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JP2001509579A - 高流動型ダイヤフラム弁 - Google Patents

高流動型ダイヤフラム弁

Info

Publication number
JP2001509579A
JP2001509579A JP2000502356A JP2000502356A JP2001509579A JP 2001509579 A JP2001509579 A JP 2001509579A JP 2000502356 A JP2000502356 A JP 2000502356A JP 2000502356 A JP2000502356 A JP 2000502356A JP 2001509579 A JP2001509579 A JP 2001509579A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
diaphragm
opening
function member
actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000502356A
Other languages
English (en)
Inventor
バーバー．パトリック．ピー
タイ．シャイ−ウェン
Original Assignee
パーカー．ハニフィン．コーポレイション
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by パーカー．ハニフィン．コーポレイション filed Critical パーカー．ハニフィン．コーポレイション
Publication of JP2001509579A publication Critical patent/JP2001509579A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K41/00—Spindle sealings
    • F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
    • F16K41/12—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube with approximately flat diaphragm

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lift Valve (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 ダイヤフラム弁１０に弁室１４に延長する流入路２０と前記弁室１４から伸びる流出路２４を備える弁ハウジング１２を配設する。ダイヤフラム２６は前記弁室１４を覆う前記弁ハウジング１２に取付けられる。前記ダイヤフラムにそれに貫設されて伸びる中心開口部３４を設ける。弁ステム４４、５２はダイヤフラム２６に隣接して前記弁室１４の外側方向に取付けて、前記弁ステム４４、５２の動きが前記ダイヤフラムを撓ませるようにする。弁機能部材６４が弁室１４内に配置されて、ダイヤフラム２６の中にある開口部３４を貫通する弁ステム５２とねじ込み式に噛合される。前記弁機能部材６４上のドーナツ状の封止ビード７２はダイヤフラム２６のその中にある開口部３４を取囲む部分と封止状態に係合される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本出願は１９９７年７月１１日提出の米国仮特許願第６０／０５２，２８８号
の恩恵を請求するものである。
【０００２】 本発明はガスの高流動に適応できるよう考えられたダイヤフラム弁に関するも
のである。
【０００３】 先行技術によるダイヤフラム弁は弁室を有する弁ハウジングを備え、前記弁室
は典型的な例として前記弁ハウジングの外側に対し開放されている。前記弁ハウ
ジングは前記弁室を取囲むするねじ部を備えることができる。流入路は前記弁ハ
ウジングを通り、適当な外部位置から前記弁室に伸びる。流出路は前記弁ハウジ
