WO2006006697A1

WO2006006697A1 - 圧縮機の摺動部材

Info

Publication number: WO2006006697A1
Application number: PCT/JP2005/013107
Authority: WO
Inventors: Nobuhiro Shibuya; Toshihisa Shimo; Hidetaka Hayashi; Hirohiko Yoshida
Original assignee: Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki
Priority date: 2004-07-09
Filing date: 2005-07-08
Publication date: 2006-01-19
Also published as: JP2006045493A; US20080248269A1; EP1785627A1; EP1785627A4; JP4701735B2

Abstract

本発明の摺動部材は、金属製の基材と、該基材の少なくとも一面に形成され、熱可塑性ポリイミド樹脂およびポリアリールケトン樹脂からなる樹脂組成物を含む中間層と、該中間層の上に形成されポリアリールケトン樹脂を含む表面層と、を有することを特徴とする。本発明の摺動部材は、低温で形成することが可能であるため、基材の劣化が抑制され、また、基材との密着性に優れたポリアリールケトン樹脂を含む表面層を有する摺動部材である。

Description

圧縮機の摺動部材技術分野

本発明は、耐熱性、耐摩耗性、耐薬品性などに優れた圧縮機の摺動部材に関する。技術背景

熱可塑性樹脂の中でも、ポリエーテルエーテルケトン榭脂ゃポリエーテルケトン榭脂などのポリアリールケトン樹脂は、高い機械的強度をもち、耐熱性、難燃性、耐摩耗性、耐薬品性、耐加水分解性などに優れている。そのため、航空機部品、自動車部品、電気 ·電子部品を中心に、幅広い分野で採用されている。

その一例が、特開 2002— 39062公報に記載の圧縮機の斜板であって、基材の表面にはポリエーテルエーテルケトン樹脂を含む摺動層が形成されている。しかしながら、ポリアリールケトン樹脂は、その優れた耐薬品性のため、溶剤にほとんど溶解しない。そのため、ポリアリ一ルケトン榭脂を溶解した塗料組成物を基材に塗布して樹脂層を形成することは困難である。

そこで、特開 2000— 96203公報には、高速度酸素燃料（HVOF) プロセスによりポリエーテルエーテルケトン樹脂を基材に溶射する方法が開示されている。この方法では、 340°Cに加熱されたポリエーテルエーテルケトン樹脂が HVOFプロセスにより基材に向かって高速で推進し、基材表面にポリエーテルエーテルケトン樹脂を堆積させる。この際、基材の表面には、残留応力が発生することがあり、溶射後に残留応力を緩和する処理が必要となる。

また、シート状のポリアリ一ルケトン樹脂と基材とを積層させて密着させるという方法もある。ところが、ポリアリールケトン樹脂は、その優れた耐熱性のため、融点が高く（ポリエーテルエーテルケトン樹脂の融点は 334°C) 溶融し難い。そのため、ポリアリールケトン樹脂のシート等を基材に密着させて樹脂層を形成するには、シートにポリアリ一ルケトン榭脂の融点以上の高温を加える必要があり、温度によっては基材が劣化（具体的には、焼入れされた鉄やアルミユウムの焼鈍による硬度の低下).する虞がある。また、原料の加熱や樹脂層形成後の冷却に時間がかかるため、生産効率が低くなる。

さらに、工業材料： 66〜69, Vo l . 48， No. 5 (2000) に記載の静電粉体法を用いても、基材の表面温度は 400°C程度まで上昇するため、上記問題点を回避できない。

また、ポリアリールケトン樹脂は、単独では金属と密着しにくいので、金属製の基材への積層が困難であった。そこで、銅箔やアルミニウム箔への積層が必要な電子回路板機材において、融点が高い結晶性樹脂としての耐熱性を生かすために、ポリアリールケトン樹脂と、金属との密着が良好で耐熱性を有するポリエーテルイミド樹脂との混合物が注目されてきた。

特開昭 59 - 115353号公報には、上記混合物と銅箔とが良好な接着性を示し、回路板基材に有用であることが開示されている。さらに、特開 2002— 212314公報、特許第 3514667号公報、特開 2002— 144436 公報には、上記混合物を用いたプリント配線基板や金属体との積層体およびその製造方法や熱融着性絶縁シートが開示されている。

し力しながら、上記混合物は、耐アルカリ性などの耐薬品性、耐摩耗性、摺動性に限界があるため、機械部品、自動車部品などの分野では必ずしも十分ではなく、用途に限界があった。発明の開示

本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、低温で形成しても、金属製の基材との密着性に優れたポリアリ一ルケトン樹脂を含む表面層をもつ摺動部材を提供することを目的とする。

本発明者等は、種々鋭意検討を重ねた結果、金属製の基材と、ポリアリールケトン樹脂を含む表面層と、の間に、熱可塑性ポリイミド榭脂およびポリアリールケトン樹脂からなる樹脂組成物を含む中間層を設けることにより、上記課題を解決し得ることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明の摺動部材は、金属製の基材と、該基材の少なくとも一面に形成され、熱可塑性ポリイミド樹脂おょぴポリア!)一ルケトン樹脂を含む第一樹脂組成物からなる中聞層と、該中間層の上に形成されポリアリ一ルケトン樹脂を含む第二樹脂組成物からなる表面層と、を有することを特徴とする。

前記表面層は、さらに、固体潤滑剤を含むのが好ましい。この際、前記表面層は、前記第二樹脂組成物を 1 0 0質量部としたときに前記固体潤滑剤を 4 0 0質量部以下含むのが好ましい。また、前記固体潤滑剤は、ポリテトラフルォロェチレン、黒鉛、およぴニ硫化モリブデンのうちの少なくとも 1種を含むのが好ましレ、。

また、前記ポリイミド樹脂は、構造式（1 ) およぴノまたは構造式（2 ) で表される繰り返し単位を有するポリエーテルイミド樹脂であり、前記ポリアリールケトン樹脂は、構造式（3 ) で表されるポリエーテルエーテルケトン樹脂であるのが好ましい。

[化 1 ]

本発明の摺動部材では、熱可塑性ポリイミド樹脂およびポリアリールケトン樹脂からなる榭脂組成物を含む中間層を用いたことで、低温で形成しても、金属製の基材との密着性に優れたポリアリ一ルケトン樹脂を含む表面層をもつ摺動部材が得られる。その結果、高温による金属製基材の劣化等の問題のために使用できなかった種類の金属を用いても、基材にポリアリールケトン榭脂を含む表面層を形成することができる。

そして、中間層をもつことにより、金属製の基材にポリアリールケトン樹脂を含む表面層を単独で設けた従来の摺動部材ょりも優れた摺動特性を有する。また、表面層が固体潤滑剤を含むことにより、さらに優れた摺動特性をもつ摺動部材となる。発明を実施のするための最良の形態

以下に、本発明の摺動部材を実施するための最良の形態を説明する。

本発明の摺動部材は、金属製の基材と、基材の少なくとも一面に形成された中間層と、中間層の上に形成された表面層と、を有する。

本発明に使用する基材は、金属製であれば特に限定はない。金属製の基材としては、鉄、クロム、ニッケル、亜鉛、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシゥム、マグネシウム合金、チタン、チタン合金、銅、銀、金、黄銅、真鍮、青銅、铸鉄、炭素鋼、ステンレス鋼、超合金（例として、 NCF 800、 NCF 6 00) などが挙げられる。また、鉄や炭素鋼に亜鉛、錫、クロム、ニッケル、亜鉛とアルミニウムなどのメツキを施したものも使用することができる。これらのうちで、剛性が高く、安価であるという観点から、好ましくは、鉄、錶鉄、ステンレス鋼、炭素鋼、亜鉛メツキを施した炭素鋼、亜鉛一アルミニウムメツキを施した炭素鋼である。さらに、鲭を生じにくいという観点から、より好ましくはステンレス鋼である。ステンレス鋼としては、種々の合金組成のものがあり、たとえば、 SUS 301、 SUS 301 L、 SUS 302、 SUS 302B、 SUS 303、 SUS 303 S e、 SUS 304、 SUS 304 L, SUS 304】 1、 SUS 304 J 2, S US 305 _s SUS 309 S, SUS 3 10 S_N SUS 3 16、 SUS 316 L, SUS 31 7, SUS 321、 SUS 329】 1、 SU S 329 J 3 L, SUS 329 J 4L, SUS 347、 SUS 403、 SUS 4 05、 SUS 41 0、 SUS 430、 SUS 434、 SUS 436 L, SUS 4 36 J 1 L, SUS 444, SUS 447 J 1 , SUS 304 c u l、 SUS X M7、 SUSXM27、 S U S XM 15 J 1, SUS 630、 SUS 631、 S UH409、 SUH 2 1および SUH409 Lなどが挙げられる。さらに、これらのステンレス鋼に圧延や熱処理を加えたものなども使用することができる。また、基材の形状は特に限定されないが、たとえば、平面体、円板体、曲面体、半球体、波板体、筒体、管体、などが挙げられる。これらのうち、加工が容易なのは平面体であり、平面体としては、たとえば、枚葉体、連続した帯状体（コィル）などが挙げられる。

基材として特に好ましいのは、圧縮機の摺動部品である。すなわち、本発明の摺動層を有する摺動部材は、圧縮機の摺動部材とすることができる。たとえば、摺動部材は、斜板式圧縮機の斜板に用いることができる。また、摺動部材は、圧縮機のシユーに用いることができる。斜板式圧縮機の斜板とシユーとは、運転初期に潤滑油がないドライ状態で相互に摺動する場合がある。このような非常に厳しいドライ状態で摺動する場合であっても、焼き付きや摩耗などを起こさないことが望まれる。そこで、摺動特性に優れる本発明の摺動部材を斜板式圧縮機の斜板ゃシユー等に用いることで、斜板式圧縮機に要求される条件を十分に満たすことができる。

上記の他、圧縮機の駆動軸を支持するすべり軸受にも用いることができる。また、ビストン式圧縮機の駆動軸に一体的に軸支されると共に駆動軸をビストン圧縮機のハウジングに回転可能に枢支され駆動軸と同期回転することで圧縮室と吸入圧力領域との間のガス通路を開閉可能とするロータリバルブや、ビストン式圧縮機のビストンに用いることもできる。

基材が圧縮機の摺動部材であれば、たとえば、鉄や鋼、アルミニウムや Mg、 Cu、 Z n、 S i、 Mn等を含むアルミェゥム合金、銅や Z n、 A 1、 S n、 M n等を含む銅合金などが好ましい。

また、基材の厚さに特に限定はないが、 0. 01〜50mm程度、より好ましくは 0. 05〜20mm、さらに好ましくは 0. 1〜 15 mmであれば、摺動部材として好適である。

基材は、中間層が形成される面に表面処理を施してもよい。表面処理は種々の方法により行うことができ、処理された表面としては、たとえば、圧延、熱処理、酸洗などの処理を施された表面（たとえば、 J I S G0203— 2000、 J I S G4305— 1999、 A I S I規格等に規定される N o . 1, No. 2 D、 No. 2B) 、さらに、研磨された表面（たとえば、上記規格等に規定される No. 3、 No. 4、 # 240、 # 320、 #400) 、冷間圧延と光輝処理を施された表面（たとえば、上記規格等に規定される BA) 、研磨を施された表面（たとえば、上記規格等に規定される、ヘアラインを意味する HL、無方向へァライン研磨仕上げを意味するバイブレーションである No. 7、鏡面仕上げである No. 8) などが挙げられる。また、他の表面処理法としては、ブラスト法によるショットブラストやビーズプラスト、プラスト法による梨地肌仕上げ、ブライト仕上げ、化学発色、エンボス、エッチング、下地とは異なる金属によるメツキ仕上げ（たとえば、金、銀、銅、アルミニウム、クロム等によるメツキ）などが挙げられる。

これらのうちで、さらに、 J I S B 0601— 1994に規定される表面粗さパラメータの十点平均粗さ（R_Z) が 0. 01〜80 μ mの範囲のものが好ましく、さらに好ましくは 0. 4〜20 μπιのものである。 Rzが 0. 01 m以上であると、中間層との接着が良好となり、 R zが 80 以下であると、表面層の凹凸に対する影響が小さレ、。

また、 J I S B 0601— 1994に規定される表面粗さパラメータの最大高さ（Ry) は、通常 0. 01〜： 100 ; mの範囲であり、好ましくは、 0. 5 〜25 111である。 Ryが 0. 01 μ m以上であると、基材表面と中間層との間の接着強度が良好となり、 100 ^πι以下であれば、表面層の凹凸に対する影響が小さい。

同様に、基材の J I S B 0601 - 1994に規定される表面粗さパラメ一タの算術平均粗さ（Ra) は、通常 0. 001〜10 μπιの範囲であり、好ましくは 0. 05〜2. 5 μπιの範囲である。

