JP5275641B2 - 基板処理装置、基板処理装置の表示方法、基板処理装置の制御方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハやガラス基板等を処理するための基板処理装置に関する。

この種の基板処理装置では、複数のファイルが扱われる。例えばプロセスレシピは、基板を処理するための詳細な手順等が記述されたファイルである。基板処理装置は、稼動している間、所定のレシピに記述された手順に基づいて基板を処理する。

一般に基板処理装置においては、ユーザの操作権限は、操作実行時に入力されるユーザ名及び当該ユーザに対応するパスワードで管理される。一方、基板処理装置を操作するユーザ（作業者）は、ライン担当者、メンテナンスエンジニア等があり、基板処理装置の稼動状態に応じて作業内容が異なる。例えばライン担当者は、オンライン時に基板処理装置を操作し、メンテナンスエンジニアは、オフライン時に基板処理装置を操作する。このように一般的に、半導体製造工場では、オンライン時に基板処理装置を操作するエンジニア（ライン担当者）とオフライン時に基板処理装置を操作する担当者（メンテナンスエンジニア、プロセスエンジニア）が区別されている。

しかしながら、上記従来の技術においては、基板処理装置の稼動状態に応じて操作権限を設定することができなかった。

本発明は、上記従来の問題を解消し、基板処理装置の稼動状態に対応して適切な処理を行うことができ、ひいては装置の稼働率の向上を実現することができる基板処理装置及び基板処理システムを提供することを目的とする。

本発明の特徴とするところは、基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルと、当該複数のレシピに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記各レシピに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピを編集するための編集画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理装置にある。

本発明によれば、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時である場合それぞれにおける各レシピに対する作業者の操作権限を設定することにより、基板処理装置の稼動状態に応じて適切な処理が行える。例えば、トラブルが発生した場合、ライン担当者に操作権限を与えず、メンテナンスエンジニアに操作権限を与えることで、トラブルの内容に応じた処理が行えるので、トラブル処理に費やす時間を短縮させ、もって生産性の向上を実現することができる。

図１は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０を含む基板処理システム１の構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理システム１は、基板処理装置１０及びホスト装置２０を有する。基板処理装置１０及びホスト装置２０は、例えばＬＡＮなどのネットワーク１２を介して接続されている。したがって、ホスト装置２０からの指示は、基板処理装置１０に対してネットワーク１２を介して送信される。なお、基板処理システム１には、複数の基板処理装置１０が含まれてもよい。

基板処理装置１０において、入出力装置１６は、基板処理装置１０と一体に、又はネットワーク１２を介して設けられており、操作表示画面１８を有する。操作表示画面１８には、ユーザ（作業者）により所定のデータが入力される入力画面及び装置の状況等を示す表示画面が表示される。また、基板処理装置１０内には、プロセス系コントローラ１４が設けられ、該プロセス系コントローラ１４により、基板処理装置１０内の各装置が制御される。

基板処理装置１０は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）に適用した場合について述べる。図２は、本発明に適用される基板処理装置の斜視図として示されている。また、図３は図２に示す基板処理装置の側面透視図である。

図２および図３に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の基板処理装置１０は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。なお、操作装置３０４については、後述するのでここでは省略する。

筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）および脱装（ディスチャージング）するように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。

図２に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

図２に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側およびボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置およびウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。

次に、本発明の基板処理装置１０の動作について説明する。
図２および図３に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。

搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。

ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体の外部へ払出される。

次に、基板処理装置１０の構成要素を制御する制御手段（メインコントローラ）について説明する。
図４は、制御手段（メインコントローラ）を中心としたハードウェア構成を示す。
メインコントローラは、プロセス系コントローラ１４と入出力装置１６とから構成される。プロセス系コントローラ１４は、ＣＰＵ１４０、ＲＯＭ（read-only memory）１４２、ＲＡＭ（random-access memory）１４４、入出力装置１６との間でのデータの送受信を行う送受信処理部１４６、温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、搬送制御部１５６、及び温度制御部１５０等とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部１４８を有する。ＣＰＵ１４０は、上述した入出力装置１６の操作表示画面１８で作成又は編集され、ＲＡＭ１４４等に記憶されているレシピに基づいて、基板を処理するための制御データ（制御指示）を、温度制御部１５０、ガス制御部１５２及び圧力制御部１５４に対して出力する。なお、ＣＰＵ１４０は、搬送制御部１５６に対しても同様に制御指示を出力する。また、これら制御部より送信されるデータを受信する。

ＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４には、シーケンスプログラム、複数のレシピや入出力装置１６より入力される入力データ、レシピのコマンド及びレシピ実行時の履歴データ等が格納される。なお、プロセス系コントローラ１４には、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等により実現される記憶装置（不図示）が含まれてもよく、この場合、該記憶装置には、ＲＡＭ１４４に格納されるデータと同様のデータが格納される。このように、ＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４は基板を処理する手順が記載されているレシピを記憶する記憶手段として用いられる。入力指示（入力データ）は、入出力装置１６の操作表示画面１８からの指示をいう。入力指示（入力データ）は、レシピを実行させる指示のほか、各ユーザの操作権限を設定する指示などがその一例として挙げられるが、これに限定されない。

