DE8506671U1 - Kopf zum Ausrichten von elektrischen Bauteilen - Google Patents
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Description
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V.St.A. U 6098 I
Kopf zum Ausrichten von elektrischen Bauteilen IO
Die Erfindung betrifft einen Kopf zum Ausrichten elektrischer Bauteile, beispielsweise von sogenannten Chips,
welcher ein Aufnahmewerkzeug mit einer Bezugsfläche und
wenigstens einem Paar gegenüberliegender Klauen umfaßt,
wobei jede Klaue wenigstens eine Ausrichtfläche aufweist, die angeordnet ist, um mit den entsprechenden Ausrichtflächen
der anderen Klauen des Kopfes zusammenzuwirken, wenn die Klauenpaare zueinander hin bewegt werden, wobei eine
an der Bezugsfläche getragene Komponente von den Ausrichtflächen ergriffen wird, wenn die Klauen eines jeden Paares
2b zueinander bewegt werden, um somit das Bauteil bzw. die Komponente auszurichten.
Für eine Vielzahl von Zwecken in der modernen Technologie ist es erforderlich, elektrische Bauteile auszurichten.
Ein Hauptbereich, in welchem Bauteile im allgemeinen auszurichten sind, ist das Anordnen von Bauteilen an Substraten
bzw. Gegenständen, zu beispielsweise gedruckten Schaltungsplatinen beim Zusammenbau von elektronischen Schaltkreisen
oder beispielsweise beim Positionieren von Chips für weitere Operationen wie beispielsweise Drahtverbindung
Beim Handhaben elektronischer Bauteile ist es für viele
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-Z-
Vorgänge wesentlich, daß die Bauteile präzis in einer gewünschten Orientierung zur Anordnung an gewählten Orten
und in einer gewünschten Ausrichtung positioniert werden. Viele Maschinen wufden vorgeschlagen, um Bauteile an Gegenständen
genau zu plazieren. Diese bekannten Maschinen umfassen sogenannte Greiferköpfe,mit denen Bauteile von einer
Chipführung aufgenommen und in einer gewünschten Position und Ausrichtung an einem geeigneten Substrat angeordnet
werden. In den US-Patentschriften 4 135 630 und 4 290 732 sind Vorrichtungen zum Aufnehmen und zum Anordnen von
elektrischen Bauteilen in gewünschten Ausrichtungen an gewünschten Positionen an einem geeigneten Substrat beschrieben.
Die Aufnahme- bzw. Greifköpfe dieser Maschinen weisen eine Einrichtung auf, mit welcher die Bauteile an
dem Aufnahmekopf gehalten werden, insbesondere ein Vakuumoder Saugwerkzeug und sogenannte Klauen oder Finger, mit
denen die Bauteile genau in korrekter Ausrichtung an dem Werkzeug positioniert sind. Die Vorrichtungen dieser Art
können sehr genau Bauteile zweckmäßiger Größe positionieren.um
eine Vielzahl unterschiedlicher Bauteile wie beispielsweise sogenannte Flachrahmen, Transistoren, leiterfreie
Chipträger u.dgl. als auch Chips zu handhaben. Derartige Vorrichtungen haben sich beim Handhaben von Bauteilen
als recht zufriedenstellend erwiesen, jedoch ergaben sich beim Handhaben von Chips, die im allgemeinen äußerst leicht
brechbar sind, beim Ergreifen der Chips zwischen gegenüberliegenden Paaren von Klauen, Fingern, Zangen oder Klinken
eine unannehmbar hohe Beschädigungsrate der Chips, beispielsweise durch Herausbrechen eines Teiles des Chips.
Ein Gegenstand der Erfindung ist ein Kopf zum Ausrichten elektrischer Bauteile, welcher gegen ein Beschädigen der
Bauteile schützt. Die Erfindung betrifft einen Kopf der oben umrissenen Art, bei welchem die Bezugsfläche die
gleiche ümfangsform wie das aufzunehmende Bauteil aufweist,
wobei jedoch die jeweilige Abmessung etwas größer
als die entsprechende Abmessung des Bauteiles ist, wobei die entsprechenden Ausrichtflächen angeordnet sind, um den
Umfang des Aufnahmewerkzeuges zu ergreifen, wenn das Bauteil ausgerichtet ist.
5
5
Vorzugsweise weist jede Klaue eines Kopfes gemäß Erfindung eine Vielzahl von Ausrichtflächen auf, wobei die Ausrichtflächen
einer jeden Klaue angeordnet sind, um mit entsprechenden Ausrichtf i äcnen der änderen Klauen deS Kopfes ZIisammenzuwirken,
um eine Vielzahl von Ausrichtklauen-Sätzen zu schaffen. Wenn jede Klaue eine Vielzahl von Ausrichtflächen
aufweist, ist der Kopf vorzugsweise so konstruiert und angeordnet, daß die Bezugsfläche eines Greif- bzw.
