JP5326098B2 - 基板表面の封止装置と有機ｅｌパネルの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、有機ＥＬ（Electro Luminescence：エレクトロルミネッセンス）パネルの製造に係り、特に、有機ＥＬ素子が塗布された（設けられた）基板にシート状封止材を貼り付けて封止する基板表面の封止装置と有機ＥＬパネルの製造方法に関する。

有機ＥＬパネルは、貼り合わされた２枚の基板間に複数の有機ＥＬ素子が縦横に配列された構成をなすものであるが、かかる有機ＥＬパネルを製造するにあたっては、従来、これら有機ＥＬ素子が夫々封止材で封止される。

このような有機ＥＬパネルの製造方法の一従来例としては、有機ＥＬ素子をその上下から水湿透過率の小さい有機フィルムで挾み、これら有機フィルムの有機ＥＬ素子の上下面からはみ出した部分を、熱圧着することにより、一体化して、この有機ＥＬ素子をかかる有機フィルムで封止し、かかる有機ＥＬ素子を有機ＥＬパネルに使用するものである（例えば、特許文献１参照）。

また、有機ＥＬパネルの製造に関するものではないが、チャンバ内の真空雰囲気内でフィルムをラミネートする（貼り付ける）技術も提案されている（例えば、特許文献２参照）。

この特許文献２に記載の技術は、ベースフィルムにレジストフィルムをラミネートするものであって、チャンバの外側に設置された供給ローラからチャンバ内にベースフィルムが送り込まれ、また、レジストフィルムもチャンバの外側に設置された供給ローラからチャンバ内に送り込まれるものであり、このベースフィルムにレジストフィルムが加圧ローラによって加熱，加圧されて貼り合わされるものである。ここで、ベースフィルムに貼り合わせるレジストフィルムは、開閉自在のシャッタが設けられた導入口からチャンバ内に導入される。

特開平２ー１９７０７５号公報 特開２００２−５２６１０号公報

ところで、上記特許文献１に記載の技術は、有機ＥＬ素子毎に、これ全体を覆うように、ラミネートするものであり、このように１つ１つ有機フィルムでラミネートした有機ＥＬ素子を作成してから、有機ＬＥ素子の作成に用いるものであるから、手間がかかる作業となるし、かかるラミネート加工は大気中で行なわれるため、周囲環境の影響を受けて、塵芥が混入したり、湿気などの影響を受け、ＥＬ素子の特性の劣化を来すおそれもある。

これに対し、上記特許文献２に記載の技術では、チャンバ内の真空雰囲気内でラミネート加工が行なわれるため、大気中でラミネート加工する場合に比べ、ラミネート時のフィルムのしわの発生や、フィルム（即ち、レジストフィルム）とそれが貼り合わされるもの（即ち、ベースフィルム）との間の気泡の発生を抑圧することができるものであるが、これらベースフィルムやレジストフィルムは外部からチャンバ内に連続して導入されるものであるから、それらの導入口からチャンバ内への空気の漏れがあり、チャンバ内での真空度の低下を来すし、この空気の漏れとともに、湿気や塵芥などもチャンバ内に入り込んでレジストフィルムが貼り合わされた製品の性能を劣化させるという問題がある。

また、上記特許文献２に記載の技術では、レジストフィルムの導入口に開閉自在のシャッタが設けられており、これの開閉状態を調整することにより、チャンバ内への空気の漏れを極力低減するようにすることが考えられるが、これによってシャッタがレジストフィルムに触れるような状態となると、このレジストフィルムに傷が付くことになり、ラミネート加工された製品の特性に悪影響を及ぼすことになる。

本発明の目的は、かかる問題を解消し、作業の手間を省いてタクトタイムの向上を図り、製品の性能の劣化を防止したラミネート加工を実現可能とした基板表面の封止装置と有機ＥＬパネルの製造方法を提供することにある。

上記第１の目的を達成するために、本発明は、シート状封止材を基板上に貼り付けるフィルム貼合装置を内蔵した容積が大きいチャンバと、チャンバに該基板を搬入するためのチャンバよりも容積が小さい前室と、フィルム貼合装置でシート状封止材が貼り付けられた基板を該チャンバ内から排出するチャンバよりも容積が小さい後室とを備え、前室の基板搬入口側とチャンバ側、及び後室のチャンバ側と基板排出口側に夫々ゲートバルブを設けるとともに、チャンバ内は、基板が搬入・排出されるときも含めて、常に高真空状態に保持され、フィルム貼合装置は、前室から搬入された基板を所定の間隔で搬送する基板搬送手段と、シート状封止材を挾んでカバーフィルムとベースフィルムとが設けられた所定幅のフィルムを複数本巻き出すフィルム巻出機構部と、フィルム巻出機構部から巻き出される複数本のフィルム夫々からカバーフィルムを剥がして巻き取るカバーフィルム巻取機構部と、カバーフィルム巻取機構部でカバーフィルムが剥ぎ取られた複数本のフィルム夫々から、基板搬送手段で搬送される基板の間隔となるシール状封止材の部分を剥ぎ取り、複数本のフィルム夫々のベースフィルム上で基板夫々に対応した複数のシール状封止材を形成する基板間処理機構部と、基板搬送手段によって前室から搬入される基板毎に、基板の先端部と基板間処理機構部からのフィルムの基板に対応するシール状封止材の先端との位置決めをするアラインメント機構部と、基板搬送手段で搬送される基板にアラインメント機構部からの複数本のフィルムの基板に対応する複数のシール状封止材を貼り付ける貼付機構部と、貼付機構部からの基板にシート状封止材が貼り付けられた複数本のフィルム夫々からベースフィルムを剥ぎ取り、巻き取るベースフィルム巻取機構部とから構成され、基板搬送手段は、ベースフィルム巻取機構部で複数本のフィルムのベースフィルムが剥ぎ取られた複数のシート状封止材が貼り付けられた状態の基板を後室に排出することを特徴とするものである。

また、本発明は、前室と後室とに、室内をドライエアー状態から前記チャンバ内と等しい高真空状態にするための真空ポンプを備えたことを特徴とするものである。

さらに、本発明は、基板処理機構部が、複数のフィルムを搭載する表面が非粘着性に処理されたテーブルと、複数のフィルムをその長さ方向の所定の間隔でテーブルの表面に押える一対の押え板と、複数のフィルムの一対の押え板でテーブルの表面に押さえ付けられている部分の間の前記シート状封止材を、その長さ方向に前記基板の間隔で、カットするハーフカット用丸刃と、複数のフィルムのハーフカット用丸刃でカットされた部分の前記シート状封止材を前記ベースフィルムから剥離するテープ剥離機構とから構成されていることを特徴とするものである。

