JP2747260B2 - セラミック複合リードフレーム及びそれを用いた半導体 装置 - Google Patents
セラミック複合リードフレーム及びそれを用いた半導体 装置Info
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック複合リ
ードフレーム及びそれを用いた半導体装置に関し、特に
中継ボンディングを行う中継基板付セラミック複合リー
ドフレーム及びそれを用いた半導体装置に関する。
ードフレーム及びそれを用いた半導体装置に関し、特に
中継ボンディングを行う中継基板付セラミック複合リー
ドフレーム及びそれを用いた半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の技術としては、その一例として特
開昭61−237459号公報の第1図に開示されてい
る様に、アイランド部に絶縁被膜を形成しその上に中継
電極層を形成してボンディングワイヤ(以下、ワイヤと
記す)による結線を行っている。この絶縁層及び中継電
極層を形成するためには、マスクパターンを利用しそれ
ぞれ別工程にて製造されている。また、絶縁層と中継電
極層が共にアイランド上に形成されているので、ワイヤ
による結線は、インナリード先端部と中継電極層は同一
の高さではなく、中継電極層のみが低いボンディングが
必要となる。
開昭61−237459号公報の第1図に開示されてい
る様に、アイランド部に絶縁被膜を形成しその上に中継
電極層を形成してボンディングワイヤ(以下、ワイヤと
記す)による結線を行っている。この絶縁層及び中継電
極層を形成するためには、マスクパターンを利用しそれ
ぞれ別工程にて製造されている。また、絶縁層と中継電
極層が共にアイランド上に形成されているので、ワイヤ
による結線は、インナリード先端部と中継電極層は同一
の高さではなく、中継電極層のみが低いボンディングが
必要となる。
【0003】一方、従来の技術の他の例としては、図5
に示す従来の通常のボンディング方式による長尺ワイヤ
3が細長いので垂れ下ったり、封入時に樹脂により流さ
れることがあるので、図6(a),(b)に示す様に、
2層セラミック基板9を用いてペレット1の千鳥状に配
置された外側のパッド2は層セラミック基板9の下段の
導電体6へ、内側のパッド2は上段の導電体6へ結線
し、それぞれリード7へ結線される。この2層セラミッ
ク基板9の配線は図7に示す様に、ワイヤ3が上下にP
1 のピッチで千鳥状に配置されている。
に示す従来の通常のボンディング方式による長尺ワイヤ
3が細長いので垂れ下ったり、封入時に樹脂により流さ
れることがあるので、図6(a),(b)に示す様に、
2層セラミック基板9を用いてペレット1の千鳥状に配
置された外側のパッド2は層セラミック基板9の下段の
導電体6へ、内側のパッド2は上段の導電体6へ結線
し、それぞれリード7へ結線される。この2層セラミッ
ク基板9の配線は図7に示す様に、ワイヤ3が上下にP
1 のピッチで千鳥状に配置されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】アイランド上に形成す
る絶縁層及び中継電極層、あるいは2層セラミック基板
の製造価格が高いということである。その理由は、いず
れも、多数回の製造工程、もしくは複数の部分の組合せ
で製造するために製造価格が高くなることである。
る絶縁層及び中継電極層、あるいは2層セラミック基板
の製造価格が高いということである。その理由は、いず
れも、多数回の製造工程、もしくは複数の部分の組合せ
で製造するために製造価格が高くなることである。
【0005】本発明の目的は、中継ボンディング方式が
必要とされるリードフレームの中継点の材料を低コスト
で調達もしくは製造することにより、セラミック複合リ
ードフレーム及びそれを用いた半導体装置の製造原価を
低減することにある。
必要とされるリードフレームの中継点の材料を低コスト
で調達もしくは製造することにより、セラミック複合リ
ードフレーム及びそれを用いた半導体装置の製造原価を
低減することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のセラミック複合
リードフレームは、ペレットを搭載するアイランドと、
このアイランドの周囲に配置された複数のリードと、前
記アイランドの周縁部に前記ペレットを囲むように搭載
されたセラミック基板と、このセラミック基板の表面の
前記複数のリードと対向する位置に千鳥状に配置された
導電体とを有するセラミック複合リードフレームにおい
て、前記導電体の形状が太いボンディングワイヤに対応
する位置では千鳥状に配置され、細いボンディングワイ
ヤに対応する位置では千鳥状か平行のいずれか一方に配
置されていることを特徴とする。
リードフレームは、ペレットを搭載するアイランドと、
