TWI275582B - Dielectric ceramic composition and electronic device - Google Patents
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Description
1275582 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種具有耐還原性的介電質陶瓷組成 物’特別是關於-種使用介電質陶竞組成物的積層陶究電 容等之電子元件。 【先前技術】 作為電子元件之積層陶瓷電容除了相對介電常數高、 絕緣電阻IR的壽命長、DC偏壓特性好(相對介電常數經過時 間變化少)之外’更要求溫度特性(好。特別是根據用途在 嚴格的條件下,要求電容的溫度特性必須平均。近年來, 汽車的引擎空間内搭載的引擎電子控制單元(ECU)、曲軸角 度感測器、防鎖死煞車系統(Antil〇ck BraUng System, ABS)模組等的各種電子裝置使用積層陶瓷電容。由於此種 電子裝置係用來安定引擎控制、驅動控制以及煞車控制, 因此須要求電路的溫度安定性。 此種電子裝置所使用的環境是假設在寒冷的冬季下降 至-20°C度以下,且引擎啟動後,夏季上升到13〇t:程度以 上的溫度。最近的電子裝置與其控制對象機器傾向於削減 检起銅線線束,而電子裝置係設置於車外,因此對於電子 裝置的裱境變得更為嚴格。然而,此種電子裝置所使用的 電容在廣泛溫度範圍的溫度特性必須平坦。具體而言,電 容溫度特性不僅僅需滿足EIA規格的X7R特性(-55〜125°C △C/C=土 15%以内),更需滿足eia規格的X8R特性(一55〜15〇
2030-7351-PF 5 1275582 • °C、AC/C=±15%以内)之介電質陶瓷組成物為必要的。 滿足X8R特性的介電質陶瓷組成物有幾個提案。 特開平10-25157號公報、特開平9 — 4〇465號公報中,提 出為了使BaTi〇3作為主要成分的介電質陶瓷組成物能滿足 X8R特性,藉由把肫^⑴中的Ba置換為Bi、托等,使居禮溫 度朝向高溫側偏移。再者,藉由選擇BaTi〇3 + Zn〇 + Nb2〇5的組 成,使其能滿足X8R特性(特開平4-295048號公報、特開平 4-292458號公報、特開平4-292459號公報、特開平卜ι〇93ΐ9 攀號公報、特開平6-243 721號公報)。 然而,此種任一組成系列中,容易蒸發飛散的pb、Bi、 Zn之使用會使空氣中等的氧化性氣壓的燒成提前。因此, 電容的内部電極無法使用較便宜的Ni等的基本金屬,而有 必須使用Pd、Au、Ag等的較貴的金屬之問題。 相對於此,為了達到高相對介電常數、滿足X8R特性、 在還原性大氣中的燒成之目的,本申請人已提出了以下所 鲁揭示的介電質陶竟組成物(特開2〇〇〇 —154〇57號公報)。此特 開2000-1 54057號公報記載的介電質陶瓷組成物包含:以 BaT1〇3作為主成分;從Mg〇、Ca〇、Ba〇、&〇與以2〇3所選擇 的至少一者作為第一副成分;以(Ba,Ca)xSi〇2+x(其中, 〜1.2)作為第二副成分;從^〇5、肋〇3與肋3所選擇的 至少一者作為第三副成分;以及含有1?的氧化物(1?為從k、 Er、Tm、Yb與Lu選擇的至少一者)作為第四副成分,其中相 對於上述主成分1〇〇摩爾的各副成分的比率為:第一副成 刀〇· 1 3· 0摩爾,第二副成分:2〜1〇摩爾,第三副成分:
2030-7351-PF 6 1275582 〇· 〜0. 5摩爾’第四副成分: 爾數為R單獨的比率)。 〇· 5〜7摩爾(第四副成分的摩 明人已經提出以下所揭示的介電質陶瓷組成 物(特開200H92264號公報)。此特開2〇〇卜1 92264號公報 所記載的介電質陶竞組成物至少包括:含有欽酸鎖的主成 刀,攸MgO、CaO、BaO、SrO與Cr2〇3所選擇的至少一者作為 第-副成分’·含有以氧切為主成分的第二副成分;從 仏、M〇0祕所選擇的至少—者作為第三副成分;含有 _氧化物ΟΠ為從Sc、Er、Tm、几與以選擇的至少一者) 的第四副成分Μ及含有CaZrG3或⑽+Zr()2的第五副成分, 其中相對於上述主成分100摩爾的各副成分的比率為·第— 副成分:〇.卜3摩爾’第二副成分:2,摩爾,第三副成分: 〇·〇卜0.5摩爾,第四副成分:0.5〜7摩爾(第四副成分的摩 爾數為R1單獨的比率)’以及第五副成分:〇<第五副成分<5 摩爾。 ★在上述申請人之任一申請中’相對於主成分1〇〇摩爾的 Mg〇等的第一副成分的比率都是〇 · 1摩爾以上。 再者,申請人已經提出以下所揭示的介電質陶竟組成 '(特開2002-255639號公報)。此特開2〇〇2_255639號公報 所記載的介電質陶瓷組成物至少包括:含有鈦酸鋇的主成 分;含有AE的氧化物(AE係從Mg、备如與^所選擇的至小 一者)的第一副成分;以及含的氧化物(1?為從γ、聆、如 以及Ε,擇的至少一者)的第二副成分;其中相對於上述主 成分100摩爾的各副成分的比率為:第一副成分:〇摩爾〈
2030-7351-PF 7 1275582 第一田彳成分<〇· 1摩爾,第二副成分:j摩爾〈第二副成分u 摩爾。 根據申請人的上述特開2〇〇〇 —1 54057號公報、特開 2001-1 92264號公報以及特開2002 —255639號公報的技術, 可確貫使介電率增高、滿足χ8κ特性、且可在還原性大氣中 燒成。 然而,為滿足X8R特性,從室溫到高溫的IR溫度相關性 變差’製品而言的實際使用變得困難。 【發明内容】 本發明之目的在於提供一種除了可維持相對介電常數 高、絕緣電阻壽命、使電容溫度特性滿足Eu規格的调特 性(-55〜150°C ’(△〇在±15%以内)、可在還原性大氣中燒 成’更可改善IR溫度相關性的介電質陶_亮組成物。再者, 本發明藉由使用此種介電質陶莞組成物可實現小型化、大 容量化’特別是提供-種薄層、小型化的對應的積層陶究 電谷專的電子元件。 為了達成上述目的,根據本發明的第一形態,提供一 種介電質陶甍組成物’包括:含有鈦酸鋇的主成分;含有 從MgO、Ca0、Ba0與Sr0所選擇的至少一者的第一副成分; 作為燒結助劑的功能之第二副成分;含有從V2〇5、m〇_w〇3 所選擇的至少一者的第三副成分;含有Rl的氧化物⑽從 Sc、Er、Tm、_Lu所選擇的至少—者)的第四副成分;含 有㈣〇3或㈤伽2的第五副成分;以及含有㈣氧化物α
2030-7351-PF 8 1275582 係6配位時的有效離子半徑在0· 065〜0. 〇85nm的範圍之陽離 子7G素群中選擇的至少一者)的第八副成分,其中相對於上 述主成分100摩爾的第八副成分的比率為:〇〜4摩爾(其中, 0與4除外,換算成A氧化物的值)。 根據本發明之第一形態,上述第八副成分所包含的氧 化物的上述A最好是&A1、Cr、Ga、Ge的陽離子元素群中選 擇出至少一者。 ' 根據第-形態,相對於上述主成分i卿爾的各副成分 比率最好是·· 第一副成分 第二副成分 第三副成分 第四副成分 R1單獨的比率); 〇· 1〜3· 0摩爾; 2〜10摩爾; 〇· 01〜0· 5摩爾; 〇· 5〜7摩爾(第四副成分的摩爾數量係以 第五副成分:0〈第五副成分0摩爾。 根據第%悲,以第六副成分而言’最好是更包含R 的氧化物m係從Y、Dy、Ho、Tb、G(mEu中選擇出至少 者),上述第六副成分的含有量相對於含有鈦酸鋇的主成矣 100摩爾係9摩爾以下(第丄利士、八Μ麻e r、弟八田丨J成分的摩爾數量係R2單獨^ 比率)。 ’
根據第-形態’第四副成分與第六副成分的合計含有 量相對於含有鈦酸鋇的主成分_摩爾係13摩爾以下(第四 副成分與第六副成分的摩爾數量係RmR2單獨的比率)。 根據第一形態’上述第二副成分最好是從Si〇2、MO(M
2030-7351-PF 1275582 是從Ba、Ca、Sr_g中選擇出的至少—者的元素以 選擇出的至少-者所代表。第二副成分可被認為作為 k結助劑的功能。 上述第五副成分中,WZr的比例係任意的,最好是 cm κ 5 ’更最好是Ga/Zr=G· 8]. 5,特別最好是
Ca/Zr=〇·9〜1.1 〇 、、根據第一形態,最好是更含有MnO作為第七副成分,上 述第七田彳成为的含有篁相對於含有鈦酸鋇的主成分ι〇〇摩 爾係0· 5摩爾以下。 另外,根據本發明的第二形態,提供一 組成物包括:含有欽酸鎖的主成分;含有Mg0的第一副^ 分;作為燒結助劑的功能之第二副成分;含冑從V2〇5、m〇〇3 與W〇3所選擇的至少一者的第三副成分;含有以的氧化物. (R1為從Sc、Er、Tm、Yb與LU選擇的至少一者)的第四副成 为,含有CaZr〇3或CaO+Zr〇2的第五副成分;含有Mn〇或Cr2〇3 的第七副成分;以及含有ΑΙΑ的第八副成分’其中相對於 上述主成分1 00摩爾的第一副成分、第七副成分、第八副成 分的比率為: 第一副成分:0· 2〜0· 75摩爾; 第七副成分·· 0· 1〜0· 3摩爾(其中,第七副成分的摩爾 數量係以Μη元素或Cr元素换算的比率); 弟八副成分·· 0·5〜4摩爾(其令,4除外)。 本發明可提供一種介電體陶瓷組成物,上述第一副成 分所含有的Mg元素與上述第七副成分所含有的“元素之摩 2030-7351-PF 10 1275582 爾比例為0.3以^111 + (:1〇/财衫0.5的關係。 第分別包括作為第—副成分 為第八副成分的Al2〇3,且作為第—副成分__含有= 作^七副成分的㈣3的含有量係以上述的關係點^ 形態具有的最大的特徵。 一 、第一形怎中,相對於上述主成分1〇〇摩爾的第二〜五 成分的比率最好是: 田 第二副成分 弟三副成分 第四副成分 R1單獨的比率); 2〜10摩爾; 〇· 01〜〇· 5摩爾; 〇· 5〜7摩爾(第四副成分的摩爾數量係以 第五副成分:0<第五副成分d摩爾。 根據第二形態,以第六副成分而言,最好是更包含^ 的氧化物(R2係從Y、Dy、Ho、Tb、⑸與肋中選擇出至少一 者),上述第六副成分的含有量相對於含有鈦酸鋇的主成八 #⑽摩爾係9摩爾以下(第六副成分的摩爾數量係R2單獨: 比率)。 根據第二形態,第四副成分與第六副成分的合計含有 量相對於含有鈦酸鋇的主成分1〇〇摩爾係13摩爾以下(第四 副成分與第六副成分的摩爾數量係^與以單獨的比率)。 根據第二形態,上述第一副成分最好是更包含從 BaO與SrO選擇出的至少一者以上。 根據第二形態’上述第二副成分最好係從si〇2、關 是從Ba、Ca、3^:與心中選擇出的至少一者的元素)、Li2〇以
