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WO2009149888A1 - Verfahren zur herstellung einer transparenten und leitfähigen metalloxidschicht durch gepulstes, hochionisierendes magnetronsputtern - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer transparenten und leitfähigen metalloxidschicht durch gepulstes, hochionisierendes magnetronsputtern Download PDF

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WO2009149888A1
WO2009149888A1 PCT/EP2009/004115 EP2009004115W WO2009149888A1 WO 2009149888 A1 WO2009149888 A1 WO 2009149888A1 EP 2009004115 W EP2009004115 W EP 2009004115W WO 2009149888 A1 WO2009149888 A1 WO 2009149888A1
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WO
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metal oxide
oxide layer
magnetron
pulses
substrate
Prior art date
Application number
PCT/EP2009/004115
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English (en)
French (fr)
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WO2009149888A8 (de
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Felix Horstmann
Felix Sittinger
Bernd Szyzska
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Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
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Publication date
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Priority to JP2011512884A priority patent/JP5607036B2/ja
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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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    • H01J37/3464—Operating strategies
    • H01J37/3467—Pulsed operation, e.g. HIPIMS

Definitions

  • the present invention relates to a process for producing a transparent and conductive metal oxide layer on a substrate, in which at least one constituent of the metal oxide layer is sputtered by pulsed, high-ionizing magnetron sputtering and condenses on the substrate.
  • a substrate can be coated with a metal oxide layer, which can be, for example, transparent and conductive.
  • a metal oxide layer which can be, for example, transparent and conductive.
  • at least one constituent of the layer material with which a surface of the substrate is to be coated is evaporated and subsequently condenses on the surface to be coated.
  • sputtering processes in which the layer material is in the form of a solid-state target, which is atomized by ion bombardment and thereby converted into the gas phase.
  • magnetron sputtering A frequently used method for producing a metal oxide layer on a substrate is the so-called magnetron sputtering, which has undergone some further developments in recent years.
  • the so-called pulsed high-power magnetron sputtering (HPPMS) represents a novel process for coating layers or layer systems with novel produce mechanical and chemical properties.
  • the plasma is built up, for example, by periodically discharging a capacitor bank (see, for example, Christie DJ: Journal of Vacuum Science and Technology A 23 (2005), pp. 330-5). It is a pulsed sputtering process in which the power density at the target can reach about 30 to 100 times that commonly found in conventional (DC) magnetron sputtering processes. For metallic sputtering processes, peak power densities greater than 1 kW / cm 2 are possible (see Anders A., Andersson J., Ehiasarian A., Journal of Applied Physics 102, 11303 (2007)). Under such process conditions, the magnetron discharge is operated in the transition to arc discharge. This leads to an increased ionization of the sputtered target material.
  • a capacitor bank see, for example, Christie DJ: Journal of Vacuum Science and Technology A 23 (2005), pp. 330-5. It is a pulsed sputtering process in which the power density at the target can reach about 30 to 100 times that commonly found
  • HPPMS process briefly explained above is distinguished, in comparison to conventional DC sputtering methods, in particular by a high degree of ionization and by an increased kinetic energy of the film-forming particle flow when it strikes the surface of the substrate to be coated.
  • the mobility of the adsorbed particles on the surface of the substrate is increased on the one hand, and on the other hand the energy inputs are also greatly increased by the additional reflected neutral particles and by negative ion ions formed on the target, which also impinge on the layer.
  • Ionization efficiencies of more than 80% have already been achieved for metal sputtering, versus values of less than 1% for conventional continuous operation.
  • HPPMS processes for the deposition of metal oxide layers with peak power densities greater than 1.5 kW / cm 2 and pulses with durations ⁇ 200 ⁇ s are already known from the prior art (see: Anders et al.: J. Appl. Phys., Vol. 102 (1997), p 1 13303; Sproul et al.: Thin Solid Films, Vol. 491 (2005), pp. 1-17 and DE 10 2006 021 994 A1). From the first-mentioned publication, it is also already known that, depending on the target material and the applied voltage during the ignition of the plasma, high current flux densities can occur. This publication also demonstrates the usual procedure in the prior art to limit the resulting currents by the so-called "arc handling" (arc discharge handling).
  • a disadvantage of the transparent and conductive metal oxide layers produced by the methods known from the prior art is that they do not have sufficient mechanical or chemical stability and satisfactory optical properties for many practical applications.
  • This object is achieved by a method of the type mentioned above with the features of the characterizing part of claim 1.
  • the subclaims relate to advantageous developments of the invention.
  • a method according to the invention for producing a metal oxide layer (or a metal oxide layer system) on a substrate by high-ionization, pulsed high-power magnetron sputtering is characterized in that
  • the pulses of the magnetron have a peak power density greater than 1.5 kW / cm 2 ,
  • the pulses of the magnetron have a duration that is ⁇ 200 ⁇ s, as well
  • a magnetron is used in pulse mode, the pulses having a specific pulse duration and the mean increase in current when the plasma is ignited being at least 106 A / (ms cm 2 ). In this case, a time interval of 0.025 ms is not exceeded.