Aufnahmewerkzeuges in der Ausrichtung des Kopfes angeordnet ist, um ein Bauteil in Ausrichtung mit einem entsprechenden
Satz der Ausrichtflächen zu tragen. Dies kann mit einer Vielzahl von Einrichtungen erreicht werden, beispielsweise
durch Anordnen des Aufnahmewerkzeuges an einem Werkzeughalter, dessen Höhe in Bezug auf die Aufnahmeklauen
eingestellt werden kann. Zweckmäßig umfaßt ein Kopf gemäß Erfindung eine Einrichtung zum austauschbaren Anordnen, beispielsweise
an einem Werkzeughalter, des Aufnahmewerkzeuges an dem Kopf; wenn die Werkzeuge austauschbar angeordnet
sind, kann die Auswahl eines Werkzeuges zweckmäßiger Länge verwendet werden, um zu gewährleisten, daß die Bezugsfläche
des Werkzeuges vorgesehen ist, um ein Bauteil in Fluchtung bzw. in Übereinstimmung mit dem entsprechenden Satz der
Ausrichtklauen zu tragen. Wenn die Werkzeuge austauschbar angeordnet sind, kann ein Bereich von Werkzeugen in einem
zweckmäßigen Werkzeugsupport einer Vorrichtung getragen werden, in welcher der Kopf vorgesehen ist.
Vorzugsweise umfaßt ein Kopf gemäß Erfindung eine Vielzahl von Paaren gegenüberliegender Klauen. Ein Kopf zum Handhaben
rechteckiger Bauteile umfaßt vorzugsweise zwei gegenüberliegende Paare von Aufnaömeklauen, wobei die Klauen
1 eines jeden Paares ihre Ausrichtflächen parallel zueinander
aufweisen und im rechten Winkel zu den Ausrichtflächen des anderen Paares der Klauen angeordnet sind, wobei die Bezugsfläche
des Aufnahmewerkzeuges rechteckig ist.
ν an der Bezugsfläche mit Hilfe einer zweckmäßigen Einrich-
[ tung getragen; geeignete Bauteile werden an der Bezugsfläche mittels Vakuum gehalten, welches über eine öffnung
10 in der Bezugsfläche des Werkzeuges angelegt ist.
:* Im Betrieb des Kopfes gemäß Erfindung ergreifen die Aus-
,ϊ; richtflächen der Teilen Randabschnitte des Bauteilen, wenn
|) ne ausgerichtete Position erreicht, in welcher es in Aus-
\ der des Bauteiles nicht langer über den etwas größeren Um-
* Klauen ergreifen das Aufnahmewerkzeug am Umfang der Bezugs-
' fläche, so daß verhindert wird, daß das Bauteil zwischen
'i den gegenüberliegenden Klauenpaaren ergriffen wird und so-
mit die Wahrscheinlichkeit einer Beschädigung des Bauteiles
25 wegen des Druckes herabgesetzt wird, der von den Klauen
ausgeübt wird, welche das Bauteil ergreifen.
i Die Erfindung wird nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel
anhano der beigefügten Zeichnung näher erläutert. In der
30 Zeichnung zeigen:
Fig. 1 schematisch eine Vorderansicht des Kopfes, wobei Teile weggebrochen sind,
35 Fig. 2 eine Ansicht von unten, wobei die Orientierung
e^nes elektrischen Bauteiles gezeigt ist, welches von einem Aufnahmewerkzeug des Kopfes
getragen ist.
VMar-Ji;*
Ein Aufnahmekopf gemäß Erfindung ist normalerweise in einer Vorrichtung zum Handhaben elektrischer Bauteile
angeordnet, beispielsweise in Maschinen der in den genannten US-Patentschriften umrissenen Art. Bekannte Maschinen,
in welchen ein erfindungsgemäßer Aufnahmekopf angeordnet werden kann» sind zum Plazieren elektrischer Eiauteile an
einem Substrat vorgesehen. Derartige Maschinen umfassen ei nen Werkzeugsupport zum Tragen einer Vielzahl von Aufnahme
werkzeugen, wobei die Maschine so angeordnet ist, daß die von dem Aufnahmekopf getragenen Werkzeuge in Abhängigkeit
von den zu handhabenden Bauteilen gegen Werkzeuge in dem Support austauschbar sein Können. Eine solche Vorrichtung
zum Plazieren von Bauteilen an einem Substrat umfaßt weiterhin im allgemeinen eine Einrichtung zum Tragen des Substrats
in einer Bezugslage, eine Einrichtung zur Relativbewegung des Aufnahmekopfes und des Supports des Substrates,
um somit von dem Aufnahmekopf in gewünschten Stellen und in gewünschten Ausrichtungen getragene Bauteile an
dem Substrat anzuordnen, wobei eine Einrichtung zum Zuführen von Bauteilen zu dem Aufnahmekopf vorgesehen ist,
welche aufzunehmen und zwecks Transports zu dem Gegenstand bzw. Substrat von dein Aufnahmekopf ausgerichtet werden
sollen. Eine Einrichtung zum Zuführen der Bauteile zu dem Aufnahmekopf kann sogenannte Stöcke, in denen größe
re Bauteile getragen werden, Bandmagazine, in welchen auf Band getragene Bauteile dem Aufnahmekopf zugeführt werden
und dergleichen umfassen.
