JP2002254642A

JP2002254642A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JP2002254642A
Application number: JP2001061201A
Authority: JP
Inventors: Shuzo Matsumoto; 修三松本; Mitsuyoshi Fujii; 光美藤井; Seiji Hoshino; 誠治星野; Tomoki Kato; 知己加藤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2001-03-06
Filing date: 2001-03-06
Publication date: 2002-09-11

Abstract

(57)【要約】【課題】気泡が残留して安定したインク滴吐出特性が
得られない。【解決手段】インク供給部材２１とヘッドチップ２０
とを接合して共通液室８を形成し、インク供給部材２１
に共通液室８の端部壁面をラウンド化する凸部２３を設
けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドに
関する。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プ
ロッタ等の画像記録装置或いは画像形成装置として用い
るインクジェット記録装置において使用するインクジェ
ットヘッドとして、インク滴を吐出するノズルと、ノズ
ルが連通する加圧室（インク流路、インク室、吐出室、
圧力室、加圧液室等とも称される。）と、加圧室に流体
抵抗部を介して連通する共通液室と、加圧室のインクを
加圧する圧力発生手段、例えば圧電素子などの電気機械
変換素子、或いはヒータなどの電気熱変換素子、若しく
はインク流路の壁面を形成する振動板とこれに対向する
電極とを備えて、加圧室内の圧力／体積を変形させるこ
とによりノズルからインク滴を吐出させるものである。

【０００３】例えば静電型インクジェットヘッドとして
は、例えば特開平１１−３００９５９号公報に記載され
ているようなものがある。このインクジェットヘッド
は、図１２及び図１３に示すように、第１基板（流路基
板）２０１、第１基板２０１の下面に接合した第２基板
（電極基板）２０２、第１基板２０１の上面に接合した
第３基板（蓋部材）２０３とを積層して接合し、第１基
板にはノズル溝２０４、ノズル溝２０４が連通する加圧
室２０６及び加圧室２０６に流体抵抗部２０７を介して
連通する共通液室２０８、加圧室２０６の底面を形成す
る振動板２１０を設け、第２基板２０２には振動板２１
０に対向する電極を配置したものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、インクジェ
ットヘッドを用いた記録ヘッドは、カートリッジが交換
されたり、加圧室に気泡が進入して印刷不良が生じた場
合には、ノズルをキャップ部材で封止して負圧を作用さ
せ、インクカートリッジのインクを加圧室を経由させて
ノズルから排出させることにより、復帰動作をさせる。

【０００５】しかしながら、上述した従来のインクジェ
ットヘッドにあっては、インクカートリッジ等からイン
クを充填する場合、共通液室２０８に気泡Ｂが滞留し、
これがインクの吐出性能に悪影響を及ぼすという課題が
ある。

【０００６】すなわち、インクの充填時、共通液室２０
８において、図示しないインク供給口から共通液室２０
８を経て各加圧室２０６へのインクの流れ２０９が発生
する。この場合、中央部分では各加圧室２０６へインク
が流出するための流れがあるためにインク流速は比較的
速いが、共通液室２０８の末端側（両端部側）２１０で
は、インクの流れが極端に低下し淀みが発生し、気泡Ｂ
が排出されず共通液室２０８の端部２１０に留まること
になる。

【０００７】特に、基板２０１にシリコン基板を用いて
異方性エッチングで加圧室、振動板及び共通液室などを
形成するため、図１８に示すように、共通液室２０８の
断面形状は台形状（鋭角的）になり、またその断面積は
一定となることから、気泡がトラップされやすい構造と
なる。

【０００８】また、特に１列のノズル開口の数が多くな
ると、共通液室内の列方向の端部領域ではインク排出時
のインク流速が遅くなるため、滞留した気泡は、排出さ
れず共通液室の端部に留まる。このように端部に滞留し
た気泡を排出するためには、大量のインクを吸引する必
要があり、インクを浪費するという課題がある。

【０００９】しかも、共通液室の端部に気泡があると付
近の加圧室へのインクの流入に際して流路抵抗となって
しまうため、インクの流入が悪くなり必要なインク供給
が確保されずに噴射が不安定になり、或いは、振動等の
何らかの外乱により、滞留した気泡が加圧室内に移動
し、インク滴の吐出不能を引き起こすこともある。

