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KR100477301B1 - 리소그래피 레이저를 위한 프로세스 모니터링 시스템 - Google Patents

리소그래피 레이저를 위한 프로세스 모니터링 시스템 Download PDF

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KR100477301B1
KR100477301B1 KR10-2002-7010689A KR20027010689A KR100477301B1 KR 100477301 B1 KR100477301 B1 KR 100477301B1 KR 20027010689 A KR20027010689 A KR 20027010689A KR 100477301 B1 KR100477301 B1 KR 100477301B1
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laser
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lasers
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콘웨이조셉이.
탄트라물자디
모엔제프리더블유.
칼레시제이슨알.
그린로저엘.
왓슨톰에이.
로완크리스토퍼지.
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Abstract

적어도 하나의 집적회로 제조 플랜트에서 리소그래피 레이저(2)를 모니터링하기 위한 시스템이 개시되었다. 각각의 제조 플랜트에서 각각의 레이저(2)는 그것과 연관된 터미널 서버(6)를 갖는다. 각각의 제조 플랜트에 대해 중앙 제어 서버 유닛(8)은 근거리망(7)을 통하여 각각의 레이저(2)와 통신한다. 레이저(2)로부터의 정보는 중앙 제어 서버 유닛(8)에 의해 수집되고 정보는 액세스 권한을 갖는 관련부에 웹 사이트 포맷에 이용가능한 요약 정보를 제공하는 데에 사용된다.

Description

리소그래피 레이저를 위한 프로세스 모니터링 시스템{PROCESS MONITORING SYSTEM FOR LITHOGRAPHY LASERS}
본 발명은 모니터링 시스템에 관한 것으로 특히 레이저를 위한 모니터링 시스템에 관한 것이다.
집적회로의 제조는 스테퍼 및 스캐너 기계가 실리콘 웨이퍼상에 집적회로를 인쇄하는 데에 사용되는 리소그래픽 프로세스를 사용하여 달성된다. 최신 제조 플랜트에서, 상기 리소그래픽 프로세스를 위한 광원은 엑시머 레이저이고 그 대부분은 약 248nm의 파장에서 동작하는 협대역 KrF 엑시머 레이저이다. 미래에, 248nm의 파장 광으로 가능한 것 보다 더욱 큰 해상도가 약 193nm의 파장에서 동작하는 ArF 엑시머 레이저 및 약 152nm의 파장에서 동작하는 F2 엑시머 레이저로 변화하는 업계에 의해 제공될 것이다.
스테퍼 및 스캐너 기계와 이들과 연관된 광원을 포함하는 제조 라인은 매우 고가이기 때문에 그것들이 제조하는 집적회로는 매우 값어치가 있고, 집적회로 제조 라인은 통상적으로 유지보수를 위한 최소한의 정지와 함께 일년 365일 일주일 7일 하루 24시간 거의 쉼없이 동작한다. 그러므로, 다운 시간 특히 예정에 없던 다운 시간을 최소화하기 위해, 엑시머 레이저를 포함하여 제조 라인 장비룰 구축 및 서비싱하는 데에 커다란 노력이 든다. 결과적으로, 리소그래피 엑시머 레이저는 1% 보다 훨씬 "작은 다운"을 가질 것으로 예상된다.
또한 이들 제조 라인에서 산츨된 집적회로의 질은 어느 정도는 레이저에 의해 산출된 레이저 빔의 질에 종속한다. 상기 빔은 라인이 좁고 각각의 펄스의 에너지는 주의깊게 제어된다. 중앙라인 파장, 대역폭 및 펄스 에너지로 된 빔 질 상세사항 파라미터는 현재 리소그래픽 레이저가 초 당 1,000 내지 2,000 펄스의 펄스율로 동작하는 각각의 펄스에 대해 모니터링된다. 통상적인 KrF 엑시머 레이저의 빔 상세사항은 다음과 같다.
파장 변동(30펄스 윈도우 내에서) = ±0.07pm
파장 시그마(즉, 표준 편차) = ±0.06pm
대역폭(미만) = 0.6pm
도우즈 변동(30펄스 윈도우 내에서) = 0.4퍼센트
에너지 시그마(30펄스 윈도우 내에서) = 12퍼센트
에너지 변동(30펄스 윈도우 내에서) = 7.5퍼센트
이들 상세사항은 레이저의 성능이 레이저 제조 플랜트로부터 선적되기 이전에 수용 테스트를 통과하는 지를 결정하기 위해 적용되는 질 표준의 유형에 대한 예이다.
집적회로 제조 라인의 작동 동안, 에너지, 중심 파장 및 대역폭이 모니터링되고 에너지 및 중심 파장은 피드백 젱에 기초한 자동 컴퓨터로 제어된다. 조정, 유지보수 및 장비 교체가 필요한 시기ㅔ 대해 결정하고 레이저 빔의 질을 제어하기 위해 제조 라인의 작동자에 의해 다양한 방법이 사용된다. 아들 결정은 빔의 질이 열화되는 때를 결정하는 것이 어려운 데 이는 수리를 위해 제조 라인을 정지시키는 것은 집적회로의 단가 제조 비용을 증가시키는 제조 손실을 포함하기 때문이다. 한편, 이상적인 빔 질 보다 못하게 계속 산출하는 것은 감소된 질을 갖는 결과가 된다.
미국 특허 제 5,646,954(본 명세서에 참조문헌으로 통합됨)호는 엑시머 레이저 리소그래픽 광원의 성능 신뢰성을 개선하기 위한 종래 기술의 유지보수 전략 제어 시스템 및 그 방법을 설명한다. 이 시스템은 유지보수 및 장비 교체가가 예정되어야 하는 경우 사용 값에 기초하여 예측 및 레이저 펄스를 모니터링하기 위해 마이크로프로세서를 사용한다. 리소그래피 레이저는 모듈러 형태로 구축되어 전체 모듈은 모듈 내부에 고장이 있을 때 마다 예비 모듈로 고속으로 교체된다. 이 교체된 모듈은 공자에 반환된다. 그 내부의 재사용가능한 부품은 새로 제조된 모듈에 재활용된다. 이러한 모듈의 예는 레이저 챔버 및 관련 컴포넌트를 포함하는 챔버 모듈, 레이저 빔의 펄스 에너지 및 파장을 안정화시키기 위한 파장을 포함하는 안정화 모듈 및 레이저 빔의 대역폭을 좁게하고 빔의 파장을 제어하기 위한 라인 협화 모듈(LNM)을 포함한다.
레이저 빔 질의 제어는 양질의 집적회로를 유지보수하는 데에 매우 중요하다. 현재 KrF 엑시머 레이저와 같은 리소그래피 레이저는 다음과 같은 3개의 정보 제어-데이터 포트로 이루어 진다.