In Fig. 1 ist ein Aufnahmekopf 10 gezeigt, welcher einen Werkzeughalter 12 umfaßt, In welchem ein Aufnahmewerkzeug
14 austauschbar angeordnet ist. Der Werkzeughalter 12 ist an dem Kopf 10 zwecks Aufwärts- und Abwärtsbewegung
in Bezug auf Klauen 16 angeordnet, die an dem Kopf vorgesehen sind, um somit Bauteile von einer geeigneten Bauteilzuführung
(nicht gezeigt) aufzunehmen und solche aufgenommenen Bauteile in einer gewünschten Stelle an einem
-S-
Substrat (nicht gezeigt) anzuordnen. Der Kopf 10 selbst ist ähnlich zwecks Aufwärts- und Abwärtsbewegung angeordnet,
so daß der Kopf in Bezug auf den Gegenstand bzw. das Substrat und die Bauteilzuführeinrichtung zweckmäßig positionierbar
ist. Der Kopf 10 ist weiterhin um seine Längsachse drehbar angeordnet, um somit ein Bauteil, das an dem
Aufnahmewerkzeug ausgerichtet ist, in eine gewünschte Orientierung in Bezi,g auf das Substrat zu bewegen, um ej
dort anzuordnen.
IO
Das Aufnahmewerkzeug 14 umfaßt einen Nasenabschnitt 18,
welcher in einer Bezugsfläche 20 endet. Ein Durchgang in dem Werkzeug 14 öffnet sich durch die Bezugsfläche
Der Werkzeughalter 12 umfaßt eine Einrichtung, um dort das Aufnahmewerkzeug 14 austauschbar anzuordnen. Diese Einrichtung
umfaßt eine Fassung 24 in einem untersten Endabschnitt des Werkzeughalters, in welcher ein Schaft 26
des Werkzeuges gleitend aufgenommen ist. Der Werkzeughalter 12 umfaßt eine Halteeinrichtung, die nachgiebig in
eine Ausnehmung 28 in dem Schaft 26 eines Werkzeuges 14 vorgespannt ist, das in der Fassung 24 enthalten ist,
um das Werkzeug 14 an dem Halter 12 zurückzuhalten. Diese Halteeinrichtung umfaßt eine Vielzahl, im gezeigten Ausführungsbeispiel
ein Paar Kugeln 30, die in dem Halter gehalten sind, sich jedoch in die Fassung 24 erstrecken,
wobei die Kugeln nachgiebig in die Fassung mittels einer nachgiebigen Gummihülse 32 gedrückt werden, welche den
unteren Endabschnitt des Halters 12 umqibt und auf Abschnitte der Kugeln 30 einwirkt, welche sich aus ihrem
Gehäuse in den Halter 12 erstrecken, um die Kugeln 30 nach innen in die Fassung 24 zu drücken. Jedes Werkzeug
14 ist genau in einer vorbestimmten Position in Bezug auf den Werkzeughalter 12 durch Eingriff einer Lokalisierfläche
34 einer abragenden Hülse 36 des Werkzeuges 14 mit einer untersten Lokalisierfläche des Werkzeughalters
12 angeordnet. Die Bezugsfläche 20 des Werkzeu-
ges in dem Werkzeughalter 12 ist somit in einer vorbestimmten Lage in Bezug auf den Werkzeughalter angeordnet. Der
Durchgang 22 durch das Werkzeug 14 ist über einen Durchgang in dem Werkzeughalter mit einer Vakuumquelle der Vorrichtung
verbunden, in welcher der Aufnahmekopf 10 angeordnet ist.
