JPH10332003A

JPH10332003A - ガス制御バルブ

Info

Publication number: JPH10332003A
Application number: JP13841397A
Authority: JP
Inventors: Masato Ito; 正人伊藤; Toshiyasu Inagaki; 俊康稲垣
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1997-05-28
Filing date: 1997-05-28
Publication date: 1998-12-15

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ダイヤフラムや弁座等を容易に交換・修理等
のメンテナンスできるガス制御バルブを提供する。【解決手段】ガス制御バルブ１０は、弁座５９を保持
する弁座部材６３、バルブベース接続面６３ｂから弁座
５９のリング内外にわたって貫通する第１流路孔６５と
第２流路孔６６とを有する弁座部材６３と、それと接続
する弁座部材接続面１６ａとそれに開口する第１ポート
流路２１および第２ポート流路２２とを有するバルブベ
ース１６と、バルブベース接続面６３ｂと弁座部材接続
面１６ａとの間に介在し、第１流路孔６５と第１ポート
流路２１とを連通し第２流路孔６６及び第２ポート流路
２２との間をシールする内側シール用ガスケット６１
と、第２流路孔６６と第２ポート流路２２とを連通し外
側シール用ガスケット６２とを有し、バルブベース１６
を配管系ＨＨ’に接続したままで、弁座部材６３を取り
外しができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス制御バルブに
関し、特に好適には半導体製造工程で使用されるプロセ
スガス等のガスの流通を制御するためのガス制御バルブ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造工程において、シリコ
ン等のウェハーの処理に関し、数枚のウェハーを同時に
処理する枚葉処理の形態の他、一枚毎に処理する単数処
理を行う場合が増加している。これに伴い各種の処理装
置の大きさを小さくすることが求められ、処理に使用さ
れるエッチングガス等のプロセスガスの流通を制御する
ためのガス制御バルブも、小型のものが求められてい
る。

【０００３】図５は、特開平６−３４１５６０号に開示
されている従来のガス制御バルブ１００のダイヤフラム
弁近傍を説明するための断面説明図である。このバルブ
１００のバルブ本体１は、断面円形の弁室２および第１
ポート８と第２ポート９とを有している。また、この弁
室２には、図中上下方向に進退自在に保持されたステム
４を保持するダイヤフラム保持体５が挿入されている。
また、このダイヤフラム保持体５は図示しないナット部
材により下方に押圧されており、弁室２の底面２ａに嵌
装されたシートリング７のダイヤフラム保持部１３との
間でダイヤフラム６を保持している。ダイヤフラム６
は、ステム４により図中下方に押し下げられることによ
り弁座１２と当接し、あるいは、ステム４を図中上方に
持ち上げることによりガス圧により持ち上げられて弁座
１２と離間するようにされており、これによって図中左
側に開口する第１ポート８およびこれに連なる弁孔１０
と、図中右側に開口する第２ポート９およびこれに連な
る連通孔１１との間を遮断あるいは連通している。

【０００４】このようなバルブ１００では、ダイヤフラ
ム６や弁座１２、シート部材７を交換したい場合に、第
１ポート８や第２ポート９が形成されたバルブ本体１を
配管系から取り外すことなく交換することができる。す
なわち、ダイヤフラム保持体５およびステム４を取り外
すことによりダイヤフラム６、弁座１２、シートリング
７を交換することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示すような従来のガス制御バルブ１００では、弁座１２
等を交換・修理等のメンテナンスをするときには、ちょ
うど弁室２の底付近からこれらを図中上方に取り出す必
要があり、取り出しが困難であった。特に前述したよう
に各種処理装置が小さくされている現状から、ガス制御
バルブ１００の近傍に他の機器が配置されることが多く
なっており、他の機器が邪魔になって、より交換等が面
倒になっている。また、バルブ本体１の内面（弁室２内
面）に傷を付けたり、腐食性の高いガスであるプロセス
ガスが接触した面に触れて腐食した金属などが剥がれプ
ロセスガスの汚染源となる恐れがある。また、シートリ
ング７は、外周のダイヤスラム保持部１３で下方に押圧
されることによりシール部１５も弁室の底壁面２ａに押
しつけられて弁孔１０と連通孔１１の間をシールしてい
るが、確実なシールは難しく、形状も複雑で製造が面倒
であった。

