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DE1428238A1 - Improvements to a turbo-molecular vacuum pump - Google Patents

Improvements to a turbo-molecular vacuum pump

Info

Publication number
DE1428238A1
DE1428238A1 DE19621428238 DE1428238A DE1428238A1 DE 1428238 A1 DE1428238 A1 DE 1428238A1 DE 19621428238 DE19621428238 DE 19621428238 DE 1428238 A DE1428238 A DE 1428238A DE 1428238 A1 DE1428238 A1 DE 1428238A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
disc
slots
vacuum pump
turbo
lips
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19621428238
Other languages
German (de)
Other versions
DE1428238B2 (en
Inventor
Meulien Louis Paul Henri
Garnier Henri Louis
Leonide Rubet
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Safran Aircraft Engines SAS
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
SNECMA SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA, SNECMA SAS filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of DE1428238A1 publication Critical patent/DE1428238A1/en
Publication of DE1428238B2 publication Critical patent/DE1428238B2/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00Details, component parts, or accessories
    • F04D29/26Rotors specially for elastic fluids
    • F04D29/32Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
    • F04D29/321Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

PATIHIAHWAIT SAUBTTBG 86 ■ NBUSB WALL 411 · FSBNBTXF St 82 88 TTNB 3β 41 ISPATIHIAHWAIT SAUBTTBG 86 ■ NBUSB WALL 411 · FSBNBTXF St 82 88 TTNB 3β 41 IS

HLISSIHH-IISOHIIIIIHLISSIHH-IISOHIIIII

SOGIETE NATIONALE D1ETUDE ET DE CONBTHJOTIOIi DE MOTEUES D'AVIATIONSOGIETE NATIONALE D 1 ETUDE ET DE CONBTHJOTIOIi DE MOTEUES D'AVIATION

150» Boulevard Haussmann
Paris - Seine - Frankreich
150 »Boulevard Haussmann
Paris - Seine - France

27« JuIi 196227 July 1962

Verbesserungen an einer Turbomolekular-VakuumpumpeImprovements to a turbo-molecular vacuum pump

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekular-Vakuumpumpe, die auf dem Prinzip eines Kompressors beruht und dazu bestimmt ist, in einem sehr niedrigen Druckbereich zu arbeiten, der dem Molekularbereich entspricht, wobei die Förderung des verdünnten Gases durch eine Anordnung von aufeinanderfolgenden, kreisförmigen Scheiben erreicht wird, die abwechselnd unbeweglich und drehend sind und in denen Öffnungen derart angeordnet sind, daß die Wahrscheinlichkeit des Durchtrittes dei Moleküle in einer Richtung größer ist als in der anderen« Diese Wirkung beruht auf der Form und der Anordnung der öffnungen sowie auf dem Geschwindigkeitsvektor bezüglich der Moleküle hinsichtlich der von diesen Öffnungen gebildeten Schaufeln«, The invention relates to a turbomolecular vacuum pump, which is based on the principle of a compressor and is designed to work in a very low pressure range, which corresponds to the molecular range, with the delivery of the dilute gas by an arrangement of successive, circular disks that alternate are immobile and rotating and in which openings are arranged such that the probability of passage dei Molecules is larger in one direction than in the other «This effect is based on the shape and the arrangement of the openings as well as on the velocity vector with respect to the molecules with regard to the blades formed by these openings «,

Eine Vorrichtung dieser Art ist in der deutschen Patentanmeldung S 78 975 Ia/27c vom 12. April 1962 "Turbomolekular-Vakuumpumpe" beschrieben worden«A device of this type is in the German patent application S 78 975 Ia / 27c of April 12, 1962 "Turbomolecular Vacuum Pump" been described "

909832/0223909832/0223

Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere die An-The present invention relates in particular to the

U28238U28238

C. — -- C. - -

Ordnung der Öffnungen in den Scheiben der VorrichtungeOrder of the openings in the disks of the devices

