KR960009988B1 - 박판에 대한 점착테이프의 점착 커트장치 - Google Patents

Abstract

요약없음

Description

박판에 대한 점착테이프의 점착 커트장치

제1도는 본 발명의 일실시예의 평면도.

제2도는 본 발명의 일실시예의 정면도.

제3도는 제1도의 실시예에서 카세트부근의 로더의 확대 종단면도.

제4도 및 제5도는 상이한 상태에 있어서의 정렬장치의 부분정단면도.

제6도는 실시예의 주부분의 평면도.

제7도는 이동단계 근방의 실시예의 부분정단면도.

제8도는 점착롤러 근방의 실시예의 부분정단면도.

제9도는 실시예에서 테이프 커트장치의 일부분의 정단면도.

제10도는 테이프 커트장치의 일부분의 확대종단면도.

제11도는 테이프 커트장치의 부분정단면도.

제12도는 테이프 커트장치의 부분측단면도.

제13도 및 제14도는 테이프 박리장치의 확대정면도.

제15A, 15B, 15C, 15D 및 15E도는 점착테이프의 커트상태를 표시하는 평면도.

제16 및 17도는 실시예의 동작을 설명하기 위하여 사용되는 측면도.

본 발명은 점착테이프를 집적회로의 기판을 형성하는 실리콘 웨이퍼와 같은 원형박판의 위에 점착하고, 이 테이프를 박판의 외주면을 따라서 커트한 후에, 박판에 점착한 부분을 제외하고 테이프를 박리제거하는 장치에 관한 것이다.

종래 기술에는, 보통 박판위에 점착테이프를 수동으로 점착한 후에, 박판의 주변을 따라서 테이프를 커트하는 것이다.

선행기술에서와 같이 수동으로 점착테이프를 박판에 점착하고 잉여테이프를 도려내는 것은 작업을 수행하는데 있어서 여러단계가 필요하고 주름잡히기 쉬웁다는 문제점이 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 이와 같은문제들을 해결하기 위하여 전자동으로 점착테이프를 접착하고 커트할 수 있도록 하는 것이다.

본 발명에 의하면, 테이프 점착 및 트리밍 장치는 카세트속에 수용된 박판을 하나씩 뽑아내어 점착롤러 이에 이송하는 로더와, 하면에 점착면을 갖는 점착테이프를 점착롤러 사이의 박판에 연속적으로 점착하고 스테이지상에 정지한 박판위에 테이프를 박판의 주변을 따라서 커트하고 커트수단과, 흡착스테이지에서 흡착고정된 박판에 점착된 재단편을 놓아두고 전에 재단된 테이프를 박리해 버리는 테이프 박리수단과, 테이프 박리수단을 통과한 박판을 카세트속에 수용하는 언로더를 포함한다. 테이프커트수단은 재단방향을 선택적으로 설정할 수 있는 뾰족한 칼형 커터나, 또는 커터가 박판의 주변부 바로 위부분에 배치된 후 점착테이프를 재단하기 위하여 밑으로 내려가고 주변부분을 바로 따라 움직이므로서 주변부분의 끝이 이어지는 원호모양 주변부가 커터와 함께 움직인 검출기에 의하여 검출되도록 한 것을 포함한다.

커터의 방향은 박판의 주변면에 접선방향으로 커터를 향하기 위하여 검출기로부터의 검출신호에 의하여 변화되고, 커터는 박판의 중심주위로 회동한다. 테이프 커트수단은 또 박판으로부터 칩들을 감지하는 검출기를 포함하고, 칩이나 비정상이 검출기에 의하여 감지될 때 커터의 구동을 정지하기 위하여 커터의 비정상동작을 검출하는 검출기를 포함한다. 점착테이프를 커트함에 있어서 커터의 저항을 경감하기 위하여 커터의 날의 온도를 증가시키는 히터를 설치하므로서 실온에서 커터에 의하여 커트될 수 없는 점착테이프를 커트할 수 있도록 한다.

핀치롤러 및 박리롤러는 앞뒤방향으로 회전가능하고, 점착롤러는 상하로 움직일 수 있어서 테이프에 과잉텐션을 사용하지 않고 박판에 점착테이프를 점착하고 테이프의 공급길이를 단축하기 위하여 테이프를 되잡아 당기므로서 테이프의 소비를 감소할 수 있다.