【０００６】本発明は上記問題点を解決し、ダイヤフラ
ムや弁座等を容易に交換できるガス制御バルブの提供を
目的とする。さらに他の目的は、簡単な形状で製造の容
易なシール部材を用い、確実にシールできるガス制御バ
ルブを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載の手段は、弁体とリング状弁座とが当
接および離間可能に構成されたガス制御バルブにおい
て、上記リング状弁座を保持する弁座部材であって、該
弁座部材をバルブベース接続面から該リング状弁座のリ
ング内にわたって貫通する第１流路孔と該弁座部材をバ
ルブベース接続面から該リング状弁座のリング外にわた
って貫通する第２流路孔とを有する弁座部材と、上記弁
座部材に接続させるための弁座部材接続面と該弁座部材
接続面に開口する第１ポート流路および少なくとも１つ
の第２ポート流路とを有するバルブベースと、上記弁座
部材のバルブベース接続面と上記バルブベースの弁座部
材接続面との間に介在し二重リング状に配されたシール
部材であって、上記第１流路孔と上記第１ポート流路と
を連通しこれらと上記第２流路孔及び上記第２ポート流
路との間をシールする内側シール部材と、該第２流路孔
と第２ポート流路とを連通し外部との間のシールをする
外側シール部材と、を有することを特徴とするガス制御
バルブを要旨とする。

【０００８】本発明によれば、第１、第２ポート流路を
有するバルブベースと、弁座を保持する弁座部材とは、
別体で構成され、二重リング状に配されたシール部材で
両者の接続面がシールされている。従って、バルブベー
スを配管系から取り外すことなく弁座部材（さらにはそ
の上に形成されているバルブベースを除くバルブ本体）
を取り外すことができる。これにより、上記従来技術の
ように取り出しにくい弁室の底部から弁座等を取り出す
必要はなく、取り外した弁座部材（あるいはバルブ本
体）を適当な場所に運んだ上で、弁座部材等からダイヤ
フラム、弁座その他の部品を取り外すことができるよう
になり、これらの部品の交換・修理等のメンテナンスが
容易となる。

【０００９】しかも、バルブベースの弁座部材接続面や
各ポート流路を傷つけたり、プロセスガス接触面に触れ
てプロセスガスの汚染の原因となる危険が少なくなる。
また、弁座やダイヤフラムは弁座部材に取り付け（装着
し）ておけば、弁座部材をバルブベースに取り付けるこ
とで弁座等も取り付けられたこととなる。すなわち、取
り外しも取り付けも容易となる。さらに、バルブベース
の弁座部材接続面に脱着するので、シール部材をも容易
に取り外しや装着ができる。しかも、シール部材がリン
グ状シール部材であるので形状が簡単で形成しやすく、
シール部材は、内側シール部材も外側シール部材も弁座
部材とバルブベースの間に挟まれているので確実にシー
ルできる。

【００１０】なお、弁座部材は、弁座部材に空けた貫通
孔を通じてボルトでバルブベースに締結されるようにす
ると、ボルトを取り外すことで弁座部材がバルブベース
から取り外せるのでより好ましい。この場合、ボルトを
バルブベース接続面とは反対側の面から締め付けるよう
にするとよい。隣接して配置したガス制御バルブその他
の機器の有無に拘わらずボルトを締め付け・取り外しが
できるため、ガス制御バルブその他の機器を隣接させて
高い密度で配置することができ、これらの機器を用いた
装置の小型化を図ることができるからである。

【００１１】さらに上記目的を達成するために請求項２
に記載の手段は、前記内側シール部材と外側シール部材
とは、同心二重リング状に配されてなることを特徴とす
る請求項１に記載のガス制御バルブを要旨とする。

【００１２】本発明によれば、内側シール部材と外側シ
ール部材とが同心であるので、バルブベースに第２ポー
ト流路が複数形成されたものを用いた場合（例えば互い
に直角な２つの方向から延びる２つの第２ポート流路が
あるとき）にも、弁座部材や内側、外側シール部材を変
更する必要がないので、弁座部材やシール部材を共通化
して多種類のバルブベースに対応できる。

【００１３】さらに上記目的を達成するために請求項３
に記載の手段は、前記弁座部材を前記バルブベースから
取り外したときに、前記内側シール部材および外側シー
ル部材も、弁座部材と共に取り外されるようになしてあ
ることを特徴とする請求項１または２に記載のガス制御
バルブを要旨とする。

