[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

WO2014017562A1 - レーザ装置及びレーザ装置の制御方法 - Google Patents

レーザ装置及びレーザ装置の制御方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2014017562A1
WO2014017562A1 PCT/JP2013/070110 JP2013070110W WO2014017562A1 WO 2014017562 A1 WO2014017562 A1 WO 2014017562A1 JP 2013070110 W JP2013070110 W JP 2013070110W WO 2014017562 A1 WO2014017562 A1 WO 2014017562A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
input energy
electrodes
pair
laser
value
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/070110
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
弘朗 對馬
若林　理
松永　隆
Original Assignee
ギガフォトン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ギガフォトン株式会社 filed Critical ギガフォトン株式会社
Priority to JP2014526983A priority Critical patent/JP6165142B2/ja
Publication of WO2014017562A1 publication Critical patent/WO2014017562A1/ja
Priority to US14/602,208 priority patent/US9647415B2/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/09702—Details of the driver electronics and electric discharge circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/08004—Construction or shape of optical resonators or components thereof incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection
    • H01S3/08009—Construction or shape of optical resonators or components thereof incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection using a diffraction grating
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
    • H01S3/2366—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media comprising a gas as the active medium

Definitions

  • the present disclosure relates to a laser device and a control method of the laser device.
  • a gas laser device is used as an exposure light source in place of a conventional mercury lamp.
  • a KrF excimer laser device that outputs ultraviolet laser light with a wavelength of 248 nm or an ArF excimer laser device that outputs ultraviolet laser light with a wavelength of 193 nm is used.
  • the spontaneous amplitude of the KrF excimer laser device and ArF excimer laser device is as wide as about 350 to 400 pm. Therefore, if the projection lens is made of a material that transmits ultraviolet rays such as KrF and ArF laser light, chromatic aberration may occur. As a result, the resolution may be reduced. Therefore, it is necessary to narrow the spectral line width of the laser light output from the gas laser device until the chromatic aberration is negligible. Therefore, a narrow band module (Line Narrow Module: LNM) having a narrow band element (etalon, grating, etc.) is provided in the laser resonator of the gas laser device in order to narrow the spectral line width. There is.
  • LNM Line Narrow Module
  • a narrow band element etalon, grating, etc.
  • the laser apparatus includes a laser chamber in which a laser gain medium is placed, a pair of electrodes that are provided in the laser chamber and excite the laser gain medium by generating a discharge, and discharge in the laser chamber.
  • a control unit for controlling the integrated value Einsum of the input energy to calculate a control unit.
  • the laser device includes a laser chamber in which a laser gain medium is placed, a pair of electrodes provided in the laser chamber, and a charger that applies a charging voltage for generating discharge between the pair of electrodes. And calculating the input energy Ein between the pair of electrodes based on the value of the charging voltage, and further calculating the integrated value Einsum of the input energy by integrating the calculated input energy Ein. And a control unit that determines whether or not the integrated value Einsum of energy exceeds the integrated lifetime value Einsumlife of input energy.
  • the laser device includes a laser chamber in which a laser gain medium is placed, a pair of electrodes that are provided in the laser chamber and excite the laser gain medium by generating a discharge, and the laser chamber
  • a charger for applying a charging voltage for causing discharge, a pulse power module for shortening the charging voltage applied by the charger and applying the pulse to the pair of electrodes, and a charging voltage applied by the charger
  • a charge measuring device for calculating the input energy Ein on the basis of the measured charging voltage, and further calculating the integrated value Einsum of the input energy by integrating the calculated input energy Ein. Energy integrated value Einsum exceeds input energy integrated life value Einsumlife And a control unit that determines Luke may be provided.
  • the laser device includes a laser chamber in which a laser gain medium is placed, a pair of electrodes that are provided in the laser chamber and excite the laser gain medium by generating a discharge, and the laser chamber
  • a charger for applying a charging voltage for causing discharge, a pulse power module for applying a short pulse to the charging voltage applied by the charger and applying the pulse to the pair of electrodes, and being applied between the pair of electrodes
  • a voltage measuring device for measuring a voltage
  • a current measuring device for measuring a current flowing between the pair of electrodes
  • an input energy Ein is calculated based on the measured voltage and current, and the calculated input energy Ein Is integrated to calculate an integrated value Einsum of the input energy, and the integrated value Einsum of the input energy is calculated.
  • a control unit for determining whether exceeds the cumulative lifetime value Einsumlife of input energy may be provided.
  • the laser device includes a laser chamber in which a laser gain medium is placed, a pair of electrodes that are provided in the laser chamber and excite the laser gain medium by generating a discharge, and the laser chamber
  • a charger for applying a charging voltage for causing discharge; a pulse power module for applying a short pulse to the charging voltage applied by the charger; and applying energy Ein based on the charging voltage to the pair of electrodes.
  • a controller that calculates, subtracts the input energy Ein from the input energy life index value EinL, and determines whether or not the input energy life index value EinL after the reduction exceeds zero.
  • the laser device includes a laser chamber in which a laser gain medium is placed, a pair of electrodes provided in the laser chamber, and a charger that applies a charging voltage for generating discharge between the pair of electrodes.
  • the input energy Ein is calculated based on the value of the charging voltage, the input energy Ein is subtracted from the input energy life index value EinL between the pair of electrodes, and the input energy life index value EinL after the reduction is 0
  • a control unit that determines whether or not the threshold is exceeded.
  • the laser device includes a laser chamber in which a laser gain medium is placed, a pair of electrodes that are provided in the laser chamber and excite the laser gain medium by generating a discharge, and the laser chamber
  • the input energy is calculated based on the measured charging voltage and the measured charging voltage, the input energy Ein is subtracted from the input energy life index value EinL, and the input energy life index value EinL after the reduction is zero.
  • a control unit that determines whether or not it exceeds.
  • the laser device includes a laser chamber in which a laser gain medium is placed, a pair of electrodes that are provided in the laser chamber and excite the laser gain medium by generating a discharge, and the laser chamber
  • An input energy is calculated based on the measured voltage and current, a voltage measuring device for measuring a voltage, a current measuring device for measuring a current flowing between the pair of electrodes, and the input energy from an input energy life index value EinL.
  • a control unit that reduces Ein and determines whether or not the input energy life index value EinL after the reduction exceeds 0 , It may be provided.
  • the laser device control method includes a step of setting an integrated value Einsum of input energy and a voltage applied between a pair of electrodes for exciting a laser gain medium that emits laser light to cause discharge.
  • the calculated input energy integrated value Einsum is the input energy integrated lifetime value Einsumlife.
  • a step of determining whether exceeds may contain.
  • the laser device control method includes a step of setting an integrated value Einsum of input energy, and a charging voltage for applying and discharging a voltage between a pair of electrodes for exciting a laser gain medium that emits laser light. , A step of causing discharge between the pair of electrodes, a step of calculating input energy Ein based on the set charging voltage, and the calculated integrated value Einsum of the current input energy. Adding the input energy Ein to calculate a new input energy integrated value Einsum, and determining whether the calculated input energy integrated value Einsum exceeds the input energy integrated life value Einsumlife And may be included.
  • the laser device control method includes a step of setting an integrated value Einsum of input energy and a voltage applied between a pair of electrodes for exciting a laser gain medium that emits laser light to cause discharge.
  • calculating the integrated value Einsum of the input energy and calculating the integrated value Einsum of the input energy.
  • a step of determining whether it exceeds the cumulative lifetime value Einsumlife may contain.
  • the laser device control method includes a step of setting an integrated value Einsum of input energy and a voltage applied between a pair of electrodes for exciting a laser gain medium that emits laser light to cause discharge.
  • Integrated value Einsum of the issued input energy comprises the steps of determining whether it exceeds the cumulative lifetime value Einsumlife of applied energy may comprise.
  • the laser device control method includes a step of setting the input energy life index value EinL, and a voltage applied between the pair of electrodes for exciting the laser gain medium that emits the laser light to cause discharge.
  • the laser device control method includes a step of setting an input energy lifetime index value EinL, and a charging voltage for applying and discharging a voltage between a pair of electrodes for exciting a laser gain medium that emits laser light. , A step of causing discharge between the pair of electrodes, a step of calculating input energy Ein based on the set charging voltage, and the calculated from the current input energy life index value EinL A step of calculating a new input energy life index value EinL by reducing the input energy Ein and a step of determining whether or not the calculated input energy life index value EinL exceeds 0 may be included. .
  • the laser device control method includes a step of setting the input energy life index value EinL, and a voltage applied between the pair of electrodes for exciting the laser gain medium that emits the laser light to cause discharge.
  • a step of determining may comprise.
  • the laser device control method includes a step of setting the input energy life index value EinL, and a voltage applied between the pair of electrodes for exciting the laser gain medium that emits the laser light to cause discharge.
  • Subtracting the calculated input energy Ein from EinL to calculate a new input energy life index value EinL; and the calculation Applied energy life index value EinL which comprises the steps of determining whether more than 0 may contain.
  • a discharge-excited gas laser apparatus for a semiconductor exposure apparatus which is an excimer laser apparatus, is required to output a desired pulse laser beam stably for a long time.
  • the electrodes in the laser chamber may be deteriorated due to the discharge, and the pulse laser beam having a desired energy may not be output.
  • the lifetime of the electrodes in the laser chamber was predicted based on whether or not the total number of laser pulses emitted from the laser chamber reached a predetermined threshold value. However, since the life of the electrode in the laser chamber also changes depending on the amount of energy input to the electrode, there are cases where accurate prediction cannot be made when judged only by the total number of laser pulses.
  • the lifetime of components (electrodes, optical elements) or modules (laser chambers, optical modules) mounted on the excimer laser apparatus has been predicted by the total number of laser pulses.
  • a laser apparatus that can change the pulse energy output from the excimer laser apparatus within a range of 10 mJ to 20 mJ, etc., in accordance with the requirements of the exposure apparatus.
  • the lifespan of the components and modules differs depending on the input energy and the pulse energy of the output laser light, the lifespan cannot be accurately predicted. Therefore, there is a need for a laser device that can predict the life of components and modules as accurately as possible even when the input energy and the pulse energy of the output laser light change in this way.
  • FIG. 1 shows an excimer laser device that is one embodiment of the present disclosure.
  • This excimer laser device (which may be simply referred to as a laser device in the present specification) includes a laser chamber 10, a charger 12, a pulse power module (PPM) 13, a laser resonator, and an energy monitor unit. 17, The control part 30 may be included.
  • ArF laser gas may be placed in the laser chamber 10 as a laser gain medium.
  • the laser chamber 10 may include a pair of electrodes 11a and 11b and two windows 10a and 10b that transmit laser light.
  • the laser resonator may include a line narrowing module (LNM) 14 and an output coupling mirror (OC) 15. Although not shown, other forms of the laser resonator may include a high reflection mirror (HR) instead of the band narrowing module 14.
  • the laser chamber 10 may be disposed on the optical path of the laser resonator.
  • the band narrowing module 14 may include a prism 14a and a grating 14b.
  • the prism 14a may expand the beam width.
  • the grating 14b may be arranged in a Littrow arrangement so that the laser device oscillates at a target wavelength.
  • the output coupling mirror 15 may be a partial reflection mirror that reflects part of the laser light and transmits part of the light.
  • the energy monitor unit 17 may include a beam splitter 17a, a condensing lens 17b, and an optical sensor 17c arranged on the optical path of the laser light that has passed through the output coupling mirror 15.
  • the pulse power module 13 includes a capacitor not shown in FIG. 1, is connected to the electrodes 11a and 11b, and may further include a switch 13a. A discharge may occur between the electrodes 11a and 11b by inputting a trigger signal to the switch 13a.
  • the charger 12 may be connected to a capacitor provided in the pulse power module 13.
  • the control unit 30 may receive the target pulse energy Et and the oscillation trigger signal transmitted from the exposure apparatus controller 110 provided in the exposure apparatus 100.
  • the control unit 30 Based on the received target pulse energy Et and the oscillation trigger signal, the control unit 30 sets a predetermined charging voltage (Vhv) in the charger 12 so that the pulse energy of the laser light becomes the target pulse energy Et. Also good.
  • the control unit 30 may operate the switch 13a provided in the pulse power module 13 after a predetermined time from the oscillation trigger input to apply a voltage between the electrode 11a and the electrode 11b. Accordingly, the pulse power module 13 may shorten the charging voltage applied by the charger 12 and apply a voltage between the electrode 11a and the electrode 11b.
  • the laser beam that has passed through the output coupling mirror 15 and reflected by the beam splitter 17a may be incident on the optical sensor c.
  • the laser beam partially reflected by the beam splitter 17a may be incident on the optical sensor 17c via the condenser lens 17b.
  • the pulse energy of the laser beam may be detected by the optical sensor 17c.
  • the laser beam that has passed through the beam splitter 17 a may enter the exposure apparatus 100.
  • the storage unit 31 is provided in the control unit 30, and one or both of the charging voltage Vhv and the output pulse energy E may be stored in the storage unit 31.
  • the charging voltage Vhv (Vhv1, Vhv2,..., Vhvn) in each pulse may be stored by repeating the above-described operation.
  • the control unit 30 may perform feedback control for determining the charging voltage Vhv used for the next laser oscillation based on the difference ⁇ E between the target pulse energy Et and the energy E detected by the optical sensor 17c.
  • the control unit 30 may predict the lifetime of the electrodes 11a and 11b provided in the laser chamber 10 based on the charging voltage Vhv (Vhv1, Vhv2,..., Vhvn) of each pulse. .
  • the consumption amount of the electrodes 11a and 11b provided in the laser chamber 10 may be affected by the following parameters.
  • FIG. 2A is a side view of the electrodes 11a and 11b provided in the laser chamber 10
  • FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the alternate long and short dash line 2A-2B in FIG. 2A.
  • the pair of electrodes 11a and 11b arranged in the laser chamber 10 may be arranged at a predetermined position so that a predetermined discharge region 11h is formed.
  • G be the gap between the electrode 11a and the electrode 11b.
  • the equation for obtaining the area S of the discharge surface of the electrodes 11a and 11b is S ⁇ W ⁇ L.
  • the area S of the discharge surface may be calculated based on the portion that actually discharges on the surfaces of the electrodes 11a and 11b.
  • the area S of the discharge surface may be a measured area of the used electrode and may be used as the area S of the discharge surface.
  • the area S of the discharge surface can be calculated by setting L as the length of the shorter electrode and W as the width of the narrower electrode. Good.
  • the discharge region 11h is a space between the pair of electrodes 11a and 11b, and its volume is approximated by W ⁇ L ⁇ G.
  • FIG. 3 shows electric circuits such as the charger 12 and the pulse power module 13.
  • the pulse power module 13 may include a semiconductor switch that is a switch 13a, magnetic switches MS 1 , MS 2 , MS 3 , a capacitor C 0 , and capacitors C 1 , C 2 , C 3 , C 4 .
  • a semiconductor switch that is a switch 13a, magnetic switches MS 1 , MS 2 , MS 3 , a capacitor C 0 , and capacitors C 1 , C 2 , C 3 , C 4 .
  • the switch 13a may be provided on the wire that connects the capacitor C 0 and the capacitor C 1.
  • Magnetic switch MS 1 may be provided between the capacitor C 1 and capacitor C 2.
  • Magnetic switch MS 2 may be provided between the capacitor C 2 and the capacitor C 3.
  • Magnetic switch MS 3 may be provided between the capacitor C 3 and the capacitor C 4.
  • Voltage measuring device 41 may measure the voltage applied to the capacitor C 0.
  • the voltage measuring device 51 and connected to the electrode 11a and the electrode 11b, may be circuitry on the current measuring device 52 is provided as needed between the one electrode and the electrode 11a of the capacitor C 4.
  • the current measuring device 52 may be a current probe, for example.
  • the voltage measuring device 51 may measure the voltage between the electrode 11a and the electrode 11b.
  • the current measuring device 52 may measure the current that flows during the discharge between the electrode 11a and the electrode 11b.
  • the control unit 30 sets a command value for the voltage Vhv for charging the capacitor C 0 in the charger 12. Charger based on this command value 12 may be charged to charge the capacitor C 0, as the voltage applied to the capacitor C 0 is Vhv.
  • control unit 30 the signal to the switch 13a is transmitted, the switch 13a is closed, a current I1 flows from the capacitor C 0 to the capacitor C 1, the capacitor C 1 may be charged.
  • the current I3 flows from the capacitor C 2 to the capacitor C 3, the charge in the capacitor C 3 may be charged. At this time, the charge in the capacitor C 3 is shorter than the pulse width of the pulse width of the current I3 I2 may be charged.
  • the current flows sequentially from the capacitor C 1 to the capacitor C 2 , from the capacitor C 2 to the capacitor C 3 , and from the capacitor C 3 to the capacitor C 4 , so that the pulse width is shortened and the capacitor C 4 is charged. May be.