  • the peak power density must be greater than 1.5 kW / cm 2 , based on the sputtered area of the target.
  • the substrates which are coated with the transparent and conductive metal oxide layer may in particular consist of glass, plastic, metal or ceramic.
  • the transparent and conductive metal oxide layer may be an indium tin oxide layer which is applied to a glass substrate to thereby obtain a glass product having a low-emitting surface, for example can be used for producing an exterior glazing of a motor vehicle.
  • peak power densities are generated in the inventive method, which are greater than 1, 5 kW / cm 2 per pulse, with a comparable or even shorter pulse duration in the order of about 200 microseconds and below. It has been shown that the properties of the metal oxide layers can be decisively optimized for different applications, in particular due to the steeper current increase. It has been shown that the pulse and power parameters are crucial in order to produce a layer structure with particularly advantageous mechanical and chemical properties. Thus, the morphology and texture of the metal oxide layer and the resulting layer properties can be extremely influenced by a targeted adaptation / modification of the generator parameters.
  • the process of the present invention results in increased kinetic energy as well as a higher degree of ionization of species contributing to film formation on the substrate surface, which are critical, for example to obtain a mechanically stable metal oxide layer on a glass substrate following a single-pane safety glass or composite safety glass process subsequent to the application of the layer (ESG process or VSG process for short).
  • ESG process single-pane safety glass or composite safety glass process subsequent to the application of the layer
  • the metal oxide layer can be used in the subsequent tempering step (ESG / VSG process) Achieve properties and survive a bending process without damage.
  • the pulses of the magnetron have a peak power density which is at least 3.0 kW / cm 2 .
  • the pulses of the magnetron have a time duration which is ⁇ 100 ⁇ s.
  • the pulses of the magnetron may advantageously have a frequency which is at least 100 Hz. In a particularly preferred embodiment, the pulses may have a frequency between 350 Hz and 2 kHz. It may be provided in an advantageous embodiment, that for the production of the transparent and conductive metal oxide layer, a ceramic target is atomized. In an alternative advantageous embodiment, there is the possibility that, for the production of the transparent and conductive metal oxide layer, a metallic target is atomized in the reactive gas process with the addition of oxygen.
  • the temperature at which the substrate is coated with the metal oxide is less than 100 ° C.
  • the substrate is coated at room temperature with the metal oxide.
  • a glass product which has a glass substrate on which a transparent and conductive metal oxide layer (eg, an indium tin oxide layer) has been applied by the method described herein is suitable for exterior glazing of a motor vehicle or other applications where the Coating are exposed to high mechanical and / or chemical stress.
  • a transparent and conductive metal oxide layer eg, an indium tin oxide layer
  • the metal oxide layer is produced with a fine-crystalline structure whose lateral and vertical grain sizes are smaller than 35 nm.
  • the substrate with the metal oxide layer applied thereon is tempered in a further method step.
  • the tempering process may in particular be tempered glass / VSG tempering process in which process temperatures of about 650 0 C can be achieved.
  • the metal oxide layer essentially retains its crystallinity and crystallite size after the annealing step.
  • the crystallite size change after the annealing step is both laterally and vertically less than 30%, preferably less than 20%, in particular less than 10%.
  • an indium-tin oxide layer with a thickness of 140 nm (or a multiple of this thickness due to interference phenomena), in which it has a particularly high transparency in the visible spectral range (approximately 380 nm to 780 nm), after an ESG / VSG tempering process and / or bending process has a good conductivity ( ⁇ 300 ⁇ cm) with simultaneously high transmission (> 75% to 2 mm float glass) and also high mechanical and chemical stability.
  • FIG. 1 shows the time profile of a current and power pulse of an inductively coupled magnetron for generating HPPMS pulses, which are used for producing a metal oxide layer on a substrate
  • a possible pulse pattern of an inductively coupled system for generating high power pulse magnetron sputter pulses (HPPMS pulses for short) used to form a transparent and conductive metal oxide layer on a substrate is shown ,
  • the pulse patterns shown here are determined by the type of generator used, which makes the coupling inductively. In principle, other current or power characteristics are possible. Of particular importance to the properties of the metal oxide layer is the increase in current achieved over a limited period of time.
  • a conventional magnetron with a magnetic field of 30 mT was used at the target surface. The current increase is dependent on the magnetic field strength and can be increased significantly by increasing the magnetic field strength.
  • the high-power magnetron sputtering process presented here leads to an increased kinetic energy and to a higher degree of ionization of the elements contributing to the film formation, which are decisive, for example, in film formation subsequent tempered safety glass or laminated safety glass annealing step to obtain a mechanically stable metal oxide layer on a glass substrate.
  • the pulses of the magnetron have a peak power density greater than 1.5 kW / cm 2 ,
  • the pulses of the magnetron have a time duration which is ⁇ 200 ⁇ s, as well
  • the mean current density increase during ignition of the plasma within a time interval that is ⁇ 0.025 ms is at least 106 A / (ms cm 2 ).
