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EP0321819A2 - Verfahren zur massenspektroskopischen Untersuchung eines Gasgemisches und Massenspektrometer zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur massenspektroskopischen Untersuchung eines Gasgemisches und Massenspektrometer zur Durchführung dieses Verfahrens Download PDF

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Publication number
EP0321819A2
EP0321819A2 EP88120710A EP88120710A EP0321819A2 EP 0321819 A2 EP0321819 A2 EP 0321819A2 EP 88120710 A EP88120710 A EP 88120710A EP 88120710 A EP88120710 A EP 88120710A EP 0321819 A2 EP0321819 A2 EP 0321819A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
quistor
ring electrode
distance
apex
ion trap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP88120710A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0321819A3 (en
EP0321819B2 (de
EP0321819B1 (de
Inventor
Jochen Dr. Franzen
Reemt-Holger Dr. Gabling
Gerhard Heinen
Gerhard Weiss
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bruker Daltonics GmbH and Co KG
Original Assignee
Bruken Franzen Analytik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=6343365&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=EP0321819(A2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Bruken Franzen Analytik GmbH filed Critical Bruken Franzen Analytik GmbH
Publication of EP0321819A2 publication Critical patent/EP0321819A2/de
Publication of EP0321819A3 publication Critical patent/EP0321819A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0321819B1 publication Critical patent/EP0321819B1/de
Publication of EP0321819B2 publication Critical patent/EP0321819B2/de
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/42Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
    • H01J49/4205Device types
    • H01J49/424Three-dimensional ion traps, i.e. comprising end-cap and ring electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/42Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
    • H01J49/426Methods for controlling ions
    • H01J49/427Ejection and selection methods
    • H01J49/429Scanning an electric parameter, e.g. voltage amplitude or frequency

Definitions

  • the invention relates to a method for mass spectroscopic examination of a gas mixture using a mass spectrometer with an ion trap, which is designed as a quistor with a ring electrode and two end electrodes closing the chamber delimited by the ring electrode, of which end electrodes at least one with an extension of the axis of rotation of the ring electrode arranged perforation ver you can see which procedure performs the following steps: Applying an RF voltage of such amplitude and frequency and possibly such a DC voltage to the ring electrode that a three-dimensional RF quadrupole field is generated within the ion trap, which is suitable for ions whose charge / mass ratio is in a predetermined range, to catch and store in the ion trap Introducing or generating ions of the gas mixture into or within the ion trap and storing those ions in the ion trap whose charge / mass ratio is in the predetermined range, Changing at least one of the field parameters formed by the amplitude, the frequency and possibly the DC voltage in such
  • a special property of the quistor is that the ions in the center of the RF field are not exposed to any field strength that could give them a movement component to leave the ion trap.
  • a collision gas is admitted into the ion trap, the pressure of which is set in such a way that the ions are driven far enough from the center of the ion trap by shocks to leave the ion trap. Since this gas simultaneously increases the yield by damping the ion movement transverse to the direction of expulsion, it is also called "damping gas".
  • the line shape is also affected by space charge effects if there are too many ions in the quistor. As a work by J.W. Eichelberger et al in "Analytical Chemistry" 59, page 2732, 1987, can be taken, this space charge effect even leads to scientific misinterpretation.
  • the invention is based on the object of further developing the method of the type mentioned in such a way that an improvement in the line shape and thus also an improvement in the resolving power is achieved in the mass spectroscopic examination of gas mixtures by means of such a mass spectrometer.
  • the measure according to the invention not only shortens the time that the ions need to leave the trap, but also improves the line shape, increases sensitivity and detection capacity by improving the signal / noise ratio and reduces the influence of space charge.
  • the shortening of the time that the ions need to leave the ion trap allows an increase in the Number of spectra recordings per unit of time, which can further increase sensitivity.
  • the invention also relates to a mass spectrometer which is suitable for examining a gas mixture according to the method according to the invention and has an ion trap which is designed as a quistor with a ring electrode and two end electrodes closing the chamber delimited by the ring electrode, of which end electrodes at least one with one perforation arranged in the extension of the axis of rotation of the ring electrode.
  • the distance r o of the apex of the ring electrode from the center of the quistor has a value which ensures that the amplitude of the RF voltage applied to the ring electrode has the value largest mass of interest is still captured by means of the storage field
  • the values r o and Q which are particularly important for the behavior of the quistor, are preselected and the other values are determined in accordance with the specified rules, with freedom to take R e and R r into account allow other influencing factors, especially in terms of manufacturing technology. It goes without saying. that the stated relationships represent only one guideline, compliance with which is expedient, but is not essential for the success of the invention, so that it is also possible to deviate from the given guideline.