  • the voltage between the electrodes 11a and the electrodes 11b provided in the laser chamber 10 is applied from the capacitor C 4, a discharge may occur in the laser gas between the electrodes 11a and the electrodes 11b.
  • the consumption rate coefficient ⁇ for each electrode material will be described.
  • the amount of consumption of the electrodes 11a and 11b depends on the material forming the electrodes 11a and 11b. For this reason, the consumption rate coefficient ⁇ of the material forming the electrodes 11a and 11b may be measured in advance and used when predicting the lifetime of the electrodes 11a and 11b.
  • FIG. 4 shows the results of measurement by the inventor on the relationship between the electrode consumption amount Rd in the electrodes 11a and 11b and the integrated value Einsum of the input energy to the electrodes 11a and 11b. Show. From the results shown in FIG. 4, the electrode consumption amount Rd in the electrodes 11a and 11b and the integrated value Einsum of the input energy to the electrodes 11a and 11b are in a substantially proportional relationship.
  • a desired laser performance for example, desired output pulse energy
  • the electrodes 11a and 11b can be predicted to have reached the life of the electrodes. it can. That is, in this case, 190 ⁇ 10 9 J is the accumulated life value Einsumlife of the input energy that becomes the electrode life.
  • the electrode life of the electrodes 11a and 11b can be determined based on the integrated value of the energy input to the electrodes 11a and 11b.
  • the energy Ein i input to the electrodes 11a and 11b by the i-th pulse laser oscillation is calculated from the charging voltage VHv i and the capacitance C 0C of the capacitor C 0 provided in the pulse power module 13 according to the above equation (1). It can be calculated from the equation shown in (2).
  • Ein i k ⁇ C 0C ⁇ (Vhv i) 2/2 ⁇ (2)
  • the consumption rate coefficient ⁇ of the electrodes 11a and 11b can be obtained from the gradient of the electrode consumption amount Rd with respect to the integrated value Einsum of the input energy based on the graph as shown in FIG.
  • the electrode consumption amount Rd may be calculated by the following equation (4).
  • the lifetimes of the electrodes 11a and 11b can be predicted based on the integrated value Einsum of the energy input to the electrodes 11a and 11b.
  • the accumulated life value Einsumlife of the input energy can be calculated from the electrode consumption amount Rdlife, the area S of the discharge surface of the electrodes 11a and 11b, and the consumption rate coefficient ⁇ of the electrodes 11a and 11b. it can.
  • Whether or not the electrodes 11a and 11b have reached the end of life may be determined to have reached the end of life when the relationship of the following equation (6) is satisfied.
  • the control unit 30 notifies an external device (not shown) that the electrodes have reached the end of life, or an operation panel (not shown) of the laser device, etc. It may be displayed.
  • the control unit 30 notifies the external device not shown that the electrode life is near or displays it on the operation panel not shown of the laser device. May be.
  • ⁇ may be a value in the range of 0.8 ⁇ ⁇ ⁇ 1.
  • the charging voltage Vhv i has been described using the value set in the charger 12.
  • the integrated value Einsum of the input energy may be calculated based on the voltage value of the capacitor C 0 measured by the voltage measuring device 41 shown in FIG.
  • the integrated value Einsum of the input energy may be calculated based on the voltage value and the current value applied to the electrodes 11a and 11b measured by the voltage measuring device 51 and the current measuring device 52 shown in FIG.
  • Electrode lifetime prediction method 1 Based on FIG. 5, the control method of a laser apparatus, especially the electrode lifetime prediction method will be described.
  • the control unit 30 may read the integrated value of energy already input to the electrodes 11a and 11b, and set the read integrated value of input energy as Einsum.
  • the integrated value of energy already input to the electrodes 11a and 11b may be an integrated value of energy input to the electrodes 11a and 11b until the laser chamber 10 is installed in the laser apparatus. Specifically, the case where the discharge between the electrodes 11a and 11b has already been performed in another laser device can be mentioned. Further, when the electrodes 11a and 11b are not yet discharged, the integrated value Einsum of input energy may be set to zero.
  • control unit 30 may read the charging voltage Vhv set in the charger 12 in step S104.
  • control unit 30, in step S106, the battery charger 12 may apply a voltage Vhv to capacitor C 0.
  • step S108 the control unit 30 may determine whether or not a discharge has occurred between the electrode 11a and the electrode 11b in the laser chamber 10. If it is determined that the battery has been discharged, the process may proceed to step S110. On the other hand, if it is determined that the battery is not discharged, the process may move to step S104.
  • the determination as to whether or not the discharge has occurred may be as described below, for example. The determination may be made based on whether or not a trigger signal is transmitted to the switch 13a. The determination may be made based on whether or not the laser beam is detected by the energy monitor unit 17.
  • control unit 30 may add the input energy Ein calculated in step S110 to the current input energy integrated value Einsum to obtain a new input energy integrated value Einsum.
  • step S114 the control unit 30 may determine whether or not the integrated value Einsum of the input energy exceeds the integrated life value Einsumlife of the input energy. If it is determined that the integrated value Einsum of the input energy exceeds the integrated life value Einsumlife of the input energy, the process may proceed to step S116. On the other hand, when it is determined that the integrated value Einsum of the input energy does not exceed the integrated life value Einsumlife of the input energy, the process may proceed to step S104.
  • step S116 since the electrodes 11a and 11b have reached the end of their lives, it may be notified to an external device not shown that the laser chamber 10 has the end of life. Further, it may be displayed on an operation panel or the like (not shown) of the laser device instead of reporting to the external device.
  • the control unit 30 may determine whether or not maintenance such as chamber replacement has been performed in step S118. If it is determined that maintenance has been performed, the flow of the electrode life prediction method may be terminated. On the other hand, if it is determined that maintenance is not performed, the process may move to step S104.
  • the maintenance is chamber replacement, the serial number of the laser chamber 10 may be recognized, and it may be determined whether the chamber replacement has been performed based on whether the serial number is different.
  • the installation positions of the electrodes 11a and 11b may be recognized, and the determination may be made based on whether or not the installation positions of the electrodes 11a and 11b have changed.
  • the serial numbers of the electrodes 11a and 11b are recognized, and whether or not the electrodes 11a and 11b have been replaced depends on whether the serial numbers are different. You may judge.
  • the calculation of the input energy Ein may be performed based on the voltage value of the capacitor C 0 measured by the voltage measuring device 41. In this case, the measurement of the voltage of the capacitor C 0 by the voltage measuring device 41 may be performed in the process of step S108 and the like. Alternatively, the input energy Ein may be calculated by substituting Vhv for a value obtained by multiplying the voltage measured by the voltage measuring device 41 by a predetermined coefficient as necessary.
  • the input energy Ein may be calculated based on the voltage and current measured by the voltage measuring device 51 and the current measuring device 52.
  • the measurement of the voltage and current in the voltage measuring device 51 and the current measuring device 52 may be performed together in the process of step S108 and the like.
  • the input energy Ein may be calculated by multiplying the product of the voltage measured by the voltage measuring device 51 and the current measured by the current measuring device 52 by a predetermined coefficient as necessary.
  • Electrode lifetime prediction method 2 Next, another method for predicting the electrode life will be described with reference to FIG. 6 may be determined based on the relationship between the input energy Ein and the number of shots Blife that is the life.
  • the relationship between the input energy Ein shown in FIG. 6 and the number of shots Blife at which the electrode reaches the end of its life may be measured in advance by a test.
  • the control unit 30 When the life index value Lf is 1 ⁇ Lf, the control unit 30 notifies an external device (not shown) that the electrode has reached the end of life, or an operation panel (not shown) of the laser device. It may be displayed. When the life index value Lf is in the range of 0.8 ⁇ Lf ⁇ 1, the control unit 30 notifies the external device (not shown) that the life of the electrode is near, or the laser device May be displayed on an operation panel (not shown).
  • the control unit 30 may read the current life index value Lf in step S202.
  • control unit 30 may read the charging voltage Vhv set in the charger 12 in step S204.
  • step S206 the control unit 30 in step S206, the battery charger 12, so that the charging voltage Vhv, a voltage may be applied to the capacitor C 0.
  • step S208 the control unit 30 may determine whether or not a discharge has occurred between the electrode 11a and the electrode 11b in the laser chamber 10. If it is determined that the battery has been discharged, the process may proceed to step S210. On the other hand, when it is determined that the battery is not discharged, the process may move to step S204.
  • the determination of whether or not the discharge has occurred may be described as follows, for example. The determination may be made based on whether or not a trigger signal is transmitted to the switch 13a. Further, the determination may be made based on whether or not the laser light is detected in the energy monitor unit 17.
  • control unit 30 may calculate the input energy Ein in step S210.
  • the input energy Ein may be calculated based on the equation (1).
  • control unit 30 may add a reciprocal of the life shot number Blife calculated in step S212 to the current life index value Lf to obtain a new life index value Lf.
  • control unit 30 may determine whether or not the life index value Lf exceeds 1 in step S216. When it is determined that the life index value Lf exceeds 1, the process may move to step S218. On the other hand, when it is determined that the life index value Lf does not exceed 1, the process may proceed to step S204.
  • control unit 30 may notify an external device (not shown) that the laser chamber 10 has reached the end of its life because the electrodes 11a and 11b have reached the end of their end. Instead of reporting to the external device, it may be displayed on an operation panel (not shown) of the laser device.
  • step S220 it may be determined whether or not maintenance such as chamber replacement has been performed. If it is determined that maintenance has been performed, the flow of the electrode life prediction method may be terminated. On the other hand, if it is determined that maintenance is not performed, the process may move to step S204.
  • the maintenance is chamber replacement, the serial number in the laser chamber 10 may be recognized, and it may be determined whether the chamber replacement has been performed based on whether the serial number is different.
  • the installation positions of the electrodes 11a and 11b may be recognized, and the determination may be made based on whether or not the installation positions of the electrodes 11a and 11b have changed.
  • the serial numbers of the electrodes 11a and 11b are recognized, and whether or not the electrodes 11a and 11b have been replaced depends on whether the serial numbers are different. You may judge.
  • the calculation of the input energy Ein may be performed based on the voltage value of the capacitor C 0 measured by the voltage measuring device 41. In this case, measurement of the voltage of the capacitor C 0 by a voltage measuring device 41 may be performed during the process step, such as step S208. Alternatively, the input energy Ein may be calculated by substituting Vhv for a value obtained by multiplying the voltage measured by the voltage measuring device 41 by a predetermined coefficient as necessary.
  • the input energy Ein may be calculated based on the voltage and current measured by the voltage measuring device 51 and the current measuring device 52.
  • the measurement of the voltage and current in the voltage measuring device 51 and the current measuring device 52 may be performed together in the process of step S208 or the like.
  • the input energy Ein may be calculated by multiplying the product of the voltage measured by the voltage measuring device 51 and the current measured by the current measuring device 52 by a predetermined coefficient as necessary.
  • Electrode life prediction method 3 Based on FIG. 8, another method for predicting the electrode life will be described.
  • the control unit 30 may read an integrated value of energy already input to the electrodes 11a and 11b and calculate an input energy life index value EinL. Specifically, the control unit 30 reads the integrated value of the energy already input to the electrodes 11a and 11b, and subtracts the input integrated value of the input energy from the integrated life value Einsumlife of the input energy, thereby calculating the input energy life index. The value EinL may be calculated. Further, the integrated value of the input energy input to the electrodes 11a and 11b so far may be the integrated value of the input energy input to the electrodes 11a and 11b until the laser chamber 10 is installed in the laser apparatus. Good. Specifically, the case where the discharge between the electrodes 11a and 11b is already performed in another laser device can be mentioned. Further, when the electrodes 11a and 11b are not yet discharged, the integrated value of the input energy may be zero. In this case, the input energy life index value EinL is equal to the integrated life value Einsumlife of the input energy.
  • control unit 30 may read the charging voltage Vhv set in the charger 12 in step S304.
  • control unit 30, in step S306, the battery charger 12 may apply a voltage Vhv to capacitor C 0.
  • step S308 the control unit 30 may determine whether or not a discharge has occurred between the electrode 11a and the electrode 11b in the laser chamber 10. If it is determined that the battery has been discharged, the process may proceed to step S310. On the other hand, if it is determined that the battery is not discharged, the process may move to step S304.
  • the determination of whether or not the discharge has occurred may be described as follows, for example. The determination may be made based on whether or not a trigger signal is transmitted to the switch 13a. Further, the determination may be made based on whether or not the laser light is detected in the energy monitor unit 17.
  • control unit 30 may calculate the input energy Ein in step S310.
  • the input energy Ein may be calculated based on the equation (1).
  • control unit 30 may set the new input energy life index value EinL by subtracting the input energy Ein calculated in step S310 from the current input energy life index value EinL.
  • control unit 30 may determine whether or not the input energy life index value EinL is smaller than 0 in step S314. When it is determined that the input energy life index value EinL is smaller than 0, the process may proceed to step S316. On the other hand, when it is determined that the input energy life index value EinL is not smaller than 0, the process may proceed to step S304.
  • control unit 30 may notify an external device (not shown) that the laser chamber 10 has reached the end of its life because the electrodes 11a and 11b have reached the end of their end. Instead of reporting to the external device, the fact that the laser chamber 10 has reached the end of its life may be displayed on an operation panel (not shown) of the laser device.
  • step S3108 the control unit 30 may determine whether maintenance such as chamber replacement has been performed. If it is determined that maintenance has been performed, the flow of the electrode life prediction method may be terminated. On the other hand, if it is determined that maintenance is not performed, the process may move to step S304.
  • the maintenance is chamber replacement, the serial number in the laser chamber 10 may be recognized, and it may be determined whether the chamber replacement has been performed based on whether the serial number is different. Further, when the maintenance is adjustment of the gap G in the electrodes 11a and 11b, the position in the electrodes 11a and 11b may be recognized and the determination may be made based on whether or not the position in the electrodes 11a and 11b has changed.
  • the serial numbers of the electrodes 11a and 11b are recognized, and whether or not the electrodes 11a and 11b have been replaced depends on whether the serial numbers are different. You may judge.
  • the calculation of the input energy Ein may be performed based on the voltage value of the capacitor C 0 measured by the voltage measuring device 41. In this case, measurement of the voltage of the capacitor C 0 by a voltage measuring device 41 may be performed during the process step, such as step S308. Alternatively, the input energy Ein may be calculated by substituting Vhv for a value obtained by multiplying the voltage measured by the voltage measuring device 41 by a predetermined coefficient as necessary.
  • the input energy Ein may be calculated based on the voltage and current measured by the voltage measuring device 51 and the current measuring device 52.
  • the measurement of the voltage and current in the voltage measuring device 51 and the current measuring device 52 may be performed together in the process of step S308 and the like.
  • the input energy Ein may be calculated by multiplying the product of the voltage measured by the voltage measuring device 51 and the current measured by the current measuring device 52 by a predetermined coefficient as necessary.
  • the pulse energy E of the pulse laser beam may be monitored, and the integrated value Einsum of the input energy may be approximated from the value of the input energy Ein corresponding to the value of the pulse energy E.
  • the value of the input energy Ein when the pulse energy E in the pulse laser beam is less than 10 mJ, the value of the input energy Ein may be Eina (J). Further, when the pulse energy E in the pulse laser beam is 10 mJ or more and less than 11.25 mJ, the value of the input energy Ein may be Einb (J). Further, when the pulse energy E in the pulse laser beam is 11.25 mJ or more and less than 13.75 mJ, the value of the input energy Ein may be Einc (J). Further, when the pulse energy E in the pulse laser beam is 13.75 mJ or more and less than 15 mJ, the value of the input energy Ein may be Eind (J). Moreover, when the pulse energy E in the pulse laser beam is 15 mJ or more, the value of the input energy Ein may be Amsterdam (J).
  • na is the shot number nb of the pulse laser light having a pulse energy E of less than 10 mJ
  • the shot number nc of the pulse laser light having a pulse energy E of 10 mJ or more and less than 11.25 mJ is 11 in the pulse energy E.
  • a pulse laser beam shot number nd of .25 mJ or more and less than 13.75 mJ has a pulse energy E of 13.75 mJ or more and a pulse laser beam shot number ne of less than 15 mJ has a pulse energy E of 15 mJ or more.
  • the control unit 30 may read the integrated value of energy already input to the electrodes 11a and 11b, and set the read integrated value of input energy as Einsum.
  • the integrated value of energy already input to the electrodes 11a and 11b may be an integrated value of energy input to the electrodes 11a and 11b until the laser chamber 10 is installed in the laser apparatus. Specifically, the case where the laser chamber 10 has already been discharged between the electrodes 11a and 11b in another laser device can be cited. Further, when the electrodes 11a and 11b are not yet discharged, the integrated value Einsum of input energy may be set to zero.
