[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

CN1690735A - 着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏 - Google Patents

着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏 Download PDF

Info

Publication number
CN1690735A
CN1690735A CNA2005100670555A CN200510067055A CN1690735A CN 1690735 A CN1690735 A CN 1690735A CN A2005100670555 A CNA2005100670555 A CN A2005100670555A CN 200510067055 A CN200510067055 A CN 200510067055A CN 1690735 A CN1690735 A CN 1690735A
Authority
CN
China
Prior art keywords
methyl
acid
paratonere
weight portions
acrylate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2005100670555A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100380141C (zh
Inventor
安孙子聪子
阿部慈
长塚富雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
JSR Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JSR Corp filed Critical JSR Corp
Publication of CN1690735A publication Critical patent/CN1690735A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100380141C publication Critical patent/CN100380141C/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L9/00Disinfection, sterilisation or deodorisation of air
    • A61L9/015Disinfection, sterilisation or deodorisation of air using gaseous or vaporous substances, e.g. ozone
    • A61L9/04Disinfection, sterilisation or deodorisation of air using gaseous or vaporous substances, e.g. ozone using substances evaporated in the air without heating
    • A61L9/12Apparatus, e.g. holders, therefor
    • A61L9/122Apparatus, e.g. holders, therefor comprising a fan
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29DPRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D22/00Producing hollow articles
    • B29D22/003Containers for packaging, storing or transporting, e.g. bottles, jars, cans, barrels, tanks
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2209/00Aspects relating to disinfection, sterilisation or deodorisation of air
    • A61L2209/10Apparatus features
    • A61L2209/13Dispensing or storing means for active compounds
    • A61L2209/134Distributing means, e.g. baffles, valves, manifolds, nozzles

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

一种着色层形成用感放射线性组合物,其含有着色剂、碱可溶性树脂、多官能性单体及2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮类的吗啉代苯基化合物的感放射线性聚合引发剂。该组合物可以抑制由于感放射线性聚合引发剂成分的升华对烧结炉和光掩模的污染,而且,在液体中不产生杂质,且显像性、图案形状也优良。

