DE68925117T2

DE68925117T2 - Insbesondere für temperaturmessung gedachter thermistor und verfahren zur herstellung

Info

Publication number: DE68925117T2
Application number: DE68925117T
Authority: DE
Inventors: Claes-Goeran Agnvall; Per Haellje; Ingvar Hansson; Roy Saaro; Per Silverberg
Original assignee: Astra Tech AB
Current assignee: Astra Tech AB
Priority date: 1988-06-08
Filing date: 1989-06-01
Publication date: 1996-05-15
Anticipated expiration: 2009-06-02
Also published as: DK173364B1; JP2810467B2; WO1989012309A1; SE460810B; ATE131655T1; DK271290A; EP0418302A1; FI102328B1; AU622192B2; FI102328B; US5432375A; KR900702545A; EP0418302B1; SE8802134D0; FI906050A0; AU3762989A; KR970009770B1; JPH03505025A; DE68925117D1; DK271290D0

Description

Technisches Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Thermistor, welcher hauptsächlich zur Temperaturmessung bestimmt ist. Der Termister hat eine einfache Ausbildung und Konstruktion und ist billig in der Herstellung. Die Ausbildung des Thermistors ermöglicht ein effektives Trimmen, um Meßwerte mit großer Präzision anzugeben. Diese Charakteristika machen den erfindungsgemäßen Thermistor für die Verwendung in Einwegprodukten, wie medizinischen Einwegthermometern, besonders geeignet.
Die Erfindung betifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines Thermistors.

Hintergrund der Erfindung

Ein Thermistor ist ein Halbleiter, dessen Widerstandseigenschaften mit der Temperatur variieren. Um die Verwendung der Widerstandseigenschaften des Thermistors zu ermöglichen, ist er mit Kontakten versehen, die an eine elektrische Schaltung angeschlossen werden können. Der Widerstand und die Temperaturempfindlichkeit des Thermistors werden durch die Zusammensetzung des Materials des Halbleiters, die physischen Abmessungen der aktiven Substanz des Thermistors und die Temperatur bestimmt.
Die Tatsache, daß der Widerstand von den physischen Abmessungen des Materials des Thermistors abhängig ist, ermöglicht die Regulierung des Ohmwerts des Thermistors durch das Entfernen oder Abtrimmen eines Teils des Materials. Der Widerstand des Thermistors wird auch durch den Bereich der Kontaktflächen des Thermistormaterials bestimmt, was bedeutet, daß der Ohmwert des Thermistors durch das Entfernen oder Abtrimmen eines Teils der Kontaktfläche auf dem Material des Thermistors eingestellt werden kann.
Es sind verschiedene Thermistor-Typen bekannt. In der GB-A-1 470 630 ist ein durch ein Dickfilmverfahren hergestellter Thermistor beschrieben. Eine erste Kontaktmaterial-Schicht wird auf einer Substratplatte durch Siebdruck aufgebracht, um eine Reihe von Elektrodenpaaren zu bilden. Nach dem Brennen wird eine zweite Thermistormaterial-Schicht auf die erste gedruckt, um eine Thermistorplatte über dem Elektrodenpaar zu bilden. Nach dem erneuten Brennen wird der Thermistor getrimmt, indem ein Teil des Materials mit Hilfe eines Lasers entfernt wird. Die Substratplatte wird in einzelne Thermistorelemente geteilt und in einer Schutzschicht aus einem geeigneten Material eingekapselt.
Die GB-A-1 287 930 beschreibt einen Thermistor, der aus einer ersten Schicht aus Kontaktmaterial, einer zweiten Schicht aus Thermistormaterial, welche die erste Schicht vollständig einkapselt, und zwei Elektrodenflächen besteht, die auf der Thermistorschicht parallel angeordnet sind.
Die GB-A-1 226 789 zeigt einen ähnlichen, auf einer Substratplatte angeordneten Thermistor, der aus einer Thermistorplatte zwischen einer unteren und einer oberen Elektrodenfläche besteht. Die Elektrodenflächen sind in entgegengesetzten Richtungen auf der Substratplatte verlängert, um Kontaktflächen zur Verbindung mit einer elektrischen Schaltung zu bilden.
Keiner der bisher bekannten Thermistoren ist ausgebildet, um einfach und sehr flexibel an verschiedene Verwendungsgebiete angepaßt zu werden, wobei die Möglichkeit einer hohen Präzision mit Hilfe einer exakten Trimmung beibehalten wird. Dies ist für die Produktion und Trimmung der Thermistoren bei ausreichend niedrigen Kosten wesentlich, um als Einwegprodukte, wie Einwegthermometer, verwendbar zu sein.