Erfindungsgemäß werden diese öffnungen durch Schlitze gebildet, die in jeder Scheibe ausgeführt und auf einer ringförmigen Zone der letzteren verteilt sind, wobei die Schlitze vorzugsweise an den gegenüberliegenden Seiten der Scheibe von überstehenden Lippen derart eingefaßt sind, daß das Ganze sich in der Art einer Jalousie zeigteAccording to the invention, these openings are made by slots formed in each disc and distributed over an annular zone of the latter, the Slots preferably bordered in this way on the opposite sides of the disc by protruding lips are that the whole thing appeared in the manner of a blind

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Schlitze radial angeordnet, erstrecken sich aber nicht bis an den Umfang der Scheibe, um so einen stetigen Me'tallkranz aufrechtzuerhalten, der die Schaufeln untereinander verbindet»According to a preferred embodiment of the invention the slots are arranged radially, but do not extend to the circumference of the disc, so one steady me'tall wreath of the shovels connects with each other »

Eine Scheibe gemäß der Erfindung kann leicht, indem man von einer flachen kreisförmigen Blechscheibe ausgeht* durch einen Preß- oder Ziehvorgang bearbeitet werden»A disc according to the invention can easily, starting from a flat circular sheet metal disc * processed by a pressing or drawing process »

Die folgende Beschreibung eines nicht einschränkenden Beispiels macht in Verbindung mit den anliegenden Zeichnungen eine Ausführungsform der Erfindung deutlich, wobeiThe following description of a non-limiting example makes in conjunction with the accompanying drawings an embodiment of the invention clearly, wherein

co s0~co s0 ~

ο die sich/wohl aus dem Text wie aus der Zeichnung ergebendeο the one resulting from the text as well as from the drawing

ot> Einzelheiten Bestandteile der Erfindung sindo c*>ot> Details components of the invention are o c *>

ivj I1IgO 1 ist eine schematische Draufsicht auf eine ω Scheibe gemäß der Erfindung,ivj I 1 IgO 1 is a schematic plan view of an ω disk according to the invention,

Figo 2 ist ein Diametralschnitt entlang der LinieFigo 2 is a diametrical section along the line

H28238H28238

II der Pig, 1,II the Pig, 1,

Pig· 3 zeigt in vergrößertem Maßstab einen Ausschnitt aus Pigc 1,Pig 3 shows a section on an enlarged scale from Pigc 1,

Pig· 4 ist ein Teilschnitt in vergrößertem Maßstab entlang der Linie IV-IV von Pig· 1,Pig 4 is a partial section on an enlarged scale along the line IV-IV of Pig 1,

Pig· 5 ist eine entsprechende Schnittansicht einer anderen Ausführungsform,Pig 5 is a corresponding sectional view of another embodiment,

Pig· 6 sind Teilansichten konstruktiver Einzelheiten und 7 entlang der Linie VI-VI- der Pige 1.Pig 6 are partial views of construction details and 7 along the line VI-VI- of Pig e 1.

In den Zeichnungen ist eine Scheibe D der Turbomolekular- Vakuumpumpe dargestellt, deren Konstruktionsund Zusammenbauteile nicht weiter ausgeführt sind; denn sie sind zum guten Verständnis der Erfindung nicht unerläßlich. Im übrigen sind diese Konstruktions- und Zusammenbaueinzelheiten in der deutschen Patentanmeldung offen» bart, die an diesem Tage für eine "Turbomolekular-Vakuumpumpe" eingereicht wurde·In the drawings, a disk D of the turbomolecular vacuum pump is shown, their construction and Assembly parts are not carried out further; because they are not indispensable for a good understanding of the invention. Otherwise, these are construction and assembly details disclosed in the German patent application, which on that day for a "turbo-molecular vacuum pump" was submitted

