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KR100775159B1 - 집적회로의 생산 공정 - Google Patents

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KR100775159B1
KR100775159B1 KR1020027015225A KR20027015225A KR100775159B1 KR 100775159 B1 KR100775159 B1 KR 100775159B1 KR 1020027015225 A KR1020027015225 A KR 1020027015225A KR 20027015225 A KR20027015225 A KR 20027015225A KR 100775159 B1 KR100775159 B1 KR 100775159B1
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KR
South Korea
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metal
layer
copper
metal oxide
reduced
Prior art date
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KR1020027015225A
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KR20030007612A (ko
Inventor
페카 유아 조이니넨
카이-에릭 엘러즈
Original Assignee
에이에스엠 인터내셔널 엔.붸.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에이에스엠 인터내셔널 엔.붸. filed Critical 에이에스엠 인터내셔널 엔.붸.
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    • H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
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    • H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
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    • H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001—Core members of the connector
    • H01L2224/45099—Material
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    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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Abstract

본 발명은 집적 회로의 가공 동안에 적어도 부분적으로 금속산화물의 형태가 되는 원소 금속의 하나 이상의 층을 포함하는 집적 회로의 생산 공정, 및 집적 회로의 생산 동안에 형성되는 금속 산화물 층에 대하여 특정 작용기를 함유하는 유기 화합물의 용도에 관한 것이다. 본 발명의 공정에 따르면, 금속 산화물 층은 하나 이상의 하기 작용기를 함유하는 유기 화합물로부터 선택된 환원제로 적어도 부분적으로 원소 금속으로 환원된다.

Description

집적회로의 생산 공정{PROCESS FOR PRODUCING INTEGRATED CIRCUITS}
본 발명은 집적 회로(IC)의 제작에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 IC의 제작 동안에 기판상의 금속 산화물을 원소 금속으로 환원시키는 것에 관한 것이다.
집적 회로(IC)내의 인터커넥트, 커패시터 전극 및 게이트 금속은 금속류로 제작된다. 특히, 구리는 낮은 저항과 같은 양호한 전기적 특성으로 인해 인터커넥트용으로 매력적인 대안이다.
집적 회로의 가공 동안에, 금속 표면은 산화될 것이고, 그리하여 금속 표면 및 그의 인터커넥트의 저항이 증가한다. 금속성 인터커넥트 상의 산화물 층은 인터커넥트를 통한 전자의 흐름을 제약하고, IC의 고속 응용장치에 유해하다.
반면에, 집적 회로에서는 금속 와이어를 전기적으로 서로 분리하기 위하여 절연체가 필요하다. 통상 절연체로서 사용되는 저유전율의 재료는 고온, 즉 약 400℃ 또는 그 이상의 온도를 견디지 못한다.
소위 다마스커스(damascene) 및 이중 다마스커스 구조(도 8 참조)가 IC의 제조에 적용되는 통상의 박막 구조이다. 다마스커스 및 이중 다마스커스 구조를 제작하는 동안, 절연층을 통해 기저의 구리 금속 층까지 개구(비아; vias)가 형성된다. 따라서, 절연체 표면이 기체 분위기에 노출된다. 개구의 바닥으로부터 휘발 성 금속 화합물을 증발시키고 심지어 하나의 분자층의 구리 화합물이라도 절연체 표면에 화학흡착시키는 것은 절연체의 전기적 특성에 유해하다. 다마스커스 가공은 구리의 절연체로의 확산을 방지하기 위하여 절연체 표면상에 확산 방벽이 필요하다. 확산 방벽이 증착된 후, 비아의 바닥에 위치하는 구리 표면으로부터 산화물 층을 제거하는 것은 불가능하다. 어떠한 휘발성 금속 화합물도 형성하지 않고 금속 산화물이 제거될 수 있는 방법에 대한 필요성이 분명히 존재한다.
선행 기술에 따르면, 금속 층상의 산화물 층은 제거되거나 환원될 수 있다. 미국특허 제5,939,334호 및 유럽공개특허 제0 880 168호에서는, β-디케톤에 의해 금속 산화물 층을 제거하는 방법이 개시되어 있다. β-디케톤 증기가 예를 들어 구리 산화물 표면과 접촉하면, 구리 β-디케토네이트 및 물이 형성된다. 2가지 반응 생성물은 증발에 의해 표면으로부터 제거되고 금속 표면이 얻어진다. 상기 공개특허의 공정은, 고형 물질의 금속 오염 때문에 신뢰성 문제가 발생하여 집적 회로의 생산에 성공적으로 적용될 수 없다. 휘발성 금속 화합물 분자는 증기상으로부터 전도체를 둘러싸는 기판 표면상으로 화학흡착되고, 그 표면으로부터 절연체내로 확산된다.
미국특허 제6,033,584호에 개시된 방법에 따르면, 구리 산화물 층의 환원을 위하여 H2 플라즈마 처리가 이용될 수 있다. 그 방법이 심지어 저온에서 이용될 수 있더라도, 플라즈마는 IC의 절연체 물질에 손상을 가하는 경향이 있다. 게다가, 플라즈마 발생기는 전체 IC 제작 공정에 비용 및 복잡성을 부가한다.
산화 구리가 수소 기체 및 일산화탄소에 의해 환원될 수 있다는 것은 공지되어 있다. 금속 산화물을 일산화탄소 중의 수소로 환원시켜 반도체 금속 와이어 층을 제작하는 방법은 미국특허 제5,731,634호에 개시되어 있다. 비활성 수소는 증가된 공정 온도 또는 추가의 에너지를 요구하는, 예를 들어 플라즈마 형태를 요구하는 강한 H-H 결합을 갖는다.
우트리아이넨(M. Utriainen et al.)은 수소에 의한 산화니켈의 환원을 연구하였다[Applied Surface Science 157 (2000) pp.151-158]. 니켈은 H-H 결합의 파괴를 촉매하여 수소 기체를 활성화시킬 수 있다. 상기 문헌에 따르면, NiO의 환원은 230℃에서 30분 이내에 수행될 수 있다. 그러나, 저자는 언급한 환원 단계는 박막의 구조적 붕괴를 유도하고 핀홀이 형성된다고 한다.
H2 및 CO와 같은 작은 분자는 금속 산화물 막내로 신속히 확산하고, 막 내에 부산물(H2O 및 CO2)을 형성한다. 증가된 크기 때문에, 이러한 부산물은 환원하는 H2 또는 CO 분자가 막을 향하는 것보다 표면을 향하여 낮은 확산도를 갖는다. 내부 압력을 증가시키는 것은 막을 파열시켜 핀홀을 생성할 것이다. 따라서, 환원제로서 H2 또는 CO를 사용하는 것은 본 발명의 응용에 바람직하지 않다.
본 발명자는 촉매 없이 수소와 암모니아로 비교 실험을 수행하였다. 암모니아는 수소가 풍부하므로 실험을 하기 위해 선택되었다. 결과는 수소가 450℃에서 1시간내에 산화 구리를 환원시키지 않았다는 것이다[핀란드특허출원 제FI20001163호]. 본 발명자는 기상 암모니아로 동일한 결과를 수득하였다; 산화 구리는 500℃ 미만의 온도에서 환원될 수 없다. IC 가공은 400℃ 미만에서 충분히 신속히(<5분) 작용하고 절연체 표면을 오염시키지 않는 본 발명의 단순한 환원 공정에 의한 것이 유리하다.
산화 구리 및 알콜, 알데히드 및 카르복시산 사이의 화학반응은 문헌[Gmelin Handbuch der Anorganischen Chemie, Kupfer, Teil B-Lieferung 1, System-Nummer 60, Verlag Chemie, GMBH., 1958]에 공지되어 있다. 그러나, 문헌에 설명된 실험은 거친 표면으로 인해 큰 표면-대-부피 비를 가짐으로써 조밀한 매끄러운 층 형태의 산화 구리보다 용이하게 구리 금속으로 환원되는 산화 구리 분말로 수행되었다. 어떠한 반응 조건도 개시되지 않았다. 더욱이, 문헌은 금속 박막의 제조 또는 집적회로 생산 공정에서 환원 반응을 이용하는 가능성을 개시하고 있지 않다.
유럽특허 제0 469 470 A1호는 인쇄 보드 상의 산화 구리를 환원시키는 공정을 개시하고 있다. 이러한 응용은 인쇄 회로 보드상의 구리박(copper foil) 전도체에 관한 것이다. 수소, 일산화탄소 또는 이들의 혼합물 또는 히드라진이 환원제로서 사용되었다. 백금 금속 그룹 금속 촉매가 산화구리층 상에 고정되었다. 촉매는 저온에서 환원제를 활성화시킨다. 산화 구리는 구리 금속과 절연 적층(매트릭스 수지) 사이의 접착을 향상시키기 위하여 사용되었다. 산화 구리는 환원에 의해 구리 표면으로부터 제거되었다.
유럽특허 제0 469 470 A1호에 주어진 구리를 환원시키는 방법의 단점은 활성제 금속(백금 그룹)이 표면상에 증착된다는 것이다. 백금 그룹 금속으로는 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir) 및 백금(Pt)이 있다. 다마스커스 구조상의 비아 및 트렌치상에 균일한 백금 그룹 금속 코팅을 증착하는 것은 PVD 및 CVD 방법에 의해 복잡하고 고비용인 공정이다.
유럽특허 제0 469 470 A1호는 알콜, 알데히드, 카르복시산, 암모니아 및 히드라진의 촉매적 열분해를 통해 환원제(수소 또는 일산화탄소)를 생산하는 것을 언급하고 있다. 그 후, 환원제는 금속 산화물과 접촉된다. 이 방법의 단점은, 촉매적 열분해가 표면을 오염시키는 유기 화합물로부터 비휘발성으로 탄소가 풍부한 단편을 형성한다는 것이다. 이들 비휘발성 단편은 인쇄된 회로 보드내의 거시적 접점(직경 약 0.1-1 mm)의 기능에는 무해하지만, 이들 부분은 집적 회로의 미시적 접점(직경 약 0.18-0.25㎛)에는 유해하다.
