KR20230051717A - 증착 마스크의 제조 방법 및 증착 마스크 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 개시에 의한 증착 마스크의 양부 판정 방법은, P1점으로부터 Q1점까지의 치수 X1과, P2점으로부터 Q2점까지의 치수 X2를 측정하는 측정 공정과, 측정 공정에 있어서 측정된 치수 X1 및 치수 X2에 기초하여, 증착 마스크의 양부를 판정하는 판정 공정을 구비하고 있다.
Description
본 개시는, 증착 마스크의 양부 판정 방법, 증착 마스크의 제조 방법, 증착 마스크 장치의 제조 방법, 증착 마스크의 선정 방법 및 증착 마스크에 관한 것이다.
근년, 스마트폰이나 태블릿 PC 등의 휴대 가능한 디바이스에서 사용되는 표시 장치에 대하여, 고정밀할 것, 예를 들어 화소 밀도가 500ppi 이상일 것이 요구되고 있다. 또한, 휴대 가능한 디바이스에 있어서도, 울트라 하이데피니션에 대응하는 것에 대한 수요가 높아지고 있고, 이 경우, 표시 장치의 화소 밀도가 예를 들어 800ppi 이상일 것이 요구된다.
표시 장치 중에서도, 응답성이 양호한 점, 소비 전력의 낮음과 콘트라스트의 높음 때문에, 유기 EL 표시 장치가 주목받고 있다. 유기 EL 표시 장치의 화소를 형성하는 방법으로서, 원하는 패턴으로 배열된 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 사용하여, 원하는 패턴으로 화소를 형성하는 방법이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 구체적으로는 처음에, 유기 EL 표시 장치용의 기판에 대하여 증착 마스크를 장설한 상태에서 밀착시키고, 이어서 밀착시킨 증착 마스크 및 기판을 모두 증착 장치에 투입하고, 유기 재료를 기판에 증착시키는 증착 공정을 행한다. 이 경우, 높은 화소 밀도를 갖는 유기 EL 표시 장치를 정밀하게 제작하기 위해서는, 장설 시의 증착 마스크의 관통 구멍의 위치를 설계에 따라서 정밀하게 재현할 것이 요구된다.
본 개시는, 장설 시의 관통 구멍의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크의 양부 판정 방법, 증착 마스크의 제조 방법, 증착 마스크 장치의 제조 방법, 증착 마스크의 선정 방법 및 증착 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 개시의 제1 양태는,
제1 방향으로 연장되는 증착 마스크이며, 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과, 상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과, 상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비한 증착 마스크의 양부를 판정하는 양부 판정 방법이며,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수 X1과, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수 X2를 측정하는 측정 공정과,
상기 측정 공정에 있어서 측정된 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2에 기초하여, 상기 증착 마스크의 양부를 판정하는 판정 공정을 구비한, 증착 마스크의 양부 판정 방법
이다.
본 개시의 제2 양태로서, 상술한 제1 양태에 의한 증착 마스크의 양부 판정 방법에 있어서,
상기 판정 공정에 있어서, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX라 하였을 때,
을 충족하고 있는지 여부를 판정하도록,
해도 된다.
본 개시의 제3 양태로서, 상술한 제1 양태 또는 제2 양태 의하는 증착 마스크의 양부 판정 방법에 있어서,
상기 증착 마스크는 복수의 관통 구멍을 갖고,
상기 판정 공정에 있어서, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX, 상기 P1점으로부터 상기 P2점까지의 치수 및 상기 Q1점으로부터 상기 Q2점까지의 치수의 설계값을 αY, 상기 제2 방향에 있어서의 2개의 상기 관통 구멍의 중심점 간의 거리 중 최댓값을 WY라 하였을 때,
를 충족하고 있는지 여부를 판정하도록,
해도 된다.
본 개시의 제4 양태로서, 상술한 제1 양태로부터 상술한 제3 양태의 각각에 의한 증착 마스크의 양부 판정 방법에 있어서,
상기 P1점과 상기 P2점은, 증착 시에 상기 제1 중심축선에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도되고, 상기 Q1점과 상기 Q2점은, 증착 시에 상기 제1 중심축선에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도되도록,
해도 된다.
본 개시의 제5 양태로서, 상술한 제1 양태로부터 상술한 제4 양태의 각각에 의한 증착 마스크의 양부 판정 방법에 있어서,
상기 P1점 및 상기 P2점은, 상기 제1 방향의 중심 위치에 배치된 제2 중심축선에 대하여 일측에 배치되고,
상기 Q1점 및 상기 Q2점은, 상기 제2 중심축선에 대하여 타측에 배치되어 있도록,
해도 된다.
본 개시의 제6 양태로서, 상술한 제5 양태에 의한 증착 마스크의 양부 판정 방법에 있어서,
상기 P1점과 상기 Q1점은, 증착 시에 상기 제2 중심축선에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도되고, 상기 P2점과 상기 Q2점은, 증착 시에 상기 제2 중심축선에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도되도록,
해도 된다.
본 개시의 제7 양태는,
증착 마스크를 준비하는 공정과,
상술한 제1 양태로부터 상술한 제6 양태의 각각에 의한 증착 마스크의 양부 판정 방법에 의해 상기 증착 마스크의 양부를 판정하는 공정을 구비한, 증착 마스크의 제조 방법
이다.
본 개시의 제8 양태는,
제1 방향으로 연장되는 증착 마스크이며, 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과, 상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과, 상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비한 증착 마스크를 제조하는 제조 방법이며,
상기 증착 마스크를 준비하는 공정과,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수 X1과, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수 X2를 측정하는 측정 공정과,
상기 측정 공정에 있어서 측정된 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2가, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX라 하였을 때,
을 충족하고 있는 상기 증착 마스크를 선정하는 선정 공정을 구비한, 증착 마스크의 제조 방법
이다.
본 개시의 제9 양태로서, 상술한 제8 양태에 의한 증착 마스크의 제조 방법에 있어서,
상기 증착 마스크는 복수의 관통 구멍을 갖고,
상기 선정 공정에 있어서, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX, 상기 P1점으로부터 상기 P2점까지의 치수 및 상기 Q1점으로부터 상기 Q2점까지의 치수의 설계값을 αY, 상기 제2 방향에 있어서의 2개의 상기 관통 구멍의 중심점 간의 거리 중 최댓값을 WY라 하였을 때,
을 충족하고 있는 상기 증착 마스크를 선정하도록,
해도 된다.
본 개시의 제10 양태는,
제1 방향으로 연장되는, 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크이며, 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과, 상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과, 상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비한 증착 마스크를 제조하는 제조 방법이며,
상기 증착 마스크를 준비하는 공정과,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수 X1과, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수 X2를 측정하는 측정 공정과,
상기 측정 공정에 있어서 측정된 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2가, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX, 상기 P1점으로부터 상기 P2점까지의 치수 및 상기 Q1점으로부터 상기 Q2점까지의 치수의 설계값을 αY, 상기 제2 방향에 있어서의 2개의 상기 관통 구멍의 중심점 간의 거리 중 최댓값을 WY라 하였을 때,
을 충족하고 있는 상기 증착 마스크를 선정하는 선정 공정을 구비한, 증착 마스크의 제조 방법
이다.
또한, 제7 양태 내지 제10 양태는, 제7 양태 내지 제10 양태 증착 마스크의 제조 방법에 의해 제조된 증착 마스크여도 된다.
본 개시의 제11 양태는,
상술한 제7 양태로부터 상술한 제10 양태의 각각에 의한 증착 마스크의 제조 방법에 의해 상기 증착 마스크를 준비하는 공정과,
상기 증착 마스크에 상기 제1 방향으로 장력을 부여하여 상기 증착 마스크를 프레임에 장설하는 공정을 구비한, 증착 마스크 장치의 제조 방법
이다.
또한, 제11 양태는, 제11 양태의 증착 마스크 장치의 제조 방법에 의해 제조된 증착 마스크 장치여도 된다.
본 개시의 제12 양태는,
제1 방향으로 연장되는 증착 마스크이며, 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과, 상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과, 상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비한 증착 마스크를 선정하는 선정 방법이며,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수 X1과, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수 X2를 측정하는 측정 공정과,
상기 측정 공정에 있어서 측정된 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2가, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX라 하였을 때,
을 충족하고 있는 상기 증착 마스크를 선정하는 선정 공정을 구비한, 증착 마스크의 선정 방법이다.
본 개시의 제13 양태는,
제1 방향으로 연장되는, 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크이며, 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과, 상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과, 상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비한 증착 마스크를 선정하는 선정 방법이며,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수 X1과, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수 X2를 측정하는 측정 공정과,
상기 측정 공정에 있어서 측정된 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2가, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX, 상기 P1점으로부터 상기 P2점까지의 치수 및 상기 Q1점으로부터 상기 Q2점까지의 치수의 설계값을 αY, 상기 제2 방향에 있어서의 2개의 상기 관통 구멍의 중심점 간의 거리 중 최댓값을 WY라 하였을 때,
을 충족하고 있는 상기 증착 마스크를 선정하는 선정 공정을 구비한, 증착 마스크의 선정 방법이다.
본 개시의 제14 양태는,
제1 방향으로 연장되는 증착 마스크이며,
상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과,
상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과,
상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비하고,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수를 X1이라 하고, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수를 X2라 하고, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX라 하였을 때,
을 충족하고 있는, 증착 마스크이다.
본 개시의 제15 양태는,
제1 방향으로 연장되는, 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크이며,
상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과,
상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과,
상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향에 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비하고,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수를 X1이라 하고, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수를 X2라 하고, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX, 상기 P1점으로부터 상기 P2점까지의 치수 및 상기 Q1점으로부터 상기 Q2점까지의 치수의 설계값을 αY, 상기 제2 방향에 있어서의 2개의 상기 관통 구멍의 중심점 간의 거리 중 최댓값을 WY라 하였을 때,
을 충족하고 있는, 증착 마스크이다.
본 개시의 제16 양태는,
상술한 제11 양태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 의해 상기 증착 마스크 장치를 준비하는 공정과,
상기 증착 마스크 장치의 상기 증착 마스크를, 기판에 밀착시키는 공정과,
상기 증착 마스크의 상기 관통 구멍을 통하여 증착 재료를 상기 기판에 증착시키는 공정을 구비한, 증착 방법이다.
본 개시에 의하면, 장설 시의 관통 구멍의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 구비한 증착 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타내는 증착 마스크 장치를 사용하여 제조한 유기 EL 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 증착 마스크의 유효 영역을 나타내는 부분 평면도이다.
도 5는 도 4의 V-V선에 따른 단면도이다.
도 6은 도 4의 VI-VI선에 따른 단면도이다.
도 7은 도 4의 VII-VII선에 따른 단면도이다.
도 8은 도 5에 나타내는 관통 구멍 및 그 근방의 영역을 확대하여 나타내는 단면도이다.
도 9a는 도 3의 증착 마스크에 있어서의 치수 X1 및 치수 X2를 설명하기 위한 모식도이다.
도 9b는 도 9a의 변형예로서, 도 3의 증착 마스크에 있어서의 치수 X1 및 치수 X2를 설명하기 위한 모식도이다.
도 9c는 도 9a의 다른 변형예로서, 도 3의 증착 마스크에 있어서의 치수 X1 및 치수 X2를 설명하기 위한 모식도이다.
도 10은 모재를 압연하여, 원하는 두께를 갖는 금속판을 얻는 공정을 나타내는 도면이다.
도 11은 압연에 의해 얻어진 금속판을 어닐하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크의 제조 방법을 전체적으로 설명하기 위한 모식도이다.
도 13은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 금속판 상에 레지스트막을 형성하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 14는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 레지스트막에 노광 마스크를 밀착시키는 공정을 나타내는 도면이다.
도 15는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 레지스트막을 현상하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 16은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 제1면 에칭 공정을 나타내는 도면이다.
도 17은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 제1 오목부를 수지에 의해 피복하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 18은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 제2면 에칭 공정을 나타내는 도면이다.
도 19는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 도 18에 계속되는 제2면 에칭 공정을 나타내는 도면이다.
도 20은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 긴 금속판으로부터 수지 및 레지스트 패턴을 제거하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 21은 압연에 의해 얻어진 긴 금속판의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 22는 굴곡 형상이 압축되어 거의 평탄한 상태가 된 긴 금속판에 증착 마스크를 형성하는 것을 설명하는 사시도이다.
도 23은 긴 금속판에 형성된 복수의 증착 마스크를 나타내는 사시도이다.
도 24는 도 23에 나타내는 긴 금속판으로부터 잘라내진 증착 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 25는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크의 양부 판정 방법에서 사용하는 증착 마스크의 양부 판정 시스템의 일례를 나타내는 도면이다.
도 26은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 장력 부여 장치의 일례를 나타내는 도면이다.
도 27은 도 24에 나타내는 증착 마스크의 장설 상태의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 28은 도 24에 나타내는 증착 마스크의 장설 상태의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 29는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=200mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 30은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=200mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 31은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=200mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 32는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=300mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 33은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=300mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 34는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=300mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 35는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=400mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 36은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=400mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 37은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=400mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 38은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=600mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 39는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=600mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 40은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=600mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 41은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=800mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 42는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=800mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 43은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=800mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 44는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=900mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 45는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=900mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 46은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=900mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타내는 증착 마스크 장치를 사용하여 제조한 유기 EL 표시 장치를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 증착 마스크의 유효 영역을 나타내는 부분 평면도이다.
도 5는 도 4의 V-V선에 따른 단면도이다.
도 6은 도 4의 VI-VI선에 따른 단면도이다.
도 7은 도 4의 VII-VII선에 따른 단면도이다.
도 8은 도 5에 나타내는 관통 구멍 및 그 근방의 영역을 확대하여 나타내는 단면도이다.
도 9a는 도 3의 증착 마스크에 있어서의 치수 X1 및 치수 X2를 설명하기 위한 모식도이다.
도 9b는 도 9a의 변형예로서, 도 3의 증착 마스크에 있어서의 치수 X1 및 치수 X2를 설명하기 위한 모식도이다.
도 9c는 도 9a의 다른 변형예로서, 도 3의 증착 마스크에 있어서의 치수 X1 및 치수 X2를 설명하기 위한 모식도이다.
도 10은 모재를 압연하여, 원하는 두께를 갖는 금속판을 얻는 공정을 나타내는 도면이다.
도 11은 압연에 의해 얻어진 금속판을 어닐하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크의 제조 방법을 전체적으로 설명하기 위한 모식도이다.
도 13은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 금속판 상에 레지스트막을 형성하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 14는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 레지스트막에 노광 마스크를 밀착시키는 공정을 나타내는 도면이다.
도 15는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 레지스트막을 현상하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 16은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 제1면 에칭 공정을 나타내는 도면이다.
도 17은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 제1 오목부를 수지에 의해 피복하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 18은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 제2면 에칭 공정을 나타내는 도면이다.
도 19는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 도 18에 계속되는 제2면 에칭 공정을 나타내는 도면이다.
도 20은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 제조 방법에 있어서, 긴 금속판으로부터 수지 및 레지스트 패턴을 제거하는 공정을 나타내는 도면이다.
도 21은 압연에 의해 얻어진 긴 금속판의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 22는 굴곡 형상이 압축되어 거의 평탄한 상태가 된 긴 금속판에 증착 마스크를 형성하는 것을 설명하는 사시도이다.
도 23은 긴 금속판에 형성된 복수의 증착 마스크를 나타내는 사시도이다.
도 24는 도 23에 나타내는 긴 금속판으로부터 잘라내진 증착 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 25는 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크의 양부 판정 방법에서 사용하는 증착 마스크의 양부 판정 시스템의 일례를 나타내는 도면이다.
도 26은 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서, 장력 부여 장치의 일례를 나타내는 도면이다.
도 27은 도 24에 나타내는 증착 마스크의 장설 상태의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 28은 도 24에 나타내는 증착 마스크의 장설 상태의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 29는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=200mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 30은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=200mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 31은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=200mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 32는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=300mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 33은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=300mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 34는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=300mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 35는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=400mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 36은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=400mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 37은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=400mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 38은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=600mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 39는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=600mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 40은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=600mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 41은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=800mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 42는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=800mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 43은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=800mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 44는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=900mm, αY=65.0mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 45는 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=900mm, αY=43.3mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
도 46은 본 개시의 일 실시예에 있어서, αX=900mm, αY=21.7mm에서의 증착 마스크의 양부 판정 결과를 나타내는 도면이다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서 특별한 설명이 없는 한은, 「판」, 「시트」, 「필름」 등 용어는, 호칭의 차이에만 기초하고, 서로 구별되는 것은 아니다. 예를 들어, 「판」은 시트나 필름이라 불릴 수 있는 부재도 포함하는 개념이다. 또한, 「면(시트면, 필름면)」이란, 대상이 되는 판상(시트상, 필름상)의 부재를 전체적이면서 대국적으로 본 경우에 있어서 대상이 되는 판상 부재(시트상 부재, 필름상 부재)의 평면 방향과 일치하는 면을 가리킨다. 또한, 판상(시트상, 필름상)의 부재에 대하여 사용하는 법선 방향이란, 당해 부재의 면(시트면, 필름면)에 대한 법선 방향을 가리킨다. 또한, 본 명세서에 있어서 사용하는, 형상이나 기하학적 조건 그리고 그들의 정도를 특정하는, 예를 들어 「평행」이나 「직교」 등의 용어나 길이나 각도의 값 등에 대하여는, 엄밀한 의미에 구속되지 않고, 마찬가지의 기능을 기대할 수 있을 정도의 범위를 포함하여 해석하기로 한다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서 특별한 설명이 없는 한은, 형상이나 기하학적 조건 그리고 그들의 정도를 특정하는, 예를 들어 「평행」이나 「직교」 등의 용어나 길이나 각도의 값 등에 대하여는, 엄밀한 의미에 구속되지 않고, 마찬가지의 기능을 기대할 수 있는 정도의 범위를 포함하여 해석하기로 한다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서, 어떤 부재 또는 어떤 영역 등의 어떤 구성이, 다른 부재 또는 다른 영역 등의 다른 구성의 「위에(또는 아래에)」, 「상측에(또는 하측에)」 또는 「상방에(또는 하방에)」라 하는 경우, 특별한 설명이 없는 한은, 어떤 구성이 다른 구성에 직접적으로 접하고 있는 경우뿐만 아니라, 어떤 구성과 다른 구성 사이에 다른 구성이 포함되어 있는 경우도 포함하여 해석하기로 한다. 또한, 특별한 설명이 없는 한은, 위(또는 상측이나 상방) 또는 아래(또는 하측, 하방)라는 어구를 사용하여 설명하는 경우가 있지만, 상하 방향이 역전되어도 된다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서 특별한 설명이 없는 한은, 동일 부분 또는 마찬가지의 기능을 갖는 부분에는 동일한 부호 또는 유사의 부호를 붙이고, 그 반복의 설명은 생략되는 경우가 있다. 또한, 도면의 치수 비율은 설명의 사정상 실제의 비율과는 다른 경우나, 구성의 일부가 도면으로부터 생략되는 경우가 있다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서 특별한 설명이 없는 한은, 모순이 발생하지 않는 범위에서, 기타 실시 형태나 변형예와 조합할 수 있다. 또한, 기타 실시 형태끼리나, 기타 실시 형태와 변형예도, 모순이 발생하지 않는 범위에서 조합할 수 있다. 또한, 변형예끼리도, 모순이 발생하지 않는 범위에서 조합할 수 있다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서 특별한 설명이 없는 한은, 제조 방법 등의 방법에 대하여 복수의 공정을 개시하는 경우에, 개시되어 있는 공정 사이에, 개시되지 않은 기타 공정이 실시되어도 된다. 또한, 개시되어 있는 공정의 순서는, 모순이 발생하지 않는 범위에서 임의이다.
본 명세서 및 본 도면에 있어서 특별한 설명이 없는 한은, 「내지」라는 기호에 의해 표시되는 수치 범위는, 「내지」라는 부호의 전후에 놓인 수치를 포함하고 있다. 예를 들어, 「34 내지 38질량％」라는 표현에 의해 획정되는 수치 범위는, 「34질량％ 이상 또한 38질량％ 이하」라는 표현에 의해 획정되는 수치 범위와 동일하다.
본 명세서의 일 실시 형태에 있어서, 유기 EL 표시 장치를 제조할 때에 유기 재료를 원하는 패턴으로 기판 상에 패터닝하기 위해 사용되는 증착 마스크나 그의 제조 방법에 관한 예를 들어 설명한다. 단, 이러한 적용에 한정되지 않고, 다양한 용도에 사용되는 증착 마스크에 대하여, 본 실시 형태를 적용할 수 있다.
이하, 본 개시의 일 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 기재하는 실시 형태는 본 개시의 실시 형태의 일례이며, 본 개시는 이들 실시 형태에만 한정하여 해석되는 것은 아니다. 또한, 본건 명세서에 첨부하는 도면에 있어서는, 도시와 이해의 용이함의 편의상, 적절히 축척 및 종횡의 치수비 등을, 실물의 그들로부터 변경해 과장되어 있다.
먼저, 대상물에 증착 재료를 증착시키는 증착 처리를 실시하는 증착 장치(90)에 대하여, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 장치(90)는 그 내부에, 증착원(예를 들어 도가니(94)), 히터(96) 및 증착 마스크 장치(10)를 구비하고 있어도 된다. 또한, 증착 장치(90)는 증착 장치(90)의 내부를 진공 분위기로 하기 위한 배기 수단을 더 구비하고 있어도 된다. 도가니(94)는 유기 발광 재료 등의 증착 재료(98)를 수용한다. 히터(96)는 도가니(94)를 가열하여, 진공 분위기 하에서 증착 재료(98)를 증발시킨다. 증착 마스크 장치(10)는 도가니(94)와 대향하도록 배치되어 있다.
이하, 증착 마스크 장치(10)에 대하여 설명한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는 증착 마스크(20)와, 증착 마스크(20)를 지지하는 프레임(15)을 구비하고 있어도 된다. 프레임(15)은 증착 마스크(20)가 휘어버리는 일이 없도록, 증착 마스크(20)를 그의 면 방향으로 인장된 상태에서 지지한다. 증착 마스크 장치(10)는 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)가 증착 재료(98)를 부착시키는 대상물인 기판, 예를 들어 유기 EL 기판(92)에 대면하도록, 증착 장치(90) 내에 배치된다. 이하의 설명에 있어서, 증착 마스크(20)의 면 중, 유기 EL 기판(92)측의 면을 제1면(20a)이라 칭하고, 제1면(20a)의 반대측에 위치하는 면을 제2면(20b)이라 칭한다.
증착 마스크 장치(10)는 도 1에 도시한 바와 같이, 유기 EL 기판(92)의, 증착 마스크(20)와 반대측의 면에 배치된 자석(93)을 구비하고 있어도 된다. 자석(93)을 마련함으로써, 자력에 의해 증착 마스크(20)를 자석(93)측에 가까이 끌어 당겨, 증착 마스크(20)를 유기 EL 기판(92)에 밀착시킬 수 있다.
도 3은, 증착 마스크 장치(10)를 증착 마스크(20)의 제1면(20a)측에서 본 경우를 나타내는 평면도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는 평면에서 보아 대략 직사각형상의 형상을 갖는 복수의 증착 마스크(20)를 구비하고, 각 증착 마스크(20)는 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1에서의 한 쌍의 단부(26a, 26b)에 있어서, 프레임(15)에 고정되어 있다.
증착 마스크(20)는, 증착 마스크(20)를 관통하는 복수의 관통 구멍(25)이 형성된 금속판을 포함하고 있어도 된다. 도가니(94)로부터 증발하여 증착 마스크 장치(10)에 도달한 증착 재료(98)는, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)을 통하여 유기 EL 기판(92)에 부착된다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)의 위치에 대응한 원하는 패턴으로, 증착 재료(98)를 유기 EL 기판(92)의 표면에 성막할 수 있다.
도 2는, 도 1의 증착 장치(90)를 사용하여 제조한 유기 EL 표시 장치(100)를 나타내는 단면도이다. 유기 EL 표시 장치(100)는 유기 EL 기판(92)과, 패턴 상에 마련된 증착 재료(98)를 포함하는 화소를 구비하고 있어도 된다.
또한, 복수의 색에 의한 컬러 표시를 행하고자 하는 경우에는, 각 색에 대응하는 증착 마스크(20)가 탑재된 증착 장치(90)를 각각 준비하고, 유기 EL 기판(92)을 각 증착 장치(90)에 순서대로 투입해도 된다. 이에 의해, 예를 들어 적색용의 유기 발광 재료, 녹색용의 유기 발광 재료 및 청색용의 유기 발광 재료를 순서대로 유기 EL 기판(92)에 증착시킬 수 있다.
그런데, 증착 처리는, 고온 분위기가 되는 증착 장치(90)의 내부에서 실시되는 경우가 있다. 이 경우, 증착 처리 동안, 증착 장치(90)의 내부에 배치되는 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)도 가열된다. 이 때, 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)은 각각의 열팽창 계수에 기초한 치수 변화의 거동을 나타내게 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)나 프레임(15)과 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수가 크게 다르지 않은 것이 바람직하다. 이에 의해, 그들의 치수 변화의 차이에서 기인한 위치 어긋남이 발생하는 것을 억제할 수 있고, 이 결과, 유기 EL 기판(92) 상에 부착되는 증착 재료의 치수 정밀도나 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
그래서, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 열팽창 계수가, 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수와 동등한 값이어도 된다. 예를 들어, 유기 EL 기판(92)으로서 유리 기판이 사용되는 경우, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 주요한 재료로서, 니켈을 포함하는 철 합금을 사용해도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)를 구성하는 금속판의 재료로서, 30질량％ 이상 또한 54질량％ 이하의 니켈을 포함하는 철 합금을 사용해도 된다. 니켈을 포함하는 철 합금의 구체예로서는, 34질량％ 이상 또한 38질량％ 이하의 니켈을 포함하는 인바재, 30질량％ 이상 또한 34질량％ 이하의 니켈에 더하여 또한 코발트를 포함하는 슈퍼 인바재, 38질량％ 이상 또한 54질량％ 이하의 니켈을 포함하는 저열팽창 Fe-Ni계 도금 합금 등을 들 수 있다.
또한 증착 처리 시에, 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)의 온도가 고온에는 도달하지 않을 경우에는, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 열팽창 계수를, 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수와 동등한 값으로 하지 않아도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)를 구성하는 재료로서, 상술한 철 합금 이외의 재료를 사용해도 된다. 예를 들어, 크롬을 포함하는 철 합금 등, 상술한 니켈을 포함하는 철 합금 이외의 철 합금을 사용해도 된다. 크롬을 포함하는 철 합금으로서는, 예를 들어 소위 스테인리스라 칭해지는 철 합금을 사용해도 된다. 또한, 니켈이나 니켈-코발트 합금 등, 철 합금 이외의 합금을 사용해도 된다.
이어서, 증착 마스크(20)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 증착 마스크(20)는 가늘고 긴 형상 또는 스틱상의 평면 형상을 갖고 있어도 된다. 증착 마스크(20)는 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1에 있어서의 한 쌍의 단부(제1 단부(26a) 및 제2 단부(26b))를 구성하는 한 쌍의 귀부(耳部)(제1 귀부(17a) 및 제2 귀부(17b))와, 한 쌍의 귀부(17a, 17b) 사이에 위치하는 중간부(18)를 구비하고 있어도 된다.
먼저, 귀부(17a, 17b)에 대하여 상세하게 설명한다. 귀부(17a, 17b)는, 증착 마스크(20) 중 프레임(15)에 고정되는 부분이다. 본 실시 형태에 있어서, 중간부(18)와 일체적으로 구성되어 있어도 된다. 또한, 귀부(17a, 17b)는 중간부(18)와는 다른 부재에 의해 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 귀부(17a, 17b)는, 예를 들어 용접에 의해 중간부(18)에 접합된다.
이어서, 중간부(18)에 대하여 설명한다. 중간부(18)는, 제1면(20a)으로부터 제2면(20b)에 이르는 관통 구멍(25)이 형성된 유효 영역(22)과, 유효 영역(22)의 주위에 위치하고, 유효 영역(22)을 둘러싸는 주위 영역(23)을 포함하고 있어도 된다. 유효 영역(22)은 증착 마스크(20) 중, 유기 EL 기판(92)의 표시 영역에 대면하는 영역이어도 된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 중간부(18)는 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1에 따라서 소정의 간격을 두고 배열된 복수의 유효 영역(22)을 포함하고 있어도 된다. 하나의 유효 영역(22)은 하나의 유기 EL 표시 장치(100)의 표시 영역에 대응해도 된다. 이 때문에, 도 1에 나타내는 증착 마스크 장치(10)와 같이, 유기 EL 표시 장치(100)의 다면 부착 증착이 가능해도 된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 유효 영역(22)은, 예를 들어 평면에서 보아 대략 직사각형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다. 또한 도시하지는 않지만, 각 유효 영역(22)은 유기 EL 기판(92)의 표시 영역의 형상에 따라서 각종 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다. 예를 들어 각 유효 영역(22)은 원 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다.
이하, 유효 영역(22)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 4는, 증착 마스크(20)의 제2면(20b)측으로부터 유효 영역(22)을 확대하여 나타내는 평면도이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 도시된 예에 있어서, 각 유효 영역(22)에 형성된 복수의 관통 구멍(25)은 당해 유효 영역(22)에 있어서, 서로 직교하는 2 방향에 따라서 각각 소정의 피치로 배열되어 있어도 된다. 관통 구멍(25)은 평면에서 보아, 도 4나 후술하는 도 9a에 나타내는 바와 같이 격자상으로 배치되어 있어도 된다. 이 경우, 제1 방향 D1에 따라서 배열된 관통 구멍(25)의 열을 제1열 및 제2열이라 하고, 제1열 및 제2열이 제2 방향 D2에 있어서 서로 인접하고 있다고 하면, 제1열을 이루는 관통 구멍(25)의 제1 방향 D1에 있어서의 위치와, 제2열을 이루는 관통 구멍(25)의 제1 방향 D1에 있어서의 위치가, 서로 동등하게 되어 있다. 혹은, 제1열을 이루는 관통 구멍(25)의 제1 방향 D1에 있어서의 위치는, 제2열을 이루는 관통 구멍(25)의 제1 방향 D1에 있어서의 위치와 어긋나 있어도 된다. 예를 들어, 후술하는 도 9b에 나타내는 바와 같이, 제1열을 이루는 관통 구멍(25) 중 제1 방향 D1에 있어서 서로 인접하는 관통 구멍(25)의 중간 위치에 대응하는 위치에, 제2열을 이루는 관통 구멍(25)이 배치되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서도, 도 9b에 나타내는 바와 같이, 제1열을 이루는 관통 구멍(25)의 피치와, 제2열을 이루는 관통 구멍(25)의 피치는 동등해도 된다. 후술하는 도 9b에 나타내는 관통 구멍(25)의 배치는 지그재그상 배치라고 할 수도 있다. 이 경우, 관통 구멍(25)이 격자상이나 지그재그상으로 배치되어 있는 경우, 관통 구멍(25)의 배치에 규칙성(경우에 따라서는 대칭성)을 갖게 할 수 있다. 이에 의해, 후술하는 바와 같이, 다수 존재하는 관통 구멍(25) 중 P1점, P2점, Q1점 및 Q2점에 상당하는 4개의 관통 구멍(25)을 대표적으로 사용하는 것만으로도, 증착 마스크(20)의 양부를 양호하게 판정하는 것이 가능해진다. 또한, 관통 구멍(25)의 평면 형상은 임의이며, 직사각형상 혹은 다각 형상(예를 들어, 장방형상이나 마름모꼴상 등)이어도 된다. 이 경우, 각 변이 내측으로 오목해져 있거나, 외측으로 볼록해져 있거나 해도 된다. 또한, 관통 구멍(25)의 평면 형상은 원 형상, 타원 형상 등이어도 된다. 도 4에서는, 모퉁이부가 둥그스름해진 직사각형상의 예가 나타나 있다.
관통 구멍(25)의 일례에 대하여, 도 5 내지 도 7을 주로 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 도 5 내지 도 7은 각각 도 4의 유효 영역(22)의 V-V 방향 내지 VII-VII 방향에 따른 단면도이다.
도 5 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 복수의 관통 구멍(25)은 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 따른 한쪽 측이 되는 제1면(20a)으로부터, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 따른 다른 쪽 측이 되는 제2면(20b)에 관통하고 있다. 도시된 예에서는, 후에 상세하게 설명한 바와 같이, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 있어서의 한쪽 측이 되는 금속판(21)의 제1면(21a)에 제1 오목부(30)가 에칭에 의해 형성되고, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 있어서의 다른 쪽 측이 되는 금속판(21)의 제2면(21b)에 제2 오목부(35)가 형성되어 있어도 된다. 제1 오목부(30)는 제2 오목부(35)에 접속되고, 이에 의해 제2 오목부(35)와 제1 오목부(30)가 서로 통하게 형성되어도 된다. 관통 구멍(25)은 제2 오목부(35)와, 제2 오목부(35)에 접속된 제1 오목부(30)에 의해 구성되어 있어도 된다.
도 5 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제2면(20b)측으로부터 제1면(20a)측을 향하여, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 따른 각 위치에 있어서의 증착 마스크(20)의 판면에 따른 단면에서의 각 제2 오목부(35)의 개구 면적은, 점차로 작게 되어 있어도 된다. 마찬가지로, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 따른 각 위치에 있어서의 증착 마스크(20)의 판면에 따른 단면에서의 각 제1 오목부(30)의 개구 면적은, 증착 마스크(20)의 제1면(20a)측으로부터 제2면(20b)측을 향하여, 점차로 작게 되어 있어도 된다.
도 5 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 제1 오목부(30)의 벽면(31)과 제2 오목부(35)의 벽면(36)은, 주상의 접속부(41)를 통해 접속되어 있어도 된다. 접속부(41)는, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 대하여 경사진 제1 오목부(30)의 벽면(31)과, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 대하여 경사진 제2 오목부(35)의 벽면(36)이 합류하는 돌출부의 능선에 의해, 구획 형성되어 있어도 된다. 그리고, 접속부(41)는, 증착 마스크(20)의 평면에서 보아 관통 구멍(25)의 개구 면적이 최소가 되는 관통부(42)를 구획 형성해도 된다.
도 5 내지 도 7에 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 따른 다른 쪽 측의 면, 즉 증착 마스크(20)의 제1면(20a) 상에 있어서, 인접하는 2개의 관통 구멍(25)은 증착 마스크(20)의 판면을 따라서 서로로부터 이격되어 있어도 된다. 즉, 후술하는 제조 방법과 같이, 증착 마스크(20)의 제1면(20a)에 대응하게 되는 금속판(21)의 제1면(21a)측으로부터 당해 금속판(21)을 에칭하여 제1 오목부(30)를 제작하는 경우, 인접하는 2개의 제1 오목부(30) 사이에 금속판(21)의 제1면(21a)이 잔존하도록 해도 된다.
마찬가지로, 도 5 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 따른 한쪽 측, 즉 증착 마스크(20)의 제2면(20b)측에 있어서도, 인접하는 2개의 제2 오목부(35)가 증착 마스크(20)의 판면을 따라서 서로로부터 이격되어 있어도 된다. 즉, 인접하는 2개의 제2 오목부(35) 사이에 금속판(21)의 제2면(21b)이 잔존하고 있어도 된다. 이하의 설명에 있어서, 금속판(21)의 제2면(21b)의 유효 영역(22) 중 에칭되지 않고 남아있는 부분을, 톱부(43)라고도 칭한다. 이러한 톱부(43)가 남도록 증착 마스크(20)를 제작함으로써, 증착 마스크(20)에 충분한 강도를 갖게 할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 취급 중 등에 증착 마스크(20)가 파손되어버리는 것을 억제할 수 있다. 또한 톱부(43)의 폭 β가 너무 크면, 증착 공정에 있어서 섀도우가 발생하고, 이에 의해 증착 재료(98)의 이용 효율이 저하되는 경우가 있다. 따라서, 톱부(43)의 폭 β가 과잉으로 커지지 않도록 증착 마스크(20)가 제작되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 톱부(43)의 폭 β가 2㎛ 이하인 것이 바람직하다. 또한 톱부(43)의 폭 β는 일반적으로 증착 마스크(20)를 절단하는 방향에 따라서 변화된다. 예를 들어, 도 5 및 도 7에 나타내는 톱부(43)의 폭 β는 서로 다른 경우가 있다. 이 경우, 어떤 방향에서 증착 마스크(20)를 절단한 경우에도 톱부(43)의 폭 β가 2㎛ 이하가 되도록, 증착 마스크(20)가 구성되어 있어도 된다.
또한 도 6에 나타내는 바와 같이, 장소에 따라서는 인접하는 2개의 제2 오목부(35)가 접속되도록 에칭이 실시되어도 된다. 즉, 인접하는 2개의 제2 오목부(35) 사이에, 금속판(21)의 제2면(21b)이 잔존하지 않는 장소가 존재하고 있어도 된다. 또한, 도시하지는 않지만, 제2면(21b)의 전역에 걸쳐 인접하는 2개의 제2 오목부(35)가 접속되도록 에칭이 실시되어도 된다.
도 1에 도시하는 바와 같이 하여 증착 마스크 장치(10)가 증착 장치(90)에 수용되었을 경우, 도 5에 이점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1면(20a)이 유기 EL 기판(92)에 대면하고, 증착 마스크(20)의 제2면(20b)이 증착 재료(98)를 수용한 도가니(94)측에 위치한다. 따라서, 증착 재료(98)는, 점차 개구 면적이 작아져가는 제2 오목부(35)를 통하여 유기 EL 기판(92)에 부착된다. 도 5에 있어서 제2면(20b)측으로부터 제1면(20a)을 향하는 화살표로 나타낸 바와 같이, 증착 재료(98)는, 도가니(94)로부터 유기 EL 기판(92)을 향해 유기 EL 기판(92)의 법선 방향 N에 따라서 이동할 뿐만 아니라, 유기 EL 기판(92)의 법선 방향 N에 대하여 크게 경사진 방향으로 이동하기도 한다.
이 때, 증착 마스크(20)의 두께가 크면, 비스듬히 이동하는 증착 재료(98)의 대부분은, 관통 구멍(25)을 통하여 유기 EL 기판(92)에 도달하기보다도 전에, 제2 오목부(35)의 벽면(36)에 도달하여 부착될 수 있다. 따라서, 증착 재료(98)의 이용 효율을 높이기 위해서는, 증착 마스크(20)의 두께 t를 작게 하고, 이에 의해, 제2 오목부(35)의 벽면(36)이나 제1 오목부(30)의 벽면(31)의 높이를 작게 하는 것이 바람직하다고 생각된다. 즉, 증착 마스크(20)를 구성하기 위한 금속판(21)으로서, 증착 마스크(20)의 강도를 확보할 수 있는 범위 내에서 가능한 한 두께 t가 작은 금속판(21)을 사용하는 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이에 의해, 관통 구멍(25)의 벽면의 높이를 작게 할 수 있고, 증착 재료(98) 중 관통 구멍(25)의 벽면에 부착되는 비율을 낮출 수 있다. 이 때문에, 유기 EL 기판(92)에 부착되는 증착 재료(98)의 두께를 균등화시킬 수 있어, 유기 EL 표시 장치의 화소를 형성하기 위해 증착 마스크(20)를 사용하는 경우에는, 화소의 치수 정밀도나 위치 정밀도를 향상시켜 유기 EL 표시 장치의 발광 효율을 향상시킬 수 있다.
본 실시 형태에 있어서, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위의 하한은, 예를 들어 5㎛ 이상이어도 되고, 8㎛ 이상이어도 되고, 10㎛ 이상이어도 되고, 12㎛ 이상이어도 되고, 13㎛ 이상이어도 되고, 15㎛ 이상이어도 된다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 강도를 확보하여, 증착 마스크(20)에 손상이나 변형이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위의 상한은, 예를 들어 20㎛ 이하여도 되고, 25㎛ 이하여도 되고, 35㎛ 이하여도 되고, 40㎛ 이하여도 되고, 50㎛ 이하여도 되고, 100㎛ 이하여도 된다. 이에 의해, 상술한 바와 같이, 증착 재료(98) 중 관통 구멍(25)의 벽면에 부착되는 비율을 낮출 수 있다. 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 하나와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 되고, 예를 들어 5㎛ 이상 100㎛ 이하여도 되고, 8㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 12㎛ 이상 35㎛ 이하여도 되고, 13㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 20㎛ 이하여도 된다. 또한, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 되고, 예를 들어 5㎛ 이상 15㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 13㎛ 이하여도 되고, 8㎛ 이상 15㎛ 이하여도 되고, 8㎛ 이상 13㎛ 이하여도 된다. 또한, 증착 마스크(20)의 두께 t의 범위는, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 되고, 예를 들어 20㎛ 이상 100㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 25㎛ 이상 100㎛ 이하여도 되고, 25㎛ 이상 50㎛ 이하여도 된다. 또한 두께 t는, 주위 영역(23)의 두께, 즉 증착 마스크(20) 중 제1 오목부(30) 및 제2 오목부(35)가 형성되지 않은 부분의 두께이다. 따라서 두께 t는 금속판(21)의 두께라고 할 수도 있다.
도 5에 있어서, 관통 구멍(25)의 최소 개구 면적을 갖는 부분이 되는 접속부(41)와, 제2 오목부(35)의 벽면(36)의 다른 임의의 위치를 통과하는 직선 L1이, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 대하여 이루는 최소 각도가, 부호 θ1로 표시되어 있다. 비스듬히 이동하는 증착 재료(98)를 벽면(36)에 도달시키지 않고 가능한 한 유기 EL 기판(92)에 도달시키기 위해서는, 각도 θ1을 크게 하는 것이 유리해진다. 각도 θ1을 크게 하기 위해서는, 증착 마스크(20)의 두께 t를 작게 하는 것 이외에도, 상술한 톱부(43)의 폭 β를 작게 하는 것도 유효하다.
도 7에 있어서, 부호 α는, 금속판(21)의 제1면(21a)의 유효 영역(22) 중 에칭되지 않고 남아있는 부분(이하, 리브부라고도 칭함)의 폭을 나타내고 있다. 리브부의 폭 α 및 관통부(42)의 치수 r2는, 유기 EL 표시 장치의 치수 및 표시 화소수에 따라서 적절히 정해진다. 표 1에, 5인치의 유기 EL 표시 장치에 있어서, 표시 화소수 및 표시 화소수에 따라서 구해지는 리브부의 폭 α 및 관통부(42)의 치수 r2의 값의 일례를 나타낸다.
한정되지는 않지만, 본 실시 형태에 의한 증착 마스크(20)는 450ppi 이상의 화소 밀도의 유기 EL 표시 장치를 제작하는 경우에 특히 유효하다고 생각된다. 이하, 도 8을 참조하여, 그러한 높은 화소 밀도의 유기 EL 표시 장치를 제작하기 위해 요구되는 증착 마스크(20)의 치수의 일례에 대하여 설명한다. 도 8은, 도 5에 나타내는 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25) 및 그 근방의 영역을 확대하여 나타내는 단면도이다.
도 8에 있어서는, 관통 구멍(25)의 형상에 관련되는 파라미터로서, 증착 마스크(20)의 제1면(20a)으로부터 접속부(41)까지의, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 따른 방향에 있어서의 거리, 즉 제1 오목부(30)의 벽면(31)의 높이가 부호 r1로 표시되어 있다. 또한, 제1 오목부(30)가 제2 오목부(35)에 접속하는 부분에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수, 즉 관통부(42)의 치수가 부호 r2로 표시되어 있다. 또한 도 8에 있어서, 접속부(41)와, 금속판(21)의 제1면(21a) 상에 있어서의 제1 오목부(30)의 선단연을 연결하는 직선 L2가, 금속판(21)의 법선 방향 N에 대하여 이루는 각도가, 부호 θ2로 표시되어 있다.
450ppi 이상의 화소 밀도의 유기 EL 표시 장치를 제작하는 경우, 관통부(42)의 치수 r2는, 바람직하게는 10 이상 또한 60㎛ 이하로 설정된다. 이에 의해, 높은 화소 밀도의 유기 EL 표시 장치를 제작할 수 있는 증착 마스크(20)를 제공할 수 있다. 바람직하게는, 제1 오목부(30)의 벽면(31)의 높이 r1은 6㎛ 이하로 설정된다.
이어서, 도 8에 나타내는 상술한 각도 θ2에 대하여 설명한다. 각도 θ2는, 금속판(21)의 법선 방향 N에 대하여 경사짐과 함께 접속부(41) 근방에서 관통부(42)를 통과하도록 비래(飛來)한 증착 재료(98) 중, 유기 EL 기판(92)에 도달할 수 있는 증착 재료(98)의 경사 각도의 최댓값에 상당한다. 왜냐하면, 접속부(41)를 통하여 각도 θ2보다도 큰 경사 각도로 비래한 증착 재료(98)는, 유기 EL 기판(92)에 도달하기보다도 전에 제1 오목부(30)의 벽면(31)에 부착되기 때문이라고 생각된다. 따라서, 각도 θ2를 작게 함으로써, 큰 경사 각도로 비래하여 관통부(42)를 통과한 증착 재료(98)가 유기 EL 기판(92)에 부착되는 것을 억제할 수 있고, 이에 의해, 유기 EL 기판(92) 중 관통부(42)에 겹치는 부분보다도 외측의 부분에 증착 재료(98)가 부착되어버리는 것을 억제할 수 있다. 즉, 각도 θ2를 작게 하는 것은, 유기 EL 기판(92)에 부착되는 증착 재료(98)의 면적이나 두께의 변동 억제를 유도한다고 생각된다. 이러한 관점에서, 예를 들어 관통 구멍(25)은, 각도 θ2가 45도 이하가 되게 형성되어도 된다. 또한 도 8에 있어서는, 제1면(21a)에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수, 즉 제1면(21a)에 있어서의 관통 구멍(25)의 개구 치수가, 접속부(41)에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수 r2보다도 크게 되어 있는 예를 나타내었다. 즉, 각도 θ2의 값이 양의 값인 예를 나타내었다. 그러나, 도시하지는 않지만, 접속부(41)에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수 r2가, 제1면(21a)에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수보다도 크게 되어 있어도 된다. 즉, 각도 θ2의 값은 음의 값이어도 된다.
그런데, 도 3에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)는 상술한 바와 같이, 제1 단부(26a)를 구성하는 제1 귀부(17a)로부터 제2 단부(26b)를 구성하는 제2 귀부(17b)에 걸쳐, 길이 방향 D1(제1 방향)로 연장되도록 형성되어 있어도 된다. 여기서, 길이 방향 D1은 모재(55)(도 10 참조)를 압연할 때의 반송 방향에 평행한 방향이며, 복수의 유효 영역(22)이 배열된 증착 마스크(20)의 길이 방향이어도 된다. 또한, 반송이라는 용어는, 후술하는 바와 같이 롤·투·롤에 의한 모재(55)의 반송을 의미하는 것으로서 사용하고 있다. 또한, 후술하는 폭 방향 D2(제2 방향)는 금속판(21)이나 긴 금속판(64)의 면 방향에 있어서, 길이 방향 D1에 직교하는 방향이어도 된다. 그리고, 증착 마스크(20)는 길이 방향 D1로 연장되고, 폭 방향 D2의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선 AL1과, 폭 방향 D2로 연장되고, 길이 방향 D1의 중심 위치에 배치된 제2 중심축선 AL2를 갖고 있어도 된다. 제1 중심축선 AL1은, 폭 방향 D2에 있어서의 관통 구멍(25)의 개수가 홀수인 경우에는, 폭 방향 D2의 중앙 관통 구멍(25)의 중심점을 통과하게 된다. 한편, 제1 중심축선 AL1은, 폭 방향 D2에 있어서의 관통 구멍(25)의 개수가 짝수인 경우에는, 폭 방향 D2의 중앙 근방에서 서로 인접하는 2개의 관통 구멍(25) 사이의 중간점을 통과하게 된다.
본 실시 형태에 의한 증착 마스크(20)는 도 9a에 나타내는 바와 같이, 후술하는 P1점으로부터 Q1점까지의 치수를 X1이라 하고, P2점으로부터 Q2점까지의 치수를 X2라 하고, 치수 X1 및 치수 X2의 설계값을 αX라 하였을 때,
을 충족하고 있어도 된다. 식 (1)의 좌변은, 설계값과 치수 X1의 차와, 설계값과 치수 X2의 차의 평균값의 절댓값을 의미하고 있다.
또한, 본 실시 형태에 의한 증착 마스크(20)는 P1점으로부터 P2점까지의 치수의 설계값이며, Q1점으로부터 Q2점까지의 치수의 설계값을 αY, 폭 방향 D2에 있어서의 2개의 관통 구멍(25)의 중심점 간의 거리 중 최댓값을 WY라 하였을 때,
를 충족하고 있어도 된다. 식 (2)의 좌변은, 치수 X1과 치수 X2의 차의 절댓값을 의미하고 있다. WY는, 가장 제1 측연부(27a)측에 배치된 관통 구멍(25)의 중심점과, 가장 제2 측연부(27b)측에 배치된 관통 구멍(25)의 중심점 사이의 거리(설계값)를 의미한다. 식 (2)와 같이 WY를 사용함으로써, 식 (2)를 사용한 증착 마스크(20)의 양부 판정이, 증착 마스크(20)(혹은 유효 영역(22))의 폭 방향 치수에 의존하는 것을 회피할 수 있다.
여기서, P1점 및 Q1점은, 증착 마스크(20)의 제1 중심축선 AL1의 일측(도 9a에 있어서의 좌측)에 마련되어 있고, 길이 방향 D1에 따라서 서로 이격되어 있어도 된다. P2점 및 Q2점은, 증착 마스크(20)의 제1 중심축선 AL1의 타측(도 9a에 있어서의 우측)에 마련되어 있고, 길이 방향 D1에 따라서 서로 이격되어 있어도 된다. P1점과 P2점은, 증착 시에 제1 중심축선 AL1에 대하여 서로 대칭으로 배치되어 있어도 된다. 예를 들어, P1점과 P2점은, 증착 시에 제1 중심축선 AL1에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도된 점이며, 설계 시에서는 제1 중심축선 AL1에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 점이어도 된다. 마찬가지로, Q1점과 Q2점은, 증착 시에 제1 중심축선 AL1에 대하여 서로 대칭으로 배치되어 있어도 된다.
P1점과 Q1점은, 설계 시(또는 장설 시, 증착 시)에 P1점으로부터 Q1점까지의 치수 X1이 설계값 αX가 되는 2개의 점으로서 설정되어 있어도 된다. 즉, 설계 시에, 원하는 설계값 αX와 동등한 거리로 이격되어 있는 임의의 2개의 점에, P1점과 Q1점이 설정되어 있어도 된다. P1점 및 Q1점은 도 9a에 나타내는 바와 같이, 제1 귀부(17a)와 제2 귀부(17b) 사이에 마련된 관통 구멍(25)이며, 설계 시에 원하는 설계값 αX와 동등한 거리로 이격되는 2개의 관통 구멍(25)의 중심점에 각각 위치 부여되어 있어도 된다. 이와 같이 하여 P1점과 Q1점이 설정된 증착 마스크(20)가 후술하는 스테이지(81) 등에 정치된 상태에 있어서의 P1점과 Q1점 사이의 직선 거리가, 치수 X1이어도 된다.
P2점 및 Q2점은, 설계 시에 P2점으로부터 Q2점까지의 치수 X2가 설계값 αX가 되는 2개의 점으로서 설정되어 있어도 된다. 즉, P1점 및 Q1점과 마찬가지로, 설계 시에 원하는 설계값 αX와 동등한 거리로 이격되는 임의의 2개의 점에, P2점과 Q2점이 설정되어 있어도 된다. 이와 같이 하여 P2점과 Q2점이 설정된 증착 마스크(20)가 후술하는 스테이지(81) 등에 정치된 상태에 있어서의 P2점과 Q2점 사이의 직선 거리가, 치수 X2여도 된다.
스테이지(81) 등에 정치된 증착 마스크(20)는, 후술하는 바와 같이 C자상으로 만곡되어 있어도 된다(도 24 참조). 그러나, 치수 X1 및 X2는, C자상으로 만곡되어 정치된 증착 마스크(20)로부터 측정되는 직선 거리여도 된다.
P1점과 P2점은, 증착 마스크(20)의 제2 중심축선 AL2에 대하여 일측(즉, 제1 귀부(17a)측)에 배치되어 있어도 된다. 또한, Q1점과 Q2점은, 증착 마스크(20)의 제2 중심축선 AL2에 대하여 타측(즉, 제2 귀부(17b)측)에 배치되어 있어도 된다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, P1점 및 P2점과, Q1점 및 Q2점이, 제2 중심축선 AL2에 대하여 동일한 측에 배치되어 있어도 된다. 또한, P1점 및 P2점이 제2 중심축선 AL2에 배치되어 있어도 되고, 또는 Q1점 및 Q2점이 제2 중심축선 AL2에 배치되어 있어도 된다.
또한, P1점과 P2점은, 설계 시(또는 장설 시, 증착 시)에 P1점으로부터 P2점까지의 치수가 설계값 αY가 되는 2개의 점으로서 설정되어 있어도 된다. 즉, 설계 시에 원하는 설계값 αY와 동등한 거리로 이격되는 임의의 2개의 점에, P1점과 P2점이 설정되어 있어도 된다. P1점 및 P2점은 도 9a에 나타내는 바와 같이, 설계 시에 원하는 설계값 αY와 동등한 거리로 이격되는 2개의 관통 구멍(25)의 중심점에 각각 위치 부여되어 있어도 된다.
Q1점과 Q2점은, 설계 시에 Q1점으로부터 Q2점까지의 치수가 설계값 αY가 되는 2개의 점으로서 설정되어 있어도 된다. 즉, 설계 시에 원하는 설계값 αY와 동등한 거리로 이격되는 임의의 2개의 점에, Q1점과 Q2점이 설정되어 있어도 된다. Q1점 및 Q2점은 도 9a에 나타내는 바와 같이, 설계 시에 원하는 설계값 αY와 동등한 거리로 이격되는 2개의 관통 구멍(25)의 중심점에 각각 위치 부여되어 있어도 된다.
또한, 도 9a에서는, P1점 및 P2점을, 유효 영역(22)에 있어서의 복수의 관통 구멍(25) 중, 가장 제1 귀부(17a)측(도 9a의 상측)에 배치된 관통 구멍(25)보다도 관통 구멍(25)의 1개분만 제2 귀부(17b)측(도 9a의 하측)의 관통 구멍(25)에 설정하고 있는 예를 나타내고 있지만, 이것에 한정되지 않는다. 마찬가지로, Q1점 및 Q2점을, 유효 영역(22)에 있어서의 복수의 관통 구멍(25) 중, 가장 제2 귀부(17b)측(도 9a의 하측)에 배치된 관통 구멍(25)보다도 관통 구멍(25)의 1개분만 제1 귀부(17a)측(도 9a의 상측)의 관통 구멍(25)에 설정하고 있는 예를 나타내고 있지만, 이것에 한정되지 않는다. 또한, P1점 및 Q1점을, 유효 영역(22)에 있어서의 복수의 관통 구멍(25) 중, 가장 제1 측연부(27a)측(도 9a의 좌측)에 배치된 관통 구멍(25)보다도 관통 구멍(25)의 1개분만 제2 측연부(27b)측(도 9a의 우측)의 관통 구멍(25)에 설정하고 있는 예를 나타내고 있지만, 이것에 한정되지 않는다. 마찬가지로, P2점 및 Q2점을, 유효 영역(22)에 있어서의 복수의 관통 구멍(25) 중, 가장 제2 측연부(27b)측(도 9a의 우측)에 배치된 관통 구멍(25)보다도 관통 구멍(25)의 1개분만 제1 측연부(27a)측(도 9a의 좌측)의 관통 구멍(25)에 설정하고 있는 예를 나타내고 있지만, 이것에 한정되지 않는다. 즉, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점은 상술한 바와 같이, 설계 시에 설계값 αX 및 αY가 되는 4개의 점이 되면, 임의의 관통 구멍(25)의 중심점에 설정할 수 있다.
그런데, P1점 및 P2점은, 가장 제1 귀부(17a)측에 배치된 관통 구멍(25)을 제외한 관통 구멍(25)으로부터 설정되도록 해도 된다. 가장 제1 귀부(17a)측의 관통 구멍(25)은, 가장 제1 귀부(17a)측에 배치된 유효 영역(22) 중에서 가장 외측(제1 귀부(17a)측)에 배치되어 있고, 주위 영역(23)에 인접해있다. 이로부터, 당해 관통 구멍(25)보다도, 당해 유효 영역(22)의 다른 관통 구멍(25)쪽이 위치 정밀도가 높은 경우가 있기 때문에, 가장 제1 귀부(17a)측의 관통 구멍(25)보다도 제2 귀부(17b)측에 배치된 관통 구멍(25)(예를 들어, 도 9a에 있어서 P1점 및 P2점이 설정된 관통 구멍(25)이나 당해 관통 구멍(25)보다도 하측의 관통 구멍(25))을 P1점 및 P2점에 설정해도 된다.
또한, Q1점 및 Q2점에는, 가장 제2 귀부(17b)측에 배치된 관통 구멍(25)을 제외한 관통 구멍(25)으로부터 설정되도록 해도 된다. 가장 제2 귀부(17b)측의 관통 구멍(25)은, 가장 제2 귀부(17b)측에 배치된 유효 영역(22) 중에서 가장 외측(제2 귀부(17b)측)에 배치되어 있고, 주위 영역(23)에 인접하고 있다. 이로부터, 당해 관통 구멍(25)보다도, 당해 유효 영역(22)의 다른 관통 구멍(25)쪽이 위치 정밀도가 높은 경우가 있기 때문에, 가장 제2 귀부(17b)측의 관통 구멍(25)보다도 제1 귀부(17a)측에 배치된 관통 구멍(25)(예를 들어, 도 9a에 있어서 Q1점 및 Q2점이 설정된 관통 구멍(25)이나 당해 관통 구멍(25)보다도 상측의 관통 구멍(25))을 Q1점 및 Q2점에 설정해도 된다.
또한, P1점 및 Q1점에는, 가장 제1 측연부(27a)측에 배치된 관통 구멍(25)을 제외한 관통 구멍(25)으로부터 설정되도록 해도 된다. 가장 제1 측연부(27a)측의 관통 구멍(25)은, 유효 영역(22) 중에서 가장 외측(제1 측연부(27a)측)에 배치되어 있고, 주위 영역(23)에 인접하고 있다. 이로부터, 당해 관통 구멍(25)보다도, 당해 유효 영역(22)의 다른 관통 구멍(25)쪽이 위치 정밀도가 높은 경우가 있기 때문에, 가장 제1 측연부(27a)측의 관통 구멍(25)보다도 제2 측연부(27b)측에 배치된 관통 구멍(25)(예를 들어, 도 9a에 있어서 P1점 및 Q1점이 설정된 관통 구멍(25)이나 당해 관통 구멍(25)보다도 우측의 관통 구멍(25))을 P1점 및 Q1점에 설정해도 된다.
또한, P2점 및 Q2점에는, 가장 제2 측연부(27b)측에 배치된 관통 구멍(25)을 제외한 관통 구멍(25)으로부터 설정되도록 해도 된다. 가장 제2 측연부(27b)측의 관통 구멍(25)은, 유효 영역(22) 중에서 가장 외측(제2 측연부(27b)측)에 배치되어 있고, 주위 영역(23)에 인접하고 있다. 이로부터, 당해 관통 구멍(25)보다도, 당해 유효 영역(22)의 다른 관통 구멍(25)쪽이 위치 정밀도가 높은 경우가 있기 때문에, 가장 제2 측연부(27b)측의 관통 구멍(25)보다도 제2 측연부(27b)측에 배치된 관통 구멍(25)(예를 들어, 도 9a에 있어서 P2점 및 Q2점이 설정된 관통 구멍(25)이나 당해 관통 구멍(25)보다도 좌측의 관통 구멍(25))을 P2점 및 Q2점에 설정해도 된다.
식 (1) 및 식 (2)에 나타난 설계값 αX는, 치수 X1의 설계값이어도 되고, 치수 X2의 설계값이어도 된다. 설계 시에는, P1점 및 Q1점과, P2점 및 Q2점이, 증착 마스크(20)의 제1 중심축선 AL1에 대하여 대칭으로 배치되므로, 치수 X1과 치수 X2는 동일해질 수 있기 때문이다. 또한, 식 (2)에 나타난 설계값 αY는, P1점으로부터 P2점까지의 치수의 설계값이어도 되고, Q1점으로부터 Q2점까지의 치수의 설계값이어도 된다. 설계 시에는, P1점 및 Q1점이 길이 방향 D1에 따라서 배치되어 있음과 함께, P2점 및 Q2점이 길이 방향 D1에 따라서 배치되어 있기 때문에, P1점으로부터 P2점까지의 치수의 설계값과, Q1점으로부터 Q2점까지의 치수의 설계값은 동일해질 수 있다. 여기서, 설계값이란, 프레임(15)에 장설되었을 경우에 관통 구멍(25)이 원하는 위치(증착 목표 위치)에 배치되는 것을 의도하여 설정된 수치이며, 장설 시의 수치에 상당하고 있어도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX의 범위의 하한은, 예를 들어 200mm 이상이어도 되고, 300mm 이상이어도 되고, 400mm 이상이어도 된다. 또한, 설계값 αX의 범위의 상한은, 예를 들어 600mm 이하여도 되고, 800mm 이하여도 되고, 900mm 이하여도 된다. 설계값 αX의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 하나와, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 하나의 조합에 의해 정해져도 되고, 예를 들어 200mm 이상 900mm 이하여도 되고, 300mm 이상 800mm 이하여도 되고, 400mm 이상 600mm 이하여도 된다. 또한, 설계값 αX의 범위는, 상술한 복수의 하한의 후보값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 되고, 예를 들어 200mm 이상 400mm 이하여도 되고, 200mm 이상 300mm 이하여도 되고, 300mm 이상 400mm 이하여도 된다. 또한, 설계값 αX의 범위는, 상술한 복수의 상한의 후보값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 되고, 예를 들어 600mm 이상 900mm 이하여도 되고, 600mm 이상 800mm 이하여도 되고, 800mm 이상 900m 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αY는 21.7mm 이상 65.0mm 이하여도 되고, 21.7mm 이상 43.3mm 이하여도 되고, 43.3mm 이상 65.0mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 200mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X1은 169.0mm 이상 232.0mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 200mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X1은 172.8mm 이상 225.8mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 200mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X1은 176.0mm 이상 221.2mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 300mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X1은 253.5mm 이상 348.2mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 300mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X1은 258.7mm 이상 339.3mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 300mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X1은 263.9mm 이상 331.7mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 400mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X1은 338.3mm 이상 464.2mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 400mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X1은 344.8mm 이상 451.9mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 400mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X1은 351.7mm 이상 442.3mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 600mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X1은 507.4mm 이상 696.3mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 600mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X1은 517.5mm 이상 678.1mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 600mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X1은 527.7mm 이상 663.4mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 800mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X1은 676.2mm 이상 927.8mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 800mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X1은 689.9mm 이상 904.2mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 800mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X1은 703.5mm 이상 884.8mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 900mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X1은 761.9mm 이상 1044.9mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 900mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X1은 776.8mm 이상 1017.3mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 900mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X1은 791.8mm 이상 995.6mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 200mm이며, 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X2는 176.5mm 이상 217.3mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 200mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X1은 179.9mm 이상 216.7mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 200mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X1은 182.7mm 이상 216.4mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 300mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X2는 265.0mm 이상 326.2mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 300mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X2는 269.9mm 이상 325.0mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 300mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X2는 274.2mm 이상 324.5mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 400mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X2는 352.9mm 이상 435.0mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 400mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X2는 359.8mm 이상 434.0mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 400mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X2는 365.5mm 이상 432.8mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 600mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X2는 529.8mm 이상 652.3mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 600mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X2는 539.8mm 이상 650.4mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 600mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X2는 548.1mm 이상 648.9mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 800mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X2는 706.8mm 이상 869.8mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 800mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X2는 720.0mm 이상 867.7mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 800mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X2는 730.8mm 이상 865.2mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 설계값 αX가 900mm이며 설계값 αY가 65.0mm인 경우에는, 치수 X2는 794.8mm 이상 977.9mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 900mm이며 설계값 αY가 43.3mm인 경우에는, 치수 X2는 809.4mm 이상 975.8mm 이하여도 된다. 설계값 αX가 900mm이며 설계값 αY가 21.7mm인 경우에는, 치수 X2는 822.3mm 이상 973.9mm 이하여도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 가장 제1 측연부(27a)측에 배치된 관통 구멍(25)의 중심점과, 가장 제2 측연부(27b)측에 배치된 관통 구멍(25)의 중심점 사이의 거리(설계값)인 WY는, 20mm 이상 350mm 이하여도 되고, 20mm 이상 65.0mm 이하여도 되고, 65.0mm 이상 350mm 이하여도 된다. 또한, WY는 65.0mm이어도 된다.
관통 구멍(25)은 도 9a에 나타내는 바와 같이 격자상으로 배치되는 것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 9b에 나타내는 바와 같이, 관통 구멍(25)은 지그재그상으로 배치되어 있어도 된다. 이 경우에는, 도 9b에 나타내는 바와 같이, P1점, P2점, Q1점 및 Q2점을 설정해도 된다.
또한, P1점 및 Q1점은, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1에 따라서 배치된 임의의 2점이면, 증착 시에 증착 재료(98)가 통과하는 관통 구멍(25)의 중심점에 위치 부여되지 않아도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 제1면(20a) 또는 제2면(20b)에 형성된 임의의 오목부여도 되고, 혹은 증착 재료(98)의 통과를 의도하지 않은 다른 관통 구멍(더미 구멍), 나아가 증착 마스크(20)의 외형 치수여도 된다. 더미 구멍은 각 유효 영역(22)에 있어서, 외측(제1 귀부(17a)측, 제2 귀부(17b)측, 제1 측연부(27a)측 또는 제2 측연부(27b)측)에 배치되는 경우가 있다. 예를 들어, 유효 영역(22)의 가장 외측에 배치된 관통 구멍(25)뿐만 아니라, 당해 관통 구멍(25)으로부터 1개분 또는 복수개분만 내측의 관통 구멍(25)까지도, 더미 구멍으로서 구성되는 경우가 있다. 이러한 더미 구멍으로서의 관통 구멍(25)은 증착 시에 증착 재료(98)가 통과하지만, 통과하여 유기 EL 기판(92)에 부착된 증착 재료(98)는 화소로서는 사용되지 않는다.
예를 들어, 도 9c에 나타내는 바와 같이, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 토탈 피치 마크(28)의 중심점에 위치 부여하게 해도 된다. 토탈 피치 마크(28)는 각 유효 영역(22)의 모퉁이부 근방이며 유효 영역(22)의 외측(즉, 주위 영역(23))에 배치된 마크이다. 토탈 피치 마크(28)는, 후술하는 제1면 에칭 공정 또는 제2면 에칭 공정에 있어서, 제1면(20a) 또는 제2면(20b)에 있어서의 원하는 위치에 하프에칭으로 오목상으로 형성해도 된다. 혹은, 제1면(20a)으로부터 제2면(20b)으로 연장되는 관통 구멍을 형성하여, 이것을 토탈 피치 마크(28)로 해도 된다. 또한, 도 9c에서는, 토탈 피치 마크(28)의 평면 형상이 원형인 예를 나타내고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 직사각형상 등 임의의 형상으로 해도 된다.
이어서, 증착 마스크(20)를 제조하는 방법에 대하여 설명한다.
처음에, 증착 마스크를 제조하기 위해 사용되는 금속판의 제조 방법의 일례에 대하여 설명한다.
처음에, 도 10에 도시한 바와 같이, 압연 공정으로서, 니켈을 포함하는 철 합금으로 구성된 모재(55)를 준비하고, 이 모재(55)를, 한 쌍의 압연롤(56a, 56b)을 포함하는 압연 장치(56)를 향하여, 화살표 D1로 나타내는 방향에 따라서 반송해도 된다. 한 쌍의 압연롤(56a, 56b) 사이에 도달한 모재(55)는 한 쌍의 압연롤(56a, 56b)에 의해 압연되고, 이 결과, 모재(55)는 그 두께가 저감됨과 함께, 반송 방향에 따라서 연장된다. 이에 의해, 두께 t0의 판재(64X)를 얻을 수 있다. 도 10에 도시한 바와 같이, 판재(64X)를 코어(61)에 권취함으로써 감기체(62)를 형성해도 된다. 두께 t0의 구체적인 값은, 바람직하게는 상술한 바와 같이 5㎛ 이상 또한 85㎛ 이하이다.
또한 도 10은 압연 공정의 개략을 나타내는 도면에 지나지 않고, 압연 공정을 실시하기 위한 구체적인 구성이나 수순이 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어 압연 공정은, 모재(55)를 구성하는 인바재의 결정 배열을 변화시키는 온도 이상의 온도에서 모재를 가공하는 열간 압연 공정이나, 인바재의 결정 배열을 변화시키는 온도 이하의 온도에서 모재를 가공하는 냉간 압연 공정을 포함하고 있어도 된다. 또한, 한 쌍의 압연롤(56a, 56b) 사이에 모재(55)나 판재(64X)를 통과시킬 때의 방향이 일방향으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 도 10 및 도 11에 있어서, 지면 좌측으로부터 우측으로의 방향, 및 지면 우측으로부터 좌측으로의 방향으로 반복해서 모재(55)나 판재(64X)를 한 쌍의 압연롤(56a, 56b) 사이에 통과시킴으로써, 모재(55)나 판재(64X)를 서서히 압연해도 된다.
그 후, 판재(64X)의 폭이 소정의 범위 내가 되도록, 압연 공정에 의해 얻어진 판재(64X)의 폭 방향에 있어서의 양단부를 각각 소정의 범위에 걸쳐 잘라내는 슬릿 공정을 실시해도 된다. 이 슬릿 공정은, 압연에서 기인하여 판재(64X)의 양단부에 발생할 수 있는 크랙을 제거하기 위해 실시된다. 이러한 슬릿 공정을 실시함으로써, 판재(64X)가 파단되어버리는 현상, 소위 판 절단이, 크랙을 기점으로 하여 발생해버리는 것을 억제할 수 있다.
그 후, 압연에 의해 판재(64X) 내에 축적된 잔류 응력(내부 응력)을 제거하기 위해서, 도 11에 도시한 바와 같이, 어닐 장치(57)를 사용하여 판재(64X)를 어닐하는 어닐 공정을 실시해도 되고, 이에 의해 긴 금속판(64)을 얻는다. 어닐 공정은 도 11에 도시한 바와 같이, 판재(64X)나 긴 금속판(64)을 반송 방향(길이 방향)으로 인장하면서 실시되어도 된다. 즉, 어닐 공정은 소위 배치식의 어닐링이 아니라, 반송하면서의 연속 어닐링으로서 실시되어도 된다.
바람직하게는 상술한 어닐 공정은, 비환원 분위기나 불활성 가스 분위기에서 실시된다. 여기서 비환원 분위기란, 수소 등의 환원성 가스를 포함하지 않는 분위기이다. 「환원성 가스를 포함하지 않는」이란, 수소 등의 환원성 가스의 농도가 4％ 이하인 것을 의미하고 있다. 또한 불활성 가스 분위기란, 아르곤 가스, 헬륨 가스, 질소 가스 등의 불활성 가스가 90％ 이상 존재하는 분위기이다. 비환원 분위기나 불활성 가스 분위기에서 어닐 공정을 실시함으로써, 상술한 니켈 수산화물이 긴 금속판(64)의 제1면(64a)이나 제2면(64b)에 생성되는 것을 억제할 수 있다.
어닐 공정을 실시함으로써, 잔류 변형이 어느 정도로 제거된, 두께 t0의 긴 금속판(64)을 얻을 수 있다. 또한 두께 t0은 증착 마스크(20)의 두께 t와 동등하게 되어 있어도 된다.
또한, 상술한 압연 공정, 슬릿 공정 및 어닐 공정을 복수회 반복함으로써, 두께 t0의 긴 금속판(64)을 제작해도 된다. 또한 도 11에 있어서는, 어닐 공정이 긴 금속판(64)을 길이 방향으로 인장하면서 실시되는 예를 나타내었지만, 이것에 한정되지 않고, 어닐 공정을 긴 금속판(64)이 코어(61)에 권취된 상태에서 실시해도 된다. 즉, 배치식의 어닐링이 실시되어도 된다. 또한, 긴 금속판(64)이 코어(61)에 권취된 상태에서 어닐 공정을 실시하는 경우, 긴 금속판(64)에, 감기체(62)의 권취 직경에 따른 휘는 경향이 생겨버리는 경우가 있다. 따라서, 감기체(62)의 감기 직경이나 모재(55)를 구성하는 재료에 따라서는, 긴 금속판(64)을 길이 방향으로 인장하면서 어닐 공정을 실시하는 것이 유리하다.
그 후, 긴 금속판(64)의 폭 방향에 있어서의 양단부를 각각 소정 범위에 걸쳐 잘라내고, 이에 의해, 긴 금속판(64)의 폭을 원하는 폭으로 조정하는 절단 공정을 실시해도 된다. 이와 같이 하여, 원하는 두께 및 폭을 갖는 긴 금속판(64)을 얻을 수 있다.
이어서, 긴 금속판(64)을 사용하여 증착 마스크(20)를 제조하는 방법의 일례에 대하여, 주로 도 12 내지 도 20을 참조하여 설명한다. 이하에 설명하는 증착 마스크(20)의 제조 방법에서는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)이 공급되어, 이 긴 금속판(64)에 관통 구멍(25)이 형성되고, 또한 긴 금속판(64)을 재단함으로써 매엽상의 금속판(21)을 포함하는 증착 마스크(20)가 얻어진다.
보다 구체적으로는, 증착 마스크(20)의 제조 방법은, 띠상으로 연장되는 긴 금속판(64)을 공급하는 공정과, 포토리소그래피 기술을 사용한 에칭을 긴 금속판(64)에 실시하여, 긴 금속판(64)에 제1면(64a)측으로부터 제1 오목부(30)를 형성하는 공정과, 포토리소그래피 기술을 사용한 에칭을 긴 금속판(64)에 실시하여, 긴 금속판(64)에 제2면(64b)측으로부터 제2 오목부(35)를 형성하는 공정을 포함하고 있어도 된다. 그리고, 긴 금속판(64)에 형성된 제1 오목부(30)와 제2 오목부(35)가 서로 통함으로써, 긴 금속판(64)에 관통 구멍(25)이 제작되어도 된다. 도 13 내지 도 20에 나타난 예에서는, 제1 오목부(30)의 형성 공정이 제2 오목부(35)의 형성 공정 전에 실시되고, 또한 제1 오목부(30)의 형성 공정과 제2 오목부(35)의 형성 공정 사이에, 제작된 제1 오목부(30)를 밀봉하는 공정이 더 마련되어 있다. 이하에 있어서, 각 공정의 상세를 설명한다.
도 12에는, 증착 마스크(20)를 제조하기 위한 제조 장치(60)가 나타나 있다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 먼저 긴 금속판(64)을 코어(61)에 권취한 감기체(금속판 롤)(62)가 준비된다. 그리고, 이 코어(61)가 회전하여 감기체(62)가 권출됨으로써, 도 12에 나타내는 바와 같이 띠상으로 연장되는 긴 금속판(64)이 공급된다. 또한, 긴 금속판(64)은 관통 구멍(25)을 형성되어 매엽상의 금속판(21), 나아가 증착 마스크(20)를 이루게 된다.
공급된 긴 금속판(64)은 반송 롤러(72)에 의해, 에칭 장치(에칭 수단)(70)에 반송되어도 된다. 에칭 장치(70)에 의해, 도 13 내지 도 20에 나타난 각 처리가 실시되어도 된다. 또한 본 실시 형태에 있어서는, 긴 금속판(64)의 폭 방향으로 복수의 증착 마스크(20)가 할당되는 예에 대하여 설명한다. 즉, 복수의 증착 마스크(20)가 길이 방향에 있어서 긴 금속판(64)의 소정의 위치를 차지하는 영역으로부터 제작된다. 이 경우, 바람직하게는 증착 마스크(20)의 길이 방향이 긴 금속판(64)의 압연 방향에 일치하도록, 복수의 증착 마스크(20)가 긴 금속판(64)에 할 당된다.
먼저, 도 13에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)의 제1면(64a) 상 및 제2면(64b) 상에 네가티브형의 감광성 레지스트 재료를 포함하는 레지스트막(65c, 65d)을 형성해도 된다. 레지스트막(65c, 65d)을 형성하는 방법으로서는, 아크릴계 광경화성 수지 등의 감광성 레지스트 재료를 포함하는 층이 형성된 필름, 소위 드라이 필름을 긴 금속판(64)의 제1면(64a) 상 및 제2면(64b) 상에 첩부하는 방법이 채용되어도 된다.
이어서, 레지스트막(65c, 65d) 중의 제거하고자 하는 영역에 광을 투과시키지 않도록 한 노광 마스크(68a, 68b)를 준비하고, 노광 마스크(68a, 68b)를 각각 도 14에 도시하는 바와 같이 레지스트막(65c, 65d) 상에 배치해도 된다. 노광 마스크(68a, 68b)로서는, 예를 들어 레지스트막(65c, 65d) 중의 제거하고자 하는 영역에 광을 투과시키지 않도록 한 유리 건판이 사용되어도 된다. 그 후, 진공 밀착에 의해 노광 마스크(68a, 68b)를 레지스트막(65c, 65d)에 충분히 밀착시켜도 된다. 또한 감광성 레지스트 재료로서, 포지티브형의 것이 사용되어도 된다. 이 경우, 노광 마스크로서, 레지스트막 중 제거하고자 하는 영역에 광을 투과시키도록 한 노광 마스크가 사용되어도 된다.
그 후, 레지스트막(65c, 65d)을 노광 마스크(68a, 68b) 너머로 노광해도 된다(노광 공정). 또한, 노광된 레지스트막(65c, 65d)에 상을 형성하기 위해 레지스트막(65c, 65d)을 현상해도 된다(현상 공정). 이상과 같이 하여, 도 15에 도시한 바와 같이, 긴 금속판(64)의 제1면(64a) 상에 제1 레지스트 패턴(65a)을 형성하고, 긴 금속판(64)의 제2면(64b) 상에 제2 레지스트 패턴(65b)을 형성할 수 있다. 또한 현상 공정은, 레지스트막(65c, 65d)의 경도를 높이기 위한, 또는 긴 금속판(64)에 대하여 레지스트막(65c, 65d)을 의해 견고하게 밀착시키기 위한 레지스트 열처리 공정을 포함하고 있어도 된다. 레지스트 열처리 공정은 아르곤 가스, 헬륨 가스, 질소 가스 등의 불활성 가스의 분위기에 있어서, 예를 들어 100℃ 이상 또한 400℃ 이하에서 실시되어도 된다.
이어서, 도 16에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)의 제1면(64a) 중 제1 레지스트 패턴(65a)에 의해 덮여 있지 않은 영역을, 제1 에칭액을 사용하여 에칭하는 제1면 에칭 공정을 실시해도 된다. 예를 들어, 제1 에칭액이, 반송되는 긴 금속판(64)의 제1면(64a)에 대면하는 측에 배치된 노즐로부터, 제1 레지스트 패턴(65a) 너머로 긴 금속판(64) 제1면(64a)을 향하여 분사되어도 된다. 이 결과, 도 16에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64) 중 제1 레지스트 패턴(65a)에 의해 덮여 있지 않은 영역에서, 제1 에칭액에 의한 침식이 진행될 수 있다. 이에 의해, 긴 금속판(64)의 제1면(64a)에 다수의 제1 오목부(30)가 형성될 수 있다. 제1 에칭액으로서는, 예를 들어 염화제2철 용액 및 염산을 포함하는 액이 사용되어도 된다.
그 후, 도 17에 나타내는 바와 같이, 후의 제2면 에칭 공정에 있어서 사용되는 제2 에칭액에 대한 내성을 갖는 수지(69)에 의해, 제1 오목부(30)가 피복되어도 된다. 즉, 제2 에칭액에 대한 내성을 갖는 수지(69)에 의해, 제1 오목부(30)가 밀봉되어도 된다. 도 17에 나타내는 예에 있어서, 수지(69)의 막이, 형성된 제1 오목부(30)뿐만 아니라, 제1면(64a)(제1 레지스트 패턴(65a))도 덮도록 형성되어 있어도 된다.
이어서, 도 18에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)의 제2면(64b) 중 제2 레지스트 패턴(65b)에 의해 덮여 있지 않은 영역을 에칭하고, 제2면(64b)에 제2 오목부(35)를 형성하는 제2면 에칭 공정을 실시해도 된다. 제2면 에칭 공정은, 제1 오목부(30)와 제2 오목부(35)가 서로 통하고, 이에 의해 관통 구멍(25)이 형성되게 될 때까지 실시되어도 된다. 제2 에칭액으로서는, 상술한 제1 에칭액과 마찬가지로, 예를 들어 염화제2철 용액 및 염산을 포함하는 액이 사용되어도 된다.
또한 제2 에칭액에 의한 침식은, 긴 금속판(64) 중 제2 에칭액에 접촉되어 있는 부분에 있어서 행해져 간다. 따라서, 침식은 긴 금속판(64)의 법선 방향 N(두께 방향)으로만 진행되는 것은 아니고, 긴 금속판(64)의 판면에 따른 방향으로도 진행되어 갈 수 있다. 여기서 바람직하게는, 제2면 에칭 공정은, 제2 레지스트 패턴(65b)의 인접하는 2개의 구멍(66a)에 대면하는 위치에 각각 형성된 2개의 제2 오목부(35)가, 2개의 구멍(66a) 사이에 위치하는 브릿지부(67a)의 이측에 있어서 합류하기보다도 전에 종료되어도 된다. 이에 의해, 도 19에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)의 제2면(64b)에 상술한 톱부(43)를 남길 수 있다.
그 후, 도 20에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)으로부터 수지(69)가 제거되어도 된다. 수지(69)는, 예를 들어 알칼리계 박리액을 사용함으로써 제거할 수 있다. 알칼리계 박리액이 사용되는 경우, 도 20에 나타내는 바와 같이, 수지(69)와 동시에 레지스트 패턴(65a, 65b)도 제거될 수 있다. 또한, 수지(69)를 제거한 후, 수지(69)를 박리시키기 위한 박리액과는 다른 박리액을 사용하여, 수지(69)와는 별도로 레지스트 패턴(65a, 65b)을 제거해도 된다.
이와 같이 하여 다수의 관통 구멍(25)이 형성된 긴 금속판(64)은, 당해 긴 금속판(64)을 끼움 지지한 상태에서 회전하는 반송 롤러(72, 72)에 의해, 절단 장치(절단 수단)(73)에 반송되어도 된다. 또한, 이 반송 롤러(72, 72)의 회전에 의해 긴 금속판(64)에 작용하는 텐션(인장 응력)을 통해, 상술한 공급 코어(61)가 회전시켜지고, 감기체(62)로부터 긴 금속판(64)이 공급되게 되어 있어도 된다.
그 후, 다수의 관통 구멍(25)이 형성된 긴 금속판(64)을 절단 장치(73)에 의해 소정의 길이 및 폭으로 절단해도 된다. 이에 의해, 다수의 관통 구멍(25)이 형성된 매엽상의 금속판(21), 즉 증착 마스크(20)를 얻을 수 있다.
이어서, 상술한 바와 같이 하여 준비된 증착 마스크(20)의 치수 X1 및 치수 X2를 측정하여 증착 마스크(20)의 양부를 판정하는 방법의 일례에 대하여, 도 21 내지 도 24를 참조하여 설명한다. 여기에서는, 이하에 설명하는 양부 판정 시스템(80)을 사용하여, 치수 X1 및 치수 X2를 측정하고, 측정 결과에 기초하여, 증착 마스크(20)의 양부를 판정하는 방법에 대하여 설명한다. 즉, 치수 X1 및 치수 X2를 측정함으로써, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)이 설계대로 배치되어 있는지 여부를 확인할 수 있고, 이에 의해, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도가 소정의 기준을 충족하는지 여부를 판정할 수 있다.
그런데, 두께가 작은 금속판(21)을 얻기 위해서는, 모재를 압연하여 금속판(21)을 제조할 때의 압연율을 크게 해도 된다. 여기서 압연율이란, (모재의 두께-금속판의 두께)/(모재의 두께)에 의해 산출되는 값이다. 그러나, 폭 방향 D2(모재의 반송 방향에 직교하는 방향)의 위치에 따라서 금속판(64)의 신장률은 다르다. 그리고, 압연율이 클수록, 압연에 기초하는 변형의 불균일함의 정도가 커질 수 있다. 이 때문에, 큰 압연율로 압연된 금속판(64)에는, 굴곡 형상이 나타나는 것이 알려져 있다. 구체적으로는, 귀(耳) 신장이라 불리는, 금속판(64)의 폭 방향 D2에 있어서의 측연부(64e)에 형성되는 굴곡 형상을 들 수 있다. 또한, 중(中) 신장이라 불리는, 금속판(64)의 폭 방향 D2에 있어서의 중앙에 형성되는 굴곡 형상을 들 수 있다. 압연 후에 어닐 등의 열처리를 실시한 경우에도, 이러한 굴곡 형상은 나타날 수 있다. 예를 들어, 도 21에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)은, 길이 방향 D1에 있어서의 길이가 폭 방향 D2의 위치에 따라서 다른 것에서 기인하는 굴곡 형상을 적어도 부분적으로 갖고 있다. 예를 들어, 긴 금속판(64) 중 길이 방향 D1에 따라서 연장되는 측연부(64e)에는, 굴곡 형상이 나타나 있다.
또한, 도금 처리를 이용한 제박 공정에 의해, 소정의 두께를 갖는 금속판이 제작되는 경우도 있다. 그러나, 제박 공정에 있어서, 전류 밀도가 불균일하다면, 제작되는 금속판의 두께가 불균일해질 수 있다. 이에 의해, 금속판의 폭 방향에 있어서의 측연부에, 마찬가지의 굴곡 형상이 나타날 가능성도 있다.
한편, 레지스트막(65c, 65d)을 노광하는 상술한 노광 공정에 있어서는, 진공 흡착 등에 의해 노광 마스크를 긴 금속판(64) 상의 레지스트막(65c, 65d)에 밀착시킨다. 이 때문에, 노광 마스크와의 밀착에 의해, 도 22에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)의 측연부(64e)의 굴곡 형상이 압축되어, 긴 금속판(64)이 거의 평탄한 상태가 된다. 이 상태에서, 도 22에 있어서 점선으로 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)에 마련된 레지스트막(65c, 65d)이 소정의 패턴으로 노광된다.
노광 마스크가 긴 금속판(64)으로부터 분리되면, 긴 금속판(64)의 측연부(64e)에는, 다시 굴곡 형상이 나타난다. 이렇게 굴곡 형상이 형성된 금속판(64)으로 증착 마스크(20)를 제작하여 장설한 경우, 증착 마스크(20)의 신장은 폭 방향 D2에 있어서 다르고, 이에 의해, 관통 구멍(25)의 위치가 어긋나는 경우가 있다. 보다 구체적으로는, 금속판(64) 중 굴곡 형상이 큰 부분은, 증착 마스크(20)로서 형성된 경우에, 굴곡 형상이 작은 부분보다도 길이 방향 치수가 길어진다. 여기서, 폭 방향 D2에 있어서 서로 다른 제1 위치 부분 및 제2 위치 부분에 인장력을 부여하여 증착 마스크(20)를 장설하는 경우를 상정한다. 이 경우, 제1 위치 부분에 있어서의 증착 마스크(20)의 길이 방향 길이가, 제2 위치 부분에 있어서의 길이 방향 길이보다도 짧으면, 제1 위치 부분의 길이 방향 길이가 제2 위치 부분의 길이 방향 길이와 동등해지도록 증착 마스크(20)에 인장력이 부여된다. 이 때문에, 제1 위치 부분이, 제2 위치 부분보다도 크게 신장되고, 증착 마스크(20)의 길이 방향 중앙부가, 폭 방향 D2에서 제1 위치 부분측으로 어긋날 가능성이 있다. 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 어긋남은 작은 것이 바람직하고, 이에 의해, 관통 구멍(25)을 통해 유기 EL 기판(92)에 증착되는 증착 재료(98)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있어, 유기 EL 표시 장치의 화소 치수 정밀도나 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 23은, 에칭됨으로써 복수의 증착 마스크(20)가 폭 방향 D2에 따라서 할당된 상태의 긴 금속판(64)을 나타내는 도면이다. 도 23에 나타내는 바와 같이, 할당된 3개의 증착 마스크(20) 중 적어도 긴 금속판(64)의 측연부(64e)를 서로 향하는 증착 마스크(20)는, 굴곡 형상이 비교적 큰 부분으로 형성된다. 도 23에 있어서, 부호 27a는 긴 금속판(64)의 측연부(64e)에 대향하도록 할당된 증착 마스크(20)의 측연부 중, 긴 금속판(64)의 중앙측에 위치하는 측연부(이하, 제1 측연부라고 칭함)를 나타낸다. 또한, 도 23에 있어서, 부호 27b는 제1 측연부(27a)의 반대측에 위치하고, 긴 금속판(64)의 측연부(64e)에 대향하는 측연부(이하, 제2 측연부라고 칭함)를 나타낸다. 도 23에 나타내는 바와 같이, 긴 금속판(64)의 측연부(64e)에 대향하는 증착 마스크(20)에 있어서, 제2 측연부(27b)측의 부분은, 제1 측연부(27a)측의 부분보다도 굴곡 형상이 큰 부분으로 형성된다.
도 24는, 긴 금속판(64)의 측연부(64e)에 대향하고 있었던 증착 마스크(20)를 긴 금속판(64)으로부터 잘라냄으로써 얻어진 증착 마스크(20)를 나타내는 평면도이다. 상술한 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제2 측연부(27b)측의 부분이, 제1 측연부(27a)측의 부분보다도 굴곡 형상이 큰 부분으로 형성되는 경우에는, 제2 측연부(27b)측의 부분의 길이 방향 D1의 길이가, 제1 측연부(27a)측의 부분의 길이 방향 D1의 길이보다도 길어진다. 즉, 길이 방향 D1에 있어서의 제2 측연부(27b)의 치수(제2 측연부(27b)에 따른 치수)는 제1 측연부(27a)의 치수(제1 측연부(27a)에 따른 치수)보다도 커진다. 이 경우, 도 24에 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(20)에는, 제1 측연부(27a)측으로부터 제2 측연부(27b)측을 향하는 방향에 있어서 볼록해지도록 만곡된 형상이 나타난다. 이하, 이러한 만곡 형상을 C자 형상이라고도 칭한다.
본 실시 형태에서는, 증착 마스크(20)의 치수 X1 및 치수 X2의 측정은, 증착 마스크(20)에 장력을 부여하지 않고 행해진다. 이하, 본 실시 형태에 의한 양부 판정 방법에 대하여 설명한다.
도 25는, 증착 마스크(20)의 치수를 측정하여 양부를 판정하는 양부 판정 시스템을 나타내는 도면이다. 도 25에 나타내는 바와 같이, 양부 판정 시스템(80)은, 증착 마스크(20)가 적재되는 스테이지(81)와, 치수 측정 장치(82)와, 판정 장치(83)를 구비하고 있어도 된다.
치수 측정 장치(82)는, 예를 들어 스테이지(81)의 상방에 마련되고, 증착 마스크(20)를 촬상하여 화상을 제작하는 측정 카메라(촬상부)를 포함하고 있어도 된다. 스테이지(81) 및 치수 측정 장치(82) 중 적어도 한쪽은, 서로에 대하여 이동 가능하게 되어 있어도 된다. 본 실시 형태에 있어서는, 스테이지(81)가 정지하고, 치수 측정 장치(82)가 스테이지(81)에 평행하며 서로 직교하는 2 방향과, 스테이지(81)에 수직인 방향으로 이동 가능하게 되어 있어도 된다. 이에 의해, 치수 측정 장치(82)를 원하는 위치로 이동시키는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 또한, 치수 측정 장치(82)가 정지하고, 스테이지(81)가 이동 가능하도록, 양부 판정 시스템(80)을 구성해도 된다.
증착 마스크(20)의 치수의 측정은, 증착 마스크(20) 중 측정 대상이 되는 부분의 치수의 대소에 따라서, 다른 방법으로 행할 수 있다.
측정 대상의 치수가 비교적 작은 경우(예를 들어, 수백㎛ 이하인 경우)에는, 치수 측정 장치(82)의 측정 카메라의 시야 내에 측정 대상을 수용할 수 있기 때문에, 측정 카메라를 이동시키지 않고, 측정 대상의 치수를 측정해도 된다.
한편, 측정 대상의 치수가 비교적 큰 경우(예를 들어, mm오더 이상인 경우)에는, 치수 측정 장치(82)의 측정 카메라의 시야 내에 측정 대상을 수용하는 것이 곤란해지기 때문에, 측정 카메라를 이동시켜 측정 대상의 치수를 측정해도 된다. 이 경우, 치수 측정 장치(82)는 측정 카메라에 의해 촬상된 화상과, 측정 카메라의 이동량(스테이지(81)가 이동하는 경우에는 그 이동량)에 기초하여, 증착 마스크(20)의 치수를 산출해도 된다.
판정 장치(83)는 치수 측정 장치(82)에 의한 측정 결과에 기초하여, 상술한 식 (1)과 식 (2)가 충족되어 있는지 여부를 판정해도 된다. 판정 장치(83)는 연산 장치 및 기억 매체를 포함하고 있어도 된다. 연산 장치는, 예를 들어 CPU이다. 기억 매체는, 예를 들어 ROM이나 RAM 등의 메모리이다. 판정 장치(83)는 기억 매체에 기억된 프로그램을 연산 장치가 실행됨으로써, 증착 마스크(20)의 치수 판정 처리를 실시해도 된다.
본 실시 형태에 의한 증착 마스크(20)의 양부 판정 방법에서는, 처음에, 증착 마스크(20)의 치수 X1 및 치수 X2를 측정하는 측정 공정을 실시해도 된다.
이 경우, 먼저 스테이지(81) 상에 증착 마스크(20)가 살짝 적재되어도 된다. 이 때, 증착 마스크(20)는 스테이지(81)에 고정되지 않고, 적재되어도 된다. 즉, 증착 마스크(20)에는 장력이 부여되지 않아도 된다. 스테이지(81)에 적재된 증착 마스크(20)는, 예를 들어 도 24에 나타내는 바와 같이 C자상으로 만곡될 수 있다.
이어서, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정해도 된다. 여기에서는, P1점 및 Q1점은, 설계 시(또는 장설 시, 증착 시)에 원하는 설계값 αX와 동등한 거리로 이격되는 2개의 관통 구멍(25)의 중심점에 설정되는 예에 대하여 설명한다. 마찬가지로, P2점 및 Q2점은, 설계 시에 원하는 설계값 αX와 동등한 거리로 이격되는 2개의 관통 구멍(25)의 중심점에 설정되어도 된다. 또한, P1점 및 P2점은, 설계 시에 원하는 설계값 αY와 동등한 거리로 이격되는 2개의 관통 구멍(25)의 중심점에 설정되어도 된다. 마찬가지로, Q1점 및 Q2점은, 설계 시에 원하는 설계값 αY와 동등한 거리로 이격되는 2개의 관통 구멍(25)의 중심점에 설정되어도 된다.
예를 들어, 원하는 설계값 αX를 200mm로 함과 함께, αY를 65.0mm로 한 경우, 200mm×65.0mm의 장방형의 정점(모퉁이부)에 위치 부여되어 있는 관통 구멍(25)의 중심점을, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점에 설정해도 된다. 여기서, 이 장방형의 정점에 일치하는 관통 구멍(25)의 중심점이 존재하지 않는 경우에는, 정점 근방의 (바람직하게는 정점에 가장 가까운) 관통 구멍(25)의 중심점을, P1점, Q1점, P2점, Q2점에 설정해도 된다. 이 경우에는, 이와 같이 하여 설정된 P1점, Q1점, P2점, Q2점에 대응하는 설계값 αX 및 αY를 구하고, 후술하는 판정 공정에서 사용하면 된다. 또한, 정점에 가장 가까운 관통 구멍(25)이 2개 이상 있을 경우에는, 어느 하나의 관통 구멍(25)에 설정하면 된다.
관통 구멍(25)의 중심점은, 상술한 접속부(41)(또는 관통부(42))의 평면 형상의 중심점이어도 된다. 이 중심점은, 접속부(41)와 동일한 평면 형상의 밀도 일정한 형상물을 상정하였을 때, 당해 형상물을 1점에서 지지할 수 있는 도심(圖心)으로서 정의되어 있어도 된다. 이에 의해, 관통 구멍(25)의 평면 형상이 복잡한 형상이어도, 중심점을 결정할 수 있다. 중심점을 구하는 장치로서는, 예를 들어 좌표 측정기인 AMIC1710-D(신토 S 프레시죤 가부시키가이샤제)를 들 수 있다. 또한, 관통 구멍(25)의 중심점은 제1면(20a)에 있어서의 제1 오목부(30)의 평면 형상의 중심점이어도 되고, 제2면(20b)에 있어서의 제2 오목부(35)의 평면 형상의 중심점이어도 된다.
계속해서, 스테이지(81) 상의 증착 마스크(20)의 치수 X1 및 치수 X2(도 24 참조)가 측정되어도 된다. 이 경우, 도 25에 나타내는 상술한 치수 측정 장치(82)의 측정 카메라에 의해, 증착 마스크(20)의 P1점, Q1점, P2점 및 Q2점이 촬상되어, 촬상된 화상과, 측정 카메라가 이동한 경우에는 그 이동량에 기초하여, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점의 좌표를 산출해도 된다. 그리고, 산출된 각 점의 좌표에 기초하여, P1점으로부터 Q1점까지의 직선 거리인 치수 X1과, P2점으로부터 Q2점까지의 직선 거리인 치수 X2가 산출되어도 된다.
이어서, 치수 측정 공정에 있어서 측정된 치수 X1 및 치수 X2에 기초하여, 증착 마스크(20)의 양부를 판정하는 판정 공정을 실시해도 된다.
예를 들어, 치수 측정 장치(82)에 의한 측정 결과에 기초하여, 산출된 치수 X1과 치수 X2가, 상술한 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 충족하고 있는지 여부를 판정해도 된다. 즉, 상술한 바와 같이 산출된 치수 X1과 치수 X2가 상술한 식 (1)에 대입됨과 함께, αX에 설계값이 대입되어, 식 (1)의 좌변이 절댓값으로서 산출되어도 된다. 이 좌변의 값이, 설계값 αX에 기초하는 우변의 값 이하인지 여부가 판정되어도 된다. 식 (1)을 충족한 증착 마스크(20)가 양품(OK)으로 판정되어도 되고, 식 (1)을 충족하지 않은 증착 마스크(20)는 불량품(NG)으로 판정되어도 된다.
마찬가지로 하여, 산출된 치수 X1과 치수 X2가 상술한 식 (2)에 대입되어, 식 (2)의 좌변이 절댓값으로서 산출되고, 이 좌변의 값이, 설계값 αX 및 αY에 기초하는 우변의 값 이하인지 여부가 판정되어도 된다. 식 (2)를 충족한 증착 마스크(20)가 양품(OK)으로 판정되어도 되고, 식 (2)를 충족하지 않는 증착 마스크(20)는 불량품(NG)으로 판정되어도 된다.
이와 같이 하여, 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 충족하는 증착 마스크(20)가 양품으로 판정되어도 된다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 식 (1) 및 식 (2)의 양쪽을 충족하는 증착 마스크(20)를 양품으로서 판정해도 된다. 그러나, 식 (1)을 충족하고 있으면 식 (2)는 충족하지 않는 증착 마스크(20)를 양품으로서 판정해도 되고, 혹은 식 (2)를 충족하고 있으면 식 (1)은 충족하지 않는 증착 마스크(20)를 양품으로서 판정해도 된다.
이어서, 증착 마스크(20)를 선정한다. 여기에서는, 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 충족하는 증착 마스크(20)를 선정하는 선정 방법의 예에 대하여 설명한다.
즉, 식 (1)에 대하여 양품으로 판정된 증착 마스크(20)와, 불량품으로 판정된 증착 마스크(20)가 선별되어도 된다. 그리고, 식 (1)을 충족한 양품인 증착 마스크(20)가, 본 실시 형태에 의한 제조 방법으로 제조되는 증착 마스크로서 선정되어도 된다.
또한, 식 (1)에 대하여 불량품으로 판정된 증착 마스크(20) 중, 식 (2)에 대하여 양품으로 판정된 증착 마스크(20)와, 불량품으로 판정된 증착 마스크(20)가 선별되어도 된다. 그리고, 식 (2)를 충족한 양품인 증착 마스크(20)가, 본 실시 형태에 의한 제조 방법으로 제조되는 증착 마스크로서 선정되어도 된다. 또한, 식 (1)을 충족한 증착 마스크(20)를 선정하기 전에, 식 (2)를 충족한 증착 마스크(20)를 선정해도 된다.
이와 같이 하여, 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 충족한 증착 마스크(20)가, 본 실시 형태에 의한 제조 방법으로 제조된 증착 마스크로서 선정될 수 있다. 선정된 증착 마스크(20)는 후술하는 증착 마스크 장치의 제조 방법에서 사용되어도 된다. 또한, 선정 공정에 있어서 선정되는 증착 마스크(20)는, 식 (1) 및 식 (2)의 양쪽을 충족한 증착 마스크(20)로 해도 된다. 그러나, 식 (1)을 충족하고 있으면 식 (2)는 충족하지 않는 증착 마스크(20)를 선정해도 되고, 혹은 식 (2)를 충족하고 있으면 식 (1)은 충족하지 않는 증착 마스크(20)를 선정해도 된다.
이어서, 양품으로 판정되어 선정된 증착 마스크(20)를 사용하여 증착 마스크 장치(10)를 제조하는 방법의 일례에 대하여 설명한다. 이 경우, 도 3에 도시한 바와 같이, 복수의 증착 마스크(20)가 프레임(15)에 장설되어도 된다. 보다 구체적으로는, 증착 마스크(20)에, 당해 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 장력을 부여하고, 장력이 부여된 상태의 증착 마스크(20)의 귀부(17a, 17b)를, 프레임(15)에 고정해도 된다. 귀부(17a, 17b)는 프레임(15)에, 예를 들어 스폿 용접으로 고정된다.
증착 마스크(20)를 프레임(15)에 장설할 때, 증착 마스크(20)에는 길이 방향 D1의 장력이 부여되어도 된다. 이 경우, 도 26에 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 단부(26a)가 제1 중심축선 AL1의 양측에 배치된 제1 클램프(86a) 및 제2 클램프(86b)에 의해 파지됨과 함께, 제2 단부(26b)가 제1 중심축선 AL1의 양측에 배치된 제3 클램프(86c) 및 제4 클램프(86d)에 의해 파지되어도 된다. 제1 클램프(86a)에는 제1 인장부(87a)가 연결되어 있어도 되고, 제2 클램프(86b)에는 제2 인장부(87b)가 연결되어 있어도 된다. 제3 클램프(86c)에는 제3 인장부(87c)가 연결되어 있어도 되고, 제4 클램프(86d)에는 제4 인장부(87d)가 연결되어 있어도 된다. 증착 마스크(20)에 장력을 부여하는 경우에는, 제1 인장부(87a) 및 제2 인장부(87b)를 구동하여, 제3 클램프(86c) 및 제4 클램프(86d)에 대하여 제1 클램프(86a) 및 제2 클램프(86b)를 이동시킴으로써, 길이 방향 D1에 있어서 증착 마스크(20)에 장력 T1, T2를 부여할 수 있다. 이 경우에 증착 마스크(20)에 부여되는 장력은, 제1 인장부(87a)의 장력 T1과, 제2 인장부(87b)의 장력 T2의 합이 된다. 또한, 각 인장부(87a 내지 87d)는 예를 들어 에어 실린더를 포함하고 있어도 된다. 또한, 제3 인장부(87c) 및 제4 인장부(87d)를 사용하지 않고, 제3 클램프(86c) 및 제4 클램프(86d)를 이동 불능으로 해도 된다.
증착 마스크(20)에 길이 방향 D1의 장력 T1, T2가 부여되면, 증착 마스크(20)는 길이 방향 D1로 신장되지만, 폭 방향 D2으로는 수축한다. 장설 시에는, 이와 같이 하여 탄성 변형되는 증착 마스크(20)의 모든 관통 구멍(25)이, 원하는 위치(증착 목표 위치)에 대하여 허용 범위 내에 위치 부여할 수 있도록, 제1 인장부(87a)의 장력 T1과 제2 인장부(87b)의 장력 T2가 조정되어도 된다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1에 있어서의 신장과 폭 방향 D2에 있어서의 수축을, 국소적으로 조정할 수 있어, 각 관통 구멍(25)을 허용 범위 내에 위치 부여할 수 있다. 예를 들어, 장력이 부여되지 않은 상태의 증착 마스크(20)가, 도 24에 나타내는 바와 같이 제1 측연부(27a)측으로부터 제2 측연부(27b)측을 향하는 방향에 있어서 볼록해지도록 C자상으로 만곡되어 있는 경우, 제1 측연부(27a)측의 제1 인장부(87a)의 장력 T1을 제2 인장부(87b)의 장력 T2보다도 크게 해도 된다. 이에 의해, 제1 측연부(27a)측의 부분에, 제2 측연부(27b)측의 부분보다도 큰 장력을 부여할 수 있다. 이 때문에, 제1 측연부(27a)측의 부분을, 제2 측연부(27b)측의 부분보다도 많이 신장시킬 수 있어, 각 관통 구멍(25)을 허용 범위 내에 용이하게 위치 부여할 수 있다. 이와는 반대로, 장력이 부여되지 않은 상태의 증착 마스크(20)가, 제2 측연부(27b)측으로부터 제1 측연부(27a)측을 향하는 방향에 있어서 볼록해지도록 C자상으로 만곡되어 있는 경우, 제2 측연부(27b)측의 제2 인장부(87b)의 장력 T2를 제1 인장부(87a)의 장력 T1보다도 크게 해도 된다. 이에 의해, 제2 측연부(27b)측의 부분에, 제1 측연부(27a)측의 부분보다도 큰 장력을 부여할 수 있다. 이 때문에, 제2 측연부(27b)측의 부분을, 제1 측연부(27a)측의 부분보다도 많이 신장시킬 수 있어, 각 관통 구멍(25)을 허용 범위 내에 용이하게 위치 부여할 수 있다.
그러나, 증착 마스크(20)에 부여하는 장력을 국소적으로 조정하는 경우에도, 증착 마스크(20)에 형성된 관통 구멍(25)의 위치 정밀도에 따라서는, 각 관통 구멍(25)을 허용 범위 내에 위치 부여하는 것이 곤란해지는 경우를 생각할 수 있다. 예를 들어, 치수 X1과 치수 X2가 설계값에 대하여 크게 어긋나 있는 경우에는, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 신장이 커져서 폭 방향 D2의 수축이 커지거나, 반대로, 길이 방향 D1의 신장이 적어서 폭 방향 D2의 수축이 적어지거나 한다. 장설 시에, 각 관통 구멍(25)을 원하는 위치(증착 목표 위치)에 대하여 허용 범위 내에 위치 부여하는 것이 바람직하다. 식 (1)은, 이러한 원인에서 장설 시의 각 관통 구멍(25)의 위치 불량이 발생하는 것을 억제하기 위한 식이다.
즉, 본 실시 형태과 같이, 스테이지(81) 등에 정치된 증착 마스크(20)의 치수 X1 및 치수 X2가 식 (1)을 충족하고 있음으로써, 장설 시에 있어서의 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 신장량을 원하는 범위 내에 수용할 수 있다. 이 때문에, 장설 시에 있어서의 증착 마스크(20)의 폭 방향 D2의 수축량을 원하는 범위 내에 수용할 수 있다. 이 결과, 치수 X1 및 치수 X2가 식 (1)을 충족함으로써, 장설 시에 각 관통 구멍(25)의 위치 조정을 용이화시킬 수 있다.
또한, 일반적으로, 굴곡 형상이 형성된 긴 금속판(64)으로 증착 마스크(20)가 형성되어 있는 경우에도, 굴곡 형상의 정도에 따라서는, 장설 시에 각 관통 구멍(25)을 원하는 위치에 위치 부여하는 것이 곤란해지는 경우도 생각할 수 있다. 긴 금속판(64)의 폭 방향 D2에 있어서의 굴곡 형상의 정도의 차이에 의해, 폭 방향 D2에 있어서 길이 방향 치수가 다르다고 생각되기 때문이다. 이 경우, 치수 X1과 치수 X2가 다르고, 장설되지 않은 상태에서는, 증착 마스크(20)는 도 24에 나타내는 바와 같은 C자상으로 만곡될 수 있다.
예를 들어, 도 24에 나타내는 바와 같이 만곡되어 있는 증착 마스크(20)에서는, 장설되지 않은 상태에서는, 치수 X1은 치수 X2보다도 짧게 되어 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 장설 시에는, 도 27에 나타내는 바와 같이, 치수 X1이, 치수 X2와 동등해지도록 증착 마스크(20)에 인장력이 부여된다. 이 경우, 제1 측연부(27a)측의 부분이, 제2 측연부(27b)측의 부분보다도 크게 신장되어, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치가, 제1 측연부(27a)측으로 어긋나고, 이에 의해 관통 구멍(25)이 폭 방향 D2로 변위될 수 있다. 또한, 치수 X1과 치수 X2가 동등해지도록 장설한 경우에도, 도 28에 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 만곡 형상이 반전되는 경우가 있다. 이 경우, 제1 측연부(27a)가 볼록형이 됨과 함께 제2 측연부(27b)가 오목형으로 만곡된다. 이 경우에 있어서도, 관통 구멍(25)이 폭 방향 D2로 변위될 수 있다.
이 때문에, 폭 방향 D2에서의 관통 구멍(25)의 위치 어긋남을 작게 하는 것이 바람직하고, 모든 관통 구멍(25)을 원하는 위치(증착 목표 위치)에 대하여 허용 범위 내에 위치 부여하는 것이 바람직하다. 식 (2)는, 이러한 원인으로 장설 시의 각 관통 구멍(25)의 위치 불량이 발생하는 것을 억제하기 위한 식이다.
즉, 본 실시 형태과 같이, 스테이지(81) 등에 정치된 증착 마스크(20)의 치수 X1 및 치수 X2가 식 (2)를 충족하고 있음으로써, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 길이가 폭 방향 D2에 있어서 다른 것을 억제할 수 있고, 장설 시에, 길이 방향 D1의 신장이 폭 방향 D2에 있어서 다른 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 장설 시에, 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2에서의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 이 결과, 치수 X1 및 치수 X2가 식 (2)를 충족함으로써, 장설 시에 각 관통 구멍(25)을 허용 범위 내에 용이하게 위치 부여할 수 있다.
이어서, 얻어진 증착 마스크 장치(10)를 사용하여 유기 EL 기판(92) 상에 증착 재료(98)를 증착시키는 방법의 일례에 대하여 설명한다.
이 경우, 먼저 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)가 유기 EL 기판(92)에 대향하도록 프레임(15)을 배치한다. 계속해서, 자석(93)을 사용하여 증착 마스크(20)를 유기 EL 기판(92)에 밀착시킨다. 그 후, 이 상태에서 증착 재료(98)를 증발시키고, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)을 통하여 유기 EL 기판(92)에 증착 재료(98)를 비래시킨다. 이에 의해, 소정의 패턴으로 증착 재료(98)를 유기 EL 기판(92)에 부착시킬 수 있다.
이렇게 본 실시 형태에 따르면, 증착 마스크(20)의 제1 중심축선 AL1의 일측에 있어서의 P1점으로부터 Q1점까지의 치수 X1과, 타측에 있어서의 P2점으로부터 Q2점까지의 치수 X2에 기초하여, 증착 마스크(20)의 양부를 판정한다. 이러한 치수 X1 및 X2를 사용함으로써, 장설 시에, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 신장이 폭 방향 D2에 있어서 다른 것을 억제할 수 있어, 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2에서의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 이 때문에, 양품으로 판정된 증착 마스크(20)를 사용하여 증착 마스크 장치(10)를 제작할 수 있고, 증착 마스크 장치(10)에 있어서의 증착 마스크(20)의 각 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이 결과, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이 경우, 높은 위치 정밀도로 증착 재료(98)를 기판(92)에 증착시킬 수 있어, 고정밀의 유기 EL 표시 장치(100)를 제작하는 것이 가능해진다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, P1점으로부터 Q1점까지의 치수 X1과, P2점으로부터 Q2점까지의 치수 X2가, 상술한 식 (1)을 충족하고 있는지 여부를 판정한다. 이에 의해, 식 (1)에 의해 치수 X1과 치수 X2가 소정 조건을 충족하여 양품으로 판정된 증착 마스크(20)에 있어서, 치수 X1 및 치수 X2의 설계값으로부터의 어긋남을 저감시킬 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 장설 시에, 폭 방향 D2의 수축량을 원하는 범위 내에 수용할 수 있어, 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, P1점으로부터 Q1점까지의 치수 X1과, P2점으로부터 Q2점까지의 치수 X2가, 상술한 식 (2)를 충족하고 있는지 여부를 판정한다. 이에 의해, 식 (2)에 의해 치수 X1과 치수 X2가 소정 조건을 충족하여 양품으로 판정된 증착 마스크(20)에 있어서, 치수 X1과 치수 X2의 차를 저감시킬 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 장설 시에, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 신장이 폭 방향 D2에 있어서 다른 것을 억제할 수 있어, 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2에서의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 이 결과, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, P1점과 P2점은, 증착 시에 증착 마스크(20)의 제1 중심축선 AL1에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도되고, Q1점과 Q2점은, 증착 시에 증착 마스크(20)의 제1 중심축선 AL1에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도되어 있다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1에 있어서의 동일 위치이며, 제1 중심축선 AL1로부터의 거리가 동등한 위치에, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 양부 판정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, P1점 및 P2점은, 증착 마스크(20)의 제2 중심축선 AL2에 대하여 일측에 배치되고, Q1점 및 Q2점은, 타측에 배치되어 있다. 이에 의해, 제2 중심축선 AL2의 양측에, P1점, P2점, Q1점 및 Q2점을 설정할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 양부 판정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, P1점과 Q1점은, 증착 시에 증착 마스크(20)의 제2 중심축선 AL2에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도되고, P2점과 Q2점은, 증착 시에 당해 제2 중심축선 AL2에 대하여 서로 대칭으로 배치되는 것이 의도되어 있다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 폭 방향 D2에 있어서의 동일 위치이며, 제2 중심축선 AL2로부터의 거리가 동등한 위치에 P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정할 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 양부 판정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, 식 (1)을 충족하고 있는 증착 마스크(20)가 선정되어, 증착 마스크(20)로서 제조된다. 이에 의해, 치수 X1 및 치수 X2의 설계값으로부터의 어긋남을 저감시킬 수 있는 증착 마스크(20)를 얻을 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 장설 시에, 폭 방향 D2의 수축량을 원하는 범위 내에 수용할 수 있어, 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따르면, 식 (2)를 충족하고 있는 증착 마스크(20)가 선정되어, 증착 마스크(20)로서 제조된다. 이에 의해, 치수 X1과 치수 X2의 차를 저감시킬 수 있는 증착 마스크(20)를 얻을 수 있다. 이 때문에, 증착 마스크(20)의 장설 시에, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 신장이 폭 방향 D2에 있어서 다른 것을 억제할 수 있어, 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2에서의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 이 결과, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 상술한 실시 형태에 대하여 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다. 이하, 필요에 따라서 도면을 참조하면서, 변형예에 대하여 설명한다. 이하의 설명 및 이하의 설명에서 사용하는 도면에서는, 상술한 실시 형태와 마찬가지로 구성될 수 있는 부분에 대하여, 상술한 실시 형태에 있어서의 대응하는 부분에 대하여 사용한 부호와 동일한 부호를 사용하는 것으로 하여 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 상술한 실시 형태에 있어서 얻어지는 작용 효과가 변형예에 있어서도 얻어지는 것이 명확한 경우, 그 설명을 생략하기도 한다.
또한, 상술한 본 실시 형태에 있어서는, 압연된 금속판을 에칭함으로써 제작된 증착 마스크(20)의 치수를 측정하는 예를 나타내었다. 그러나, 상술한 치수 측정 방법 및 양부 판정 시스템(80)을 사용하여, 도금 처리 등의 기타 방법에 의해 제작된 증착 마스크(20)의 치수를 측정할 수도 있다.
또한, 상술한 본 실시 형태에 있어서는, 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 충족하는 증착 마스크(20)를 양품으로서 판정하고, 본 실시 형태에 의한 제조 방법으로 제조되는 증착 마스크로서 선정되는 예를 나타내었다. 그러나, 치수 X1과 치수 X2에 기초하여 증착 마스크(20)의 양부를 판정할 수 있으면, 그 판정 방법이나 판정에 사용하는 수식 등은 특별히 한정되지 않는다. 즉, 증착 마스크(20)의 제1 중심축선 AL1의 일측에 있어서의 P1점으로부터 Q1점까지의 치수 X1과, 타측에 있어서의 P2점으로부터 Q2점까지의 치수 X2를 사용하여 양품 판정을 함으로써, 양품으로 판정된 증착 마스크(20)에서는, 장설 시에, 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 신장이 폭 방향 D2에 있어서 다른 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2에서의 위치 어긋남을 억제할 수 있어, 증착 마스크 장치(10)에 있어서의 증착 마스크(20)의 각 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.
본 발명은 상기 실시 형태 그 자체 및 변형예 그 자체에 한정되는 것은 아니며, 실시 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성 요소를 변형하여 구체화해도 된다. 또한, 상기 실시 형태 및 변형예에 개시되어 있는 복수의 구성 요소의 적당한 조합에 의해, 각종 발명을 형성해도 된다. 실시 형태 및 변형예에 나타나는 전체 구성 요소로부터 몇 가지의 구성 요소를 삭제해도 된다.
실시예
이어서, 본 실시 형태를 실시예에 의해 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 실시 형태는 그 요지를 초과하지 않는 한, 이하의 실시예의 기재에 한정되는 것은 아니다.
25개의 증착 마스크(20)를 준비하여, 제1 샘플 내지 제25 샘플로 하였다. 각 샘플에 대하여, 치수 X1 및 치수 X2를 측정하였다.
먼저, 도 25에 나타내는 바와 같이, 증착 마스크(20)를 스테이지(81) 상에 수평으로 적재하였다. 그 때, 증착 마스크(20)에 부분적인 오목부가 발생하지 않도록, 증착 마스크(20)를 살짝 스테이지(81)에 적재하였다.
이어서, 증착 마스크(20)의 P1점으로부터 Q1점까지의 치수 X1을 측정함과 함께, P2점으로부터 Q2점까지의 치수 X2를 측정하였다. 그 측정 결과를, αX-X1과, αX-X2로서 도 29 내지 도 46에 나타낸다. 도 29 내지 도 46에서는, αX가 200mm, 300mm, 400mm, 600mm, 800mm, 900mm가 됨과 함께, αY가 65.0mm, 43.3mm, 21.7mm가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점과 Q1점 및 P2점과 Q2점을 설정하였다. 도 29 내지 도 46 중에 나타내는 수치는, ㎛ 단위로 나타내고 있다. 도 29 내지 도 46에 나타내는 제1 내지 제25 샘플은 동일한 샘플이다. 제1 샘플에 대하여 각 αX 및 각 αY에서 치수를 측정하여, 도 29 내지 도 46에 나타낸다. 제2 샘플 내지 제25 샘플에 대해서도 마찬가지이다. 제1 샘플 내지 제25 샘플은, 모두 WY가 65.0mm이다.
도 29에는, αX가 200mm, αY가 65.0mm가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점과 Q1점 및 P2점과 Q2점을 설정한 경우의 측정 결과를 나타내고 있다. 이 경우에 측정된 치수 X1과 치수 X2를, 상술한 식 (1)에 대입하여, 식 (1)의 좌변을 산출하였다. 그 산출 결과를, |αX-(X1+X2)/2|로서 도 29에 나타내었다. 도 29에 있어서는, 25개의 샘플로부터 각각 얻어진 25개의 증착 마스크(20)에 관한 치수 측정 결과를 나타내고 있다. 여기에서는 αX가 200mm이기 때문에, 식 (1)의 우변의 값(좌변의 역치)은 13.3㎛가 된다. 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플에서는, 식 (1)을 충족하고 있었다. 이 때문에, 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플의 증착 마스크(20)는, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
또한, 증착 마스크(20)의 치수 X1과 치수 X2를, 상술한 식 (2)에 대입하여, 식 (2)의 좌변을 산출하였다. 그 산출 결과를, |X1-X2|로서 도 29에 나타내었다. 여기에서는, αY가 65.0mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 20㎛가 된다. 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플에서는, 식 (2)를 충족하고 있었다. 이 때문에, 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플의 증착 마스크(20)는, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
더욱 상세히 설명하면, 도 29에 있어서 종합 판정 결과에서 나타내는 바와 같이, 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제6 샘플 및 제21 샘플에서는, 식 (1) 및 식 (2)를 충족하고 있다. 이 때문에, 제1 내지 제6 샘플 및 제21 샘플의 증착 마스크(20)는, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 한층 더 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
여기서, 상술한 식 (1) 및 식 (2)를 충족하는 것이, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 이유에 대하여 설명한다.
먼저, 식 (1)에 대하여 설명한다. 상술한 바와 같이, 식 (1)은, 치수 X1 및 치수 X2가 설계값에 대하여 어긋나는 것을 원인으로 하여, 장설 시에 각 관통 구멍(25)의 위치 불량이 발생하는 것을 억제하기 위한 것이다. 즉, 치수 X1 및 치수 X2가 식 (1)을 충족함으로써, 장설 시에 있어서의 증착 마스크(20)의 길이 방향 D1의 신장량을 원하는 범위 내에 수용할 수 있고, 이에 의해, 장설 시에 있어서의 증착 마스크(20)의 폭 방향 D2의 수축량을 원하는 범위 내에 수용할 수 있다. 그래서, 식 (1)을 충족하는 것이 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도 향상에 기여하는 것을 확인하기 위해서, 장설 시에 있어서의 증착 마스크(20)의 폭 치수 U1(도 24 참조)에 착안한다. 이 치수 U1은, 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치(제2 중심축선 AL2)에서의 폭 치수에 상당한다. 이 중심 위치에서의 폭 방향 D2의 수축량이 가장 커질 수 있다. 또한, 도 24에서는, 장력이 부여되지 않은 증착 마스크(20)가 나타나 있지만, 편의상, 장설 시에 있어서의 치수 U1을 도 24에 나타내고 있다. 후술하는 치수 U2에 대해서도 마찬가지이다.
이어서, 식 (2)에 대하여 설명한다. 상술한 바와 같이, 식 (2)는, 치수 X1과 치수 X2가 서로 어긋나는 것을 원인으로 하여 장설 시에 각 관통 구멍(25)의 위치 불량이 발생하는 것을 억제하기 위한 것이다. 즉, 치수 X1 및 치수 X2가 식 (2)를 충족함으로써, 장설 시에, 길이 방향 D1의 신장이 폭 방향 D2에 있어서 다른 것을 억제할 수 있어, 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2에서의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 그래서, 식 (2)를 충족하는 것이 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도 향상에 기여하는 것을 확인하기 위해서, 증착 마스크(20)의 C자상으로 만곡된 제1 측연부(27a)의 오목부 깊이 치수 U2에 착안한다. 이 치수 U2는, 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치에서의 오목부 깊이 치수에 상당한다. 보다 구체적으로는, 증착 마스크(20)의 제1 단부(26a)와 제1 측연부(27a)의 교점 PU1과, 제2 단부(26b)와 제1 측연부(27a)의 교점 PU2를 연결하는 선분으로부터, 제1 측연부(27a) 중 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치까지의 거리를 치수 U2로 한다. 이러한 치수 U2는, 제1 측연부(27a)의 최대의 오목부 깊이를 나타내게 된다. 또한, 도 28에 나타내는 바와 같이 장설 시의 증착 마스크(20)의 만곡 형상이 반전된 경우에는, 치수 U2는 제2 측연부(27b)의 오목부 깊이 치수로 하면 된다.
이하에, 치수 U1 및 치수 U2의 측정 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 치수 X1 및 치수 X2의 측정이 종료된 후, 증착 마스크(20)에 장력을 부여하였다. 보다 구체적으로는 먼저, 증착 마스크(20)의 제1 단부(26a) 및 제2 단부(26b)를, 예를 들어 도 26에 나타내는 바와 같은 클램프(86a 내지 86d)로 파지하여, 제1 인장부(87a) 내지 제4 인장부(87d)로부터 증착 마스크(20)에 장력을 부여하였다. 부여한 장력은, 각 관통 구멍(25)이 길이 방향 D1에 있어서, 원하는 위치(증착 목표 위치)에 대하여 허용 범위 내에 위치 부여할 수 있는 힘으로 하였다. 계속해서, 장력이 부여된 증착 마스크(20)를 도 25에 나타내는 스테이지(81) 상에 고정하였다. 이어서, 스테이지(81) 상에 고정된 증착 마스크(20)의 치수 U1 및 치수 U2를 측정하였다. 치수 U1의 측정 결과를, αU-U1로서 도 29에 나타내었다. 여기서 αU는, 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치에서의 증착 마스크(20)의 폭 치수의 설계값으로 하였다. 또한, αU는 장설 시의 설계값이다. 또한, 치수 U2의 측정 결과를, U2로서 도 29에 나타내었다.
측정된 치수 U1 및 치수 U2를 평가하였다.
치수 U1에 대하여는, αU-U1이 역치(±4.0㎛) 이하인지 여부로 평가하였다. 여기서, 역치는, 증착에 의해 형성된 화소의 발광 효율이나, 인접하는 다른 색의 화소와의 혼색을 억제 가능한 범위 내에서 위치 어긋남을 허용할 수 있는 값으로서 설정하였다. 또한, 증착 마스크(20)에 길이 방향 D1의 장력을 부여한 경우, 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치에서 증착 마스크(20)의 폭 치수를 저감시킬 수 있다. 이 경우, 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치에서, 제1 측연부(27a)와 제2 측연부(27b)가 서로 근접하도록 변형한다. 그래서, 제1 측연부(27a) 및 제2 측연부(27b)에 있어서의 변형의 허용값을 각각 2㎛라고 생각하고, 그 합계로서, 역치를 ±4.0㎛로 하였다. 도 29에 나타내는 샘플 중 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플에서는, αU-U1이 역치 이하였다. 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플에서는, 증착 마스크(20)의 폭 치수 U1의 어긋남이 억제되어 있기 때문에, 장설 시에 있어서의 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 한편, 이들 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플은, 상술한 바와 같이 식 (1)을 충족하고 있다. 이 때문에, 식 (1)을 충족하는 것이, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다고 할 수 있다.
특히, 치수 U1은, 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치에서의 증착 마스크(20)의 폭 치수를 나타내고 있다. 이 중심 위치는, 관통 구멍(25)이 가장 폭 방향 D2로 위치 어긋날 수 있는 위치이다. 이 때문에, 이 중심 위치에 있어서의 αU-U1이 역치 이하인 경우에는, 길이 방향 D1에 있어서 중심 위치 이외의 위치에 있어서의 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2의 위치 어긋남을 한층 더 억제할 수 있다고 할 수 있다.
치수 U2에 대하여는, 치수 U2가 역치(3.0㎛) 이하인지 여부로 평가하였다. 여기서, 역치는, 증착에 의해 형성된 화소의 발광 효율이나, 인접하는 다른 색의 화소와의 혼색을 억제 가능한 범위 내에서 위치 어긋남을 허용할 수 있는 값으로서 설정하였다. 도 29에 나타내는 샘플 중 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플에서는, 치수 U2가 역치 이하였다. 이에 의해, 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플에서는, 증착 마스크(20)의 제1 측연부(27a)의 오목부의 정도가 작아지기 때문에, 장설 시에 있어서의 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2의 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 한편, 이들 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플은, 상술한 바와 같이 식 (2)를 충족하고 있다. 이 때문에, 식 (2)를 충족하는 것이, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다고 할 수 있다.
특히, 치수 U2는, 길이 방향 D1에 있어서의 중심 위치에서의 증착 마스크(20)의 제1 측연부(27a)의 오목부의 깊이 치수를 나타내고 있다. 이 중심 위치는, 관통 구멍(25)이 가장 폭 방향 D2로 위치 어긋날 수 있는 위치이다. 이 때문에, 이 중심 위치에 있어서의 치수 U2가 역치 이하인 경우에는, 길이 방향 D1에 있어서 중심 위치 이외의 위치에 있어서의 관통 구멍(25)의 폭 방향 D2의 위치 어긋남을 한층 더 억제할 수 있다고 할 수 있다.
도 30에는, αX가 200mm, αY가 43.3mm(65mm의 2/3)가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정한 경우의 측정 결과를 나타내고 있다. 이 경우에 측정된 치수 X1과 치수 X2를, 상술한 식 (1)에 대입하여, 식 (1)의 좌변을 산출하였다. 그 산출 결과를, |αX-(X1+X2)/2|로서 도 30에 나타내었다. 도 30에 있어서는, 25개의 샘플로부터 각각 얻어진 25개의 증착 마스크(20)에 관한 치수 측정 결과를 나타내고 있다. 여기에서는 αX가 200mm이기 때문에, 식 (1)의 우변의 값(좌변의 역치)은 13.3㎛가 된다. 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플에서는, 식 (1)을 충족하고 있었다. 이 때문에, 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플의 증착 마스크(20)는, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
또한, 증착 마스크(20)의 치수 X1과 치수 X2를, 상술한 식 (2)에 대입하여, 식 (2)의 좌변을 산출하였다. 그 산출 결과를, |X1-X2|로서 도 30에 나타내었다. 여기에서는, αY가 43.3mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 13.3㎛가 된다. 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플에서는, 식 (2)를 충족하고 있었다. 이 때문에, 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플의 증착 마스크(20)는, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
더욱 상세히 설명하면, 도 30에 있어서 종합 판정 결과에서 나타내는 바와 같이, 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제6 샘플 및 제21 샘플에서는, 식 (1) 및 식 (2)를 충족하고 있다. 이 때문에, 제1 내지 제6 샘플 및 제21 샘플의 증착 마스크(20)는, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 한층 더 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
도 31에는, αX가 200mm, αY가 21.7mm(65mm의 1/3)가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정한 경우의 측정 결과를 나타내고 있다. 이 경우에 측정된 치수 X1과 치수 X2를, 상술한 식 (1)에 대입하여, 식 (1)의 좌변을 산출하였다. 그 산출 결과를, |αX-(X1+X2)/2|로서 도 31에 나타내었다. 도 31에 있어서는, 25개의 샘플로부터 각각 얻어진 25개의 증착 마스크(20)에 관한 치수 측정 결과를 나타내고 있다. 여기에서는 αX가 200mm이기 때문에, 식 (1)의 우변의 값(좌변의 역치)은 13.3㎛가 된다. 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플에서는, 식 (1)을 충족하고 있었다. 이 때문에, 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플의 증착 마스크(20)는, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
또한, 증착 마스크(20)의 치수 X1과 치수 X2를, 상술한 식 (2)에 대입하여, 식 (2)의 좌변을 산출하였다. 그 산출 결과를, |X1-X2|로서 도 31에 나타내었다. 여기에서는, αY가 21.7mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 6.7㎛가 된다. 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플에서는, 식 (2)를 충족하고 있었다. 이 때문에, 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플의 증착 마스크(20)는, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
더욱 상세히 설명하면, 도 31에 있어서 종합 판정 결과에서 나타내는 바와 같이, 제1 내지 제25 샘플 중, 제1 내지 제6 샘플 및 제21 샘플에서는, 식 (1) 및 식 (2)를 충족하고 있다. 이 때문에, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 한층 더 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다.
도 29 내지 도 31에 나타내는 바와 같이, 다른 αY로 설정된 P1점, Q1점, P2점 및 Q2점에 기초하여 양부 판정을 행한 경우에 있어서도, 동일 판정 결과가 얻어졌다. 이와 같이, P1점과 P2점 사이의 거리(Q1점과 Q2점 사이의 거리)에 구애받지 않고, 적절한 양부 판정을 행할 수 있는 것을 나타내고 있다. 즉, 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 사용함으로써 양부 판정 결과가, P1점과 P2점 사이의 거리(Q1점과 Q2점 사이의 거리)의 영향을 받는 것을 억제할 수 있다고 할 수 있다.
도 32 내지 도 34에는, αX가 300mm가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정한 경우의 측정 결과와 양부 판정 결과를 나타내고 있다. 이 중 도 32에서는 αY를 65.0mm로 하고, 도 33에서는 αY를 43.3mm로 하고, 도 34에서는 αY를 21.7mm로 하고 있다. 도 32 내지 도 34에서는 αX가 300mm이기 때문에, 식 (1)의 우변의 값(좌변의 역치)은 20.0㎛가 된다. 도 32에서는 αY가 65.0mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 30.0㎛가 된다. 도 33에서는 αY가 43.3mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 20.0㎛가 되고, 도 34에서는 αY가 21.7mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 10.0㎛가 된다.
도 32 내지 도 34에 나타내는 경우에 있어서도, 도 29 내지 도 31에 나타내는 경우와 동일 판정 결과가 얻어졌다. 즉, 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플의 증착 마스크(20)는, 식 (1)을 충족하고 있기 때문에, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다. 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플의 증착 마스크(20)는, 식 (2)를 충족하고 있기 때문에, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다. 또한, 제1 내지 제6 샘플 및 제21 샘플의 증착 마스크(20)는, 식 (1) 및 식 (2)를 충족하고 있기 때문에, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 한층 더 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다. 또한, 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 사용함으로써 양부 판정 결과가, P1점과 P2점 사이의 거리(Q1점과 Q2점 사이의 거리)의 영향을 받는 것을 억제할 수 있는 것이 나타났다.
도 35 내지 도 37에는, αX가 400mm가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정한 경우의 측정 결과와 양부 판정 결과를 나타내고 있다. 이 중 도 35에서는 αY를 65.0mm로 하고, 도 36에서는 αY를 43.3mm로 하고, 도 37에서는 αY를 21.7mm로 하고 있다. 도 35 내지 도 37에서는 αX가 400mm이기 때문에, 식 (1)의 우변의 값(좌변의 역치)은 26.7㎛가 된다. 도 35에서는 αY가 65.0mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 40.0㎛가 된다. 도 36에서는 αY가 43.3mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 26.7㎛가 되고, 도 37에서는 αY가 21.7mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 13.3㎛가 된다.
도 38 내지 도 40에는, αX가 600mm가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정한 경우의 측정 결과와 양부 판정 결과를 나타내고 있다. 이 중 도 38에서는 αY를 65.0mm로 하고, 도 39에서는 αY를 43.3mm로 하고, 도 40에서는 αY를 21.7mm로 하고 있다. 도 38 내지 도 40에서는 αX가 600mm이기 때문에, 식 (1)의 우변의 값(좌변의 역치)은 40.0㎛가 된다. 도 38에서는 αY가 65.0mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 60.0㎛가 된다. 도 39에서는 αY가 43.3mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 40.0㎛가 되고, 도 40에서는 αY가 21.7mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 20.0㎛가 된다.
도 41 내지 도 43에는, αX가 800mm가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정한 경우의 측정 결과와 양부 판정 결과를 나타내고 있다. 이 중 도 41에서는 αY를 65.0mm로 하고, 도 42에서는 αY를 43.3mm로 하고, 도 43에서는 αY를 21.7mm로 하고 있다. 도 41 내지 도 43에서는 αX가 800mm이기 때문에, 식 (1)의 우변의 값(좌변의 역치)은 53.3㎛가 된다. 도 41에서는 αY가 65.0mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 80.0㎛가 된다. 도 42에서는 αY가 43.3mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 53.3㎛가 되고, 도 43에서는 αY가 21.7mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 26.7㎛가 된다.
도 44 내지 도 46에는, αX가 900mm가 되는 관통 구멍(25)의 중심으로, P1점, Q1점, P2점 및 Q2점을 설정한 경우의 측정 결과와 양부 판정 결과를 나타내고 있다. 이 중 도 44에서는 αY를 65.0mm로 하고, 도 45에서는 αY를 43.3mm로 하고, 도 46에서는 αY를 21.7mm로 하고 있다. 도 44 내지 도 46에서는 αX가 900mm이기 때문에, 식 (1)의 우변의 값(좌변의 역치)은 60.0㎛가 된다. 도 44에서는 αY가 65.0mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 90.0㎛가 된다. 도 45에서는 αY가 43.3mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 60.0㎛가 되고, 도 46에서는 αY가 21.7mm이기 때문에, 식 (2)의 우변의 값(좌변의 역치)은 30.0㎛가 된다.
도 35 내지 도 46에 나타내는 경우에 있어서도, 도 29 내지 도 31에 나타내는 경우와 동일 판정 결과가 얻어졌다. 즉, 각 αX에 대하여 제1 내지 제10 샘플, 제21 샘플, 제22 샘플, 제24 샘플 및 제25 샘플의 증착 마스크(20)는, 식 (1)을 충족하고 있기 때문에, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다. 제1 내지 제6 샘플, 제11 내지 제16 샘플, 제21 샘플 및 제23 샘플의 증착 마스크(20)는, 식 (2)를 충족하고 있기 때문에, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다. 또한, 제1 내지 제6 샘플 및 제21 샘플의 증착 마스크(20)는, 식 (1) 및 식 (2)를 충족하고 있기 때문에, 장설 시의 관통 구멍(25)의 위치 정밀도를 한층 더 향상시킬 수 있는 증착 마스크(20)(양품임)라고 판정되었다. 또한, 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 사용함으로써 양부 판정 결과가, P1점과 P2점 사이의 거리(Q1점과 Q2점 사이의 거리)의 영향을 받는 것을 억제할 수 있는 것이 나타났다.
이와 같이, 도 29 내지 도 46에 나타내는 바와 같이, 다른 αX로 설정된 P1점, Q1점, P2점 및 Q2점에 기초하여 양부 판정을 행한 경우에 있어서도, 동일 판정 결과가 얻어졌다. 이것은, P1점과 Q1점 사이의 거리(P2점과 Q2점 사이의 거리)에 구애받지 않고, 적절한 양부 판정을 행할 수 있는 것을 나타내고 있다. 즉, 식 (1) 및 식 (2) 중 적어도 한쪽을 사용함으로써 양부 판정 결과가, P1점과 Q1점 사이의 거리(P2점과 Q2점 사이의 거리)의 영향을 받는 것을 억제할 수 있다고 할 수 있다.
Claims (4)
- 제1 방향으로 연장되는 증착 마스크이며, 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과, 상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향을 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과, 상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향을 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비한 증착 마스크를 제조하는 제조 방법이며,
상기 증착 마스크를 준비하는 공정과,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수 X1과, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수 X2를 측정하는 측정 공정과,
상기 측정 공정에 있어서 측정된 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2가, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX라 하였을 때,
을 충족하고 있는 상기 증착 마스크를 선정하는 선정 공정을 구비한, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1항에 있어서, 상기 증착 마스크는, 복수의 관통 구멍을 갖고,
상기 선정 공정에 있어서, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX, 상기 P1점으로부터 상기 P2점까지의 치수 및 상기 Q1점으로부터 상기 Q2점까지의 치수의 설계값을 αY, 상기 제2 방향에 있어서의 2개의 상기 관통 구멍의 중심점 간의 거리 중 최댓값을 WY라 하였을 때,
을 충족하고 있는, 상기 증착 마스크를 선정하는, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1 방향으로 연장되고, 복수의 관통 구멍을 갖는 증착 마스크이며, 상기 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향의 중심 위치에 배치된 제1 중심축선과, 상기 제1 중심축선의 일측에 마련되고, 상기 제1 방향을 따라서 서로 이격된 P1점 및 Q1점과, 상기 제1 중심축선의 타측에 마련되고, 상기 제1 방향을 따라서 서로 이격된 P2점 및 Q2점을 구비한 증착 마스크를 제조하는 제조 방법이며,
상기 증착 마스크를 준비하는 공정과,
상기 P1점으로부터 상기 Q1점까지의 치수 X1과, 상기 P2점으로부터 상기 Q2점까지의 치수 X2를 측정하는 측정 공정과,
상기 측정 공정에 있어서 측정된 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2가, 상기 치수 X1 및 상기 치수 X2의 설계값을 αX, 상기 P1점으로부터 상기 P2점까지의 치수 및 상기 Q1점으로부터 상기 Q2점까지의 치수의 설계값을 αY, 상기 제2 방향에 있어서의 2개의 상기 관통 구멍의 중심점 간의 거리 중 최댓값을 WY라 하였을 때,
를 충족하고 있는 상기 증착 마스크를 선정하는 선정 공정을 구비한, 증착 마스크의 제조 방법. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 상기 증착 마스크의 제조 방법에 의해 상기 증착 마스크를 준비하는 공정과,
상기 증착 마스크에 상기 제1 방향으로 장력을 부여하여 상기 증착 마스크를 프레임에 장설하는 공정을 구비한, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
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