  • the substrates which are coated with the transparent and conductive metal oxide layer may in particular consist of glass, plastic, metal or ceramic.
  • a ceramic solid-state target can be used which is atomized by means of the high-power magnetron sputtering method.
  • a metallic solid target used in a reactive gas process with the addition of oxygen.
  • FIG. 2 illustrates a comparison of the haze measurements of various samples.
  • the measurement results provide information about the wear of the samples after a certain mechanical load.
  • the wear tests were carried out by means of a friction wheel method with scattered light measurement according to DIN 52 347 (1987). This test method is often referred to as the "Taber test.”
  • the samples are subjected to sliding wear on a turntable of the wear test device by two friction wheels rotating in the opposite direction of the samples is the scattered light portion of the transmitted light, which is caused by surface changes and leads to a turbidity of the samples.
  • FIG. 2 shows the results of wear tests of the following samples:
  • Plotted is the integral light scattering, which is a measure of the turbidity of the samples, depending on the number of revolutions of the turntable of the wear tester. The larger the measured percentage of scattered light, the higher the turbidity of the respective sample.
  • the uncoated glass sample shows an increase in the proportion of scattered light to approximately 3% (at 1000 revolutions) as the number of revolutions of the turntable of the wear test device increases.
  • the glass substrate with the SnO: F coating shows the highest increase in the scattered light component to more than 8%, and thus also the highest turbidity in this range. If the number of revolutions is further increased, then the scattered light component approaches the measured value of the scattered light portion of the uncoated glass sample already at 500 revolutions. To explain is this with abrasion of the SnO: F coating from the surface of the glass substrate.
  • the glass substrate coated with an indium tin oxide layer by high power magnetron sputtering method described herein shows considerably better mechanical and optical properties exhibited in a stray light portion as the number of revolutions of the turntable of the experimental device increases increases, but even at 1000 revolutions is still less than 5%.
  • the proportion of scattered light in this sample is thus less than one third of the scattered light content of the samples produced by means of the conventional DC sputtering method.
  • the transparent and conductive metal oxide layers produced with the aid of the method presented here are produced from the coatings produced by the conventional methods differ. It has been found, for example, that an indium tin oxide layer with a thickness of 140 nm, in which it has a particularly high transparency, after a tempering process and / or tempering process and / or bending a good conductivity ( ⁇ 300 ⁇ cm) with high transmission and also having high mechanical and chemical stability.
  • a glass product having a glass substrate with such an indium tin oxide layer is suitable, for example, for producing a low-emission exterior glazing of a motor vehicle.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht auf einem Substrat, bei dem zumindest ein Bestandteil der Metalloxidschicht durch hochionisierendes, gepulstes Hochleistungsmagnetronsputtern zerstäubt wird und auf dem Substrat kondensiert, wobei - die Pulse des Magnetrons eine Peakleistungsdichte aufweisen, die größer als 1,5 kW/cm2 ist, - die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die = 200 µs ist, sowie - der mittlere Stromflussdichteanstieg beim Zünden des Plasmas innerhalb eines Zeitintervall, das = 0.025 ms ist, mindestens 106 A/(ms cm2) beträgt.

Description

" Verfahren zur Herstellung einer transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht durch gepulstes, hochionisierendes
Magnetronsputtern "
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht auf einem Substrat, bei dem zumindest ein Bestandteil der Metalloxidschicht durch gepulstes, hochionisierendes Magnetronsputtern zerstäubt wird und auf dem Substrat kondensiert.
Mit Hilfe physikalischer Gasphasenabscheideverfahren (engl. : PVD, Physial Vapour Deposition), die aus dem Stand der Technik in zahlreichen unterschiedlichen Verfahrensvarianten bereits bekannt sind, kann ein Substrat mit einer Metalloxidschicht beschichtet werden, die zum Beispiel transparent und leitfähig sein kann. Dabei wird mindestens ein Bestandteil des Schichtmaterials, mit dem eine Oberfläche des Substrats beschichtet werden soll, verdampft und kondensiert anschließend auf der zu beschichtenden Oberfläche.
