[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

CN1532566A - 用于滤色器的辐射敏感组合物 - Google Patents

用于滤色器的辐射敏感组合物 Download PDF

Info

Publication number
CN1532566A
CN1532566A CNA2004100085472A CN200410008547A CN1532566A CN 1532566 A CN1532566 A CN 1532566A CN A2004100085472 A CNA2004100085472 A CN A2004100085472A CN 200410008547 A CN200410008547 A CN 200410008547A CN 1532566 A CN1532566 A CN 1532566A
Authority
CN
China
Prior art keywords
methyl
acrylate
group
maleimide
multipolymer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2004100085472A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1532566B (zh
Inventor
神井英行
铃木义信
丹羽一明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JSR Corp filed Critical JSR Corp
Publication of CN1532566A publication Critical patent/CN1532566A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1532566B publication Critical patent/CN1532566B/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/285Interference filters comprising deposited thin solid films
    • G02B5/287Interference filters comprising deposited thin solid films comprising at least one layer of organic material
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • G02B1/111Anti-reflection coatings using layers comprising organic materials
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514Colour filters
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Graft Or Block Polymers (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

一种用于滤色器的辐射敏感组合物,它包括(A)着色剂,(B)碱溶性树脂,(C)多官能单体和(D)光聚合引发剂,其中组分(B)是(1)N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺、N-对-羧苯基马来酰亚胺、N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺或对-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯和其它不饱和单体的共聚物,或者(2)N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺或者N-对-羟基苯基马来酰亚胺与其它特定的不饱和单体的共聚物。该用于滤色器的辐射敏感组合物具有优异的碱显影能力,在显影过程中几乎不在未曝光部分的基底和遮光层上产生残留物或者污点,并能大大缩短生产节拍时间。