ングを通り前記弁室から第２の外部位置に伸びる。したがって流体は弁室を通っ
て前記流入路に流入して、流出路から流出する。管もしくはチューブが流入路と
流出路に接続されてこの流体の流れに適応させる。
【０００４】 先行技術によるダイヤフラム弁は弁室を横切って流入路に並列関係に伸びる弾
性的に可撓性のあるダイヤフラムをさらに備える。このダイヤフラムはエラスト
マーもしくは薄い可撓性金属で形成できる。前記ダイヤフラムはこの弁を通って
搬送される流体との反応の発生を防ぐように選ばれた材料製にできる。
【０００５】 弁ステムは弁ハウジングに取付けられて、前記ダイヤフラムの外面領域と係合
できる。前記弁ステムは前記流入路に向ったり、それから離れたり選択的に移動
できて、ダイヤフラムに前記弁ハウジングの前記流入路を取囲む領域と封止係合
するか、あるいは係合を外すかの選択的移動を起こさせる。したがって前記弁ス
テムは前記弁ハウジングに向って移動できるので、前記ダイヤフラムは撓まされ
、弁ハウジングの流入路を取囲む部分と封止係合して、弁を通る流体の流れを防
ぐ。その後前記弁ステムは弁ハウジングから離れて移動でき、ダイヤフラムを前
記流入路から離れて撓ませる。したがって流体は流入路から弁室に流入し、その
後弁室から流出路に流入する。
【０００６】 いくつかのダイヤフラム弁は液体の流れの制御に特別に設計されているが、一
方他のダイヤフラム弁はガスの流れの制御に特別の設計がされている。多数の製
造方法は極めて純度の高いガスの量が制御される必要がある。少量の雰囲気ガス
もしくは汚染物でさえも製造方法に悪影響を及ぼし得る。このようなガスの流れ
系（ｓｙｓｔｅｍ）の部材は超清浄雰囲気で製造ならびに組立てられる。このよ
うな系用の取付け部品および弁は典型的にはすべて金属でつくられ、かつ周囲空
気のこの系により適応できる極めて純度の高いガスの供給への滲出を積極的に防
ぐ必要がある。
【０００７】 ダイヤフラム弁は純粋ガスに適応できるように考えられた流体系にはよく適し
ている。しかしながらダイヤフラム弁の金属製ダイヤフラムは比較的小さい量の
撓みだけを発生できるに過ぎない。その結果先行技術によるダイヤフラム弁は高
流動型の系にとっては十分適していなかった。流体のダイヤフラム弁を通る流れ
は流入路と流出路ならびに弁室の断面寸法を単に増大させることだけで理論的に
増加させることはできる。しかしながら先行技術のダイヤフラム弁はこのように
大型流入路の回りを全体的に封止できるだけ十分に可撓性である必要がある。先
行技術のダイヤフラム弁の金属製ダイヤフラムはこのような大型流入路に極めて
近接して位置決めされて、ダイヤフラムにより可能な限られた量の撓みを用いて
全体の流入路を有効に封止できる。したがってかなりの大型の流入路が配設でき
るとしても、先行技術によるダイヤフラム弁を通る実際の流れは前記ダイヤフラ
ムの流入路に対しぎりぎりに近接させることで制限されることになるだろう。
【０００８】 いくつかの先行技術によるダイヤフラム弁は硬質弁機能部材をダイヤフラムの
弁室に面する側面に固定した。この硬質弁機能部材はダイヤフラムにより、弁室
の流入路を取囲む部分と封止係合するか、あるいは係合を外すかの選択的な移動
ができる。この形式の先行技術のダイヤフラム弁はしばしばタイド（ｔｉｅｄ）
ダイヤフラム弁と称されて、高流動性と、かなり大型の流入路の回りに良質の封
止との両方の達成を意図されている。詳述すればダイヤフラムに固定され、また
それと共に移動する弁機能部材が、金属製ダイヤフラムが弁機能部材の恩恵なし
に達成できると思われるよりも良好な封止を大型流入路の回りに達成できる。前
記タイドダイヤフラム弁はいくつかの系にうまく利用される。しかしながら、極
めて純度の高いガスの流れに意図された流体系はガス流れに溶接領域が共存する
ことをしばしば許容できない。溶接物は汚染の可能性を惹起し、それにより弁の
高価につく破損に繋り得る弱点が形成される。
【０００９】 他のタイドダイヤフラム弁は前記硬質弁機能部材を通過して、前記ダイヤフラ
ムを介して弁ステムに軸方向に貫通するねじ込みボルトを単に備えるだけである