본 발명의 한가지 특징에 따르면, 실리콘웨이퍼와 같은 박판은 카세트속에 수용되고 이송벨트등으로 되는 로터에 의하여 점착롤러 사이에 이송되고; 하면에 점착면을 갖는 점착테이프는 점착롤러 사이에 공급되어서 점착롤러 사이에 이송된 박판에 점착되고; 점착테이프가 점착된 박판은 흡착스테이지에 이동되고 고정되고; 박판이 흡착스테이지에 고정되었을 때, 흡착스테이지위에 배치된 테이프 커트수단이 커터에 의하여 박판의 주변을 따라서 점착테이프를 커트하도록 작용하고; 점착테이프가 커트된 후에, 테이프박리수단은 테이프를 박리하기 위하여 동작하고 박판에 점착된 재단편을 남기며; 점착테이프의 원치않는 부분이 박리된 박판은 언로더로 이송되어서 카세트속에 수용된다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 커터의 방향은 박판의 직선단의 길이에서의 불규칙성이나 박판의 정지위치에서의 불규칙성의 불리한 효과를 피하도록, 박판의 주변단부의 직접검출에 따라서 변화되므로서 안정된 동작을 할 수 있는 것이다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 테이프 커트수단은 우수한 커트특성을 갖는 뾰족한-칼-형의 커터를 포함하고; 박판의 주변단부가 칩을 갖는 것을 커트 동작중에 커트수단에 의하여 측정될 때 커트수단에 의한 점착테이프의 커트가 정지되고; 커터가 박판의 반경 또는 외주변방향으로 편향하기 시작하면, 그런 편향은 다른 검출기로 감지되어서 점착테이프의 커트를 정지하고 박판을 손상으로부터 보호할 수 있는 것이다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 커터의 커트날은 점착테이프를 커트하는데 있어서 커터의 저항을 감소하기 위하여 가열되고, 커트동작을 더욱 용이하게 만드는 것이다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 점착테이프의 연장이 감소되어서 테이프의 점착특성이 빈약한 경우에 박판으로부터 위로 벗겨올라가거나 분리되는 것을 방지하고, 점착테이프가 매번의 점착 및 커트동작 후에 규정된 길이까지 되감기는 것을 방지하도록 하여 테이프의 소비를 감소시키므로서 생산성을 고양하고 장비의 동작을 안정시키는 것이다.

박판과 같은 웨이퍼에 점착테이프를 점착하고 잉여테이프를 도려내버리는 장치인 본 발명의 보다 바람직한 실시예를 도면에 따라서 설명하면 다음과 같다.

제1도는 웨이퍼(3)를 넣는 카세트(2)를 얹어놓는 좌우한쌍의 대(14)를 갖는 로더(1)를 표시한다. 제3도에 표시함과 같이, 다수의 웨이퍼(3)가 각 카세트(2)속에 각 웨이퍼의 반도체소자가 형성된 쪽이 하면에 위치하도록 적당한 간격으로 적재된다.

카세트(2)속의 최하위의 웨이퍼(2)가 무단이송벨트(4,5,6)에 의하여 안내대(7)위에 보내진다. 제1도와 같이, 안내대(7)는 이송벨트(6)와 이 벨트(6)와 교차하여 수직으로 뻗는 또 다른 무단이송벨트(8)와의 사이에 복수의 부분으로 분할되고 복수의 안내봉(9)이 고정된다. 제2도와 같이, 이송벨트(8)는 복수의 풀리에 의하여 굴곡되고 이송벨트(6)와 간섭하지 않는다.

웨이퍼(3)가 이송벨트(6)에 의하여 안내대(7)위에 보내진 후에, 벨트는 정지한다. 다음에 이송벨트(8)가 제2도의 화살표 방향으로 모터(10)및 구동벨트(11)에 의하여 웨이퍼(3)를 웨이퍼 정렬장치(15)에 보내기 위하여 구동된다.

각 대(14)들은 수직이송장치(도시되지 않음)에 의하여 수직으로 이동된다. 한개의 웨이퍼(3)가 카세트(2)로 부터 꺼내질 때마다, 후속하는 웨이퍼(3)를 이송벨트(4)위에 놓기 위하여 카세트가 대(14)와 함께 밑으로 이동된다. 한쪽대(14)위의 카세트(2)에 웨이퍼(3)가 비었을때, 다른쪽 대(14)위의 다른 카세트(2)속의 웨이퍼가 계속적인 동작을 제공하도록 꺼내진다. 동시에, 빈 카세트(2)는 다른 웨이퍼(3)가 들은 또 다른 카세트(2)에 의하여 대치된다. 장치의 가동률은 이렇게 하여 향상된다. 이것이 좌우 한쌍의 대(14)를 설치한 이유이다. 그러나, 로더에 1개의 카세트만을 설치하도록한 장치의 경우에는, 대(14)는 1개만이 필요하고, 그 위치는 이송 벨트(8)에 대향하는 임의의 위치에 장치할 수 있다.

웨이퍼 정렬장치(15)에서, 안내봉(17)은 좌우한쌍의 무단이송벨트(18)가 배치된 사이에 좌우대(16)의 외측상부에 설치되어 있다. 이송벨트(18)은 제2도에 표시하듯이 구동벨트(20,21)에 의하여 이송벨트(8)와 동기적으로 주행하나 이송벨트(18)는 기대(22)위의 수직이동프레임(23)위에 설치되어서, 이 프레임(23)은 에어실린더(19)에 의하여 수직으로 이동한다.

웨이퍼 정렬장치(15)는 제2, 4, 5 및 6도에서 상세히 설명한다. 프레임(23)에 수평축 주위로 요동하는 레버(25)를 설치하여, 이 레버(25)위에, 모터에 의하여 수직축의 주위로 회전하는 풀리(27)를 설치하고, 레버(25)위의 고정대(28)에는 제6도와 같이 세개의 회전봉(31, 32, 33)이 제6도의 화살표와 같이 회전하도록 구성하여, 중앙의 회전봉(32)을 약간 다른 회전봉보다 앞으로 나오게 한다. 레버(25)는 에어실린더(35)에 의하여 상하를 요동될 수 있도록 한다.