Description

用于滤色器的辐射敏感组合物
发明背景
[技术领域]
本发明涉及一种用于滤色器的辐射敏感组合物,它用来形成用于彩色液晶显示器和摄像管装置(image pick-up tube device)中的滤色器。
[背景技术]
迄今为止,为了用辐射敏感组合物来制造滤色器,是先将辐射敏感组合物涂布到基底上或者具有遮光层的基底上,该遮光层上形成有预定的图案,并进行干燥以得到干燥的涂覆膜,然后使所获得的涂覆膜暴在预定的图案下曝光,并被显影从而得到各种颜色的像素。这样形成的滤色器具有一些问题,就是在显影过程中未曝光部分的基底或者遮光层上容易产生残留物或污点,曝光部分上形成的像素对基底或者遮光层的粘附不是令人满意的,显影后被烘烤的像素就涂覆膜的物理性能而言是不好的。
最近公开了一种光聚合组合物,它能够形成具有优异抗热性、抗显影剂性、抗碱性和对基底具有优异粘合力的彩色滤色器(JP-A10-300922)(这里所用的术语“JP-A”是指“未审查的公开的日本专利申请”),该组合物包括(1)光聚合引发剂,(2)具有烯键式不饱和双键的可加成聚合单体和(3)碱溶性树脂,该树脂是N-取代马来酰亚胺单体与其它共聚合单体的共聚物。
然而,期望减少生产节拍时间(tact time)(显影时间)以降低生产成本,也非常期望一种用于滤色器的辐射敏感组合物,该组合物与以上出版物公开的组合物相比具有改善的显影性能并且就滤色器的其他性能而言该组合物也是优异的。
发明概要
本发明的目的是提供一种用于滤色器的新型的辐射敏感组合物,它具有优异的碱显影能力。
本发明的另一目的是提供一种用于滤色器的新型辐射敏感组合物,在碱显影过程中该组合物不会在未曝光部分的基底和遮光层上产生残留物或者污点,能大大降低它的生产节拍时间(tact time)并能以高的效率形成高清晰的和高质量的像素。
通过下面的描述,本发明的其他目的和优点会是显而易见的。
根据本发明,通过一种用于滤色器的辐射敏感组合物来达到本发明的上述目的和优点,该组合物包括(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能单体和(D)光聚合引发剂,其特征在于
  碱溶性树脂(B)选自于:
(B1)选自于N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯中的至少一种不饱和化合物,和可与上述不饱和化合物共聚的其他烯键式不饱和单体所形成的共聚物,上述的N-取代马来酰亚胺是通过用(a1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基基团、或者(a2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代马来酰亚胺的酰亚胺基团中所包含的氢原子所得到的化合物(不包括N-(单羟基苯基)马来酰亚胺),上述N-取代(甲基)丙烯酰胺是通过用(b1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基基团、或者(b2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代(甲基)丙烯酰胺的酰氨基基团中包含的一个氢原子所得到的化合物,上述(甲基)丙烯酸酯是通过用(c1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基、或者(c2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代(甲基)丙烯酸的羧基基团中包含的氢原子所得到的化合物;
(B2)由(1)N-(单羟基苯基)马来酰亚胺、(2)选自于上述N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯中的至少一种不饱和化合物(不包括N-(单羟基苯基)马来酰亚胺)、和(3)上述其它烯键式不饱和单体所形成的共聚物;以及
(B3)由(1)N-(单羟基苯基)马来酰亚胺、(2)(甲基)丙烯酸、(3)苯乙烯和(4)选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、在聚苯乙烯聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体和在聚(甲基)丙烯酸甲酯聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体的至少一种(甲基)丙烯酸酯所形成的共聚物。
本文中所用的术语“辐射”是指可见光辐射、紫外线辐射、远紫外线辐射、电子辐射和X-射线。
优选实施方案的详细描述
下文中将详细描述本发明。
(A) 着色剂
本发明所用的着色剂不限于特定的颜色,而是可根据所获得的滤色器的用途进行适当的选择。它可以是无机的或有机的。
有机着色剂是,例如,有机颜料、染料或者天然的染料。无机着色剂是,例如,无机颜料或者称作“体质颜料(extender pigment)”的无机盐。由于滤色器需要显示出高清晰的颜色并具有抗热性,因而优选具有高彩色显影能力和高抗热性的着色剂、特别是具有高的抗热分解性能的着色剂,例如有机着色剂,在本发明特别优选有机颜料。
有机颜料的例子包括根据染料索引(C.I.,The Society of Dyers and Colourists出版)而被分类成颜料组的化合物,特别是具有如下染料索引(C.I.)号码的化合物:
C.I.颜料黄12,C.I.颜料黄13,C.I.颜料黄14,C.I.颜料黄17,C.I.颜料黄20,C.I.颜料黄24,C.I.颜料黄31,C.I.颜料黄55,C.I.颜料黄83,C.I.颜料黄93,C.I.颜料黄109,C.I.颜料黄110,C.I.颜料黄138,C.I.颜料黄139,C.I.颜料黄150,C.I.颜料黄153,C.I.颜料黄154,C.I.颜料黄166和C.I.颜料黄168;
C.I.颜料橙(orange)36,C.I.颜料橙43,C.I.颜料橙51和C.I.颜料橙71;
C.I.颜料红9,C.I.颜料红97,C.I.颜料红122,C.I.颜料红123,C.I.颜料红149,C.I.颜料红176,C.I.颜料红177,C.I.颜料红180,C.I.颜料红215,C.I.颜料红224,C.I.颜料红242,和C.I.颜料红254;
C.I.颜料紫19,C.I.颜料紫23和C.I.颜料紫29;
C.I.颜料蓝15,C.I.颜料蓝15:3和C.I.颜料蓝15:6;
C.I.颜料绿7和C.I.颜料绿36;
C.I.颜料棕(brown)23和C.I.颜料棕25;以及
C.I.颜料黑1和C.I.颜料黑7。
无机着色剂的例子包括二氧化钛,硫酸钡,锌白,硫酸铅,铬黄,锌黄,氧化铁红(氧化铁红(III)),镉红,佛青,普鲁士蓝,氧化铬绿,钴绿,琥珀,钛黑,合成的铁黑和碳黑。
随意地,使用前这些着色剂可以用聚合物进行表面改性。
本发明中,这些着色剂可以单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
随意地,可与分散剂组合来使用着色剂。
分散剂是阳离子的、阴离子的、非离子的、两性的、硅酮类的或者含氟的表面活性剂。
表面活性剂的例子包括聚氧乙烯烷基醚如聚氧乙烯十二烷基醚,聚氧乙烯十八烷基醚,和聚氧乙烯油烯基醚;聚氧乙烯烷基苯基醚如聚氧乙烯辛基苯基醚和聚氧乙烯壬基苯基醚;聚乙二醇二酯如聚乙二醇二月桂酸酯和聚乙二醇二硬脂酸酯;脱水山梨醇脂肪酸酯;脂肪酸改性的聚酯;叔胺改性的聚氨酯;和聚乙烯亚胺。这些表面活性剂可从市场上购得,商标名为KP(Shin-EtsuChemical,Co.,Ltd.),Poluflow(Kyoeisha Yushi Kagaku Co.,Ltd.),F Top(TokemProducts Co.,Ltd.),Megafac(Dainippon Ink and Chemicals,Inc.),Florade(Sumitomo 3M Limited),Asahi Guard和Surflon(Asahi Glass Co.,Ltd.),EFKA(EFKA Chemicals Beefy Co.,Ltd.),Disparon(Tsukamoto Kasei Co.,Ltd.),Disperbyk和BYK(Byk Chemie Japan Co.,Ltd.)和Solsperse(Zeneca Co.,Ltd.)。
这些表面活性剂可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
基于100重量份的着色剂,表面活性剂的量优选为50重量份或更少,更优选0至30重量份。
(B) 碱溶性附脂
本发明中的碱溶性树脂选自于下面的共聚物(B1)、(B2)和(B3)。
共聚物(B1)是选自于N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯的至少一种不饱和化合物和可与上述化合物共聚的其它烯键式不饱和单体所形成的共聚物。上述N-取代马来酰亚胺是通过用(a1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基基团、或者(a2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代马来酰亚胺的酰亚胺基团中包含的氢原子所得到的化合物(不包括N-(单羟基苯基)马来酰亚胺)。上述N-取代(甲基)丙烯酰胺是通过用(b1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基基团、或者(b2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代(甲基)丙烯酰胺的酰氨基基团中包含的一个氢原子所得到的化合物。上述(甲基)丙烯酸酯是通过用(c1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基基团、或者(c2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代(甲基)丙烯酸的羧基基团中所包含的氢原子所得到的化合物。
组分(B2)是由(1)N-(单羟基苯基)马来酰亚胺、(2)选自于上述的N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯的至少一种不饱和化合物(不包括N-(单羟基苯基)马来酰亚胺)、及(3)上述其它烯键式不饱和单体所形成的共聚物。
组分(B3)是由(1)N-(单羟基苯基)马来酰亚胺、(2)(甲基)丙烯酸、(3)苯乙烯和(4)选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、在聚苯乙烯聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体和在聚(甲基)丙烯酸甲酯聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体中的至少一种(甲基)丙烯酸酯所形成的共聚物。
上述共聚物(B1)和(B2)中,N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯中含有的苯基基团和环己基基团可以分别在构成苯基和环己基的碳原子上进一步具有除了羟基和羧基之外的取代基。取代基的例子包括卤原子(如氟原子、氯原子和溴原子),具有1至10个碳原子的(环)烷基基团(如甲基基团,乙基基团,正丙基基团,异丙基基团,正丁基基团和叔丁基基团),具有2至10个碳原子的(环)烷基羰氧基团(如甲基羰氧基团,乙基羰氧基团,正丙基羰氧基团,异丙基羰氧基团,正丁基羰氧基团和叔丁基羰氧基团),和具有2至10个碳原子的(环)烷氧羰基基团(如甲氧羰基基团,乙氧羰基基团,正丙氧羰基基团,异丙氧羰基基团,正丁氧羰基基团和叔丁氧羰基基团)。
这些取代基中,优选甲基基团,乙基基团,甲基羰氧基团,乙基羰氧基团,甲氧羰基基团和乙氧羰基基团。
碱溶性树脂(B1)和碱溶性树脂(B2)中的N-取代马来酰亚胺是除了N-(单羟基苯基)马来酰亚胺之外的N-取代马来酰亚胺。N-取代马来酰亚胺的例子包括
N-(2,6-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺,
N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺,
N-(2,4-二羟基苯基)马来酰亚胺,
N-(3,5-二羟基苯基)马来酰亚胺,
N-对-羧苯基马来酰亚胺,
N-(2,4-二羧苯基)马来酰亚胺,
N-(3,5-二羧苯基)马来酰亚胺,
N-(2-羟基-4-羧苯基)马来酰亚胺,
N-邻-羟基环己基马来酰亚胺,
N-间-羟基环己基马来酰亚胺,
N-对-羟基环己基马来酰亚胺,
N-(2,6-二甲基-4-羟基环己基)马来酰亚胺,
N-(3,5-二甲基-4-羟基环己基)马来酰亚胺,
N-(2,4-二羟基环己基)马来酰亚胺,
N-(3,5-二羟基环己基)马来酰亚胺,
N-对-羧基环己基马来酰亚胺,
N-(2,4-二羧环己基)马来酰亚胺,
N-(3,5-二羧环己基)马来酰亚胺和
N-(2-羟基-4-羧基环己基)马来酰亚胺。
这些N-取代马来酰亚胺中,优选
N-(2,6-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺,
N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺,
N-(3,5-二羟基苯基)马来酰亚胺,
N-对-羧苯基马来酰亚胺,
N-(3,5-二羧苯基)马来酰亚胺,
N-对-羟基环己基马来酰亚胺,
N-(3,5-二羟基环己基)马来酰亚胺,
N-对-羧基环己基马来酰亚胺和
N-(3,5-二羧环己基)马来酰亚胺。
这些N-取代马来酰亚胺可以单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
N-取代(甲基)丙烯酰胺的例子包括N-邻-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺,N-间-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺,N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺,N-(2,6-二甲基-4-羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺,N-(2,4-二羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺,N-对-羧苯基(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二羧苯基)(甲基)丙烯酰胺,N-(2-羟基-4-羧苯基)(甲基)丙烯酰胺,N-邻-羟基环己基(甲基)丙烯酰胺,N-间-羟基环己基(甲基)丙烯酰胺,N-对-羟基环己基(甲基)丙烯酰胺,N-(2,6-二甲基-4-羟基环己基)(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二甲基-4-羟基环己基)(甲基)丙烯酰胺,N-(2,4-二羟基环己基)(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二羟基环己基)(甲基)丙烯酰胺,N-对-羧基环己基(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二羧环己基)(甲基)丙烯酰胺,N-(2-羟基-4-羧基环己基)(甲基)丙烯酰胺。
这些N-取代(甲基)丙烯酰胺中,优选N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二羟基苯基)(甲基)丙烯酰胺,N-对-羧苯基(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二羧苯基)(甲基)丙烯酰胺,N-对-羟基环己基(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二羟基环己基)(甲基)丙烯酰胺,N-对-羧基环己基(甲基)丙烯酰胺,N-(3,5-二羧环己基)(甲基)丙烯酰胺。
上述的N-取代(甲基)丙烯酰胺可以单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
(甲基)丙烯酸酯的例子包括邻-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,间-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,对-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,2,6-二甲基-4-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二甲基-4-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,2,4-二羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,对-羧苯基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二羧苯基(甲基)丙烯酸酯,2-羟基-4-羧苯基(甲基)丙烯酸酯,邻-羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,间-羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,对-羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,2,6-二甲基-4-羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二甲基-4-羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,2,4-二羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,对-羧基环己基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二羧环己基(甲基)丙烯酸酯,2-羟基-4-羧基环己基(甲基)丙烯酸酯。
这些(甲基)丙烯酸酯中,优选对-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二羟基苯基(甲基)丙烯酸酯,对-羧苯基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二羧苯基(甲基)丙烯酸酯,对-羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,3,5-二羟基环己基(甲基)丙烯酸酯,对-羧基环己基(甲基)丙烯酸酯和3,5-二羧环己基(甲基)丙烯酸酯。
上述的(甲基)丙烯酸酯可以单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
碱溶性树脂(B1)和碱溶性树脂(B2)中的其他可共聚的烯键式不饱和单体没有明确限定,只要该单体可以与N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯共聚合。该烯键式不饱和单体优选是具有至少-个羧基基团的烯键式不饱和单体(称作“其它含有羧基基团的不饱和单体”)和可与上述单体共聚合的其它烯键式不饱和单体(本文中简称为“其它不饱和单体”)的混合物。
其它含有羧基基团的不饱和单体的例子包括不饱和一元羧酸,如(甲基)丙烯酸,巴豆酸,α-氯丙烯酸,利尿酸,肉桂酸,ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯和2-(甲基)丙烯酰氧乙基琥珀酸;不饱和二羧酸(酸酐),如马来酸,马来酸酐,富马酸,衣康酸,衣康酸酐,柠康酸,柠康酸酐和中康酸;以及具有三个或更多羧基基团的不饱和多元羧酸(酸酐)。
这些其它含有羧基基团的不饱和单体可以单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