Die Klauen 16 sind an unteren Endabschnitten von Armen befestigt, die an einem Hauptkörperabschnitt des Kopfes
1o (nicht gezeigt) zwecks Schwenkbewegung zu und von einem Bauteil vorgesehen sind, welches von dem Aufnahmewerkzeug
14 getragen ist, wenn der Werkzeughalter 12 in Bezug auf die Klauen 16 in einer Bezugsposition angeordnet ist. Während
die Klauen 16 an Armen zwecks Schwenkbewegung zu und von dem Aufnahmewerkzeug angeordnet sinci,. sind andere
Einrichtungen zum Anordnen der Klauen zwecks Schwenkens zu und von dem Aufnahmewerkzeug denkbar, beispielsweise
können die Klauen an Gleitführungen zwecks Ausführung einer
linearen Gleitbewegung zu und von dem Aufnahmewerkzeug angeordnet sein. Die Arme 38 sind so angeordnet, daß
sie einwärts schwenkbar sind, um die Klauen 16 zu dem Aufnahmewerkzeug mittels einer geeigneten Einrichtung zu
bewegen, beispielsweise mittels einer pneumatischen Kolben- und Zylinderanordnung (nicht gezeigt). Die Arme 38
können bewegt werden, um die Klauen von dem Aufnahmewerkzeug 14 mittels einer geeigneten Einrichtung zu tragen,
beispielsweise können sie von dem Aufnahmewerkzeug mittels einer Federeinrichtung (nicht gezeigt) nach außen gedrückt
werden.
Wie in Fig. 2 gezeigt ist, ist die Bezugsfläche 20 des Aufnahmewerkzeuges 14 von der gleichen Umfangsgestalt
wie ein Bauteil, hier ein sogenanntes Chip 40,(das in
Fig. 2 in strichpunktierter Linie gezeigt ist), welches aufzunehmen ist. Jedoch ist jede Abmessung der Bezugsfläche
20 etwas größer als die entsprechende Abmessung des
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Jg.,
Bauteiles (Länge und Breite des rechteckigen Chips 40). Es ist wesentlich, daß jede Abmessung der Bezugsfläche 20
etwas größer als die entsprechende Abmessung des Chips 40 ist, jedoch sollte der Unterschied in der Größe so gering
wie möglich sein, während gewährleistet wird, daß im wesentlichen alle elektrischen Bauteile tatsächlich innerhalb
den Grenzen der Sezugsfläche fallen, wenn sie damit » ausgerichtet sind (wobei zu berücksichtigen ist, daß ge-
f ringe Abmessungsunterschiede zwischen Bauteilen vorhanden
l· IO sein können, die nominal identisch sind). Die Abmessungen
der Bezugsfläche kann so gering wie 0,05 mm oberhalb der entsprechenden Abmessungen des auszurichtenden Bauteiles
für präzise Bauteile wie beispielsweise Halbleiterplatten sein, kann jedoch wesentlich größer als die Nominalabmessungen
eines Bauteiles sein, wo das Bauteil größere Toleranzen aufweist, beispielsweise bis zu 0,25 mm für eini-ge
Kondensatoren. Die in der Zeichnung gezeigte Vorrichtung umfaßt zwei gegenüberliegende Paare von Klauen 16 (siehe
Fig. 2), die zusammenwirken, um die Chips 40 auszurichten. Die Klauen eines jeden Paares weisen Ausrichtflächen
42, 44, 46 auf, die im allgemeinen parallel zueinander und im allgemeinen im rechten Winkel zu den Ausrichtflächen
des anderen Paares der Klauen vorgesehen sind. Entsprechende Ausrichtflächen einer jeden Klaue
wirken im Betrieb des Kopfes zusammen, um einen Satz Ausrichtflächen zu schaffen, beispielsweise schaffen die
Flächen 44 einen solchen Satz.