さらに、本発明は、貼付機構部と前記ベースフィルム巻取機構部との間に、前記基板を冷却する基板冷却機構部を設けたことを特徴とするものである。

上記目的を達成するために、本発明による有機ＥＬパネルの製造方法は、枠状にシール剤が塗布されてシール剤の枠の内側に複数のＥＬ素子が設けられた基板を、容積が小さい前室の基板搬入口に設けられた第１のゲートバルブを開いて、前室内に搬入する搬入工程と、基板が基板搬入口から前室に搬入されるとともに、第１のゲートバルブを閉じ、前室内を高真空状態にする真空化工程と、高真空状態とした前室と高真空状態に保持された容積が大きいチャンバとの間に設けられた第２のゲートバルブを開いて、前室からチャンバ内に基板を搬送し、基板のチャンバへの搬送後、第２のゲートバルブを閉じる搬送工程と、チャンバ内で、基板のシール剤の枠内にシート状封止材を貼り付ける封止材貼付工程と、容積が小さい後室内を高真空状態とし、チャンバと後室との間に設けられた第３のゲートバルブを開いて、シート状封止材が貼り付けられた基板をチェンバから後室に搬送する搬送工程と、後室の基板排出口に設けられた第３のゲートバルブを閉じ、第４のゲートを開いて後室内を大気状態とし、後室内のシート状封止材を貼り付けられた基板を基板排出口から排出する排出工程とからなり、封止材貼付工程は、前室から搬入された基板を所定の間隔で順次搬送する工程と、シート状封止材を挾んでカバーフィルムとベースフィルムとが設けられた所定幅のフィルムを複数本巻き出す工程と、巻き出される複数本のフィルム夫々からカバーフィルムを剥がして巻き取る工程と、カバーフィルムが剥ぎ取られた複数本のフィルム夫々から、搬送される基板の間隔となるシール状封止材の部分を剥ぎ取り、複数本のフィルム夫々のベースフィルム上で基板夫々に対応した複数のシール状封止材を形成する工程と、前室から搬入される基板毎に、基板の先端部とフィルムの基板に対応するシール状封止材の先端との位置決めをする工程と、搬送される基板に複数本のフィルムの基板に対応する複数のシール状封止材を貼り付ける工程と、複数のシール状封止材が貼り付けられた基板を冷却する工程と、冷却された基板にシート状封止材が貼り付けられた複数本のフィルム夫々からベースフィルムを剥ぎ取って巻き取る工程とからなることを特徴とするものである。

本発明によると、所定幅のシート状封止材を減圧（真空）もしくは不活性ガスの雰囲気内で同時に搬送して素子ガラス基板に貼り合わせるものであるから、塵芥の付着や気泡，しわなどの発生を防止することができるし、フィルム巻出機構部，カバーフィルム巻取機構部，ベースフィルム巻取機構部によってフィルムの張力を一定に保つことができて、シート状封止材の素子ガラス基板への貼り付け精度やシート状封止材が貼り付けられた素子ガラス基板の品質を高めることができる。

また、チャンバでの基板の出し入れでは、このチャンバよりも容積が小さい前室や後室で減圧と大気圧との変更を行なうものであるから、容積の大きいチャンバ内を、常時、減圧もしくは不活性ガスの雰囲気状態に保持しておくことができ、雰囲気状態の変更に要する時間を短くできて、タクトタイムの向上を図ることができる。

本発明による基板表面の封止装置と有機ＥＬパネルの製造方法の一実施形態の概略構成を示す図である。 本発明によって製造された有機ＥＬパネルの一具体例を示す概略構成図である。 本発明による基板表面の封止装置と有機ＥＬパネルの製造方法の概略説明図である。 図１におけるフィルムの構成を示す部分断面図である。 図１における封止材貼合装置８の一具体例の全体構成を示す斜視図である。 図５におけるフィルム巻出機構部とカバーフィルム巻取機構部とを拡大して示す構成図である。 図５における基板間処理機構部を拡大して示す構成図である。 図７における基板間処理機構部で形成されるシート状封止材間隔部についての説明図である。 図７での剥取装置がフィルムからシート状封止材間隔部の封止材フィルムを剥ぎ取っている動作を示す図である。 図５におけるラミネーション機構部を拡大して示す構成図である。 図５における基板冷却機構部とベースフィルム巻取機構部とを拡大して示す構成図である。

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。

図２は本発明によって製造された有機ＥＬパネルの一具体例を示す概略構成図であって、同図（ａ）は分解図、同図（ｂ）は同図（ａ）の部分Ａを拡大して示す平面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）の分断線Ｂ−Ｂに総断面図であり、１は素子ガラス基板、２は封止ガラス基板、３はシール剤、４は有機ＥＬ素子、５はシート状封止材である。

図２（ａ）において、素子ガラス基板１には、その表面にその周辺部に沿って枠状にシール剤３（図２（ｂ））が形成され、このシール剤３の枠の内側の領域に複数の有機ＥＬ素子４が縦横に配列され、かつこれら有機ＥＬ素子がシート状封止材５によって封止されている。かかる素子ガラス基板１に、そのシール剤３が設けられた側から封止ガラス基板が重ねられ、加圧されてこのシール剤３によって貼り合わされることにより、有機ＥＬパネルが形成される。

図２（ｂ），（ｃ）において、有機ＥＬ素子４は、図示しないが、有機発光層の上下面の一方の面に陽極（アノード）が、他方の面に陰極（カソード）が夫々設けられた構成をなしており、これら陽極，陰極は素子ガラス基板１の表面に設けられた信号線などに接続され、かかる信号線などの上に設けられた図示しない絶縁膜上に有機ＥＬ素子４が設けられている。有機ＥＬ素子４がパッシブ型の有機ＥＬ素子であるときには、素子ガラス基板１の表面に縦横に走査線と信号線とが敷設されており、この有機ＥＬ素子４の陽極が走査線に、陰極が信号線に夫々接続されている。また、有機ＥＬ素子４がアクティブマトリックス型の有機ＥＬ素子であるときには、素子ガラス基板１の表面に縦横に走査線と信号線とが敷設され、これら走査線と信号線との交叉部にＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスタ）などのアクティブ素子が設けられ、ＴＦＴのゲート電極，ソース電極が夫々走査線，信号線に接続され、そのドレイン電極に有機ＥＬ素子４の陽極が接続されている。

シート状封止材５は、エポキシ樹脂などの熱硬化型の樹脂からなるものであって、有機ＥＬ素子４の陽極や陰極の電極取出線の端子部を除いて、有機ＥＬ素子４を覆うように貼り付けられて硬化されている。この硬化されたシート状封止材５に封止ガラス基板５が密着した状態で、シール剤３により、素子ガラス基板１に貼り合わされている。

なお、シート状封止材５を構成する樹脂としては、特に、限定されるものではなく、エポキシ樹脂などの熱可塑性で熱硬化性の樹脂（加熱すると、軟化して加工可能となるが、そのまま加熱を続けると、化学反応を起こして硬化する樹脂）であれば、樹脂の種類は問わない。また、シート状封止材５に、乾燥剤などの他の機能も付与するようにしてもよい。

図３は本発明による基板表面の封止装置と有機ＥＬパネルの製造方法の概略説明図であって、６はロール、７は有機ＥＬパネルであり、図２に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、素子ガラス基板１には、ほぼその表面全体の領域に図示しない前工程で複数の有機ＥＬ素子４（図２）が配列して取り付けられ、また、この領域全体を囲むように、液状の接着剤としてのシール剤３（図２）が枠状に塗布されている。かかる素子ガラス基板１がチャンバ（図示せず）内に搬送される。

チャンバ内では、この素子ガラス基板１の表面の有機ＥＬ素子４が設けられている領域全体を複数列のシート状封止材５で覆い、かつ夫々のシート状封止材５が複数列の有機ＥＬ素子を覆うようにして、これらシート状封止材５を、ロール６で素子ガラス基板１の表面に押し付けて加熱することにより、この素子ガラス基板１の表面に熱圧着する。これにより、素子ガラス基板１の表面上の有機ＥＬ素子４が全て複数のシート状封止材５で覆われて封止される。シート状封止材５はエポキシ樹脂を主成分とし、このように、ラミネート法によって素子ガラス基板１の表面上に貼り付けられる。