제2 및 제5도속의 36은 수평축(24)과 동축이면서 레버(25)와는 별개로 독립적으로 요동하는 레버로서, 이 레버(36)에 스토퍼(37)가 장치되어 있다. 이 스토퍼(37)는 웨이퍼(3)의 직선단부(12)의 정밀한 위치결정을 하는 것으로, 회전축(39)을 중심으로 회전하여 임의의 각도로 고정하므로서 스토퍼의 접촉면의 위치를 미세조정할 수 있는 기구를 갖고 있다. 이 레버(36)는 에어실린더(38)에 의하여 상하로 요동된다.

최초에, 정렬장치(15)의 3개의 회전봉(31, 32, 33)과 스토퍼(37)는 제2 및 4도와 같이 이송벨트(18)의 이송면위에 돌출되어 있다. 따라서 이송벨트(18)로 이송되어온 웨이퍼(3)의 외주가 회전봉(31,32,33)의 외주에 접촉한다. 웨이퍼(3)가 원호상의 주변인 경우에는 모든 회전봉(31,32,33)이 웨이퍼(3)에 접촉하나 웨이퍼(3)는 동일방향으로 회전하고 있는 인접하는 2개의 회전봉(32,33)의 마찰에 의하여 회전한다. 웨이퍼(3)가 회전하여 그 직선단부(12)가 회전봉(31,32,33)의 부분으로 오면 중앙의 회전봉(32)은 제6도와 같이 직선단부(12)로부터 이탈하여, 직선단부(12)에는 상반하는 방향으로 회전하고 있는 회전봉(31,33)이 접촉하므로 웨이퍼(3)는 직선단부(12)를 앞쪽방향으로 하고 정지한다.

웨이퍼(3)가 정렬장치(15)의 위치에 있는 것을 검출하여, 회전봉(31,32,33)을 회전시켜서, 웨이퍼(3)의 직선단부(12)가 회전봉(31,33)과 접촉한 것이 검출되었을 때, 회전봉(31,32,33)의 회전은 정지되고 회전봉은 에어실린더에 의하여 밑으로 움직인다. 이때 웨이퍼(3)는 벨트(18)를 타고 전진하고, 그 전부의 직선단부(12)를 제1도의 쇄선 및 제5도와 같이 스토퍼(37)에 접촉하고 여기서 다시 더 정밀하게 위치가 결정된다. 이 스토퍼(37)는 전기한 미세조정기능에 의하여 극히 정도가 높은 각도 맞춤을 할 수 있다.

웨이퍼(3)가 여기까지 온 것을 관전검출기등으로 검출하면 에어실린더(19)가 동작하여 프레임(23)과 함께 벨트(18)를 내려서 제7도와 같이 웨이퍼(3)를 이동스테이지(40)위에 옮긴다. 스테이지(40)에서 웨이퍼를 확인한 후에 에어실린더(38)를 작용시켜서 스토퍼(37)를 제5도의 쇄선과 같이 하강시킨다.

이동스테이지(40)는 제1도 및 제7도에 표시하듯이 좌우의 벨트(18)사이에 있어서 상면에 다수의 진공흡인공을 갖는 중공의 진공흡인식으로서 공급나사(41)의 정역회전에 의하여 진퇴하는 암(42)의 앞끝에 부착한 것이다. 공급나사(41)는 기대(22)위의 베어링으로 지지되어서, 정역회전 모터(43)에 의하여 구동된다.

이송벨트(18)가 내려가고 웨이퍼(3)가 이동스테이지(40)위에 옮겨져서 진공 흡인되어 스토퍼(37)가 내려간 조건에서 모터(43)에 의하여 나사(41)가 정회전하여 암(42)를 제1도에 향하여 좌방으로 이동시켜서 웨이퍼(3)를 다음의 점착롤러(45, 46)사이로 이동시킨다.

점착롤러(45,46)는 고무와 같은 유연한 탄성체로 되어서, 상부의 롤러(45)는 중량평형기구(도시생략)에 의하여 적당한 하방압력이 가해지고, 하부의 롤러(46)는 모터를 포함하는 구동제어유니트(47)에 의하여 구동 또는 제동한다. 롤러(46)의 구동축에는 전자클러치(도시생략)와 토오크댐퍼를 설치하여 클러치를 연결하면 롤러(46)에 브레이크가 걸리도록 되어 있고, 또 클러치와 모터를 설치하므로서 간헐적 구동도 가능하게 된다.

제2도와 같이, 기대(22)위의 케이싱(48)에는 점착테이프(51)의 공급릴(50)과 감는 릴(52)을 설치하여, 릴(50)로부터 공급된 테이프(51)는 안내롤러(53)를 경유하여 점착면을 밑으로 한 상태로 상하의 롤러(45,46) 사이를 통과하고, 후술하는 테이프박리수단(54)의 하부의 박리롤러(55)와 상하 한쌍의 박리롤러(56) 사이를 통과하여 케이싱(48)에 설치한 안내롤러(57) 밑 텐션롤러(58)를 경우하는 감는 릴(52)에 감긴다. 세퍼레이터(60)는 세퍼레이터 권상롤러(61) 및 핀치롤러(62)를 경유하여 감는 롤러(63)에 감긴다.