。しかしながら、この形式の弁は汚染空気を、前記ボルトと前記弁部材の間に存
在できる顕微鏡的空間を通して弁室に流入させる可能性を惹起する。
【００１０】 上記に鑑みて、本発明の目的は大量流体流れにはよく適合した高流動型ダイヤ
フラム弁を提供することにある。 本発明の他の目的は高純度を維持しながら大量の流れを可能にするダイヤフラ
ム弁を提供することである。 本発明のさらなる目的は、ダイヤフラムの弁室にある部分に溶接することなく
弁機能部材が固定されたダイヤフラム弁を提供することにある。 本発明のさらなる目的はダイヤフラムの弁室にする部分に弁機能部材を取付け
たダイヤフラム弁を、弁部材をダイヤフラムと弁ステムに結びつける弁部材を通
る流路を配設することなく提供することである。
【００１１】 本発明は高流動型、高純度ダイヤフラム弁に関するものである。この弁は金属
材料で一体成形および／または機械加工された弁ハウジングを備える。この弁ハ
ウジングはその中に形成された弁室と、前記弁ハウジングから外側方向に開口す
る弁室を備える。弁ハウジングの前記弁室を取囲む部分がねじ部の列を備えて、
ボンネットをねじ込み式に収容し、その中へ弁ステムを噛合わせることができる
。前記弁ハウジングはその上の適当な外側位置から前記弁室に延長する流入路を
備える。この流入路の前記弁室に延長する部分が円筒形であり、また前記弁室の
複数の壁部とねじ部とで軸方向に形成されてボンネットを前記弁ハウジングにね
じ込み式に取付ける。弁ハウジングの弁室と流入路との界面における部分により
ドーナツ状のビードが形成される。このドーナツ状のビードは前記流入路の軸線
の回りに回転する平滑に弓形になった凸型面として形成される。前記弁ハウジン
グは前記弁室から外側領域に伸びる流出路をさらに備える。
【００１２】 本発明の弁は弁室を取囲むねじ部とねじ込み式に噛合うナットをさらに備える
。このナットはそれを軸方向に通って伸び、弁ステムを収容する中心開口部を備
えることができる。この中心開口部もねじ込みができるので、前記弁ステムは前
記ナットに対しても、また弁ハウジングに対しても軸方向に弁ステムの回転運動
に対応して移動する。 前記弁は前記弁ハウジングと前記ナットの間に確実に係合されたドーナツ状も
しくはリング状のダイヤフラムをさらに備える。このドーナツ状のダイヤフラム
は弾性的に可撓性のある金属材料で形成され、また付勢されない状態では凹面を
弁室内に向け、一方凸面をそれから外側方向に向けた皿状の構成にすることがで
きる。前記ドーナツ状もしくはリング状のダイヤフラムの中心部はそれに貫設さ
れて伸びる開口部を備える。 本発明の弁は前記ナットに移動自在に噛合い、またダイヤフラムの凸面に接し
て係合する端部を有するアクチュエータを備える。このアクチュエータは前記ナ
ットのねじ込み式の中心開口部とねじ込み係合する弁ステムを備え、弁ステムの
回転移動が前記ナットと弁ハウジングに対して軸方向の運動を発生させるように
する。
【００１３】 前記アクチュエータは前記ドーナツ状のダイヤフラムにある開口部を貫通する
突出部を備えることもできる。この突出部と前記アクチュエータは一体に成形で
きる。しかしながら、この突出部は前記弁ステムに対して半径方向に自由に動き
回ることができる別体のボタン上にあることが好ましい。前記突出部の弁室内に
配置された部分がねじ込み式であることが好ましい。
【００１４】 本発明の弁は弁室に配置され、アクチュエータからダイヤフラムにある開口部
を通過して弁室に入る突出部と確実に係合する弁機能部材をさらに備える。詳述
すれば前記弁機能部材は部分的にこの弁機能部材に延長する中心ねじ込み開口部
を備えることができる。このねじ込み開口部は前記アクチュエータもしくはボタ
ンからダイヤフラムを通して弁室に延長する前記突出部のねじ込み部分とねじ込
み式に噛合いができる。このねじ込み開口部は弁機能部材を完全に通って伸びな
いことが好ましい。この弁機能部材のねじ込み開口部を取囲む部分によりドーナ
ツ状の封止ビードが形成される。このドーナツ状の封止ビードは弁機能部材に延
長する開口部の軸線の回りを回転させられる円滑にアーチ型になった凸面形状と