このアイランドの周囲に配置された複数のリードと、前
記アイランドの周縁部に前記ペレットを囲むように搭載
されたセラミック基板と、このセラミック基板の表面の
前記複数のリードと対向する位置に千鳥状に配置された
導電体とを有するセラミック複合リードフレームにおい
て、前記導電体の形状が太いボンディングワイヤに対応
する位置では千鳥状に配置され、細いボンディングワイ
ヤに対応する位置では千鳥状か平行のいずれか一方に配
置されていることを特徴とする。
【0007】本発明の半導体装置は、ペレットを搭載す
るアイランドと、このアイランドの周縁に配置された複
数のリードと、前記アイランドの周縁部に前記ペレット
を囲むように搭載されたセラミック基板と、このセラミ
ック基板の表面の前記複数のリードと対向する位置に千
鳥状に配置された導電板とを有するセラミック複合リー
ドフレームの前記アイランドに千鳥状に配置されたパッ
ドを有するペレットを搭載し、千鳥状に配置された内側
の前記パッドから千鳥状に配置された外側の前記導電体
へ高いルーピングを形成する様に、一方、千鳥状に配置
された外側の前記パッドから内側の前記導電体へ低いル
ーピングを形成する様に結線を行い、さらに、前記導電
体から前記リードへ高いルーピングに対応するボンディ
ングワイヤは高いルーピングで、低いルーピングに対応
するボンディングワイヤは低いルーピングで結線を行っ
たことを特徴とする。
るアイランドと、このアイランドの周縁に配置された複
数のリードと、前記アイランドの周縁部に前記ペレット
を囲むように搭載されたセラミック基板と、このセラミ
ック基板の表面の前記複数のリードと対向する位置に千
鳥状に配置された導電板とを有するセラミック複合リー
ドフレームの前記アイランドに千鳥状に配置されたパッ
ドを有するペレットを搭載し、千鳥状に配置された内側
の前記パッドから千鳥状に配置された外側の前記導電体
へ高いルーピングを形成する様に、一方、千鳥状に配置
された外側の前記パッドから内側の前記導電体へ低いル
ーピングを形成する様に結線を行い、さらに、前記導電
体から前記リードへ高いルーピングに対応するボンディ
ングワイヤは高いルーピングで、低いルーピングに対応
するボンディングワイヤは低いルーピングで結線を行っ
たことを特徴とする。
【0008】
【作用】図7では、2層セラミック基板9により上段の
ワイヤ3同志の間隔はP1 であり、下段のワイヤ3同志
の間隔もP1 となり、上下合わせて半分のピッチとな
る。この方式では、セラミック基板は2層が必要であ
る。一方、図3では、セラミック基板5上の導電体6を
千鳥状に配置することでP1 の半分のピッチP2 が確保
できる。また、図4では、導電体6の形状をワイヤ3の
延長方向に長くして隣接するそれぞれをかみ合わせペレ
ット側に配線ワイヤ10を使用することによりワイヤ合
計長さが短かくなり、ワイヤ3の垂れ下りや封入時の樹
脂による流れを防止できる。
ワイヤ3同志の間隔はP1 であり、下段のワイヤ3同志
の間隔もP1 となり、上下合わせて半分のピッチとな
る。この方式では、セラミック基板は2層が必要であ
る。一方、図3では、セラミック基板5上の導電体6を
千鳥状に配置することでP1 の半分のピッチP2 が確保
できる。また、図4では、導電体6の形状をワイヤ3の
延長方向に長くして隣接するそれぞれをかみ合わせペレ
ット側に配線ワイヤ10を使用することによりワイヤ合
計長さが短かくなり、ワイヤ3の垂れ下りや封入時の樹
脂による流れを防止できる。
【0009】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【0010】図1(a),(b)は本発明の第1の実施
の形態のセラミック複合リードフレームの要部斜視図及
びそれを用いた半導体装置の断面図である。本発明の第
1の実施の形態のセラミック複合リードフレームは、図
1(a),(b)に示す様に、リード7とペレット1を
搭載するアイランド4とアイランド4に接着剤にて搭載
されたセラミック基板5とによって構成される。ペレッ
ト1に配置されたパッド2は、千鳥状に配置されてお
り、一方、セラミック基板5上の導電体6も千鳥状に配
置され、ペレット1のパッド2からワイヤ3を用いてセ
ラミック基板5上の導電体6へ結線される。さらに、こ
の導電体6からリード7へワイヤ3にて接続される。
の形態のセラミック複合リードフレームの要部斜視図及
びそれを用いた半導体装置の断面図である。本発明の第
1の実施の形態のセラミック複合リードフレームは、図
1(a),(b)に示す様に、リード7とペレット1を
搭載するアイランド4とアイランド4に接着剤にて搭載
されたセラミック基板5とによって構成される。ペレッ
ト1に配置されたパッド2は、千鳥状に配置されてお
り、一方、セラミック基板5上の導電体6も千鳥状に配
置され、ペレット1のパッド2からワイヤ3を用いてセ