점착테이프(51)는 풀리에틸렌 및 풀리프로필렌과 같은 플라스틱 필름으로 된 뒷대기의 한쪽면에 아크릴계 또는 고무개의 상온에서 감압점착성을 갖는 물질을 도포한 것이 사용되고, 세파레이터(60)는 플라스틱필름 또는 종이의 표면에 실리콘계의 화합물과 같은 저점착성 물질을 피복한 것이 사용된다.

이동스테이지(40)에 의하여 점착롤러(45,46)사이에 웨이퍼가 삽입됨과 동시에, 이동스테이지(40)의 진공흡인은 해제되어서 모터(43)은 역회전하여 이동스테이지(40)를 원위치로 되돌리고, 프레임(23) 및 레버(25,36)도 원위치까지 올라가서 다음 웨이퍼를 수용하는 상태가 된다.

점착롤러(45,46)사이에 보내진 웨이퍼(3)는 그 상면에 점착테이프(51)가 300~3000g의 롤러라인압력으로 점착되어서 테이프 커트수단(65)으로 약 5~20㎜/min의 속도로 이동하여 출몰자재한 암(68)의 끝에 설치된 복수의 광전검출기(69)에 의하여 위치가 정해져서 정지한다.

제11 및 12도에 표시되듯이, 테이프커트수단(65)은 케이싱(48)의 측변내면에 고정한 수직의 에어실린더(66)에 의하여 승강되는 승강프레임(67)에 설치된다.

승강프레임(67)의 하부에는 좌우한쌍의 수평안내(70)를 따라서 웨이퍼(3)의 이송방향과 직교하는 방향으로 진퇴하는 가동대(71)를 설치하여, 이 가동대(71)를 구동하는 에어실린더(75)를 승강프레임(67)의 하부의 브라켓(76)에 고정한다.

가동대(71)에는 하방으로 향하여 원통부재(72)를 고정하고, 이 원통부재(72)속에 회전축(73)을 맞춰넣는다. 회전축(73)의 상부에는 풀리(77)를 고정하고, 승강프레임(67)에 고정한 모터(78)의 축에 설치한 풀리(79)와 전기한 풀리(77)를 전동벨트(80)에 의하여 연동시켜서, 회전축(73)의 상단에는 검출판(81)을 고정함과 동시에 승강프레임(67)위의 지주의 상단에는 광전작용등에 의하여 검출판(81)을 검출하는 광전유니트나 또는 근접스위치등의 원점검출기(82)를 설치한다.

지지판(85)은 회전축(73)의 하단에 고정되고, 이 지지판(85)의 하부에 안내에 따라서 수평방향으로 이동가능한 조절판(86)을 설치한다. 이 조절판(86)은 그의 일부상측에 블록(87)을 고정하고, 그 위의 복수의 절결노치(88)의 하나에 지지판(85)을 나사로 결합한 세트나사(89)를 결합하여 고정하므로서 카세트(2)의 치수에 맞추는 것이다. 수평공급나사(91)는 전가한 조절판(86)의 하부에 회동자재하게 지지되어서 그 조절판(86)의 하부에 고정된 모터(92)에 의하여 전동벨트를 개재하여 정역회전된다.

접동체(94)는 상기한 수평공급나사(91)에 나사식으로 결합되고, 조절판(86)의 하부의 안내(95)에 따라서 이동하는 것으로서, 이 접동체(94)의 측부에 회동자재하게 부착된 수직축(96)의 하단에 하향의 역 u자 모양의 프레임(97)을 고정하고, 상기한 수직축(96)은 에어실린더(93)에 의하여 회동할 수 있도록 한다.

플레임(97)에는 양단의 외측의 수평축(98,99)을 중심으로 회동하는 프레임(100)을 설치하여, 이 프레임(100)속에는 상기한 수평축(98,99)과 직교하는 양측의 수평축(101,102)에 의하여 수직방향으로 뻗은 원통상의 커터부착부재(103)를 요동자재하게 고정하고, 이 부착부재(103)에는 그 하단에 뾰족한-칼-모양의 커터(105)를 하향으로 고정한 커터지지부재(105')를 착탈자재하게 고정한다. 그러나, 경우에 따라서는 그 양쪽 또는 한쪽을 생략하여도 조립이 가능하다.

제12도의 90은 프레임(97)의 상부에 설치한 광전검출기로서, 광선을 발사하여 그 반사광의 변화에 따라서 웨이퍼의 주변부를 검출하고, 그 신호로 전기한 실린더(93)를 제어하여 축(96)을 회전시켜서 커터(105)의 방향을 변경시키는 것이다.

제12도의 106은 전기한 프레임(97)의 일방의 측벽의 하단에 고정한 광전검출기로서, 웨이퍼의 외주에 광선을 조사하여 그 반사에 의하여 웨이퍼의 홈결을 검출한다.

프레임(97)의 타방의 측벽에는 전자브레이크(107)를 설치하고, 전기한 검출기(106)가 웨이퍼의 홈결을 발견하면, 전자브레이크(107)에 의하여 축(99)을 잠그도록 되어 있다. 이것은 테이프(51)가 투명 또는 반투명인 경우에 유효하다.

광전검출기(109)는 축(98)의 회전각을 검출하도록 설치된 것으로서 커터(105)가 웨이퍼의 반경방향으로 편향되었을 때 검출작용을 하는 것이다.

광전검출기(110)는 축(102)의 회전각을 검출하도록 설치된 것으로서 커터(105)가 웨이퍼의 원주방향으로 편향되었을 때 검출작용을 한다.

상기한 각 검출기(109, 110)는 축에 고정된 차광판의 작용에 의한 광선의 차단등을 광전소자등으로 검출하는 것이다.

전기한 승강프레임(67)위에는 토오크리미터(111)를 설치하여, 커터(105)에 과대한 부하가 작용했을 경우에 그 상태를 검출하여 모터(78)를 정지시킬 수도 있는 것이다.

전기한 조절판(86)에도 검출판(112)을 설치하여, 이것을 광전검출기(113)에 의하여 검출하므로서 커터의 원점을 검출한다. 상기한 각 축(96,98,102)에는 각각 복원스프링을 장치하여 커터(105)에 가해지는 저항이 일정이하일 때에는 커터(105)가 수직의 정상자세를 유지하고 있도록 한다.

상기한 테이프커트수단(65)의 하방에는 진공흡인식의 흡착스테이지(108)를 설치한다. 이 스테이지(108)는 상면에 다수의 흡인공 또는 흡인홈을 설치하여서, 그 위에 이동하여 온 웨이퍼(3)를 진공흡인에 의하여 고정하는 것으로서, 제2도의 에어실린더(114)에 의하여 승강할 수도 있으나 고정할 수도 있다. 스테이지(108)의 상면에는 복수개의 종류의 웨이퍼의 외주에 적합한 복수의 동심원상의 홈(104)(제10도)과, 웨이퍼(3)의 진행방향과 평행한 2줄의 홈(118)을 설치하여, 웨이퍼 이송용의 무단이송벨트(120)과 이홈(118)내에 들어가도록하여, 제2도와 같이 이 이송벨트(120)를 부착한 가동프레임(121)을 에어실린더(122)에 의하여 승강시키도록 하므로서 벨트(120)의 이송면이 스테이지(108)의 상면에 출몰하도록 되어 있다.

그러나, 에어의 부력에 의한 이송방식을 사용할 경우에는 홈(118)이 불필요하게 되고, 벨트(120)도 짧은 것으로 족하다. 이 경우, 스테이지(108)에는 흡인공과는 별도의 이송용 에어방출노즐을 설치하든가 또는 에어회로의 절환을 통해 이송용 에어 방출노즐로서도 작용하는 흡인공을 설치할 수도 있다.

제1도와 같이, 스테이지(108)의 주위에는 안내대(29,30)를 설치하고, 안내대(30)의 양측에는 안내봉(34)을 설치한다.

테이프박리수단(54)은 공급나사(115)의 정역회전에 따라서 진퇴하는 이동대(116)에 전기한 박리롤러(55)와 상하의 박리롤러(56)를 설치한 것으로서, 상하의 롤러(56)는 기어에 의하여 상반되는 방향으로 회전하도록 연동된다. 전기한 공급나사(115)는 정역전모터(119)에 의하여 구동한다.

제1,2 및 9도와 같이, 박리수단(54)이 위치결정의 정지위치에서 정지하고, 점착롤러(45,46)와 박릴로러(55)사이에 점착된 테이프(51)의 하부에 웨이퍼(3)가 점착되고, 그 위에 웨이퍼(3)가 상승중의 흡착스테이지(108)위에 놓여 있어서, 벨트(120)는 하강중에 이송면이 스테이지(108)의 상면보다 밑에 있는 조건에서 에어실린더(75)에 의하여 가동대(71)를 전진시켜 놓고 제12도의 에어실린더(66)가 동작하여 승강프레임(67)을 내린다. 그 결과, 커터(105)가 제15A도와 같이 정지중의 테이프에 잘라들어 간다. 이때, 커터(105)는 웨이퍼(3)의 직선단부(12)와 같은 방향으로 향하고 있다.

그 다음에, 제12도의 에어실린더(75)가 동작하여 가동대(71)를 제12도를 향하여 좌측으로 움직여서 커터(105)를 직선단부(12)로 향하여 이동시켜서 회전축(73)의 중심과 웨이퍼(3) 및 흡착스테이지(108)의 중심이 일치할 때까지 테이프(51)를 커트하여, 그 조건에서 에어실린더(75)는 정지하고, 다음에 모터(92)가 기동하여 공급나사(91)를 회전시키고, 접동체(94)를 이동시켜서 커터(105)를 직선운동시키므로서 테이프(51)를 제15B도와 같이 직선단부(12)를 따라서 직선단부(12)의 끝가지 커트한다. 이 때, 테이프(51)를 직선단부(12)를 따라서 직선상으로 커트해 가면, 광전검출기(90)가 함께 웨이퍼(3)의 원주부를 검출하고, 이 신호에 의하여 실린더(93)를 동작시켜서 축(96)을 회전시키고, 제15C도와 같이 커터(105)를 웨이퍼(3)의 원주상주변에 대하여 접선방향 또는 접선보다 다소내측으로 커트하려는 방향으로 향한다.

