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TW483035B - Process monitoring system for lithography lasers. - Google Patents

Process monitoring system for lithography lasers. Download PDF

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Publication number
TW483035B
TW483035B TW090103445A TW90103445A TW483035B TW 483035 B TW483035 B TW 483035B TW 090103445 A TW090103445 A TW 090103445A TW 90103445 A TW90103445 A TW 90103445A TW 483035 B TW483035 B TW 483035B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
laser
data
patent application
scope
item
Prior art date
Application number
TW090103445A
Other languages
English (en)
Inventor
Parthiv S Patel
Joseph E Conway
Muljadi Tantra
Jeffrey W Moen
Jason R Carlesi
Original Assignee
Cymer Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US09/505,233 external-priority patent/US6408260B1/en
Application filed by Cymer Inc filed Critical Cymer Inc
Application granted granted Critical
Publication of TW483035B publication Critical patent/TW483035B/zh

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Description

3035 A：
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
本發明係有關監視系統，尤指雷射之監視系統。 積體電路製造典型係使用平版印刷程序達成、其中係 使用-步進器或掃描器機器，在矽晶圓上印製積體電路: 在最新之製造廠中，此種平版印刷程序之光源係激元雷 射，大部分為窄帶KrF激元雷射，工作波長約248nm。未來 在工業界將可改採用解析度較248nm為佳，工作於約i93nm 之ArF激元雷射及工作於約152nmiF2激元雷射。 由於製造線包括步進器/掃描器機器及其相關雷射光 源皆相當昂貴，所製造積體電路價值很高，積體電路製造 線通常幾乎連續工作，”跟著時鐘，，，一天24小時，每周七 天，每年365天，且儘量使維修停工時間縮至最短。因此， 花費很大心力在建造及維修製造線設備，包括激元雷射， 以使停工時間降至最少，特別是非排定之停工時間。使平 版激元雷射之“停工時間”遠低於1 %。 另外’在這些製造線上生產之積體電路品質與雷射產 生之雷射光品質有相當大的關係。 上述波束通常為窄線型及每一脈波能量須小心控制。 通常需監視每一脈波之中心線波長，帶寬及脈波能量之波 束品質規格參數，其中最新之平版雷射之工作脈波率為每 秒1，000及2，500脈波之間。典型KrF激元雷射之波束規 格如下： 波長變化（在30脈波窗内） =土 0 . 07pm 波長sigma(即標準偏差） =± 0 · 06pm τ 見（小於） =土 0 · 6pm 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 痛 * --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483035 A7 五、發明說明（2 ) 劑量變化（在30脈波窗内） =土 〇 · 4百分比 能量標準偏差量（在30脈波窗内） =土 12百分比 --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 能量變化（在30脈波窗内） =土 7 · 5百分比 這些規格係品質標準類型，用來測定雷射性能是否通 過雷射工廠出廠前之可接受測試。 