ここで、素子ガラス基板１の表面には、図示しないが、信号線が設けられており、有機ＥＬ素子４の端子部がこの信号線に接続されているが、シート状封止材５は、この端子部を除いた有機ＥＬ素子４の全面を覆うように、熱圧着によって貼り付けられる。これら複数列のシート状封止材５の貼り付けを同時に行なうようにして、貼り付けの効率化を図っており、また、有機ＥＬ素子４に対して配置された配線などによる凹凸部を、気泡が生ずることなく、シート状封止材５で覆うようにするために、このシート状封止材５の貼り付けが、チャンバ内において、真空（減圧）中あるいは減圧下で行なわれる。

次いで、シート状封止材５が貼り付けられた素子ガラス基板１はチャンバ内から搬出され、この素子ガラス基板１に、その表面に設けられた液状のシール剤３（図２）により、封止ガラス２が貼り合わされる。そして、このシール剤３を紫外線などによって硬化することにより、有機ＥＬパネル７が得られる。

図１は本発明による基板表面の封止装置と有機ＥＬパネルの製造方法の一実施形態の概略構成を示す図であって、８は封止材貼合装置、９はチャンバ、１０は前室、１１は後室，１２ａ〜１２ｄはゲートバルブ、１３はフィルム、１４はフィルム巻出機構部、１５はカバーフィルム巻取機構部、１６は基板間処理機構部、１７はフィルム張力測定機構部、１８はアラインメント機構部、１９はラミネーション機構部、２０は基板冷却機構部、２１はベースフィルム巻取機構部である。

同図において、チャンバ９内には、素子ガラス基板１にシート状封止材５を貼り合わせる封止材貼合装置８が設けられている。そして、チャンバ９の入口側に前室１０が、出口側に後室１１が夫々設けられており、チャンバ９，前室１０間にゲートバルブ１２ｂが、チャンバ９，後室１１間にゲートバルブ１２ｃが夫々設けられている。また、前室１０の入り口には、ゲートバルブ１２ａが、後室１１の出口には、ゲートバルブ１２ｄが夫々設けられている。

チャンバ９内は、常時減圧された（真空の）雰囲気状態、あるいは不活性ガスの雰囲気状態に保持されており、図示しない前工程で有機ＥＬ素子の取り付けやシール剤の塗布などの処理がなされた素子ガラス基板１が前室１０を介してチャンバ９内に搬入されるのであるが、この素子ガラス基板１が前工程から搬送されてくるときには、チャンバ９の入口側のゲートバルブ１２ｂ，出口側のゲートバルブ１２ｃが閉じてチャンバ９内は密封状態にあり、また、前室１０の入口側のゲートバルブ１２ａが開いてこの前室１０内がドライエアーの大気状態にあり、この状態で素子ガラス基板１が前室１０内に搬入される。

なお、有機ＥＬ素子が取り付けられ、シール材が塗布された素子ガラス基板１が搬送される前室１０の入口までの経路は、ドライエアーの大気状態にある。

この素子ガラス基板１が前室１０内に搬入されると、ゲートバルブ１２ａが閉じて前室１０内が密閉状態となり、その室内が、これに設けられている真空ポンプなどにより、ドライエアーが排出されて減圧あるいは不活性ガスの雰囲気の状態に変化する。そして、前室１０内がチャンバ９と同様の雰囲気下になると、チャンバ９の入口側のゲートバルブ１２ｂが開いて素子ガラス基板１がチャンバ９内に搬入される。この搬入が完了すると、ゲートバルブ１２ｂが閉じてゲートバルブ１２ａが開き、前室１０は次の素子ガラス基板１が搬入されるのを待つ。

チャンバ９内の封止材貼合装置８では、搬入された素子ガラス基板１へのシート状封止材５の貼り付け作業が行なわれ、この作業が終了すると、チャンバ９の出口側のゲートバルブ１２ｃが開く。このとき、後室１１の出口側のゲートバルブ１２ｄは閉じた状態にあって、後室１１内は、これに設けられている真空ポンプなどにより、チャンバ９内と同様の高真空の雰囲気下にあり、シート状封止材５の貼り付けが完了した素子ガラス基板１がチャンバ９から後室１１内に搬送される。そして、この搬送が完了すると、チャンバ９側のゲートバルブ１２ｃが閉じ、出口側のゲートバルブ１２ｄが開いて後室１１内がドライエアーの大気状態になされ、しかる後、素子ガラス基板１が後室１１から搬出されて封止ガラス基板２（図２，図３）の貼り合わせなどのための後工程に搬送される。

前工程からは、有機ＥＬ素子の取り付けやシール剤の塗布がなされた素子ガラス基板１が順番に前室１０に搬送されて来て、夫々毎に順に上記のシート状封止材５の貼り付け処理が行なわれる。

なお、有機ＥＬ素子を製造する場合には、製造工程中で有機ＥＬ素子の性能劣化を防止するために、減圧あるいは不活性ガスの雰囲気下で製造する。同様にして、シート状封止材５の貼り合わせ中に有機ＥＬ素子の性能が劣化するのを防止するために、封止材貼合装置８をチャンバ９内に設け、このチャンバ９内を減圧あるいは不活性ガスの雰囲気状態にしている。

封止材貼合装置８では、シート状封止材５のフィルム１３がフィルム巻出機構部１４から取り出され、カバーフィルム巻取機構部１５，基板間処理機構部１６，フィルム張力測定機構部１７，アラインメント機構部１８を経てラミネーション機構部１９に送り込まれ、このラミネーション機構部１９でシート状封止材５が前室１０から搬入された素子ガラス基板１に貼り付けられる。

フィルム巻出機構部１４から巻き出されるフィルム１３は、連続した帯状をなして、図４に示すように、封止材フィルム５’の一方の面にベースフィルム１３ｂが、他方の面にカバーフィルム１３ａが夫々剥ぎ取り可能に貼り付けられた三層構造をなしている。この封止材フィルム５’が、後述するように、素子ガラス基板１毎に基板間処理機構部１６で区分されて、素子ガラス基板１のシート状封止材５が形成される。

なお、シート状封止材５を含むフィルム１３は、防湿機能を持たせることは困難であり、また、吸湿したシート状封止材の水分を取り除くためには、減圧あるいは不活性ガスの雰囲気の環境下で水分を取り除く処理を長時間行なわなければならない。このため、封止材貼合装置８で貼り合わせに用いられる前の工程では、フィルム１３は周囲がドライエアー（露天温度＝−２０℃以下）または不活性ガスの環境が保たれる部屋内を移動するようにしており、また、このフィルム１３での後述するように区分されたシート状封止材５を素子ガラス基板１に貼り合わせる封止材貼合装置８も、チャンバ９内の減圧あるいは不活性ガス雰囲気の環境内に配置しており、フィルム１３は、フィルム巻出機構部１４からシート条封止材５が素子ガラス基板１に貼り合わされてチャンバ９から搬出されるまで、チャンバ９内にある。

図１において、カバーフィルム巻取機構部１５では、フィルム巻出機構部１４から巻き出されたフィルム１３から封止材フィルム５’の上側に貼り合わされているカバーフィルム１３ａが剥ぎ取られ、基板間処理機構部１６では、カバーフィルム１３ａが剥ぎ取られたフィルム１３のむき出しになった封止材フィルム５’が素子ガラス基板１個分ずつ区分されてシート状封止材５となり、シート状封止材５が下向きとなるように上下面が反転されてラミネーション機構部１９に搬送されてくる。