실린더(93)의 동작과 동일한 타이밍으로 모터(78)가 기동하고, 풀리(79), 벨트(80), 풀리(77)을 개재하여 회전축(73)을 회전시키고, 제15D 및 E도와 같이 커터(105)에 의하여 테이프(51)를 웨이퍼(3)를 따라서 원주상으로 커트한다.

상기와 같이 커터(105)로 테이프(51)를 커트중에, 커터의 직전을 주행하는 광전검출기(106)에 의하여 웨이퍼(3)의 외주의 흠결을 검출한 경우에 전자브레이크(107)를 동작시켜서 축(98)을 고정하여, 커터(105)가 축(98)을 중심으로 회전하지 않도록 하므로서 커터가 홈결에 파들어가지 않도록 한다.

커터(105)가 제15D도와 화살표(A) 또는 (B)와 같이 웨이퍼(3)의 반경 방향으로 편향되었을 경우에는, 프레임(100)이 축(98,99)과 함께 회동하므로, 이것을 광전검출기(109)가 검출하여 모터(78)를 정지시켜서 웨이퍼(3)의 파손을 방지할 수 있게 된다.

커터(105)가 테이프(51)를 커트하지 못하고 후방에서 상방의 원주방향으로 편향했을 경우에는 부착부재(103)가 축(101,102)과 함께 회동하므로, 이것을 광전검출기(110)로 검출하여 모터(78)를 정지시킬 수 있다.

커터(105)에 과대한 부하가 가해진 경우에는 토오크리미터(111)가 작동하여 그 리미트스위치의 작용으로 모터(78)를 정지시킬 수 있다.

제10도와 같이, 테이프(51)를 절단하는 커터(105)는 흡착스테이지(108)위의 홈(104)에 수용되어서 테이프(51)의 절단을 확실하게 한다.

커터(105)의 지지통(103)속에 전열선을 넣어서 커터(105)를 가열하도록한 경우에 풀리올레핀계등의 재료로 되어 있어서 커터(105)만으로는 커트하기 어려운 테이프의 커트에 유효하다.

직선부가 없는 원판상의 웨이퍼의 경우에 모터(92)에 의한 접동체(94)의 직선이동은 생략한다.

웨이퍼(3)의 칫수의 변경은 고정나사(도시생략)를 풀러서 조절판(86)을 이동시켜서 소망의 절결(88)에 세트나사(89)의 하단을 결합시켜서 고정한다.

웨이퍼(3)보다도 더 크게 테이프(51)를 커트할 필요가 있는 경우에는 흡착스테이지(108)위에 모양판을 조정하고, 이것의 외측을 따라서 커터를 주행시키므로서 테이프를 임의의 크기로 커트할 수 있다.

상기한 작용에 의하여 커터(105)가 테이프를 완전히 커트하고, 에어실린더(66)의 작용에 의하여 승강프레임(67)과 함께 커터(105)를 상승시킴과 동시에 원점검출기(82,113)에 의하여 커터(105)를 원점으로 되돌리고, 롤러(46)에 브레이크를 걸어서 테이프(51)의 이동을 정지시킨 조건에서, 정역회전 모터(119)가 기동하여 공급나사(115)를 정회전시켜서, 박리수단(54)을 제1 및 2도를 향하여 우측으로 이동시킨다. 이로써, 제13도와 같이 테이프(51)는 웨이퍼(3)위에 점착된 테이프(51')를 남겨놓고 박리된다. 이어서, 실린더(114,122)가 동작하여 흡착스테이지(108)가 내려가고, 프레임(121)이 상승하여 제14도와 같이 웨이퍼(3)가 스테이지(108)로부터 벨트(120)위에 옮겨진다. 동시에 벨트(120)가 구동되어서 웨이퍼(3)를 다음의 언로더(125)로 이송한다.

언로더(125)는 전기한 로더(1)의 역의 작용을 갖는 것으로서, 제1도와 같이 테이프를 점착한 웨이퍼(3)를 수납하는 카세트(126)를 얹는 좌우한쌍의 대(127)와 그 전방의 안내대(128)를 갖는다. 안내대(128)는 복수개로 분할되어서, 그 사이에 전기한 무단이송벨트(120)에 이어지는 좌우 한쌍의 무단이송벨트(129)를 설치하고, 이 벨트(129)와 전기한 각 대(127)사이에는 벨트(129)와 직교하는 좌우한쌍의 무단이송벨트(130,131,132)를 순차적으로 배치하여 그위의 웨이퍼(3)를 카세트(126)로 보내어서 집어넣도록 한다.

제2도에 표시한 것과 같이, 상기한 벨트(129)는 이송측을 복수의 풀리에 의하여 굴곡시켜서, 벨트(130)와 간섭하지 않도록 하고, 모터(135)에 의하여 전동벨트(136)를 개재하여 제2도의 화살표 방향으로 구동한다. 또, 전기한 무단이송벨트(120)는 무단전동벨트(137, 138)에 의하여 벨트(129)에 연동된다.