유럽특허 제0 469 456 A1호는 인쇄 회로 보드에 사용되는 구리 클래드 적층(laminate)으로부터 구리 산화물을 제거하는 방법을 개시하고 있다. 환원 기체는 히드라진과 메틸히드라진의 촉매적 열분해를 통해 생성된다. 히드라진 및 메틸히드라진은 발암성과 부식성을 가진 유해한 화학물질이고, 열분해는 IC의 민감한 표면을 오염시키는 메틸히드라진으로부터 응축성 물질을 생성한다. 인쇄 회로 보드의 구리 표면에 제조된 접촉 영역은 거시적 크기(약 0.1-1 mm 직경)이다. 상기 문헌은 어떻게 본 발명을 미세적 다마스커스 구조의 제조에 적용할 것인가를 개시하지 않는다.
구리 표면으로부터의 구리 산화물의 액상 제거의 방법은 WO 93/10652 및 DE 41 08 073에 공지되어 있다. 액상에 기초한 방법의 단점은 금속 산화물이 반응하여 용액에 노출되는 모든 표면에 분자층으로서 접착할 수 있는 가용성 금속 화합물 의 형태가 된다는 것이다. 게다가, 다마스커스 공정에 금속 산화물의 액상 제거법을 적용하는 것은 비용이 많이 든다. 예를 들어, 구리 산화물의 액상 제거 후에, 기판은 확산 방벽이 증착되기 전에 산소 또는 반응성 산소 화합물을 함유하는 분위기에 노출되지 않도록 주의깊게 보호되어야 한다. 많은 다마스커스 공정 단계는 증기상 가공 유니트로 구성된 클러스터 기구내에서 수행되는 것이 바람직하다. 액상 처리 동안에 제공된 구리 금속 표면은 기판이 증기상 가공 유니트에 도달하기 전에 용이하게 구리 산화물로 재산화된다. 액상 및 기상 유니트를 조합하는 것은 복잡하고 고비용이다. 게다가, IC 기판이 산소 부재 분위기내에서 린스되고 건조되어 구리 표면의 재산화를 회피하도록 완전한 산소 부재 분위기 또는 고진공 환경하에서 클러스터 기구로 운송되어야 하므로, 다마스커스 또는 이중 다마스커스 구조내의 비아(via) 바닥으로부터 금속 산화물을 제거하는데 액상 처리를 적용하는 것이 어렵다.
발명의 요약
본 발명의 목적은 집적 회로의 제작 동안에 종래 기술의 문제점을 제거하고 금속 산화물을 원소 금속으로 환원시키는 신규한 방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 집적 회로의 가공 동안에 환원제로서 반응성 유기 화합물을 사용하여 금속 산화물을 원소 금속으로 환원시킬 수 있다는 발견에 근거한다. 본 발명에 사용된 유기 화합물은 알콜(-OH), 알데히드(-CHO), 및 카르복시산(-COOH)의 기로부터 선택된 하나 이상의 작용기를 포함한다.
본 발명은 집적 회로(IC) 칩의 제조에 사용되는 공정 설비에 용이하게 통합되는 증기상 공정에 관한 것이다. 바람직하게는, 증기상 공정은 다마스커스 공정 또는 이중 다마스커스 공정에 통합된다. 또한, 커패시터 전극 및 게이트 금속을 제조하는 응용이 제시된다.
본 발명은 표 1에 제시된 하기 금소 산화물 박막을 원소 금속 박막으로 회복시키는데 적용될 수 있다.
표 1:
Figure 112002037436009-pct00001
Figure 112002037436009-pct00002
표 1에 나열된 금속 산화물은 우연히 형성되거나, PVD 또는 CVD와 같은 여러 방식 또는 방법으로 기판에 의도적으로 증착될 수 있다. 환원될 금속 산화물의 증기압은 금속 산화물의 증발을 회피하기 위하여 환원 온도에서 낮은 것이 요구된다. 본 발명에 따르면, 환원 온도는 400℃ 미만일 수 있고, 이것은 적당한 금속 산화물군에까지 확장된다. 몇몇 경우에, IC 제조용 재료, 예를 들어 낮은 k 절연체로서의 다공성 규소 산화물은 400℃ 초과의 높은 가공 온도를 견딘다. 이 경우에, 환원 온도의 상한은 400℃를 넘어서 500℃까지 확장될 수 있다.
본 발명에 따르면, 금속 박막으로 복원될 금속 산화물 박막은 필수적으로 하나의 금속 산화물 또는 금속 산화물의 혼합물로 구성된다. 전환 단계는 금속 산화물 층내의 산소에 대한 금속 보다 동일한 산화물 층내의 산소에 대해 강한 결합을 제공할 수 있는 기상 환원제로 수행된다. 기상 환원제는 금속 산화물에 결합된 산소를 이탈시킬 수 있으며, 그리하여 기판 표면상에 원소 금속만이 남는다.
표 2 및 3은 금속 산화물이 본 발명에 따라 환원되어 산화물을 낮추거나 또는 금속이 되는 것을 나타낸다. 바람직하게는 하기 환원제 중 하나 이상이 사용된다: 메탄올, 포름알데히드, 포름산, 에탄올, 아세트알데히드, 이소프로판올. 증기 혼합물이 2개 이상의 환원제 화학물질이 동시에 사용되는 경우에 제조될 수 있다. 실험은 선택된 산화물 중 경금속 산화물 보다 중금속 산화물이 환원시키기 용이하다는 것을 나타낸다.
본 발명에 따라 가장 공격적인 환원제만이 표 3의 산화물을 금속 또는 저급 산화물로 환원시킬 수 있다.
표 2. 본 발명에 따라 환원될 금속 산화물
Figure 112002037436009-pct00003
표 3. 본 발명에 따라 가장 공격적 환원제로 환원될 금속 산화물
Figure 112002037436009-pct00004
보다 상세하게는, 본 발명에 따른 공정은 청구항 제1항의 특징부에 서술된 것을 특징으로 한다.
본 발명으로 인해 많은 상당한 이점을 얻을 수 있다.
본 환원 방법은 값싼 환원성 화학물질을 이용한다. 공정 온도는 비교적 낮고, 추가의 에너지, 예를 들어 플라즈마 형태가 필요하지 않다.
낮은 공정 온도로 인해, 본 공정은 집적 회로의 생산에 특히 유리하다. 금속 산화물의 원소 금속으로의 환원율이 높다. 환원율은 환원될 금속 산화물 층의 두께에 의존한다. 실험으로 400-nm 두께의 구리 산화물 층이 310℃ 정도의 낮은 온도에서 5분 안에 순수한 구리 금속으로 환원됨을 발견하였다.
환원된 금속막 내의 탄소 및 수소 불순물 및 산소의 양은 적다. 따라서, 본 발명은 낮은 공정 온도, 짧은 동작 시간 및 생산된 박막 내의 낮은 수준의 탄소 및 수소 불순물의 독특한 조합을 제공한다.
본 발명은 금속 산화물의 원소 금속으로의 환원에 기초한다. 본 발명에 사 용된 공급원 화학물질은 휘발성 금속 화합물을 형성하지 않는다; 그들은 금속 산화물과 반응하여 단지 원소 금속 및 기판 표면으로부터 세정 또는 펌핑되는 휘발성 금속 부재 부산물을 형성한다. 따라서, 본 발명의 방법은 IC 디바이스의 절연 표면에 금속 산화물 오염을 초래하지 않는다.
본 발명은 금속 산화물을 제거하기 위해 단순한 1단계 환원 공정을 제공하고, 추가적인 물리적 또는 화학적 예비가공, 예를 들어 열분해 또는 촉매작용이 없이 증발될 수 있는 값싸고 상업적으로 가용한 화학물질 공급원을 이용한다. 게다가, 기판의 복잡한 액상 처리가 필요 없다.
본 발명은 금속 산화물의 환원이 일어나는 반응 공간에 앞서 안전하게 취급되고 기상으로 용이하게 증발될 수 있는 단순한 액체 화학물질 공급원을 이용한다.
본 발명에 따르면, 비교적 부피가 큰 분자를 가진 환원제(알콜류, 알데히드류 및 카르복시산류)가 이용된다. 부피가 큰 화학물질 공급원 분자는 금속 산화물 막 내부로 용이하게 확산하지 않는다. 환원 반응은 금속 산화물 층의 표면에서만 일어난다. 환원 공정 동안에, 산소 이온이 환원 화학물질에 의해 산소가 소모되는 표면을 향하여 확산할 것으로 기대된다. 기상 부산물은 막 내부에는 형성되지 않고 단지 표면에만 형성된다. 형성하는 금속 막의 구조적 무결성(integrity)이 보존되고 어떠한 핀홀도 막상에 형성되지 않을 것이다.
환원제로서 수소를 사용하는 공정과 비교하면, 본 발명은 수소 분자 기체를 이용하는 공정 보다 매우 낮은 온도에서 짧은 공정 시간으로 원하는 환원도를 제공하는 것으로 밝혀졌다.
본 발명은 특히 집적 회로내의 다마스커스 및 이중 다마스커스 구조내에서 전기 전도성 표면상의 절연 또는 반도체 금속 산화물 층을 환원시키기 위해 사용될 수 있다. 따라서, 비아 및/또는 트랜치의 바닥에 있는 구리 금속층의 표면상에 형성되는 금속 산화물 층이 확산 방벽이 증착되기 전에 본 발명에 따라 유기 환원제로 일부 또는 전부가 금속으로 환원된다. 바람직하게는 상기 금속은 구리이다.
나아가, 본 발명은 집적 회로의 다마스커스 및 이중 다마스커스 구조내에 구리의 전기화학적 증착을 위해 시드(seed) 층을 증착하기 위한 방법을 제공한다. 임의의 적당한 방법(예를 들어, ALD 방법)에 의해 증착된 구리 또는 기타 금속 박층은 구리 또는 기타 금속으로 적어도 일부가 환원되고, 이어서 구조상의 트랜치 및 비아를 채우는 구리의 증착을 위한 시드 층으로서 작용한다. 본 발명은 또한 주위 재료에 양호한 접착력을 갖는 커패시터 전극 및 게이트 금속을 형성하기 위한 수단을 제공한다.