【００１０】なお、共通液室の両端部で、その形状から
気泡が滞留しやすいときに、両端部のノズルを記録に用
いないダミーノズルとすることが考えられており、これ
は、特に、共通液室の端部ほどインクの流れも遅くな
り、気泡の残留位置は共通液室の両端部に特定される場
合に有効な手段となる。しかしながら、吸引動作の際に
はこれらのダミーノズルから多量のインク吸引を行なっ
て、気泡の除去を行なうためにやはりインクの無駄な消
費をすることは免れない。

【００１１】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、インク滴吐出安定性に優れ、インクの無駄な消
費量の少ないインクジェットヘッドを提供することを目
的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係るインクジェットヘッドは、圧力発生手
段の少なくとも一部を設けた基板とインクを供給するた
めのインク供給口を有するインク供給部材とを接合して
共通液室を形成し、インク供給部材の接合面側に基板の
共通液室の端部壁面をラウンド化する凸部を設けたもの
である。なお、本明細書において「ラウンド化」とは、
気泡滞留しにくい形状化にすることを意味し、円弧状化
に限定されない。

【００１３】本発明に係るインクジェットヘッドは、圧
力発生手段の少なくとも一部を設けた基板とインクを供
給するためのインク供給口を有するインク供給部材とを
接合して共通液室を形成し、インク供給部材と基板とを
接合する接着剤が共通液室側にはみ出して基板の共通液
室の端部壁面をラウンド化しているものである。

【００１４】本発明に係るインクジェットヘッドは、圧
力発生手段の少なくとも一部を設けた基板とインクを供
給するためのインク供給口を有するインク供給部材とを
接合して共通液室を形成し、基板の共通液室の端部壁面
を充填剤で埋めてラウンド化しているものである。

【００１５】これらの各本発明に係るインクジェットヘ
ッドにおいて、基板がシリコン基板であることが好まし
い。この場合、シリコン基板が結晶面方位（１００）の
シリコン基板であり、共通液室を形成する開口部の断面
形状がインク供給方向に狭まる形状であるものとするこ
とができる。また、インク供給部材が樹脂部材であるこ
とが好ましい。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明の第１実施形態
に係るインクジェットヘッドの分解斜視説明図、図２は
同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図、図３は図
２の要部拡大説明図、図４は同ヘッドの振動板短手方向
に沿う模式的断面説明図、図５は同ヘッドのノズル配列
方向に沿う断面説明図である。

【００１７】このインクジェットヘッドは、単結晶シリ
コン基板、ＳＯＩ基板などのシリコン基板等を用いた第
１基板である流路基板１と、この流路基板１の下側に設
けたシリコン基板を用いた第２基板である電極基板２
と、流路基板１の上側に設けたノズル板３とを備え、複
数のインク滴を吐出するノズル４、各ノズル４が連通す
る流路である加圧室６、各加圧室６にインク供給路を兼
ねた流体抵抗部７を介して連通する共通流路である共通
液室８などを形成している。

【００１８】流路基板１にはノズル４が連通する複数の
加圧室６及びこの加圧室６の壁面である底部をなす振動
板１０（電極を兼ねているが別に電極を形成しても良
い。）を形成する凹部及び共通液室８を形成するための
開口部９を形成している。

【００１９】ここで、流路基板１は、例えば単結晶シリ
コン基板を用いた場合、予め振動板厚さにボロンを注入
してエッチングストップ層となる高濃度ボロン層を形成
し、電極基板２と接合した後、加圧室６となる凹部をＫ
ＯＨ水溶液などのエッチング液を用いて異方性エッチン
グすることにより、このとき高濃度ボロン層がエッチン
グストップ層となって振動板１０が高精度に形成され
る。また、ベース基板に酸化膜を介して活性層基板を接
合したＳＯＩ基板を用いた場合には、活性層基板で振動
板１０を形成する。

【００２０】また、電極基板２には、単結晶シリコン基
板を用いて熱酸化法などで酸化膜層２ａを形成し、この
酸化膜層２ａの部分に電極形成用溝（凹部）１４を形成
して、この電極形成溝１４底面に振動板１０に対向する
電極１５を設け、振動板１０と電極１５との間にギャッ
プ１６を形成し、これらの振動板１０と電極１５とによ
って加圧室６内インクを加圧する圧力を発生する圧力発
生手段（アクチュエータ部）を構成している。