ここで、フィルム張力測定機構部１７によってフィルム１３の張力が測定されて、フィルム１３の張力が調整され、また、アラインメント機構部１９により、フィルム１３での区分されたシート状封止材５がこれを貼り合わせる素子ガラス基板１に正確に位置合わせされる。

このようにして、位置調整されたシート状封止材５のフィルム１３は、ラミネーション機構部１９において、シート状封止材５が素子ガラス基板１の表面に、図３で説明したように、熱圧着され、基板冷却機構部２０で熱圧着で加熱された素子ガラス基板１が冷却される。この冷却により、シート状封止材５が素子ガラス基板１の表面に強固に貼り付くことになる。しかる後、ベースフィルム巻取機構部２１でフィルム１３のベースフィルム１３ｂが剥ぎ取られ、１つ１つのシート状封止材５が貼り合わされた素子ガラス基板１となる。このようにしてシート状封止材５が貼り合わされた素子ガラス基板１がチャンバ９の出口に搬送されてくる毎にゲートバルブ１２ｃが開き、後室１１に搬送される。

なお、ここでは、１個のフィルム１３について説明したが、複数のフィルム１３が同時に同様に処理されて、上記のように、素子ガラス基板１に同時に複数のシート状封止材５が貼り付けられる。

このように、素子ガラス基板１にシート状封止材５を張り合わせる封止材貼合装置８を減圧あるいは不活性ガスの雰囲気下にあるチャンバ９内に設置することにより、素子ガラス基板１の表面に設けられた有機ＥＬ素子４（図２）の吸湿による性能の劣化を防止することができるし、シート状封止材５も、フィルム巻出機構部１４から巻き出されるときから素子ガラス基板１に貼り付けられてチャンバ９から後室１１に搬出されるまで貼り合わせ作業中、減圧あるいは不活性ガスの雰囲気下にあるチャンバ内にあるから、水分が排出されてその浸入も防止できるから、シート状封止材５の吸湿も防止することができ、シート状封止材５の吸湿による性能の劣化を防止することができる。しかも、チャンバ９内では、空気や塵芥が排出され、また、その浸入も防止できるので、貼り合わせる有機ＥＬ素子４とシート状封止材５との間の気泡の発生や塵芥の浸入を極力抑えることができ、有機ＥＬパネル７（図３）の性能劣化も防止することができる。

また、チャンバ９には、その入口側に前室１０が、その出口側に後室１１が夫々設けられ、前工程からの素子ガラス基板１が大気状態にある前室１０内に搬入されるときには、ゲートバルブ１２ａ，１２ｂが閉じた状態で前室１０内を大気状態からチャンバ９内と同じ雰囲気状態にしてから、ゲートバルブ１２ｂを開いてチャンバ９内に搬入して再びこのゲートバルブ１２ｂを閉じ、また、後室１１内を大気状態からチャンバ９内と同じ雰囲気状態にしてから、ゲートバルブ１２ｃを開いてチャンバ９内のシート状封止材５が貼り付けられた素子ガラス基板１を後室１１内に搬出し、しかる後、ゲートバルブ１２ｃを閉じて後室１１内を大気状態にし、ゲートバルブ１２ｄを開いて外部に排出するものであるから、チャンバ９内を減圧あるいは不活性ガスの雰囲気の状態に保持することができて、かかる雰囲気を維持するための真空ボンプなどの手段の稼働時間を極めて短くすることができるし、しかも、前室１０及び後室１１は、素子ガラス基板１の出し入れや収納をすることができ、かつゲートバルブ１２ａ，１２ｂが開閉できるだけの容量を持つものであればよいので、チャンバ９内の容積に比べてその１／５〜１／１０倍程度と充分小さい容積のものとすることができ、このために、大気状態から減圧あるいは不活性ガスの雰囲気の状態に変化させるのに要する時間やその逆の状態変化に要する時間を、チャンバ９でかかる状態の変化を行なわせる場合に比べ、大幅に短くすることができ、１個当りの素子ガラス基板へのシート状封止材の貼り合わせ作業時間を大幅に短縮することができる。

また、図示しないが、チャンバ９や前室１０，後室１１は、周囲がドライエアーまたは不活性ガスの雰囲気の状態に保持されている場所に設置されている。

図５は図１における封止材貼合装置８の一具体例の全体構成を示す斜視図であって、１４ａ〜１４ｃ，１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ，１９ａ，２０ａ，２１ａ，２１ｂは駆動モータ、２２は剥取装置、２３は位置検出器であり、図１に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、４本のフィルム１３が駆動モータ１４ａ〜１４ｃによって駆動されるフィルム巻出機構部１４から繰り出され、互いに平行に、かつ同じ所定の間隔で走行する。その走行方向は、矢印（←）で示すように、素子ガラス基板１の走行方向と平行で、かつその走行方向とは逆方向である。なお、これらフィルム１３の走行は、フィルム巻出機構部１４でこれらフィルム１３が繰り出されるとともに、これらフィルム１３のカバーフィルム１３ａ（図４）が駆動モータ１５ａ，１５ｂによって駆動されるカバーフィルム巻取機構部１５で巻き取られ、かつこれらフィルム１３のベースフィルム１３ｂ（図４）が駆動モータ２１ａ，２１ｂによって駆動されるベースフィルム巻取機構部２１で巻き取られることにより、行なわれるものである。なお、これらフィルム１３は、後述するように、前室１０からの素子ガラス基板１の搬入に同期して、図８に示す寸法ｌで間欠的に走行する。

カバーフィルム巻取機構部１５でカバーフィルム１３ａ（図４）が剥ぎ取られたこれらのフィルム１３は、基板間処理機構部１６において、上記のように、むき出しになったシート状封止材５が素子ガラス基板１個分ずつ区分され、これら区分の境目をなすように、所定長さのシート状封止材５が剥ぎ取られる。かかる剥ぎ取りは、駆動モータ１６ａ，１６ｂによって駆動される剥取装置２２によって行なわれる。

基板間処理機構部１６で処理されたこれらフィルム１３は、フィルム張力測定機構部１７でその走行方向が下向きに、即ち、素子ガラス基板１の走行路の方向に変えられる。このとき、フィルム張力測定機構部１７により、これらフィルム１３の合成張力が測定され、この測定結果に応じてフィルム巻出機構部１４の駆動モータ１４ａ〜１４ｃが制御され、これによってこれらフィルム１３の張力が調整される。

フィルム張力測定機構部１７からのフィルム１３はアラインメント機構部１８に送られ、ラミネーション機構部１９でフィルム１３のシート状封止材５が１つずつ素子ガラス基板１のこのシート状封止材５が貼り合わされる位置に一致するように、ＣＣＤカメラなどからなる位置検出器２３の検出結果をもとに、アラインメント機構部１８でフィルム１３の幅方向，長さ方向（走行方向）の位置調整が行なわれる。この位置調整は、前室１０（図１）から搬入された素子ガラス基板１がラミネーション機構部１９の手前の所定の位置に停止するが、この位置に停止した素子ガラス基板１に対して、フィルム１３でのシート状封止材５の先頭位置が所定の位置となるように、フィルム１３をその幅方向，長さ方向に移動させて設定するものである。アラインメント機構部１８は、素子ガラス基板１とフィルム１３でのこの素子ガラス基板１に張り合わせるシート状封止材５との位置関係が、このように、所定の位置関係となったときには、次の素子ガラス基板１に貼り合わせるシート状封止材５の先頭位置を検出できる位置に設定されており、これにより、この先頭位置を調整することにより、所定の位置に停止している素子ガラス基板１とこれに貼り合わせるシート状封止材５との位置関係を上記の所定の位置関係に設定することができる。