在積體電路製造線工作時，能量，中心波長，及帶寬 需加以監視，及能量與中心線波長係以自動電腦的回授控 制加以控制。製造線作業員可用各種方法來控制雷射波束 品質及決定何時須調整，維修或置換設備。通常很難決定 這些波束品質什麼時候劣化，因為，停工維修會造成製造 線損失’使積體電路的單位生產成本升高。但另一方面， 以不理想的波束品質繼續生產則會造成品質的下降。 i線· 經 濟 部 智丨 慧 財 產 局 員 工 消 費- 合 作 社 印 製 美國專利號碼5，646，954(併此供參考）揭示一先前技 藝維修策略控制系統及監視方法，以改善激元雷射平版印 刷光源之性能可靠度。此系統使用微處理器來監視雷射脈 波並根據使用值預測維修及設備置換之排程。平版印刷雷 射通常建造成模組式樣，使整個模組在故障時可快速置換 備用模組。然後再將置換下來的模組送回工廠。可再用之 且件再生使用於新製造的模組内。此種模組例如包括室模 組’包含雷射室及相關元件，穩定化模組包含一波量表， 用以穩定雷射波束之波長及脈波能量，及一線窄化模組 (LNM)用以窄化雷射波束並控制波束波長。 雷射波束品質的控制對維持高品質積體電路生產相當 重要。最新之平版雷射’如KrF激元雷射包含三個資訊控 A7
483035 五、發明說明（3 ) ·· 制-資料埠： (1) 一步進器/掃描器埠，供步進器/掃描器電腦控制器 發出擊發指令至雷射雷腦。 (2) —串列埠供一類似划漿形狀之雷射控制裝置，稱為 划漿’作業員可經由其發出一串列指令至雷射，控制如目 標波長，m量之控制雷射參數，或調整如氣體混合物 參數。 (3) — RS-232診斷埠供現場工程師收集雷射電腦之參 數資料。 目前典型收集及處理平面印刷雷射之製造廠程序包含 以下步驟： a) 雷射工廠現場工程師每一周實際下載平面印刷雷射 資料。 b) 將此資料儲存成ASCII平面檔，然後以emaU送至雷 射工廠作進一步處理。 c) 此email基程式已使用三年，用以分析。爪州之資料檔 語句並儲存於伺服器中。 d) 此資料由有經驗之工廠技術支援人員加以審視/調 整其中之失誤。 e) 由使用者根據SQL伺服器資料庫產生特別查尋，進 行歷史分析。 f) 整個程序需要時間（即有些查尋需7至8分鐘來處理）。 由於目前程序本質上係以人工進行，存在有以下限制： a)現場工程師必須每周親自在積體電路製造廠清淨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^ ----·-------I--訂-----I I--線 (請先閱tt背面之;i意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五 經濟部智慧財產局員工消f-合作社印？衣 A7 ' ----— R7___ 發明說明（4 ) 〜 $境中下載此資料。因此’此程序無法每天進行，須配合 客戶/現場工程師的排程。資料目前都是每周收集一次。口 b)資料並非即時取得，處理時已超過一星期以上。 0無連續狀態報告 d) 需要訓練現場工程師以正確格式下載資料。 e) 對相關人員無自動示警。 f) 整個程序在操作這些雷射機器時有不確定感，對雷 射供應商及製造廠而言代表相當的製造成本。 因此需要一較佳之系統來監視平面印刷雷射。 本發明提供一種系統，用以監視積體電路製造廠之平 面印刷雷射。每一製造廠之每一雷射結合有一終端伺服 态。對於每一製造廠，一中央控制伺服器單位係經由一區 域網路與每一雷射通訊。雷射資係由中央控制伺服器單位 收集，及其資訊係用來提供摘要資訊，以網站格式供具有 進出授權之相關團體使用。 本發明主要功能係在資料取得。監視雷射記錄大量的 資料。如，每一雷射脈波須監視脈波能量，波長，帶寬及 充電電壓。由於新的雷射一般工作於2〇〇〇hz約20百分比責 務周期，光這些參數每秒就收集1600個數值，且因工作隨 著時鐘轉不停，此資料每天累積至約1 3 8百萬個主要雷射資 料數值。所計算數值包括小資料群之波長及脈波能量二者 之標準偏差值。雷射亦計算指定脈波，稱為脈波“窗”，之 劑量變化值。另外，其他雷射參數須經常監視，並視需要 經常記錄。這些其他參數包括各種溫度值，雷射氣壓及風 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） I--------t---------^ ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483035
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