して形成されることが好ましい。弁機能部材上のドーナツ状の封止ビードは、弁
封止部材がアクチュエータもしくはボタンからの突出部としっかりとねじ込み式
に係合されるに従って、ダイヤフラムと強制的にしっかりと封止係合する。した
がって安全な流体密封は弁機能部材のダイヤフラムに接触するドーナツ状の封止
ビードにより達成され、漏れを積極的に防ぐ。
【００１５】 前記弁機能部材の取付け開口部の反対側の部分により流入路と弁室の界面を取
囲む弁ハウジングのドーナツ状の封止ビードとの隙間のない封止係合のための封
止面が形成される。この封止面は金属製で一体に形成できて、弁機能部材の封止
面と、弁本体中に一体に形成されたドーナツ状の封止ビードの間の環状の封止線
接触を達成できる。別の方法として、特定の実施例では、弁機能部材の封止面が
別々の封止部材を収容する環状アンダーカットをつける機械加工する。前記別々
の封止部材は異なる種類の金属製でも、あるいは弁を通して輸送されるガスが共
存する時、不活性である非金属材料製であっても差支えない。
【００１６】 本発明の弁はそれを通る大量ガス流れを可能にする一方、それでも確実な封止
を可能にする。さらに弁は能率のよい、かつ有効な流体密封を弁機能部材とダイ
ヤフラムの間に提供し、それにより汚染物の流入の可能性の発生を防ぎ、また溶
接物への直接の露出を防ぐことができる。 前記弁はダイヤフラムの固有の弾性により完全に開放される。詳述すれば弁ス
テムの上方方向への運動はダイヤフラムの皿状の付勢されない形状への弾性的復
帰を可能にする。弁はダイヤフラムを上方方向に引張るばねを必要としないで、
手動弁では固有である弁ステムの回転運動から有効に孤立させる。さらに弁の前
記皿状の形状は弁室の容積を増大させ弁を通る高流動のガスに適応できる。
【００１７】 本発明によるダイヤフラム弁は図１の１０により総体的に示される。弁１０は
金属材料、例えばステンレス鋼で一体成形された弁ハウジング１２を有する。前
記弁ハウジングはこの弁ハウジング１２の外面領域に延長する弁室１４を備える
よう形成される。前記弁室１４はほぼ円筒状であって、前記弁ハウジング１２の
外面領域に垂直に延長する軸線の回りに形成される。前記弁室１４は前記ほぼ円
筒状の弁室１４が回りに形成される軸線に対し垂直に伸びる環状ダイヤフラム弁
座１６を特徴とする。雌ねじ部１８の列が前記弁座１６から弁ハウジング１２の
外側領域に向って同軸の方向に伸びる。ここに示されているように前記雌ねじ部
１８は内側方向に形成されている。しかしながら雄ねじの列に、この明細書で述
べられている弁設計に対する小さい修正を施すことができる。
【００１８】 前記弁ハウジング１２はこの弁ハウジング１２の適当な外側位置から前記弁室
１４に延長する流入路２０をさらに備える。この流入路２０の前記弁室１４に延
長する部分が円筒状になっていて、前記弁室１４が回りに形成される軸線と全く
一致する軸線の回りに形成される。
【００１９】 前記流入路２０と前記弁室１４の界面が前記弁ハウジング１２と一体である環
状のドーナツ状の封止ビード２２により形成される。詳述すれば前記ドーナツ状
の封止ビード２２は前記弁室１４の軸線の回りおよび／または前記流入路２０の
前記弁室１４に延長する部分の回りを回転する半円形により形成される。
【００２０】 前記弁ハウジング１２は弁室から弁ハウジング１２の適当な外側位置に伸びる
流出路２４をさらに備える。したがって流体、特にガス状の流体が前記流入路２
０を通って弁室１４に流入し、続いて弁室１４から前記流出路２４を通って流出
できる。
【００２１】 前記弁１０は、図１に示されているように前記弁ハウジング１２のダイヤフラ
ム弁座１６上に配置された環状の平面受座部分２８を備える金属製ダイヤフラム
２６をさらに有する。ダイヤフラム２６の前記環状の平面受座部分２８から内側
方向にある部分が皿状の形状を有するもので、凹型内面３０と凸型外面３２を図
２および図３に示されるように形成する。前記ダイヤフラム２６にはそれに貫設
されて伸びる中心開口部３４をさらに備える。したがって前記ダイヤフラム２６
は、ドーナツ状もしくはリング状となっている。