Eine wichtige Gruppe der vorstehend genannten physikalischen Gasphasenabscheideverfahren bilden die so genannten Sputterverfahren, bei denen das Schichtmaterial in Form eines Festkörper-Targets vorliegt, welches durch einen lonenbeschuss zerstäubt wird und dabei in die Gasphase überführt wird. Ein häufig eingesetztes Verfahren zum Erzeugen einer Metalloxidschicht auf einem Substrat ist das so genannte Magnetronsputtern, das in den vergangenen Jahren einige Weiterentwicklungen erfahren hat. So stellt zum Beispiel das so genannte gepulste Hochleistungs- Magnetronsputtern (HPPMS) ein neuartiges Verfahren dar, um Schichten beziehungsweise Schichtsysteme mit neuartigen mechanischen und chemischen Eigenschaften herzustellen. Bei einem derartigen Verfahren wird das Plasma beispielsweise durch periodisches Entladen einer Kondensatorbank aufgebaut (siehe zum Beispiel Christie DJ . : Journal of Vacuum Science and Technology A 23 (2005), S. 330-5). Es handelt sich um ein gepulstes Sputterverfahren, bei dem die Leistungsdichte am Target etwa das 30- bis 100-fache der bei herkömmlichen (DC-) Magnetronsputterverfahren üblichen Werte erreichen kann. Für metallische Sputterprozesse sind Peakleistungsdichten möglich, die größer als 1 kW/cm2 sind (siehe Anders A. , Andersson J. , Ehiasarian A. , Journal of Applied Physics 102, 1 1 3303 (2007)). Unter derartigen Prozessbedingungen wird die Magnetron-Entladung im Übergang zur Bogenentladung betrieben. Hierdurch kommt es zu einer erhöhten Ionisation des gesputterten Targetmaterials.
Das vorstehend kurz erläuterte HPPMS-Verfahren zeichnet sich im Vergleich zu herkömmlichen DC-Sputterverfahren insbesondere durch einen hohen lonisationsgrad sowie durch eine erhöhte kinetische Energie des schichtbildenden Teilchenstroms beim Auftreffen auf die Oberfläche des zu beschichtenden Substrats aus. Dadurch wird zum einen die Beweglichkeit der adsorbierten Teilchen auf der Oberfläche des Substrats erhöht und zum anderen werden die Energieeinträge durch die zusätzlichen reflektierten Neutralteilchen und durch am Target gebildete negative Sauerstoffionen, die gleichfalls auf die Schicht auftreffen, ebenfalls stark erhöht. Für das Sputtern von Metallen wurden bereits lonisationsgrade von mehr als 80 % gegenüber Werten von weniger als 1 % für den konventionellen kontinuierlichen Betrieb erreicht. Beim Sputtern keramischer Festkörper-Targets beziehungsweise metallischer Festkörper-Targets im Reaktivgasprozess konnten bislang jedoch nur relativ geringe Leistungsdichten bis maximal 1 .5 kW/cm2 erreicht werden (siehe V. Sittinger, F. Ruske, W. Werner, C. Gerloff, B. Szyszka, D. J. Christie: SVC Annual Technical Conference Proceedings 49 (2006) 343; V. Sittinger, F. Ruske, B. Szyszka, DJ . Christie, T. Wallendorf. : SVC Annual Technical Conference Proceedings 50 (2007)).
Aus dem Stand der Technik sind bereits HPPMS-Verfahren zur Abscheidung von Metalloxidschichten mit Peakleistungsdichten größer als 1 ,5 kW/cm2 und Pulsen mit Zeitdauern < 200 μs bekannt (siehe: Anders et al. : J . Appl. Phys. , Vol. 102 (1997), S. 1 13303; Sproul et al. : Thin Solid Films, Vol. 491 (2005), S. 1 - 17 und DE 10 2006 021 994 A1 ). Aus der erstgenannten Publikation ist es ferner bereits bekannt, dass je nach Targetmaterial und angelegter Spannung beim Zünden des Plasmas hohe Stromflussdichten auftreten können. Diese Publikation belegt ferner die im Stand der Technik übliche Vorgehensweise, die entstehenden Ströme durch das so genannte „Arc-Handling" (Bogenentladungshandling) zu begrenzen.
Ein Nachteil der mit den aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren hergestellten transparenten und leitfähigen Metalloxidschichten besteht darin, dass sie für zahlreiche praktische Anwendungen keine ausreichende mechanische beziehungsweise chemische Stabilität und keine zufriedenstellenden optischen Eigenschaften aufweisen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung einer transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht auf einem Substrat durch hochionisierendes, gepulstes Hochleistungsmagnetronsputtern zur Verfügung zu stellen, mittels dessen besonders vorteilhafte Schichteigenschaften der Metalloxidschicht - insbesondere im Hinblick auf deren mechanische und chemische Stabilität - erhalten werden können. Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1 gelöst. Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung.
Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Herstellung einer Metalloxidschicht (beziehungsweise eines Metalloxidschichtsystems) auf einem Substrat durch hochionisierendes, gepulstes Hochleistungsmagnetronsputtern zeichnet sich dadurch aus, dass
- die Pulse des Magnetrons eine Peakleistungsdichte aufweisen, die größer als 1 ,5 kW/cm2 ist,
- die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die ≤ 200 μs ist, sowie
- der mittlere Stromflussdichteanstieg beim Zünden des Plasmas innerhalb eines Zeitintervall, das ≤ 0.025 ms ist, mindestens 106 A/(ms cm2) beträgt.
