[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

SE511211C2 - Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid - Google Patents

Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid

Info

Publication number
SE511211C2
SE511211C2 SE9604778A SE9604778A SE511211C2 SE 511211 C2 SE511211 C2 SE 511211C2 SE 9604778 A SE9604778 A SE 9604778A SE 9604778 A SE9604778 A SE 9604778A SE 511211 C2 SE511211 C2 SE 511211C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
layer
tool
thickness
boron nitride
cubic boron
Prior art date
Application number
SE9604778A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9604778D0 (sv
SE9604778L (sv
Inventor
Michael Thysell
Torbjoern Selinder
Original Assignee
Sandvik Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sandvik Ab filed Critical Sandvik Ab
Priority to SE9604778A priority Critical patent/SE511211C2/sv
Publication of SE9604778D0 publication Critical patent/SE9604778D0/sv
Priority to KR1019997005634A priority patent/KR20000062268A/ko
Priority to JP52869998A priority patent/JP2001506929A/ja
Priority to IL13035197A priority patent/IL130351A/en
Priority to US08/992,818 priority patent/US6090476A/en
Priority to EP97952150A priority patent/EP0950126A1/en
Priority to PCT/SE1997/002161 priority patent/WO1998028464A1/en
Publication of SE9604778L publication Critical patent/SE9604778L/sv
Publication of SE511211C2 publication Critical patent/SE511211C2/sv

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/403Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/048Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material with layers graded in composition or physical properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00Cutters, for shaping
    • Y10T407/27Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975No layer or component greater than 5 mils thick
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264Up to 3 mils
    • Y10T428/2651 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)

Description

511 211 2 10 15 20 25 30 35 600-840 OC, termisk belastning i maskinbearbetningsoperationer. Om vilken temperatur definierar en övre gräns för temperaturen vid fogen mellan cBN och hàrdmetallkroppen ökas nära eller över smältpunkten för lodet, kan inlägget glida och förorsaka dålig funktion hos verktyget.
En förbättring av PCBN konceptet visas i US patentansökan 08/446,49O vari beskrivs ett metallbearbetningsskär omfattande en hårdmetallkropp och åtminstone en kropp av superhårt abrasivt material, såsom (PCD) eller PcBN, bunden till en kantyta av kroppen och som sträcker sig från en sidoyta polykristallin diamant till den andra. Det kan vara en mängd superhårda kroppar placerade vid respektive hörn av kroppen. Det abrasiva materialet är anbringat på kroppen i en behållare och sedan sintrat och samtidigt bundet till kroppen i ett högt tryck- och temperatursteg. Skär kan till exempel tillverkas antingen i stångform, d v s i ett stycke, vilket därefter kan kapas till tunna skivor, eller skären kan tillverkas i separata stycken, med eller utan separatorer i behållaren.
Vid maskinbearbetning med PcBN-verktyg uppstår ofta problem med gropförslitning av PcBN-fasen. Skälet är en kombination av abrasiv förslitning och kemisk upplösning av verktygsmaterialet i spånan som gradvis försvagar skäreggen, en process som slutligen leder till eggbrott.
Den kemiska förslitningen orsakas av en kemisk reaktion mellan verktygsmaterialet och arbetsstycket vid de höga temperaturer som alstrats i skärzonen. I en typisk maskinbearbetningsoperation med användning av PcBN är verktygsförslitningen på flanken vanligen liten eller mycket liten. Detta gör använda eggar svåra att skilja från oanvända. Det lilla förslitningsmärket på skärets flank är svårt att observera med blotta ögat. Ändamålet med föreliggande uppfinning är att åstadkomma ett slitstarkt skärverktyg, och ett sätt för dess_tillverkning. Verktyget är avsett för spånformande bearbetning av material som är svåra att bearbeta som till exempel härdade stål och gjutjärn. Uppfinningen minskar problem associerade med kemisk upplösning, gropförslitning, 10 15 20 25 30 3 511211 av verktygsmaterialet på spånsidan, varvid livslängden förlängs. Den löser även problemen med identifiering av använda eggar av ett vändskär.
Verktygskonceptet består av ett substrat av en hàrdmetallkropp innehållande pàsintrade PcBN inlägg vid åtminstone en skäregg, varvid nämnda inlägg har åtminstone 40 vikts-% cBN och sagda substrat är försett med en slitstark multiskiktbeläggning som är utfälld med användning av en högtemperatur-CVD i högvolym reaktorer.
I grund och botten utgörs multiskiktbeläggningen av ett första, ett andra och ett tredje skikt, med utomordentlig vidhäftning, slitstyrka och kemisk stabilitet, respektive. Ytterligare förbättring av vidhäftningen, och diffusionsbromsande mellanskikt är valfritt, liksom också ett yttre skikt av ickesvart beläggning för att lättare upptäcka använda skäreggar.
Tack vare frånvaron av lödfog kan verktyget enligt uppfinningen beläggas med användning av högtemperatur-CVD i ekonomisk produktion skala. Det så belagda verktyget visar utomordentlig beläggningsvidhäftning med en gynnsam grad av kemisk reaktion mellan det sintrade superhàrda inlägget och beläggningen. Ut-diffusion av bindefaselement från det superhàrda inlägget in i beläggningen kan kontrolleras genom bildningen av ett mellanskikt. Detta skikt har även den fördelaktiga effekten av att skapa förbättrad vidhäftning mellan två följande beläggningsskikt beroende pà dess höga specifika yta. Användning av högtemperatur-CVD möjliggör även beläggning av aluminiumoxid, vilket betydligt ökar oxidations¥ och gropförslitningsmotståndet för PcBN-verktyget enligt uppfinningen. En kombination av högtemperatur CVD beläggningar ger ett PcBN verktyg med attraktiva egenskaper som utvidgar det nuvarande tekniska användningsområdet för PcBN verktyg. Den praktiska användningen av verktyget kan ytterligare förbättras genom utfällning av ett ogenomskinligt, icke-svart ytskikt för lättare upptäckt av använda eggar. 511 10 l5 20 25 30 35 211 4 Fig. l visar en toppvy av ett belagt PcBN verktyg (l) omfattande en hàrdmetallkropp (2) med ett insintrat inlägg (3) som bildar en skäregg (4).
Fig. 2 illustrerar ett diagonalt tvärsnitt av det belagda PcBN verktyget där (5) är beläggningen och (6) är kantytan som sträcker sig från en sidoyta (7) till den andra(8).
Fig. 3 visar ett detaljerat tvärsnitt av ett multiskiktbelagt PCBN verktyg där (9) är det första skiktet, (10) det andra skiktet, (ll) det tredje skiktet (12) ett valfritt yttre, icke-svart, skikt.
Skärverktyget enligt uppfinningen kan vara av någon och form innehållande en hårdmetallkropp med insintrade inlägg av superhårt abrasivt material vid skäreggen eller skäreggarna, t ex borrar, pinnfräsar, vändskär, företrädesvis ett skär av multihörntyp tillverkat enligt US patentansökan 08/446,490. En schematisk toppvy av en föredragen utföringsform av det beskrivna verktyget visas i fig l.'Ett vändskär (l) omfattar en hårdmetallkropp (2), och åtminstone ett insintrat inlägg (3) av superhàrt abrasivt material, såsom PCD eller PCBN, bundet till en kantyta (6) av kroppen (2) och som företrädesvis sträcker sig från en sidoyta (7) till den andra sidoytan (8) därav, som visas i det schematiska tvärsnittet längs en diagonal av skäret (l) i Fig. 2. Det kan finnas en mängd superhàrda inlägg (3) placerade vid andra eggytor av kroppen (2), som ger åtminstone en skäregg (4). Inlägget av superhårt, abrasivt material (3) anbringas på kroppen (2) som ett pulver, i dess osintrade form, i en behållare och sintras sedan och binds samtidigt till kroppen (3) i ett högt tryck/hög temperatur steg. Verktyg kan, till exempel, tillverkas i stång form, d v s ett verktyg i ett stycke, vilka i den föredragna utföringsformen kan kapas på tvären till tunna skär, eller skären kan tillverkas i separat styck, med eller utan separatorer i behållaren.
Hàrdmetallkroppen (2) är av WC-Co med l5-l7 vikts-% Co. 10 15 20 25 30 35 5 511211 PcBN-inlägget (3) innehåller mer än 40 vikts-% cBN.
Resten består av metallbindefas, och av hårda och såsom Co, slitstarka keramiska beståndsdelar såsom karbider, nitrider, karbonitrider, oxider, borider av metaller av grupperna IVA till VIA i det periodiska systemet som känt i tekniken, företrädesvis titan.
Beläggningen (5) som visas i tvärsnitt i Pig. 2. Fig. 3 visar tvärsnittet i större detalj. Multiskiktbeläggningen omfattar: _ - ett första, innersta skikt (9) av TiCxNy med x+y=l, och y>0.8, med likaxliga korn med storlek total tjocklek - ett andra skikt (10) av TiCXNy med x+y=l, med x>O.5, med en tjocklek av 3-7 pm, med kolumnära korn med en (10) utfällas med användning av konventionell termisk CVD- eller medeldiameter av 0.1-2 pm. Det andra skiktet kan företrädesvis med MT-CVD-tekniker. - ett tredje skikt (ll) d- eller K-Al2O3-skikt eller av ett jämnt, finkornigt (kornstorlek omkring 1 pm) blandningar därav med en tjocklek av 3-6 pm. Företrädesvis (11) av Al2O3 det yttersta skiktet men det kan även följas av ytterligare skikt företrädesvis ett tunt (12) t ex TiN för lättare upptäckt av använda eggar. är det tredje skiktet (omkring 0,01-1 pm) skikt av en icke-svart beläggning, - ett mellanskikt av TiCXNyOZ med x+y+z=l och O.l nållika korn av storlek (10) och det tredje skiktet (ll).
Sådant mellanskikt har den fördelaktiga egenskapen att öka mellan det andra skiktet vidhäftningen mellan skikten i multiskiktstrukturen, och de begränsar även till en väsentlig grad ut-diffusionen av bindefas från underliggande hårdmetallkropp eller cBN- inlägg.
De så belagda skären kan behandlas mekaniskt för att ytterligare förbättra verktygsprestanda. Exempel på sådana efterbehandlingar är borstning eller blästring som gör skären inte bara mera jämna och skinande, men reducerar även affiniteten till arbetsstyckematerialet och ändrar 511211 6 10 15 20 25 30 35 spänningstillstàndet för beläggningen. Speciellt förbättras egglinjeprestanda vid den mekaniska behandlingen så att egglinjen blir mer jämn och mindre benägen till flagning.
Härvid kan det yttre TiN-skiktet (12) avlägsnas helt eller delvis och ett underliggande Al2O3-skikt (ll) helt eller delvis avlägsnat längs skäreggen.
Föreliggande uppfinning även avser ett sätt att fälla ut en multiskiktbeläggning med användning av termiskt aktiverat kemisk àngbeläggning (CVD) utfört i produktionsskale, cylindrisk, varmväggs-CVD-reaktor, företrädesvis utrustad med en central, roterande gasfördelare varvid processgasen strömmar radiellt. Metoden består av utfällning med användning av i sig kända CVD- metoder vid temperaturer högre än 850 OC av: - ett första, innersta, skikt (9) av TiCxNy med x+y=l, och y>O.8, med likaxliga korn med storlek <0.5 pm och en total tjocklek <0.5 um. - ett andra skikt (10) av TiCxNy med x+y=l, med x>0.5, med en tjocklek av 3-7 um, med kolumnära korn med en medeldiameter av 0.1-2 um med användning av MTCVD-teknik med acetonitril som kol- och kvävekälla för bildning av skiktet, OC; företrädesvis i ett temperaturintervall av 850-900 - ett tredje skikt av ett jämnt a- eller K-Al2O3-skikt med en tjocklek av 3-6 um; - ett valfritt yttre skikt av ogenomskinlig, icke svart beläggning av, t ex TiN med en tjocklek av 0.01-0.5 pm.
Ett mellanskikt av TiCxNyOZ med en tjocklek av 0.1-0.5 pm, och med nàllika korn med storlek <0.5 um, med användning av kända CVD-metoder varvid syret införes med hjälp av C02- eller CO-tillsatser till processgasen utfälls (10) och det tredje skiktet (ll).
I en ytterligare föredragen utföringsform avlägsnas mellan det andra det yttre och det tredje skiktet, helt eller delvis, från ett område längs skäreggen med mekanisk borstning eller sandblästring. 10 15 20 25 30 35 7 511211 Exempel 1 Multihörnskär bestående av en hårdmetallkropp med sammansättning 15 vikts-% Co och 85 % WC försågs med insintrade PcBN inlägg med ett cBN-innehåll av 60% vikts och 40% av Ti(C,N). Skäret var av formen CNGN 120408 SO1020, och inlägget var fastsintrat på hårdmetallkroppen, som beskrivits ovan och i mer detalj i US patentansökan 08/446,490. termisk CVD process, Skären belades därefter med användning av en beskriven i mer detalj nedan.
Beläggningproceduren utfördes, enligt beskrivningen ovan, i en produktionsskale cylindrisk varmväggs CVD reaktor utrustad med en central, roterande gasfördelare, med gas strömmande i radiell riktning. Verktyget belades med ett multiskikt enligt följande: Ett 0.5 pm likaxligt första TiCN-skikt följt av ett 4 pm tjockt andra TiCN-skikt med uttalat kolumnära korn med användning av MTCVD-tekniken (processtemperatur 850 °C och CH3CN som kol/kväve-källa). I följande processteg under samma beläggningscykel utfälldes ett l um tjockt mellanskikt av TiCxNyOZ (omkring x=O.6, y=O.2 och z=O.2) Ett tredje skikt utfälldes, som var ett 5.5 pm tjockt skikt av a-Al2O3 utfällt vid en temperatur av 1020 OC, med nällika korn. enligt betingelser angivna i svenska patentet 501 527. Slutligen belades ett 0.3 pm yttre skikt av TiN, som ett dekorativt skikt vilket även underlättar upptäckt av använda eggar.
Multiskiktbeläggningen uppvisade utomordentlig vidhäftning till PcBN inlägget såväl som till hàrdmetallkroppen. Ett nätverk av kylsprickor upptäcktes med användning av SEM. Även, synlig vid optisk mikroskopi i ett polerat tvärsnitt, var 0.5-1.0 um stora fläckar av metallisk Co, lokaliserade till gränsytan mellan det andra PCBN och diffunderade ut genom det första och det skiktet och mellanskiktet. Co hade sitt ursprung i inlägget, andra skiktet under beläggningsprocessen. Men mellanskiktet blockerade ytterligare utdiffusion, varvid Co samlades under det. På detta sätt det var möjligt att hindra 511211 8 10 15 20 30 35 degradering av det tredje aluminiumoxidskiktet och dess vidhäftning genom bildning av oönskade Co-haltiga faser.
Exempel 2 Ett verktyg, enligt exempel l, men vars tredje aluminiumoxidskikt bestod av K-aluminiumoxid, vars yta hade ett slätare framträdande än d-aluminiumoxid.
Exempel 3 Ett verktyg, enligt exempel l, men utsatt för en mekanisk behandling efter beläggningen med blästring med användning av 160 mesh aluminiumoxidsand och ett blästringstryck av 2.2 bar. Proceduren gav verktygets yta ett jämnt framträdande.
Exempel 4 Ett verktyg, enligt exempel 1, men med ytterligare ett mellanskikt av 0.5 pm tjock TiCXNyOZ (omkring x=0.6, y=0.2 och z=0.2) med nàllika korn mellan det första och det andra skiktet. Härigenom var det möjligt att ännu mera begränsa Co utdiffusionen från hårdmetallen eller cBN.
Exempel 5 Ett belagt skär enligt exempel l jämfördes i ett svarvprov med ett obelagt referensskär av samma typ.
Provparametrar var: Arbetsstyckematerial: Härdat kullagerstàl DIN l00Crmo6 med en hårdhet av 60 HRC.
Skärhastighet 100 m/min Matning 0,20 mm/varv Skärdjup 0,15 mm Typ av operation planing Skärvätska ja Livslängdkriterium eggbrott Det belagda skärverktyget varade 95 passager före brott, medan den obelagda referensen gick till brott efter endast 60 passager. Det belagda verktyget visade mindre 10 9 511211 fasförslitning än den obelagda referensen. Huvudskillnaden i eggprestanda är, emellertid, att det belagda verktyget uppvisade betydligt mindre gropförslitning än den obelagda referensen efter samma bearbetningstid. Verktygshaveri inträffade i båda fall beroende på gropförslitning, en process vari verktygsmaterialet gradvis upplöses i spànan, och på så sätt material avlägsnas från verktygets yta. När krätern når större storlek och djup försvagas skäreggen gradvis, tills katastrofalt haveri inträffar. Denna upplösning fortsatte till en betydligt mindre utsträckning för det belagda verktyget än för det obelagda.

Claims (2)

511 211 10 10 15 20 25 E
1. Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid (PCBN) omfattande en hårdmetallkropp bestående av WC-Co med 15-17 vikts-% Co, med åtminstone ett insintrat inlägg vid en kantyta av kroppen, varvid sagda inlägg innehåller mer än 40 vikts-% polykristallin kubisk bornitrid och rest av metallbindefas, såsom Co, och av hårda och slitstarka keramiska beståndsdelar såsom karbider, nitrider,'karbonitrider, oxider, borider av metaller av grupperna IVA till VIA i det periodiska systemet som känt i tekniken, företrädesvis titan, som bildar åtminstone en skäregg k ä n n e t e c k n a t av att multiskiktbelåggningen omfattar åtminstone ett forsta, ett andra och ett tredje skikt varvid; - det första skiktet är TiCxNy med x+y=l och y>O.8 med likaxliga korn med en storlek - det andra skiktet ar TiCxNy med x+y=l och x>O.5 med en tjocklek av 3-7 pm och med kolumnära korn med en medeldiameter av 0.1-2 pm; - det tredje skiktet ar ett jämnt, finkornigt (omkring l pm) skikt av a- eller K-Al2O3 eller blandningar därav med en tjocklek av 3-6 pm varvid multiskiktbelaggningen dessutom omfattar - ett 0.1-0.5 pm tjockt mellanskikt mellan det andra och det tredje skiktet av TiCXNyOZ med x+y+z=l och O.l
2. Ett verktyg enligt föregående krav, k a n n e t e c k n a t av att multiskiktbeläggningen är delvis avlägsnad från ett område längs skäreggen.
SE9604778A 1996-12-20 1996-12-20 Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid SE511211C2 (sv)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9604778A SE511211C2 (sv) 1996-12-20 1996-12-20 Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid
KR1019997005634A KR20000062268A (ko) 1996-12-20 1997-12-18 입방 질화 붕소 절삭 공구
JP52869998A JP2001506929A (ja) 1996-12-20 1997-12-18 立方晶窒化ホウ素切削工具
IL13035197A IL130351A (en) 1996-12-20 1997-12-18 Square nitride cutting device and method of manufacture
US08/992,818 US6090476A (en) 1996-12-20 1997-12-18 Cubic boron nitride cutting tool
EP97952150A EP0950126A1 (en) 1996-12-20 1997-12-18 Cubic boron nitride cutting tool
PCT/SE1997/002161 WO1998028464A1 (en) 1996-12-20 1997-12-18 Cubic boron nitride cutting tool

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9604778A SE511211C2 (sv) 1996-12-20 1996-12-20 Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9604778D0 SE9604778D0 (sv) 1996-12-20
SE9604778L SE9604778L (sv) 1998-08-21
SE511211C2 true SE511211C2 (sv) 1999-08-23

Family

ID=20405131

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9604778A SE511211C2 (sv) 1996-12-20 1996-12-20 Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6090476A (sv)
EP (1) EP0950126A1 (sv)
JP (1) JP2001506929A (sv)
KR (1) KR20000062268A (sv)
IL (1) IL130351A (sv)
SE (1) SE511211C2 (sv)
WO (1) WO1998028464A1 (sv)

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3573256B2 (ja) * 1998-07-27 2004-10-06 住友電気工業株式会社 Al2O3被覆cBN基焼結体切削工具
JP2000042806A (ja) * 1998-07-31 2000-02-15 Toshiba Tungaloy Co Ltd 切削工具用積層被覆体
SE520795C2 (sv) * 1999-05-06 2003-08-26 Sandvik Ab Skärverktyg belagt med aluminiumoxid och process för dess tillverkning
SE519108C2 (sv) * 1999-05-06 2003-01-14 Sandvik Ab Belagt skärverktyg för bearbetning av grått gjutjärn
SE521284C2 (sv) * 1999-05-19 2003-10-21 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt skärverktyg för metallbearbetning
CA2327092C (en) * 1999-12-03 2004-04-20 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Coated pcbn cutting tools
KR100600663B1 (ko) * 2000-01-25 2006-07-13 스미토모덴키고교가부시키가이샤 Al₂O₃코팅된 cBN 기재 소결체로 제조된 절단 용구
SE520088C2 (sv) * 2000-04-06 2003-05-20 Skf Sverige Ab Metod för spånskärande bearbetning av ett arbetsstycke
JP3637882B2 (ja) * 2000-08-31 2005-04-13 住友電気工業株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
US6813980B2 (en) * 2000-11-30 2004-11-09 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Cutting tool and throw-away insert therefor
US6988858B2 (en) * 2001-02-28 2006-01-24 Kennametal Inc. Oxidation-resistant cutting assembly
EP1311712A2 (de) 2001-03-27 2003-05-21 Widia GmbH Verfahren zur erhöhung der druckspannung oder zur erniedrigung der zugeigenspannung einer schicht
SE522735C2 (sv) * 2001-05-30 2004-03-02 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt skärverktyg
AU2003206013A1 (en) * 2002-02-21 2003-09-09 Element Six (Pty) Ltd Tool insert
US20040047039A1 (en) * 2002-06-17 2004-03-11 Jian Wang Wide angle optical device and method for making same
SE526603C3 (sv) * 2003-01-24 2005-11-16 Sandvik Intellectual Property Belagt hårdmetallskär
US7442113B2 (en) * 2003-04-23 2008-10-28 Lsi Corporation Visual wear confirmation polishing pad
SE527349C2 (sv) * 2003-04-24 2006-02-14 Seco Tools Ab Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret
SE527346C2 (sv) * 2003-04-24 2006-02-14 Seco Tools Ab Skär med beläggning av skikt av MTCVD-Ti (C,N) med styrd kornstorlek och morfologi och metod för att belägga skäret
US7592077B2 (en) * 2003-06-17 2009-09-22 Kennametal Inc. Coated cutting tool with brazed-in superhard blank
US7429152B2 (en) * 2003-06-17 2008-09-30 Kennametal Inc. Uncoated cutting tool using brazed-in superhard blank
US7455918B2 (en) * 2004-03-12 2008-11-25 Kennametal Inc. Alumina coating, coated product and method of making the same
US20050249978A1 (en) * 2004-04-02 2005-11-10 Xian Yao Gradient polycrystalline cubic boron nitride materials and tools incorporating such materials
KR100600573B1 (ko) * 2004-06-30 2006-07-13 한국야금 주식회사 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 경질부재
KR100817658B1 (ko) 2004-10-29 2008-03-27 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 표면 피복 절삭 공구
EP1825943B1 (en) * 2004-12-14 2017-01-25 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Coated cutting tool
SE528696C2 (sv) 2005-02-25 2007-01-23 Sandvik Intellectual Property CVD-belagt skär av hårdmetall, cermet eller keramik och sätt att tillverka detsamma
CN101151115B (zh) * 2005-03-29 2012-10-31 住友电工硬质合金株式会社 被覆切削刀头及其制造方法
SE529023C2 (sv) 2005-06-17 2007-04-10 Sandvik Intellectual Property Belagt skär av hårdmetall
US7451838B2 (en) * 2005-08-03 2008-11-18 Smith International, Inc. High energy cutting elements and bits incorporating the same
US20090126541A1 (en) * 2005-12-12 2009-05-21 Cornelius Johannes Pretorius Cutting Method
EP2058068B1 (en) * 2006-08-31 2018-05-30 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool
US8475944B2 (en) * 2007-06-28 2013-07-02 Kennametal Inc. Coated ceramic cutting insert and method for making the same
US8080323B2 (en) 2007-06-28 2011-12-20 Kennametal Inc. Cutting insert with a wear-resistant coating scheme exhibiting wear indication and method of making the same
US8557406B2 (en) * 2007-06-28 2013-10-15 Kennametal Inc. Coated PCBN cutting insert, coated PCBN cutting tool using such coated PCBN cutting insert, and method for making the same
WO2010024902A2 (en) 2008-08-28 2010-03-04 Corning Incorporated Wear resistant coatings for tool dies
CN102378657B (zh) * 2009-03-03 2015-02-25 戴蒙得创新股份有限公司 用于超硬磨料工具的厚的热障涂层
US8162082B1 (en) * 2009-04-16 2012-04-24 Us Synthetic Corporation Superabrasive compact including multiple superabrasive cutting portions, methods of making same, and applications therefor
WO2012033930A2 (en) 2010-09-08 2012-03-15 Smith International, Inc. Edm cuttable, high cbn content solid pcbn compact
WO2012079769A1 (en) 2010-12-17 2012-06-21 Seco Tools Ab Coated cubic boron nitride tool for machining applications
US8409734B2 (en) 2011-03-04 2013-04-02 Kennametal Inc. Coated substrates and methods of making same
US8507082B2 (en) 2011-03-25 2013-08-13 Kennametal Inc. CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools
US9028953B2 (en) 2013-01-11 2015-05-12 Kennametal Inc. CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools
CN107557755B (zh) 2016-07-01 2020-05-01 山特维克知识产权股份有限公司 具有{0 0 1}织构化κ-Al2O3层的CVD涂层切削工具

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5135801A (en) * 1988-06-13 1992-08-04 Sandvik Ab Diffusion barrier coating material
DE4126851A1 (de) * 1991-08-14 1993-02-18 Krupp Widia Gmbh Werkzeug mit verschleissfester schneide aus kubischem bornitrid oder polykristallinem kubischem bornitrid, verfahren zu dessen herstellung sowie dessen verwendung
US5326380A (en) * 1992-10-26 1994-07-05 Smith International, Inc. Synthesis of polycrystalline cubic boron nitride
SE514737C2 (sv) * 1994-03-22 2001-04-09 Sandvik Ab Belagt skärverktyg av hårdmetall
JP3519127B2 (ja) * 1994-07-08 2004-04-12 東芝タンガロイ株式会社 高熱伝導性被覆工具
SE509201C2 (sv) * 1994-07-20 1998-12-14 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt verktyg
US5652045A (en) * 1994-10-20 1997-07-29 Mitsubishi Materials Corporation Coated tungsten carbide-based cemented carbide blade member
SE514181C2 (sv) * 1995-04-05 2001-01-15 Sandvik Ab Belagt hårmetallskär för fräsning av gjutjärn
US5639285A (en) * 1995-05-15 1997-06-17 Smith International, Inc. Polycrystallline cubic boron nitride cutting tool
ZA963789B (en) * 1995-05-22 1997-01-27 Sandvik Ab Metal cutting inserts having superhard abrasive boedies and methods of making same
US5786069A (en) * 1995-09-01 1998-07-28 Sandvik Ab Coated turning insert

Also Published As

Publication number Publication date
SE9604778D0 (sv) 1996-12-20
EP0950126A1 (en) 1999-10-20
WO1998028464A1 (en) 1998-07-02
KR20000062268A (ko) 2000-10-25
US6090476A (en) 2000-07-18
IL130351A (en) 2002-05-23
IL130351A0 (en) 2000-06-01
SE9604778L (sv) 1998-08-21
JP2001506929A (ja) 2001-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE511211C2 (sv) Ett multiskiktbelagt skärverktyg av polykristallin kubisk bornitrid
US4686156A (en) Coated cemented carbide cutting tool
EP1455003B1 (en) Coated cemented carbide insert
US8512882B2 (en) Carbide cutting insert
US8043729B2 (en) Coated cutting tool insert
EP1048750B1 (en) Coated cutting tool
EP0074759A2 (en) Sintered hard metal products having a multi-layer wear-restistant coating
SE509616C2 (sv) Hårdmetallskär med smal kornstorleksfördelning av WC
US6406224B1 (en) Coated milling insert
KR20120051045A (ko) 백금족 금속 농도 구배를 가진 코팅된 절삭 공구 및 이러한 절삭 공구 제조 공정
JP2009028894A (ja) 被覆切削工具
SE526674C2 (sv) Belagt hårdmetallskär
JP2001205505A (ja) スライス削り及び旋削の用途のための、コーティングされた切削インサート
KR100851021B1 (ko) 크롬-함유 침탄 텅스텐 카바이드체
KR101133476B1 (ko) Cvd 피복 절삭공구 인서트
KR20190039749A (ko) 내용착 치핑성과 내박리성이 우수한 표면 피복 절삭 공구
EP1352697B1 (en) Coated cutting tool insert
EP1614773A2 (en) Insert for metal cutting
JPS6299467A (ja) 表面被覆超硬合金
JPH11291103A (ja) 被覆切削工具
JPH0364469A (ja) 被覆超硬質合金工具
JP3289842B2 (ja) 被覆wc基超硬合金
JPH08290307A (ja) 複合硬質層表面被覆切削工具
JPH0615503A (ja) 複合傾斜硬質層被覆超硬合金製切削工具
JPS62280362A (ja) 表面被覆TiCN系サ−メツト

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed