DE1428238A1 - Verbesserungen an einer Turbomolekular-Vakuumpumpe - Google Patents
Verbesserungen an einer Turbomolekular-VakuumpumpeInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
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Description
PATIHIAHWAIT
SAUBTTBG 86 ■ NBUSB WALL 411 · FSBNBTXF St 82 88 TTNB 3β 41 IS
SOGIETE NATIONALE D1ETUDE ET DE CONBTHJOTIOIi
DE MOTEUES D'AVIATION
150» Boulevard Haussmann
Paris - Seine - Frankreich
Paris - Seine - Frankreich
27« JuIi 1962
Verbesserungen an einer Turbomolekular-Vakuumpumpe
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekular-Vakuumpumpe,
die auf dem Prinzip eines Kompressors beruht und dazu bestimmt ist, in einem sehr niedrigen Druckbereich zu arbeiten,
der dem Molekularbereich entspricht, wobei die Förderung des verdünnten Gases durch eine Anordnung von aufeinanderfolgenden,
kreisförmigen Scheiben erreicht wird, die abwechselnd
unbeweglich und drehend sind und in denen Öffnungen derart angeordnet sind, daß die Wahrscheinlichkeit des Durchtrittes dei
Moleküle in einer Richtung größer ist als in der anderen« Diese Wirkung beruht auf der Form und der Anordnung der öffnungen
sowie auf dem Geschwindigkeitsvektor bezüglich der Moleküle
hinsichtlich der von diesen Öffnungen gebildeten Schaufeln«,
Eine Vorrichtung dieser Art ist in der deutschen Patentanmeldung
S 78 975 Ia/27c vom 12. April 1962 "Turbomolekular-Vakuumpumpe"
beschrieben worden«
909832/0223
Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere die An-
U28238
— C. — -
Ordnung der Öffnungen in den Scheiben der Vorrichtunge
Erfindungsgemäß werden diese öffnungen durch Schlitze
gebildet, die in jeder Scheibe ausgeführt und auf einer ringförmigen Zone der letzteren verteilt sind, wobei die
Schlitze vorzugsweise an den gegenüberliegenden Seiten der Scheibe von überstehenden Lippen derart eingefaßt
sind, daß das Ganze sich in der Art einer Jalousie zeigte
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
sind die Schlitze radial angeordnet, erstrecken sich aber nicht bis an den Umfang der Scheibe, um so einen
stetigen Me'tallkranz aufrechtzuerhalten, der die Schaufeln
untereinander verbindet»
Eine Scheibe gemäß der Erfindung kann leicht, indem man von einer flachen kreisförmigen Blechscheibe ausgeht*
durch einen Preß- oder Ziehvorgang bearbeitet werden»
Die folgende Beschreibung eines nicht einschränkenden Beispiels macht in Verbindung mit den anliegenden Zeichnungen
eine Ausführungsform der Erfindung deutlich, wobei
co s0~
ο die sich/wohl aus dem Text wie aus der Zeichnung ergebende
ot> Einzelheiten Bestandteile der Erfindung sindo
c*>
ivj I1IgO 1 ist eine schematische Draufsicht auf eine
ω Scheibe gemäß der Erfindung,
Figo 2 ist ein Diametralschnitt entlang der Linie
H28238
II der Pig, 1,
Pig· 3 zeigt in vergrößertem Maßstab einen Ausschnitt
aus Pigc 1,
Pig· 4 ist ein Teilschnitt in vergrößertem Maßstab entlang der Linie IV-IV von Pig· 1,
Pig· 5 ist eine entsprechende Schnittansicht einer anderen Ausführungsform,
Pig· 6 sind Teilansichten konstruktiver Einzelheiten und 7 entlang der Linie VI-VI- der Pige 1.
In den Zeichnungen ist eine Scheibe D der Turbomolekular- Vakuumpumpe dargestellt, deren Konstruktionsund
Zusammenbauteile nicht weiter ausgeführt sind; denn sie sind zum guten Verständnis der Erfindung nicht unerläßlich.