/、里的平面印刷雷射係工作於叢波模式，其中產生（即 照明晶圓上單-染料）有短叢脈波（如細㈣波），接著 錢分之—秒的時間供步進器或抑ϋ移動至另-不同的 染點。在晶圓上所有染點照明之後，有數秒較長的惰工時 間，以便將新晶圓置人定位。雷射監視此種式樣，而本系 統能在惰X時記錄每—叢波每_脈波之㈣資料。另外尚 有所需之摘要，編譯，報告，報表，用以集合或比較可計 算及儲存之資料，並以幾乎即時的方式提供周知。 圖表包括： 1) 每一雷射工作時間（或停工時間）月報表 2) 每一雷射工作時間之責務周期 在置換上個工作箱之後的每一工作箱積體脈波計數 4)每一雷射在特定時間期間：波長監視，波長標準偏 差量’平均帶寬，劑量變化，能量標準偏差量及能量變化。 第1圖係本發明較佳實施例之一般規劃圖。 第2至5圖係本發明原型實施例所產生之典型網頁電腦 列印影印之一般外觀。 本發明第一實施例可參考圖示來說明。第1圖係積體電 路製造廠監視平面印刷雷射之監視系統程序的一般外觀。 雷射2在此較佳實施例中係激元雷射，在特定積體電路 製造中係由如Cymer5000系列及Cymer6000系列KrF型雷射 組成之約20台雷射，可由加州聖地牙哥Cymer提供。這些 平面印刷工作於約1000Hz或2000Hz重複率，產生每一脈波 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
% --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -n Αϋ * 483035 A7 B7 Φ 經' 濟 部 智― 慧 財 產 局 員 X 消 費 合 社 印 製 五、發明說明（ 約1 OmJ。這些是掃描器及步進器機器的紫外線光源，用以 在矽晶圓上製造積體電路。 一 RS-232C介面埠4提供雷射控制及監視設之間的通 訊，如第1圖示。 每一雷射結合有具有一獨一網際網路位址之終端伺服 器6。在較佳實施例中，終端伺服器6係一標準伺服器，型 號LE995A0R3，由 Blackbox，Inc。提供。 在此較佳實施例中，形成本系統一部分之每一積體電 路製造廠係由一單一製造廠中央控制伺服器8服務。伺服器 8經由製造廠的區域網路（LAN)7與各雷射2通訊，如第1圖 示。較佳之最低需求如下： 處理器Pentium700MHz或以上，雙處理器系統 RAM ： 2Gb 硬碟：4 0 0 G b UPS(不斷電電源） 備用磁帶驅動-400Gb 由HP提供之HPLH6000系列係一較佳伺服器，符合這 些需求。 上述系統可滿足製造廠以下需求： a) 資料可儲存六個月以上 b) 雷射數量為20或以下 如第1圖所示之較佳配置中，製造廠作業員在其通訊網 路及外面世界之間建立一製造廠防火牆12，防止未授權者 進出其LAN之資訊。雷射工廠在此情況須負責確保雷射2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 9 ------I I ^ · I--I I I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483035
經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 五、發明說明（7 ) ·· 符合性能標準，及有合約義務允許有限度進出製造廠監視 系統所收集的雷射性能資訊。此有限度進出隸由網際網 路提供（雷射工廠與製造廠操作員之間的協議）。但這兩個 組統都有提供製造廠防火牆12與工廠防火牆u。 因此在特別之輸佳實施例中，有些資料類型（先前協議 者）可用網站型格式儲存於伺服器8並由工廠藉工廠網際網 路伺服态16下載至工廠設施中，數個中央處理單位（未圖示） 之一。 本較佳實施例中之中央控制伺服器8係利用以下商用 套裝軟體： a) 作業系統-Linux6 · 2豪華版XI1R6 b) 資料庫儲存與擷取-Oracle8I標準版 c) 網伺服器-T〇rncat3 · 1版
LinuxCVS/RCS程式可用來程式化此種應用之Linux作 業系統8。
LinuxCVS/RCS程式係用來程式化Linux作業系統8作 此應用。使用一 GNU組產生一程式庫，允許各種程式模組 化。程式程式庫包括：共用程式庫，靜態程式庫及動態載 入程式庫。 作業系統8之軟體宜以模組式樣產生。有四種主要軟體 模組：資料取得模組，語句分析器模組，資料庫模組及使 用者介面模組。 資料取得模組之組成有一組程式，用以執行收集雷射2 資料任務及將資料送至語句分析器模組作進一步處理。