2030-7351-PF 11 I275582 及B2〇3選擇出的至少一者所代表。 本發明的第一形態與第二形態的電子元件為具有介電 -a的電子元件,並不特別限定,例如:具有介電體層與 内部電極層共同交互堆積的電容元件本體的積層陶竟電容 几件。本發明中,上述介電體層係構成在上述第一形態或 者第二形態之任-的介電體陶瓷組成物。内部電極層所含 有的導電材而言,並不特別限定,如:Ni*Ni合金。 鲁▲本發明的第一形態與第二形態的電子元件,具體而 1,可由積層陶瓷電容、壓電裝置、晶片電感、晶片變阻 裔、晶片電熱調節器、晶片電阻器、其他表面黏著(SMD) 晶片型電子元件為例。 「再者,本說明書所記載的離子半徑係基於 「R.D.Shannon,ActaCrystall〇gr.,Α32,75ι(ΐ976)」 的值。 本發明之目的不會影響溫度特性(X8R特性),係關於可 φ改善IR溫度相關性的特定元素群進行研究結果,他位時的 有效離子半徑在一定範圍之陽離子元素群為有效的,根據 此知識而完成本發明(第一形態之發明)。 ▲ IR溫度相關性”係絕緣電阻ir對於溫度變化等是 f k動之辨別的指標。此㈣度相關性係可藉由計算出既 。疋溫度(例如·· 150艺的”相對於基準溫度(例如··室溫25 C )的曼化b (變化率)來評估。複數溫度間的I趙化率較 小的IR溫度相關性可判斷為良好,而變化率越大的則可
2030-7351-PF 12 1275582 的X8R,在X8R的溫度範圍内(特別是從室溫到高溫)的〖只溫 度相關性惡劣,使得產品的實際使用變得困難。 本發明係以室溫(25t )與高溫部(15(rc )作為複數的 溫度之例子,分別的溫度下的絕緣電阻為IR25、IRm,計算 出由以下公式(1)所代表的「1R有效位數差」的大小來評估 IR溫度相關性是好是壞。 l〇g(IRi5〇/IR25)…公式(1)
述公式(1)所表示的 於本發明,相對於相對介電常數高、可滿足x8r特性的 介電質組成,添加特定的元素群構成的第人副成分。藉此, 本發明之介電質陶究組成物不僅滿足X8R特性,且從室溫 (2 51 )到高溫部(! 5 〇 t )的! R溫度相關性小。具體而古,上 有效位數差」可為—2. 〇〇以上。 本發明之介電質陶竟組成物為了相對介電常數高、電 容溫度特性滿足EIA規定的X8R特性,使用本發明的介電質 陶竟組成物之陶竟電容等的電子元件即使在如汽車的引擎 的咼溫下曝曬的環境下亦可適當地使用。 再者,本發明之介電質陶究組成物由於沒有包含蒸發 飛散且便宜的Pb、B ;[、7n•表 m 中燒結。 Zn等疋素’因此,可在還原態大氣 一換a之,精由本發明,提供一種可維持相對介電常數 L絕緣電阻壽命、使電容溫度特性滿㈣A規格的㈣特 ^ ^ ^ 戍更了改善1化溫度相關性的介 電質陶瓷組成物。 使用本發明的介電質陶珞έ 4 电貝陶是組成物的陶瓷電容等的電子
2030-7351-PF 13 1275582 元件製造時,内部電極而言,可使用Ni與Ni合金等的基本 金屬,使電子元件實現低成本化。再者,在還原性大氣中 燒成介電質陶莞組成物,所取得的電子元件滿足X8R特性, 直流電壓所施加的電容引擎特性良好(=電容的經過時間變 化小),絕緣電阻的惡化變小,且信賴性更好。 換言之,具有本發明的介電質陶莞組成物所構成的介 電體層之積層陶瓷電容等的電子元件在如汽車的電子裝置 的嚴苛環境下所使料各種機器内可有安定的動作,因此 可使得適用的機器信賴性向上提升。 藉由上述,本發明的介電質組成可期待即使隨著介電 體層的薄層化’有抑制高溫領域的溫度變化率的惡化方式 之效果。 ”再者,關於本發明之介電f陶竟組成物,絕緣電阻纪 壽命增長,且DC偏壓特性(介電率的直流電壓施加相關性 與γ偏壓特性(直流電壓施加時的電容溫度特性)安定。特 別是添加第人副成分可認η偏壓特性有顯著的提升。 又再者’關於本發明之介電質陶瓷組成物,不含有外、 Βι等的有害物質,使 影響較小。處理#對於環境的不良 性之2^使用本發明之介電質陶£組成物,提供優良特 本發明:容等的電子元件變得容易。再者,若使用 足遺㈣1電質陶莞組成物,即使介電體層薄層化,可滿 、性,且有防止絕緣電阻的壽命減低的效果。因 ’積層陶究電容等的電子元件中,可實現小型且
2030-7351-PF 1275582 寺另i疋可使其容易對應地薄層小型化。因此,高集積 電路的安裝變得更為容易。 ^ I知的’丨電質陶瓷組成物中,隨著約一層的介電體層 的薄層化’特別是高溫側的電容溫度特性傾向於惡化。換 吕,鬲溫側的電容溫度變化率曲線傾向於朝向順時針方 向相對於此,於本發明,使高溫側的電容溫度變化率曲 線可朝向逆時針方向。如果應用此現象於滿足X7R特性的電 •子件,可實現約一層的介電體層比先前技術更薄層化。 再者,關於第二形態的發明,以第八副成分而言,必 須含有Ah〇3,在第一副成分必須含有MgO的含有量與含有 MnO或fnO3的第七副成分的含有量的比例為一定範圍,換古 之’第一副成分所含有的Mg元素與第七副成分所含有的 Mn、Cr7〇素之摩爾比例為〇3g(Mn + Cr)/Md5的範圍,因 此,除了上述各效果,可改善高溫加速壽命。 為了讓本發明之上述和其它目的、特徵、和優點能更 ,明顯易懂,下文特舉一較佳實施例,並配合所附圖 詳細說明如下。 【實施方式】 第一實施例 以下說明關於本發明的第一實施例。 第-實施例中,電子元件係如第1圖所示的積層陶瓷 電容為例’以說明其構造及製造方法。 積層陶瓷電容
2030-7351-PF 1275582 声陶所二作為關於第一實施例的電子元件的積 曰陶光電I 1,包括由介電體層2與内部電極層3交互堆
積而構成的電容元件本體I此電容元件本體H)的兩端 料成父互配置在疋件本體1G内部的内部電極層3以及個 別導通的-對外部電極4β内部㈣3之各端面係以交 互露出相對於元件本體1G的二端部表面而堆積。—對的外 邛電極4形成在疋件本體1〇的二端部,且連接於交互配置 的内部電極層3之露出端面,進而構成電容電路。 電容元件本體10的外型與尺寸並沒有特別限定,可根 據用途適當地設定。通常外型為大約長方體型狀,尺寸通 常可為縱(0.4〜5.6mm)X橫(〇·2〜5.〇mm)x高(0·2〜19随)。 介電體 介電體層2係含有本發明的第一形態之介電質陶瓷組 成物。 本發明之第一形態之介電質陶瓷組成物包含:含有碳 酸鋇之主成分(碳酸鋇最好是由組成式BanJi〇2+m所表示、上 述組成式中的m為0· 995<mSl. 〇 1 〇,且Ba與Ti的比例為 0· 995sBa/Tisl· 010);含有從MgO、CaO、BaO 與 SrO所選擇 的至少一者的第一副成分;作為燒結助劑的功能之第二副 成分,含有從V2〇5、Mo〇3與W〇3所選擇的至少一者的第二副 成分;含有R1的氧化物(R1為從Sc、Er、Tm、Yb與Lu選擇的 至少一者)的第四副成分;含有CaZr〇3或CaO+ZrCh的第五副 成分;以及含有A的氧化物(A係6配位時的有效離子半徑在 0. 0 65-0· 085 nm的範圍之陽離子元素群中選擇的至少一者) 2030-7351-PF 16 1275582 的第八副成分。 第八副成分的陽離子元素群可包含1 (0. 067nm)、
Ge(0· 0 6 7nm)、Α1(0· 0675nm)、Cu(0· 068nin)、Fe(0· 069nm)、 Ni( 0. 070nm)、Au(0. 071nm)、As(0· 072nm)、Cr(0· 0755nm)、
Ga(0. 076nm)、At(0·076nm)、0s(0·077nm)、Nb(0·078nm)、 Ta(0· 078nm)、Co(0.079nm)、Rh(0.080nm)、Ir(0.082nm)、
Ru(0. 082nm)、Sn(0· 083nm),然而不包含 p(〇. 〇52nm)、 K(0_ 152nm)。再者,括弧内的數字表示6配位時的有效離子 半徑,以下相同。 上述陽離子元素之中,6配位時的有效離子半徑最好』 使用0. 065-0· 085nm的範圍。其中最好的元素群為包含! Ge、AhCu'Fe'Ni、Au、^、以、^、^,更最好是自 含A1、Cr、Ga、Ge的陽離子元素群中選擇出至少一者來崔 用’更最好是至少使用A卜兩種以上的組合使用時,特& 好的組合為 Al+Cr、Al + Ga、Al+Ge。 ' 第八副成分的含有量相對於上述主成分100摩爾,幻 氧化物來換算的值為〇〜4摩爾(其中,除外) ^•5摩爾(其中,〇除外),更最好是⑴.5摩爾,更最= 疋1〜2摩爾’特別是H·5摩爾。第八副成分的含有旦 少,IR温度相關性改善效果變得不^。另 $里右太 量過多的話’電容溫度特性傾向於惡化。特別含有 過1摩爾的第八副成分,可確句 】疋备添加超 第八副成分的上述比率二^ 义〜千不疋早獨A的摩騙士 w
氧化物的摩爾比例。換言 彳,而是A 以第八副成分而言,