Description

着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏
技术领域
本发明涉及着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏,更详细地是涉及透射型或者反射型的彩色液晶显示装置、彩色摄像管元件等使用的彩色滤光片的着色层形成用的感放射线性组合物、具有由该感放射线性组合物构成的着色层的彩色滤光片,以及具有该彩色滤光片的液晶显示屏。
背景技术
以往,在使用着色感放射线性组合物制造彩色滤光片时,已知有在基板上或者预先形成了规定图案的遮光层的基板上涂布着色感放射线性组合物,干燥后对着涂膜向规定的图案形状照射放射线(以下称为曝光),通过显像得到各个颜色象素的形成方法(参照特开平2-144502号公报及特开平3-53201号公报)。
另外,近年来,由于液晶显示屏的大面积化和生产性的提高等,母玻璃基板的尺寸从以往的680×880mm左右大型化到1500×1800mm左右。可是随着基板的大型化,彩色彩色滤光片形成时,着色层形成用感放射线性组合物中的感放射线性聚合引发剂成分升华,存在污染烧结炉和光掩模的问题,导致了生产效率的下降及生产成本的升高。
进而,本申请人在特开2001-235617号公报中公开了作为感放射线性组合物的感放射线性聚合引发剂,通过使用1-(2-溴-4-吗啉代苯基)-2-苄基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮或者1-(3-溴-4-吗啉代苯基)-2-苄基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮等的溴取代苯乙酮系化合物,可以减少由于感放射线性聚合引发剂成分的升华对烧结炉和排气通道的污染、减少设置在反复使用显像液时的显像管道中的过滤器的堵塞等。
可是,包括特开2001-235617号公报中所记载的,用于彩色滤光片形成的以往的感放射线性组合物中,在防止由于感放射线性聚合引发剂成分的升华对烧结炉和光掩模的污染及液体中杂质的生成方面还不能说是充分的,因此,目前强烈地希望开发出兼有这些特性的感放射线性组合物。
发明内容
本发明的目的在于提供着色层形成用的感放射线性组合物,其可以抑制由于感放射线性聚合引发剂成分的升华对烧结炉和光掩模的污染且液体中没有杂质的发生,而且显像性、图案形状等也优良、具有由该感放射线性组合物形成的着色层的彩色滤光片及具有该彩色滤光片的液晶显示屏。
本发明的其他的目的及优点从以下的说明可以明确。
按照本发明,本发明的上述目的及优点,第一,是通过使用一种感放射线性组合物来完成的,其特征是含有(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体或者其与单官能性化合物的组合、及(D)含有用下式(1)表示的化合物,并用于着色层形成。
Figure A20051006705500041
通式(1)中R1表示碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基;R2及R3相互独立地表示氢原子、碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基、或者苄基;R4、R5、R7及R8相互独立地表示氢原子、卤原子、碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基、或者碳原子数1~4的直链状、支链状的烷氧基;R6表示卤原子、碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基、用羟基及选自由碳原子数1~4的直链状或者支链状的烷氧基构成的组中的取代基取代了的碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基、碳原子数1~4的直链状、或支链状的烷氧基、或者用选自由羟基及碳原子数1~4的直链状或者支链状的烷氧基构成的组中的取代基取代了的碳原子数2~4的直链状、或支链状的烷氧基。
本发明中所说的“放射线”是指包括紫外线、远紫外线、X线、电子线、分子线、γ线、同步加速器放射线、质子射线束等。
本发明中所说的“着色层”是指由象素和/或黑色矩阵构成的层。
按照本发明,本发明的上述目的及优点,第二,是通过具有上述本发明的感放射线性组合物形成的着色层构成的彩色滤光片来完成的。
按照本发明,本发明的上述目的及优点,第三,是通过具有上述彩色滤光片的液晶显示屏来完成的。
以下详细地说明本发明。
(A)着色剂
本发明中的着色剂,对于色调没有特别的限制,可以根据得到的彩色滤光片的用途适当地选择,颜料、染料或者天然色素中的任何一种都可以使用。
为了使得彩色滤光片具有高精细的发色和耐热性,本发明的着色剂优选使用发色性高、而且耐热性高的着色剂,特别优选耐热分解性高的着色剂。优选使用颜料,特别优选使用有机颜料、碳黑。
作为有机颜料,可以举出例如,在染料索引(C.I.;The Society ofDyers and colourists公司发行)中,分类在颜料(Pigment)的化合物,具体的是带有下述染料索引(C.I.)号的颜料。
C.I.颜料黄-1、C.I.颜料黄-3、C.I.颜料黄-12、C.I.颜料黄-13、C.I.颜料黄-14、C.I.颜料黄-15、C.I.颜料黄-16、C.I.颜料黄-17、C.I.颜料黄-20、C.I.颜料黄-24、C.I.颜料黄-31、C.I.颜料黄-55、C.I.颜料黄-60、C.I.颜料黄-61、C.I.颜料黄-65、C.I.颜料黄-71、C.I.颜料黄-73、C.I.颜料黄-74、C.I.颜料黄-81、C.I.颜料黄-83、C.I.颜料黄-93、C.I.颜料黄-95、C.I.颜料黄-97、C.I.颜料黄-98、C.I.颜料黄-100、C.I.颜料黄-101、C.I.颜料黄-104、C.I.颜料黄-106、C.I.颜料黄-108、C.I.颜料黄-109、C.I.颜料黄-110、C.I.颜料黄-113、C.I.颜料黄-114、C.I.颜料黄-116、C.I.颜料黄-117、C.I.颜料黄-119、C.I.颜料黄-120、C.I.颜料黄-126、C.I.颜料黄-127、C.I.颜料黄-128、C.I.颜料黄-129、C.I.颜料黄-138、C.I.颜料黄-139、C.I.颜料黄-150、C.I.颜料黄-151、C.I.颜料黄-152、C.I.颜料黄-153、C.I.颜料黄-154、C.I.颜料黄-155、C.I.颜料黄-156、C.I.颜料黄-166、C.I.颜料黄-168、C.I.颜料黄-175、C.I.颜料黄-180、C.I.颜料黄-185;
C.I.颜料橙-1、C.I.颜料橙-5、C.I.颜料橙-13、C.I.颜料橙-14、C.I.颜料橙-16、C.I.颜料橙-17、C.I.颜料橙-24、C.I.颜料橙-34、C.I.颜料橙-36、C.I.颜料橙-38、C.I.颜料橙-40、C.I.颜料橙-43、C.I.颜料橙-46、C.I.颜料橙-49、C.I.颜料橙-51、C.I.颜料橙-61、C.I.颜料橙-63、C.I.颜料橙-64、C.I.颜料橙-71、C.I.颜料橙-73;
C.I.颜料紫-1、C.I.颜料紫-19、C.I.颜料紫-23、C.I.颜料紫-29、C.I.颜料紫-32、C.I.颜料紫-36、C.I.颜料紫-38;
C.I.颜料红-1、C.I.颜料红-2、C.I.颜料红-3、C.I.颜料红-4、C.I.颜料红-5、C.I.颜料红-6、C.I.颜料红-7、C.I.颜料红-8、C.I.颜料红-9、C.I.颜料红-10、C.I.颜料红-11、红-12、C.I.颜料红-14、C.I.颜料红-15、C.I.颜料红-16、C.I.颜料红-17、C.I.颜料红-18、C.I.颜料红-19、C.I.颜料红-21、C.I.颜料红-22、C.I.颜料红-23、C.I.颜料红-30、C.I.颜料红-31、C.I.颜料红-32、C.I.颜料红-37、C.I.颜料红-38、C.I.颜料红-40、C.I.颜料红-41、C.I.颜料红-42、C.I.颜料红-48:1、C.I.颜料红-48:2、C.I.颜料红-48:3、C.I.颜料红-48:4、C.I.颜料红-49:1、C.I.颜料红-49:2、C.I.颜料红-50:1、C.I.颜料红-52:1、C.I.颜料红-53:1、C.I.颜料红-57、C.I.颜料红-57:1、C.I.颜料红-57:2、C.I.颜料红-58:2、C.I.颜料红-58:4、C.I.颜料红-60:1、C.I.颜料红-63:1、C.I.颜料红-63:2、C.I.颜料红-64:1、C.I.颜料红-81:1、C.I.颜料红-83、C.I.颜料红-88、C.I.颜料红-90:1、C.I.颜料红-97、C.I.颜料红-101;
C.I.颜料红-102、C.I.颜料红-104、C.I.颜料红-105、C.I.颜料红-106、C.I.颜料红-108、C.I.颜料红-112、C.I.颜料红-113、C.I.颜料红-114、C.I.颜料红-122、C.I.颜料红-123、C.I.颜料红-144、C.I.颜料红-146、C.I.颜料红-149、C.I.颜料红-150、C.I.颜料红-151、C.I.颜料红-166、C.I.颜料红-168、C.I.颜料红-170、C.I.颜料红-171、C.I.颜料红-172、C.I.颜料红-174、C.I.颜料红-175、C.I.颜料红-176、C.I.颜料红-177、C.I.颜料红-178、C.I.颜料红-179、C.I.颜料红-180、C.I.颜料红-185、C.I.颜料红-187、C.I.颜料红-188、颜料红-190、C.I.颜料红-193、C.I.颜料红-194、C.I.颜料红-202、C.I.颜料红-206、C.I.颜料红-207、C.I.颜料红-208、C.I.颜料红-209、C.I.颜料红-215、C.I.颜料红-216、C.I.颜料红-220、C.I.颜料红-224、C.I.颜料红-226、C.I.颜料红-242、C.I.颜料红-243、C.I.颜料红-245、C.I.颜料红-254、C.I.颜料红-255、C.I.颜料红-264、C.I.颜料红-265;
C.I.颜料蓝-15、C.I.颜料蓝-15:3、C.I.颜料蓝-15:4、C.I.颜料蓝-15:6、C.I.颜料蓝-60;
C.I.颜料绿-7、C.I.颜料绿-36;
C.I.颜料棕-23、C.I.颜料棕-25;
C.I.颜料黑-1、C.I.颜料黑-7。
另外这些有机颜料可以用例如硫酸重结晶法、溶剂洗涤法、和组合这些方法进行提纯后使用。
另外,作为上述的无机颜料可以举出例如,氧化钛、硫酸钡、碳酸钙、锌白、硫酸铅、黄色铅、锌黄、氧化铁红(红色氧化铁(III))、镉红、群青、绀青、氧化铬绿、钴绿、棕土、钛黑、合成铁黑、碳黑等。
在本发明中,有机颜料及无机颜料可以分别单独地或者混合2种以上后使用,另外有机颜料和无机颜料也可以并用。形成象素时,最好使用1种以上的有机颜料。另外在形成黑色矩阵时,最好使用2种以上的有机颜料和/或碳黑。
在本发明中,上述各个颜料,根据需要可以用聚合物改质该粒子表面后使用。作为改质该粒子表面的聚合物,可以举出例如,特开平8-259876号公报等记载的聚合物和、市售的各种颜料分散用的聚合物或者低聚物等。
根据需要,本发明中着色剂可以与分散剂一起使用。
作为上述的分散剂可以举出例如,阳离子系、阴离子系、非离子系、两性、有机硅系、氟系等的表面活性剂。
作为上述的表面活性剂,可以举出聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚类的聚氧乙烯烷基醚;聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚类的聚氧乙烯烷基苯基醚;聚乙二醇二月桂酸酯、;聚乙二醇二硬脂酸酯类的聚乙二醇二酯;山梨糖醇酐脂肪酸酯;脂肪酸改性聚酯;叔胺改性聚氨酯;聚乙烯亚胺类等,除此之外,还有用以下商品名的商品,如KP(信越化学工业(株)制)、ポリフロ-(共荣化学(株)制)、エフトツプ(ト-ケム产品社制)、メガフアツク(大日本油墨化学工业(株)制)、フロラ-ド(住友三M(株)制)、アサヒガ-ド、サ-フロン(以上旭硝子(株)制)、Disperbyk(颜料化学日本(株)制)、ソルスパ-ス(セネカ(株)制)等。
这些表面活性剂可以单独或者2种以上混合使用。
表面活性剂的使用量,对于100重量份着色剂,优选50重量份以下,更优选0~30重量份。
(B)碱可溶性树脂
本发明的碱可溶性树脂,只要对于着色剂起到粘结剂作用,而且在形成着色层时,对该显像工序中使用的显像液、优选碱性显像液具有可溶性的话,就没有特别的限制。其中优选具有羧基的碱可溶性树脂,特别优选具有一个以上的羧基的乙烯性不饱和单体(以下称为“含有羧基不饱和单体”)和与其他的可共聚乙烯性不饱和单体(以下称为“共聚性不饱和单体”)的共聚物(以下称为“含有羧基共聚物”)。
作为含有羧基的不饱和单体,可以举出例如(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸类的不饱和一元羧酸;
马来酸、马来酸酐、富马酸、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、中康酸类的不饱和二元羧酸或者其酸酐;
三元以上的不饱和多元酸或者其酸酐;
琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]酯、苯二酸单[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]酯类的二元以上的多元羧酸的单[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]酯;
ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯类的两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯等。
这些的含有羧基的不饱和单体中,琥珀酸单[2-丙烯酰氧乙基]酯及邻苯二酸单[2-丙烯酰氧乙基]酯,分别以M-5300及M-5400(东亚合成(株)制)的商品名在市场上销售着。
上述的含有羧基的不饱和单体,可以单独地或者2种以上混合使用。
另外作为共聚合性不饱和单体,可以举出例如,苯乙烯、α-甲基苯乙烯、邻乙烯基甲苯、间乙烯基甲苯、对乙烯基甲苯、对氯化苯乙烯、邻甲氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、邻乙烯基苄基甲基醚、间乙烯基苄基甲基醚、对乙烯基苄基甲基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚类的芳香族乙烯基化合物;
茚、1-甲基茚、苊烯类的其他聚合性芳香族化合物;
(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丁酯、(甲基)丙烯酸3-羟丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟丁酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、2-甲氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-苯氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、甲氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基丙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基一缩二丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸降冰片酯、二环戊二烯(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、丙三醇单(甲基)丙烯酸酯类的不饱和羧酸酯;
