KR20080088481A

KR20080088481A - 치수 측정 장치 및 치수 측정 방법

Info

Publication number: KR20080088481A
Application number: KR1020080028695A
Authority: KR
Inventors: 요시또 사까이; 다모쯔 아시다
Original assignee: 카야바 고교 가부시기가이샤
Priority date: 2007-03-29
Filing date: 2008-03-28
Publication date: 2008-10-02
Also published as: KR100904935B1; US7587840B2; MX2008004043A; JP2008249352A; CN101275828A; EP1975552A3; US20080235971A1; CN101275828B; EP1975552A2; JP4991365B2

Abstract

피측정물(2)의 치수를 측정하는 치수 측정 장치(1)이며, 피측정물(2)을 반송하는 반송 수단(5)과, 피측정물(2)이 반송되는 반송 영역(10, 11) 내의 온도를 제어하는 온도 제어 수단과, 반송 영역(10, 11)에 있어서의 측정부(6)에 반송된 피측정물(2)의 치수를 측정하는 치수 측정 수단(15)과, 치수 측정 수단(15)에 의한 치수 측정시의 피측정물(2)의 온도를 측정하는 온도 측정 수단(14)을 구비하고, 치수 측정 수단(15)에 의해 측정된 피측정물(2)의 치수는, 온도 측정 수단(14)에 의해 측정된 온도를 이용하여, 미리 정해진 기준 온도에 있어서의 치수로 보정된다.

피측정물, 반송 수단, 치수 측정 장치, 치수 측정 수단, 반송 영역

Description

치수 측정 장치 및 치수 측정 방법{DIMENSION MEASURING APPARATUS AND DIMENSION MEASURING METHOD}

본 발명은 피측정물의 치수를 측정하는 치수 측정 장치 및 치수 측정 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 피측정물(제품)의 측정은 공장 내에서 행해진다. 피측정물의 측정을 공장 내에서 행하는 경우, 공장 내의 온도에 따라 피측정물의 온도도 변하기 때문에, 측정시의 공장 내 온도에 따라 측정치에 오차가 생긴다(일본 특허 공개 평9-113202호 공보).

이와 같이, 피측정물의 계측을 온도와 무관하게 행하는 경우에는 피측정물의 치수 정밀도의 평가를 적확하게 행할 수 없다.

본 발명은 상기한 문제점에 비추어 이루어진 것으로, 피측정물의 치수 정밀도의 평가를 적확하게 행할 수 있는 치수 측정 장치 및 치수 측정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 피측정물의 치수를 측정하는 치수 측정 장치이며, 피측정물을 반송하는 반송 수단과, 피측정물이 반송되는 반송 영역 내의 온도를 제어하는 온도 제어 수단과, 상기 반송 영역에 있어서의 측정부에 반송된 피측정물의 치수를 측정하는 치수 측정 수단과, 상기 치수 측정 수단에 의한 치수 측정시의 피측정물의 온도를 측정하는 온도 측정 수단을 구비하고, 상기 치수 측정 수단에 의해 측정된 피측정물의 치수는, 상기 온도 측정 수단에 의해 측정된 온도를 이용하여, 미리 정해진 기준 온도에 있어서의 치수로 보정된다.

본 발명에 의하면, 베인 펌프에 있어서, 워크의 치수 정밀도의 평가가 마스터의 기준 치수와의 차이를 기초로 하여 정확하게 행해지므로, 이후 조립 공정에서 부품간 매칭성이 향상되어 베인 펌프의 품질이 향상되는 효과가 있다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.

도1 및 도2를 참조하여, 본 발명의 실시 형태의 치수 측정 장치(1)에 대해 설명한다.

치수 측정 장치(1)는, 워크(피측정물)의 치수를 측정하는 동시에 워크의 치수 정밀도를 평가하는 장치이다.

본 실시 형태에 있어서의 워크는, 베인 펌프에 있어서의 베인을 유지하는 로터(2a) 및 로터(2a)가 수용 장착되는 캠 링(2b)이다. 이하에서는, 로터(2a)와 캠 링(2b)의 쌍방을 총칭하는 경우에는 워크(2)라 기재한다.

치수 측정 장치(1)는, 워크(2)를 반송하는 컨베이어(5)(반송 수단)와, 워크(2)의 치수 및 온도를 측정하는 측정부[6(6a, 6b)]와, 치수 정밀도에 따라 분류된 워크(2)를 수용하는 수용부(7)를 구비한다.