Zur Durchführung des Verfahrens wird ein Magnetron im Pulsbetrieb eingesetzt, wobei die Pulse eine bestimmte Pulsdauer haben und der mittlere Stromanstieg beim Zünden des Plasmas mindestens 106 A/(ms cm2) beträgt. Dabei wird ein Zeitintervall von 0.025 ms nicht überschritten. Die Peakleistungsdichte muss dabei - bezogen auf die gesputterte Fläche des Targets - größer als 1 ,5 kW/cm2 sein. Die Substrate, die mit der transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht beschichtet werden, können insbesondere aus Glas, Kunststoff, Metall oder Keramik bestehen. Beispielsweise kann die transparente und leitfähige Metalloxidschicht eine Indiumzinnoxidschicht sein, die auf ein Glassubstrat aufgebracht wird , um dadurch ein Glasprodukt mit einer niedrig emittierenden Oberfläche zu erhalten, die zum Beispiel zur Herstellung einer Außenverglasung eines Kraftfahrzeugs eingesetzt werden kann. Gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren werden bei dem erfindungsgemäßen Verfahren Peakleistungsdichten erzeugt, die pro Puls größer als 1 ,5 kW/cm2 sind , und zwar bei vergleichbarerer beziehungsweise nochmals verkürzter Pulsdauer in einer Größenordnung von etwa 200 μs und darunter. Es hat sich gezeigt, dass die Eigenschaften der Metalloxidschichten für unterschiedliche Applikationen insbesondere durch den steileren Stromanstieg entscheidend optimiert werden können. Es hat sich gezeigt, dass die Puls- und Leistungsparameter entscheidend sind , um eine Schichtstruktur mit besonders vorteilhaften mechanischen und chemischen Eigenschaften zu erzeugen. So können die Morphologie und Textur der Metalloxidschicht und die daraus resultierenden Schichteigenschaften durch eine gezielte Anpassung/Veränderung der Generatorparameter extrem beeinflusst werden.
Im Vergleich zu herkömmlichen, aus dem Stand der Technik bekannten DC-Magnetronsputterverfahren und den bisher verwendeten ionisierenden Verfahren führt das erfindungsgemäße Verfahren zu einer erhöhten kinetischen Energie sowie zu einem höheren lonisationsgrad der zur Schichtbildung auf der Substratoberfläche beitragenden Spezies, die entscheidend sind, um zum Beispiel nach einem sich an das Aufbringen der Schicht anschließenden Einscheibensicherheitsglas- beziehungsweise Verbund-Sicherheitsglasprozess (kurz: ESG-Prozess beziehungsweise VSG-Prozess) eine mechanisch stabile Metalloxidschicht auf einem Glassubstrat zu erhalten. Durch die mit dem erfindungsgemäßen Verfahren einstellbare Textur und Morphologie kann die Metalloxidschicht die im anschließend durchgeführten Temperschritt (ESG/VSG-Prozess) benötigten Eigenschaften erreichen sowie einen Biegeprozess ohne Beschädigung überstehen.
Es besteht in besonders vorteilhafter Weise die Möglichkeit, dass auf jegliche Art der Bogenentladungsdetektion beziehungsweise des Bogenentladungshandlings verzichtet werden kann. Bei den bisherigen Generatortypen, die bei den HPPMS-Verfahren eingesetzt wurden, ist aufgrund der Überlastung der Komponenten ein so genanntes „Arc-Handling" (Bogenentladungshandling) vorgesehen, welches beispielsweise den Stromanstieg durch einen Schwellwertschalter begrenzt. Bei dem hier vorgestellten Verfahren ist dieses nicht mehr notwendig, da durch die Vorgabe der Länge der Pulsdauer ein Abschalten des Generators automatisch erfolgen kann. Dies erlaubt in besonders vorteilhafter Weise den Einsatz von deutlich günstigeren Generatoren als bislang.
Es kann in einer besonders bevorzugten Ausführungsform vorgesehen sein, dass die Pulse des Magnetrons eine Peakleistungsdichte aufweisen, die mindestens 3,0 kW/cm2 beträgt.
Es besteht in einer besonders vorteilhaften Ausführungsform die Möglichkeit, dass die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die < 100 μs ist. In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform wird vorgeschlagen, dass die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die < 50 μs, vorzugsweise < 40 μs, insbesondere < 35 μs ist. Es hat sich gezeigt, dass sich möglichst kurze Pulse positiv auf die Eigenschaften der Metalloxidschicht auswirken können.