2-氨基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-二甲基氨基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-氨基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-二甲基氨基丙基(甲基)丙烯酸酯、3-氨基丙基(甲基)丙烯酸酯、3-二甲基氨基丙基(甲基)丙烯酸酯类的不饱和羧酸氨基烷基酯;
(甲基)丙烯酸缩水甘油基酯类的不饱和羧酸缩水甘油基酯;
醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯类的羧酸乙烯酯;
乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚类的不饱和醚;
(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、偏二氰乙烯类的丙烯腈化合物;
(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺等的不饱和酰胺;
马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等的不饱和酰亚胺;
1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯类的脂肪族共轭二烯;
聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷类的聚合物分子链末端具有单(甲基)丙烯酰基的大分子单体等。
这些共聚物不饱和单体可以单独地或者2种以上混合使用。
作为本发明的含有羧基共聚物,优选(i)以(甲基)丙烯酸作为必需成分,根据情况,进而可以含有选自由琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]酯及ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯构成的组中的至少一种化合物的含有羧基不饱和单体成分和、(ii)选自由苯乙烯、苊烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、丙三醇单(甲基)丙烯酸酯、N-苯基马来酰亚胺、聚苯乙烯大分子单体及聚甲基丙烯酸甲酯大分子构成的组中的至少一种的共聚物(以下称为“含有羧基共聚物(I)”)。
含有羧基共聚物(I)的具体例可以举出:
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚丙烯酸甲基甲酯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物、
(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/丙三醇单(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/丙三醇单(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺共聚物、
(甲基)丙烯酸/苊烯/(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸2-羟乙酯/ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯共聚物等。
含有羧基共聚物中的含有羧基不饱和单体的共聚物的比例,优选5~50重量%,更优选10~40重量%。含有羧基不饱和单体的共聚物的比例未满5重量%时,得到的感放射线性组合物对碱性显像液的溶解性有下降的倾向。另一方面,若超过50重量%,则对碱性显像液的溶解性过大,在用碱性显像液显像时,容易引起着色层从基板的脱落和着色层表面的膜粗造的倾向。
本发明的碱性可溶性树脂,用凝胶渗透色谱(GPC、洗脱溶剂:四氢呋喃)测定的换算聚苯乙烯重均分子量(以下,称为“Mw”。),优选3,000~300,000、更优选5,000~100,000。
另外,本发明的碱性可溶性树脂,用凝胶渗透色谱(GPC、洗脱溶剂:四氢呋喃)测定的换算聚苯乙烯数均分子量(以下,称为“Mn”。),优选3,000~60,000、更优选5,000~25,000。
在本发明中,通过使用具有这样特定的Mw及Mn的可溶性树脂可得到显像性优良的感放射线性组合物。另外,通过使用它可形成具有尖锐图案边缘的象素图案及黑色矩阵图案的同时,在显像时在未曝光部的基板上及遮光层上不容易发生残渣、浮色、残膜等。
另外,本发明的可溶性树脂的Mw和Mn的比(Mw/Mn),优选1~5、特别优选1~4。
在本发明中,可溶性树脂可单独或者2种以上混合使用。
本发明的可溶性树脂的使用量,对于(A)着色剂100重量份,优选10~1,000重量份、更优选20~500重量份。对于碱可溶性树脂的使用量不足10重量份时,可能出现例如碱显像性降低、在未曝光部的基板上或者遮光层上发生浮色或残膜。另一方面,若超过1,000重量份时,由于着色剂浓度相对降低,所以有时薄膜往往难以达到作为目的的色浓度。
(C)多官能性单体或其与单官能性化合物的组合
本发明的多官能性单体是具有2个以上的聚合性不饱和键的单体。
作为多官能性单体的例子,可举出如乙二醇、丙二醇类烷二醇的二(甲基)丙烯酸酯;
聚乙二醇、聚丙二醇类的聚烷二醇的二(甲基)丙烯酸酯;
甘油、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇类的三元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯或它们的二元羧酸改性物;
聚酯、环氧树脂、聚氨酯树脂、醇酸树脂、有机硅树脂、螺烷树脂等的低聚(甲基)丙烯酸酯;
两末端羟基聚-1,3-丁二烯、两末端羟基聚异戊二烯、两末端羟基聚己内酯等的两末端羟基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯和、
三[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]磷酸酯等。
在这些的多官能性单体中,优选3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯或这些的二元羧酸改性物,具体地是三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、一缩二季戊四醇五丙烯酸酯、一缩二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、一缩二季戊四醇六丙烯酸酯、一缩二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、用下述式(2)或者式(3)表示的化合物等。
Figure A20051006705500121
特别是三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯及一缩二季戊四醇六丙烯酸酯的着色层的强度高,着色层的表面平滑性优良,且在未曝光部的基板上及遮光层上不容易发生浮色、残膜等上是理想的。
在本发明中,多官能性单体可单独或者2种以上混合使用。
在本发明中,多官能性单体的使用量,对于(B)碱性可溶性树脂100重量份,优选5~500重量份、更优选20~300重量份。对于多官能性单体的使用量不足5重量份时,有着色层的强度或表面平滑性降低所趋势。另一方面,若超过500重量份时,例如有碱显像性降低、在未曝光部的基板上或者遮光层上容易发生浮色、残膜的趋势。
另外,在本发明中,也可以使用多官能性单体和具有1个聚合性不饱和键的单官能性单体的组合。
作为上述单官能性单体,例如与上述(B)碱性可溶性树脂中例举的含有羧基不饱和单体或共聚性不饱和单体相同的单体之外,可举出N-(甲基)丙烯酰吗啉、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基-ε-己内酰胺或作为市售品的M-5600(商品名、东亚合成(株)制)等。
这些单官能性单体可单独或者2种以上混合使用。上述单官能性单体的使用比例,对于多官能性单体和单官能性单体的总和,优选90重量%以下、更优选50重量%以下。此时,若单官能性单体的使用比例超过90重量%,可能着色层的强度或表面平滑性不充分。
(D)感放射线性聚合引发剂
在本发明中,作为感放射线性聚合引发剂,使用用上述式(1)表示的化合物(以下,称为“聚合引发剂(1)”。)。该化合物具有通过曝光可以产生引发上述(C)多官能性单体及根据情况被使用的单官能性单体聚合的活性种的作用。
在式(1)中,作为R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7及R8的碳数1~12的直链、支链或者环状的烷基,例如可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、环戊基、环己基等。
另外,作为R4、R5、R6、R7及R8的卤原子,例如可举出氟原子、氯原子、溴原子等。
另外,作为R4、R5、R6、R7及R8的碳数1~4的直链或者支链状的烷氧基,例如可举出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等。
另外,在R6的用羟基及选自由碳数1~4的直链状或者支链状烷氧基组成的组中的取代基取代的碳数1~12的直链状、支链状或者环状烷基中,作为取代基的碳数1~4的直链状或者支链状的烷氧基,例如可举出与对于上述R4、R5、R6、R7及R8作为碳数1~4的直链状或者支链状的烷氧基例举的基团相同的基团。
作为上述取代基,例如优选羟基、甲氧基等。
另外,上述取代基可以存在1种以上后者1个以上。
作为R6的碳数1~12的直链状、支链状或者环状烷基,例如可举出与对于上述R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7及R8的碳数1~12的直链状、支链状或者环状的烷氧基例举的基团相同的基团。
另外,在R6的用羟基及选自由碳数1~4的直链状或者支链状烷氧基组成的组中的取代基取代的碳数2~4的直链状、支链状或者环状烷基中,作为取代基的碳数1~4的直链状或者支链状的烷氧基,例如可举出与对于上述R4、R5、R6、R7及R8作为碳数1~4的直链状或者支链状的烷氧基例举的基团相同的基团。
作为这样的取代基,例如优选羟基、甲氧基等。
这样的取代基可以1种以上后者1个以上存在着。
作为R6的碳数1~4的直链状或者支链状的烷氧基,例如可举出乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等。
在式(1)中,作为R1,例如优选甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基等。
另外,作为R2及R3,例如优选甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基等。
另外,作为R4、R5、R7及R8,例如优选氢原子、甲基、乙基等。
进而,作为R6,例如优选甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正癸基、正十二烷基、羟基甲基、2-羟基乙基、甲氧基甲基、2-甲氧基乙基、甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、羟基甲氧基、2-羟基乙氧基、甲氧基甲氧基、2-甲氧基乙氧基等。
作为本发明的优选的聚合引发剂(1)的具体例子,例如有:
2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-乙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-异丙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-正丁基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-异丁基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-正十二烷基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(3,4-二甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-甲氧基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-乙氧基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-羟甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-[4-(2-羟基乙氧基)苄基]-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-[4-(2-甲氧基乙氧基)苄基]-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-异丙基苄基)-2-[(正丁基)(甲基)氨基]-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-正丁基苄基)-2-[(正丁基)(甲基)氨基]-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、
2-(4-异丙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)戊烷-1-酮、
2-(4-异丁基苄基)-2-[(正丁基)(甲基)氨基]-1-(4-吗啉代苯基)戊烷-1-酮、
2-(4-正丁氧基苄基)-2-[(正丁基)(甲基)氨基]-1-(4-吗啉代苯基)戊烷-1-酮、
2-(4-甲基苄基)-2-[二(正辛基)氨基]-1-(4-吗啉代苯基)己烷-1-酮、
2-(4-正十二烷基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)辛烷-1-酮等。
在这些聚合引发剂(1)中,特别优选2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-乙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮等。
本发明中,聚合引发剂(1)可单独或2种以上混合使用。
另外,在本发明中,与聚合引发剂(1)一起可以并用其他的感光放射线性组合物(以下,称为“其他的聚合引发剂”。)。
作为其他的聚合引发剂,例如优选具有用下述式(4)、式(5)及式(6)分别表示的主要骨架的至少1种联二咪唑系化合物、苯乙酮系化合物、二苯甲酮系化合物、苯偶因系化合物、α-二酮系化合物、多环醌系化合物、氧杂蒽酮系化合物、膦系化合物、三嗪系化合物、咔唑系化合物等。在这些中,优选联二咪唑系化合物、苯乙酮系化合物等。
Figure A20051006705500171
作为上述联二咪唑系化合物的具体例子,可举出:
2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-联二咪唑、
2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-联二咪唑、
2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑、