【００２２】 前記ダイヤフラム２６は金属製ナット３６によりダイヤフラム弁座１６に接し
てしっかりと保持される。詳述すれば前記ナット３６は前記弁ハウジング１２上
で雌ねじ１８としっかりとねじ込み式に噛合う雄ねじ３８の列を備える。前記ナ
ット３６はそれを通って軸方向に伸びる流路４０をさらに備える。前記流路４０
の少くとも複数の部分の内側にねじが切られている。
【００２３】 前記弁１０は内端部４６とそれに対向する外端部４８をさらに備える。前記弁
ステム４４の前記内端部４６と外端部４８との間にある部分に、前記ナット３６
の前記雌ねじ４２とねじ込み式に噛合う雄ねじ５０の列を配設する。したがって
前記弁ステム４４のその軸線の回りの回転が、前記雄ねじ５０に前記ナット３６
の雌ねじ４２と影響し合う原因となり、それによって前記弁ステム４４の前記ナ
ット３６に対しての、また前記弁ハウジング１２に対しての軸方向の移動を起さ
せることになる。
【００２４】 金属製ボタン５２が図１に示される通り前記弁ステム４４の内端部４６と前記
ダイヤフラム２６の凸面３２の間に配置される。このボタン５２は対向する第１
端部５４と第２の端部５６を図１および図４に示される通り備える。前記ボタン
５２の第１の端部５４は事実上平面であって、前記弁ステム４４の内端部４６に
接して摺動係合されている。前記ボタン５２の第２の軸方向の端部５６は僅かに
アーチ形をした凸型であり、ダイヤフラム２６の前記凸面３２に接触して配置さ
れている。有意義に、前記ボタン５２の第２の端部５６は前記ダイヤフラム２６
には溶接されていない。ねじ込み突出部５８は前記凸面３２から前記ボタン５２
の第２の端部５６で突出してダイヤフラム２６にある開口部３４を貫通して弁室
１４に入る。前記ねじ込み突出部５８は前記ボタン５２の残余部分と一体に形成
されることが好ましい。
【００２５】 前記弁１０は金属材料製の短寸の円筒形弁機能部材６４をさらに備える。図１
および図５〜図７を参照すると、前記弁機能部材６４は封止端部６６と対向して
取付け端部６８を備える。該取付け端部６８はこの取付け端部６８から前記弁機
能部材６４の封止端部６６に向う途中まで伸びる内側ねじを切った開口部７０を
特徴とする。この開口部７０の雌ねじは前記ボタン５２のねじ込み突出部５８と
しっかりとねじ込み式に噛合っている。前記弁機能部材６４の取付け端部６８は
前記ねじ込み開口部７０を取囲む環状ドーナツ状の封止ビード７２をさらに特徴
とする。このドーナツ状の封止ビード７２は前記弁機能部材６４の軸線の回りに
回転する半円形に形成される。このドーナツ状の封止ビード７２は前記弁機能部
材６４をダイヤフラム２６の凹型内面３０に対してしっかりと封止する機能をす
る。詳述すれば前記弁機能部材６４の前記ボタン５２のねじ込み突出部５８上へ
のねじ込み固定は前記ドーナツ状の封止ビード７２をダイヤフラム２６の前記凹
型内面３０としっかりと強制的に封止係合する。
【００２６】 前記弁機能部材６４の封止端部６６は総体的に平面であるが、それにはその中
に前記弁ハウジング１２のドーナツ状の封止ビード２２とほぼ位置合わせした位
置で環状凹部７４を設けてある。封止部材７６は前記環状凹部７４内にしっかり
と収容され、また前記弁ハウジング１２のドーナツ状の封止ビード２２と位置合
せできるよう配置される。前記封止部材７２は弁内のガス流れと反応することな
く高品質の封止を達成することができる材料で形成される。
【００２７】 前記弁機能部材６４の前記ボタン５２への接続により高純度ガス流れに適した
高品質の流体密封を提供する。詳述すれば前記ドーナツ状の封止ビード７２のダ
イヤフラム２６の凹面３０との隙間のない係合は溶接物の好ましくない使用を防
ぎ、またさらに前記弁室１４から伸びる貫孔の必要性も避ける。それどころか、
前記弁機能部材６４と、ダイヤフラム２６に貫設された開口部３４を含むボタン
５２からの突出部５８との間のねじ込み接続が前記弁機能部材６４上のドーナツ
状の封止ビード７２の範囲内を確実に封止する。
【００２８】 前記弁１０は弁ステム４４をＦｅに示された条件になるまで回転させて用いら