  • the quistor shown in FIG. 1 has a ring electrode 4 and two end electrodes 3, 5, each arranged on one side of the ring electrode, which terminate the chamber delimited by the ring electrode 4 on both sides of the ring electrode.
  • the end electrodes 3 and 5 are each supported on the ring electrode 4 by ring-shaped insulators 7, 8.
  • the ring-shaped insulators 7, 8 also form a tight connection between the outer sections of the ring electrode 4 and the end electrodes 3, 5.
  • An inlet line 11 opens into the ring electrode 8, which makes it possible to introduce a damping gas into the ion trap.
  • the lower end electrode 5 in FIG. 1 has a perforation 9 in the area of its center, through which ions can leave the quistor.
  • a secondary electron multiplier 6 is arranged on the outside of the lower end electrode 5 and makes it possible to detect the ions leaving the quistor through the perforation 9.
  • Both the ring electrode 4 and the end electrodes 3 and 5 have strictly hyperbolic surfaces, which means that their contours are hyperbolas in the cross section shown in FIG. 1.
  • the asymptotic angle of both the ring electrode 4 and the hyperbola producing the end electrodes 3, 5 is 1: 1.360.
  • the end electrodes 3, 5 are at ground potential, an RF voltage with a frequency of 1.0 MHz is applied to the ring electrode 4, which can be varied in the range from 0 V to 7.5 kV.
  • the range of the charge / mass ratio of the ions which are captured and stored by the quistor in the case of a simple ionization, comprises ions with the mass numbers 1 to 500 u, where u is the atomic mass unit. Accordingly, by changing the RF voltage in the range from 0 V to 7.5 kV, a mass range from 1u to 500u can be covered in one scan.
  • the device for generating an electron beam provided in the quistor according to FIG. 1 allows the ions to be generated in the quistor itself by in the ionization phase, the duration of which can be determined by means of the blocking lens 2, an electron beam from the hot cathode 1 through the opening 10 is focused in the quistor.
  • Typical ionization times for an electron beam of 100 ⁇ A strength are in the range from 10 ⁇ s to 100 ms, depending on the concentration of the substance to be examined.
  • the diagram in FIG. 3 illustrates the time it takes for ions to leave the quistor and which is accordingly expressed as a line width as a function of the distance-related circular ratio Q.
  • the three curves in the diagram in FIG. 3 correspond to different scanning speeds, which are at the bottom of Fig. 3 are given. Damping gas was used under optimal pressure conditions. It is readily apparent that the release capability increases significantly for Q ⁇ 4,000.
  • Fig. 4 shows the spectrum of the group of molecular ions of tetrachloroethene for different values of the distance-related circular ratio Q.
  • the spectra were recorded using air with a pressure of 4.10 ⁇ 4 mbar as a steaming gas with different scanning speeds over 300 mass units each.
  • the scan time was 100 ms each, while in the lower spectra b, d, and f the scan time was 20 ms each.
  • Another advantage is that the influence of the space charge is significantly reduced for values of Q ⁇ 4.000. Even if the signal strengths were reduced by a factor of 100, no significant change in line shape and line width could be observed.
  • the reason for the observable improvements is the occurrence of a resonance of the secular movement of the ions exactly at the instability limit, which accelerates the increase in the amplitude of the secular movement and thus increases the speed of the ion ejection.
  • the ejection is therefore only partly due to the instability of the orbits and partly due to the additional energy absorption of the ions from the storing HF field, which is made possible by the resonance.