하기에서, 본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명될 것이다.
도 1은 전기화학적으로 증착된 (이하 "ECD") 구리 금속으로부터 측정된 시간-대-비행 탄성 반등 검출 분석(Time-to-Flight Elastic Recoil Detection Analysis: 이하 "TOF-ERDA") 결과를 나타낸다.
도 2는 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다.
도 3은 385℃에서 5분 동안 메탄올 증기로 환원된 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다.
도 4는 360℃에서 5분 동안 에탄올로 환원된 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다.
도 5는 360℃에서 5분 동안 이소프로판올로 환원된 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다.
도 6은 310℃에서 5분 동안 포름산으로 환원된 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다.
도 7은 구리 표본의 전기 저항을 나타낸다.
도 8은 이중 다마스커스 구조의 개략도이다.
도 9는 커패시터 구조의 개략도이다.
도 10은 CMOS 구조에 적당한 NMOS 트랜지스터의 개략도이다.
도면의 상세한 설명
도 1 내지 도 7은 시험에서 보다 상세하게 설명된다.
도 8에 도시된 이중 다마스커스 구조는 사전 금속화 층(2) 예를 들어 Cu, 절연층(4) 예를 들어 SiO2, Si3N4로 제조된 비아 에치 스톱(via etch stop)(6), 비아 레벨 절연체(8) 예를 들어 SiO2, Si3N4로 제조된 트랜치 에치 스톱(10), 트랜치 레벨 절연체(12) 예를 들어 SiO2, 확산 방벽(14) 예를 들어 TaN, 시드 층(16) 및 비아/트랜치 충실 금속(18) 예를 들어 Cu로 구성된다.
도 9에 도시된 커패시터 구조는 접촉 플러그(30) 예를 들어 텅스텐(W) 또는 폴리실리콘, 절연체(32), 선택적 확산 방벽(34) 예를 들어 TiN, 저부 전극(36) 예를 들어 Ru, Pt 또는 RuO2, 높은-k 유전체 막(38) 예를 들어 바륨 스트론튬 티타네 이트(BST) 및 상부 전극(40) 예를 들어 Ru 또는 Pt으로 구성된다.
도 10에 도시된 부분 트랜지스터 구조는 기판(60), n형 웰(62), p형 확산 영역(64)(오른쪽 드레인, 왼쪽 소스), 얕은 트랜치 격리 산화물(66), 게이트 유전체(68), 선택적 방벽층(70), 게이트 금속(72), 게이트 격리 스페이서(74) 및 텅스텐 플러그(76)용 접촉 영역으로 구성된다. 접촉 영역은 다른 쪽 부재번호의 부분과 동일한 수직 평면에 존재하지 않기 때문에 점선으로 나타냈다. CMOS 구조는 PMOS 및 NMOS 트랜지스터 모두를 포함한다. P형 반도체에 대한 접촉 영역은 예를 들어 Ni 및 RuO로 제조된다. N형 반도체에 대한 접촉 영역은 예를 들어 Ru로 제조된다. 또한, 백금을 W 플러그 아래에 도포할 수 있다. 금속 또는 전기 전도성 금속 화합물의 선택은 기저 층의 일함수, 및 금속 또는 전기 전도성 금속 화합물을 가진 주변 재료의 반응성에 의존한다.
발명의 상세한 설명
집적 회로의 생산은 여러 상이한 방식으로 수행될 수 있는 많은 단계를 가진복잡한 공정이다. 본 공정은 수득된 IC가 IC의 가공 동안에 적어도 부분적으로 금속 산화물 형태인 하나 이상의 전도성 금속 층을 구성하는 경우 다양한 공정과 연계하여 사용될 수 있다.
일반적으로, IC의 구조는 상이한 특성, 상이한 영역 및 그리하여 구조내에서 상이한 기능을 갖는 상이한 재료의 층들을 포함한다. 상기 층들은 그 자체로 공지된 증착 방법에 의해 생산된다. 바람직한 증착 방법은 원자층 증착(ADL), 화학증 기증착(CVD) 및 특히 구리 금속 층의 증착의 경우에, 전기화학적 증착(ECD)를 포함한다. IC 구조내의 층들의 예로는 유전체층 및 확산 방벽층이 있다. 절연층은 전도층을 서로간에 전기적으로 분리하기 위하여 필요하다. 전기적으로 전도성인 확산 방벽층은 구리 또는 기타 금속이 인터커넥트로부터 절연체 또는 디바이스의 활성 부분으로 확산되는 것을 방지하기 위하여 필요하다. 반면에, 확산 방벽층은 산소 또는 기타 유해 성분이 금속 층으로 확산되는 것을 방지하기 위하여 필요하다.
본 발명에 따르면, 집적 회로를 생산하기 위한 공정은 통상 적어도 하기 단계들을 포함한다:
- 구조물내에서 유전체를 제거하는 처리가 추가로 진행하는 것을 막을 수 있는 적어도 하나의 제 1층을 하나 이상의 금속 층을 포함하는 기판상에 증착하는 단계,
- 상기 층상에 하나 이상의 제 1유전체층을 증착하는 단계,
- 구조물내에서 유전체를 제거하는 처리가 추가로 진행하는 것을 막을 수 있는 하나 이상의 제 2층을 증착하는 단계,
- 상기 층상에 하나 이상의 제 2유전체층을 증착하는 단계,
- 그렇게 형성된 구조내에 비아 및/또는 트랜치를 형성하여 기판 상의 금속층이 적어도 부분적으로 노출되고 산화되게 하는 단계,
- 하나 이상의 하기 작용기를 포함하는 유기 화합물의 군으로부터 선택된 환원제로 산화된 금속층을 적어도 부분적으로 금속으로 환원시키는 단계: 알콜(-OH), 알데히드(-CHO), 및 카르복시산(-COOH),
- 바람직하게는 상기 환원된 금속 표면상에 하나 이상의 확산 방벽을 증착하는 단계, 및
- 바람직하게는 상기 확산 방벽층 상에 원하는 두께의 금속층을 증착하는 단계.
상기 단계들은 원하는 특성을 가진 구조가 형성될 때까지 반복된다. 통상, IC 구조에서, 상기 사이클이 5-6회 반복된다. 다음 사이클을 시작하기 전에, 증착된 금속층의 표면은 제 2유전체층의 상부 표면 높이로 평탄화되고, 바람직하게는 확산 방벽 또는 에치 스톱층이 상기 평탄화 된 구리층 상에 증착된다.
본원에 사용된 "금속 (산화물) 층", 및 일반적으로 층은, 공급원으로부터 기판까지 진공, 기상 또는 액상을 통해 개별 이온, 원자 또는 분자로서 운반되는 원소 또는 화합물로부터 성장되는 층을 의미한다. 층을 제조하기 위한 증착 방법의 선택은 본 발명의 환원 방법의 적용을 제한하지 않는다. 층의 두께는 넓은 범위에 걸쳐, 예를 들어 하나의 분자층으로부터 800 nm까지, 최고 1000 nm 및 그 이상까지 변한다.
가장 진보된 IC 구조 중 하나는 기판 상에 트랜지스터(소스, 게이트 및 드레인)을 가진 실리콘 기판으로 구성된 소위 이중 다마스커스 구조이다. 단지 제 1금속화 평면(level)만이 게이트가 구리로 오염되는 것을 방지하고자 텅스텐 플러그 및 알루미늄 인터커넥트로 되어진다. 금속화 평면의 나머지는 구리로 제조된다.
이중 다마스커스 방법으로 금속화 평면 및 인터커넥트를 형성하는 것에 대한 보다 상세한 예가 하기에 주어진다. 공정 단계의 상세 및 수는 변할 수 있으나, 일반적 사상은 대체로 동일하다.
단계 1. 사전 금속화 표면상에 질화규소 에치 스톱이 성장된다.
단계 2. 비아 평면 유전체가 증착된다.
단계 3. 또다른 질화 규소 에치 스톱이 증착된다.
단계 4. 트랜치 평면 유전체가 증착된다. SiO2가 유전체 재료로서 선호된다. 질화 규소 산화물과 같은 낮은-k 재료 및 중합체뿐만 아니라 다공성 절연체가 대안적 유전체 재료로서 실험되었다.
단계 5. 사진석판술로 유전체에 패턴을 형성하는 단계.
- 유전체 표면상에 레지스트 층이 증착된다.
- 레지스트 층이 패턴화 되고 레지스트가 비아 영역으로부터 제거된다.
- 유전체가 방향성 플라즈마에 의해 비아 영역으로부터 에칭된다. 에칭 과정은 질화규소 표면에서 중단된다.
- 레지스트가 표면으로부터 벗겨진다.
단계 6. 사진석판술로 에치 스톱 층을 패턴화하는 단계.
- 제 2레지스트 층이 표면상에 증착된다.
- 레지스트 층이 패턴화되고, 트랜치 영역으로부터 제거된다.
- 질화규소가 제 1플라즈마 산화물 에치로 제조된 홀의 바닥으로부터 짧은 플라즈마 질화물 에치에 의해 제거된다.
- 제 2플라즈마 산화물 에치가 노출된 비아 및 트랜치 영역으로부터 질화규소 에치 스톱에 도달할 때까지 이산화규소를 제거한다.
- 짧은 플라즈마 질화물 에치에 의해, 제 1질화규소 에치 스톱이 비아 바닥으로부터 제거되고, 제 2질화규소 에치 스톱이 트랜치 바닥으로부터 제거된다.
- 레지스트가 기판으로부터 벗겨진다.
단계 7. 확산 방벽층이 모든 노출된 표면상에 성장된다.
단계 8. 구리 증착을 위한 시드 층이 CVD 또는 PVD에 의해 확산 방벽층상에 성장된다.
단계 9. 비아 및 트랜치가 전기도금 공정에 의해 구리로 채워진다.
단계 10. 기판 표면이 화학 기계적 연마(CMP)에 의해 평탄화된다. 표면은 트랜치 및 비아내에만 구리 및 방벽 층이 남을 때까지 연마된다.