  • control unit 30 may determine whether or not laser oscillation has occurred in step S334. Specifically, whether or not laser oscillation has occurred may be determined based on whether or not the pulse laser beam is detected in the optical sensor 17c in the energy monitor unit 17. If it is determined that laser oscillation has occurred, the process may proceed to step S336. On the other hand, when it is determined that laser oscillation is not occurring, step S334 may be repeated.
  • the optical sensor 17c in the energy monitor unit 17 may measure the pulse energy E of the pulse laser beam in step S336.
  • step S338 the control unit 30 may perform a subroutine for specifying a range of pulse energy described later. Thereby, the corresponding input energy Ein may be obtained from the pulse energy E of the pulse laser beam measured in step S336.
  • step S340 the control unit 30 may add the input energy Ein obtained in step S338 to the current input energy integrated value Einsum to obtain a new input energy integrated value Einsum.
  • step S342 the control unit 30 may determine whether or not the integrated value Einsum of the input energy exceeds the integrated lifetime value Einsumlife of the input energy. If it is determined that the integrated value Einsum of the input energy exceeds the integrated life value Einsumlife of the input energy, the process may proceed to step S344. On the other hand, when it is determined that the integrated value Einsum of the input energy does not exceed the integrated life value Einsumlife of the input energy, the process may proceed to step S334.
  • step S344 since the electrodes 11a and 11b have reached the end of their lives, it may be notified to an external device not shown that the laser chamber 10 has the end of life. Further, it may be displayed on an operation panel or the like (not shown) of the laser device instead of reporting to the external device.
  • step S346 the control unit 30 may determine whether or not maintenance such as chamber replacement has been performed. If it is determined that maintenance has been performed, the flow of the electrode life prediction method may be terminated. On the other hand, if it is determined that maintenance is not performed, the process may move to step S334.
  • the maintenance is chamber replacement, the serial number of the laser chamber 10 may be recognized, and it may be determined whether the chamber replacement has been performed based on whether the serial number is different.
  • the installation positions of the electrodes 11a and 11b may be recognized, and the determination may be made based on whether or not the installation positions of the electrodes 11a and 11b have changed.
  • the serial numbers of the electrodes 11a and 11b are recognized, and whether or not the electrodes 11a and 11b have been replaced depends on whether the serial numbers are different. You may judge.
  • This subroutine is performed in the control unit 30 and may be a subroutine for obtaining the corresponding input energy Ein from the pulse energy E of the pulse laser beam measured in step S336.
  • step S352 it may be determined whether or not the measured value of the pulse energy E of the pulse laser beam is less than 10 mJ. When the measured pulse energy E is less than 10 mJ, the process may proceed to step S354. If the measured pulse energy E is not less than 10 mJ, the process may proceed to step S356.
  • step S354 the input energy Ein may be set to Eina, and thereafter, the process may return to the main routine shown in FIG.
  • step S356 it may be determined whether or not the value of the measured pulse energy E of the pulse laser beam is within a range of 10 mJ or more and less than 11.25 mJ.
  • the process may proceed to step S358.
  • the process may move to step S360.
  • step S358 the input energy Ein may be set to Einb, and thereafter, the process may return to the main routine shown in FIG.
  • step S360 it may be determined whether or not the value of the measured pulse energy E of the pulsed laser light is within a range of 11.25 mJ or more and less than 13.75 mJ.
  • the process may move to step S362.
  • the process may move to step S364.
  • step S362 the input energy Ein may be set to Einc, and thereafter, the process may return to the main routine shown in FIG.
  • step S364 it may be determined whether or not the value of the measured pulse energy E of the pulse laser beam is within a range of 13.75 mJ or more and less than 15 mJ.
  • the process may proceed to step S366.
  • the process may proceed to step S368.
  • step S366 the input energy Ein may be set to Eind, and thereafter, the process may return to the main routine shown in FIG.
  • step S368 the input energy Ein may be set to Amsterdam, and thereafter, the process may return to the main routine shown in FIG.
  • the double chamber excimer laser device may include an MO 200, a PO 300, a control unit 230, and high reflection mirrors 261 and 262.
  • MO and PO are abbreviations for master oscillator and power oscillator, respectively.
  • MO 200 may have the same structure as the laser device shown in FIG. Specifically, the MO 200 may include an MO laser chamber 210, an MO charger 212, an MO pulse power module 213, a laser resonator, and an MO energy monitor unit 217.
  • the MO laser chamber 210 may include a pair of electrodes 211a and 211b and two windows 210a and 210b through which laser light is transmitted.
  • the laser resonator may include a band narrowing module 214 and an MO output coupling mirror 215.
  • the MO laser chamber 210 may be disposed on the optical path of the laser resonator.
  • the narrowband module 214 may include a prism 214a and a grating 214b.
  • the prism 214a may enlarge the beam width.
  • the grating 214b may be Littrow arranged so that the laser device oscillates at the target wavelength.
  • the MO output coupling mirror 215 may be a partial reflection mirror that reflects part of the laser light and transmits part of the laser light.
  • the MO energy monitor unit 217 may include a beam splitter 217a, a condensing lens 217b, and an optical sensor 217c that are disposed on the optical path of the laser light that has passed through the MO output coupling mirror 215.
  • the MO pulse power module 213 includes a capacitor not shown in FIG. 12, is connected to the electrodes 211a and 211b, and may further include a switch 213a. A discharge may be generated between the electrodes 211a and 211b by inputting a trigger signal to the switch 213a.
  • the MO charger 212 may be connected to a capacitor provided in the MO pulse power module 213.
  • PO 300 may include a PO laser chamber 310, a PO charger 312, a PO pulse power module 313, a laser resonator, and a PO energy monitor unit 317.
  • the PO laser chamber 310 may include a pair of electrodes 311a and 311b and two windows 310a and 310b through which laser light is transmitted.
  • the laser resonator may include a partial reflection mirror 318 and a PO output coupling mirror 315.
  • the PO laser chamber 310 may be disposed on the optical path of the laser resonator.
  • the PO output coupling mirror 315 may be a partial reflection mirror that reflects part of the laser light and transmits part of the laser light.
  • the PO energy monitor unit 317 may include a beam splitter 317a, a condensing lens 317b, and an optical sensor 317c arranged on the optical path of the laser light that has passed through the PO output coupling mirror 315.
  • the PO pulse power module 313 includes a capacitor not shown in FIG. 12, is connected to the electrodes 311a and 311b, and may further include a switch 313a. A discharge may occur between the electrodes 311a and 311b by inputting a trigger signal to the switch 313a.
  • the PO charger 312 may be connected to a capacitor provided in the PO pulse power module 313.
  • the control unit 230 may receive the target pulse energy Et and the oscillation trigger signal transmitted from the exposure apparatus controller 110 provided in the exposure apparatus 100.
  • the control unit 230 Based on the received target pulse energy Et and the oscillation trigger signal, the control unit 230 applies a predetermined charging voltage to the MO charger 212 so that the pulse energy of the laser beam output from the PO 300 becomes the target pulse energy Et. (Vhvmo) may be set, and a predetermined charging voltage (Vhvpo) may be set for the PO charger 312 as well.
  • the control unit 230 may apply a voltage between the electrode 211a and the electrode 211b by operating the switch 213a provided in the MO pulse power module 213 after a predetermined time from the oscillation trigger input.
  • a voltage may be applied between the electrode 311a and the electrode 311b by operating the switch 313a provided in the PO pulse power module 313 after another predetermined time predetermined from the operation of the switch 213a.
  • the laser gas When a discharge occurs between the electrodes 211a and 211b of the MO laser chamber 210, the laser gas is excited, and light can be generated from the excited laser gas.
  • the light can resonate between the MO output coupling mirror 215 and the band narrowing module 214, and can oscillate.
  • a part of the laser beam narrowed by the prism 214a and the grating 214b may be transmitted through the MO output coupling mirror 215 and output.
  • a part of the output laser light is reflected by the beam splitter 217 a, the pulse energy Emo is detected by the MO energy monitor unit 217, and the value of the detected pulse energy Emo may be transmitted to the control unit 230.
  • the laser light (seed light) output from the MO 200 and transmitted through the beam splitter 217a may be reflected by the high reflection mirrors 261 and 262 and enter the partial reflection mirror 318 provided in the PO 300.
  • a part of the incident laser beam may be transmitted and may be incident on the space between the electrodes 311a and 311b of the PO laser chamber 310.
  • the laser light output from the MO 200 is discharged between the electrodes 310a and 310b in the PO laser chamber 310 at a timing at which the laser light is present in the space between the electrodes 311a and 311b of the PO laser chamber 310 via the partial reflection mirror 318.
  • the laser gas may be excited.
  • the laser light incident on the PO 300 may be amplified and transmitted through the PO output coupling mirror 315 to output the laser light.
  • a part of the laser beam transmitted through the PO output coupling mirror 315 is reflected by the beam splitter 317a, and its pulse energy Epo is detected by the PO energy monitor unit 317.
  • the value of the detected pulse energy Epo is determined by the control unit. 230 may be transmitted.
  • the charging voltage may be feedback-controlled so that the next output light energy of the MO 200 approaches a predetermined pulse energy Emot based on the value of the pulse energy Emo.
  • the charging voltage may be feedback-controlled so that the next output light energy of PO300 approaches the target pulse energy Et based on the value of the pulse energy Epo.
  • the control unit 230 may determine the electrode lifetime of the electrodes 211a and 211b in the MO laser chamber 210 in the MO 200 based on the charging voltage Vhvmo and the pulse energy Emo.
  • the control unit 230 may predict the electrode lifetimes of the electrodes 311a and 311b in the PO laser chamber 310 in the PO 300 based on the charging voltage Vhvpo and the pulse energy Epo. Details of the prediction method will be described later.
  • the electrode life of the electrode is predicted based on the charging voltage Vhvmo, the pulse energy Emo, the charging voltage Vhvpo, and the pulse energy Epo. Also good. Details of the prediction method will be described later.
  • the control unit 230 may read an integrated value of input energy that has been input to the electrodes 211a and 211b up to the present, and may use the read integrated value of input energy as an integrated value Einsummo of input energy.
  • control unit 230 may read the charging voltage Vhvmo set in the MO charger 212 in step S404.
  • the controller 230 may apply the voltage Vhvmo to the capacitor Cmo 0 by the MO charger 212 in step S406.
  • the capacity of the capacitor is Cmo 0C .
  • step S408 the control unit 230 may determine whether or not a discharge has occurred between the electrode 211a and the electrode 211b in the MO laser chamber 210. If it is determined that the battery has been discharged, the process may proceed to step S410. On the other hand, if it is determined that the battery is not discharged, the process may move to step S404.
  • the determination of whether or not the discharge has occurred may be described as follows, for example. The determination may be made based on whether a trigger signal is transmitted to the switch 213a. The determination may be made based on whether or not the laser light is detected by the MO energy monitor unit 217.
  • step S412 the input energy Einsum calculated in step S410 may be added to the current input energy integrated value Einsummo to obtain a new input energy integrated value Einsummo.
  • step S414 it may be determined whether the integrated value Einsummo of the input energy exceeds the integrated lifetime value Einsumlifemo of the input energy of the MO 200. If it is determined that the integrated value Einsummo of the input energy exceeds the integrated lifetime value Einsumlifemo of the input energy, the process may proceed to step S416. On the other hand, when it is determined that the integrated value Einsummo of the input energy does not exceed the integrated life value Einsumlifemo of the input energy, the process may proceed to step S404.
  • step S416 since the electrodes 211a and 211b have reached the end of their lives, a notification that the MO laser chamber 210 has reached the end of life may be sent to an external device not shown.
  • a request to move the one used as the MO laser chamber 210 to be used as the PO laser chamber 310 may be notified to the external device or the like. Thereafter, the chamber used as the MO laser chamber 210 may be moved to the position of the PO laser chamber 310.
  • step S4108 since the one used as the MO laser chamber 210 is used as the PO laser chamber 310, it may be determined whether or not the chamber has been moved. If it is determined that the chamber has been moved, the process proceeds to step S422. On the other hand, if it is determined that the chamber is not moved, the process proceeds to step S404.
  • the integrated value Einsummo of the input energy up to the present may be set as the integrated value Einsumpo of the input energy.
  • the MO laser chamber 210 and the PO laser chamber 310 are moved.
  • the reference numerals and the like in these are assumed to be different.
  • step S424 the charging voltage Vhvpo set in the PO charger 312 may be read.
  • the PO charger 312 may apply a voltage Vhvpo the capacitor Cpo 0.
  • the capacity of the capacitor is Cpo 0C .
  • step S428 it may be determined whether or not a discharge has occurred between the electrode 311a and the electrode 311b in the PO laser chamber 310. If it is determined that the battery has been discharged, the process may proceed to step S430. On the other hand, if it is determined that the battery is not discharged, the process may move to step S424.
  • the determination as to whether or not the discharge has occurred may be as described below, for example. The determination may be made based on whether or not a trigger signal is transmitted to the switch 313a. The determination may be made based on whether the laser light is detected by the PO energy monitor unit 317 or not.
  • step S432 the input energy Einpo calculated in step S430 may be added to the current input energy integrated value Einsumpo to obtain a new input energy integrated value Einsumpo.
  • step S434 it may be determined whether the integrated value Einsumpo of the input energy exceeds the integrated life value Einsumlifepo of the input energy. If it is determined that the integrated value Einsumpo of the input energy exceeds the integrated life value Einsumlifepo of the input energy, the process may proceed to step S436. On the other hand, when it is determined that the integrated value Einsumpo of the input energy does not exceed the integrated life value Einsumlifepo of the input energy, the process may proceed to step S424.
  • step S436 it may be notified to an external device (not shown) that the PO laser chamber 310 has a lifetime because the electrodes 311a and 311b have reached the lifetime. Instead of reporting to the external device, it may be displayed on an operation panel (not shown) of the laser device.
  • step S4308 it may be determined whether or not maintenance such as chamber replacement has been performed. If it is determined that maintenance has been performed, the flow of the electrode life prediction method may be terminated. On the other hand, if it is determined that maintenance is not performed, the process may proceed to step S424.
  • the maintenance is chamber replacement, the serial number in the PO laser chamber 310 may be recognized, and it may be determined whether the chamber replacement has been performed based on whether the serial number is different.
  • the MO pulse power module 213 and the PO pulse power module 313 may be the same circuit as the circuit of FIG.
  • the difference between the MO pulse power module 213, the PO pulse power module 313, and the circuit of FIG. 3 is the values of the inductance of each magnetic switch and the capacitance of each capacitor.
  • the calculation of the input energy Einmo may be performed based on the voltage value of the capacitor Cmo 0 measured by a voltage measuring device (not shown). In this case, the measurement of the voltage of the capacitor Cmo 0 by the voltage measuring device may be performed in the process of step S408 and the like. Alternatively, the input energy Einmo may be calculated by substituting a value obtained by multiplying the voltage measured by the voltage measuring instrument by a predetermined coefficient as necessary with Vhvmo.
  • the calculation of the input energy Einpo may be performed based on the voltage value of the capacitor Cpo 0 measured by a voltage measuring device (not shown). In this case, the measurement of the voltage of the capacitor Cpo 0 by the voltage measuring device may be performed in the process of step S428. Alternatively, the input energy Einpo may be calculated by substituting a value obtained by multiplying the voltage measured by the voltage measuring instrument by a predetermined coefficient as necessary with Vhvpo.
  • the input energy Einmo is calculated based on the voltage value between the electrodes 211a and 211b measured by a voltage measuring device (not shown) and the current value flowing during discharge measured by a current measuring device (not shown). May be. In this case, the voltage and current measurement by the voltage measuring device and the current measuring device may be performed together in the process of step S408 and the like. Further, the input energy Einmo may be calculated by multiplying the product of the voltage measured by the voltage measuring instrument and the current measured by the current measuring instrument by a predetermined coefficient as necessary.
  • the input energy Einpo is calculated based on the voltage value between the electrodes 311a and 311b measured by a voltage measuring device (not shown) and the current value flowing during discharge measured by a current measuring device (not shown). May be.
  • the measurement of the voltage and current in the voltage measuring device and the current measuring device may be performed together in the process of step S428 and the like.
  • the input energy Einpo may be calculated by multiplying the product of the voltage measured by the voltage measuring instrument and the current measured by the current measuring instrument by a predetermined coefficient as necessary.
  • step S416 the life of the electrode is regarded as the life of the chamber, and the chamber used as the MO laser chamber 210 is moved as the PO laser chamber 310.
  • it may be handled by replacing the electrode instead of moving the chamber, and if desired laser characteristics can be obtained by adjusting the electrode gap, it can be handled by adjusting the electrode gap. May be.
  • the MO laser chamber 210 is used as the PO laser chamber 310 .
  • the MO laser chamber 210 is moved. May be.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