このように、素子ガラス基板１とこれに貼り合わせるフィルム１３でのシート状封止材５との位置関係が設定されると、所定の時間素子ガラス基板１とフィルム１３とは停止状態にあるが、このとき、基板間処理機構部１６では、この位置にフィルム１３での封止材フィルム５’の次に区分の境目をなす剥ぎ取り部分が位置しており、この部分が基板間処理機構部１６の剥取装置２２によって剥ぎ取られる。これにより、次のシート状封止材５が形成される。

しかる後、フィルム１３と素子ガラス基板１とが同じ速度で走行し、駆動モータ１９ａによって動作するラミネーション機構部１９に送り込まれて、この素子ガラス基板１にフィルム１３のシート状封止材５が熱圧着によって貼り合わされる。

この熱圧着はフィルム１３のシート状封止材５と素子ガラス基板１とが連続的に移動することによって行なわれ、これとともに、次の素子ガラス基板１が前室１０から搬入され、上記のように、所定の位置に停止する。これとともに、ラミネーション機構部１９でフィルム１３のシート状封止材５が貼り合わされた素子ガラス基板１も停止し、アラインメント機構部１８により次の素子ガラス基板１に対するフィルム１３のシート状封止材５の位置調整や基板間処理機構部１６での次のシート状封止材５の形成が行なわれ、次の素子ガラス基板１へのシート状封止材５の貼り合わせが行なわれる。

このようにして、前室１０から順次搬送される素子ガラス基板１へのシート状封止材５の貼り合わせが順次行なわれる。

フィルム１３のシート状封止材５が貼り合わされた素子ガラス基板１は、駆動モータ２０ａによって駆動される基板冷却機構部２０で冷却された後、駆動モータ２１ａ，２１ｂで駆動されるベースフィルム巻取機構部２１でフィルム１３のベースフィルム１３が剥ぎ取られ、シート状封止材５が貼り付けられた個々の素子ガラス基板１となって後室１１に搬送される。但し、この間、フィルム１３と素子ガラス基板１とは、上記の間欠動作に伴って、図８に示す寸法ｌで間欠的に移動する。

なお、以上の動作を行なう封止材貼合装置８はチャンバ９内に設置されているが、フィルム巻出機構部１４の駆動モータ１４ａ〜１４ｃなどの各装置の駆動モータは、チャンバ９の外側に取り付けられている。

図６は図５におけるフィルム巻出機構部１４とカバーフィルム巻取機構部１５を拡大して示す構成図であって、２４ａ〜２４ｄはフィルムロール、２５ａ〜２５ｄは回転軸、２６はトルクリミッタ、２７はフィルム張力付加ロール、２８はピンチロール、２９ａ，２９ｂは駆動モータ、３０ａ〜３０ｄはカバーフィルム巻取ロール、３１はカバーフィルム剥がしロール、３２はトルクリミッタであり、図５に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、フィルム巻出機構部１４では、駆動モータ１４ａの回転軸２５ａには、２つのフィルム１３がロール状に巻き付けられたフィルムロール２４ｂ，２４ｄが所定の間隔をもって取り付けられており、駆動モータ１４ｂの回転軸２５ｂにも、２つのフィルム１３がロール状に巻き付けられたフィルムロール２４ａ，２４ｃが所定の間隔をもって取り付けられている。これらフィルムロール２４ａ〜２４ｄからは夫々フィルム１３が繰り出されるが、フィルムロール２４ａからのフィルム１３とフィルムロール２４ｂからのフィルム１３とフィルムロール２４ｃからのフィルム１３とフィルムロール２４ｄからのフィルム１３とが、この順に、かつ上記の所定の間隔となるように、回転軸２５ａ，２５ｂに夫々配置されている。

これらフィルムロール２４ａ〜２４ｄは夫々回転軸２５ａ，２５ｂから取外し可能であって、フィルムロール２４ａ〜２４ｄでフィルム１３がほとんど繰り出されると、新たなフィルムロールと取り替えることができる。

駆動モータ１４ｃの回転軸２５ｃには、フィルムロール２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄからのフィルムが夫々当接するフィルム張力付加ロール２７が設けられている。また、これらフィルム張力付加ロール２７毎に、これらフィルム張力付加ロール２７に当接するフィルム１３を挟むようにして、４個のピンチロール２８が回転軸２５ｄに設けられている。

駆動モータ１４ａ〜１４ｃが回転すると、フイルムロール２４ａ〜２４ｄから夫々フィルム１３が下方向に繰り出され、これらのフィルム１３が夫々フィルム張力付加ロール２７とピンチロール２８とにより、所定の張力で引っ張られて移動する。このとき、フィルム張力付加ロール２７により、下方向にフイルムロール２４ａ〜２４ｄから下方向に移動する夫々のフィルム１３は、その移動方向が水平方向に転換される。

ここで、フィルムロール２４ａ〜２４ｄは夫々回転軸２５ａ，２５ｂに回転可能に取り付けられており、これらの取付部には夫々、トルクリミッタ２６が設けられている。これらトルクリミッタ２６により、フィルムロール２４ａ〜２４ｄが夫々回転軸２５ａ，２５ｂの回転とともに回転してフィルム１３が繰り出されるが、これとともに、フィルムロール２４ａ〜２４ｄが回転軸２５ａ，２５ｂに対して回転してフィルム１３の繰り出し張力の調整が行なわれる。

このようして、フィルム巻出機構部１４から繰り出された４本のフィルム１３は、カバーフィルム巻取機構部１５に送られる。

カバーフィルム巻取機構部１５では、駆動モータ１５ａの回転軸２９ａに２つのカバーフィルム巻取ロール３０ｂ，３０ｄが所定の間隔をもって取り付けられ、駆動モータ１５ｂの回転軸２９ｂに２つのカバーフィルム巻取ロール３０ａ，３０ｃが所定の間隔をもって取り付けられている。また、回転軸２９ｃには、４個のカバーフィルム剥がしロール３１が、夫々フィルム巻出機構部１４から繰り出された夫々のフィルム１３が当接するように、取り付けられている。これらカバーフィルム剥がしロール３１でこれらフィルム１３からカバーフィルム１３ａから剥がされ、剥がされたカバーフィルム１３ａが夫々カバーフィルム巻取ロール３０ａ〜３０ｄで巻き取られる。

これらカバーフィルム剥がしロール３１は夫々回転軸２９ａ，２９ｂから取外し可能であって、フィルム巻出機構部１４でのフィルムロール２４ａ〜２４ｄでフィルム１３がほとんど繰り出されて新たなフィルムロールと取り替えるときには、これらカバーフィルム剥がしロール３１も夫々回転軸２９ａ，２９ｂから取外し、カバーフィルム１３ａが巻き付けられていない新たなカバーフィルム剥がしロール３１を夫々回転軸２９ａ，２９ｂに取り付け、作業員がフィルム巻出機構部１４での新たなフィルムロール２４ａ〜２４ｄから夫々フィルム１３を引き出し、カバーフィルム１３ａを剥がしてカバーフィルム剥がしロール３１に取り付けた後、これらカバーフィルム１３ａをカバーフィルム巻取ロール３０ａ〜３０ｄに巻き付けるようにする。

