 제어 장치(40)로부터 음성 정보를 취득할 수 있는 점에서 다르다. 또한, PC(61, 62)는, 소위, 스마트폰(휴대 전화)으로 대체하는 것도 가능하다.

이러한 기판 처리 시스템(100B)에 있어서의 HMD(30)에의 지원 정보의 표시 형태, 즉, 작업자에의 지원 정보의 제공 형태에 대해, 이하에 구체예(제5 예∼제7 예)를 들어 설명한다.

제5 예에서는, 표시 제어 장치(40)는, 기판 처리 장치(10)의 메인터넌스를 행할 때의 매뉴얼을 작업자의 HMD(30)에 표시한다. 매뉴얼은, 작업자가 수동으로 HMD(30)에 표시시키도록 해도 되고, 상술한 무선 기술을 이용하여 데이터베이스 컴퓨터(41)가 작업자의 위치를 특정하고, 특정된 위치에 관련지어진 매뉴얼이 표시되도록 해도 되고, 또한 장치에 마련된 바코드 등의 마크가 인식되면, 그 마크에 관련지어진 매뉴얼이 표시되도록 해도 된다.

이에 의해, 작업자는, 매뉴얼 책자(종이 매체)나 퍼스널 컴퓨터, 기판 처리 장치(10)의 조작 화면을 확인하는 것을 필요로 하는 일이 없어지므로, 작업 효율을 높이고, 또한 확실한 작업을 행하는 것이 가능하게 된다. 또한, 문자에 의한 설명뿐만 아니라, 화상에 의한 순서가 표시되는 구성으로 함으로써, 작업자는, 매뉴얼로서 제공되는 화상과 실제로 시인하고 있는 메인터넌스 부위를 비교하여 작업을 행하는 것이 가능하게 되어, 이에 의해 정확한 작업의 수행이 가능하게 된다.

제6 예에서는, 표시 제어 장치(40)는, 교환 시기가 가까워지고 있는 부품(소모 부품을 포함함)과 그 교환 시기를 나타내는 정보를 화상으로서 시인 영상에 중첩하여 표시한다. 이 경우, 표시 제어 장치(40) 또는 제어부(21) 중 어느 하나가, 과거의 메인터넌스의 결과 등에 기초하여 결정된 다음의 부품 교환 시기에 관한 정보를 보유해 둘 필요가 있다. 도 3의 시인 영상 C는, 일례로서, 밸브 근방의 패킹에 대해, 교환 시기가 가까운 것을 나타내는 화상이, 시인 영상에 중첩하여 표시된 상태를 나타내고 있다.

부품 교환 시기를 나타내는 정보에 기초하여, 작업자는, 부품 교환을 행할지 여부를 판단할 수 있다. 이때, 표시 제어 장치(40) 또는 제어부(21)에 교환 부품의 재고 정보를 보유시켜 둠으로써, 예를 들어 부품 교환 시기를 나타내는 정보의 배경을, 부품 재고가 있으므로 바로 교환 작업을 할 수 있는 경우에는 옅은 청색으로 하고, 부품 재고가 없는 경우에는 황색으로 하거나 하여, 교환 작업을 실행 가능한지 여부의 판단을 지원하도록 해도 된다.

또한, 도 2의 기판 처리 시스템(100A)을 참조하여 설명한 바와 같이, 기판 처리 장치(10)의 내부를 그래픽화하여 HMD(30)에 표시하였을 때에, 그 그래픽 화면에 부품의 교환 시기를 지시하는 정보를 화상으로서 중첩하여 표시하도록 해도 된다. 이에 의해, 직접적인 시인이 곤란한 부위의 부품에 대한 메인터넌스를 확실하게 행하는 것이 가능하게 된다.

제7 예에서는, 실제로 기판 처리 장치(10)의 메인터넌스 작업을 행하고 있는 작업자에 대해, 기판 처리 장치(10)의 설치 장소로부터 떨어진 장소에 있는 기술자 등으로부터 지원 정보를 제공한다. 이에 의해, 작업자에 의한 적절한 작업의 수행이 가능하게 된다. 이 경우, 표시 제어 장치(40)는, 작업자가 시인하고 있는 영상 정보와 작업자로부터의 음성 정보를 실시간으로 PC(61, 62)에 송신한다. 이때, 작업 부위를 확대 촬영함으로써 작업 부위의 상태를 보다 명확하게 PC(61, 62)에 보낼 수 있다. PC(61, 62)의 모니터에 비치는 영상을 보고 있는 숙련 기술자나 별도의 기술자(필드 엔지니어 등)는, 작업자에 대해 적절하고 또한 구체적인 작업 내용이나 대처 방법을 어드바이스(지시)하면서, 그 작업 내용을 확인할 수 있다. 이와 같이 하여, 작업자의 작업 효율을 높이는 동시에, 보다 적절한 처치가 가능하게 된다.

