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DE1428238A1 - Verbesserungen an einer Turbomolekular-Vakuumpumpe - Google Patents

Verbesserungen an einer Turbomolekular-Vakuumpumpe

Info

Publication number
DE1428238A1
DE1428238A1 DE19621428238 DE1428238A DE1428238A1 DE 1428238 A1 DE1428238 A1 DE 1428238A1 DE 19621428238 DE19621428238 DE 19621428238 DE 1428238 A DE1428238 A DE 1428238A DE 1428238 A1 DE1428238 A1 DE 1428238A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
disc
slots
vacuum pump
turbo
lips
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19621428238
Other languages
English (en)
Other versions
DE1428238B2 (de
Inventor
Meulien Louis Paul Henri
Garnier Henri Louis
Leonide Rubet
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Safran Aircraft Engines SAS
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
SNECMA SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA, SNECMA SAS filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of DE1428238A1 publication Critical patent/DE1428238A1/de
Publication of DE1428238B2 publication Critical patent/DE1428238B2/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/321Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

PATIHIAHWAIT SAUBTTBG 86 ■ NBUSB WALL 411 · FSBNBTXF St 82 88 TTNB 3β 41 IS
HLISSIHH-IISOHIIIII
SOGIETE NATIONALE D1ETUDE ET DE CONBTHJOTIOIi DE MOTEUES D'AVIATION
150» Boulevard Haussmann
Paris - Seine - Frankreich
27« JuIi 1962
Verbesserungen an einer Turbomolekular-Vakuumpumpe
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekular-Vakuumpumpe, die auf dem Prinzip eines Kompressors beruht und dazu bestimmt ist, in einem sehr niedrigen Druckbereich zu arbeiten, der dem Molekularbereich entspricht, wobei die Förderung des verdünnten Gases durch eine Anordnung von aufeinanderfolgenden, kreisförmigen Scheiben erreicht wird, die abwechselnd unbeweglich und drehend sind und in denen Öffnungen derart angeordnet sind, daß die Wahrscheinlichkeit des Durchtrittes dei Moleküle in einer Richtung größer ist als in der anderen« Diese Wirkung beruht auf der Form und der Anordnung der öffnungen sowie auf dem Geschwindigkeitsvektor bezüglich der Moleküle hinsichtlich der von diesen Öffnungen gebildeten Schaufeln«,
Eine Vorrichtung dieser Art ist in der deutschen Patentanmeldung S 78 975 Ia/27c vom 12. April 1962 "Turbomolekular-Vakuumpumpe" beschrieben worden«
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Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere die An-
U28238
C. — -
Ordnung der Öffnungen in den Scheiben der Vorrichtunge
Erfindungsgemäß werden diese öffnungen durch Schlitze gebildet, die in jeder Scheibe ausgeführt und auf einer ringförmigen Zone der letzteren verteilt sind, wobei die Schlitze vorzugsweise an den gegenüberliegenden Seiten der Scheibe von überstehenden Lippen derart eingefaßt sind, daß das Ganze sich in der Art einer Jalousie zeigte
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Schlitze radial angeordnet, erstrecken sich aber nicht bis an den Umfang der Scheibe, um so einen stetigen Me'tallkranz aufrechtzuerhalten, der die Schaufeln untereinander verbindet»
Eine Scheibe gemäß der Erfindung kann leicht, indem man von einer flachen kreisförmigen Blechscheibe ausgeht* durch einen Preß- oder Ziehvorgang bearbeitet werden»
Die folgende Beschreibung eines nicht einschränkenden Beispiels macht in Verbindung mit den anliegenden Zeichnungen eine Ausführungsform der Erfindung deutlich, wobei
co s0~
ο die sich/wohl aus dem Text wie aus der Zeichnung ergebende
ot> Einzelheiten Bestandteile der Erfindung sindo c*>
ivj I1IgO 1 ist eine schematische Draufsicht auf eine ω Scheibe gemäß der Erfindung,
Figo 2 ist ein Diametralschnitt entlang der Linie
H28238
II der Pig, 1,
Pig· 3 zeigt in vergrößertem Maßstab einen Ausschnitt aus Pigc 1,
Pig· 4 ist ein Teilschnitt in vergrößertem Maßstab entlang der Linie IV-IV von Pig· 1,
Pig· 5 ist eine entsprechende Schnittansicht einer anderen Ausführungsform,
Pig· 6 sind Teilansichten konstruktiver Einzelheiten und 7 entlang der Linie VI-VI- der Pige 1.
In den Zeichnungen ist eine Scheibe D der Turbomolekular- Vakuumpumpe dargestellt, deren Konstruktionsund Zusammenbauteile nicht weiter ausgeführt sind; denn sie sind zum guten Verständnis der Erfindung nicht unerläßlich. Im übrigen sind diese Konstruktions- und Zusammenbaueinzelheiten in der deutschen Patentanmeldung offen» bart, die an diesem Tage für eine "Turbomolekular-Vakuumpumpe" eingereicht wurde·
J0 Erfindungsgemäß sind in einem ringförmigen Bereich
co Z der Scheibe D öffnungen in der Form von radialen
to Schlitzen F angeordnet, die von den Lippen L1-L2 einge-
^ faßt sind, welche an den beiden gegenüberliegenden Sei-K3 ten der Scheibe D überstehen, wobei die Aufeinanderfolge dieser Elemente einer Jalousie ähnelt» Die Lippen L1-L2
können in der Verlängerung geradlinig zueinander - 4- BAD
stehen, wie in Fig«, 4 gezeigt, oder sie können eine leichte Ablenkung im verhältnis zueinander aufweisen, um verschiedene Anstellwinkel am Ein- und am Auslaß au erhalten, wie in Fig. 5 gezeigt· Sie könnten auch ein stetig gekrümmtes Profil haben«
Es muß beachtet werden, daß, um 3ede zufällige Berührung zwischen den aufeinanderfolgenden festen und drehenden Scheiben zu vermeiden, der axiale Eaumbed**arf der Lippen L1-L2 nicht größer als der axiale Raumbedarf der Scheibe D ausgeführt werden darf; dadurch wird das Schuppenwerk der aufeinanderfolgenden Scheiben berücksichtigt «
Die radialen Schlitze F münden nicht- am Umfang der Scheibe. D, wodurch ein durchlaufender Metallkranz C erhalten wird, der die Schaufeln miteinander verbindet»
Um ein Weiterwandern der Schlitze F in dem Werkstoff der Scheibe in Form von Sprüngen oder anderen Hissen zu verhindern, ordnet man an den äußersten Enden dieser Schlitze ein Plättchen P (siehe Fig. 2 und 6) oder ein kleines rundes Loch T an, das parallel zur Rotationsachse oder schief steht»
Die Bearbeitung einer solchen Scheibe wird leicht
dadurch erreicht, daß eine flache ringförmige Metall-
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BAD ORIGINAL
scheibe mit demselben Werkzeug geschnitten bzw. abgeschoren und gezogen bzw. gepreßt wird· Das Pressen oder Ziehen findet an beiden Seiten der Scheibe statt, um die Symmetrie des Werkstückes zu erhalten, die eine hohe Rotationsgeschwindigkeit gestattete
Verschiedene Veränderungen können vorgenommen werden, besonders durch Austauschen gleichwertiger technischer Mittel, ohne sich aus dem Bereich der Erfindung zu entfernen«
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Claims (1)