Bei Verwendung des Kopfes zuni Ausrichten eines elektronisehen
Bauteiles wird das auszurichtende Bauteil an der Bezugsfläche 20 des Aufnahmewerkzeuges 14 der in der
Zeichnung gezeigten Vorrichtung getragen. Mit dem passenden, in dem Werkzeughalter 12 angeordneten Aufnahmewefkzeug
14 werden der Aufnahmekopf 10 und ein Bauteilmagazin in Ausrichtung miteinander bewegt, so daß das Aufnahmewerkzeug
mit einem Bauten, beispielsweise dem Chip 40,
an einer Auslaßposition des Maga7ins ausgerichtet ist. Der
Aufnahmekopf 10 wird dann abgesenkt, und der Werkzeughalter
12 in Bezug auf den Aufnahmekopf abgesenkt, um das Bauteil
mit der Bezugsfläche 20 des Werkzeuges zu ergreifen. Vakuum
wird an den Durchgang 22 angelegt, so daß das Bauteil gegen
Aufnahmekopf 10 wird dann abgesenkt, und der Werkzeughalter
12 in Bezug auf den Aufnahmekopf abgesenkt, um das Bauteil
mit der Bezugsfläche 20 des Werkzeuges zu ergreifen. Vakuum
wird an den Durchgang 22 angelegt, so daß das Bauteil gegen
die Bezugsfläche 20 zurückgehalten wird. Das Bauteil,wel- ;
ches dem Aufnahmewerkzeug 14 von dem Magazin in einer i
wünschte ist, wird gegen die Bezugsfläche 20 mit Hilfe des \
wird, bis der Werkzeughalter eine Bezugsposition in Bezug |
auf den Kopf erreicht, in welcher der geeignete Satz von \
Ausrichtflächen 42, 44, 46 mit dem Bauteil, hier dem
chip 40, ausgerichtet sind, welches von der Bezugsfläche \
20 des Werkzeuges 14 gehalten ist. Die Bezugsfläche 20 ι
des Werkzeuges 14 weist die gleiche Umfangsform wie das %
was größer als die entsprechende Abmessung des Chips 40. |
zu schwenken, um somit die Paare gegenüberliegender Klau- |
en zueinander zu bewegen. Die Ausrichtflächen des zweck- J
mäßigen Satzes der Flächen 42, 44, 46 ergreifen Randab- |
schnitte des Chips 40, wenn sich die Klauen einwärts bewegen und dieses Bauteil in Ausrichtung mit der Bezugsfläche 20 drücken. Wenn das Chip 40 ausgerichtet ist, so
daß seine Ränder innerhalb der Umfangsform der Bezugsflä- ψ
ehe 20 liegen, ergreift der geeignete Satz der Ausrichtflächen
42, 44, 46 der Klauen den Umfang des Aufnahme- r Werkzeugs 14 um die Bezugsfläche; somit wird kein Greif- i.
druck auf das Bauteil 40 ausgeübt, und die Wahrschein- | lichkeit einer Beschädigung des Bauteiles wird reduziert. f
dem Werkzeughalter 12 drehbar, und wenn sie nicht äußerst I
-ιοί genau ausgerichtet sind, wenn sie zunächst am Halter angeordnet
sind, werden sie durch Eingriff der Ausrichtflächen der Klauen ausgerichtet; alternativ können die Werkzeuge
14 und der Halter 12 so konstruiert sein, daß sich die Werkzeuge nicht in Bezug auf den Halter 12 drehen können
und immer in der korrekten Ausrichtung angeordnet sind.
Es können für jede Größe und Form des Bauteiles geeignete Aufnahmewerkzeuge 14 vorgesehen sein. Jedes Werkzeug ist
in einem (nicht gezeigten) Werkzeugsupport getragen, und die Werkzeuge können leicht gegeneinander ausgewechselt
werden, indem der Aufnahmekopf in Ausrichtung mit einer Aufnahmeausnehmung in dem Werkzeugsupport bewegt wird,
der Aufnahmekopf abgesenkt wird, um das Werkzeug an dem Kopf in die Ausnehmung abzusenken, wobei die Fassung 36
von einer Abstreifplatte des Werkzeugsuppor-tes ergriffen
wird und der Aufnahmekopf angehoben wird, während das Werkzeug in der Ausnehmung von der Stripper-Platte gehalten
wird, um den Werkzeughalter von dem Werkzeug zu trennen.
Der Kopf und der Werkzeugsupport können dann relativ bewegt
werden, um den Werkzeughalter in Ausrichtung mit einem weiteren Werkzeug zu bringen, wobei der Kopf 12 in
Eingriff mit dem Werkzeug abgesenkt wird, um dessen Schaft 26 in der Fassung 24 aufzunehmen. Nach Fortbewegung der
Stripper-Platte wird dann der Werkzeughalter angehoben, welcher mit sich das neue Werkzeug trägt« Das neue Werkzeug
wird dann verwendet, um aus dem Bauteilmagazin ein Bauteil geeigneter Größe aufzunehmen. Dieses Bauteil wird
in einer ähnlichen Weise in Bezug auf den Aufnahmekopf ausgerichtet, wie sie oben erläutert ist.