(1) 스테퍼/스캐너 컴퓨터 제어기가 레이저 컴퓨터에 방화벽 명령어를 발행하는 스테퍼/스캐너 포트
(2) 레이저 오퍼레이터가 타겟 파장, 펄스 에너지와 같은 레이저 파라미터를 제어하기 위해 레이저에 직렬 명령어를 전송하고 가스 혼합물과 같은 파라미터에 대해 조정하는 소위 패들 또는 패들 형태의 레이저 디바이스를 위한 직렬 포트
(3) 레이저 컴퓨터로부터 파장 데이터를 수집하기 위해 필드 엔지니어에 의해 사용된 RS-232 진단 포트
레이저 제조자에 의해 리소그래피 레이저로부터 데이터를 수집하여 처리하기 위한 전형적인 현재 프로세스는 다음과 같은 공정을 포함한다.
a) 필드 엔지니어는 레이저 제조자로부터 매주 리소그래피 레이저로부터 데이터를 물리적으로 다운로드한다.
b) 이 데이터는 ASCII 플랫 파일 형태로 저장되어 추가 처리를 이메일로 레이저 제조자에 전송된다.
c) 상기 이메일 기초로 한 프로그램은 3년동안 사용되어 왔고, 이것은 상기 이메일의 데이터 파일을 파싱하여 서버에 저장한다.
d) 이 데이터는 불일치를 위해 경험잇는 공장 기술 지원 직원에 의해 검사/다루어진다.
e) 특별한 질의가 이력 분석을 위해 SQL 서버 데이터베이스의 데이터에 기초하여 사용자에 의해 발생된다.
f) 전체 프로세스는 시간에 영향을 받는다(예를들어 어떤 질의는 처리를 위해 7 내지 8 분의 시간이 걸린다).
다음 제한사항은 현재 프로세스가 본질적으로 수동이기 때문에 존재한다.
a) 필드 엔지니어는 상기 데이터를 매주 다운로드하기 위해 집적회로 제조 공장의 클린 룸 환경에 실제 존재해야 한다. 따라서, 이 프로세스는 말마다 행해질 수 없고 고객/필드 엔지니어에 의해 스케쥴링되어야 한다. 데이터는 현재 매주 수입된다.
b) 데이터는 본질적으로 실시간이 아니며 ㄷ이터가 일주일 이상 된 것이면 처리된다.
c) 연속적인 상태 보고는 없다.
d) 적절한 포맷으로 데이터를 다운로드하기 위해 필드 엔지니어를 훈련시키는 것이 필요하다.
e) 염려스런 인원에 대한 자동 경보는 없다.
f) 전체 프로세스는 이들 레이저 기계를 동작시키는 데에 어느 정도 불확실한 정도를 갖고 있으며 레이저 공급자 및 제조 공장 모두에 상당히 과중한 비용을 나타낸다.
필요한 것은 리소그래피 레이저를 머니터링하기 위한 양호한 시스템이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예의 일반적인 레이아웃을 도시하는 차트.
도 2 내지 5는 본 발명의 대표적인 실시예로 생성된 전형적인 웹 페이지의 일반적인 모습을 도시하는 컴퓨터 프린트아웃의 카피를 도시하는 도.
본 발명은 집적회로 제조 공장에서 리소그래피 레이저를 모니터링하기 위한 시스템을 제공한다. 각각의 제조 공장에서 각각의 레이저는 그와 연관된 터미널 서버를 갖는다. 각각의 제조 공장에 대해 중앙 제어 서버 유닛은 근거리 통신망을 통해 각각의 레이저와 통신한다. 레이저로부터의 정보는 중앙 제어 서버 유닛에 의해 수집되고 정보는 액세스 권한을 갖는 관련 부서에 웹사이트 포맷에서 이용가능한 요약 정보를 제공하기 위해 사용된다.
본 발명의 주요 기능은 데이터 획득이다. 레이저상의 모니터는 방대한 양의 데이터를 기록한다. 예를들어, 각각의 레이저 펄스는 펄스 에너지, 파장, 대역폭 및 충전 전압을 위해 모니터링된다. 최신 레이저는 약 20 퍼센트의 듀티 사이클에서 200Hz에서 동작하기 때문에, 단지 이들 파라미터는 매초 수집된 100 값을 나타내고, 동작은 클록 둘레이기 때문에 이 데이터는 하루 당 주 레이저 데이터의 약 138 백만 값에 이른다. 또한, 레이저는 이 주 데이터로부터 기타 성능 값을 계산한다. 이 계산 값은 작은 그룹 데이터를 위한 펄스 에너지 및 파장의 표준 편차 값을 포함한다. 레이저는 또한 펄스의 "윈도우"로서 참조되는 펄스의 지정 그룹을 위한 도우즈 변동 값을 계산한다. 또한 기타 레이저 파라미터는 빈번하게 모니터링되고 원하는 대로 기록된다. 이들 기타 레이저 파라미터는 다양한 파라미터 값, 레이저 가스 압력 및 팬 속도를 포함한다.
통상적으로 리소그래피 레이저는 스테퍼 또는 스캐너가 상이한 다이 포트로 이동하는 시간인 일초의 몇분의 일인 유휴 시간이 뒤따르는 펄스의 짧은 버스트(200 펄스)가 산출(웨이퍼상의 단일 다이 스폿이 조사되는 시간)되는 버스트 모드에서 동작한다. 웨이퍼상의 모든 다이 스폿이 조사된 후 새로운 웨이퍼가 위치로 이동하는 시간인 수초의 유휴 시간이 있다. 레이저는 이 패턴을 모니터링하고 본 발명은 유휴 시간과 함께 모든 버스트의 각각 및 모든 버스트를 도큐먼팅할 수 있다. 또한 임의 소망하는 요약, 복잡한 것, 보고서 데이터의 집적 및 비교모음인 테이블이 계산되고 저장되어 거의 실시간 기준으로 이용가능하다.
차트는 다음 내용을 포함한다.
1) 매달 기준으로 각각의 레이저에 대한 업-타임(또는 다운-타임)
2) 업-타임 동안 각각의 레이저에 대한 듀티 사이클
3) 마지막 챔버 교체 이후 각각의 챔버에 대한 집적 펄스 카운트
4) 마지막 모듈 교체 이후 각각의 모듈(LNP, 파뤄 서플라이 모듈, 컴뮤테이터 모듈, 압축 리드 모듈, 가스 모듈과 같은)에 대한 집적 펄스 카운트(또는 날들)
5) 특정 시간 간격에서 각각의 레이저에 대한: 파장 모니터, 파장 시그마, 평균 대역, 도우즈 변동, 에너지 시그마 및 에너지 변동.
제1 바람직한 실시예
본 발명의 제1 바람직한 실시예는 도면을 참조하여 설명된다. 집적회로 제조 플랜트의 리소그래피 레이저를 모니터링하기 위한 프로세스의 개략이 도 1에 도시되어 있다.
레이저
본 바람직한 실시예의 레이저(2)는 엑시머 레이저이고, 특정 집적회로에서, 캘리포니아 샌디에고 소재의 사이머 인코포레이티드로부터 상용가능한 사이머 5000시리즈 또는 사이머 6000 시리즈와 같은 KrF 레이저의 모델의 조합으로 이루어 진 대략 20 레이저일 수 있다. 이들 레이저는 펄스 당 약 10mJ의 레이저 펄스를 산출하는 약 1000Hz 또는 2000Hz의 반복율로 동작한다. 이들은 실리콘 웨이퍼상에 집적회로를 산출하는 스캐너 및 스테퍼 기계를 위한 자외선 광원이다.
인터페이스
RS-232C 인터페이스 포트 4는 도 1에 도시된 모니터링 장비와 레이저 컨트롤 사이에 통신을 제공한다.
터미널 서버
각각의 레이저는 고유 인터넷 주소를 갖는 터미널 서버(6)와 연관된다. 바람직한 실시예에서, 터미널 서버(6)는 블랙밧스사로부터 상용가능한 표준 서버 Model LE 995A-R3이다.
제조 플랜트 중앙 제어 서버
바람직한 실시예에서, 시스템을 형성하는 각각의 집적회로 제조 플랜트는 단일 제조 플랜트 중앙 제어 서버(8)로 서브된다. 서버(8)는 도 1에 도시된 제조 플랜트의 근거리 통신망(LAN)을 통해 각각 레이저(2)와 통신한다. 서버에 대한 바람직한 최소 필요조건은 다음과 같다.