  1. DR. ING. H. NBGENDANK \ U 2.Β23Β
    PATENTANWALT
    HAJIBtTHQ 86 · NSTTSR WALL 411 . PEHNRtTF 848288 TJND 88 41 18
    SOOIETE NATIONALE D1ETUDE ET DE CONSTRUCTION DE MOTEURS D1AVIATION
    Boulevard Haussmann
    Paris - Seine - Frankreich
    27. Juli 1962
    Patentansprüche
    HoJ Scheibe für eine Turbomolekular-Vakuumpumpe, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer ringförmigen Zone (£) Öffnungen in Form von Schlitzen (I?) angebracht sind, die von Lippen (L1, L2) eingefaßt sind, die vorzugsweise an den gegenüberliegenden Seiten der Scheibe (D) überstehen und zwar derart, daß das Ganze das Aussehen einer Jalousie annimmt«.
    Scheiben nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schlitze (J") radial verlaufen·
    Scheibe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Schlitze (3?) nicht bis an den Umfang der Scheibe erstrecken, um einen durchlaufenden Metallen
    ^ kranz (C) zu erhalten, der die Schaufeln untereinander
    k> . vabindeto
    Scheibe nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die überstehenden Lippen (L1-L2) durch Ziehen oder Pressen der beiden Seiten
    BAD ORIGINAL-. *„■>: - 2 -
    eintr flachen ringförmigen Blechscheibe ausgeführt sind, um ein· symmetrische Bearbeitung des Werkstücke su erhalten«
    Scheibe nach irgendeinem der vorangehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dafi «ine Sperre (P, T) gegen ein Weitenrandan der Schlitze in dem Werkstoff dir Scheibe an den äußeren Enden dieser Schütte (I) angeordnet ist·
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    BAD
    Leerseite
DE19621428238 1961-08-04 1962-08-01 Scheibe fuer eine turbo molekularpumpe Pending DE1428238B2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR870094A FR1306013A (fr) 1961-08-04 1961-08-04 Perfectionnements aux pompes à vide turbomoléculaires

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE1428238A1 true DE1428238A1 (de) 1969-08-07
DE1428238B2 DE1428238B2 (de) 1971-11-25

Family

ID=8760781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19621428238 Pending DE1428238B2 (de) 1961-08-04 1962-08-01 Scheibe fuer eine turbo molekularpumpe

Country Status (7)

Country Link
BE (1) BE619945A (de)
CH (1) CH410263A (de)
DE (1) DE1428238B2 (de)
FR (1) FR1306013A (de)
GB (1) GB1019272A (de)
LU (1) LU42061A1 (de)
NL (1) NL139579B (de)

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DE102007006915A1 (de) * 2007-02-13 2008-08-14 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Rotorelement für Turbopumpenrotoren sowie Turbopumpenrotor

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JP3047292B1 (ja) 1998-11-24 2000-05-29 セイコー精機株式会社 ターボ分子ポンプ及び真空装置
DE10103230A1 (de) 2001-01-25 2002-08-01 Leybold Vakuum Gmbh Turbomolekularvakuumpumpe mit Rotor-und Statorschaufeln

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Also Published As

Publication number Publication date
DE1428238B2 (de) 1971-11-25
LU42061A1 (de) 1962-09-14
GB1019272A (en) 1966-02-02
BE619945A (fr) 1963-01-09
CH410263A (fr) 1966-03-31
NL139579B (nl) 1973-08-15
FR1306013A (fr) 1962-10-13

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