Ein ausgerichtetes Bauteil wird an einem geeigneten Substrat bzw. Gegenstand angeordnet, indem der Werkzeughalter
(dessen Klauen 16 zuerst bewegt sind) abgesenkt wird, um das Bauteil in einer gewünschten Position an dem
Substrat anzuordnen, wobei der Aufnahmekopf und das Sub-
strat in Bezug zueinander bewegt worden sind, um den Werkzeughalter
mit der geeigneten Stelle an dem Substrat auszurichten. Der Aufnahmekopf 10 kann mittels einer geeigneten
Einrichtung (nicht gezeigt) gedreht werden, während der zweckmäßige Satz der Flächen 42, 44, 46 in Eingriff mit
dem Umfang des Aufnahmewerkzeuges steht, um das Bauteil 40 in eine gewünschte Ausrichtung in Bezug auf das Substrat
zu drehen (welches in Bezug auf den Kopf ausgerichtet ist). Die Bezugsfläche 20 des Aufnahmewerkzeuges 14 kann mit dem
zweckmäßigen Satz der Flächen 42, 44, 46 an den Klauen mittels einer geeigneten Einrichtung ausgerichtet werden, beispielsweise
kann der Werkzeughalter 12 immer zu der gleichen Bezugsposition in Bezug auf den Aufnahmekopf angehoben
werden, wobei in diesem Fall der Nasenabschnitt 18
!5 des Aufnahmewerkzeuges 14 mit zweckmäßiger Länge ausgewählt
wird, um ein Bauteil, das an der Bezugsfläche 20 dieses Werkzeuges getragen ist, mit dem zweckmäßigen Satz der
Ausrichtflächen 42, 44, 46 auszurichten, oder der Aufnahmekopf 10 kann so konstruiert und angeordnet sein, daß der
Werkzeughalter 12 in Bezug auf den Kopf zu einer zweckmäßigen verschiedener Bezugspositionen angehoben wird,
um die Bezugsfläche des Aufnahmewerkzeuges mit dem zweckmäßigen
Satz der Ausrichtflächen 42, 44, 46 auszurichten (wobei das Werkzeug einen Nasenabschnitt 18 bekannter Länge
aufweist).
Mit dem erläuterten Aufnahmekopf wird die Wahrscheinlichkeit einer Beschädigung von mit dem Kopf ausgerichteten
Bauteilen beträchtlich herabgesetzt. 30
Claims (7)
1. Kopf zum Ausrichten elektrischer Bauteile mit einem Aufnahmewerkzeug, das eine Bezugsfläche und wenigstens
ein Paar gegenüberliegender Klauen aufweist, wobei jede Klaue wenigstens eine Ausrichtfläche aufweist, die so angeordnet
ist, daß sie mit entsprechenden Ausrichtflächen der anderen Klauen des Kopfes zusammenwirkt, wenn die Klauenpaare
zueinander bewegt werden, so daß ein an der Bezugsfläche getragenes Bauteil von den entsprechenden Ausrichtflächen ergriffen
wird, wenn die Klauen eines jeden Paares zueinander bewegt werden, um somit das Bauteil auszurichten, dadurch
gekennzeichnet, daß die Bezugsfläche (20) die gleiche Umfangsform wie das aufzunehmende Bauteil (40) aufweist,
wobei jede Abmessung etwas größer als die entsprechende Abmessung des Bauteiles (40) ist, und daß die entsprechenden
Ausrichtflächen (42, 44, 46) angeordnet sind, um den Umfang des Aufnahmewerkzeuges (14) zu ergreifen, wenn das Bauteil
(40) ausgerichtet ist.
-2-
2. Kopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede Klaue (16) eine Vielzahl von Ausrichtflächen (42, 44,
46) aufweist, daß die Ausrichtflächen (42, 44, 46) einer jeden Klaue (16) angeordnet sind, um mit entsprechenden
δ Ausrichtflächen (42, 44, 46) der anderen Klauen (16) des
Kopfes (10) zusammenzuwirken, um eine Vielzahl von Sätzen Ausrichtklauen (16) zu schaffen.
3. Kopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bezugsfläche (20) eines Aufnahmewerkzeuges (14) im Betrieb des Kopfes (10) angeordnet ist, um ein Bauteil in
Übereinstimmung mit einem entsprechenden der Sätze Orientierungsflächen (42, 44, 46) zu tragen.
4. Kopf nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf (10) eine Vielzahl von Paaren
gegenüberliegender Klauen (16) einschließt.
5. Kopf nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß er eine Haltevorrichtung (28, 30, 32)
für das Aufnahmewerkzeug (14) aufweist.
6. Kopf nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Handhaben rechteckiger Bauteile, dadurch gekennzeichnet,
daß er zwei gegenüberliegende Paare von Aufnahmeklauen (16) umfaßt, daß die Klauen (16) eines jeden Paares Ausrichtflächen
(42,44,46) aufweisen, die parallel zueinander angeordnet und im rechten Winkel zu den Ausrichtflächen (42,
44,46) des anderen Paares der Klauen (16) vorgesehen sind,
und daß die Bezugsfläche (20) des Aufnahmewerkzeuges (14) rechteckig ist.