其它不饱和单体的例子包括芳香乙烯基化合物如苯乙烯,α-甲基苯乙烯,邻-乙烯基甲苯,间-乙烯基甲苯,对-乙烯基甲苯,对-氯苯乙烯,邻-甲氧基苯乙烯,间-甲氧基苯乙烯,对-甲氧基苯乙烯,对-乙烯基苯甲基甲基醚和对-乙烯基苯甲基缩水甘油醚;茚类,如茚和1-甲基茚;不饱和羧酸酯,如(甲基)丙烯酸甲酯,(甲基)丙烯酸乙酯,(甲基)丙烯酸正丙酯,(甲基)丙烯酸异丙酯,(甲基)丙烯酸正丁酯,(甲基)丙烯酸异丁酯,(甲基)丙烯酸仲丁酯,(甲基)丙烯酸叔丁酯,(甲基)丙烯酸2-羟乙酯,(甲基)丙烯酸2-羟丙酯,(甲基)丙烯酸3-羟丙酯,(甲基)丙烯酸2-羟丁酯,(甲基)丙烯酸3-羟丁酯,(甲基)丙烯酸4-羟丁酯,(甲基)丙烯酸烯丙酯,(甲基)丙烯酸苄酯,(甲基)丙烯酸苯酯,(甲基)丙烯酸甲氧基三乙二醇酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯;不饱和的氨基烷基羧酸酯,如(甲基)丙烯酸2-氨基乙酯,(甲基)丙烯酸2-氨基丙酯和(甲基)丙烯酸3-氨基丙酯;不饱和羧酸缩水甘油酯,如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯;羧酸乙烯酯,如乙酸乙烯酯,丙酸乙烯酯,丁酸乙烯酯和苯甲酸乙烯酯;不饱和醚类,如乙烯基甲基醚,乙烯基乙基醚,烯丙基缩水甘油醚和甲代烯丙基缩水甘油醚;乙烯基氰化物化合物,如(甲基)丙烯腈,α-氯丙烯腈和亚乙烯基二氰;不饱和酰胺,如(甲基)丙烯酰胺,α-氯丙烯酰胺和N-2-羟乙基(甲基)丙烯酰胺;脂肪族共轭二烯,如1,3-丁二烯,异戊二烯和氯丁二烯;以及在聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体,如苯乙烯,聚(甲基)丙烯酸甲酯,聚(甲基)丙烯酸正丁酯和聚硅氧烷。
这些其它不饱和单体可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
碱溶性树脂(B1)和碱溶性树脂(B2)中的其它可共聚的烯键式不饱和单体优选为(i)、(ii)和(iii)的混合物,(i)选自于丙烯酸和甲基丙烯酸的至少一种不饱和酸,或者该不饱和酸与至少一种含羧基基团的烯键式不饱和单体的组合物,该含羧基基团的烯键式不饱和单体选自于ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯和2-(甲基)丙烯酰氧乙基琥珀酸,(ii)苯乙烯,(iii)选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、聚苯乙烯大分子单体和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的至少一种物质。
碱溶性树脂(B1)中,选自于N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯的至少一种不饱和化合物的用量优选为5至50重量%,更优选10至40%。
当上述用量低于5重量%时,所得象素的抗热性可能降低,当上述用量高于50重量%,所得树脂的碱溶解性变差,由此在未曝光部分的基底或者遮光层上可能产生残留物或者污点。
当其它可共聚的烯键式不饱和单体是其它含有羧基基团的不饱和单体与其它不饱和单体的混合物时,其它含有羧基基团的不饱和单体的量优选为5至50重量%,更优选10至40重量%,其它不饱和单体的用量优选为10至90重量%,更优选20至80重量%。
当含有羧基基团的不饱和单体的用量低于5重量%时,所得组合物在碱性显影剂中的溶解度可能降低,而当该用量多于50重量%时,形成的象素会从基底上脱落,或者在用碱性显影剂的显影过程中象素的表面可能变粗糙。
特别地,包含含有羧基基团的不饱和单体的碱溶性树脂(B1)在上述特定用量下,在碱性显影剂中具有优异的溶解度,含有该树脂作为粘合剂的辐射敏感组合物在用碱性显影剂显影后很少存在不溶解的产物,而且基底上用于形成象素的部分之外的区域内几乎不产生污点或膜残留物。另外,由该组合物得到的象素不会过度地溶解于碱性显影剂中,对基底具有优异的粘合力且不会从基底上脱落。
碱溶性树脂(B2)中,(1)N-(单羟基苯基)马来酰亚胺和(2)选自于N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯的至少一种不饱和化合物(不包括N-(单羟基苯基)马来酰亚胺)的总量优选为5至50重量%,更优选10至40重量%。
当以上用量低于5重量%时,所得象素的抗热性可能降低,当以上用量多于50重量%时,所得树脂的碱溶性可能差,从而在未曝光部分的基底或者遮光层上可能产生残留物或污点。
当其它可共聚的烯键式不饱和单体(3)是其它含有羧基基团的不饱和单体与其它不饱和单体的混合物时,其它含羧基基团的不饱和单体的量优选为5至50重量%,更优选10至40重量%,其它不饱和单体的量优选为10至90重量%,更优选20至80重量%。
当其它含有羧基基团的不饱和单体的量少于5重量%时,所得组合物在碱性显影剂中的溶解度可能降低,当该用量多于50重量%时,所形成的象素可能会从基底上脱离,或者象素的表面在用碱性显影剂的显影过程中可能会变粗糙。
特别地,在上述特定用量下,包括其它含有羧基基团不饱和单体的碱溶性树脂(B2)在碱性显影剂中具有优异的溶解度,且含有该树脂作为粘合剂的辐射敏感组合物在用碱性显影剂显影后很少存在不溶解的产物,而且基底上用于形成象素的部分之外的区域内几乎不产生污点或膜残留物。另外,由该组合物得到的象素不会过度地溶解于碱性显影剂中,对基底具有优异的粘合力且不会从基底上脱落。
上述共聚物(B3)是由(1)N-(单羟基苯基)马来酰亚胺、(2)(甲基)丙烯酸、(3)苯乙烯和(4)选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、在聚苯乙烯聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体和在聚(甲基)丙烯酸甲酯聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体中的至少一种(甲基)丙烯酸酯所形成的共聚物。
上述N-(单羟基苯基)马来酰亚胺(1)的例子是N-邻-羟基苯基马来酰亚胺,N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺。它们可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
上述(甲基)丙烯酸(2)的例子是丙烯酸和甲基丙烯酸。丙烯酸和甲基丙烯酸可单独或者组合起来使用来作为上述组分(2)。
选自于ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯和2-(甲基)丙烯酰氧乙基琥珀酸中的至少一种含有羧基基团的烯键式不饱和单体可以与(甲基)丙烯酸组合起来用作组分(2)。
碱溶性树脂(B3)中,N-(单羟基苯基)马来酰亚胺(1)的用量优选为5至50重量%,更优选10至40重量%。
当以上用量低于5重量%时,所得象素的抗热性可能降低,当以上用量多于50重量%时,所得树脂的碱溶性变差,从而在未曝光部分的基底或者遮光层上可能会产生残留物或污点。
(2)(甲基)丙烯酸或者(甲基)丙烯酸与含有羧基基团的烯键式不饱和单体的组合物的用量优选为5至50重量%,更优选10至40重量%。(3)苯乙烯和(4)选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、聚苯乙烯大分子单体和聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体中的至少一种(甲基)丙烯酸酯的总量优选为10至90重量%,更优选20至80重量%。(3)苯乙烯的用量优选为5至30重量%,更优选5至20重量%。
当(2)(甲基)丙烯酸或者(甲基)丙烯酸与含有羧基基团的烯键式不饱和单体的组合物的用量少于5重量%时,所得组合物在碱性显影剂中的溶解度可能降低,当该用量多于50重量%时,所形成的象素可能会从基底上脱离,或者象素的表面在用碱性显影剂的显影过程中会变粗糙。
特别地,在上述特定用量下,含有组分(2)的碱溶性树脂(B3)在碱性显影剂中具有优异的溶解度,且含有该树脂作为粘合剂的辐射敏感组合物在用碱性显影剂显影后很少存在不溶解的产物,而且基底上用于形成象素部分之外的区域内几乎不产生污点或膜残留物。另外,由该组合物得到的象素不会过度地溶解于碱性显影剂中,对基底具有优异的粘合力且不会从基底上脱落。
下面给出了碱溶性树脂的优选实例。
碱溶性树脂(B1)的实例包括N-(2,6-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物,N-对-羧苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧乙基琥珀酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基环己基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,以及N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物。
碱溶性树脂(B2)的实例包括,选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,选自于N-邻-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺、N-间-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺和N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺中的至少一种物质,苯乙烯,(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,选自于N-邻-羧苯基马来酰亚胺、N-间-羧苯基马来酰亚胺和N-对-羧苯基马来酰亚胺的至少一种物质,苯乙烯,(甲基)丙烯酸,ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯(ω-carboxy-polycaprolactone(meth)acrylate)和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,以及选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,选自于邻-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯、间-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯和对-羟基苯基(甲基)丙烯酸酯中的至少一种物质,苯乙烯,(甲基)丙烯酸,(甲基)丙烯酸苄酯和(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物。
碱溶性树脂(B3)的实例包括,选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,和(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸苄酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,2-(甲基)丙烯酰氧乙基琥珀酸,苯乙烯,和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯,苯乙烯,和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸苄酯,和聚苯乙烯大分子单体的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸苄酯,和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸苯酯,和聚苯乙烯大分子单体的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸苯酯,和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸2-羟乙酯,(甲基)丙烯酸苄酯,和聚苯乙烯大分子单体的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸2-羟乙酯,(甲基)丙烯酸苄酯,和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物;选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸2-羟乙酯,(甲基)丙烯酸苯酯,和聚苯乙烯大分子单体的共聚物;以及选自于N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、N-间-羟基苯基马来酰亚胺和N-对-羟基苯基马来酰亚胺中的至少一种物质,(甲基)丙烯酸,苯乙烯,(甲基)丙烯酸2-羟乙酯,(甲基)丙烯酸苯酯,和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物。
这些碱溶性树脂中,特别优选碱溶性树脂(B1),例如N-(2,6-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物,N-对-羧苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧乙基琥珀酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基环己基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,以及N-对-羟基苯基丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物;和碱溶性树脂(B3),例如N-间-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧乙基琥珀酸、苯乙烯、和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,以及N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物。
本发明中,上述的碱溶性树脂(B)可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
本发明中,至少一种其它碱溶性树脂可以与碱溶性树脂(B1)至(B3)组合使用。
其它碱溶性树脂的例子是具有酸性官能团如羧基基团或酚式羟基基团的树脂。
这些其它碱溶性树脂中,优选上述的其它含有羧基基团的不饱和单体与上述的其它不饱和单体的共聚物,更优选(i)丙烯酸和/或甲基丙烯酸与(ii)选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯乙烯、聚苯乙烯大分子单体和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体中的至少一种物质所形成的共聚物来作为具有羧基基团的树脂(下文中称作“碱溶性树脂(β-1)”)。
碱溶性树脂(β-1)的例子包括(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸甲酯和苯乙烯的共聚物,(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸苄酯和苯乙烯的共聚物,(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸甲酯和聚苯乙烯大分子单体的共聚物,(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸甲酯和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物,(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸苄酯和聚苯乙烯大分子单体的共聚物,(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸苄酯和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物,(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯和聚苯乙烯大分子单体的共聚物,以及(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的共聚物。
基于碱溶性树脂的总量,其它碱溶性树脂的用量优选为50重量%或更少,更优选30重量%或更少,。当其它碱溶性树脂的量多于50重量%时,所得象素的抗热性可能降低。
本发明中的碱溶性树脂包括选自于碱溶性树脂(B1)、碱溶性树脂(B2)和碱溶性树脂(B3)中的至少一种物质作为基本成分。构成碱溶性树脂的每种组分的重均分子量优选为3,000至300,000,特别优选5,000至100,000,所述重均分子量是以聚苯乙烯为依据,由凝胶渗透色谱法(GPC;四氢呋喃作为洗脱溶剂)(下文简单的称作“重均分子量”)测得的。通过使用具有特定重均分子量的这种碱溶性树脂,可得到具有优异显影能力的辐射敏感组合物,由该组合物可得到图案边缘轮廓分明的象素,在显影过程中在基底形成象素部分之外的区域内几乎不产生污点或者膜残留物。
基于100重量份的着色剂(A),本发明中碱溶性树脂的含量优选为10至1,000重量份,更优选20至500重量份。
当碱溶性树脂的含量低于10重量份时,碱显影能力可能变差,或者在基底形成象素部分之外的区域上可能产生污点或膜残留物。当含量多于1,000重量份时,着色剂的浓度相对降低,由此薄膜可能难以达到目标颜色密度。
(C) 多官能单体
本发明中多官能单体的例子包括烷撑二醇如乙二醇和丙二醇的二(甲基)丙烯酸酯;聚烷撑二醇如聚乙二醇和聚丙二醇的二(甲基)丙烯酸酯;具有3个或更多羟基基团的多元醇和它们的二羧酸改性的产物如甘油、三羟甲基丙烷、季戊四醇和二季戊四醇的聚(甲基)丙烯酸酯;低聚的(甲基)丙烯酸酯如聚酯、环氧树脂、聚氨酯树脂、醇酸树脂、有机硅树脂和螺环树脂;两终端羟基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯,如两终端处具有羟基基团的聚丁二烯,两终端处具有羟基基团的聚异戊二烯和两终端处具有羟基基团的聚己酸内酯;以及磷酸三(甲基)丙烯酰氧基乙酯。
这些多官能单体中,优选具有3个或更多羟基基团的多元醇和它们的二羧酸改性的产物的聚(甲基)丙烯酸酯,作为代表性的是三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、琥珀酸改性的季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯和二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。特别优选三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、和二季戊四醇六丙烯酸酯,因为它们对象素提供高强度和表面光滑度,并且在形成象素部分之外的区域内几乎不产生污点或膜残留物。
这些官能化的单体可以单独使用或者组合两种或多种使用。
基于100重量份的碱溶性树脂(B),本发明中多官能单体的含量优选为5至500重量份,更优选20至300重量份。
当多官能单体的含量低于5重量份时,象素的强度和表面光滑度可能变差,且当含量高于500重量份时,碱显影能力可能降低,或者在形成象素部分之外的区域内会产生污点或膜残留物。
本发明中,单官能单体可与多官能单体组合使用。