【課題】チャンバ内における電極の寿命を正確に判断する。 【解決手段】レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。

Description

レーザ装置及びレーザ装置の制御方法
本開示は、レーザ装置及びレーザ装置の制御方法に関する。
　近年、半導体露光装置（以下、「露光装置」という）においては、半導体集積回路の微細化および高集積化につれて、解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される光の短波長化が進められている。一般的に、露光用光源には、従来の水銀ランプに代わってガスレーザ装置が用いられる。たとえば、露光用のガスレーザ装置としては、波長２４８ｎｍの紫外線のレーザ光を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置、または、波長１９３ｎｍの紫外線のレーザ光を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられる。
　次世代の露光技術としては、露光装置側の露光用レンズとウエハとの間が液体で満たされる液浸露光が実用化されている。この液浸露光では、露光用レンズとウエハとの間の屈折率が変化するため、露光用光源の見かけの波長が短波長化する。ＡｒＦエキシマレーザ装置を露光用光源として液浸露光が行われた場合には、ウエハには水中において波長１３４ｎｍの波長に相当する紫外光が照射される。この技術をＡｒＦ液浸露光（又はＡｒＦ液浸リソグラフィー）という。
　ＫｒＦエキシマレーザ装置およびＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振幅は、約３５０～４００ｐｍと広い。そのため、ＫｒＦ及びＡｒＦレーザ光のような紫外線を透過する材料で投影レンズを構成すると、色収差が発生してしまう場合がある。その結果、解像力が低下してしまう場合がある。そこで、ガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を、色収差が無視できる程度となるまで狭帯域化する必要がある。そのため、ガスレーザ装置のレーザ共振器内には、スペクトル線幅を狭帯域化するために、狭帯域化素子（エタロン、グレーティング等）を有する狭帯域化モジュール（Ｌｉｎｅ　Ｎａｒｒｏｗ　Ｍｏｄｕｌｅ：ＬＮＭ）が設けられる場合がある。以下においては、スペクトル線幅が狭帯域化されるレーザ装置を狭帯域化レーザ装置という。
特開２０００－３４９０１７号公報 特開２００２－４３２１９号公報 特開２００２－１５９８６号公報 特開平１０－２７５９５１号公報
概要
　レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
　また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電電圧の値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
　また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電器により加えられた充電電圧を測定する電圧測定器と、前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
　また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記一対の電極間に印加された電圧を測定する電圧測定器と、前記一対の電極間を流れる電流を測定する電流測定器と、前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
　また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
　また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電電圧の値に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
　また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電器により加えられた充電電圧を測定する電圧測定器と、前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギを算出し、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
　また、レーザ装置は、レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記一対の電極間に印加された電圧を測定する電圧測定器と、前記一対の電極間を流れる電流を測定する電流測定器と、前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギを算出し、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
　また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
　また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるための充電電圧を設定する工程と、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
　また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記充電電圧を測定する工程と、前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
　また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記一対の電極間に印加された電圧及び、前記一対の電極間を流れる電流を測定する工程と、前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
　また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
　また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるための充電電圧を設定する工程と、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
　また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記充電電圧を測定する工程と、前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
　また、レーザ装置の制御方法は、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、前記一対の電極間に印加された電圧及び、前記一対の電極間を流れる電流を測定する工程と、前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、を含んでもよい。
　本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
本開示のレーザ装置の構造図 本開示のレーザ装置における電極の説明図 本開示のレーザ装置におけるパルスパワーモジュールの説明図 投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍと電極消耗量Ｒｄとの相関図 本開示のレーザ装置の制御方法１を説明するフローチャート 投入エネルギＥｉｎと寿命ショット数Ｂｌｉｆｅとの相関図 本開示のレーザ装置の制御方法２を説明するフローチャート 本開示のレーザ装置の制御方法３を説明するフローチャート 本開示のレーザ装置の制御方法４を説明する説明図 本開示のレーザ装置の制御方法４を説明するフローチャート 本開示のレーザ装置の制御方法４におけるサブルーチンのフローチャート 本開示のダブルチャンバシステムのレーザ装置の構造 本開示のダブルチャンバシステムのレーザ装置の制御方法を説明するフローチャート
実施形態
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示の一例を示し、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。尚、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
　目次
　１．エキシマレーザ装置
　　１．１　課題
　　１．２　構成
　　１．３　動作
　２．エキシマレーザ装置の寿命の予測方法
　　２．１　電極寿命の予測とパラメータ
　　２．２　電極寿命と投入エネルギとの関係
　　２．３　電極寿命の予測方法１
　　２．４　電極寿命の予測方法２
　　２．５　電極寿命の予測方法３
　　２．６　電極寿命の予測方法４
　３．ダブルチャンバシステムの寿命の予測方法
　　３．１　構成
　　３．２　動作
　　３．３　ダブルチャンバシステムの電極寿命の予測方法
　１．エキシマレーザ装置
　　１．１　課題
　一般的に、エキシマレーザ装置である半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置は、長時間安定して所望のパルスレーザ光を出力することが求められている。しかしながら、エキシマレーザ装置を長時間レーザ発振させた場合、放電によりレーザチャンバ内の電極が劣化し、所望のエネルギのパルスレーザ光を出力することができなくなってしまう場合がある。
　このような、レーザチャンバ内の電極の寿命は、レーザチャンバ内から出射されたレーザパルスの総数が予め定められたしきい値に達したか否かにより予測されていた。しかしながら、レーザチャンバ内の電極の寿命は、電極に投入されるエネルギの大きさによっても変化するため、レーザパルスの総数のみで判断した場合、正確な予測を行うことができない場合もある。
　即ち、これまでは、エキシマレーザ装置に搭載されている部品（電極、光学素子）またはモジュール（レーザチャンバ、光学モジュール）等の寿命は、レーザパルスの総数で予測されていた。しかしながら、露光装置の要求に応じて、エキシマレーザ装置から出力されるパルスエネルギを１０ｍJ～２０ｍJの範囲等で変更できるレーザ装置が求められている。この場合は、投入エネルギや出力されたレーザ光のパルスエネルギによって、部品やモジュールの寿命が異なるため、寿命を正確に予測することができない。よって、このように投入エネルギや出力されたレーザ光のパルスエネルギが変化したとしても、できる限り正確に、部品やモジュールの寿命を予測することのできるレーザ装置が求められている。
　　１．２　構成
　図１に本開示の一態様であるエキシマレーザ装置を示す。このエキシマレーザ装置（本願明細書においては、単にレーザ装置と記載する場合がある）は、レーザチャンバ１０、充電器１２、パルスパワーモジュール（ＰＰＭ：Pulse　Power　Module）１３、レーザ共振器、エネルギモニタユニット１７、制御部３０を含んでいてもよい。レーザチャンバ１０内には、レーザゲイン媒質としてＡｒＦレーザガスが入れられていてもよい。
　レーザチャンバ１０は、一対の電極１１ａ及び１１ｂと、レーザ光を透過する２つのウインド１０ａ及び１０ｂと、を含んでいてもよい。
　レーザ共振器は、狭帯域化モジュール（ＬＮＭ：Line　Narrowing　Module）１４と、出力結合ミラー（ＯＣ：Output　Coupler）１５を含んでいてもよい。図示はしないが、レーザ共振器の他の形態は、狭帯域化モジュール１４の換わりに高反射ミラー（ＨＲ：High　Reflection　Mirror）を含んでもよい。また、レーザチャンバ１０は、レーザ共振器の光路上に配置されてもよい。
　狭帯域化モジュール１４は、プリズム１４ａとグレーティング１４ｂを含んでいてもよい。プリズム１４ａはビームの幅を拡大してもよい。グレーティング１４ｂがリトロー配置され、レーザ装置が目標波長で発振してもよい。
　出力結合ミラー１５は、一部のレーザ光を反射し、一部の光を透過させる部分反射ミラーであってもよい。
　エネルギモニタユニット１７は、出力結合ミラー１５を透過したレーザ光の光路上に配置されるビームスプリッタ１７ａと集光レンズ１７ｂと光センサ１７ｃとを含んでいてもよい。
　パルスパワーモジュール１３は、図１には示されていないコンデンサを含み、電極１１ａ及び１１ｂに接続され、更にスイッチ１３ａを含んでいてもよい。スイッチ１３ａにトリガ信号が入力されることで電極１１ａ及び１１ｂの間で放電が生じてもよい。充電器１２は、パルスパワーモジュール１３に設けられているコンデンサに接続されていてもよい。
　　１．３　動作
　制御部３０は、露光装置１００に設けられた露光装置コントローラ１１０から送信された目標のパルスエネルギＥｔと発振トリガの信号を受信してもよい。
　制御部３０は、受信した目標のパルスエネルギＥｔと発振トリガの信号に基づき、レーザ光のパルスエネルギが目標のパルスエネルギＥｔとなるように充電器１２に所定の充電電圧（Ｖｈｖ）を設定してもよい。制御部３０は、発振トリガ入力から所定時間後にパルスパワーモジュール１３内に設けられたスイッチ１３ａを動作させて、電極１１ａと電極１１ｂとの間に、電圧を印加してもよい。これにより、パルスパワーモジュール１３は、充電器１２により加えられた充電電圧を短パルス化して、電極１１ａと電極１１ｂとの間に、電圧を印加してもよい。
　この電圧印加により、電極１１ａと電極１１ｂとの間で放電を発生させ、レーザガスを励起し、励起されたレーザガスより発せられた光を狭帯域化モジュール１４と出力結合ミラー１５との間で共振させ、レーザ発振させてもよい。この際、プリズム１４ａとグレーティング１４ｂによって狭帯域化されたレーザ光が出力結合ミラー１５を透過して出力されてもよい。
　出力結合ミラー１５を透過し、ビームスプリッタ１７ａで反射したレーザ光は、光センサｃに入射してもよい。このように、ビームスプリッタ１７ａにおいて一部反射されたレーザ光は、集光レンズ１７ｂを介し光センサ１７ｃに入射してもよい。光センサ１７ｃによりレーザ光のパルスエネルギが検出されてもよい。ビームスプリッタ１７ａを透過したレーザ光は、露光装置１００に入射してもよい。
　制御部３０には、記憶部３１が設けられており、その記憶部３１に、充電電圧Ｖｈｖと出力されたパルスエネルギＥの一方又は双方が記憶されてもよい。
　上述した動作を繰り返し行うことにより、各々のパルスにおける充電電圧Ｖｈｖ（Ｖｈｖ１、Ｖｈｖ２、・・・・・、Ｖｈｖｎ）を記憶させてもよい。
　制御部３０は、目標のパルスエネルギＥｔと光センサ１７ｃにより検出されたエネルギＥの差ΔＥに基づいて、次のレーザ発振に用いられる充電電圧Ｖｈｖを定めるフィードバック制御を行ってもよい。
　制御部３０は、各々のパルスの充電電圧Ｖｈｖ（Ｖｈｖ１、Ｖｈｖ２、・・・・・、Ｖｈｖｎ）に基づいて、レーザチャンバ１０内に設けられている電極１１ａ及び１１ｂの寿命を予測してもよい。
　２．エキシマレーザ装置の寿命の予測方法
　　２．１　電極寿命の予測とパラメータ
　レーザチャンバ１０内に設けられている電極１１ａ及び１１ｂの消耗量は、以下のパラメータの影響を受ける場合がある。
　１）　電極の放電面の面積Ｓ
　２）　電極への投入エネルギＥｉｎ
　３）　電極材料毎の消耗速度係数α
　これらのパラメータについて、以下に説明する。
　１）　電極の放電面の面積Ｓ
　まず、電極１１ａ及び１１ｂにより形成される放電領域について図２に基づき説明する。図２（ａ）は、レーザチャンバ１０内に設けられた電極１１ａ及び１１ｂの側面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）における一点鎖線２Ａ－２Ｂにおいて切断した断面図である。レーザチャンバ１０内に配置される一対の電極１１ａ及び１１ｂは、所定の放電領域１１ｈが形成されるように、所定の位置に配置されてもよい。電極１１ａと電極１１ｂとのギャップをＧとする。
　ここで、電極１１ａ及び１１ｂの幅をＷ、長さをＬとすると、電極１１ａ及び１１ｂの放電面の面積Ｓを求める式は、Ｓ≒Ｗ×Ｌとなる。
　ここで、実際の放電の幅と電極１１ａ及び１１ｂの幅Ｗとが一致しない場合、また、実際の放電の電極長手方向の長さと電極１１ａ及び１１ｂの長さＬとが一致しない場合には、実際に電極１１ａ及び１１ｂの表面で放電する部分に基づいて、放電面の面積Ｓを算出してもよい。放電面の面積Ｓは、使用済み電極の消耗している部分を計測し、それを放電面の面積Ｓとしてもよい。
　また、一対の電極１１ａ及び１１ｂにおいて、電極の幅や長さが互いに異なる場合、Ｌを短い方の電極の長さとし、Ｗを狭い方の電極の幅として放電面の面積Ｓを算出してもよい。放電領域１１ｈは一対の電極１１ａと１１ｂとの間の空間であり、その体積はＷ×Ｌ×Ｇで近似される。
　２）　電極への投入エネルギＥｉｎ
　次に、電極１１ａ及び１１ｂへの投入エネルギＥｉｎについて説明する。図３は、充電器１２、パルスパワーモジュール１３等の電気回路を示す。
　パルスパワーモジュール１３は、スイッチ１３ａである半導体スイッチと、磁気スイッチＭＳ１、ＭＳ２、ＭＳ３と、コンデンサＣ０と、コンデンサＣ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４を含んでいてもよい。磁気スイッチに印加される電圧の時間積分値がしきい値に達すると、その磁気スイッチに電流が流れ易くなる。以下の説明では、磁気スイッチに電流が流れ易くなっている状態を、磁気スイッチが閉じていると記載する。しきい値は磁気スイッチ毎に異なる値である。
　また、スイッチ１３ａはコンデンサＣ０とコンデンサＣ１とを接続する電線に設けられていてもよい。磁気スイッチＭＳ１はコンデンサＣ１とコンデンサＣ２との間に設けられていてもよい。磁気スイッチＭＳ２はコンデンサＣ２とコンデンサＣ３との間に設けられていてもよい。磁気スイッチＭＳ３はコンデンサＣ３とコンデンサＣ４との間に設けられていてもよい。
　また、コンデンサＣ０の両端の電極に接続された電圧測定器４１が必要に応じて設けられていてもよい。電圧測定器４１はコンデンサＣ０に印加されている電圧を測定してもよい。また、電極１１ａと電極１１ｂに接続された電圧測定器５１及び、コンデンサＣ４の一方の電極と電極１１ａとの間の回路上に電流測定器５２が必要に応じて設けられていてもよい。電流測定器５２としては例えばカレントプローブであってもよい。電圧測定器５１は電極１１ａと電極１１ｂとの間の電圧を測定してもよい。電流測定器５２は電極１１ａと電極１１ｂとの間の放電の際に流れる電流を測定してもよい。
　制御部３０は、コンデンサＣ０に電荷を充電するときの電圧Ｖｈｖの指令値を充電器１２に設定する。この指令値に基づき充電器１２はコンデンサＣ０に印加される電圧がＶｈｖとなるようにコンデンサＣ０に電荷を充電してもよい。
　次に、制御部３０から、スイッチ１３ａに信号が送信されると、スイッチ１３ａが閉じ、コンデンサＣ０からコンデンサＣ１へ電流Ｉ１が流れ、コンデンサＣ１が充電されてもよい。
　次に、磁気スイッチＭＳ１が閉じ、コンデンサＣ１からコンデンサＣ２へ電流Ｉ２が流れ、コンデンサＣ２に電荷が充電されてもよい。この際、電流Ｉ２のパルス幅がＩ１のパルス幅よりも短くなってコンデンサＣ２に電荷が充電されてもよい。
　次に、磁気スイッチＭＳ２が閉じ、コンデンサＣ２からコンデンサＣ３へ電流Ｉ３が流れ、コンデンサＣ３に電荷が充電されてもよい。この際、電流Ｉ３のパルス幅がＩ２のパルス幅よりも短くなってコンデンサＣ３に電荷が充電されてもよい。
　次に、磁気スイッチＭＳ３が閉じ、コンデンサＣ３からコンデンサＣ４へ電流Ｉ４が流れ、コンデンサＣ４に電荷が充電されてもよい。この際、電流Ｉ４のパルス幅がＩ３のパルス幅よりも短くなってコンデンサＣ４に電荷が充電されてもよい。
　このように、コンデンサＣ１からコンデンサＣ２、コンデンサＣ２からコンデンサＣ３、コンデンサＣ３からコンデンサＣ４へと電流が順次流れることにより、パルス幅が短くなり、コンデンサＣ４に電荷が充電されてもよい。
　この後、コンデンサＣ４からレーザチャンバ１０内に設けられた電極１１ａと電極１１ｂとの間に電圧が印加され、電極１１ａと電極１１ｂとの間におけるレーザガス中において放電が生じてもよい。
　電極１１ａ及び１１ｂに投入されるエネルギは、コンデンサＣ０に印加された電圧ＶｈｖとコンデンサＣ０の容量Ｃ０Ｃから計算される。即ち、電極への投入エネルギＥｉｎは、下記（１）に示す式で表わされる。尚、ｋは図３の電気回路の電荷の減衰量を示す係数である。
 