J0 Erfindungsgemäß sind in einem ringförmigen BereichJ 0 according to the invention are in an annular area

co Z der Scheibe D öffnungen in der Form von radialenco Z of the disk D openings in the form of radial

to Schlitzen F angeordnet, die von den Lippen L1-L2 einge-to slots F arranged, which are inserted by the lips L1-L2

^ faßt sind, welche an den beiden gegenüberliegenden Sei-K3 ten der Scheibe D überstehen, wobei die Aufeinanderfolge dieser Elemente einer Jalousie ähnelt» Die Lippen L1-L2^ are summarized, which protrude on the two opposite sides K 3 th of the pane D, the sequence of these elements resembles a blind »The lips L1-L2

können in der Verlängerung geradlinig zueinander - 4- BAD can be extended straight to each other - 4- bath

stehen, wie in Fig«, 4 gezeigt, oder sie können eine leichte Ablenkung im verhältnis zueinander aufweisen, um verschiedene Anstellwinkel am Ein- und am Auslaß au erhalten, wie in Fig. 5 gezeigt· Sie könnten auch ein stetig gekrümmtes Profil haben«are as shown in Figure "4, or they may have a slight deflection in the ra tio have each other, get different angle au at the inlet and at the outlet, as shown in Fig. 5 · You could also have a continuously curved profile"

Es muß beachtet werden, daß, um 3ede zufällige Berührung zwischen den aufeinanderfolgenden festen und drehenden Scheiben zu vermeiden, der axiale Eaumbed**arf der Lippen L1-L2 nicht größer als der axiale Raumbedarf der Scheibe D ausgeführt werden darf; dadurch wird das Schuppenwerk der aufeinanderfolgenden Scheiben berücksichtigt «It must be noted that, to avoid any accidental Contact between the successive solid and to avoid rotating disks, the axial Eaumbed ** arf the lips L1-L2 not larger than the axial space requirement the target D may be executed; this takes into account the shingling of the successive slices «

Die radialen Schlitze F münden nicht- am Umfang der Scheibe. D, wodurch ein durchlaufender Metallkranz C erhalten wird, der die Schaufeln miteinander verbindet» The radial slots F do not open on the circumference the disc. D, whereby a continuous metal ring C which connects the blades together »

Um ein Weiterwandern der Schlitze F in dem Werkstoff der Scheibe in Form von Sprüngen oder anderen Hissen zu verhindern, ordnet man an den äußersten Enden dieser Schlitze ein Plättchen P (siehe Fig. 2 und 6) oder ein kleines rundes Loch T an, das parallel zur Rotationsachse oder schief steht»To keep the slots F moving in the material To prevent the disc in the form of cracks or other hoisting, one arranges at the extreme ends this slot a plate P (see Fig. 2 and 6) or a small round hole T, which is parallel to the axis of rotation or is crooked »

Die Bearbeitung einer solchen Scheibe wird leichtMachining such a disc becomes easy

dadurch erreicht, daß eine flache ringförmige Metall-achieved in that a flat ring-shaped metal

909832/0223909832/0223

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

scheibe mit demselben Werkzeug geschnitten bzw. abgeschoren und gezogen bzw. gepreßt wird· Das Pressen oder Ziehen findet an beiden Seiten der Scheibe statt, um die Symmetrie des Werkstückes zu erhalten, die eine hohe Rotationsgeschwindigkeit gestattetedisc is cut or sheared and pulled or pressed with the same tool · Pressing or pulling takes place on both sides of the disc in order to maintain the symmetry of the workpiece, the one high speed of rotation allowed

Verschiedene Veränderungen können vorgenommen werden, besonders durch Austauschen gleichwertiger technischer Mittel, ohne sich aus dem Bereich der Erfindung zu entfernen«Various changes can be made, especially by replacing equivalent ones technical means without departing from the scope of the invention "

909832/0 2 23909832/0 2 23

Claims (1)