入出力装置１６は、操作表示画面１８からのユーザ（作業者）の入力指示を受け付ける入力部１６０、ＲＡＭ１４４等に格納されているデータ等を表示する表示部１６２、入力部１６０に受け付けられた入力指示が後述する表示制御部１６４により送受信処理部１４６に送信されるまでの間記憶する一時記憶部１６６、入力部１６０からの入力指示を受け付け、該入力指示を表示部１６２もしくは送受信処理部１４６に送信する表示制御部１６４を有する。なお、後述するように、表示制御部１６４は、送受信処理部１４６を介してＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に格納された複数のレシピのうち任意のレシピをＣＰＵ１４０により実行させる指示（制御指示）を受け付けるようになっており、また表示部１６２は、表示制御部１６４からの指示により指示された任意のレシピを操作表示画面１８に表示するようになっている。さらに表示部１６２は、後述するように、ユーザ（作業者）の操作権限を設定するための権限設定画面やレシピを編集するための編集画面等を操作表示画面１８に表示する。

温度制御部１５０は、上述した処理炉２０２の外周部に設けられたヒータ３３８により該処理室２０２内の温度を制御する。ガス制御部１５２は、処理炉２０２のガス配管３４０に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）３４２からの出力値に基づいて処理炉２０２内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。圧力制御部１５４は、処理炉２０２の排気配管３４４に設けられた圧力センサ３４６の出力値に基づいてバルブ３４８を開閉することにより処理室２０２内の圧力を制御する。このように、温度制御部１５０等のサブコントローラは、ＣＰＵ１４０からの制御指示に基づいて基板処理装置１０の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。

例えば、入出力装置１６の操作表示画面１８を介して入力部１６０により、レシピを設定する為のデータや該レシピに対するユーザ（作業者）の操作権限等のデータ（入力データ）が入力されると、該入力データ（入力指示）は、記憶部１６６に格納されると共に表示制御部１６４を介して表示部１６２に表示され、さらに表示制御部１６４によりＰＭＣ１４の送受信処理部１４６に送信される。ＣＰＵ１４０は、該入力データをＲＡＭ１４４に格納し、例えばＲＯＭ１４２に格納されたレシピや該レシピに対するユーザ（作業者）の操作権限等の設定入力を確定させる。ＣＰＵ１４０は、シーケンスプログラムを起動し、該シーケンスプログラムに従って、例えばＲＡＭ１４４に格納されたレシピのコマンドを呼び込み実行することで、ステップが逐次実行され、Ｉ／Ｏ制御部１４８を介して温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、及び搬送制御部１５６に対して基板を処理するための制御指示が送信される。温度制御部１５０等のコントローラは、ＣＰＵ１４０からの制御指示に従って基板処理装置１０内の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。これにより、上述したウエハ２００の処理が行われる。

本実施形態における基板処理装置においては、ファイルの種類毎に、ユーザ（作業者）の操作権限が設定される。また、ファイルの種類毎に、複数のユーザを登録したグループの操作権限が設定される。例えば、種々のレシピのうちプロセスレシピについていえば、プロセスレシピに対して所定のグループの操作権限が編集可能に設定された場合、当該グループに登録された各ユーザは、プロセスレシピであるファイルの参照、編集を行なうことができる。なお、操作権限は、管理者（マスターユーザともいう）などの所定の作業者により設定される。

これら各ユーザの操作権限は、基板処理装置の稼動状態に対応して設定されることが好ましい。すなわち、オフライン時においては、ライン担当者等によるレシピ編集を許可し、オンライン時においては、ホストコンピュータからの指示により基板処理装置が稼動するのでレシピの内容を変更できないようにする必要がある。従い、ライン担当者等によるレシピ編集を禁止する。オンライン時であり且つトラブル発生時においては、例えばメンテナンスエンジニアによるレシピの編集を許可することが好ましい。

次に、基板処理装置１０に格納されている各レシピに対するユーザ（作業者）の操作権限の設定方法を図５乃至８に基づいて説明する。

図５は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えば管理者により操作されるユーザ設定画面３００を例示する図である。このユーザ設定画面３００には、ユーザ名、各ユーザの属するグループ名及び各ユーザに対応するパスワードが表示され、各項目を編集（更新、修正、入力等）できる。

図５に例示するように、ユーザ設定画面３００には、テーブル選択表示部３０２と、ユーザ設定テーブル３０４とが含まれる。テーブル選択表示部３０２は、複数の選択部３０６を有し、いずれかの選択部３０６を選択（押下）すると該選択部３０６に対応する所定数のユーザ設定テーブル３０４が表示されるようになっている。