单官能单体的例子包括ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基二丙二醇(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧丙基(甲基)丙烯酸酯和2-(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸。单官能单体可从市场上购得,商标名为M-5300等(Toagosel Chemical Industry Co.,Ltd.)。
这些单官能单体可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
基于100重量份的多官能单体和单官能单体的总量,单官能单体的量优选为0至90重量份,更优选0至50重量份。
(D) 光聚合引发剂
本发明中的光聚合引发剂是一种化合物,通过暴露于辐射,如可见光辐射、紫外线辐射、远紫外线辐射、电子辐射或者X辐射,该化合物可以形成能够引发上述多官能单体(C)和任选使用的单官能单体聚合的活性物种。光聚合引发剂的例子包括苯乙酮类化合物、双咪唑类化合物、三嗪类化合物、安息香类化合物、二苯甲酮类化合物、α-二酮类化合物、多环奎宁类化合物、呫吨酮类化合物和重氮类化合物。
本发明中,上述的光聚合引发剂可单独使用或者将两种或多种组合使用。光聚合引发剂优选为选自于苯乙酮类化合物、双咪唑类化合物和三嗪类化合物中的至少一种物质。
基于100重量份的多官能单体(C)和单官能单体(当使用时)的总量,本发明中光聚合引发剂的量优选为0.01至80重量份,更优选1至60重量份。
当光聚合引发剂的量低于0.01重量份时,由于曝光后不完全的固化,可能难以得到以预定图案排列的象素阵列,且当用量多于80重量份时,显影过程中所形成的彩色层可能易于从基底上脱落。
作为优选的光聚合引发剂,苯乙酮类化合物的例子包括2-羟基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮,2-甲基-1-(4-甲基苯硫基)-2-吗啉代丙-1-酮,2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮,1-羟基环己基苯基酮和2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙-1-酮。
这些苯乙酮类化合物中,特别优选2-甲基-1-(4-甲基苯硫基)-2-吗啉代丙-1-酮,2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮。
上述的苯乙酮类化合物可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
当苯乙酮类化合物用作光聚合引发剂时,基于100重量份的多官能单体(C)和单官能单体的总量,苯乙酮类化合物的用量优选为0.01至80重量份,更优选10至60重量份,最优选1至30重量份。
当苯乙酮类化合物的量低于0.01重量份时,由于曝光后不完全的固化,可能难以得到以预定图案排列的象素阵列,且当用量多于80重量份时,显影过程中所形成的彩色层可能易于从基底上脱落。
双咪唑类化合物的例子包括2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-双咪唑,2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-双咪唑,2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑,2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4’4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑,2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑,2’2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑,2,2’-双(2,4-二溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑和2,2’-双(2,4,6-三溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑。
这些双咪唑类化合物中,优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑,2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑,和2,2’-双(2’4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑,更为优选的是2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4’4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑。
上述的双咪唑类化合物在溶剂中具有优异的溶解度,不产生杂质,如不溶的产物和沉淀,具有高的敏感度,用少量能量的曝光就完全促进固化反应,且未曝光的部分不会发生固化反应。因此曝光后的涂覆膜清楚地分成不溶于显影剂中的固化部分和在显影剂中具有高溶解度的未固化部分,从而使形成没有咬边(undercut)的、以预定的图案排列的非常清晰的象素阵列成为可能。
上述的双咪唑类化合物可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
当双咪唑类化合物用作光聚合引发剂时,基于100重量份的多官能单体(C)和单官能单体的总量,双咪唑类化合物的量优选为0.01至40重量份,更优选1至30重量份,最为优选1至20重量份。
当双咪唑类化合物的用量低于0.01重量份时,由于曝光后不完全的固化,可能难以得到以预定图案排列的象素阵列,当用量多于40重量份时,显影过程中所形成的彩色层可能易于从基底上脱落。
—供氢体—
当双咪唑类化合物用作本发明中的光聚合引发剂时,优选与下面的供氢体组合使用以进一步提高敏感度。
本文中所用的术语“供氢体”是指通过曝光后能为由双咪唑类化合物形成的自由基提供氢原子的化合物。
本发明中的供氢体优选是下文中定义的硫醇类化合物或者胺类化合物。
上述硫醇类化合物是一种化合物,它具有苯环或者杂环作为母核,且1个或更多个、优选1至3个、更优选1至2个巯基基团直接键合到母核上(下文中称作“硫醇类供氢体”)。
上述胺类化合物是一种化合物,它具有苯环或者杂环作为母核,且1个或更多个、优选1个至3个、更优选1至2个氨基基团直接键合到母核上(下文中称作“胺类供氢体”)。
供氢体可以同时具有巯基基团和氨基基团。
随后详细地描述这些供氢体。
硫醇类供氢体可具有至少一个苯环或杂环,或者两种环都具有。当具有两个或多个环时,可形成或不形成稠环。
当硫醇类供氢体具有两个或多个巯基基团时,只要留下至少一个自由的巯基基团,则至少一个其它巯基基团可以被烷基、芳烷基、或芳基基团所取代。而且,硫醇供氢体可具有其中两个硫原子通过二价有机基团如亚烷基基团键合在一起的结构单元,或者其中两个硫原子键合在一起形成二硫化物的结构单元,只要留下至少一个自由的巯基基团。
而且,硫醇类供氢体可以在除了巯基基团之外的位置被羧基基团、烷氧羰基基团、取代的烷氧羰基基团、苯氧羰基基团、取代的苯氧羰基基团或者腈基团所取代。
硫醇类供氢体的例子包括2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑和2-巯基-2,5-二甲基氨基吡啶。
这些硫醇类供氢体中,优选2-巯基苯并噻唑和2-巯基苯并噁唑,特别优选2-巯基苯并噻唑。
胺类供氢体可以具有至少一个苯环或者杂环,或者两种环都有。当具有两个或多个环时,可以形成或不形成稠环。
胺类氢供体的至少一个氨基基团可以被烷基基团或者取代的烷基基团所取代,或者胺类氢供体可以在除了氨基基团之外的位置处被羧基基团、烷氧羰基基团、取代的烷氧羰基基团、苯氧羰基基团、取代的苯氧羰基基团或者腈基团所取代。
胺类供氢体的例子包括4,4’-二(二甲基氨基)二苯甲酮,4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮,4-二乙基氨基苯乙酮,4-二甲基氨基苯丙酮,乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯,4-二甲基氨基苯甲酸酯和4-二甲基氨基苄腈。
这些胺类氢供体中,优选4,4’-二(二甲基氨基)二苯甲酮和4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮。
在除了双咪唑类化合物的光聚合引发剂的情况下,胺类供氢体用作增感剂。
本发明中,上述的供氢体可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。优选使用至少一种硫醇类供氢体和至少一种胺类供氢体的组合物,因为所形成的颜色层在显影过程中几乎不从基底上脱落,并具有高的强度和敏感度。
硫醇类供氢体和胺类供氢体的组合物的例子包括,2-巯基苯并噻唑和4,4’-二(二甲基氨基)二苯甲酮的组合物,2-巯基苯并噻唑和4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮的组合物,2-巯基苯并噁唑和4,4’-二(二甲基氨基)二苯甲酮的组合物,2-巯基苯并噁唑和4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮的组合物。优选2-巯基苯并噻唑和4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮的组合物,2-巯基苯并噁唑和4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮的组合物,特别优选2-巯基苯并噻唑和4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮的组合物。
硫醇类供氢体与胺类供氢体的组合物中硫醇类供氢体与胺类供氢体的重量比优选为1∶1至1∶4,更优选1∶1至1∶3。
当供氢体与双咪唑类化合物组合使用时,基于100重量份的多官能单体(C)和单官能单体的总量,供氢体的量优选为0.01至40重量份,更优选1至30重量份,特别优选1至20重量份。当供氢体的量少于0.01重量份时,它的改善敏感度的效果可能降低,当该用量多于40重量份时,所形成彩色层在显影过程中可能容易从基底上脱落。
三嗪类化合物的例子包括具有卤甲基基团的三嗪类化合物,如2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪,2-甲基-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪,2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪,2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪,2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪,2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪,2-(4-甲氧基苯基)-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪,2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪和2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪。
这些三嗪类化合物中,优选2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪。
上述的三嗪类化合物可单独使用或将两种或多种组合起来使用。
当三嗪类化合物用作光聚合引发剂时,基于100重量份的多官能单体(C)和单官能单体的总量,三嗪类化合物的量优选为0.01至40重量份,更优选1至30重量份,特别优选1至20重量份。
当三嗪类化合物量少于0.01重量份时,由于曝光后不完全固化,可能难以得到按照预定图案排列的象素阵列,当该用量多于40重量份时,所形成彩色层在显影过程中可能容易从基底上脱落。
添加剂
可将各种添加剂随意地加入到本发明的用于形成滤色器的辐射敏感组合物中。
上述添加剂包括体质颜料,如硫酸钡或碳酸钙;分散助剂,如蓝颜料衍生物或黄颜料衍生物,即铜酞菁衍生物;填料,如玻璃或氧化铝;聚合物化合物,如聚乙烯醇、聚乙二醇单烷基醚或者聚(氟代烷基丙烯酸酯);非离子的、阳离子的或阴离子的表面活性剂;粘合促进剂,如乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷或者3-巯基丙基三甲氧基硅烷;抗氧化剂,如2,2-硫代二(4-甲基-6-叔丁基苯酚)或者2,6-二叔丁基苯酚;紫外光吸收剂,如2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯并三唑或者烷氧基二苯甲酮;以及附聚抑制剂(agglomeration inhibitor),如聚丙烯酸钠。
当碱溶性树脂(B1)具有羧基基团时,还可以将有机酸加入到本发明的用于滤色器的辐射敏感组合物中,从而进一步改善由此形成的涂覆膜在碱性显影剂中的溶解度,并进一步抑制显影后不溶产物的存在。有机酸优选为脂肪族的羧酸或者含有苯基基团的羧酸。
上述脂肪族羧酸的例子包括单羧酸,如甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、新戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸和辛酸;二羧酸,如草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、十三烷二酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、环己烷二羧酸、衣康酸、柠康酸、马来酸、富马酸、中康酸;和三羧酸,如丙三羧酸、丙烯三甲酸和樟脑三酸。
上述含有苯基基团的羧酸是,例如,具有直接键合到苯基基团上的羧基基团的芳香族羧酸或者具有通过碳链键合到苯基基团上的羧基基团的羧酸。
含有苯基基团的羧酸的例子包括芳香族单羧酸,如苯甲酸、甲苯酸、枯茗酸、2,3-二甲基苯甲酸和2,4,4-三甲基-5-氧代脯氨酸;芳香族二羧酸,如邻苯二甲酸、间苯二甲酸和对苯二甲酸;具有三个或更多羧基基团的芳香族多羧酸,如偏苯三酸、苯均三酸、苯偏四甲酸和苯均四酸;以及苯乙酸、氢化阿托酸、氢化肉桂酸、扁桃酸、苯基琥珀酸、阿托酸、肉桂酸、亚肉桂酸(cinnamylidenicacid)、香豆酸和伞形酸。
这些有机酸中,从碱溶性、在下文中要描述的溶剂中的溶解性以及防止污点或膜残留物出现在形成象素的部分之外的区域内的角度考虑,优选脂肪族二羧酸和芳香族二羧酸,如丙二酸、己二酸、衣康酸、柠康酸、富马酸、中康酸和苯二甲酸。
上述的有机酸可单独使用或将两种或多种组合起来使用。
基于辐射敏感组合物的总量,本发明中上述有机酸的用量优选为10重量%或更少,更优选0.001至10重量%,最好是0.01至1重量%。当有机酸的量多于10重量%时,所形成的象素对基底的粘合力可能降低。
下面给出了本发明的用于滤色器的辐射敏感组合物的特别优选的例子(1)至(4)。
(1)一种用于滤色器的辐射敏感组合物,其中碱溶性树脂(B)包括碱溶性树脂(B3),它是选自于下列共聚物中的至少一种物质:N-间-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,和N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物,光聚合引发剂(D)包括选自于苯乙酮类化合物、双咪唑类化合物和三嗪类化合物中的至少一种物质。
(2)一种用于滤色器的辐射敏感组合物,其中碱溶性树脂(B)包括碱溶性树脂(B1),它是由(1)选自于N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯的至少一种不饱和化合物(不包括N-(单羟基苯基)马来酰亚胺),(2)(甲基)丙烯酸或者(甲基)丙烯酸与选自于ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯和2-(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸的至少一种其它含有羧基基团的烯键式不饱和单体的组合物,(3)苯乙烯和(4)选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、聚苯乙烯大分子单体和聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体的至少一种(甲基)丙烯酸酯所形成的共聚物,且光聚合引发剂(D)包括选自于苯乙酮类化合物、双咪唑类化合物和三嗪类化合物中的至少一种物质。
(3)用于滤色器(1)或(2)的辐射敏感组合物,其中多官能单体(C)是选自于三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯中的至少一种物质。
(4)用于滤色器(1)、(2)或(3)的辐射敏感组合物,其中着色剂(A)包括有机颜料。
溶剂
本发明的用于滤色器的辐射敏感组合物包括上述的着色剂(A)、碱溶性树脂(B)、多官能单体(C)和光聚合引发剂(D)作为基本组分,也可以随意地含有上述的添加剂。通过将这些组分分散或溶解于适当的溶剂中,该辐射敏感组合物可方便地制备成液体组合物。
选择并使用能分散或溶解构成组合物的组分的适当溶剂,这些溶剂不与这些组分反应并具有适当的挥发性。
溶剂的例子包括,(多)烷撑二醇单烷基醚,如乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单正丙基醚、二乙二醇单正丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单正丙醚、二丙二醇单正丁醚、三丙二醇单甲醚和三丙二醇单乙醚;(多)烷撑二醇单烷基醚乙酸酯,如乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯和丙二醇单乙醚乙酸酯;其它醚,如二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚和四氢呋喃;酮,如甲基乙基酮、环己酮、2-庚酮和3-庚酮;乳酸烷基酯如2-羟基丙酸甲酯和2-羟基丙酸乙酯;其它的酯,如2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸异丁酯、乙酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯和2-氧代丁酸乙酯;芳香族烃,如甲苯和二甲苯;以及羧酸酰胺,如N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺。
这些溶剂可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
另外,高沸点溶剂可以与这些溶剂组合起来使用,高沸点溶剂如苯甲基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苯甲醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酯亚乙酯、碳酸亚丙酯或者乙二醇单苯基醚乙酸酯。
这些高沸点溶剂可单独使用或者将两种或多种组合起来使用。
上述溶剂中,从溶解性、颜料可分散性和涂布性能的角度考虑,优选乙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、2-羟基丙酸乙酯、3-甲基-3-甲氧丁基丙酸酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧丙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、乙酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯和丙酮酸乙酯。在上述高沸点溶剂中,优选γ-丁内酯。