또한, PC(61, 62)의 모니터에 비치는 영상에는, 제1 예에서 설명한 바와 같이, 작업자의 눈에는 직접적으로는 보이지 않는 온도(열)나 압력, 가스종 등의 정보를 가시화한 화상을 중첩 표시함으로써, 숙련 기술자나 별도의 기술자에게도 작업 부위에 관한 보다 상세한 정보를 전달하는 것도 바람직하다. 이에 의해, 숙련 기술자나 별도의 기술자는, 보다 용이하고 또한 정확하게 현재 상태를 파악하는 것이 가능하게 된다.

상술한 예는, 작업자가 1명인 경우의 예이지만, 복수의 작업자에 의한 메인터넌스를 행할 필요가 있는 경우에, 개개의 작업원이 HMD(30)를 장착하고, 표시 제어 장치(40)로부터의 지원 정보의 제공을 받음으로써, 메인터넌스 작업을 안전하게 행하는 것이 가능하게 된다.

도 4는, 2인이 작업을 행하는 경우의 각 작업원의 위치와 시인 영상(시야)을 모식적으로 도시하는 도면이다. 도 4에서는, 작업자(a, b)는 기판 처리 장치(10)를 사이에 둔 위치에 있으므로, 작업자(a)로부터는 작업자(b)가 보이지 않고, 작업자(b)로부터도 작업자(a)가 보이지 않는다. 이러한 상황에 있어서, 작업자(a, b)가 협동하여 작업을 행해야 하는 경우, 예를 들어 한쪽이 전원 조작을 행하고, 그 전원 조작에 따라서 다른 쪽이 배선 확인을 행하는 경우에, 작업자(a)가 실제로 시인하고 있는 영상(71)을 작업자(b)의 HMD(30)의 시야의 끝에 영상(71a)으로서 비추고, 반대로, 작업자(b)가 실제로 시인하고 있는 영상(72)을 작업자(a)의 HMD(30)의 시야의 끝에 영상(72a)으로서 비춘다. 즉, 상대의 시점을 서로 HMD(30)에 비춘다.

이에 의해, 작업자(a, b)는 상대의 동작을 확인할 수 있으므로, 전원을 잘못하여 ON으로 하거나, 전원이 ON으로 되어 있을 때에 배선을 확인하거나 하는 등, 상대가 직접적으로는 보이지 않는 것에 기인하는 사고의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 도 4에 도시한 시인 영상을 얻는 것은, 도 2의 기판 처리 시스템(100A)과 도 3의 기판 처리 시스템(100B) 중 어느 것을 이용해도 실현이 가능하지만, 기판 처리 시스템(100B)을 이용하면, 작업원의 음성 정보를 화상 정보와 병용하는 것이 용이하다.

이상의 설명과 같이, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 기판 처리 장치(10)의 메인터넌스에 관계되는 작업자는, 메인터넌스 작업시에 필요로 하는 정보나 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 실시간으로 시각적으로 취득할 수 있다. 이에 의해 메인터넌스 작업을 정확하고 또한 신속하게 행하는 것이 가능하게 되고, 또한 작업 사고의 발생을 억제할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 기판 처리 시스템(100A, 100B)에서 실행 가능한 상술한 각종 예의 기능을 조합할 수 있다.

또한, HMD(30)에 작업자의 동공 직경과 밝기를 검지하는 기능을 설정하고, 또한 HMD(30)에 HMD(30)가 ON 되고 나서의 시간(작업 시간)을 측정하는 기능을 설정하고[또는, 표시 제어 장치(40)에 HMD(30)로부터의 영상 수신 개시로부터의 시간을 작업 시간으로서 측정하는 기능을 설정하고], 표시 제어 장치(40)가, 동공 직경과 작업 시간에 기초하여 작업자의 피로도를 추정하여, 작업자에게 휴식을 재촉하는 화상을 HMD(30)에 표시하는 것도 가능하다. 이에 의해, 작업자의 피로에 기인하는 사고의 발생을 방지할 수 있다.

또한, 상기한 실시 형태에서는, 웨이퍼(W)에 플라즈마 처리를 행하는 기판 처리 장치(10)에 표시 제어 장치(40)를 조합하여 시스템을 구성하였지만, 표시 제어 장치(40)와의 조합이 가능한 장치는 이것에 한정되지 않고, 표시 제어 장치(40)를 세정 장치, 성막 장치, 열처리 장치 등의 다른 반도체 제조 장치와 조합하여 시스템을 구성하는 것도 가능하다. 또한, 표시 제어 장치(40)는, 반도체 제조 장치에 한정되지 않고, 메인터넌스를 필요로 하는 장치 전반에 적용할 수 있고, 예를 들어 액정 패널 등의 글래스 기판을 취급하는 기판 처리 장치 등에 적용할 수 있다.