Die Pulse des Magnetrons können vorteilhaft eine Frequenz aufweisen, die mindestens 100 Hz beträgt. Die Pulse können in einer besonders bevorzugten Ausführungsform eine Frequenz zwischen 350 Hz und 2 kHz aufweisen. Es kann in einer vorteilhaften Ausführungsform vorgesehen sein, dass für die Erzeugung der transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht ein keramisches Target zerstäubt wird. In einer alternativen vorteilhaften Ausführungsform besteht die Möglichkeit, dass für die Erzeugung der transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht ein metallisches Target im Reaktivgasprozess unter Zugabe von Sauerstoff zerstäubt wird.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird vorgeschlagen , dass die Temperatur, bei der das Substrat mit dem Metalloxid beschichtet wird, kleiner als 100 0C ist. Vorzugsweise wird das Substrat bei Raumtemperatur mit dem Metalloxid beschichtet. Durch die Verwendung des hier vorgestellten hochionisierenden Beschichtungsverfahrens bei Raumtemperatur beziehungsweise bei Temperaturen kleiner 100 0C können gegenüber den bisherigen, mit herkömmlichen PVD- und ionisierenden PVD-Verfahren erzeugten Schichten neuartige und deutlich verbesserte Schichteigenschaften erzielt werden. Diese verbesserten Eigenschaften zeigen sich zum Beispiel in einer höheren mechanischen Stabilität der Metalloxidschicht. Bei den aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren wurde bei einer Beschichtung des Substrats bei Raumtemperatur noch eine Vorzugsorientierung der wachsenden Kristallite erhalten. Demgegenüber können mittels des hier vorgestellten Verfahrens feinkristalline Metalloxidschichten auf der Substratoberfläche mit strukturellen Eigenschaften erzeugt werden, die denjenigen eines Metalloxidpulvers entsprechen. Somit eignet sich zum Beispiel ein Glasprodukt, welches ein Glassubstrat, auf dem eine transparente und leitfähige Metalloxidschicht (beispielsweise eine Indiumzinnoxidschicht) nach dem hier beschriebenen Verfahren aufgebracht worden ist, für eine Außenverglasung eines Kraftfahrzeugs oder für andere Anwendungen, bei denen die Beschichtung einer hohen mechanischen und/oder chemischen Belastung ausgesetzt sind.
In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Metalloxidschicht mit einer feinkristallinen Struktur erzeugt wird, deren laterale und vertikale Korngrößen kleiner als 35 nm sind.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform besteht die Möglichkeit, dass das Substrat mit der darauf aufgebrachten Metalloxidschicht in einem weiteren Verfahrensschritt getempert wird. Der Temperprozess kann insbesondere ESG-/VSG-Temperprozess sein, bei dem Prozesstemperaturen von etwa 6500C erreicht werden können. Vorzugsweise behält die Metalloxidschicht ihre Kristallinität sowie die Kristallitgröße nach dem Temperschritt im Wesentlichen bei. Vorzugsweise ist die Kristallitgrößenänderung nach dem Temperschritt sowohl lateral als auch vertikal kleiner als 30 %, vorzugsweise kleiner als 20 %, insbesondere kleiner als 10 %.
Es hat sich beispielsweise gezeigt, dass eine Indiumzinnoxidschicht mit einer Dicke von 140nm (oder einem Vielfachen dieser Dicke auf Grund von Interferenzerscheinungen), bei der sie eine besonders hohe Transparenz im sichtbaren Spektralbereich (circa 380 nm bis 780 nm) aufweist, nach einem ESG-/VSG-Temperprozess und/oder Biegeprozess eine gute Leitfähigkeit (< 300 μΩcm) bei gleichzeitig hoher Transmission (>75% auf 2 mm Floatglas) und ebenfalls hoher mechanischer und chemischer Stabilität aufweist. Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigen
Fig. 1 den zeitlichen Verlauf eines Strom- und Leistungspulses eines induktiv gekoppelten Magnetrons zur Erzeugung von HPPMS-Pulsen, die zur Herstellung einer Metalloxidschicht auf einem Substrat verwendet werden,
Fig. 2 die Ergebnisse von Verschleißprüfungen unterschiedlicher Proben in Abhängigkeit von den Umdrehungen eines Drehtellers einer Verschleißprüfeinrichtung gemäß DIN 52 347 (1987).
Zunächst wird auf Fig. 1 Bezug genommen, in der ein mögliches Pulsmuster eines induktiv gekoppelten Systems zur Erzeugung von Hochleistungspuls-Magnetronsputter-Pulsen (kurz: HPPMS-Pulsen), die zur Herstellung einer transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht auf einem Substrat verwendet werden, dargestellt ist. Die hier gezeigten Pulsmuster werden durch die Art des verwendeten Generators bestimmt, der die Einkopplung induktiv vornimmt. Grundsätzlich sind auch andere Strom- beziehungsweise Leistungsverläufe möglich. Von besonderer Wichtigkeit für die Eigenschaften der Metalloxidschicht ist der innerhalb eines begrenzten Zeitraums erzielte Stromanstieg. In dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel wurde mit einem herkömmlichen Magnetron mit einem Magnetfeld von 30 mT an der Targetoberfläche gearbeitet. Der Stromanstieg ist dabei abhängig von der Magnetfeldstärke und lässt sich durch eine Erhöhung der Magnetfeldstärke deutlich erhöhen. Im Vergleich zu herkömmlichen DC-Magnetronsputterverfahren und den bisher verwendeten ionisierenden Verfahren führt das hier vorgestellte Hochleistungs-Magnetronsputterverfahren zu einer erhöhten kinetischen Energie sowie zu einem höheren lonisationsgrad der zur Schichtbildung beitragenden Elemente, die entscheidend dafür sind , um zum Beispiel in einem sich an die Schichtbildung anschließenden Einscheibensicherheitsglas- oder Verbundsicherheitsglas-Temperschritt eine mechanisch stabile Metalloxidschicht auf einem Glassubstrat zu erhalten.
Das Verfahren zur Herstellung der transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht auf dem Substrat zeichnet sich allgemein dadurch aus, dass
- die Pulse des Magnetrons eine Peakleistungsdichte aufweisen, die größer als 1 ,5 kW/cm2 ist,
- die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die < 200 μs ist, sowie
- der mittlere Stromflussdichteanstieg beim Zünden des Plasmas innerhalb eines Zeitintervall, das < 0.025 ms ist, mindestens 106 A/(ms cm2) beträgt.
Die Substrate, die mit der transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht beschichtet werden, können insbesondere aus Glas, Kunststoff, Metall oder Keramik bestehen.
Für die Herstellung der Metalloxidschicht kann beispielsweise ein keramisches Festkörper-Target verwendet werden, das mit Hilfe des Hochleistungs-Magnetronsputterverfahrens zerstäubt wird. Alternativ besteht auch die Möglichkeit, dass für die Herstellung der Metalloxidschicht ein metallisches Festkörper-Target in einem Reaktivgasprozess unter Zugabe von Sauerstoff verwendet wird.
Um die vorteilhaften Eigenschaften der mittels des hier vorgestellten Verfahrens hergestellten transparenten und leitfähigen Metalloxidschichten auf einem Glassubstrat zu veranschaulichen, wird nachfolgend auf Fig. 2 Bezug genommen, in der ein Vergleich der Trübungs-(„Haze"-)Messungen verschiedener Proben dargestellt ist.
Die Messergebnisse geben Aufschluss über den Verschleiß der Proben nach einer bestimmten mechanischen Belastung. Die Verschleißprüfungen erfolgten mittels eines Reibradverfahrens mit Streulichtmessung gemäß DIN 52 347 (1987). Dieses Prüfverfahren wird häufig auch als „Taber-Test" bezeichnet. Die Proben werden, wie in der DIN 52 347 ( 1987) näher erläutert, auf einem Drehteller der Verschleißprüfeinrichtung durch zwei sich in entgegengesetzter Richtung drehende Reibräder auf Gleitverschleiß beansprucht. Messgröße für den Verschleißgrad der Proben ist der Streulichtanteil des transmittierten Lichts, der durch Oberflächenveränderungen hervorgerufen wird und zu einer Trübung der Proben führt.
In Fig. 2 sind die Ergebnisse von Verschleißuntersuchungen folgender Proben dargestellt:
herkömmliches Glas,
- ein Glassubstrat mit einer SnO: F-Beschichtung,
- ein Glassubstrat mit einer Indiumzinnoxidschicht, die bei Raumtemperatur mit einem herkömmlichen DC-Sputterverfahren auf das Substrat aufgebracht und anschließend getempert wurde (in Fig. 2 als „DC pa" bezeichnet),
- ein Glassubstrat mit einer Indiumzinnoxidschicht, die bei T=300°C mit einem herkömmlichen DC-Sputterverfahren auf das Substrat aufgebracht wurde (in Fig. 2 als „DC warm" bezeichnet), sowie
- ein Glassubstrat mit einer Indiumzinnoxidschicht, die durch ein Hochleistungs-Magnetronsputterverfahren mit den im Rahmen dieser Anmeldung offenbarten Verfahrensparametern auf das Glassubstrat aufgebracht und anschließend getempert wurde (in Fig. 2 als „HPPMS" bezeichnet).
Aufgetragen ist die integrale Lichtstreuung, die ein Maß für die Trübung der Proben ist, in Abhängigkeit von der Anzahl der Umdrehungen des Drehtellers der Verschleißprüfeinrichtung. Je größer der gemessene prozentuale Streulichtanteil ist, desto höher ist die Trübung der jeweiligen Probe.
Die Ergebnisse zeigen, dass die mit Hilfe des hier vorgestellten Hochleistungs-Magnetronsputterverfahrens hergestellte Metalloxidschicht besonders vorteilhafte mechanische und optische Eigenschaften aufweist.
Die unbeschichtete Glasprobe zeigt mit zunehmender Anzahl der Umdrehungen des Drehtellers der Verschleißprüfeinrichtung einen Anstieg des Streulichtanteils auf etwa 3% (bei 1000 Umdrehungen). Das Glassubstrat mit der SnO: F-Beschichtung zeigt innerhalb der ersten 200 Umdrehungen den höchsten Anstieg des Streulichtanteils auf über 8 % und damit auch die stärkste Trübung in diesem Bereich. Wird die Anzahl der Umdrehungen weiter erhöht, so nähert sich der Streulichtanteil bereits bei 500 Umdrehungen dem Messwert des Streulichtanteils der unbeschichteten Glasprobe an. Zu erklären ist dies mit einem Abrieb der SnO:F-Beschichtung von der Oberfläche des Glassubstrats.
Die beiden mittels des herkömmlichen DC-Sputterverfahrens mit der Indiumzinnoxidschicht beschichteten Glassubstrate zeigen einen mit der Anzahl der Umdrehungen stark ansteigenden Streulichtanteil und damit eine stark erhöhte Trübung. Es fällt auf, dass die Trübung der Probe, die bei T=300°C hergestellt wurde, zunächst stärker ist als die Trübung der bei Raumtemperatur hergestellten Probe. Bei 700 Umdrehungen ist der Streulichtanteil mit etwa 14 % bei beiden Proben nahezu identisch. Bei 1000 Umdrehungen übersteigt der Streulichtanteil des bei Raumtemperatur beschichteten Glassubstrats den Streulichtanteil der bei T=300°C hergestellten Probe. Beide Proben zeigen nach 1000 Umdrehungen einen stark erhöhten Streulichtanteil, der in jedem Fall größer als 16% ist.
Im Vergleich zu den vorstehend genannten Proben zeigt das Glassubstrat, das durch hier beschriebene Hochleistungs- Magnetronsputterverfahren mit einer I ndiumzinnoxidschicht beschichtet wurde, erheblich bessere mechanische und optische Eigenschaften, die sich in einem Streulichtanteil zeigen, der zwar mit zunehmender Anzahl der Umdrehungen des Drehtellers der Versuchseinrichtung ansteigt, jedoch selbst bei 1000 Umdrehungen noch kleiner als 5 % ist. Der Streulichtanteil beträgt bei dieser Probe somit weniger als ein Drittel des Streulichtanteils der mittels des herkömmlichen DC-Sputterverfahrens hergestellten Proben.
Zusammenfassend wird deutlich, dass sich die mit Hilfe des hier vorgestellten Verfahrens hergestellten transparenten und leitfähigen Metalloxidschichten im Hinblick auf ihre Stabilität und ihre optischen Eigenschaften in ganz erheblichem Maße von den mit den herkömmlichen Verfahren hergestellten Beschichtungen unterscheiden. Es hat sich beispielsweise gezeigt, dass eine Indiumzinnoxidschicht mit einer Dicke von 140nm, bei der sie eine besonders hohe Transparenz aufweist, nach einem ESG-/VSG- Temperprozess und/oder Biegeprozess eine gute Leitfähigkeit (< 300 μΩcm) bei gleichzeitig hoher Transmission und ebenfalls hoher mechanischer und chemischer Stabilität aufweist. Damit eignet sich ein Glasprodukt, das ein Glassubstrat mit einer derartigen Indiumzinnoxidschicht aufweist, zum Beispiel für die Herstellung einer niedrig emittierenden Außenverglasung eines Kraftfahrzeugs.

Claims

Patentansprüche:
1 . Verfahren zur Herstellung einer transparenten und leitfähigen Metalloxidschicht auf einem Substrat, bei dem zumindest ein Bestandteil der Metalloxidschicht durch hochionisierendes, gepulstes Hochleistungsmagnetronsputtern zerstäubt wird und auf dem Substrat kondensiert, dadurch gekennzeichnet, dass
- die Pulse des Magnetrons eine Peakleistungsdichte aufweisen, die größer als 1 ,5 kW/cm2 ist,
- die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die < 200 μs ist, sowie
- der mittlere Stromflussdichteanstieg beim Zünden des Plasmas innerhalb eines Zeitintervall, das < 0.025 ms ist, mindestens 106 A/(ms cm2) beträgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Pulse des Magnetrons eine Peakleistungsdichte aufweisen, die mindestens 3,0 kW/cm2 beträgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die < 100 μs ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Pulse des Magnetrons eine Zeitdauer haben, die < 50 μs, vorzugsweise < 40 μs, insbesondere < 35 μs ist.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Pulse des Magnetrons eine Frequenz aufweisen, die mindestens 100 Hz beträgt.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Pulse des Magnetrons eine Frequenz zwischen 350 Hz und 2 kHz aufweisen.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass für die Erzeugung der Metalloxidschicht ein keramisches Target zerstäubt wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass für die Erzeugung der Metalloxidschicht ein metallisches Target in einem Reaktivgasprozess unter Zugabe von Sauerstoff zerstäubt wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur, bei der das Substrat mit dem Metalloxid beschichtet wird, kleiner als 100 0C ist.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Metalloxidschicht mit einer feinkristallinen Struktur erzeugt wird, deren laterale und vertikale Korngrößen kleiner als 35 nm sind .
1 1 . Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat mit der Metalloxidschicht in einem weiteren Verfahrensschritt getempert wird .
12. Verfahren nach Anspruch 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Metalloxidschicht ihre Kristall inität sowie die Kristallitgröße nach dem Temperschritt im Wesentlichen beibehält.
13. Verfahren nach Anspruch 1 1 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kristallitgrößenänderung nach dem Temperschritt sowohl lateral als auch horizontal kleiner als 30 %, vorzugsweise kleiner als 20 %, insbesondere kleiner als 10 % ist.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Magnetron ohne Bogenentladungs- Handling betrieben wird.
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