基于100重量份的碱溶性树脂(B),本发明中溶剂的用量优选为100至10,000重量份,更优选500至5,000重量份。
制造滤色器的方法
下面描述通过使用本发明的用于滤色器的辐射敏感组合物来制造滤色器的方法。
首先形成遮光层以限定基底表面形成象素的部分,然后将其中分散有红色颜料的辐射敏感液体组合物涂布到基底上并进行预烘烤以蒸发溶剂,从而形成涂覆膜。然后涂覆膜通过光掩模暴露在辐射下,并用碱性显影剂显影以溶解并除去涂覆膜的未曝光的部分,以便形成按照预定图案排列的红色象素阵列。
此后,将其中分散有绿色和蓝色颜料的液体辐射敏感组合物进行涂布、预烘烤、暴露于辐射下、并同样地显影以在相同的基底上按顺序形成绿色象素阵列和蓝色象素阵列,从而得到在基底上具有红、绿和蓝基色象素的三阵列的滤色器。不用说,用于制造滤色器的形成象素阵列的顺序并不限于上述的顺序。
用于制造滤色器的基底是由玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳香族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺或者聚酰亚胺形成的。随意地,基底可进行适当的预处理,如用硅烷偶联剂的化学处理、等离子体处理、离子电镀、溅射、气相反应或者真空沉积。
为了涂布液体组合物,可以使用适当的涂布技术,如旋转除布,浇注涂布、或者辊涂。
干燥后涂覆膜的厚度优选为0.1至10微米,更优选0.2至5.0微米,特别优选0.2至3.0微米。
用于制造滤色器的辐射选自于可见光辐射、紫外线辐射、远紫外线辐射、电子辐射和X-辐射,优选辐射具有190至450纳米的波长。
辐射的能量优选为10至10,000J/m2
上述的碱性显影剂优选为碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾、四甲基氢氧化铵、胆碱、1,8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一烯或者1,5-二氮杂双环-[4.3.0]-5-壬烯的水溶液。
适当数量的水溶性有机溶剂如甲醇或乙醇、或者表面活性剂也可以加入到上述碱性显影剂中。显影后优选用碱性显影剂漂洗涂覆膜。
显影可以是冲淋显影(shower development)、喷射显影(spray development)、浸透(浸渍)显影(dip(immersion)development)、捣拌显影(puddle development)等。至于显影条件,优选在常温下显影5至300秒。
当在23℃的温度和1Kgf/cm2(1毫米的喷嘴口直径)的显影压力下进行冲淋显影时,就常规的用于滤色器的辐射敏感组合物而言,未曝光部分的溶解时间要超过20秒。从下文会描述的实施例可以明显看出,本发明的用于滤色器的辐射敏感组合物的对应溶解时间是20秒或更短。
这样制得的滤色器例如对彩色液晶显示器、彩色摄像管装置和彩色传感器是特别有用的。
本发明的用于滤色器的辐射敏感组合物在显影过程中在未曝光部分的基底和遮光层上不产生残留物或污点,可以缩短生产节拍时间并能以高的效率形成高清晰和高质量的象素,这归因于它的碱溶性大大改进。
因此,本发明的用于滤色器的辐射敏感组合物可以特别方便地用于制造滤色器,所述滤色器包括用于彩色液晶显示装置的滤色器和用于固态成像装置的颜色分解(color decomposition)的滤色器。
实施例
对比实施例1
100重量份的C.I.颜料绿36、C.I.颜料黄150和C.I.颜料黄138(重量比为50/35/15)的混合物作为着色剂(A),10重量份的BYK-2001作为分散剂,50重量份的N-苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为30/20/20/30)的共聚物作为碱溶性树脂(B),40重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,500重量份的3-乙氧基丙酸乙酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
用旋涂机(spin coater)将该辐射敏感液体组合物涂布到钠玻璃基底的表面上,该钠玻璃基底具有SiO2膜以阻止基底上形成的钠离子被洗脱,然后在90℃下预烘烤该组合物4分钟,以形成1.3微米厚的涂覆膜。此后,将基底冷却到室温,使用高压汞灯通过光掩模将整个涂覆膜暴露于波长为365纳米的2,000J/m2的紫外线辐射下。然后用23℃的0.04重量%的氢氧化钾水溶液喷射所述曝光过的涂覆膜,显影压力为1kdf/cm2(喷嘴直径为1毫米)以进行冲淋显影
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是25秒。
实施例1
以与对比实施例1中相同的方式制备辐射敏感液体组合物,不同的是使用50重量份的N-对-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为30/20/20/30)的共聚物作为碱溶性树脂(B3)代替对比
实施例1中的50重量份的碱溶性树脂(B)。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是19秒。
实施例2
80重量份的C.I.颜料红254和C.I.颜料红177(重量比为90/10)的混合物作为着色剂(A),8重量份的BYK-165作为分散剂,40重量份的N-对-羟基苯基甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为35/20/20/25)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),50重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,300重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是17秒。
实施例3
90重量份的C.I.颜料蓝15:6和C.I.颜料紫23(重量比为95/5)的混合物作为着色剂(A),15重量份的BYK-2001作为分散剂,50重量份的N-对-羟基苯基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸、苯乙烯、甲基丙烯酸苄酯和甲基丙烯酸甘油酯(重量比为25/20/20/20/15)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),50重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,500重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感的液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是15秒。
实施例4
100重量份的C.I.颜料绿36和C.I.颜料黄150(重量比为50/50)的混合物作为着色剂(A),15重量份的BYK-170作为分散剂,50重量份的N-对-羧苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基琥珀酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为30/20/10/20/20)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),60重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,200重量份的3-乙氧基丙酸乙酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感的液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是12秒。
实施例5
100重量份的C.I.颜料蓝15:6作为着色剂(A),15重量份的BYK-2000作为分散剂,50重量份的N-2,6-二甲基-4-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为35/20/25/20)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),70重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-甲基-1-(4-甲基苯硫基)-2-吗啉代丙-1-酮和4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮的混合物(重量比为20/10)作为光聚合引发剂(D),700重量份的3-乙氧基丙酸乙酯和700重量份的丙二醇单甲醚的混合物作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是19秒。
实施例6
90重量份的C.I.颜料红254和C.I.颜料黄139(重量比为80/20)的混合物作为着色剂(A),20重量份的EFKA-47作为分散剂,50重量份的N-(3,5-二甲基-4-羟基苯基)马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯、甲基丙烯酸苄酯和甲基丙烯酸甘油酯(重量比为30/20/15/20/15)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),70重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,500重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是17秒。
实施例7
110重量份的C.I.颜料绿36、C.I.颜料黄150和C.I.颜料黄138(重量比为70/15/15)的混合物作为着色剂(A),15重量份的BYK-161作为分散剂,60重量份的N-对-羟基环己基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单甲基丙烯酸酯、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为30/20/10/20/20)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),70重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,500重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是19秒。
实施例8
110重量份的C.I.颜料绿36、C.I.颜料黄150和C.I.颜料黄138(重量比为70/15/15)的混合物作为着色剂(A),15重量份的BYK-161作为分散剂,60重量份的N-对-羧基环己基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为35/20/25/20)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),60重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,500重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是11秒。
实施例9
80重量份的C.I.颜料红224、C.I.颜料红177和C.I.颜料黄139(重量比为45/35/20)的混合物作为着色剂(A),10重量份的BYK-2001作为分散剂,60重量份的N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单甲基丙烯酸酯、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为25/20/10/25/20)的共聚物作为碱溶性树脂(B3),60重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,500重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是14秒。
实施例10
80重量份的C.I.颜料红224、C.I.颜料红177和C.I.颜料黄139(重量比为45/35/20)的混合物作为着色剂(A),10重量份的BYK-2001作为分散剂,50重量份的N-间-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为35/20/25/20)的共聚物作为碱溶性树脂(B3),60重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮作为光聚合引发剂(D),和1,500重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是18秒。
实施例11
100重量份的C.I.颜料红254和C.I.颜料红177(重量比为80/20)的混合物作为着色剂(A),30重量份的BYK-2001作为分散剂,80重量份的N-对-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为30/20/20/30)的共聚物作为碱溶性树脂(B3),70重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮、2重量份的2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑、2重量份的4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮和1重量份的2-巯基苯并噻唑的混合物作为光聚合引发剂(D),600重量份的3-乙氧基丙酸乙酯和400重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是18秒。
实施例12
120重量份的C.I.颜料绿36和C.I.颜料黄150(重量比为50/50)的混合物作为着色剂(A),30重量份的BYK-2001作为分散剂,70重量份的N-对-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为30/20/20/30)的共聚物作为碱溶性树脂(B3),80重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),35重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮、2重量份的2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑、2重量份的4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮和1重量份的2-巯基苯并噻唑的混合物作为光聚合引发剂(D),540重量份的乙酸3-甲氧基丁酯和360重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是19秒。
实施例13
90重量份的C.I.颜料蓝15:6和C.I.颜料紫23(重量比为95/5)的混合物作为着色剂(A),25重量份的BYK-2001作为分散剂,60重量份的N-对-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为30/20/20/30)的共聚物作为碱溶性树脂(B3),90重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的  2-甲基-1-(4-甲基苯硫基)-2-吗啉代丙-1-酮、2重量份的2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑、6重量份的4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮和2重量份的2-巯基苯并噻唑的混合物作为光聚合引发剂(D),540重量份的乙酸3-甲氧基丁酯和360重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是16秒。
实施例14
110重量份的C.I.颜料红254和C.I.颜料黄139(重量比为85/15)的混合物作为着色剂(A),30重量份的BYK-2001作为分散剂,75重量份的N-对-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为35/20/20/25)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),75重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),30重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮、3重量份的2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑、4重量份的4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮和2重量份的2-巯基苯并噻唑的混合物作为光聚合引发剂(D),550重量份的3-乙氧基丙酸乙酯和550重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是15秒。
实施例15
120重量份的C.I.颜料绿36和C.I.颜料黄138(重量比为50/50)的混合物作为着色剂(A),30重量份的BYK-2001作为分散剂,70重量份的N-对-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为35/20/20/25)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),80重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),35重量份的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁-1-酮、3重量份的2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑、3重量份的4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮和2重量份的2-巯基苯并噻唑的混合物作为光聚合引发剂(D),400重量份的乙酸3-甲氧基丁酯和600重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是17秒。
实施例16
80重量份的C.I.颜料蓝15:6作为着色剂(A),25重量份的BYK-2001作为分散剂,60重量份的N-对-羟基苯基马来酰亚胺、甲基丙烯酸、苯乙烯和甲基丙烯酸苄酯(重量比为35/20/20/25)的共聚物作为碱溶性树脂(B1),90重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官能单体(C),20重量份的2-甲基-1-(4-甲基苯硫基)-2-吗啉代丙-1-酮、3重量份的2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-双咪唑、6重量份的4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮和1重量份的2-巯基苯并噻唑的混合物作为光聚合引发剂(D),450重量份的3-乙氧基丙酸乙酯和450重量份的丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物作为溶剂,混合在一起以制备辐射敏感液体组合物。
以与对比实施例1中相同的方式涂布、预烘烤、曝光和显影该液体组合物。
结果,直至未曝光部分完全溶解所需的时间是14秒。