단계 11. 표면이 질화 규소 에치 스톱 층으로 덮여진다.
단계 12. 금속화 공정이 모든 잔류 금속화 평면에 대하여 반복된다.
기판에 형성되는 트랜치 및 비아의 형태 및 수는 생산 목적에 맞추어지게 선택된다.
레지스터 층이 위에 제시된 바와 같이 제거되는 경우, 대응 위치에서 오존 처리를 겪는 구리 층은 적어도 부분적으로 산화되어 구리 산화물을 형성한다. 이 구리 산화물 층은 본 발명에 따라 필수적으로 전체로 또는 적어도 부분적으로 구리 금속으로 환원된다. 금속의 원치 않는 산화는 IC 구조의 생산 동안에 상이한 공정 단계에서 일어날 수 있으며, 본 공정은 임의의 또는 모든 이들 단계에서 구리 산화 물 층을 적어도 부분적으로 구리 금속으로 환원시키기 위해 유리하게 사용된다.
원하는 구조에 따라, IC 구조의 금속층의 수가 1 내지 2, 3, 4, 또는 심지어 6 또는 그 이상일 수 있다. 예를 들어, 구리층(구리 플러그)가 통상 비아 또는 트랜치의 바닥에서 확산 방벽 층상에 증착된다. 본 발명의 환원 공정은 IC 구조의 임의의 또는 모든 금속 층의 증착과 연계하여 사용될 수 있다.
본 발명의 제 1구체예에 따르면, IC 구조내의 인터커넥트로서 필요한 구리층이 임의의 적당한 방법으로 기판상에 원하는 두께의 구리 산화물 층을 성장시키고, 이어서 본 발명의 공정에 사용되는 환원제로 상기 산화물층을 구리 금속층으로 환원시켜 증착될 수 있다.
본 발명의 제 2구체예에 따르면, 기판상의 구리 층(공정 단계 8 참조)의 증착을 위한 시드 층은 먼저 적당한 방법에 의해 통상 두께가 0.1-10 nm인 구리 산화물 박층을 증착하여 형성된다. 그 후, 상기 구리 산화물 층은 적어도 부분적으로 구리 금속으로 환원되고, 이어서 구리 금속 층이 임의의 적당한 방법에 의해 증착될 수 있다. 따라서, 구리 산화물 층 및 구리 금속층을 증착시키기 위해 사용되는 방법은 독립적으로 선택될 수 있다.
본 발명에 사용되는 기판은 다른 대체물이 사용될 수도 있지만, 통상 실리콘이다. 제 2, 제 3 등의 금속층 또는 금속 산화물층이 증착되는 경우에, "기판"은 통상 먼저 증착된 확산 방벽층이다. 따라서, 기판은 비결정형 전이금속 질화물, 예를 들어 TiN, TaN 및 WN과 같은 재료를 포함할 수도 있다.
이미 언급한 바와 같이, 환원될 금속 산화물층은 예를 들어 의도적으로 증착 된 금속 산화물 층일 수 있고, 그것은 본래 산화물 형태의 금속의 원치 않은 산화의 결과물일 수 있다. 따라서, 환원될 층내의 화학 구조 및 산소 함량은 매우 다양하다. 통상, 5 내지 75 at-%, 특히 33 내지 50 at-%이다.
환원될 층의 두께는 통상 0.1 내지 1000 nm이다. 환원될 층이 표면 금속의 원치 않은 산화로 수득된 본래의 산화물의 층인 경우에, 층의 두께는 통상, 비교적 두꺼운 산화물 층이 기판상에 증착되고 금속으로 환원되는 경우에 비해 작은 것으로 용이하게 이해된다. 금속층 상에 형성된 본래 산화물의 두께는 통상 0.1 내지 100 nm, 특히 0.1 내지 50nm이다. 반면에, 100 내지 1000 nm, 특히 300 내지 500 nm 두께의 금속 산화물층을 금속으로 환원시키는 것이 가능하다.
환원 공정은 제어된 온도, 압력 및 기체 유동 조건을 가능하게 하는 반응 공간내에서 수행되는 것이 바람직하다. 낮은 압력 및 대기 압력 반응기 모두가 환원 공정에 이용될 수 있다.
환원될 금속층을 포함하는 기판이 반응 공간에 위치되고, 반응 공간이 진공으로 되는 것이 바람직하다. 유기 환원제가 증발되고, 선택적으로 질소와 같은 불활성 캐리어 기체의 도움으로 반응 공간으로 공급된다. 환원제는 기판에 접촉되고, 그리하여 금속 산화물층이 적어도 부분적으로 금속으로 환원되며 환원제가 산화된다. 통상, 반응 공간은 그 다음에 불활성 캐리어 기체로 퍼지되어 비반응 유기 환원제 및 반응 생성물을 제거한다.
본 발명에 따른 환원 공정은 저온에서 수행된다. 이론적으로, 산화물과 본 발명의 공정에 사용된 환원제 사이의 반응은 넓은 온도 범위에서 유리하며, 심지어 실온 정도에서도 유리하다. 반응속도론적 인자 및 박막 표면으로의 산소의 확산 속도가, 성공적으로 적용될 수 있는 실제 공정 온도의 하한을 설정한다. 반응 공간의 온도는 통상 250 내지 400℃이고, 몇몇 경우에 기판 재료는 500℃ 이하, 바람직하게는 300 내지 400℃, 특히 310 내지 390℃를 허용한다. 약 0.1 내지 10nm 정도의 매우 얇은 금속 산화물 박막의 경우에, 환원은 심지어 250℃ 미만에서 수행될 수 있다.
반응 공간의 압력은 통상 0.01 내지 20 mbar, 바람직하게는 1 내지 10 mbar이다.
가공 시간은 환원될 층의 두께에 따라 달라진다. 두께가 300-400nm 이하인 구리 산화물 층은 약 3 내지 5분 이내에 환원될 수 있다. 두께가 약 0.1-10 nm인 층에 대하여, 가공 시간은 수 초 정도이다.
적당한 설비의 예로는 ALD 및/또는 CVD에 의해 박막을 증착하기 위해 사용되는 반응기가 있다. 또한, 환원 공정은 클러스터 기구내에서 수행될 수 있으며, 여기에서 기판은 이전 공정 단계로부터 도착하고, 기판이 환원제로 처리되어 최종적으로 후행 공정 단계로 운반된다. 클러스터 기구내에서 반응 공간 온도는 일정하게 유지될 수 있으며, 이것은 각각의 운전 전에 공정 온도로 가열되는 반응기와 비교하여 산출량을 분명히 개선시킨다.
독립형(stand-alone) 반응기에 로드-록(load-lock)이 장착될 수 있다. 그 경우에, 각 운전 사이에 반응 공간의 온도를 변경시킬 필요가 없다.
환원된 구리 층내에 존재하는 불순물의 양은 적다. H 및 C 불순물의 양은 통상 0.1 내지 0.2 at-% 정도이다. 잔류 산소의 양은 통상 0.1 내지 1 at-%, 특히 0.2 내지 0.5 at-%이다.
본 발명의 제 3구체예에 따르면, 금속층의 전기화학 증착을 위한 시드층이 형성된다. 개방된 트랜치 및 비아를 가진 IC 기판이 ALD 또는 CVD 반응 챔버내로 제공된다. 금속 산화물층(16)을 상부에 가진 확산 방벽층(14)은 기판에 초기에 제공되었다. 금속 산화물(16)은 ReO2, Re2O7, ReO3, RuO2 , OsO2, CoO, Co3O4, Rh2O3, RhO2, IrO2, NiO, PdO, PtO2, Cu2O, CuO, Ag2O 및 Au2O3 또는 이들의 혼합물의 군으로부터 선택될 수 있다. 당업자는 금속 산화물에서 화학양론이 변할 수 있으므로 환원 공정이 상기 금속 산화물에 제한되지 않는다는 것을 이해할 수 있다.
반응 챔버의 압력은 진공 펌프와 질소 기체를 유동시켜 약 5-10 mbar로 조정된다. 금속 산화물 막은 금속 층으로 전환되고, 전기도금 공정을 위한 시드 층(16)으로서 사용된다.
본 발명의 제 4구체예에 따르면, 금속 층은 적어도 하나의 -OH, -CHO 및/또는 -COOH 작용기를 함유하는 화학물질로부터 선택된 기상의 환원제를 포함하는 대기에서 화학적 기계적 연마(CMP)를 수행하기 전 어닐링된다. CMP 단계 전에 수행된 어닐링은 사전-CMP 어닐링으로 명명된다. 환원제는 적어도 하나의 -OH, -CHO 및/또는 -COOH 작용기를 함유하는 2개 이상의 화학물질의 기상 혼합물일 수 있다. 환원제 기체는 비반응성 기체, 예를 들어 질소 기체로 희석될 수 있다.
기판을 포함하는 IC의 비아 및 트랜치가 전기화학적으로 도금된 구리(18)로 채워진 후에, 표준 절차의 어닐링이 수행된다. 어닐링은 구리 층의 기계적 및 물리적 특성을 개선함으로써 연마 속도를 증가시키고 연마의 균일도를 개선시킨다. 구리층에 용해되는 산소가 구리의 과립 성장을 방해하므로, 환원 대기에서 본 발명에 따라 구리층을 어닐링하는 것이 유리하다. 환원제 기체는 비반응성 기체, 예를 들어 질소 또는 아르곤으로 희석될 수 있다. 환원 온도는 400℃ 미만이 바람직하다.
본 발명의 제 5구체예에 따르면, 금속 산화물은 사후-CMP 세정 후에 원소 금속으로 환원된다. 사후-CMP로 명명되는 화학적 기계적 연마 후에 반도체 입자가 디바이스의 표면으로부터 세정된다. 그러나, 일부 구리 산화물이 구리 금속 표면상에 여전히 잔류할 수 있다. 금속 표면상의 금속 산화물 코팅은 금속 층과 금속 층의 상부에 증착되는 박막, 예를 들어 에치 스톱 층 사이의 접착력을 손상시킨다. 따라서, 본 발명의 환원 단계를 사후-CMP 공정 후에 수행하는 것이 유리하다. 기상 환원제는 바람직하게는 400℃ 미만에서 기판과 접촉되고, 환원제는 적어도 하나의 -OH, -CHO 및/또는 -COOH 작용기를 함유하는 유기 화합물로부터 또는 상기 유기 화합물의 기상 혼합물로부터 선택된다.
