JP2810467B2 - 主として温度測定用に意図されたサーミスターおよびサーミスターの製造方法 - Google Patents
主として温度測定用に意図されたサーミスターおよびサーミスターの製造方法Info
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- JP2810467B2 JP2810467B2 JP1506218A JP50621889A JP2810467B2 JP 2810467 B2 JP2810467 B2 JP 2810467B2 JP 1506218 A JP1506218 A JP 1506218A JP 50621889 A JP50621889 A JP 50621889A JP 2810467 B2 JP2810467 B2 JP 2810467B2
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/06—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for coating resistive material on a base
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
- H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
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- Circuits Of Receivers In General (AREA)
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- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は主として温度測定用に意図されたサーミスタ
ーに関する。このサーミスターは設計および構造が簡単
でありかつ製造コストが安価である。このサーミスター
の設計は高い精度で温度を読みとることができるように
効果的にトリミングを行うことができる。これらの特性
により、本発明によるサーミスターは使い捨ての製品、
例えば、使い捨ての医療用温度計に特に好適に使用され
る。
ーに関する。このサーミスターは設計および構造が簡単
でありかつ製造コストが安価である。このサーミスター
の設計は高い精度で温度を読みとることができるように
効果的にトリミングを行うことができる。これらの特性
により、本発明によるサーミスターは使い捨ての製品、
例えば、使い捨ての医療用温度計に特に好適に使用され
る。
本発明は、また、サーミスターの製造方法に関する。
発明の背景 サーミスターは抵抗特性が温度により変化する半導体
である。このサーミスターの抵抗特性を利用できるよう
にするために、サーミスターは電気回路と接続すること
ができる接点を備えている。サーミスターの抵抗および
温度に対する感度は、半導体の材料の組成、サーミスタ
ーの活性物質の物理的寸法および温度により決定され
る。
である。このサーミスターの抵抗特性を利用できるよう
にするために、サーミスターは電気回路と接続すること
ができる接点を備えている。サーミスターの抵抗および
温度に対する感度は、半導体の材料の組成、サーミスタ
ーの活性物質の物理的寸法および温度により決定され
る。
抵抗がサーミスターの材料の物理的寸法に依存すると
いう事実のために、サーミスターの材料を若干除去し、
すなわち、トリミングすることによりサーミスターのオ
ーム値を調整することが可能になる。サーミスターの抵
抗は、また、サーミスター材料上の接触面の面積により
決定され、これはサーミスターの材料上の接触面を若干
除去し、すなわち、トリミングすることによりサーミス
ターのオーム値を調節することができることを意味す
る。
いう事実のために、サーミスターの材料を若干除去し、
すなわち、トリミングすることによりサーミスターのオ
ーム値を調整することが可能になる。サーミスターの抵
抗は、また、サーミスター材料上の接触面の面積により
決定され、これはサーミスターの材料上の接触面を若干
除去し、すなわち、トリミングすることによりサーミス
ターのオーム値を調節することができることを意味す
る。
異なる型式のサーミスターが知られている。英国特許
出願第GB−A−1470630号明細書には、厚膜プロセスに
より製造されたサーミスターが記載されている。接触材
料の第1層が基板にスクリーン印刷により適用され、複
数組の電極を形成する。焼成後、サーミスター材料の第
2層が第1層上に印刷されて電極の組の上にサーミスタ
ープレートが形成される。再焼成後、サーミスター材料
は該材料の一部分をレーザにより除去することによりト
リミングされる。この基板は個々のサーミスター素子に
分割されかつ好適な材料の保護層中に封入される。
出願第GB−A−1470630号明細書には、厚膜プロセスに
より製造されたサーミスターが記載されている。接触材
料の第1層が基板にスクリーン印刷により適用され、複
数組の電極を形成する。焼成後、サーミスター材料の第
2層が第1層上に印刷されて電極の組の上にサーミスタ
ープレートが形成される。再焼成後、サーミスター材料
は該材料の一部分をレーザにより除去することによりト
リミングされる。この基板は個々のサーミスター素子に
分割されかつ好適な材料の保護層中に封入される。
英国特許出願第GB−A−1287930号明細書には、接触
材料の第1層と、第1層を完全に封入したサーミスター
材料の第2層とからなり、二つの電極面がサーミスター
層上に平行に配列されたサーミスターが記載されてい
る。
材料の第1層と、第1層を完全に封入したサーミスター
材料の第2層とからなり、二つの電極面がサーミスター
層上に平行に配列されたサーミスターが記載されてい
る。
英国特許出願第GB−A−1226789号明細書には、下側
電極面と上側電極面との間のサーミスタープレートから
なる基板上に配置された同様なサーミスターが示されて
いる。電極面は基板上で反対の方向に延びて、電気回路
と接続するための接触面を形成している。
電極面と上側電極面との間のサーミスタープレートから
なる基板上に配置された同様なサーミスターが示されて
いる。電極面は基板上で反対の方向に延びて、電気回路
と接続するための接触面を形成している。
従来知られているいかなるサーミスターも正確なトリ
ミングにより高い精度を維持すると共に異なる用途に簡
単にかつ非常に高い融通性をもって適応可能に設計され
ていない。このことはサーミスターを使い捨て製品、例
えば、使い捨て温度計として使用可能にするために十分
に低いコストでサーミスターを生産しかつトリミングす
るために不可欠である。
ミングにより高い精度を維持すると共に異なる用途に簡
単にかつ非常に高い融通性をもって適応可能に設計され
ていない。このことはサーミスターを使い捨て製品、例
えば、使い捨て温度計として使用可能にするために十分
に低いコストでサーミスターを生産しかつトリミングす
るために不可欠である。
発明の要約 したがって、本発明の目的は特に温度を測定するため
に特に設計されかつ使い捨てとして使用するために好適
であると共に、高い精度を有しかつ大きい融通性をもっ
て適用できるサーミスターを製造することである。
に特に設計されかつ使い捨てとして使用するために好適
であると共に、高い精度を有しかつ大きい融通性をもっ
て適用できるサーミスターを製造することである。
それ故に、サーミスターは、精度に関する厳しい必要
条件にもかかわらず、高度の自動化および高い製造速度
により非常に効率的に製造可能でなければならない。サ
ーミスターの絶対抵抗はサーミスターを異なる温度範囲
内で動作可能にするために非常に大きい融通性をもって
変更することができると共に、同じ合理的な製造方法お
よびトリミング手法を実施することができなければなら
ない。
条件にもかかわらず、高度の自動化および高い製造速度
により非常に効率的に製造可能でなければならない。サ
ーミスターの絶対抵抗はサーミスターを異なる温度範囲
内で動作可能にするために非常に大きい融通性をもって
変更することができると共に、同じ合理的な製造方法お
よびトリミング手法を実施することができなければなら
ない。
本発明はキャリヤー上に相互に隣接しかつ直列に接続
された少なくとも2個のサーミスタープレートを備え、
前記サーミスタープレートが好ましくは細長い間隙によ
り相互に離隔され、かつ前記サーミスタープレートの上
面が上側電極面により十分に被覆され、該サーミスター
プレートが該サーミスタープレートの最大の合計面積が
一定に保たれるようにキャリヤー上の限定された領域内
に配置され、一方サーミスターの全抵抗を異なる値に調
節するために各々の個々のサーミスターの表面のサイズ
がキャリヤー上の前記の限定された領域内の間隙の位置
を移動することにより可変であることを特徴とするサー
ミスターの設計によりこれらの目的を達成するものであ
る。
された少なくとも2個のサーミスタープレートを備え、
前記サーミスタープレートが好ましくは細長い間隙によ
り相互に離隔され、かつ前記サーミスタープレートの上
面が上側電極面により十分に被覆され、該サーミスター
プレートが該サーミスタープレートの最大の合計面積が
一定に保たれるようにキャリヤー上の限定された領域内
に配置され、一方サーミスターの全抵抗を異なる値に調
節するために各々の個々のサーミスターの表面のサイズ
がキャリヤー上の前記の限定された領域内の間隙の位置
を移動することにより可変であることを特徴とするサー
ミスターの設計によりこれらの目的を達成するものであ
る。
本発明によるサーミスターの製造方法は、サーミスタ
ーが厚膜プロセス、すなわち、キャリヤーの限定された
領域上に接触材料の第1層をスクリーン印刷して1個ま
たはそれ以上の下側電極面を形成し、サーミスター材料
の第2層をスクリーン印刷して下側電極面上に配置され
かつ好ましくは細長い間隔だけ相互に離隔されたサーミ
スタープレートを形成し、かつ接触材料の第3層をスク
リーン印刷してサーミスタープレートを十分に被覆する
1個またはそれ以上の上側電極面を形成し、前記上側電
極面が所定の抵抗値となるようにトリミング(trimme
d)される方法により製造されることを特徴とするもの
である。
ーが厚膜プロセス、すなわち、キャリヤーの限定された
領域上に接触材料の第1層をスクリーン印刷して1個ま
たはそれ以上の下側電極面を形成し、サーミスター材料
の第2層をスクリーン印刷して下側電極面上に配置され
かつ好ましくは細長い間隔だけ相互に離隔されたサーミ