프로세서: 펜티엄 700MHz 또는 그 이상, 듀얼 프로세서 시스템
RAM: 2Gb
하드 디스크:400 Gb
UPS
백업 테이프 드라이브-400Gb
상기 필요조건을 충족하는 바람직한 서버는 휴렛 팩커드사로부터 이용가능한 HP LH 6000 Series 계열의 서버일 수 있다.
상기 시스템은:
a) 데이터가 6 개월 까지 저장되고
b) 레이저의 수가 20여개 정도
인 경우의 제조 플랜트에 대해 충분하다.
인터넷
도 1에 도시된 바와 같이 바람직한 배열에서 제조 플랜트는 그 LAN상에서 정보에 대한 무허가 액세스를 보호하기 위해 외부 세계와 그 통신망간에 제조 플랜트 방화벽(12)을 수립하였다. 이 경우 레이저 제조자는 레이저(2)가 성능 표준에 따르는 것을 보장하는 데에 책임이 있고 제조 플랜트에서 모니터링 시스템에 의해 수집된 정보에 제한된 액세스가 허용된 레이저의 성능에 대해 계약상 의무를 갖는다. 이 제한된 액세스는 인터넷을 통해(레이저 제조자와 제조 플랜트의 오퍼레이터 사이에 동의된 바와 같이) 제공된다. 그러나, 두 기관은 모두 제조 플랜트를 위한 11 및 제조자를 위한 12와 같이 도시된 방화벽이 제공된다.
따라서, 특정한 바람직한 실시예에서, 일정 유형 데이터(이전에 동의된)는 웹 사이트 포맷으로 서버(8)에 저장되고 제조자의 시설에서 여러 중앙처리유닛중 임의의 것(도시되지 않음)에 제조자의 인터넷 서버(16)를 통해 제조자에 의해 다운로드될 수 있다.
제어 및 모니터링 프로그램
바람직한 실시예에서 중앙 제어 서버(8)는 다음과 같은 상용 이용가능한 소프트웨어 패키지를 이용합니다:
a) 운영 체제-X11R6을 갖춘 리눅스 6.2 디럭스 버전
b) 데이터베이스 저장 및 검색-오라클 8I 표준판
c) 웹 서버-톰캣 버전 3.1
프로그래밍
리눅스 CVS/RCS 프로그램은 본 애플리케이션을 위해 리눅스 운영체제를 프로그래밍하기 위해 사용된다. GNU 도구모음은 다양한 프로그램이 모듈러 형식이되는 것을 허용하는 프로그램 라이브러리를 생성하는 데에 사용된다. 프로그램 라이브러리는 공유 라이브러리, 스타틱 라이브러리 및 동적 로드된 라이브러리를 포함한다.
중앙 제어를 위한 컴퓨터 프로그램
운영체제(8)를 위한 소프트웨어는 바람직하게 모듈러 형태로 형성된다. 4개의 주 소프트웨어 모듈인 데이터 획득 모듈, 파서 모듈, 데이터베이스 모듈 및 사용자 인터페이스 모듈이 있다.
데이터 획득 모듈
데이터 획득 모듈은 레이저(2)로부터 데이터를 수집하고 데이터를 추가 처리를 위해 파서 모듈에 전송하는 타스크를 수행하는 프로그램 셋트로 이루어 진다. 통신은 도 1에 도시된 바와 같은 터미널 서버(6)와 RS232C 인터페이스를 통하여 이루어진다.
데이터 획득 모듈은 다음과 같은 소프트웨어 성분으로 이루어 진다.
■ 레이저 판독 및 기입
■ 레이저에 기입 명령어
■ 명령어 기입 큐
■ 레이저로부터 데이터 판독
■ 마스터 스케쥴러
■ 파서 프로그램에 대한 인터페이스
■ 데이터베이스 기입 큐
■ 시스템 에러 로그 및 에러 대몬
` 레이저 판독 및 기입
제1 모듈은 소켓 통신 판독 및 기입 프로그램으로 이루어 진다. 기입 프로그램은 레이저에 명령어를 출력한다. 판독 프로그램은 레이저로부터 응답 및 데이터를 획득한다. 마스터 스케쥴러는 구성가능한 주기적 간격으로 기입 프로그램을 호출한다. 판독 프로그램은 디바이스로부터의 응답 데이터의 이용가능성에 종속하여 호출된다. 각각의 기입 동작은 디바이스로부터의 데이터 응답을 개시시킨다. 동일 디바이스에 후속하는 기입 동작은 판독 동작에서 성공적인 획득 또는 타임아웃 값 이전에 시도되지 않아야 한다.
디바이스에의 기입 명령
소켓 연결은 리눅스 서버로부터 터미널 서버로 행해진다. 명령어는 마스터 스케쥴러의 제어하에 기입된다.
디바이스에 대한 바람직한 명령어 리스트는 아래와 같이 주어진다.
구성 얻기
레이저 제어 시스템은 시스템 동작을 최적화하기 위해 구성가능한 데이터를 사용한다. 예를들어, 재충전 동작 동안 가스의 양, 다수 레이저 컴포넌트의 수명, 레이저 일련 번호, 및 다수의 기타 파라미터가 구성 데이터에 포함된다. "구성 얻기" 명령어는 상기 정보를 수집한다.
진단 얻기
레이저 내부에, 센서는 레이저의 성능을 모니터링한다. 주기적으로, 제어 모듈은 센서를 판독하고 센서 판독치를 저장하기 위해 사용된 메모리 주소를 갱신한다. 진단 판독치는 레이저 내부의 온도, 냉각수 흐름율과 같은 파라미터를 포함한다.
에러 얻기
레이저가 경고 또는 에러를 검출하는 경우, 휴대용 터미널에 메시지를 디스플레이하고, 예비 메모리의 섹션에 경고/에러 코드를 로그한다. 각각의 로그는 경고 또는 에러 코드, 에러가 발생한 날짜 및 시간, 에러를 유발한 파라미터를 포함한다. 레이저는 50개 까지의 경고(MCS 버전 1.64 또는 이후 버전을 사용한다면) 및 50개 까지의 에러를 저장한다.
상태 얻기
상태 데이터는 반복율, 에너지 모드, 트리거 모드 및 버스트 카운트와 같은 레이저 성능을 결정하는 파라미터이다.
숏 데이터 얻기
레이저가 파이어링될 때 마다, 다음 정보가 주 제어 보드에 저장된다.
● 펄스 에너지
● 고전압 셋트포인트
● 파장
● 대역폭
평균 쇼트 데이터 1K 얻기
이것은 1000 펄스에 대해 평균된 쇼트 데이터이다.
평균 쇼트 데이터 100K 얻기
이것은 100,000 펄스에 대해 평균된 쇼트 데이터이다.
평균 쇼트 데이터 100M 얻기
이것은 100,000,000 펄스에 대해 평균된 쇼트 데이터이다.
프린지 데이터 얻기
프린지 데이터는 단일 레이저 쇼트에 대한 1024바이트 스펙트럼 표현이고 파장 교정을 위해 사용된다. 기타 데이터 유형과 상이하게, 유효 프린지 데이터는 레이저가 파이어링 하는 동안 단지 다운로드된다.
전부 얻기
이 명령어는 상기 데이터의모든 것을 얻는다.
레이저 소프트웨어는 종료 신호를 만날 때 까지 명령어 문자를 저장한다. 이 소프트웨어는 데이터를 획득하여 중앙 제어 서버 유닛에 전송한다.
명령어 기입 큐
마스터 스케줄러는 명령어를 정해진 시간에 기입 큐에 전송한다. 추가하여, 인터랙티브 사용자 또는 기타 제어 프로그램은 명령어를 명령어 기입 큐에 전송할 수 있다. 기입 큐는 선입선출 구조를 사용하고 소켓을 사용하여 명령어를 디바이스에 전송한다. 명령어는 지정된 바와 같이 특정 레이저에 발행된다. 동일 레이저에 대한 다음 명령어는 이전 명령어가 완료되거나 타임아웃이 발생될 때 까지 싣되지 않아야 한다. 파서로부터의 데이터는 호출하는 프로그램에 XML 파일 포맷으로 전달된다. 파일 핸들러는 복귀 메시지 큐에 의해 호출하는 프로그램에 반환된다. 반환된 데이터는 수집된 정보를 데이터베이스에 업로드시키기 위해 데이터베이스 기입 큐에 보내진다.
디바이스로부터 데이터 판독
각각의 레이저에 전송된 각각의 명령어는 레이저로부터의 데이터에 응답하는 결과로 된다. 후속하는 명령어는 이전 명령어가 완전하게 수신되었다는 데이터 응답 후 레이저에 기입될 수 있다. 레이저로부터 응답이 없다면, 결과 타임아웃은 데이터 판독 프로그램을 종료시키고 시스템 에러 로그에 엔트리를 첨부시킨다. 데이터는 소켓 연결을 이용하여 터미널 서버로부터 판독된다. 폼 피드는 각각의 데이터 응답의 끝을 나타낸다. 파서 애플리케이션은 한 데이터베이스로서 전체 데이터 응답을 취급한다. 여기서 주요 차이는 제1 데이터 셋트가 레이저 ID를 가질 것이라는 것이다. 데이터 판독 프로그램의 데이터 유효화를 위한 목적으로, 데이터는 프린트가능한 ASCII 문자에 의한 하나의 긴 스트링으로서 취급된다. 프린트 불가능한 ASCII 문자는 붕괴된 데이터를 나타내고, 데이터 셋트는 시스템 에러 로그에의 엔트리로 버려지게될 것이다. 유효화된 데이터는 인터랙티브 사용자에 의한 웹 보기 또는 데이터베이스 로딩을 위한 준비로 파서 프로그램에 전달된다. 기입 큐 모듈을 호출하는 기타 프로그램은 파서로부터 XML 포맷으로 데이터를 수신한다.
마스터 스케줄러
이 프로그램은 이전 구성된 시간 간격으로 레이저로의 다양한 명령어 기입을 스케줄링한다. 사용자는 사용자 인터페이스 스크린(웹상의)을 사용하여 명령어 빈도를 유지한다. 레이저로의 명령어-기입 동작은 데이터 응답이되는 결과가 된다. 리눅스 표준 "크론" 유틸리티는 마스터 스케줄러로서 사용되게 된다. 사용자 인터페이스는 "크론탭" 파일의 내용을 보기 위해 및 수정하기 위해 제공된다. 통상적인 사용자 계정은 이들 크론 작업을 실행하기 위해 사용된다.
파서로의 인터페이스
레이저 판독 프로그램은 명령어엥 응답하는 완전한 데이터 셋트를 갖는 경우 파싱 프로그램을 호출한다. 응답 데이터가 타임아웃 주기 후 불완전하거나 붕괴되면, 버려진다. 그렇지않다면, 레이저로부터의 응답 판독은 디스크 버퍼ㅔ 저장되어 진다.
파싱 프로그램은 이 데이터를 분석하고, 소정 문법으로 데이터를 파싱하고 오라클 데이터베이스에 로드하기 위한 준비를 한다. 이 파싱 프로그램은 그후 데이터베이스 기입 작업 큐에 데이터베이스 기입 요구를 발행한다.
데이터베이스 기입 큐
파서로부터의 데이터베이스 기입 요구는 작업 큐에 저장된다. 로드 명령어는 데이터베이스 SQL 로더의 성능에 기초하여 개시된다. 시간 주기 동안 입력 데이터 속도는 모든 데이터베이스 기입 요구를 비동기적으로 완료할수 있게 해야 한다.
데이터베이스 기입은 배치 큐에 작업을 보낸다. 배치 큐내의 작업을 모니터링하고, 삭제하고 추가하는 명령어가 제공된다. 작업이 종료되면, 나가는 값이 성공 또는 에러 상황을 지시한다. 배치 작업의 비동기 작업 제어를 수행하기 위해 리눅스 운영체제 쉘 스크립트를 사용하는 것이 가능하다. 작업은 로컬 쉘 하에서 백그라운드에서 실행되어야 하고, 쉘은 작업이 상태 변경을 갖는 경우 주 프로그램에 통지하게 된다. 큐 상세사항 프로그램이 더욱 전통적인 배치-처리 환경에서 사용되는 경우 그 결과는 이메일로 사용자에게 반환된다. 이들 결과는 적절한 성공 또는 에로 로그 파일에 다시 보내진다.
시스템 에러 로그 및 에러 대몬
이 애플리케이션은 다음과 같은 상황하에서 에러 로그 엔트리를 생성하게 된다.
■ 명령어에 대해 디바이스로부터 어떠한 응답도 없음
■ 디바이스로부터 타임아웃 동안 불완전한 응답
■ 디바이스로부터 붕괴된 응답
■ 데이터가 이미 이용가능한, 고유 키 위반에 기인한 데이터베이스 로드 에러
■ 부정확한 로드 파일에 기인한 데이터베이스 로드 에러
■ 데이터베이스 다운 또는 기타 시스템 문제에 기인한 데이터베이스 로드 에러
치명적인 및 비치명적인 에러가 모니터링되고, 적절한 경고가 시스템 콘솔 윈도우에 디스플레이된다. 별개의 시스템 에러 로그 대몬이 필요하거나 필요치 않을 수 있다. 임의의 새로운 치명적인 또는 비치명적인 에러 발생은 에러의 수 및 유형에 기초하여 경고를 동작시키고 콘솔에 디스플레이하게 한다.
시뮬레이션 프로그램
레이저와 제휴하지 않고 상기한 모듈을 테스트하기 위한 시뮬레이션 프로그램이 제공된다. 이러한 시뮬레이션 프로그램은 불완전 응답, 응답 부족 및 기타 에러 상황을 포함하는 다양한 명령어에 응답하는 디바이스를 시뮬레이션한다. 시뮬레이션 프로그램은 바람직하게 레드 핫 리눅스6.2를 실행하는 저전력, 저속 PC상에서 실행된다. 이것은 RS232C 인터페이스를 사용하여 블랙 박스 터미널 서버(BBTS)에 연결된다. PC는 각각의 가능한 명령어에 대한 표준 응답을 시뮬레이션한다. 초기에, 플랫 응답이 반환된다. 외부 애플리케이션 프로그램 인터페이스는 명령어 기입 큐에 제공되고 파서는 하기와 같이 출력한다.
● 명령어 기입 큐. 이것은 크론 스케쥴러, 인터랙티브 인터넷 웹 사용자 또는 외부 프로그램으로부터의 명령어를 수용한다. 이것은 명령어를 큐잉하고 특정 레이저로의 최종 명령어가 완료된 경우, 그 레이저에 기입한다. 호출하는 프로그램은 명령어, 디바이스 식별자 및 호출하는 프로그램의 소스를 명령어 기입 큐에 전달한다.
● 데이터 판독 큐. 데이터가 레이저로부터 판독되면, 파서에 전달된다. 파서는 다양한 필드를 분리하고, 타임스탬프 및 기타 헤더를 삽입하고 데이터베이스 스키마에 개괄된 바와 같은 기록을 준비한다. 데이터 판독 큐는 파일 포인터 및 호출하는 프로그램에 대한 복귀 주소를 포함한다. 호출하는 프로그램은 데이터 판독 큐를 통해 데이터를 픽업한다.