7. Kopf nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch I gekennzeichnet, daß in der Bezugsfläche (20) des Werkzeuges
f14) eine öffnung (22) zum Anschluß an ein Vakuum vorgeseher
ist.
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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Publications (1)
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| DE8506671U1 true DE8506671U1 (de) | 1985-08-29 |
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Family Applications (1)
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| DE (1) | DE8506671U1 (de) |
| GB (1) | GB8406129D0 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10036081A1 (de) * | 2000-06-09 | 2001-12-20 | Georg Rudolf Sillner | Vorrichtung zum Zentrieren von Bauelementen sowie Fertigungslinie oder -Maschine, beispielsweise Back-End-Line-Maschine mit einer solchen Vorrichtung |
| DE19743211C2 (de) * | 1996-12-02 | 2002-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | Montage/Demontagekopf für ein IC-Montage/Demontagesystem sowie ein IC-Montage/Demontagesystem mit einem derartigen Kopf |
| DE102008045257A1 (de) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | Rena Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Substraten |
Families Citing this family (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4770599A (en) * | 1984-01-23 | 1988-09-13 | Dynapert Precima Limited | Pick-up head for handling electric components |
| SE8405803D0 (sv) * | 1984-11-19 | 1984-11-19 | Mydata Automation Ab | Anordning for centrering/uppmetning av komponenter |
| CH668023A5 (de) * | 1985-11-12 | 1988-11-30 | Zevatech Ag | Vorrichtung zur aufnahme und zum transport von bauteilen. |
| US4703965A (en) * | 1986-02-25 | 1987-11-03 | Micro Component Technology, Inc. | Integrated circuit placement device vacuum head |
| FR2603150B1 (fr) * | 1986-08-25 | 1988-11-10 | Orega Electro Mecanique | Dispositif de centrage de composants preformes en vue de leur implantation a plat par une machine de depose automatique |
| US4866824A (en) * | 1986-12-04 | 1989-09-19 | Micro Component Technology, Inc. | Centering mechanism |
| JPH0733714B2 (ja) * | 1987-01-09 | 1995-04-12 | 積水化学工業株式会社 | 浴室の増床方法 |
| GB2203121A (en) * | 1987-04-06 | 1988-10-12 | Philips Nv | Gripping device |
| US4817273A (en) * | 1987-04-30 | 1989-04-04 | Reliability Incorporated | Burn-in board loader and unloader |
| ATE82889T1 (de) * | 1987-08-31 | 1992-12-15 | Siemens Ag | Loetkopf zum aufnehmen und ausrichten von bauelementen waehrend des ein- oder ausloetens, insbesondere fuer oberflaechenmontierbare bauelemente (smd). |
| US5127692A (en) * | 1987-10-20 | 1992-07-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Article gripping apparatus |
| JP2635658B2 (ja) * | 1988-02-29 | 1997-07-30 | 株式会社東芝 | 部品位置決め搬送ヘッド及びそのヘッドを用いた部品搬送方法 |
| US5018937A (en) * | 1988-10-05 | 1991-05-28 | Grumman Aerospace Corporation | Shearclip-handling tool |
| US4883300A (en) * | 1988-10-13 | 1989-11-28 | Intelmatec Corporation | End effector for IC chip handling |
| DE8904031U1 (de) * | 1989-04-01 | 1989-05-18 | SES Electronics GmbH, 8860 Nördlingen | Bestückkopf |
| JPH085249Y2 (ja) * | 1989-09-29 | 1996-02-14 | 東陶機器株式会社 | シャワールームの天井構造 |
| JPH0810131Y2 (ja) * | 1989-09-29 | 1996-03-27 | 東陶機器株式会社 | シャワールーム |
| JPH0393562U (de) * | 1990-01-16 | 1991-09-24 | ||
| GB9006037D0 (en) * | 1990-03-16 | 1990-05-09 | Emhart Deutschland | Tool exchange system for hybrid die bonder |
| EP0477606A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Saugpipette zum Aufnehmen, Transportieren und Positionieren von Bauelementen |
| JPH04116199U (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-16 | ジユーキ株式会社 | チツプ装着機 |
| JPH0831716B2 (ja) * | 1991-04-18 | 1996-03-27 | ジューキ株式会社 | チップマウンタ |
| DE4211276C2 (de) | 1992-04-03 | 1997-08-28 | Profil Verbindungstechnik Gmbh | Haltevorrichtung zum Halten, Führen und Freigeben eines Fügeteils, wie z.B. einer Mutter |
| US5308237A (en) * | 1992-07-06 | 1994-05-03 | Star Container, Inc. | Container ejection system |
| DE4447620C2 (de) * | 1994-06-10 | 2003-01-23 | Profil Verbindungstechnik Gmbh | Haltefinger und Setzkopf mit mehreren solchen Haltefingern |