상기와 같이 언로더(125)로 보내진 웨이퍼(3)가 소정의 벨트(130)위에 온조건에서, 벨트가 정지하고, 웨이퍼(3)를 소정의 대(127)위의 카세트(126)로 보내 집어 넣는다.

각 대(127)는 카세트(126)내에 웨이퍼(3)가 1개 보내 넣어질때 마다 하강해가는 공지의 것으로서, 가령 제1도의 우측의 대(127)위의 카세트(126)가 꽉차면, 좌측의 대(127)위의 카세트(126)로 웨이퍼(3)를 보내넣어서, 그 사이에 우측의 대(127)위의 카세트(126)를 빈 카세트(126)와 교체한다.

따라서 좌우의 벨트(129)사이에는 에어실린더(123)로 승강하는 스토퍼(124)를 설치하고, 또 좌단의 안내대(128)위에 스토퍼(133)를 설치함과 동시에, 좌우의 안내대(128)위에는 안내봉(134)를 설치하고, 좌측의 카세트(126)에 웨이퍼(3)를 보내넣을 경우에 스토퍼(124)를 내림으로서 웨이퍼(3)가 스토퍼(124)위를 통과한 스토퍼(133)로 제지되고, 우측의 카세트(126)로 보내넣을 경우에는 스토퍼(124)를 올려서 웨이퍼(3)가 스토퍼(124)로 제저되도록 한다.

상기한 언로더(125)도 전기한 로더(1)과 같이, 1개의 카세트만인 경우에는 벨트(129)위에 대향하는 부분의 임의의 위치의 1개소에 대(127)를 설치할 수 있다.

제14도와 같이 테이프(51)를 박리한 박리수단(54)이 점착롤러(45)의 가까이에 이동하여 정지하고 있는 조건에서, 다음의 웨이퍼(3)가 롤러(45,46) 사이에 공급되면 롤러(46)의 브레이크가 해제되어서 박리수단(54)이 좌측으로 이동을 개시하고, 테이프(51)는 감는 릴(52)에 의하여 감겨지므로 웨이퍼위에 테이프(51)가 점착되어서 흡착스테이지(108)위로 이동하고, 다음의 공정이 개시된다.

제2도에 표시하는 하부 점착롤러(46)를 구동/제동 유니트(47)와 함께 상하로 움직일 수 있는 기구로하고, 박리롤러(56) 및 세퍼레이터 감기롤러(61)를 정역회전 및 구동정지 자재로 하고, 핀치롤러(53,62)를 롤러(61)에 대하여 접촉 이탈자재로 한다.

이 경우에, 테이프(51)를 송출하고 웨이퍼(3)에 점착할 경우에는, 롤러(56,61)를 정지상태로 하고, 핀티롤러(53)를 롤러(61)로부터 이탈한 상태로 하여 이동대(116)를 제16도의 쇄선의 위치로부터 실선의 위치로 이동시킴으로서, 테이프(51)와 웨이퍼(3)를 점착하여, 소정위치까지 운송한다.

이때, 세파레이터(60)가 붙은 테이프(51)는 제16도의 쇄선(C)와 같이 변화하고, 소정위치에서 웨이퍼(3)가 정지한 후에, 테이프(51)의 커트동작시에 롤러(61,62)가 접촉하여 세파레이터(60)를 위쪽으로 감아올린다. 이 동작에 의하여 테이프(51)로부터 세파레이터(60)를 박리할 경우의 영향을 받는 일이 없게 된다.

다음에, 제13도에 표시하는 것과 같은 상태에서 동작이 종료된 후에, 롤러(53,61)를 접촉시켜서 롤러(45,46)를 이탈시키고, 롤러(53,61,56)를 역전시켜서 테이프(51)를 소요되는 길이만큼 되감음으로서 웨이퍼(3)사이의 테이프(51)를 짧게할 수 있다. 환언하면, 제17도에 있어서, 테이프(51)상의 a 및 b점이 웨이퍼가 있었던 부분이고, 다음의 웨이퍼는 a'에 오기때문에, 롤러(56, 61)화살표 방향으로 역전시켜서 b를 b'까지 되돌림으로서 웨이퍼 사이의 테이프의 간격(b'→a')이 짧게 된다.

점착롤러(46)는 웨이퍼(3)와 테이프(51)의 점착시에만 상승시키고, 웨이퍼(3)의 통과후에는 하강시켜서 롤러(45)로부터 이탈시켜 놓으면 점착테이프(51)의 점착면에 불요부를 부착하는 일도 없이 되감을 수 있고, 다음의 점착에 제공될 수 있다.