これら J I S B 0601— 1994に規定される表面粗さ（R z、 Ry、 R a) は市販の表面粗さ測定装置（一例として、小坂研究所株式会社製、表面粗さ測定装置、型式 SE3- FK等）を使用して測定することができる。

中間層は、熱可塑性ポリイミド樹脂およびポリアリールケトン樹脂を含む第一樹脂組成物からなる。中間層に使用する熱可塑性ポリイミド榭脂は、その構造単位に芳香核結合およびイミド結合を含む熱可塑性樹脂であり、具体例として、ポリエーテルィミド樹脂おょぴ芳香族ポリアミドィミド樹脂などが挙げられるが、特に限定されるものではない。具体的には、下記構造式（1)

[化 2]

で表される繰り返し単位を有するポリエーテルィミド (ゼネラルエレクトリツク社製「U 1 t eml 000」（ガラス転移温度 T g = 216 °C) 、「U 1 t e ml 010」（Tg = 216°C) ) 、下記構造式（ 2 )

[化 3]

で表される繰り返し単位を有するポリエーテルィミド（ゼネラルエレクトリツク社製「U 1 t emCRS 5001」（Tg = 226°C) ) が挙げられ、そのほかの具体例として、ゼネラルエレクトリック社製「U 1 t e mXH 6050」 (Tg = 247°C) 、三井化学株式会社製「オーラム P L 500 AM」（T g = 258 °C) 、などが挙げられる。これらのうちで、好ましくは非晶性のものであり、さらに好ましくは、上記構造式（1) または（2) で表される繰り返し単位を有するポリエーテルイミドである。

ポリエーテルイミド樹脂の製造方法は特に限定されるものではないが、通常、上記構造式 (1) で表される繰り返し単位を有する非晶性ポリエーテルイミド榭脂は、 4， 4，一[イソプロピリデンビス（p—フエ二レンォキシ）ジフタル酸二無水物と m—フエ二レンジァミンとの重縮合物として、また上記構造式（2) で表される繰り返し単位を有する非晶性ポリエーテルイミド樹脂は、 4, 4' 一 [ィソプロピリデンビス（p—フエ二レンォキシ）ジフタル酸二無水物と p—フエ二レンジァミンとの重縮合物として公知の方法によって合成される。

また、本発明で用いるポリエーテルイミド樹脂は、必要に応じてアミド基、ェステル基、スルホニル基など共重合可能な基を有する他の単量体単位を含むものであってもかまわない。なお、熱可塑性ポリイミド榭脂は、 1種類を単独でまたは 2種類以上を組み合わせて用いることができる。

中間層に使用するポリアリールケトン樹脂は、その構造単位に芳香核結合およぴケトン結合を含む熱可塑性榭脂であり、その代表例としては、ポリエーテルケトン（ガラス転移温度： 157°C、結晶融解ピーク温度： 373°C) 、ポリエーテルエーテルケトン（ガラス転移温度： 143°C、結晶融解ピーク温度： 334 °C) 、ポリエーテルエーテルケトンケトン（ガラス転移温度： 153°C、結晶融解ピーク温度： 370°C) 等があり、また、必要に応じてビフエエル構造、スルホニル基など共重合可能な構造や基を有する他の繰り返し単位を含むものであつても構わない。本発明においては、下記構造式（3) [化 4] 二 v

で表される繰り返し単位を有するポリエーテルエーテルケトンが好適に使用される。この繰り返し単位を有するポリエーテルエーテルケトンは、ビクトレックス社製の商品名「PEEK151 G」、「PEEK381G」、「PEEK45 0G」などとして市販されている。これらはいずれもガラス転移温度 143°C、結晶融解ピーク温度 334°Cのものである。なお、ポリアリールケトン樹脂は、 1種を単独または 2種類以上を組み合わせて用いることができる。

上記した熱可塑性ポリイミド樹脂およびポリアリ一ルケトン樹脂からなる樹脂組成物は、互いに相溶性がよく、また、 400°C以下の低温の条件下で弾性率が適度に低下し、接着に適切な流動性を示す。そのため、熱可塑性ポリイミド樹脂およびポリアリ一ルケトン榭脂からなる樹脂組成物を含む中間層と金属製の基材とが良好に接着する。さらに、ポリアリールケトン樹脂の結晶性は、 200°C以上の加熱により高まるため、ポリアリ一ルケトン榭脂特有の性質が良好に発現する。また、表面処理により表面が粗面化された基材（前述）を用いれば、接着強度がより大きくなる。

上記のような性質を示す樹脂組成物は、熱可塑性ポリイミド樹脂とポリアリールケトン樹脂との質量比が 95 ： 5〜5 ： 95であるのが好ましい。すなわち、熱可塑性ポリイミド榭脂とポリアリ一ルケトン樹脂との合計を 100質量％としたときに、熱可塑性ポリイミド樹脂が 95質量％以下であれば、ポリアリ一ルケトン樹脂がもつ優れた耐熱性や低い吸水性を発揮させることができる。また、 5 質量％以上であれば、中間層と金属製の基材との接着性が良好となる。より好ましい比は、熱可塑性ポリイミド樹脂とポリアリ一ルケトン樹脂との質量比が 95 ： 5〜45 ： 55、さらに好ましくは 85 ： 15〜50 ： 50である。

特に、ポリアリ一ルケトン樹脂として結晶性のポリアリ一ルケトン樹脂を使用する場合、熱可塑性ポリイミド樹脂と結晶性ポリアリールケトン樹脂との質量比が 8 0 ： 2 0〜5 5 ： 4 5であるのが好ましい。すなわち、熱可塑性ポリイミド樹脂と結晶性ポリアリ一ルケトン樹脂との合計を 1 0 0質量％としたときに、熱可塑性ポリイミド樹脂が 8 0質量％以下であれば、中間層の結晶性が高くなり、結晶化速度も速く、耐熱性が良好である。また、 5 5質量。/。以上であれば、結晶性のポリアリールケトン樹脂の結晶化に伴う体積収縮（寸法変化）が大きくなりにくく、金属製の基材との接着性において信頼性が得られる。

表面層は、中間層の上に形成され、ポリアリールケトン樹脂を含む第二樹脂組成物からなる。表面層に使用するポリアリールケトン樹脂は、中間層に使用するポリアリールケトン樹脂と同様なポリアリールケトン樹脂（前述）を使用することができる。この際、ポリアリールケトン樹脂は、中間層と同じ種類のポリアリ一ルケトン樹脂を使用してもよいし、異なる種類のポリアリ一ルケトン樹脂を使用してもよいが、表面層においては、上記構造式（3 ) で表される繰り返し単位を有するポリエーテルエーテルケトンを使用することが好ましい。

また、表面層は、ポリアリールケトン榭脂以外の樹脂成分を含んでもよく、表面層を構成する樹脂成分（第二樹脂組成物）を 1 0 0質量％としたときに、ポリァリールケトン樹脂を 5 0質量％以上含むのが好ましく、さらに好ましくは 6 0 質量％以上である。ポリアリ一ルケトン榭脂を 5 0質量％以上含む表面層は、耐熱性、難燃性、耐摩耗性、耐薬品性、などに優れる。

なお、上記の第一樹脂組成物は、熱可塑性ポリイミド樹脂おょぴポリアリールケトン樹脂以外の樹脂成分を含んでもよい。同様に、第二樹脂組成物は、ポリアリールケトン樹脂以外の樹脂成分を含んでもよい。

表面層は、さらに、固体潤滑剤を含む層であってもよい。固体潤滑剤を含む表面層は、摺動特性に優れる。固体潤滑剤としては、フッ素樹脂やフッ化黒鉛、フッ化カルシウムなどのフッ素化合物、黒鉛やタルクなどの層状構造物、 P b、 A g、 C u等の軟質金属やその化合物、など、固体潤滑剤として通常用いられているものであればよい。その他にも、酸化チタン、炭化タングステン、窒化ホウ素、メラミンシァヌレート等が使用できる。

フッ素樹脂としては、分子中にフッ素原子を含有する合成高分子であれば特に限定されず、公知のものを使用することができる。このようなものとして、たとえば、（a) 分子内に一（CF₂ CF2 ) —で表わされる繰り返し構造単位を有するポリテトラフルォロエチレン (PTFE) ； (b) 分子内に一 (CFs CF 2 ) —および一〔CF (CF₃ ) CF₂ 〕一で表わされる繰り返し構造単位を有し、好ましくは、一（CF₂ CF2 ) ー99〜80質量⁰ /₀と一〔CF (CF₃ ) CF₂ 〕一 1〜20質量⁰ /₀とからなる、テトラフルォロエチレン一へキサフルォ口プロピレン共重合体（FEP) ； (c) 分子内に一（CF₂ C F2 ) 一おょぴ - [CF (OCm F_2m+i) CF₂ 〕一（式中、 mは 1〜1 6の範囲、好ましくは 1〜10の範囲の正の整数）で表される繰り返し構造単位を有し、好ましくは、 - (CF₂ C F₂ ) — 99〜92質量⁰ /₀と一〔CF (OCm F_2m+i) CF2 〕 - 1〜 8質量％とからなる、テトラフルォロェチレン一パーフルォ口アルキルビニルエーテル共重合体（PFA) ； (d) 分子内に一（CF₂ CF₂ ) —および一

(CH₂ CH2 ) 一で表される繰り返し構造単位を有し、好ましくは、一（CF ₂ CF₂ ) — 90〜74質量⁰ /₀と、一（CH₂ CH₂ ) — 10〜26質量⁰ /₀とからなる、テトラフルォロエチレン—エチレン共重合体（ETFE) ； (e) 分子内に一（CFC 1 CF₂ ) 一おょぴー（CH₂ CH₂ ) —で表される繰り返し構造単位を有するクロ口トリフルォロエチレン一エチレン共重合体；（f ) 分子内に一（CF₂ CH2 ) 一で表わされる繰り返し構造単位を有するポリフッ化ビニリデン（PVDF) ；等が挙げられ、さらに、これらフッ素樹脂は、この樹脂の本質的な性質を損なわない範囲で他のモノマーに基づく繰り返し構造単位を含んでいるものも挙げられる。上記他のモノマーとしては、テトラフルォロエチレン

(ただし、 PFA、 FEPおよび ETFEを除く。）、へキサフルォロプロピレン（ただし、 FEPを除く。）、パーフルォロアルキルビュルエーテル（ただし PFAを除く。）、パーフルォロアルキルエチレン（アルキル基の炭素数 1〜1 6) 、パーフルォロアルキルァリルエーテル（アルキル基の炭素数 1〜 16) 、および、式： CF₂ =CF [OCF₂ CF (CFs ) ] n OCF₂ (CF₂ ) _P Y (式中、 Yは C l、 B r、もしくは I、 nは 0〜5の整数、 pは 0〜 2の整数を表す。）で示される化合物が挙げられる。他のモノマーに基づく繰り返し構造単位の量は、重合体の 50質量％以下、好ましくは、 ◦. 01〜45質量％でぁる。

これらフッ素樹脂のうちで、好ましくは、（a) ポリテトラフルォロエチレン (PTFE) 、 (b) テトラフノレォロエチレン一へキサフノレオ口プロピレン共重合体（FEP) 、 (c) テトラフルォロエチレン一パーフルォロアルキルビュルエーテル共重合体（PFA) 、 (d) テトラフルォロエチレン一エチレン共重合体（ETFE) より選ばれるものであり、さらに好ましくは、（a) PTFEである。

上記フッ素樹脂の分子量は特に限定されないが、特に溶融する PTFEの場合には、溶融粘度が 380°Cにおいて 100万 P a · s以下のものが好ましい。これらのフッ素樹脂は、単独で用いても 2種以上を併用してもよい。

上記フッ素樹脂は、成形用の粉末であっても固体潤滑材用の微粉末であつてもよい。ポリテトラフルォロエチレンの市販品としては、たとえば三井 'デュポンフロロケミカル株式会社製のテフロン 7 Jや TLP— 10、旭硝子株式会社製のフルオン G 163、ダイキン工業株式会社製のポリフロン Ml 5やルブロン L 5 等が挙げられる。

本発明で使用される黒鉛としては、天然鱗片状黒鉛、天然土状黒鉛、人造黒鉛、熱分解黒鉛等が挙げられ、好ましくは、天然鱗片状黒鉛、人造黒鉛である。天然鱗片状黒鉛は、外見が板状、うろこ状、葉状、針状を呈するものを大部分含む天然産の黒鉛である。人造黒鉛はコータスとピッチの混合物等の炭素源を高温で焼成して得られる塊状物を粉砕して得られるものや気相成長により製造される結晶化度の高いタイプのものが好ましい。熱分解黒鉛は、コータス等の炭素源を約 3 000°Cの高温で焼成して黒鉛化して得られるものである。これら、天然鱗片状黒鉛、人造黒鉛、熱分解黒鉛は、天然土状黒鉛に比べ二酸化珪素、珪酸塩化合物等の灰分や不純物、揮発分が少なく、耐熱性、潤滑性に優れており、また、樹脂中に配合した場合にも榭脂劣化が起こりにくい。また、本発明で使用される黒鉛の平均粒径は、レーザー回折法により測定した平均粒径が 1〜 100 μ mであり、 4〜80 μηιのものが好ましく、 5〜60 μ mのものがさらに好ましい。

平均粒径が 100 m以下であれば樹脂成分中での均一分散や良好な成形フィルム外観が得やすく、 l zm以上であれば、樹脂成分への配合や混練時に粉体の飛散等のハンドリングトラブルが起こりにくく、押出機等を用いて溶融混練する場合、スクリューへのかみこみ不良による計量不安定や、押出物の形状不安定による引き取り性悪化などの問題が起きにくレ、。

本発明に使用する黒鉛中の灰分量は少ない方が好ましく、通常 2質量％以下、さらに好ましくは、 0. 05〜1質量％である。 2質量％以下の範囲であれば、榭脂成分中に配合して使用する際、加工時の樹脂成分の熱劣化が起こりにくレ、。また、黒鉛中の揮発分は少ない方が好ましく、通常 2質量％以下、好ましくは 1質量％以下である。 2質量％以下の範囲であれば、樹脂成分との溶融混練時に発泡が少なくなる。

これらの黒鉛の市販品の例としては、株式会社中越黒鉛工業所の C P B— 3 (天然鱗片状黒鉛）， CPB-30, CPB— 3000、日本黒鉛工業株式会社の CP、特 CP、 CPB、 T i m c a 1社製「T i mr e xKS— 44」（人造黒鉛）等が挙げられる。

また、遷移金属硫化物を用いてもよい。遷移金属硫化物としては、二硫化モリブデン、二硫化タングステンなどが挙げられ、中間層の樹旨、および Zまたは表面層の樹脂中に分散させるために、粉体であることが好ましい。このものの平均粒径は、 0. 1〜20 Aimであり、好ましくは、 0. 3〜 1 1 _μ mである。平均粒径が 0. 1 μ m以上であれば、樹脂成分との溶融混練時に、粉体の飛散等によるハンドリングトラプルが起こりにくく、 20 πι以下であれば、樹脂成分中への分散不良やフィルム外観不良が起こりにくレ、。

二硫化モリプデン粉末の具体例として、日本黒鉛工業株式会社製モリパゥダー A (平均粒径 0. 5 μηα) 、モリパウダー Β (平均粒径 3 μπι) 、モリパウダー C (平均粒径 0. 3〜0. 4 μπι) 、住鉱潤滑剤株式会社製 MO S等が挙げられる。二硫化タングステンの具体例として、日本潤滑剤株式会社製タンミック A (平均粒径 Ι μηι) 、タンミック Β (平均粒径 0. 6 μπι) 等が挙げられる。また、六方晶窒化硼素（h— ΒΝ) を用いてもよい。六方晶窒化硼素は、中間層の樹脂、および Zまたは表面層の樹脂中に分散させるために、粉体であることが好ましい。このものの平均粒径は 0. 0 1〜100 、好ましくは、 0. 1 〜20 μηι、より好ましくは 3〜1 5 μπι、である。平均粒径が 0. 1 μ m以上であれば、樹脂成分との溶融混練時に、粉体の飛散等によるハンドリングトラブルが起こりにくく、 1 0 0 μ πι以下であれば、樹脂成分中への分散不良やフィルム外観不良が起こりにくい。比表面積は、 0 . 1〜1 0 O m ² / g、好ましくは、 1 ~ 2 O m ² / gである。比表面積が 0 . l m² / g以上、および 1 0 0 m² / g以下であれば分散不良が起こりにくレ、。

六方晶窒化硼素の具体例として、水島合金鉄株式会社、 G Eスペシャルティ · マテリアルズ.ジャパン株式会社等より販売されているものがあり、使用可能である。

上記の中でも、ポリテトラフルォロエチレン、黒鉛、および二硫化モリブデンのうちの少なくとも 1種であるのが好ましい。

また、表面層は、第二樹脂組成物を 1 0 0質量部としたときに前記固体潤滑剤を 4 0 0質量部以下含むとよい。含まれる固体潤滑剤は、 1 0 0質量部以下が好ましく、より好ましくは、 5〜5 5質量部、さらに好ましくは 1 0〜4 5質量部である。固体潤滑剤の量がこの範囲にあれば、金属製の基材との密着性を損なうことなく潤滑特性が向上する。

なお、固体潤滑剤は、中間層に含まれてもよい。この際、固体潤滑剤は、中間層の特性を損なわない程度に含まれればよく、樹脂組成物（熱可塑性ポリイミド樹脂とポリアリールケトン樹脂との合計）を 1 0 0質量部としたときに、固体潤滑剤を 4 0 0質量部以下含むとよい。含まれる固体潤滑剤は、 1 0 0質量部以下が好ましく、より好ましくは、 5〜5 5質量部、さらに好ましくは 1 0〜4 5質量部である。固体潤滑剤の量がこの範囲にあれば、金属製の基材との密着性を損なうことなく潤滑特性が向上する。また、固体潤滑剤が 1 0 0質量部以下であれば、製造工程において発生する中間層の未使用部をリサイクルして用いる際に起こりうる加工性の著しい低下を抑制できる。

また、中間層および表面層の少なくともいずれか一方は、無機充填材を含む層であるのが好ましい。無機充填材としては、公知のものを使用することができ、たとえば、クレー、ガラス、アルミナ、シリカ、窒化アルミユウム、窒化珪素、黒鉛などの充填材、ガラス繊維ゃァラミド繊維、炭素繊維などの繊維、無機鱗片状（板状）粉体、たとえば、合成マイ力、天然マイ力（マスコパイト、フロゴパィト、セリサイト、スゾライト等）、焼成された合成マイ力や天然マイ力、ベーマイト、タルク、イライト、カオリナイト、モンモリ口ナイト、バーミキユラィト、スメクタイト、板状アルミナ、鱗片状チタン酸塩（たとえば、鱗片状チタン酸マグネシウムカリウム、鱗片状チタン酸リチウムカリウム等）などが挙げられる。これらのなかで、合成マイ力、天然マイ力、焼成された合成マイ力や天然マイカ、ベーマイト、タノレク、イライト、カオリナイト、モンモリロナイト、バーミキユラィト、スメクタイトなどの無機鱗片状（板状）粉体、板状アルミナ、鱗片状チタン酸塩が好ましく、合成マイ力、天然マイ力がより好ましい。これらの無機充填材は 1種類を単独でまたは 2種類以上を組み合わせて用いることができる。

この無機充填材の形状としては、板状が好ましく、平均粒径が 0 . 0 1〜 2 0 Ο μ πι程度、好ましくは 0 . 1〜2 0 111、より好ましくは、 1〜： ί Ο μ πι、平均アスペクト比（粒径 Z厚み）は 1〜3 0程度、好ましくは 3 0以上のものが好適に用いられる。

また、無機充填材は、表面処理剤により表面処理されたものを用いてもよい。表面処理剤としては、アミノシラン、エポキシシラン、ビュルシラン、アタリ口キシ基またはメタクリ口キシ基を有するシラン化合物などのシランカツプリング剤、珪素原子に炭素数 1〜3 0の範囲の直鎖、分岐または環状の炭化水素基が 1 または 2個結合したアルコキシシラン、チタネート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤、ジルコネートカップリング剤などが挙げられる。表面処理剤の使用量は、通常、無機充填材 1 0 0質量部に対して 0 . 1〜8質量部、好ましくは 0 . 5〜 3質量部の範囲である。

表面処理の方法としては、既知の種々の方法が適用できる。たとえば、表面処理剤を溶解した溶液中で無機充填材と表面処理剤を接触させた後、溶媒を除去する湿式法、表面処理剤を溶解した溶液と無機充填材とを噴霧、撹拌等の方法により接触させて、無機充填材表面に表面処理剤をまぶした後、溶媒を除去する半湿式法、樹脂と無機充填材および表面処理剤または少量の溶媒に溶解させた表面処理剤を混合撹拌するインテグラルプレンド法などが挙げられる。無機充填材剤表面に効率よく表面処理剤を付着させるという観点から、湿式法、半湿式法が好ましい。

溶媒中の表面処理剤の濃度は、 0 . 1〜8 0質量％程度の濃度とすることができる。溶媒としては、たとえば、イソプロピルアルコール、エタノール、メタノール、へキサン等の除去しやすいものが好ましい。この溶媒は、少量の水や加水分解を促進する少量の酸成分を含むものであってもよい。

上記表面処理方法により、無機充填材と、溶媒に希釈しまたは希釈しない表面処理剤とを接触混合した後、数時間から数日間空気中に放置し、空気中の水分と接触させて加水分解を起こさせるとともに、使用した溶媒を蒸発除去することが推奨される。

この蒸発除去の処理は、アルコキシシリル基の加水分解反応や生成したヒドロキシシリル基を無機充填材表面のヒドロキシル基と脱水縮合反応させ、かつ、発生したアルコールや使用した溶媒除去のため、常圧下ないし減圧下に、通常、 8 0〜 1 5 0 °C程度、好ましくは 1 0 0〜 1 3 0 °Cにて行なう。処理時間は通常 4 〜 2 0 0時間程度であり、好ましくは 2 4〜 1 0◦時間である。なお、上記無機充填材は、中間層と表面層とで同じものを使用しても良いし、異なるものを使用しても良い。

中間層には、第一樹脂組成物を 1 0 0質量部としたときに 1 0 0質量部以下含むのが好ましい。無機充填材が 1 0 0質量部以下であると、中間層の脆性は低くなり適度な弾性を示す。一方、無機充填材が 1 0質量部以上であると、本発明の摺動部材をシャーリング等により切断する際に切断部に発生する基材と中間層との剥離が少なくなり、かつ、線膨張係数が低下し各層の体積変化が低減する。より好ましい無機充填材の添加量は、樹脂組成物を 1 0 0質量部としたとき 1 0〜 5 5質量部、さらに好ましくは 1 5〜4 5質量部である。

また、表面層には、第二樹脂組成物を 1 0 0質量部としたときに無機充填材を 1 0 0質量部以下含むのが好ましい。無機充填材が 1 0 0質量部以下であると、表面層の脆性は低くなり適度な弾性を示す。また、無機充填材の添加により、表面層の硬度（鉛筆硬度）が向上し、かつ、線膨張係数が低下し各層の体積変化が低減する。より好ましい無機充填材の添加量は、ポリアリ一ルケトン樹脂を 1 0 0質量部としたとき 1 0〜 4 0質量部、さらに好ましくは 1 5〜 3 3質量部である。

中間層おょぴ表面層は、その厚さに特に限定はない。中間層の厚さが 0 . 1〜 8 0 0 i mであれば、金属製の基材と表面層とを良好に密着させることができる。表面層の厚さが 1〜 1 0 0 0 mであれば、密着性に優れ、また、摺動特性に優れた摺動部材となる。そして、中間層と表面層のいずれも、その厚さが 1 0〜2 Ο Ο μ πιであれば、製造工程（後述）において成形が容易である。

中間層と表面層との厚さの比率は、 1 / 9 9〜 9 9 / 1であるのが好ましく、より好ましくは 1 0ノ9 0〜9 0 / 1 0の範囲である。後述の製造工程において、中間層と表面層とを別々に成形し、その後、両者を重ね合わせて金属製の基材に接着する際、厚さの比率が上記の範囲であれば、薄い方の層が、静電気により厚い方の層に引き寄せられて位置合わせがしづらくなつたり、シヮが生じるというトラブルが起こりにくい。また、中間層と表面層を合わせて共押出により積層させて成形し、冷却前または冷却後に基材と接着する場合に、上記厚さ比率の範囲であれば、各層が安定して成形できる。

なお、本発明の摺動部材では、中間層を設けることにより、金属製の基材とポリアリールケトン樹脂を含む表面層とが良好に密着するが、さらに、基材の表面に直接ポリアリ一ルケトン樹脂を含む層を形成した従来の摺動部材ょりも摺動特性も向上する。また、無機充填材を添加した場合には、線膨張係数が低くなるため、さらに密着性が向上し、摺動時に生じる基材からの剥離を抑制できる。

本発明の摺動部材を構成する中間層および表面層の製造方法としては、所望の形状に成形した中間層と表面層とを金属製の基材に載置して接着（積層）して形成する方法が望ましい。

中間層を成形するには、はじめに、樹脂組成物（ポリエーテルイミド榭脂を (Α) 成分、ポリアリールケトン樹脂を（Β ) 成分とする）と必要に応じて無機充填材などの添加剤（（C ) 成分とする）とを公知の方法で混合し、混合物を得る。混合の組み合わせの例として、

• (Α) 成分、（Β ) 成分と（C ) 成分の 3成分を同時に混合、分散させる方法；

• (Α) 成分と（Β ) 成分をあらかじめ混合し、この混合物に（C ) 成分を混合、分散させる方法；

• (A) 成分または（B) 成分に、（C) 成分をあらかじめ混合分散させて、

(A) 成分と（C) 成分の混合物または（B) 成分と（C) 成分の混合物を調製し、次いで（A) 成分と（C) 成分の混合物に（B) 成分を混合するか、あるいは（B) 成分と（C) 成分の混合物に（A) 成分を混合する方法；

• (A) 成分および（B) 成分それぞれに（C) 成分を混合分散させた混合物を調製し、これらの混合物を混合する方法（この場合（A) 成分に対する

(C) 成分の比率と（B) に対する（C) 成分の比率は同じでも異なっていてもよい）；

•複数種の（A) 成分および Zまたは複数種の（B) 成分を使用する場合、これらのうちの少なくとも 1種に、高濃度に（C) 成分を混合分散させた混合物と、配合すべき他の（A) 成分および/または（B) 成分を混合するか、あるいは上記混合物と、配合すべき他の（A) 成分および/または（B) 成分に低濃度に（C) 成分を混合分散させた混合物を混合分散させる方法；

などが挙げられる。

また、表面層を成形するには、はじめに、ポリアリールケトン樹脂（B) と必要に応じて固体潤滑剤などの添加物（（D) 成分とする）とを公知の方法で混合し、混合物を得る。混合の組み合わせの例として、

• (B) 成分と（D) 成分の 2成分を同時に混合、分散させる方法；

• (B) 成分に、高濃度に（D) 成分を混合分散させた混合物をあらかじめ調製し、この混合物に（B) 成分を混合、分散させる方法；

• (B) 成分に（D) 成分を異なる濃度に混合分散させた複数種の混合物をあら力じめ調製し、これらの混合物を混合する方法；

•複数種の（B) 成分および/または複数種の（D) 成分を使用する場合、

(B) 成分の少なくとも 1種に、高濃度に（D) 成分を混合分散させた混合物と、配合すべき他の（B) 成分を混合するか、あるいは上記混合物と、配合すべき他の（B) 成分に低濃度に（D) 成分を混合分散させた混合物を混合、分散させる方法；

などが挙げられる。混合、分散の方法としては、各成分をそれぞれ別々に単軸溶融混練機や二軸溶融混練機に供給して混合することもでき、複数の供給部を有する溶融混練機を用いて各成分を逐次的に溶融混練機に供給することもできる。また、あらかじめへンシェ^/ミキサー（商品名）、スーパーミキサー、リボンプレンダー、タンブラ一などの混合機を利用してそれらを予備混合した後、溶融混練機に供給して、具体的には 3 4 0 ° (：〜 4 3 0 °Cの温度で溶融混練することもできる。また、目的により、水性媒体や有機溶媒に分散せしめて湿式法により混合することも可能である。さらに、（C ) 成分の無機充填材ゃ（D) 成分の固体潤滑剤などの各種添加剤を、（A) 成分および Zまたは（B ) 成分をベース樹脂として高濃度（代表的な含有量としては 1 0〜6 0質量％程度）に混合したマスターパッチを別途作製しておき、これを使用する樹脂に濃度を調整して混合し、ニーダーゃ押出機等を用いて機械的にブレンドする方法などが挙げられる。上記混合方法の中では、マスターバッチを作製し、混合する方法が分散性や作業性の点から好ましい。

混合物は、混合、分散の工程に引き続いて所望の形状に成形してもよく、また、ー且ストランドないしはシート状に押し出され、力ッティングされてペレツト、顆粒、粉体などの成形加工に適した従来の形態で得てもよい。

中間層および表面層の成形方法としては、射出成形法、押出成形法、圧縮成形法、カレンダー成形法等の公知の方法が挙げられる。たとえば、押出部先端の断面形状が長方形や長方形類似形状のダイ、具体的には Tダイ、 Iダイなどフィルム押出用のダイより押出されたフィルム状の樹脂組成物を冷却体に接触させて冷却する押出キャスト法、カレンダ一法等を採用することができ、特に限定されるものではないが、フィルムの製膜性、安定生産性等の面から、 Tダイや Iダイなどフィルム押出用のダイスと冷却体を用いる押出キャスト法が好ましい。上記冷却体としては、表面の材質が金属やゴム、繊維などよりなり、形態はロールやべルト、シームレスベルトなどが挙げられる。

これらのうちで、冷却装置が単純で取り扱い易いという理由から、冷却体としてロールを用いることが好ましい。その一例として、押出機より溶融した樹脂組成物が導管を経てダイに送り込まれ、ダイの先端よりフィルム状に押出され、冷却用の金属ロールとゴムロールに挟まれてフィルム状に形状固定 ·冷却され、続いて、金属ロール側に巻き付いて冷却されて、卷き取り機に送られる。フィルムは必要に応じて、金属ロールと卷き取り機の間にさらに他のロールや、冷却エア一により冷却される。

押出キャスト法での成形温度は、組成物の流動特性や製膜性等によって適宜調整されるが、概ねガラス転移温度ないしは融点以上、 4 3 0 °C以下、好ましくは、 3 4 0〜4 0 0。C、さらに好ましくは 3 5 0〜3 9 0 °Cである。

ロール等の冷却体の表面温度は、通常、各層を構成する樹脂成分のガラス転移温度ないしは融点以下の温度である。中間層を形成する場合、冷却体の表面温度は、通常 3 0〜1 7 5 °C程度、好ましくは 9 0〜1 6 5 °Cの範囲である。 3 0 °C 以上であると、冷却体表面に空気中の水分が凍つて付着することを避けることができ、 1 7 5 °C以下であると、冷却体との接触により形成された形状が変化することを防ぐことができる。表面層を形成する場合、冷却体の表面温度は、通常 3 0〜1 5 5 °C程度、好ましくは 9 0〜 1 4 1 °Cの範囲である。 3 0 °C以上であると、冷却体表面に空気中の水分が凍って付着することを避けることができ、 1 5 5 °C以下であると、冷却体との接触により形成された形状が変化することを防ぐことができる。冷却体上面に熱電対や温度指示体を接触させる接触法、赤外線温度計など光や電磁波を用いる非接触法などで測定することができる。

冷却体の表面温度の好適範囲は、冷却体の温度制御機構や、オイル、水などの循環冷媒等熱媒体の温度を適切に選択することにより制御することができる。本発明の積層体を製造する際の基材、中間層および表面層の積層方法は、特に限定されないが、たとえば、

•基材と、あらかじめフィルム状に成形した中間層と表面層と、を重ね合わせて圧力をかけながら加熱して積層する方法（プレス成形）；

•基材と、あらかじめフィルム状に成形した中間層と表面層と、を同時にまたは別々に加熱ロール接触や赤外線、熱風などにより加熱した後に重ね合わせ、ロールやプレスにより圧力をかけて密着させる方法；

•中間層を構成する樹脂組成物と、表面層を構成する樹脂成物をそれぞれ別々の押出機で溶融混練してそれぞれ別々のダイまたは多層のダイ内で積層し、フィルム状に押し出して冷却せずにそのまま基材表面に載せて、基材とともに加熱プレスまたは加熱ロールに挟んで積層する方法；

•中間層と表面層を積層フィルムとして押し出してー且冷却した後、基材と加熱プレスまたは加熱ロールに挟んで積層する方法；

などが挙げられる。

金属製の基材としては、連続したコイル、帯板やカットされた板の状態でよく、中間層および表面層も、それぞれ連続した巻きやカツトされた枚葉の形態で供してよい。また、圧縮機などの摺動部品に加工された金属製部品であってもよい。また、各層を積層する際の加工温度が、 2 0 0〜4 0 0 °Cであるのが望ましレ、。 4 0 0 °C以下であれば、金属製の基材の劣化を低減できる。 2 0 0 °C以上であれば、表面層および中間層に含まれるポリアリ一ルケトン樹脂の結晶性が高まるため、ポリアリールケトン樹脂特有の性質が良好に発現する。特に、鉄を主成分とする基材では、加工温度を 2 5 0 °C以下とすれば、焼入れされた鉄が焼鈍されることがない。また、アルミニウム合金からなる基材では、加工温度を 2 5 0 °C以下とすれば、基材の硬度の低下を抑制することができる。

上記方法によれば、基材と中間層と表面層とを積層する工程においては、溶剤を用いなくてよい。そのため、環境への悪影響が低減される。また、塗布工程や焼成工程などが必要ないため、工程数が少なくて済む。

なお、本発明の摺動部材は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、その特性を損なわない程度に、他の構成を追加してもよい。たとえば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、アルミナ、酸化ケィ素、酸化鉄、酸化クロム等の無機粒子、硫化亜鉛（Z n S ) や硫化銀（A g ₂ S ) 等の硫黄含有金属化合物等の極圧剤、染料、顔料などの着色剤、界面活性剤、分散剤、酸化防止剤、難燃剤、熱安定剤、帯電防止剤、レべリング剤、消泡剤およびエポキシ樹脂、フエノール樹脂、メラミン樹脂、多官能イソシァネート等の架橋剤、などのうち何れかまたは全ての添加剤を、表面層および Zまたは中間層が含有してもよい。また、基材と中間層との接着向上のため、アミノシラン、エポキシ等のシランカツプリング剤などの使用も可能である。

また、本発明の摺動部材は、本発明の趣旨を超えない範囲で、中間層と表面層との間に、中間層と表面層と同じ成分を含む層や、他の成分よりなる層を有するものであってもよい。以下に、本発明の摺動部材の実施例を比較例とともに説明する。

[金属製基材の作製]

A 1〜 A 9までの 9種類の金属製基材を準備した。以下にそれぞれの基材について説明する。

[基材 A 1〜A4]

厚さが 0. 4mmのステンレス鋼板（SUS 304) である基材 Al、厚さが 0. 4 mmのステンレス鋼板（SUS 301) である基材 A 2、厚さが 0. 5 m mのステンレス鋼板（SUS 304) である基材 A 3、厚さが 0. 3 mmのステンレス鋼板（SUS 3 1 6) である基材 A 4、を準備した。なお、上記基材 A 1 〜A 4の表面粗さパラメータは、表 1および表 2に示す通りである。

[基材 A5〜A9]

厚さ 4 mmの铸鉄板である基材 A 5、厚さ 6 mmの铸鉄板である基材 A 6、厚さ 10 mmの鎵鉄板である基材 A 7、厚さ 8 mmのアルミニウム板（J I S H 4000— 1 999に示された A 1 100 ;珪素含有量 0. 7%) である基材 A 8、厚さ 6mmのアルミニウム—珪素合金板（同、 A4043 ；珪素含有量 5. 5%) である基材 A9、を準備した。なお、基材 A5〜A9は、ショットブラストにより表面処理されており、上記基材 A 5〜A 9の表面処理された面の表面粗さパラメータは、表 3およぴ表 4に示す通りである。

[中間層の作製]

以下の手順で、中間層用のフィルム S：!〜 S 1 3を作製した。

[フイノレム S 1]

樹脂組成物として、非晶性ポリエーテルィミド榭脂（ゼネラルエレクトリック社製「U 1 t e m 1 000」ガラス転移温度 T g = 2 1 6°C、以下「P E I _ 1」と略記）を 2. 0 16 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P E E K— 1の合計質量に対し 28質量⁰ /₀) 、ポリエーテルィミド樹脂（ゼネラルエレクトリツク社製「U l t emCRS 5001」 Tg = 226°C、以下「PE I— 2」と略記）を 2. 304 k g (PE I— 1、 PE I—2および PEEK— 1の合計質量に対し 32質量⁰ /₀) 、ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ビタトレックス社製「PEEK450G」 Tg = 143°C、融点 Tm= 334°C、以下「PEEK— 1」と略記）を 2. 88 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P E E K— 1の合計質量に対し 40質量％) 、用いた。また、充填材として、合成マイ力（平均粒径： 6 μπι、ァスぺクト比： 25) を 2. 8 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 38. 9質量部、以下「充填材 C l」と略記）添加した。上記樹脂組成物および充填材を、サイドフィード付きの二軸押出機により設定温度 380°Cで混練し、ストランド状に押出し、カッティングしてペレツトとした。

このペレットを、 1 80 °Cで 12時間熱風乾燥した後、 Tダイを接続した口径 4 Omm ψの単軸押出機を使用し、 380°Cにてフィルム状に押出し、設定温度 160°Cの循環オイルにて温度調節された金属キャストロールの表面に接触させ、その反対側からシリコーンゴムロールにて押しつけて急冷製膜することにより、厚さ 100 zmの中間層用のフィルム S 1を得た。

[フィルム S 2]

PE I— 1を 4. 4 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計質量に対し 5 5質量⁰/。）、 PE I— 2を O k g、 PEEK— 1を 3. 6 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計質量に対し 45質量％) 、また、充填材 C 1を O k gに変更し、下記の方法により作製した表面処理マイ力（充填材 C 2) を 2 k g (PE I _ 1および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 25質量部）添加し、フィルム厚さを 35 μ mとした他は、フィルム S 1と同様の操作を行い、フィルム S 2を得た。

なお、上記表面処理マイ力は、以下の方法により作製した。市販の合成マイ力 (平均粒子径： 10 μ m、ァスぺクト比： 20) 2 k gに、水分約 3質量％のィソプロピルアルコール 1 60 gに溶解した表面処理剤へキシルトリメトキシシラン（東京化成工業株式会社製、試薬グレード） 40 g (合成マイ力 100質量部に対して 2質量部）を溶解して得た 20質量％溶液 200 gを振りかけ、窒素を供給しながらヘンシェルミキサーにより 10分間撹拌混合した。この混合物を、ステンレス製のバットに広げて室内にて 4日間放置した。その後、 120°Cのォーブン中で 48時間加熱処理し、室温まで冷却し、マイ力に表面処理を行った。この操作を 1 0回繰り返して、約 20 k gの表面処理マイ力（以下「充填材 C 2」と略記）を得た。

[フイノレム S 3]

PE I— 1を 3. 04 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P E E K— 1の合計質量に対し 40質量⁰ /₀) 、 PE I— 2を 1. 9 k g (PE I— 1、 PE I— 2 および P EEK— 1の合計質量に対し 25質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 2. 66 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 35質量⁰ /₀) 、また、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 2を 2. 4 k g (PE I— 1、 P E I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 31. 6質量部）添カロし、フィルム厚さを 80 imとした他は、フィルム S 1と同様の操作を行い、フィルム S 3を得た。

[フィルム S 4]

PE I— 1を 3. 28 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P E E K— 1の合計質量に対し 40質量⁰ /₀) 、 ΡΕ Ι— 2を 2. 87 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 35質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 2. 05 k g (PE I— 1、 PE I— 2および P EEK— 1の合計質量に対し 25質量 %) 、また、充填材 C 1を 0 k gに変更し、下記の方法により作製した表面処理マイ力（充填材 C 3) を 1. 8 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P EEK— 1の合計 100質量部に対し 22質量部）添加し、フィルム厚さを 50 μπιとした他は、フィルム S 1と同様の操作を行い、フィルム S 4を得た。

なお、上記表面処理マイ力は、以下の方法により作製した。市販の合成マイ力

(平均粒子径： 6 μ m、ァスぺクト比： 25) 2 k gに、水分約 3質量。 /₀のィソプロピルアルコール 1 60 gに溶解した表面処理剤フヱ-ルトリメトキシシラン

(東京化成工業株式会社製、試薬グレード） 40 g (合成マイ力 100質量部に対して 2質量部）を溶解して得た 20質量％溶液 200 gを振りかけ、窒素を供給しながらヘンシェルミキサーにより 10分間撹拌混合した。この混合物を、ステンレス製のバットに広げて室内にて 4日間放置した。その後、 1 20°Cのォーブン中で 48時間加熱処理し、室温まで冷却し、マイ力に表面処理を行った。同様の操作を 30回繰り返して、約 60 k gの表面処理マイ力（以下「充填材 C 3」と略記）を得た。

[フイノレム S 5]

PE I— 1を 2. 25 k g (PE I—1、 P E I— 2および P E E K— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /o) 、 ΡΕ Ι— 2を 2. 25 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /o) 、 PEEK— 1を 3. O k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 40質量⁰ /₀) 、また、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を 2. 5 k g (PE I _ 1、 P E I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 33. 3質量部）添カロし、フィルム厚さを 50 μ mとした他は、フィルム S 1と同様の操作を行い、フィルム S 5を得た。

[フイノレム S 6]

PE I— 1を 4. 4 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計質量に対し 5 5質量⁰ /₀) 、 PE I— 2を 0 k g、 PEEK— 1を 3. 6 k g (PE I— 1およぴ PEEK— 1の合計質量に対し 45質量％) 、また、充填材 C 1を O k gに変更し、充填材 C 3を 2 k g (PE I _1、 PE I—2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 25質量部）添加し、フィルム厚さを 28 μ mとした他は、フィルム S 1と同様の操作を行い、フィルム S 6を得た。

[フィルム S 7]

PE I— 1を 3. 2 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P E E K— 1の合計質量に対し 40質量⁰ /₀) 、 ΡΕ Ι— 2を 2. 4 k g (PE I— 1、 PE I— 2おょぴ P EEK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 2. 4 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 30質量％) 、また、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を 2 k g (PE I— 1、 PE I 一 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 25質量部）添加し、フィルム厚さを 24 μπιとした他は、フィルム S 1と同様の操作を行い、フィルム S 7 を得た。

[フィルム S 8]

樹脂組成物として、 PE I— 1を 3 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PE EK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PE I— 2を 3 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P EEK— 1の合計質量に対し 30質量部）、 PEEK— 1を 4 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P EEK— 1の合計質量に対し 40質量 %) 、用いた。また、充填材として充填材 C 2を 1. 5 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 1 5質量部）、固体潤滑剤としてポリテトラフルォロエチレン樹脂（旭硝子株式会社製「フルオン PTFE L— 169 J」、以下「固体潤滑剤 D 1」と略記）を 1. 5 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 15質量部）、および鱗片状黒鉛（日本黒鉛株式会社製「特 CP」顕微鏡下での平均粒径測定値は 6 m、以下「固体潤滑剤 D 2」と略記）を l k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK- 1の合計 100質量部に対し 10質量部）添カ卩した。上記榭脂組成物、充填材および固体潤滑剤を、サイドフィード付きの二軸押出機により設定温度 3 90°Cで混練してストランド状に押出し、カッティングしてレツトとした。このペレットを 1 80 °C 1 2時間熱風乾燥した後、押出温度を 390 °Cとし、フィルム厚さを 50 とした他は、フィルム S 1と同様の手順により、フィルム S 8を得た。

[フィルム S 9]

樹脂組成物として、 PE I— 1を 3 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PE EK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PE I—2を 3 k g (PE I— 1、 P E I—2および PEEK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、卩££1：ー 1を4 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P E EK— 1の合計質量に対し 40質量 %) 、用いた。これらのペレットを充分撹拌混合して、 1 80°Cで 8時間乾燥したのち、口径 4 Omm φの単軸押出機に供給した。

フィルム厚さを 50 ^amとした他は、フィルム S 1と同様の手順により、フィルム S 9を得た。

[フィルム S 10]

PE I— 1を 5. 5 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計質量に対し 5 5質量⁰ /₀) 、 PE I—2を O k g、 PEEK— 1を 4、 5 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計質量に対し 45質量％) 、また、充填材 C 1を O k gに変更し、固体潤滑剤 D 1を 0. 5 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計 10 0質量部に対し 5質量部）、固体潤滑剤 D 2を 0. 5 k g (PE I— 1および P EEK— 1の合計 100質量部に対し 5質量部）添加し、二軸押出温度と単軸押出温度を 390°C、および厚さを 25 /zmとした他は、フィルム S 1と同様の操作によりフィルム S 10を得た。

[フィルム S 1 1]

卩£ 1ー 1を31 _§ (PE I— 1、 PE I—2および PEEK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PE I— 2を 3 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PE EK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 4 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 40質量。 /₀) 、また、充填材 C 1を O k gに変更し、充填材 C 3を l k g (PE I— 1、 PE I— 2および PE EK~ 1の合計 100質量部に対し 10質量部）、固体潤滑剤 D 1を 0. 5 k g (P E I— 1、 PE I— 2および P EEK— 1の合計 100質量部に対し 5質量部）、固体潤滑剤 D2を l k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 1 00質量部に対し 1 0質量部）添加し、フィルム厚さを 30 μπιとした他は、フィルム S 1と同様の操作によりフィルム S 1 1を得た。

[フィルム S 1 2]

?£ 1ー 1を41 _§ (ΡΕ Ι— 1、 PE I—2および PEEK— 1の合計質量に対し 40質量⁰ /₀) 、 PE I— 2を 3 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PE EK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 3 k g (PE I— 1、 ?£ 1ー2ぉょび？££ ー 1の合計質量に対し30質量％) 、また、充填材 C 1を O k gに変更し、充填材 C 3を 1. 5 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK- 1の合計 1 00質量部に対し 1 5質量部）、固体潤滑剤 D 1を 1. 5 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— lの合計 1 00質量部に対し 1 5質量部）添加し、二軸押出温度と単軸押出温度を 390°C、およびフィルム厚さを 28 / mとした他は、フィルム S 1と同様の操作を行い、フィルム S 12を得た。

[フイノレム S 13]

PE I— 1を 3 k g (PE I— 1、 P E I— 2および P E EK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PE I—2を 3 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PE EK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 4 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 40質量％) 、また、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を 2. 5 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対して 25質量部）添加し、二軸押出と単軸押出の温度を 390°C、フィルム厚さを 40 μπιとした他は、フィルム S 1と同様の操作を行い、フィルム S 13を得た。

[表面層の作製]

以下の手順で、表面層用のフィルム Τ 1〜Τ 1 3、およびフィルム TR 1を作製した。

[フィルム Τ 1]

7. 2 k gの PEEK— 1 (100質量部）に、充填材 C 1を 2. 8 k g (1 00質量部の PEEK— 1に対し 38. 9質量部）添加し、サイドフィード付き二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練し、ストランド状に押出し、カッティングしてペレツトとした。

このペレットを、 180°Cで 1 2時間熱風乾燥した後、 Tダイを接続した口径 4 Omm ψの単軸押出機を使用し、 390°Cにてフィルム状に押出し、設定温度 130°Cの循環オイルにて温度調節された金属キャストロールの表面に接触させ、その反対側からシリコーンゴムロールにて押しつけて急冷製膜することにより、厚さ約 1 10 μ mのフイノレム Τ 1を得た。

[フィルム T 2]

PEEK— 1を 7. 6 k g (100質量部）、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 2を 2. 4 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 3 1. 6質量部）添カ卩し、フィルム厚さを 40 imとした以外は、フィルム T 1と同様の操作を行い、フイノレム T 2を得た。

[フィルム T 3]

充填材 C 1を 0 k gに変更し（すなわち PEEK— 1のみを使用）、二軸押出機による混練を行わず、フィルム厚さを 30 μπιとした以外は、フィルム T 1と同様の操作を行い、フィルム Τ 3を得た。 [フィルム T 4]

PEEK— 1を 8. 2 k g (100質量部）、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を 1. 8 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 22質量部）添カロし、フィルム厚さを 70 /itnとした以外は、フィルム T 1と同様の操作を行い、フィルム T 4を得た。

[フィルム T 5]

PEEK— 1を 7. 5 k g (100質量部）、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を 2. 5 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 33. 3質量部）添加し、フィルム厚さを 50 μπιとした以外は、フィルム Τ 1と同様の操作を行い、フイノレム Τ 5を得た。

[フィルム Τ 6]

充填材 C 1を 0 k gに変更し、固体潤滑剤 D 1を 2 k g (100質量部の P E EK_ 1に対し 25質量部）添加し、フィルム厚さを 60 μηιとした以外は、フイルム T 1と同様の操作を行い、フィルム Τ 6を得た。

[フイノレム Τ 7]

PEEK— 1を 8. 33 k g (100質量部）、充填材 C 1を◦ k gに変更し、固体潤滑剤 D 2を 1. 67 k g (1 00質量部の P E E K— 1に対し 20質量部）添加し、フィルム厚さを 100 μπιとした以外は、フィルム T 1と同様の操作を行い、フィルム Τ 7を得た。

[フィルム Τ 8]

PEEK— 1を 1 0 k g (100質量部）、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を l k g (100質量部の PEEK— 1に対し 10質量部）、固体潤滑剤01を2 （PEEK— 1 100質量部に対し 20質量部）、および固体潤滑剤 D 2を l k g (PEEK- 1 100質量部に対し 10質量部）添加し、フィルム厚さを 35 μ mとした以外は、フィルム T 1と同様の操作を行い、フィルム T 8を得た。

[フィルム T 9]

PEEK— 1を 10 k g、充填材 C 1を O k gに変更（すなわち PEEK— 1 のみを使用）し、二軸押出機による混棟を行わず、フィルム厚さを 50 μηιとしたほかは、フィルム T 1と同様の操作を行い、フィルム T9を得た。

〔フィルム T 10]

PEEK— 1を 10 k g (100質量部）、充填材 C 1を 0 k gに変更し、固体潤滑剤 D 1を 2. 5 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 25質量部）添加し、厚さを 60 μπχに変更した以外は、フィルム Τ 1と同様の操作によりフィルム Τ 10を得た。

[フィルム Τ 1 1 ]

PEEK— 1を 10 k g (100質量部）、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を 1 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 10質量部）、固体潤滑剤01を2 _§ (1 00質量部の PEEK— 1に対し 20質量部）、固体潤滑剤 D2を 1 k g (1 00質量部の PEEK— 1に対し 10質量部）添加し、厚さを 40 μπιとしたほかは、フィルム Τ 1と同様の操作によりフィルム Τ 1 1を得た。

[フィルム Τ 1 2]

Τ 1と同様の操作を行いフィルム T 1 PEEK— 1を 1 0 k g (1 00質量部）、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を 1. 5 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 1 5質量部）、固体潤滑剤 D 1を 2 k g (100質量部の P EEK— 1に対し 20質量部）添カ卩し、厚さを 60 μηιとしたほかは、フィルム 2を得た。

[フィルム T 1 3]

PEEK— 1を 1 0 k g (100質量部）、充填材 C 1を 0 k gに変更し、充填材 C 3を 0. 5 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 5質量部）、固体潤滑剤 D 2を 0. 5 k g (1 00質量部の PEEK— 1に対し 5質量部）、ポリテトラフルォロエチレン樹脂（ダイキン工業株式会社製ポリフロン TFEL— 5、以下「固体潤滑剤 D 3」と略記） 2 k g (100質量部の PEEK— 1に対して 20質量部）を添カ卩し、厚さを 70 としたほかは、フィルム T 1と同様の操作を行い、フィルム T 13を得た。

[フィルム TR 1]

厚さを 1 1 Ο μπιに変更した以外は、フィルム Τ 9と同様の操作によりフィルム TR 1を作製した。 [積層フィルムの作製]

以下の手順で、積層フィルム ST 1〜ST6を作製した。

〔積層フィルム ST 1]

樹脂組成物として、 PE I— 1を 2. 8 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 28質量％) 、 PE I— 2を 3 k g (PE I— 1、 PE I _2および PEEK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 4. 2 k g (PE I— 1、 PE I—2および PEEK— 1の合計質量に対し 42 質量％) 、用いた。また、充填材 C 2を 2. 5 k g (PE I— 1、 PE I—≥および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 25質量部）添加した。上記樹脂組成物および充填材を、サイドフィード付き二軸押出機を用いて設定温度 380°C で混練し、ストランド状に押出し、カッティングしてペレットとした。このペレットを 180でで 8時間熱風乾燥し、 390 °Cに設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続したマルチマ二ホールド式のダイ (設定温度 390°C) より中間層として押し出した。

また、 PEEK— 1のペレツトを 1 80°Cで 8時間熱風乾燥したのち 390°C に設定した口径 40 mm ψの単軸押出機を接続した上記マルチマユホールドダイ (設定温度 390°C) より表面層として中間層と同時に押し出し（共押出）、中間層と表面層とが積層した積層フィルム ST 1を得た。

この際、中間層と表面層の厚さ比が 16 ： 84となるように溶融樹脂の吐出量を調整した。この積層フィルムの中間層側を 125°Cのキャスティングロールにて急冷し、表面層側にシリコーンゴムロールを押し当てた。さらに、金属ロールの反対側に設置された約 35 °Cの水で冷却される硬質クロムメッキロ一ルを押しつけてシリコーンゴムロールを冷却し、その後、巻き取った。積層フィルムの厚さが 50 _μιηとなるように、押出機からの溶融樹脂の吐出量とライン速度を調整した。

なお、得られた積層フィルム ST 1の断面を顕微鏡により拡大して観察し、各層の厚さを測定したところ、中間層の厚さは 8 μπι、表面層の厚さは 42 ;umであつに。

[積層フィルム ST 2] 樹脂組成物として、 PE I— 1を 6 k g (PE I _ 1および PEEK— 1の合計質量に対し 60質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 4 k g (P E I— 1および P E EK — 1の合計質量に対し 40質量％) 、用いた。また、充填材 C 3を 1. 5 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 15質量部）、固体潤滑剤 D1を 1. 5 k g (P E I— 1および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 15質量部）添加した。樹脂組成物、充填材および固体潤滑剤を、サイドフイード付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、カッティングしてペレットとした。このペレットを 180°Cで 8時間熱風乾燥し、 390°Cに設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続したマルチマ二ホールド式のダイ（設定温度 390 °C) より中間層として押し出した。

また、 10 k gの PEEK— 1 (100質量部）に、充填材 C 3を 0. 8 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 8質量部）、固体潤滑剤 D 1を 2. 5 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 25質量部）添加し、サイドフィード付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、カツティングしてペレットとした。このペレットを 180°Cで 8時間熱風乾燥し、 3 90°Cに設定した口径 40 mm φの単軸押出機を接続した上記マルチマ二ホールドダイ（設定温度 390 °C) より表面層として押し出した。

積層フィルム ST 1と同様の手順で、中間層と表面層とを共押出し、積層フィル AST 2を得た。この際、中間層と表面層の厚さ比が 14 ： 86、積層フィルムの厚さが 105 ^ηιとなるように溶融樹脂の吐出量とライン速度を調整した。なお、得られた積層フィルム ST 2の断面を顕微鏡により拡大して観察し、各層の厚さを測定したところ、中間層の厚さは 15 μπι、表面層の厚さは 90 μπι であった。

[積層フィルム ST3]

樹脂組成物として、 PE I— 1を 6 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PE EK— 1の合計質量に対し 60質量⁰ /₀) 、 PE I—2を 1. 5 k g (PE I— 1. PE I _2および PEEK— 1の合計質量に対し 15質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 2. 5 k g (PE I— 1、 PE I—2および PEEK— 1の合計質量に対し 25 質量％) を用いた。また、充填材 C3を 1. 5 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 15質量部）、固体潤滑剤 D 2を 1 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 1 0質量部）添加した。樹脂組成物、充填材および固体潤滑剤を、サイドフィード付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、カッティングしてぺレットとした。このペレットを 1 80でで 8時間熱風乾燥し、 390°Cに設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続したマルチマ二ホールド式のダイ（設定温度 390°C) より中間層として押し出した。

また、 1 O k gの PEEK— 1 (100質量部）に、充填材 C 3を 1. O k g (1 00質量部の PEEK— 1に対し 10質量部）、固体潤滑剤 D 1を 2 k g (1 00質量部の PEEK— 1に対し 20質量部）、固体潤滑剤 D 2を 1 k g (1 00質量部の PEEK— 1に対し 10質量部）添カ卩し、サイドフィード付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、カツティングしてペレットとした。このペレットを 180°Cで 8時間熱風乾燥し、 3 90°Cに設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続した上記マルチマ二ホールドダイ（設定温度 390°C) より表面層として押し出した。

積層フィルム ST 1と同様の手順で、中間層と表面層とを共押出し、積層フィルム ST3を得た。この際、中間層と表面層の厚さ比が 43 ： 57、積層フィルムの厚さが 70 μπιとなるように溶融樹脂の吐出量とライン速度を調整した。なお、得られた積層フィルム ST 3の断面を顕微鏡により拡大して観察し、各層の厚さを測定したところ、中間層の厚さは 40 i m、表面層の厚さは 30 μπι であった。

[積層フィルム S Τ 4]

樹脂組成物として、 PE I— 1を 3. 5 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 35質量⁰ /o) 、 PE I—2を 3 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 30質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 3. 5 k g (PE I— 1、？£ 1—2ぉょび？££1：ー 1の合計質量に対し35 質量％) 、用いた。これらのペレットを充分混合攪拌した後、 1 80°Cで 8時間熱風乾燥し、 390°Cに設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続したマルチマ二ホールド式のダイ（設定温度 390°C) より中間層として押し出した。また、 10 k gの PEEK— 1 (100質量部）に、充填材 C 3を l k g (1 00質量部の PEEK— 1に対し 10質量部）、固体潤滑剤 D 1を 2 k g (10 0質量部の P EEK— 1に対し 20質量部）、固体潤滑剤 D 2を 0. 5 k g (1 00質量部の PEEK- 1に対し 5質量部）添カ卩し、サイドフィ一ド付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、カッテイングしてペレットとした。このペレットを 180°Cで 8時間熱風乾燥し、 390。C に設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続した上記マルチマ-ホールドダイ (設定温度 390°C) より表面層として押し出した。

積層フィルム ST 1と同様の手順で、中間層と表面層とを共押出し、積層フィルム ST 4を得た。この際、中間層と表面層の厚さ比が 24 ： 76、積層フィルムの厚さが 34 / mとなるように溶融樹脂の吐出量とライン速度を調整した。なお、得られた積層フィルム ST4の断面を顕微鏡により拡大して観察し、各層の厚さを測定したところ、中間層の厚さは 8 μπι、表面層の厚さは 26 μΐηであった。

[積層フィルム ST 5]

樹脂組成物として、 ΡΕ Ι— 1を 5. 8 k g (PE I— 1および PEEK— 1 の合計質量に対し 58質量。 /₀) 、 PEEK- 1を 4. 2 k g (PE 1— 1および PEEK— 1の合計質量に対し 42質量％) 用いた。また、充填材 C3を 1. 5 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 15質量部）、および固体潤滑剤 D 1を 1 k g (PE I— 1および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 10質量部）添加した。樹脂組成物、充填材および固体潤滑剤を、サィドフィード付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、カッティングしてペレットとした。このペレットを 180°Cで 8時間熱風乾燥し、 390°Cに設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続したマルチマ二ホールド式のダイ（設定温度 390°C) より中間層として押し出した。また、 1 O k gの PEEK— 1 (100質量部）に、固体潤滑剤 D 1を 2. 5 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 25質量部）添加し、サイドフィード付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、カッティングしてべレットとした。このペレットを 180でで 8時間熱風乾燥し、 390°Cに設定した口径 40 mm φの単軸押出機を接続した上記マルチマ二ホールドダイ（設定温度 390°C) より表面層として押し出した。

積層フィルム ST 1と同様の手順で、中間層と表面層とを共押出し、積層フィルム ST 5を得た。この際、中間層と表面層の厚さ比が 14 : 86、積層フィルムの厚さが 105 μπιとなるように溶融樹脂の吐出量とライン速度を調整した。なお、得られた積層フィルム ST 5の断面を顕微鏡により拡大して観察し、各層の厚さを測定したところ、中間層の厚さは 1 5 μπι、表面層の厚さは 90 /zm であった。

[積層フィルム ST 6]

樹脂組成物として、 PE I— 1を 6 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PE EK— 1の合計質量に対し 60質量⁰ /₀) 、 PE I— 2を 1. 5 k g (PE I _ 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計質量に対し 1 5質量⁰ /₀) 、 PEEK— 1を 2. 5 k g (PE I— 1、 P E I _ 2および P EEK— 1の合計質量に対し 25 質量％) 、用いた。また、充填材 C 3を 1. 5 k g (PE I—1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 1 5質量部）、固体潤滑剤 D2を 1 k g (PE I— 1、 PE I— 2および PEEK— 1の合計 100質量部に対し 1 0質量部）添加した。樹脂,組成物、充填材および固体潤滑剤をサイドフィード付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、力ッティングしてべレットとした。このペレットを 180でで 8時間熱風乾燥し、 390°Cに設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続したマルチマ二ホールド式のダイ（設定温度 390°C) より中間層として押し出した。

また、 1 O k gの PEEK— 1 (100質量部）に、充填材 C 3を 0. 5 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 5質量部）、固体潤滑剤 D 1を 2 k g (1 00質量部の P EEK— 1に対し 20質量部）と固体潤滑剤 D 2を 0. 5 k g (100質量部の PEEK— 1に対し 5質量部）添加し、サイドフィード付きの二軸押出機を用いて設定温度 390°Cで混練してストランド状に押出し、カッティングしてペレツトとした。このペレットを 180°Cで 8時間熱風乾燥し、 39 0°Cに設定した口径 30 mm φの単軸押出機を接続したマルチマ二ホールドダイ (設定温度 390°C) より表面層として押し出した。積層フィルム ST 1と同様の手順で、中間層と表面層とを共押出し、積層フィルム ST6を得た。この際、中間層と表面層の厚さ比が 57 ： 43、積層フィルムの厚さが 70 μιηとなるように溶融樹脂の吐出量とライン速度を調整した。なお、得られた積層フィルムの断面を顕微鏡により拡大して観察し、各層の厚さを測定したところ、中間層の厚さは 40 /zm、表面層の厚さは 30 μιηであつた。

[摺動部材の作製]

上記フィルム S 1〜S 1 3、丁 1〜丁 1 3ぉょび3丁 1〜3丁 6を用いて、試料 1〜21までの摺動部材を作製した。また、比較のために、試料 1，および試料 3' を作製した。以下に作製手順を示す。

[試料 1 ]

下記の順番に重ね合わせたものを、高性能高温真空プレス成形機（北川精機株式会社製成型プレス「VH 1— 1 747」）内にセットし、設定最高温度 360 °C、設定最高温度保持時間 20分、設定圧力 9. 7MP a (下記（4) と（5) との間での圧力は約 3. 9MP a) にてプレス成形し、基材と摺動層（中間層およぴ表面層）とからなる試料 1を得た。

( 1 ) 両面を 35 μ mの銅箔で覆った一辺が約 30 c mの正方形で、厚さ 1. 6mmのクッション紙（三菱製紙株式会社製「RAボード RABN0016」） . (2) —辺が約 30 c mの正方形で、厚さ 2mmのステンレス鋼板、（3) 縦 3 0 cm, 横 25 cmの長方形で、厚さ 50 μηιのポリイミドフィルム（宇部興産株式会社製「ユーピレックス 50 S」）、（4) 一辺が 22 cmの正方形に加工した基材 Al、（5) —辺が 24 cmの正方形に加工したフィルム S 1 (中間層）、（6) —辺が 24 c mの正方形に加工したフィルム T 1 (表面層）、

(7) 上記（3) と同様のポリイミドフィルム、（8) 上記（2) と同様のステンレス板、（9) 上記（1) と同様のクッション紙。

上記（4) は、クロ口ホルム洗浄により脱脂を行った。また、上記（1) 〜 (9) は、重ね合わせる前に少量のエタノールをしみこませたワイビング紙で表面の汚れや異物を取り除いた。さらに、上記（3) 〜（7) は、重ね合わせる前に、目視検査により表裏の異物を確認し、少量のエタノールをしみこませたワイビングクロス（帝人株式会社製「ミクロスター CP」）を用いてその異物を拭き取った後、再度目視検査を行い、異物が除去できたことを確認した後に重ね合わせた。

試料 1の断面を顕微鏡にて観察し、各層の厚さを測定したところ、基材 0. 4 mm、中間層 96 μΐη、表面層 1 07 mであった。

[試料 2]

基材を A 2とし、中間層用フィルムを S 2、表面層用フィルムを T 2に変更した以外は、試料 1と同様のプレス成形を行い、試料 2を得た。試料 2の各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 33 μηι、表面層 38 μ mであった。

[試料 3]

基材を A 3とし、中間層用フィルムを S 3、表面層用フィルムを T 3に変更した以外は、試料 1と同様のプレス成形を行い、試料 3を得た。試料 3の各層の厚さは、基材 0. 5mm、中間層 76 / m、表面層 27 mであった。

[試料 4]

中間層用フィルムを S 4、表面層用フィルムを T 4に変更した以外は、試料 1 と同様のプレス成形を行い、試料 4を得た。各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 46 μπι、表面層 66 μιηであった。

[試料 5 ]

基材を A 4とし、中間層用フィルムを S 5、表面層用フィルムを T 5に変更した以外は、試料 1と同様のプレス成形を行い、試料 5を得た。各層の厚さは、基材 0. 3mm、中間層 45 μηι、表面層 47 zmであった。

[試料 6 ]

中間層用フィルムを S 6、表面層用フィルムを T 6に変更した以外は、試料 1 と同様のプレス成形を行い、試料 6を得た。各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 24 μ m、表面層 55 mであった。

[試料 7 ]

中間層用フィルムを S 7、表面層用フィルムを T 7に変更した以外は、試料 1 と同様のプレス成形を行い、試料 7を得た。各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 20 μ m、表面層 96 ^ mであった。 [試料 8]

基材を A 2とし、中間層用フィルムを S 8、表面層用フィルムを T 8に変更した以外は、試料 1と同様のプレス成形を行い、試料 8を得た。各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 45 111、表面層 31 /mであった。

[試料 1 ' ]

表面層用フィルムを使用しない点以外は、試料 1と同様のプレス成形を行い、試料 1，を得た。各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 96 μ mであった。

[試料 3' ]

中間層用フィルムを使用せず、表面層用フィルムを TR 1に変更した以外は、試料 1と同様のプレス成形を行い、試料 3' を得た。各層の厚さは、基材 0. 4 mm、表面層 106 μπιであった。基材と TR 1とが接着不良であったため、その他の評価は行わなかった。

[試料 9]

中間層用フィルム S 1と表面層用フィルム Τ 1を積層フィルム ST 1に変更し、積層フィルムの中間層が基材 A 1に接触するように重ね、プレス積層時の設定最高温度を 250°C, 設定最高温度保持時間を 30分に変更したほかは、試料 1と同様の操作によりプレス成形し、試料 9を得た。各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 6 μπι、表面層 39 μ mであった。

[試料 10 ]

積層フィルムを ST2とし、試料 9と同様の操作を行い試料 10を得た。各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 1 1 ^ηι、表面層 86 ^ mであった。

[試料 1 1 ]

積層フィルムを ST 3とし、試料 9と同様の操作を行い試料 1 1を得た。各層の厚さは、基材 0. 4mm、中間層 35 μπι、表面層 26 μιηであった。

[試料 1 2]

下記の順番に重ね合わせたものを、上記高性能高温真空プレス成形機内にセットし、設定最高温度 360°C、設定最高温度保持時間 30分、設定圧力 5. 2M P a (下記（3，；）と（4' ) との間での圧力は約 3. 9MP a) にてプレス成形し、試料 1 2を得た。 (1，）一辺が約 30 cmの正方形で、厚さ 1. 5 mmのステンレス鋼板（2 ， ) 両面を 35 の銅箔で覆った一辺が約 20 cmの正方形で、厚さ 1. 6m mの上記クッション紙、（ 3 ' ) —辺が 1 6 c mの正方形に加工した基材 A 5、

(4' ) 一辺が 18 cmの正方形に加工したフィルム S 9 (中間層）、（5， ) —辺が 18 c mの正方形に加工したフィルム T 9 (表面層）、（6， ) 一辺が 2 0 cmの正方形で厚さ 50 μηιの上記ポリイミドフィルム、（7， ) 厚さ 125 μπιのポリイミドフィルム（東レ ·デュポン株式会社製「カプトン 500Η」 ) 、

(8，）上記（6' ) と同様のポリイミドフィルム、（9，）一辺が 20 cmの正方形で厚さ 5 mmのステンレス板（SUS 304) 、（10，）一辺が 18 c mの正方形で上記（ 1，）と同様のクッシヨン紙。

上記（3' ) は、クロ口ホルム洗浄により脱脂を行った。また、上記（1' ) 〜（10' ) は、重ね合わせる前に少量のエタノールをしみこませたワイビング紙で表面の汚れや異物を取り除いた。さらに、上記（3' ) は表面の埃や異物をゴム製ブロア一を用いて除去し、上記（1，）〜（8，）は、重ね合わせる前に、目視検查により表裏の異物を確認し、少量のエタノールをしみこませた上記ワイビングクロスを用いてその異物をふき取った後、再度目視検查を行い、異物が除去できたことを確認した後に重ね合わせた。

試料 12の断面を顕微鏡にて観察し、各層の厚さを測定したところ、基材 4m m、中間層 46 /im、表面層 45 /zmであった。

[試料 1 3]

基材を A6とし、中間層用フィルムを S 1 0、表面層用フィルムを T 10に変更した以外は、試料 1 2と同様のプレス成形を行い、試料 1 3を得た。試料 1 3 の各層の厚さは、基材 6mm、中間層 20 m、表面層 56 mであった。

[試料 14]

基材を A 6とし、中間層用フィルムを S 1 1、表面層用フィルムを T 1 1に変更した以外は、試料 1 2と同様のプレス成形を行い、試料 14を得た。各層の厚さは、基材 6mm、中間層 26 ^m、表面層 35 mであった。

[試料 1 5]

基材を A 7とし、中間層用フィルムを S 1 2、表面層用フィルムを T 12に変更した以外は、試料 1 2と同様のプレス成形を行い、試料 1 5を得た。各層の厚さは、基材 8mm、中間層 24 ^m、表面層 55 mであった。

[試料 16]

基材を A6とし、中間層用フィルムを S 13、表面層用フィルムを T 1 3に変更した以外は、試料 1 2と同様のプレス成形を行い、試料 1 6を得た。各層の厚さは、基材 6mm、中間層 35 /zm、表面層 64 μπιであった。

[試料 1 7 ]

基材を A 6とし、中間層用フィルム S 9と表面層用フィルム T 9を積層フィルム ST 4に変更し、積層フィルムの中間層が基材 A 6に接触するように重ね、プレス積層時の設定最高温度を 250°C、設定最高温度保持時間を 30分に変更したほかは、試料 1 2と同様の操作によりプレス成形し、試料 1 7を得た。各層の厚さは、基材 6mm、中間層 5 μΐη、表面層 21 μπιであった。

[試料 18]

基材を A 5、積層フィルムを ST 5に変更した他は、試料 1 7と同様の操作を行い試料 18を得た。各層の厚さは、基材 4mm、中間層 10 μ m、表面層 85 μ mであった。

[試料 1 9 ]

積層フィルムを S T 6に変更した他は、試料 1 7と同様の操作を行い試料 1 9 を得た。各層の厚さは、基材 6mm、中間層 34 ^m、表面層 26 mであった。

[試料 20]

基材を A 8、積層フィルムを ST 5に、またプレス成形時の設定最高温度を 2 40°Cに変更した他は、試料 1 7と同様の操作を行い試料 20を得た。各層の厚さは、基材 8mm、中間層 1 l ^m、表面層 85 mであった。

[試料 21 ]

基材を A 9、積層フィルムを ST 6に変更した他は、試料 20と同様の操作を行い試料 21を得た。各層の厚さは、基材 6mm、中間層 35 ^m、表面層 25 μ mであつに。

[評価]

上記試料、また、各試料に使用した基材およびフィルムについての種々の測定値および評価は、以下のようにして行った。ここで、フィルムの押出機からの流れ方向を縦方向、その直交方向を横方向と呼ぶ。

[シャーリング時の端部剥離]

基材の厚さが l mm以下の試料 1〜1 1および試料 1 ' 、試料 3 ' については、生野機械株式会社製のシャーリング（刃渡り約 1 0 0 0 mm、足踏み式）を用い、積層体を幅 3 c m、長さ 2 0 c mの短冊状に 3枚切断し、長辺端部に生じる剥離の有無を目視にて観察し、以下の 4ランクに分けて評価した。なお、固定刃側の切断端部と可動刃側の切断部の剥離発生状態が異なる場合は、剥離の長さや幅が大きい方の端部の剥離状態を評価し、さらに、上記短冊状試験片切断後の残りの部分の切断端部剥離状態も観察し、剥離の長さや幅が大きければ、そのものを評価結果とした。

ランク 1 ：端部の剥離が生じていないか、または、剥離幅の最大値が 0 . 5 mm^ 。

ランク 2 ：剥離幅の最大値が 0 . 5 mm超かつ 1 mm以下。

ランク 3 ：剥がれが端部全体に生じており、剥離幅は少なくとも部分的に 1 mm超。

ランク 4 ：シャーリングによる切断後、室温にて 2日間状態調節中に、剥がれが端部から剥離幅 1 mmを超えて徐々に広がり、積層面の少なくとも 1 0 %が剥離する状態。

また、基材の厚さが l mmを超える試料 1 2〜試料 2 1については、シヤーリングにて切断できないので、カッターナイフにより摺動層に 2 c m間隔の平行な直線状の切れ目を 3本入れ、さらに、それらの直線の中心付近に、それらの直線と直角方向に 2 c m間隔の直線状の切れ目を平行に 3本入れ、剥離の状態を目視にて観察した。また、切れ目の部分にカッターナイフの先端を差し込んで、切れ目部分の剥離を試みた。切れ目部分に生じる剥離の有無を目視にて観察し、以下の 4ランクに分けて評価した。

ランク 1 ：切れ目の剥離が生じていないか、または、剥離幅の最大値が 0 . 5 mm以 Γ ο

ランク 2 ：切れ目の剥離幅の最大値が 0 . 5 mm超かつ 1 mm以下。ランク 3 ：剥がれが切れ目全体に生じており、剥離幅は少なくとも部分的に 1 mm超。

ランク 4 ：カッターナイフによる切断後、室温にて 2日間状態調節中に、剥がれが切れ目部分から剥離幅 lmmを超えて徐々に広がり、積層面の少なくとも 10%が剥離する状態。

[剥離強度]

基材の厚さが lmm以下の試料 1〜1 1および試料 1 ' 、試料 3，については、上記シャーリングにより、幅 3 cm、長さ 20 cmの短冊状に切断し、摺動層の長さ 20 c mの両辺端部より内側に 5 mmの位置に力ッターナイフで直線の切り込みを作製し、さらに、長さ 3 cmの片方の辺より内側に約 3〜5 cmの位置に長さ 3 cmの辺にほぼ並行にカッターナイフで切れ目を作製し、その位置で基材の厚さ方向に繰り返し折り曲げて剥離強度測定用の剥離箇所を作製し、試験片とした。

また、基材の厚さが lmmを超える試料 1 2〜試料 21については、摺動層にカッターナイフにより 2 cm間隔の平行な直線状の切れ目を 5本入れ、さらに、それらの直線の端部から 2〜 3 cmの位置に、それらの直線と直角方向に直線状の切れ目を 1本入れ、切れ目の部分にカッターナイフの先端を差し込んで、剥離箇所の作製を試みた。剥離箇所の作製中に摺動層が折れたり破断したものは材料強度より剥離強度が強いと判断し、材料破壊（表中「材破」と表示する）と判断した。

さらに、接着強度測定の目的で、剥離部分の摺動層を引っ張るために、幅 18 mmのセロハンテープを剥離部分に貼り付けて、引っ張り代を設けた。具体的には、幅 18mmのセロハンテープ（二チパンセロハンテープ「CT405A— 1 8」）を長さ約 33 cmに切り取り、両端部約 1. 5 cmを残して粘着面を内側にして中央で 2つ折りにして貼り合わせ、両端部を、上記剥離部分に貼り付け、幅 18mni、長さ約 1 5 c mの引っ張り代とした。

剥離箇所から摺動層ないしは上記セ口ハンテープで試料の面と垂直な方向に引つ張り、剥離箇所を広げた。剥離箇所が広がったものは、引っ張り.試験機にて 5 0mm/分の速度で 1 80度方向に引っ張り、剥離強度を測定した。広げる操作中にフィルムが破れたものは材料強度より剥離強度が強いと判断し、材料破壊 ( 「材破」と略記する。）と判断した。

[摩擦係数測定]

J I S K7 1 25— 1 987に準じ、静摩擦係数と動摩擦係数を測定した。

[鉛筆硬度]

J I S K331 2— 1 994に準じ、鉛筆硬度を測定した。

[積層体に使用した基材の表面粗さ]

小坂研究所株式会社製表面粗さ測定装置「SE 3— FK」を使用し、 J I S B0601 - 1 994に規定される表面粗さパラメータを測定した。測定したパラメータは、十点平均粗さ（R z) 、最大高さ（Ry) 、算術平均粗さ（Ra) である。

[耐溶剤性]

各試料を室温にて 8時間クロロホルム中に浸漬し、表面外観の変化を目視にて観察し、未浸漬の試料と比較して、以下の 5ランクに分けて評価した。

ランク 1 ：外観変化が無い。

ランク 2 ：表面の光沢が変化する。

ランク 3 ：表面荒れが部分的に生じる。

ランク 4 ：表面荒れが全体に生じる。

ランク 5 ：少なくとも部分的に溶解する。

評価結果を表 1〜表 4に示す。

[表 1 ]

試料 1 2 3 4 5 6 7 8 1' 3' 略号 A1 A2 A3 A1 A4 A1 A1 A2 A1 A1 種類 SUS304 SUS301 SUS304 SUS304 SUS316 SUS304 SUS304 SUS301 SUS304 SUS304 基厚さ [mm] 0.4 0.4 0.5 0.4 0.3 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4 材

表 Ra [jt/ m] 0.18 0.08 0.17 0.18 0.07 0.18 0.18 0.08 0.18 0.18 囟

Ry [ m] 1.5 1.0 1.67 1.5 1.87

粗 1.5 1.5 1 1.5 1.5 さ R∑ [ m] 1.4 0.92 1.37 1.4 1.15 1.4 1.4 0.92 1.4 1.4

略号 S1 S2 S3 S4 S5 S6 S7 S8 S1 一厚さ [ m] 100 35 80 50 50 28 24 50 100 一樹 PEI- 1 [質量 %] 28 55 40 40 30 55 40 30 28 ― 脂

組 PEI-2 [質量 %] 32 ― 25 35 30 ― 30 30 32 一成

中物 PEEK— 1 [質量％] 40 45 35 25 40 45 30 40 40 ― 間

層 C1 [質量部] 38.9 - - ― ― 一 ― 一 38.9

充 - 填 C2 [質量部] 一 25 31.6 一 - 一 - 15 ― - 材

C3 [質量部] ― 一 ― 22 33.3 25 25 ― 一 ― 潤 D [質量部] 一一一一

摺 - ― ― 15 一一滑

動剤 D2 [質量部] 一 - 一一 - 一 - 10 - 一層

略号 T1 T2 T3 T4 T5 T6 T7 T8 - TR1 厚さ C m] 110 40 30 70 50 60 100 35 一 110

PEEK— 1 [質量 %] 100 100 100 100 100 100 100 00 一 100

C [質量部] 38.9 ― ― 一 - - 一 - 一 ― 充

面填 C2 [質量部] ― 31.6 一 ― - - - - - - 層材

C3 [質量部] - - 一 22 33.3 ― - 10 ― 一

D1 [質量部] 一 ― ― - ― 25 - 20 一潤 - 滑 D2 [質量部] ' ― 一一 ― ― 一 20 10 一一剤

D3 [質量部] 一 - ― - - - 一 ― - 一積層温度 [°c]—保持時間 [分] 360-20 360-20 360-20 360-20 360-20 360-20 360-20 360-20 360-20 360-20 中間層 [ / m] Θ6 33 76 46 45 24 20 45 96 ― 厚

表面層 [jU m] 107 38 27 66 47 55 96 31

さ - 106 摺表面層中間層 47/53 46/54 74/26 41/59 49/51 30/70 17/83 59/41 100/0 0/100 動切断端部の剥離状態 1 1 2 1 1 1 1 1 1 , 4 部

材基材と中間層との剥離強度材破材破材破材破材破材破材破材破材破不良の

特静摩擦係数 0.235 0.233 0.242 0.237 0.235 0.194 0.224 0.197 0.338 ― 性

動摩擦係数 0.163 0.165 0.173 0.162 0.168 0.158 0.173 0.156 0.205 ― 鉛筆硬度 H H F H H H H H F 一耐溶剤性 1 1 1 1 1 1 1 1 2 一 g¾料 9 10 11 略号 A1 A1 A1 種類 SUS304 SUS304 SUS304 基厚さ [mm] 0:4 0.4 0.4 材

表 Ra [ / m] 0.18 0.18 0.18

Ry [〃m] 1.5 1.5 粗 1.5 さ Rz [ju m] 1.4 1.4 1.4 略号 ST1 ST2 ST3 厚さ [ jU m] 50 105 70 厚さ [/i m] 8 15 40 樹 PEI- 1 [質量％] 28 60 60 脂

組 P曰一 2 [質量 ¾] 30 - 15 成

物 PEEK— 1 [質量 %] 42 40 25 中

間 C1 [質量部] - - - 層充

填 C2 [質量部] 25 - -

C3 [質量部] - 15 15 摺

動潤 D 1 [質量部] ― 15 - 層

剤 D2 [質量部] - 一 10 厚さ [jU m] 42 90 30

PEEK- 1 [質量％] 100 100 100

C1 [質量部] - - 一充

填 C2 [質量部] - - - 面

層 C3 [質量部] - 8 10

D 1 [質量部] - 25 20 潤

滑 D2 [質量部] - 一 10 剤

D3 [質量部] - ― - 積層温度 [°c]一保持時間 [分] 250-30 250-30 250-30

中間層 [jU m] 6 11 35 厚表面層 [ m] 39 86 26 さ

表面層 /中間層 13/87 11 /89 57/43 摺

動切断端部の剥離状態 2 1 1 部

材基材と中間層との剥離強度材破材破材破の

特静摩擦係数 0.243 0.185 0.183 性

動摩擦係数 0.174 0,163 0.161 鉛筆硬度 F H H 耐溶剤性 . 1 . 1 1 [表 3]

[表 4 ]

試料 ' 17 18 19 20 21 略号 A6 A5 A6 A8 A9 種類錶鉄錶鉄 AI AI合金基 ί¥さ [mm] 6 4 6 8 6 材

表 Ra [ i m] 0.56 1.07 0.56 0.74 0.85 由

Ry [jU m] 5.8

粗 11.1 5.8 7.5 9.1 さ Rz [// m] 4.9 8.5 4.9 6.1 7.2 略号 ST4 ST5 ST6 ST5 ST6 厚さ [jU m] 34 105 70 105 70 厚さ [jU m] 8 15 40 15 40 樹 P曰一 1 [質量？ 4] 35 58 60 58 60 脂

組 PEI— 2 [質量 %] 30 - 15 - 15 成

物 PEEK— 1 [質量?！ 35 42 25 42 25 中

間 C1 [質量部] 一 ― - 一一層充

填 C2 [質量部] - - 一一 -

G3 [質量部] - 15 15 15 15 摺

動 D1 [質量部] - 10 一 10 - 層

剤 D2 [質量部] - - 10 - 10 厚さ [ i m] 26 90 30 90 30

PEEK— 1 [質量 %] 100 100 100 100 100

C1 [質量部] ― - - - - 充

表填 C2 [質量部] 一 - - - - 面

層 C3 [質量部] 10 ― 5 - 5

D1 [質量部] 20 25 20 25 20 潤

滑 D2 [質量部] 5 - 5 - 5 剤

D3 [質量部] - 一 - - - 積層温度 [°c]一保持時間 [分] 250-30 250-30 250-30 240-30 240-30

中間層 [ i m] 5 10 34 11 35 厚

表面層 [ i m] 21 85 26 85 25 さ

11/89 54/46 摺表面層中間層 19/81 1 1/89 57/43 動切断端部の剥離状態 1 1 1 1 1 部

材基材と中間層との剥離強度材破材破材破材破材破の

特静摩擦係数 0.244 0.186 0.183 0.184 0.183 性

動摩擦係数 0.174 0.163 0.164 0.164 0.165 鉛筆硬度 F H H H H 耐溶剤性 1 1 1 1 1 中間層と表面層とからなる摺動層をもつ試料 1〜21は、表面層のみをもつ試料 3' よりも、金属製の基材と摺動層（中間層）との密着性が優れる（剥離強度が強い）。さらに、プレス成形の際の設定温度を 250°C以下としても、基材と中間層との密着性に優れた摺動部材が得られた（試料 9〜1 1、 17〜21) 。試料 9〜1 1、 17〜21では、低温でのプレス成形により、プレス成形の熱による基材の強度の劣化を良好に防止することができた。

また、試料 1〜21は、中間層のみをもつ試料 1' よりも、摺動特性に優れる。さらに、中間層および Zまたは表面層に固体潤滑剤（Dl、 D2、 D 3) を含む摺動部材は、静摩擦係数おょぴ動摩擦係数が低く、優れた摺動特性を示した。

Claims

請求の範囲

1 . 金属製の基材と、

該基材の少なくとも一面に形成され、熱可塑性ポリイミド榭脂およびポリアリ一ルケトン樹脂を含む第一樹脂組成物からなる中間層と、

該中間層の上に形成されポリアリ一ルケトン樹脂を含む第二樹脂組成物からなる表面層と、

を有することを特徴とする圧縮機の摺動部材。

2 . 前記表面層は、前記第二樹脂組成物を 1 0 0質量部としたときに前記固体潤滑剤を 4 0 0質量部以下含む請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。

3 . 前記固体潤滑剤は、ポリテトラフルォロエチレン、黒鉛、および二硫化モリブデンのうちの少なくとも 1種を含む請求の範囲第 2項記載の圧縮機の摺動部材。

4 . 前記中間層は、前記第一樹脂組成物を 1 0 0質量部としたときに無機充填材を 1 0 0質量部以下含む請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。

5 . 前記表面層は、前記第二樹脂組成物を 1 0 0質量部としたときに無機充填材を 1 0 0質量部以下含む請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。

6 . 前記無機充填材が、マイ力である請求の範囲第 4項または第 5項記載の圧縮機の摺動部材。

7 . 前記ポリイミド樹脂が、構造式（1 ) およびノまたは構造式（2 ) で表される繰り返し単位を有するポリエーテルィミド樹脂であり、

前記ポリアリールケトン樹脂は、構造式（3 ) で表されるポリエーテルエーテルケトン樹脂である請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。 [化 1

… )

8. 前記樹脂組成物は、前記熱可塑性ポリイミド榭脂と前記ポリアリ一ルケトン樹脂との質量比が 95 : 5-5 : 95である請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。

9. 前記樹脂組成物は、前記熱可塑性ポリイミド樹脂と前記ポリアリ一ルケトン樹脂との質量比が 95 ： 5〜45 ： 55である請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。 .

10. 前記中間層の厚さが、 0. 1〜800 μιηであり、前記表面層の厚さが 1 ~1000 u mである請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。

1 1. 前記中間層と前記表層との厚さの比率が、 1Z99〜99Z1の範囲である請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。

1 . 前記摺動部材は、斜板式圧縮機の斜板である請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。

13. 前記摺動部材は、圧縮機のシユーである請求の範囲第 1項記載の圧縮機の摺動部材。

14. 請求の範囲第 1項〜第 13項のいずれか 1項に記載の前記摺動部材を有する圧縮機。