ユーザ設定テーブル３０４には、グループ名と称されるユーザの属性を編集するためのグループ名設定部３０８、ユーザ名を編集するためのユーザ名設定部３１０及び各ユーザ名に対応するパスワードを入力するためのパスワード設定部３１２が含まれる。グループ名には、各ユーザの属するグループの名称、例えばプロダクト(Product)、エンジニア(Engineer)、メンテナンス(Maintenance)、リカバリー(Recovery)等が入力又は選択される。例えば、「プロダクト」にはライン担当者であるユーザが含まれ、「エンジニア」にはプロセスエンジニアであるユーザが含まれ、「メンテナンス」にはメンテナンスエンジニアであるユーザが含まれる。なお、グループ名の数は限定されず、グループ名の名称も必要に応じて任意に設定される。例えば、グループ名として、オンラインエンジニアや保守担当者等の名称を付与してもよい。ユーザ名は、ユーザの名称を表し、パスワードは、例えば英数字からなる文字列である。図５に示すように、例えば、管理者は、ユーザ名入力部３１０に「ユーザ１（ＵＳＥＲ１）」を入力し、グループ名入力部３０８に「プロダクト(Product)」を入力し、パスワード入力部３１２に「１」を入力する。

図６は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えば管理者により操作される権限設定画面４００を例示する図である。この権限設定画面４００においては、各レシピに対するユーザ（グループ）の操作権限が設定される。

図６に例示するように、権限設定画面４００には、対象のグループ名を選択するグループ選択部４０２と、複数のレシピ等を表示するファイル一覧表示部４０４と、これら複数のレシピそれぞれに対する当該グループの操作権限を入力する権限入力部４０６とが含まれる。グループ選択部４０２には、上述したユーザ設定テーブル３０４において設定された複数のグループ名が表示され、対象のグループ名を選択することができるようになっている。

ファイル一覧表示部４０４には、基板処理装置１０にファイルとして格納されている複数のレシピ等が一覧表示されるようになっている。なお、レシピに限らず、所定の処理をするためのファイルを表示するようにしてもよい。例えば、このファイル一覧表示部４０４には、プロセスレシピ、サブレシピ及びアラームレシピ等が表示される。なお、ファイル一覧表示部４０４は、表示切替ボタン４０８を有しており、レシピの一覧が一画面に表示できない場合には、必要に応じて切替表示又はスクロール表示させることができるようになっている。

権限設定部４０６には、オンライン権限設定部４１０と、オフライン権限設定部４１２とが含まれる。オンライン権限設定部４１０には、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン（オンラインリモート：ホスト装置２０等の管理装置からの指示により処理対象の基板処理装置１０が稼動する状態）である場合の各レシピに対するグループ（ユーザ）の操作権限が入力（選択）されるようになっている。オフライン権限設定部４１２には、基板処理装置１０の稼動状態がオフライン（非オンラインリモート）である場合の各レシピに対するグループ（ユーザ）の操作権限が入力（選択）されるようになっている。グループ（ユーザ）の操作権限は、各レシピに対して設定され、例えば「禁止(Inhibit)」、「参照可(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」及び「実行可(Exec)」のいずれかである。

ここで、禁止(Inhibit)とはレシピ等のファイルを編集及び参照を禁止する権限であり、参照可(ReadOnly)とはレシピ等のファイルを編集を禁止し参照を許可する権限であり、編集可(Edit)とはレシピ等のファイルを編集及び参照を許可する権限であり、実行可(Exec)とはレシピ等の実行（スタート）を許可する権限である。

また、権限設定画面４００には複数のボタンからなるボタン群４１４が含まれる。このボタン群４１４には例えば編集ボタン４１６、コマンドボタン４１８等が配置されている。尚、図６は、編集ボタン４１６が押下されているときの図面である。コマンドボタン４１８が押下されると、図示しないがファイル一覧表示部４０４にはコマンドとして格納されている複数のファイルが表示される。そして、権限設定画面４００上でコマンドボタンについても設定できるようになっている。

図７に示すように、権限設定画面４００において、編集ボタン４１２を選択し、さらに例えば所定のレシピに対応するオンライン権限入力部４１０又はオフライン権限入力部４１２を選択すると、選択画面４２０が表示されるようになっている。選択画面４２０において、例えば「禁止(Inhibit)」、「参照可(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」及びキャンセルのいずれかを選択できるようになっている。

例えば、管理者は、権限設定画面４００において、グループ名選択部４０２で「Default」を選択し、編集ボタン４１６を選択し、プロセスレシピに対応するオフライン権限入力部４１２を選択し、選択画面４２０において「参照可(ReadOnly)」を選択する。これにより、「Default」のグループに属するユーザに対し、オフライン時における基板処理装置１０側でのプロセスレシピの参照を許可する設定を行なうことができる。

また、例えば、権限設定画面４００において、グループ名選択部４０２で「エンジニア(Engineer)」又は「メンテナンス(Maintenance)」を選択し、選択画面４２０を介して所定のレシピに対応するオンライン権限設定部４１０に対し「編集可(Edit)」を選択すると、「エンジニア」又は「メンテナンス」のグループに属するユーザに対し、オンライン時における基板処理装置１０側での所定のレシピの参照及び編集を許可する設定を行なうことができる。

また、権限設定画面４００において、ユーザは、例えば、グループ名選択部４０２で「プロダクト(Product)」を選択し、選択画面４２０を介し所定のレシピに対応するオンライン権限設定部４１０に「参照可(ReadOnly)」又は「禁止(Inhibit)」を選択する。これにより、「プロダクト」のグループに属するユーザに対し、オンライン時における基板処理装置１０側での所定のレシピの編集を禁止する設定を行なうことができる。

図８に示すように、権限設定画面４００において、コマンドボタン４１８を選択し、さらに表示された所定のコマンドに対応するオンライン権限設定部４１０又はオフライン権限設定部４１２を選択すると、選択画面４２０が表示されるようになっている。選択画面４２０において、例えば「禁止(Inhibit)」、「実行可(Exec)」及びキャンセルのいずれかを選択できるようになっている。ここで、「プロダクト」のグループに属するユーザに対し、オンライン権限設定部４１０を選択して、所定のコマンドのうち搬送コマンドを「禁止（(Inhibit)」することで、搬送コマンドボタンを表示させない（もしくは操作できない）ようにすることができる。これにより、オンライン時におけるフープ１１０の投入などを実施させないようにすることができる。

例えば、管理者は、権限設定画面４００において、グループ名選択部４０２で「Default」を選択し、コマンドボタン４１８を選択し、ファイルメンテナンスのコマンドに対応するオフライン権限設定部４１２を選択し、選択画面４２０において「実行可(Exec)」を選択する。これにより、「Default」のグループに属するユーザに対し、オフライン時における基板処理装置１０側でのファイルメンテナンスの実行を許可する設定を行なうことができる。この場合、ファイルメンテナンスを実行するためのコマンドボタンが画面に表示される。
尚、ここでファイルメンテナンスとは、ハードディスク内とフロッピィディスク等の外部記憶メディアとの間のファイルコピーやシステムに設定されているファイルのバックアップ等、本装置で取り扱うファイルのメンテナンス作業を行うための機能である。

以上のように、権限設定画面４００は、ＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に記憶された所定のレシピに対するユーザ（作業者）の操作権限を設定する設定画面として用いられる。

図９は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えばユーザ（作業者）により操作されるメイン画面５００を例示する図である。

図９に示すように、メイン画面５００には、ログインボタン５０２、編集ボタン５０４及びレシピや基板を処理するための諸条件（例えば温度条件、圧力条件など）を表示する条件表示部５０６ａ〜５０６ｇが含まれる。

ログイン画面６００は、ログインボタン５０２を選択（押下）することによりメイン画面５００上に表示される。このログイン画面６００には、ユーザ名を入力するためのユーザ名入力部６０２と、このユーザ名に対応するパスワードを入力するためのパスワード入力部６０４と、ログインを実行するためのログインボタン６０６と、ログインをキャンセルするためのキャンセルボタン６０８とが含まれる。ユーザは、ログイン画面６００において、ユーザ名入力部６０２にユーザ名を入力し、パスワード入力部６０４にパスワードを入力し、ログインボタン６０６を押下することによりログインを行なう。

ログイン後に編集ボタン５０４を選択すると、後述する編集メニュー画面７００が表示される。したがって、所定のレシピを編集（又は参照）する毎にユーザ名とパスワードを入力する必要がなくなる。これにより、レシピを編集（又は参照）する際の操作時間が低減される。

図１０は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えばユーザ（作業者）により操作される編集メニュー画面７００を例示する図である。この編集メニュー画面７００は、上述したメイン画面５００の編集ボタン５０４を選択すると表示される。

編集メニュー画面７００には、例えばレシピ選択部７０２、温度設定選択部７０４及び圧力設定選択部７０６等が含まれる。レシピ選択部７０２には、例えばプロセスレシピ選択ボタン７１０、サブレシピ選択部７１２及びアラームレシピ選択部７１４等が表示されている。これらプロセスレシピ選択ボタン７１０、サブレシピ選択部７１２及びアラームレシピ選択部７１４等は、上述した権限設定画面４００の権限入力部４０６において、「参照可(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」及び「実行可(Exec)」が選択されている場合に表示されるようになっている。すなわち、ＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に記憶されている複数のレシピのうち、権限入力部４０６において「禁止(Inhibit)」が選択されているレシピは編集メニュー画面７００上に表示されないようになっている。

上述した編集メニュー画面７００においてプロセスレシピ選択ボタン７１０を押下（選択）すると図示しないレシピ編集メニュー画面が表示される。

レシピ編集メニュー画面には、例えばプロセスレシピボタン、バリアブルパラメータボタン及びレシピデータ範囲チェックパラメータボタン等が表示される。

上述したレシピ編集メニュー画面８００においてプロセスレシピボタンを選択すると図示しないプロセスレシピ一覧画面が表示される。

プロセスレシピ一覧表示画面は、プロセスレシピに関する複数のレシピの一覧を表示し、それぞれのレシピに対するファイル名（レシピ名）、編集日時、編集者及びコメント等の属性を表示する。このプロセスレシピ一覧表示画面には、例えば、編集者ＡＢＣにより編集されたファイルＡＡＡ、編集者ＥＦＧにより編集されたファイルＢＢＢ等が表示されている。このプロセスレシピ一覧表示画面に表示されたファイル名を選択すると該ファイルに応じたレシピ編集画面９００（図１１を用いて後述）が表示されるようになっている。

図１１は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作表示画面１８として表示され、例えばユーザ（作業者）により操作されるレシピ編集画面９００を例示する図である。このレシピ編集画面９００は、上述したプロセスレシピ一覧表示画面に表示された所定のファイル名（レシピ名）を選択すると表示される。このレシピ編集画面９００においては、所定のレシピの詳細内容が表示され、また、所定のレシピの編集（更新）等の指示が入力されるようになっている。本図においては、上述したプロセスレシピ一覧表示画面８５０においてレシピ名ＡＡＡが選択された状態を示している。

図１１に示すように、レシピ編集画面９００には、レシピ名表示部９０２、保存ボタン９０４及びレシピや基板を処理するための諸条件を編集する複数入力部、例えば、反応ガスなどの流量を設定する流量条件入力部９０６、炉内温度等を設定する温度条件入力部９０８、炉内圧力等を設定する圧力条件入力部９１０、レシピの各ステップを設定するステップ入力部９１２等が含まれる。ユーザは、レシピ編集画面９００において、レシピ名表示部９０２に表示されたレシピ（例えばレシピＡＡＡ）における各条件やコマンド等を各入力部に入力し、保存ボタン９０２を押下することにより、該レシピを更新する。

以上のように、レシピ編集画面９００は、権限設定画面４００を介して設定された操作権限に基づいてＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に記憶されたレシピを編集する編集画面として用いられる。また、入出力装置１６は、権限設定画面４００とレシピ編集画面９００とを表示する表示手段として用いられ、入出力装置１６により表示された権限設定画面４００を介して、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において操作権限を設定可能となっている。従って、オンライン時とオフライン時ではレシピ編集画面９００上で編集できる項目が異なる。また、レシピ編集画面９００では、レシピＡＡＡを編集したユーザに設定されている操作権限によって、項目名（ＭＦＣ、温度、圧力等）を表示するかどうかで区別しているが、操作権限がない項目については、画面に表示させないのが好ましい。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の制御方法を実現する制御プログラム８０を説明する。図１２は、基板処理装置１０のプロセス系コントローラ１４上で動作する制御プログラム８０の構成を示す図である。

図１２に示すように、制御プログラム８０は、ユーザインタフェース（ＵＩ）部８２、画面表示部８４、権限設定部８６、表示制御部８８、レシピ記憶部９０、権限記憶部９２及びユーザ情報記憶部９４を有する。制御プログラム８０は、例えば、ネットワークを介してホスト装置２０からプロセス系コントローラ１４に供給され、ＲＡＭ１４４にロードされて、図示しないＯＳ上でＣＰＵ１４０により実行される。なお、制御プログラム８０は、ＦＤ、ＣＤ又はＤＶＤなどの記憶媒体を介して供給されてもよいし、入出力装置１６を介して入力されてもよい。

制御プログラム８０において、レシピ記憶部９０は、ファイルとして実現され、基板を処理する手順が記載されている複数のレシピを記憶する。レシピ記憶部９０は、ＲＡＭ１４４及び図示しないＨＤＤの少なくともいずれかにより実現される。

ユーザ情報記憶部９４は、ユーザ情報（ユーザ名、該ユーザの属するグループ名及びパスワード等）を記憶する。このユーザ情報記憶部９４は、レシピ記憶部９０と同様にして実現される。

権限記憶部９２は、レシピ記憶部９０に記憶される各レシピに対する各ユーザの操作権限を記憶する。より具体的には、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合それぞれにおける各レシピに対する各ユーザの操作権限を記憶する。この権限記憶部９２は、レシピ記憶部９０と同様にして実現される。

画面表示部８４は、入出力装置１６により操作表示画面１８にユーザ設定画面３００（図５）を表示させ、このユーザ設定画面３００を介した入力、すなわちユーザ情報（ユーザ名、該ユーザの属するグループ名及び該ユーザに対応するパスワード）を受け付けて、ユーザ情報記憶部９４に出力する。また、画面表示部８４は、入出力装置１６により操作表示画面１８に権限設定画面４００（図６）を表示させ、この権限設定画面４００を介した入力、すなわち各レシピに対する各ユーザの操作権限を受け付けて、権限記憶部８６に出力する。また、画面表示部８４は、後述する権限設定部８６により設定された操作権限を権限設定画面４００に表示する。

表示制御部８８は、入出力装置１６により操作表示画面１８にログイン画面６００（図９）を表示させ、このログイン画面を介した入力、すなわちユーザ情報（ユーザ名及び該ユーザに対応するパスワード）を受け付けて、権限設定部９２に出力する。

権限設定部９２は、表示制御部８８より出力されたユーザ情報とユーザ情報記憶部９４に記憶されているユーザ情報とを比較し、入力されたユーザ名がユーザ情報記憶部９４に存在し、かつ入力されたパスワードが正しいか否かを判定する。さらに、権限設定部８６は、判定した結果をユーザ照合情報として表示制御部８８に出力する。

また、権限設定部８６は、レシピ記憶部９０に記憶されたレシピと、権限記憶部９２に記憶されている該ユーザ（該ユーザの属するグループ）の操作権限情報と、基板処理装置１０の稼動状態とに基づいて、該ユーザの操作権限を設定する。より具体的には、権限設定部９２は、画面表示部８４により表示された権限設定画面４００を介して入力された操作権限情報と、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合とに基づいて、該ユーザの操作権限を設定し、権限設定情報として表示制御部８８に出力する。すなわち、権限設定部８６は、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合、画面表示部８４により表示された権限設定画面４００を介して、それぞれの操作権限を設定可能としている。このようにして、権限設定部８６は、レシピに対するユーザ（作業者）の操作権限を設定する操作権限設定手段を構成する。

また、表示制御部８８は、権限設定部８６より出力された権限設定情報を受け付けると、該権限設定情報に基づいて、入出力装置１６により操作表示画面１８にレシピ編集画面９００（図１２）の表示を制御する。すなわち、表示制御部８８は、権限設定部８６により表示された権限設定画面４００を介して設定された操作権限と、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合とに基づいて、レシピ記憶部９０に記憶されている所定のレシピの詳細な表示又は該レシピの編集を許可するか否かを決定する。

また、表示制御部８８は、権限設定部８６より出力されたユーザ照合情報に基づいて、レシピ編集画面９００の表示を制御する。具体的には、表示制御部８８は、ログイン画面６００に入力されたユーザ名又はパスワードがユーザ情報記憶部９４に記憶されているユーザ情報と一致しない場合には、入出力装置１６により操作表示画面１８にレシピ編集画面９００を表示させないようにする。このようにして、表示制御部８８は、画面表示部８４により表示された権限設定画面４００を介して設定された操作権限に基づいて、レシピ記憶部９０に記憶されているレシピを編集するためのレシピ編集画面９００を表示する表示手段を構成する。

ＵＩ部８２は、入出力装置１６に対するユーザの操作を受け入れ、制御プログラム８０の各構成部分に対して出力する。また、ＵＩ部８２は、制御プログラム８０の各構成部分により作成された情報・データ及び各構成部分の処理内容などを、入出力装置１６に対して出力する。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の制御処理を説明する。
図１３は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０によるユーザ（操作者）の操作権限に基づく表示制御処理Ｓ１０を示すフローチャートである。

図１３に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、ＰＭＣ１４上で動作する制御プログラム８０の表示制御部８８は、入出力装置１６により操作表示画面１８にログイン画面６００を表示させる。表示制御部８８は、このログイン画面６００を介した入力、すなわち、ユーザ名及びこのユーザ名に対応するパスワードを受け付ける。

ステップ１０２（Ｓ１０２）において、権限設定部８６は、入力されたユーザ名が存在するか否かを判定する。具体的には、権限設定部８６は、ログイン画面６００を介して入力されたユーザ名がユーザ情報記憶部９４に記憶されているものと同一か否かを判定し、同一であると判定した場合にはステップ１０４（Ｓ１０４）の処理に移行し、同一でないと判定した場合はステップ１０６（Ｓ１０６）の処理に移行する。

ステップ１０４（Ｓ１０４）において、権限設定部８６は、入力されたユーザ名に対して該当する操作権限をセットする。具体的には、権限設定部８６は、ログイン画面６００に入力されたユーザ名に対して権限記憶部９２に記憶されたユーザ（ユーザの属するグループ）の操作権限を設定する。より具体的には、権限設定部８６は、ログイン画面６００に入力されたユーザ名に対して、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン時又はオフライン時である場合それぞれにおける各レシピに対するユーザの操作権限を設定する。

ステップ１０６（Ｓ１０６）において、権限設定部８６は、入力されたユーザ名に対して操作権限を「禁止(Inhibit)」にセットする。より具体的には、権限設定部８０４は、図６に示すように、入力されたユーザ名の属するグループを「デフォルト(Default)」に設定し、すべてのレシピに対する操作権限を「禁止(Inhibit)」とする。

ステップ１０８（Ｓ１０８）において、表示制御部８８は、権限設定部９２により設定された操作権限に基づいてレシピ編集画面９００の表示を制御する。より具体的には、表示制御部８８は、権限設定部８６により設定された各レシピに対するユーザ（グループ）の操作権限と、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン又はオフラインである場合とに基づいて、レシピ編集画面９００を表示するか、又は表示したレシピの編集を許可するか否かを決定する。例えば、表示制御部８８は、入力されたユーザ名の属するグループの操作権限が、プロセスレシピに対して、オンラインである場合に「禁止(Inhibit)」、オフラインである場合に「編集可(Edit)」が設定されている場合、基板処理装置１０の稼動状態がオフラインである場合に限り、入出力装置１６により操作表示画面１８にレシピ編集画面９００を表示させ、当該ユーザによるプロセスレシピの編集（更新）を許可する。
本実施形態では、「デフォルト（Default）」を設け、入力されたユーザ名の登録がない場合でもログイン処理を可能にしているが、「デフォルト（Default）」は必ずしも設ける必要はなく、ユーザ名の登録がない場合、ログイン処理を不可とする形態でも構わない。

具体的な実施例を記述する。例えば、図８に示される所定のコマンドにおける権限設定画面４００上で、ファイルメンテナンスの権限設定がオンライン時に「禁止（Inhibit）」、オフライン時に「実行可（Exec）」と設定することにより、オンライン時に基板処理装置１０が自動運転されている最中に、基板の処理に全く関係のないファイルメンテナンス処理が行われることがない。つまり、メインコントローラに余計な負荷を掛けなくて済む。
例えば、ユーザＡがライン担当者（オンライン担当者）であり、ユーザＢがプロセスエンジニア（オフライン担当者）とする。ユーザＡが図８に示される所定のコマンドにおける権限設定画面４００上で、搬送コマンド及びＰＭコマンドの権限設定がオンライン時もオフライン時もそれぞれ「禁止（Inhibit）」と設定される。一方、ユーザＢは、オンライン時は自動運転されており、ホスト装置２０に指定されるプロセスレシピが実行されているので、「禁止（Inhibit）」と設定されるが、オフライン時には、「実行可（Exec）」と設定される。次に、ユーザＡが図６に示される所定のレシピにおける権限設定画面４００上で、プロセスレシピの権限設定がオンライン時もオフライン時もそれぞれ「禁止（Inhibit）」もしくは「参照可（Readonly）」と設定されるのに対し、ユーザＢは、オンライン時は自動運転されているので「禁止（Inhibit）」もしくは「参照可（Readonly）」と設定されるが、オフライン時には、「編集可（Edit）」と設定される。このようにしておけば、オフライン時にマニュアルでのプロセスが可能（基板の搬送やレシピの実行が可能）となり、特に装置のセットアップ時に行うプロセスのテスト運転が権限のない人が操作を行えないようにしているので安全に行える。また、オンライン時にホスト装置２０が指定したプロセスレシピをダウンロードしているのに関らず、操作表示画面１８上でプロセスレシピを編集しダウンロードしてしまい発生するエラーを防止できる。
例えば、ユーザＡがライン担当者（オンライン担当者）であり、ユーザＢがメンテナンスエンジニア（オフライン担当者）であれば、ユーザＡが図８に示される所定のコマンドにおける権限設定画面４００上で、搬送コマンドの権限設定がオンライン時もオフライン時もそれぞれ「禁止（Inhibit）」と設定されるのに対し、ユーザＢは、オンライン時は自動運転されているので「禁止（Inhibit）」と設定されるが、オフライン時には、「実行可（Exec）」と設定される。このように設定しておけば、メンテナンス時にボートや反応管の洗浄の為の交換や移載機のティーチングなどの作業を手動で安全に行うことができる。また、トラブル発生時に割れた基板の回収なとの復旧処理を手動で安全に行うことができる。

以上のように、本発明によれば、入出力装置１６の操作表示画面１８を介して、基板処理装置１０の稼動状態がオンライン時又はオフライン時である場合それぞれにおけるユーザ（操作者）の操作権限を設定することができる。これにより、基板処理装置１０の稼動状態がオンラインであり且つトラブル発生時においても、所定のユーザ、例えばメンテナンスやエンジニア等のグループに属するユーザ（メンテナンスエンジニア、プロセスエンジニア）に対して通常は許可されていないレシピの編集やスタートを許可することが可能となる。したがって、トラブルにたいして基板処理装置１０側で迅速に対応することができ、トラブル処理に費やす時間を短縮させ、もって生産性の向上を実現することができる。一方、基板処理装置１０の稼動状態がオンラインである場合において、例えばプロダクトに属するユーザ（ライン担当者）のレシピの編集やスタートを禁止することも可能となり、誤操作等によるトラブルの発生を防止することができる。

なお、本発明は、基板処理装置として、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置でも適用することができる。成膜処理には、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理等を含む。また、本実施形態では、縦型処理装置について記載したが、枚葉装置についても同様に適用することができる。又、複数の基板処理装置と、各基板処理装置を管理する装置とを組み合わせたシステム又は管理装置にも適用できる。

本発明は、半導体ウエハやガラス基板等を処理するための基板処理装置において、トラブル発生時に費やす時間を短縮させる必要のあるものに利用することができる。

なお、本発明は、特許請求の範囲に記載した以外に次の実施形態を含む。
（１）基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルと、当該複数のレシピに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記各レシピに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピを編集するための編集画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理システム。
（２）前記複数のレシピのうち製品基板を製造するためのレシピ（プロセスレシピ）については、オンライン時に編集できないように設定されている（１）の基板処理システム。
（３）基板処理装置における所定の機能を実行するためのコマンドと、当該コマンドに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記コマンドに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、当該権限設定画面を介して設定された操作権限に基づいて前記記憶手段に記憶されているコマンドを実行するための機能画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理システム。
（４）前記コマンドは、オンライン時に実行できないように設定されている（３）記載の基板処理システム。
（５）前記ユーザが所属するグループをユーザＩＤ及びパスワードに応じて予め設定したグループパラメータを有し、前記グループ毎に前記ユーザの権限を設定可能とすることを特徴とする（１）乃至（４）いずれか記載の基板処理システム。
（６）各レシピは、オンライン時とオフライン時でそれぞれ異なる設定がなされる（１）又は（２）記載の基板処理システム。
（７）前記コマンドは、オンライン時とオフライン時でそれぞれ異なる設定がなされる（３）又は（４）記載の基板処理システム。

本発明の実施形態に係る基板処理装置を含む基板処理システムの構成を示す図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置の斜視図を示す図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置の側面透視図を示す。 本発明の実施形態に係る基板処理装置の制御手段を中心としたハードウェア構成を示す。 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示されるユーザ設定画面を例示する図である。 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示される権限設定画面を例示する図である。 選択画面を介して権限設定画面における所定レシピの権限の設定を説明する図である。 選択画面を介して権限設定画面における所定コマンドの権限の設定を説明する図である。 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示されるログイン画面を例示する図である。 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示される編集メニュー画面を例示する図である。 基板処理装置の入出力装置に操作表示画面として表示されるレシピ編集画面を例示する図である。 基板処理装置のプロセス系コントローラ上で動作する制御プログラムの構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置による操作権限に基づく表示制御処理を示すフローチャートである。

符号の説明

１０ 基板処理装置
１６ 入出力装置
１８ 操作表示画面
１４２ ＲＯＭ
１４４ ＲＡＭ
４００ 権限設定画面
９００ レシピ編集画面

Claims (7)

1. 基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルと、当該複数のレシピに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、
   前記各レシピに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、前記記憶手段に記憶されているレシピを編集するための編集画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理装置であって、
   前記権限設定画面は、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記ユーザの操作権限をそれぞれ異なる設定にできるよう構成され、
   前記表示手段は、前記複数のレシピのうち製品基板を製造するためのレシピについては、前記レシピを前記編集画面上で編集する操作権限を有するユーザであっても、オンライン時に編集できないように前記編集画面を表示させないよう構成されている基板処理装置。
2. 基板処理装置における所定の機能を実行するためのコマンドと、当該コマンドに対応するユーザの操作権限と、を記憶する記憶手段と、
   前記コマンドに対する前記ユーザの操作権限を設定する権限設定画面と、当該権限設定画面を介して設定された操作権限に基づいて前記記憶手段に記憶されているコマンドを実行するための機能画面と、を表示する表示手段と、を有する基板処理装置であって、
   前記権限設定画面は、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記ユーザの操作権限をそれぞれ異なる設定にできるよう構成され、
   前記表示手段は、前記機能画面上で前記コマンドを実行する操作権限を有するユーザであっても、オンライン時に前記コマンドを実行できないように前記機能画面を表示させないよう構成されている基板処理装置。
3. 前記記憶手段は、ユーザＩＤ及びパスワードに応じて、前記ユーザが所属するグループを予め設定したグループパラメータを更に有し、前記グループ毎に前記ユーザの権限を設定可能とする請求項１又は請求項２記載の基板処理装置。
4. 基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルに対して、前記複数のレシピに対応するユーザの操作権限を設定する権限設定画面、又は前記レシピを編集する編集画面を表示する基板処理装置の表示方法であって、
   基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記ユーザの操作権限をそれぞれ異なる設定にできるよう構成されている前記権限設定画面を表示し、
   前記複数のレシピのうち製品基板を製造するためのレシピについては、前記レシピを前記編集画面上で編集する操作権限を有するユーザであってもオンライン時に編集できないように前記編集画面を表示させない基板処理装置の表示方法。
5. 基板処理装置における所定の機能を実行するためのコマンドに対して、前記コマンドに対応するユーザの操作権限を設定する権限設定画面、又は当該権限設定画面を介して設定された操作権限に基づいて前記コマンドを実行する機能画面を表示する基板処理装置の表示方法であって、
   基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記ユーザの操作権限をそれぞれ異なる設定にできるよう構成されている前記権限設定画面を表示し、
   前記コマンドを前記機能画面上で実行する操作権限を有するユーザであっても、オンライン時に前記コマンドを実行できないように前記機能画面を表示させない基板処理装置の表示方法。
6. 基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルに対して、前記複数のレシピに対応する操作権限を設定する工程と、前記レシピを編集する工程と、で少なくとも構成される基板処理装置の制御方法であって、
   前記操作権限を設定する工程では、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、操作権限をそれぞれ異なる設定にできるよう構成され、
   前記レシピを編集する工程では、前記複数のレシピのうち製品基板を製造するためのレシピについて、前記レシピを前記編集画面上で編集する操作権限を有するユーザであっても、オンライン時に編集できないように前記編集画面を表示させないよう構成される基板処理装置の制御方法。
7. 基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含む種々のファイルに対して、オンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、前記複数のレシピに対応する操作権限を設定する工程と、前記レシピを編集する工程と、前記レシピに記述された手順に基づいて基板を処理する工程と、で少なくとも構成される半導体装置の製造方法であって、
   前記操作権限を設定する工程では、基板処理装置の稼動状態がオンライン時又はオフライン時それぞれの場合において、操作権限をそれぞれ異なる設定にできるよう構成され、
   前記レシピを編集する工程では、前記複数のレシピのうち製品基板を製造するためのレシピについて、前記レシピを前記編集画面上で編集する操作権限を有するユーザであってもオンライン時に編集できないように前記編集画面を表示させないよう構成される半導体装置の製造方法。

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