Zusammenfassung der Erfindung

Daher ist es das Ziel der vorliegenden Erfindung, einen Thermistor herzustellen, welcher spezifisch für eine Temperaturmessung ausgebildet und für eine Einwegverwendung geeignet ist, während er eine hohe Genauigkeit und Anwendungsflexibilität aufweist.
Daher muß der Thermistor, trotz der strengen Anforderungen hinsichtlich der Genauigkeit, sehr effizient mit einem hohen Automatisierungsgrad und einer hohen Produktionsrate herstellbar sein. Der absolute Widerstand des Thermistors muß sehr flexibel modifiziert werden können, um zu ermöglichen, daß die Thermistoren in verschiedenen Temperaturbereichen funktionieren, wobei dasselbe rationelle Herstellungsverfahren und Trimmverfahren beibehalten wird.
Die vorliegende Erfindung erfüllt diese Zwecke durch die Ausbildung eines Thermistors, der durch die im Kennzeichenteil des beigeschlossenen Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gekennzeichnet ist.
Das Verfahren, durch welches der Thermistor hergestellt wird, ist gemäß der Erfindung durch die im Kennzeichenteil von Anspruch 13 angegebenen Schritte gekennzeichnet.
Weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung von Aus führungs formen der Erfindung und aus den rückbezogenen Ansprüchen hervor.
Die Ausbildung des Thermistors mit zwei oder mehreren Thermistorplatten, die durch einen Spalt getrennt und innerhalb eines begrenzten Bereichs auf dem Träger in Serie verbunden sind, impliziert den Vorteil, daß der gesamte Widerstand des Thermistors von einem sehr hohen Maximalwert zu einem niedrigen Minimalwert geändert werden kann, indem einfach die Position des Spalts bzw. der Spalte am Träger geändert wird. Der Teilwiderstand jeder Thermistorplatte ist umgekehrt proportional zum Bereich, und der gesamte Widerstand des Thermistors ist die Summe der Teilwiderstände der in Serie verbundenen Thermistorplatten. Je höher die Größendifferenz zwischen den Thermistorplatten ist, d.h. je weiter auswärts zu den Rändern des begrenzten Bereichs hin der Spalt angeordnet ist, desto höher ist der gesamte Ohmwert des Thermistors. Der niedrigste Ohmwert wird erhalten, wenn die Thermistorplatten dieselbe Größe haben. Eine weitere Erhöhung des gesamten Widerstands kann dadurch erzielt werden, daß der Thermistor mit mehr als zwei Thermistorplatten versehen wird.
Die Größe der oberen Elektrodenflächen wird an die Größe der Thermistorplatten angepaßt, was bedeutet, daß, ungeachtet der Position des Spalts oder der Spalte auf dem Träger, die gesamte obere Elektrodenfläche konstant ist. Diese Tatsache bedeutet, daß der für das Trimmen verfügbare Gesamtbereich trotz Variationen bei der Anordnung des Spalts unverändert bleibt, wodurch die Verwendung desselben effektiven Trimmverfahrens für Thermistoren mit unterschiedlicher Widerstandsleistung ermöglicht wird.
