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JPH04124844A - 半導体装置のボンディングパッド電極の構造 - Google Patents

半導体装置のボンディングパッド電極の構造

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JPH04124844A
JPH04124844A JP24379990A JP24379990A JPH04124844A JP H04124844 A JPH04124844 A JP H04124844A JP 24379990 A JP24379990 A JP 24379990A JP 24379990 A JP24379990 A JP 24379990A JP H04124844 A JPH04124844 A JP H04124844A
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insulating film
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置に関し、詳細には半導体装置のワイ
ヤボンディングパッド電極の構造に関スる。
〔従来の技術〕
半導体チップ上のパッドとパッケージ上の外部リードと
を金線またはアルミニウム線を用いて結線する際に用い
られるワイヤボンディングパッド電極の従来の構造の一
例を平面および断面図として第3図に、そして他の例を
同様にして第4図に示す。
第3図の例においては半導体基板1の上に絶縁y2を設
け、その上に配線用の例えばアルミニウム膜3を形成し
、その上の表面保護絶縁膜4に窓を明けてその部分のア
ルミニウム膜3をワイヤボンディングパッド電極5とし
ている。また第4図の例では絶縁膜2の上のアルミニウ
ム膜3の上に、中間絶縁膜2′を設け、それにスルーホ
ール6を形成し、このスルーホール6を通じてアルミニ
ウム膜3と一体化するアルミニウム膜をその部分にのみ
与え、そして窓5を有する表面保護絶縁膜4を設けてい
る。これら半導体チップ内に配線が複数の層として形成
されている場合の配線の眉間相互接続に広く用いられて
いる。
〔発明が解決しようとする課題〕
これら従来のワイヤボンディングパッド電極の構造にお
いては、半導体装置の機能を有する内部能動素子に信号
を与えあるいはそれらから信号を得るための電極である
ボンデイングパソドの数は一般にそれら信号の数に対応
している。例えば、内部能動素子の内、同一の外部信号
を入力とする素子に対しては夫々その信号用のワイヤボ
ンディングパッド電極を設けなくてはならず、半導体チ
ップの面積に対する電極面積はかなり大きな率となる。
また、ワイヤボンディングは夫々のボンディングパッド
電極について行わねばならないため、実装工程が複雑な
ものとなる。
本発明の目的は1個のボンディングパッド電極に対し複
数の配線を接続しうるボンディングパッド電極の構造を
提供し、所要ボンディングパッド電極数を減少させ、そ
れによりその半導体チップに対する占有率を低下させる
と共に、ワイヤボンディング工程を簡略化することであ
る。
〔課題を解決するための手段〕
複数の能動素子層に形成されて同一の信号を入力とする
能動素子を有する半導体装置において一つの層における
そのような能動素子からの配線であってその装置のボン
ディングパッド電極の領域において接近したものとその
上の少くとも1つの層の能動素子からの配線であって上
記ボンディングパッド電極の領域にある配線をそれらの
眉間の中間絶縁層に設けたスルーホールにより接続し、
上側の層の配線をボンディングパッド電極として使用す
る。
〔作 用〕
下の層の複数の配線と上の層の配線の内、共通としうる
ものがボンディングパッド電極領域において1個のボン
ディングパッド電極に接続される。
〔実施例〕
第1図(A)は本発明の一実施例によるワイヤボンディ
ングパッド電極構造を示す断面図であり、第1図(B)
はその平面図である。
第1図(A)において、半導体基板21の上に絶縁膜2
2が形成され、その上に第1の配線層が設けられる。こ
の配線層において共通としうる配線26.27が1つの
ワイヤボンディングパッド電極の形成されるべき個所に
接近して置かれている。
この配線層の上に、スルーホール29を有する中間絶縁
膜22′が形成されその上に第2の配線層における配線
23が配置される。配線26と27はスルーホール29
を介して配!23と接続する。
更にその上に窓(25)を有する表面保護絶縁膜24が
形成され、それにより露出した配線230部分でワイヤ
ボンディングパッド電極25が形成される。その結果、
第1図(B)に示すように、3個の配wA26,27お
よび23が共通に接続した1個のワイヤボンディング電
極25が得られる。
第2図は本発明の第二の実施例によるワイヤボンディン
グパッド電極の断面図である。絶縁膜22上の第1層配
線26の上にスルーホール29を有する中間絶縁膜22
′が配置され、第2層配線27と28がその上に形成さ
れており、配線28はスルーホール29を通じて配線2
6と接続している。
この第2層配線の上にはスルーホール30を有する中間
絶縁膜22′が形成され、その上に第3層配線23が配
置されてスルーホール30を通じて第2層配線27と2
8に接続する。
この第3層配線23の上に、窓(25)を有する表面保
護絶縁膜24が形成され、窓(25)内で露出する第3
層配線23により少くとも4個の配線を接続する1個の
ワイヤボンディングパッド電極25がつくられる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、1個のワイヤボンディングパッド電極
に各層の共通化しうる配線が接続する。
従って引き出し電極の数が多くてもパッド電極の数を少
くすることが出来、半導体チップ面積を減少するための
内部能動素子の配列及びボンディングパッド電極の配列
を可能にする。また、同一パッド電極から分離配線が可
能となるので大電流を要する内部能動素子群を集約出来
る。更にラップ面積が縮小化しうるから有限寸法のウェ
ハから得られるチップの数の増加が期待出来る。
また、ワイヤボンディング数が減少することから材料経
済に有利であり、またボンディング時間も短縮される。
【図面の簡単な説明】
第1図(A)および(B)は本発明の一実施例を示す断
面図および平面図、第2図は本発明の他の実施例を示す
断面図、第3図(A)、  (B)は従来のボンディン
グパッド電極の一例を示す平面及び断面図、第4図(A
)、  (B)は他の従来の構造を示す平面および断面
図である。 21・・・半導体基板、22・・・絶縁膜、22′・・
・中間絶縁膜、23,26,27.28・・・配線、2
930・・・スルーホール、24・・・表面保護絶縁膜
。 特許出願人  沖電気工業株式会社 (Al (日) 第 図 本発日目のイレ寅ヵセ、イタリを示す口笛 図 第 4゜ 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数の層として形成され配線を有する半導体装置におい
    て、 少くとも1層の配線の内、共通としうる、接近した配線
    が、その上の、ボンディングパッドを兼ねる配線と、そ
    の間に介在する中間絶縁膜に形成したスルーホールによ
    り接続されるごとくなったことを特徴とする半導体装置
    のボンディングパッド電極の構造。
JP24379990A 1990-09-17 1990-09-17 半導体装置のボンディングパッド電極の構造 Expired - Fee Related JP2863287B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07183326A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Nec Corp ボンディング用パッド及びその製造方法
US7026721B2 (en) * 1999-11-18 2006-04-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method of improving copper pad adhesion

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US7026721B2 (en) * 1999-11-18 2006-04-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method of improving copper pad adhesion

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