  • a preferred embodiment therefore provides for the omission of the DC voltage field. In principle, however, it would also be possible to use a DC voltage field and to vary the DC voltage field in order to change the stability range.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

Zur massenspektroskopischen Untersuchung von Gasgemischen wird ein Massenspektrometer mit einem Quistor verwendet, in dem durch Erzeugen eines elektromagnetischen Feldes Ionen des Gasgemisches gespeichert werden, deren Ladungs/Massenverhältnis in einem vorgegebenen Bereich liegt. Durch Ändern der Feldparameter werden die Ionen nacheinander dazu gezwungen, die Ionenfalle zu verlassen. Dabei wird die Intensität des die Ionenfalle verlassenden Ionenstromes als Funktion der Änderung der Feldparameter gemessen. Zur Verbesserung des Auflösungsvermögens wird ein Quistor verwendet, bei dem das abstandsbezogene Verhältnis Q der Radien der eingeschriebenen Elektroden-Scheitelkreise der Bedingung Q <= 3,990 genügt, wobei <IMAGE> mit Re = Radius des Scheitelquerschnittes der Endelektroden (3, 5), Rr = Radius des Scheitelquerschnittes der Ringelektrode (4), zo = Abstand der Scheitel der Endelektroden (3, 5) vom Zentrum des Quistors und ro = Abstand des Scheitels der Ringelektrode (4) vom Zentrum des Quistors.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektroskopischen Untersuchung eines Gasgemisches unter Verwendung eines Massen­spektrometers mit einer Ionenfalle, die als Quistor mit einer Ringelektrode und zwei die von der Ringelektrode begrenzte Kammer abschließenden Endelektroden ausgebildet ist, von welchen Endelektroden wenigstens eine mit einer in Verlängerung der Rotationsachse der Ringelektrode angeordneten Perforation ver­ sehen ist, bei welchem Verfahren die folgenden Schritte ausge­führt werden:
    Anlegen einer HF-Spannung solcher Amplitude und Frequenz sowie ggf. einer solchen Gleichspannung an die Ringelektrode, daß innerhalb der Ionenfalle ein dreidimensionales HF-Quadrupol­feld erzeugt wird, das dazu geeignet ist, Ionen, deren La­dungs/Massen-Verhältnis in einem vorgegebenen Bereich liegt, zu fangen und in der Ionenfalle zu speichern,
    Einführen oder Erzeugen von Ionen des Gasgemisches in die bzw. innerhalb der Ionenfalle und Speichern derjenigen Ionen in der Ionenfallle, deren Ladung/Massen-Verhältnis in dem vor­gegebenen Bereich liegt,
    Ändern mindestens von einem der von der Amplitude, der Frequenz und gegebenenfalls der Gleichspannung gebildeten Feld­parameter in solcher Weise, daß nacheinander Ionen mit sich monoton änderndem Ladungs/Massen-Verhältnis instabil werden und die Ionenfalle in Richtung der Rotationsachse ihrer Ring­elektrode durch die genannte Perforation in der Endelektrode verlassen, und
    Messen und Aufzeichnen der Intensität des die Ionenfalle verlassenden Ionenstromes als Funktion der Änderung der Feld­parameter.
  • Grundlegende Ausführungen über die Verwendung eines Quistors bei der Massenspektrometrie finden sich in einem von P. H. Dawson herausgegebenen Buch mit dem Titel: "Quadrupol mass spectrometry and its applications", Amsterdam-Oxford-New York 1976, insbesondere Seiten 181 bis 190 und Seiten 203 bis 219. Das spezielle Verfahren, von dem die Erfindung ausgeht, ist in der EP-OS 0 113 207 beschrieben. Bei diesem bekannten Verfahren werden durch Variation der Amplitude der HF-Spannung die Grenzen des Bereiches des Ladung/Massen-Verhaltnisses, für den im Quistor stabile Speicherbedingungen herrschen, verschoben, so daß nacheinander für Ionen mit zunehmender oder auch abnehmender Masse die Fangbedingungen verschwinden und die Ionen in die Lage versetzt werden, den Quistor in Richtung der Rotationsachse der Ringelektrode zu verlassen. Die den Quistor verlassenden Ionen werden mittels eines Elektronen-Vervielfachers registriert, um so das Spektrum der in dem Quistor enthaltenen Gasprobe zu gewinnen.
  • Eine besondere Eigenschaft des Quistors besteht darin, daß die Ionen im Zentrum des HF-Feldes keiner Feldstärke ausgesetzt sind, die ihnen eine Bewegungskomponente zum Verlassen der Ionenfalle erteilen könnte. Um diesem Mangel abzuhelfen, wird in die Ionenfalle ein Stoßgas eingelassen, dessen Druck so eingestellt ist, daß die Ionen durch Stöße optimaler Anzahl weit genug aus dem Zentrum der Ionenfalle getrieben werden, um die Ionenfalle verlassen zu können. Da dieses Gas gleichzeitig durch eine Dämpfung der Ionenbewegung quer zur Austreibungs­richtung einer Erhöhung der Ausbeute bewirkt, wird es auch "Dämpfungsgas" genannt.