● 데이터베이스 기입 큐. 주기적인 크론 명령어는 일정 명령어의 데이터가 획득되어 데이터베이스에 로드될 것을 요구한다. SQL 로더 포맷내의 파서의 출력은 데이터베이스 기입 큐에 제공된다. 이 큐는 SQL 로더의 호출 및 데이터의 적절한 로딩을 처리한다.
큐 구현
다음 큐 매커니즘이 이용될 수 있다.
1. 리눅스 쉘 큐 및 GNU 큐 프로그램
2. TIBCO 큐잉 애플리케이션
3. 리눅스 V5.1 기술 발표를 위한 1024IBM MQ시리즈
파서 모듈
파서 모듈은 획득된 데이터가 적절히 처리, 저장 및 검색되도록 필요한 디지털 정보를 적절한 형태로 생성한다. 바람직한 배열에서, 정보는 12 카테고리로 파싱된다.
1. 명령어 및 레이저 S/N으로 이루어 지는 헤더
2. 제조자 데이터 식별을 위한 상세사항
3. xml
4. 장비 식별
5. 데이터 셋트 식별
6. 시퀀스
7. 광역 고유 식별자
8. 데이터 셋트 날짜
9. 유니버설 타임 코드 오프셋
10. 커넥터 유형
11. 파서 상태를 위한 프로세스 ID
12. 경고 또는 에러 메시지를 위한 로그의 이름
사용자 인터페이스-웹 페이지
웹 페이지는 도 1에 도시된 서버(8)상에 HTML 페이지를 구성함으로써 디스플레이된다. 표준 HTML 태그는 이들 페이지를 생성하는 데에 사용된다. 이들 HTML 페이지는 데이터베이스로부터 검색되어야 할 동적 데이터를 포함하고 있으므로, 자바 서버 페이지 기술(서브렛과 함께)이 사용될 것이 권유된다. 이 기술을 선택하는 몇몇 이유는 다음과 같다.
1. JSP는 업계에 표준이 된 자바 및 그 관련 기술을 채용한다. 그러므로 그것은 다수의 판매자로부터의 지원을 받으며 이용가능한 양호한 질의 지원을 갖는다. 미래 버전으로의 이동도 용이하다.
2. JSP 및 서브렛 엔진인 Tomcat는 아파치(http://jakarta.apache.org/tomcat/index.html)로부터 무료이용가능하고 아파치 웹 서버와 용이하게 통합된다.
3. 휴대용 디바이스에 디바이스 성능을 디스플레이하기 위한 미래에 있어서의 확장은 아파치 웹 서버와 잘 통합하는 Xalan 기술을 사용하여 용이하게 수용될 수 있다.
더욱이, 자바는 "일회기입으로 모든 곳에서 실행" 원리를 채용하는 플랫폼에 독립적이고, 안전하며 네트워크에 친숙한 언어이다. 상이한 플랫폼으로의 이동은 임의의 프론트-엔드 데이터의 재콤파일링을 필요로 하지 않는다.
JSP를 통해 HTML 페이지의 생성을 지원하기 위해, 자바 빈스는 이들 페이지에 디스플레이될 것이 요구되는 데이터응 지원하도록 디자인되었다. 이것은 데이터를 로드하고, 임의의 데이터 처리를 수행하고 데이터를 데이터베이스에 저장하기 위해 JSP 당 하나의 자바 빈스가 있다. 적절한 방법이 식별되어 디스플레이 및 데이터 처리가 JSP와 자바 빈스간에 올바르게 분리된다.
데이터를 검색/저장하기 위해 데이터베이스를 액세스하기 위해, JDBC 기술이 자바 빈스에 의해 사용된다. 양호한 성능을 제공하는 어라클(레벨 4 드라이브)을 위한 다수의 양호한 자바 JDBC가 있다. 또한, 준비된 문장의 사용은 자주 실행되는 질의에 대한 성능을 향상시킨다. 상기한 바와 같이, 자바 빈스는 데이터베이스를 액세스하기 위한 모든 로직을 포함한다. 성능을 더욱 향상시키기 위해, 이들 자바 빈스는 연결 풀로부터 데이터베이스에 대한 연결을 획득하여야 한다. 연결 풀은 데이터베이스에 대한 여러 호출간에 연결을 재순환하여 매우 고가인 연결의 빈번한 개방 및 폐쇄를 방지한다. 연결 풀은 그 파라미터가 텍스트 파일을 통해 외부적으로 제어될 수 있는 방식으로 디자인된다. 연결 파라미터의 몇몇은 연결이 사용될 수 있는 시간의 횟수, 그 후에 연결이 풀에 복귀될 수 있는 비활성 시간 주기등이다. 판독기는 데이터가 적절한 유형의 시트를 이용하여 다양한 디바이스에 디스플레이될 수 있도록 XML 페이지가 HTML 페이지(JSP로부터) 대신에 발생될 수 있음을 주목해야 한다.
웹 페이지
디스플레이되는 웹 페이지는 다음과 같다.
1. 관리 페이지- 이 페이지가 특정 서버에 연결된 디바이스 클러스터를 관리하는 데에 사용된다. 관리기능은 디바이스를 네트워크에 추가하고, 데이터 수집 파라미터를 구성하는 등을 포함한다.
2. 중앙 페이지- 특정 서버에 연결된 모든 레이저의 상태를 디스플레이한다.
3. 요약 페이지- 특정 레이저 모델에 과한 데이터를 디스플레이한다. 데이터의 유형은 그 레이저 모델에 대해 누적적이거나 평균적이다. 또한 다음 5개월 동안 매주 기준으로 대체되어야 할 것으로 예상되는 부품의 수를 나타낸다.
4. 장비 제어 페이지 - 사용, 유지보수 및 교체 스케쥴등에 대한 특정 레이저 ID에 관한 데이터를 디스플레이한다.
5. 서비스 로그 페이지 - 데이터는 특정 레이저 ID를 위해 서비스 요원에 의해 입력된다. 다운시간, 교체된 부붚 및 코멘츠에 대한 상세사항은 이 페이지에 입력된다. 이것은 데이터베이스에 저장되어야 할 웹 사용자로부터 데이터를 수용하는 현재 프로젝트내의 두 페이지중의 하나이다(다른 하나는 관리 페이지가 된다).
6. SPC(통계 프로세스 제어) 페이지- 특정 디바이스 ID를 위한 다양한 파라미터(대역폭, 에너지 시그마등)를 위한 X-바아 및 범위 차트를 디스플레이한다.
7. 에러 페이지- 특정 디바이스 ID를 위한 에러 및 경고
8. 코멘츠 페이지- 각각의 디바이스를 위한 것(EC로부터 드릴 다운됨)
9. 교체된 부품 - 각각의 디바이스를 위한 것(EC로부터 드릴 다운됨)
10. 인터랙티브 사용자 명령어 페이지 - 사용자는 브라우저로부터 GA,GE,GD등과 같은 레이저 데이터 획득 명령어를 발행할 수 있다. 이 페이지는 이 명령어를 보내기 위해 명령어 및 버튼의 유형을 선택하기 위해 선택 상자르를 갖는다. 명령어가 보내지면, 수집된 새로운 데이터가 표 형태에 디스플레이된다.