2030-7351-PF 17 1-275582 的氧化物時’第八副成分的比 是1摩:者—比率為!摩爾的的比率則不 素(氧二上的複數- 係上述範圍。換言之,笛\ _ 、上述主成分100摩爾最好 率可為任意的。, 7副成分中的各氧化物的構成比 於Bai目m成分的BaTiQ3之上述各副成分的比率,相對 於BaTi〇3l〇〇摩爾為: 第一副成分:〇· 1〜3· 〇摩爾; 弟二副成分 第三副成分 第四副成分 第五副成分 最好是: 2〜10摩爾; 〇· 01〜0· 5摩爾; 0· 5〜7摩爾; 0〈第五副成分<5摩爾 第二副成分 第二副成分 第四副成分 笫五副成分 〇· 5〜2. 5摩爾; 2· 0〜5. 0摩爾; 〇·卜〇. 4摩爾; 〇· 5〜5· 0摩爾; 〇· 5〜3摩爾。 再者,第四副成分的上述比率不是㈣氧化物的摩爾 比例mi單獨的摩爾比率。換言之,舉例之第四副成 分而吕’使用Yb的氧化物的場合時,帛四副成分的比率為 lmol時,係代表YbW的比率不是lm〇1,而是Yb的比率為lm〇1 的意思。 2030-7351-PF 18 1275582 於本說明書,構成主成分與副成 組成來表示,然而,各氧化物氧::物係以化 學計量組成偏離。注音,女^、 妁虱化狀譃亦可從化 成各副成分的氧化物所含有係由換算構 成的氧化物而求得。 μ上述化學計量組 藉由使其含有上述第一〜 率,且滿足X8R特性。第_ 刀可同時維持高介電 如下所述。 第〜五副成分的最佳含有量與理由 第田J成刀(Mg〇、Ca〇、Ba(^Sr〇)可顯示使電容、西产 寺性平坦化的效果。若第一副成分的含 :: 度變化率會變大。另-方面,若含有量過多,燒"!:: 化。再者,第-副成分中的各氧化物的構成比率為任意二 弟-副成分是作為燒結助劑的功能的副成分。此種作 為燒結助3劑的功能的化合物而言,最好是使用從Si〇2、 M0(但,Μ是從以、心&與_選擇出的至少_者的元素)、 W以廳選擇出的至少一者所表示的化合物。此種第二 副成分除了作為燒結助劑的作用之外,有改善當薄層化時 的初期絕緣抵抗的不良率。若第二副成分的含有量:少,、 電容溫度特性變差,且IR(絕緣電阻)減低。另一方面,含 有量若過多’ IR壽命變得不足,且產生介電率急速減低。3 更最好是,上述第二副成分以(Ba,Ca)xSi〇2+x(注意, χ=0· 7〜1· 2)所表不。第二副成分的更好形態的[(μ, Ca)xSi〇2+x]中的BaO與CaO在第一副成分中也有包含,然 而,由於複合氧化物的(Ba, Ca)xSi〇2+x熔點低,相對於主 2030-7351-PF 19 1275582 成分的反應性良好,本發明中,最好是以上述 複曰氧化物來添加。第二副成分的更好形態的的[(Ba,
Ca)xSi〇2+x]中的χ最好是〇7〜12,更最好是〇·8〜1;[。若X 太小,即Si 〇2過多,與主成分的BaTi〇3反應使得介電體特性 惡化。另一方面,若x太大,熔點變高而使得燒結性惡化, 其為不好。再者,以與以的比率為任意的,只有包含其中 一者亦可。 第三副成分(V2〇s、M〇〇3與w〇3)顯示有在居禮溫度以上 的電容溫度特性平坦化之效果且以壽命向上提升之效果。 右第二副成分的含有量太少的話,此種效果會變得不足。 另一方面,若第三副成分的含有量過多,^會明顯地降低。 再者,第三副成分中的各氧化物的構成比率為任意的。 第四田彳成分(R1氧化物)顯示有使居禮溫度偏移朝向高 =側且電容溫度特性平坦化之效果。若第四副成分的含有 K太少的話,此種效果會變得不足,電容溫度特性會變差。 •另一方面,若含有量過多時,燒結性會傾向於惡化。第四 田彳成刀之中,特性改善效果較高,且便宜,因此最好是几 氧化物。 第五副成分(CaZrOO顯示有使居禮溫度偏移朝向高溫 侧且電容溫度特性平坦化之效果。又,有改善㈣、直流 絕緣破壞強度的效果,但是,若第五副成分的含量過高, IR加速壽命會明顯地惡化,電容溫度特性(X8R特性)會變得 更差本發明不特別限定CaZrCh的添加形態,可選擇從ca〇 等的Ca構成的氧化物、從CaC〇3等的Ca來構成的氧化物、
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CaCCh等的奴酸鹽、有機化合物、cazr〇3等。不特別限定ca 與Zr的比率,只要是決定不會使主成分的BaTi〇3固溶的程 度即可,但是相對於Zr的Ca的摩爾比例(Ca/zr)最好是 〇· 5〜1.5,更最好是〇.8〜1.5’更最好是om 藉由調整第四副成分(R1氧化物)與第五副成分
(CaZrOO的含有量,使電容温度特性(X8R特性)平坦化、可 改善高溫加速壽命、CR值。特別是,上述數值的範圍内, 抑制異相的析出’可使組織均等化。若第四副成分的含有
量過多,容易析出巨大的針狀結晶的燒綠石(pyr〇chl〇re) 相,積層陶瓷電容的介電體層之間的厚度變薄的時候會有 顯著的惡化(CR值的減少)。另一方面,若第四副成分的含 2量太少’無法滿;^容溫度特性。第五副成分的含有量 右k夕雖Λ、;'改善CR值、直流破壞電壓νβ ,電容溫度特性 會惡化,且IR加速壽命也變差。 關於第一形態的介電質陶瓷組成物,必要時,以第六 副成分而言,R2氧化物(其中,R2係從γ、Dy、H〇、几、Gd ” Eu中選•擇出至少一者)最好是含有以下(最好是 〇·5 9mol)。此第六副成分(R2氧化物)顯示有改善11?與IR 哥命的效果’且電容溫度特性的不好影響也少。铁而,若 職化物的含有量過多,燒結性會傾向於惡化。;六副成 分中,特性改善效果高,且因為便宜,最好是丫氧化物。 第四副成分與第六副成分合計的含有量相對於主成分 的BaTi〇:10〇mol,最好是胸以下, (其中’第四副成分與第六副成分的摩爾數量係RWR2單獨
2030-7351-PF 21 K75582 的比率)。保持良好的燒結性。 再者,關於第一形態之介電質陶瓷組成物中,最好是 含有MnO作為第七副成分。此第七副成分顯示促進燒結的效 果,且使IR增高、使IR壽命向上提升的效果。為得足 夠的此種效果,相對MBaTi(M00m〇1,第七副成分的Z率 最好為O.Olmol以上。然而,若第七副成分過多的話,電容 溫度特性會有不好影響,最好是0.5mol以下。 、再者’ Sr、Zr與Sn的至少一種鈣鈦礦結構所構成的主 成刀中的Ba或丁!置換的場合時,居禮溫度朝向低溫侧偏 移,125°C以上的電容溫度特性會變差。因此,包含此種元 素的BaTiCh [例如:(Ba,Sr)Ti〇3]作為主成分最好不使用。 然而,如果是含有的level(介電質陶瓷組成物整體的 O.lmol%程度以下)作為不純物,特別沒有問題。 第一形態的介電質陶瓷組成物的平均結晶粒徑並沒有 特別限定,根據介電體層的厚度等,例如:〇·的範 圍來適當決定即可。 介電體層越薄時,電容溫度特性會惡化,且平均結晶 粒徑越小會傾向於惡化H #平均結晶粒徑必須小的 場合時,本發明的介電質陶竟組成物具體而言,平均結晶 粒徑為G.H.W 的場合特別有效。再者,平均結晶粒徑 弱小的話’ IR壽命會變長,且直流電場下的電容經過時間 變化變少,由此點可看出,平均結晶粒徑最好是如上述一 樣小。 關於第一形悲的介電質陶瓷組成物的居禮溫度(從強
2030-7351-PF 产、. 22 Ι275582 電體到般介電體的互相轉移溫度)可藉由選擇其組成 ^隻更然而,為了滿足X8R特性,最好是i2(TC以上,更 =好疋123C以上。再者’居禮溫度可藉由脱(微差掃描熱 置測量)等來測量。 、關於第形態的介電質陶瓷組成物所構成的介電體層 、厚度而口 層大約通常是40 # m以下,特別是30; m以 下。厚度的下限通常為0.5#m。 • +關於第一形態的介電質陶瓷組成物可有效改善此種具 薄層化的"電體層的積層陶瓷電容的電容溫度特性。再 者,介電體層的積層數量通常為2〜300左右。 使用第形怨的介電質陶瓷組成物的積層陶瓷電容係 在80f以上,特別是125〜150°C的環境下被使用作為機器用 一-件為適田的。接者,在此種溫度範圍,電容的溫度 特性滿足EIA規格的_生,更滿足X8R的特性。再者,可同 時滿足EIAI規袼的時性[在—25〜8代的電容變化率±1⑽以 _内(基準溫度2Q°C)]、EIA規格的X7R特性(m25°C, AC=土 15%以内)。 、、’ 幻如至’皿(2 5 C )與高溫部(15 0 °C )的分別的溫 度下的絕緣電阻為IR25、-。時,可由以下公式⑴所代表 的1R有效位數差」$〜2· 00以上。換言之,IR溫度相關性 是小的。 公式(1) log(IRi5〇/IR25) ... 通常為0 · 0 2 V / # m以上,特別 // m以上,一般為5V/ # m以下 積層陶曼電谷在介電體層 疋0.2V//zm以上’更為〇·5γ/
2030-7351-PF 23 1275582 的父流電場’與此重最^-- 更且亦可加上5V//Z ffl以下的直 即使加上此種電埸,雪~ α 广叼直机電% 電谷的溫度特性係安定的。 内部電極贈 本表明不特別限定内邱雷 人_ 門⑷電極體3含有的導電材料,鈥而 ;丨電體層2的構成材料最好 ·、 # — & i ^入 取好疋具有耐還原性且可使用比較 便且的基礎金屬。以導雷 +、λί•入^ 、 · 導電材科而言,最好是基礎金屬的Ni 或Nie金。以w合金而言, η 联好疋由Mu、Cr、 Co與Α1中選 好是以。上的元素與Ni的合金。合金中的以含有量最 量成分最好包含0. 1 再者,Ni或Ni合金中,ρ等的各種微 重量%程度以下。 内部電極層3的厚度根據用途而適當決定即可,通常最 好是0.5-5“,特別是〇·5_2·5㈣。 n 外部電極 —本發明不特別限定含有外部電極4的導電材料,然而, _本實施形態可使用便宜的Ni、Cu與其合金。 外部電極4的厚度可根據用途等適當地決^,然而,通 常最好是10 - 5 0 " m 〇 禮jIl陶瓷電容的製造方法 關於使用本發明的第一形態的介電質陶竟組成物的積 層陶竟電容,與習知的積層陶=是電容的相同,藉由使用聚 料的一般印刷法與片狀方式來製作綠晶片,在^結之後,