また、カバーフィルム巻取ロール３０ａ〜３０ｄは夫々回転軸２９ａ，２９ｂに回転可能に取り付けられており、これらの取付部には夫々、トルクリミッタ３２が設けられている。カバーフィルム巻取ロール３０ａ〜３０ｄが夫々回転軸２９ａ，２９ｂの回転とともに回転してカバーフィルム１３ａが巻き取られるが、トルクリミッタ３２によって張力が付加されて巻き取られる。

このようにして、カバーフィルム剥がしロール３１でカバーフィルム１３ａが剥がされた４本のフィルム１３は、上記のように、所定の間隔で平行に基板間処理機構部１６（図７）に送られる。

なお、図５で説明したフィルム張力測定機構部１７の張力測定結果は、フィルム巻出機構部１４に送られて駆動モータ１４ａ〜１４ｃの回転トルクが調整され、また、カバーフィルム巻取機構部１５にも送られて駆動モータ１５ａ，１５ｂの回転トルクが調整される。

図７は図５における基板間処理機構部１６を拡大して示す構成図であって、３３ａ，３３ｂはフィルム押え部材、３４はハーフカット部材、３５は剥離ローラ、３６は剥離テープ、３７はテープ繰出ロール、３８はテープ巻取ロール、３９ａ，３９ｂは垂れ下げローラであり、図５に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、基板間処理機構部１６では、カバーフィルム巻取機構部１５（図６）からフィルム１３が所定の長さ分（フィルム送り込み長さ）送り込まれると、このフィルム１３は停止し、フィルム１３の配列方向に直交した方向に平行に伸延した２枚のフィルム押え部材３３ａ，３３ｂにより、これらフィルム１３が同時に図示しない平面部に押え込まれる。これにより、これらフィルム１３のフィルム押え部材３３ａ，３３ｂ間の部分が固定される。これらフィルム１３のフィルム押え部材３３ａ，３３ｂによる押え部分で剥取装置２２が作用することにより、上記のように、シート状封止材５を区分する領域の封止材フィルム５’が剥ぎ取られる。

ここで、前室１０（図５）からの素子ガラス基板１の搬入に同期してフィルム１３での封止材フィルム５’の剥ぎ取り部分が決められるものとすると、フィルム１３での封止材フィルム５’の剥ぎ取り部分の間隔及びその長さ（フィルム１３の移動方向の長さ）は次のように決められる。

即ち、図８において、いま、素子ガラス基板１の搬送方向の長さをＬ、この素子ガラス基板１でのシート状封止材５で覆う封止領域４０での素子ガラス基板１の搬送方向の長さをＬ’、前室１０から搬入される素子ガラス基板１の間隔をＤとすると、前後する２つの素子ガラス基板１での封止領域４０の間隔ｄは、
ｄ＝Ｌ−Ｌ’＋Ｄ
となる。この間隔ｄがフィルム１３の封止材フィルム５’での剥ぎ取り部分の長さである。従って、押え部材３３ａ，３３ｂは、この剥ぎ取り部分を挟むようにして、フィルム１３を固定する。また、この剥ぎ取り部分の繰り返しの長さ（即ち、フィルム１３のフィルム送り込み長さ）ｌは、
ｌ＝Ｌ’＋ｄ＝Ｌ＋Ｄ
であり、素子ガラス基板の搬入の繰り返し長さとなる。

図７に戻って、剥取装置２２は、ハーフカット部材３４と剥離テープ３６と剥離ローラ３５を備えている。ハーフカット部材３４は、図示しない駆動手段により、矢印Ａの方向やその逆の矢印Ｂ方向に移動可能であり、剥離ローラ３５や垂れ下げローラ３９ａ，３９ｂも、図示しない駆動手段により、矢印Ａ，Ｂ方向に移動可能である。剥離ローラ３５は、垂れ下げローラ３９ａ，３９ｂの移動とともに移動するが、さらに、上下方向にも移動することができる。即ち、図示しないが、例えば、ハーフカット部材３４と剥離ローラ３５と垂れ下げローラ３９ａ，３９ｂとを搭載した矢印Ａ，Ｂ方向に移動可能な手段が設けられ、この手段には、ハーフカット部材３４を回転駆動する駆動手段が設けられ、また、この手段の中で剥離ローラ３５が上下動可能に取り付けられている。

そこで、ハーフカット部材３４が、巻取ロール３８側から矢印Ａ方向に移動しながら、フィルム１３での封止材フィルム５’の長さｄ（図８）の剥ぎ取り部分の前後両側に切り込みを行ない、このハーフカット部材３４の後から同じく矢印Ａ方向に移動する剥離ローラ３５でフィルム１３に押し付けられる剥離テープ３６により、このフィルム１３の封止材フィルム５’のハーフカット部材３４による切り込み間の部分がフィルム１３から剥離される。剥離テープ３６は繰出ロール３７と巻取ロール３８との間に貼られており、２つの垂れ下げローラ３９ａ，３９ｂとの間で下方に垂れ下げられて、剥離ローラ３５により、フィルム１３に押し付けられている。

このようにして、４本のフィルム１３でのシート状封止材５の間隔となる部分（即ち、図９に示すシート状封止材間隔部４２）が形成されると、駆動モータ１６ｂの駆動により、巻取ロール３８が回転して剥離テープ３６を巻き取る。このとき、駆動モータ１６ａは駆動されず、繰出ロール３７は剥離テープ３６を繰り出さない。このため、垂れ下げローラ３９ａ，３９ｂ間では、剥離テープ３６が巻取ロール３８側に移動することにより、剥離ローラ３５が持ち上げられてフィルム１３から離れ、しかる後、駆動モータ１６ａが起動して繰出ロール３７から、巻取ロール３８での剥離テープ３６の巻取速度と同じ速度で剥離テープ３６が繰り出される。また、これとともに、ハーフカット部材３４と剥離ローラ３５と垂れ下げローラ３９ａ，３９ｂとを搭載した手段が矢印Ｂ方向に移動することにより、これらハーフカット部材３４と剥離ローラ３５と垂れ下げローラ３９ａ，３９ｂとが、フィルム１３よりも巻取ロール３８側となるまで、矢印Ｂ方向に移動する。

そして、フィルム押え部材３３ａ，３３ｂが持ち上がってフィルム１３が固定状態から開放され、矢印Ｃ方向に上記の長さｌだけ移動すると、再びフィルム押え部材３３ａ，３３ｂが降下してフィルム１３を固定し、上記のように、剥取装置２２によって次のシート状封止材間隔部４２（図９）が形成される。

以上の動作が繰り返されることにより、上記の繰り返し長さｌで順次封止領域４０が形成されて、それ毎にシート状封止材５が順次形成される。

図９は図７での剥取装置２２がフィルム１３からシート状封止材間隔部の封止材フィルム５’を剥ぎ取っている動作を示す図であって、３４ａ，３４ｂはハーフカット用丸刃、３４ｃは回転軸、４１ａ，４１ｂは切込、４２はシート状封止材間隔部である。