Claims (9)

1、一种用于滤色器的辐射敏感组合物,它包括(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多功能单体和(D)光聚合引发剂,其特征在于
碱溶性树脂(B)选自于:
(B1)由(1)选自于N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯中的至少一种不饱和化合物,和(2)可与上述不饱和化合物共聚的其他烯键式不饱和单体形成的共聚物,上述的N-取代马来酰亚胺是通过用(a1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基基团、或者(a2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代马来酰亚胺的酰亚胺基团中所包含的氢原子所得到的化合物(不包括N-(单羟基苯基)马来酰亚胺),上述N-取代(甲基)丙烯酰胺是通过用(b1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基基团、或者(b2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代(甲基)丙烯酰胺的酰胺基团中所包含的一个氢原子所得到的化合物,上述(甲基)丙烯酸酯是通过用(c1)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的苯基基团、或者(c2)由羟基基团、羧基基团或者这两种基团取代的环己基基团来取代(甲基)丙烯酸的羧基基团中所包含的氢原子所得到的化合物;
(B2)由(1)N-(单羟基苯基)马来酰亚胺、(2)选自于上述N-取代马来酰亚胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺和(甲基)丙烯酸酯中的至少一种不饱和化合物(不包括N-(单羟基苯基)马来酰亚胺)、与(3)上述其它烯键式不饱和单体所形成的共聚物;以及
(B3)由(1)N-(单羟基苯基)马来酰亚胺、(2)(甲基)丙烯酸、(3)苯乙烯和(4)选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、在聚苯乙烯聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体和在聚(甲基)丙烯酸甲酯聚合物分子链的终端具有单(甲基)丙烯酰基团的大分子单体中的至少一种(甲基)丙烯酸酯所形成的共聚物。
2、如权利要求1所述的组合物,基于100重量份的着色剂(A),其中碱溶性树脂(B)的含量为10至1,000重量份。
3、如权利要求1所述的组合物,基于100重量份的碱溶性树脂(B),其中多官能单体(C)的含量为5至500重量份。
4、如权利要求1所述的组合物,基于100重量份的多官能单体(C),其中光聚合引发剂(D)的用量为0.01至80重量份。
5、如权利要求1所述的组合物,其中碱溶性树脂(B)是共聚物(B3),共聚物(B3)为选自于下列共聚物中的至少一种物质:N-间-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-邻-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯和(甲基)丙烯酸苄酯的共聚物,和N-对-羟基苯基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯和单(甲基)丙烯酸甘油酯的共聚物,且光聚合引发剂(D)为选自于苯乙酮类化合物、双咪唑类化合物和三嗪类化合物中的至少一种物质。
6、如权利要求1所述的组合物,其中碱溶性树脂(B)是共聚物(B1),共聚物(B1)包括(甲基)丙烯酸与至少一种含有羧基基团的烯键式不饱和单体的组合物,所述含有羧基基团的烯键式不饱和单体选自于ω-羧基聚己酸内酯单(甲基)丙烯酸酯和2-(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸作为组分(2),且光聚合引发剂(D)为选自于苯乙酮类化合物、双咪唑类化合物和三嗪类化合物中的至少一种物质。
7、如权利要求1所述的组合物,其中多官能单体(C)为选自于三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯中的至少一种物质。
8、如权利要求1所述的组合物,其中着色剂(A)含有有机颜料。
9、一种通过将权利要求1所述的组合物暴露于辐射下所得到的滤色器。
CN2004100085472A 2003-03-06 2004-03-08 用于滤色器的辐射敏感组合物 Expired - Lifetime CN1532566B (zh)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60240/2003 2003-03-06
JP60240/03 2003-03-06
JP2003060240 2003-03-06
JP6246/04 2004-01-14
JP6246/2004 2004-01-14
JP2004006246A JP4561101B2 (ja) 2003-03-06 2004-01-14 カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1532566A true CN1532566A (zh) 2004-09-29
CN1532566B CN1532566B (zh) 2010-05-12