れる。弁ステム４４のこの運動はダイヤフラム２６が図１に示された付勢されて
いない形状に弾性的に復帰させる。ダイヤフラムの付勢されていない皿状の形状
に戻す移動は同時にボタン５２を移動させて、そのため前記ボタン５２の第１の
軸方向の端部５４が弁ステム４４の内端部４６と接触して面対面の係合をしたま
ま残る。しかしながら前記弁ステム４４の軸方向の移動は前記ボタン５２を引張
らないし、またこのボタン５２に回転を起させない。前記ダイヤフラム２６の図
１に示された付勢されない皿状の形状となる移動はさらに、前記弁機能部材６４
を弁本体１２上のドーナツ状の封止ビード２２から離間させる原因となる。この
示された状態で、前記弁機能部材６４の封止面６６がドーナツ状の封止ビード２
２から離間し、それにより流体、好ましくはガス状の流体が流体の大量流れを流
入路２０から前記弁室１４を通し流入させ、また流出路２４から流出させる。
【００２９】 弁１０は弁ステム４４の内端部４６が弁室１４の方に移動し、それによってボ
タン５２を軸方向に前記弁室１４の方に追いたてて、ダイヤフラム２６を内側方
向に撓ませるよう弁ステム４４を回転させることで閉鎖できる。この弁ステム４
４の移動と、ダイヤフラム２６の対応する内側方向の撓みが前記弁機能部材６４
を弁室１４の方に、また弁ハウジング１２のドーナツ状の封止ビード２２の方に
移動させる。十分な移動は前記弁機能部材６４の環状封止部材７６を前記弁ハウ
ジング１２のドーナツ状の封止ビード２２を封止するように係合させることにな
る。弁機能部材６４のこの移動中ずっと前記弁機能部材６４のドーナツ状の封止
ビード７２はダイヤフラム２６の凹型内面３０としっかりとした封止係合になっ
たままになる。したがって極めて純度の高いガス流れに適する高品質の封止装置
が達成できる。
【００３０】 本発明は特定の実施例に関して述べられてきたが、種々の変更が添付の請求の
範囲に規定されているように本発明の範囲から逸脱することなく行われ得ること
は明白である。詳述すれば弁ハウジング１２がボンネット上の雌ねじとのねじ込
み噛合せのため雄ねじの列を備えることができる。さらに弁はこの明細書に示さ
れている通り手動で操作される必要はない。それどころか、前記弁が自動アクチ
ュエータを備えることもできる。あれこれ多数の変更が本開示を読み終った後、
当業者にとって明白になることであろう。さらに弁機能部材の弁ステムへの異な
る接続が提供できる。例えば、弁機能部材が弁ステム内のねじ込み開口部に噛合
うねじ込み突出部を設けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による弁の長手方向の断面図である。
【図２】 本発明のダイヤフラムの平面図である。
【図３】 図２の３−３線上の断面図である。
【図４】 弁アクチュエータとダイヤフラムの間に配置されたボタンの側面図である。
【図５】 弁機能部材の平面図である。
【図６】 弁機能部材の底面図である。
【図７】 図５の７−７線上の断面図である。
【符号の説明】 １０ ダイヤフラム弁 １２ 弁ハウジング １４ 弁室 １６ 弁座 １８ ねじ部 ２０ 流入路 ２２ 封止ビード ２４ 流出路 ２６ ダイヤフラム ２８ 受座部分 ３０ 凹型内面 ３２ 凸型外面 ３４ 中心開口部 ３６ ナット ３８ 雄ねじ ４０ 流路 ４２ 雌ねじ ４４ 弁ステム ４６ 内端部 ４８ 外端部 ５０ 雄ねじ ５２ ボタン ５４、５６ 端部 ５８ 突出部 ６４ 弁機能部材 ６６、６８ 端部 ７０ 開口部 ７２ 封止ビード ７４ 環状凹部 ７６ 環状封止部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＤＥ，ＪＰ Ｆターム(参考） 3H066 AA07 BA19 BA38

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 弁室と、前記弁室に伸びる流入路と、前記弁室から伸びる流
    出路とを備える弁ハウジングと； 該弁ハウジングに固定され、前記弁室をほぼ囲繞し、貫設されて伸びる中心開