其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 10 l·----------J--—— — — — —I— ^ . I I------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483035 經濟部智慧財產局員上消f*合作社印製 A7 ________B7 _ 五、發明說明（8 ) · 通訊係經由終端伺服g|6及RS232C介面4進行，如第1圖示。 資料取得模组包含以下軟體元件： •雷射讀取及寫入 •指令寫入至雷射 •指令寫入佇列 •自雷射讀取資料 •主排程器 •語句分析器程式介面 •資料庫寫入佇列 •系統錯誤記錄及錯誤伺服程式 第一模組係由套件通訊讀取與寫入程式組成。寫入程 式輸出指令至雷射。讀取程式自雷射取得響應及資料。一 主排程器模組在可組態周期期間呼叫寫入程式。讀取程式 呼叫係視裝置的響應資料可用性而定。每一寫入工作會啟 始裝置的資料響應。在成功取得或讀取工作時間超過之 前，不可對相同裝置進行下個寫入工作。 一套件連接係由Linux至終端伺服器。由主排程器將指 定寫入至套件。 一較佳之裝置指令表如下所示：
GetConfiguration(取得組態） 雷射控制系統使用可組態資料訂作系統工作。例如， 重填工作時氣體量，許多雷射元件的老化，雷射序號及許 多其他包括於組態資料中之參數。由“取得組態，，指令收集 此資訊。 Μ氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱 ^ · I------t------I--*5^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483035 A7 B7 五、發明說明（9 ) ·
GetDiagnostic(取得診斷） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在雷射中，感知器監視雷射性能。周期性的，控制模 組讀取感知器並更新用來儲存感知器讀取資料之記憶位 置。診斷讀取資料包括參數，如雷射内溫度及冷卻水流率。 GerErrors(取得錯誤） 當雷射偵測到示警或錯誤時，在手握式終端機顯示訊 息，並將警示/錯誤碼記錄於保留記憶段。每一記錄輸入含 警示或錯誤碼號碼，發生錯誤日期及時間，及造成錯誤之 參數。雷射可儲存50個警示（即使用MCS版1。64或更新版 本的話）或以上。
Get Status(取得狀態） 狀態資料係由來測定雷射性能之參數，如重複率，能 量模式，觸發模式及叢波計數。
GetShotdata(取得射擊資料） 每一次雷射擊發，以下資訊係儲存於主要控制板上： •脈波能量 •高電壓設置點 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •波長 •帶寬
GetAveragedShotdatal K(取得平均射擊資料 1 K) 這是取1000個脈波平均之射擊資料 GetAveragedShotdatal00K(取得平均射擊資料 100K) 這是取100，000個脈波平均之射擊資料 GetAveragedShotdatal00M(取得平均射擊資料 100M) 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 這是取100, 000, 000個脈波平均之射擊資料 GetFringeData(取得邊緣資料） 邊緣資料係一單一雷射射擊之1024位元組分布代表， 用來作波長校準用。與其他資料類不同的是，有效邊緣資 料僅能在雷射擊發時下載。 '
GetAll(取得全部） 此指令取得以上所有資料。 雷射軟體健存指令文字，直至遭遇到終止信號為止。 然後由軟體收集並將資料送至中央控制伺服器單位。 M濟部·智慧財產局員X消費合作社印制衣 主要排程於排程時間送出指令至一寫入佇列。另外， 一交互作用使用者或另一控制程式可送出指令至指令寫入 佇列。寫入佇列使用一先入先出結構，並將指令送出至使 用套件之裝置。指令係送出至指定之特定雷射。除非在前 一指令已完成或出現時間超過，否則不可送出下個指令至 相同的裝置。語句分析器資料係aXML格式檔送至呼叫程 式。檔案處理器傳回一傳回訊息佇列至呼叫程式。主排程 器並不需要傳回之資料。傳回之資料接著送至一資料庫寫 入佇列，以上載所收集資料至資料庠内。 每一指令係響應雷射之資料才送至每一雷射。在完成 接收前一指令之資料響應後，才能將接續的指令寫入至雷 射。：¾雷射無響應，出現時間超過，終止資料讀取程式， 並將輸入附在系統錯誤記錄中。資料係利用套件連接自終 端伺服器中讀取。終止列印指令表示每_資料響應的終 了。語句分析器應用可將整個資料響應以一資料組來處 13 本紙張尺度巾闕家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱了