Family

ID=33302151

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2004100085472A Expired - Lifetime CN1532566B (zh) 2003-03-06 2004-03-08 用于滤色器的辐射敏感组合物

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP4561101B2 (zh)
KR (1) KR20040079322A (zh)
CN (1) CN1532566B (zh)
SG (1) SG110084A1 (zh)
TW (1) TWI358554B (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101539723A (zh) * 2008-02-28 2009-09-23 Jsr株式会社 着色层形成用放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件
CN1912742B (zh) * 2005-08-11 2010-05-12 东京应化工业株式会社 着色剂分散液及使用它的感光性组合物
CN101680984B (zh) * 2007-06-01 2012-08-08 富士胶片株式会社 滤色片用固化性组合物及其制造方法、着色固化性树脂组合物、着色图案及其形成方法、滤色片及其制造方法、以及液晶显示元件
CN101226333B (zh) * 2007-01-15 2012-11-14 富士胶片株式会社 可固化组合物、使用该组合物的滤色器及其制备方法、和固体摄像元件
CN101676338B (zh) * 2008-09-17 2014-07-09 富士胶片株式会社 颜料分散组合物、着色感光性组合物、滤色器、液晶显示元件及固体摄像元件
US8778575B2 (en) 2007-01-15 2014-07-15 Fujifilm Corporation Curable composition, color filter using the same and manufacturing method therefor, and solid image pickup element
CN104040432A (zh) * 2012-01-19 2014-09-10 日产化学工业株式会社 负型感光性树脂组合物
CN101266407B (zh) * 2007-03-12 2014-11-05 Jsr株式会社 用于形成着色层的放射线敏感性组合物
CN109219653A (zh) * 2016-06-07 2019-01-15 横滨橡胶株式会社 洗涤剂组合物

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4923496B2 (ja) * 2005-02-18 2012-04-25 Jsr株式会社 カラーフィルタ用感放射線性樹脂組成物およびカラーフィルタ
JP4918759B2 (ja) * 2005-07-08 2012-04-18 東ソー株式会社 光学フィルム
JP4826187B2 (ja) * 2005-09-26 2011-11-30 大日本印刷株式会社 カラーフィルタの製造方法
KR101313538B1 (ko) * 2006-04-06 2013-10-01 주식회사 동진쎄미켐 네가티브 감광성 수지 조성물
JP4947294B2 (ja) * 2007-02-23 2012-06-06 Jsr株式会社 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
JP4983310B2 (ja) * 2007-02-28 2012-07-25 Jsr株式会社 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
JP5144971B2 (ja) * 2007-06-14 2013-02-13 株式会社Dnpファインケミカル 感光性樹脂組成物
US9442372B2 (en) 2007-09-26 2016-09-13 Fujifilm Corporation Pigment dispersion composition, photocurable composition and color filter
JP5121522B2 (ja) * 2008-03-24 2013-01-16 富士フイルム株式会社 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及び液晶表示装置
KR101654666B1 (ko) 2008-03-17 2016-09-06 후지필름 가부시키가이샤 안료 분산 조성물, 착색 감광성 조성물, 광경화성 조성물, 컬러필터, 액정표시소자, 및 고체촬상소자
JP5047057B2 (ja) * 2008-05-20 2012-10-10 東洋インキScホールディングス株式会社 カラーフィルタ用感光性着色組成物及びカラーフィルタ
JP5124341B2 (ja) * 2008-05-20 2013-01-23 東洋インキScホールディングス株式会社 カラーフィルタ用感光性着色組成物及びカラーフィルタ
TWI459131B (zh) * 2008-05-20 2014-11-01 Toyo Ink Mfg Co 彩色濾光片用感光性著色組成物及彩色濾光片
KR101659382B1 (ko) 2009-02-16 2016-09-23 후지필름 가부시키가이샤 안료 분산 조성물, 착색 경화성 조성물, 컬러필터, 액정 표시 장치, 및 고체 촬상 소자
JP5340198B2 (ja) 2009-02-26 2013-11-13 富士フイルム株式会社 分散組成物
JP5701576B2 (ja) 2009-11-20 2015-04-15 富士フイルム株式会社 分散組成物及び感光性樹脂組成物、並びに固体撮像素子
WO2012153826A1 (en) * 2011-05-06 2012-11-15 Fujifilm Corporation Dispersion composition, curable composition, composition, transparent film, microlens, solid-state image sensing device, method for manufacturing transparent film, method for manufacturing microlens and method for manufacturing solid-state image sensing device
JP5898887B2 (ja) * 2011-05-18 2016-04-06 富士フイルム株式会社 組成物、並びに、これを用いた透明膜、マイクロレンズ、固体撮像素子、透明膜の製造方法、マイクロレンズの製造方法、及び、固体撮像素子の製造方法
KR101999803B1 (ko) 2012-11-02 2019-07-12 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 스페이서

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3842507A1 (de) * 1987-12-18 1989-06-29 Fuji Photo Film Co Ltd Verfahren zur herstellung eines mehrfarbigen musters fuer farbfilter
JPH02153353A (ja) * 1988-07-25 1990-06-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 着色光重合組成物およびカラーフィルタ
JP2764480B2 (ja) * 1991-05-17 1998-06-11 日本化薬株式会社 カラーフィルター用光重合組成物
JP2878039B2 (ja) * 1992-07-29 1999-04-05 東京応化工業株式会社 感光性樹脂組成物
JP3824285B2 (ja) * 1997-03-14 2006-09-20 富士写真フイルム株式会社 感放射線性着色組成物
JP3867177B2 (ja) * 1997-04-30 2007-01-10 Jsr株式会社 カラーフィルタ用感放射線性組成物
JP3829412B2 (ja) * 1997-05-28 2006-10-04 Jsr株式会社 カラーフィルタ用感放射線性組成物
KR19990014117A (ko) 1997-07-24 1999-02-25 마쯔모또 에이찌 감방사선성 조성물
JP2003064138A (ja) * 2001-08-28 2003-03-05 Mitsubishi Chemicals Corp 硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1912742B (zh) * 2005-08-11 2010-05-12 东京应化工业株式会社 着色剂分散液及使用它的感光性组合物
US8778575B2 (en) 2007-01-15 2014-07-15 Fujifilm Corporation Curable composition, color filter using the same and manufacturing method therefor, and solid image pickup element
CN101226333B (zh) * 2007-01-15 2012-11-14 富士胶片株式会社 可固化组合物、使用该组合物的滤色器及其制备方法、和固体摄像元件
CN101266407B (zh) * 2007-03-12 2014-11-05 Jsr株式会社 用于形成着色层的放射线敏感性组合物
CN101680984B (zh) * 2007-06-01 2012-08-08 富士胶片株式会社 滤色片用固化性组合物及其制造方法、着色固化性树脂组合物、着色图案及其形成方法、滤色片及其制造方法、以及液晶显示元件
CN101539723B (zh) * 2008-02-28 2014-08-13 Jsr株式会社 着色层形成用放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件
CN101539723A (zh) * 2008-02-28 2009-09-23 Jsr株式会社 着色层形成用放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件
CN101676338B (zh) * 2008-09-17 2014-07-09 富士胶片株式会社 颜料分散组合物、着色感光性组合物、滤色器、液晶显示元件及固体摄像元件
CN104040432A (zh) * 2012-01-19 2014-09-10 日产化学工业株式会社 负型感光性树脂组合物
CN104040432B (zh) * 2012-01-19 2018-09-14 日产化学工业株式会社 负型感光性树脂组合物
CN109219653A (zh) * 2016-06-07 2019-01-15 横滨橡胶株式会社 洗涤剂组合物
US11034922B2 (en) 2016-06-07 2021-06-15 The Yokohama Rubber Co., Ltd. Cleaning agent composition
CN109219653B (zh) * 2016-06-07 2021-07-13 横滨橡胶株式会社 洗涤剂组合物

Also Published As

Publication number Publication date
TW200426404A (en) 2004-12-01
SG110084A1 (en) 2005-04-28
CN1532566B (zh) 2010-05-12
JP2004287409A (ja) 2004-10-14
KR20040079322A (ko) 2004-09-14
JP4561101B2 (ja) 2010-10-13
TWI358554B (en) 2012-02-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1532566A (zh) 用于滤色器的辐射敏感组合物
CN100350281C (zh) 颜色滤光片用放射线敏感性组合物、着色层形成法及应用
CN1143143C (zh) 喷墨滤色镜树脂组合物、滤色镜和滤色镜生产方法
CN1881081A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物和滤色器
CN101046630A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件
CN1301276C (zh) 碱溶性马来酰亚胺类共聚物及包含该共聚物的液晶显示器
CN101067723A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器以及彩色液晶显示元件
CN1677138A (zh) 滤色片用放射线敏感性组合物、滤色片和彩色液晶显示装置
CN1800885A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器以及彩色液晶显示屏
CN1291278C (zh) 辐射敏感的树脂组合物
CN101042532A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物以及滤色器
CN1656127A (zh) 硫醇化合物、光聚合引发剂组合物和光敏组合物
CN1702553A (zh) 感光性组合物
CN1690735A (zh) 着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏
CN1683943A (zh) 形成着色层用的感放射线性组合物、彩色滤光器和彩色液晶显示板
CN1758077A (zh) 感放射线性组合物及其调制法
CN1282901C (zh) 放射线敏感性组合物、黑色矩阵、颜色滤光片以及彩色液晶显示装置
CN1770012A (zh) 着色感光性树脂组合物
CN1916762A (zh) 感光性树脂组合物、显示面板用间隔物及显示面板
CN1609709A (zh) 黑色感光性树脂组合物
CN1782748A (zh) 用于滤色器的辐射敏感组合物,其制备方法,滤色器以及彩色液晶显示装置
CN1673780A (zh) 感放射线性树脂组合物及彩色滤光片缺陷修复方法
CN1834164A (zh) 着色组合物
CN1781995A (zh) 着色组合物
CN1904735A (zh) 着色感光性树脂组合物

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20100512