ラミック基板5上の導電体6へ結線される。さらに、こ
の導電体6からリード7へワイヤ3にて接続される。
【0011】なお、ワイヤ3による結線は、ペレット1
の千鳥状に配置された内側のパッド2からセラミック基
板5の千鳥状に配置された外側の導電体6へ高いルーピ
ングを形成する様に結線を行う。一方、ペレット1の外
側のパッド2からセラミック基板5の内側の導電体6へ
低いルーピングを形成する様に結線を行う。さらに、セ
ラミック基板5の導電体6からリード7への結線は、前
述の低いルーピングに対応するワイヤ3は低いルーピン
グで、高いルーピングに対応するワイヤ3は高いルーピ
ングで結線を行なう。この結線は、図1(b)に示す様
に、ペレット1の全周にわたってワイヤ3により行わ
れ、その後、封止樹脂によるパッケージ8が形成され、
第1の実施の形態のセラミック複合リードフレームを用
いた半導体装置が得られる。
の千鳥状に配置された内側のパッド2からセラミック基
板5の千鳥状に配置された外側の導電体6へ高いルーピ
ングを形成する様に結線を行う。一方、ペレット1の外
側のパッド2からセラミック基板5の内側の導電体6へ
低いルーピングを形成する様に結線を行う。さらに、セ
ラミック基板5の導電体6からリード7への結線は、前
述の低いルーピングに対応するワイヤ3は低いルーピン
グで、高いルーピングに対応するワイヤ3は高いルーピ
ングで結線を行なう。この結線は、図1(b)に示す様
に、ペレット1の全周にわたってワイヤ3により行わ
れ、その後、封止樹脂によるパッケージ8が形成され、
第1の実施の形態のセラミック複合リードフレームを用
いた半導体装置が得られる。
【0012】図2(a)〜(e)は本発明の第1の実施
の形態のセラミック複合リードフレームとこれを用いた
半導体装置の製造方法を説明する工程順に示した断面図
または部分断面斜視図、図3は本発明の第1の実施の形
態のセラミック基板の導電体パターンの部分拡大平面図
である。本発明の第1の実施の形態のセラミック複合リ
ードフレームとこれを用いた半導体装置の製造方法は、
まず、図2(a)に示す様に、アイランド4とリード7
を有するリードフレームを形成する。次に、図2(b)
に示す様に、このリードフレームのアイランド4上に表
面に千鳥状の導電体6が配置された四角の枠状のセラミ
ック基板5を接着剤により搭載し本発明の第1の実施の
形態のセラミック複合リードフレームを形成する。次
に、図2(c)に示す様に、パッド2が千鳥状に配置さ
れたペレット1をアイランド4に接着剤にて搭載する。
次に、図2(d)に示す様に、ワイヤ3によりペレット
1とセラミック基板5とリード7を結線する。結線の順
序としては、第1番目にペレット1とセラミック基板5
の低いルーピングワイヤ3を、第2番目にセラミック基
板5とリード7の低いルーピングワイヤ3を行う。この
順序で全ての低いルーピングワイヤ3を全周にわたって
形成する。第3番目にペレット1とセラミック基板5の
高いルーピングワイヤ3を、第4番目にセラミック基板
5とリード7の高いルーピングワイヤ3を行う。この順
序で全ての高いルーピングワイヤ3を全周にわたって形
成し結線を終了する。
の形態のセラミック複合リードフレームとこれを用いた
半導体装置の製造方法を説明する工程順に示した断面図
または部分断面斜視図、図3は本発明の第1の実施の形
態のセラミック基板の導電体パターンの部分拡大平面図
である。本発明の第1の実施の形態のセラミック複合リ
ードフレームとこれを用いた半導体装置の製造方法は、
まず、図2(a)に示す様に、アイランド4とリード7
を有するリードフレームを形成する。次に、図2(b)
に示す様に、このリードフレームのアイランド4上に表
面に千鳥状の導電体6が配置された四角の枠状のセラミ
ック基板5を接着剤により搭載し本発明の第1の実施の
形態のセラミック複合リードフレームを形成する。次
に、図2(c)に示す様に、パッド2が千鳥状に配置さ
れたペレット1をアイランド4に接着剤にて搭載する。
次に、図2(d)に示す様に、ワイヤ3によりペレット
1とセラミック基板5とリード7を結線する。結線の順
序としては、第1番目にペレット1とセラミック基板5
の低いルーピングワイヤ3を、第2番目にセラミック基
板5とリード7の低いルーピングワイヤ3を行う。この
順序で全ての低いルーピングワイヤ3を全周にわたって
形成する。第3番目にペレット1とセラミック基板5の
高いルーピングワイヤ3を、第4番目にセラミック基板
5とリード7の高いルーピングワイヤ3を行う。この順
序で全ての高いルーピングワイヤ3を全周にわたって形
成し結線を終了する。
【0013】最後に、図2(e)に示す様に、熱硬化性
エポキシ樹脂を用い金型にて樹脂封止を行い、リード7
の外側部分を所定の形状に成形しパッケージ8を形成
し、本発明の第1の実施の形態のセラミック複合リード
フレームを用いた半導体装置を得る。