理。此處主要差異在只有第_個資料組才有雷射1〇。為了 資料讀取程式的資料有效性，將資料處理成可列印之 ASCII文字的長字串。一不可列印之八8(：11文字表示資料損 壞，而其資料組則將遭捨棄並輸入系統錯誤記錄中。有效 資料則通過至語句分析器程式，準備進行f料庫載入或供 互作式使用者閱覽。其他呼叫寫入佇列模組之程式 到語之XML格式的資料。 主排程器程式排程各種指令於先前組態之時間期間寫 入雷射。使用者利用一使用者介面螢幕（網站上）保持指令 頻率。指令寫入工作至雷射會產生一資料響應。匕化以標^ ••c_”可用來作為主排程器。提供_使用者介面供劉覽及 修改“crontab·，檔。一般使用者用戶即可執行這些以仙工作。 當一雷射讀取程式有一完整資料組響應指令時，即呼 叫語句分析程式。若在時間超過時響應資料仍未完整或損 壞’則將其捨棄。㈣，所讀取之雷射響應將健存於一硬 碟緩衝器。 語句分析程式分析此資料，依預先界定文法語句分析 資料並準備將其載人至資料庫。語句分析程式然後 發出一資料庫寫入請求至資料庫寫入工作佇列。 語句分析器之資料庫寫入請求係儲存於工作佇列中。 載入指令係根據一資料庫SQL裝載器能力來啟始。一段期 間的輸入資料速率須能非同步完成所有資料庫寫入請求。 資料庫寫入提出一工作至批次仔列。提供指令至監 視，刪除及加入新工作至批次佇列。當工作終止時，輪
— -Γ --------^---------線 — (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 14 發明說明（12 )' 出值可顯示_成功或—錯誤。可使用Li^作業系統殼式腳 本執行批次工作的非同步工作控制。此工作係要在本地外 殼下的背景執行，及殼式在工作改變狀態時，會通知主程 式。當佇列細部程式使用在更傳統批次處理環境中時，其 結係經由emaU傳回給使用者。這些結果另傳至適當的成功 或錯誤記錄檔中。 應用會在以下情況產生錯誤記錄輸入： •無裝置之指令響應 •超過時間的不完整裝置響應 •裝置損壞響應 •由於破壞單獨鍵之資料庫載入錯誤，即有資料存在 •由於一不完整的载入檔所產生的資料庫載入錯誤 由於資料庫故I：早或其他系統問題所產生之資料庫載 入錯誤 監視致命及非致命錯誤，並將適當警示顯示於系統之 監視窗中。可能需要或不需要一分離之系統錯誤伺服器。 任何新致命或非致命錯誤出現都會觸發警示，並根據其類 別及錯誤計數顯示於監視幕。 宜有一模擬程式無需測試雷射即可測試上述之模組。 此種模擬程式須模擬裝置響應各種指令，包括不完整響 應，缺少響應，及其他錯誤條件。模擬程式宜執行於低電 力’低速度使用紅帽Linux6。2之個人電腦（ρ〇中。利用 RS232C介面連接至黑盒精實終端伺服器（BBts)。pc儲存 並模擬每一可能指令的所有標準響應。開始時，傳回一扁 483035 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 A7 五、發明說明（13 ) 平響應。可提供一外部應用程式介面至指令寫入佇列並語 句分析輸出，其說明如下： 才曰令寫入佇列：可接受cron排程器指令，一互作式網 際網路使用者或一外部程式。當該雷射最後指令已完成 %，可佇列指令及寫入至一特定雷射。呼叫程式將指令， 裝置識別符及呼叫程式來源傳送至指令寫入佇列。 資料讀取佇列··當資料已自雷射讀取，將其傳至語句 分析器。語句分析器分開成不同的場，插入時戳及其他標 題，並準備如列在資料庫計劃中之記錄。資料讀取佇列含 檔案指標器及呼叫程式之傳回位址。呼叫程式自資料讀取 佇列拾取資料。 資料庫寫入佇列··周期性cron指令可請求資料庫要取 得及載入之特定指令資料。SQL載入器格式之語句分析器 輸出將提供至Dbwrite佇列。此佇列處理SQL載入器的呼叫 並適當載入資料。 可利用以下之佇列機制·· 1 · Linux殼式佇列及GNU佇列程式 2 · TIBCO佇列應用 3 ·配合Linux技術發行之IBMMQ系歹ij 語句分析器模組以適當式樣產生所需之數位資訊，以 正確處理所取得之資料，並加以儲存及擷取。在較佳之配 置中，資訊係正確的語句分析為12分類：
1 ·標題包含指令反雷射S/N 2 ·用以識別工廠資料之細節 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 16 ί ^ , ·*—--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 483035 A7 B7 五、發明說明（14) ·· 3 . xml 4 ·設備識別 5 ·資料組識別 6 ·順序 7 ·通用獨一識別符 8 ·資料組曰期 9 ·全球時間碼偏置 1〇 ·連接器類別