藉由印刷或轉寫外部電極且燒結而製造。以下具體說明製 造方法。 2030-7351-PF 24 1275582 、準備3有;|電體層用的聚料的介電質陶竟組合 物粉末’塗料後’進而調整為介電體層用的漿料。 "電體層用的漿料可為由介電f陶变組成物粉末與有 機染色賴拌而成的有機的塗料,亦可為水系塗料。 以介電質陶成物粉末而言,可使用上述氧化物與 混合物、複合減物,其他的話,藉由燒結上述氧化物、 複合氧化物而成的各種化合物,例如碳酸鹽、草酸鹽、琐 酸鹽、氫氧化物、有機金屬化合物等可適當地選擇、混入 使用。介電質陶究組成物粉末中的各化合物的含有量可: 燒結後的上述介電質陶竟組成物的組成所決定。 在塗料之别的狀態,介電曾 常平均為成Μ末的粒徑通 ^ 2染色劑係溶解黏結駭有機溶财的物品。本發 明不特別限定用於有機毕声 办 + 音、〇 M u 黏結劑。可由乙基織維 者…、、·丁 Μ的一般各種黏結劑來適當地選擇。再 亦不特別限定使用的有機溶劑,根據印刷法血片狀法 專的利用方法,可由香油腦、胃 的各種有機溶劑來適當地選擇。、 再者,當以水系塗料作為介電體 的 使水溶性黏結劑與分散劑等溶解於水 ㈣^時, 盘介雷I#及祖、曰人 、 、水系染色劑最好 “電體原枓混合。並不特別限定用於 性黏結劑,可使用例如聚乙稀醇、纖唯色劑的水溶 酸樹腊等。纖維素从及水溶性丙烯 内部電極層用聚料係藉由各種介電性金屬與合金等的
2030-7351-.PF 25 1275582 導電材料或燒杜德卜1、道^ 曰人、、。後上述導電材所變成的各種氧化物、有機 ρ ϋ “树脂酸鹽等與上述有機染色劑混合調製而成。 外部電極用衆料可由上述内部電極用聚料同樣方式調 旦本毛明不特別限定上述各裝料中的有機染色劑的含有 篁’通常的含有量’舉例而言,最好是黏結劑為卜5重量%, ::係1。,重量%即可。再者,各漿料中根據必要最好含 k各種刀㈣、可塑劑、介電體、絕緣體等所選擇的添 加物。總含有量最好是丨0重量%以下。 使用印刷法,將介電體層用聚料以及内部電極層 漿料積層印刷在PET等的基板上後,切斷成一定形狀後:從 基板剝離而成為綠晶片。 再者,當使用印刷法時,使用介電體層用裝料來形成 綠帶’在此上面印刷内部電極層用浆料後,堆積而做成綠 晶片。 在燒結之前,在綠晶片上實施取出黏結劑處理。取出 黏結劑處理可根據内部電極用漿料中的導電材料的種類來 適當地決定。當使用作為導電材料的Ni_合金等的美本 二:,取出…大氣中的氧氣分壓最好是 〜10 Pa。右氧氣分壓未達到上述範圍的話,取出黏社 劑效果會減低。又1氧氣分壓超過上述_的話,= 電極層會傾向於氧化。 再者’除了上述以外的取出黏結劑的條件,升、、W速产 最好是5〜3〇〇口小時,更最好是1〇〜1〇〇t/小時。保:溫^
2030-7351-PF 26 !275582 最好在180~40(TC,更最好是200〜35(rc。溫度保持時間最 好,0.5〜24小時,更最好是2〜20小時。另外,燒結氣^最 好是在空氣中或還原氣壓。在還原氣壓中的大氣氣體最好 疋使用加濕的N2與H2的混合氣體。 綠晶片燒結時的氣壓最好是根據内部電極用漿料中、 導電材料的種類來適當地決定。使用作為導電材料的“= Ni合金的基本金屬時,燒結氣壓中的氧氣分壓最好是 l〇'l〇-3Pa。若氧氣分壓未達到上述範圍的話,造成内; 電極層的導電材料異常燒結,進而造成中途中斷。又,^ 氧氣分壓超過上述範圍的話,内部電極層會傾向於氧化。 再者,燒結時的保持溫度最好是丨丨〇 〇〜丨4〇 〇亡,更最好 是126〇〜13赃。當保持溫度未滿足上述範圍,且稍密度變 得不足。若超過上述範圍,内部電極層的導電材料異常燒 結而造成中if、内冑電極層構成材肖的擴散而導致電溶溫 度特性惡化,且容易產生介電體陶瓷組合物的還原。 除了此燒結條件之外,升溫速度最好是5〇〜500^/小 時,更最好是200〜3〇(TC/小時。溫度保持時間最好是〇5〜8 小時,更最好是卜3小時。冷卻逮度最好是5〇〜5〇〇ec/小時, 更最好是200〜300。。/小_。另外’燒結氣壓最好是在還原 氣壓。還原氣體最好是使用加濕的〜與仏的混合氣體。 在還原氣體中燒成之後,在電容元件本體施行退火。 根據本實施例,退火之目的係再氧化介電體層,且藉此可 顯著地增長IR壽命,提升可靠性。 退火大氣中的氧氣分壓是〇·1 Pa以上,更最好是 2030-7351-PF 27 Γ275582 厂,Pa。氧氣分屋若未滿上述範圍的話,介電體層的再 氧化困難,若超過上述範圍的話,内部電極層傾向於氧化。 退火時的保持溫度(退火溫度)是u〇〇t以下,特 好是500t~ll0(TC。保持溫度若未滿上述範圍,介電體層 的氧化變得不足,因此IR減低,而IR壽命容易變短。另二 方面,保持溫度超過上述範圍的話,内部電極層氧化而不 僅電容減低,内部電級層與介電體層本體產生反應,電容 鲁溫度特性惡化’ IR減低,進而容易造成以壽命的減短。再 者’退火是僅由升溫過程以及降溫過程的構成即可。換古 之,溫度保持時間亦可為零。在此場合,保持溫度為最二 溫度的意思。 ° 上述以外的退火條件而言,溫度保持時間最好是〇〜2〇 小時,更最好是2〜10小時。冷卻速度最好是5〇〜5〇〇它/小 時’更最好是100〜30(TC/小時。再者,退火氣壓的大氣氣 壓最好是使用例如:加濕的N2氣體。 •…上述取出黏著劑處理、燒結與退火時,可使用例如潤 濕裔等來使N2氣體與混合氣體等加濕。在此場合,㈤ 好是5〜75t 〇 酿 上述取出黏著劑處理、燒結與退火可連續執行或分別 執打。當連縯執行的場合時,在取出黏著劑處理之後,在 沒有冷卻時改變氣壓,持續直到升溫至燒成時的保持溫度 以執行燒結。接下來冷卻,最好是達到退火的保持溫度時, 變更氣壓來執行退火。另一方面,單獨執行時,當燒成時, 直到取出黏著劑處理時的保持溫度,在心氣體或加濕的化
2030-7351-PF 28 1275582 ::下升溫之後’變更氣壓,且最好持續升溫。當冷卻直 變退火時的保持溫度,最好是在N2氣體或加濕的域體下 卻。再者’退火時,在N2氣體氣壓下升溫直 的寺 >皿度之後,τ改變氣壓,亦可退火的全部過程在加 濕的Ν2氣體氣壓下。 2上料而取得的電容元件本體,例如:藉由滾筒磨 宜二、砂等來實施端面研磨’且印刷外部電極用漿料或轉 寫在其上燒結而幵{成外1雷 A 極4°外部電㈣«的燒結條 〇 疋+例而S,加濕的N2與Hz的混合氣體中,600〜800 表鐘〜1小時内。接下纟,在必要時,於外部電極4 表面上藉由電鍍等來形成覆蓋層。 猎此製造的本發明的積層陶竟電容係藉 裝於印刷基板上、可使用於各種電子機器等。“、、且 善一實施例 以下根據本發明的第二實施例進行說明。 關於第;實施例’與第一實施例相同,電子產品而言, 法。目所不的積層陶究電容1為例,說明其構造與製造方 形態的介電質 第二實施例中,介電體層2所含有的第 陶瓷組成物與第一實施例不同。 關於第一形態的介電曾_ $ ^ 坌 電貝陶瓷組成物必須包括含有Mg0 的第一副成分以及冬古Λ〗 ^ 3有…203的的第八副成分,並且第一即 成分的MgO的含有量盥箆 ^ .,+ "弟七田,^成/刀的MnO或或Cr2〇3的含有量 與上述關係的點為最大特徵。
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29 Γ275582 以下說明中’省略與第一實施例重複的部分的說明, 僅說明不同的部分。 介電 介電體層2包含本發明的第二形態的介電質陶瓷組成 物。 本發明的第二形態的介電質陶瓷組成物包括··含有鈦 酸鋇(碳酸鋇最好是由組成式BaJio⑽所表示、上述組成式 中的m為0.995^^.0^ ,且Ba與n的比例為 〇· 995<Ba/Thl· 〇1〇)的主成分;含有Mg〇的第一副成分;作 為燒結助劑的功能之第二副成分;含有從V2〇5、此〇3與w〇3 所選擇的至少一者的第三副成分;含有以的氧化物(R1為從 Sc、Er、Tin、Yb與Lu選擇的至少一者)的第四副成分;含有 CaZrCh或CaO+Zr〇2的第五副成分;含有如〇或Cr2〇3的第七副 成分;以及含有A 1 2〇3的第八副成分。 第八副成分不大會受到電容溫度特性影響,有改善^ _溫度相關性的效果。在第二實施形態中,對於滿足X8R特性 的介電體組成,使其具有一定量的含有AiA3的第八副成分。 第八副成分相對於上述主成分100摩爾,以Ah03換算為 0.5〜4摩爾(其中,4除外),最好是〇5〜3.5摩爾(其中,#〇 除外),更最好是1〜2摩爾,又最好是卜15摩爾。如果第八 副成分的含有量太少的話,改善1{^溫度相關性的效果會不 足。另一方面,含有$太多的話,電容溫度特性會傾向於 惡化。 _二形態时電質陶竟組成物加入上述一定量的 2030-7351-PF 30 1275582 第八副成分’且含有一定量的第一副成分與第七副成分, 而且’第-副成分必須含有的Mg0的含有量以及含有齡或 Cr2〇3的第七副成分的含有量的一定關係為最大的特徵。藉 由此種構成,可維持第八副成分的添加效果㈣溫度㈣ 性的改善效果,並且使高溫加速壽命向上提升。 第-副成分(MgO為必須,Ca0、Ba〇編為任意的)顯 示使電容溫度特性平坦化的效果。特別是,第—副成分必
須含有的MgO具有使高溫加速壽命向上提升的效果以及tc 偏壓特性向上提升的效果。第—副成分的含有量相對於上 述主成分1〇〇摩爾,以各氧化物來換算為〇 2〜〇 75摩爾,最 好是0.3〜0.7摩爾,更最好是〇. 35〜〇5摩爾。如果第一副成 ^的含有量太少的話,電容溫度變化率會變大,高溫力^速 哥命傾向於惡化。另一方面,若含有量過多,高溫加速壽 命會惡化。再者,Ca0、Ba〇、Sr〇為任意的成分,因應必要 時來添加即可。 第七副成分(MnO或CdOO使耐還原性向上提升,顯示有 抑制介電體層的半導體化的效果、提高11?的效果以及高溫 加速壽命向上提升的效果。第七副成分的含有量相對於上 述主成分100摩爾,以Μη元素或Cr元素來換算為0·卜〇·3摩 爾,最好是0· 15〜〇· 3摩爾,更最好是〇. 2〜0· 25摩爾。若第 七副成分的含有量太少的話,介電體層會傾向於半導體 化。另一方面,若含有量過多,電容溫度特性會有惡化的 場合。 〜 再者,作為第七副成分的CrW而言,構成Crw的(^元