또한, 이들 페이지의 몇몇은 데이터의 상이한 유형을 디스플레이하기 위해 탭을 포함해야 한다. 예로서, 요약 페이지는 소비가능한 비용, 디바이스 생산성, 디바이스 성능 및 교체 스케쥴로 명명된 4개 탭으로 분할된다. 복잡한 페이지를 개별 탭으로 분리하는 것은 차트를 나타내기 위한 계산이 페이지들로 분할되기 때문에 고속 인지된 성능을 가져다 주게 된다.
웹 페이지 시퀀스
이 프로젝트를 위한 홈 페이지가 제공된다. 사용자는 소망하는 디바이스 ID 영역(EC, 서비스 로그등)을 클릭함으로써 개별 레이저 또는 이 페이지부터의 요약 페이지로 드릴 다운할 수 있다.
각각 페이지로부터 기타 페이지로의 다수의 링크가 존재한다. 또한, 페이지내에 특정 레이저 ID에 관한 상세사항을 디스플레이하거나 드롭다운 리스트 상자로부터 선택될 수 있는 모델, 상이한 레이저 ID 또는 특정 레이저 모델에 관한 데이터를 요약 페이지에 디스플레이한다. 이 이벤트는 디스플레이되어야 할 특정 ID(또는 모델)을 위한 데이터를 트리거링시킨다.
현재, 모든 이력 데이터는 과거 6개월 것에 대해 디스플레이된다. 미래 개량사항은 사용자에게 긴 시간 주기(9개월, 1년등)를 선택할 선택사항을 제공할 수 있다. 이 프로젝트에서 데이터를 디스플레이하는 가장 중요한 형태는 차트의 사용을 통한 것이다. 차트는 서버측사에 렌더링되고 브라우저에 디스플레이되어야만 한다. 이를 달성하기 위해, 써드 파티 판매자로부터의 레버리지 존재하는 차트 컴포넌트 또는 최적화된 차트 패키지를 개발시킬 수 있다. 소유하는 차트 도구를 개발하는 것이 이상적인 데 이는 그것이 우리의 필요요건에 최적화될 수 있기 때문에, 매우 시간 소비적이고 고가일 수 있다. 다수의 판매자는 자바 빈스로 패키징된 자바 차팅 컴포넌트를 공급한다. 이것들의 예로는 Protoview사의 PowerChart , KL 그룹의 Jclass컴포넌트(JCChart), Visualize Inc. DataVista Pro(www.visualizeinc.com)등이다.
차트 유형
다음은 프로젝트를 위해 디스플레이되어야 할 상이한 유형의 차트이다.
1. 바 차트
2. 스택킹된 바 차트(누적 데이터를 위한)
3. 라인 차트
4. 표준 변동(hi-lo) 마커를 갖춘 라인 차트
5. 스캐터 플롯
다음 테이블은 디스플레이될 수 있는 차트 및 그들의 차트 유형을 나타낸다.
페이지 차트 이름 차트 유형 코멘트
요약 실제 챔버 수명 바 차트 교체된 챔버의 수 대 특정 레이저 유형 수명의 플롯
실제 LNM 수명 바 차트 교체된 LNM의 수 대 특정 레이저 유형 수명의 플롯
실제 안정화 모듈 수명 바 차트 교체된 안정화 모듈의 수 대 특정 레이저 유형 수명의 플롯
현재 달 레이저 사용율 바 차트 사용(백만 펄스) 안정화 모듈의 수 대 특정 레이저 모델의 레이저 수의 플롯
월간 평균 레이저 사용율 라인 플롯 특정 레이저 모델에 대한 평균 사용율의 최근 6개월에 대한 플롯
월간 업타임/다운다임 스택킹된 바 차트 특정 레이저 모델에 대한, 최근 6개월에 대한 업타임, 스케줄된 및 언스케줄된 다운타임의 백분율
월간 평균 대역폭및 3 시그마 범위 시그마를 위한 hi/lo 포인트를 갖춘 라인 플롯 최근 6개월 동안 특정 레이저 모델에 대한 평균 대역폭
월간 평균 에너지 안정성 및 3 시그마 범위 시그마를 위한 hi/lo 를 갖춘 라인 플롯 최근 6개월 동안 특정 레이저 모델에 대한 평균 에너지 안정성
에러 및 경고 파레토 차트 바 차트(누적을 위한 라인 플롯을 갖추었나?) 최근 6개월 동안 사이한 유형 에러 및 경고 발생
EC 사용법 라인 플롯 최근 6개월 동안 특정 레이저 ID에 대한사용(수십억 펄스)
SPC X-바아 UVL 및 LCL 한계 라인을 갖춘 라인 플롯 특정 레이저 ID에 대한, 대역폭, 에너지 시그마, 도우즈 에러, 전압, 챔버 압력, 온도, 전체 주입 숏, F2 소비 프로세스에 대한 플롯
범위 UVL 및 LCL 한계 라인을 갖춘 라인 플롯 X-바아와 동일
디스플레이되어야 할 테이블은 다음과 같다.
페이지 테이블 타이틀 행 열 데이터 유형
요약 부품 이름 주(시작 일) 교체되어애 할 부품 수
EC 부품 이름 주(시작 일) 컬러 코드화된 셀
다운타임/업타임의 유형 최근 3개월 및 12개월 동안 타임 빛 백분율 타임(시간) 및백분율
SPC 에러 로그 및 경고 로그 에러/경고 유형 및 설명
상기 리스트된 일부 또는 모든 정보를 나타내는 차트상의 도 2 및 도 3과 같은 차트는 서버(8)에 생성된 웹사이트에 추가되고 정보에 대한 액세스 권한을 갖는 관련 당사자에 인터넷을 통해 이용가능하다. 이것은 사용자 이름 및 패스워드를 필요로 하는 공지된 인터넷 기술로 달성된다.
따라서, 웹사이트상의 정보는 레이저 제조자에 이용가능하고 유지보수 및 교체 활동을 계획하기 위해 및 디자인 문제를 지시할 수 있는 경향을 탐색하기 위해 제조자에 의해 사용된다. 정보는 또한 제조 플랜트의 소유자의 회사내에 속하는 제조 플랜의 외부에 있는 관련 당사자에도 이용가능하다.
외부 인터페이스 상세사항
외부 애플리케이션과의 통신을 위해 사용되는 적절한 XML 포맷이다.
문제점 및 기회를 강조표시함
본 명세서에 설명된 시스템은 관련 당사자가 다수의 유사한 레이저의 성능을 고속 및 효과적으로 비교하는 것을 허용한다. 이것은 관련 당사자가 최량 및 최악 성능 레이저를 식별하고 문제점을 식별하여 개선된 성능에 적용될 수 있는 동작 파라미터 및 기술을 인식할 수 있게 한다. 예로서, 충전 전압(각각의 펄스에 대해 모니터링된)이 플루오라인 농도에 대한 정성적 측정이 되도록 플루오라인 농도(플루오라인 농도의 실제 정성적 측정은 동작 동안 행해지지 않는다)가 일정한 챔버 가스 압력에서 감소되는 바와 같이 소망하는 펄스 에너지(예 10mJ)가 증가되도록 하는 것이 필요하다는 것이 공지되어 있다. 따라서,비교적 넓은 범위의 충전 전압과 플루오라인 농도에 걸쳐 이들 레이저를 동작시키는 것이 가능하고, 가장 소망하는 동작 범위가 레이저 오퍼레이터에게는 명확하지 않다. 최량 범위내의 동작은 중요한 데 이는 빔 질 파라미터가 충전 전압과 플루오라인 농도의 함수로서 변동하기 때문이다. 이 시스템내에서, 충전 전압의 넓은 범위에 대한 다수의 레이저와 빔 질 파라미터와의 비교는 관련 당사자가 소망하는 빔 질 결과를 제공하기 위해 충전 전압의 최량 범위를 식별할 수 있게 한다. 챔버 가스 압력은 소망하는 일정 펄스 에너지를 위한 충전 전압 또는 플루오라인 농도에서의 대응하는 변화가 그 결과로 되는 것으로 조정될 수 있고 그러한 조정은 빔 질을 개선시킨다.
