JP7157631B2 - 加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、被加工物の加工中に加工品質を検査する加工装置に関する。

一般に、切削ブレードやレーザー光線を用いて被加工物の表面また裏面に形成されている分割予定ライン（ストリート）に沿って切削溝やレーザー加工溝、改質層などの被加工部を形成（加工）する加工装置が知られている。これらの加工装置は、上記した被加工部を加工中に加工品質を定期的にチェックする機能（カーフチェック機能）を有している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

チェックする測定項目は、例えば被加工部の位置が指定した位置とどれだけずれているか、被加工部の太さ、または、被加工部に発生する欠け（チッピング）の縦横サイズ等である。カメラで撮影した画像を使って各測定項目の異常の有無を検出し、もし測定項目で異常が発生したとしても、すぐに被加工部の加工を停止させ、異常に伴う加工不良が広範囲にわたらないように設定されている。このようなカーフチェック機能により、各種設定された測定項目で異常が発報された場合、被加工部の加工が一時停止され、発報により呼び出されたオペレーターが適宜加工条件や装置設定を調整した後に、被加工部の加工を再開することができる。

特許第６０２９２７１号公報 特開２０１３－７４１９８号公報

しかしながら、実際の現場では、例えば、重要度の高い測定項目で異常が検知された場合であっても、経験の浅いオペレーターが装置設定を調整して適正化することなく被加工部の加工を再開してしまうこともあり、異常に伴う加工不良の発生を食い止めることができない恐れがある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工品質の異常が検知された測定項目に応じて、オペレーターが安易に加工を再開することを抑制できる加工装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、加工用のストリートを備えた被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を該ストリートに沿って加工する加工ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像ユニットと、該加工ユニットによって加工された被加工物の該ストリートを撮像した画像に基づいて加工の品質を確認するカーフチェック部と、を備える加工装置であって、該カーフチェック部は、該加工の品質を確認するための複数の測定項目と、各測定項目の許容範囲を記憶する測定記憶部と、該画像に基づいて該測定項目を測定し、測定結果が該許容範囲を超えた場合、該加工ユニットによる該被加工物の加工を再開不能な状態で停止する停止判定部と、該停止判定部の判定で停止された加工を再開するための条件を、該測定項目毎に設定する再開条件設定部と、を備えるものである。

この構成によれば、各種測定項目に対して加工を再開するための条件を設定する再開条件設定部を備えるため、測定項目の重要度に応じた条件を測定項目毎に設定することができる。このため、重要度の高い測定項目に対しては、例えば、所定の資格を持ったオペレーターや工程管理者のみが再開できるようになるので、異常が発生した測定項目に応じて、現場のオペレーターの判断による安易な加工の再開を抑制できる。従って、異常に伴う加工不良品の発生を抑制することができる。

この構成において、該再開条件設定部に設定される条件は、パスワードの入力であってもよい。

また、該加工ユニットの加工を再開させる作業者を識別する作業者識別ユニットをさらに備え、該再開条件設定部に設定される条件は、該作業者識別ユニットの識別結果に基づいて設定されてもよい。

本発明によれば、各種測定項目に対して加工を再開するための条件を設定する再開条件設定部を備えるため、測定項目の重要度に応じた条件を測定項目毎に設定することができる。このため、重要度の高い測定項目に対しては、例えば、所定の資格を持ったオペレーターや工程管理者のみが再開できるようになるので、異常が発生した測定項目に応じて、現場のオペレーターの判断による安易な加工の再開を抑制できる。

図１は、本実施形態に係る切削装置の構成を示す斜視図である。 図２は、加工対象となる被加工物の斜視図である。 図３は、複数の測定項目に対応して設定された許容値及びランクが表示された画面の一例を示す図である。 図４は、切削装置のカーフチェック時の動作手順を示すフローチャートである。 図５は、被加工物を切削する加工動作を示す模式図である。 図６は、撮像ユニットが加工された加工溝を撮像する動作を示す模式図である。 図７は、加工動作を再開する条件を入力する入力画面の一例を示す図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

