JP2016225119A - 電極板厚み測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 電極板の厚みを高い精度で測定することができる電極板厚み測定方法を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る電極板厚み測定方法では，変位センサーにより，基準面上の複数の基準検出点の基準指標値を検出する基準検出工程と，基準面を平面に更生した仮想の基準平均面と，第１の基準検出点との距離を指標する基準差値を求める基準平均算出工程と，変位センサーにより，電極板の表面の電極検出点の電極指標値を検出するとともに，第１の基準検出点の基準指標値と電極指標値とにより，第１の基準検出点と電極検出点との差を指標する基準電極差値を求める電極検出工程とを行う。また，変位量を，基準差値と基準電極差値との和により求める。そして，その変位量を用いることにより，電極板の厚みの測定値を求める。
【選択図】図４

Description

本発明は，電極板厚み測定方法に関する。さらに詳細には，変位センサーにより電極板の厚みを測定する電極板厚み測定方法に関する。

電池を構成するための正負の電極板は，集電箔の表面に，活物質層を形成することにより製造される。そして，電極板の活物質層は，予め定めた厚みで均一に形成されていることが好ましい。このため，電極板の製造工程では，活物質層を形成した電極板について，電極板の厚みや電極板の活物質層の厚みを測定するとともに，その測定値が予め定めた適正な範囲内であるかを検査する検査工程が行われることがある。

例えば，特許文献１には，センサーにより電極板についての検出を行い，その検出値に基づいて，電極板に形成された活物質層の厚みが均一であるかを検査する検査装置が記載されている。また，特許文献１の検査装置では，電極板の検出を行うとともに，電極板用のものとは異なるセンサーにより，基準材の検出を行っている。そして，基準材用のセンサーの検出値に基づいて，電極板用のセンサーの検出値の校正を行っている。これにより，電極板の検査を，一定の精度で実施することができるとされている。

特開２０１０−２０５６７８号公報

ところで，上記の従来技術では，基準材と電極板との検出を，それぞれ異なるセンサーにより行っている。しかし，センサーには，外乱によるセンサーの検出値への影響の程度や，長期間の使用に伴う劣化の程度など，個体差が存在する。このため，基準材と電極板とを異なるセンサーにより検出する方法では，基準材用と電極板用とのセンサーの検出値にそれぞれ個体差によるバラつきが含まれてしまう。これにより，基準材と電極板とを異なるセンサーにより検出する方法では，電極板の検査精度を高めることが困難であるという問題があった。

そこで，基準材と電極板とを同一のセンサーにより検出する方法が考えられる。具体的には，例えば，１つのセンサーを基準材と電極板との間で移動させることにより，基準材と電極板とを同一のセンサーによって検出する方法である。

しかし，基準材の表面は，完全な平面ではなく，小さな凹凸が存在している。また，センサーを基準材と電極板との間で移動させた場合，その移動毎のセンサーの移動端は，必ずしも同じ位置であるとは限らない。すなわち，電極板を検出後，基準材の位置まで移動したセンサーは，前回検出した基準材の位置と必ずしも同じ位置を検出しているとは限らない。つまり，基準材用のセンサーの検出タイミングごとの検出値は，凹凸のある基準材の表面における異なる位置についてのものであるため，異なる値であることがある。

これにより，基準材と電極板とを同一のセンサーにより検出する方法によっても，電極板の厚みを高い精度で測定することは容易ではないという問題があった。基準材のセンサーの検出値が基準材の表面の凹凸による影響を受けている場合，その基準材のセンサーの検出値によって校正される電極板のセンサーの検出値の信頼性は，それほど高いものではないからである。

本発明は，前記した従来の技術が有する問題点の解決を目的としてなされたものである。すなわちその課題とするところは，電極板の厚みを高い精度で測定することができる電極板厚み測定方法を提供することである。

この課題の解決を目的としてなされた本発明の電極板厚み測定方法は，集電箔とその表面に形成された活物質層とを有する電極板の厚みの測定値を，変位センサーを用いて基準面と電極板の表面との電極板の厚み方向についての変位量を求め，変位量を用いて求める電極板厚み測定方法であって，変位センサーにより，基準面上の複数の基準検出点についてそれぞれ，厚み方向における位置を指標する基準指標値を検出する基準検出工程と，複数の基準指標値により，基準面を厚み方向と直交する平面に更生した仮想の基準平均面と，複数の基準検出点のうちの１つである第１の基準検出点との距離を指標する基準差値を求める基準平均算出工程と，変位センサーにより，電極板の表面の電極検出点の，厚み方向における位置を指標する電極指標値を検出するとともに，第１の基準検出点の基準指標値と電極指標値とにより，第１の基準検出点と電極検出点との差を指標する基準電極差値を求める電極検出工程とを行うとともに，変位量を，基準差値と基準電極差値の和により求めることを特徴とする電極板厚み測定方法である。

本発明に係る組電池の電極板厚み測定方法では，変位量を，電極検出点の基準平均面からの差により求めることができる。基準平均面は，複数の基準指標値により定まるものであるため，基準面の凹凸などにほとんど影響されないものである。これにより，電極板の厚みを高い精度で測定することができる。

本発明によれば，電極板の厚みを高い精度で測定することができる電極板厚み測定方法が提供されている。

第１の形態に係る測定装置の正面図である。 第１の形態に係る測定装置の平面図である。 第１の形態に係る基準検出点の検出を説明するための図である。 第１の形態に係る基準検出点の検出を詳細に説明するための図である。 第１の形態に係る電極検出点の検出を説明するための図である。 検量線を示す図である。 第１の形態とは異なる方法により求めた電極板の厚みの測定値を例示した図である。 第１の形態に係る方法により求めた電極板の厚みの測定値を例示した図である。 第２の形態に係る測定装置の正面図である。 キャリブレーションシートを示す平面図である。 第２の形態に係る基準検出点の検出を説明するための図である。 第２の形態に係る電極検出点の検出を説明するための図である。 第２の形態とは異なる方法により求めた電極板の厚みの測定値を例示した図である。 第２の形態に係る方法により求めた電極板の厚みの測定値を例示した図である。

以下，本発明を具体化した最良の形態について，図面を参照しつつ詳細に説明する。

［第１の形態］
図１に，本形態に係る測定装置１００の正面図を示す。また，図２には，測定装置１００の平面図を示している。測定装置１００は，電極板１０の厚みを測定する装置である。また，測定装置１００は，第１センサー１１０，第２センサー１２０，センサー取付部１３０，ブラケット１４０，スライダー１５０を有している。

本形態の第１センサー１１０および第２センサー１２０はともに，発光部と受光部とを有するレーザー式の変位センサーである。本形態では，第１センサー１１０および第２センサー１２０として，同一のものを用いている。また，第１センサー１１０および第２センサー１２０はともに，センサー取付部１３０に固定されている。