또한 이 시스템은 플루오라인 가스 농도의 정량적 값의 함수로서, 및/또는 챔버 가스의 함수로서 빔 질 값에 대한 결정을 할 수 있게 하는 플루로라인 가스 충진 동안 레이저 빔 질 데이터를 수집할 수 있게 한다. 이 정보는 다수의 레이저로부터 수집될 수 있고 개선된 빔 질을 산출하는 동작 범위를 추천하기 위해 사용될 수 있는 추가의 유용한 정보를 제공한다.
본 발명이 바람직한 실시예의 관점에서 설명되었지만, 당업자는 본 발명의 정신으로부터 벗어나지 않고 다양한 변경 및 변형이 있을 수 있음을 이해하고 인식할 수 있을 것이다. 또한, 바람직한 실시예에서 레이저 제조자의 서버(16)는 수백개의 레이저가 모니터링되도록 다수의 제조 플랜트에 대한 인터넷을 통해 연결된다. 예로서, 도 1에 도시된 터미널 서버(6)는 내장된 네트워크 카드로 칭해지는 레이저(2)에 내장된 네트워크 카드일 수 있다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위 및 그 법적인 등가물에 의해 결정되어야 한다.

Claims (51)

  1. 적어도 하나의 집적회로 제조 플랜트에서 리소그래피 레이저를 모니터링하기 위한 시스템에 있어서,
    A) 각각이 집적회로 리소그래피 프로세스에서 일루미네이션 소스로서의 사용을 위해 구성되는 복수의 레이저;
    B) 상기 복수의 레이저의 각각과 연관된 터미널 서버;
    C) 각각의 터미널 서버를 통해 상기 복수의 레이저의 각각과 근거리 통신망 을 통해 통신하고, 상기 복수의 레이저의 각각으로부터 데이터를 획득하여 가공되지 않은 형태 및/또는 요약 형태로 데이터의 적어도 일부를 저장하도록 프로그래밍되는, 중앙 제조 플랜트 서버 유닛; 및
    D) 상기 중앙 제조 플랜트 서버 유닛에 의해 저장된 정보에 대한 액세스 권한을 갖는 사람에 의해 이용되는 컴퓨터와 상기 중앙 제조 플랜트 서버 유닛간에 통신망을 통해 통신을 제공하는 원격 서버 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 복수의 레이저는 협대역 가스 방전 레이저인 것을 특징으로 하는 시스템.
  3. 제1 항에 있어서, 각각의 터미널 서버에는 고유 인터넷 주소가 구비되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 원격 서버 유닛은 레이저 제조자의 설비에 위치되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 중앙 제조 플랜트 서버 유닛은 모듈러 형태로 생성된 소프트웨어로 프로그램되고, 상기 소프트웨어는:
    (a) 데이터 획득 모듈,
    (b) 파서 모듈,
    (c) 데이터베이스 모듈, 및
    (d) 사용자 인터페이스 모듈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 시스템.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 데이터 획득 모듈은,
    (a) 레이저 판독 및 기입,
    (b) 레이저에의 기입 명령어,
    (c) 명령어 기입 큐,
    (d) 레이저부터 데이터 판독,
    (e) 마스터 스케쥴러,
    (f) 파서에 대한 인터페이스,
    (g) 데이터베이스 기입 큐, 및
    (h) 시스템 에러 로그 및 에러 대몬,
    으로 이루어 지는 소프트웨어 컴포넌트로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 레이저로부터 획득된 데이터는 상기 중앙 제조 플랜트 서버 유닛에 의해 생성된 웹 사이트에 제시되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 레이저로부터 획득된 상기 데이터는 요약 차트의 형태로 제시되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  9. 제7 항에 있어서, 상기 웹 사이트는 웹 페이지로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  10. 제9 항에 있어서, 상기 웹 페이지는,
    (a) 관리 페이지,
    (b) 특정 레이저에 관한 요약 페이지,
    (c) 서비스 로그 페이지, 및
    (d) 에러 페이지
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  11. 제8 항에 있어서, 상기 요약 차트는,
    (a) 챔버 수명 차트,
    (b) 라인 내로우잉 모듈(LNM) 차트,
    (c) 안정화 모듈 차트,
    (d) 업타임 또는 다운타임 차트, 및
    (e)유지보수 관련 차트
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  12. 제1 항에 있어서, 상기 통신망은 인터넷으로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  13. 제1 항에 있어서, 상기 통신망은 인트라넷 시스템으로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  14. 제1 항에 있어서, 상기 터미널 서버는 내장된 네트워크 카드로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  15. 적어도 하나의 집적회로 제조 플랜트에서 리소그래피 레이저를 모니터링하기 위한 시스템에 있어서, 상기 시스템은,
    A) 각각이, 집적 회로 리소그래피 프로세스에서 일루미네이션 소스로서의 사용을 위해 구성되는, 복수의 레이저;
    B) 상기 복수의 레이저의 각각과 연계된 터미널 서버;
    C) 각각의 터미널 서버를 통해 상기 복수의 레이저의 각각과 근거리 통신망 을 통해 통신하고, 상기 복수의 레이저의 각각으로부터 데이터를 획득하여 가공되지 않은 형태 및/또는 요약 형태로 데이터의 적어도 일부를 저장하도록 프로그래밍되는, 중앙 제조 플랜트 서버 수단; 및
    D) 상기 중앙 제조 플랜트 서버 수단에 의해 저장된 정보에 대한 액세스 권한을 갖는 사람에 의해 이용되는 컴퓨터와 상기 중앙 제조 플랜트 서버 수단간에 통신망을 통해 통신을 제공하는 원격 서버 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  16. 제15 항에 있어서, 상기 복수의 레이저는 협대역 가스 방전 레이저인 것을 특징으로 하는 시스템.
  17. 제15 항에 있어서, 각각의 터미널 서버에는 고유 인터넷 주소가 구비되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  18. 제15 항에 있어서, 상기 원격 서버 수단은 레이저 제조자의 설비에 위치되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  19. 제15 항에 있어서, 상기 중앙 제조 플랜트 서버 수단은 모듈러 형태로 생성된 소프트웨어로 프로그램되고, 상기 소프트웨어는:
    (a) 데이터 획득 모듈,
    (b) 파서 모듈,
    (c) 데이터베이스 모듈, 및
    (d) 사용자 인터페이스 모듈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 시스템.
