DE1428238A1 - Improvements to a turbo-molecular vacuum pump - Google Patents
Improvements to a turbo-molecular vacuum pumpInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
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Description
PATIHIAHWAIT SAUBTTBG 86 ■ NBUSB WALL 411 · FSBNBTXF St 82 88 TTNB 3β 41 ISPATIHIAHWAIT SAUBTTBG 86 ■ NBUSB WALL 411 · FSBNBTXF St 82 88 TTNB 3β 41 IS
SOGIETE NATIONALE D1ETUDE ET DE CONBTHJOTIOIi DE MOTEUES D'AVIATIONSOGIETE NATIONALE D 1 ETUDE ET DE CONBTHJOTIOIi DE MOTEUES D'AVIATION
150» Boulevard Haussmann
Paris - Seine - Frankreich150 »Boulevard Haussmann
Paris - Seine - France
27« JuIi 196227 July 1962
Verbesserungen an einer Turbomolekular-VakuumpumpeImprovements to a turbo-molecular vacuum pump
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekular-Vakuumpumpe, die auf dem Prinzip eines Kompressors beruht und dazu bestimmt ist, in einem sehr niedrigen Druckbereich zu arbeiten, der dem Molekularbereich entspricht, wobei die Förderung des verdünnten Gases durch eine Anordnung von aufeinanderfolgenden, kreisförmigen Scheiben erreicht wird, die abwechselnd unbeweglich und drehend sind und in denen Öffnungen derart angeordnet sind, daß die Wahrscheinlichkeit des Durchtrittes dei Moleküle in einer Richtung größer ist als in der anderen« Diese Wirkung beruht auf der Form und der Anordnung der öffnungen sowie auf dem Geschwindigkeitsvektor bezüglich der Moleküle hinsichtlich der von diesen Öffnungen gebildeten Schaufeln«, The invention relates to a turbomolecular vacuum pump, which is based on the principle of a compressor and is designed to work in a very low pressure range, which corresponds to the molecular range, with the delivery of the dilute gas by an arrangement of successive, circular disks that alternate are immobile and rotating and in which openings are arranged such that the probability of passage dei Molecules is larger in one direction than in the other «This effect is based on the shape and the arrangement of the openings as well as on the velocity vector with respect to the molecules with regard to the blades formed by these openings «,
Eine Vorrichtung dieser Art ist in der deutschen Patentanmeldung S 78 975 Ia/27c vom 12. April 1962 "Turbomolekular-Vakuumpumpe" beschrieben worden«A device of this type is in the German patent application S 78 975 Ia / 27c of April 12, 1962 "Turbomolecular Vacuum Pump" been described "
909832/0223909832/0223
Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere die An-The present invention relates in particular to the
U28238U28238
— C. — -- C. - -
Ordnung der Öffnungen in den Scheiben der VorrichtungeOrder of the openings in the disks of the devices
Erfindungsgemäß werden diese öffnungen durch Schlitze gebildet, die in jeder Scheibe ausgeführt und auf einer ringförmigen Zone der letzteren verteilt sind, wobei die Schlitze vorzugsweise an den gegenüberliegenden Seiten der Scheibe von überstehenden Lippen derart eingefaßt sind, daß das Ganze sich in der Art einer Jalousie zeigteAccording to the invention, these openings are made by slots formed in each disc and distributed over an annular zone of the latter, the Slots preferably bordered in this way on the opposite sides of the disc by protruding lips are that the whole thing appeared in the manner of a blind
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Schlitze radial angeordnet, erstrecken sich aber nicht bis an den Umfang der Scheibe, um so einen stetigen Me'tallkranz aufrechtzuerhalten, der die Schaufeln untereinander verbindet»According to a preferred embodiment of the invention the slots are arranged radially, but do not extend to the circumference of the disc, so one steady me'tall wreath of the shovels connects with each other »
Eine Scheibe gemäß der Erfindung kann leicht, indem man von einer flachen kreisförmigen Blechscheibe ausgeht* durch einen Preß- oder Ziehvorgang bearbeitet werden»A disc according to the invention can easily, starting from a flat circular sheet metal disc * processed by a pressing or drawing process »
Die folgende Beschreibung eines nicht einschränkenden Beispiels macht in Verbindung mit den anliegenden Zeichnungen eine Ausführungsform der Erfindung deutlich, wobeiThe following description of a non-limiting example makes in conjunction with the accompanying drawings an embodiment of the invention clearly, wherein
co s0~co s0 ~
ο die sich/wohl aus dem Text wie aus der Zeichnung ergebendeο the one resulting from the text as well as from the drawing
ot> Einzelheiten Bestandteile der Erfindung sindo c*>ot> Details components of the invention are o c *>
ivj I1IgO 1 ist eine schematische Draufsicht auf eine ω Scheibe gemäß der Erfindung,ivj I 1 IgO 1 is a schematic plan view of an ω disk according to the invention,
Figo 2 ist ein Diametralschnitt entlang der LinieFigo 2 is a diametrical section along the line
H28238H28238
II der Pig, 1,II the Pig, 1,
Pig· 3 zeigt in vergrößertem Maßstab einen Ausschnitt aus Pigc 1,Pig 3 shows a section on an enlarged scale from Pigc 1,
Pig· 4 ist ein Teilschnitt in vergrößertem Maßstab entlang der Linie IV-IV von Pig· 1,Pig 4 is a partial section on an enlarged scale along the line IV-IV of Pig 1,
Pig· 5 ist eine entsprechende Schnittansicht einer anderen Ausführungsform,Pig 5 is a corresponding sectional view of another embodiment,
Pig· 6 sind Teilansichten konstruktiver Einzelheiten und 7 entlang der Linie VI-VI- der Pige 1.Pig 6 are partial views of construction details and 7 along the line VI-VI- of Pig e 1.