2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑、
2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑、
2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑、
2,2’-双(2,4-二溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑、
2,2’-双(2,4,6-三溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑等。
在这些联二咪唑系化合物中,优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑及2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑,其中,特别优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑。
上述联二咪唑系化合物可单独或者2种以上混合使用。
在本发明中,作为其他的聚合引发剂并用联二咪唑系化合物时,添加下述的供氢体,从而改善灵敏度上是理想的。在此,所说的“供氢体”是指对于通过曝光从联二咪唑系化合物产生的自由基,可供给氢原子的化合物。
作为这样的供氢体,优选用下述定义的巯醇系化合物、用下述定义的胺系化合物等。
上述巯醇系化合物是将苯环或者杂环作为母核,在该母核上具有1个以上直接结合了的巯基、优选1~3个、更优选1~2个的化合物(以下,称为“巯醇系供氢体”。)。
上述胺系化合物是将苯环或者杂环作为母核,在该母核上具有1个以上直接结合了的胺基、优选1~3个、更优选1~2个的化合物(以下,称为“胺系供氢体”。)。
另外,这些供氢体也可同时具有巯基和氨基。
以下,对于供氢体进行更具体地说明。
巯醇系供氢体可分别具有1个以上的苯环或者杂环,另外,可具有苯环和杂环两者。在具有2个以上的这些环时,也可以形成稠环或者不形成稠环。
另外,巯醇系供氢体具有2个以上巯基时,只要至少残存1个游离巯基时,残存巯基中的1个以上巯基也可以用烷基、芳烷基或芳基取代,进而,只要至少残存1个游离巯基时,可具有2个硫原子通过亚烷基等的2价的有机基结合了的结构单元、或者2个硫原子以二硫化物形式结合了的结构单元。
进而,巯醇系供氢体,在巯基以外的部位,也可以用羧基、取代或者非取代的烷氧基羰基、取代或者非取代的苯氧羰基、腈基等取代。
作为这样的巯醇系供氢体的具体例子,可举出2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并恶唑、2-巯基苯并咪唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑、2-巯基-2,5-二甲基氨基吡啶等。
在这些巯醇系供氢体中,优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并恶唑、特别优选2-巯基苯并噻唑。
其次,胺系供氢体可以分别具有1个以上的苯环或者杂环,另外,可具有苯环和复杂环两者,在具有2个以上这些环时,可以形成稠环,也可不形成稠环。
另外,胺系供氢体,1个以上的氨基可以用烷基或取代烷基取代,另外,在氨基以外的部位,也可以用羧基、取代或者非取代的烷氧基羰基、取代或者非取代的苯氧羰基、腈基等取代。
作为这样的胺系供氢体的具体例子,可举出4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯腈等。
在这些胺系供氢体中,优选4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。另外,即使不存在联二咪唑系化合物时,4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮或4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮单独地也可作为感放射线性组合物显示作用。
在本发明中,供氢体可单独或者2种以上混合使用。若将1种以上的巯醇系供氢体和1种以上的胺系供氢体组合使用时,形成的着色层在显像时难以从基板脱落,另外,从着色层的强度及灵敏度也高这点上看是理想的。
作为巯醇系供氢体和胺系供氢体的优选组合的具体例子,可举出2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并恶唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并恶唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等。其中,更优选的组合是2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并恶唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选的组合是2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
巯醇系供氢体和胺系供氢体的组合的巯醇系供氢体和胺系供氢体的重量比,优选1∶1~1∶4、更优选1∶1~1∶3。
另外,作为上述苯乙酮系化合物的具体例子,可举出2,2-二甲氧基苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-[4-(甲硫基)苯基]-2-甲基-2-吗啉代丙烷-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)苯基-(2-羟基-2-丙基)酮、1-(4-吗啉代苯基)-2-苄基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1-(2-溴-4-吗啉代苯基)-2-苄基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1-(4-吗啉代苯基)-2-(2-溴苄基)-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1-(4-吗啉代苯基)-2-(4-溴苄基)-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮等。
在这些苯乙酮系化合物中,优选2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、1-(4-吗啉代苯基)-2-苄基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1-(2-溴-4-吗啉代苯基)-2-苄基-2-二甲基氨基丁烷-1-酮、1-(4-吗啉代苯基)-2-(4-溴化苄基)-2-二甲基氨基丁烷-1-酮等。
在本发明中,并用作为其他的聚合引发剂的苯乙酮系化合物时,也可添加1种以上的上述供氢体。
另外,作为上述二苯甲酮系化合物的具体例子,可举出4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙氨基)二苯甲酮等。
另外,作为上述苯偶因系化合物的具体例子,可举出苯偶因、苯偶因甲基醚、苯偶因乙基醚、苯偶因异丙基醚、苯偶因异丁基醚、甲基-2-苯甲酰苯甲酸酯等。
另外,作为上述α-二酮系化合物的具体例子,可举出丁二酮、联苯酰、甲基苯甲酰甲酸酯等。
另外,作为上述多核醌系化合物的具体例子,可举出蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1,4-萘醌等。
另外,作为上述氧杂蒽酮系化合物的具体例子,可举出氧杂蒽酮、硫代氧杂蒽酮、2-氯硫代氧杂蒽酮等。
另外,作为上述膦系化合物的具体例子,可举出双(2,4,6-三甲基苯甲酰)苯基氧膦、2,4,6-三甲基苯甲酰二苯基氧膦等。
另外,作为上述三嗪系化合物的具体例子,可举出具有卤甲基的三嗪系化合物等,例如2,4,6-三(三氯甲基)-均三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(4-二乙氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、用下述式(7)表示的化合物,
用下述式(8)表示的化合物等。
另外,作为上述咔唑系化合物的具体例,可举出1-[9-乙基-6-苯甲酰-9.H.-咔唑-3-基]壬烷-1,2-壬烷-2-肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰-9.H.-咔唑-3-基]壬烷-1,2-壬烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰-9.H.-咔唑-3-基]戊烷-1,2-戊烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰-9.H.-咔唑-3-基]辛烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9.H.-咔唑-3-基]乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9.H.-咔唑-3-基]乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2,4,6-三甲基苯甲酰)-9.H.-咔唑-3-基]乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-正丁基-6-(2-乙基苯甲酰)-9.H.-咔唑-3-基]乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯等。
这些咔唑系化合物中,优选1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9.H.-咔唑-3-基]乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯。
这些的其他聚合引发剂可以单独或2种以上混合使用。其他聚合引发剂的使用比例,对于聚合引发剂(1)和其他聚合引发剂的总和,优选80重量%以下、更优选70重量%以下。若其他聚合引发剂的使用比例超过80重量%时,可能损害本发明所期望的效果。
本发明的聚合引发剂的使用量,对于(C)多官能性单体或其与单官能性单体的总和100重量份,优选0.01~200重量份、更优选1~120重量份、特别优选1~100重量份。聚合引发剂的使用量不足0.01重量份时,可能出现曝光引起的固化不充分,难以得到象素图案或者黑色矩阵图案按照规定的取向配置的图案阵列。另一方面,若超过200重量份,形成的着色层在显像时容易从基板脱落,另外,在未曝光部的基板上或者遮光层上容易发生浮色、残膜等。
进而,在本发明中,使用上述感放射线性聚合引发剂的同时,根据需要也可并用敏化剂、固化促进剂或者高分子光交联。敏化剂的1种以上。
添加剂
本发明的着色层形成用感放射线性组合物,根据需要可含有各种添加剂。
作为上述添加剂,可举出有机酸或有机胺化合物(但,除去上述供氢体。)等,其可以
进一步改善对于着色层形成用感放射线性组合物的碱显像液的溶解特性,且显示进一步抑制显像后的未溶解物的残存的作用等。
作为上述有机酸,优选在分子中具有1个以上的羧酸基的脂肪族羧酸或者含有苯基的羧酸。
作为上述脂肪族羧酸的例子,可举出:
甲酸、醋酸、丙酸、丁酸、戊酸、三甲基乙酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸类的一元羧酸;
草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、巴西二酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、环己烷二元羧酸、衣康酸、柠康酸、马来酸、富马酸、中康酸类的二元羧酸;
丙三元羧酸、乌头酸、樟脑三酸类的三元羧酸等。
另外,作为上述含苯基羧酸,例如可举出羧基直接结合在苯基的化合物、羧基通过碳链结合在苯基的羧酸等。
作为含苯基羧酸的例子,可举出:
苯甲酸、甲苯甲酸、对异丙基苯甲酸、2,3-二甲基苯甲酸、3,5-二甲基苯甲酸类的芳香族一元羧酸;
邻苯二酸、间苯二酸、对苯二酸类的芳香族二元羧酸;
偏苯三甲酸、均苯三甲酸、偏苯四甲酸、均苯四甲酸类的3元以上的芳香族多元羧酸或苯基醋酸、氢化阿托酸、氢化肉桂酸、苦杏仁酸、苯基琥珀酸、阿托酸、肉桂酸、亚肉桂酸、香豆酸、伞形酸等。
在这些有机酸中,从碱溶解性、对于后述的溶剂的溶解性、防止未曝光部的基板上或者遮光层上的浮色和残膜等方面看,作为脂肪族羧酸,优选脂肪族二元羧酸、特别优选丙二酸、己二酸、衣康酸、柠康酸、富马酸、中康酸等。另外,作为含苯基羧酸,优选芳香族二元羧酸,其中,特别优选邻苯二酸。
上述有机酸可以单独或2种以上混合使用。
有机酸的使用量,相对于感放射线性组合物整体,优选15重量%以下、更优选10重量%以下。若有机酸的使用量超过15重量%,存在着色层对于基板的密合性降低的趋势。
另外,作为上述有机胺化合物,优选在分子中具有1个以上的氨基的脂肪族胺或者含苯基胺。
作为上述脂肪族胺的例子,可举出:
正丙胺、异丙胺、正丁胺、异丁胺、仲丁胺、叔丁胺、正戊胺、正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺、正十一烷基胺、正十二烷基胺、环己胺、2-甲基环己胺、3-甲基环己胺、4-甲基环己胺、2-乙基环己胺、3-乙基环己胺、4-乙基环己胺类的单(环)烷基胺;
甲基乙基胺、二乙胺、甲基正丙胺、乙基正丙胺、二正丙胺、二异丙胺、二正丁胺、二异丁胺、二仲丁胺、二叔丁胺、二正戊胺、二正己胺、甲基环己胺、乙基环己胺、二环己胺类的二(环)烷基胺;
二甲基乙基胺、甲基二乙基胺、三乙胺、二甲基正丙胺、二乙基正丙胺、甲基二正丙胺、乙基二正丙胺、三正丙胺、三异丙胺、三正丁胺、三异丁胺、三仲丁胺、三叔丁胺、三正戊胺、三正己胺、二甲基环己胺、二乙基环己胺、甲基二环己胺、乙基二环己胺、三环己胺类的三(环)烷基胺;
2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、1-氨基-2-丙醇、4-氨基-1-丁醇、5-氨基-1-戊醇、6-氨基-1-己醇、4-氨基-1-环己醇类的单(环)烷醇胺;
二乙醇胺、二正丙醇胺、二异丙醇胺、二正丁醇胺、二异丁醇胺、二正戊醇胺、二正己醇胺、二(4-环己醇)胺类的二(环)烷醇胺;
三乙醇胺、三正丙醇胺、三异丙醇胺、三正丁醇胺、三异丁醇胺、三正戊醇胺、三正己醇胺、三(4-环己醇)胺类的三(环)烷醇胺;
3-氨基-1,2-丙二醇、2-氨基-1,3-丙二醇、4-氨基-1,2-丁二醇、4-氨基-1,3-丁二醇、4-氨基-1,2-环己二醇、4-氨基-1,3-环己二醇、3-二甲基氨基-1,2-丙二醇、3-二乙基氨基-1,2-丙二醇、2-二甲基氨基-1,3-丙二醇、2-二乙基氨基-1,3-丙二醇类的氨基(环)烷二醇;
1-氨基环戊烷甲醇、4-氨基环戊烷甲醇、1-氨基环己烷甲醇、4-氨基环己烷甲醇、4-二甲基氨基环戊烷甲醇、4-二乙基氨基环戊烷甲醇、4-二甲基氨基环己烷甲醇、4-二乙基氨基环己烷甲醇类的含氨基环烷甲醇;
β-丙氨酸、2-氨基丁酸、3-氨基丁酸、4-氨基丁酸、2-氨基异丁酸、3-氨基异丁酸、2-氨基戊酸、5-氨基戊酸、6-氨基己酸、1-氨基环丙烷羧酸、1-氨基环己烷羧酸、4-氨基环己烷羧酸类的氨基羧酸等。
另外,作为上述含苯基胺,例如可举出氨基直接结合在苯基的化合物、氨基通过碳链结合在苯基的化合物等。
作为含苯基胺的例子,可举出:
苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、4-乙基苯胺、4-正丙基苯胺、4-异丙基苯胺、4-正丁基苯胺、4-叔丁基苯胺、1-萘胺、2-萘胺、N,N-二甲基苯胺、N,N-二乙基苯胺、4-甲基-N,N-二甲基苯胺类的芳香族胺;