エポキシ樹脂を用い金型にて樹脂封止を行い、リード7
の外側部分を所定の形状に成形しパッケージ8を形成
し、本発明の第1の実施の形態のセラミック複合リード
フレームを用いた半導体装置を得る。
【0014】本実施の形態では、図3に示す様に、導電
体6を千鳥状に配置することにより、ワイヤ3の間隔P
2 を図5に示す従来の2層セラミック基板9のワイヤ3
の間隔P1 の約1/2に半減できる。
体6を千鳥状に配置することにより、ワイヤ3の間隔P
2 を図5に示す従来の2層セラミック基板9のワイヤ3
の間隔P1 の約1/2に半減できる。
【0015】図4は本発明の第2の実施の形態のセラミ
ック複合リードフレームのセラミック基板の導電パター
ンの部分拡大平面図である。本発明の第2の実施の形態
のセラミック複合リードフレームは、図4に示す様に、
セラミック基板5の表面上の導電体6の形状をワイヤ3
の長手方向に長くして隣接するそれぞれをかみ合わせペ
レット側に配線ワイヤ10を用いる。セラミック基板5
をこのように構成することにより、セラミック基板5の
幅を広くし導電体6を長くすることで、細いワイヤ10
とワイヤ3の合計長を短縮することができ、ワイヤ3の
材質費を低減することができるとともに、ボンダのワイ
ヤ結線に要するインデックスを短縮でき、製造加工費を
低減できる効果がある。
ック複合リードフレームのセラミック基板の導電パター
ンの部分拡大平面図である。本発明の第2の実施の形態
のセラミック複合リードフレームは、図4に示す様に、
セラミック基板5の表面上の導電体6の形状をワイヤ3
の長手方向に長くして隣接するそれぞれをかみ合わせペ
レット側に配線ワイヤ10を用いる。セラミック基板5
をこのように構成することにより、セラミック基板5の
幅を広くし導電体6を長くすることで、細いワイヤ10
とワイヤ3の合計長を短縮することができ、ワイヤ3の
材質費を低減することができるとともに、ボンダのワイ
ヤ結線に要するインデックスを短縮でき、製造加工費を
低減できる効果がある。
【0016】
【発明の効果】セラミック基板の表面に形成される金め
っき等の導電体が千鳥状に配置され、結線されるために
狭ピッチの配線が可能となり、単層の中継セラミック基
板が得られるため、ペレットとリードを接続するに際し
て、ワイヤを中継するセラミック基板を単層で形成でき
るので、セラミック基板の製造コストを半減できる効果
がある。
っき等の導電体が千鳥状に配置され、結線されるために
狭ピッチの配線が可能となり、単層の中継セラミック基
板が得られるため、ペレットとリードを接続するに際し
て、ワイヤを中継するセラミック基板を単層で形成でき
るので、セラミック基板の製造コストを半減できる効果
がある。
【0017】また、セラミック基板状の導電体の形状が
任意に設計できるので、千鳥配置を最適形状にすること
により、セラミック基板を中継とするワイヤ及び細いワ
イヤの合計線長を短かくでき、製造コストをさらに低減
できる効果がある。
任意に設計できるので、千鳥配置を最適形状にすること
により、セラミック基板を中継とするワイヤ及び細いワ
イヤの合計線長を短かくでき、製造コストをさらに低減
できる効果がある。
【図1】(a),(b)は本発明の第1の実施の形態の
セラミック複合リードフレームの要部斜視図及びそれを
用いた半導体装置の断面図である。
セラミック複合リードフレームの要部斜視図及びそれを
用いた半導体装置の断面図である。
【図2】(a)〜(e)は本発明の第1の実施の形態の
セラミック複合リードフレームとこれを用いた半導体装
置の製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
セラミック複合リードフレームとこれを用いた半導体装
置の製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態のセラミック基板の
導電体パターンの部分拡大平面図である。
導電体パターンの部分拡大平面図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態のセラミック複合リ
ードフレームのセラミック基板の導電パターンの部分拡
大平面図である。
ードフレームのセラミック基板の導電パターンの部分拡
大平面図である。
【図5】従来の技術の一例の斜視図である。
【図6】(a),(b)は従来の2層セラミック基板の
要部平面図及びその断面図である。
要部平面図及びその断面図である。
【図7】図6の導電体の部分拡大平面図である。
1 ペレット 2 パッド 3 ワイヤ 4 アイランド 5 セラミック基板 6 導電体 7 リード 8 パッケージ 9 2層セラミック基板 10 細いワイヤ
Claims (2)
- 【請求項1】 ペレットを搭載するアイランドと、この
アイランドの周囲に配置された複数のリードと、前記ア