　　Ｅｉｎ＝ｋ×Ｃ０Ｃ×（Ｖｈｖ）２／２・・・・・・・（１）
 
　３）　電極材料毎の消耗速度係数α
　次に、電極材料毎の消耗速度係数αについて説明する。電極１１ａ及び１１ｂの消耗量は、電極１１ａ及び１１ｂを形成している材料に依存する。このため、電極１１ａ及び１１ｂを形成している材料の消耗速度係数αをあらかじめ測定しておき、電極１１ａ及び１１ｂの寿命を予測する際に用いてもよい。
　　２．２　電極寿命と投入エネルギとの関係
　図４には、電極１１ａ及び１１ｂにおける電極消耗量Ｒｄと電極１１ａ及び１１ｂへの投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの関係について発明者が測定を行った結果を示す。図４に示される結果より、電極１１ａ及び１１ｂにおける電極消耗量Ｒｄと電極１１ａ及び１１ｂへの投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとは、略比例の関係にある。
　ここで、図４に示される電極消耗量Ｒｄの値が１０となった場合に、所望のレーザの性能（例えば、所望の出力されるパルスエネルギ）が維持できなくなると定める。このように定めておけば、パルスレーザ発振を繰り返した場合、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが１９０×１０９Ｊとなったときに、電極１１ａ及び１１ｂは、電極の寿命を迎えたと予測することができる。即ち、この場合においては、１９０×１０９Ｊが電極寿命となる投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅとなる。
　以上のように、電極１１ａ及び１１ｂにおける電極寿命は、電極１１ａ及び１１ｂに投入したエネルギの積算値に基づき判断することが可能である。
　ｉ番目のパルスレーザ発振で電極１１ａ及び１１ｂに投入されるエネルギＥｉｎｉは、上記（１）式により充電電圧ＶＨｖｉとパルスパワーモジュール１３に設けられているコンデンサＣ０の容量Ｃ０Ｃから、下記の（２）に示す式より算出することができる。
 
　Ｅｉｎｉ＝ｋ×Ｃ０Ｃ×（Ｖｈｖｉ）２／２・・・・・・・・・・・（２）
 
　従って、パルスレーザ発振回数がｎのとき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍは、下記の（３）に示す式となる。
 
　Ｅｉｎｓｕｍ＝ΣＥｉｎｉ＝Ｅｉｎ１＋Ｅｉｎ２＋・・・・・・・＋Ｅｉｎｎ
　　　　　　　＝ｋ×（Ｃ０Ｃ／２）Σ（Ｖｈｖｉ）２・・・・・・・（３）
 
　電極１１ａ及び１１ｂの消耗速度係数αは、図４に示されるようなグラフに基づき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに対する電極消耗量Ｒｄの勾配より求めることができる。
αの値が定まったら、電極消耗量Ｒｄは、下記の（４）に示される式によって算出してもよい。
 
　Ｒｄ＝α×Ｅｉｎｓｕｍ
　　＝ｋ×α×（Ｃ０Ｃ／２）Σ（Ｖｈｖｉ）２・・・・・・（４）
 
　従って、電極１１ａ及び１１ｂの寿命は、電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに基づき予測することができる。
　ここで、レーザの性能（例えば、出力されるパルスエネルギ）が維持できなくなる時点での電極１１ａ及び１１ｂの電極消耗量をＲｄｌｉｆｅとすると、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅとの関係は、下記の（５）に示される式となる。
 
　Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅ＝Ｒｄｌｉｆｅ／α・・・・・・・・・・・（５）
 
　（５）に示される式から、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅは、電極消耗量Ｒｄｌｉｆｅと、電極１１ａ及び１１ｂにおける放電面の面積Ｓと、電極１１ａ及び１１ｂの消耗速度係数αから算出することができる。
　電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えたか否かは、下記の（６）式の関係になったときに寿命を迎えたと判断してもよい。電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えたと判断された場合には、電極が寿命を迎えた旨を制御部３０が図示されていない外部装置に通報、または、レーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
 
　Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅ＜Ｅｉｎｓｕｍ・・・・・・・・・・・・・（６）
 
　更には、電極１１ａ及び１１ｂの寿命が近いことを知るため、下記の（７）に示される式の関係となったときに電極の寿命が近い旨の判断を行ってもよい。電極の寿命が近い旨の判断がされた場合には、電極の寿命が近い旨を制御部３０が図示されていない外部装置に通報、または、レーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。尚、βは０．８≦β＜１の範囲の値でもよい。
 
　β×Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅ＜Ｅｉｎｓｕｍ・・・・・・・・・・・（７）
 
　上記においては、充電電圧Ｖｈｖｉは充電器１２において設定された値を用いた場合について説明した。しかしながら、図３に示される電圧測定器４１により測定されたコンデンサＣ０の電圧値に基づき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出してもよい。図３に示される電圧測定器５１及び電流測定器５２により測定された電極１１ａ及び１１ｂに印加される電圧値と電流値に基づき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出してもよい。
　　２．３　電極寿命の予測方法１
　図５に基づき、レーザ装置の制御方法、特に電極寿命の予測方法について説明する。
　最初に、制御部３０は、ステップＳ１０２において、既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値を読み込み、読込まれた投入エネルギの積算値をＥｉｎｓｕｍとしてもよい。既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値は、レーザチャンバ１０がレーザ装置に設置されたときまでに電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値であってもよい。具体的には、既に他のレーザ装置において、電極１１ａ及び１１ｂ間の放電が行われていた場合等が挙げられる。また、電極１１ａ及び１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍ＝０としてもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ１０４において、充電器１２に設定されている充電電圧Ｖｈｖを読み込んでもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ１０６において、充電器１２により、コンデンサＣ０に電圧Ｖｈｖを印加してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ１０８において、レーザチャンバ１０内における電極１１ａと電極１１ｂとの間において、放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ１１０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ１０４に移行してもよい。この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。レーザ光がエネルギモニタユニット１７により検出されたか否かにより判断してもよい。
　次に、ステップＳ１１０において、投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。具体的には、下記（１）式に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。尚、ｋは係数である。
 
　　Ｅｉｎ＝ｋ×Ｃ０Ｃ×（ＶＨｖ）２／２・・・・・・・（１）
 
　次に、制御部３０は、ステップＳ１１２において、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、ステップＳ１１０において算出した投入エネルギＥｉｎを加え、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとしてもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ１１４において、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断してもよい。投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているものと判断された場合には、ステップＳ１１６に移行してもよい。一方、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ１０４に移行してもよい。
　次に、ステップＳ１１６において、電極１１ａ及び１１ｂが寿命となったためレーザチャンバ１０が寿命である旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。また、外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ１１８において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ１０４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、レーザチャンバ１０のシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂ間のギャップＧの調整の場合には、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置を認識し、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置が変化したか否かにより判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂの交換である場合には、電極１１ａ及び１１ｂのシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かにより、電極１１ａ及び１１ｂの交換が行われたか否かを判断してもよい。
　投入エネルギＥｉｎの他の算出方法について説明する。投入エネルギＥｉｎの算出は、電圧測定器４１により測定されたコンデンサＣ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器４１によるコンデンサＣ０の電圧の測定は、ステップＳ１０８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器４１により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖと置き換えて投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
　また、電圧測定器５１及び電流測定器５２において測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。この場合、電圧測定器５１及び電流測定器５２における電圧及び電流の測定は、ステップＳ１０８の工程等において併せて行ってもよい。また、電圧測定器５１において測定された電圧と、電流測定器５２において測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
　　２．４　電極寿命の予測方法２
　次に、図６に基づき、電極寿命の他の予測方法について説明する。図６に示される電極寿命の予測方法は、投入エネルギＥｉｎと寿命となるショット数Ｂｌｉｆｅとの関係に基づき判断されてもよい。
　具体的には、図６に示される投入エネルギＥｉｎと、電極が寿命を迎えるショット数Ｂｌｉｆｅの関係について、試験により予め計測されてもよい。これにより得られる寿命ショット数Ｂｌｉｆｅ＝ｆ（Ｅｉｎ）の近似関数が制御部３０の記憶部３１に記憶されてもよい。寿命ショット数Ｂｌｉｆｅ＝ｆ（Ｅｉｎ）の近似関数から投入エネルギＥｉｎが変化した際の寿命が予測されてもよい。
　下記（８）に示される式より寿命指標値Ｌｆを算出し、１＜Ｌｆとなった場合には、電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えたと判断してもよい。
 