2-氨基苄醇、3-氨基苄醇、4-氨基苄基醇、4-二甲基氨基苄醇、4-二乙基氨基苄醇类的氨基苄醇;
2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、4-二甲基氨基苯酚、4-二乙基氨基苯酚类的氨基苯酚等。
在这些有机胺化合物中,从对于后述的溶剂的溶解性、防止未曝光部的基板上或者遮光层上的浮色和残膜等观点看,作为脂肪族胺,优选单(环)烷醇胺类及氨基(环)烷二醇、其中,特别优选2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、5-氨基-1-戊醇、3-氨基-1,2-丙二醇、2-氨基-1,3-丙二醇、4-氨基-1,2-丁二醇等。另外,作为含苯基胺,优选氨基苯酚类、其中,特别优选2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚等。
上述有机胺化合物可以单独或2种以上混合使用。
有机胺化合物的使用量,对于感放射线性组合物全体,优选15重量%以下、更优选10重量%以下。若有机胺化合物的使用量超过15重量%,存在着色层对基板的粘合性降低的趋势。
进而,作为上述以外的添加剂,例如可举出:
如铜钛青衍生物类的蓝色颜料衍生物或黄色颜料衍生物等的分散助剂;
玻璃、氧化铝等的填充剂;
聚乙烯醇、聚乙二醇单烷基醚、聚(氟烷基丙烯酸酯)等的高分子化合物;
非离子系、阳离子系、阴离子系等的表面活性剂;
乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯氧丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等的粘合促进剂;
2,2’-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二叔丁基苯酚等的抗氧化剂;
2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮类等的紫外线吸收剂;
聚丙烯酸钠等的抗凝剂;
1,1’-偶氮(环己烷-1-腈)、2-苯基偶氮基-4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈等的热自由基发生剂等。
溶剂
本发明的感放射线性组合物是将上述(A)~(D)成分作为必须成分,根据情况含有上述添加剂,优选配合溶剂后配制成液状组合物。
作为上述溶剂,只要是分散或溶解构成感放射线性组合物的各成分,且不与这些成分反应,具有适度的挥发性的,就可适当地选择使用。
作为这样的溶剂,例如可举出例如,
甲醇、乙醇、苄醇类的醇;
乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单正丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、二甘醇单正丙基醚、二甘醇单正丁基醚、三甘醇单甲基醚、三甘醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、一缩二丙二醇单甲基醚、一缩二丙二醇单乙基醚、一缩二丙二醇单正丙基醚、一缩二丙二醇单正丁基醚、二缩三丙二醇单甲基醚、二缩三丙二醇单乙基醚类的(聚)烷二醇单烷基醚;
乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、乙二醇单正丙基醚乙酸酯、乙二醇单正丁基醚乙酸酯、二甘醇单甲基醚乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇单正丙基醚乙酸酯、二甘醇单正丁基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯类的(聚)亚烷二醇单烷基醚乙酸酯;
二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二乙基醚、四氢呋喃类的其他的醚;
甲基乙基酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、二丙酮醇(4-羟基-4-甲基戊烷-2-酮)、4-羟基-4-甲基己烷-2-酮类的酮;
乳酸甲酯、乳酸乙酯类的乳酸烷基酯;
醋酸乙酯、醋酸正丙酯、醋酸异丙酯、醋酸正丁酯、醋酸异丁酯、甲酸正戊酯、醋酸异戊酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、丙酸正丁酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、羟基醋酸乙酯、乙氧基醋酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯类的酯;
甲苯、二甲苯的芳香族烃;
N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺类的酰胺等。
在这些溶剂中,从溶解性、颜料分散性、涂布性等观点看,优选苄醇、乙二醇单正丁基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单正丁基醚乙酸酯、二甘醇单正丁基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、醋酸正丁酯、醋酸异丁酯、甲酸正戊酯、醋酸异戊酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、丙酮酸乙酯等。
上述溶剂可以单独或2种以上混合使用。
进而,与上述溶剂同时,也可以并用苄基乙基醚、二己基醚、乙腈丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、醋酸苄基酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、乙二醇单苯基醚乙酸酯等的高沸点溶剂。
上述高沸点溶剂可单独或2种以上混合使用。
对于溶剂的使用量没有特别限制,但是从得到的感放射线性组合物的涂布性、保存稳定性等观点看,除去该组合物溶剂的各成分的总和浓度,优选5~50重量%、更优选10~40重量%。
着色层的形成方法
以下,对于使用本发明的感放射线性组合物,形成着色层的方法进行说明。
首先,在基板的表面上,根据需要形成遮光层以区划出形成象素的部分,在该基板上涂布例如分散了红色颜料的感放射线性组合物的液状组合物后,进行预焙烧蒸发溶剂形成涂膜。接着,在该涂膜上通过光掩模曝光后,使用显像液,优选碱显像液显像,溶解除去涂膜的未曝光部,然后,通过后焙烧形成红色象素图案以规定的取向配置的象素阵列。
然后,使用分散了绿色或蓝色颜料的各感放射线性组合物的液状组合物,与上述相同地进行各液状组合物的涂布、预焙烧、曝光、显像及后焙烧,在同一基板上依次形成绿色的象素阵列及蓝色的象素阵列,可得到在基板上配置了红色、绿色及蓝色的三原色的象素阵列的彩色滤光片。但是,在本发明中,形成各色的象素阵列的顺序不受上述限制。
作为在形成象素时使用基板,例如可举出玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳香族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等。
另外,在这些基板上根据需要也可预先进行硅烷偶合剂等的药品处理、等离子处理、离子镀层、溅射、气相反应法、真空蒸镀等的适宜的前处理。
在将感放射线性组合物的液状组合物涂布在基板时,可采用喷涂法、辊涂法、旋转涂布法(旋转涂法)、缝隙模涂法、棒涂法、油墨喷射法等的适宜涂布法。其中,特别优选旋转涂布法、缝隙模涂法。
涂布厚度,作为干燥后的膜厚,优选0.1~10μm、更优选0.2~8.0μm、特别优选0.2~6.0μm。
作为曝光时使用的放射线,例如可使用可见光线、紫外线、远紫外线、电子线、X线等,但优选波长在190~450nm的放射线。
放射线的曝光量,优选10~10,000J/m2左右。
另外,作为上述碱显像液,优选例如碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾、四甲基铵氢氧化物、胆碱、1,8-重氮二环-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-重氮二环-[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。
在上述碱显像液中,也可适量添加甲醇、乙醇等的水溶性有机溶剂或表面活性剂等。
作为显像处理法,可使用喷淋显像法、喷雾法、浸渍显像法、搅拌液溢显像法等。显像条件,优选在常温下5~300秒左右。另外,用碱显像液显像后,通常进行水洗。
另外,黑色矩阵的形成也与形成上述象素阵列的方法相同地进行。
彩色滤光片
本发明的彩色滤光片是具有由上述形成的象素和/或黑色矩阵组成的着色层,对于例如透射型或者反射型的彩色液晶显示装置、彩色显像管等是极有用的。
液晶显示屏
本发明的液晶显示屏是具备上述彩色滤光片的。
进而,作为本发明的液晶显示屏的1个实施方式,通过使用本发明的感放射线性组合物,在薄膜晶体管(TFT)基板阵列上形成上述着色层,可以制造具有特别优良特性的液晶显示屏。
本发明的感放射线性组合物,作为必须成分是含有上述(A)~(D)成分,若更具体地举出优选的组合物时,如下(1)~(6)的方式。
(1)着色层形成用感放射线性组合物,其中(B)碱可溶性树脂包含羧基共聚物(I)。
(2)上述(1)的着色层形成用感放射线性组合物,其中(C)多官能性单体由选自三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯及季戊四醇六丙烯酸酯构成的组中的至少1种组成。
(3)上述(1)或(2)的着色层形成用感放射线性组合物,其中(D)感放射线性聚合引发剂含有2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮。
(4)上述(1)、(2)或(3)的着色层形成用感放射线性组合物,其中(D)感放射线性聚合引发剂进而含有联二咪唑系化合物和/或苯乙酮系化合物。
(5)上述(4)的着色层形成用感放射线性组合物,其中(D)感放射线性聚合引发剂进而含有1种以上供氢体。
(6)上述(1)、(2)、(3)、(4)或(5)的着色层形成用感放射线性组合物,其中(A)着色剂含有有机颜料和/或碳黑。
另外,本发明的优选的彩色滤光片由下述(7)的彩色滤光片组成。
(7)彩色滤光片,其是具有由上述(1)、(2)、(3)、(4)、(5)或(6)的感放射线性组合物形成的象素和/或黑色矩阵。
如上述,用本发明的感放射线性组合物可抑制感放射线性聚合引发剂成分升华对烧结炉或光掩模等的污染,不产生液体中杂质,且在象素图案及黑色矩阵图案的边缘不产生浮色,而且可形成无下凹的优良的象素图案及黑色矩阵图案。
因此,本发明的感放射线性组合物极其适用于以电子工业领域的彩色液晶显示屏用彩色滤光片为主的各种彩色滤光片及液晶显示屏的制造。
实施例
以下,通过实施例,进一步具体地说明本发明的实施方式。但本发明不受下述实施例的限制。
合成例1
在装有冷却管、搅拌机的烧瓶中,加入2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)1重量份及丙二醇单甲基醚乙酸酯200重量份,接着,加入甲基丙烯酸15重量份、苯乙烯15重量份、甲基丙烯酸苄酯35重量份、甘油单甲基丙烯酸酯10重量份、N-苯基马来酰亚胺25重量份及链转移剂α-甲基苯乙烯二聚物2.5重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液温度升到80℃,保持该温度进行3小时的聚合。然后,将反应溶液的温度升到100℃,加入2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)0.5重量份,进而,聚合1小时,得到(B)碱可溶性树脂的溶液(固形分浓度=33.0重量%)。
该(B)碱可溶性树脂的Mw=17,000、Mn=8,000。将该(B)碱可溶性树脂作为“树脂(B-1)”。
合成例2
在装有冷却管、搅拌机的烧瓶中,加入2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)1重量份及丙二醇单甲基醚乙酸酯200重量份,接着,加入甲基丙烯酸15重量份、苯乙烯15重量份、甲基丙烯酸苄酯30重量份、甘油单甲基丙烯酸酯15重量份、N-苯基马来酰亚胺25重量份及链转移剂α-甲基苯乙烯二聚物2.5重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液温度升到80℃,保持该温度进行3小时的聚合。然后,将反应溶液的温度升到100℃,加入2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)0.5重量份,进而,聚合1小时,得到(B)碱可溶性树脂的溶液(固形分浓度=32.9重量%)。
该(B)碱可溶性树脂的Mw=19,000、Mn=9,000。将该(B)碱可溶性树脂作为“树脂(B-2)”。
合成例3
在装有冷却管、搅拌机的烧瓶中,加入2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)1重量份及丙二醇单甲基醚乙酸酯200重量份,接着,加入甲基丙烯酸15重量份、苯乙烯15重量份、甲基丙烯酸苄酯30重量份、甘油单甲基丙烯酸酯10重量份、N-苯基马来酰亚胺30重量份及链转移剂α-甲基苯乙烯二聚物2.5重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液温度升到80℃,保持该温度进行3小时的聚合。然后,将反应溶液的温度升到100℃,加入2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)0.5重量份,进而,聚合1小时,得到(B)碱可溶性树脂的溶液(固形分浓度=33.2重量%)。
该(B)碱可溶性树脂的Mw=15,000、Mn=7,000。将该(B)碱可溶性树脂作为“树脂(B-3)”。
合成例4
在装有冷却管、搅拌机的烧瓶中,加入2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)3重量份及丙二醇单甲基醚乙酸酯200重量份,接着,加入甲基丙烯酸15重量份、苊烯30重量份、甲基丙烯酸苄酯35重量份、2-羟乙基甲基丙烯酸酯10重量份、ω-羧基聚己内酯单甲基丙烯酸酯10重量份及链转移剂α-甲基苯乙烯二聚物5重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液温度升到80℃,保持该温度进行3小时的聚合。然后,将反应溶液的温度升到100℃,加入2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)0.5重量份,进而,聚合1小时,得到(B)碱可溶性树脂的溶液(固形分浓度=31.0重量%)。
该(B)碱可溶性树脂的Mw=10,000、Mn=6,000。将该(B)碱可溶性树脂作为“树脂(B-4)”。
实施例1
混合以下成分,即混合作为(A)着色剂的C.I.颜料红254和C.I.颜料红177的80/20(重量比)混合物85重量份、作为(B)碱可溶性树脂的树脂(B-1)70重量份、作为(C)多官能性单体的一缩二季戊四醇六丙烯酸酯80重量份、作为(D)感放射线性聚合引发剂的2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮(商品名IRGACURE 379、CIBA SPECIALTY CHEMICALS公司制。以下相同。)50重量份及作为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯和丙二醇单甲基醚乙酸酯的70/30(重量比)混合物1,000重量份,配制感放射线性组合物的液态组合物(R1)。