イランドの周縁部に前記ペレットを囲むように搭載され
たセラミック基板と、このセラミック基板の表面の前記
複数のリードと対向する位置に千鳥状に配置された導電
体とを有するセラミック複合リードフレームにおいて、
前記導電体の形状が太いボンディングワイヤに対応する
位置では千鳥状に配置され、細いボンディングワイヤに
対応する位置では千鳥状か平行のいずれか一方に配置さ
れていることを特徴とするセラミック複合リードフレー
ム。 - 【請求項2】 ペレットを搭載するアイランドと、この
アイランドの周縁に配置された複数のリードと、前記ア
イランドの周縁部に前記ペレットを囲むように搭載され
たセラミック基板と、このセラミック基板の表面の前記
複数のリードと対向する位置に千鳥状に配置された導電
板とを有するセラミック複合リードフレームの前記アイ
ランドに千鳥状に配置されたパッドを有するペレットを
搭載し、千鳥状に配置された内側の前記パッドから千鳥
状に配置された外側の前記導電体へ高いルーピングを形
成する様に、一方、千鳥状に配置された外側の前記パッ
ドから内側の前記導電体へ低いルーピングを形成する様
に結線を行い、さらに、前記導電体から前記リードへ高
いルーピングに対応するボンディングワイヤは高いルー
ピングで、低いルーピングに対応するボンディングワイ
ヤは低いルーピングで結線を行ったことを特徴とする半
導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7282933A JP2747260B2 (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | セラミック複合リードフレーム及びそれを用いた半導体 装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7282933A JP2747260B2 (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | セラミック複合リードフレーム及びそれを用いた半導体 装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09129810A JPH09129810A (ja) | 1997-05-16 |
JP2747260B2 true JP2747260B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=17659002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7282933A Expired - Lifetime JP2747260B2 (ja) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | セラミック複合リードフレーム及びそれを用いた半導体 装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2747260B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001020669A2 (en) * | 1999-09-16 | 2001-03-22 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Use of additional bonding finger rows to improve wire bond density |
WO2019202687A1 (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体モジュール |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57119535U (ja) * | 1981-01-16 | 1982-07-24 | ||
JPS6192069U (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-14 | ||
JPH0778926A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-20 | Nec Kyushu Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
-
1995
- 1995-10-31 JP JP7282933A patent/JP2747260B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09129810A (ja) | 1997-05-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980106 |