11 ·語句分析器狀態之程序ID 12 ·警示或錯誤訊息之記錄名稱 網頁係以HTML頁建立顯示伺服器8，如第1圖示。使 用標準HTML標籤產生這些網頁。由於這些HTML網頁含有 擷取自資料庫之動態資料，建議使用Java伺服器頁技術（與 小伺服器一起使用）。選用此種技術之理由如下： 1 · JSP採用Java及相關技術，且已成為工業標準。故 有許多廠商支持並有良好品質的支持。對後續版本發展亦 較容易。 M濟部·智慧財產局員.工消費合作社印製 2 · Tomcat係JSP及小伺服器之引擎，可由
Apache(http · Jakarta · apache · org/tomcat/index · html)取 得，目前與Apache網頁伺服器整合成一體。 3 ·將來發展成要顯示裝置性能資料於手持裝置時，可 利用與Apache網頁伺服器整合之Xalan技術達成。 未來，Java平台係一獨立，安全，網路語言易通，即 採用··寫一次，到處可執行”原則。未來移植至不時， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格---- 483035 A7 Β7 員 製 五、發明說明（I5 ) 無需再編釋任何前端碼。 為了支持以JSP產生HTML網頁，Javabeans即設計成可 支持這些網頁顯示所需之資料。每一 JSP宜有一 javabean用 來載入資料’執行任何資料處理及將資料儲存回至資料 庫。須確忍適當方法，顯示及資料處理才能正確的在Jsp 與Javabean之間加以分離。 為進出資料庫擷取/儲存資料，JDBc技術可使用於 Javabean中。有許多好的純JavaJDB(：伺服器可供性能良好 之Oracle(level4伺服器）使用。另外，使用預先準備之宣告 了加強##執行之查尋性能。如前述，javabean含有所有 進出貧料庫的邏輯。為了進一步強化其性能，這些Javabe抓 須取得連接群中與資料庫的連接。連接群會將連接再循環 於貝料庫各啤叫之間，防止經常打開及關閉相當昂貴的連 接。連接群之設計可其參數可由外部以文字樓加以控制。 有些連接參數如：可使用連接之次數，在不動作時間期間 過後連接即回歸連接群等。須；主意可能以xml網頁取代 ML，周頁（由JSP)，故其貧料能顯示於各種使用適當板型 之裝置中（掌上導引，行動電話，瀏覽器等）。 顯示之網頁宜有以下·· I ·行政管理網頁-此網頁可用來管理與特別伺服器連 接之裝置群。行政管理功能包括將裝置加入至網路’組態 資料收集參數等。 ^ 2. 中央網頁-顯示所有連接於特定伺服器之雷射狀態。 3. 摘要網頁·顯示有關特定雷射模式之資料。資料類 本紙張尺度適 1 _ 4+ _A4規格⑵G χ撕^ (請先閱請背面之注意事項再填寫本頁) --------^---------ΜΙΚ----1--------I---------- A7 五、發明說明（Ιό ) 部 智- 慧 局 員 消 印 別可為雷射模式之蓄積， 、次+均。亦顯示有須有今後五個月 中母周須置換之組件數量 4 ·设備控制網頁-顯示有關特定雷射ID之使用情況， 維修及置換排程等。 5 .服務記錄網頁·特定雷射ID資料係由服務人員輸 ::有關停工細節，組件置換及備註皆輸入於此網頁中 這疋在目前計劃中兩網百 — 周頁之一’用以接受網頁使用者之 料亚儲存於資料庫（另一個則為行政管理網頁）。 齡二抓:：计私序控制)網頁·顯示特定裝置id之各種參 π見’能:tslgma等）之\條及範圍圖表。並且顯示在過 去五天所記錄之錯誤及警示記錄。 7·錯誤網頁-特定裝置ID之錯誤及警示。 8 ·備註網頁-每一裝置ID(由EC提供）。 9·組件置換-每一裝置m(由Ec提供）。 !〇·互作式使用者指令網頁·使用者亦可 雷射資料取得指令，如GA，GE，GD等㈣百 12 寺。此網頁有一選擇 盒用以選擇指令類別及-按紐用以提出此指令。—當指 提出’所收集之列資料將列表顯示。 另外，這些網頁有些含有標戧，用以顯示不同類型 資料。例如，摘要網頁可分成四個標鐵，稱為可消費成本， 裝置=產率’裝置性能及置換排程。將複雜之網頁分成個 別之標織（在㈣以分離網頁施行）可達成較快的性能，因 為圖表的計算可分散至各網頁中。 提供計劃之基地網頁。使用者可點選所要之裝置①區 令 之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公爱 資
丨裝--------訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -n n 1· ϋ ϋ n - 483035