【００２１】この電極１５は外部に延設して外部駆動回
路に接続された接続手段と接続するための接続部（電極
取り出し部）１５ａとしている。また、電極１５表面に
はＳiＯ_２膜などの酸化膜系絶縁膜、Ｓi₃Ｎ_４膜などの
窒化膜系絶縁膜からなる電極保護膜１７を成膜してい
る。なお、電極１５の表面に電極保護膜１７を形成しな
いで、或いは電極１５の表面に電極保護膜１７を形成す
るとともに、振動板１０側に絶縁膜を形成することもで
きる。さらに、電極基板１２には共通液室８を形成する
ための開口部１９を形成している。

【００２２】これらの流路基板１と電極基板２との接合
は、接着剤による接合も可能であるが、より信頼性の高
い物理的な接合、ここでは、流路基板１及び電極基板２
をシリコン基板で形成しているので、シリコン−シリコ
ンの直接接合法を用いて接合している。この直接接合は
１０００℃程度の高温化で実施する。また、電極基板２
と流路基板１との間にパイレックス（登録商標）ガラス
を成膜し、この膜を介して陽極接合で接合することもで
きる。さらに、流路基板１と電極基板２にシリコン基板
を使用して金等のバインダーを接合面に介在させた共晶
接合で接合することもできる。

【００２３】また、電極基板２の電極１５としては、通
常半導体素子の形成プロセスで一般的に用いられるＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｎｉ等の高剛性部材や、Ｔｉ、ＴｉＮ、Ｗ等
の高融点金属、または不純物により低抵抗化した多結晶
シリコン材料などを用いることができる。電極基板２を
シリコンウエハで形成する場合には、電極基板２と電極
１５との間には絶縁層（上述した酸化膜層２ａ）を形成
する必要がある。なお、電極基板２にガラス基板、セラ
ミック基板等の絶縁性材料を用いる場合には電極１５と
の間に絶縁層を形成する必要はない。

【００２４】ノズル板３には多数のノズル４及び共通液
室８と加圧室６を連通するための流体抵抗部７を形成す
る溝部を形成している。ここでは、インク吐出面（ノズ
ル表面側）には撥水性皮膜を成膜している。このノズル
板３にはガラス基板、プラスチック板、ステンレス等の
金属板、シリコン基板、エレクトロフォーミング（電
鋳）工法によるニッケルメッキ膜、ポリイミド等の樹脂
にエキシマレーザー加工をしたもの、金属と樹脂とを積
層したもの等を用いることができる。このノズル板３は
流路基板１に接着剤で接合している。

【００２５】そして、流路基板１及び電極基板２で構成
されるヘッドチップ（アクチュエータユニット）２０に
インク供給部材２１を接着剤で接合し、圧力発生手段を
設けた基板であるヘッドチップ２０とこのインク供給部
材２１とで共通液室８を形成している。インク供給部材
２１は樹脂材料による射出成形で形成している。

【００２６】このインク供給部材２１には共通液室８に
外部のインクタンク或いはインクカートリッジからイン
クを供給するためのインク供給口２２を形成している。
そして、図５にも示すように、インク供給部材２１の電
極基板２との接合面には、共通液室８の端部壁面（ここ
では開口部１９の壁面）をラウンド化する断面略三角形
状の凸部２３を形成している。なお、この凸部２３はイ
ンク供給部材２１と一体成形でも良いし、或いは別部材
でも良い。

【００２７】また、インク供給部材２１にはインクカー
トリッジとのジョイント部材２５が連結されて、インク
供給部材２１に熱融着したフィルタ２６を介してインク
タンク又はインクカートリッジからインク供給口２３を
通じて共通液室８にインクが供給される。

【００２８】さらに、ヘッドチップ２０の電極取り出し
部１５ａにヘッド駆動回路であるドライバＩＣ（駆動用
ＩＣチップ）３０をワイヤボンドによって搭載したＦＰ
Ｃケーブル３１を異方性導電膜などを介して接続し、こ
のＦＰＣケーブル３１はインク供給部材２１に形成した
穴部２７を通して外部に引き出している。