| US5458388A (en) * | 1994-08-03 | 1995-10-17 | Universal Instruments Incorporated | Replaceable nozzle tip with vacuum actuated mechanical gripping fingers |
| US5533253A (en) * | 1994-09-20 | 1996-07-09 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting an air-core coil |
| US5697658A (en) * | 1995-05-05 | 1997-12-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Centering apparatus for component mounting device |
| JP3796089B2 (ja) * | 2000-02-14 | 2006-07-12 | 新光電気工業株式会社 | 薄板の位置決め装置 |
| EP1233442B1 (de) * | 2001-02-20 | 2009-10-14 | Harmotec Corporation | Kontaktlose Transportvorrichtung |
| US6691859B2 (en) * | 2001-12-20 | 2004-02-17 | Autosplice Systems, Inc. | Automatic feeder for strip-supported contacts |
| JP4726472B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2011-07-20 | アピックヤマダ株式会社 | 半導体製造装置および半導体検査システム |
| US9370865B1 (en) * | 2012-05-23 | 2016-06-21 | Western Digital Technologies, Inc. | Flexure based compliance device for use with an assembly device |
| JP6383537B2 (ja) * | 2013-12-10 | 2018-08-29 | 川崎重工業株式会社 | ロボットハンド、ロボット、およびロボットセル |
| CN106716618B (zh) * | 2014-09-30 | 2020-05-12 | 株式会社钟化 | 试样移动载置系统及太阳能电池的制造方法 |
| CN107116550B (zh) * | 2017-03-28 | 2019-12-10 | 徐州德坤电气科技有限公司 | 一种冲压钣金工厂薄平板材分张取码单元的控制方法 |
| CN108942974B (zh) * | 2018-09-29 | 2024-08-13 | 河北盛世天昕电子科技有限公司 | 可定向弹射的物品吸取装置及药品配置系统 |
| CN111360503B (zh) * | 2020-04-15 | 2021-11-09 | 苏州优必隆精密机械有限公司 | 一种阀盖快速装配组件 |
| WO2023027949A1 (en) * | 2021-08-27 | 2023-03-02 | Nimble Robotics, Inc. | End effector for robotic picking and packing |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3676911A (en) * | 1970-11-12 | 1972-07-18 | Frank C Austin | Holding tool |
| US4135630A (en) * | 1977-12-08 | 1979-01-23 | Universal Instruments Corporation | Centering device for automatic placement of chip components in hybrid circuits |
| JPS5537283A (en) * | 1978-09-08 | 1980-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Article shifter |
| GB2034613B (en) * | 1978-11-09 | 1983-01-19 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method and apparatus for mounting electronic components |
| JPS5599795A (en) * | 1979-01-25 | 1980-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device for mounting electronic part |
| JPS55118690A (en) * | 1979-03-05 | 1980-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device for carrying electronic part |
| JPS57138587A (en) * | 1981-02-13 | 1982-08-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Shifter for article |
-
1984
- 1984-03-08 GB GB848406129A patent/GB8406129D0/en active Pending
-
1985
- 1985-03-04 US US06/707,853 patent/US4610473A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-03-06 EP EP85301550A patent/EP0154552A3/de not_active Withdrawn
- 1985-03-07 DE DE8506671U patent/DE8506671U1/de not_active Expired
- 1985-03-07 CA CA000475960A patent/CA1218767A/en not_active Expired
- 1985-03-08 JP JP60047323A patent/JPS618234A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19743211C2 (de) * | 1996-12-02 | 2002-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | Montage/Demontagekopf für ein IC-Montage/Demontagesystem sowie ein IC-Montage/Demontagesystem mit einem derartigen Kopf |
| DE10036081A1 (de) * | 2000-06-09 | 2001-12-20 | Georg Rudolf Sillner | Vorrichtung zum Zentrieren von Bauelementen sowie Fertigungslinie oder -Maschine, beispielsweise Back-End-Line-Maschine mit einer solchen Vorrichtung |
| DE10036081B4 (de) * | 2000-06-09 | 2005-03-10 | Georg Rudolf Sillner | Vorrichtung zum Zentrieren von Bauelementen und deren Verwendung in einer Fertigungslinie oder -Maschine, beispielsweise Back-End-Line-Maschine |
| DE102008045257A1 (de) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | Rena Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Substraten |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0154552A3 (de) | 1987-05-27 |
| JPS618234A (ja) | 1986-01-14 |
| CA1218767A (en) | 1987-03-03 |
| US4610473A (en) | 1986-09-09 |
| GB8406129D0 (en) | 1984-04-11 |
| EP0154552A2 (de) | 1985-09-11 |
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