同図において、ハーフカット部材３４は、矢印Ｃで示すフィルム１３の移動方向に平行に配置される回転軸３４ｃの両端部夫々に、図８に示す長さｄに等しい間隔でハーフカット用丸刃３４ａ，３４ｂが取り付けられている。かかる構成のハーフカット部材３４は、回転軸３４ｃが図示しない駆動モータによって回転駆動されることにより、ハーフカット用丸刃３４ａ，３４ｂが回転しながら矢印Ｃで示すフィルム１３の走行方向（長手方向）とは直交する矢印Ａ方向に移動し、これにより、フィルム１３の封止材フィルム５’にその厚さに等しい深さの切込４１ａ，４１ｂを形成する。

一方、剥離ローラ３５は、ハーフカット部材３４の後ろから、剥離テーブ３６をフィルム１３の封止材フィルム５’でのハーフカット用丸刃３４ａ，３４ｂによって形成された切込４１ａ，４１ｂ間の部分に押し当てながら矢印Ａ方向に移動し、これにより、封止材フィルム５’の切込４１ａ，４１ｂ間の部分が剥離テーブ３６に粘着して剥がれる。これにより、シート状封止材間隔部４２が形成され、封止材フィルム５’でのシート状封止材間隔部４２よりも前の部分が長さＬ’（図８）のシート状封止材５となる。

このようにして、基板間処理機構部１６では、フィルム１３上には、長さＬ’のシート上封止材５が長さｄの間隔で順次形成される。

図１０は図５におけるラミネーション機構部１９を拡大して示す構成図であって、１９ｂ，１９ｃは駆動モータ、４３は幅方向調整用ガイド付ローラ、４４ａ〜４４ｄは幅方向調整用モータ、４５ａ，４５ｂは熱圧着用ローラ、４６は基板搬送用ローラ、４７は搬送方向変換ローラであり、図５に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、ラミネーション機構部１９では、フィルム張力測定機構部１７（図５）から矢印Ｄで示す下向きの方向に搬送されるフィルム１３が夫々、搬送方向変換ローラ４７により、素子ガラス基板１の矢印Ｅで示す搬送方向に沿う方向に変換される。方向変換されたこれらフィルム１３は、熱圧着ローラ４５ａ，４５ｂとの間に搬送される。この方向変換により、シート状封止材５はフィルム１３での素子ガラス基板１側に配置されることになる。

搬送方向変換ローラ４７の直前には、フィルム毎に幅方向調整用モータ４４ａ〜４４ｄで駆動される幅方向調整用ガイド付ローラ４３が設けられている。これら幅方向調整用ガイド付ローラ４３は夫々、その幅方向両端部に夫々つば部（図示せず）が設けられており、これら２つのつば部の間をフィルム１３が通過する。これら幅方向調整用モータ４４ａ〜４４ｄ及び幅方向調整用ローラ４３は、図５におけるアラインメント機構部１８の幅方向の調整手段をなすものである。また、搬送方向変換ローラ４７と熱圧着ローラ４５ａ，４５ｂとの間には、フィルム１３毎に位置検出器２３が設けられており（但し、ここでは、１個のみを示している）、フィルム１３夫々の幅方向の位置ずれを検出する。その検出結果に応じて、幅方向調整用モータ４４ａ〜４４ｄのうちの位置ずれが生じたフィルム１３に対する幅方向調整用モータ４４（幅方向調整用モータ４４ａ〜４４ｄの総称）が該当する幅方向調整用ガイド付ローラ４３を所定の方向に回転させ、そのフィルム１３の幅方向の位置ずれを調整する。

上記のように、アラインメント機構部１８（図５）により、前室１０（図５）から搬入されて停止中の素子ガラス基板１に対するフィルム１３でのシート状封止材５の位置関係が所定に設定されると、このフィルム１３が搬送されるとともに、これと等しい速度で素子ガラス基板１も基板搬送ローラ４６によって搬送され、この素子ガラス基板１の封止領域４０（図８）にフィルム１３のシート状封止材５が重ね合わされる。そして、かかる状態で素子ガラス基板１とフィルム１３とが駆動モータ１９ｂ，１９ｃによって回転駆動される熱圧着用ローラ４５ａ，４５ｂとの間に挟み込まれ、さらに、加熱されることにより、素子ガラス基板１の封止領域４０に夫々のフィルム１３でのシート状封止材５が熱圧着される。

このようにして、素子ガラス基板１とその封止領域４０にシート状封止材５が熱圧着されたフィルム１３とは、基板搬送ローラ４６によって次の冷却工程に搬送される。

図１１は図５における基板冷却機構部２０とベースフィルム巻取機構部２１とを拡大して示す構成図であって、４８ａ，４８ｂは基板冷却ローラ、４９はベースフィルム剥離ロール、５０ａ〜５０ｄは巻取ローラ、５１はトルクリミッタ、５２は基板搬送モータであり、図５，図１０に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、基板冷却機構部２０では、駆動モータ２０ａによって回転駆動される基板冷却ローラ４８ａ，４８ｂを対とする冷却ローラ部が２組設けられており、夫々の冷却ローラ部でフィルム１３のシート状封止材５が貼り合わされた素子ガラス基板１が基板冷却ローラ４８ａ，４８ｂに挟持されて搬送される。そして、これら基板冷却ローラ４８ａ，４８８は、鋼製で円筒状をなしており、その内部で冷却水が導入，排出されることにより、これら基板冷却ローラ４８ａ，４８ｂの内部に冷却手段が設けられている。この冷却手段によって冷却された基板冷却ローラ４８ａ，４８ｂの表面で挟み込まれることにより、フィルム１３と素子ガラス基板１とが冷却される。

ラミネーション機構部１９（図１０）で、例えば、１００℃でシート状封止材５を素子ガラス基板１の封止領域４０に加熱圧着した場合、シート状封止材５は素子ガラス基板１の封止領域４０に接着するが、また、このときには、このシート状封止材５とフィルム１３のベースフィルム１３ｂとの接着性も高く、冷却しないでベースフィルム１３ａを剥がそうとすると、シート状封止材５は、ベースフィルム１３ｂに付着したまま、素子ガラス基板１の封止領域４０から剥がれてしまう可能性がある。

そこで、基板冷却機構部２０でフィルム１３のシート状封止材５が加熱圧着された状態で素子ガラス基板１を、例えば、４０℃程度に冷却することにより、シート状封止材５の素子ガラス基板１への接着性が増加し、シート状封止材５がフィルム１３のベースフィルム１３ｂから剥がれ易くなる。

基板冷却機構部２０で冷却されたこの素子ガラス基板１は、ベースフィルム巻取機構部２１に搬送され、そのベースフィルム剥離ロール４９により、素子ガラス基板１の封止領域４０にシート状封止材５が貼り合わされた夫々のフィルム１３のベースフィルム１３ｂが剥離される。夫々のフィルム１３から剥離されたベースフィルム１３ｂは夫々、駆動モータ２１ａ，２１ｂで回転駆動される巻取ローラ５０ａ〜５０ｄによって巻き取られる。これら巻取ローラ５０ａ〜５０ｄにもトルクリミッタ５１が設けられており、ベースフィルム１３ｂのたわみの発生を防止するようにしている。

ベースフィルム１３ｂが除かれた素子ガラス基板１は、ここに分離したものとなり、夫々基板搬送モータ５２によって回転駆動される基板搬送用ローラ４６によって搬送され、チャンバ８内から後室１１（図５）に搬出される。