10 : 기판 처리 장치
12 : 프로세스 모듈
14 : 로드 로크 모듈
21 : 제어 장치
30 : 헤드 마운트 디스플레이(HMD)
40 : (지원 정보) 표시 제어 장치
41 : 데이터베이스 컴퓨터
42 : 화상 작성 컴퓨터
61, 62 : 퍼스널 컴퓨터(PC)
100A, 100B : 기판 처리 시스템

Claims

컴퓨터가, 작업자에 의한 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 상기 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 표시하는 지원 정보 표시 방법으로서,
상기 헤드 마운트 디스플레이가 구비하는 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하는 영상 취득 스텝과,
상기 영상 취득 스텝에 의해 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 소정의 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하는 추정 스텝과,
상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소에 있어서 발생한 재해 정보 또는 상기 장소에 설치되어 있는 다른 장치가 상기 작업자에게 접근하고 있는 것을 나타내고 상기 작업자의 눈에는 직접적으로 보이지 않는, 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 취득하는 정보 취득 스텝과,
상기 추정 스텝에서 추정한 지원 정보 및 상기 정보 취득 스텝에서 취득한 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 화상화하는 화상 작성 스텝과,
상기 화상 작성 스텝에서 작성된 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써 상기 작업자에 상기 지원 정보 및 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 시인시키는 표시 스텝을 포함하고,
상기 지원 정보는, 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행하는 소정의 부위에 대한 메인터넌스의 내용을 나타내는 매뉴얼을 포함하는, 지원 정보 표시 방법.
제1항에 있어서,
상기 지원 정보는, 상기 소정의 부위의 온도 또는 압력, 상기 소정의 부위를 흐르는 가스종, 상기 소정의 부위의 부품 교환 시기 중 적어도 하나를 더 포함하는, 지원 정보 표시 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 표시 스텝에서는, 상기 작업자가 상기 헤드 마운트 디스플레이를 통해 실제로 시인하고 있는 상기 소정의 부위의 영상에, 상기 화상 작성 스텝에서 작성된 화상을 중첩하여 표시하는, 지원 정보 표시 방법.
삭제
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 표시 스텝에서는, 상기 작업자가 복수인 경우에, 적어도 1명의 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이의 카메라를 통해 얻어지는 영상을, 다른 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 표시하는, 지원 정보 표시 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 표시 스텝에서 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시되는 영상을, 네트워크를 통해, 상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소와는 다른 장소에 있는 정보 단말의 디스플레이에 표시하는 외부 표시 스텝과,
상기 외부 표시 스텝에 의해 상기 정보 단말의 디스플레이에 표시된 영상을 본 기술자로부터의 어드바이스를 상기 작업자에게 전달하는 전달 스텝
을 더 갖는 지원 정보 표시 방법.
제1항에 있어서,
상기 화상 작성 스텝에서는 상기 소정의 부위의 그래픽 영상이 작성되고,
상기 표시 스텝에서는, 상기 헤드 마운트 디스플레이에 스크린이 걸린 상태로 되어, 상기 작업자는, 상기 소정의 부위를 직시할 수 없고, 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시되는 상기 그래픽 영상만이 시인 가능하게 되는, 지원 정보 표시 방법.
작업자에 의한 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 표시함으로써 상기 메인터넌스 작업을 지원하는 기판 처리 장치의 보수 지원 방법으로서,
컴퓨터가, 상기 헤드 마운트 디스플레이가 구비하는 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하고, 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 소정의 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하고, 상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소에 있어서 발생한 재해 정보 또는 상기 장소에 설치되어 있는 다른 장치가 상기 작업자에게 접근하고 있는 것을 나타내고 상기 작업자의 눈에는 직접적으로 보이지 않는, 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 취득하고, 추정한 지원 정보 및 취득한 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 화상화하고, 작성된 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써, 상기 지원 정보 및 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보가 상기 작업자에게 시인되고,
상기 지원 정보는, 상기 소정의 부위의 온도 또는 압력, 상기 소정의 부위를 흐르는 가스종, 상기 소정의 부위에 대한 메인터넌스의 내용을 나타내는 매뉴얼, 상기 소정의 부위의 부품 교환 시기 중 적어도 하나를 포함하는 기판 처리 장치의 보수 지원 방법.
작업자에 의한 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 상기 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 표시하는 지원 정보 표시 제어 장치로서,
상기 헤드 마운트 디스플레이가 구비하는 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하는 영상 취득부와,