2030-7351-PF 31 1275582 素的6配位時的有效離子半徑為了成為在0· 065-0· 085nm的 I巳圍’上述第一實施例中,成為第八副成分所屬的,然而, 在第二實施例中,重點在於CnO3具有的上述效果(耐還原性 向上提升、抑制介電體層的半導體化、提高IR以及高溫加 速壽命向上提升的效果),添加Cr2〇3這點與第一實施例不 同。 接下來’根據本發明第二形態之介電質陶瓷組成物, 第一副成分的含有量與第七副成分的含有量在上述範圍, 且在第一副成分必須含有的Mg〇的含有量與第七副成分所 含有的ΜπΟ或CnO3的含有量有一定關係。換言之,為了使第 一副成分所含有的Mg元素的含有量以及第七副成分所含有 的Μη元素、Cr元素之摩爾比例為〇· 3^(Mn + Cr)/Mg2〇· 5的範 圍’要控制第一副成分的Mg〇的含有量與第七副成分的Mn0 或CnO3的含有量。藉由使Mg〇的含有量與第七副成分(Mn〇 或Cr2〇3)的含有量在此種關係,可使得Mg〇、第七副成分的 MnO或Cr2〇3的添加效果足狗地增強。 (Mn+Cr)/Mg在上述範圍以外的話,Mg〇與第七副成分 (MnO或CnOO的添加效果變得不足,高溫加速壽命會惡化。 再者,藉此,考量MgO與第七副成分的添加效果變得不足的 理由是因為藉由添加作為第八副成分的A丨2〇3,會造成Mg〇 與第七副成分(MnO或Cr2〇3)在介電體層中偏析。 對此,第一形態中,藉由使(Mn+cr)/jjg在上述範圍, 可有效地防止MgO與第七副成分的偏析,使得此種Mg〇與第 七副成分的添加效果十足的發揮,特別是使高溫加速壽命
2030-7351-PF 32 (s: 1-275582 時^^再者’第七副成分而言,在不使用㈤3的場合 〃電負陶竞組成物中,變成沒有實f地包含以元素。 :此五:此場合時,(Mn+Cr)/Mg變成與勛,實質上同樣意 :二使用Mn〇的場合時,在介電質陶竟組成物中, 义/又有貫質地包含Mn元素。(Mn+Cr)/Mg變成與⑽忌 上同樣意思。 、、 、^述第、第七、第八副成分以外的副成分而言,上 述第二至第五副成分的比率最好與上述第一實施形態相 同。使其含有第二至第五副成分,可維持高介電率更可 足X8R特性。 ^再者’ s第二形態之介電質陶瓷組成&,必要的話, 第六副成分而言最好包含R2氧化物(其中,R2係從γ、Dy、 H〇、Tb、Gd與Eu中選擇出至少—者)。第六副成分的比率最 好與上述第一實施形態相同。 第二形態之介電質陶瓷組成物中,添加一定量之含有 Aiw的第八副成分之外,必要包含在第一副成分之Mg〇的含 有量以及含有MnO或Cr.的第七副成分的含有量之比例係 在上述一定範圍。因此,加上上述第一實施形態之效果, 更具有可改善面溫加速壽命的效果。 内部電極層3、外部電極4最好是與上述第一實施形態 相同之構成。 再者’第二實施形態之積層陶瓷電容可利用與上述第 一實施形態相同之方法來製造。 以上說明本發明之實施形態,然而,本發明並不限定 2030-7351-PF 33 1275582 於此種實施形態,在不脫離本發明的要旨之範圍内,可由 各種形態來實施。 舉例而言,於上述實施形態,關於本發明的電子產品 而a,以積層陶竟電容為例,然而,本發明不限定電子產 品為積層陶瓷電容,只要是具有由上述組成的介電質陶兗 組成物所構成的介電體層之任何產品即可。 實施例
接下來,提供使本發明之實施形態更具體化之實施 例,以更詳細說明本發明。然而,本發明不限定於此種實 施例。 實施例1 以下’實施例1、2以及比較例1係關於本發明第一形態 之實施例。 首先’製作介電體材料的初始原料而言,準備平均粒 徑〇· 1〜1 // m的主成分原料(BaTi〇3)以及第一〜八副成分原 料。
MgO與MnO的原料係使用碳酸鹽(第一副成分·· MgC〇 3、 第七副成分·· MnC〇3),其他原料係使用氧化物(第二副成 分:(BauCa 〇.4)SiO 3、第三副成分·· v2〇5、第四副成分: Yb2〇3、第五副成分:CaZr〇3、第六副成分:γ.、第八副成 分:AD。再者,第二副成分的(Ba。6Ca。4)Si〇 3係藉由 球磨法於16小時内濕式混合BaC〇3、caC〇3與Si〇2,使其乾燥 後’在1150°C空氣中燒成,最後,藉由球磨法於ι〇〇小時内 濕式叔碎來製造而成。並且,第五副成分的Cazr〇3係藉由
2030-7351-PF 34 1275582 球磨法於16小時内濕式混合,乾燥後,在115〇 C空氣中燒成’最後,藉由球磨法於24小時内濕式粉碎來 製造而成。 另外’主成分的BaTi〇3係分別秤量BaC〇3與Ti〇2,藉由 球磨法約16小時内濕式混合,使其乾燥,在11〇〇〇c空氣中 燒成’且使用藉由球磨法於丨6小時内濕式粉碎來製造,進 而取得相同之特性。再者,使用藉由水熱合成粉體、草酸 鹽法等所製作而成的主成分的BaTi(h進而取得相同之特 •性。 此種原料燒成後的組成相對於主成分的BaTiChlOO摩 爾係由表1所示來配合,藉由球磨法於16小時内濕式混合, 使其乾燥而形成介電體材料。 接下來’取得之乾燥後的介電體材料·· 1 0 0重量比率、 丙烯酸樹脂:4· 8重量比率、醋酸乙酯:100重量比率、礦 物油(mineral spirit): 6重量比率、丙酮:4.0重量比率 _以球磨法混合,泥漿化,進而取得介電體層用漿料。 接下來’藉由三個滾筒來混合平均粒徑〇2〜〇8//111的 Νι粒子:1〇〇重量比率、有機染色劑(將8重量比率的乙基纖 維素洛解於92重量比率的二乙二醇丁基醚而成的):40重量 比率以及一乙二醇丁基醚:丨〇重量比率,使其泥漿化,進 而取得内部電極用漿料。
接下來’藉由混合平均粒徑〇 · 5 # ^的C u粒子·· 1 〇 〇重量 比率、有機染色劑(將8重量比率的乙基纖維素樹脂溶解於 重里比率的一乙二醇丁基醚而成的)·· 35重量比率以及二 2030-7351-PF 35 1275582 ,丁基ϋ · 7重1比率,使其泥漿化,進而取得 極用漿料。 r ^ 其後,使用上述介電體層用漿料在PET薄膜上形成厚产 綠帶,印刷内部電極用漿料在綠帶上後,將綠i J ,膜分離。接下來,堆積此種綠帶以及保護用綠帶(不 用印刷内部電㈣漿料的部分)、壓製而取得綠晶片。具有 内部電極的片狀的積層數量係4層。 接下來,切斷綠晶片成一定大小,執行取出黏著劑處 理、燒結以及退火,進而取得積層陶瓷燒結體。 取出黏著劑條件處理係在升溫速度:丨/小時,保持 溫度:28G°C,溫度保持時間:8小時,以及空氣氣壓的條 件下執行。 〃 。燒結係在升溫速度:20(TC/小時,保持溫度:128〇〜132〇 °C、,保持時間·· 2小時,冷卻速度:3〇(rc /小時,加濕的N2 + H2 的混合氣體(氧氣分壓·· l〇-9Pa)的條件下執行。 士退火條件係在保持溫度:9〇(TC,溫度保持時間:9小 %,冷卻速度:3001/小時,以及加濕的N2氣體(氧氣分壓: l〇'5Pa)的條件下執行。再者,燒結與退火時的氣壓氣體的 加濕係使用以水溫5-75°C的潤濕器。 得如第1圖所示的積層陶瓷電容1的試樣。 接下來,積層陶瓷燒結體 外部電極用漿料轉寫在端面上 中,在80°C、10分鐘之間燒成 的端面以喷砂來研磨後,將 ,在加濕的N2 + H2的混合氣體 ’而形成外部電極,進而取 以此方式所取得的各電容試樣的尺寸為
2030-7351-PF 1275582 3· 2mmxl · 6mmx0· 6mm,被内部電極層所挾持的介電體層的數 量為4,其厚度為3.5/zm,且内部電極層的厚度為^“、。 對於所取得的電容試樣來評估11?溫度相關性(有效位 數差)、電容溫度特性(TC)以及TC偏壓。結果如表j所示。 IR溫度相關性係測量所取得的試樣在15〇〇c的絕緣電 阻IRuo以及所取得的試樣在25°C的絕緣電阻ir25,由以下公 式(1)所表示的有效位數差來計算評估。評估基準在—2〇〇 以上為良好。 l〇g(IRl5〇/IR25)…公式(1) 再者,在測量各溫度的絕緣電阻時,使用溫度可變J R 測定器,以測量電壓7· OV///m以及電壓施加時間60s來測 量。 電容溫度特性(TC)對於所取得的試樣,在-55t:〜+ 15〇 °C的溫度範圍内測量靜電電容。靜電電容的測量係使用數 位LCR計量器(YHP製4274A),在周波數ikHz,輸入信號位準 1 Vrms的條件下來測量。接下來,在此種溫度範圍内的最差 電容溫度特性的150°C的溫度環境下,計算其靜電電容的變 化率UC/C,單位為10%),調查是否滿足EIA規格的X8R特性 (-55〜+ 150°(:,4(:/(:土15%以内)。若滿足的部分為@,不滿 足的部分為X 〇 TC偏壓係以數位LCR計量器(YHP製4274A)在1kHz、 lVrms、7· OV/ /z m的偏壓電壓(直流電壓)且使其從—55°C到 150°C溫度變化來測量所取得的試樣。從25°C的偏壓電壓沒 有施加中的測定值的靜電電容的變化率來計算評估。再 37
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1275582 者’使用LCR計量器來測量靜電電容,係在周波數ikjjz、輸 入信號位準lVrms的條件下來測量。評估基準係在_4〇%以上 為良好。 再者,對於所取得的電容試樣一併評估介電率(ε)、介 電損失(tanS)、直流電場下的IR壽命、直流絕緣破壞強度、 DC偏壓特性(介電率的直流電壓施加相關性)。 對於電容試樣’在基準溫度25°C、藉由數位LCR計量器 (YHP製4274A)在周波數1kHz、輸入信號位準(測量電 壓)1 · 0Vrms的條件下所測量的靜電容量來計算介電率ε(無 單位)。其結果係任一試樣在1 000以上的話則是取得良好的 結果。 介電損失(tan5)係對於電容的試樣在基準溫度25。〇、 藉由數位LCR計量器(YHP製4274A)在周波數1kHz、輸入信號 位準(測量電壓)1. 〇Vrms的條件下來測量。其結果係任一試 樣在10%以下的話則是取得良好的結果。 直々1L電%下的壽命係對於電容的試樣在2〇〇它、1 QV/ # m的電場下執行加速試驗,計算直到絕緣電阻變成ιμω以 下的時間為壽命時間。其結果係任一試樣在〗〇小時以上的 話則疋取得良好的結果。 直流絕緣破壞強度係對於電容的試樣以1 00V/Sec的速 度來施加直流電壓,測量當檢查有100mA的漏電流時的電壓 (直流破壞電壓VB、單位為v/,#m),進而計算其平均值。其 結果係任一試樣在1〇〇V/ # m以上的話則是取得良好的結 果0