【００１４】本発明によれば、弁座部材をバルブベース
から取り外したときに、内側および外側シール部材が弁
座部材と共に取り外されるので、シール部材をバルブベ
ースの弁座部材接続面から取り外すことが不要となる。
シール部材を取り外すときにバルブベースの弁座部材接
続面や各ポート流路を傷つけたり、プロセスガス接触面
に触れてプロセスガスの汚染の原因となることが無くな
る。

【００１５】さらに上記目的を達成するために請求項４
に記載の手段は、前記内側シール部材および外側シール
部材のうち少なくともいずれかが、弁座部材のバルブベ
ース接続面にリング状に設けられたシール部材用凹部に
一部が圧入されたリング状樹脂であることを特徴とする
請求項３に記載のガス制御バルブを要旨とする。

【００１６】本発明によれば、シール部材が、シール部
材用凹部に一部が圧入されているので、弁座部材を取り
外すと共にシール部材が取り外せる。また、シール部材
は樹脂であるので、シール部材用凹部に対して着脱容易
でシール部材の交換が容易である。また、シール部材が
樹脂なので、変形能が大きく確実にシールができる。具
体的には、フッ素系樹脂、たとえば、ＰＣＴＦＥ（三フ
ッ化塩化エチレン樹脂）、ＰＴＦＥ（４フッ化エチレン
樹脂）等が挙げられ、これらは耐腐食性が高いので好ま
しい。

【００１７】さらに上記目的を達成するために請求項５
に記載の手段は、前記内側シール部材および外側シール
部材のうち少なくともいずれかが、開口部を外周側また
は内周側に向けた断面略Ｃ型のリング状パイプにより形
成され、前記弁座部材に設けた凹部にその一部が弾性的
に挿入されて着脱可能に保持された保持部材に、上記開
口部の少なくとも一部を係合させることにより弁座部材
に保持されていることを特徴とする請求項３に記載のガ
ス制御バルブを要旨とする。

【００１８】本発明によれば、Ｃ型パイプの開口部の少
なくとも一部が保持部材に係合・保持され、保持部材が
弁座部材に保持されているので、弁座部材を取り外す
と、保持部材と共にシール部材が取り外せる。また、保
持部材の一部が弁座部材に設けた凹部に弾性的に挿入さ
れて着脱可能に保持されているので、シール部材を保持
部材ごと弁座部材から着脱できシール部材の交換が容易
である。さらに、シール部材の断面形状が略Ｃ型形状な
ので、変形能が大きく確実にシールができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の好適な実施形態を図とと
もに説明する。（実施例１）図１は本発明の実施形態に係るパイロット
型ガス制御バルブの縦断面図である。ガス制御バルブ１
０は、ガス制御バルブ本体１０ａおよびバルブベース１
６からなる。このガス制御バルブ本体１０ａは、弁座部
材６３、中間部材５７、パイロット弁シリンダ５１等か
らなる。一方、バルブベース１６は、図中右側に開口す
る第１ポート２１および同左側に開口する第２ポート２
２を有し、第１ポート垂直流路部２１ａおよび第２ポー
ト垂直流路部２２ａがバルブベース上面（弁座部材接続
面）１６ａに開口している。

【００２０】このバルブベース１６の弁座部材接続面１
６ａと弁座部材６３のバルブベース接続面６３ｂとが接
続されている。本例では、弁座部材６３は、これを図中
上下方向に貫通する貫通孔（図示しない）に挿通したボ
ルト６４によってバルブベース１６に締結されている。
この弁座部材６３の略中央に形成された第１流路孔６５
とその脇に形成された第２流路孔６６は、それぞれバル
ブベース１６の第１ポート垂直流路部２１ａおよび第２
ポート垂直流路部２２ａに連通している。このバルブベ
ース１６と弁座部材６３との間に、同心状に配置された
リング状の内側シール用ガスケット６１および外側シー
ル用ガスケット６２は、第１ポート流路２１と第１流路
孔６５、および第２ポート流路２２と第２流路孔６６と
を連通しつつ、両ポート間および外部とのシールを保
つ。

【００２１】弁座部材６３の上面には、略有底円筒状に
形成された突出部６３ａが形成され、この突出部６３ａ
内の底部には第１流路孔６５と第２流路孔６６とが開口
している。突出部６３ａの底部にはリング状の弁座５９
が設けられ、弁座５９のリング内に第１流路孔６５が開
口し、リングの外に第２流路孔６６が開口するようにし
て、この２つの流路孔６５，６６の開口間を遮るように
している。

【００２２】この弁座５９の上方には、ダイヤフラム５
４を介して弁体５８が弁座５９に対して当接または離間
可能に保持されポペット弁タイプのダイヤフラム弁体を
形成している。また、突出部６３ａの内周に形成された
雌ねじに螺合する中間部材５７によって図中下方に押圧
されるダイヤフラム固定ブラケット５６と、弁座部材６
３とでダイヤフラム５４の外周が固定されている。これ
により、第１、第２流路孔間を流通するガスが上方に漏
れることが防止される。

【００２３】中間部材５７の中央部にあけた貫通孔５７
ａには、ピストンロッド５３が上下方向に摺動可能に貫
挿、保持されている。このピストンロッド５３にはピス
トン５２が組み付けられ、両者は一体化されている。

【００２４】中間部材５７の上方には、パイロット弁シ
リンダ５１が中間部材５７と螺合して固設されている。
パイロット弁シリンダ５１の内側には、ピストン５２さ
らにこのピストン５２を介してピストンロッド５３や弁
体５８を下向き（弁閉方向）に付勢するための復帰バネ
５５が取り付けられている。また、パイロット弁シリン
ダ５１の中心軸に沿って、図中上面に開口する駆動空気
用ポート６０が形成されている。また、ピストンロッド
５３の中心軸には、ピストンロッド５３の図中上端から
ロッド膨出部５３ａよりも下方に達する深さでロッド中
心孔５３ｃが形成され、さらに、ロッド膨出部５３ａの
直下には、ピストンロッド５３を径方向（図中左右方
向）に貫通しロッド中心孔５３ｃを横断する連通孔５３
ｄが形成されている。これにより、中間部材５７の上面
とピストン５２の下面とがなす空間Ｖが連通孔５３ｄ、
ロッド中心孔５３ｃを通じて駆動空気用ポート６０に連
通するようにされている。

【００２５】このように構成されたガス制御バルブ１０
は、駆動空気用ポート６０から圧縮空気が送られていな
い状態では、弁閉状態となる。即ち、ピストン５２、ピ
ストンロッド５３が復帰バネ５５により下向き（弁閉方
向）に付勢されているため、ピストンロッド５３が弁体
５８を図中下方に押圧して、第１または第２ポート内の
プロセスガス等のガス圧に抗して、ダイヤフラム５４を
介して弁座５９に弁体５８を当接させる。従って、第１
ポート流路２１と第２ポート流路２２とは遮断（シー
ル）されている。

【００２６】次に、駆動空気用ポート６０から、ロッド
中心孔５３ｃ、連通孔５３ｄを通じて中間部材５７の上
面とピストン５２の下面とがなす空間Ｖ内に圧縮空気が
送られると、ピストン５２およびピストンロッド５３が
上向きに移動する。そして、ダイヤフラム５４および弁
体５８が、プロセスガスやパージガス等のガス圧力によ
り上向きに移動させられ、弁開となって第１ポート流路
２１と第２ポート流路２２とが連通して両者間をガスが
流通する。このように駆動空気用ポート６０に送る圧縮
空気を制御することにより、ダイヤフラム弁体（ダイヤ
フラム５４、弁体５８）の開閉を行い、第１ポート流路
２１と第２ポート流路２２との間のガスの流通を制御す
ることができることとなる。

【００２７】このようなガス制御バルブ１０が図中に破
線で示す配管系ＨＨ’に取り付けられた後に、たとえ
ば、弁座５９を交換したい場合が発生したとする。この
場合には、弁座部材６３をバルブベース１６に締結して
いるボルト６４を取り外すことにより、弁座部材接続面
１６ａから、弁座部材６３およびそれよりも図中上方に
ある中間部材５７、パイロット弁シリンダ５１等を取り
外す。すなわち、バルブベース１６以外のガス制御バル
ブ１０（ガス制御バルブ本体１０ａ）を配管系ＨＨ’か
ら取り外す。その後、取り外したガス制御バルブ本体１
０ａを適当な場所でさらに分解する。すなわち、中間部
材５７を弁座部材６３から取り外し、弁体５８、ダイヤ
フラム固定ブラケット５６、ダイヤフラム５４を取り出
した後、弁座５９を弁座部材６３の上面６３ａ側から取
り出し交換する。このようにすると、図中上方からボル
ト６４を緩めて取り外すだけで、バルブベース１６から
弁座部材６３等が取り外せるので、近くに他の機器があ
ったとしても容易に取り外すことができる。

【００２８】さらに、弁座部材接続面１６ａには、リン
グ状シール部材である内側シール用ガスケット６１およ
び外側シール用ガスケット６２が残っているが、前記し
た従来技術とは異なり、ほぼ平面状である弁座部材接続
面１６ａ上にあるので、これらのガスケット６１，６２
も容易に取り外すことができる。また、内側シール用ガ
スケット６１および外側シール用ガスケット６２は、単
純なリング形状であるので、製造が容易である。なお、
本例では、内側シール用ガスケット６１にはＰＣＴＦＥ
製のリングを、外側シール用ガスケット６２にはステン
レス製リングを用いた。２つのガスケット６１，６２に
変形能の違うものを用いて、即ち、いずれか（本例では
内側シール用ガスケット６１）に変形能の大きい樹脂を
用いて、ガスケット等の寸法誤差を吸収し、いずれのガ
スケットでも確実にシールできるようにするためであ
る。

【００２９】次いで、弁座５９の交換の後、弁座部材６
３に、ダイヤフラム５４、弁体５８、ダイヤフラム固定
ブラケット５６、中間部材５７等を組み付けてガス制御
バルブ本体１０ａを組み立てる。また、内側シール用ガ
スケット６１、外側シール用ガスケット６２を必要な場
合には新しいものと交換して弁座部材接続面１６ａに載
置する。その後、弁座部材６３（ガス制御バルブ本体１
０ａ）を、バルブベース接続面６３ｂと弁座部材接続面
１６ａとがガスケット６１，６２を介して対向するよう
にセットし、ボルト６４を締め付けることでガス制御バ
ルブ１０の弁座５９が交換できたこととなる。

【００３０】従って、バルブベース１６を取り外すこと
なく、弁座部材６３（ガス制御バルブ本体１０ａ）を取
り外すことができるので、狭い場所でも容易に取り外し
作業ができる。さらに、弁座５９等を交換、修理等する
のは、別の場所でできるので弁座５９等を取り外しが容
易で、第１流路孔６５等に傷を付ける危険性も少なくな
る。また、内側および外側シール用ガスケット６１、６
２の脱着も容易である。さらに、弁座部材６３をバルブ
ベース１６に接続するのも容易である。なお、バルブベ
ース１６に、複数のガス制御バルブ本体１０ａや他の機
器を取り付けられるように他のガス流路を設けて、いわ
ゆるマニホールドとしての機能を持たせるようにしても
よい。

【００３１】（実施例２）本例は、図２に示すようにバ
ルブベース１６に第２ポート流路を２つ（２２，２
２’）形成した場合であり、バルブベース１６以外には
上述した実施例１のガス制御バルブ１０との違いはない
ので、同様な部分に関する説明を省略する。本例におい
ては、２つの第２ポート流路２２，２２’が、互いに直
角をなして（図中右方向と上方向）形成されており、第
２ポート垂直流路部２２ａ、２２ａ’が、同心をなして
配置されている内側シール用ガスケット６１と外側シー
ル用ガスケット６２との間のそれぞれ開口している。こ
れにより、例えば、第１ポート流路２１から流入したプ
ロセスガスをガス制御バルブ１０で制御して、第２ポー
ト流路２２に流出、遮断できるほか、もう１つの第２ポ
ート流路２２’から不活性ガス（パージガス）を第２ポ
ート流路２２に流すようにすることができる。

【００３２】このように、２つのガスケット６１，６２
が同心２重リング状に配されているので、両者の間に複
数の第２ポート流路２２が開口していても、ガスケット
６１，６２や弁座部材６３の形状を変える必要はない。
従って、ガスケット６１，６２や弁座部材６３（あるい
はガス制御バルブ本体１０ａ）を共通化して、多種類の
バルブベース１６に対応する事ができる。なお、バルブ
ベース１６の多種類化には、第２ポート流路の数や位置
が異なる場合の他、各ポートの継手の形状が例えばメタ
ル・ガスケット継手や２重食い込み継手などのように異
なる場合などがある。なお、図２において、各隅には、
ボルト６４と締結するためのネジ孔１６ｂが形成されて
いる。