　Ｌｆ＝Σ１／ｆ（Ｅｉｎｉ）・・・・・・・・・・・・・・・（８）
 
　寿命指標値Ｌｆが、１＜Ｌｆとなった場合には、電極が寿命を迎えた旨を制御部３０が図示されていない外部装置に通報、または、レーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。尚、寿命指標値Ｌｆが、０．８≦Ｌｆ≦１の範囲の値となった場合には、電極の寿命が近い旨を制御部３０が図示されていない外部装置に通報、または、レーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
　図７に基づき、この電極寿命の予測方法について、より詳細に説明する。
　最初に、制御部３０は、ステップＳ２０２において、現時点の寿命指標値Ｌｆを読み込んでもよい。現時点の寿命指標値は、レーザチャンバ１０がレーザ装置に設置されたときの寿命指標値であってもよい。具体的には、既に他のレーザ装置において、電極１１ａ及び１１ｂ間の放電が行われていた場合等が挙げられる。また、電極１１ａ及び１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、寿命指標値Ｌｆ＝０としてもよい。
　次に、制御部３０はステップＳ２０４において、充電器１２に設定されている充電電圧Ｖｈｖを読み込んでもよい。
　次に、制御部３０はステップＳ２０６において、充電器１２により、充電電圧Ｖｈｖとなるように、コンデンサＣ０に電圧を印加してもよい。
　次に、制御部３０はステップＳ２０８において、レーザチャンバ１０内における電極１１ａと電極１１ｂとの間において放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ２１０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ２０４に移行してもよい。尚、この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。また、レーザ光がエネルギモニタユニット１７において検出されたか否かにより判断してもよい。
　次に、制御部３０はステップＳ２１０において、投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。具体的には、前記（１）式に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
　次に、制御部３０はステップＳ２１２において、ステップＳ２１０において算出された投入エネルギＥｉｎに基づき寿命ショット数ＢｌｉｆｅをＢｌｉｆｅ＝ｆ（Ｅｉｎ）の近似式より算出してもよい。
　次に、制御部３０はステップＳ２１４において、現在の寿命指標値Ｌｆに、ステップＳ２１２において算出された寿命ショット数Ｂｌｉｆｅの逆数を加え、新たな寿命指標値Ｌｆとしてもよい。
　次に、制御部３０はステップＳ２１６において、寿命指標値Ｌｆが１を超えているか否かを判断してもよい。寿命指標値Ｌｆが１を超えているものと判断された場合には、ステップＳ２１８に移行してもよい。一方、寿命指標値Ｌｆが１を超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ２０４に移行してもよい。
　次に、制御部３０はステップＳ２１８において、電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えためレーザチャンバ１０が寿命を迎えた旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
　次に、ステップＳ２２０において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ２０４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、レーザチャンバ１０におけるシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂ間のギャップＧの調整の場合には、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置を認識し、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置が変化したか否かにより判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂの交換である場合には、電極１１ａ及び１１ｂのシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かにより、電極１１ａ及び１１ｂの交換が行われたか否かを判断してもよい。
　投入エネルギＥｉｎの算出は、電圧測定器４１により測定されたコンデンサＣ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器４１によるコンデンサＣ０の電圧の測定は、ステップＳ２０８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器４１により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖと置き換えて投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
　また、電圧測定器５１及び電流測定器５２において測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。この場合、電圧測定器５１及び電流測定器５２における電圧及び電流の測定は、ステップＳ２０８の工程等において併せて行ってもよい。また、電圧測定器５１において測定された電圧と、電流測定器５２において測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
　　２．５　電極寿命の予測方法３
　図８に基づき電極寿命の更に他の予測方法について説明する。
　最初に、制御部３０は、ステップＳ３０２において、既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値を読み込み、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出してもよい。具体的には、制御部３０が、既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値を読み込み、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅから、読込まれた投入エネルギの積算値を引き、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出してもよい。また、現在までに電極１１ａ及び１１ｂに投入された投入エネルギの積算値は、レーザチャンバ１０がレーザ装置に設置されたときまでに電極１１ａ及び１１ｂに投入された投入エネルギの積算値であってもよい。具体的には、既に他のレーザ装置において、電極１１ａ及び１１ｂ間の放電が行われている場合等が挙げられる。また、電極１１ａ及び１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、投入エネルギの積算値は０としてもよい。この場合には、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬは投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅに等しくなる。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３０４において、充電器１２に設定されている充電電圧Ｖｈｖを読み込んでもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３０６において、充電器１２により、コンデンサＣ０に電圧Ｖｈｖを印加してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３０８において、レーザチャンバ１０内における電極１１ａと電極１１ｂとの間において、放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ３１０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ３０４に移行してもよい。尚、この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。また、レーザ光がエネルギモニタユニット１７において検出されたか否かにより判断してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３１０において、投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。具体的には、前記（１）に示す式に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３１２において、現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬから、ステップＳ３１０において算出した投入エネルギＥｉｎを減ずることにより、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとしてもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３１４において、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０よりも小さいか否かを判断してもよい。投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０よりも小さいと判断された場合には、ステップＳ３１６に移行してもよい。一方、投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０よりも小さくはないと判断された場合には、ステップＳ３０４に移行してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３１６において、電極１１ａ及び１１ｂが寿命を迎えたためレーザチャンバ１０が寿命を迎えた旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等にレーザチャンバ１０が寿命を迎えた旨を表示してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３１８において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ３０４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、レーザチャンバ１０におけるシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂにおけるギャップＧの調整の場合には、電極１１ａ及び１１ｂにおける位置を認識し、電極１１ａ及び１１ｂにおける位置が変化したか否かにより判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂの交換である場合には、電極１１ａ及び１１ｂのシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かにより、電極１１ａ及び１１ｂの交換が行われたか否かを判断してもよい。
　投入エネルギＥｉｎの算出は、電圧測定器４１により測定されたコンデンサＣ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器４１によるコンデンサＣ０の電圧の測定は、ステップＳ３０８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器４１により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖと置き換えて投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
　また、電圧測定器５１及び電流測定器５２において測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。この場合、電圧測定器５１及び電流測定器５２における電圧及び電流の測定は、ステップＳ３０８の工程等において併せて行ってもよい。また、電圧測定器５１において測定された電圧と、電流測定器５２において測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎを算出してもよい。
　　２．６　電極寿命の予測方法４
　次に、更に他の電極寿命の予測方法について説明する。
　電極寿命を予測する場合には、パルスレーザ光のパルスエネルギＥをモニタして、パルスエネルギＥの値に対応した投入エネルギＥｉｎの値より、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを近似してもよい。
　例えば、図９に示すように、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１０ｍＪ未満である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎａ（Ｊ）としてもよい。また、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎｂ（Ｊ）としてもよい。また、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎｃ（Ｊ）としてもよい。また、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎｄ（Ｊ）としてもよい。また、パルスレーザ光におけるパルスエネルギＥが、１５ｍＪ以上である場合には、投入エネルギＥｉｎの値をＥｉｎｅ（Ｊ）としてもよい。
　このようにして得られた投入エネルギＥｉｎの値より、下記の（９）に示す式に基づき、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを近似してもよい。
 
　　Ｅｉｎｓｕｍ≒ｎａ×Ｅｉｎａ＋ｎｂ×Ｅｉｎｂ＋ｎｃ×Ｅｉｎｃ＋ｎｄ×Ｅｉｎｄ＋ｎｅ×Ｅｉｎｅ・・・・・・・・・・・・・・・（９）
 
　尚、ｎａは、パルスエネルギＥが、１０ｍＪ未満のパルスレーザ光のショット数
ｎｂは、パルスエネルギＥが、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満のパルスレーザ光のショット数
ｎｃは、パルスエネルギＥが、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満のパルスレーザ光のショット数
ｎｄは、パルスエネルギＥが、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満のパルスレーザ光のショット数
ｎｅは、パルスエネルギＥが、１５ｍＪ以上のパルスレーザ光のショット数
　次に、この電極寿命の予測方法について、図１０に基づきより詳細に説明する。
　最初に、制御部３０は、ステップＳ３３２において、既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値を読み込み、読込まれた投入エネルギの積算値をＥｉｎｓｕｍとしてもよい。既に電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値は、レーザチャンバ１０がレーザ装置に設置されたときまでに電極１１ａ及び１１ｂに投入されたエネルギの積算値であってもよい。具体的には、レーザチャンバ１０が、既に他のレーザ装置において、電極１１ａ及び１１ｂ間の放電が行われていた場合等が挙げられる。また、電極１１ａ及び１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍ＝０としてもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３３４において、レーザ発振したか否かを判断してもよい。具体的には、エネルギモニタユニット１７における光センサ１７ｃにおいて、パルスレーザ光を検出したか否かにより、レーザ発振したか否かを判断してもよい。レーザ発振したものと判断された場合には、ステップＳ３３６に移行してもよい。一方、レーザ発振していないものと判断された場合には、ステップＳ３３４を繰り返してもよい。
　次に、エネルギモニタユニット１７における光センサ１７ｃは、ステップＳ３３６において、パルスレーザ光のパルスエネルギＥを計測してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３３８において、後述するパルスエネルギの範囲を特定するサブルーチンを行ってもよい。これにより、ステップＳ３３６において計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥより、対応する投入エネルギＥｉｎを得てもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３４０において、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、ステップＳ３３８おいて得られた投入エネルギＥｉｎを加え、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとしてもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３４２において、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断してもよい。投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているものと判断された場合には、ステップＳ３４４に移行してもよい。一方、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ３３４に移行してもよい。
　次に、ステップＳ３４４において、電極１１ａ及び１１ｂが寿命となったためレーザチャンバ１０が寿命である旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。また、外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
　次に、制御部３０は、ステップＳ３４６において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ３３４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、レーザチャンバ１０のシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂ間のギャップＧの調整の場合には、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置を認識し、電極１１ａ及び１１ｂの設置位置が変化したか否かにより判断してもよい。また、メンテナンスが電極１１ａ及び１１ｂの交換である場合には、電極１１ａ及び１１ｂのシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かにより、電極１１ａ及び１１ｂの交換が行われたか否かを判断してもよい。
　次に、図１１に基づき図１０のステップＳ３３８におけるパルスエネルギの範囲を特定するサブルーチンについて説明する。このサブルーチンは、制御部３０において行われるものであって、ステップＳ３３６において計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥより、対応する投入エネルギＥｉｎを得るサブルーチンであってもよい。
　最初に、ステップＳ３５２において、計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ未満であるか否かを判断してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ未満である場合には、ステップＳ３５４に移行してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ未満ではない場合には、ステップＳ３５６に移行してもよい。
　次に、ステップＳ３５４において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎａと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
　次に、ステップＳ３５６において、計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満の範囲内にあるか否かを判断してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満の範囲内にある場合には、ステップＳ３５８に移行してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１０ｍＪ以上、１１．２５ｍＪ未満の範囲内にはない場合には、ステップＳ３６０に移行してもよい。
　次に、ステップＳ３５８において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎｂと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
　次に、ステップＳ３６０において、計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満の範囲内にあるか否かを判断してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満の範囲内にある場合には、ステップＳ３６２に移行してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１１．２５ｍＪ以上、１３．７５ｍＪ未満の範囲内にはない場合には、ステップＳ３６４に移行してもよい。
　次に、ステップＳ３６２において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎｃと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
　次に、ステップＳ３６４において、計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満の範囲内にあるか否かを判断してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満の範囲内にある場合には、ステップＳ３６６に移行してもよい。計測されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥの値が、１３．７５ｍＪ以上、１５ｍＪ未満の範囲内にはない場合には、ステップＳ３６８に移行してもよい。
　次に、ステップＳ３６６において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎｄと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
　次に、ステップＳ３６８において、投入エネルギＥｉｎをＥｉｎｅと設定し、この後、図１０に示されるメインルーチンに戻ってもよい。
　３．ダブルチャンバエキシマレーザ装置の寿命の予測方法
　　３．１　構成
　ダブルチャンバエキシマレーザ装置について説明する。図１２に示されるように、ダブルチャンバエキシマレーザ装置は、ＭＯ２００、ＰＯ３００、制御部２３０、高反射ミラー２６１、２６２を含んでいてもよい。ＭＯとＰＯは、それぞれmaster　oscillator、power　oscillatorの略語である。
　ＭＯ２００は、図１に示されるレーザ装置と同様の構造であってもよい。具体的には、ＭＯ２００は、ＭＯレーザチャンバ２１０、ＭＯ充電器２１２、ＭＯパルスパワーモジュール２１３、レーザ共振器、ＭＯエネルギモニタユニット２１７を含んでいてもよい。
　ＭＯレーザチャンバ２１０は、一対の電極２１１ａ及び２１１ｂと、レーザ光が透過する２つのウインド２１０ａ及び２１０ｂと、を含んでいてもよい。
　レーザ共振器は、狭帯域化モジュール２１４と、ＭＯ出力結合ミラー２１５を含んでいてもよい。ＭＯレーザチャンバ２１０は、レーザ共振器の光路上に配置されてもよい。
　狭帯域化モジュール２１４は、プリズム２１４ａとグレーティング２１４ｂを含んでいてもよい。プリズム２１４ａはビームの幅を拡大してもよい。グレーティング２１４ｂがリトロー配置され、レーザ装置が目標波長で発振してもよい。
　ＭＯ出力結合ミラー２１５は、一部のレーザ光を反射し、一部のレーザ光を透過させる部分反射ミラーであってもよい。
　ＭＯエネルギモニタユニット２１７は、ＭＯ出力結合ミラー２１５を透過したレーザ光の光路上に配置されるビームスプリッタ２１７ａと集光レンズ２１７ｂと光センサ２１７ｃとを含んでいてもよい。
　ＭＯパルスパワーモジュール２１３は、図１２には示されていないコンデンサを含んでおり、電極２１１ａ及び２１１ｂに接続され、更にスイッチ２１３ａを含んでいてもよい。スイッチ２１３ａにトリガ信号が入力されることで電極２１１ａ及び２１１ｂの間で放電が生じてもよい。ＭＯ充電器２１２は、ＭＯパルスパワーモジュール２１３に設けられているコンデンサに接続されていてもよい。
　ＰＯ３００は、ＰＯレーザチャンバ３１０、ＰＯ充電器３１２、ＰＯパルスパワーモジュール３１３、レーザ共振器、ＰＯエネルギモニタユニット３１７を含んでいてもよい。
　ＰＯレーザチャンバ３１０は、一対の電極３１１ａ及び３１１ｂと、レーザ光が透過する２つのウインド３１０ａ及び３１０ｂと、を含んでいてもよい。
　レーザ共振器は、部分反射ミラー３１８とＰＯ出力結合ミラー３１５を含んでいてもよい。ＰＯレーザチャンバ３１０は、レーザ共振器の光路上に配置されてもよい。
　ＰＯ出力結合ミラー３１５は、一部のレーザ光を反射し、一部のレーザ光を透過させる部分反射ミラーであってもよい。
　ＰＯエネルギモニタユニット３１７は、ＰＯ出力結合ミラー３１５を透過したレーザ光の光路上に配置されるビームスプリッタ３１７ａと集光レンズ３１７ｂと光センサ３１７ｃとを含んでいてもよい。
　ＰＯパルスパワーモジュール３１３は、図１２には示されていないコンデンサを含み、電極３１１ａ及び３１１ｂに接続され、更にスイッチ３１３ａを含んでいてもよい。スイッチ３１３ａにトリガ信号が入力されることで電極３１１ａ及び３１１ｂの間で放電が生じてもよい。ＰＯ充電器３１２は、ＰＯパルスパワーモジュール３１３に設けられているコンデンサに接続されていてもよい。
　　３．２　動作
　制御部２３０は、露光装置１００に設けられた露光装置コントローラ１１０から送信された目標のパルスエネルギＥｔと発振トリガの信号を受信してもよい。
　制御部２３０は、受信した目標のパルスエネルギＥｔと発振トリガの信号に基づき、ＰＯ３００から出力されるレーザ光のパルスエネルギが目標のパルスエネルギＥｔとなるように、ＭＯ充電器２１２に所定の充電電圧（Ｖｈｖｍｏ）を設定し、ＰＯ充電器３１２にも所定の充電電圧（Ｖｈｖｐｏ）を設定してもよい。
　制御部２３０は、発振トリガ入力から所定時間後にＭＯパルスパワーモジュール２１３内に設けられたスイッチ２１３ａを動作させて、電極２１１ａと電極２１１ｂとの間に、電圧を印加してもよい。スイッチ２１３ａの動作から予め定められた更に他の所定時間後にＰＯパルスパワーモジュール３１３内に設けられたスイッチ３１３ａを動作させて、電極３１１ａと電極３１１ｂとの間に、電圧を印加してもよい。
　制御部２３０から送信されたトリガ信号をＭＯパルスパワーモジュール２１３のスイッチ２１３ａが受信した場合にＭＯレーザチャンバ２１０の電極２１１ａと２１１ｂとの間で放電が生じてもよい。
　ＭＯレーザチャンバ２１０の電極２１１ａと２１１ｂとの間で放電が発生すると、レーザガスが励起され、励起されたレーザガスより光が発生し得る。その光がＭＯ出力結合ミラー２１５と狭帯域化モジュール２１４との間で共振し、レーザ発振し得る。プリズム２１４ａとグレーティング２１４ｂによって狭帯域化されたレーザ光の一部はＭＯ出力結合ミラー２１５を透過して出力されてもよい。出力されたレーザ光の一部がビームスプリッタ２１７ａで反射し、そのパルスエネルギＥｍｏがＭＯエネルギモニタユニット２１７において検出され、検出されたパルスエネルギＥｍｏの値は、制御部２３０に送信されてもよい。
　ＭＯ２００より出力され、ビームスプリッタ２１７ａを透過したレーザ光（シード光）は、高反射ミラー２６１及び２６２において反射され、ＰＯ３００に設けられた部分反射ミラー３１８に入射してもよい。
　部分反射ミラー３１８では、入射したレーザ光の一部が透過し、ＰＯレーザチャンバ３１０の電極３１１ａと３１１ｂとの間の空間に入射してもよい。ＭＯ２００から出力されたレーザ光が部分反射ミラー３１８を介し、ＰＯレーザチャンバ３１０の電極３１１ａと３１１ｂとの間の空間に存在するタイミングで、ＰＯレーザチャンバ３１０内の電極３１０ａと３１０ｂとの間で放電させ、レーザガスを励起してもよい。
　これにより、ＰＯ３００に入射したレーザ光は増幅され、ＰＯ出力結合ミラー３１５を透過しレーザ光が出力されてもよい。ＰＯ出力結合ミラー３１５を透過し出力されたレーザ光の一部がビームスプリッタ３１７ａで反射し、そのパルスエネルギＥｐｏがＰＯエネルギモニタユニット３１７において検出され、検出されたパルスエネルギＥｐｏの値は、制御部２３０に送信されてもよい。
　ＭＯ２００における充電電圧Ｖｈｖｍｏの制御では、パルスエネルギＥｍｏの値に基づき、ＭＯ２００の次の出力光エネルギが所定のパルスエネルギＥｍｏｔに近づくように充電電圧をフィードバック制御してもよい。
　ＰＯ３００における充電電圧Ｖｈｖｐｏの制御では、パルスエネルギＥｐｏの値に基づき、ＰＯ３００の次の出力光エネルギが目標のパルスエネルギＥｔに近づくように、充電電圧をフィードバック制御してもよい。
　制御部２３０は、充電電圧ＶｈｖｍｏとパルスエネルギＥｍｏに基づいて、ＭＯ２００におけるＭＯレーザチャンバ２１０内の電極２１１ａ及び２１１ｂの電極寿命の判断を行ってもよい。
　制御部２３０は、充電電圧ＶｈｖｐｏとパルスエネルギＥｐｏに基づいて、ＰＯ３００におけるＰＯレーザチャンバ３１０内の電極３１１ａ及び３１１ｂの電極寿命の予測を行ってもよい。予測方法の詳細は後に説明される。
　更に、ＭＯ２００に搭載されていたチャンバが、その後、ＰＯ３００に搭載された場合には、充電電圧Ｖｈｖｍｏ、パルスエネルギＥｍｏ、充電電圧Ｖｈｖｐｏ、パルスエネルギＥｐｏに基づいて、電極の電極寿命の予測を行ってもよい。予測方法の詳細は後に説明される。
　この場合、チャンバをＭＯ２００からＰＯ３００に移動させた場合においても、電極の電極寿命の予測を正確に行うことが可能となる。
　　３．３　ダブルチャンバエキシマレーザ装置の電極寿命の予測方法
　図１３に基づきレーザ装置の制御方法であって、ダブルチャンバエキシマレーザ装置の電極寿命の予測方法について説明する。ダブルチャンバエキシマレーザ装置の電極寿命の予測方法の主要部分は、図５で説明された予測方法がＭＯ２００とＰＯ３００それぞれに適用されている。
　最初に、制御部２３０は、ステップＳ４０２において、現在までに電極２１１ａ及び２１１ｂに投入された投入エネルギの積算値を読み込み、読込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏとしてもよい。既に電極２１１ａ及び２１１ｂに投入されたエネルギの積算値は、ＭＯレーザチャンバ２１０がレーザ装置に設置されたときまでに電極２１１ａ及び２１１ｂに投入されたエネルギの積算値であってもよい。具体的には、既に他のレーザ装置において、電極２１１ａ及び２１１ｂ間の放電が行われていた場合等が挙げられる。また、電極２１１ａ及び２１１ｂにおいて、未だ放電がなされていない場合には、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏ＝０としてもよい。
　次に、制御部２３０は、ステップＳ４０４において、ＭＯ充電器２１２に設定されている充電電圧Ｖｈｖｍｏを読み込んでもよい。
　次に、制御部２３０は、ステップＳ４０６において、ＭＯ充電器２１２により、コンデンサＣｍｏ０に電圧Ｖｈｖｍｏを印加してもよい。そのコンデンサの容量はＣｍｏ０Ｃである。
　次に、制御部２３０は、ステップＳ４０８において、ＭＯレーザチャンバ２１０内における電極２１１ａと電極２１１ｂとの間において放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ４１０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ４０４に移行してもよい。尚、この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ２１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。レーザ光がＭＯエネルギモニタユニット２１７により検出されたか否かにより判断してもよい。
　次に、ステップＳ４１０において、投入エネルギＥｉｎｍｏを算出してもよい。具体的には、下記（１０）に示す式に基づき投入エネルギＥｉｎｍｏを算出してもよい。尚、ｋｍｏは係数である。
 