본 발명의 제 6구체예에 따르면, 비아 바닥에 우연히 형성된 금속 산화물 층이 환원된다. 질화규소 에치 스톱이 비아 바닥으로부터 제거되고 레지스트가 기판으로부터 벗겨진 후, 금속 산화물이 비아 바닥 상의 노출된 금속상에 형성될 수 있다. 금속 산화물은 구리와 인접 확산 방벽 박막 사이에 낮은 접촉 저항을 제공하기 위하여 그것을 환원시켜 제거되어야 한다. 기상 환원제는 바람직하게는 400℃ 미만에서 기판에 접촉되고, 환원제는 적어도 하나의 -OH, -CHO 및/또는 -COOH 작용기를 함유하는 유기 화합물로부터 또는 상기 유기 화합물의 기상 혼합물로부터 선택된다.
본 발명의 제 7구체예에 따르면, 환원가능한 금속 산화물 층을 기판상에 가진 IC 구조가 CVD 반응기의 반응 챔버내에 제공된다. 기판은 증착 온도까지 가열된다. 금속 산화물은 상응하는 금속으로 전환되고, 제 1전극(36)으로서 사용된다. 그 다음에, 높은-k 유전체 재료(38)의 박막이 제 1전극(36)상에 성장된다. 높은-k 층(38)은 선택적으로 어닐링 될 수 있다. 금속 산화물 막은 공지된 증착 방법, 예를 들어 PVD 또는 CVD로 또는 계류중인 특허출원에 따른 ALD로 높은-k 층상에 성장된다. 본 발명에 따르면, 금속 산화물 막은 비활성 기체, 예를 들어 질소 기체로 임의로 희석된, 적어도 하나의 -OH, -CHO 및/또는 -COOH 작용기를 함유하는 유기 화합물로부터 선택된 기상 환원제에 의해 또는 상기 환원제의 2개 이상의 기상 화합물의 혼합물에 의해 상응하는 원소 금속으로 전환된다. 그로부터 형성된 금속층은 커패시터의 제 2전극(40)으로서 사용된다.
본 발명의 제 8구체예에 따르면, 환원가능한 금속 산화물을 표면상에 가진 기판이 CVD 반응기의 반응 챔버내로 제공된다. 환원가능한 금속 산화물의 아래에는, 예를 들어 소스 및 드레인 영역(64)상의 게이트 산화물(68) 또는 도핑된 실리콘이 존재할 수 있다. 기판은 환원 온도로 가열되고, 이것은 400℃ 미만이 바람직하다. 금속 산화물은 적어도 하나의 -OH, -CHO 및/또는 -COOH 작용기를 함유하는 유기 화합물로부터 또는 상기 유기 화합물의 기상 혼합물로부터 선택된 환원제에 의해 상응하는 금속으로 환원된다. 그것에 의해 형성된 금속은 트랜지스터의 게이트 전극으로서 사용된다. 또한, 상기 금속은 트랜지스터의 소스 및 드레인 영역상의 실리콘 플러그와 텅스텐 플러그 사이의 중간층(76)으로서 사용될 수 있다.
제 9구체예에 따르면, 본 발명은 구리 와이어 및/또는 구리 본딩 패드를 이용하는 IC의 후단(back end) 어셈블리에 적용된다. 웨이퍼 평면에서 다중 평면 구리 인터커넥트가 보다 통상적이 되고 있으므로, 이용된 본딩 와이어에 불구하고 패드와 패키지 사이에 일관되고 높은 신뢰성의 상호연결을 제공하는 보다 경제적인 공정 및 취급 프로토콜이 필요하다.
IC 제조 공정 동안에, 구리 본딩 패드를 가진 웨이퍼가 표면상에 구리 산화물의 형성을 촉진하는 공정에 노출된다. 그러한 공정은 예를 들어 웨이퍼 다이싱(dicing), 다이 접착 에폭시 경화 및 와이어 본딩이다. 그로부터 형성된 금속 산화물은 본 발명에 의해 금속형으로 복원된다.
웨이퍼 다이싱은 고속 절단 동작 동안 전체 웨이퍼 표면을 수중에 침수시키며, 상기에서 다이아몬드 입자가 주입된 휠 스피닝이 고속 회전으로 이용된다. 절단선에서 열이 발생하고, 실리콘의 온도가 상승하여 구리 패드 표면상의 산화물의 형성을 촉진한다.
은 플레이크 또는 은 분말로 충전된 에폭시와 같은 유기 재료가 개개의 다이스를 기판의 다이 접착 패드에 접착시키기 위해 사용된다. 에폭시 기재 재료를 경화할 필요가 있고, 다양한 열 프로필이 이용된다. 이용된 최고 온도는 통상 250℃를 초과하지 않는다. 경화 분위기는 질소 또는 청정 공기일 수 있다. 디바이스는 통상 실내 공기에 노출되기 전에 상당한 냉각과정을 겪지 않는다. 이 지점에서 형성된 산화물은, 경화 공정 동안에 기체를 방출하는 용매가 존재하므로 약간의 탄소를 포함할 수 있으며, 산화 공정 동안에 표면에 재증착 될 수 있다. 그러한 재층착물의 조성은 이때에 잘 정의되지 않는다.
와이어 본딩의 예열 단계 동안에, 기판은 다양한 시간 주기에 대하여 130 내지 175℃의 온도에 노출된다. 접착기(bonder)의 전체 트랙 시스템은 불활성 기체 분위기가 구비되거나 구비되지 않을 수 있다. 따라서, 산화물은 본딩 공정의 이 단계 동안에 생성될 수 있다.
다양한 유형의 재료가 IC 디바이스의 기판으로서 사용된다. 기판은 종종 구리 합금(A194, 7025C, EFTEC64T)로 구성되고, 잘 정의된 영역에 전기 도금된 은 스트립을 구비한다. 또한, 도금은 니켈 상의 팔라듐 상의 금의 완전한 도금으로 구성될 수 있다. 다른 기판 재료는 성질상 유기물이고, 종종 BT 수지로부터 제조된다. 이들 기판상에는, 신호 처리를 위한 패턴이 형성된 일련의 금속 트레이스가 존재한다. 기재 재료는 니켈 및 금으로 도포된 구리이다. 대부분의 니켈- 및 금-도포된 구리는 솔더 마스크 형태의 유기 재료로 도포된다.
다이 접착 에폭시, 전기도금, 유기 기판 및 솔더 마스크가 임의의 세정 공정에 의해 감성되지 않도록 하는 것이 중요하다.
최근에는 유기 기판이 전형적으로 산소 플라즈마 내에서 세정되어 금 도금으로부터 잔류물을 제거한다. http://www.semiconductorfabtech.com에 의해 공지된 일부 작업은, 수소/아르곤 플라즈마가 구리 본딩 패드로부터 산화물을 세정하는데 적당하다고 제시한다. 실제 세정 공정의 상세는 문헌[Nico Onda, Zeno Stossel et al., "Hydrogen plasma cleaning a novel process for IC-packaging"]에 개시되어 있다.
본 발명의 독점적 화학반응으로부터 유도된 공정은 구리 패드뿐만 아니라 리드프레임 자체로부터 산화물을 제거할 수 있다. 리드프레임 상에는, 금속 표면상에 은 산화물을 포함하는 은 도금된 영역이 존재할 수 있다. 구리 와이어가 본딩 공정에 이용된다면, 리드프레임상에서 도금을 포기하도록 요구하는 강한 요구가 산업계에 존재한다. 이것은 비용의 관점으로부터 유인된 것이다. 이것은 강한 산화물 제거 공정 및 재산화를 방지할 수 있는 와이어 본딩 시스템 모두를 요구한다. 후자가 지금 우리가 할 수 있는 것이다. 공정 및 하드웨어는 등가 플라즈마 공정에 필적하는 프레임 당 1분 미만의 사이클 시간을 제공해야 한다. 시스템 비용이 또한 낮아야 하며, MTBA/MTTR은 다른 어셈블리 설비와 조화되어야 한다. 또한, 정규 유지보수 사이에 긴 휴지시간이 존재하여야 한다. 유지보수 시간은 짧아야 하고, 또한 비용이 적게 들어야 한다.
본 발명의 제 10구체예에 따르면, 다이스 및 리드프레임상의 와이어 본딩 패드와 관련된 니켈 도금 표면상의 니켈 산화물, 은 도금 표면상의 은 산화물 및 구리 표면상의 구리 산화물이 본 발명에 따라 환원된다. 에폭시가 다이스에 도포된 후, 고온이 회피되어야 하며; 따라서, 적용된 환원 온도는 대략 150℃로 매우 낮아야 한다.
금속 패드 상의 산화물 층의 두께는 웨이퍼 로트(lot)에 따라 변한다. 본 발명의 제 11구체예에 따른 환원 방법은 2단계의 환원 공정으로 구성된다. 제 1환원 단계는 본딩 패드상의 금속 산화물 층의 두께의 변화를 감소시켜 웨이퍼 로트를 균일화시킨다. 제 1환원 단계는 400℃ 미만에서 수행될 수 있다. 웨이퍼가 다이스 되고 다이스가 리드프레임의 중심에 접착되는 경우, 제 2환원 단계가 일어난다. 본딩 패드상의 금속 산화물(통상 구리 산화물)의 잔여 박층이 약 150℃에서 원소 금속으로 환원된다. 환원제는 적어도 하나의 -OH, -CHO 및/또는 -COOH 작용기를 함유하는 유기 화합물 또는 상기 유기 화합물의 혼합물이다. 환원제가 증발되고, 선택적으로 불활성 기체 예를 들어 질소 기체로 희석되며, 반응 공간으로 도입되어, 환원성 금속 산화물을 함유하는 기판 표면에 접촉된다.
환원제
환원제는 충분한 증기압, 기판 온도에서의 충분한 열적 안정성 및 환원될 금속과의 충분한 반응성을 가진 재료로부터 선택된다.
충분한 증기압이란, 기상의 충분한 화학물질 공급원 분자가 기판 근처에 존재하여 충분히 빠른 환원반응을 가능하게 하는 것을 의미한다.
사실, 충분한 열적 안정성이란, 환원제 자체가 열적 분해를 통해 기판상에 성장 방해성 응축가능한 상을 형성하지 않고, 기판 표면상에 유해 수준의 불순물을 남기지 않아야 한다. 따라서, 기판상으로 분자의 비제어적 응축을 회피하는 것이 하나의 목적이다.
추가의 선택 기준으로는 충분히 고순도의 화학물질의 가용성, 특히 엄격한 주의 없는 취급의 용이성을 포함한다.
본 발명에 따르면, 환원제는 상기 기준을 만족시키는 유기 화합물로부터 선택된다. 본 발명에 따른 환원에 이용된 유기 화합물은 알콜(-OH), 알데히드(-CHO) 및 카르복시산(-COOH)로부터 선택된 하나 이상의 작용기를 갖는다.
하나 이상의 알콜기를 함유하는 유사 환원제는 다음으로부터 선택되는 것이 바람직하다:
- 수소에 결합하거나(CH3OH에서 처럼) 또 다른 탄소 원자에 결합한 탄소 원자에 부착된 -OH기를 구비한 1차 알콜, 특히 하기 일반식(Ⅰ)에 따른 1차 알콜
R 1 -OH (Ⅰ)
여기에서 R1은 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 또는 알케닐 기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 또는 헥실이며,
바람직한 1차 알콜의 예로는, 메탄올(CH3OH), 에탄올(CH3CH2OH), 프로판올(CH3CH2CH2OH), 부탄올(CH3CH2CH2 CH2OH), 2-메틸프로판올((CH3)2CHCH2OH) 및 2-메틸 부탄올(CH3CH2CH(CH3)CH2OH)가 있으며,
- 2개의 다른 탄소 원자에 결합되는 탄소 원자에 부착된 -OH기를 가진 2차 알콜, 특히 하기 화학식 (Ⅱ)에 따른 2차 알콜
Figure 112002037436009-pct00005
(Ⅱ)
여기에서 각 R1은 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 및 알케닐기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 및 헥실로 구성된 군으로부터 독립적으로 선택되며,
적당한 2차 알콜의 예로는, 2-프로판올((CH3)2CHOH) 및 2-부탄올(CH3CH(OH)CH2CH3)가 있으며,
- 3개의 다른 탄소 원자에 결합된 탄소원자에 부착된 -OH기를 가진 3차 알콜, 특히 일반식 (Ⅲ)에 따른 3차 알콜
Figure 112002037436009-pct00006
(Ⅲ)
여기에서 각 R1은 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 및 알케닐기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 및 헥실로 구성된 군으로부터 독립적으로 선택되며,
적당한 3차 알콜의 예로는, 3차-부탄올((CH3)3COH)가 있으며,
- 디올류 및 트리올류와 같은 폴리히드록시 알콜로서, 이것은 상기 1차, 2차 및/또는 3차 알콜기를 가지며, 예를 들어 에틸렌 글리콜(HOC2CH2OH) 및 글리세롤(HOCH2CH(OH)CH2OH)이며,
- 1-10개, 통상 5-6개의 탄소 원자로 구성된 고리의 일부인 적어도 하나의 탄소 원자에 부착되는 -OH기를 가진 시클릭 알콜,
- 벤젠 고리에 부착되거나, 또는 벤질 알콜(C6H5CH2OH), o-, p- 및 m-크레졸 및 레조르시놀과 같이 측쇄의 탄소 원자에 부착된 하나 이상의 -OH기를 가진 방향족 알콜,
- 할로겐화 알콜, 바람직하게는 일반식 (Ⅳ)를 갖는 할로겐화 알콜
CH n X 3-n -R 2 -OH (Ⅳ)
여기에서 X는 F, Cl, Br 또는 I이고, 바람직하게는 F 또는 Cl이며,
n은 0 내지 2의 정수이고,
R2은 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬렌 및 알케닐렌 기, 바람직하게는 메틸렌, 에틸렌, 트리메틸렌, 테트라메틸렌, 펜타멘틸렌 및 헥사메틸렌, 및 특히 메틸렌 및 에틸렌의 군으로부터 선택되며,
적당한 화합물의 예로는, 2,2,2-트리플루오로에탄올(CF3CH2OH)가 있으며,
- 기타 알코올 유도체, 예를 들어 메틸 에탄올아민(CH3NHCH2CH2OH)과 같은 아민류.
하나 이상의 -CHO기를 함유하는 적당한 환원제는 다음의 기로부터 선택되는 것이 바람직하다:
- 일반식 (Ⅴ)의 화합물
R 3 -CH0 (Ⅴ)
여기에서, R3은 수소, 또는 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 또는 알케닐기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 또는 헥실, 특히 메틸 또는 에틸이며,
화학식 (Ⅴ)에 따른 바람직한 화합물의 예로는, 포름알데히드(HCHO), 아세트알데히드(CH3CHO) 및 부티르알데히드(CH3CH2CH2OH)가 있고,
- 일반식 (Ⅵ)을 갖는 알칸디알 화합물
OHC-R 4 -CHO (Ⅵ)
여기에서 R4은 선형 또는 분지된 C1-C20 포화 또는 불포화 탄화수소이지만, R4이 "0"인 경우, 즉 알데히드 기가 서로 결합되는 경우도 가능하며,
- 할로겐화 알데히드, 및
- 기타 알데히드 유도체.
하나 이상의 -COOH기를 함유하는 적당한 환원제는 다음 기로부터 선택되는 것이 바람직하다:
- 일반식 (Ⅶ)을 갖는 화합물
R 5 -COOH (Ⅶ)
여기에서 R5은 수소 또는 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 또는 알케닐기, 바람 직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 또는 헥실, 특히 메틸 또는 에틸이며,
화학식 (Ⅶ)에 따른 적당한 화합물의 예로는 포름산(HCOOH) 및 아세트산(CH3COOH)가 있으며,
- 폴리카르복시산,
- 할로겐화 카르복시산, 및
- 기타 카르복시산 유도체.
금속 산화물의 환원에서, 환원제는 자연적으로 산화된다. 따라서, 본 발명에 이용된 환원제 중에서, 알콜류가 알데히드 및 케톤으로 산화되고, 알데히드류가 카르복시산으로 산화되며, 카르복시산이 이산화탄소로 산화된다. 물은 몇몇 반응에서 기상 부산물로서 형성된다. 산화된 환원제가 휘발성이고, 따라서 반응 후에 반응 공간으로부터 용이하게 제거될 수 있는 경우의 환원제를 선택하는 것이 중요하다.
하기에서, 본 발명은 실시예를 참조하여 추가로 설명된다.
실시예
박막의 특성은 하기 방법으로 결정된다:
저항은 휴렛 패커드 34401A 멀티미터로 측정된다. 4개의 리드가 2개의 금 도금 접촉 핀에 접속된다. 상기 배열은 리드 저항의 제거를 가능하게 하였다. 핀 팁 사이의 거리는 13.5mm이다. 측정 동안에, 핀은 190 g 질량으로 표본 표면에 주의 깊게 압착된다. 표본 사이의 비교 분석을 위한 장치가 이용되었다.
도 7은 구리 표본의 전기 저항을 나타낸다. 저항치는 각 표본으로부터의 10회 측정치의 평균이다. 실리콘에 증착된 ECD 구리 금속이 모든 실험에 이용되었다. ECD-1 및 ECD-2는 어떠한 추가 처리도 없는 순수한 ECD 구리 금속이다. O-ECD-1 및 O-ECD-2 표본은 구리 산화물 코팅을 갖는다(약 350nm). 나머지 표본들은 환원 실험 전에 구리 산화물 코팅을 가졌다. N2은 99.9999%의 순도를 갖는 질소 기체이고, Me0H는 메탄올이며, EtOH는 에탄올이고, 2-PrOH는 이소프로판올이고, 3차-BuOH는 3차-부탄올이고, PrCHO는 부티르알데히드이고, Me2CO는 아세톤이고, HCOOH는 포름산이며, CH3COOH는 아세트산이고, H2는 수소이다. 시약 이름 뒤의 숫자는 섭씨로 나타낸 반응 온도이다. 괄호내의 숫자는 분으로 나타낸 반응 시간이다.
박막의 조성은 TOF-ERDA로 결정되었다. 표본은 53 MeV127I10+ 이온으로 조준되었다.
도 1은 전기화학적으로 증착된 (이후 ECD로 언급됨) 구리 금속으로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다. 산소, 탄소 및 수소 농도는 0.1 at-% 미만이다.
도 2는 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나탄낸다. 미리 산화된 표본은 질소 분위기하에서 1시간 동안 350-380℃에서 가열되었다. 350nm 산화물 층은 Cu2O의 조성을 가졌다. 막내에는 탄소 및 수소가 0.1 at-% 미만으로 존재한다.
반응식에 대한 자유 깁스 에너지(△Gf)는 윈도우(버전 3.02)용 오우토쿰푸 HSC Chemistry(Outokumpu Research Ltd., Pori, Finland)로 계산되었다.
실시예 1 : 메탄올 증기에 의한 환원
구리 금속상에 구리 산화물 코팅을 가진 실리콘 기판을 F-120 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 실험에 따라 250℃, 310℃, 360℃ 또는 385℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
메탄올은 20℃에서 128 mbar의 증기압을 갖는 액체이다. 메탄올을 21℃로 유지되는 외부 공급병으로부터 증발시켰다. 메탄올 증기를 질소 기체(순도 99.9999%, 400 표준 cm3/min)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 기판에 접촉시켰다. 반응 시간은 300초였다. 메탄올의 소비량은 0.55g이었다. 표본을 실내 공기로 하적하기 전에 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시켰다.
반응식 R1 및 R2에 따라 구리 산화물이 구리 금속으로 환원되는 동안 메탄올이 구리 산화물로 산화되어 포름알데히드와 물로 된다고 생각된다. 포름알데히드와 구리 산화물의 추가의 반응이 가능하며, 이것은 이산화탄소를 형성시킨다.
Figure 112002037436009-pct00007
도 3은 385℃에서 5분 동안 메탄올 증기로 환원된 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다. 막내에 탄소 및 수소 0.1 at-% 및 산소 0.5 at-%가 존재한다.
실시예 2 : 에탄올 증기에 의한 환원
구리 금속상에 구리 산화물 코팅을 가진 실리콘 기판을 F-120 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 실험에 따라 310℃, 360℃ 또는 385℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
에탄올은 20℃에서 59 mbar의 증기압을 갖는 액체이다. 에탄올(등급 BA14, 순도 99.5%)을 21℃로 유지되는 외부 공급병으로부터 증발시켰다. 에탄올 증기를 질소 기체(순도 99.9999%, 400 표준 cm3/min)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 기판에 접촉시켰다. 반응 시간은 300초였다. 에탄올의 소비량은 0.60g이었다. 표본을 실내 공기로 하적하기 전에 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시켰다.
결과적으로, 구리 산화물 막이 310℃에서 부분적으로 구리 금속으로 환원되었다. 환원반응은 360 및 385℃에서 5분내에 완결되었다.
반응식 R3 및 R4에 따라 구리 산화물이 구리 금속으로 환원되는 동안 에탄올이 구리 산화물로 산화되어 아세트알데히드와 물로 된다고 생각된다. 아세트알데히드와 구리 산화물의 추가의 반응이 가능하며, 이것은 아세트산을 형성시킨다.
Figure 112002037436009-pct00008
도 4는 360℃에서 5분 동안 에탄올 증기로 환원된 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다. 막내에 0.1-0.2 at-%의 탄소 및 수소가 존재한다. 150nm 깊이의 아래에는 0.2 at-%의 산소가 존재한다. 150nm 아래에서는 2.5 at-% 이하의 산소가 막내에 존재한다.
실시예 3 : 2-프로판올 증기에 의한 환원
구리 금속상에 구리 산화물 코팅을 가진 실리콘 기판을 F-120 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 실험에 따라 310℃, 360℃ 또는 385℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
2-프로판올로 공지된 이소프로판올은 20℃에서 43 mbar의 증기압을 갖는 액체이다. 이소프로판올(Merk VLSI Selectipur)을 21℃로 유지되는 외부 액체 공급병으로부터 증발시켰다. 이소프로판올 증기를 질소 기체(순도 99.9999%, 400 표준 cm3/min)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 기판에 접촉시켰다. 반응 시간은 300초였다. 이소프로판올의 소비량은 0.70g이었다. 표본을 실내 공기로 하적하기 전에 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시켰다.
결과적으로, 구리 산화물이 360 및 385℃에서 5분내에 구리 금속으로 완전히 환원되었다. 부분 환원은 310℃에서 수득되었다.
2-프로판올이 구리 산화물로 산화되어 아세톤 및 물로 되고 이 때에 구리 산 화물이 반응식 R5 및 R6에 따라 구리 금속으로 환원되는 것으로 생각된다.
Figure 112002037436009-pct00009
도 5는 360℃에서 5분 동안 이소프로판올 증기로 환원된 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다. 막내에 0.1-0.2 at-%의 탄소 및 수소가 존재한다. 120nm 깊이의 아래에는 0.2 at-%의 산소가 존재한다. 120nm 아래에서는 20 at-% 이하의 산소가 막내에 존재한다.
실시예 4 : 3차-부탄올 증기에 의한 환원
구리 금속상에 구리 산화물 코팅을 가진 실리콘 기판을 F-120 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 385℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
2-메틸-2-프로판올로 공지된 3차-부탄올은 실온에서 고체이고 +24-+25℃에서 녹는다. 그것은 20℃에서 36 mbar의 증기압을 갖는 액체이다. 그것을 21℃로 유지되는 외부 액체 공급병으로부터 승화시켰다. 3차-부탄올 증기를 질소 기체(순도 99.9999%, 400 표준 cm3/min)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 기판에 접촉시켰다. 반응 시간은 실험에 따라 5 내지 60분으로 변하였다. 표본을 실내 공기로 하적하기 전에 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시켰다.
결과적으로, 3차 알콜은 구리 산화물과 2차 및 1차 알콜보다 훨씬 낮은 반응성을 갖는 것으로 나타났다. 구리 산화물의 구리 금속으로의 완전 환원은 반응 온도가 385℃보다 높지 않은 경우에 60분내에 수득되지 않았다.
실시예 5 : 부티르알데히드 증기에 의한 환원
구리 금속상에 구리 산화물 코팅을 가진 실리콘 기판을 F-120 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 실험에 따라 310℃, 360℃ 또는 385℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
부티르알데히드는 20℃에서 148 mbar의 증기압을 갖는 액체이다. 그것을 21℃로 유지되는 외부 액체 공급병으로부터 증발시켰다. 부티르알데히드 증기를 질소 기체(순도 99.9999%, 400 표준 cm3/min)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 기판에 접촉시켰다. 환원 실험을 310℃, 360℃ 또는 385℃에서 수행하였다. 반응 시간은 300초였다. 부티르알데히드의 소모량은 1.3g이었다. 표본을 실내 공기로 적하하기 전에 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시켰다.
결과적으로, 구리 산화물이 360 및 385℃에서 5분내에 부분적으로 구리 금속으로 환원되었다. 저항 측정은, 기판의 중간은 매우 낮은 저항을 갖는 반면 기판의 측면은 잔류된 약간의 산화물을 갖는 것으로 나타내었다. 다양한 크기의 탄화수소에 결합된 -OH기를 갖는 알콜 실험에 기초하여, 부티르알데히드 보다는 작은 알데히드 분자, 예를 들어 포름알데히드 HCHO 또는 글리옥살 C2H2O2로부터 보다 높은 반응성을 수득할 수 있을 것으로 기대된다.
부티르알데히드가 구리 산화물에 의해 산화되어 분명히 구분되는 냄새를 갖는 부티르산으로 되는 동안 구리 산화물은 반응식 R7 및 R8에 따라 구리 금속으로 환원된다.
Figure 112002037436009-pct00010
실시예 6 : 아세톤 증기에 의한 환원
구리 금속상에 구리 산화물 코팅을 가진 실리콘 기판을 F-120 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 385℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
아세톤은 가장 단순한 케톤이다. 그것은 20℃에서 233 mbar의 증기압을 갖는 액체이다. 그것을 21℃로 유지되는 외부 액체 공급병으로부터 증발시켰다. 아세톤 증기를 질소 기체(순도 99.9999%, 400 표준 cm3/min)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 기판에 접촉시켰다. 환원 실험을 385℃에서 수행하였다. 아세톤 증기를 실험에 따라 5 내지 60분 동안 기판에 접촉시켰다. 아세톤의 소모량은 0.8(5분) 및 9.3g(60분)이었다. 표본을 실내 공기로 적하하기 전에 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시켰다.
케톤의 반응성은 알데히드의 반응성보다 분명히 열등한 것으로 나타났다.
실시예 7 : 포름산 증기에 의한 환원
구리 금속상에 구리 산화물 코팅을 가진 실리콘 기판을 F-120 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 실험에 따라 250℃, 310℃ 또는 385℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
포름산은 가장 단순한 카르복시산이다. 그것은 20℃에서 42 mbar의 증기압을 갖는 액체이다. 그것을 21℃로 유지되는 외부 액체 공급병으로부터 증발시켰다. 포름산 증기를 질소 기체(순도 99.9999%, 400 표준 cm3/min)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 300초 동안 기판에 접촉시켰다. 포름산의 소모량은 0.5g이었다. 표본을 실내 공기로 적하하기 전에 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시켰다.
결과적으로, 구리 산화물은 310 및 385℃에서 5분내에 구리 금속으로 완전히 환원되었다. 포름산이 구리 산화물로 산화되어 이산화탄소 및 물로 되는 동안 구리 산화물은 반응식 R9 및 R10에 따라 구리 금속으로 환원되는 것으로 추정된다.
Figure 112002037436009-pct00011
도 6는 310℃에서 5분 동안 포름산으로 환원된 산화된 ECD 구리로부터 측정된 TOF-ERDA 결과를 나타낸다. 막내에는 0.2-0.3 at-%의 산소 및 수소, 및 0.1 at-%의 탄소가 존재한다.
실시예 8 : 아세트산 증기에 의한 환원
구리 금속상에 구리 산화물 코팅을 가진 실리콘 기판을 F-120 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 실험에 따라 360℃ 또는 385℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
아세트산은 20℃에서 15 mbar의 증기압을 갖는 액체이다. 그것을 21℃로 유지되는 외부 액체 공급병으로부터 증발시켰다. 아세트산 증기를 질소 기체(순도 99.9999%, 400 표준 cm3/min)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 300초 동안 기판에 접촉시켰다. CH3COOH의 소모량은 0.8g이었다. 표본을 실내 공기로 적하하기 전에 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시켰다. 아세트산의 반응성이 포름산의 반응성 보다 열등한 것으로 관찰되었다.
실시예 9 (비교예) : 수소 기체에 의한 환원
구리 산화물 코팅된 구리 금속 막을 가진 실리콘 기판을 반응 챔버내에 적재시켰다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 실험에 따라 385, 450℃ 또는 500℃로 가열시켰다. 반응 챔버의 압력을 흐르는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
물질 유속이 300 표준cm3/min인 수소/질소 기체 혼합물(10 vt-% H2)을 환원제로서 이용하였다. 기체 혼합물을 추가의 400 표준cm3/min인 질소와 함께 반응 챔버에 도입시키고 기판에 접촉시켰다. 반응 시간은 실험에 따라 5 내지 60분이었다.
결과적으로, 수소는 저온에서 오히려 낮은 반응성을 가졌다. 구리 산화물 층의 거의 완전한 환원을 수득하기 위하여 500℃에서 1시간 동안 H2로 처리할 필요가 있다.