【００２９】電極基板２とノズル板３との間（ギャップ
１６入口）を含めて電極取り出し部１５ａとノズル板３
との間は、エポキシ樹脂等の接着剤を用いたギャップ封
止剤３２にて気密封止し、ギャップ１６内に湿気が侵入
して振動板１０が変位しなくなるのを防止している。

【００３０】また、ヘッドチップ２０上のノズル板３と
インク供給部材２１との間をギャップ封止剤３３にて封
止接合し、撥水性を有するノズル板３表面のインクが電
極基板２やＦＰＣケーブル３１等に回り込むことを防止
している。

【００３１】このインクジェットヘッドにおいては、振
動板１０を共通電極とし、電極１５を個別電極として、
振動板１０と電極１５との間に駆動電圧を印加すること
によって、振動板１０と電極１５との間に発生する静電
力によって振動板１０が電極１５側に変形し、この状態
から振動板１０と電極１５間の電荷を放電させることに
よって振動板１０が復帰変形して、加圧室６の内容積
（体積）／圧力が変化することによって、ノズル４から
インク滴が吐出される。

【００３２】すなわち、個別電極とする電極１５にパル
ス電圧を印加すると、共通電極となる振動板１０との間
に電位差が生じて、個別電極１５と振動板１０の間に静
電力が生じる。この結果、振動板１０は印加した電圧の
大きさに応じて変位する。その後、印加したパルス電圧
を立ち下げることで、振動板１０の変位が復元して、そ
の復元力により加圧室６内の圧力が高くなり、ノズル４
からインク滴が吐出される。

【００３３】ここで、共通液室８を形成する電極基板２
の開口部１９を異方性エッチングで形成した場合には、
開口部１９の端部には結晶面方位の関係で傾斜面が発生
し、開口部１９は断面形状でインク供給方向に狭くなる
形状になる。そのため、インク供給部材２１の端面（接
合面）を電極基板２の裏面に接合して共通液室８を形成
した場合には、図７に示すように、電極基板２の開口部
１９壁面とインク供給部材２１の端面との間に気泡Ｂが
滞留し易くなる。

【００３４】そこで、このインクジェットヘッドにおい
ては、インク供給部材２１の接合面に開口部１９の両端
部壁面との間（共通液室１８の両端部）をラウンド化す
る断面略三角形状の凸部２３を設けているので、図６に
示すように、インク供給部材２１の接合面と開口部１９
の両端部壁面との間に気泡が滞留することが防止され
る。これによって、安定したインク滴噴射動作を行うこ
とができ、インクの無駄な消費も低減する。

【００３５】なお、ここで、インク供給部材２１を樹脂
材料による射出形成により形成することで、共通液室の
端部壁面をラウンド化する凸部形状を容易に形成するこ
とができる。

【００３６】次に、本発明の他の実施形態について図８
を参照して説明する。なお、同図は同実施形態のノズル
配列方向に沿う断面説明図である。この実施形態では、
アクチュエータ部が設置されている基板であるヘッドチ
ップ２０の電極基板２と、インク供給部材２１とを接合
することにより共通液室８を形成し、この共通液室８を
形成する電極基板２の開口部１９の端部壁面とインク供
給部材２１との間を充填材４１で埋めることによりラウ
ンド化している。充填材４１としては、加熱もしくは常
温硬化型のＳｉゴム等のシール材等を用いることができ
る。

【００３７】このようにインク供給部材２１の接合面と
開口部１９の両端部壁面との間（共通液室１８の両端
部）を充填剤４１を充填してラウンド化することによ
り、インク供給部材２１の接合面と開口部１９の両端部
壁面との間に気泡が滞留することが防止される。これに
よって、安定したインク滴噴射動作を行うことができ、
インクの無駄な消費も低減する。

【００３８】次に、本発明の更に他の実施形態について
図９を参照して説明する。なお、同図は同実施形態のノ
ズル配列方向に沿う断面説明図である。この実施形態で
は、アクチュエータ部が設置されている基板であるヘッ
ドチップ２０の電極基板２と、インク供給部材２１とを
接合することにより共通液室８を形成し、この共通液室
８を形成する電極基板２の開口部１９の端部壁面とイン
ク供給部材２１の接合面との間に、インク供給部材２１
とヘッドチップ２０とを接合するための接着剤４２の一
部をはみ出してラウンド化している。