Im übrigen sind diese Konstruktions- und Zusammenbaueinzelheiten
in der deutschen Patentanmeldung offen» bart, die an diesem Tage für eine "Turbomolekular-Vakuumpumpe"
eingereicht wurde·
J0 Erfindungsgemäß sind in einem ringförmigen Bereich
co Z der Scheibe D öffnungen in der Form von radialen
to Schlitzen F angeordnet, die von den Lippen L1-L2 einge-
^ faßt sind, welche an den beiden gegenüberliegenden Sei-K3
ten der Scheibe D überstehen, wobei die Aufeinanderfolge dieser Elemente einer Jalousie ähnelt» Die Lippen L1-L2
können in der Verlängerung geradlinig zueinander - 4- BAD
stehen, wie in Fig«, 4 gezeigt, oder sie können eine
leichte Ablenkung im verhältnis zueinander aufweisen, um verschiedene Anstellwinkel am Ein- und am Auslaß
au erhalten, wie in Fig. 5 gezeigt· Sie könnten auch ein stetig gekrümmtes Profil haben«
Es muß beachtet werden, daß, um 3ede zufällige
Berührung zwischen den aufeinanderfolgenden festen und
drehenden Scheiben zu vermeiden, der axiale Eaumbed**arf
der Lippen L1-L2 nicht größer als der axiale Raumbedarf
der Scheibe D ausgeführt werden darf; dadurch wird das Schuppenwerk der aufeinanderfolgenden Scheiben berücksichtigt
«
Die radialen Schlitze F münden nicht- am Umfang
der Scheibe. D, wodurch ein durchlaufender Metallkranz C
erhalten wird, der die Schaufeln miteinander verbindet»
Um ein Weiterwandern der Schlitze F in dem Werkstoff
der Scheibe in Form von Sprüngen oder anderen Hissen zu verhindern, ordnet man an den äußersten Enden
dieser Schlitze ein Plättchen P (siehe Fig. 2 und 6) oder ein kleines rundes Loch T an, das parallel zur Rotationsachse
oder schief steht»
Die Bearbeitung einer solchen Scheibe wird leicht
dadurch erreicht, daß eine flache ringförmige Metall-
909832/0223
BAD ORIGINAL
scheibe mit demselben Werkzeug geschnitten bzw. abgeschoren und gezogen bzw. gepreßt wird· Das Pressen
oder Ziehen findet an beiden Seiten der Scheibe statt, um die Symmetrie des Werkstückes zu erhalten, die eine
hohe Rotationsgeschwindigkeit gestattete
Verschiedene Veränderungen können vorgenommen werden, besonders durch Austauschen gleichwertiger
technischer Mittel, ohne sich aus dem Bereich der Erfindung zu entfernen«
909832/0 2 23
Claims (1)
- DR. ING. H. NBGENDANK \ U 2.Β23ΒPATENTANWALTHAJIBtTHQ 86 · NSTTSR WALL 411 . PEHNRtTF 848288 TJND 88 41 18SOOIETE NATIONALE D1ETUDE ET DE CONSTRUCTION DE MOTEURS D1AVIATION
Boulevard Haussmann
Paris - Seine - Frankreich27. Juli 1962PatentansprücheHoJ Scheibe für eine Turbomolekular-Vakuumpumpe, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer ringförmigen Zone (£) Öffnungen in Form von Schlitzen (I?) angebracht sind, die von Lippen (L1, L2) eingefaßt sind, die vorzugsweise an den gegenüberliegenden Seiten der Scheibe (D) überstehen und zwar derart, daß das Ganze das Aussehen einer Jalousie annimmt«.Scheiben nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schlitze (J") radial verlaufen·Scheibe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Schlitze (3?) nicht bis an den Umfang der Scheibe erstrecken, um einen durchlaufenden Metallen^ kranz (C) zu erhalten, der die Schaufeln untereinanderk> . vabindetoScheibe nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die überstehenden Lippen (L1-L2) durch Ziehen oder Pressen der beiden SeitenBAD ORIGINAL-. *„■>: - 2 -eintr flachen ringförmigen Blechscheibe ausgeführt sind, um ein· symmetrische Bearbeitung des Werkstücke su erhalten«Scheibe nach irgendeinem der vorangehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dafi «ine Sperre (P, T) gegen ein Weitenrandan der Schlitze in dem Werkstoff dir Scheibe an den äußeren Enden dieser Schütte (I) angeordnet ist·909832/0223BADLeerseite
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JP3047292B1 (ja) | 1998-11-24 | 2000-05-29 | セイコー精機株式会社 | ターボ分子ポンプ及び真空装置 |
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- 1961-08-04 FR FR870094A patent/FR1306013A/fr not_active Expired
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1962
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- 1962-07-12 CH CH838462A patent/CH410263A/fr unknown
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- 1962-07-23 NL NL281280A patent/NL139579B/xx not_active IP Right Cessation
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- 1962-08-02 GB GB2968962A patent/GB1019272A/en not_active Expired
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GB1019272A (en) | 1966-02-02 |
BE619945A (fr) | 1963-01-09 |
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