JP4991365B2 - 寸法測定装置及び寸法測定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 39
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 30
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 20
- 239000012925 reference material Substances 0.000 claims description 18
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 8
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/04—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving
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-
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/08—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
S0〔μm〕:ワーク2の測定変位
Tm〔℃〕:マスタ16の温度(基準温度)
tm〔μm〕:マスタ16の厚さ(基準寸法)
αm〔1/℃〕:マスタ16の線膨張係数
Tw〔℃〕:ワーク2の温度
tw〔μm〕:ワーク2の厚さ
αw〔1/℃〕ワーク2の線膨張係数
2 ワーク
2a ロータ
2b カムリング
5 コンベア
6 測定部
7 収容部
9 入口部
10 冷却領域
11 ならし領域
14 温度測定部
15 寸法測定部
16 マスタ
18 コントローラ
Claims (4)
- 被測定物の寸法を測定する寸法測定装置であって、
被測定物を搬送する搬送手段と、
被測定物が搬送される搬送領域内の温度を制御する温度制御手段と、
前記搬送領域における測定部に搬送された被測定物の寸法を測定する寸法測定手段と、
前記寸法測定手段による寸法測定時の被測定物の温度を測定する温度測定手段と、
前記測定部に配置された基準材と、を備え、
前記基準材の温度を測定することによって基準温度が設定され、
前記基準材の基準温度測定時に当該基準材の寸法を測定することによって基準寸法が設定され、
前記寸法測定手段は、被測定物における前記基準材の基準寸法との寸法差を測定する変位計であり、
当該変位計によって測定された変位は、前記温度測定手段によって測定された温度を用いて、前記基準材の前記基準温度における変位に補正され、
被測定物は、前記補正された変位に基づいて寸法精度が評価されることを特徴とする寸法測定装置。 - 前記基準温度及び前記基準寸法の測定は、前記基準材の測定後の所定時間経過後、又は前記温度測定手段によって測定された被測定物の温度と前記基準温度との温度差が所定以上となった場合に行なわれることを特徴とする請求項1に記載の寸法測定装置。
- 前記搬送領域は、
被測定物を強制的に冷却する第1の領域と、
前記第1の領域にて冷却された被測定物の温度をならす第2の領域と、
に区画されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の寸法測定装置。 - 被測定物の寸法を測定する寸法測定方法であって、
被測定物が搬送される搬送領域内の温度を制御する温度制御工程と、
前記搬送領域における測定部に搬送された被測定物の寸法を測定する寸法測定工程と、
前記寸法測定工程による寸法測定時の被測定物の温度を測定する温度測定工程と、を備え、
前記測定部に配置された基準材の温度を測定することによって基準温度が設定され、
前記基準材の基準温度測定時に当該基準材の寸法を測定することによって基準寸法が設定され、
前記寸法測定工程では、被測定物における前記基準材の基準寸法との寸法差が変位計によって測定され、
前記変位計によって測定された変位を、前記温度測定工程によって測定された温度を用いて、前記基準材の前記基準温度における変位に補正する補正工程と、
前記補正された変位に基づいて被測定物の寸法精度を評価する評価工程と、を備えることを特徴とする寸法測定方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007087679A JP4991365B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
EP08004609A EP1975552A3 (en) | 2007-03-29 | 2008-03-12 | Dimension measuring apparatus and dimension measuring method |
MX2008004043A MX2008004043A (es) | 2007-03-29 | 2008-03-26 | Aparato y metodo de medicion de dimension. |
US12/078,125 US7587840B2 (en) | 2007-03-29 | 2008-03-27 | Dimension measuring apparatus and dimension measuring method |
KR1020080028695A KR100904935B1 (ko) | 2007-03-29 | 2008-03-28 | 치수 측정 장치 및 치수 측정 방법 |
CN2008100891053A CN101275828B (zh) | 2007-03-29 | 2008-03-28 | 尺寸测定装置和尺寸测定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007087679A JP4991365B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008249352A JP2008249352A (ja) | 2008-10-16 |
JP4991365B2 true JP4991365B2 (ja) | 2012-08-01 |
Family
ID=39615843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007087679A Active JP4991365B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7587840B2 (ja) |
EP (1) | EP1975552A3 (ja) |
JP (1) | JP4991365B2 (ja) |
KR (1) | KR100904935B1 (ja) |
CN (1) | CN101275828B (ja) |
MX (1) | MX2008004043A (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USD668973S1 (en) * | 2010-12-31 | 2012-10-16 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Dimension measuring apparatus with image |
GB201113715D0 (en) * | 2011-08-09 | 2011-09-21 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
JP5408227B2 (ja) | 2011-10-31 | 2014-02-05 | ダイキン工業株式会社 | 空調室内機 |
CN103063104B (zh) * | 2013-01-15 | 2015-09-09 | 天津海博斯机电设备有限公司 | 一种基于温度修正法的碳纤维量仪 |
GB201308467D0 (en) | 2013-05-10 | 2013-06-19 | Renishaw Plc | Method and Apparatus for Inspecting Workpieces |
CN104326246B (zh) * | 2014-10-22 | 2016-03-30 | 湖州科尼物流设备有限公司 | 一种货物高度检测装置 |
CN104266623B (zh) * | 2014-10-22 | 2017-01-25 | 湖州科尼物流设备有限公司 | 一种货物尺寸检测装置 |
US10438781B2 (en) * | 2015-10-16 | 2019-10-08 | Shimadzu Corporation | Measurement error correction method based on temperature-dependent displacement in measurement device and mass spectrometer using the same method |
JP6592039B2 (ja) | 2017-07-04 | 2019-10-16 | ファナック株式会社 | 熱変位補正装置 |
FI127730B (en) * | 2017-10-06 | 2019-01-15 | Oy Mapvision Ltd | Measurement system with heat measurement |
EP3477248B1 (de) * | 2017-10-26 | 2023-06-07 | Heinrich Georg GmbH Maschinenfabrik | Inspektionssystem und verfahren zur fehleranalyse |
JP7400183B2 (ja) * | 2020-03-04 | 2023-12-19 | 株式会社東京精密 | 三次元測定システム及び三次元測定方法 |
JP7458578B2 (ja) * | 2020-03-04 | 2024-04-01 | 株式会社東京精密 | 三次元測定システム及び三次元測定方法 |
WO2020184678A1 (ja) | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社東京精密 | 三次元測定システム及び三次元測定方法 |
JP6725862B1 (ja) * | 2019-03-14 | 2020-07-22 | 株式会社東京精密 | 三次元測定システム及び三次元測定方法 |
CN110363490A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-10-22 | 东莞新吉凯氏测量技术有限公司 | 一种具有装配关系的工件的云协同方法 |
JP7478079B2 (ja) | 2020-10-30 | 2024-05-02 | 光精工株式会社 | 恒温測定システム |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6043207B2 (ja) | 1977-12-09 | 1985-09-27 | 住友金属工業株式会社 | 定型機入口の温度調整装置 |
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-
2007
- 2007-03-29 JP JP2007087679A patent/JP4991365B2/ja active Active
-
2008
- 2008-03-12 EP EP08004609A patent/EP1975552A3/en not_active Withdrawn
- 2008-03-26 MX MX2008004043A patent/MX2008004043A/es active IP Right Grant
- 2008-03-27 US US12/078,125 patent/US7587840B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-28 CN CN2008100891053A patent/CN101275828B/zh active Active
- 2008-03-28 KR KR1020080028695A patent/KR100904935B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100904935B1 (ko) | 2009-06-29 |
US7587840B2 (en) | 2009-09-15 |
MX2008004043A (es) | 2009-02-27 |
JP2008249352A (ja) | 2008-10-16 |
KR20080088481A (ko) | 2008-10-02 |
CN101275828A (zh) | 2008-10-01 |
EP1975552A3 (en) | 2009-12-09 |
US20080235971A1 (en) | 2008-10-02 |
CN101275828B (zh) | 2012-07-25 |
EP1975552A2 (en) | 2008-10-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120201 |
|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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