レーザーテックは、同社のSiCウエハー検査装置の最新機種がロームに採用されたと発表した。SiCウエハー表面の各種欠陥検査と内部欠陥を同時にかつ高速で検査できることを強みとしている。 レーザーテックは2015年8月、同社のSiC（シリコンカーバイド）ウエハー欠陥検査/レビュー装置の最新機種「SICA」がロームに採用されたと発表した。同社は、「パワーデバイス分野でSiCを中心に世界をリードするロームが、SiCデバイスのさらなる製品品質向上と生産体制の強化に向けた取り組みとして採用を決定した」とリリース上で語る。 表面と内部の欠陥を同時に検査 SiCは、次世代パワー半導体の新たな材料として大きな注目を集め、本格的な普及に向けて、SiCウエハーの高品質化への要望が高まっている。中でも、研磨プロセスやエピタキシャルプロセスは、ウエハー品質を決定する重要なプロセスとなる。特に、ウエハー表面のスクラッチ
EE Times Japanに掲載した記事を読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、“後発ながら”パワーMOSFETやIGBTなどのパワーデバイス分野で売り上げ規模を拡大させているロームに、その理由を聞いた記事を紹介します。 “後発・ローム”がパワーデバイスで成長できる理由 アイティメディアがモノづくり分野の読者向けに提供する「EE Times Japan」「EDN Japan」「MONOist」に掲載した主要な記事を、読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、“後発ながら”パワーMOSFETやIGBTなどのパワーデバイス分野で売り上げ規模を拡大させているロームに、その理由を聞いた記事を紹介します。 “後発・ローム”がパワーデバイスで成長できる理由 ロームはパワーMOSFETやIGBTなどのパ
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