  • Alle bekannt gewordenen Ausführungsformen der Ionenfalle folgen in ihrer Konstruktion dem sogenannten "idealen" Quistor. Die Konstruktion eines solchen "idealen" Quistors besteht aus einer Ringelektrode in Form eines hyperbolischen Toroids und zwei rotations-hyperbolischen Endelektroden, wobei der Asymptoten­winkel der Hyperbeln genau 1 : √2 ist. Ein Quistor mit diesem Aufbau zeichnet sich dadurch aus, daß die Ionenbahnen im Quistor durch Lösung der Matthieu'schen Differenzialgleichungen bere­chenbar sind. Die Ionenbahnen für andere Formen der Ionenfalle sind dagegen bisher nicht berechenbar. Es ist bis heute nicht einmal möglich, die exakte Potentialverteilung in anders geform­ ten Ionenfallen so zu berechnen, daß eine erträglich schnelle Computer-Simulation der Bewegungen möglich wird.
  • Die Ergebnisse mit diesen "idealen" Ionenfallen zeigen, daß die Ionen während der Spektrenaufnahme unter optimalen Druck­bedingungen des Dämpfungsgases und optimalen Scanbedingungen etwa 200 Perioden der HF-Spannung benötigen, um zu etwa 95% die Ionenfalle verlassen zu können. Die Linienform zeigt daher nach einem steilen Anstieg zu einem Maximum ein langsames Aus­laufen (tailing), was einer optimalen Auflösung des Spektrums entgegensteht.
  • Die Linienform wird ferner durch Raumladungs-Effekte beeinträch­tigt, wenn sich zu viele Ionen in dem Quistor befinden. Wie einer Arbeit von J.W. Eichelberger et al in "Analytical Chemi­stry" 59, Seite 2732, 1987, entnommen werden kann, führt dieser Raumladungs-Effekt sogar zunehmend zu wissenschaftlichen Fehl­interpretationen.
  • Demgemäß liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, das Verfahren der eingangs genannten Art in solcher Weise weiterzuentwickeln, daß eine Verbesserung der Linienform und damit auch eine Ver­besserung des Auflösungsvermögens bei der massenspektroskopi­schen Untersuchung von Gasgemischen mittels eines solchen Mas­senspektrometers erzielt wird.
  • Diese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß zur Durchführung des Verfahrens ein Quistor verwendet wird, bei dem das abstandsbezogene Verhältnis Q der Radien der einge­schriebenen Elektroden-Scheitelkreise der Bedingung Q ≦ 3,990 genügt, wobei
    Figure imgb0001
    mit
    Re = Radius des Scheitelquerschnittes der Endelektroden
    Rr = Radius des Scheitelquerschnittes der Ringelektrode
    zo = Abstand der Scheitel der Endelektroden vom Zentrum des Quistors
    ro = Abstand des Scheitels der Ringelektrode vom Zentrum des Quistors.
  • Bei dem oben beschriebenen "idealen" Quistor hat das abstands­bezogene Verhältnis Q der Radien der eingeschriebenen Elektro­den-Scheitelkreise genau den Wert Q = 4. Es ist überraschend, daß sich durch eine Verminderung des Verhältnisses Q auf einen Wert Q ≦ 3,990 die massenselektive Ejektion der Ionen durch sequentielles Instabilwerden der Ionenbahnen entscheidend ver­bessern läßt. Bisher wurde nämlich als selbstverständlich an­genommen, daß sich der "ideale" Quistor nicht nur durch seine Berechenbarbeit auszeichnet, sondern auch in bezug auf seine Speichereigenschaften und sein sonstiges Verhalten als ideal erweisen würde. So ist es beispielsweise aus dem eingangs ge­nannten Buch von Dawson bekannt, daß sogenannte Summen-Resonan­zen der Ionenbewegungen im Quistor, die zu Speicherverlusten führen, auf außerordentlich geringfügige Abweichungen der Quistor-Konfiguration von der "idealen" Form zurückzuführen sind.
  • Durch die erfindungsgemäße Maßnahme wird nicht nur die Zeit verkürzt, die die Ionen zum Verlassen der Falle benötigen, sondern es werden auch die Linienform verbessert, die Empfind­lichkeit und das Nachweisvermögen durch Verbesserung des Sig­nal/Rausch-Verhältnisses gesteigert und der Einfluß der Raum­ladung vermindert. Die Verkürzung der Zeit, die die Ionen zum Verlassen der Ionenfalle benötigen, erlaubt eine Erhöhung der Anzahl der Spektrenaufnahmen pro Zeiteinheit, wodurch nochmals eine Steigerung der Empfindlichkeit erreicht werden kann.