スタープレートを形成し、かつ接触材料の第3層をスク
リーン印刷してサーミスタープレートを十分に被覆する
1個またはそれ以上の上側電極面を形成し、前記上側電
極面が所定の抵抗値となるようにトリミング(trimme
d)される方法により製造されることを特徴とするもの
である。
本発明の別の有利な特徴は本発明の実施例に関する以
下の説明および請求の範囲から明らかになろう。
下の説明および請求の範囲から明らかになろう。
キャリヤー上の限定された領域内に間隙により離隔さ
れかつ直列に接続された2個またはそれ以上のサーミス
タープレートを有するサーミスターの設計は単にキャリ
ヤー上の間隙の位置を変更することによりサーミスター
の全抵抗を非常に高い最大値から低い最少値まで変更す
ることができる利点が得られることを意味する。各々の
サーミスタープレートの部分抵抗は面積に反比例し、か
つサーミスターの全抵抗は直列に接続されたセーミスタ
ープレートの部分抵抗の合計である。サーミスタープレ
ート間のサイズの差が大きい程、すなわち間隙が限定さ
れた領域が端縁に向かってさらに外方に配置される程、
サーミスターの全抵抗値(オーム値)が高くなる。サー
ミスタープレートのサイズが等しいときに、最も低いオ
ーム値が得られる。サーミスターに2個よりも多数のサ
ーミスタープレートを設けることにより、全抵抗をさら
に高めることができる。
れかつ直列に接続された2個またはそれ以上のサーミス
タープレートを有するサーミスターの設計は単にキャリ
ヤー上の間隙の位置を変更することによりサーミスター
の全抵抗を非常に高い最大値から低い最少値まで変更す
ることができる利点が得られることを意味する。各々の
サーミスタープレートの部分抵抗は面積に反比例し、か
つサーミスターの全抵抗は直列に接続されたセーミスタ
ープレートの部分抵抗の合計である。サーミスタープレ
ート間のサイズの差が大きい程、すなわち間隙が限定さ
れた領域が端縁に向かってさらに外方に配置される程、
サーミスターの全抵抗値(オーム値)が高くなる。サー
ミスタープレートのサイズが等しいときに、最も低いオ
ーム値が得られる。サーミスターに2個よりも多数のサ
ーミスタープレートを設けることにより、全抵抗をさら
に高めることができる。
上側電極面のサイズはサーミスタープレートのサイズ
により調節され、これはキャリヤー上の間隙の位置と関
係無く上側電極面の合計が一定であることを意味する。
これは間隙の位置の変化にもかかわらずトリミングのた
めに利用される総面積が変化せず、それにより異なる抵
抗性能を有するサーミスターのために同じ効果的なトリ
ミング方法を使用できることを意味する。
により調節され、これはキャリヤー上の間隙の位置と関
係無く上側電極面の合計が一定であることを意味する。
これは間隙の位置の変化にもかかわらずトリミングのた
めに利用される総面積が変化せず、それにより異なる抵
抗性能を有するサーミスターのために同じ効果的なトリ
ミング方法を使用できることを意味する。
請求の範囲に記載のサーミスターは異なる温度範囲内
の温度の測定のために使用することができる。これらの
特性はサーミスターに融通性を与えかつ製造方法の簡単
な変更、例えば、スクリーン印刷方法のスクリーンを取
り替えることにより同じ効果的な方法および高い精度を
維持してサーミスターの応用分野を拡げることを可能に
する。
の温度の測定のために使用することができる。これらの
特性はサーミスターに融通性を与えかつ製造方法の簡単
な変更、例えば、スクリーン印刷方法のスクリーンを取
り替えることにより同じ効果的な方法および高い精度を
維持してサーミスターの応用分野を拡げることを可能に
する。
本発明によるサーミスターのさらに別の利点はサーミ
スターの要求された精度の如何によりサーミスターをト
リミングする上側電極面を選択できることである。例え
ば、上側電極面の一方が他方よりも大きい2個のサーミ
スタープレートを有するサーミスターにおいては、一方
の表面をトリミングする効果が他方の表面をトリミング
する効果と異なり、すなわち、抵抗の変化百分率がどち
らの表面をトリミングするかによって変化する。もしも
大きい表面をトリミングすると、精度がより高くなる。
高い精度が要求される場合には、好ましくは小さい表面
を粗くトリミングしかつ大きい表面を緻密にトリミング
することができる。小さい表面がトリミングされるとき
は、トリミング速度が増大し、これは大きい表面を粗く
トリミングしかつ小さい表面を緻密にトリミングする
と、トリミング速度が早くなるがトリミングの精度が低
下することを意味する。トリミングのその他の組合わ
せ、例えば、表面の一方に一回だけトリミングすること
または一方の表面のみに数回トリミングすることも本発
明の範囲内で行うことができる。
スターの要求された精度の如何によりサーミスターをト
リミングする上側電極面を選択できることである。例え
ば、上側電極面の一方が他方よりも大きい2個のサーミ
スタープレートを有するサーミスターにおいては、一方
の表面をトリミングする効果が他方の表面をトリミング
する効果と異なり、すなわち、抵抗の変化百分率がどち
らの表面をトリミングするかによって変化する。もしも
大きい表面をトリミングすると、精度がより高くなる。
高い精度が要求される場合には、好ましくは小さい表面
を粗くトリミングしかつ大きい表面を緻密にトリミング
することができる。小さい表面がトリミングされるとき
は、トリミング速度が増大し、これは大きい表面を粗く
トリミングしかつ小さい表面を緻密にトリミングする
と、トリミング速度が早くなるがトリミングの精度が低
下することを意味する。トリミングのその他の組合わ
せ、例えば、表面の一方に一回だけトリミングすること
または一方の表面のみに数回トリミングすることも本発
明の範囲内で行うことができる。
電気回路とのサーミスターの接続は、電気導体を電極
面に直接に接続しまたは電極面と接続された特殊の接触
面と接続することにより行うことができる。これらの導
体は電極面または接触面に種々の方法、例えば、にかわ
による接着、半田づけ、ボンディングまたはばね接触に
より接続することができる。また、この特殊の接触面は
サーミスタープレートと直接に接触しないように延長さ
れるが、これは導体を例えば半田づけにより接続すると
きにサーミスターの材料が加熱され、その結果材料の性
状が変化するおそれが減少するという利点が得られる。
面に直接に接続しまたは電極面と接続された特殊の接触
面と接続することにより行うことができる。これらの導
体は電極面または接触面に種々の方法、例えば、にかわ
による接着、半田づけ、ボンディングまたはばね接触に
より接続することができる。また、この特殊の接触面は
サーミスタープレートと直接に接触しないように延長さ
れるが、これは導体を例えば半田づけにより接続すると
きにサーミスターの材料が加熱され、その結果材料の性
状が変化するおそれが減少するという利点が得られる。
図面の簡単な説明 本発明の一実施例およびその変型を添付図面について
以下に詳細に説明する。
以下に詳細に説明する。
添付図面において、第1図はトリミング前のサーミス
ターの第1実施例の斜視図を示し、 第2A図ないし第2E図は第1図に示した実施例のサーミ
スターの異なる層を示し、 第3図は基板上の第1図による複数個のサーミスター
を示し、 第4A図はサーミスターの第2実施例を示し、 第4B図は第4A図に示したサーミスターの断面を示し、 第5A図および第5B図は第4A図および第4B図と同様にト
リミングによる切断および重合体保護層による封入を行
う前のサーミスターの第3実施例を示し、 第6A図および第6B図は第4A図および第4B図と同様にサ
ーミスターの第4実施例を示し、 第7A図および第7B図は第4A図および第4B図と同様にト
リミングによる切断および重合体層による封入を行なっ
ていないサーミスターの第5実施例を示す。
ターの第1実施例の斜視図を示し、 第2A図ないし第2E図は第1図に示した実施例のサーミ
スターの異なる層を示し、 第3図は基板上の第1図による複数個のサーミスター
を示し、 第4A図はサーミスターの第2実施例を示し、 第4B図は第4A図に示したサーミスターの断面を示し、 第5A図および第5B図は第4A図および第4B図と同様にト
リミングによる切断および重合体保護層による封入を行
う前のサーミスターの第3実施例を示し、 第6A図および第6B図は第4A図および第4B図と同様にサ
ーミスターの第4実施例を示し、 第7A図および第7B図は第4A図および第4B図と同様にト
リミングによる切断および重合体層による封入を行なっ
ていないサーミスターの第5実施例を示す。
発明の好ましい実施例の詳細な説明 第1図は厚膜プロセスにより好ましくは製造された本
発明によるサーミスターを示す。切欠部により約200個
のキャリヤー(10)を有するようにした好ましくは酸化
アルミニウムにより構成された不導体の基板(8)(第
3図参照)上に導電性の接触材料の第1層がスクリーン
印刷方法により適用され、各々のキャリヤー(10)上に
第1電極面(12)、すなわち、下部導体が形成される。
これは第2A図にさらに明瞭に示されている。基板(8)
を乾燥させ、印刷の溶剤を除去しその後ベルト炉内で焼
成が行われる。
発明によるサーミスターを示す。切欠部により約200個
のキャリヤー(10)を有するようにした好ましくは酸化
アルミニウムにより構成された不導体の基板(8)(第
3図参照)上に導電性の接触材料の第1層がスクリーン
印刷方法により適用され、各々のキャリヤー(10)上に
第1電極面(12)、すなわち、下部導体が形成される。
これは第2A図にさらに明瞭に示されている。基板(8)
を乾燥させ、印刷の溶剤を除去しその後ベルト炉内で焼
成が行われる。
第2B図はサーミスターペーストのスクリーン印刷され
た第2層を有するキャリヤー(10)を示し、2個の別個
のサーミスタープレート(14,16)を構成し、サーミス
タープレート(14,16)の間に開口した間隙(18)が形
成されている。サーミスタープレート(14,16)の表面
積はサーミスタープレート(14,16)の間の間隙(18)
以外のプレート(20)の外縁が第1電極面の外縁(22)
の外側に配置されるように画定される。接触およびサー
ミスター材料の二つの層を有する基板(8)は再び乾燥
される。
た第2層を有するキャリヤー(10)を示し、2個の別個
のサーミスタープレート(14,16)を構成し、サーミス
タープレート(14,16)の間に開口した間隙(18)が形
成されている。サーミスタープレート(14,16)の表面
積はサーミスタープレート(14,16)の間の間隙(18)
以外のプレート(20)の外縁が第1電極面の外縁(22)