図１に示すように，第１センサー１１０および第２センサー１２０はそれぞれ，発光部および受光部が設けられている測定面１１１，１２１が互いに向き合った状態で固定されている。具体的には，図１に示すように，第１センサー１１０は，測定面１１１を下側に向けた状態で，センサー取付部１３０に固定されている。また，第２センサー１２０は，測定面１２１を，上側に向けた状態で，センサー取付部１３０に固定されている。

センサー取付部１３０は，図１に示すように左向きに突出するアーチ形状の部材であり，その突出している左側の部分において，ブラケット１４０に固定されている。なお，センサー取付部１３０の右端の２箇所にはそれぞれ，上記のように第１センサー１１０および第２センサー１２０が取り付けられている。

本形態では，センサー取付部１３０がアーチ形状をしていることにより，振動が発生した場合に，その振動が第１センサー１１０および第２センサー１２０にそれぞれ均等に伝わるようにされている。また，本形態では，第１センサー１１０および第２センサー１２０が，１つのセンサー取付部１３０に固定されている。これにより，センサー取付部１３０の環境温度の変化に伴う熱膨張が生じた場合にも，第１センサー１１０および第２センサー１２０の，検出対象面までの距離の変化が小さいものとなるようにされている。つまり，環境温度の変化による第１センサー１１０および第２センサー１２０の検出値への影響が少なくなるようにされている。なお，センサー取付部１３０の材質としては，熱膨張率の低いものが好ましい。熱膨張率が大きすぎる場合には，環境温度の変化により，第１センサー１１０および第２センサー１２０の，検出対象面までの距離が大きく変化してしまうからである。

ブラケット１４０は，図１に示すようにＬ字形状の部材であり，センサー取付部１３０とスライダー１５０とを接続するものである。

スライダー１５０は，可動部１５１と固定部１５２とを有するものであり，可動部１５１が図１において左右方向に移動することのできるものである。また，ブラケット１４０は，スライダー１５０の可動部１５１に取り付けられている。このため，可動部１５１を移動させることにより，ブラケット１４０，センサー取付部１３０，第１センサー１１０，第２センサー１２０を移動させることができる。スライダー１５０としては，例えば，ボールねじを有するスライドユニット等を用いることができる。

また，本形態における厚み測定の対象物である電極板１０は，図１に示すように，集電箔２０の上下の両面にそれぞれ，活物質層３０，３１を形成してなるものである。つまり，厚みの測定対象である電極板１０は，測定装置１００の位置に搬送されてくる前に，すでに活物質層３０，３１が形成されているものである。

電極板１０は，測定装置１００内において，図１に示すように，第１面１１を上側に，第２面１２を下側に向けた状態で搬送される。すなわち，電極板１０は，図１において，厚さ方向を上下方向とし，幅方向を左右方向とした状態で搬送される。なお，電極板１０の搬送方向は，図２において矢印で示すように下向きである。電極板１０は，例えば，リチウムイオン二次電池に用いられる正極板等である。

また，電極板１０の搬送経路の左側には，基準材５０が設けられている。基準材５０は，図１に示すように，第１基準面５１を上側に，第２基準面５２を下側に向けた状態で固定されている。基準材５０としては，温度変化や時間の経過に伴う厚みの変化が小さいものが好ましい。さらに，基準材５０は，第１センサー１１０および第２センサー１２０により照射されるレーザー光に対する反射に係る光学特性についても，温度変化や時間の経過に伴う変化が小さいものが好ましい。本形態では，基準材５０として，黒色のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）よりなるものを用いている。

図１および図２には，測定装置１００の第１センサー１１０および第２センサー１２０の検出位置がそれぞれ，基準材５０の第１基準面５１および第２基準面５２である状態を示している。本形態の測定装置１００では，スライダー１５０の可動部１５１の移動により，第１センサー１１０および第２センサー１２０の検出位置をそれぞれ，電極板１０の第１面１１および第２面１２に移動させることができる。

つまり，測定装置１００は，第１センサー１１０および第２センサー１２０により，基準材５０と電極板１０とを検出することができる。また，測定装置１００における第１センサー１１０および第２センサー１２０は，基準材５０または電極板１０の表裏の同じ位置が検出位置となるように設けられている。

また，第１センサー１１０の検出値は，基準材５０の第１基準面５１または電極板１０の第１面１１の，電極板１０の厚み方向（図１において上下方向）における位置を指標する値である。第２センサー１２０の検出値は，基準材５０の第２基準面５２または電極板１０の第２面１２の，電極板１０の厚み方向における位置を指標する値である。なお，本形態の第１センサー１１０および第２センサー１２０はともに，検出対象面との距離が近いほど，大きな値を出力するものである。

さらに，本形態の測定装置１００は，電極板１０の厚みの測定値を算出するための演算を行う演算部１６０を有している。演算部１６０は，第１センサー１１０および第２センサー１２０が検出して出力する出力値に基づいて，後に詳述する方法により，電極板１０の厚みの測定値を求めることのできるものである。すなわち，測定装置１００は，電極板１０の厚みの測定値を，第１センサー１１０および第２センサー１２０により基準材５０と電極板１０との変位量を求め，その変位量を用いて求めることのできるものである。

次に，本形態に係る測定装置１００による電極板１０の厚みの測定方法について説明する。本形態では，電極板１０の厚みの測定値を，次の手順で求める。
１．基準検出工程
２．基準平均算出工程
３．電極検出工程
４．電極板の厚みの測定値の算出工程

まず，「１．基準検出工程」では，基準材５０についての検出を行う。そのため，第１センサー１１０および第２センサー１２０の検出位置がそれぞれ，図１および図２に示すように，基準材５０の第１基準面５１および第２基準面５２となるようにスライダー１５０を移動させる。さらに，本工程では，第１センサー１１０および第２センサー１２０により，基準材５０の第１基準面５１および第２基準面５２のそれぞれの複数の箇所について検出を行う。

具体的には，まず，第１センサー１１０の検出位置を，図３に示す基準材５０の第１基準面５１上に予め定めた基準検出点Ａ１へと移動させる。ここで，前述したように，第１センサー１１０および第２センサー１２０は，基準材５０または電極板１０の表裏の同じ位置が検出位置となるように設けられている。このため，第１センサー１１０の検出位置を基準検出点Ａ１へ移動させたときの第２センサー１２０の検出位置は，第２基準面５２上の，基準検出点Ａ１の基準材５０の裏側に位置する基準検出点Ａ２である。