【００３９】接着剤４２としては、エポキシ系、ゴム
系、等で対インク性の比較的良いものを用いることがで
きる。また、接着剤４２のはみ出し量としては共通液室
８の形状に応じて適宜選定するものであるが、通常は、
滞留する気泡径と同程度の１０〜１００ミクロン程度が
好ましい。

【００４０】このようにインク供給部材２１の接合面と
開口部１９の両端部壁面との間（共通液室１８の両端
部）を接合用接着剤４２の一部をはみ出させてラウンド
化することにより、インク供給部材２１の接合面と開口
部１９の両端部壁面との間に気泡が滞留することが防止
される。これによって、安定したインク滴噴射動作を行
うことができ、インクの無駄な消費も低減する。

【００４１】次に、本発明に係るインクジェット記録装
置の一例について図１０及び図１１を参照して説明す
る。なお、図１１は同記録装置の斜視説明図、図１２は
同記録装置の機構部の側面説明図である。このインクジ
ェット記録装置は、記録装置本体１１１の内部に主走査
方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本
発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、
記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で
構成される印字機構部１１２等を収納し、装置本体１１
１の下方部には前方側から多数枚の用紙１１３を積載可
能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）１１
４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙１
１３を手差しで給紙するための手差しトレイ１１５を開
倒することができ、給紙カセット１１４或いは手差しト
レイ１１５から給送される用紙１１３を取り込み、印字
機構部１１２によって所要の画像を記録した後、後面側
に装着された排紙トレイ１１６に排紙する。

【００４２】印字機構部１１２は、図示しない左右の側
板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２と従
ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方向
（図１５で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキ
ャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マ
ゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐
出する本発明に係るインクジェットヘッドからなるヘッ
ド１２４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する
方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着し
ている。またキャリッジ１２３にはヘッド１２４に各色
のインクを供給するための各インクカートリッジ１２５
を交換可能に装着している。

【００４３】インクカートリッジ１２５は上方に大気と
連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへイン
クを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多
孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジ
ェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持
している。

【００４４】また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘ
ッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出する
ノズルを有する１個のヘッドでもよい。

【００４５】ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙
搬送方向下流側）を主ガイドロッド１１２に摺動自在に
嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッ
ド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャ
リッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査
モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動
プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装
し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に
固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転により
キャリッジ１２３が往復駆動される。

【００４６】一方、給紙カセット１１４にセットした用
紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給
紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ロ
ーラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１
３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１
３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送
ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及
び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を
規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１
３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転
駆動される。

【００４７】そして、キャリッジ１１３の主走査方向の
移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された
用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙
ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。こ
の印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙
１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送
コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排
紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１
４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５、１４６
とを配設している。

【００４８】記録時には、キャリッジ１１３を移動させ
ながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動するこ
とにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して
１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記
録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記
録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を
終了させ用紙１１３を排紙する。

【００４９】また、キャリッジ１１３の移動方向右端側
の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良
を回復するための回復装置１４７を配置している。回復
装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手
段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこ
の回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘ
ッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に
保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。
また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出す
ることにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、
安定した吐出性能を維持する。

【００５０】吐出不良が発生した場合等には、キャッピ
ング手段でヘッド１２４の吐出口を密封し、チューブを
通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸
い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニ
ング手段により除去され吐出不良が回復される。また、
吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜
（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体
に吸収保持される。

【００５１】なお、上記実施形態においては、本発明を
振動板変位方向とインク滴吐出方向が同じになるサイド
シュータ方式のインクジェットヘッドに適用したが、振
動板変位方向とインク滴吐出方向とが直交するエッジシ
ュータ方式のインクジェットヘッドにも同様に適用する
ことができる。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るイン
クジェットヘッドによれば、圧力発生手段の少なくとも
一部を設けた基板とインク供給部材とを接合して共通液
室を形成し、インク供給部材の接合面側に基板の共通液
室の端部壁面をラウンド化する凸部を設けたので、共通
液室での気泡滞留が低減し、安定したインク滴噴射動作
を行うことができるとともに、インクの無駄な消費が低
減する。