図１は、本実施形態に係る切削装置の構成を示す斜視図である。図２は、加工対象となる被加工物の斜視図である。切削装置（加工装置）１は、被加工物１００に対して切削加工する装置である。本実施形態では、被加工物１００は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板形状の半導体デバイスウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物１００は、表面１０１（または裏面１０４）に格子状に形成されたストリート（分割予定ライン）１０２を有し、このストリート１０２で区画された各領域にデバイス１０３が形成されている。切削装置１は、ストリート１０２に沿って切削して被加工物１００をデバイスチップに分割する。被加工物１００は、裏面１０４側にダイシングテープ１０５が貼着され、このダイシングテープ１０５に環状フレーム１０６が貼着される。これにより、被加工物１００は、ダイシングテープ１０５を介して環状フレーム１０６に支持される。また、被加工物１００には、円板状のウエーハだけでなく、矩形板状に形成されたパッケージ基板、セラミクス基板、ガラス基板などが含まれる。

切削装置１は、図１に示すように、装置本体２と、この装置本体２の上部を覆うカバー体３とを備える。このカバー体３は、各側面及び天面にそれぞれ設けられる壁板３Ａを備え、下面が開放した箱状に形成されている。壁板３Ａは、少なくとも一部が透明板で形成され、カバー体３の内部が外側から目視可能となっている。切削装置１は、カバー体３の天面の壁板３Ａに立設された表示灯５と、一側面の壁板３Ａに設けられたタッチ入力式の表示パネル６と、この表示パネル６の下部に設けられる作業者識別ユニット７とを備える。

表示灯５は、例えば、正常作動時には緑色で点灯し、切削加工中に異常（エラー）が発生すると赤色に点滅する。表示パネル６は、被加工物１００を加工する際の稼働状況や各種情報が表示されるとともに、切削装置１を制御するための各設定値や操作指令が入力される。本実施形態では、被加工物１００を加工する際の加工条件、被加工物１００に施された加工品質を確認するための複数の測定項目の許容値（許容範囲）や切削装置１の加工動作を再開する場合の再開操作指令などが入力される。また、作業者識別ユニット７は、オペレーター（作業者）１１０が所有する作業者識別カード１１１や、作業着に取り付けられた作業者識別タグ１１２から作業者情報を読み取り、切削装置１を操作するオペレーター１１０を特定する。また、作業者識別ユニット７は、所定距離（例えば８０ｃｍ）以内にある作業者識別カード１１１や作業者識別タグ１１２と無線通信可能とし、無線通信によって作業者情報を取得してもよい。

また、切削装置１は、環状フレーム１０６に支持された被加工物１００を保持面１１で吸引保持する回転可能なチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００に切削液を供給しながら該被加工物１００を切削ブレード２１で切削（加工）する切削ユニット（加工ユニット）２０とを備える。また、切削装置１は、チャックテーブル１０をＸ軸方向（加工送り方向）に移動させる加工送りユニット３０と、切削ユニット２０をＸ軸方向と直交するＹ軸方向（割り出し送り方向）に移動させる割り出し送りユニット４０と、切削ユニット２０をＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ直交するＺ軸方向（鉛直方向）に移動させる切り込み送りユニット５０と、制御ユニット６０とを備える。

また、切削装置１は、切削前後の複数の被加工物１００を収容するカセット７０が載置され、かつカセット７０をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ７１と、切削後の被加工物１００を洗浄する洗浄手段８０と、カセット７０とチャックテーブル１０と洗浄手段８０との間で被加工物１００を搬送する搬送手段（不図示）とを備える。

チャックテーブル１０は、直方体状の装置本体２の上面に配置されており、被加工物１００が載置されて吸引される保持面１１と、保持面１１の外周側に複数配置されて被加工物１００に貼着された環状フレーム１０６を固定するクランプ部１２とを備える。チャックテーブル１０は、保持面１１を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、真空吸引経路（不図示）を介して真空吸引源（不図示）と接続され、保持面１１に載置された被加工物１００を吸引することで保持する。また、チャックテーブル１０は、加工送りユニット３０により装置本体２の上面をＸ軸方向に移動自在であるとともに、回転駆動源（不図示）によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に構成されており、切削ユニット２０に対して、任意の回転角度に調整される。

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００に切削ブレード２１で加工を施すものである。切削ユニット２０は、装置本体２の上面に立設された門型フレーム８に、割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０を介して固定されている。このため、切削ユニット２０は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動してチャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。本実施形態では、切削装置１は、チャックテーブル１０を挟んでＹ軸方向（割り出し送り方向）に対向して配置される二つの切削ユニット２０を備える構成としたが、一つの切削ユニット２０を備える構成としてもよい。