Der Thermistor, wie in den Ansprüchen definiert, kann zur Temperaturmessung in verschiedenen Temperaturbereichen verwendet werden. Diese Charakteristika verleihen dem Thermistor Flexibilität und ermöglichen eine Erweiterung seines Anwendungsgebiets durch eine einfache Änderung im Herstellungsverfahren, beispielsweise durch die Änderung des Siebs in einem Siebdruckverfahren, wobei dasselbe effektive Herstellungsverfahren und eine hohe Genauigkeit beibehalten werden.
Noch ein weiterer Vorteil des Thermistors gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Möglichkeit der Auswahl der oberen Elektrodenfläche(n), auf welcher (welchen) der Thermistor zu trimmen ist, in Abhängigkeit von der erforderlichen Genauigkeit des Thermistors. Beispielsweise ist bei einem Thermistor mit zwei Thermistorplatten mit oberen Elektrodenflächen, von denen eine größer ist als die andere, der Effekt der Trimmung der einen Fläche vom Effekt der Trimmung der anderen Fläche verschieden, d.h. die perzentuelle Änderung des Widerstands variiert in Abhängigkeit davon, auf welcher Fläche getrimmt wird. Wenn die größere Fläche getrimmt wird, wird die Präzision größer. Wenn eine hohe Präzision erforderlich ist, kann die kleinere Fläche vorzugsweise grobgetrimmt werden, und die größere Fläche kann feingetrimmt werden. Wenn die kleinere Fläche getrimmt wird, wird stattdessen die Trimmgeschwindigkeit erhöht, was bedeutet, daß eine Grobtrimmung der größeren Fläche und Feintrimmung der kleineren zu einer rascheren, jedoch weniger genauen Trimmung führt. Auch andere Kombinationen der Trimmung sind im Umfang der Erfindung möglich, wie nur eine Trimmung in einer der Flächen oder mehrere Trimmungen in nur einer Fläche.
Die Verbindung des Thermistors mit einer elektrischen Schaltung wird durch das direkte Verbinden elektrischer Leiter mit den Elektrodenflächen oder mit speziellen Kontaktflächen erzielt, die mit den Elektrodenflächen verbunden sind. Die Leiter können auf verschiedene Weise mit der Elektrodenfläche/den Kontaktflächen verbunden werden, wie durch Kleben, Löten, Bonden oder durch einen Federkontakt. Die speziellen Kontaktflächen sind derart verlängert, daß sie mit den Thermistorplatten in keinem direkten Kontakt stehen, was den Vorteil hat, daß das Risiko des Erhitzens des Thermistormaterials und daher des Anderns der Eigenschaften des Materials, wenn die Leiter beispielsweise durch Löten verbunden werden, reduziert wird.