  20. 제19 항에 있어서, 상기 데이터 획득 모듈은,
    (a) 레이저 판독 및 기입,
    (b) 레이저에의 기입 명령어,
    (c) 명령어 기입 큐,
    (d) 레이저부터 데이터 판독,
    (e) 마스터 스케쥴러,
    (f) 파서에 대한 인터페이스,
    (g) 데이터베이스 기입 큐, 및
    (h) 시스템 에러 로그 및 에러 대몬,
    으로 이루어 지는 소프트웨어 컴포넌트로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  21. 제15 항에 있어서, 상기 레이저로부터 획득된 상기 데이터는 상기 중앙 제조 플랜트 서버 수단에 의해 생성된 웹 사이트에 제시되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  22. 제21 항에 있어서, 상기 레이저로부터 획득된 상기 데이터는 요약 차트의 형태로 제시되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  23. 제21 항에 있어서, 상기 웹 사이트는 웹 페이지로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  24. 제23 항에 있어서, 상기 웹 페이지는,
    (a) 관리 페이지,
    (b) 특정 레이저에 관한 요약 페이지,
    (c) 서비스 로그 페이지, 및
    (d) 에러 페이지
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  25. 제22 항에 있어서, 상기 요약 차트는,
    (a) 챔버 수명 차트,
    (b) 라인 내로우잉 모듈(LNM) 차트,
    (c) 안정화 모듈 차트,
    (d) 업타임 또는 다운타임 차트, 및
    (e) 유지보수 관련 차트
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  26. 제15 항에 있어서, 상기 통신망은 인터넷으로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  27. 제1 항에 있어서, 상기 통신망은 인트라넷 시스템으로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  28. 제1 항에 있어서, 상기 터미널 서버는 내장된 네트워크 카드로 구성되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  29. 적어도 하나의 집적회로 제조 플랜트에서 리소그래피 레이저를 모니터링하기 위한 방법에 있어서,
    A) 집적회로 리소그래피 프로세스에서 일루미네이션 소스로서 복수의 레이저를 사용하는 단계;
    B) 상기 복수의 레이저의 각각과 연관된 터미널 서버를 제공하는 단계;
    C) 상기 복수의 레이저의 각각으로부터 데이터를 획득하여 가공되지 않은 형태 및/또는 요약 형태로 데이터의 적어도 일부를 저장하기 위해, 각각의 터미널 서버를 통해 상기 복수의 레이저의 각각과 근거리 통신망을 통해 통신하는 중앙 제조 플랜트 서버 유닛을 이용하는 단계; 및
    D) 상기 중앙 제조 플랜트 서버 유닛에 의해 저장된 정보에 대한 액세스 권한을 갖는 사람에 의해 이용되는 컴퓨터와 상기 중앙 제조 플랜트 서버 유닛간에 통신망을 통해 통신을 제공하기 위해 원격 서버 유닛을 이용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  30. 제29 항에 있어서, 상기 복수의 레이저는 협대역 가스 방전 레이저인 것을 특징으로 하는 방법.
  31. 제29 항에 있어서, 각각의 터미널 서버에는 고유 인터넷 주소가 구비되는 것을 특징으로 하는 방법.
  32. 제29 항에 있어서, 상기 원격 서버 유닛은 레이저 제조자의 설비에 위치되는 것을 특징으로 하는 방법.
  33. 제29 항에 있어서, 상기 중앙 제조 플랜트 서버 유닛은 모듈러 형태로 생성된 소프트웨어로 프로그램되고, 상기 소프트웨어는:
    (a) 데이터 획득 모듈,
    (b) 파서 모듈,
    (c) 데이터베이스 모듈, 및
    (d) 사용자 인터페이스 모듈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
  34. 제33 항에 있어서, 상기 데이터 획득 모듈은,
    (a) 레이저 판독 및 기입,
    (b) 레이저에의 기입 명령어,
    (c) 명령어 기입 큐,
    (d) 레이저로부터 데이터 판독,
    (e) 마스터 스케쥴러,
    (f) 파서에 대한 인터페이스,
    (g) 데이터베이스 기입 큐, 및
    (h) 시스템 에러 로그 및 에러 대몬,
    으로 이루어 지는 소프트웨어 컴포넌트로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  35. 제29 항에 있어서, 상기 중앙 제조 플랜트 서버 유닛에 의해 생성된 웹 사이트에 제시된 상기 레이저로부터 획득된 데이터를 제시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  36. 제35 항에 있어서, 상기 레이저로부터 획득된 데이터를 요약 차트의 형태로 제시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  37. 제35 항에 있어서, 상기 웹 사이트는 웹 페이지로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  38. 제37 항에 있어서, 상기 웹 페이지는,
    (a) 관리 페이지,
    (b) 특정 레이저에 관한 요약 페이지,
    (c) 서비스 로그 페이지, 및
    (d) 에러 페이지
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  39. 제36 항에 있어서, 상기 요약 차트는,
    (a) 챔버 수명 차트,
    (b) 라인 내로우잉 모듈(LNM) 차트,
    (c) 안정화 모듈 차트,
    (d) 업타임 또는 다운타임 차트, 및
    (e) 유지보수 관련 차트
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  40. 제29 항에 있어서, 상기 통신망은 인터넷으로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  41. 제29 항에 있어서, 상기 통신망은 인트라넷 시스템으로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  42. 제29 항에 있어서, 상기 터미널 서버는 내장된 네트워크 카드로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  43. 제1 항에 있어서, 집적회로 리소그래피 공정의 오퍼레이터에 의해 유지된 방화벽에 있는 적어도 하나의 네트워크의 내부에 포함된 복수의 터미널 서버와 중앙 제조 플랜트 서버 수단; 및 레이저의 제조자에 의해 유지된 적어도 하나의 네트워크 방화벽의 내부에 포함된 원격 서버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  44. 제15 항에 있어서, 집적회로 리소그래피 공정의 오퍼레이터에 의해 유지된 방화벽에 있는 적어도 하나의 네트워크의 내부에 포함된 복수의 터미널 서버와 중앙 제조 플랜트 서버 수단; 및 레이저의 제조자에 의해 유지된 적어도 하나의 네트워크 방화벽의 내부에 포함된 원격 서버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  45. 제29 항에 있어서, 집적회로 리소그래피 공정의 오퍼레이터에 의해 유지된 방화벽에 있는 적어도 하나의 네트워크의 내부에 포함된 복수의 터미널 서버와 중앙 제조 플랜트 서버 수단; 및 레이저의 제조자에 의해 유지된 적어도 하나의 네트워크 방화벽의 내부에 포함된 원격 서버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  46. 제1 항에 있어서, 데이터 획득 모듈로 프로그램된 중앙 제조 플랜트 서버 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  47. 제46 항에 있어서,
    (a) 레이저 판독 및 기입,
    (b) 레이저에의 기입 명령어,
    (c) 명령어 기입 큐,
    (d) 레이저로부터 데이터 판독,
    (e) 마스터 스케쥴러,
    (f) 파서에 대한 인터페이스,
    (g) 데이터베이스 기입 큐,
    (h) 시스템 에러 로그, 및
    (i) 에러 대몬,
    을 포함하는 리스트로부터 선택된 컴포넌트로 이루어 지는 데이터 획득 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  48. 제15 항에 있어서, 데이터 획득 모듈로 프로그램된 중앙 제조 플랜트 서버 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  49. 제48 항에 있어서,
    (a) 레이저 판독 및 기입,
    (b) 레이저에의 기입 명령어,
    (c) 명령어 기입 큐,
    (d) 레이저로부터 데이터 판독,
    (e) 마스터 스케쥴러,
    (f) 파서에 대한 인터페이스,
    (g) 데이터베이스 기입 큐,
    (h) 시스템 에러 로그, 및
    (i) 에러 대몬,
    을 포함하는 리스트로부터 선택된 컴포넌트로 이루어 지는 데이터 획득 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  50. 제29 항에 있어서, 데이터 획득 모듈로 프로그램된 중앙 제조 플랜트 서버 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  51. 제50 항에 있어서,
    (a) 레이저 판독 및 기입,
    (b) 레이저에의 기입 명령어,
    (c) 명령어 기입 큐,
    (d) 레이저로부터 데이터 판독,
    (e) 마스터 스케쥴러,
    (f) 파서에 대한 인터페이스,
    (g) 데이터베이스 기입 큐,
    (h) 시스템 에러 로그, 및
    (i) 에러 대몬,
    을 포함하는 리스트로부터 선택된 컴포넌트로 이루어 지는 데이터 획득 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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