切削ユニット２０は、切削ブレード２１と、ハウジング２２と、撮像ユニット２３とを備える。切削ブレード２１は、極薄の円板状かつ環状に形成された切削砥石である。ハウジング２２内には、切削ブレード２１に連結されるスピンドルと、このスピンドルを回転させるモータ（いずれも不図示）とが収容されている。撮像ユニット２３は、可視光線によって撮像する、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ等の撮像素子を有するカメラである。また、撮像ユニット２３は、被加工物１００に照射された赤外線を捕えることで撮像する赤外線ＣＣＤイメージセンサ等の撮像素子を有する赤外線カメラであってもよいし、通常のカメラと赤外線カメラとを備えた構成としてもよい。撮像ユニット２３は、例えば、ストリート１０２に沿って加工された切削溝（被加工部）の加工品質を確認するカーフチェック時に、該切削溝を撮像して制御ユニット６０に画像信号を送る。

加工送りユニット３０は、装置本体２内に配置されており、チャックテーブル１０を保持面１１と平行なＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りする。加工送りユニット３０は、例えばモータやボールねじ、ガイドレール等を含んで構成され、チャックテーブル１０が固定された移動基台３１を装置本体２に対してＸ軸方向に相対移動させる。

割り出し送りユニット４０及び切り込み送りユニット５０は、上記した門型フレーム８に設けられている。割り出し送りユニット４０は、切削ユニット２０を保持面１１と平行でかつＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。割り出し送りユニット４０は、図１に示すように、門型フレーム８に配置されてＹ軸方向に延びる一対のガイドレール４１と、これらガイドレール４１と平行に配設されたボールねじ４２と、このボールねじ４２に螺合するナット（不図示）を内部に有し、ガイドレール４１に沿って移動するブレード移動基台４３とを備える。ボールねじ４２の一端には、該ボールねじ４２を回転させるモータ４４が連結され、ボールねじ４２の回転によって、ブレード移動基台４３は、ガイドレール４１に沿ってＹ軸方向に移動する。

切り込み送りユニット５０は、切削ユニット２０を保持面１１と直交するＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。切り込み送りユニット５０は、図１に示すように、ブレード移動基台４３に配置されてＺ軸方向に延びる一対のガイドレール５１と、これらガイドレール５１と平行に配設されたボールねじ５２と、このボールねじ５２に螺合するナット（不図示）を内部に有し、ガイドレール５１に沿って移動する切り込み移動基台５３とを備える。この切り込み移動基台５３には、上記した切削ユニット２０が支持されている。また、ボールねじ５２の一端には、該ボールねじ５２を回転させるモータ５４が連結され、ボールねじ５２の回転によって、切り込み移動基台５３は、ガイドレール５１に沿ってＺ軸方向に移動する。

制御ユニット６０は、切削装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御するものである。即ち、制御ユニット６０は、被加工物１００に対する切削加工、及び、切削加工中に実行されるカーフチェックを切削装置１に実行させる。ここで、カーフチェックとは、ストリート１０２に沿って加工された切削溝（被加工部；加工溝ともいう）の加工品質を確認する動作であり、例えば、切削溝の位置ずれや、切削溝に発生するチッピングのサイズを測定し、この測定値が許容値を超えた場合には異常発生として表示灯５及び表示パネル６に表示される。

制御ユニット６０は、演算処理部６１と、この演算処理部６１の制御下でカーフチェックを実行するカーフチェック部６２とを備える。演算処理部６１は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを備えて構成され、コンピュータプログラムを実行して、切削装置１を制御するため、及び、カーフチェック動作を制御するための各種制御信号を生成する。生成された制御信号は入出力インタフェース（不図示）を介して切削装置１の各構成要素に出力される。

カーフチェック部６２は、測定記憶部６３と、停止判定部６４と、表示指令部６５と、再開条件設定部６６と、再開条件入力判定部６７とを備える。測定記憶部６３は、加工品質を確認するための複数の測定項目と、測定項目ごとに設定された許容値（許容範囲）と、測定項目ごとに設定された重要度のランクとを記憶する。図３は、複数の測定項目に対応して設定された許容値及びランクが表示された画面の一例を示す図である。図３に示す設定画面９０は、表示パネル６に表示される。

設定画面９０には、切削溝１０７の撮像画像９１を表示するとともに、複数の測定項目ごとに、設定された許容値９２及びランク９３が表示される。測定項目における『オフセンター』は、ストリート１０２のセンター１０２Ａと切削溝１０７のセンター１０７Ａとのずれ量をいう。また、『カーフ幅Ｍａｘ』は、切削溝１０７の溝幅の最大値（チッピングを除く）をいい、『カーフ幅Ｍｉｎ』は、切削溝１０７の溝幅の最小値をいう。『カーフセンター～チッピング』は、切削溝１０７のセンター１０７Ａから該切削溝１０７に生じた最大のチッピング１０８の先端までの長さをいう。『Ｍａｘチッピング』は、最大のチッピング１０８の溝幅方向の長さをいう。『チッピング面積』は、切削溝１０７に生じたチッピングの総面積をいう。