そして，本形態では，第１センサー１１０の検出位置を基準検出点Ａ１，第２センサー１２０の検出位置を基準検出点Ａ２とした状態で，第１センサー１１０および第２センサー１２０のキャリブレーションを行う。具体的には，キャリブレーションを，第１センサー１１０および第２センサー１２０の検出値をともにゼロとすることにより行う。

また，本形態では，キャリブレーション時の基準検出点Ａ１と基準検出点Ａ２との距離を，図４に示すように，基準材取得厚みＴＢａとする。またここで，基準材取得厚みＴＢａの具体的な値として，基準検出工程を行う前に予め基準材５０について測定した，信頼性の高い基準材５０の厚みである基準材信頼厚みＴＢ１を用いる。なお，基準材信頼厚みＴＢ１の値としては，例えば，接触式センサーを用いて測定する膜厚計，基準材５０の断面を光学顕微鏡や電子顕微鏡を用いて観察する断面形状計測などにより得られた基準材５０の平均厚みを用いることができる。

さらに，本工程では，キャリブレーション後の第１センサー１１０および第２センサー１２０を図３に示すように右側に移動させつつ，その移動中の第１センサー１１０および第２センサー１２０によりそれぞれ検出を行う。具体的には，第１センサー１１０により，基準検出点Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１，Ｅ１についての検出を行う。また，第２センサー１２０により，基準検出点Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２，Ｅ２についての検出を行う。

なお，第１センサー１１０および第２センサー１２０の移動は，スライダー１５０により行う。また，第２センサー１２０の基準検出点Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２，Ｅ２はそれぞれ，第１センサー１１０の基準検出点Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１，Ｅ１の基準材５０の裏側に位置する点である。

また，図４に示すように，基準材５０の第１基準面５１および第２基準面５２はともに，完全な平面ではない。このため，第１センサー１１０による基準検出点Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１，Ｅ１の検出値および第２センサー１２０による基準検出点Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２，Ｅ２の検出値はそれぞれ，基準検出点Ａ１および基準検出点Ａ２についての値とは異なる値となることがある。

次に，「２．基準平均算出工程」を行う。本工程では，第１センサー１１０による基準検出点Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１，Ｅ１の検出値および第２センサー１２０による基準検出点Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２，Ｅ２の検出値より，基準材平均厚みＴＢ２を算出する。基準材平均厚みＴＢ２は，基準材取得厚みＴＢａと，基準検出点Ｂ１，Ｃ１，Ｄ１，Ｅ１の基準検出点Ａ１からの変位量および基準検出点Ｂ２，Ｃ２，Ｄ２，Ｅ２の基準検出点Ａ２からの変位量とにより算出することができる。

具体的には，まず，図４に示す，基準材取得厚みＴＢｂ，ＴＢｃ，ＴＤｂ，ＴＢｅを求める。基準材取得厚みＴＢｂは，基準検出点Ｂ１，Ｂ２の距離である。基準材取得厚みＴＢｃは，基準検出点Ｃ１，Ｃ２の距離である。基準材取得厚みＴＤｂは，基準検出点Ｄ１，Ｄ２の距離である。基準材取得厚みＴＢｅは，基準検出点Ｅ１，Ｅ２の距離である。

基準材取得厚みＴＢｂの値は，基準材取得厚みＴＢａの値と，基準検出点Ｂ１の基準検出点Ａ１からの変位量および基準検出点Ｂ２の基準検出点Ａ２からの変位量とにより求めることができる。その他の基準材取得厚みＴＢｃ，ＴＤｂ，ＴＢｅについても，基準材取得厚みＴＢｂと同様に求めることができる。そして，本形態では，基準材平均厚みＴＢ２の値を，基準材取得厚みＴＢａ，ＴＢｂ，ＴＢｃ，ＴＤｂ，ＴＢｅの各値の算術平均により求めている。

また本形態では，基準材平均厚みＴＢ２を算出後，基準材取得差ＴＢ３を算出する。基準材取得差ＴＢ３の値は，基準材取得厚みＴＢａの値より，基準材平均厚みＴＢ２の値を減ずることにより求める。このため，基準材取得差ＴＢ３は，図４に示すＸ１とＸ２との和である。また，図４には，基準材平均厚みＴＢ２に係る仮想の平面である第１基準平均面Ｓ１と第２基準平均面Ｓ２とを示している。第１基準平均面Ｓ１および第２基準平均面Ｓ２とはそれぞれ，基準材５０の第１基準面５１および第２基準面５２を電極板１０の厚み方向と直交する平面に更生した仮想の平面である。

なお，図４は，基準材取得厚みＴＢａの値が基準材平均厚みＴＢ２の値よりも大きい場合を例示したものである。このため，図４の例において，基準材取得差ＴＢ３の値は，正の値である。一方，図４の例とは異なり，基準材取得厚みＴＢａの値が基準材平均厚みＴＢ２の値よりも小さい場合には，基準材取得差ＴＢ３の値は，負の値となる。

次に，「３．電極検出工程」を行う。本工程では，まず，第１センサー１１０および第２センサー１２０を，スライダー１５０により，基準材５０から電極板１０へと移動させる。図５には，第１センサー１１０および第２センサー１２０の検出位置をそれぞれ，電極板１０の第１面１１の電極検出点Ｆ１および第２面１２の電極検出点Ｆ２に移動させたときを示している。本形態では，電極検出点Ｆ１，Ｆ２を，電極板１０の幅方向の中央位置としている。

なお，電極検出点Ｆ１，Ｆ２は，電極板１０の中央位置に限らず，その他の位置としてもよい。例えば，電極検出点Ｆ１，Ｆ２は，電極板１０の性能を適切に発揮させるために，電極板１０の厚みが重要となる位置とすることができる。あるいは，形成された活物質層３０，３１の厚みの変化による不良の発生頻度が高い位置とすることもできる。

そして，第１センサー１１０および第２センサー１２０により，電極検出点Ｆ１，Ｆ２の検出を行う。また，図５に示す，電極板１０の電極検出点Ｆ１，Ｆ２の，それぞれ基準材５０の基準検出点Ａ１，Ａ２からの変位量である基準電極差Ｙ１，Ｙ２を求める。

さらには，基準電極差Ｙ１，Ｙ２，基準材取得差ＴＢ３，基準材信頼厚みＴＢ１により，電極板取得厚みＴＥ１を算出する。具体的に，電極板取得厚みＴＥ１は，次の式（１）により算出する。
ＴＥ１＝Ｙ１＋Ｙ２＋ＴＢ３＋ＴＢ１ （１）

なお，図５は，電極板１０の厚み方向について，電極検出点Ｆ１が基準検出点Ａ１よりも第１センサー１１０に近い位置である場合を例示したものである。そして，本形態では，図５の例において，基準電極差Ｙ１の値は，正の値となる。一方，電極板１０の厚み方向について，電極検出点Ｆ１が基準検出点Ａ１よりも第１センサー１１０から遠い位置である場合には，基準電極差Ｙ１の値は，負の値となる。

また同様に，図５は，電極板１０の厚み方向について，電極検出点Ｆ２が基準検出点Ａ２よりも第２センサー１２０に近い位置である場合を例示したものである。そして，本形態では，図５の例において，基準電極差Ｙ２の値は，正の値となる。一方，電極板１０の厚み方向について，電極検出点Ｆ２が基準検出点Ａ２よりも第２センサー１２０から遠い位置である場合には，基準電極差Ｙ２の値は，負の値となる。

ここで，前述したように，基準材取得差ＴＢ３は，Ｘ１とＸ２との和である。すなわち，上記の式（１）中の基準電極差Ｙ１，Ｙ２と基準材取得差ＴＢ３との和は，電極検出点Ｆ１の第１基準平均面Ｓ１からの変位量と電極検出点Ｆ２の第２基準平均面Ｓ２からの変位量との和である。すなわち，本形態では，上記の式（１）に示すように，電極板取得厚みＴＥ１を，基準材信頼厚みＴＢ１に，電極検出点Ｆ１の第１基準平均面Ｓ１からの変位量と電極検出点Ｆ２の第２基準平均面Ｓ２からの変位量との和を加えることで算出している。

さらに本形態では，「４．電極板の厚みの測定値の算出工程」を行う。本工程は，より信頼性の高い電極板１０の厚みの測定値を得るために行う工程である。本工程では，図６に示す検量線を用いて，電極板１０の厚みの測定値を求める。

検量線は，図６に示すように，電極板取得厚みと電極板信頼厚みとの関係を示すものである。図６では，縦軸に電極板取得厚みを，横軸に電極板信頼厚みを示している。図６に示す検量線は，製造された電極板１０についての測定を行う前に，厚みの異なる複数の試験電極板を作製するとともに，その複数の試験電極板についてそれぞれ電極板取得厚みと電極板信頼厚みとを得ることにより予め作成したものである。試験電極板は，その検出対象となる面については，電極板１０と同じ活物質層３０，３１が形成されたものである。

具体的に，縦軸の電極板取得厚みは，厚みの異なる複数の試験電極板のそれぞれについて上記の「１．基準検出工程」，「２．基準平均算出工程」，「３．電極検出工程」を行うことにより求めた，複数の試験電極板ごとの電極板取得厚みＴＥ１の値を用いている。試験電極板の電極板取得厚みの取得の際にも，製造された電極板１０の厚みの測定値を求める際と同じ基準材５０を用いている。また，試験電極板の電極板取得厚みの取得の際にも，製造された電極板１０の厚みの測定値を求める際と同じ第１センサー１１０および第２センサー１２０を用いた。

一方，横軸の電極板信頼厚みは，厚みの異なる複数の試験電極板のそれぞれについて接触式センサーによる膜厚計を使用して測定した，複数の試験電極板ごとの測定値を用いている。なお，接触式センサーによる膜厚計の測定値に限らず，複数の試験電極板ごとの断面を光学顕微鏡や電子顕微鏡を用いて観察する断面形状計測により得られた測定値を用いてもよい。このため，横軸に示す複数の電極板ごとの電極板信頼厚みは，縦軸の複数の電極板ごとの電極板取得厚みよりも信頼性の高い値である。

さらに，図６に示す検量線は，得られた厚みの異なる複数の試験電極板ごとに電極板取得厚みと電極板信頼厚みとの関係をプロットし，そのプロットされた複数の点の近似曲線により作成したものである。

そして，「４．電極板の厚みの測定値の算出工程」では，「３．電極検出工程」により得られた電極板取得厚みＴＥ１の値を図６の縦軸に定め，その定めた値に対応する横軸の電極板信頼厚みの値を，電極板１０の厚みの測定値として出力する。これにより，本形態の測定装置１００は，電極板１０の厚みの測定値を高精度で求めることができるとともに，その高い精度で求めた電極板１０の厚みの測定値を出力することができる。

また，本形態では，「３．電極検出工程」において第１センサー１１０および第２センサー１２０を電極板１０へと移動させた後，電極板１０を搬送しつつ，電極板１０の厚みの測定値を連続して求める。すなわち，搬送により第１センサー１１０および第２センサー１２０の検出位置を通過する電極板１０の厚みの測定値を，電極板１０の搬送方向について連続して求めることができる。これにより，例えば，電極板１０の搬送方向の一部に規格外の厚みの箇所があるときには，その部分を不良箇所として検出することができる。

ここで，本発明の効果について説明する。図７は，測定装置１００により，搬送される電極板１０の厚みの測定を連続して行った結果を示すものである。ただし，図７は，上記の本形態とは異なる方法により電極板１０の厚みを測定した結果である。具体的には，第１センサー１１０および第２センサー１２０によりそれぞれ基準材５０の１つの基準検出点を検出し，その基準検出点からの電極板１０の電極検出点の変位量に，基準材信頼厚みＴＢ１を加えた値を，電極板１０の電極板取得厚みとしたものである。

また，図７には，同じ電極板１０について３回，測定を行った結果を示している。図７では，３回の測定毎に，基準材５０の１つの基準検出点の検出を行い，その基準検出点からの電極検出点の変位量により電極板取得厚みを求めている。

そして，図７に示すように，１回目，２回目，３回目の電極板取得厚みのグラフはそれぞれ，大きく異なる値をとっている。具体的には，２回目，３回目の電極板取得厚みを示すグラフは，１回目の電極板取得厚みを示すグラフを，下側にシフトさせたような推移を示している。これは，基準材５０の１つの基準検出点の検出を行い，その基準検出点からの電極検出点の変位量により電極板取得厚みを求めているからである。

すなわち，前述したように，基準材５０の第１基準面５１および第２基準面５２は，完全な平面ではない。そして，３回の測定毎に基準材５０の１つの基準検出点の検出を行う第１センサー１１０および第２センサー１２０が，その３回の測定毎に，基準材５０の異なる点を基準検出点として検出しているからである。つまり，第１センサー１１０および第２センサー１２０により検出される３回の測定毎の基準検出点の検出値が一定でないことにより，図７に示す１回目，２回目，３回目の電極板取得厚みのグラフが，大きく異なる値となっている。

これに対し，図８は，上記の本形態に係る方法により電極板１０の厚みを測定した結果である。図８についても，図７と同じ電極板１０について，３回の測定を行ったときの電極板取得厚みを示している。また，図８では，３回の測定毎に，第１センサー１１０および第２センサー１２０により基準材５０の複数の検出基準点を検出し，その検出値により基準材平均厚みＴＢ２を求めている。そして，３回の測定毎に求めた基準材平均厚みＴＢ２により，電極板取得厚みを求めている。

図８に示すように，本形態に係る方法による電極板取得厚みのグラフは，３回とも，ほぼ同じである。これは，本形態に係る方法では，前述したように，電極板取得厚みＴＥ１を，基準材信頼厚みＴＢ１に，電極検出点Ｆ１の第１基準平均面Ｓ１からの変位量と電極検出点Ｆ２の第２基準平均面Ｓ２からの変位量との和を加えて算出しているからである。

すなわち，本形態に係る方法では，基準材平均厚みＴＢ２を，基準材５０の複数の基準検出点により求めている。このため，各回ごとに検出される複数の基準検出点の値が，各回ごとにそれぞれ異なる値であっても，各回ごとに求まる基準材平均厚みＴＢ２は，それほど異なる値とはならずに，ほぼ一定の値となる。これにより，本形態に係る方法では，図８に示すように，電極板１０の厚みの測定値を，高い繰り返し精度において求めることができる。よって，本形態に係る方法により，電極板１０の厚みの測定値を，高い精度で求めることができる。

なお，上記の本形態においては，基準材５０として，黒色のＰＥＴを用いている。しかし，その他の材料のものを用いても良い。例えば，基準材５０としては，予め作製した電極板１０や，活物質層３０，３１を形成する前の集電箔２０を用いてもよい。

また，本形態では，基準材５０と電極板１０とを，同一の変位センサーにより検出している。具体的には，基準材５０の第１基準面５１と電極板１０の第１面１１との検出を，第１センサー１１０により行っている。また，基準材５０の第２基準面５２と電極板１０の第２面１２との検出を，第２センサー１２０により行っている。このため，本形態では，基準材５０と電極板１０との検出をそれぞれ異なる変位センサーを用いて行った場合と比較して，継続的に，高い精度で電極板１０の厚みの測定値を求めることができる。

基準材５０と電極板１０とを異なる変位センサーで検出した場合には，基準材５０を検出する変位センサーと電極板１０を検出する変位センサーとの検出値に，外乱による影響や長期使用に伴う劣化の程度など，センサー個体差によるバラつきが含まれてしまう。そのため，異なる変位センサーを用いた場合には，継続的に，高い精度で電極板１０の厚みの測定値を求めることができないからである。

また，基準材５０と電極板１０とを異なる変位センサーで検出した場合には，それらの変位センサーが故障したときの取り替えが容易ではない。基準材５０を検出する変位センサーと電極板１０を検出する変位センサーとの取付差を，できるだけ小さくする調整を行う必要があるからである。

これに対し，基準材５０と電極板１０との検出を同一の変位センサーで行う本形態では，そのような変位センサーの取り替え時における調整が不要である。このため，本形態の測定装置１００では，第１センサー１１０および第２センサー１２０の取り替えを，容易に行うことができる。

また，本形態では，電極板１０を第１面１１および第２面１２の両面から検出した検出値を用いていることにより，搬送中の電極板１０の厚みを適切に測定することができる。例えば，電極板１０の厚みの測定値を，第１面１１のみからの検出値により求めた場合，求めた電極板１０の厚みの測定値には，電極板１０の搬送による厚み方向の振動等が加わってしまうからである。すなわち，電極板１０の両面から検出を行うことで，搬送に伴う電極板１０の振動等に影響されることなく，電極板１０の厚みの測定値を，高い精度で求めることができる。

また，本形態では，「４．電極板の厚みの測定値の算出工程」を行っていることにより，極めて高い精度で電極板１０の厚みの測定値を求めることができる。前述したように，本形態では，基準材５０として，電極板１０とは異なる黒色のＰＥＴのものを用いている。そして，黒色のＰＥＴの光学特性は，電極板１０の光学特性とは異なるものである。

つまり，第１センサー１１０および第２センサー１２０が検出する検出値は，検出対象面が黒色のＰＥＴのときと電極板１０のときとでは，実際の距離が全く同じであっても，わずかに異なることがあることがある。このため，「３．電極検出工程」で求めた電極板取得厚みＴＥ１は，その黒色のＰＥＴと電極板１０との光学特性による検出値の差の影響を受けていることがある。

しかし，「４．電極板の厚みの測定値の算出工程」において検量線を用いることにより，その黒色のＰＥＴと電極板１０との光学特性による検出値の差を補正することができる。よって，「４．電極板の厚みの測定値の算出工程」を実施することにより，より高い精度で電極板１０の厚みの測定値を求めることができる。

なお，「４．電極板の厚みの測定値の算出工程」については，必ずしも実施する必要はない。例えば，必要とされる電極板１０の厚みの測定値の精度が，黒色のＰＥＴと電極板１０との光学特性による検出値の差を考慮するほどではない場合には，不要である。また例えば，基準材５０として，光学特性が電極板１０と同じものを用いた場合にも不要である。
そして，これらの場合には，「３．電極検出工程」で求めた電極板取得厚みＴＥ１を，電極板１０の厚みの測定値として用いることとすればよい。

以上詳細に説明したように，本実施の形態に係る方法では，電極板１０の厚みの測定値を，第１センサー１１０および第２センサー１２０により基準面５０と電極板１０との変位量を求め，その変位量を用いて求める。つまり，基準検出工程では，基準材５０の第１基準面５１および第２基準面５２の複数の基準検出点について検出を行う。また，基準平均算出工程では，検出した複数の基準検出点より基準材平均厚みＴＢ２と第１基準平均面Ｓ１，第２基準平均面Ｓ２を求めるとともに，基準材取得差ＴＢ３を求める。さらに，電極検出工程では，電極板１０の電極検出点Ｆ１，Ｆ２を検出するとともに，電極検出点Ｆ１の第１基準平均面Ｓ１からの変位量と電極検出点Ｆ２の第２基準平均面Ｓ２からの変位量とを求める。そして，その電極検出点Ｆ１の第１基準平均面Ｓ１からの変位量と電極検出点Ｆ２の第２基準平均面Ｓ２からの変位量との和を基準材信頼厚みＴＢ１に加えることにより，電極板取得厚みＴＥ１を算出している。

すなわち，本実施の形態に係る方法は，変位センサーの一方である第１センサー１１０についてみたときには，第１基準面５１の複数の検出基準点についての検出を行い，その検出値により，基準材平均厚みＴＢ２に係る一方の第１基準平均面Ｓ１を求めている。さらに，その第１基準平均面Ｓ１と電極検出点Ｆ１との差により，変位量（Ｘ１＋Ｙ１）を求めている。また，変位センサーの他方である第２センサー１２０についてみたときには，第２基準面５２の複数の検出基準点についての検出を行い，その検出値により，基準材平均厚みＴＢ２に係る他方の第２基準平均面Ｓ２を求めている。さらに，その第２基準平均面Ｓ２と電極検出点Ｆ２との差により，変位量（Ｘ２＋Ｙ２）を求めている。

そして，これら第１センサー１１０を用いて求めた変位量（Ｘ１＋Ｙ１）と第２センサー１２０用いて求めた変位量（Ｘ２＋Ｙ２）とをともに，基準材信頼厚みＴＢ１に加えることにより，電極板取得厚みＴＥ１を算出している。これにより，電極板の厚みを高い精度で測定することができる電極板厚み測定方法が実現されている。

［第２の形態］
次に，第２の形態について説明する。本形態では，第１の形態とは異なり，基準面として，電極板を搬送する搬送ローラーの外周面を用いる。なお，本形態においても，厚みの測定対象である電極板については，第１の形態と同じものである。

図９に，本形態に係る測定装置２００を示す。測定装置２００は，電極板１０の厚みを測定する装置である。また，測定装置２００は，第１センサー２１０，第１搬送ローラー２３０，第２搬送ローラー２４０，第３搬送ローラー２５０を有している。

本形態においても，第１センサー２１０は，第１の形態と同じ，発光部と受光部とを有するレーザー式の変位センサーである。なお，本形態では，第１の形態とは異なり，第１センサー２１０が，図９の状態で固定されている。

第１搬送ローラー２３０，第２搬送ローラー２４０，第３搬送ローラー２５０はいずれも，電極板１０を，測定装置２００内を図９において左向きに搬送するための搬送ローラーである。具体的に，図９に示すように，電極板１０は，第１搬送ローラー２３０の外周面２３１，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１，第３搬送ローラー２５０の外周面２５１に巻き掛けられている。

そして，図９の右側より測定装置２００内へと搬送されてきた電極板１０は，測定装置２００内を，第１搬送ローラー２３０の下側，第２搬送ローラー２４０の上側，第３搬送ローラー２５０の下側を通って，図９の左側より測定装置２００の外へと搬送される。また，電極板１０は，第１面１１を上側に，第２面１２を下側に向けた状態で搬送されるものである。

また，図９に示すように，第１センサー２１０は，第２搬送ローラー２４０の上方に固定されている。また，第１センサー２１０は，測定面２１１を，第２搬送ローラー２４０に向けた状態で固定されている。

ここで，前述したように，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１のうちの上側は，電極板１０が巻き掛けられている。このため，第１センサー２１０は，第２搬送ローラー２４０上を搬送されている電極板１０を検出することができる。なお，第１センサー２１０は，後に詳述するように，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１を検出することもある。

さらに，本形態の測定装置２００は，電極板１０の厚みの測定値を算出するための演算を行う演算部２６０を有している。演算部２６０は，第１センサー２１０が検出して出力する出力値に基づいて，後に詳述する方法により，電極板１０の厚みの測定値を求める。そして，本形態の測定装置２００は，電極板１０の厚みの測定値を，第１センサー２１０により第２搬送ローラー２４０の外周面２４１と電極板１０の第１面１１との変位量を求め，その変位量を用いて求めることのできるものである。

次に，本形態に係る測定装置２００による電極板１０の厚みの測定方法について説明する。本形態では，電極板１０の厚みの測定値を，次の手順で求める。
１．基準検出工程
２．基準平均算出工程
３．電極検出工程

まず，「１．基準検出工程」では，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１についての検出を行う。また，本工程における第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の検出には，第１センサー２１０を用いる。

そのため，本工程では，図１０に示すキャリブレーションシート２７０を用いる。図１０は，キャリブレーションシート２７０の平面図である。図１０に示すように，キャリブレーションシート２７０は，幅方向の長さが電極板１０と同じ長さのシートであり，矢印で示す搬送方向について，電極板１０の先端側に接続されているものである。

また，キャリブレーションシート２７０には，図１０に示すように，その厚み方向に貫通する長穴２７１が形成されている。長穴２７１の搬送方向における長さ２７２は，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の周方向における長さの１周分である。また，長穴２７１は，キャリブレーションシート２７０の幅方向について，第１センサー２１０の検出位置を通過する位置に形成されている。

そして，本工程では，接続されたキャリブレーションシート２７０と電極板１０とを搬送しつつ，長穴２７１が第１センサー２１０の検出位置を通過している間において，第１センサー２１０による検出を複数回，行う。つまり，長穴２７１が第１センサー２１０の検出位置を通過している間，第１センサー２１０は，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１を検出することができる。

具体的には，まず，長穴２７１の搬送方向の先端が第１センサー２１０の検出位置に到達した時に，第１センサー２１０のキャリブレーションを行う。具体的には，キャリブレーションを，第１センサー２１０の検出値をゼロとすることにより行う。

さらに，第１センサー２１０のキャリブレーション後，キャリブレーションシート２７０を搬送しつつ，長穴２７１の搬送方向の後端が第１センサー２１０の検出位置に到達するまでの間に，第１センサー２１０による検出を複数回，行う。これにより，第１センサー２１０によって第２搬送ローラー２４０の外周面２４１について１周，複数回の検出を行う。すなわち，本形態では，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１を基準面とし，その外周面２４１上の複数の検出点をそれぞれ基準検出点とする。

ここで，第１センサー２１０と第２搬送ローラー２４０の外周面２４１との距離は，第２搬送ローラー２４０が回転している間，常に一定ではない。外周面２４１には，凹凸が存在することがあるからである。また，第２搬送ローラー２４０の回転軸は，偏心していることがあるからである。このため，第１センサー２１０により検出した外周面２４１上の複数の基準検出点の検出値は，それぞれ異なる値となることがある。

次に，「２．基準平均算出工程」を行う。本工程では，第１センサー２１０による複数の基準検出点の検出値より，基準平均値Ｕを算出する。本形態では，基準材平均値Ｕを，複数の基準検出点の検出値の算術平均により求めている。図１１には，キャリブレーション時の基準検出点Ｇと，基準平均値Ｕに係る平均外周面Ｓ３とを示している。

なお，図１１には，平均外周面Ｓ３を曲面により示している。しかし，第１センサー２１０の検出値より算出された基準平均値Ｕより求まる平均外周面Ｓ３は，数値上は，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１を展開し，平面に更生した仮想の面である。また，その仮想の平均外周面Ｓ３は，電極板１０の厚み方向と直交する面である。

また本形態では，基準平均値Ｕを算出後，基準材取得差Ｘ３を算出する。基準材取得差Ｘ３の値は，基準検出点Ｇの値より，基準平均値Ｕの値を減ずることにより求める。図４に示すように，基準材取得差Ｘ３は，基準検出点Ｇと平均外周面Ｓ３との差である。

なお，図１１は，基準検出点Ｇが平均外周面Ｓ３よりも径方向の外側に出っ張っている場合を例示したものである。このため，図１１の例において，基準平均値Ｕの値は負の値であり，基準材取得差Ｘ３の値は正の値である。一方，図１１の例とは異なり，基準検出点Ｇが平均外周面Ｓ３よりも径方向の内側に凹んでいる場合には，基準平均値Ｕの値は正の値であり，基準材取得差Ｘ３の値は負の値となる。

次に，「３．電極検出工程」を行う。本工程は，搬送によりキャリブレーションシート２７０が第１センサー２１０の検出位置を通過し，電極板１０の先端が第１センサー２１０の検出位置に到達したときに開始する。

そして，本工程では，第１センサー２１０により，電極板１０の第１面１１を検出する。そして，第１センサー２１０により，図１２に示す，電極板１０の第１面１１上の電極検出点Ｈの基準検出点Ｇからの変位量である基準電極差Ｙ３を求める。

さらには，基準電極差Ｙ３，基準材取得差Ｘ３により，電極板取得厚みＴＥ２を算出する。具体的に，電極板取得厚みＴＥ２は，次の式（２）により算出する。
ＴＥ２＝Ｙ３＋Ｘ３ （２）

ここで，上記の式（２）中の基準電極差Ｙ３と基準材取得差Ｘ３との和は，第１センサー２１０を用いて求められた，電極板１０の電極検出点Ｈと平均外周面Ｓ３との差であり，電極検出点Ｈの平均外周面Ｓ３からの変位量である。すなわち，本形態では，上記の式（２）に示すように，電極板取得厚みＴＥ２を，電極板１０の電極検出点Ｈの平均外周面Ｓ３からの変位量を加えることで算出している。

そして，本形態では，「３．電極検出工程」により得られた電極板取得厚みＴＥ２の値を，電極板１０の厚みの測定値として出力する。これにより，本形態の測定装置２００は，電極板１０の厚みの測定値を高精度で求めることができるとともに，その高い精度で求めた電極板１０の厚みの測定値を出力することができる。

また，本形態においても，電極板１０を搬送しつつ，電極板１０の厚みの測定値を連続して求める。すなわち，搬送により第１センサー２１０の検出位置を通過する電極板１０の厚みの測定値を，電極板１０の搬送方向について連続して求めることができる。これにより，例えば，電極板１０の搬送方向の一部に規格外の厚みの箇所があるときには，その部分を不良箇所として検出することができる。

ここで，本発明の効果について説明する。図１３は，測定装置２００により，搬送される電極板１０の厚みの測定を連続して行った結果を示すものである。ただし，図１３は，上記の本形態とは異なる方法により電極板１０の厚みを測定した結果である。具体的には，第１センサー２１０により第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の１つの基準検出点を検出し，その基準検出点からの電極板１０の電極検出点の変位量を，電極板取得厚みとしたものである。

また，図１３には，同じ電極板１０について３回，測定を行った結果を示している。図１３では，３回の測定毎に，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の１つの基準検出点の検出を行い，その基準検出点からの電極検出点の変位量により電極板取得厚みを求めている。

そして，図１３に示すように，１回目，２回目，３回目の電極板取得厚みのグラフはそれぞれ，大きく異なる値をとっている。具体的には，２回目，３回目の電極板取得厚みを示すグラフは，１回目の電極板取得厚みを示すグラフを，下側にシフトさせたような推移を示している。これは，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の１つの基準検出点の検出を行い，その基準検出点からの電極検出点の変位量により電極板取得厚みを求めているからである。

すなわち，前述したように，第２搬送ローラー２４０は，外周面２４１には凹凸が存在し，回転軸は偏心していることがある。そして，３回の測定毎に第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の１つの基準検出点の検出を行う第１センサー２１０が，その３回の測定毎に，外周面２４１の異なる点を基準検出点として検出しているからである。つまり，第１センサー２１０により検出される３回の測定毎の基準検出点の検出値が一定でないことにより，図１３に示す１回目，２回目，３回目の電極板取得厚みのグラフが，大きく異なる値となっている。

これに対し，図１４は，上記の本形態に係る方法により電極板１０の厚みを測定した結果である。図１４についても，図１３と同じ電極板１０について，３回の測定を行ったときの電極板取得厚みを示している。また，図１４では，３回の測定毎に，第１センサー２１０により第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の複数の検出基準点を検出し，その検出値により基準材取得差Ｘ３を求めている。そして，３回の測定毎に求めた基準材取得差Ｘ３により，電極板取得厚みを求めている。

図１４に示すように，本形態に係る方法による電極板取得厚みのグラフは，３回とも，ほぼ同じである。これは，本形態に係る方法では，前述したように，電極板取得厚みＴＥ２を，電極板１０の電極検出点の平均外周面Ｓ３からの変位量により求めているからである。

すなわち，本形態に係る方法では，平均外周面Ｓ３に係る基準平均値Ｕを，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の複数の基準検出点により求めている。このため，各回ごとに検出される複数の基準検出点の値が，各回ごとにそれぞれ異なる値であっても，各回ごとに求まる基準平均値Ｕは，それほど異なる値とはならずに，ほぼ一定の値となる。これにより，本形態に係る方法では，図１４に示すように，電極板１０の厚みの測定値を，高い繰り返し精度において求めることができる。よって，本形態に係る方法により，電極板１０の厚みの測定値を，高い精度で求めることができる。

なお，上記の本形態においては，電極板取得厚みＴＥ２を，基準電極差Ｙ３と基準材取得差Ｘ３とにより求めている。しかし，さらに，電極板１０の搬送に伴って移動する第２搬送ローラー２４０の図９における上下方向についての位置ズレ量や，環境温度の変化によって膨張または収縮する第２搬送ローラー２４０の変形量を考慮することが好ましい。

この搬送中の第２搬送ローラー２４０の位置ズレ量や変形量の検出には，例えば，図９に２点鎖線で示す第２センサー２２０を用いることができる。第２センサー２２０は，第２搬送ローラー２４０の下に，測定面２２１を，第２搬送ローラー２４０に向けた状態で固定されている。また，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１のうちの下側には電極板１０が巻き掛けられておらず，第２センサー２２０により，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１を検出することができる。

そして，「３．電極検出工程」において，第２センサー２２０により，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の，基準変位量Ｙ４を求め，その基準変位量Ｙ４を用いることで，搬送中における第２搬送ローラー２４０の位置ズレ量や変形量を測定することができる。すなわち，第２センサー２２０により得られた基準変位量Ｙ４を上記の式（２）に加えることで，搬送中の第２搬送ローラー２４０の位置ズレ量や変形量を考慮した電極板取得厚みＴＥ２を求めることができる。これにより，より正確に，電極板１０の厚みの測定値を求めることができる。

また，本形態においても，基準面である第２搬送ローラー２４０と電極板１０とを，同一の変位センサーにより検出している。具体的には，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１と電極板１０の第１面１１との検出を，第１センサー２１０により行っている。このため，本形態においても，第２搬送ローラー２４０と電極板１０との検出をそれぞれ異なる変位センサーを用いて行った場合と比較して，継続的に，高い精度で電極板１０の厚みの測定値を求めることができる。また，第２搬送ローラー２４０と電極板１０との検出を同一の変位センサーで行う本形態の測定装置２００においても，第１センサー２１０の取り替えを，容易に行うことができる。

また，本形態においても，第１の形態で説明した「４．電極板の厚みの測定値の算出工程」と同様の工程を行うことが好ましい。検量線を用いることにより，第２搬送ローラー２４０と電極板１０との光学特性による検出値の差を補正することができるからである。すなわち，より高い精度で電極板１０の厚みの測定値を求めることができるからである。

また，本形態では，第１センサー２１０による第２搬送ローラー２４０の外周面２４１上の基準検出点の検出を，図１０に示すキャリブレーションシート２７０の長穴２７２内において行っている。第２搬送ローラー２４０は，何も巻き掛けられていない自由状態のときと，電極板１０を搬送しているときとでは，わずかに形状などが異なるものである。

第２搬送ローラー２４０は，電極板１０を搬送しているときにおいて，電極板１０による張力が掛けられた状態となる。その張力により，第２搬送ローラー２４０は，わずかに変形等するからである。そして，本形態では，第１センサー２１０による第２搬送ローラー２４０の基準検出点の検出を，キャリブレーションシート２７０を用いることにより，電極板１０を搬送している状態と同じ状態の第２搬送ローラー２４０について行っている。これにより，電極板１０の厚みの測定値を，より高い精度で求めることができる。

なお，それほど高い精度を必要としない場合には，第１センサー２１０による第２搬送ローラー２４０の基準検出点の検出を，何も巻き掛けられていない自由状態の第２搬送ローラー２４０について行っても良い。

以上詳細に説明したように，本実施の形態に係る方法では，電極板１０の厚みの測定値を，第１センサー２１０により第２搬送ローラー２４０と電極板１０との変位量を求め，その変位量を用いて求める。つまり，基準検出工程では，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１について検出を行う。また，基準平均算出工程では，検出した複数の基準検出点より平均外周面Ｓ３に係る基準平均値Ｕを求めるとともに，基準材取得差Ｘ３を求める。さらに，電極検出工程では，電極板１０の電極検出点を検出するとともに，電極検出点の平均外周面Ｓ３からの変位量を求める。そして，その変位量を電極板取得厚みＴＥ２として求めている。これにより，本形態においても，電極板の厚みを高い精度で測定することができる電極板厚み測定方法が実現されている。

なお，本実施の形態は単なる例示にすぎず，本発明を何ら限定するものではない。従って本発明は当然に，その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良，変形が可能である。例えば，上記の実施形態では，電極板１０の厚みの測定値を求めている。そして，その電極板１０の厚みの測定値より，さらに，電極板１０の活物質層３０，３１の厚みの測定値を求めることも可能である。活物質層３０，３１の厚みの測定値は，電極板１０の厚みの測定値より，電極板１０の集電箔２０の厚みを減ずることで求めることができる。

また例えば，上記の実施形態では，集電箔２０の両面に活物質層３０，３１を形成してなる電極板１０の厚みの測定値を求める例について説明している。しかし，本発明により，集電箔の片面にのみ活物質層を形成した状態の電極板についても，その厚みの測定値を求めることができる。また例えば，上記の実施形態では，変位センサーとして，検出対象面との距離が近いほど，大きな値を出力するものを用いた例について説明している。しかし，検出対象面との距離が近いほど，小さな値を出力する変位センサーを用いることもできる。

また例えば，上記の第２の形態では，キャリブレーションシート２７０の長穴２７１の長さ２７２を，第２搬送ローラー２４０の外周面２４１の周方向における長さの１周分として説明したが，これに限定されるものではない。長穴２７１の長さ２７２は，第２搬送ローラー２４０の平均外周面Ｓ３を適切に定めるため，少なくとも第２搬送ローラー２４０の１周分の長さ以上であることが好ましく，例えば，１０周分の長さとしてもよい。さらには，例えば，長穴２７１の長さ２７２を第２搬送ローラー２４０の１０周分の長さとし，その１０周分の検出値を用いることで，より安定した平均外周面Ｓ３を求めることができる。

１０ 電極板
１１ 第１面
１２ 第２面
２０ 集電箔
３０，３１ 活物質層
５０ 基準材
５１ 第１基準面
５２ 第２基準面
１００，２００ 測定装置
１１０，２１０ 第１センサー
１２０ 第２センサー
２４０ 第２搬送ローラー
２４１ 外周面
Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｄ１，Ｄ２，Ｅ１，Ｅ２，Ｇ 基準検出点
Ｆ１，Ｆ２，Ｈ 電極検出点
Ｓ１ 第１基準平均面
Ｓ２ 第２基準平均面
Ｓ３ 平均外周面
ＴＢ１ 基準材信頼厚み
ＴＢ２ 基準材平均厚み
ＴＢ３ 基準材取得差
ＴＢａ，ＴＢｂ，ＴＢｃ，ＴＤｂ，ＴＢｅ 基準材取得厚み
ＴＥ１，ＴＥ２ 電極板取得厚み
Ｕ 基準平均値
Ｘ３ 基準材取得差
Ｙ１，Ｙ２ 基準電極差

Claims (1)

1. 集電箔とその表面に形成された活物質層とを有する電極板の厚みの測定値を，変位センサーを用いて基準面と前記電極板の表面との前記電極板の厚み方向についての変位量を求め，前記変位量を用いて求める電極板厚み測定方法において，
   前記変位センサーにより，前記基準面上の複数の基準検出点についてそれぞれ，前記厚み方向における位置を指標する基準指標値を検出する基準検出工程と，
   複数の前記基準指標値により，前記基準面を前記厚み方向と直交する平面に更生した仮想の基準平均面と，複数の前記基準検出点のうちの１つである第１の基準検出点との距離を指標する基準差値を求める基準平均算出工程と，
   前記変位センサーにより，前記電極板の表面の電極検出点の，前記厚み方向における位置を指標する電極指標値を検出するとともに，前記第１の基準検出点の前記基準指標値と前記電極指標値とにより，前記第１の基準検出点と前記電極検出点との差を指標する基準電極差値を求める電極検出工程とを行うとともに，
   前記変位量を，前記基準差値と前記基準電極差値との和により求めることを特徴とする電極板厚み測定方法。

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