  • Die Wirkung der erfindungsgemäßen Maßnahme läßt sich dadurch erklären, daß im Inneren des Quistors auf die Ionen das Poten­tial am stärksten einwirkt, das sich an denjenigen Stellen auf den Elektroden befindet, die sich am nächsten zum Zentrum, also zum Speicherraum für die Ionen, befinden. Diese Stellen sind die Scheitelpunkte der Endelektroden sowie die Scheitel­linie der Ringelektrode. Bei hyperbolischen Elektroden weisen diese Stellen zugleich jeweils die stärkste Krümmung auf. Daher sind die Verhältnisse der Krümmungsradien der Elektroden an den Scheitelpunkten und die Abstände dieser Scheitelpunkte, wie es in dem oben definierten Verhältnis Q zum Ausdruck kommt, das kurz als abstandsbezogenes Kreisverhältnis bezeichnet werden kann, für das Verhalten des Quistors von entscheidender Bedeu­tung. Dabei sind schon relativ geringe Abweichungen von dem Verhältnis Q = 4,000, wie es bei dem idealen Quistor herrscht, von starkem Einfluß.
  • Gegenstand der Erfindung ist auch ein Massenspektrometer, das zur Untersuchung eines Gasgemisches nach dem erfindungsgemäßen Verfahren geeignet ist und eine Ionenfalle aufweist, die als Quistor mit einer Ringelektrode und zwei die von der Ringelek­trode begrenzte Kammer abschließende Endelektroden ausgebildet ist, von welchen Endelektroden wenigstens eine mit einer in Verlängerung der Rotationsachse der Ringelektrode angeordneten Perforation versehen ist. Bei diesem Massenspektrometer genügt wiederum das abstandsbezogene Verhältnis Q der Radien der ein­geschriebenen Elektroden-Scheitelkreise der Bedingung Q ≦ 3,990, wobei
    Figure imgb0002
    mit
    Re = Radius des Scheitelquerschnittes der Endelektroden
    Rr = Radius des Scheitelquerschnittes der Ringelektrode
    zo = Abstand der Scheitel der Endelektroden vom Zentrum des Quistors ro = Abstand des Scheitels der Ringelektrode vom Zentrum des Quistors.
  • Die vorstehend angegebene Beziehung läßt viele Gestaltungsmög­lichkeiten zu. Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfin­dung hat von den das abstandsbezogene Verhältnis Q bestimmenden Abmessungen des Quistors der Abstand ro des Scheitels der Ring­elektrode vom Zentrum des Quistors einen Wert, bei dem gewähr­leistet ist, daß bei der Amplitude der an der Ringelektrode anliegenden HF-Spannung die größte interessierende Masse noch mittels des Speicherfeldes eingefangen wird, der Abstand zo der Scheitel der Endelektroden vom Zentrum des Quistors beträgt bei vorgegebenem Wert des Verhältnisses Q zo = ro/4√Q und es sind endlich die Radien Re und Rr der Scheitelquerschnitte so gewählt, daß Re x Rr = ro x zo. Bei dieser Art des Aufbaues des Quistors werden also die für das Verhalten des Quistors besonders wichtigen Werte ro und Q vorgewählt und die anderen Werte unter Beachtung der angegebenen Regeln bestimmt, wobei für die Wahl von Re und Rr Freiheiten bestehen, die die Berück­sichtigung anderer Einflußgrößen, insbesondere in fertigungs­technischer Hinsicht, gestatten. Dabei versteht es sich. daß die angegebenen Beziehungen nur eine Leitlinie darstellt, deren Einhaltung zwar zweckmäßig, für den Erfolg der Erfindung aber nicht zwingend ist, so daß von der gegebenen Leitlinie auch abgewichen werden darf.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher beschrieben und er­läutert. Die der Beschreibung und der Zeichnung zu entnehmenden Merkmale können bei anderen Ausführungsformen der Erfindung einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination Anwendung finden. Es zeigen
    • Fig. 1 einen Querschnitt durch einen nach der Erfindung ausgebildeten Quistor in schematischer Darstellung,
    • Fig. 2 das Stabilitätsdiagramm des Quistors nach Fig. 1,
    • Fig. 3 ein Diagramm, das die Zeit, welche die Ionen zum Verlassen des Quistors benötigen, als Funktion des Verhältnisses Q für drei verschiedene Scangeschwin­digkeiten veranschaulicht, und
    • Fig. 4 die Wiedergabe von unter unterschiedlichen Bedingungen aufgenommenen Spektren.