これら測定項目の許容値は、加工品質を保持することができる設定値である。測定項目のランクは、測定項目の重要度を示すランクであり、本実施形態では、通常ランクの『Ｃｈｅｃｋ』と、『Ｃｈｅｃｋ』よりも重要度のランクが高い『Ｃａｌｌ』の２段階に設定されている。測定項目に対応する許容値及びランクは、表示パネル６を操作することにより、例えば所定の資格を持ったオペレーターまたは工程管理者（以下、工程管理者などという）によって予め入力及び設定されて測定記憶部６３に記憶されており、切削装置１のオペレーターが容易に変更できないように管理されている。

停止判定部６４は、カーフチェック時に、撮像画像に基づいて測定された測定項目の測定結果が許容値を超えているか否かを判定し、測定結果が許容値を超えた（異常が発生している）と判定した場合には、切削ユニット２０による加工動作を一時停止する停止信号を演算処理部６１に出力する。特に、停止判定部６４は、測定項目の中で重要度が高く設定された測定項目（本実施形態ではランク『Ｃａｌｌ』）の測定結果が許容値を超えた（重大な異常が発生している）と判定した場合には、切削ユニット２０による加工動作の再開を禁止する（再開不能な）状態で停止する再開禁止停止信号を演算処理部６１に出力する。

表示指令部６５は、停止判定部６４の判定結果に基づいて表示パネル６に許容値を超えた測定項目を異常として表示させる。また、表示指令部６５は、表示パネル６に加工動作の再開条件の入力や、再開操作を促す入力画面を表示させる。

再開条件設定部６６は、停止判定部６４の判定で停止された加工動作を再開するための条件（再開条件）を測定項目ごとに設定する。本実施形態では、重要度が低い測定項目（本実施形態ではランク『Ｃｈｅｃｋ』）の再開条件は、オペレーターが加工条件や装置設定の確認及び調整をした後、所定の再開ボタンを操作することで加工動作を再開するよう設定される。また、重要度が高い測定項目（本実施形態ではランク『Ｃａｌｌ』）の再開条件は、オペレーターが加工条件や装置設定の確認及び調整をした後、工程管理者などが所定のパスワードを入力し、かつ、所定の再開ボタンを操作することにより加工動作を再開するよう設定される。また、上記したパスワードの入力ではなく、工程管理者などの作業者識別カード１１１または作業者識別タグ１１２の作業者情報が作業者識別ユニット７を通じて入力されてもよい。

再開条件入力判定部６７は、重要度が高い測定項目について、所定の再開条件（パスワードや作業者情報）が入力されたか否かを判定し、入力された場合に加工動作の再開を許可する。これにより、重要度の高い測定項目については、工程管理者などのみが加工動作を再開できるため、これら経験の長い工程管理者などが異常発生の原因を確認し、この原因が解消した上で加工動作を再開できる。このため、経験の浅いオペレーターのみの判断によって、異常原因が十分に解消していない状況で安易に加工を再開することを抑制でき、従って、異常に伴う加工不良品の発生を抑制することができる。

次に、切削装置１のカーフチェック時の動作について説明する。特に、重要度の高い測定項目において、重大な異常が発生した場合の動作について説明する。図４は、切削装置のカーフチェック時の動作手順を示すフローチャートである。図５は、被加工物を切削する加工動作を示す模式図である。図６は、撮像ユニットが加工された加工溝を撮像する動作を示す模式図である。図７は、加工動作を再開する条件を入力する入力画面の一例を示す図である。

まず、演算処理部６１は、一対の切削ユニット２０を用いて、被加工物１００の切削加工を実行する（ステップＳＴ１）。この図５の例では、一方の切削ユニット２０は、刃厚が厚い切削ブレード２１を備え、他方の切削ユニット２０は一方の切削ユニットよりも刃厚が薄い切削ブレード２１を備える。この構成では、刃厚が厚い切削ブレード２１で被加工物１００の表面をカットし、刃厚が薄い切削ブレード２１で残りをカットして加工溝（被加工部）１０７を形成するステップカットを実行する。これによれば、刃圧が厚いブレードでストリートの表面に形成されたＴＥＧパターンを除去してから、刃圧が薄いブレードで被加工物を切削するため、刃厚が薄い切削ブレード２１の目詰まりを抑えることができるため、特に刃厚の薄い切削ブレード２１に与えるダメージを最小限に抑えることができる。従って、被加工物１００の裏面１０４側に生じる裏面チッピングを抑えることができる。