五、發明說明（丨7 ) (EC，服務記錄等）。由本網頁進人個別之雷射或 至摘要網 頁。 一各網頁至其他網頁宜有多數鏈接。而且，在網頁内， 顯不之食料’有關特定雷射ID之細節或顯示有關特定雷射 模式或可由落下式表單中選擇模式。此事件將觸發所顯示 特定ID(或模式）之資料。 ' 目前’可顯示過去六個月之所有歷史資料。未來可加 強提供使用者較長時間（9個月，丨年等）之選擇。也許此計 劃大多數顯示資料最重要的格式係使用圖表。圖表必須加 在伺服器側，且顯示於劉覽器上。為了達成此目的，可發 展訂製之套裝或加強代理商現有之圖表元件。雖然發展合 適之圖表工作符合所需要的理想，但很費時且昂貴。一些 代理商供應Java圖表套裝元件，如Javabean。例如包括 PowerChart原圖，KL 集團 Jclass 元件（JC圖示），visuaHze，
Inc ·之DataVistaPro · (www · visualizeinc · com)等。 以下係不同類型之圖表，可用以顯示計劃用。 1 ·條形圖 2 ·堆疊條形圖（蓄積資料用） 3 .線條圖表 4 .線條與標準差（hi-lo)標記 5 .分布圖 以下圖表係可顯示之較佳圖表及其圖表類型： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ί .. ， ------------訂---------線 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制农 20 483035 A7 B7 五、發明說明（a)
頁次 圖號 圖表類型 備註 1 摘要 實際工作箱工 作壽命 條形圖表 特定雷射類型之置 換工作箱數量對工1 作壽命之圖表 實際LNM工作 壽命 條形圖表 特定類型雷射LNM 置換數量對工作壽 命之圖表 實際穩定化模 組工作壽命 條形圖表 特定類型雷射穩定 化模組數量置換對 工作壽命之圖表 本月雷射使用 率 條形圖表 特定雷射模式使用 (百萬脈波）對雷射 數量之圊表 每月平均雷射 使用率 線圖 特定雷射模式前六 個月平均使用率之 圖表 每月工作時間 /停工時間 堆疊條形圖 特定雷射模式，工作 時間百分比，前六個 月排程及未排程停 工時間 每月均帶寬及 3sigma範圍 線圖及sigma 之hi/lo點 前六個月特定雷射 模平均帶寬 每月平均能量 穩定化及 3sigma範圍 線圊與 sigmahi/lo 前六個月特定雷射 模式之平均能量穩 定化 錯誤及警示 pareto圖表 條形圖表（蓄 積形線圖） 在前六個月發生之 不同類錯誤及警示 EC 使用 線圖 特定雷射ID在前六 個月之使用（百萬脈 波） SPC X-條形 線圊與UCL及 LCL限制線 特定雷射丨D之帶 寬，能量 sigma， 量錯誤，電壓，工作 箱壓力，溫度，總注 入發射，F2消耗圖表 範圍 線圖與UCL及 LCL制線 與X-條形相同 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消f,合作社印製 需顯示之列表如下； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 21
星期（開始曰期） 星期（開始日期） 要置換之組 件數f __ 顏色編碼細 胞格 -時間U、時） 及百分比。 每周組件置換 排程 估計使用率 (以後五個月） 組件名稱 組件名稱 EC 頁次 摘要 排程之工作時 間。排程/未排 程停工時間 停工/工作 類型 十間 及時比 之分 個月百 三個及 前二
SPC 奸···濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2與3圖之圖表表示上列有些或全部資訊宜加至伺月j 為8所產生之網站，並經由網際網路提供給有授權進出資$ 之相關團體。此可由需要使用者名字及密碼之公知之網巧 網路技術達成。 故在網站伺服器8上之資訊可提供給雷射工廠，並由二 廠計劃維修及置換活動，及觀察是否有設計問題的現象。 資訊亦可提供給製造廠所有人相同公司組織的其他相關運 體。 與外部應用通訊係採用適當XML格式。 此處所說明之系統可讓相關團體，很快及有效率的tt 較數置很大的相同雷射的性能。可讓其識別最佳及最差伯 能的雷射，並且可確認問題及找出改善性能所需之技術輿 作ί數例如，產生一所需脈波能量（即1 〇mj)之充電售 壓，在工作箱定常數氣壓時，會隨氟濃度減少而增加，敌 充電電壓可作為氟濃度之品質量測（工作時並不需實際量 測氟濃度的數量）。因此可在相當寬的充電電壓及氟濃度範 圍内工作，而一般雷射作業員經常對最佳工作範圍亦不甚