【００３３】（実施例３）図３に示す本例は、実施例１
と同様なガス制御バルブ１０’であるが、弁座部材６３
（ガス制御バルブ本体１０ｂ）の脱着と共に、内側シー
ル用ガスケット６１’および外側シール用ガスケット６
２’も脱着できるようにされた点で異なり、その他は同
様なものである。従って、同様な部品には同じ番号を付
し、同様な部分の説明は省略する。

【００３４】本例では、弁座部材６３の第１流路孔６５
のすぐ下方に、この第１流路孔６５に連なって同軸状
で、かつ第１流路孔よりもやや径大に形成されたガスケ
ット用凹部６３ｄが形成されている。そして、このガス
ケット用凹部６３ｄに、ＰＣＴＦＥ樹脂からなる内側シ
ール用ガスケット６１’が圧入されて、弁座部材６３と
着脱可能に一体化している。また、ガスケット用凹部６
３ｄはその上端側面部がリング状に凹んで形成されてお
り、内側シール用ガスケット６１’のうちやや膨出する
ように形成された上端側面部と係合することでガスケッ
ト６１’を抜けにくくしている。なお、本例では、ガス
ケット用凹部６３ｄを略円筒形状に形成した場合を示し
たが、これに限らず、例えばリング状の溝で構成しても
よい。また、外側シール用ガスケットについて、同様な
構造を採用しても良い。

【００３５】一方、外側シール用ガスケット６２’は、
図４(a)に示すように開口部Ｐが外周側に形成された断
面略Ｃ型のステンレス製リング状ガスケットである。こ
のような断面略Ｃ型のガスケットは変形能が大きく、確
実にシールができる。このガスケット６２’は、その開
口部Ｐに図４(b)および(c)に平面図及び断面図を示すガ
スケットリティーナ７０の中央開口縁７０ａを差し込む
ことにより、リティーナ７０と係合して一体とされる
（図４(d)参照）。このガスケットリティーナ７０は、
平面視（図４(b)）略正方形状のステンレス板からな
り、図４(b)中左辺及び右辺中央部は、厚さ方向に略Ｕ
字状に屈曲されバネ部７０ｂとされている。また、各隅
部にはボルト６４を挿通するための挿通穴７０ｃがそれ
ぞれ形成されている。

【００３６】このガスケットリティーナ７０のバネ部７
０ｂを、弁座部材６３のバルブベース接続面６３ｂに形
成したリティーナ保持凹部６３ｃに挿入し、この凹部６
３ｃとバネ部７０ｂとを弾性に係合させることで、ガス
ケットリティーナ７０および外側シール用ガスケット６
２’が弁座部材６３に着脱可能に保持される。なお、内
側シール用ガスケットに同様な構造を採用しても良い。

【００３７】このようにして内側シール用ガスケット６
１’および外側シール用ガスケット６２’が弁座部材６
３に保持されるようにすると、バルブベース１６から弁
座部材６３（ガス制御バルブ本体１０ｂ）を取り外した
ときに、弁座部材６３と共にガスケット６１’、６２’
も取り外されるので、上述した実施例１のように弁座部
材接続面１６ａからガスケットを取り出す必要がなく、
弁座５９等の交換修理等のメンテナンスがより容易にな
る。さらにガスケットリティーナ７０の着脱により外側
シール用ガスケット６２’の交換ができるので、交換作
業がより簡単にできる。

【００３８】上記実施例においては、内側シール用ガス
ケット６１、６１’にＰＣＴＦＥ等の樹脂を、外側シー
ル用ガスケット６２、６２’にステンレス等の金属を用
いた例を示したが、この逆としてもよい。本発明は上記
実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸
脱しない範囲において適宜変更して適用可能である。

【００３９】

【発明の効果】以上に詳述したように、請求項１に記載
の発明によれば、バルブベースを配管系から取り外すこ
となく弁座部材やガス制御バルブ本体を取り外すことが
でき、部品の修理、交換等のメンテナンスが容易とな
る。さらに、シール部材も容易に取り外しや装着ができ
る。また、請求項２に記載の発明によれば、バルブベー
スに複数の第２ポート流路が形成されたものを用いた場
合にも、弁座部材やシール部材を共通化して多種類のバ
ルブベースに対応できる。