次に、演算処理部６１は、所定数（例えば、１０本）のストリート１０２を切削するごとに、図６に示すように、任意（最終）の切削溝（加工溝）１０７を撮像ユニット２３に撮像させる（ステップＳＴ２）。そして、演算処理部６１は、その撮像画像に基づいてカーフチェック部６２にカーフチェックさせる。具体的には、停止判定部６４は、撮像画像に基づいて測定された各測定項目の測定結果をそれぞれ取得し、これらの測定結果が測定項目の許容範囲内であるか否かを判定する（ステップＳＴ３）。ステップＳＴ３の判定において、測定結果が測定項目の許容範囲内である（ステップＳＴ３；Ｙｅｓ）場合、加工された切削溝１０７は適正であるため、処理を終了する。

一方、ステップＳＴ３の判定において、測定結果が測定項目の許容範囲内でない（ステップＳＴ３；Ｎｏ）場合、すなわち測定項目の許容値を超えている場合には、加工された切削溝１０７に異常が発生していると想定されるため、停止判定部６４は、加工動作を一時的に停止する（ステップＳＴ４）。特に、停止判定部６４は、測定項目の中で重要度が高く設定された測定項目（図３中のランク『Ｃａｌｌ』）の測定結果が許容範囲内でない（重大な異常が発生している）場合には、切削ユニット２０による加工動作の再開を禁止する状態で停止する再開禁止停止信号を演算処理部６１に出力する。

ここで、重要度が高い測定項目で重大な異常が発生している場合には、表示指令部６５は、表示パネル６に図７に示すカット再開ボタン１２１と再開条件のパスワードの入力領域１２２とを備えた入力画面１２０を表示する。次に、再開条件入力判定部６７は、重要度が高い測定項目について、所定の再開条件（例えばパスワード）が入力されたか否かを判定する（ステップＳＴ５）。ステップＳＴ５の判定において、入力画面１２０に所定の再開条件が入力されない（ステップＳＴ５；Ｎｏ）場合には、入力があるまで待機する。

一方、所定の再開条件（例えばパスワード）が入力画面１２０に入力された（ステップＳＴ５；Ｙｅｓ）場合には、カット再開ボタン１２１を操作することにより、加工動作を再開する（ステップＳＴ６）。本実施形態では、所定の再開条件は、工程管理者などがパスワードを入力することになっている。このため、重要度が高い測定項目で重大な異常が発生した場合、現場のオペレーターは、工程管理者などのもとに行き、この工程管理者などと一緒に、加工条件や装置設定の確認及び調整を行うことで、今回の異常の発生の原因箇所を早期に確認して該原因を解消することができる。さらに、上記した工程管理者などが入力領域１２２に所定のパスワードを入力し、かつ、カット再開ボタン１２１を操作することで初めて加工動作を再開することができるため、経験の浅いオペレーターのみの判断によって、異常原因が十分に解消していない状況で安易に加工を再開することを抑制でき、従って、異常に伴う加工不良品の発生を抑制することができる。

なお、重要度の高くない測定項目で異常が発生した場合には、現場のオペレーターのみで対処可能であるため、従来のように、現場のオペレーターが加工条件や装置設定の確認及び調整をした後、カット再開ボタン１２１を操作することで加工動作を再開することができる。この構成によれば、重要度の高くない測定項目に関する異常での加工停止時間を抑え、生産性の向上を図ることができる。

以上、本実施形態に係る切削装置１は、ストリート１０２を有する被加工物１００を保持面１１で保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００をストリート１０２に沿って加工する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を撮像する撮像ユニット２３と、切削ユニット２０によって被加工物１００のストリート１０２に形成された切削溝１０７を撮像した画像に基づいて切削溝１０７の加工品質を確認するカーフチェック部６２と、を備え、カーフチェック部６２は、加工品質を確認するための複数の測定項目と、各測定項目の許容範囲を記憶する測定記憶部６３と、画像に基づいて測定項目を測定し、測定結果が該許容範囲を超えた場合、切削ユニット２０による被加工物１００の加工を再開不能な状態で停止する停止判定部６４と、停止判定部６４の判定で停止された加工を再開するための条件を、測定項目毎に設定する再開条件設定部６６とを備える。このため、測定項目の重要度に応じた条件を測定項目毎に設定することができることにより、重要度の高い測定項目に対しては、例えば、所定の資格を持ったオペレーターや工程管理者のみが再開できるようになるので、異常が発生した測定項目の重要度に応じて、現場のオペレーターの判断による安易な加工の再開を抑制できる。従って、異常に伴う加工不良品の発生を抑制することができる。