  • Der in Fig. 1 dargestellte Quistor weist eine Ringelektrode 4 und zwei, jeweils zu einer Seite der Ringelektrode angeordnete Endelektroden 3, 5 auf, welche die von der Ringelektrode 4 begrenzte Kammer an den beiden Seiten der Ringelektrode ab­schließen. Die Endelektroden 3 und 5 sind an der Ringelektrode 4 jeweils durch ringförmige Isolatoren 7, 8 abgestützt. Die ring­förmigen Isolatoren 7, 8 bilden zugleich eine dichte Verbindung zwischen den äußeren Abschnitten der Ringelektrode 4 und der Endelektroden 3, 5. In die eine Ringelektrode 8 mündet eine Einlaßleitung 11, die es ermöglicht, in die Ionenfalle ein Dämpfungsgas einzuleiten. Die in Fig. 1 obere Endelektrode 3 weist eine zentrale Öffnung 10 auf, der an der Außenseite der Endelektrode 3 eine Glühkathode 1 zum Erzeugen eines Elektro­nenstrahles und eine zur Steuerung des Elektronenstrahles die­nende Sperrlinse 2 gegenübersteht. Die in Fig. 1 untere End­elektrode 5 weist im Bereich ihrer Mitte eine Perforation 9 auf, durch welche Ionen den Quistor verlassen können. An der Außenseite der unteren Endelektrode 5 ist ein Sekundär-Elektro­nen-Vervielfacher 6 angeordnet, der es ermöglicht, die den Quistor durch die Perforation 9 verlassenden Ionen nachzuweisen.
  • Sowohl die Ringelektrode 4 als auch die Endelektroden 3 und 5 haben streng hyperbolische Oberflächen, was bedeutet, daß ihre Konturen in dem in Fig. 1 dargestellten Querschnitt Hyperbeln sind. Der Asymptotenwinkel sowohl der die Ringelektrode 4 als auch der die Endelektroden 3, 5 erzeugenden Hyperbeln beträgt 1 : 1,360. Der innere Radius ro der Ringelektrode trägt 1,00 cm. Im übrigen sind die Abmessungen so gewählt, daß das oben definierte abstandsbezogene Verhältnis Q den Wert Q = 3,422 hat, also einen deutlich unter Q = 4,000 liegenden Wert. Während die Endelektroden 3, 5 auf Massepotential liegen, ist an die Ringelektrode 4 eine HF-Spannung mit einer Frequenz von 1,0 MHz angelegt, die im Bereich von 0 V bis 7,5 kV veränderbar ist. Bei einer Spannung von 7,5 kV umfaßt der Bereich des Ladungs/­Massen-Verhältnisses der Ionen, die von dem Quistor gefangen und gespeichert werden, bei einer einfachen Ionisierung Ionen mit den Massenzahlen 1 bis 500 u, wobei u die atomare Massen­einheit bedeutet. Demgemäß kann durch Verändern der HF-Spannung im Bereich von 0 V bis 7,5 kV ein Massenbereich von 1u bis 500u in einem Scan überstrichen werden. Das hierfür charakte­ristische Stabilitätsdiagramm ist in Fig. 2 dargestellt. Darin sind sie Koordinatenwerte q der Feldstärke V/m des Wechselfeldes und die Koordinatenwerte a der Feldstärke U/m des Gleichfeldes proportional. Da bei dem als Ausführungsbeispiel dargestellten Quistor die Gleichspannung U den Wert U = 0 hat, wird durch Verändern der HF-Spannung der Stabilitätsbereich längs der Linie 21 durchlaufen.
  • Die bei dem Quistor nach Fig. 1 vorgesehene Einrichtung zur Erzeugung eines Elektronenstrahles erlaubt es, die Ionen im Quistor selbst zu erzeugen, indem in der Ionisierungsphase, deren Dauer mittels der Sperrlinse 2 bestimmt werden kann, ein Elektronenstrahl von der Glühkathode 1 durch die Öffnung 10 in den Quistor fokussiert wird. Typische Ionisierungszeiten für einen Elektronenstrahl von 100 µA Stärke liegen im Bereich von 10 µs bis zu 100 ms, je nach der Konzentration der zu untersu­chenden Substanz.
  • Das Diagramm nach Fig. 3 veranschaulicht die Zeit, welche Ionen für das Verlassen des Quistors benötigen und die sich demgemäß als Linienbreite äußert, als Funktion des abstandsbezogenen Kreisverhältnisses Q. Die drei Kurven des Diagrammes nach Fig. 3 entsprechen verschiedenen Scangeschwindigkeiten, die am unteren Rand von Fig. 3 angegeben sind. Dabei wurde Dämpfungsgas unter jeweils optimalen Druckbedingungen eingesetzt. Es ist ohne weiteres ersichtlich, daß für Q < 4,000 das Auslösungsvermögen beträchtlich zunimmt.
  • Fig. 4 zeigt das Spektrum der Gruppe der Molekülionen von Tetra­chlorethen für verschiedene Werte des abstandsbezogenen Kreis­verhältnisses Q. Die Spektren wurden unter Verwendung von Luft mit einem Druck von 4.10⁻⁴ mbar als Dampfungsgas mit verschie­denen Scangeschwindigkeiten über jeweils 300 Masseneinheiten aufgenommen. In den oberen Spektren a, c und e betrug die Scan­zeit jeweils 100 ms, während bei den unteren Spektren b, d, und f die Scanzeit jeweils 20 ms betrug. Die Spektren a und b wurden in einem Quistor mit dem abstandsbezogenen Kreisverhält­nis Q = 4,4, die mittleren Spektren c und d in einem Quistor mit Q = 4,0 und endlich die rechten Spektren e und f in einem Quistor mit Q = 3,6 aufgenommen. Die verwendeten Quistoren hatten die sich aus der folgenden Tabelle ergebenden Abmessungen (in cm):
    Q 3,6 4,0 4,4
    r₀ 1 1 1
    z₀ 0,7260 0,7071 0,6905
    Rr 0,5269 0,5000 0,4768
    Re 1,3776 1,4142 1,4482
  • Von diesen Abmessungen bestimmt der Abstand ro bei vorgegebener Amplitude der an der Ringelektrode anliegenden HF-Spannung die Feldstärke V/m des Wechselfeldes und damit die höchste Masse, die mit einem Scan erfaßt werden kann. Der unter diesem Ge­sichtspunkt für alle drei Quistoren gleich festgelegte Wert von r0 = 1 cm ermöglichte den oben erwähnten Scan über jeweils 300 Masseneinheiten. Die Werte von zo wurden zu zo = ro/⁴√Q berechnet, während Re und Rr so gewählt wurden, daß Re x Rr = ro x zo.
  • Die dramatische Verbesserung des Auflösungsvermögens und des Signal/Rausch-Verhältnisses zwischen den Spektren nach Fig. 4a und nach Fig. 4f unterstreicht den bedeutenden technischen Fortschritt, den die Erfindung bewirkt. Dabei ist besonders hervorzuheben, daß die Erhöhung der Scangeschwindigkeit, welche die Verminderung des abstandsbezogenen Kreisverhältnisses Q auf Werte Q < 4,000 ermöglicht, zugleich zu einem überpropor­tionalen Anstieg des Signal/Rausch-Verhältnisses und damit zu dem bedeutend erhöhten Auflösungsvermögen führt.
  • Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß auch der Einfluß der Raumladung für Werte von Q < 4,000 wesentlich verringert ist. Selbst bei einer Verringerung der Signalstärken um einen Faktor 100 konnte keine wesentliche Veränderung von Linienform und Linienbreite beobachtet werden.
  • Der Grund für die beobachtbaren Verbesserungen ist das Auftreten einer Resonanz der Sekularbewegung der Ionen genau an der In­stabilitätsgrenze, die die Amplitudenvergrößerung der Sekular­bewegung beschleunigt und damit die Geschwindigkeit der Ionen-­Ejektion erhoht. Die Ejektion erfolgt daher nur zum Teil auf­grund des Instabilwerdens der Bahnen und zum anderen Teil durch die zusätzliche Energieaufnahme der Ionen aus dem speichernden HF-Feld, die durch die Resonanz möglich wird.
  • Negative Einflüsse durch Resonanzphänomene konnten bisher nicht festgestellt werden, solange im wesentlichen ohne Anwendung eines Gleichspannungsfeldes gearbeitet wurde. Daher sieht eine bevorzugte Ausführungsform das Weglassen des Gleichspannungs­feldes vor. Grundsätzlich wäre es allerdings auch möglich, ein Gleichspannungsfeld anzuwenden und das Gleichspannungsfeld zur Veränderung des Stabilitätsbereiches zu variieren.
  • Es versteht sich, daß die Erfindung nicht auf das dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt ist, sondern viele Abweichungen davon möglich sind, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen. Insbesondere ist die Anwendung einer Vielzahl unterschiedlicher Quistoren möglich, deren Abmessungen in vielfältiger Weise abgewandelt werden können, ohne daß dabei die Bedingung verletzt wird, daß das abstandsbezogene Kreisverhältnis Q stets kleiner oder höchstens gleich 3,990 ist.

Claims (3)

1. Verfahren zur massenspektroskopischen Untersuchung eines Gasgemisches unter Verwendung eines Massenspektrometers mit einer Ionenfalle, die als Quistor mit einer Ringelek­trode und zwei die von der Ringelektrode begrenzte Kammer abschließenden Endelektroden ausgebildet ist, von welchen Endelektroden wenigstens eine mit einer in Verlängerung der Rotationsachse der Ringelektrode angeordneten Perfo­ration versehen ist, bei welchem Verfahren die folgenden Schritte ausgeführt werden:
Anlegen einer HF-Spannung solcher Amplitude und Fre­quenz sowie ggf. einer solchen Gleichspannung an die Ring­elektrode, daß innerhalb der Ionenfalle ein dreidimensio­nales HF-Quadrupolfeld erzeugt wird, das dazu geeignet ist, Ionen, deren Ladungs/Massen-Verhältnis in einem vor­gegebenen Bereich liegt, zu fangen und in der Ionenfalle zu speichern,
Einführen oder Erzeugen von Ionen des Gasgemisches in die bzw. innerhalb der Ionenfalle und Speichern der Ionen in der Ionenfalle, deren Ladungs/Massenverhältnis in dem vorgegebenen Bereich liegt,
Ändern mindestens von einem der von der Amplitude, der Frequenz und ggf. der Gleichspannung gebildeten Feld­parameter in solcher Weise, daß nacheinander Ionen mit sich monoton änderndem Ladungs/Massenverhältnis instabil werden und die Ionenfalle in Richtung der Rotationsachse ihrer Ringelektrode durch die genannte Perforation in der Endelektrode verlassen, und
Messen und Aufzeichnen der Intensität des die Ionen­falle verlassenden Ionenstromes als Funktion der Änderung der Feldparameter,
dadurch gekennzeichnet, daß
zur Durchführung des Verfahrens ein Quistor verwendet wird, bei dem das abstandsbezogene Verhältnis Q der Radien der eingeschriebenen Elektroden-Scheitelkreise der Bedin­gung Q ≦ 3,990 genügt, wobei
Figure imgb0003
mit
Re = Radius des Scheitelquerschnittes der Endelektroden
Rr = Radius des Scheitelquerschnittes der Ringelektrode
zo = Abstand der Scheitel der Endelektroden vom Zentrum des Quistors
ro = Abstand des Scheitels der Ringelektrode vom Zentrum des Quistors.
2. Massenspektrometer mit einer Ionenfalle, die als Quistor mit einer Ringelektrode und zwei die von der Ringelektrode begrenzte Kammer abschließenden Endelektroden ausgebildet ist, von welchen Endelektroden wenigstens eine mit einer in Verlängerung der Rotationsachse der Ringelektrode an­geordneten Perforation versehen ist, zur Untersuchung eines Gasgemisches nach dem Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
das abstandsbezogene Verhältnis Q der Radien der einge­schriebenen Elektroden-Scheitelkreise der Bedingung Q ≦ 3,990 genügt, wobei
Figure imgb0004
mit
Re = Radius des Scheitelquerschnittes der Endelektroden
Rr = Radius des Scheitelquerschnittes der Ringelektrode
zo = Abstand der Scheitel der Endelektroden vom Zentrum des Quistors
ro = Abstand des Scheitels der Ringelektrode vom Zentrum des Quistors.
3. Massenspektrometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß von den das abstandsbezogene Verhältnis Q bestimmenden Abmessungen des Quistors der Abstand ro des Scheitels der Ringelektrode vom Zentrum des Quistors einen Wert hat, bei dem gewährleistet ist, daß bei der Amplitude der an der Ringelektrode anliegenden HF-Spannung die größte in­teressierende Masse noch mittels des Speicherfeldes einge­fangen wird, bei vorgegebenem Wert des Verhältnisses Q der Abstand zo der Scheitel der Endelektroden vom Zentrum des Quistors zo = ro/4√Q beträgt und endlich die Radien Re und Rr der Scheitelquerschnitte so gewählt sind, daß Re x Rr = ro x zo.
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