の外側に配置されるように画定される。接触およびサー
ミスター材料の二つの層を有する基板(8)は再び乾燥
される。
第2C図(第1図をも参照)は基板(8)上に導電性の
接触材料の追加的な層がスクリーン印刷されそれにより
サーミスタープレート(14,16)の各々の上に第2電極
プレート(24,26)を形成し、これらの電極面が上側導
体を構成する方法を示す。これらの電極面(24,26)
は、その外側の輪郭(28)がサーミスタープレート(1
4,16)の外縁(20)の内側に配置され、ただしキャリヤ
ー(10)と直接に接触する接触面(30,32)を構成する
各々の電極の一部分だけは、サーミスタープレート(1
4,16)を越えて延びるように設計されている。
接触材料の追加的な層がスクリーン印刷されそれにより
サーミスタープレート(14,16)の各々の上に第2電極
プレート(24,26)を形成し、これらの電極面が上側導
体を構成する方法を示す。これらの電極面(24,26)
は、その外側の輪郭(28)がサーミスタープレート(1
4,16)の外縁(20)の内側に配置され、ただしキャリヤ
ー(10)と直接に接触する接触面(30,32)を構成する
各々の電極の一部分だけは、サーミスタープレート(1
4,16)を越えて延びるように設計されている。
電極面の間の、すなわち、下側導体(12)と上側導体
(24,26)との間の短絡を防止するために、上側導体(2
4,26)の面積をサーミスタープレート(14,16)の面積
よりも小さくしかつサーミスタープレート(14,16)の
面積を下側導体(12)の面積よりも大きくすることが不
可欠である。
(24,26)との間の短絡を防止するために、上側導体(2
4,26)の面積をサーミスタープレート(14,16)の面積
よりも小さくしかつサーミスタープレート(14,16)の
面積を下側導体(12)の面積よりも大きくすることが不
可欠である。
ここで、基板を再び乾燥させかつベルト炉内で焼成す
る。
る。
サーミスターの抵抗の調節はサーミスターの上側電極
面(24,26)をトリミングすることにより行われる。
(第2D図参照)トリミングは2段階、すなわち、粗トリ
ミングおよび精密トリミングにより行われることが好ま
しい。第1図及び第2図に示したサーミスターの実施例
においては、粗トリミング(34)が2個の上側電極面の
一方(24)、好ましくは小さい電極面で行われ、精密ト
リミング(36)が他方の電極面(26)、すなわち、大き
い電極面で行われている。
面(24,26)をトリミングすることにより行われる。
(第2D図参照)トリミングは2段階、すなわち、粗トリ
ミングおよび精密トリミングにより行われることが好ま
しい。第1図及び第2図に示したサーミスターの実施例
においては、粗トリミング(34)が2個の上側電極面の
一方(24)、好ましくは小さい電極面で行われ、精密ト
リミング(36)が他方の電極面(26)、すなわち、大き
い電極面で行われている。
第2D図は2個の上側の電極面が複数個の切込み形状の
粗トリミング(34)および複数個のトリミング穴の形状
の精密トリミング(36)により部分的に除去される方法
を示す。
粗トリミング(34)および複数個のトリミング穴の形状
の精密トリミング(36)により部分的に除去される方法
を示す。
トリミング完了後、接触面(30,32)以外のサーミス
ターはスクリーン印刷方法により重合体層(38)により
被覆される。この被覆はサーミスターを保護する助けを
し、特にサーミスターの老化から保護する。重合体の保
護層は第2E図に示してある。
ターはスクリーン印刷方法により重合体層(38)により
被覆される。この被覆はサーミスターを保護する助けを
し、特にサーミスターの老化から保護する。重合体の保
護層は第2E図に示してある。
第4A図および第4B図は接触面(30,32)の配置につい
て別の実施例のサーミスターを示す。上側電極面(24,2
6)上には絶縁層(40)が配置されており、絶縁層(4
0)には、2個の電極面(24,26)の各々に対応する位置
に開口部(42,44)が形成されている。絶縁層(40)上
には、2個の接触面(30,32)が配置されている。サー
ミスタープレート(14,16)上の各々の接触面(30,32)
は開口部(42,44)を通して延びる接続部(46,48)によ
り電極面(24,26)と接続されている。この場合のトリ
ミングは、大きい電極面の粗トリミング(34)および小
さい電極面の精密トリミング穴(36)により行われる。
て別の実施例のサーミスターを示す。上側電極面(24,2
6)上には絶縁層(40)が配置されており、絶縁層(4
0)には、2個の電極面(24,26)の各々に対応する位置
に開口部(42,44)が形成されている。絶縁層(40)上
には、2個の接触面(30,32)が配置されている。サー
ミスタープレート(14,16)上の各々の接触面(30,32)
は開口部(42,44)を通して延びる接続部(46,48)によ
り電極面(24,26)と接続されている。この場合のトリ
ミングは、大きい電極面の粗トリミング(34)および小
さい電極面の精密トリミング穴(36)により行われる。
第5A図および第5B図は2個よりも多数、実際には4個
のサーミスタープレートを有するサーミスターの一実施
例を示す。キャリヤー(10)は2個の下側電極面(12,1
3)を備えている。電極面(12,13)上には、4個のサー
ミスタープレート(14,15,16,17)が組をなして配置さ
れている。サーミスタープレート(14,15,16,17)上に
は、3個の上側電極面(24,25,26)が配置されている。
2個の最も外側の電極面(24,26)は2つの接触面(30,
32)と接続されている。真中の上側電極面(25)は2個
の中間のサーミスタープレート(15,16)を一緒に直列
に接続している。
のサーミスタープレートを有するサーミスターの一実施
例を示す。キャリヤー(10)は2個の下側電極面(12,1
3)を備えている。電極面(12,13)上には、4個のサー
ミスタープレート(14,15,16,17)が組をなして配置さ
れている。サーミスタープレート(14,15,16,17)上に
は、3個の上側電極面(24,25,26)が配置されている。
2個の最も外側の電極面(24,26)は2つの接触面(30,
32)と接続されている。真中の上側電極面(25)は2個
の中間のサーミスタープレート(15,16)を一緒に直列
に接続している。
第6A図および第6B図は2個のサーミスタープレート
(14,16)により完全に被覆された2個の下側電極(12,
13)を備えたサーミスターを示す。このサーミスターは
粗トリミングおよび精密トリミングが実施された1個の
上側電極面(24)のみを含む。その後、キャリヤー(1
0)の上側部分全体は絶縁層(40)により被覆される。
キャリヤー(10)の下側には、2個の接触面(30,32)
が配置されかつキャリヤー(10)に形成された接続用開
口部(42,44)を介して2個の下側電極面(12,13)と接
続されている。
(14,16)により完全に被覆された2個の下側電極(12,
13)を備えたサーミスターを示す。このサーミスターは
粗トリミングおよび精密トリミングが実施された1個の
上側電極面(24)のみを含む。その後、キャリヤー(1
0)の上側部分全体は絶縁層(40)により被覆される。
キャリヤー(10)の下側には、2個の接触面(30,32)
が配置されかつキャリヤー(10)に形成された接続用開
口部(42,44)を介して2個の下側電極面(12,13)と接
続されている。
第7A図および第7B図は3個の下側電極面(11,12,13)
上に配置された3個のサーミスタープレート(14,15,1
6)からなるサーミスターの別の実施例を示す。これら
の3個の下側の電極面の最も外側の2個の電極面の一方
(11)はサーミスタープレート(14)を越えて延びて2
個の電極面(30)の一方を形成している。その他の2個
の下側電極面(12,13)はそれぞれの隣接したサーミス
タープレート(14,15)の上側部と接触するように延び
て上側電極面(24,25)を形成し、一方同時に2個の延
長した電極面(24,25)はこれにより3個のサーミスタ
ープレート(14,15,16)を直列に接続している。第3の
最も外側のサーミスタープレート(16)上には、第3上
側電極面(26)が形成されている。第3上側電極面(2
6)はサーミスタープレート(16)の外側に延びてキャ
リヤー(10)上に変えられた他方の接触面(32)を形成
している。
上に配置された3個のサーミスタープレート(14,15,1
6)からなるサーミスターの別の実施例を示す。これら
の3個の下側の電極面の最も外側の2個の電極面の一方
(11)はサーミスタープレート(14)を越えて延びて2
個の電極面(30)の一方を形成している。その他の2個
の下側電極面(12,13)はそれぞれの隣接したサーミス
タープレート(14,15)の上側部と接触するように延び
て上側電極面(24,25)を形成し、一方同時に2個の延
長した電極面(24,25)はこれにより3個のサーミスタ
ープレート(14,15,16)を直列に接続している。第3の
最も外側のサーミスタープレート(16)上には、第3上
側電極面(26)が形成されている。第3上側電極面(2
6)はサーミスタープレート(16)の外側に延びてキャ
リヤー(10)上に変えられた他方の接触面(32)を形成
している。
本発明は前述した実施例に限定されるものではなく、
請求の範囲に記載の範囲内でいくつかの変型が思いつか
れよう。例えば、上側電極面の任意の1個または数個に
トリミングを行うことができ、かつトリミング面を異な
る外形に仕上げることができる。サーミスタープレート
の数を2個以上に変えることができる。同様に、上側電
極面および下側電極面の数は、3個またはそれ以上にす
ることによりサーミスタープレートを直列に接続して該
電極面の1個またはそれ以上が下側電極面を構成しかつ
該電極面の1個またはそれ以上が上側電極面を構成する
ことができるようにすることができる。
請求の範囲に記載の範囲内でいくつかの変型が思いつか
れよう。例えば、上側電極面の任意の1個または数個に
トリミングを行うことができ、かつトリミング面を異な
る外形に仕上げることができる。サーミスタープレート
の数を2個以上に変えることができる。同様に、上側電
極面および下側電極面の数は、3個またはそれ以上にす
ることによりサーミスタープレートを直列に接続して該
電極面の1個またはそれ以上が下側電極面を構成しかつ
該電極面の1個またはそれ以上が上側電極面を構成する
ことができるようにすることができる。
電極面およびサーミスタープレートは正方形および長
方形以外の形状のキャリヤー上に形成することができ
る。電極面およびサーミスタープレートは、例えば、こ
れらが間に1個またはそれ以上の間隙を有する同心円か
ら構成されるように、円形に形成することができる。
方形以外の形状のキャリヤー上に形成することができ
る。電極面およびサーミスタープレートは、例えば、こ
れらが間に1個またはそれ以上の間隙を有する同心円か
ら構成されるように、円形に形成することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 サールウ,ルーイ スウエーデン国エス―222 42 ルンド. スカープシツテ ヴエイエン 4セー (72)発明者 シルヴエルベルイ,ペル スウエーデン国エス―222 53 ルンド. フオーイエル フンツヴエイエン59 (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01C 7/02 - 7/22
Claims (18)
- 【請求項1】温度測定のためのサーミスターであって、
該サーミスターがキャリヤー(10)上に相互に隣接しか
つ直列に接続された少なくとも2個のサーミスタープレ
ート(14〜17)を備え、前記サーミスタープレートは、
間隙(18)により相互に離隔されかつ前記サーミスター
プレートの上面が上側電極面(24〜26)により十分に被
覆され、該サーミスタープレート(14〜17)は該サーミ
スタープレート(14〜17)の最大の合計面積が一定に保
たれるようにキャリヤー(10)上の限定された領域内に
配置され、一方サーミスターの全抵抗を異なる値に調節
するために各々の個々のサーミスターの表面のサイズが
キャリヤー(10)の前記の限定された領域内の間隙(1
8)の位置を移動することにより可変であることを特徴
としたサーミスター。 - 【請求項2】前記間隙(18)は細長い間隙であることを
特徴とした請求項1に記載のサーミスター。 - 【請求項3】サーミスターが3個またはそれ以上の電極
面(12〜13,24〜26)を備え、該電極面のうちの1個ま
たはそれ以上の下側電極面(12,13)がキャリヤー(1
0)とサーミスタープレート(14〜17)との間に配置さ
れかつ1個またはそれ以上の上側電極面(24〜26)がサ
ーミスタープレート(14〜17)上に配置され、前記上側
電極面(24〜26)がサーミスターの所定の抵抗が得られ
るようにトリミングされたことを特徴とする請求項1又
は2に記載のサーミスター。 - 【請求項4】電極面(12〜13,24〜26)のうちの2個の
電極面の各々がサーミスタープレート(14〜17)と直接
に接触しないでそれら自体の接触面(30,32)と接続さ
れ、これらの接触面が電気回路と接続されるようになっ
ていることを特徴とする請求項3に記載のサーミスタ
ー。 - 【請求項5】サーミスターがキャリヤー(10)上に配置
された下側電極面(12)と、下側電極面(12)上に配置
された2個のサーミスタープレート(14,16)と、各々
がサーミスタープレート(14,16)上に配置されかつ該
サーミスタープレートを本質的に被覆した2個の上側電
極面(24,26)とを備えたことを特徴とする請求項4に
記載のサーミスター。 - 【請求項6】2個の上側電極面(24,26)がサーミスタ
ープレート(14,16)を越えて延びてキャリヤー(10)
と直接に接触するようになった接触面(30,32)を形成
することを特徴とする請求項5に記載のサーミスター。 - 【請求項7】下側電極面の外縁(22)がサーミスタープ
レートの間の間隙(18)を除いてサーミスタープレート
の外縁(20)の内側に隣接して配置されかつ上側電極面
の外縁(28)がサーミスタープレートの外縁(20)の内
側に主として隣接して配置されたことを特徴とする請求
項6に記載のサーミスター。 - 【請求項8】サーミスターが厚膜スクリーン印刷方法に
より製造されることを特徴とする請求項1又は2に記載
のサーミスター。 - 【請求項9】キャリヤー(10)が酸化アルミニウムの不
導体の基板からなることを特徴とする請求項1又は2に
記載のサーミスター。 - 【請求項10】上側電極面(24,26)上に絶縁層(40)
が配置され、該絶縁層(40)には該絶縁層上に配置され
た2個の接触面(30,32)を上側電極面(24,26)と接続
するための接続部(46,48)を延在させる2個の開口部
(42,44)が形成されていることを特徴とする請求項5
に記載のサーミスター。 - 【請求項11】サーミスタープレートの一方(16)が他
方(14)よりも大きくかつ対応した上側電極面(26)も
また他方の電極面(24)よりも大きく形成されているこ
とを特徴とする請求項5に記載のサーミスター。 - 【請求項12】上側電極面の一方、好ましくは、小さい
電極面(24)に粗トリミング(34)が行われかつ他方の
上側電極面(26)に精密トリミング(36)が行われるこ
とを特徴とする請求項11に記載のサーミスター。 - 【請求項13】2個のサーミスタープレート(14,16)
のサイズが等しくかつ対応した上側電極面(24,26)の
サイズもまた等しくなっていることを特徴とする請求項
5に記載のサーミスター。 - 【請求項14】サーミスターがキャリヤー(10)上に配
置された2個の下側電極面(12,13)と、下側電極面(1