본 발명은 상기와 같이, 카세트에 수용한 박판을 1개씩 끄집어 내어서 점착롤러간에 이송하는 작용과, 점착롤러 사이에 있어서, 하면에 점착면을 갖는 테이프를 연속적으로 점착하고, 스테이지상에 있어서 정지한 박판상의 테이프를 박판의 주변을 따라서 커트하는 조작과 커트후의 테이프를 흡착스테이지상에 있어서 흡착고정된 박판상에 점착된 테이프를 남겨놓고 박리하는 작용과, 테이프 박리수단을 통과한 박판을 카세트에 수용하는 조작을 전자동적으로 수행하므로, 종래의 수동작업에 비교하여 월등하게 능률이 좋고, 정확하게 테이프의 점착과 커트를 수행할 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징은 웨이퍼의 외주를 따라서 안정적으로 커트할 수 있기 때문에, 웨이퍼의 직선단부 즉, 박판의 오리엔테이션 엣지의 손상을 없앨 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징은 뾰족한-칼-모양의 커터에 의하여 테이프의 커트를 수행하기 때문에 매우 예리하게 커트가 되고, 박판의 홈결이나 또는 커터가 박판의 반경방향이나 원주방향으로 편향하려는 것을 검출기가 검출하면 즉시 커트를 중지하므로 박판의 파손이 방지되는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징은 상온에서 절단하기 어려운 열가소성 재료로 테이프가 만들어졌을 경우에 커트가 용이하게 될 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징은 전후의 웨이퍼의 간격을 짧게 하도록 테이프를 컨트롤하여서 테이프의 소비량을 절감하므로서 재료비를 절감하는 효과가 있다.

Claims (12)

1. 박판의 폭보다 큰 폭을 가진 점착테이프를 상기 박판에 점착하고 상기 테이프의 잉여부분을 도려내는 장치로서, 상기 장치는 박판의 상부면쪽으로 향해있는 점착면을 갖는 점착테이프를 롤로부터 박판에 적용시키는 단수의 점착롤러, 카세트로부터 박판을 하나씩 끄집어내어 상기 롤러를 사이에 이송하여 상기 점착롤러로 상기 점착테이프를 적용하도록 하는 로더, 상기 점착테이프가 상기 롤러에 의하여 점착된 상기 각 박판을 수용하고 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 위에 지지된 상기 박판의 주변단부를 따라서 상기 점착테이프의 잉여부분을 도려내는 테이프 커트수단, 상기 스테이지위에 지지된 상기 박판으로부터 상기 점착테이프의 도려낸 부분을 박리하는 테이프 박리수단, 및 상기 박판을 상기 스테이지로부터 카세트로 이송하는 언로딩 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착커트장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 테이프 커트수단은 가열수단을 갖춘 커터부착부재 및 커터홀더를 구비하며, 상기 커터홀더는 그 하단에서 커터를 지지하는 상기 커터부착부재를 용이하게 착탈할 수 있는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 점착테이프의 길이방향 손실을 피하기 위하여 일정 길이까지 상기 박판으로부터 상기 점착테이프가 커트된 후에 상기 롤위에 상기 점착테이프를 되감기 위한 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 장치는 상기 롤로부터 상기 점착롤러로 상기 접착테이프를 통과시키는 핀치롤러를 추가로 포함하고, 상기 박리수단은 상기 점착테이프의 도려낸 잉여부분을 박리하기 위한 박리롤러를 구비하며, 상기 되감기 수단은 상기 테이프를 되감기 위하여 상기 핀치롤러 및 상기 박리롤러를 역회전 시키는 구동장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 커트수단은 커터날, 상기 박판의 주변 단부를 감지하기 위하여 상기 커터날을 따라서 움직일 수 있는 단부검출기, 및 상기 검출기에 의하여 발생된 신호에 응하여 상기 박판의 주변단부에 접선방향으로 상기 커터날을 안내하는 수단을 구비하며, 상기 커터날은 상기 박판의 중심주위로 회전되는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 스테이지 위에 지지된 상기 박판위에 상기 커트수단을 장착하고 또한 상기 점착테이프의 상기 잉여부분을 도려내기 위하여 상기 커트수단을 내리는 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 커트날은 뾰족한 칼모양의 커터날인 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
8. 제5항에 있어서, 상기 박판으로부터 칩의 존재를 감지하고 또한 칩이 검출되었을 때 상기 커트수단을 정지하기 위한 칩 검출기를 구비하는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
9. 제5항에 있어서, 상기 커트수단의 조작에 비정상성을 감지하고 또한 비정상성이 검출되었을 때 상기 커트수단을 정지하기 위한 비정상성 검출기를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 스테이지는 흡인 스테이지인 것을 특징으로 하는 점탁테이프의 점착 커트장치.
11. 제1항에 있어서, 상기 테이프 커트수단은 상기 박판의 직선 주변부의 일부 위에 있는 위치에 배치된 다음 하향이동되어 상기 점착테이프를 커트하는 커터, 상기 커터가 상기 직선 주변부를 따라 움직이도록 상기 직선 주변부의 말단에 연속인 아아크형 원주면의 일부를 감지하기 위하여 상기 커터와 함께 이동되는 검출기, 및 검출기로부터의 검출신호에 응하여 상기 커터의 방향을 상기 박판의 원주면에 접선상향으로 전향시켜 상기 커터가 상기 박판과 상기 커터의 접촉중심에서 전향되도록 하고 또한 상기 커터가 상기 박판의 상기 주변부를 따라 이동하도록 상기 박판의 중앙에서 전향되게 하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트장치.
12. 제1항에 있어서, 상기 박판의 직선 주변부를 검출하기 위한 검출기, 및 상기 검출기의 출력에 응하여 상기 직선 주변부를 따라 상기 커트수단을 안내하기 위한 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 점착테이프의 점착 커트수단.

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