2030-7351-PF 38 ⑧ 1275582 DC偏壓特性係對於電容的試樣在一定溫度(25°C )測量 在各試樣上漸漸給予直流電壓時的靜電電容的變化 (△C/C),依繪製的結果,確認在任一試樣即使給予高壓電 壓仍很難減少靜電電容,且具有穩定的DC偏壓特性。 表1 試樣 號碼 第八副成分 靜電電容的溫度變化率 (%) + 150°C X8R 特性 TC偏壓 (%) IR溫度 相關性 添加量(摩爾) 1* 0 -7. 5 ◎ -38. 0 -2.45 2 0.5 -8. 6 ◎ -37. 1 -1. 91 3 1 -9· 3 ◎ -36. 1 -1. 86 4 1.5 -9_ 8 ◎ ~31. 1 -1· 61 5 2 -10. 3 ◎ -27. 3 -1· 51 6 2. 5 -11. 5 ◎ -25. 1 -1.39 7 3 -12. 7 ◎ -23· 5 -1· 35 8 3. 5 -13. 8 ◎ -22. 8 -1. 31 9氺 4 -16. 7 X -21. 3 -1. 29 「*」指 1示的試樣表示比較例。 然而,第一副成分:MgC〇3=l. Omol 第二副成分:(Ba〇.6Ca〇.4)Si〇3=3.0in〇l ; 第三副成分:V2〇5=0. lmol ; 第四副成分:Yb2〇3=l. 75mol(以Yb來換算為3· 5mol); 第五副成分:CaZr〇3=l. 5mol ; 第六副成分·· Υ2〇3=2. Omol ; 第七副成分:MnC〇3=0. 374mol ; 第八副成分:AI2O3 ; 上述添加量係相對於任何主成分1 〇 〇mo 1的添加量。 如表1所示,如果第八副成分的含有量太少,雖然滿足 X8R特性,IR有效位數差卻變成超過—2 〇〇,IR溫度相關性 會惡化,並且TC偏壓特性也會惡化。若第八副成分的含有 量太多’雖然改善IR溫度相關性,無法滿足X8R特性。 實施例2 除了如表2〜5使第八副成分原料的種類與其添加量變 2030-7351-PF 39 1275582 化之外’其餘與實施例1相同來製造積層陶瓷電容的試樣, 同樣給予評估。
表2 試樣 第八副成分 靜電電容的溫度變化率 X8R TC偏壓 IR溫度 號碼 添加量(摩爾) ⑻+ 15(TC 特性 (%) 相關性 1* 0 -7_ 5 ◎ -38. 0 -2.45 11 0. 5 -7· 9 ◎ -37. 6 -1· 97 12 1 -10.2 ◎ -36. 7 -1. 91 13 1.5 -11.4 ◎ -32. 3 -1. 64 14 2 -12. 8 ◎ - 28· 1 -1. 59 15 2.5 -13. 7 ◎ ~26. 0 -1.43 16 3 -13.4 ◎ -24.2 -1.38 17 3. 5 —----- -14. 5 ◎ -23. 6 -1. 34 18氺 r木, 4 娌士沾钟從士《 . -18. 9 X -22. 7 -1 · 31 、*」彳示示的試樣表示比較例。 然而,主成分的組成、第一〜七副成分的組成以及其添加量與表!相同。 第八副成分:Cr2〇3 表3 試樣 第八副成分 靜電電容的溫度變化率 X8R TC偏壓 IR溫度 相關性 號碼 添加量(摩1 ) (°/〇) + 150°C 特性 (%) 1氺 0 -7_5 ◎ -38. 0 -2. 45 20 0· 5 -8. 0 ◎ -37.5 -1· 95 21 1 -9. 6 ◎ ~36. 1 -1· 90 22 1.5 -10· 6 ◎ -32. 1 -1. 70 23 2 -11 · 2 ◎ -27.8 -1. 55 」4 2.5 -12.4 ◎ -25:4 -1.40 25 3 -13.4 ◎ -23. 7 -1 · 3 2 26 3. 5 -14.5 ◎ -23. 1 -1. 3 6 27* 4 標示的封槎主$ -17.9 •l· 击吞 。 X -22. 1 -1 · 31 然而,主成分的組成、第-第八副成分:Ge2〇2 七副成分的組成以及其添加量與表1相 同 2030-7351-PF 40 1275582 表4 試樣 第八副成分 靜電電容的溫度變化率 X8R TC偏壓 IR溫度 號碼 添加量(摩爾) (°/〇) + 150°C 特性 (%) 相關性 1氺 0 -7.5 ◎ -38. 〇 -2.45 29 0. 5 -8· 2 ◎ -37.4 -1· 97 30 1 -9. 4 ◎ J -35. 9 -1· 92 31 1.5 -10.4 ◎ -32.4 -1· 73 32 2 -11. 0 ◎ - 28· 1 -1 · 58 33 2.5 -12. 2 ◎ -25.8 -1.42 34 3 ~13. 2 ◎ -23. 8 -1· 34 35 3. 5 -14. 4 ◎ -23_ 6 -1. 37 36* 厂少. 4 -17. 8 .L Jiil] 〇 X -22. 7 -1. 29 然而,主成分的組成、第一~七副成分的組成以及其添加量與表1相同。 第八副成分:Ga2〇3 如表2〜4所示,第八副成分原料即使變化為Cr2〇3 G e2 02、G a2 03,可確認與實施例1的A12 03得到相同的效果< 表5 試樣 號碼 第八副成分 靜電電容的溫度變化 率(%) + 150°C X8R 特性 TC偏壓 (%) —------- IR溫度 相關性 ΑΙ2Ο3 Cr2〇a 添加量(摩爾) 1* 0 0 -7.5 ◎ -38. 0 一2 38 1 0. 25 - 8. 1 ◎ 二37· 5 ~36. 5 -1. 70 一 1 4Q 39 1 0· 5 -9. 1 ◎ _40 1 0.75 -10· 5 ◎ '—一 一 -31. 8 — 丄· ^±Ό -1 QQ 41 1 1 -11.8 ◎ -27.8 42 1 1.5 -12. 8 ◎ -25. 7 — χ · ΟΌ ^29_ 43 1 2 -14. 5 ◎ - 24· 1 44* 1 3 -15.9 X -23. 1 — -22.6 45* 1 3_ 5 -17. 5 X 「*」標示的試樣表示比Ί 〖交例。 主成分的組成、第*---b b 第八副成分·· Al2〇3 + Cr2〇3 2030-7351-PF 41 1275582 如表5所示,即使第八副成分變成^.^。⑴的複合型 式,可確認與單獨添加Alz〇3得到相同的效果。 也較例1 除了如表6使第八副成分原料的種類與其添加量變化 之外,其餘與實施例1相同來製造積層陶瓷電容的試樣,同 樣給予評估。 試樣 號碼 第八副成分 靜電電容的溫度變化 率(%)H50°C X8R 特性 TC偏壓 (%) IR溫度 相關性 P2O5 κ2〇 添加量 (摩爾) 47* 0· 5 - -13· 2 ◎ -40. 1 -2 61 48 1 一 -14. 1 ◎ -45 1 -9 «7 49 1.5 一 -16. 0 X -47· 2 L· 9 〇 t 一 2 91 51* 一 0· 5 -13· 1 ◎ -40. 7 -9 86 52* 厂+ - 1 -16. 9 X -46. 8 L·» 9 \J \J 一3 nn +」稞不的咸樣表不比較例。 -- «J . 1/ u 第或一κ;〇副成分的組成以及其添加量與表1相同。 如表6表示,6配位時的有效離子半徑在適合範圍以外 的陽離子元素變為p(0.052nnl)、K(0152nm)的場合時,即 使含有量在適當範圍内,可確認無法取得第人副成分添加 的效果。 實施例3 以下只施例3為關於本發明的第二形態之實施例。 首先,製作介電體材料的初始原料而言,準備分別平 均粒徑〇· 1〜1 ^ m的主成分原料(BaTi〇〇以及第一〜八副成 刀原料再者,各原料係使用與實施例丨相同的原料。
2030-7351-PF 42 1275582 接下來,將準備的原料燒成後的組成,相對 的BaTiOdOO摩爾係由砉7 s张-卡人 、成刀 4竭係由表7、8所不來配合’藉由球磨 小時内濕式混合,使龄條而游士、人# Μ η 便八乾知而形成介電體材料,與實施例1 相同,進而取得介電體層用漿料。 接下來’使用上述介電體層用漿料,與實施例!同樣來 製作之内部電極層用襞料、外部電極層用漿料,與實施例工 相同’進而取得如圖一所示的積層陶瓷電容的試樣。
如此方式取得各試樣的尺寸為3.2mmxl.6mmxG 6M,被 内部電極層所挾持的介電體層的數量為4,其厚度為 3.5~4.5/^,且内部電極層的厚度為1(^111。 又 對於所取得的電容試樣來評估溫度相關性(有效位 數差)、高溫加速壽命、電容溫度特性(TC)以及^偏壓。結 果如表7、8所示。 IR溫度相關性(有效位數差)、電容溫度特性(TC)以及 TC偏壓藉由與實施例1相同之方法來評估。 尚溫加速壽命(HALT),將所取得的試樣保持在200。〇、 1 ον/ /z m的直流電壓的施加狀態,藉由測量平均壽命時間來 評估。於本實施例,從施加開始到絕緣電組減少一位數的 時間來定義。再者,此高溫加速壽命係以執行1〇個電容試 樣來測量。評估基準在2〇小時以上為良好。 再者’對於所取得的電容試樣一併評估介電率(ε)、介 電損失CtanS)、直流電場下的ir壽命、直流絕緣破壞強度、 DC偏壓特性(介電率的直流電壓施加相關性),藉由與實施 例1相同的方法,一併來評估,且成為以下的結果。