--------^---------線· (碕先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 發明說明（20 ) 清楚。在最佳範圍操作很重要，因為波束品質參數係隨氟 濃度及充電電壓的函數而變。利用此系統可在寬範圍的充 電電壓中比較大數量雷射充電電壓與波束品質，有利於識 別提供所需波束品質之充電電壓的最佳範圍。工作箱氣體 壓力亦可對應充電電壓或氟濃度的變化，調整所需之常數 脈波能量’此種調整有助於改善波束品質。 而且此系統可讓雷射程式化，在氟氣重填時收集雷射 波束品質資料’以測定波束品質數值，即以氟氣濃度數量 值為函數，及/或工作箱壓力為函數。此資訊可自大量雷射 中收集，並可提供其他有用的資訊，供建議可產生改良波 束品質的操作範圍。 上述本發明以較佳實施例說明，但須知其中尚有很多 改變及修改仍屬本發明精神。而且在實施例中，雷射工廠 伺服器16係經由網際網路連接至製造廠，用以監視數百部 雷射。例如，第1圖之終端伺服器6可以是一網路卡内建於 雷射2中，此即稱為内建網路卡。因此，本發明須以申請專 利範圍及其法律等效來界定。 483035 A7 _B7_ 五、發明說明（21 )' 元件標號對照 2…雷射 4…介面 6…埠終端伺服器 7…區域網路（LAN) 8…中央控制伺服器 11，12…防火牆 16…網際網路伺服器 •ill.---f--------------^--------I II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 24

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 賴用以體電路製造廠之平面 ，該系統包含%，〆 Α) 一多數雷射，每一部可組態作為積體 印刷程序中之照明源， Β)一終端伺服器與該多數雷射每一部結合： c)一中央製造廠伺服器單位，經由區域網路與該多 數田射每一部通訊；該中央製造廠伺服器單位係程式化 以取得每一該雷射之資料，並以列式樣及/或摘要式樣 至少健存資料一部分； )第一伺服姦經由該弟一伺服器單位與電腦之 間的通訊網路提供通訊，該電腦使用人具有進出該第一 伺服器單位儲存資訊之授權。 2.根據申請專利範圍第1項之系統，其中該多數雷射係窄 帶激元雷射。 3·根據申請專利範圍第1項之系統，其中每一終端伺服器 提供有一獨一網際網路位址。 4·根據申請專利範圍第丨項之系統，其中該第二伺服器係 置於雷射工廠設備處。 根據申請專利範圍第1項之系統，其中該中央製造廠伺 服為單位係以模組式樣產生之軟體程式化，該軟體包 含： (a) —資料取得模組 (b) —語句分析器模組 (c) 一資料庫模組及 — — — — ^— — **1 · I I I I I I I — — — — — — — — — I I I I JS- I < (請先M讀背面之注意事項再填寫本頁)
    483035
    經濟部智慧財產局員Η消費合作社印？衣 六、申請專利範圍 (d)—使用者介面模組。 6.根據申请專利範圍第5項之系統，其中該資料取得模組· 包含軟體元件包含： (a) 雷射讀取及寫入 (b) 指令寫入至雷射 (c) 指令寫入仔列 (d) 讀取自雷射之資料 (0主排程器 (f) 語句分析器介面 (g) 資料庫寫入佇列 ' (h) 系統錯誤記錄及錯誤伺服k:fl式0 :、 7·根據申請專利範圍第1項之系統，其中自該^射取得之 貝料係呈現於由該中央製造廠伺服器單位所產生之網 站0 根據申β月專利範圍第7項之系統，其中自該雷射取得之 。玄貝料係呈現為摘要式樣的圖表。 根據申。月專利範圍第7項之系、統，其中該網站包含網 頁。 1〇·根射請專利職第9項之系統，其中制頁包含： (a) —行政管理網頁 (b) 有關特定雷射之摘要網頁 (c) 維1網頁 (d) 錯 寅 〇，· "·根據申請專利範r第系統，其中該圖表包含： -------------裝--------訂---------線 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁)
    AS B5 cs DS 申請專利範圍 (a) 工作箱工作壽命圖表 (b) LNM圖表 (c) 穩定化模組圖表 (d) 工作時間或停工時間圖表 (e) 維修#猶_毫〇 /λ, 12·根據申請專利範圍第τ項^之系統，其中該通訊網路係一 網際網路。 13·根據申請專利範圍第丨項之系統，其中該通訊網路係一 網内網路系統。 14·根據申請專利範圍第1項之系統，其中該終端伺服恭係 一内建網路卡。 -------l· m,— ^-----------^---------^ IAWI ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 27 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
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