Kurze Beschreibung der Zeichungen

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und Modifikationen hievon werden nachstehend mit Bezugnahme auf die beigeschlossenen Zeichungen detaillierter beschrieben, in denen:
- Fig.1 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform eines Thermistors vor der Trimmung zeigt,
- Fig.2a bis e verschiedene Schichten des Thermistors in der Ausführungsform gemäß Fig.1 zeigen;
- Fig.3 eine Reihe von Thermistoren gemäß Fig.1 auf einer Substratplatte 1 zeigt,
- Fig.4a eine zweite Ausführungsform des Thermistors zeigt, und
- Fig.4b einen Schnitt des Thermistors gemäß Fig.4a zeigt,
- Fig.5a und b auf die gleiche Weise wie in Fig.4a und b eine dritte Ausführungsform des Thermistors zeigen, bevor er mit Trimmschnitten und einer Polymer-Schutzschicht versehen wurde,
- Fig.6a und b auf die gleiche Weise wie in Fig.4a und b eine vierte Ausführungsform des Thermistors zeigen, und
- Fig.7a und b auf die gleiche Weise wie in Fig.4a und b eine fünfte Ausführungsform des Thermistors ohne Trimmschnitte und Polymerschicht zeigen.

Detaillierte Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung

Fig.1 zeigt einen erfindungsgemäßen Thermistor, der vorzugsweise durch ein Dickfilmverfahren hergestellt wird. Auf einer nicht-leitenden Substratplatte (8), siehe Fig.3, vorzugsweise aus Aluminiumoxid, mit Kerben für ungefähr 200 Träger (10) wird eine erste Schicht aus einem leitfähigen Kontaktmaterial durch ein Siebdruckverfahren aufgebracht, die eine erste Elektrodenfläche (12) oder einen unteren Leiter auf jedem Träger (10) bildet, der in Fig.2a deutlicher gezeigt ist. Die Substratplatte wird getrocknet, um das Lösungsmittel im Druck zu entfernen, wonach ein Brennen in einem Bandofen stattfindet.
Fig.2b zeigt den Träger (10) mit einer zweiten durch Siebdruck aufgedruckten Schicht aus Thermistorpaste, die zwei getrennte Thermistorplatten (14, 16) bildet, zwischen denen ein offener Spalt (18) gebildet ist. Der Flächenbereich der Thermistorplatten (14, 16) ist derart definiert, daß die äußeren Ränder der Platten (20) außerhalb der äußeren Ränder (22) der ersten Elektrodenfläche liegen, mit Ausnahme des Spalts (18) zwischen den Platten. Die Substratplatte mit zwei Schichten aus Kontakt- und Thermistormaterial wird dann erneut getrocknet.
Fig.2c (siehe auch Fig.1) zeigt, wie eine zusätzliche Schicht aus leitfähigem Kontaktmaterial auf die Substratplatte durch Siebdruck aufgedruckt wurde, so daß eine zweite Elektrodenplatte (24, 26) auf jeder Thermistorplatte (14, 16) gebildet wird, wobei diese Elektrodenflächen den oberen Leiter bilden. Diese Elektrodenflächen (24, 26) sind derart ausgebildet, daß ihre äußeren Konturen (28) innerhalb der äußeren Ränder (20) der Thermistorplatten liegen, mit Ausnahme eines Teils jeder Elektrode, der über die Thermistorplatte (14, 16) hinaus verlängert ist und dort eine Kontaktfläche (30, 32) bildet, die mit dem Träger (10) in direktem Kontakt steht.
Um einen Kurzschluß zwischen den Elektrodenflächen zu verhindern, d.h. zwischen dem unteren und oberen Leiter, ist es wesentlich, daß der obere Leiter (24, 26) eine kleinere Fläche aufweist als die Thermistorplatten (14, 16), und daß die Thermistorplatten (14, 16) größer sind als der untere Leiter (12).
Nun wird die Substratplatte erneut getrocknet und in einem Bandofen gebrannt.
Die Einstellung der Widerstände der Thermistoren wird durch Trimmung der oberen Elektrodenfläche (24, 26) des Thermistors erzielt, siehe Fig.2d. Die Trimmung wird vorzugsweise in zwei Stufen durchgeführt, einer Grobtrimmung und einer Feintrimmung. In der in Fig.1 und 2 gezeigten Ausführungsform des Thermistors wurde eine Grobtrimmung (34) in einer (24) der beiden oberen Elektrodenflächen, vorzugsweise in der kleineren, durchgeführt, und eine Feintrimmung (36) wurde in der anderen Elektrodenfläche (26), d.h. der größeren, vorgenommen.
Fig.2d zeigt, wie Teile der beiden oberen Elektrodenflächen durch eine Grobtrimmung (34) in Form einer Reihe von Schnitten und eine Feintrimmung (36) in Form einer Reihe von Trimmlöchern entfernt wurden.