　Ｅｉｎｍｏ＝ｋｍｏ×Ｃｍｏ０Ｃ×（Ｖｈｖｍｏ）２／２・・・・・（１０）
 
　次に、ステップＳ４１２において、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏに、ステップＳ４１０において算出した投入エネルギＥｉｎｍｏを加え、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏとしてもよい。
　次に、ステップＳ４１４において、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏが、ＭＯ２００の投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｍｏを超えているか否かを判断してもよい。投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｍｏを超えているものと判断された場合には、ステップＳ４１６に移行してもよい。一方、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｍｏを超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ４０４に移行してもよい。
　次に、ステップＳ４１６において、電極２１１ａ及び２１１ｂが寿命を迎えたためＭＯレーザチャンバ２１０が寿命を迎えた旨を図示されていない外部装置等に通報してもよい。ステップＳ４１６において、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用しているものをＰＯレーザチャンバ３１０として使用するため移動させる旨の要求をその外部装置等に通報してもよい。この後、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用されていたチャンバがＰＯレーザチャンバ３１０の位置へ移動されてもよい。
　次に、ステップＳ４１８において、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用していたものをＰＯレーザチャンバ３１０として使用するため、チャンバを移動したか否かを判断してもよい。チャンバを移動したものと判断された場合には、ステップＳ４２２に移行する。一方、チャンバを移動していないものと判断された場合には、ステップＳ４０４に移行する。
　次に、ステップＳ４２２において、現在までの投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｍｏを投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏとしてもよい。尚、この場合、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用していたものをＰＯレーザチャンバ３１０として使用するためチャンバを移動しているため、ＭＯレーザチャンバ２１０であったものとＰＯレーザチャンバ３１０となったものとは同一である。しかしながら、説明等の便宜上、これらにおける参照符号等は異なるものとして説明する。
　次に、ステップＳ４２４において、ＰＯ充電器３１２において設定されている充電電圧Ｖｈｖｐｏを読み込んでもよい。
　次に、ステップＳ４２６において、ＰＯ充電器３１２により、コンデンサＣｐｏ０に電圧Ｖｈｖｐｏを印加してもよい。そのコンデンサの容量はＣｐｏ０Ｃである。
　次に、ステップＳ４２８において、ＰＯレーザチャンバ３１０内における電極３１１ａと電極３１１ｂとの間において放電したか否かを判断してもよい。放電したものと判断された場合には、ステップＳ４３０に移行してもよい。一方、放電していないものと判断された場合には、ステップＳ４２４に移行してもよい。この放電したか否かの判断は、例えば次に述べるようにしてもよい。スイッチ３１３ａにトリガ信号が送信されたか否かにより判断してもよい。レーザ光がＰＯエネルギモニタユニット３１７において検出されたか否かにより判断してもよい。
　次に、ステップＳ４３０において、投入エネルギＥｉｎｐｏを算出してもよい。具体的には、下記（１１）に示す式に基づき投入エネルギＥｉｎｐｏを算出してもよい。尚、ｋｐｏは係数である。
 
　Ｅｉｎｐｏ＝ｋｐｏ×Ｃｐｏ０Ｃ×（Ｖｈｖｐｏ）２／２・・・・・（１１）
 
　次に、ステップＳ４３２において、現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏに、ステップＳ４３０において算出した投入エネルギＥｉｎｐｏを加え、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏとしてもよい。
　次に、ステップＳ４３４において、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｐｏを超えているか否かを判断してもよい。投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｐｏを超えているものと判断された場合には、ステップＳ４３６に移行してもよい。一方、投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍｐｏが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅｐｏを超えてはいないものと判断された場合には、ステップＳ４２４に移行してもよい。
　次に、ステップＳ４３６において、電極３１１ａ及び３１１ｂが寿命となったためＰＯレーザチャンバ３１０が寿命である旨を図示されていない外部装置に通報してもよい。外部装置への通報に代えてレーザ装置の図示されていない操作パネル等に表示してもよい。
　次に、ステップＳ４３８において、チャンバ交換等のメンテナンスを実施したか否かを判断してもよい。メンテナンスを実施したものと判断された場合には、この電極寿命の予測方法のフローは終了してもよい。一方、メンテナンスを実施してはいないものと判断された場合には、ステップＳ４２４に移行してもよい。メンテナンスがチャンバ交換の場合には、ＰＯレーザチャンバ３１０におけるシリアルナンバーを認識し、シリアルナンバーが異なっているか否かによりチャンバ交換が行われたか否かを判断してもよい。
　投入エネルギの他の算出方法について説明する。ＭＯパルスパワーモジュール２１３とＰＯパルスパワーモジュール３１３は、図３の回路と同様の回路であってもよい。ＭＯパルスパワーモジュール２１３とＰＯパルスパワーモジュール３１３と、図３の回路との違いは、各磁気スイッチのインダクタンスと各コンデンサの容量の値である。
　投入エネルギＥｉｎｍｏの算出は、図示されていない電圧測定器により測定されたコンデンサＣｍｏ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、その電圧測定器によるコンデンサＣｍｏ０の電圧の測定は、ステップＳ４０８の工程等において併せて行われてもよい。または、その電圧測定器により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖｍｏと置き換えて投入エネルギＥｉｎｍｏを算出してもよい。
　投入エネルギＥｉｎｐｏの算出は、図示されていない電圧測定器により測定されたコンデンサＣｐｏ０の電圧値に基づき行なわれてもよい。この場合、その電圧測定器によるコンデンサＣｐｏ０の電圧の測定は、ステップＳ４２８の工程等において併せて行われてもよい。または、その電圧測定器により測定された電圧に、必要に応じて所定の係数を掛けた値をＶｈｖｐｏと置き換えて投入エネルギＥｉｎｐｏを算出してもよい。
　投入エネルギの更に他の算出方法について説明する。投入エネルギＥｉｎｍｏの算出は、図示されていない電圧測定器により測定された電極２１１ａ及び２１１ｂ間の電圧値、及び図示されていない電流測定器により測定された放電の際に流れる電流値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器及び電流測定器による電圧及び電流の測定は、ステップＳ４０８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器により測定された電圧と、電流測定器により測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎｍｏが算出されてもよい。
　投入エネルギＥｉｎｐｏの算出は、図示されていない電圧測定器により測定された電極３１１ａ及び３１１ｂ間の電圧値、及び図示されていない電流測定器により測定された放電の際に流れる電流値に基づき行なわれてもよい。この場合、電圧測定器及び電流測定器における電圧及び電流の測定は、ステップＳ４２８の工程等において併せて行われてもよい。また、電圧測定器において測定された電圧と、電流測定器において測定された電流の積に、必要に応じて所定の係数を掛けることにより投入エネルギＥｉｎｐｏが算出されてもよい。
上記においては、ステップＳ４１６において、電極の寿命をチャンバの寿命とし、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用していたものをＰＯレーザチャンバ３１０としてチャンバを移動する場合について説明した。しかしながら、チャンバの移動に代えて電極を交換することにより対応してもよく、また、電極のギャップを調整することにより所望のレーザ特性が得られる場合には、電極のギャップを調整することにより対応してもよい。
　また、上記においては、ＭＯレーザチャンバ２１０として使用していたものをＰＯレーザチャンバ３１０として使用する場合について説明したが、ＰＯレーザチャンバ３１０として使用していたものをＭＯレーザチャンバ２１０として使用するため移動してもよい。
　上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図している。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。
　本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書、及び添付の特許請求の範囲に記載される不定冠詞「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。
　本国際出願は、２０１２年７月２６日に出願された日本国特許出願２０１２－１６６２９２号に基づく優先権を主張するものであり、日本国特許出願２０１２－１６６２９２号の全内容を本国際出願に援用する。
１０　　　　レーザチャンバ
１０ａ　　　ウインド
１０ｂ　　　ウインド
１１ａ　　　電極
１１ｂ　　　電極
１２　　　　充電器
１３　　　　パルスパワーモジュール（ＰＰＭ）
１３ａ　　　スイッチ
１４　　　　狭帯域化モジュール（ＬＮＭ）
１４ａ　　　プリズム
１４ｂ　　　グレーティング
１５　　　　出力結合ミラー
１７　　　　エネルギモニタユニット
１７ａ　　　ビームスプリッタ
１７ｂ　　　集光レンズ
１７ｃ　　　光センサ
３０　　　　制御部
３１　　　　記憶部
４１　　　　電圧測定器
５１　　　　電圧測定器
５２　　　　電流測定器
１００　　　露光装置
１１０　　　露光装置コントローラ
Ｃ０　　　　コンデンサ
Ｃ１～Ｃ４　　　　コンデンサ
ＭＳ１～ＭＳ３　　磁気スイッチ

Claims (25)

  1. 　レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
    　前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
    　前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
    前記充電電圧の値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
  2. 　レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
    　前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
    　前記充電電圧の値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
  3. 　レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
    　前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
    　前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
    　前記充電器により加えられた充電電圧の値を測定する電圧測定器と、
    　前記測定された充電電圧の値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
  4. 　レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
    　前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
    　前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
    　前記一対の電極間に印加された電圧値を測定する電圧測定器と、
    　前記一対の電極間を流れる電流値を測定する電流測定器と、
    　前記測定された電圧値及び電流値に基づき前記一対の電極間への投入エネルギＥｉｎを算出し、更に、算出された前記投入エネルギＥｉｎを積算することにより前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
  5. 　レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
    　前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
    　前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
    　前記充電電圧の値に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
  6. 　レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
    　前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
    　前記充電電圧の値に基づき投入エネルギＥｉｎを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
  7. 　レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
    　前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
    　前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
    　前記充電器により加えられた充電電圧を測定する電圧測定器と、
    　前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
  8. 　レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、
    　前記レーザチャンバ内に設けられている一対の電極と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、
    　前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、
    　前記一対の電極間に印加された電圧を測定する電圧測定器と、
    　前記一対の電極間を流れる電流を測定する電流測定器と、
    　前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギを算出し、前記一対の電極間への投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより前記投入エネルギＥｉｎを減じ、前記減じた後の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが０を超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
  9. 　投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、
    　レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
    　前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
    　前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
    　現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、
    　前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、
    　を含むレーザ装置の制御方法。
  10. 　投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、
    　レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるための充電電圧を設定する工程と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
    　前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
    　現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、
    　前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、
    　を含むレーザ装置の制御方法。
  11. 　投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、
    　レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
    　前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
    　前記充電電圧を測定する工程と、
    　前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
    　現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、
    　前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、
    　を含むレーザ装置の制御方法。
  12. 　投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程と、
    　レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
    　前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
    　前記一対の電極間に印加された電圧及び、前記一対の電極間を流れる電流を測定する工程と、
    　前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
    　現在の投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍに、前記算出された投入エネルギＥｉｎを加えて、新たな投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出する工程と、
    　前記算出された投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが、投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する工程と、
    　を含むレーザ装置の制御方法。
  13. 　投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、
    　レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
    　前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
    　前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
    　現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、
    　前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、
    　を含むレーザ装置の制御方法。
  14. 　投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、
    　レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるための充電電圧を設定する工程と、
    　前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
    　前記設定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
    　現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、
    　前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、
    　を含むレーザ装置の制御方法。
  15. 　投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、
    　レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
    　前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
    　前記充電電圧を測定する工程と、
    　前記測定された充電電圧に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
    　現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、
    　前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、
    　を含むレーザ装置の制御方法。
  16. 　投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程と、
    　レーザ光を出射するレーザゲイン媒質を励起するための一対の電極間に電圧を印加し放電させるため、前記一対の電極に接続されているパワーパスルモジュールに加えられる充電電圧を設定する工程と、
    　前記パルスパワーモジュールに、前記設定された充電電圧を加え、前記一対の電極間に放電を生じさせる工程と、
    　前記一対の電極間に印加された電圧及び、前記一対の電極間を流れる電流を測定する工程と、
    　前記測定された電圧及び電流に基づき投入エネルギＥｉｎを算出する工程と、
    　現在の投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬより、前記算出された投入エネルギＥｉｎを減じて、新たな投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬを算出する工程と、
    　前記算出された投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬが、０を超えているか否かを判断する工程と、
    　を含むレーザ装置の制御方法。
  17. 　前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程は、
    　現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
    　前記読み込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとする請求項９に記載のレーザ装置の制御方法。
  18. 　前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程は、
    　現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
    　前記読み込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとする請求項１０に記載のレーザ装置の制御方法。
  19. 　前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程は、
    　現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
    　前記読み込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとする請求項１１に記載のレーザ装置の制御方法。
  20. 　前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍの設定を行う工程は、
    　現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
    　前記読み込まれた投入エネルギの積算値を投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍとする請求項１２に記載のレーザ装置の制御方法。
  21. 　前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程は、
    　現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
    　投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅより、前記読み込まれた投入エネルギの積算値を減じて、前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとする請求項１３に記載のレーザ装置の制御方法。
  22. 　前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程は、
    　現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
    　投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅより、前記読み込まれた投入エネルギの積算値を減じて、前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとする請求項１４に記載のレーザ装置の制御方法。
  23. 　前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程は、
    　現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
    　投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅより、前記読み込まれた投入エネルギの積算値を減じて、前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとする請求項１５に記載のレーザ装置の制御方法。
  24. 　前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬの設定を行う工程は、
    　現在までの投入エネルギの積算値を読み込み、
    　投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅより、前記読み込まれた投入エネルギの積算値を減じて、前記投入エネルギ寿命指標値ＥｉｎＬとする請求項１６に記載のレーザ装置の制御方法。
  25. 　レーザチャンバを含みパルスレーザ光を出力するレーザ装置であって、
    　前記パルスレーザ光のパルスエネルギを計測するエネルギモニタユニットと、
    　前記パルスエネルギの値に基づき投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍを算出し、前記投入エネルギの積算値Ｅｉｎｓｕｍが投入エネルギの積算寿命値Ｅｉｎｓｕｍｌｉｆｅを超えているか否かを判断する制御部と、
    　を備えるレーザ装置。
PCT/JP2013/070110 2012-07-26 2013-07-24 レーザ装置及びレーザ装置の制御方法 WO2014017562A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014526983A JP6165142B2 (ja) 2012-07-26 2013-07-24 レーザ装置及びレーザ装置の制御方法
US14/602,208 US9647415B2 (en) 2012-07-26 2015-01-21 Laser apparatus and method of controlling laser apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012-166292 2012-07-26
JP2012166292 2012-07-26

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US14/602,208 Continuation US9647415B2 (en) 2012-07-26 2015-01-21 Laser apparatus and method of controlling laser apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2014017562A1 true WO2014017562A1 (ja) 2014-01-30

Family

ID=49997371

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2013/070110 WO2014017562A1 (ja) 2012-07-26 2013-07-24 レーザ装置及びレーザ装置の制御方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9647415B2 (ja)
JP (1) JP6165142B2 (ja)
WO (1) WO2014017562A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015140930A1 (ja) * 2014-03-18 2015-09-24 ギガフォトン株式会社 ガスレーザ装置及びその制御方法
WO2020161865A1 (ja) * 2019-02-07 2020-08-13 ギガフォトン株式会社 機械学習方法、消耗品管理装置、及びコンピュータ可読媒体
WO2022018795A1 (ja) * 2020-07-20 2022-01-27 ギガフォトン株式会社 訓練データ作成方法、機械学習方法、消耗品管理装置及びコンピュータ可読媒体
US11841267B2 (en) 2018-07-05 2023-12-12 Gigaphoton Inc. Energy measuring apparatus and excimer laser apparatus

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018105002A1 (ja) * 2016-12-05 2018-06-14 ギガフォトン株式会社 レーザ装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05291649A (ja) * 1992-04-13 1993-11-05 Fanuc Ltd レーザ発振器の制御装置
JPH09223833A (ja) * 1996-02-12 1997-08-26 Cymer Inc 部品の耐用期間の終焉を予測可能なレーザーシステム及びその予測方法
JPH10135542A (ja) * 1996-10-29 1998-05-22 Fanuc Ltd ガス放電励起レーザ装置
JPH11177166A (ja) * 1997-12-11 1999-07-02 Amada Eng Center Co Ltd Ｙａｇレーザの電源装置
JP2002043219A (ja) * 2000-04-25 2002-02-08 Gigaphoton Inc レーザ装置管理システム
JP2003243753A (ja) * 2002-02-21 2003-08-29 Gigaphoton Inc ガスレーザ装置及びガスレーザ装置のフッ素濃度制御方法
JP2008225047A (ja) * 2007-03-13 2008-09-25 Seiko Epson Corp 画像形成装置および画像形成方法
JP2009018453A (ja) * 2007-07-10 2009-01-29 Seiko Epson Corp 液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法および液体吐出装置の制御プログラム

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5504766A (en) 1992-04-13 1996-04-02 Fanuc, Ltd. Controller for laser beam oscillator
US5463650A (en) * 1992-07-17 1995-10-31 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Apparatus for controlling output of an excimer laser device
US5657334A (en) * 1996-02-15 1997-08-12 Cymer, Inc. External high voltage control for a laser system
JPH10275951A (ja) 1997-03-28 1998-10-13 Nikon Corp レーザ光源の寿命判定方法
AU1915099A (en) * 1997-12-15 1999-07-05 Cymer, Inc. High pulse rate pulse power system
JP2000349017A (ja) 1999-06-08 2000-12-15 Canon Inc 露光装置システムおよびデバイス製造方法
RU2258253C2 (ru) 2000-02-16 2005-08-10 Саймер, Инк. Система контроля технологического процесса для лазеров, используемых в литографии
US6810061B2 (en) * 2001-08-27 2004-10-26 Komatsu Ltd. Discharge electrode and discharge electrode manufacturing method
JP3806025B2 (ja) * 2001-11-29 2006-08-09 株式会社小松製作所 ガスレーザ装置
JP4223887B2 (ja) * 2003-08-11 2009-02-12 株式会社小松製作所 ２ステージレーザのパルスエネルギー制御装置及び２ステージレーザシステム
JP2006088163A (ja) * 2004-09-21 2006-04-06 Fanuc Ltd レーザ装置
JP5179736B2 (ja) * 2006-09-21 2013-04-10 株式会社小松製作所 露光装置用レーザ装置
JP6022837B2 (ja) * 2011-10-25 2016-11-09 ギガフォトン株式会社 エキシマレーザ装置及びエキシマレーザシステム

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05291649A (ja) * 1992-04-13 1993-11-05 Fanuc Ltd レーザ発振器の制御装置
JPH09223833A (ja) * 1996-02-12 1997-08-26 Cymer Inc 部品の耐用期間の終焉を予測可能なレーザーシステム及びその予測方法
JPH10135542A (ja) * 1996-10-29 1998-05-22 Fanuc Ltd ガス放電励起レーザ装置
JPH11177166A (ja) * 1997-12-11 1999-07-02 Amada Eng Center Co Ltd Ｙａｇレーザの電源装置
JP2002043219A (ja) * 2000-04-25 2002-02-08 Gigaphoton Inc レーザ装置管理システム
JP2003243753A (ja) * 2002-02-21 2003-08-29 Gigaphoton Inc ガスレーザ装置及びガスレーザ装置のフッ素濃度制御方法
JP2008225047A (ja) * 2007-03-13 2008-09-25 Seiko Epson Corp 画像形成装置および画像形成方法
JP2009018453A (ja) * 2007-07-10 2009-01-29 Seiko Epson Corp 液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法および液体吐出装置の制御プログラム

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015140930A1 (ja) * 2014-03-18 2015-09-24 ギガフォトン株式会社 ガスレーザ装置及びその制御方法
JPWO2015140930A1 (ja) * 2014-03-18 2017-04-06 ギガフォトン株式会社 ガスレーザ装置及びその制御方法
US9853410B2 (en) 2014-03-18 2017-12-26 Gigaphoton Inc. Gas laser device and control method therefor
US11841267B2 (en) 2018-07-05 2023-12-12 Gigaphoton Inc. Energy measuring apparatus and excimer laser apparatus
WO2020161865A1 (ja) * 2019-02-07 2020-08-13 ギガフォトン株式会社 機械学習方法、消耗品管理装置、及びコンピュータ可読媒体
CN113261166A (zh) * 2019-02-07 2021-08-13 极光先进雷射株式会社 机器学习方法、消耗品管理装置和计算机可读介质
JPWO2020161865A1 (ja) * 2019-02-07 2021-12-09 ギガフォトン株式会社 機械学習方法、消耗品管理装置、及びコンピュータ可読媒体
CN113261166B (zh) * 2019-02-07 2023-07-14 极光先进雷射株式会社 机器学习方法、消耗品管理装置和计算机可读介质
US11822324B2 (en) 2019-02-07 2023-11-21 Gigaphoton Inc. Machine learning method, consumable management apparatus, and computer readable medium
JP7428667B2 (ja) 2019-02-07 2024-02-06 ギガフォトン株式会社 機械学習方法、消耗品管理装置、及びコンピュータ可読媒体
WO2022018795A1 (ja) * 2020-07-20 2022-01-27 ギガフォトン株式会社 訓練データ作成方法、機械学習方法、消耗品管理装置及びコンピュータ可読媒体
JP7432733B2 (ja) 2020-07-20 2024-02-16 ギガフォトン株式会社 訓練データ作成方法、機械学習方法、消耗品管理装置及びコンピュータ可読媒体

Also Published As

Publication number Publication date
US20150139258A1 (en) 2015-05-21
US9647415B2 (en) 2017-05-09
JP6165142B2 (ja) 2017-07-19
JPWO2014017562A1 (ja) 2016-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6204363B2 (ja) レーザ装置及びレーザ装置の制御方法
JP6165142B2 (ja) レーザ装置及びレーザ装置の制御方法
JP6310390B2 (ja) レーザ装置の制御方法及びレーザ装置
JP5114767B2 (ja) 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置
US7903700B2 (en) Narrow-spectrum laser device
US7382816B2 (en) Two-stage laser pulse energy control device and two-stage laser system
JP2000286495A (ja) エキシマレーザーまたはフッ素分子レーザーシステム
JPH08274399A (ja) パルスレーザ装置のパルスエネルギ制御装置と方法
US9601893B2 (en) Laser apparatus
US10965090B2 (en) Laser apparatus
JP5253830B2 (ja) レーザ装置の故障診断システム
US20230318252A1 (en) Control method of laser system, laser system, and electronic device manufacturing method
WO2018025394A1 (ja) ガスレーザ装置
JP2011249832A (ja) 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置
JP5371208B2 (ja) ２ステージレーザのパルスエネルギー制御装置
JP5513653B2 (ja) レーザ装置の故障診断システム
JP5352321B2 (ja) 露光用ガスレーザ装置
JP2006203008A (ja) ２ステージレーザシステム
JP5832581B2 (ja) 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置
JP6568311B2 (ja) レーザ装置
US20240044711A1 (en) Wavelength measurement apparatus, narrowed-line laser apparatus, and method for manufacturing electronic devices
JP2004342964A (ja) 高精度同期制御機能を備えた２ステージレーザ装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13823724

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2014526983

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 13823724

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1