KR20100124700A

KR20100124700A - 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR20100124700A
Application number: KR1020100115957A
Authority: KR
Inventors: 토루 요네바야시
Original assignee: 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
Priority date: 2007-03-12
Filing date: 2010-11-22
Publication date: 2010-11-29
Also published as: KR101075128B1; JP5275641B2; JP2008258583A; KR20080083594A

Abstract

기판 처리 장치의 가동 상태에 대응하여 적절한 처리를 할 수 있고, 나아가서는 장치 가동률의 향상을 실현할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템을 제공한다.
기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 순서가 기재된 복수의 레시피와 해당 복수의 레시피에 대응하는 유저의 조작 권한을 기억하는 기억 수단과, 상기 레시피에 대한 상기 유저의 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면(400)과, 당 권한 설정 화면(400)을 개재하여 설정된 조작 권한을 토대로 상기 기억 수단에 기억되어 있는 레시피를 편집하기 위한 편집 화면을 표시하는 표시 수단(18)을 갖고, 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 표시 수단(18)에 의하여 표시된 상기 권한 설정 화면(400)을 편집하고, 상기 레시피에 대한 조작 권한이 다른 설정이 가능하도록 되어 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 웨이퍼(wafer)나 유리 기판 등을 처리하기 위한 기판 처리 장치에 관한 것이다.

이러한 종류의 기판 처리 장치에서는, 복수의 파일이 다루어진다. 예를 들면 프로세스 레시피(process recipe)는, 기판을 처리하기 위한 상세한 순서 등이 기술(記述)된 파일이다. 기판 처리 장치는, 가동하고 있는 동안, 소정 레시피에 기술된 순서를 토대로 기판을 처리한다.

일반적으로 기판 처리 장치에 있어서는, 유저(user)의 조작 권한은, 조작 실행 시에 입력되는 유저명 및 해당 유저에 대응하는 패스워드로 관리된다. 한편, 기판 처리 장치를 조작하는 유저(작업자)는, 라인 담당자, 유지관리 엔지니어(maintenance engineer) 등이 있고, 기판 처리 장치의 가동 상태에 따라서 작업 내용이 다르다. 예를 들면 라인 담당자는, 온라인시에 기판 처리 장치를 조작하고, 유지관리 엔지니어는, 오프라인시에 기판 처리 장치를 조작한다. 이와 같이 일반적으로, 반도체 제조 공장에서는, 온라인시에 기판 처리 장치를 조작하는 엔지니어(라인 담당자)와 오프라인시에 기판 처리 장치를 조작하는 담당자(유지관리 엔지니어, 프로세스 엔지니어)가 구별되어 있다.

그러나, 상기 종래의 기술에 있어서는, 기판 처리 장치의 가동 상태에 대응하여 조작 권한을 설정할 수 없었다.

본 발명은, 상기 종래의 문제를 해소하고, 기판 처리 장치의 가동 상태에 대응하여 적절한 처리를 할 수 있으며, 나아가서는 장치 가동률 향상을 실현할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 특징은, 기판을 처리하는 순서가 기재된 복수의 레시피를 포함하는 여러 가지 파일에 대해서, 상기 복수의 레시피에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 포함하는 기판 처리 장치로서, 상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 설정할 수 있도록 구성되어 있는 기판 처리 장치에 있다.

본 발명에 의하면, 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시의 각각의 경우에 있어서의 각 레시피에 대한 작업자의 조작 권한을 설정함으로써, 기판 처리 장치의 가동 상태에 대응하여 적절한 처리를 할 수 있다. 예를 들면, 트러블(trouble)이 발생했을 경우, 라인 담당자에게 조작 권한을 주지 않고, 유지관리 엔지니어에게 조작 권한을 부여함으로써, 트러블의 내용에 대응하는 처리를 할 수 있기 때문에, 트러블 처리에 소비하는 시간을 단축시키고, 이로써 생산성의 향상을 실현할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치를 포함하는 기판 처리 시스템의 구성을 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 사시도를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 측면 투시도.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치의 제어 수단을 중심으로 한 하드웨어 구성을 나타내는 도면.
도 5는 기판 처리 장치의 입출력 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 유저 설정 화면을 예시하는 도면.
도 6은 기판 처리 장치의 입출력 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 권한 설정 화면을 예시하는 도면.
도 7은 선택 화면을 개재하여 권한 설정 화면에 있어서의 소정 레시피의 권한 설정을 설명하는 도면.
도 8은 선택 화면을 개재하여 권한 설정 화면에 있어서의 소정 커맨드의 권한 설정을 설명하는 도면.
도 9는 기판 처리 장치의 입출력 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 로그인 화면을 예시하는 도면.
도 10은 기판 처리 장치의 입출력 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 편집 메뉴 화면을 예시하는 도면.
도 11은 기판 처리 장치의 입출력 장치에 조작 표시 화면으로서 표시되는 레시피 편집 화면을 예시하는 도면.
도 12는 기판 처리 장치의 프로세스계 컨트롤러 상에서 동작하는 제어 프로그램의 구성을 나타내는 블럭도.
도 13은 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치에 의한 조작 권한을 토대로 한 표시 제어 처리를 나타내는 플로차트.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 설명한다.

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)를 포함하는 기판 처리 시스템(1)의 구성을 나타내는 도면이다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 시스템(1)은, 기판 처리 장치(10) 및 호스트(host) 장치(20)를 갖는다. 기판 처리 장치(10) 및 호스트 장치(20)는, 예를 들면 LAN 등의 네트워크(12)를 개재하여 접속되어 있다. 따라서, 호스트 장치(20)로부터의 지시는, 기판 처리 장치(10)에 대하여 네트워크(12)를 개재하여 송신된다. 그리고, 기판 처리 시스템(1)에는, 복수의 기판 처리 장치(10)가 포함되어도 무방하다.

기판 처리 장치(10)에 있어서, 입출력 장치(16)는, 기판 처리 장치(10)와 일체로, 또는 네트워크(12)를 개재하여 설치되어 있고, 조작 표시 화면(18)을 갖는다. 조작 표시 화면(18)에는, 유저(작업자)에 의하여 소정의 데이터가 입력되는 입력 화면 및 장치의 상황 등을 나타내는 표시 화면이 표시된다. 또한, 기판 처리 장치(10) 내에는, 프로세스계 컨트롤러(14)가 설치되고, 프로세스계 컨트롤러(14)에 의하여 기판 처리 장치(10) 내의 각 장치가 제어된다.

기판 처리 장치(10)는, 한 예로서 반도체 장치(IC)의 제조 방법을 실시하는 반도체 제조장치로서 구성되어 있다. 이하의 설명에서는, 기판 처리 장치로서 기판에 산화, 확산 처리 또는 CVD 처리 등을 실시하는 종형 장치(이하, 단순히 처리 장치라고 한다)에 적용한 경우에 대하여 설명한다. 도 2는, 본 발명에 적용되는 기판 처리 장치의 사시도로서 나타내고 있다. 또한, 도 3은 도 2에 나타낸 기판 처리 장치의 측면 투시도이다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 실리콘 등으로 이루어지는 웨이퍼(기판)(200)를 수납한 웨이퍼 캐리어(carrier)로서 후프[FOUP(front opening unified pod), 기판 수용기. 이하 포드라고 한다](110)가 사용되고 있는 본 발명의 기판 처리 장치(10)는, 광체(筐體)(111)를 구비하고 있다. 광체(111) 정면벽(111a)의 정면 전방부(前方部)에는 유지관리가 가능하도록 설치된 개구부(開口部)로서의 정면 유지관리구(103)가 개설되고, 그 정면 유지관리구(103)를 개폐하는 정면 유지관리문(104), (104)이 각각 설치되어 있다. 한편, 조작 장치(304)에 대해서는, 후술하기로 하고 여기에서는 생략한다.

광체(111)의 정면벽(111a)에는 포드 반입 반출구(기판 수용기 반입 반출구)(112)가 광체(111)의 내외를 연통(連通)하도록 개설되어 있고, 포드 반입 반출구(112)는 프론트 셔터(기판 수용기 반입 반출구 개폐 기구)(113)에 의하여 개폐되도록 되어 있다.

포드 반입 반출구(112)의 정면 전방 측에는 로드 포트(load port, 기판 수용기 수수대)(114)가 설치되어 있고, 로드 포트(114)는 포드(pod)(110)를 재치(載置)되어 위치를 맞추도록 구성되어 있다. 포드(110)는 로드 포트(114) 상에 공정내 반송 장치(도시하지 않음)에 의하여 반입되고, 로드 포트(114) 상으로부터 반출되도록 되어 있다.

광체(111) 내 전후방향의 중앙부에 있어서의 상부에는, 회전식 포드 선반(기판 수용기 재치 선반)(105)이 설치되어 있고, 회전식 포드 선반(105)은 복수개의 포드(110)를 보관하도록 구성되어 있다. 즉, 회전식 포드 선반(105)은 수직으로 입설(立設)되어 수평면 내에서 간헐적으로 회전되는 지주(116)와, 지주(116)의 상중하단의 각 위치에 있어서 방사상으로 지지된 복수 매의 선반판자(기판 수용기 재치대)(117)를 구비하고 있으며, 복수 매의 선반판자(117)는 포드(110)를 복수 개씩 각각 재치한 상태로 보지(保持)하도록 구성되어 있다.

광체(111) 내에 있어서의 로드 포트(114)와 회전식 포드 선반(105)과의 사이에는, 포드 반송 장치(기판 수용기 반송 장치)(118)가 설치되어 있고, 포드 반송 장치(118)는, 포드(110)를 보지한 상태로 승강할 수 있는 포드 엘리베이터(기판 수용기 승강기구)(118a)와 반송 기구로서의 포드 반송 기구(기판 수용기 반송 기구)(118b)로 구성되어 있고, 포드 반송 장치(118)는 포드 엘리베이터(118a)와 포드 반송 기구(118b)와의 연속 동작에 의하여, 로드 포트(114), 회전식 포드 선반(105), 포드 오프너(기판 수용기 개체 개폐 기구)(121)와의 사이에서, 포드(110)를 반송하도록 구성되어 있다.

광체(111) 내의 전후방향의 중앙부에 있어서의 하부에는, 서브 광체(119)가 후단에 걸쳐서 구축되어 있다. 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에는 웨이퍼(200)를 서브 광체(119) 내에 대하여 반입 반출하기 위한 웨이퍼 반입 반출구(기판 반입 반출구)(120)가 한 쌍, 수직 방향으로 상하 2단으로 정렬되어 개설되어 있고, 상하단의 웨이퍼 반입 반출구(120), (120)에는 한 쌍의 포드 오프너(121), (121)가 각각 설치되어 있다. 포드 오프너(121)는 포드(110)를 재치하는 재치대(122), (122)와 포드(110)의 캡[cap, 개체(蓋體)]을 착탈하는 캡 착탈 기구(개체 착탈 기구)(123), (123)를 구비하고 있다. 포드 오프너(121)는 재치대(122)에 재치된 포드(110)의 캡을 캡 착탈 기구(123)에 의하여 착탈함으로써, 포드(110)의 웨이퍼 출입구를 개폐하도록 구성되어 있다.

서브 광체(119)는 포드 반송 장치(118)나 회전식 포드 선반(105)의 설치 공간으로부터 유체적으로 격절(隔絶)된 이재실(124)을 구성하고 있다. 이재실(124)의 전측(前側) 영역에는 웨이퍼 이재 기구(기판 이재 기구)(125)가 설치되어 있고, 웨이퍼 이재 기구(125)는, 웨이퍼(200)를 수평 방향으로 회전 내지 직동(直動)할 수 있는 웨이퍼 이재 장치(기판 이재 장치)(125a) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)를 승강시키기 위한 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(기판 이재 장치 승강기구)(125b)로 구성되어 있다. 도 2에 모식적으로 나타낸 바와 같이 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b)는 내압 광체(111) 우측 단부(端部)와 서브 광체(119)의 이재실(124) 전방 영역 우단부와의 사이에 설치되어 있다. 이들, 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b) 및 웨이퍼 이재 장치(125a)의 연속 동작에 의하여, 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위저(tweezer, 기판 보지체)(125c)를 웨이퍼(200)의 재치부로 하고, 보트(기판 보지구)(217)에 대하여 웨이퍼(200)를 장전(charging) 및 탈장(discharging)하도록 구성되어 있다.

이재실(124)의 후측 영역에는, 보트(217)를 수용하여 대기시키는 대기부(126)가 구성되어 있다. 대기부(126)의 상방에는, 처리로(202)가 설치되어 있다. 처리로(202)의 하단부는, 노구 셔터(노구 개폐 기구)(147)에 의하여 개폐되도록 구성되어 있다.

도 2에 모식적으로 나타낸 바와 같이, 내압 광체(111) 우측 단부와 서브 광체(119)의 대기부(126) 우단부와의 사이에는 보트(217)를 승강시키기 위한 보트 엘리베이터(기판 보지도구 승강기구)(115)가 설치되어 있다. 보트 엘리베이터(115)의 승강대에 연결된 연결도구로서의 암(arm)(128)에는 개체로서의 씰캡(seal cap)(219)이 수평으로 설치되어 있으며, 씰캡(219)은 보트(217)를 수직으로 지지하고, 처리로(202)의 하단부를 폐색할 수 있도록 구성되어 있다.

보트(217)는 복수 개의 보지 부재를 구비하고 있으며, 복수 매(예를 들면, 50-125매 정도)의 웨이퍼(200)를 그 중심을 가지런히 하여 수직 방향으로 정렬시킨 상태에서, 각각 수평으로 보지하도록 구성되어 있다.

도 2에 모식적으로 나타낸 바와 같이 이재실(124)의 웨이퍼 이재 장치 엘리베이터(125b)측 및 보트 엘리베이터(115)측과 반대측인 좌측 단부에는, 청정화한 분위기 또는 불활성 가스인 클린 에어(clean air)(133)를 공급하도록 공급 팬 및 방진 필터로 구성된 클린 유니트(clean unit)(134)가 설치되어 있고, 웨이퍼 이재 장치(125a)와 클린 유니트(134)와의 사이에는, 도시하고 있지 않으나, 웨이퍼 원주 방향의 위치를 정합시키는 기판 정합 장치로서의 노치(notch) 맞춤 장치가 설치되어 있다.

클린 유니트(134)에서 뿜어낸 클린 에어(133)는, 노치 맞춤 장치 및 웨이퍼 이재 장치(125a), 대기부(126)에 있는 보트(217)에 유통된 후에, 도시하지 않은 덕트(duct)에 의하여 흡입되어, 광체(111)의 외부에 배기가 이루어지거나, 또는 클린 유니트(134)의 흡입측인 1차측(공급측)까지 순환되고, 다시 클린 유니트(134)에 의하여, 이재실(124) 내로 뿜어내도록 구성되어 있다.

다음에, 본 발명의 기판 처리 장치(10)의 동작에 대하여 설명한다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 포드(110)가 로드 포트(114)에 공급되면, 포드 반입 반출구(112)가 프론트 셔터(front shutter)(113)에 의하여 개방되고, 로드 포트(114) 상의 포드(110)는 포드 반송 장치(118)에 의하여 광체(111)의 내부로 포드 반입 반출구(112)로부터 반입된다.

반입된 포드(110)는 회전식 포드 선반(105)의 지정된 선반판자(117)에 포드 반송 장치(118)에 의하여 자동적으로 반송되어 수수(授受)되고, 일시적으로 보관된 후, 선반판자(117)로부터 한쪽의 포드 오프너(121)로 반송되어 수수되고, 일시적으로 보관된 후, 선반판자(117)로부터 한쪽의 포드 오프너(121)로 반송되어 재치대(122)로 이재되거나, 또는 직접 포드 오프너(121)로 반송되어 재치대(122)에 이재된다. 이 때, 포드 오프너(121)의 웨이퍼 반입 반출구(120)는 캡 착탈 기구(123)에 의하여 닫혀져 있고, 이재실(124)에는 클린 에어(133)가 유통되고, 충만되어 있다. 예를 들면, 이재실(124)에는 클린 에어(133)로서 질소 가스가 충만함으로써, 산소 농도가 20ppm 이하로서, 광체(111) 내부[대기(大氣) 분위기]의 산소 농도보다 훨씬 낮게 설정되어 있다.

재치대(122)에 재치된 포드(110)는 그 개구측 단면이 서브 광체(119)의 정면벽(119a)에 있어서 웨이퍼 반입 반출구(120)의 개구 연변부(緣邊部)에 밀어붙여짐과 동시에, 그 캡은 캡 착탈 기구(123)에 의하여 떼어지고 웨이퍼 출입구가 개방된다.

포드(110)가 포드 오프너(121)에 의하여 개방되면, 웨이퍼(200)는 포드(110)로부터 웨이퍼 이재 장치(125a)의 트위저(125c)에 의하여 웨이퍼 출입구를 통하여 픽업(pickup)되고, 도시하지 않은 노치 맞춤 장치(135)로 웨이퍼를 정합한 후, 이재실(124)의 후방에 있는 대기부(126)로 반입되고, 보트(217)에 장전(charging)된다. 보트(217)에 웨이퍼(200)를 수수한 웨이퍼 이재 장치(125a)는 포드(110)로 되돌아오고, 다음의 웨이퍼(110)를 보트(217)에 장전한다.

이 한쪽(상단 또는 하단)의 포드 오프너(121)에 있어서의 웨이퍼 이재 기구(125)에 의한 웨이퍼 보트(217)에 대한 장전작업 중에, 다른 쪽(하단 또는 상단)의 포드 오프너(121)에는 회전식 포드 선반(105)으로부터 별도의 포드(110)가 포드 반송 장치(118)에 의하여 반송되어 이재되고, 포드 오프너(121)에 의한 포드(110)의 개방 작업이 동시에 진행된다.

미리 지정된 매수의 웨이퍼(200)가 보트(217)에 장전되면, 노구 셔터(147)에 의하여 닫혀져 있던 처리로(202)의 하단부가, 노구 셔터(147)에 의하여, 개방된다. 이어서, 웨이퍼(200)군(群)을 보지한 보트(217)는 씰캡(219)이 보트 엘리베이터(115)에 의하여 상승됨으로써, 처리로(202) 내에 반입(loading)되어 간다.

로딩 후는, 처리로(202)에서 웨이퍼(200)에 임의의 처리가 실시된다.

처리 후는, 도시하지 않은 노치 맞춤 장치(135)에서의 웨이퍼 정합 공정을 제외하고, 이미 상술한 바와 반대의 순서로, 웨이퍼(200) 및 포드(110)는 광체의 외부로 반출된다.

다음에, 기판 처리 장치(10)의 구성요소를 제어하는 제어 수단(main controller)에 대하여 설명한다.

도 4는, 제어 수단(main controller)을 중심으로 한 하드웨어 구성을 나타낸다.

메인 컨트롤러는, 프로세스계 컨트롤러(14)와 입출력 장치(16)로 구성된다. 프로세스계 컨트롤러(14)는, CPU(제어부)(140), ROM(read-only memory)(142), RAM(random-access memory)(144), 입출력 장치(16)와의 사이에서 데이터의 송수신을 하는 송수신 처리부(146), 온도 제어부(150), 가스 제어부(152), 압력 제어부(154), 반송 제어부(156) 및 온도 제어부(150) 등과 I/O 제어를 하는 I/O 제어부(148)를 갖는다. ROM(142)과 RAM(144)은 기억부를 구성한다. CPU(140)는, 상술한 입출력 장치(16)의 조작 표시 화면(18)에서 작성 또는 편집되어 RAM(144) 등에 기억되어 있는 레시피를 토대로, 기판을 처리하기 위한 제어 데이터(제어 지시)를, 온도 제어부(150), 가스 제어부(152) 및 압력 제어부(154)에 대하여 출력한다. CPU(140)는, 반송 제어부(156)에 대하여도 마찬가지로 제어 지시를 출력한다. 또한, 이들 제어부로부터 송신되는 데이터를 수신한다.

ROM(142) 또는 RAM(144)에는, 시퀀스 프로그램(sequence program), 복수의 레시피 또는 입출력 장치(16)로부터 입력되는 입력 데이터, 레시피의 커맨드 및 레시피 실행 시의 이력 데이터 등이 격납된다. 또한, 프로세스계 컨트롤러(14)에는, 하드 디스크 드라이브(HDD) 등에 의하여 실현되는 기억장치(도시하지 않음)가 포함되어도 무방하며, 이 경우, 기억장치에는, RAM(144)에 격납되는 데이터와 동일한 데이터가 격납된다. 이와 같이, ROM(142) 또는 RAM(144)은 기판을 처리하는 순서가 기재되어 있는 레시피를 기억하는 기억 수단으로서 사용된다. 입력 지시(입력 데이터)는, 입출력 장치(16)의 조작 표시 화면(18)으로부터의 지시를 말한다. 입력 지시(입력 데이터)는, 레시피를 실행시키는 지시 이외에, 각 유저의 조작 권한을 설정하는 지시 등을 그 한 예로 들 수 있는데, 이에 한정되지 않는다.

입출력 장치(16)는, 조작 표시 화면(18)으로부터의 유저(작업자)의 입력 지시를 받아들이는 입력부(160), RAM(144) 등에 격납되어 있는 데이터 등을 표시하는 표시부(162), 입력부(160)에 받아들여진 입력 지시가 후술 하는 표시 제어부(164)에 의하여 송수신 처리부(146)에 송신될 때까지 기억하는 일시 기억부(166), 입력부(160)로부터의 입력 지시를 받아들여 해당 입력 지시를 표시부(162) 또는 송수신 처리부(146)에 송신하는 표시 제어부(164)를 갖는다. 또한, 후술하는 바와 같이, 표시 제어부(164)는, 송수신 처리부(146)를 개재하여 ROM(142) 또는 RAM(144)에 격납된 복수의 레시피 중 임의의 레시피를 CPU(140)에 의해 실행시키는 지시(제어 지시)를 받아들이도록 되어 있고, 또한 표시부(162)는, 표시 제어부(164)로부터의 지시에 의하여 지시된 임의의 레시피를 조작 표시 화면(18)에 표시하도록 되어 있다. 또한 표시부(162)는, 후술하는 바와 같이, 유저(작업자)의 조작 권한을 설정하기 위한 권한 설정 화면이나 레시피를 편집하기 위한 편집 화면 등을 조작 표시 화면(18)에 표시한다.

온도 제어부(150)는, 상술한 처리로(202)의 외주부에 설치된 히터(338)에 의하여 처리실(202) 내의 온도를 제어한다. 가스 제어부(152)는, 처리로(202)의 가스 배관(340)에 설치된 MFC(mass flow controller)(342)로부터의 출력치를 토대로 처리로(202) 내에 공급하는 반응 가스의 공급량 등을 제어한다. 압력 제어부(154)는, 처리로(202)의 배기 배관(344)에 설치된 압력 센서(346)의 출력치를 토대로 밸브(348)를 개폐함으로써 처리실(202) 내의 압력을 제어한다. 이와 같이, 온도 제어부(150) 등의 서브 컨트롤러는, CPU(140)로부터의 제어 지시를 토대로 기판 처리 장치(10)의 각 부[히터(338), MFC(342) 및 밸브(348) 등]의 제어를 실시한다.

예를 들면, 입출력 장치(16)의 조작 표시 화면(18)을 개재하여 입력부(160)에 의하여, 레시피를 설정하기 위한 데이터나 해당 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한 등의 데이터(입력 데이터)가 입력되면, 해당 입력 데이터(입력 지시)는, 기억부(166)에 격납됨과 동시에 표시 제어부(164)를 개재하여 표시부(162)에 표시되고, 또한 표시 제어부(164)에 의하여 PMC(14)의 송수신 처리부(146)에 송신된다. CPU(140)는, 입력 데이터를 RAM(144)에 격납하고, 예를 들면 ROM(142)에 격납된 레시피나 당 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한 등의 설정 입력을 확정시킨다. CPU(140)는, 시퀀스 프로그램을 기동하고, 당 시퀀스 프로그램에 따라서, 예를 들면 RAM(144)에 격납된 레시피의 커맨드를 불러 들여 실행함으로써, 스텝이 차례차례로 실행되고, I/O 제어부(148)를 개재하여 온도 제어부(150), 가스 제어부(152), 압력 제어부(154) 및 반송 제어부(156)에 대하여 기판을 처리하기 위한 제어 지시가 송신된다. 온도 제어부(150) 등의 컨트롤러는, CPU(140)로부터의 제어 지시에 따라서 기판 처리 장치(10) 내의 각 부[히터(338), MFC(342) 및 밸브(348) 등]의 제어를 실시한다. 이에 따라, 상술한 웨이퍼(200)의 처리가 이루어진다.

본 실시 형태에 있어서의 기판 처리 장치에 있어서는, 파일의 종류마다, 유저(작업자)의 조작 권한이 설정된다. 또한, 파일의 종류마다, 복수의 유저를 등록한 그룹의 조작 권한이 설정된다. 예를 들면, 여러 가지 레시피 중 프로세스 레시피에 대하여 설명하면, 프로세스 레시피에 대하여 소정 그룹의 조작 권한이 편집 가능하도록 설정된 경우, 해당 그룹에 등록된 각 유저는, 프로세스 레시피인 파일을 참조, 편집할 수 있다. 조작 권한은, 관리자(마스터 유저라고도 함) 등의 소정 작업자에 의하여 설정된다.

이들 각 유저의 조작 권한은, 기판 처리 장치의 가동 상태에 대응하여 설정되는 것이 바람직하다. 즉, 오프라인시에 있어서는, 라인 담당자 등에 의한 레시피 편집을 허가하고, 온라인시에 있어서는, 호스트 컴퓨터로부터의 지시에 의하여 기판 처리 장치가 가동하기 때문에 레시피의 내용을 변경할 수 없게 할 필요가 있다. 따라서, 라인 담당자 등에 의한 레시피 편집을 금지한다. 온라인시이며 또한 트러블 발생시에 있어서는, 예를 들면 유지관리 엔지니어에 의한 레시피의 편집을 허가하는 것이 바람직하다.

다음에, 기판 처리 장치(10)에 격납되어 있는 각 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한의 설정 방법을 도 5 내지 8을 토대로 설명한다.

도 5는, 기판 처리 장치(10)의 입출력 장치(16)에 조작 표시 화면(18)으로서 표시되고, 예를 들면 관리자에 의하여 조작되는 유저 설정 화면(300)을 예시하는 도면이다. 이 유저 설정 화면(300)에는, 유저명, 각 유저가 속하는 그룹명 및 각 유저에 대응하는 패스워드가 표시되고, 각 항목을 편집(갱신, 수정, 입력 등)할 수 있다.

도 5에 예시하는 바와 같이, 유저 설정 화면(300)에는, 테이블 선택 표시부(302)와 유저 설정 테이블(304)이 포함된다. 테이블 선택 표시부(302)는, 복수의 선택부(306)를 갖고, 어느 하나의 선택부(306)를 선택(누름)하면 해당 선택부(306)에 대응하는 소정 개수의 유저 설정 테이블(304)이 표시되도록 되어 있다.

유저 설정 테이블(304)에는, 그룹명으로 호칭되는 유저의 속성을 편집하기 위한 그룹명 설정부(308), 유저명을 편집하기 위한 유저명 설정부(310) 및 각 유저명에 대응하는 패스워드를 입력하기 위한 패스워드 설정부(312)가 포함된다. 그룹명에는, 각 유저가 속하는 그룹의 명칭, 예를 들면 프로덕트(Product), 엔지니어(Engineer), 유지관리(Maintenance), 리커버리(Recovery) 등이 입력 또는 선택된다.

예를 들면, '프로덕트'에는 라인 담당자인 유저가 포함되고, '엔지니어'에는 프로세스 엔지니어인 유저가 포함되고 '유지관리'에는 유지관리 엔지니어인 유저가 포함된다. 또한, 그룹명의 개수는 한정되지 않고, 그룹명의 명칭도 필요에 따라 임의로 설정된다. 예를 들면, 그룹명으로서 온라인 엔지니어나 보수 담당자 등의 명칭을 부여해도 된다. 유저명은, 유저의 명칭을 나타내고, 패스워드는, 예를 들면 영어, 숫자로 구성되는 문자열이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 예를 들면, 관리자는, 유저명 입력부(310)에 '유저 1(USER 1)'을 입력하고, 그룹명 입력부(308)에 '프로덕트(Product)'를 입력하며, 패스워드 입력부(312)에 '1'을 입력한다.

도 6은, 기판 처리 장치(10)의 입출력 장치(16)에 조작 표시 화면(18)으로서 표시되고, 예를 들면 관리자에 의하여 조작되는 권한 설정 화면(400)을 예시하는 도면이다. 이 권한 설정 화면(400)에 있어서는, 각 레시피에 대한 유저(그룹)의 조작 권한이 설정된다.

도 6에 예시하는 바와 같이, 권한 설정 화면(400)에는, 대상인 그룹명을 선택하는 그룹 선택부(402)와, 복수의 레시피 등을 표시하는 파일 일람 표시부(404)와, 이들 복수의 레시피 각각에 대한 해당 그룹의 조작 권한을 입력하는 권한 입력부(406)가 포함된다. 그룹 선택부(402)에는, 상술한 유저 설정 테이블(304)에 있어서 설정된 복수의 그룹명이 표시되고, 대상인 그룹명을 선택할 수가 있도록 되어 있다.

파일 일람 표시부(404)에는, 기판 처리 장치(10)에 파일로서 격납되어 있는 복수의 레시피 등이 일람 표시되도록 되어 있다. 한편, 레시피에 국한하지 않고, 소정의 처리를 하기 위한 파일을 표시하도록 해도 된다. 예를 들면, 이 파일 일람 표시부(404)에는, 프로세스 레시피, 서브 레시피 및 알람 레시피 등이 표시된다. 한편, 파일 일람 표시부(404)에는, 표시 절체(切替) 버튼(408)이 있어, 레시피의 일람이 한 화면에 표시할 수 없는 경우에는, 필요에 따라 절체 표시 또는 스크롤(scroll) 표시시킬 수 있도록 되어 있다.

권한 설정부(406)에는, 온라인 권한 설정부(410)와, 오프라인 권한 설정부(412)가 포함된다. 온라인 권한 설정부(410)에는, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인[온라인 리모트:호스트 장치(20) 등의 관리 장치로부터의 지시에 따라 처리 대상인 기판 처리 장치(10)가 가동하는 상태]인 경우의 각 레시피에 대한 그룹(유저)의 조작 권한이 입력(선택)되도록 되어 있다. 오프라인 권한 설정부(412)에는, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 오프라인(비 온라인 리모트)인 경우의 각 레시피에 대한 그룹(유저)의 조작 권한이 입력(선택)되도록 되어 있다. 그룹(유저)의 조작 권한은, 각 레시피에 대하여 설정되고, 예를 들면 '금지(Inhibit)', '참조가능(ReadOnly)', '편집가능(Edit)' 및 '실행가능(Exec)' 중 어느 하나이다.

여기에서, 금지(Inhibit)란 레시피 등의 파일의 편집 및 참조를 금지하는 권한이고, 참조가능(ReadOnly)이란 레시피 등의 파일의 편집은 금지하고 참조는 허가하는 권한이며, 편집가능(Edit)이란 레시피 등 파일의 편집 및 참조를 허가하는 권한이고, 실행가능(Exec)이란 레시피 등의 실행(스타트)을 허가하는 권한이다.

또한, 권한 설정 화면(400)에는 복수의 버튼으로 이루어지는 버튼 군(君)(414)이 포함된다. 이 버튼 군(414)에는 예를 들면 편집 버튼(416), 커맨드 버튼(418) 등이 배치되어 있다. 도 6은, 편집 버튼(416)이 눌러져 있을 때의 도면이다. 커맨드 버튼(418)이 눌러지면, 도시하지 않았으나, 파일 일람 표시부(404)에는 커맨드로서 격납되어 있는 복수의 파일이 표시된다. 그리고, 권한 설정 화면(400) 상에서 커맨드 버튼에 대해서도 설정할 수 있도록 되어 있다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 편집 버튼(412)을 선택하고, 또한 예를 들면 소정의 레시피에 대응하는 온라인 권한 입력부(410) 또는 오프라인 권한 입력부(412)를 선택하면, 선택 화면(420)이 표시되도록 되어 있다. 선택 화면(420)에 있어서, 예를 들면 '금지(Inhibit)', '참조가능(ReadOnly)', '편집가능(Edit)' 및 취소(cancel) 중 어느 하나를 선택할 수 있도록 되어 있다.

예를 들면, 관리자는, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 그룹명 선택부(402)에서 'Default'를 선택하고, 편집 버튼(416)을 선택하고, 프로세스 레시피에 대응하는 오프라인 권한 입력부(412)를 선택하고, 선택 화면(420)에 있어서 선택한다. 이에 따라, 'Default' 그룹에 속하는 유저에 대하여, 오프라인시에 있어서 기판 처리 장치(10) 측에서의 프로세스 레시피의 참조를 허가하는 설정을 '참조가능(ReadOnly)'를 실시할 수 있다.

또한, 예를 들면, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 그룹명 선택부(402)에서 '엔지니어(Engineer)' 또는 '유지관리(Maintenance)'를 선택하고, 선택 화면(420)을 개재하여 소정의 레시피에 대응하는 온라인 권한 설정부(410)에 대하여 '편집가능(Edit)'을 선택하면, '엔지니어' 또는 '유지관리' 그룹에 속하는 유저에 대하여, 온라인시에 있어서 기판 처리 장치(10) 측에서의 소정 레시피의 참조 및 편집을 허가하는 설정을 실시할 수 있다.

또한, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 유저는, 예를 들면, 그룹명 선택부(402)에서 '프로덕트(Product)'를 선택하고, 선택 화면(420)을 개재하여 소정의 레시피에 대응하는 온라인 권한 설정부(410)에 '참조가능(ReadOnly)' 또는 '금지(Inhibit)'를 선택한다. 이에 따라, '프로덕트' 그룹에 속하는 유저에 대하여, 온라인시에 있어서 기판 처리 장치(10) 측에서의 소정 레시피의 편집을 금지하는 설정을 실시할 수 있다.

도 8에 나타내는 바와 같이, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 커맨드 버튼(418)을 선택하고, 또한 표시된 소정의 커맨드에 대응하는 온라인 권한 설정부(410) 또는 오프라인 권한 설정부(412)를 선택하면, 선택 화면(420)이 표시되도록 되어 있다. 선택 화면(420)에 있어서, 예를 들면 '금지(Inhibit)', '실행가능(Exec)' 및 취소 중 어느 하나를 선택할 수 있게 되어 있다. 여기에서, '프로덕트' 그룹에 속하는 유저에 대하여, 온라인 권한 설정부(410)를 선택하고, 소정의 커맨드 중 반송 커맨드를 '금지(Inhibit)'함으로써, 반송 커맨드 버튼을 표시시키지 않도록(또는 조작할 수 없도록) 할 수 있다. 이에 따라, 온라인시에 있어서의 후프(110)의 투입 등을 실시시키지 않도록 할 수 있다.

예를 들면, 관리자는, 권한 설정 화면(400)에 있어서, 그룹명 선택부(402)에서 'Default'를 선택하고, 커맨드 버튼(418)을 선택하고, 파일 유지관리 커맨드에 대응하는 오프라인 권한 설정부(412)를 선택하고, 선택 화면(420)에 있어서 ‘실행가능(Exec)’을 선택한다. 이에 따라, 'Default' 그룹에 속하는 유저에 대하여, 오프라인시에 있어서 기판 처리 장치(10) 측에서의 파일 유지관리의 실행을 허가하는 설정을 실시할 수 있다. 이 경우, 파일 유지관리를 실행하기 위한 커맨드 버튼이 화면에 표시된다.

그리고, 여기에서 파일 유지관리란, 하드 디스크 내부와 플로피 디스크 등의 외부 기억 미디어와의 사이의 파일 카피(copy)나 시스템에 설정되어 있는 파일의 백업 등, 본 장치에서 취급하는 파일의 유지관리 작업을 실시하기 위한 기능이다.

이상과 같이, 권한 설정 화면(400)은, ROM(142) 또는 RAM(144)에 기억된 소정의 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한을 설정하는 설정 화면으로서 사용된다.

도 9는, 기판 처리 장치(10)의 입출력 장치(16)에 조작 표시 화면(18)으로서 표시되고, 예를 들면 유저(작업자)에 의하여 조작되는 메인 화면(500)을 예시하는 도면이다.

도 9에 나타내는 바와 같이, 메인 화면(500)에는, 로그인 버튼(502), 편집 버튼(504) 및 레시피나 기판을 처리하기 위한 여러 조건(예를 들면 온도 조건, 압력 조건 등)을 표시하는 조건 표시부(506a)~(506g)가 포함된다.

로그인 화면(600)은, 로그인 버튼(502)을 선택(누름)함으로써 메인 화면(500) 상에 표시된다. 이 로그인 화면(600)에는, 유저명을 입력하기 위한 유저명 입력부(602)와, 이 유저명에 대응하는 패스워드를 입력하기 위한 패스워드 입력부(604)와, 로그인을 실행하기 위한 로그인 버튼(606)과, 로그인을 취소하기 위한 취소 버튼(608)이 포함된다. 유저는, 로그인 화면(600)에 있어서, 유저명 입력부(602)에 유저명을 입력하고, 패스워드 입력부(604)에 패스워드를 입력하여, 로그인 버튼(606)을 누름으로써 로그인을 실시한다.

로그인 후에 편집 버튼(504)을 선택하면, 후술하는 편집 메뉴 화면(700)이 표시된다. 따라서, 소정의 레시피를 편집(또는 참조)할 때마다 유저명과 패스워드를 입력할 필요가 없어진다. 이에 따라, 레시피를 편집(또는 참조)할 때의 조작 시간이 저감된다.

도 10은, 기판 처리 장치(10)의 입출력 장치(16)에 조작 표시 화면(18)으로서 표시되고, 예를 들면 유저(작업자)에 의하여 조작되는 편집 메뉴 화면(700)을 예시하는 도면이다. 이 편집 메뉴 화면(700)은, 상술한 메인 화면(500)의 편집 버튼(504)을 선택하면 표시된다.

편집 메뉴 화면(700)에는, 예를 들면 레시피 선택부(702), 온도 설정 선택부(704) 및 압력 설정 선택부(706) 등이 포함된다. 레시피 선택부(702)에는, 예를 들면 프로세스 레시피 선택 버튼(710), 서브 레시피 선택부(712) 및 알람 레시피 선택부(714) 등이 표시되어 있다. 이들 프로세스 레시피 선택 버튼(710), 서브 레시피 선택부(712) 및 알람 레시피 선택부(714) 등은, 상술한 권한 설정 화면(400)의 권한 입력부(406)에 있어서, ‘참조가능(ReadOnly)’, '편집가능(Edit)' 및 '실행가능(Exec)'이 선택되어 있는 경우에 표시되도록 되어 있다. 즉, ROM(142) 또는 RAM(144)에 기억되어 있는 복수의 레시피 중, 권한 입력부(406)에 있어서 '금지(Inhibit)'가 선택되어 있는 레시피는 편집 메뉴 화면(700) 상에 표시되지 않도록 되어 있다.

상술한 편집 메뉴 화면(700)에 있어서 프로세스 레시피 선택 버튼(710)을 누르면(선택하면) 도시하지 않은 레시피 편집 메뉴 화면이 표시된다.

레시피 편집 메뉴 화면에는, 예를 들면 프로세스 레시피 버튼, 가변 파라미터 버튼(variable parameter button) 및 레시피 데이타 범위 체크 파라미터 버튼 등이 표시된다.

상술한 레시피 편집 메뉴 화면(800)에 있어서 프로세스 레시피 버튼을 선택하면 도시하지 않은 프로세스 레시피 일람 화면이 표시된다.

프로세스 레시피 일람 표시 화면은, 프로세스 레시피에 관한 복수의 레시피의 일람을 표시하고, 각각의 레시피에 대한 파일명(레시피명), 편집 일시, 편집자 및 코멘트 등의 속성을 표시한다. 이 프로세스 레시피 일람 표시 화면에는, 예를 들면, 편집자 ABC에 의하여 편집된 파일 AAA, 편집자 EFG에 의하여 편집된 파일 BBB 등이 표시되어 있다. 이 프로세스 레시피 일람 표시 화면에 표시된 파일명을 선택하면 해당 파일에 대응한 레시피 편집 화면(900)(도 11을 사용하여 후술함)이 표시되도록 되어 있다.

도 11은, 기판 처리 장치(10)의 입출력 장치(16)에 조작 표시 화면(18)으로서 표시되고, 예를 들면 유저(작업자)에 의하여 조작되는 레시피 편집 화면(900)을 예시하는 도면이다. 이 레시피 편집 화면(900)은, 상술한 프로세스 레시피 일람 표시 화면에 표시된 소정의 파일명(레시피명)을 선택하면 표시된다. 이 레시피 편집 화면(900)에 있어서는, 소정의 레시피의 상세 내용이 표시되고, 또한, 소정의 레시피의 편집(갱신) 등의 지시가 입력되도록 되어 있다. 본 도면에 있어서는, 상술한 프로세스 레시피 일람 표시 화면(850)에 있어서 레시피명 'AAA'가 선택된 상태를 나타내고 있다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 레시피 편집 화면(900)에는, 레시피명 표시부(902), 보존 버튼(904) 및 레시피나 기판을 처리하기 위한 제조건을 편집하는 복수개의 입력부, 예를 들면, 반응 가스 등의 유량을 설정하는 유량 조건 입력부(906), 노(爐)내 온도 등을 설정하는 온도 조건 입력부(908), 노내 압력 등을 설정하는 압력 조건 입력부(910), 레시피의 각 스텝을 설정하는 스텝 입력부(912) 등이 포함된다. 유저는, 레시피 편집 화면(900)에 있어서, 레시피명 표시부(902)에 표시된 레시피(예를 들면 레시피 'AAA')에 있어서의 각 조건이나 커맨드 등을 각 입력부에 입력하고, 보존 버튼(902)을 누름으로써, 해당 레시피를 갱신한다.

이상과 같이, 레시피 편집 화면(900)은, 권한 설정 화면(400)을 개재하여 설정된 조작 권한을 토대로 ROM(142) 또는 RAM(144)에 기억된 레시피를 편집하는 편집 화면으로서 사용된다. 또한, 입출력 장치(16)는, 권한 설정 화면(400)과 레시피 편집 화면(900)을 표시하는 표시 수단으로서 사용되고, 입출력 장치(16)에 의하여 표시된 권한 설정 화면(400)을 개재하여, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서 조작 권한을 설정할 수 있도록 되어 있다. 따라서, 온라인시와 오프라인시에서는 레시피 편집 화면(900) 상에서 편집할 수 있는 항목이 다르다. 또한, 레시피 편집 화면(900)에서는, 레시피 'AAA'를 편집한 유저에게 설정되어 있는 조작 권한에 따라, 항목명(MFC, 온도, 압력 등)을 표시할지 여부를 구별하고 있는데, 조작 권한이 없는 항목에 대해서는, 화면에 표시시키지 않는 것이 바람직하다.

다음에, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 제어 방법을 실현하는 제어 프로그램(80)을 설명한다. 도 12는, 기판 처리 장치(10)의 프로세스계 컨트롤러(14) 상에서 동작하는 제어 프로그램(80)의 구성을 나타내는 도면이다.

도 12에 나타내는 바와 같이, 제어 프로그램(80)은, 유저 인터페이스(UI) 부(82), 화면 표시부(84), 권한 설정부(86), 표시 제어부(88), 레시피 기억부(90), 권한 기억부(92) 및 유저 정보 기억부(94)를 갖는다. 제어 프로그램(80)은, 예를 들면, 네트워크를 개재하여 호스트 장치(20)로부터 프로세스계 컨트롤러(14)에 공급되고, RAM(144)에 로드되어, 도시하지 않은 OS 상에서 CPU(140)에 의하여 실행된다. 한편, 제어 프로그램(80)은, FD, CD 또는 DVD 등의 기억 매체를 개재하여 공급되어도 되고, 입출력 장치(16)를 개재하여 입력되어도 된다.

제어 프로그램(80)에 있어서, 레시피 기억부(90)는, 파일로서 실현되고, 기판을 처리하는 순서가 기재되어 있는 복수의 레시피를 기억한다. 레시피 기억부(90)는, RAM(144) 및 도시하지 않은 HDD 중 적어도 어느 하나에 의해 실현된다.

유저 정보 기억부(94)는, 유저 정보(유저명, 해당 유저가 속하는 그룹명 및 패스워드 등)를 기억한다. 이 유저 정보 기억부(94)는, 레시피 기억부(90)와 마찬가지로 실현된다.

권한 기억부(92)는, 레시피 기억부(90)에 기억되는 각 레시피에 대한 각 유저의 조작 권한을 기억한다. 보다 구체적으로는, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인 또는 오프라인인 경우 각각에 있어서 각 레시피에 대한 각 유저의 조작 권한을 기억한다. 이 권한 기억부(92)는, 레시피 기억부(90)와 마찬가지로 실현된다.

화면 표시부(84)는, 입출력 장치(16)에 의하여 조작 표시 화면(18)에 유저 설정 화면(300)(도 5)을 표시시키고, 이 유저 설정 화면(300)을 개재한 입력, 즉 유저 정보(유저명, 해당 유저가 속하는 그룹명 및 해당 유저에 대응한 패스워드)를 받아들여, 유저 정보 기억부(94)에 출력한다. 또한, 화면 표시부(84)는, 입출력 장치(16)에 의하여 조작 표시 화면(18)에 권한 설정 화면(400)(도 6)을 표시시키고, 이 권한 설정 화면(400)을 개재한 입력, 즉 각 레시피에 대한 각 유저의 조작 권한을 받아들여, 권한 기억부(86)에 출력한다. 또한, 화면 표시부(84)는, 후술하는 권한 설정부(86)에 의하여 설정된 조작 권한을 권한 설정 화면(400)에 표시한다.

표시 제어부(88)는, 입출력 장치(16)에 의하여 조작 표시 화면(18)에 로그인 화면(600)(도 9)을 표시시키고, 이 로그인 화면을 개재한 입력, 즉 유저 정보(유저명 및 해당 유저에 대응하는 패스워드)를 받아들여, 권한 설정부(92)에 출력한다.

권한 설정부(92)는, 표시 제어부(88)로부터 출력된 유저 정보와 유저 정보 기억부(94)에 기억되어 있는 유저 정보를 비교하여, 입력된 유저명이 유저 정보 기억부(94)에 존재하며, 아울러 입력된 패스워드가 올바른지의 여부를 판정한다. 또한, 권한 설정부(86)는, 판정한 결과를 유저 조회 정보로서 표시 제어부(88)에 출력한다.

또한, 권한 설정부(86)는, 레시피 기억부(90)에 기억된 레시피와, 권한 기억부(92)에 기억되어 있는 해당 유저(유저가 속하는 그룹)의 조작 권한 정보와, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태를 토대로, 해당 유저의 조작 권한을 설정한다. 보다 구체적으로는, 권한 설정부(92)는, 화면 표시부(84)에 의하여 표시된 권한 설정 화면(400)을 개재하여 입력된 조작 권한 정보와, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인 또는 오프라인인 경우를 토대로, 해당 유저의 조작 권한을 설정하고, 권한 설정 정보로서 표시 제어부(88)에 출력한다. 즉, 권한 설정부(86)는, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인 또는 오프라인인 경우, 화면 표시부(84)에 의하여 표시된 권한 설정 화면(400)을 개재하여, 각각의 조작 권한을 설정 가능하도록 하고 있다. 이와 같이 하여, 권한 설정부(86)는, 레시피에 대한 유저(작업자)의 조작 권한을 설정하는 조작 권한 설정 수단을 구성한다.

또한, 표시 제어부(88)는, 권한 설정부(86)로부터 출력된 권한 설정 정보를 받아들이면, 해당 권한 설정 정보를 토대로, 입출력 장치(16)에 의하여 조작 표시 화면(18)에 레시피 편집 화면(900)(도 12)의 표시를 제어한다. 즉, 표시 제어부(88)는, 권한 설정부(86)에 의하여 표시된 권한 설정 화면(400)을 개재하여 설정된 조작 권한과, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인 또는 오프라인인 경우를 토대로, 레시피 기억부(90)에 기억되어 있는 소정 레시피의 상세한 표시 또는 해당 레시피의 편집을 허가할지의 여부를 결정한다.

또한, 표시 제어부(88)는, 권한 설정부(86)로부터 출력된 유저 조회 정보를 토대로, 레시피 편집 화면(900)의 표시를 제어한다. 구체적으로는, 표시 제어부(88)는, 로그인 화면(600)에 입력된 유저명 또는 패스워드가 유저 정보 기억부(94)에 기억되어 있는 유저 정보와 일치하지 않는 경우에는, 입출력 장치(16)에 의하여 조작 표시 화면(18)에 레시피 편집 화면(900)을 표시시키지 않도록 한다. 이와 같이 하여, 표시 제어부(88)는, 화면 표시부(84)에 의하여 표시된 권한 설정 화면(400)을 개재하여 설정된 조작 권한을 토대로, 레시피 기억부(90)에 기억되어 있는 레시피를 편집하기 위한 레시피 편집 화면(900)을 표시하는 표시 수단을 구성한다.

UI부(82)는, 입출력 장치(16)에 대한 유저의 조작을 받아들여, 제어 프로그램(80)의 각 구성 부분에 대하여 출력한다. 또한, UI부(82)는, 제어 프로그램(80)의 각 구성 부분에 의하여 작성된 정보와 데이터 및 각 구성 부분의 처리 내용 등을, 입출력 장치(16)에 대하여 출력한다.

다음에, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)의 제어 처리를 설명한다.

도 13은, 본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(10)에 의한 유저(조작자)의 조작 권한을 토대로 표시 제어 처리 (S10)를 나타내는 플로차트(flow chart)이다.

도 13에 나타내는 바와 같이, 스텝 100(S100)에 있어서, PMC(14) 상에서 동작하는 제어 프로그램(80)의 표시 제어부(88)는, 입출력 장치(16)에 의하여 조작 표시 화면(18)에 로그인 화면(600)을 표시시킨다. 표시 제어부(88)는, 이 로그인 화면(600)을 개재한 입력, 즉, 유저명 및 이 유저명에 대응하는 패스워드를 받아들인다.

스텝 102(S102)에 있어서, 권한 설정부(86)는, 입력된 유저명이 존재하는지의 여부를 판정한다. 구체적으로는, 권한 설정부(86)는, 로그인 화면(600)을 개재하여 입력된 유저명이 유저 정보 기억부(94)에 기억되어 있는 것과 동일한지 아닌지를 판정하고, 동일하다고 판정한 경우에는 스텝 104(S104)의 처리로 이행하고, 동일하지 않다고 판정한 경우는 스텝 106(S106)의 처리로 이행한다.

스텝 104(S104)에 있어서, 권한 설정부(86)는, 입력된 유저명에 대하여 해당하는 조작 권한을 세트(set)한다. 구체적으로는, 권한 설정부(86)는, 로그인 화면(600)에 입력된 유저명에 대하여 권한 기억부(92)에 기억된 유저(유저가 속하는 그룹)의 조작 권한을 설정한다. 보다 구체적으로는, 권한 설정부(86)는, 로그인 화면(600)에 입력된 유저명에 대하여, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시인 경우 각각에 있어서 레시피에 대한 유저의 조작 권한을 설정한다.

스텝 106(S106)에 있어서, 권한 설정부(86)는, 입력된 유저명에 대하여 조작 권한을 '금지(Inhibit)'에 세트한다. 보다 구체적으로는, 권한 설정부(804)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 입력된 유저명이 속하는 그룹을 '디폴트(Default)'로 설정하고, 모든 레시피에 대한 조작 권한을 '금지(Inhibit)'로 한다.

스텝 108(S108)에 있어서, 표시 제어부(88)는, 권한 설정부(92)에 의하여 설정된 조작 권한을 토대로 레시피 편집 화면(900)의 표시를 제어한다. 보다 구체적으로는, 표시 제어부(88)는, 권한 설정부(86)에 의하여 설정된 각 레시피에 대한 유저(그룹)의 조작 권한과, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인 또는 오프라인인 경우를 토대로, 레시피 편집 화면(900)을 표시하거나, 또는 표시한 레시피의 편집을 허가할지의 여부를 결정한다. 예를 들면, 표시 제어부(88)는, 입력된 유저명이 속하는 그룹의 조작 권한이, 프로세스 레시피에 대하여, 온라인인 경우에 '금지(Inhibit)', 오프라인인 경우에 '편집가능(Edit)'이 설정되어 있는 경우, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 오프라인인 경우에 한하여, 입출력 장치(16)에 의하여 조작 표시 화면(18)에 레시피 편집 화면(900)을 표시시켜, 해당 유저에 의한 프로세스 레시피의 편집(갱신)을 허가한다.

본 실시 형태에서는, '디폴트(Default)'를 설치하여, 입력된 유저명의 등록이 없는 경우라도 로그인 처리를 가능하게 하고 있으나, '디폴트(Default)'는 반드시 설치할 필요는 없으며, 유저명의 등록이 없는 경우, 로그인 처리를 불가로 하는 형태라도 무방하다.

구체적인 실시예를 설명한다. 예를 들면, 도 8에 나타내는 소정의 커맨드에 있어서의 권한 설정 화면(400) 상에서, 파일 유지관리의 권한 설정을 온라인시에 '금지(Inhibit)', 오프라인시에 '실행가능(Exec)'이라고 설정함으로써, 온라인시에 기판 처리 장치(10)가 자동 운전되고 있는 동안에, 기판 처리와 전혀 관계가 없는 파일 유지관리 처리가 이루어지는 일이 없다. 즉, 메인 컨트롤러에 필요 이상의 부하를 걸지 않아도 된다.

예를 들면, 유저 A가 라인 담당자(온라인 담당자)이고, 유저 B가 프로세스 엔지니어(오프라인 담당자)로 한다. 유저 A는 도 8에 나타내는 소정의 커맨드에 있어서의 권한 설정 화면(400) 상에서, 반송 커맨드 및 PM 커맨드의 권한 설정이 온라인시에도 오프라인시에도 각각 '금지(Inhibit)'로 설정된다. 한편, 유저 B는, 온라인시는 자동 운전되고 있고, 호스트 장치(20)에 지정되는 프로세스 레시피가 실행되고 있기 때문에, '금지(Inhibit)'로 설정되지만, 오프라인시에는, '실행가능(Exec)'으로 설정된다. 다음에, 유저 A가 도 6에 나타내는 소정의 레시피에 있어서의 권한 설정 화면(400) 상에서, 프로세스 레시피의 권한 설정이 온라인시에도 오프라인시에도 각각 '금지(Inhibit)' 또는 '참조가능(ReadOnly)'으로 설정되는데 반해, 유저 B는, 온라인시는 자동 운전되고 있기 때문에, ‘금지(Inhibit)’또는 ‘참조가능(ReadOnly)’으로 설정되나, 오프라인시에는, '편집가능(Edit)'으로 설정된다. 이와 같이 해 두면, 오프라인시에 매뉴얼(manual)에서의 프로세스가 가능(기판의 반송이나 레시피의 실행이 가능)하게 되고, 특히 장치의 셋업(setup)시에 이루어지는 프로세스의 테스트 운전이 권한이 없는 사람이 조작을 할 수 없도록 하고 있어 안전하게 수행할 수 있다. 또한, 온라인시에 호스트 장치(20)가 지정한 프로세스 레시피를 다운로드하고 있는 것에 관계없이, 조작 표시 화면(18) 상에서 프로세스 레시피를 편집하고 다운로드하여 발생하는 에러(error)를 방지할 수 있다.

예를 들면, 유저 A가 라인 담당자(온라인 담당자)이고, 유저 B가 유지관리 엔지니어(오프라인 담당자)라면, 유저 A는 도 8에 나타내는 소정의 커맨드에 있어서의 권한 설정 화면(400) 상에서, 반송 커맨드의 권한 설정이 온라인시에도 오프라인시에도 각각 '금지(Inhibit)'라고 설정되는데 반해, 유저 B는, 온라인시에는 자동 운전되고 있기 때문에 '금지(Inhibit)'로 설정되지만, 오프라인시에는, '실행가능(Exec)'이라고 설정된다. 이와 같이 설정하여 두면, 유지관리시에 보트나 반응관의 세정을 위한 교환이나 이재기의 티칭(teaching) 등 작업을 수동으로 안전하게 실시할 수 있다. 또한, 트러블 발생시에 금이 간 기판의 회수 등 복구 처리를 수동으로 안전하게 실시할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 입출력 장치(16)의 조작 표시 화면(18)을 개재하여, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시인 경우 각각에 있어서 유저(조작자)의 조작 권한을 설정할 수 있다. 이에 따라, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인이며 또한 트러블 발생시에 있어서도, 소정의 유저, 예를 들면 유지관리나 엔지니어 등 그룹에 속하는 유저(유지관리 엔지니어, 프로세스 엔지니어)에 대하여 통상적으로는 허가되지 않는 레시피의 편집이나 스타트를 허가할 수 있게 된다. 따라서, 트러블에 대하여 기판 처리 장치(10) 측에서 신속히 대응할 수 있고, 트러블 처리에 소비하는 시간을 단축시키고, 아울러 생산성 향상을 실현할 수 있다. 한편, 기판 처리 장치(10)의 가동 상태가 온라인인 경우에 있어서, 예를 들면 프로덕트에 속하는 유저(라인 담당자)의 레시피 편집이나 스타트를 금지할 수도 있게 되어, 오조작 등에 의한 트러블의 발생을 방지할 수 있다.

본 발명은, 기판 처리 장치로서, 반도체 제조장치 뿐 아니라 LCD 장치와 같은 유리 기판을 처리하는 장치에도 적용할 수 있다. 성막 처리에는, 예를 들면 CVD, PVD, 산화막, 질화막을 형성하는 처리, 금속을 포함하는 막을 형성하는 처리 등을 포함한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 종형 처리 장치에 대하여 기재했으나, 매엽(枚葉)장치에 있어서도 마찬가지로 적용할 수 있다. 또한, 복수의 기판 처리 장치와, 각 기판 처리 장치를 관리하는 장치를 조합한 시스템 또는 관리 장치에도 적용할 수 있다.

본 발명은, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등을 처리하기 위한 기판 처리 장치에 있어서, 트러블 발생시에 소비하는 시간을 단축시킬 필요가 있는 경우에 이용할 수 있다.

본 발명은, 특허 청구의 범위에 기재한 것 이외에 다음의 실시 형태를 포함한다.

(1) 기판을 처리하는 순서가 기재된 복수의 레시피를 포함하는 복수의 파일과 해당 복수의 레시피에 대응하는 유저의 조작 권한을 기억하는 기억 수단과, 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 각 레시피에 대한 상기 유저의 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면과, 상기 기억 수단에 기억되어 있는 레시피를 편집하기 위한 편집 화면을 표시하는 표시 수단을 갖는 기판 처리 시스템.

(2) 상기 복수의 레시피 중 제품 기판을 제조하기 위한 레시피(프로세스 레시피)에 있어서는, 온라인시에 편집할 수 없도록 설정되어 있는 (1)의 기판 처리 시스템.

(3) 기판 처리 장치에 있어서의 소정의 기능을 실행하기 위한 커맨드와, 해당 커맨드에 대응하는 유저의 조작 권한을 기억하는 기억 수단과, 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 커맨드에 대한 상기 유저의 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면과, 해당 권한 설정 화면을 개재하여 설정된 조작 권한을 토대로 상기 기억 수단에 기억되어 있는 커맨드를 실행하기 위한 기능 화면을 표시하는 표시 수단을 갖는 기판 처리 시스템.

(4) 상기 커맨드는, 온라인시에 실행할 수 없도록 설정되어 있는 (3)에 기재한 기판 처리 시스템.

(5) 상기 유저가 소속하는 그룹은 유저 ID 및 패스워드에 대응하여 미리 설정된 그룹 파라미터를 갖고, 상기 그룹마다 상기 유저의 권한을 설정 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 (1) 내지 (4) 중 어느 하나에 기재한 기판 처리 시스템.

(6) 각 레시피는, 온라인시와 오프라인시에 각각 다른 설정이 이루어지는 (1) 또는 (2)에 기재한 기판 처리 시스템.

(7) 상기 커맨드는, 온라인시와 오프라인시에 각각 다른 설정이 이루어지는 (3) 또는 (4)에 기재한 기판 처리 시스템.

10 : 기판 처리 장치 16 : 입출력 장치
18 : 조작 표시 화면 142 : ROM
144 : RAM 400 : 권한 설정 화면
900 : 레시피 편집 화면

Claims

기판을 처리하는 순서가 기재된 복수의 레시피를 포함하는 여러 가지 파일에 대해서, 상기 복수의 레시피에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 표시하는 기판 처리 장치의 표시 방법으로서,
상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 설정할 수 있도록 구성되어 있는 기판 처리 장치의 표시 방법.
기판을 처리하는 순서가 기재된 복수의 레시피를 포함하는 여러 가지 파일에 대해서, 상기 복수의 레시피에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 설정할 수 있도록 구성되어 있는 기판 처리 장치.
기판 처리 장치에 있어서 소정의 기능을 실행하기 위한 커맨드에 대해서, 상기 커맨드에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 표시하는 기판 처리 장치의 표시 방법으로서,
상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 설정할 수 있도록 구성되어 있는 기판 처리 장치의 표시 방법.
기판 처리 장치에 있어서 소정의 기능을 실행하기 위한 커맨드에 대해서, 상기 커맨드에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 표시하는 기판 처리 장치로서,
상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 설정할 수 있도록 구성되어 있는 기판 처리 장치.
기판을 처리하는 순서가 기재된 복수의 레시피를 포함하는 여러 가지 파일에 대해서, 상기 복수의 레시피에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 표시하는 기판 처리 장치의 표시 방법으로서,
상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 달리하도록 구성되어 있는 기판 처리 장치의 표시 방법.
기판을 처리하는 순서가 기재된 복수의 레시피를 포함하는 여러 가지 파일에 대해서, 상기 복수의 레시피에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 포함하는 기판 처리 장치로서,
상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 달리하도록 구성되어 있는 기판 처리 장치.
기판 처리 장치에 있어서 소정의 기능을 실행하기 위한 커맨드에 대해서, 상기 커맨드에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 표시하는 기판 처리 장치의 표시 방법으로서,
상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 달리하도록 구성되어 있는 기판 처리 장치의 표시 방법.
기판 처리 장치에 있어서 소정의 기능을 실행하기 위한 커맨드에 대해서, 상기 커맨드에 대응하는 조작 권한을 설정하는 권한 설정 화면을 표시하는 기판 처리 장치로서,
상기 권한 설정 화면은, 상기 기판 처리 장치의 가동 상태가 온라인시 또는 오프라인시 각각의 경우에 있어서, 상기 조작 권한을 달리하도록 구성되어 있는 기판 처리 장치.