워크(2)는, 치수 측정 장치(1)에 투입되기 전에 치수 측정 장치(1) 근방에 배치된 세정기(도시 생략)에 의해 온수 세정되고, 그 후, 입구부(9)로부터 컨베이어(5)에 투입된다. 컨베이어(5)는 온수 세정된 로터(2a)와 캠 링(2b)을 각각 별개로 측정부(6)로 반송하는 것으로, 로터(2a)를 반송하는 제1 컨베이어(5a)와, 캠 링(2b)을 반송하는 제2 컨베이어(5b)로 이루어진다.

컨베이어(5)와 측정부(6)는 밀폐된 공간인 반송 영역 내에 수용된다. 그 반송 영역은, 도2에 도시하는 바와 같이, 입구부(9)로부터 컨베이어(5)에 투입된 워크(2)를 강제적으로 냉각하기 위한 냉각 영역(10)과, 냉각 영역(10)에서 냉각된 워크(2)의 온도를 균일하게 하기 위한 균일화 영역(11)으로 구획되어 있다.

도1에 도시하는 바와 같이, 제1 컨베이어(5a)와 제2 컨베이어(5b)는, 냉각 영역(10) 내에서는 입구부(9)로부터 단부까지 평행하게 연장되고, 단부에서 되접어 꺾여 균일화 영역(11)으로 연장 설치된다. 그리고, 제1 컨베이어(5a)는, 균일화 영역(11)에서는 반대 단부까지 연장되고, 그 반대 단부에서 되접어 꺾여 로터(2a)의 측정을 행하는 측정부(6a)에 도달한다. 또한, 제2 컨베이어(5b)는, 균일화 영역(11)에서는 중앙 부근에서 되접어 꺾이는 동시에, 단부에서 다시 되접어 꺾여 캠 링(2b)의 측정을 행하는 측정부(6b)에 도달한다.

이와 같이, 제1 컨베이어(5a)와 제2 컨베이어(5b)는 냉각 영역(10) 및 균일화 영역(11) 내에서 사행하여 형성된다.

냉각 영역(10) 내는, 컨베이어(5)의 상류측으로부터 하류측을 향해 냉풍을 보내는 냉각 팬(도시 생략)에 의해 온도 제어된다(온도 제어 수단). 구체적으로는, 냉각 영역(10) 내의 온도는, 냉각 팬에 의해 20 ℃ 정도로 제어된다.

또한, 컨베이어(5)의 상류측으로부터 하류측을 향해 냉풍을 보내는 방법에서는, 워크(2)는 상류측에서는 급랭되지만, 하류측에서는 냉각되기 어렵다. 따라서, 냉각 영역(10)에 있어서의 컨베이어(5)의 중류 부근에 냉각 팬을 또 하나 배치하고, 상류측의 냉각 팬으로부터의 공기를 도입하여, 냉풍을 다시 하류측을 향해 보내도록 구성하면, 효율적으로 워크(2)를 냉각할 수 있다.

균일화 영역(11) 내는, 균일화 영역(11) 내의 공기를 빨아들이는 동시에, 온도 조정된 공기를 균일화 영역(11) 내에 불어내는 온도 조정 팬(도시 생략)에 의해 온도 제어된다(온도 제어 수단). 구체적으로는, 균일화 영역(11) 내의 온도는, 온도 조정 팬에 의해 22 ℃ 정도로 제어된다.

이와 같이, 세정기에 의해 40 내지 50 ℃ 정도로 상승한 워크(2)는, 냉각 영역(10)을 이동하는 중에 20 ℃ 정도로 급랭되고, 그 후, 균일화 영역(11)을 이동하는 중에 22 ℃ 정도로 균일하게 되어 안정된 상태로 된다.

또한, 제1 컨베이어(5a)와 제2 컨베이어(5b)가 사행하여 형성됨으로써, 워크(2)는, 냉각 영역(10) 및 균일화 영역(11) 내를 시간을 들여 진행하기 때문에, 냉각 영역(10) 및 균일화 영역(11) 내에서 설정된 온도로 제어되기 쉽다. 특히, 냉각 영역(10)에 의한 워크(2)의 급랭에 의해 워크(2)의 온도에 변화가 생긴 경우, 급랭에 의한 워크(2)의 수축량이 부위에 따라 달라져 버린다. 그러나, 이와 같은 경우에도, 워크(2)의 온도의 변화는 균일화 영역(11)을 진행하는 중에 서서히 해소되어, 측정부(6)에 도달한 시점에서는 워크(2)의 온도 및 형상은 안정된 것으로 된다.

컨베이어(5)에 의해 반송된 로터(2a) 및 캠 링(2b)의 측정을 행하는 측정부(6a) 및 측정부(6b)는, 워크(2)의 온도를 측정하는 온도 측정부(14)(온도 측정 수단)와, 워크(2)의 치수를 측정하는 치수 측정부(15)(치수 측정 수단)를 구비한다. 또한, 측정부(6a)에는, 로터(2a)의 치수 정밀도를 평가할 때에 기준으로 되는 로터 마스터(16a)(기준재)가 배치되고, 측정부(6b)에는, 캠 링(2b)의 치수 정밀도를 평가할 때에 기준으로 되는 캠 링 마스터(16b)(기준재)가 배치되어 있다. 이하에서는, 로터 마스터(16a) 및 캠 링 마스터(16b)를 총칭하는 경우, 마스터(16)라 기재한다. 또한, 온도 측정부(14), 치수 측정부(15) 및 마스터(16)는, 모두 균일화 영역(11) 내에 배치되어 있다.

온도 측정부(14)에서는, 열전대 등의 접촉식 온도계를 이용하여 워크(2)의 온도 측정이 행해진다.

치수 측정부(15)에서는, 측정 부위가 모든 워크(2)에 있어서 동일하게 되도록 위치 결정된 상태에서 워크(2)의 치수 측정이 행해진다. 본 실시 형태에서는, 로터(2a) 및 캠 링(2b)의 두께가 측정된다. 워크(2)의 치수 측정 방법에 대해서는 후술한다.

마스터(16)에 대해서도, 온도와 치수(두께)가 측정되고, 그 측정된 온도와 치수가 워크(2)의 치수 정밀도를 평가할 때의 기준 온도, 기준 치수로 된다. 마스터(16)는, 워크(2)의 기종이 변경되었을 때에는, 그 기종에 대응하는 마스터로 변경되는 동시에, 변경된 마스터의 기준 온도와 기준 치수가 측정된다. 또한, 동일한 기종의 워크(2)를 연속하여 계측하는 경우에는, 소정 조건을 만족시킨 경우에, 마스터(16)의 기준 온도와 기준 치수의 재측정이 행해진다. 이 소정 조건으로서는, 전회의 측정으로부터 소정 시간 경과한 경우나, 측정된 워크(2)의 온도와 마스터(16)의 기준 온도와의 온도차가 소정 이상으로 된 경우 등이다.

마스터(16)의 기준 온도 및 기준 치수를 기초로 하여 워크(2)의 치수 정밀도를 평가한 후에는, 그 평가 결과를 기초로 하여, 워크(2)는 등급별로 분류되어 수용부(7)에 수용 장착된다.

워크(2)는, 측정 치수와 마스터(16)의 기준 치수와의 치수차가 허용 공차 내인 경우에는, 그 치수차가 가장 작은 범위인 A등급으로부터 치수차가 가장 큰 범위인 D등급의 총 4등급으로 분별된다.

수용부(7)는, A, B, C, D등급의 워크(2)를, 각각 별개로 수용하는 제1 수용부(7a), 제2 수용부(7b), 제3 수용부(7c), 제4 수용부(7d)와, 측정 치수와 마스터(16)의 기준 치수와의 치수차가 허용 공차 밖인 불량품의 워크(2)를 수용하는 제5 수용부(7e)를 구비한다. 또한, 치수 측정부(15)로부터 수용부(7)로의 워크(2)의 분류는, 워크(2)를 직접 파지하는 로봇 핸드(도시 생략)에 의해 자동으로 행해진다.

로터(2a) 및 캠 링(2b)은, 치수 정밀도에 따라 분류된 후에는, 조립 공정으로 반송되어, A등급의 로터(2a)와 A등급의 캠 링(2b)과 같이 동일 등급끼리의 부품이 조립 부착된다. 동일 등급끼리의 로터(2a)와 캠 링(2b)을 조립 부착함으로써, 로터(2a)와 캠 링(2b)의 클리어런스(clearance)을 최적으로 할 수 있다.

이하에서는, 워크(2)의 두께 치수 측정 방법 및 치수 정밀도의 평가 방법에 대해 구체적으로 설명한다. 또한, 워크(2)의 치수 측정 및 치수 정밀도의 평가는, 치수 측정 장치(1)에 탑재된 컨트롤러(18)에 의해 자동으로 행해진다.

전술한 바와 같이, 마스터(16)의 기준 온도와 기준 치수의 측정은 정기적으로 행해진다.

측정 대상인 로터(2a) 및 캠 링(2b)은, 그 축심이 연직 방향으로 되도록 치수 측정부(15)에 세트된다.

로터(2a) 및 캠 링(2b)의 상면 및 하면의 각 8포인트에 변위계(도시 생략)를 접촉시키고, 각각의 포인트에 있어서의 마스터(16)의 기준 치수에 대한 변위를 계측함으로써, 로터(2a) 및 캠 링(2b)의 두께의 계측이 행해진다. 또한, 로터(2a) 및 캠 링(2b)은, 측정되는 8포인트가 매회 동일한 부위로 되도록 치수 측정부(15)에 위치 결정된다.

치수 정밀도의 등급 분류는, 8포인트의 변위의 평균치 등을 이용하여 행하는 것도 생각할 수 있지만, 포인트 중에서 가장 두께가 얇은 부위를 기초로 행하는 것이 바람직하다. 이것은, 워크(2)의 두께가 플러스측의 허용 공차 이상인 경우에는, 재연마에 의해 재가공하는 것이 가능하지만, 워크(2)의 두께가 마이너스측의 허용 공차 이하인 경우에는 폐기할 수밖에 없기 때문이며, 두께가 제일 얇은 부위를 기초로 판단함으로써 워크(2)의 치수 정밀도를 더욱 엄격하게 판단할 수 있다.

여기서, 워크(2)의 두께 측정시의 워크(2)의 온도와 마스터(16)의 기준 온도에 온도차가 있는 경우에는, 워크(2)는, 그 온도차 만큼 신축되기 때문에, 워크(2)의 치수 정밀도를 정확하게 평가할 수 없다.

따라서, 워크(2)의 측정 치수를 마스터(16)의 기준 온도에 있어서의 치수로 보정한다. 워크(2)의 신축은, 워크(2)의 선팽창 계수, 두께, 및 마스터(16)의 기준 온도와의 온도차에 의해 결정되기 때문에, 마스터(16)의 기준 치수에 대한 워크(2)의 변위(S)는, 이하의 식1에 의해 산출된다.

[식1]

S〔㎛〕= S_o + (T_m × t_m × α_m- T_w × t_w × α_w)

S_o〔㎛〕: 워크(2)의 측정 변위

T_m〔℃〕: 마스터(16)의 온도(기준 온도)

t_m〔㎛〕: 마스터(16)의 두께(기준 치수)

α_m〔1/℃〕: 마스터(16)의 선팽창 계수

T_w〔℃〕: 워크(2)의 온도

t_w〔㎛〕: 워크(2)의 두께

α_w〔1/℃〕워크(2)의 선팽창 계수

식1을 이용함으로써, 치수 측정부(15)에 의해 측정된 워크(2)의 변위(S_o)는, 마스터(16)의 기준 온도에 있어서의 보정 변위(S)로 보정된다. 또한, 식1에 있어서 마스터(16)의 온도(T_m)는 정기적으로 측정된 값이 이용되어 항상 일정하지 않기 때문에, 변화되지 않는 마스터(16)의 기준 온도를 정하고, 그 온도를 이용하여 마스터(16)의 온도(T_m)를 보정하도록 해도 좋다.

산출된 보정 변위(S)는, 마스터(16)의 기준 치수에 대한 변위, 즉 워크(2)의 두께와 마스터(16)의 기준 치수(두께)와의 치수차이며, 또한 워크(2)의 온도의 영향을 받지 않는 값이다. 따라서, 보정 변위(S)의 값을 기초로 행해지는 치수 정밀도의 평가, 즉 치수 정밀도의 등급 분류는 정확한 것으로 된다.

또한, 식1에 있어서, 워크(2)의 두께(t_w)와 마스터(16)의 두께(t_m), 및 워크(2)의 선팽창 계수(α_w)와 마스터(16)의 선팽창 계수(α_m)는 대략 동등한 값이기 때문에, 워크(2)와 마스터(16)의 온도차에 기인하는 워크(2)의 신축량을 보정한다고 하는 목적으로부터도, 이하의 식2와 같이, 워크(2)의 측정 온도와 마스터(16)의 기준 온도의 차를 기초로 하여 간이하게 보정 변위(S)를 산출하도록 해도 좋다.

[식2]

S = S_o + (T_m - T_w) × t_m × α_m

이상과 같이 하여, 워크(2)의 치수 측정 및 치수 정밀도의 평가가 행해진다.

치수 측정부(15)에 의해 워크(2)에 있어서의 8포인트의 변위를 측정할 때에, 컨트롤러(18)에서는, 워크(2)의 평면도, 평행도의 측정도 행해진다.

평면도에 대해서는, 워크(2)의 하면의 8포인트에서 워크(2)의 하평면을 규정한 후, 워크(2)의 상면의 8포인트에서 상평면의 평면도를 측정한다.

또한, 평행도에 대해서는, 워크(2)의 상면, 하면의 각각의 8포인트에서 상평면, 하평면을 규정한 후, 상평면에 대한 하평면의 평행도 및 하평면에 대한 상평면의 평행도를 측정한다.

또한, 이상에서는, 치수 측정부(15)에 있어서 워크(2)와 마스터(16)와의 치수차인 변위를 측정하고, 그 변위를 쌍방의 온도차를 기초로 하여 보정하고, 그 보정 후의 변위를 기초로 하여 워크(2)의 치수 정밀도를 평가하도록 했다. 그러나, 치수 측정부(15)에 있어서 워크(2)의 치수(두께)를 측정하고, 그 측정 치수를 마스터(16)의 기준 온도와의 온도차를 기초로 하여 보정하고, 그 보정 측정 치수와 마스터(16)의 기준 치수(두께)를 비교함으로써 워크(2)의 치수 정밀도를 평가하도록 해도 좋다.

또한, 워크(2)의 측정 치수의 보정은, 반드시 마스터(16)의 온도를 측정함으로써 설정된 기준 온도와의 온도차를 기초로 하여 행할 필요는 없고, 미리 정해진 온도를 기준 온도로서 설정하고, 그 미리 정해진 기준 온도와의 온도차를 기초로 하여 행하도록 해도 좋다.

또한, 워크(2)의 치수 정밀도의 평가는, 반드시 마스터(16)의 치수를 측정함으로써 설정된 기준 치수와의 치수차를 기초로 하여 행할 필요는 없고, 미리 정해진 치수를 기준 치수로서 설정하고, 그 미리 정해진 기준 치수와의 치수차를 기초 로 하여 행하도록 해도 좋다.

이상의 실시 형태에 따르면, 이하에 나타내는 효과를 발휘한다.

베인 펌프에 있어서, 로터(2a)와 캠 링(2b)의 두께의 클리어런스가 큰 경우에는 베인 펌프의 효율은 저하되고, 또한, 클리어런스가 작은 경우에는 눌어붙음의 원인으로 된다. 따라서, 로터(2a)와 캠 링(2b)에는 높은 치수 정밀도가 요구되지만, 워크(2)의 치수는, 마스터(16)의 기준 온도에 있어서의 치수로 보정되어, 워크(2)의 온도의 영향을 받지 않는 값으로 보정되기 때문에, 워크(2)의 치수 정밀도의 평가를 적확하게 행할 수 있다.

즉, 본 실시 형태에서는, 워크(2)의 치수 정밀도의 평가는, 마스터(16)의 기준 치수와의 차이를 기초로 하여 A 내지 D등급으로 등급 분류되는데, 그 등급 분류가 적확하게 행해지게 된다.

등급 분류를 적확하게 행할 수 있는 것에 의해, 후의 조립 공정에서 동일 등급끼리의 부품을 조립 부착할 때, 로터(2a)와 캠 링(2b)의 매칭성이 향상되어, 베인 펌프의 품질이 향상된다.

본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되지 않고, 그 기술적인 사상의 범위 내에 있어서 다양한 변경을 이룰 수 있는 것은 명백하다.

도1은 본 발명의 실시 형태에 관한 치수 측정 장치를 도시하는 평면도.

도2는 도1에 도시하는 치수 측정 장치를 모식적으로 도시한 모식도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 치수 측정 장치

2 : 워크

5 : 컨베이어

10 : 냉각 영역

11 : 균일화 영역

14 : 온도 측정부

15 : 치수 측정부

16 : 마스터

Claims

피측정물(2)의 치수를 측정하는 치수 측정 장치(1)이며,

피측정물(2)을 반송하는 반송 수단(5)과,

피측정물(2)이 반송되는 반송 영역(10, 11) 내의 온도를 제어하는 온도 제어 수단과,

상기 반송 영역(10, 11)에 있어서의 측정부(6)에 반송된 피측정물(2)의 치수를 측정하는 치수 측정 수단(15)과,

상기 치수 측정 수단(15)에 의한 치수 측정시의 피측정물(2)의 온도를 측정하는 온도 측정 수단(14)을 구비하고,

상기 치수 측정 수단(15)에 의해 측정된 피측정물(2)의 치수는, 상기 온도 측정 수단(14)에 의해 측정된 온도를 이용하여, 미리 정해진 기준 온도에 있어서의 치수로 보정되는 치수 측정 장치.
제1항에 있어서, 피측정물(2)은 상기 보정된 치수와 미리 정해진 기준 치수와의 치수차를 기초로 하여 치수 정밀도가 평가되는 치수 측정 장치.
제2항에 있어서, 상기 측정부(6)에 배치된 기준재(16)를 더 구비하고,

상기 기준 온도는 상기 기준재(16)의 온도를 측정함으로써 설정되고,

상기 기준 치수는 상기 기준재(16)의 기준 온도 측정시에 당해 기준재(16)의 치수를 측정함으로써 설정되는 치수 측정 장치.
제3항에 있어서, 상기 치수 측정 수단(15)은, 피측정물(2)에 있어서의 상기 기준재(16)의 기준 치수와의 치수차를 측정하는 변위계이며,

당해 변위계에 의해 측정된 변위는, 상기 온도 측정 수단(14)에 의해 측정된 온도를 이용하여, 상기 기준재(16)의 기준 온도에 있어서의 변위로 보정되고,

피측정물(2)은 상기 보정된 변위를 기초로 하여 치수 정밀도가 평가되는 치수 측정 장치.
제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 기준 온도 및 상기 기준 치수의 측정은,

상기 기준재(16)의 측정 후의 소정 시간 경과 후, 또는 상기 온도 측정 수단(14)에 의해 측정된 피측정물(2)의 온도와 상기 기준 온도와의 온도차가 소정 이상으로 된 경우에 행해지는 치수 측정 장치.
제1항에 있어서, 상기 반송 영역(10, 11)은,

피측정물(2)을 강제적으로 냉각하는 제1 영역(10)과,

상기 제1 영역에서 냉각된 피측정물(2)의 온도를 균일하게 하는 제2 영역(11)으로 구획되는 치수 측정 장치.
피측정물의 치수를 측정하는 치수 측정 방법이며,

피측정물(2)이 반송되는 반송 영역(10, 11) 내의 온도를 제어하는 온도 제어 공정과,

상기 반송 영역(10, 11)에 있어서의 측정부(6)에 반송된 피측정물(2)의 치수를 측정하는 치수 측정 공정과,

상기 치수 측정 공정에 의한 치수 측정시의 피측정물(2)의 온도를 측정하는 온도 측정 공정과,

상기 치수 측정 공정에 의해 측정된 피측정물(2)의 치수를, 상기 온도 측정 공정에 의해 측정된 온도를 이용하여, 미리 정해진 기준 온도에 있어서의 치수로 보정하는 보정 공정을 구비하는 치수 측정 방법.
제7항에 있어서, 상기 보정된 치수와 미리 정해진 기준 치수와의 치수차를 기초로 하여, 피측정물(2)의 치수 정밀도를 평가하는 평가 공정을 더 구비하는 치수 측정 방법.
제8항에 있어서, 상기 기준 온도는 상기 측정부(6)에 배치된 기준재(16)의 온도를 측정함으로써 설정되고,

상기 기준 치수는 상기 기준재(16)의 기준 온도 측정시에 당해 기준재(16)의 치수를 측정함으로써 설정되는 치수 측정 방법.