【００５３】本発明に係るインクジェットヘッドによれ
ば、圧力発生手段の少なくとも一部を設けた基板とイン
ク供給部材とを接合して共通液室を形成し、インク供給
部材と基板とを接合する接着剤が共通液室側にはみ出し
て基板の共通液室の端部壁面をラウンド化しているの
で、共通液室での気泡滞留が低減し、安定したインク滴
噴射動作を行うことができるとともに、インクの無駄な
消費が低減する。

【００５４】本発明に係るインクジェットヘッドによれ
ば、圧力発生手段の少なくとも一部を設けた基板とイン
ク供給部材とを接合して共通液室を形成し、基板の共通
液室の端部壁面を充填剤で埋めてラウンド化しているの
で、共通液室での気泡滞留が低減し、安定したインク滴
噴射動作を行うことができるとともに、インクの無駄な
消費が低減する。

【００５５】これらの各本発明に係るインクジェットヘ
ッドにおいて、基板がシリコン基板であることで、基板
の形状加工性が向上する。この場合、シリコン基板が結
晶面方位（１００）のシリコン基板であり、共通液室を
形成する開口部の断面形状がインク供給方向に狭まる形
状であるものとすることで、基板の形状加工性が向上す
る。また、インク供給部材が樹脂部材であることで凸部
の形成が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの分解斜視
説明図

【図２】同ヘッドの振動板長手方向に沿う断面説明図

【図３】図２の要部拡大断面説明図

【図４】同ヘッドの振動板短手方向に沿う断面説明図

【図５】同ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図

【図６】同実施形態の作用説明に供する説明図

【図７】同実施形態の作用説明に供する比較例の説明図

【図８】本発明の他の実施形態に係るインクジェットヘ
ッドのノズル配列方向に沿う断面説明図

【図９】本発明の更に他の実施形態に係るインクジェッ
トヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図

【図１０】本発明に係るインクジェット記録装置の機構
部を説明する斜視説明図

【図１１】同記録装置の側面説明図

【図１２】従来のインクジェットヘッドの平面説明図

【図１３】同ヘッドの断面説明図

【符号の説明】

１…流路基板、２…電極基板、３…ノズル板、４…ノズ
ル、６…加圧室、７…流体抵抗部、８…共通液室、９…
開口部、１０…振動板、１５…電極、１９…開口部、２
０…ヘッドチップ、２１…インク供給部材、２２…イン
ク供給口、２３…凸部、４１…充填剤、４２…接着剤。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者星野誠治東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内 (72)発明者加藤知己東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内Ｆターム(参考） 2C057 AF78 AG54 AG68 AP25 BA04 BA15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インク滴を吐出するノズルが連通する加
圧室と、この加圧室にインク供給路を介して連通する共
通液室と、前記加圧室内のインクを加圧する圧力発生手
段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記圧力
発生手段の少なくとも一部を設けた基板とインクを供給
するためのインク供給口を有するインク供給部材とを接
合して前記共通液室を形成し、前記インク供給部材の接
合面側に前記基板の共通液室の端部壁面をラウンド化す
る凸部を設けたことを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項２】インク滴を吐出するノズルが連通する加
圧室と、この加圧室にインク供給路を介して連通する共
通液室と、前記加圧室内のインクを加圧する圧力発生手
段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記圧力
発生手段の少なくとも一部を設けた基板とインクを供給
するためのインク供給口を有するインク供給部材とを接
合して前記共通液室を形成し、前記インク供給部材と前
記基板とを接合する接着剤が共通液室側にはみ出して前
記基板の共通液室の端部壁面をラウンド化していること
を特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】インク滴を吐出するノズルが連通する加
圧室と、この加圧室にインク供給路を介して連通する共
通液室と、前記加圧室内のインクを加圧する圧力発生手
段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記圧力
発生手段の少なくとも一部を設けた基板とインクを供給
するためのインク供給口を有するインク供給部材とを接
合して前記共通液室を形成し、前記基板の共通液室の端
部壁面を充填剤で埋めてラウンド化していることを特徴
とするインクジェットヘッド。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記基板がシリコン基板で
あることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】請求項４に記載のインクジェットヘッド
において、前記シリコン基板が結晶面方位（１００）の
シリコン基板であり、前記共通液室を形成する開口部の
断面形状がインク供給方向に狭まる形状であることを特
徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記インク供給部材が樹脂
部材であることを特徴とするインクジェットヘッド。