Nach der Vollendung der Trimmung wird der Thermistor, mit Ausnahme der Kontaktflächen (30, 32), mit einer Polymerschicht (38) durch ein Siebdruckverfahren beschichtet, was zum Schutz des Thermistors beiträgt, und insbesondere seiner Alterung entgegenwirkt. Die Polymer-Schutzschicht ist in Fig.2e gezeigt.
Fig.4a und 4b zeigen einen Thermistor mit einer alternativen Ausführungsform der Anordnung der Kontaktflächen (30, 32). Auf den oberen Elektrodenflächen (24, 26) befindet sich eine Isolierschicht (40), in der sich eine Öffnung (42, 44) zu jeder der beiden Elektrodenflächen (24, 26) befindet. Auf der lsolierschicht sind zwei Kontaktflächen (30, 32) angeordnet, jeweils auf einer Thermistorplatte (14, 16), mit Verbindungen (46, 48) durch die Öffnungen (42, 44) zu den Elektrodenflächen (24, 26). Hier wird die Trimmung durch eine Grobtrimmung (34) der größeren Elektrodenfläche und feine Trimmlöcher (36) in der kleineren Elektrodenfläche erzielt.
Fig.5a und b zeigen eine Ausführungsform des Thermistors mit mehr als zwei, nämlich vier, Thermistorplatten. Der Träger (10) ist mit zwei unteren Elektrodenflächen (12, 13) versehen, auf denen vier Thermistorplatten (14, 15, 16, 17) in Paaren angeordnet sind. Drei obere Elektrodenflächen (24, 25, 26) sind auf den Thermistorplatten angeordnet, wobei die beiden äußersten (24, 26) mit den beiden Kontaktflächen (30, 32) verbunden sind. Die mittlere obere Elektrodenfläche (25) verbindet die beiden mittleren Thermistorplatten miteinander in Serie.
Fig.6a und b zeigen einen Thermistor mit zwei unteren Elektrodenflächen (12, 13), die von den beiden Thermistorplatten (14, 16) vollständig bedeckt sind. Der Thermistor enthält nur eine obere Elektrodenfläche (24), in der eine Grob- und Feintrimmung durchgeführt werden. Dann wird die gesamte Oberseite des Trägers mit einer Isolierschicht (40) bedeckt. Die beiden Kontaktflächen (30, 32) sind an der Unterseite des Trägers (10) angeordnet und mit den beiden unteren Elektrodenflächen (12, 13) durch Verbindungsöffnungen (42, 44) im Träger (10) verbunden.
Fig.7a und b zeigen eine weitere Ausführungsform des Thermistors, der aus drei Thermistorplatten (14, 15, 16) besteht, die auf drei unteren Elektrodenflächen (11, 12, 13) angeordnet sind. Eine (11) der beiden äußersten dieser drei unteren Elektrodenflächen ist über die Thermistorplatte (14) hinaus verlängert, um eine der beiden Kontaktflächen (30) zu bilden. Die anderen beiden unteren Elektrodenflächen (12, 13) sind verlängert, um mit der Oberseite der entsprechenden benachbarten Thermistorplatte (14, 15) in Kontakt zu gelangen, und bilden dort obere Elektrodenflächen (24, 25), während gleichzeitig die beiden verlängerten Elektrodenflächen dadurch die drei Thermistorplatten (14, 15, 16) in Serie verbinden. Auf der dritten und äußersten Thermistorplatte (16) befindet sich eine dritte obere Elektrodenfläche (26), die außerhalb der Thermistorplatte (16) verlängert ist, um die andere Kontaktfläche (32) zu bilden, die am Träger (10) anliegt.
Die Erfindung ist keineswegs auf die oben angegebenen Ausführungsformen beschränkt, und mehrere Modifikationen sind im Umfang der Ansprüche möglich. Beispielsweise kann die Trimmung in irgendeiner oder mehreren der oberen Elektrodenflächen durchgeführt werden, und der bzw. den Trimmflächen können verschiedene äußere Formen verliehen werden. Die Anzahl von Thermistorplatten kann von zwei aufwärts variieren. Ähnlich kann die Gesamtanzahl von oberen und unteren Elektrodenflächen drei oder mehr sein, um zu ermöglichen, daß die Thermistorplatten in Serie verbunden werden, wobei eine oder mehrere hievon untere Elektrodenflächen sind, und eine oder mehrere obere sind.
Die Elektrodenflächen und die Thermistorplatten können auf dem Träger in anderen Formen als quadratisch und rechteckig verkörpert sein. Beispielsweise können sie eine Kreisform aufweisen, so daß die Thermistorplatten und die Elektrodenflächen aus konzentrischen Kreisen mit einem oder mehreren kreisförmigen Spalten dazwischen bestehen.