상기 영상 취득부가 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 소정의 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하는 추정부와,
상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소에 있어서 발생한 재해 정보 또는 상기 장소에 설치되어 있는 다른 장치가 상기 작업자에게 접근하고 있는 것을 나타내고 상기 작업자의 눈에는 직접적으로 보이지 않는, 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 취득하는 정보 취득부와,
상기 추정부가 추정한 지원 정보 및 상기 정보 취득부에서 취득한 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 화상화하는 화상 작성부와,
상기 화상 작성부가 작성한 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써, 상기 작업자에게 상기 지원 정보 및 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 시인시키는 표시 제어부를 구비하고,
상기 지원 정보는, 상기 소정의 부위의 온도 또는 압력, 상기 소정의 부위를 흐르는 가스종, 상기 소정의 부위에 대한 메인터넌스의 내용을 나타내는 매뉴얼, 상기 소정의 부위의 부품 교환 시기 중 적어도 하나를 포함하는, 지원 정보 표시 제어 장치.
제9항에 있어서,
상기 표시 제어부는, 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시되는 영상을, 네트워크를 통해, 상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소와는 다른 장소에 있는 정보 단말의 디스플레이에 표시하고, 상기 정보 단말의 디스플레이에 표시된 영상을 본 기술자로부터의 어드바이스를 상기 작업자에게 전달하는, 지원 정보 표시 제어 장치.
기판에 대해 소정의 처리를 행하는 기판 처리 장치와,
작업자에 의한 상기 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 작업자가 장착하는 헤드 마운트 디스플레이와,
상기 작업자가 상기 메인터넌스 작업시에 시인하는 영상을 촬영하는 카메라와,
상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 화상으로서 실시간으로 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써 상기 지원 정보를 상기 작업자에게 제공하는 지원 정보 표시 제어 장치를 구비하고,
상기 지원 정보 표시 제어 장치는,
상기 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 상기 작업자가 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하는 영상 취득부와,
상기 영상 취득부가 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 정보를 축적하는 데이터베이스와,
상기 데이터베이스에 축적된 정보로부터 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 추정하는 추정부와,
상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소에 있어서 발생한 재해 정보 또는 상기 장소에 설치되어 있는 다른 장치가 상기 작업자에게 접근하고 있는 것을 나타내고 상기 작업자의 눈에는 직접적으로 보이지 않는, 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 취득하는 정보 취득부와,
상기 추정부가 추정한 지원 정보 및 상기 정보 취득부에서 취득한 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 화상화하는 화상 작성부와,
상기 화상 작성부가 작성한 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써, 상기 작업자에게 상기 지원 정보 및 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 시인시키는 표시 제어부
를 구비하고,
상기 지원 정보는, 상기 소정의 부위의 온도 또는 압력, 상기 소정의 부위를 흐르는 가스종, 상기 소정의 부위에 대한 메인터넌스의 내용을 나타내는 매뉴얼, 상기 소정의 부위의 부품 교환 시기 중 적어도 하나를 포함하는, 기판 처리 시스템.
제11항에 있어서,
상기 기판 처리 장치는 반도체 웨이퍼를 처리하는 반도체 제조 장치인, 기판 처리 시스템.
제11항 또는 제12항에 있어서,
상기 지원 정보 표시 제어 장치와 네트워크를 통해 접속되는 정보 단말을 더 갖고,
상기 지원 정보 표시 제어 장치는 상기 정보 단말의 디스플레이에 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시되어 있는 영상과 동일한 영상을 표시시키는, 기판 처리 시스템.
컴퓨터에, 작업자에 의한 기판 처리 장치의 메인터넌스 작업시에 상기 메인터넌스에 관한 지원 정보를 실시간으로 상기 작업자가 장착하고 있는 헤드 마운트 디스플레이에 표시하는 지원 정보 표시 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 저장한 기록매체로서,
상기 지원 정보 표시 방법은,
상기 헤드 마운트 디스플레이가 구비하는 카메라를 통해 상기 기판 처리 장치에 있어서 메인터넌스를 행하는 소정의 부위를 찍은 영상을 취득하는 영상 취득 스텝과,
상기 영상 취득 스텝에 의해 취득한 영상에 포함되는 상기 소정의 부위에 관한 지원 정보를 소정의 데이터베이스에 축적된 정보로부터 추정하는 추정 스텝과,
상기 기판 처리 장치가 설치되어 있는 장소에 있어서 발생한 재해 정보 또는 상기 장소에 설치되어 있는 다른 장치가 상기 작업자에게 접근하고 있는 것을 나타내고 상기 작업자의 눈에는 직접적으로 보이지 않는, 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 취득하는 정보 취득 스텝과,
상기 추정 스텝에서 추정한 지원 정보 및 상기 정보 취득 스텝에서 취득한 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 화상화하는 화상 작성 스텝과,
상기 화상 작성 스텝에서 작성된 화상을 상기 헤드 마운트 디스플레이에 표시함으로써, 상기 작업자에게 상기 지원 정보 및 상기 작업자에게 주지시키고자 하는 정보를 시인시키는 표시 스텝을 포함하는,
프로그램을 저장한 기록 매체.