【００４０】さらに、請求項３に記載の発明によれば、
弁座部材取り外し時に、内側および外側シール部材も共
に取り外すことができる。さらに、請求項４に記載の発
明によれば、弁座部材を取り外すと共にシール部材が取
り外せる。また、シール部材が樹脂製であるので、シー
ル部材用凹部に対して着脱容易でシール部材の交換が容
易であり、しかも、変形能が大きく確実にシールができ
る。また、請求項５に記載の発明によれば、弁座部材を
取り外すと、保持部材と共にシール部材が取り外せる。
シール部材を保持部材ごと弁座部材から着脱できシール
部材の交換が容易である。さらに、断面形状が略Ｃ型形
状のシール部材は、変形能が大きく確実にシールができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１にかかるパイロット型ガス制御バルブ
の縦断面図である。

【図２】実施例２にかかるバルブベースの平面図であ
る。

【図３】実施例３にかかるパイロット型ガス制御バルブ
の縦断面図である。

【図４】実施例３において使用する、（ａ）外側シール
用ガスケット６２’の断面図、（ｂ）ガスケットリティ
ーナ７０の平面図、（ｃ）ガスケットリティーナ７０の
断面図、（ｄ）ガスケットとリティーナの組立状態断面
図である。

【図５】従来のガス制御バルブの縦断面図である。

【符号の説明】

１０ガス制御バルブ１０ａ、１０ｂガス制御バルブ本体１６バルブベース１６ａ弁座部材接続面２１第１ポート流路２２第２ポート流路２１ａ第１ポート垂直流路部２２ａ第２ポート垂直流路部５１パイロット弁シリンダ５２ピストン５３ピストンロッド５４ダイヤフラム５５復帰バネ５６ダイヤフラム固定ブラケット５７中間部材５８弁体５９弁座６０駆動空気用ポート６１、６１’ 内側シール用ガスケット６２、６２’ 外側シール用ガスケット６３弁座部材６３ｂバルブベース接続面６３ｃリティーナ保持凹部６３ｄガスケット用凹部６５第１流路孔６６第２流路孔７０ガスケットリティーナＨ、Ｈ’ 配管系

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弁体とリング状弁座とが当接および離間
可能に構成されたガス制御バルブにおいて、上記リング状弁座を保持する弁座部材であって、該弁座
部材をバルブベース接続面から該リング状弁座のリング
内にわたって貫通する第１流路孔と該弁座部材をバルブ
ベース接続面から該リング状弁座のリング外にわたって
貫通する第２流路孔とを有する弁座部材と、上記弁座部材に接続させるための弁座部材接続面と該弁
座部材接続面に開口する第１ポート流路および少なくと
も１つの第２ポート流路とを有するバルブベースと、上記弁座部材のバルブベース接続面と上記バルブベース
の弁座部材接続面との間に介在し二重リング状に配され
たシール部材であって、上記第１流路孔と上記第１ポー
ト流路とを連通しこれらと上記第２流路孔及び上記第２
ポート流路との間をシールする内側シール部材と、該第
２流路孔と第２ポート流路とを連通し外部との間のシー
ルをする外側シール部材と、を有することを特徴とするガス制御バルブ。
【請求項２】前記内側シール部材と外側シール部材と
は、同心二重リング状に配されてなることを特徴とする
請求項１に記載のガス制御バルブ。
【請求項３】前記弁座部材を前記バルブベースから取
り外したときに、前記内側シール部材および外側シール
部材も、弁座部材と共に取り外されるようになしてある
ことを特徴とする請求項１または２に記載のガス制御バ
ルブ。
【請求項４】前記内側シール部材および外側シール部
材のうち少なくともいずれかが、弁座部材のバルブベー
ス接続面にリング状に設けられたシール部材用凹部に一
部が圧入されたリング状樹脂であることを特徴とする請
求項３に記載のガス制御バルブ。
【請求項５】前記内側シール部材および外側シール部
材のうち少なくともいずれかが、開口部を外周側または
内周側に向けた断面略Ｃ型のリング状パイプにより形成
され、前記弁座部材に設けた凹部にその一部が弾性的に
挿入されて着脱可能に保持された保持部材に、上記開口
部の少なくとも一部を係合させることにより弁座部材に
保持されていることを特徴とする請求項３に記載のガス
制御バルブ。