    口部を備える弾性的に可撓性の金属製ダイヤフラムと； 該ダイヤフラムに隣接し、前記弁室の外側にあって前記弁ハウジング内を前記
    弁室に向ったり、あるいは離れたり選択的に移動ができるアクチュエータと； 前記弁室に配置され、前記流入路と並列関係に配列された封止端部を備え、か
    つ前記ダイヤフラムに貫設された前記開口部を取囲む部分と封止的に係合するド
    ーナツ状の封止ビードを有する取付け端部を備える弁機能部材と； からなり、 前記アクチュエータの運動が前記弁機能部材の封止面を前記弁本体の前記流入
    路を取囲む部分と封止係合して選択的に押圧することを特徴とするダイヤフラム
    弁。
  2. 【請求項２】 前記弁が前記アクチュエータから前記弁機能部材に前記ダイ
    ヤフラムにある前記開口部を通して伸びる接合部をさらに有することを特徴とす
    る請求項１記載のダイヤフラム弁。
  3. 【請求項３】 前記接合部が前記弁機能部材の前記環状ドーナツ状の封止ビ
    ードを前記ダイヤフラムの前記開口部を取囲む部分としっかりと封止係合して押
    圧するねじ込み接合部であることを特徴とする請求項２記載のダイヤフラム弁。
  4. 【請求項４】 前記ねじ込み接合部が前記アクチュエータから前記ダイヤフ
    ラムにある開口部を貫通して伸びるねじ込み突出部を備え、前記ねじ込み接合部
    が前記弁機能部材に延長し、前記弁機能部材のドーナツ状の封止ビードにより同
    軸に取囲まれたねじ込み開口部をさらに有することを特徴とする請求項３記載の
    ダイヤフラム弁。
  5. 【請求項５】 前記アクチュエータが前記弁ハウジングと係合され、前記弁
    室に向ったり、あるいはそれから離れたりする動きをする弁ステムからなり、ま
    た前記アクチュエータが前記弁ステムの前記内端部と摺動自在に係合する第１部
    分と、前記ダイヤフラムに貫設された前記開口部に隣接する表面と係合し、また
    前記弁室から離間して面する第２の部分をさらに有することを特徴とする請求項
    １記載のダイヤフラム弁。
  6. 【請求項６】 前記ボタンと前記弁機能部材の選択された一方がダイヤフラ
    ムにある開口部を通って伸び、前記ボタンを前記弁機能部材にねじ込み式に接続
    させ、また前記ダイヤフラムに貫設された前記開口部を取囲む部分と封止係合し
    て前記弁機能部材の前記ドーナツ状の封止ビードをしっかりと押圧する突出部を
    備えることを特徴とする請求項５記載のダイヤフラム弁。
  7. 【請求項７】 前記ダイヤフラムは付勢されない状態にあって、凹面を前記
    弁室に面し、凸面を前記アクチュエータに面して備える皿状の形状をなすことを
    特徴とする請求項１記載のダイヤフラム弁。
  8. 【請求項８】 前記アクチュエータが前記ダイヤフラムに貫設された前記開
    口部にほぼ隣接する前記ダイヤフラムの前記凸面と係合する凹面を備えることを
    特徴とする請求項７記載のダイヤフラム弁。
  9. 【請求項９】 前記アクチュエータが前記ダイヤフラムにある前記開口部と
    ほぼ位置合せされるねじ込み手段を備え、前記弁機能部材が前記ダイヤフラムに
    ある前記開口部とほぼ位置合せされたねじ込み手段を備え、前記アクチュエータ
    のねじ込み手段と前記弁機能のねじ込み手段とが前記ダイヤフラムに貫設された
    前記開口部を取囲む部分と封止係合して前記弁機能部材のドーナツ状の封止ビー
    ドをしっかりと押圧する互いにねじ込み相互接続用であることを特徴とする請求
    項８記載のダイヤフラム弁。
  10. 【請求項１０】 前記アクチュエータが前記ダイヤフラムに面する内端部と
    、該内端部と移動自在に係合され、かつ前記ダイヤフラムと係合されたボタンを
    設けた弁ステムを備え、それによって前記弁ステムと前記ボタンの間の相対運動
    が前記弁ステムの動きを前記ダイヤフラムに伝達しないようにすることを特徴と
    する請求項９記載のダイヤフラム弁。
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