2,13)上に配置されかつ該下側電極面を被覆した2個の
サーミスタープレート(14,16)と、サーミスタープレ
ート(14,16)上に配置された上側電極面(24)とキャ
リヤー(10)の下側に配置された2つの接触面(30,3
2)を備え、前記接触面(30,32)がキャリヤー(10)の
閉口部(42,44)を通してそれぞれの下側電極面(12,1
3)と接続されたことを特徴とする請求項4に記載のサ
ーミスター。 - 【請求項15】サーミスターが厚膜プロセス、すなわ
ち、キャリヤー(10)上の限定された領域上に接触材料
の第1層をスクリーン印刷して1個またはそれ以上の下
側電極面(12,13)を形成し、サーミスター材料の第2
層をスクリーン印刷して下側電極面(12,13)上に配置
されかつ間隙により相互に隔離されたサーミスタープレ
ート(14〜17)形成させ、かつ接続材料の第3層をスク
リーン印刷してサーミスタープレート(14〜17)を十分
に被覆する1個またはそれ以上の上側電極面(24〜26)
を形成し、前記上側電極面(24〜26)を所定の抵抗値と
なるようにトリミングすることにより製造されることを
特徴とするサーミスターを製造する方法。 - 【請求項16】前記間隙は細長い間隙であることを特徴
とする請求項15に記載のサーミスターを製造する方法。 - 【請求項17】複数個の好ましくは200個のキャリヤー
(10)からなる基板(8)上に異なる層がスクリーン印
刷されることを特徴とする請求項15又は16に記載のサー
ミスターを製造する方法。 - 【請求項18】トリミングされた上側電極面(24〜26)
上に重合体の追加的な保護層がスクリーン印刷されるこ
とを特徴とする請求項17に記載のサーミスターを製造す
る方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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SE8802134-0 | 1988-06-08 | ||
SE8802134A SE460810B (sv) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | Termistor avsedd foer temperaturmaetning samt foerfarande foer tillverkning av densamma |
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---|---|
JPH03505025A JPH03505025A (ja) | 1991-10-31 |
JP2810467B2 true JP2810467B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=20372551
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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EP (1) | EP0418302B1 (ja) |
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AT (1) | ATE131655T1 (ja) |
AU (1) | AU622192B2 (ja) |
DE (1) | DE68925117T2 (ja) |
DK (1) | DK173364B1 (ja) |
FI (1) | FI102328B (ja) |
SE (1) | SE460810B (ja) |
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EP0692798A4 (en) * | 1994-01-31 | 1997-05-14 | Nippon Tungsten | FLAT HEATING ELEMENT C.T.P. AND METHOD FOR REGULATING THE RESISTANCE VALUE OF THIS ELEMENT |
JPH08292108A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-11-05 | Nippondenso Co Ltd | サーミスタ式温度センサ |
JPH08241802A (ja) * | 1995-03-03 | 1996-09-17 | Murata Mfg Co Ltd | サーミスタ装置及びその製造方法 |
JP2002048655A (ja) * | 2000-05-24 | 2002-02-15 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 温度センサ及びその製造管理方法 |
KR102237784B1 (ko) * | 2013-06-10 | 2021-04-08 | 주식회사 포벨 | 파장 안정화 장치가 구비된 레이저 장치 |
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-
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