Claims

1. Thermistor, welcher vorzugsweise zur Temperaturmessung bestimmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß er zumindest zwei Thermistorplatten (14-17) auf einem Träger (10) aufweist, die einander benachbart angeordnet und in Serie miteinander verbunden sind, wobei die Platten durch einen vorzugsweise länglichen Spalt (18) voneinander getrennt sind, welcher Thermistor weiters drei oder mehr Elektrodenflächen (12-13, 24-26) aufweist, von denen eine oder mehrere untere Elektrodenflächen (12, 13) zwischen dem Träger (10) und den Thermistorplatten (14-17) angeordnet sind, und eine oder mehrere obere Elektrodenflächen (24-26) auf den Thermistorplatten (14-17) angeordnet sind, wobei die Thermistorplatten durch eine oder mehrere der Elektrodenflächen in Serie miteinander verbunden sind, und wobei die Thermistorplatten (14-17) innerhalb eines begrenzten Bereichs auf dem Träger (10) derart angeordnet sind, daß für einen vorherbestimmten maximalen Gesamtbereich der Thermistorplatten (14-17) der gesamte Widerstand des Thermistors durch die Größe jeder einzelnen Thermistorfläche bestimmt ist, die durch die Position des bzw. der Spalte (18) auf dem Träger innerhalb des begrenzten Bereichs des Trägers (10) bestimmt ist, wobei die oberen Elektrodenflächen (24-26) für eine Einstellung des Ohmwerts des Thermistors getrimmt sind.

2. Thermistor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei der Elektrodenflächen (12-13, 24-26) jeweils mit einer entsprechenden Kontaktfläche (30, 32) verbunden sind, die nicht in direktem Kontakt mit den Thermistorplatten (14-17) stehen, wobei diese Kontaktflächen zur Verbindung mit einer elektrischen Schaltung bestimmt sind.

3. Thermistor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß er eine untere Elektrodenfläche (12), die auf dem Träger (10) angeordnet ist, zwei Thermistorplatten (14, 16), die auf der unteren Elektrodenfläche (12) angeordnet sind, und zwei obere Elektrodenflächen (24, 26) aufweist, die jeweils auf einer entsprechenden Thermistorplatte (14, 16) angeordnet sind, wobei die oberen Elektrodenflächen (24, 26) derart ausgebildet sind, daß ihre Außenkonturen innerhalb der Außenränder (20) der Thermistorplatten liegen, mit Ausnahme eines Teils der oberen Elektroden (24, 26), der sich über die Thermistorplatte hinaus erstreckt, um die Kontaktflächen (30, 32) zu bilden.

4. Thermistor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktflächen (30, 32) eingerichtet sind, um mit dem Träger (10) in direktem Kontakt zu stehen.

5. Thermistor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Außenränder (22) der unteren Elektrodenfläche innerhalb der und benachbart den Außenrändern (20) der Thermistorplatten angeordnet sind, mit Ausnahme des Spalts (18) zwischen den Platten, und auch, daß die Außenränder (28) der oberen Elektrodenflächen hauptsächlich benachbart den und innerhalb der Außenränder (20) der Thermistorplatten angeordnet sind.

6. Thermistor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er durch ein Dickfilm-Siebdruckverfahren hergestellt wurde.

7. Thermistor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (10) aus einer nicht-leitfähigen Substratplatte aus Aluminiumoxid besteht.

8. Thermistor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Isolierschicht (40) auf den oberen Elektrodenflächen (24, 26) angeordnet ist, in welcher Schicht zwei Öffnungen (42, 44) für eine Verbindung (46, 48) mit den oberen Elektrodenflächen (24, 26) der beiden Kontaktflächen (30, 32) ausgeführt sind, die auf der Isolierschicht (40) angeordnet sind.

9. Thermistor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine (16) der Thermistorplatten größer ist als die andere (14), und daß die entsprechende obere Elektrodenfläche (26) auch größer ist als die andere (24).

10. Thermistor nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine Grobtrimmung (34) auf der einen oberen Elektrodenfläche, vorzugsweise der kleineren (24), durchgeführt wurde, und eine Feintrimmung (36) auf der anderen oberen Elektrodenfläche (26) durchgeführt wurde.

11. Thermistor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Thermistorplatten (14, 16) gleich groß sind, und daß auch die beiden oberen Elektrodenflächen (24, 26) gleich groß sind.

12. Thermistor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß er zwei untere Elektrodenflächen (12, 13), die auf dem Träger (10) angeordnet sind, zwei Thermistorplatten (14, 16), die auf den unteren Elektrodenflächen (12, 13) angeordnet sind und diese bedecken, eine obere Elektrodenfläche (24), die auf den Thermistorplatten (14, 16) angeordnet ist, und zwei Kontaktflächen (30, 32) aufweist, die auf der Unterseite des Trägers (10) in bezug auf die unteren Elektrodenflächen angeordnet sind, wobei jede der Kontaktflächen (30, 32) durch Öffnungen (42, 44) im Träger (10) mit einer entsprechenden unteren Elektrodenfläche (12, 13) verbunden ist.

13. Verfahren zur Herstellung eines Thermistors, dadurch gekennzeichnet, daß der Thermistor durch ein Dickfilm-Verfahren hergestellt wird, wobei im Siebdruck auf einem begrenzten Bereich auf einem Träger (10) eine erste Kontaktmaterial-Schicht, um eine oder mehrere untere Elektrodenflächen (12, 13) zu bilden, eine zweite Thermistormaterial-Schicht, um zumindest zwei Thermistorplatten (14-17) zu bilden, die auf den unteren Elektrodenflächen (12, 13) angeordnet und durch einen vorzugsweise länglichen Spalt (18) voneinander getrennt sind, und eine dritte Kontaktmaterial-Schicht aufgedruckt werden, um eine oder mehrere obere Elektrodenflächen (24-26) zu bilden, wobei die Thermistorplatten durch eine oder mehrere der Elektrodenflächen in Serie miteinander verbunden sind, und wobei die Thermistorplatten (14-17) innerhalb des begrenzten Bereichs auf dem Träger (10) derart angeordnet sind, daß für einen vorherbestimmten maximalen Gesamtbereich der Thermistorplatten (14-17) die Größe jeder einzelnen Thermistorfläche variabel ist, indem die Position des bzw. der Spalte (18) auf dem Träger innerhalb des begrenzten Bereichs des Trägers (10) für eine Einstellung des gesamten Widerstands des Thermistors auf verschiedene Werte geändert wird, und die oberen Elektrodenflächen (24-26) für eine Einstellung des Ohmwerts des Thermistors getrimmt werden.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Schichten auf eine Substratplatte (8), die aus einer Anzahl von Trägern (10), vorzugsweise 200, besteht, im Siebdruck aufgedruckt werden.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzliche Polymer-Schutzschicht auf die getrimmten oberen Elektrodenflächen (24-26) im Siebdruck aufgedruckt wird.