なお、この実施形態では、４本の所定幅のフィルム１３が所定の間隔で用いられるものとしたが、本発明は、これに限るものでなく、複数本のフィルム１３を用いるものである。

１ 素子ガラス基板
５ シート状封止材
５’ 封止材フィルム
８ 封止材貼合装置
９ チャンバ
１０ 前室
１１ 後室
１２ａ〜１２ｄ ゲートバルブ
１３ フィルム
１３ａ カバーフィルム
１３ｂ ベースフィルム
１４ フィルム巻出機構部
１５ カバーフィルム巻取機構部
１６ 基板間処理機構部
１７ フィルム張力測定機構部
１８ アラインメント機構部
１９ ラミネーション機構部
２０ 基板冷却機構部
２１ ベースフィルム巻取機構部
２２ 剥取装置
２４ａ〜２４ｄ フィルムロール
３０ａ〜３０ｄ カバーフィルム巻取ロール
３１ カバーフィルム剥がしロール
３３ａ，３３ｂ フィルム押え部材
３４ ハーフカット部材
３４ａ，３４ｂ ハーフカット用丸刃
３５ 剥離ローラ
３６ 剥離テープ
３９ａ，３９ｂ 垂れ下げローラ
４０ 封止領域シート状封止材間隔部
４１ａ，４１ｂ 切込
４２ シート状封止材間隔部
４３ 幅方向調整用ガイド付ローラ
４５ａ，４５ｂ 熱圧着用ローラ
４８ａ，４８ｂ 基板冷却ローラ
４９ ベースフィルム剥離ロール
５０ａ〜５０ｄ 巻取ロール

Claims (5)

1. シート状封止材を基板上に貼り付けるフィルム貼合装置を内蔵したチャンバと、該チャンバに該基板を搬入するための該チャンバよりも容積が小さい前室と、該フィルム貼合装置で該シート状封止材が貼り付けられた該基板を該チャンバ内から排出する該チャンバよりも容積が小さい後室とを備え、
   該前室の基板搬入口側とチャンバ側、及び該後室のチャンバ側と基板排出口側に夫々ゲートバルブを設けるとともに、該チャンバ内は、基板が搬入・排出されるときも含めて、常に高真空状態に保持され、
   該フィルム貼合装置は、
   該前室から搬入された該基板を所定の間隔で搬送する基板搬送手段と、
   シート状封止材を挾んでカバーフィルムとベースフィルムとが設けられた所定幅のフィルムを複数本巻き出すフィルム巻出機構部と、
   該フィルム巻出機構部から巻き出される該複数本のフィルム夫々から該カバーフィルムを剥がして巻き取るカバーフィルム巻取機構部と、
   該カバーフィルム巻取機構部で該カバーフィルムが剥ぎ取られた該複数本のフィルム夫々から、該基板搬送手段で搬送される該基板の間隔となる該シート状封止材の部分を剥ぎ取り、該複数本のフィルム夫々の該ベースフィルム上で該基板夫々に対応した複数の該シート状封止材を形成する基板間処理機構部と、
   該基板搬送手段によって該前室から搬入される該基板毎に、該基板の先端部と該基板間処理機構部からの該フィルムの該基板に対応する該シート状封止材の先端との位置決めをするアラインメント機構部と、
   該基板搬送手段で搬送される該基板に該アラインメント機構部からの該複数本のフィルムの該基板に対応する複数の該シート状封止材を貼り付ける貼付機構部と、
   該貼付機構部からの該基板に該シート状封止材が貼り付けられた該複数本のフィルム夫々から該ベースフィルムを剥ぎ取り、巻き取るベースフィルム巻取機構部と
   から構成され、
   該基板搬送手段は、該ベースフィルム巻取機構部で該複数本のフィルムの該ベースフィルムが剥ぎ取られた複数のシート状封止材が貼り付けられた状態の該基板を該後室に排出する
   ことを特徴とする基板表面の封止装置。
2. 請求項１において、
   前記前室と前記後室とに、室内をドライエアー状態から前記チャンバ内と等しい高真空状態にするための真空ポンプを備えたことを特徴とする基板表面の封止装置。
3. 請求項１または２において、
   前記基板間処理機構部は、
   前記複数のフィルムを搭載する表面が非粘着性に処理されたテーブルと、
   前記複数のフィルムをその長さ方向の所定の間隔で該テーブルの表面に押える一対の押え板と、
   前記複数のフィルムの該一対の押え板で該テーブルの表面に押さえ付けられている部分の間の前記シート状封止材を、その長さ方向に前記基板の間隔で、カットするハーフカット用丸刃と、
   前記複数のフィルムの該ハーフカット用丸刃でカットされた部分の前記シート状封止材を前記ベースフィルムから剥離するテープ剥離機構と
   から構成されていることを特徴とする基板表面の封止装置。
4. 請求項１，２または３において、
   前記貼付機構部と前記ベースフィルム巻取機構部との間に、前記基板を冷却する基板冷却機構部を設けたことを特徴とする基板表面の封止装置。
5. 枠状にシール剤が塗布されて該シール剤の枠の内側に複数のＥＬ素子が設けられた基板を、容積が小さい前室の基板搬入口に設けられた第１のゲートバルブを開いて、該前室内に搬入する搬入工程と、
   該基板が該基板搬入口から該前室に搬入されるとともに、該第１のゲートバルブを閉じ、該前室内を高真空状態にする真空化工程と、
   高真空状態とした該前室と高真空状態に保持された容積が大きいチャンバとの間に設けられた第２のゲートバルブを開いて、該前室から該チャンバ内に該基板を搬送し、該基板の該チャンバへの搬送後、該第２のゲートバルブを閉じる搬送工程と、
   該チャンバ内で、該基板の該シール剤の枠内にシート状封止材を貼り付ける封止材貼付工程と、
   容積が小さい後室内を高真空状態とし、該チャンバと該後室との間に設けられた第３のゲートバルブを開いて、該シート状封止材が貼り付けられた該基板を該チェンバから該後室に搬送する搬送工程と、
   該後室の基板排出口に設けられた第３のゲートバルブを閉じ、第４のゲートバルブを開いて該後室内を大気状態とし、該後室内の該シート状封止材を貼り付けられた該基板を該基板排出口から排出する排出工程と
   とからなり、
   該封止材貼付工程は、
   該前室から搬入された該基板を所定の間隔で順次搬送する工程と、
   該シート状封止材を挾んでカバーフィルムとベースフィルムとが設けられた所定幅のフィルムを複数本巻き出す工程と、
   巻き出される該複数本のフィルム夫々から該カバーフィルムを剥がして巻き取る工程と、
   該カバーフィルムが剥ぎ取られた該複数本のフィルム夫々から、搬送される該基板の間隔となる該シート状封止材の部分を剥ぎ取り、該複数本のフィルム夫々の該ベースフィルム上で該基板夫々に対応した複数の該シート状封止材を形成する工程と、
   該前室から搬入される該基板毎に、該基板の先端部と該フィルムの該基板に対応する該シート状封止材の先端との位置決めをする工程と、
   搬送される該基板に該複数本のフィルムの該基板に対応する該複数のシート状封止材を貼り付ける工程と、
   該複数のシート状封止材が貼り付けられた該基板を冷却する工程と、
   冷却された該基板に該シート状封止材が貼り付けられた該複数本のフィルム夫々から該ベースフィルムを剥ぎ取って巻き取る工程と、
   該シート状封止材が貼り付けられた該基板を該後室に排出する工程と
   からなることを特徴とする有機ＥＬパネルの製造方法。

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