In den Zeichnungen ist eine Scheibe D der Turbomolekular- Vakuumpumpe dargestellt, deren Konstruktionsund Zusammenbauteile nicht weiter ausgeführt sind; denn sie sind zum guten Verständnis der Erfindung nicht unerläßlich. Im übrigen sind diese Konstruktions- und Zusammenbaueinzelheiten in der deutschen Patentanmeldung offen» bart, die an diesem Tage für eine "Turbomolekular-Vakuumpumpe" eingereicht wurde·In the drawings, a disk D of the turbomolecular vacuum pump is shown, their construction and Assembly parts are not carried out further; because they are not indispensable for a good understanding of the invention. Otherwise, these are construction and assembly details disclosed in the German patent application, which on that day for a "turbo-molecular vacuum pump" was submitted
J0 Erfindungsgemäß sind in einem ringförmigen BereichJ 0 according to the invention are in an annular area
co Z der Scheibe D öffnungen in der Form von radialenco Z of the disk D openings in the form of radial
to Schlitzen F angeordnet, die von den Lippen L1-L2 einge-to slots F arranged, which are inserted by the lips L1-L2
^ faßt sind, welche an den beiden gegenüberliegenden Sei-K3 ten der Scheibe D überstehen, wobei die Aufeinanderfolge dieser Elemente einer Jalousie ähnelt» Die Lippen L1-L2^ are summarized, which protrude on the two opposite sides K 3 th of the pane D, the sequence of these elements resembles a blind »The lips L1-L2
können in der Verlängerung geradlinig zueinander - 4- BAD can be extended straight to each other - 4- bath
stehen, wie in Fig«, 4 gezeigt, oder sie können eine leichte Ablenkung im verhältnis zueinander aufweisen, um verschiedene Anstellwinkel am Ein- und am Auslaß au erhalten, wie in Fig. 5 gezeigt· Sie könnten auch ein stetig gekrümmtes Profil haben«are as shown in Figure "4, or they may have a slight deflection in the ra tio have each other, get different angle au at the inlet and at the outlet, as shown in Fig. 5 · You could also have a continuously curved profile"
Es muß beachtet werden, daß, um 3ede zufällige Berührung zwischen den aufeinanderfolgenden festen und drehenden Scheiben zu vermeiden, der axiale Eaumbed**arf der Lippen L1-L2 nicht größer als der axiale Raumbedarf der Scheibe D ausgeführt werden darf; dadurch wird das Schuppenwerk der aufeinanderfolgenden Scheiben berücksichtigt «It must be noted that, to avoid any accidental Contact between the successive solid and to avoid rotating disks, the axial Eaumbed ** arf the lips L1-L2 not larger than the axial space requirement the target D may be executed; this takes into account the shingling of the successive slices «
Die radialen Schlitze F münden nicht- am Umfang der Scheibe. D, wodurch ein durchlaufender Metallkranz C erhalten wird, der die Schaufeln miteinander verbindet» The radial slots F do not open on the circumference the disc. D, whereby a continuous metal ring C which connects the blades together »
Um ein Weiterwandern der Schlitze F in dem Werkstoff der Scheibe in Form von Sprüngen oder anderen Hissen zu verhindern, ordnet man an den äußersten Enden dieser Schlitze ein Plättchen P (siehe Fig. 2 und 6) oder ein kleines rundes Loch T an, das parallel zur Rotationsachse oder schief steht»To keep the slots F moving in the material To prevent the disc in the form of cracks or other hoisting, one arranges at the extreme ends this slot a plate P (see Fig. 2 and 6) or a small round hole T, which is parallel to the axis of rotation or is crooked »
Die Bearbeitung einer solchen Scheibe wird leichtMachining such a disc becomes easy
dadurch erreicht, daß eine flache ringförmige Metall-achieved in that a flat ring-shaped metal
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BAD ORIGINALBATH ORIGINAL
scheibe mit demselben Werkzeug geschnitten bzw. abgeschoren und gezogen bzw. gepreßt wird· Das Pressen oder Ziehen findet an beiden Seiten der Scheibe statt, um die Symmetrie des Werkstückes zu erhalten, die eine hohe Rotationsgeschwindigkeit gestattetedisc is cut or sheared and pulled or pressed with the same tool · Pressing or pulling takes place on both sides of the disc in order to maintain the symmetry of the workpiece, the one high speed of rotation allowed
Verschiedene Veränderungen können vorgenommen werden, besonders durch Austauschen gleichwertiger technischer Mittel, ohne sich aus dem Bereich der Erfindung zu entfernen«Various changes can be made, especially by replacing equivalent ones technical means without departing from the scope of the invention "
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Claims (1)
Boulevard Haussmann
Paris - Seine - FrankreichSOOIETE NATIONALE D 1 ETUDE ET DE CONSTRUCTION DE MOTEURS D 1 AVIATION
Boulevard Haussmann
Paris - Seine - France
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007006915A1 (en) * | 2007-02-13 | 2008-08-14 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Turbo-molecular pump rotor element, has reinforcement element connecting parts of pinions with each other and providing improved distribution of loads during operation of rotor element |
Families Citing this family (4)
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CH410263A (en) | 1966-03-31 |
BE619945A (en) | 1963-01-09 |
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