(彩色滤光片的形成)
将液态组合物(R1),在表面上形成了防止钠离子溶出的SiO2膜的碱玻璃基板上,使用旋转涂布器涂布后,在90℃的热板上预焙烧2分钟。形成膜厚1.7μm的涂膜。
接着,将该基板冷却到室温后,使用高压水银灯通过光掩模(缝隙宽度30微米),以含有365nm、405nm及436nm的各个波长的紫外线,用5000J/m2的曝光量曝光。而后,将基板浸在23℃的0.04重量%氢氧化钾水溶液1分钟,显像后,用超纯水洗涤,风干。而后在220℃的净化烘箱内进行30分钟的后焙烧,在基板上形成由红色的带状象素构成的象素阵列。
显像性的评价
用光学显微镜观察象素阵列时,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,而且在象素图案的边缘没有看到浮色和缺失。另外,象素阵列的残膜率为80%,为良好,在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,没有看到下凹。
升华性的评价
将液态组合物(R1)涂布在基板上后干燥,形成1.7μm的涂膜。而后,对于该涂膜,作为标准物质使用正辛烷(比重=0.701、注入量=0.02微升),在清洗条件为100℃/10分钟下,作为顶空进样器使用JHS-100A(商品名、日本分析工业(株)制),作为气相色谱/质谱分析装置,使用JEOLJMS-AX505W型质谱分析计(商品名、日本分析工业(株)制),进行顶空气相色谱/质谱分析,求出来自(D)感放射线性聚合引发剂成分的峰面积A,通过下述计算式,算出换算成正辛烷的挥发量,挥发量是0μg。
(换算成正辛烷的挥发量的计算式)
挥发量(μg)=A×(正辛烷的量)(μg)/(正辛烷的峰面积)
液体中杂质的评价
将液态组合物(R1)在5℃下保持7日后,目测观察(D)感放射线性聚合引发剂成分是否存在重结晶化合物。另外,将保存后的液态组合物(R1)的温度从5℃提高到23℃时,使用光散射式液体中粒子检测器(商品名KS-28B,リオン(株)制),测定在1毫升液态组合物(R1)中没有再溶解而残存的0.5μm以上大小的固形物(液体中杂质)的个数时,没有看到固形物。
实施例2
作为(D)感放射线性聚合引发剂使用2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮20重量份、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮(商品名IRGACURE 907、CIBASPECIALTY CHEMICALS公司制。以下相同。)20重量份及作为胺系供氢体的4,4’-双(二乙胺)二苯甲酮4重量份,除此之外,其他与实施例1相同地配制感放射线性组合物的液态组合物(R2)。
接着,除了使用液态组合物(R2)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地在基板上形成由红色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,而且在象素的边缘没有看到浮色和缺失。另外,象素阵列的残膜率为85%,为良好。而且在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,没有看到下凹。另外,涂膜的挥发量是0μg,而且,在液体中没有看到杂质。
比较例1
除了作为感放射线性聚合引发剂使用2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮50重量份以外。与实施例1相同地配制感放射线性组合物的液态组合物(r1)。
接着,除了使用液态组合物(r1)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地,在基板上形成由红色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,象素阵列的残膜率为79%,而且在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,虽然没有看到下凹,或者没有看到液体中的杂质,但是,在象素图案的边缘看到浮色和缺失,另外,涂膜的挥发量是1.0μg。
实施例3
混合以下成分,即混合作为(A)着色剂的C.I.颜料绿36和C.I.颜料黄150的60/40(重量比)混合物95重量份、作为(B)碱可溶性树脂的树脂(B-2)70重量份、作为(C)多官能性单体的一缩二季戊四醇六丙烯酸酯80重量份、作为(D)感放射线性聚合引发剂的2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮50重量份及作为添加剂的丙二酸1重量份及作为溶剂的3-甲氧基丁基乙酸酯和丙二醇单甲基醚乙酸酯的50/50(重量比)混合物900重量份,配制成感放射线性组合物的液态组合物(G1)。
接着,除了使用液态组合物(G1)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地,在基板上形成由绿色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,而且在象素的边缘没有看到浮色和缺失。另外,象素阵列的残膜率为80%,为良好。而且在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,没有看到下凹。另外,涂膜的挥发量是0μg,而且,在液体中没有看到杂质。
实施例4
使用作为(D)感放射线性引发剂的2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮20重量份、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑12重量份及作为胺系供氢体的4,4’-双(二乙胺)二苯甲酮12重量份及作为硫醇系供氢体2-巯基苯并噻唑6重量份,除此之外,其他与实施例3相同地配制成感放射线性组合物的液态组合物(G2)。
接着,除了使用液态组合物(G2)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地,在基板上形成由绿色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,而且在象素的边缘没有看到浮色和缺失。另外,象素阵列的残膜率为87%,为良好。而且在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,没有看到下凹。另外,涂膜的挥发量是0μg,而且,在液体中没有看到杂质。
比较例2
除了作为感放射线性聚合引发剂使用2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮50重量份以外。与实施例3相同地配制感放射线性组合物的液态组合物(g1)。
接着,除了使用液态组合物(g1)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地,在基板上形成由绿色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,象素阵列的残膜率为79%,而且在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,虽然没有看到下凹、或者液体中的杂质,但是,在象素图案的边缘看到浮色和缺失,另外,涂膜的挥发量是1.0μg。
实施例5
混合以下成分,即混合作为(A)着色剂的C.I.颜料蓝15:6和C.I.颜料紫23的95/5(重量比)混合物70重量份、作为(B)碱可溶性树脂的树脂(B-3)60重量份、作为(C)多官能性单体的一缩二季戊四醇六丙烯酸酯90重量份、作为(D)感放射线性聚合引发剂的2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮50重量份、作为添加剂的非离子系表面活性剂A-60(商品名,花王(株)制)5重量份及作为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯和丙二醇单甲基醚乙酸酯的60/40(重量比)混合物900重量份,配制成感放射线性组合物的液态组合物(B1)。
接着,除了使用液态组合物(B1)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地,在基板上形成由蓝色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,而且在象素的边缘没有看到浮色和缺失。另外,象素阵列的残膜率为85%,为良好。而且在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,没有看到下凹。另外,涂膜的挥发量是0μg,而且,在液体中没有看到杂质。
实施例6
使用作为(D)感放射线性引发剂的2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮15重量份、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑6重量份、作为胺系供氢体的4,4’-双(二乙胺)二苯甲酮9重量份、作为硫醇系供氢体2-巯基苯并噻唑3重量份及2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙烷-1-酮15重量份,除此之外,其他与实施例5相同地配制感放射线性组合物的液态组合物(B2)。
接着,除了使用液态组合物(B2)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地,在基板上形成由蓝色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,而且在象素的边缘没有看到浮色和缺失,另外,象素阵列的残膜率为90%,为良好。而且在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,没有看到下凹。另外,涂膜的挥发量是0μg,而且,在液体中没有看到杂质。
比较例3
除了作为感放射线性聚合引发剂使用2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮50重量份以外,与实施例5相同地配制感放射线性组合物的液态组合物(b1)。
接着,除了使用液态组合物(b1)代替液态组合物(R1)外,与实施例相同地在基板上形成由蓝色的象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看见显像残余,而且,在象素的边缘没有看到浮色和缺失,象素地阵列的残膜率是84%,涂膜的挥发量上0μg,另外,虽然在液体中没有看到杂质,但是在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,看到了下凹。
实施例7
混合作为(A)着色剂的碳黑250重量份(御国色素(株)制),作为(B)碱性可溶性树脂的(B-4)75重量份、作为(C)多官能性单体的一缩二季戊四醇六丙烯酸酯75重量份、作为(D)感放射线聚合引发剂的2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮50重量份及作为溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯和环己酮的50/50(重量比)混合物1,000重量份,配制成感放射线性组合物的液态组合物(BKI)。
接着,除了使用液态组合物(BKI)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地在基板上形成由黑色线条的象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看见显像的残余,而且,在象素图案的边缘没有看到浮色和缺失。另外象素阵列的残膜率是80%为良好,在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案断面时,没有看到下凹。另外,涂膜的挥发量是0μg,在液体中没有看到杂质。而且象素与基板的粘合性也优良。
实施例8
混合作为(A)着色剂的碳黑250重量份(御国色素(株)制),作为(B)碱性可溶性树脂的(B-4)75重量份、作为(C)多官能性单体的一缩二季戊四醇六丙烯酸酯75重量份、作为(D)感放射线聚合引发剂的2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮20重量份及1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9.H.-咔唑-3-基]乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯(商品名CGI-242,CIBA SPECIALTYCHEMICALS社制)20重量份及作为溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯和环己酮的50/50(重量比)混合物1,000重量份,配制成感放射线性组合物的液态组合物(BK2)。
接着,除了使用液态组合物(BK2)代替液态组合物(R1)外,与实施例1相同地在基板上形成由黑色的条状象素构成地象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看见显像的残余,而且,在象素图案边缘没有看到浮色和缺失。另外,象素阵列的残膜率是85%为良好,在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,没有看到下凹。另外,涂膜的挥发量是0μg,在液体中没有看到杂质。而且象素与基板的粘合性也优良。
比较例4
除了作为(D)感放射线性聚合引发剂使用2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮30重量份、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联二咪唑12重量份、作为胺系供氢体的4,4’-双(二乙胺)二苯甲酮12重量份及作为硫醇系供氢体的2-巯基苯并噻唑6重量份以外,其他与实施例7相同地配制成感放射线性组合物的液态组合物(bk1)。
接着,除了使用液态组合物(bk1)代替液态组合物(BK1)外,与实施例7相同地在基板上形成由黑色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,象素阵列的残膜率为83%,另外,虽然涂膜的挥发量是0μg,但是在象素图案的边缘看到浮色和缺失,在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,看到下凹,而且,在液体中看到5个杂质。
实施例9
除了使用作为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯和丙二醇单甲基醚乙酸酯的70/30(重量比)混合物1,500重量份以外,其他与实施例1相同地配制成感放射线性组合物的液态组合物(R3)。
接着,除了使用液态组合物(R3)代替液态组合物(R1)、用缝隙涂布器代替旋转涂布器进行涂布外,与实施例1相同地在基板上形成由红色的条纹状象素构成的象素阵列,进行评价。
其结果,在未曝光部的基板上没有看到显像的残余,而且,象素图案的边缘没有看到浮色和缺失,另外象素阵列的残膜率为85%,是良好,在用扫描型电子显微镜(SEM)观察象素图案的断面时,没有看到下凹,另外,涂膜的挥发量是0μg,而且,在液体中没有看到杂质。