2030-7351-PF 43 1275582 上,則取 換言之,關於介電率(〇,任一試樣為1〇〇〇以 得良好的結果。 關於介電損失(tan5),任一試樣為1〇%以下,則取得良 好的結果。 ^ 關於直流絕緣破壞強度,任一試樣為1〇〇v//;m以上, 則取得良好的結果。 關於DC偏壓特性,任一試樣即使施加高電壓,靜電電 容报難減少,可確認具有穩定的Dc偏壓特性。
MX
Mg〇 MnO Mn/Mg 號碼 添加量 (摩爾) 添加量 (摩爾) 靜電電容的溫X8R 度變化率 特性 (%) + 15〇°C TC偏壓 (%) IR溫度 相關性 HALT (h)
*」標示的試樣表示比較例 然而,的添加量係以Mn元素換算的添加量, j $ 成分:(Ba〇.6Ca G.4)SiO 3=3. Omol ; 第二副成分:V2〇5=0. lmol ; 試樣 = = ί 贫·· Yb2〇3=1. 75mol(以化來換算為 3· 5mol); 第五 成分:CaZr〇3=1.5mol ; ί 分:Y2〇3=2.0mol(以Y來換算為4. 0m〇l·)〆 第八田4成分:Al2〇3=l. Omol ; 上述添加量係相對於任何主成分100m〇1的添加量。
2030-7351-PF 44 K75582 試樣 號碼 MgO MnO Mn/Mg 靜電電容的 溫度變化率 (°/〇) + 150°C X8R 特性 TC偏壓 (%) IR溫度 相關性 HALT (h) 添加量 (摩爾) 添加量 (摩爾) 101* 0.3 0· 2 0.67 -8,. 9 ◎ -37. 5 -1· 86 12 102— —0·5 0· 2 0.40 -8.5 ◎ -37. 3 -1. 85 30 103 0· 6 ------- _ 0· 2 0. 33 -8. 6 ◎ -37· 6 -1.86 31 104氺 0.8 0.2 0.25 -8· 7 ◎ -37. 8 -1· 87 9. 5 ii5* 〇· 5 0.3 0. 60 -8. 8 ◎ -37. 2 -1· 86 16 106 0. 6 0. 3 0.50 -8.7 ◎ -38. 0 -1.86 21 107 0. 75 0. 3 0.40 ~8. 6 ◎ -37. 9 -1.87 23 108氺 0· 8 隨1 U· 0.3 0. 38 -8. 6 ◎ -37.3 -1. 87 16 然而’ MnO的添加量係以Μη元素換算的添加量, 主成分的組成、第一~六、八副成分的組成以及其添加量與表7相同。 在表七、八中,第一副成分與第七副成分不是作為原 料用的碳酸鹽(MgCO 3、MnCOs),且以燒成後的介電體層中 所含有的氧化物(MgO、MnO)的狀態來記載(以下,表9〜11 相同)。 如表7所示的試樣分別為:使MgO固定為0. 3mol、 〇· 5mol、〇· 75mol,籍由調整MnO的添加量,使Μη元素與Mg 元素之比例(Mn/Mg)變化的試樣。再者,如表8所示的試樣 分別為·· MnO固定為0· 2mol、〇· 3mol,藉由調整MgO的添加 量,使Μη元素與Mg元素之比例(Mn/Mg)變化的試樣。並且, 根據表7、8,相同組成的試樣給予相同的試樣號碼。 如表7所示,在MgO為〇· 3mol的試樣1(Π〜104,Μη元素與 Mg元素之摩爾比例(Mn/Mg)在〇· 3〜0· 5的範圍之試樣102、 103都滿足X8R特性,IR位數差為-2. 00以上,改善IR溫度相
2030-7351-PF 45 1275582 關性,並且可使HALT在20小時以上,取得良好的結果。 另一方面,Μη元素與Mg元素之摩爾比例(Mn/Mg)在本發 明範圍外的0· 17、0· 67之試樣101、1〇4都有良好的X8R特性 以及IR溫度相關性,然而高溫加速壽命(HALT)之結果較差。 再者,MgO為〇· 5mol的場合(試樣1〇5〜1〇8)、MgO為 0·75ιπο1的場合(1〇9〜112),並且MnO為固定的,即使使MgO 變化的場合(表9 ),有同樣的結果。然而,表9的試樣! J 6 被認為因為MS〇的含有量太多,高溫加速壽命(HALT)之結果 較差。 如第2 A、3 A圖所示,關於本發明第二形態的實施例的 试樣111的Mg元素(圖2A)以及Μη元素(圖3A)的偏析狀態由 照片所分別顯示。在第2Β、3Β圖,比較例的試樣112的心 元素(圖2B)以及Μη元素(圖3B)的偏析狀態由照片所分別顯 示。藉由此等照片,比較例的試樣中,可確認心元素與如 兀素的偏析存在太多。相對於此,本發明的第二形態的實 參施例的試樣中,可確認可抑制此種偏析。另外,這些照片 係藉由執行ΕΡΜΑ分析而取得的照片。 實施例4 第七副成分而言,除了取代Μη〇且使用以2〜以外,製作
與實施例3的試樣1〇9〜112同樣的電容試樣,且給予相同 評估。 2030-7351-PF 46 1275582 A 9 試樣 號碼 MgO Cn〇3 Cr/Mg 靜電電容的溫 度變化率 (%) + 150°C X8R 特性 TC偏壓 (%) IR溫度 相關性 HALT (h) 添加量 (摩爾) 添加量 (摩爾) ii7* 0. 75 0.2 0.27 -8. 6 ◎ -38· 1 -1. 7 12 118 0. 75 0. 25 0. 33 -8. 4 ◎ -38· 3 -1.69 22 119 0. 75 0. 3 0.40 -8_ 2 ◎ -38. 4 -1. 68 21 j20* 厂+ 0.75 0.4 0. 53 -8. 5 ◎ -38. 5 -1. 68 11 佩私小 平乂 列 ο 然而’ Cr2〇3的添加量係以Cr元素換算的添加量, 主成分的組成、第二〜六、八副成分的組成以及其添加量與表7相同。
如表9所示,即使使用Cr2〇3的場合,可確認與使用MnO 的%合相同的傾向。 實施例5
MgO與MnO的含有量除了與表10變化以外,製作與實施 例3相同的電容試樣,且給予相同的評估。 表10 試樣 碼 MgO MnO Mn/Mg 靜電電容的溫 X8R TC偏壓 IR溫度 HALT 添加量 逆爾) 添加量 (摩爾) 度變化率 (%)+150°C 特性 (%) 相關性 (h) 121* 0 0.2 — -13. 1 ◎ -42. 1 -1. 9 5 122* 0.5 0 0· 00 介電體層養 色成半_ L體化,而無法測 量 123* 「氺, 1. 5 0· 6 0.40 -9. 6 ◎ -35.2 -1. 96 10 、*」才示不的5式樣表示比較例。 然而’ MnO的添加量係以Mn元素換算的添加量, 主成分的組成、第二〜六、八副成分的組成以及其添加量與表7相同。 如表1 0所示,如試樣1 21的結果,不添加MgO的場合時, 可確遇尚溫加速壽命({JALT)顯著減低。再者,如試樣1 2 2 的結果’不添加MnO的場合時,介電體層成為半導體化,而 2030-7351-PF 47 ^275582 無法取得執行各種評估的試樣。 再者’如試樣1 23的結果,在Mg〇、MnO太多的場合時, 即使Μη元素與Mg元素的摩爾比例(Mn/Mg)為〇· 4,可確認高 溫加速壽命(HALT)會惡化。 第八副成分的A12〇3的含有量如表11所示而變化之外,
製作與實施例3的試樣1 0 7相同的電容試樣,並給予相同之 評估。 4il 試樣 號碼 --- Mg〇 -------- MnO Mn/Mg A1203 靜電電容的溫 度變化率 (%)+150°C X8R 特性 TC偏壓 (%) IR溫度 相關性 HALT (h) 添加量 i摩爾) 添加量 (摩爾) 添加量 (摩爾) 124* ---—. —0.5 0.2 0.4 0 -6· 2 ◎ -39.2 - 2· 41 20 107 0.5 0.2 0.4 1 -8. 5 ◎ -37.2 -1.85 30 125 0.5 0.2 0.4 2 -10.9 ◎ -30.1 一 1 fif) 95 126 ---- 0.2 0.4 3 >13.5 ◎ -25.2 X * yjvf -1.51 LukJ 20 r t 丨標7F 0.2 0.4 4 -15.3 X -24.0 -1.37 15 …、、而’ MnO的添加量係以jjn元素換算的添加量, 主成分的組成、第二〜六副成分的組成以及其添加量與表7相同。 如表11所示’在不添加A12〇3的場合時,I r溫度相關係 會惡化,再者,當Al2〇3的添加量太多,可確認電容溫度特 性會惡化,且沒有滿足X8R特性。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其並非用以 限定本發明,任何熟習此項技藝者,在不脫離本發明之精 神和範圍内,仍可作些許的更動與潤飾,因此本發明之保 遵圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
2030-7351-PF 48 1.275582 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明的一實施例的積層陶瓷電容之剖 面圖; 第2 A圖係顯示本發明關於第二形態的實施例的介電體 層之Mg元素的偏析狀態之照片; 第2B圖係顯示本發明之比較例的介電體層之jjg元素的 偏析狀態之照片; 第3 A圖係顯示本發明關於第二形態的實施例的介電體 冒層之Μη元素的偏析狀態之照片;及 第3Β圖係顯示本發明之比較例的介電體層之Μη元素的 偏析狀態之照片。 【主要元件符號說明】 卜積層陶瓷電容 2〜介電體層 _ 3〜内部電極層 4〜外部電極 1〇〜電容元件本體
2030-7351-PF 49
Claims (1)