また、本実施形態によれば、再開条件設定部６６に設定される条件は、パスワードの入力であるため、所定の資格を持ったオペレーターや工程管理者が容易に再開条件を入力することができる。

また、切削ユニット２０の加工を再開させる作業者を識別する作業者識別ユニット７をさらに備え、再開条件設定部６６に設定される条件は、作業者識別ユニット７の識別結果に基づいて設定されるため、作業者識別ユニット７が、例えば、所定の資格を持ったオペレーターや工程管理者の作業者識別カード１１１や作業者識別タグ１１２から作業者情報を読み取ることで、再開条件の入力操作をより容易化することができる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。本実施形態では、被加工物１００を切削ブレード２１で切削加工する切削ユニット（加工ユニット）２０を備えた構成としたが、これに限るものではない。被加工物１００に対して吸収性を有する波長のレーザー光線を被加工物１００のストリート１０２に沿って照射するレーザー加工部（加工ユニット）を備え、ストリート１０２に沿ったレーザー加工溝（被加工部）を形成し、このレーザー加工溝のカーフチェックを実行してもよい。また、被加工物１００に対して透過性を有する波長のレーザー光線を被加工物１００の内部に集光点を位置付けた状態でストリート１０２に沿って照射するレーザー加工部（加工ユニット）を備え、ストリート１０２に沿った改質層（被加工部）を形成し、この改質層のカーフチェックを実行してもよい。この場合、改質層は被加工物１００の内部に形成されるため、赤外線ＣＣＤを備えた撮像ユニット２３が用いられる。

また、本実施形態では、加工の品質を確認するための測定項目として、チッピングなどを例示して説明したが、チッピングの他に測定項目を設けてもよい。例えば、デバイス１０３やストリート１０２には、被加工物１００のストリート１０２の位置や向きを検出するために用いる特異なパターン（キーパターン）が設けられている。このキーパターンと切削すべき位置（ストリート１０２のセンター）との距離は予め決められた距離に登録されている。このため、加工された切削溝１０７（のセンター）とキーパターンとの距離を測定項目とし、切削中に切削溝１０７（のセンター）とキーパターンとの距離を測定し、この測定結果が許容範囲内（所定距離以内）であるか否かを判定してもよい。

１ 切削装置（加工装置）
６ 表示パネル
７ 作業者識別ユニット
１０ チャックテーブル
１１ 保持面
２０ 切削ユニット（加工ユニット）
２１ 切削ブレード
２３ 撮像ユニット
６０ 制御ユニット
６１ 演算処理部
６２ カーフチェック部
６３ 測定記憶部
６４ 停止判定部
６５ 表示指令部
６６ 再開条件設定部
６７ 再開条件入力判定部
１００ 被加工物
１０２ ストリート
１０７ 切削溝（加工溝、被加工部）
１０８ チッピング
１１０ オペレーター
１１１ 作業者識別カード
１１２ 作業者識別タグ
１２０ 入力画面
１２１ カット再開ボタン
１２２ 入力領域

Claims (3)

1. 加工用のストリートを備えた被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を該ストリートに沿って加工する加工ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像ユニットと、該加工ユニットによって加工された被加工物の該ストリートを撮像した画像に基づいて加工の品質を確認するカーフチェック部と、を備える加工装置であって、
   該カーフチェック部は、
   該加工の品質を確認するための複数の測定項目と、各測定項目の許容範囲を記憶する測定記憶部と、
   該画像に基づいて該測定項目を測定し、測定結果が該許容範囲を超えた場合、該加工ユニットによる該被加工物の加工を再開不能な状態で停止する停止判定部と、
   該停止判定部の判定で停止された加工を再開するための条件を、該測定項目毎に設定する再開条件設定部と、を備える加工装置。
2. 該再開条件設定部に設定される条件は、パスワードの入力である請求項１に記載の加工装置。
3. 該加工ユニットの加工を再開させる作業者を識別する作業者識別ユニットをさらに備え、
   該再開条件設定部に設定される条件は、該作業者識別ユニットの識別結果に基づいて設定される請求項１に記載の加工装置。

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