DR. ING. H. NBGENDANK \ U 2.Β23Β DR. ING. H. NBGENDANK \ U 2.Β23Β PATENTANWALTPATENT ADVOCATE HAJIBtTHQ 86 · NSTTSR WALL 411 . PEHNRtTF 848288 TJND 88 41 18HAJIBtTHQ 86 NSTTSR WALL 411. PEHNRtTF 848288 TJND 88 41 18 SOOIETE NATIONALE D1ETUDE ET DE CONSTRUCTION DE MOTEURS D1AVIATION
Boulevard Haussmann
Paris - Seine - Frankreich
SOOIETE NATIONALE D 1 ETUDE ET DE CONSTRUCTION DE MOTEURS D 1 AVIATION
Boulevard Haussmann
Paris - Seine - France
27. Juli 1962July 27, 1962 PatentansprücheClaims HoJ Scheibe für eine Turbomolekular-Vakuumpumpe, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer ringförmigen Zone (£) Öffnungen in Form von Schlitzen (I?) angebracht sind, die von Lippen (L1, L2) eingefaßt sind, die vorzugsweise an den gegenüberliegenden Seiten der Scheibe (D) überstehen und zwar derart, daß das Ganze das Aussehen einer Jalousie annimmt«.HoJ disc for a turbo-molecular vacuum pump, thereby characterized in that on an annular zone (£) openings in the form of slots (I?) are attached which are bordered by lips (L1, L2), which are preferably on the opposite sides of the disc (D) protrude in such a way that the whole thing looks like a Blind accepts «. Scheiben nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schlitze (J") radial verlaufen·Discs according to claim 1, characterized in that the slots (J ") run radially Scheibe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Schlitze (3?) nicht bis an den Umfang der Scheibe erstrecken, um einen durchlaufenden Metallen Disc according to claim 1 or 2, characterized in that the slots (3?) Do not extend to the circumference of the Disc extend around a continuous metal ^ kranz (C) zu erhalten, der die Schaufeln untereinander^ wreath (C) to get the shovels one below the other k> . vabindetok>. vabindeto Scheibe nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die überstehenden Lippen (L1-L2) durch Ziehen oder Pressen der beiden SeitenWasher according to any one of the preceding claims, characterized in that the protruding lips (L1-L2) by pulling or pressing the two sides BAD ORIGINAL-. *„■>: - 2 - BATH ORIGINAL-. * "■>: - 2 - eintr flachen ringförmigen Blechscheibe ausgeführt sind, um ein· symmetrische Bearbeitung des Werkstücke su erhalten«a flat, ring-shaped sheet metal disk is designed in order to obtain symmetrical machining of the work piece. " Scheibe nach irgendeinem der vorangehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dafi «ine Sperre (P, T) gegen ein Weitenrandan der Schlitze in dem Werkstoff dir Scheibe an den äußeren Enden dieser Schütte (I) angeordnet ist· Disc according to any one of the preceding claims, characterized in that a barrier (P, T) is arranged against a wide edge at the slots in the material of the disc at the outer ends of this chute (I). 909832/0223909832/0223 BADBATH LeerseiteBlank page
DE19621428238 1961-08-04 1962-08-01 DISC FOR A TURBO MOLECULAR PUMP Pending DE1428238B2 (en)

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DE1428238B2 DE1428238B2 (en) 1971-11-25

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BE (1) BE619945A (en)
CH (1) CH410263A (en)
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GB (1) GB1019272A (en)
LU (1) LU42061A1 (en)
NL (1) NL139579B (en)

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DE102007006915A1 (en) * 2007-02-13 2008-08-14 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Turbo-molecular pump rotor element, has reinforcement element connecting parts of pinions with each other and providing improved distribution of loads during operation of rotor element

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Also Published As

Publication number Publication date
DE1428238B2 (en) 1971-11-25
CH410263A (en) 1966-03-31
BE619945A (en) 1963-01-09
FR1306013A (en) 1962-10-13
GB1019272A (en) 1966-02-02
NL139579B (en) 1973-08-15
LU42061A1 (en) 1962-09-14

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E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977