- .i275582 十、申請專利範園·· 1.一種介電質陶瓷組成物,包括: 含有鈦酸鋇的主成分; 含有從Mg〇、Ca0、Ba〇與㈣所選擇 一 副成分; f的第 作為燒結助劑的功能之第二副成分; 含有騰、M〇〇3與W〇3所選擇的至少 分; 乂 有钓第二副成 含有的氧化物(其中,R1為從Sc 所選擇的至少一者)的梦 m、Yb與Lu 考)的第四副成分; 含有CaZr〇3或Ca0+Zr〇2的第五副成分;以及 〇 〇6^场乳化物(其中,錄6配位時的有效離子半徑在 的第八副成分, %離子^群中選擇的至少-者) 相對於上述主成分1〇〇廑 的上述弟八副成分的比率 為〜4摩爾(其中’〇金$除外你々々 /、4除外,換异成Λ氧化物的值)。 •如中明專利乾圍第i項所述之介電質陶莞組成物,其 Μ ^ ^所包含的氧化物的上述A係從A卜Cr、 h、Ge的陽離子元素群中選擇出至少一者。 3·如申請專利範圍第1 ^ 罘1項所述之介電質陶瓷組成物,其 中’相對於上述主成分1〇〇座爾认々 刀iUU厚爾的各副成分比率係: 第一副成分:0· 1〜3摩爾; 第二副成分:2〜1 〇摩爾; 第三副成分:〇.〇1〜0.5摩爾; 2030-7351-PF 50 1275582 第四副成分的摩爾數 第四副成分:0.5〜7摩爾(其中 量係以R1單獨的比率),·及 第五副成分·· 0〈第五副成分S5摩爾。 4. 如申請專利範圍第!項所述之介電質陶曼組成物,其 中,第六副成分更包含_氧化物(其中,R2係從Y、Dy、H〇、Tb、Gd與Eu中選擇出至少—者),上述第六副成分的含 有量相對於含有鈦酸鋇的主成分1〇〇摩爾係9摩爾以下(其 中,第六副成分的摩爾數量係R2單獨的比率)。 5. 如申請專利範圍第4項所述之介電質陶瓷組成物,其 中,第四*彳成分與第六副成分的合計含有量相對於含有鈦 酸鋇的主成分100摩爾係13摩爾以下(其中,第四副成分與 第六副成分的摩爾數量係们與以單獨的比率)。 6 _如申請專利範圍第i項所述之介電質陶瓷組成物,其 中’上述第二副成分係從Si〇2、MO(其中,Μ是從Ba、Ca、 Sr與Mg中選擇出的至少一者的元素)、Li2〇以及選擇出 的至少一者所代表。 7·如申請專利範圍第1項所述之介電質陶瓷組成物,其 中’第七副成分更含有Mn0,上述第七副成分的含有量相對 於含有鈦酸鋇的主成分1〇〇摩爾係〇· 5摩爾以下。 8· —種介電質陶瓷組成物,包括·· 含有鈦酸鋇的主成分; 含有MgO的第一副成分; 作為燒結助劑的功能之第二副成分; 含有從V2〇5、MoOs與W〇3所選擇的至少一者的第三副成 2030-7351-PF 511275582 分; 含有R1的氧化物(其中,R1為從Sc、Er、Tm、几與“ 選擇的至少一者)的第四副成分; 含有CaZr〇3或CaO + Zr〇2的第五副成分; 含有MnO或Cr2〇3的第七副成分;以及 含有Al2〇3的第八副成分, 相對於上述主成分1〇〇摩爾的第一副成分、第七副成 分、第八副成分的比率為: 第一副成分:0· 2〜0· 75摩爾; 第七副成分:ο.1〜0·3摩爾(其中,,第七副成分的摩 爾數量係以Μη元素或Cr元素換算的比率); 第八副成分·· 0· 5〜4摩爾(其中,4除外), 上述第-副$分所含有的Mg元素與上述第七副成分所 含有的Μη元素、Cr元素之摩爾比例為〇.k(Mn+Cr)/Mg別.5 的關係。 9.如申請專利範圍第8項所述之介電質陶竟組成物,其 中相對於上述主成分100摩爾的第二〜五副成分的比率為: 第二副成分:2〜10摩爾; 第三副成分:〇· 01〜〇· 5摩爾; 第四副成分·· 0.5~7摩爾(其中,第四副成分的摩爾數 量係以R1單獨的比率); 第五副成分:〇〈第五副成分$5摩爾。 10·如申請專利範圍第8項所述之介電質陶瓷組成物, 其中,第六副成分更包含R2的氧化物(其中,R2係從Y、Dy、 2030-7351-PF 52 1275582 Ik Ho、Tb、Gd與Eu中選擇出至少一者),上述第六副成分的含 有量相對於含有鈦酸鋇的主成分100摩爾係9摩爾以下(其 中’第六副成分的摩爾數量係R2單獨的比率)。 11·如申請專利範圍第1〇項所述之介電質陶瓷組成 物’其中,第四副成分與第六副成分的合計含有量相對於 含有鈦酸鋇的主成分100摩爾係13摩爾以下(其中,第四副 成分與第六副成分的摩爾數量係{^與”單獨的比率)。 φ 12·如申請專利範圍第8項所述之介電質陶莞組成物, 其中,上述第一副成分更包含從CaO、Ba〇與SrO選擇出的至 少一者以上。 ’ 13·如申請專利範圍第8項所述之介電質陶瓷組成物, 其中’上述第二副成分係從Si〇2、M0(其中,Μ是從Ba、Ca、 Sr與Mg中選擇出的至少一者的元素)、[“ο以及B2⑴選擇出 的至少一者所代表。 14· 一種電子元件,具有由介電質陶瓷組成物所構成的 φ 介電體層,上述介電質陶瓷組成物包括: 含有鈦酸鋇的主成分; 含有從MgO、CaO、BaO與SrO所選擇的至少一者的第一 副成分,· 作為燒結助劑的功能之第二副成分; 含有從V2〇5、Mo〇3與W〇3所選擇的至少一者的第三副成 分’· 含有R1的氧化物(其中,R1為從Sc、Er、Tm、Yl^Lu 所選擇的至少一者)的第四副成分; 2030-7351-PF 53 1275582 含有CaZr(h或CaO+Zr〇2的第五副成分;以及 含有A的氧化物(其中,a係6配位時的有效離子半徑在 0· 065〜0· 08 5ηπι的範圍之陽離子元素群中選擇的至少一者) 的第八副成分, 相對於上述主成分100摩爾的上述第八副成分的比率 為〇〜4摩爾(其中,〇與4除外,換算成入氧化物的值)^ 15.—種積層陶瓷電容,具有由介電質陶瓷組成物所構 成的介電體層與内部電極層交互積層的電容元件本體,上 述介電質陶瓷組成物包括: 含有鈦酸鋇的主成分; 含有從MgO、CaO、Ba〇與Sr0所選擇的至少一者的第一 副成分; 作為燒結助劑的功能之第二副成分; 含有從V2〇5、Mo〇3與ff〇3所選擇的至少一者的第三副 分; 一田 含有㈣氧化物(其中,R1為從Sc、Er、Tm、Yt^u 所選擇的至少一者)的第四副成分; 含有CaZr〇3或ca〇+Zr〇2的第五副成分;以及 含有A的氧化物(其中,A係由A卜Cr、以、^之陽離子 元素群中選擇的至少一者)的第八副成分, 相對於上述主成分灣爾的上述第八副成分的比率 *摩爾(其中,G與4除外’換算成A氧化物的值)。 16.如申請專利範圍第15項所述之積層陶竟電容,其 中’相對於上述主成分1〇〇摩爾的各副成分比率係: 2030-7351-PF 54 1275582 :〇· 1〜3摩爾; 1〜10摩爾; :0· 〇1〜0. 5摩爾; :0· 5〜7摩爾(其中,第四副成分的摩爾數 比率); 第五副成分:0〈第五副成分<5摩爾。第一副成分 第一副成分 第^副成分 第四副成分 量係以R1單獨的 17·如申清專利範圍第16項所述之積層陶瓷電容,其 中第/、田彳成分更包含R2的氧化物(其中,R2係從Y、Dy、 Tb ^與Eu中選擇出至少一者),第七副成分更含有 上述第六副成分的含有量相對於含有鈦酸鋇的主成分 1〇0摩爾係9摩爾以下(其中,第六副成分的摩爾數量係R2 單獨的比率); 上述第七d成分的含有量相對於含有鈦酸鋇的主成分 100摩爾係〇· 5摩爾以下。 18.—種電子元件,具有由介電質陶瓷組成物所構成的 介電體層’上述介電質陶瓷組成物包括: 含有鈦酸鋇的主成分; 含有MgO的第一副成分; 作為燒結助劑的功能之第二副成分; 含有從V2Ch、Mo〇3與WCh所選擇的至少一者的第三副成 分; 含有R1的氧化物(其中,R1為從Sc、Er、Tm、Yb與Lu 選擇的至少一者)的第四副成分; 2030-7351-PF 55 K75582 含有CaZr〇3或CaO + ZrCh的第五副成分; 含有MnO或Cr2〇3的第七副成分;以及 含有A1之氧化物的第八副成分, 相對於上述主成分1 〇〇摩爾的第一副成分、第七副成 分、第八副成分的比率為: 第一副成分·· 0.2〜0.75摩爾; 第七副成分·0· 1〜0· 3摩爾(其中,第七副成分的摩爾 數量係以Μη元素或Cr元素換算的比率); 第八副成分:0· 5〜4摩爾(其中,4除外), 上述第一副成分所含有的Mg元素與上述第七副成分所 含有的Μη元素、Cr元素之摩爾比例為〇·3以Mn+Cr)/Mgd.5 的關係。 19· 一種積層陶瓷電容,具有由介電質陶瓷組成物所構 成的介電體層與内部電極層交互積層的電容元件本體,上 述介電質陶瓷組成物包括: 含有鈦酸鋇的主成分; 含有MgO的第一副成分; 作為燒結助劑的功能之第二副成分; 含有從V2〇5、Mo〇3與ff〇3所選擇的至少一者的第三副成 分; 含有R1的氧化物(其中,R1為從Sc、Er、Tm、Yl^Lu 選擇的至少一者)的第四副成分; 含有CaZr〇3或CaO+Zr〇2的第五副成分·, 含有MnO或Cr2〇3的第七副成分;以及 2030-7351-PF 56 1275582 含有A1之氧化物的第八副成分’ 相對於上述主成分100摩爾的第一副成分、第七副成 分、第八副成分的比率為: 第一副成分:0. 2〜0. 75摩爾; 第七副成分:0. :1〜0· 3摩爾(其中,第七副成分的摩爾 數量係以Μη元素或Cr元素換算的比率); 第八副成分:0· 5〜4摩爾(其中,4除外), 上述第一副成分所含有的Mg元素與上述第七副成分所 含有的Μη元素、Cr元素之摩爾比例為〇. 3S(Mn+Cr)/MgS〇. 5 的關係。 20·如申清專利範圍第19項所述之積層陶究電容,其 中’相對於上述主成分100摩爾的第二〜五副成分的比率為· 第二副成分:2〜10摩爾; 第三副成分:〇.〇1〜〇· 5摩爾; 第四副成分:0.5〜7摩爾(其中,第四副成分的摩爾數 量係以R1單獨的比率); 第五副成分:〇〈第五副成分2 5摩爾。 21.如申請專利範圍第2〇項所述之積層陶究電容,i 中’第六副成分更包含R2的氧化物(其中,R2係從γ ?、 H〇、Tb、Gd與Eu中選擇出至少一者),上述 二 (其中,第六副成分的摩爾數量係R2單獨的比率)。 2030-7351-PF 57
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