Claims (3)

1.一种感放射线性组合物,其特征在于,含有(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体或者其与单官能性化合物的组合、及(D)用下式(1)表示的化合物,并用于着色层的形成,
式(1)中,R1表示碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基;R2及R3相互独立地表示氢原子,碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基,或者苄基;R4、R5、R7及R8相互独立地表示氢原子,卤原子,碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基,或者碳原子数1~4的直链状或支链状的烷氧基;R6表示卤原子,碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基,用羟基及选自由碳原子数1~4的直链状或者支链状的烷氧基组成的组中的取代基取代了的碳原子数1~12的直链状、支链状或者环状的烷基,碳原子数1~4的直链状、支链状的烷氧基,或者用羟基及选自由碳原子数1~4的直链状或者支链状的烷氧基组成的组中的取代基取代了的碳原子数2~4的直链状或支链状的烷氧基。
2.一种彩色滤光片,其具有由权利要求1所述的感放射线性组合物形成的着色层。
3.一种液晶显示屏,其具有权利要求2所述的彩色滤光片。
CNB2005100670555A 2004-04-27 2005-04-27 着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏 Active CN100380141C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP131986/04 2004-04-27
JP2004131986A JP4556479B2 (ja) 2004-04-27 2004-04-27 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよび液晶表示パネル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1690735A true CN1690735A (zh) 2005-11-02
CN100380141C CN100380141C (zh) 2008-04-09