수소가 구리 산화물로 산화되어 물로 되는 동안 구리 산화물이 반응식 R11 및 R12에 따라 구리 금속으로 환원되는 것으로 추정된다.
Figure 112002037436009-pct00012
실시예 10 : 에탄올에 의한 산화 구리(Ⅱ)의 환원
기판상에 구리를 함유한 실리콘 기판을 F-120 유동형 ALCVDTM 반응기내에서 먼저 오존 기체로 처리하여 CuO 막을 생성시키고, 여기에서 구리는 +2의 산화 상태를 갖는다. O3로 처리한 후, 기판을 검사하기 위해 하적하였다. 기판상에 암회색 코팅이 존재하였다. 막은 휴렛 패커드 34401A 멀티미터로 측정한 경우 메가오옴 정도의 높은 저항을 가졌다.
그 다음, 구리 산화물 코팅을 가진 기판을 다시 F-120 유동형 ALCVDTM 반응기의 반응 챔버내에 적재하였다. 반응 챔버를 진공으로 배기시키고 실험에 따라 310 또는 360℃로 가열하였다. 반응 챔버의 압력을 유동하는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다.
순도 99.5%의 에탄올을 환원제로 이용하였다. 에탄올 증기를 400 표준 cm3/min의 질소 기체(순도 99.9999%)와 혼합시켰다. 기체 혼합물을 반응 챔버내로 도입시키고 300초 동안 기판에 접촉시켰다. 환원 공정 후에, 반응기를 100℃ 미만으로 냉각시키고 기판을 검사를 위해 하적시켰다.
결과적으로, 실리콘 기판상에 구리 금속 피막을 가진 박막이 존재하였다. 막은 실리콘에 양호한 접착성을 가지며 막의 박리가 관찰되지 않았다. 막의 저항은 메가오옴 범위로부터 오옴 범위로, 즉 106 정도의 크기가 감소하였다. 실험은 CuO가 성공적으로 구리 금속으로 환원됨을 보였다.
실시예 11 : 에탄올에 의한 코발트 산화물의 환원
실리콘 기판상의 코발트 산화물 박막을 F-200 유동형 ALCVDTM 반응기내에서 400℃로 가열하고 에탄올 증기에 10분 동안 노출시켰다. 반응 챔버의 압력을 기계적 진공 펌프 및 유동하는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다. EDS 측정에 따르면, 64 nm의 박막이 에탄올 노출 전에 산소 및 코발트를 1.1의 비율로 함유하고, 이것은 약간의 Co3O4와 함께 CoO의 존재를 나타낸다. 에탄올 증기 노출 후에, 기판상의 박막은 100% Co로 구성되고, 코발트 산화물로부터의 산소의 제거로 인해 두께가 39 nm로 감소하였다. 코발트 금속 막은 실리콘 기판에 우수한 접착성을 가졌다.
실시예 12 : 에탄올에 의한 팔라듐 산화물의 환원
실리콘 및 SiO2, TiN, WxN 및 WyC 코팅된 기판상의 팔라듐 산화물 PdO 박막을 F-200 유동형 ALCVDTM 반응기내로 적재시켰다. 반응 챔버의 압력을 기계적 진공 펌프 및 유동하는 질소 기체로 약 5-10 mbar로 조정하였다. 표본을 400℃로 가열하고 에탄올 증기에 5분 동안 노출시켰다. 수득된 팔라듐 금속 막의 두께는 초기 팔라듐 산화물 박막 두께에 따라 10-30 nm였다. EDS 측정에 따르면, 환원된 박막은 검출할 수 없는 양의 산소와 함께 100% Pd로 구성되었다. 팔라듐 금속 막은 환원 공정 후에, 실리콘, SiO2, TiN, WxN 및 WyN 표면에 우수한 접착력을 가졌다.

Claims (19)

  1. 집적 회로의 가공 중에 적어도 부분적으로 금속 산화물의 형태인 원소 금속의 하나 이상의 층을 함유하는 집적 회로를 제조하는 방법에 있어서,
    열분해 또는 촉매와 같은 물리적 또는 화학적 사전 공정 없이, 그리고 휘발성 금속 화합물을 형성함 없이, 알콜(-OH), 알데히드(-CHO) 및 카르복시산(-COOH)으로부터의 하나 이상의 작용기를 함유하는 유기 화합물로부터 선택된 하나 이상의 화합물로 구성된 기상 환원제로 금속 산화물 층이 적어도 부분적으로 원소 금속으로 환원됨을 특징으로 하는 방법.
  2. 집적 회로의 가공 중에 적어도 부분적으로 구리 산화물의 형태인 원소 구리의 하나 이상의 층을 함유하는 집적 회로를 제조하는 방법에 있어서,
    열분해 또는 촉매와 같은 물리적 또는 화학적 사전 공정 없이, 그리고 휘발성 금속 화합물을 형성함 없이, 알콜(-OH), 알데히드(-CHO) 및 카르복시산(-COOH)로부터의 하나 이상의 작용기를 함유하는 유기 화합물로부터 선택된 하나 이상의 화합물로 구성된 기상 환원제로 구리 산화물 층이 적어도 부분적으로 원소 구리로 환원됨을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1항에 있어서, 금속이 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 레늄(Re), 철(Fe), 루테늄(Ru), 오스뮴(Os), 코발트(Co), 로듐(Rh), 이리듐(Ir), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 은(Ag), 금(Au), 아연(Zn), 카드뮴(Cd), 인듐(In), 게르마늄(Ge), 주석(Sn), 납(Pb), 안티몬(Sb) 또는 비스무스(Bi)임을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 금속 산화물 층이 금속 산화물을 증착시켜 형성됨을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 금속 산화물 층이 금속 층의 원치 않은 산화에 의해 형성됨을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 금속 산화물 층의 두께가 0.1 내지 1000 nm, 바람직하게는 0.1 내지 400 nm임을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 환원이 400℃ 이하의 온도에 서 수행됨을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서, 환원된 금속 산화물이 전기화학적으로 증착된 금속 층용 시드 층임을 특징으로 하는 방법.
  9. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 금속화 층상 또는 금속화 층 내부의 금속 산화물이 예비-CMP 어닐링 동안에 적어도 부분적으로 원소 금속으로 환원됨을 특징으로 하는 방법.
  10. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 금속성 인터커넥트 상의 금속 산화물 층이 사후-CMP 어닐링 방법 단계 후에 적어도 부분적으로 원소 금속으로 환원됨을 특징으로 하는 방법.
  11. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 노출된 비아 바닥 금속상의 금속 산화물이 확산 방벽의 증착 전에 적어도 부분적으로 원소 금속으로 환원됨을 특징으로 하는 방법.
  12. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 환원된 금속 산화물이 커패시터 전극임을 특징으로 하는 방법.
  13. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 환원된 금속 산화물이 트랜지스터 게이트 금속임을 특징으로 하는 방법.
  14. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 환원된 금속 산화물이 트랜지스터의 소스 및 드레인 영역상의 실리콘 및 텅스텐 플러그 사이의 중간층(76)임을 특징으로 하는 방법.
  15. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 환원된 금속 산화물이 와이어 본딩 패드상에 존재함을 특징으로 하는 방법.
  16. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 금속 산화물이 IC 디바이스의 제조 중 레지스트 제거 단계 동안에 또는 그 후에 형성됨을 특징으로 하는 방법.
  17. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 환원제가 하나 이상의 알콜(-OH)기를 함유하는 유기 화합물로서, 하기 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 방법:
    - 1차 알콜, 특히 일반식(Ⅰ)에 따른 1차 알콜
    R1-OH (Ⅰ)
    여기에서 R1은 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 또는 알케닐 기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 또는 헥실이며,
    - 2차 알콜, 특히 하기 화학식 (Ⅱ)에 따른 2차 알콜
    Figure 112007030620787-pct00013
    (Ⅱ)
    여기에서 각 R1은 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 또는 알케닐기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 및 헥실로 구성된 군으로부터 독립적으로 선택되며,
    - 3차 알콜, 특히 일반식 (Ⅲ)에 따른 3차 알콜
    Figure 112007030620787-pct00014
    (Ⅲ)
    여기에서 각 R1은 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 또는 알케닐기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 및 헥실로 구성된 군으로부터 독립적으로 선택되며,
    - 폴리히드록시 알콜
    - 1-10개, 통상 5-6개의 탄소 원자로 구성된 고리의 일부인 적어도 하나의 탄소 원자에 부착되는 -OH기를 가진 시클릭 알콜,
    - 벤젠 고리에 부착되거나, 또는 벤젠 고리에 부착된 측쇄의 탄소 원자에 부착된 하나 이상의 -OH기를 가진 방향족 알콜,
    - 할로겐화 알콜, 및
    - 기타 알코올 유도체.
  18. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 환원제가 하나 이상의 알데히드(-CHO)기를 함유하는 유기 화합물로서, 하기 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 방법:
    - 일반식 (Ⅴ)를 갖는 화합물
    R3-CH0 (Ⅴ)
    여기에서, R3은 수소, 또는 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 또는 알케닐기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 또는 헥실이며,
    - 일반식 (Ⅵ)을 갖는 화합물
    OHC-R4-CHO (Ⅵ)
    여기에서 R4은 선형 또는 분지된 C1-C20 포화 또는 불포화 탄화수소이지만, 알데히드 기가 서로 결합되는 경우 R4이 "제로"이며,
    - 할로겐화 알데히드, 및
    - 기타 알데히드 유도체.
  19. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 환원제가 하나 이상의 카르복시산(-COOH)을 함유하는 유기 화합물로서, 하기 기로부터 선택됨을 특징으로 하는 방법:
    - 일반식 (Ⅶ)을 갖는 화합물
    R5-COOH (Ⅶ)
    여기에서 R5은 수소, 또는 선형 또는 분지된 C1-C20 알킬 또는 알케닐기, 바람직하게는 메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 또는 헥실이며,
    - 폴리카르복시산,
    - 할로겐화 카르복시산, 및
    - 기타 카르복시산 유도체.
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