Family

ID=35346305

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2005100670555A Active CN100380141C (zh) 2004-04-27 2005-04-27 着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4556479B2 (zh)
KR (1) KR20060047458A (zh)
CN (1) CN100380141C (zh)
TW (1) TW200538770A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105074570A (zh) * 2013-03-15 2015-11-18 富士胶片株式会社 着色感放射线性组合物、着色硬化膜、彩色滤光片、着色图案形成方法、彩色滤光片的制造方法、固体摄像元件及液晶显示装置
WO2020200018A1 (zh) * 2019-03-29 2020-10-08 常州格林感光新材料有限公司 用于彩色滤光片的感光性树脂组合物及彩色滤光片

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4448381B2 (ja) * 2004-05-26 2010-04-07 東京応化工業株式会社 感光性組成物
JP4677262B2 (ja) * 2005-03-24 2011-04-27 東洋インキ製造株式会社 光硬化性着色組成物およびそれを用いて形成されるカラーフィルタ
JP2007163911A (ja) * 2005-12-15 2007-06-28 Toyo Ink Mfg Co Ltd 着色組成物およびカラーフィルタ
JP4952045B2 (ja) * 2006-04-28 2012-06-13 Jsr株式会社 エネルギー線硬化型インクジェット印刷用インク
KR20080044184A (ko) * 2006-11-15 2008-05-20 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 알칼리 현상형의 페이스트 조성물, 그것을 이용한 도전성패턴 및 블랙 매트릭스 패턴의 형성 방법, 및 그 도전성패턴 및 블랙 매트릭스 패턴
JP5589270B2 (ja) * 2007-10-23 2014-09-17 Jsr株式会社 青色カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタ及び液晶表示素子
JP5371449B2 (ja) 2008-01-31 2013-12-18 富士フイルム株式会社 樹脂、顔料分散液、着色硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ及びその製造方法
JP5073542B2 (ja) * 2008-03-21 2012-11-14 富士フイルム株式会社 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子
JP5479163B2 (ja) 2009-03-31 2014-04-23 富士フイルム株式会社 カラーフィルタ用着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子
TWI481954B (zh) 2009-06-10 2015-04-21 Fujifilm Corp 著色硬化組成物、彩色光阻、噴墨印墨、彩色濾光片及其製造方法、固態攝影裝置、影像顯示裝置、液晶顯示器、有機電致發光顯示器及著色劑化合物以及其互變異構物
EP2483356B1 (en) 2009-09-29 2016-05-25 FUJIFILM Corporation Colorant multimer, colored curable composition, color filter and method for producing the same, and solid-state image sensor, image display device, liquid crystal display device and organic el display with the color filter
JP5721992B2 (ja) 2009-10-14 2015-05-20 富士フイルム株式会社 着色硬化性組成物、レジスト液、インクジェット用インク、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、液晶ディスプレイ、有機elディスプレイ、画像表示デバイス、及び色素化合物
JP5791874B2 (ja) 2010-03-31 2015-10-07 富士フイルム株式会社 着色組成物、インクジェット用インク、カラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、並びに表示装置
JP2010271729A (ja) * 2010-07-05 2010-12-02 Toyo Ink Mfg Co Ltd 光硬化性着色組成物およびそれを用いて形成されるカラーフィルタ
JP5377595B2 (ja) 2011-03-25 2013-12-25 富士フイルム株式会社 着色感放射線性組成物、カラーフィルタ、着色パターンの製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び液晶表示装置
JP5775479B2 (ja) 2012-03-21 2015-09-09 富士フイルム株式会社 着色感放射線性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び画像表示装置
JP6333604B2 (ja) 2013-07-09 2018-05-30 富士フイルム株式会社 着色組成物、硬化膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、および画像表示装置
KR102354574B1 (ko) * 2020-01-08 2022-01-24 고려대학교 세종산학협력단 양자점 포토레지스트, 이를 포함하는 디스플레이용 컬러 필터 및 이의 제조방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4331318B2 (ja) * 1999-05-12 2009-09-16 コダックグラフィックコミュニケーションズ株式会社 光重合性組成物及び光重合性画像形成材、並びにネガ画像形成方法
JP2001235617A (ja) * 2000-02-24 2001-08-31 Jsr Corp カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示装置
JP3921360B2 (ja) * 2001-06-01 2007-05-30 富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ株式会社 半透過反射型液晶表示装置用のカラーフィルター硬化性組成物、カラーフィルター及び液晶表示装置
JP4703045B2 (ja) * 2001-07-10 2011-06-15 大日本印刷株式会社 カラーフィルタの製造方法
US7247659B2 (en) * 2001-07-26 2007-07-24 Ciba Specialty Chemicals Corporation Photosensitive resin composition
JP4428911B2 (ja) * 2002-07-05 2010-03-10 Jsr株式会社 カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
JP4437651B2 (ja) * 2003-08-28 2010-03-24 新日鐵化学株式会社 感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルター
TW200530327A (en) * 2004-03-09 2005-09-16 Sekisui Chemical Co Ltd Light shielding sealing agent for liquid crystal display element, vertical conducting material, and liquid crystal display element

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105074570A (zh) * 2013-03-15 2015-11-18 富士胶片株式会社 着色感放射线性组合物、着色硬化膜、彩色滤光片、着色图案形成方法、彩色滤光片的制造方法、固体摄像元件及液晶显示装置
CN105074570B (zh) * 2013-03-15 2019-06-07 富士胶片株式会社 着色感放射线性组合物与其用途
WO2020200018A1 (zh) * 2019-03-29 2020-10-08 常州格林感光新材料有限公司 用于彩色滤光片的感光性树脂组合物及彩色滤光片
CN111752096A (zh) * 2019-03-29 2020-10-09 常州格林感光新材料有限公司 用于彩色滤光片的感光性树脂组合物及彩色滤光片
CN111752096B (zh) * 2019-03-29 2022-10-14 常州正洁智造科技有限公司 用于彩色滤光片的感光性树脂组合物及彩色滤光片

Also Published As

Publication number Publication date
TW200538770A (en) 2005-12-01
JP2005316012A (ja) 2005-11-10
TWI372887B (zh) 2012-09-21
KR20060047458A (ko) 2006-05-18
CN100380141C (zh) 2008-04-09
JP4556479B2 (ja) 2010-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1690735A (zh) 着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏
CN1800885A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器以及彩色液晶显示屏
CN101046630A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件
CN100350281C (zh) 颜色滤光片用放射线敏感性组合物、着色层形成法及应用
CN1881081A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物和滤色器
CN101067723A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器以及彩色液晶显示元件
CN101042532A (zh) 用于形成着色层的放射线敏感性组合物以及滤色器
CN1677138A (zh) 滤色片用放射线敏感性组合物、滤色片和彩色液晶显示装置
CN1683943A (zh) 形成着色层用的感放射线性组合物、彩色滤光器和彩色液晶显示板
CN1532566A (zh) 用于滤色器的辐射敏感组合物
CN1656127A (zh) 硫醇化合物、光聚合引发剂组合物和光敏组合物
CN1673782A (zh) 滤色器用着色组合物及滤色器
CN101078876A (zh) 绿色感光性树脂组合物、转印材料、滤色器和显示装置
CN1940724A (zh) 光敏性树脂组合物、液晶显示面板的保护膜及分隔物、它们的形成方法及液晶显示面板
CN1509424A (zh) 辐射敏感的树脂组合物
CN1758077A (zh) 感放射线性组合物及其调制法
CN1828418A (zh) 含硅偶联剂的193nm光刻胶及其成膜树脂
CN101048373A (zh) 硫醇化合物和使用该硫醇化合物的光敏组合物
CN1770012A (zh) 着色感光性树脂组合物
CN1609709A (zh) 黑色感光性树脂组合物
CN1916762A (zh) 感光性树脂组合物、显示面板用间隔物及显示面板
CN1781995A (zh) 着色组合物
CN1904735A (zh) 着色感光性树脂组合物
CN1782748A (zh) 用于滤色器的辐射敏感组合物,其制备方法,滤色器以及彩色液晶显示装置
CN1834164A (zh) 着色组合物

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant