KR102672523B1

KR102672523B1 - 노즐 세정 장치, 노즐 세정 방법 및 도포 장치

Info

Publication number: KR102672523B1
Application number: KR1020220012263A
Authority: KR
Inventors: 쇼고 가시노; 유키히로 다카무라; 유지 아베
Original assignee: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
Priority date: 2021-02-26
Filing date: 2022-01-27
Publication date: 2024-06-07
Also published as: TWI826870B; CN114950809A; JP7279096B2; CN114950809B; TW202233307A; JP2022131177A; KR20220122492A

Abstract

이 발명은, 노즐 맞닿음 부재를 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부와, 노즐 맞닿음 부재를 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서 토출구의 연장 방향으로 부착물 제거부를 이동시키는 이동부와, 이동부에 의한 노즐 맞닿음 부재의 이동에 의해서 제거된 후에 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 도포액을 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 회수부와, 회수부에서 회수된 도포액을 도포 장치의 외부로 안내하여 배출하는 배출부를 구비하고, 회수부는, 부착물 제거부의 하방에서 배출부를 향하여 경사지는 내저면을 갖는 저부와, 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체이며, 저부 및 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 도포액을 배출부를 향하여 유동시킨다.

Description

노즐 세정 장치, 노즐 세정 방법 및 도포 장치{NOZZLE CLEANING APPARATUS, NOZZLE CLEANING METHOD AND COATING APPARATUS}

이 발명은, 기판에 대해서 노즐의 하단부에 형성된 토출구로부터 도포액을 토출하여 도포하는 도포 장치, 및 상기 노즐의 하단부에 부착하는 부착물을 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거하여 세정하는 노즐 세정 기술에 관한 것이다. 여기서 말하는 「기판」에는, 액정 표시 장치용 유리 기판, 반도체 기판, PDP용 유리 기판, 포토마스크용 유리 기판, 컬러 필터용 기판, 기록 디스크용 기판, 태양 전지용 기판, 전자 페이퍼용 기판 등의 정밀 전자 장치용 기판, 직사각형 유리 기판, 필름 액정용 플렉시블 기판, 유기 EL용 기판 등의 각종 기판이 해당한다.

기판에 대해서 도포액을 공급하기 위해서, 예를 들면, 일본국 특허공개 2020-37092호 공보(특허 문헌 1)에 기재되어 있는 바와 같이, 슬릿 형상의 토출구를 갖는 노즐이 일반적으로 이용된다. 이러한 노즐에서는, 도포액이 노즐의 하단부에 부착되는 경우가 있다. 부착물이 건조되어 경화하여 기판에 낙하하면, 기판을 오염시켜 버린다. 그래서, 특허 문헌 1에 기재된 장치에서는, 노즐로부터 기판에 도포액을 공급하기 전에, 노즐의 하단부의 측면에 부착된 도포액을 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거하여 세정하고 있다. 또, 노즐 맞닿음 부재를 하방으로부터 덮도록 필름을 배치하여, 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거된 도포액을 필름의 중앙부에 회수한 후에, 도포 장치의 외부로 배출하고 있다.

상기 필름의 교환은 수작업에 의해 행해진다. 이 때문에, 필름을 장착할 때, 주름이 생기기 쉽다. 주름이 전혀 없도록 하는 데에 상당한 시간을 요한다. 또, 주름 없이 장착했다고 해도, 경시 변화 및 작업자의 부주의에 의해, 주름이 발생하는 경우가 있다. 이러한 요인에 의해 주름이 발생하면, 당해 주름 부분에서 도포액이 체류되어 버려, 도포액을 안정적으로 회수하여, 도포 장치의 외부로 배출하는 것이 곤란해진다.

이 발명은 상기 과제를 감안한 것이며, 노즐의 하단부로부터 제거된 도포액을 원활하게 도포 장치의 외부로 배출할 수 있는 노즐 세정 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 발명의 제1의 양태는, 노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 도포액을 기판에 도포하는 도포 장치에 장비되어, 노즐을 세정하는 노즐 세정 장치로서, 노즐 맞닿음 부재를 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서, 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부와, 노즐 맞닿음 부재를 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서, 토출구의 연장 방향으로 부착물 제거부를 이동시키는 이동부와, 이동부에 의한 노즐 맞닿음 부재의 이동에 의해서 제거된 후에 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 도포액을, 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 회수부와, 회수부에서 회수된 도포액을 도포 장치의 외부로 안내하여 배출하는 배출부를 구비하고, 회수부는, 부착물 제거부의 하방에서 배출부를 향하여 경사지는 저면을 갖는 저부와, 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체이며, 그 구성에 의해, 저부 및 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 도포액을 배출부를 향하여 유동시킨다.

또, 이 발명의 제2의 양태는, 노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 도포액을 도포하는 도포 장치에 있어서, 노즐을 세정하는 노즐 세정 방법으로서, 노즐 맞닿음 부재를 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부를, 노즐 맞닿음 부재를 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서 토출구의 연장 방향으로 이동시켜 노즐의 하단부에 부착되는 도포액을 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거하는 제1 공정과, 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거된 후에 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 도포액을 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 제2 공정과, 회수된 도포액을 배출부를 통해 도포 장치의 외부로 배출하는 제3 공정을 구비하고, 제2 공정에서는, 부착물 제거부의 하방에서 배출부를 향하여 경사지는 저면을 갖는 저부와, 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체로 구성되는 회수부에 의해 도포액을 회수하여, 저부 및 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 배출부를 향하여 유동시킨다.

또한, 이 발명의 제3의 양태는, 노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 도포액을 기판에 도포하는 도포부와, 상기 노즐 세정 장치를 구비하고 있다.

이와 같이 구성된 발명에서는, 부착물 제거부에 설치되는 노즐 맞닿음 부재에 의해 노즐로부터 도포액이 제거된다. 이 도포액은 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하여, 회수부에 회수된다. 회수부는, 부착물 제거부의 하방에서 배출부를 향하여 경사지는 저면을 갖는 저부와, 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체로 구성된다. 이 회수부에서는, 도포액이 저부 및 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 배출부를 향하여 유동한다. 그리고, 당해 도포액이 배출부를 통해 도포 장치의 외부로 배출된다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 노즐의 하단부로부터 제거된 도포액을 원활하게 도포 장치의 외부로 배출할 수 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 노즐 세정 장치의 일 실시형태를 장비하는 도포 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는, 도 1에 나타낸 도포 장치를 모식적으로 나타낸 측면도이다.
도 3은, 도 1에 나타낸 도포 장치의 각 부의 배치를 개략적으로 나타낸 상면도이다.
도 4는, 본 발명에 따른 노즐 세정 장치의 제1 실시형태인 세정 유닛의 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 5는, 도 4에 나타낸 세정 유닛의 부착물 제거부 및 회수부의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 6은, 본 발명에 따른 노즐 세정 장치의 제2 실시형태인 세정 유닛의 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 7은, 도 6에 나타낸 세정 유닛의 부착물 제거부 및 회수부의 구성을 나타낸 사시도이다.

도 1은, 본 발명에 따른 노즐 세정 장치의 일 실시형태를 장비하는 도포 장치를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또, 도 2는, 도 1에 나타내는 도포 장치를 모식적으로 나타내는 측면도이다. 또한, 도 3은, 도 1에 나타내는 도포 장치의 각 부의 배치를 개략적으로 나타내는 상면도이다. 또한, 도 1, 도 2, 도 3 및 이후의 각 도면에는 그들의 방향 관계를 명확하게 하기 위해 Z방향을 연직 방향으로 하고, XY평면을 수평면으로 하는 XYZ 직교좌표계를 적절히 붙임과 더불어, 필요에 따라서 각 부의 치수나 수를 과장 또는 간략화하여 그리고 있다. 또, 도 2 및 도 3에서는, 노즐 지지체 등의 일부의 구성을 생략하고 있다.

도포 장치(1)는, 슬릿 노즐(2)을 이용하여 피도포물의 일례인 기판(3)의 표면(31)에 도포액을 도포하는 슬릿 코터라고 불리는 도포 장치이다. 도포액은, 안료나 마이크로 캡슐 등의 분산계 재료를 분산시킨 분산계 도포액이다. 또, 노즐(2)에 부착되는 분산계 도포액을 세정하는 세정액으로서, 본 실시형태에서는, PGMEA(propyleneglycol monomethyl ether acetate:프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트), 시너(에테르류 용매나 케톤류의 유기 용매 등), PGMEA와 PEGME(polyethylene glycol monomethyl ether:프로필렌글리콜모노메틸에테르)의 혼합액 등을 이용하고 있다. 또, 기판(3)은 평면으로 볼 때 직사각형 형상을 갖는 유리 기판이다. 또한, 본 명세서 중에서, 「기판(3)의 표면(31)」이란 기판(3)의 양 주면 중 도포액이 도포되는 측의 주면을 의미한다.

도포 장치(1)는, 기판(3)을 수평 자세로 흡착 유지 가능한 스테이지(4)와, 스테이지(4)에 유지되는 기판(3)에 노즐(2)을 이용하여 도포 처리를 실시하는 도포 처리부(5)와, 노즐(2)에 대해서 메인터넌스 처리를 실시하는 노즐 메인터넌스 유닛(6)과, 이들 각 부를 제어하는 제어부(100)를 구비한다.

스테이지(4)는 대략 직방체의 형상을 갖는 화강암 등의 석재로 구성되어 있고, 그 상면(+Z 측) 중 (-Y)방향 측에는, 대략 수평인 평탄면으로 가공되어 기판(3)을 유지하는 유지면(41)을 갖는다. 유지면(41)에는 도시하지 않은 다수의 진공 흡착구가 분산되어 형성되어 있다. 이들 진공 흡착구에 의해 기판(3)이 흡착됨으로써, 도포 처리 시에 기판(3)이 소정의 위치에 수평으로 유지된다. 또한, 기판(3)의 유지 양태는 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 기계적으로 기판(3)을 유지하도록 구성해도 된다. 또, 스테이지(4)에 있어서 유지면(41)이 점유하는 영역보다 (+Y)방향 측에는 노즐 조정 영역(RA)이 형성되어 있고, 이 노즐 조정 영역(RA)에 후술하는 바와 같이 본 발명에 따른 노즐 세정 장치의 일 실시형태를 갖는 노즐 메인터넌스 유닛(6)이 배치되어 있다.

노즐(2)은 X방향으로 연장 설치되어 있다. 또, YZ단면에 있어서 하단부(2a)(노즐 립부)는 하방으로 끝이 좁아지는 형상을 갖는다. 그리고, 당해 하단부(2a)에 있어서 슬릿 형상의 토출구(21)가 X방향으로 연장 설치되어 있고, 도시 생략된 도포액 공급부로부터 압송되어 오는 도포액이, 상기 토출구(21)로부터 기판(3)의 표면(31)에 토출된다. 이에 의해서, 기판(3)의 표면(31)에 도포액이 도포된다.

도포 처리부(5)는, 노즐(2)을 지지하는 노즐 지지체(51)를 갖는다. 이 노즐 지지체(51)는, 스테이지(4)의 상방에서 X방향으로 평행으로 연장 설치된 지지 부재(51a)와, 지지 부재(51a)를 X방향의 양 측으로부터 지지하여 지지 부재(51a)를 승강시키는 2개의 승강 기구(51b)를 갖는다. 지지 부재(51a)는, 카본 파이버 보강 수지 등으로 구성되고, 직사각형의 단면을 갖는 봉 부재이다. 이 지지 부재(51a)의 하면은 노즐(2)의 장착 개소(510)가 되어 있고, 지지 부재(51a)는 장착 개소(510)에 노즐(2)을 착탈 가능하게 지지한다. 또한, 노즐(2)을 지지 부재(51a)의 장착 개소(510)에 착탈하기 위한 기구로서는, 래치 혹은 나사 등의 여러 가지의 체결 기구를 적절히 이용할 수 있다.

2개의 승강 기구(51b)는 지지 부재(51a)의 길이 방향의 양 단부에 연결되어 있고, 각각 AC 서보 모터 및 볼 나사 등을 갖는다. 이들 승강 기구(51b)에 의해, 지지 부재(51a) 및 그것에 고정된 노즐(2)이 연직 방향(Z방향)으로 승강되어, 노즐(2)의 하단에서 개구되는 토출구(21)와 기판(3)의 간격, 즉, 기판(3)에 대한 토출구(21)의 상대적인 높이가 조정된다. 또한, 지지 부재(51a)의 연직 방향의 위치는, 예를 들면, 도시를 생략하고 있는데, 승강 기구(51b)의 측면에 설치된 스케일부와, 당해 스케일부에 대향하여 노즐(2)의 측면 등에 설치된 검출 센서로 구성되는 리니어 엔코더에 의해 검출할 수 있다.

이와 같이 구성된 노즐 지지체(51)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 스테이지(4)의 좌우 양 단부에 걸쳐 X방향을 따라 놓여진, 유지면(41)에 걸쳐 있는 가교 구조를 가지고 있다. 도포 처리부(5)는, 이 노즐 지지체(51)를 Y방향으로 이동시키는 슬릿 노즐 이동부(53)를 갖는다. 슬릿 노즐 이동부(53)는, 가교 구조체로서의 노즐 지지체(51)와 이것에 지지된 노즐(2)을, 스테이지(4) 상에 유지되는 기판(3)에 대해서 Y방향을 따라서 상대 이동시키는 상대 이동 수단으로서 기능한다. 구체적으로는, 슬릿 노즐 이동부(53)는, ±X 측 각각에 있어서, 노즐(2)의 이동을 Y방향으로 안내하는 가이드 레일(52)과, 구동원인 리니어 모터(54)와, 노즐(2)의 토출구(21)의 위치를 검출하기 위한 리니어 엔코더(55)를 갖는다.

2개의 가이드 레일(52)은 각각, 스테이지(4)의 X방향의 양 단부에 설치되고, 노즐 조정 영역(RA) 및 유지면(41)이 형성된 구간을 포함하도록 Y방향으로 연장 설치되어 있다. 그리고, 2개의 가이드 레일(52)이 각각, 2개의 승강 기구(51b)의 이동을 Y방향으로 안내한다. 또, 2개의 리니어 모터(54)는 각각, 스테이지(4)의 양측에 설치되고, 고정자(54a)와 이동자(54b)를 갖는 AC 코어리스 리니어 모터이다. 고정자(54a)는, 스테이지(4)의 X방향의 측면에 Y방향을 따라서 설치되어 있다. 한편, 이동자(54b)는, 승강 기구(51b)의 외측에 고정 설치되어 있다. 2개의 리니어 모터(54)는 각각, 이들 고정자(54a)와 이동자(54b)의 사이에 발생하는 자력에 의해서, 2개의 승강 기구(51b)를 Y방향으로 구동한다.

또, 각 리니어 엔코더(55)는 각각, 스케일부(55a)와 검출부(55b)를 가지고 있다. 스케일부(55a)는 스테이지(4)에 고정 설치된 리니어 모터(54)의 고정자(54a)의 하부에 Y방향을 따라서 설치되어 있다. 한편, 검출부(55b)는, 승강 기구(51b)에 고정 설치된 리니어 모터(54)의 이동자(54b)의 더욱 외측에 고정 설치되고, 스케일부(55a)에 대향 배치된다. 리니어 엔코더(55)는, 스케일부(55a)와 검출부(55b)의 상대적인 위치 관계에 의거하여, Y방향에 있어서의 노즐(2)의 토출구(21)의 위치를 검출한다.

이와 같이 구성된 슬릿 노즐 이동부(53)는, 노즐 지지체(51)를 Y방향으로 구동함으로써, 노즐 조정 영역(RA)의 상방과 스테이지(4) 상에 유지되는 기판(3)의 상방의 사이에서 노즐(2)을 이동시킬 수 있다. 그리고, 도포 장치(1)는, 노즐(2)의 토출구(21)로부터 도포액을 토출하면서 노즐(2)을 기판(3)에 대해서 상대 이동시킴으로써, 기판(3)의 표면(31)에 도포층을 형성한다. 또한, 기판(3)의 각 변의 단부로부터 소정의 폭의 영역(액자 형상의 영역)은, 도포액의 도포 대상이 되지 않는 비도포 영역으로 되어 있다. 따라서, 기판(3) 중, 이 비도포 영역을 제외한 직사각형 영역이, 도포액을 도포해야 하는 도포 영역(RT)으로 되어 있다(도 3). 이 때문에, 노즐(2)의 이동 구간 중 기판(3)의 도포 영역(RT)의 상방 구간을 이동하는 토출구(21)로부터 도포액이 토출된다.

또, 도포 장치(1)와 외부 반송 기구의 기판(3)의 수도(受渡) 기간(기판(3)의 반입·반출 기간) 등의 스테이지(4) 상에서 도포 처리가 행해지지 않는 기간에는, 노즐(2)은, 기판(3)의 유지면(41)에서 (+Y)방향 측으로 벗어난 노즐 조정 영역(RA)에 대피한다(도 1에 나타내는 상태). 그리고, 노즐 조정 영역(RA)에 위치하는 노즐(2)에 대해서, 노즐 메인터넌스 유닛(6)이 각종 메인터넌스를 실행한다.

노즐 메인터넌스 유닛(6)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 유지면(41)이 점유 하는 영역보다 (+Y)방향 측(동 도면의 오른손 측)의 노즐 조정 영역(RA)에 설치되어 있고, 노즐(2)을 노즐 세정하여, 노즐(2)에 부착된 부착물을 제거하는 기능을 가지고 있다. 여기서, 제거 대상이 되는 부착물로서는, 노즐(2)에 부착될 수 있는 여러 가지의 물질을 들 수 있다. 예를 들면, 이 부착물은 도포액 자체 및 도포액의 용질이 건조·고화된 고화 재료 등을 포함한다.

노즐 메인터넌스 유닛(6)은, 두 종류의 세정 유닛(7, 8)을 구비하고 있다. 세정 유닛(7)은, 본 발명에 따른 노즐 세정 장치의 제1 실시형태에 상당하는 것이다. 세정 유닛(7)에서는, 스크레이퍼(노즐 맞닿음 부재)가 노즐(2)의 하단부(2a)(노즐 립부)의 외면에 맞닿으면서, 당해 외면을 따라서 X방향을 따라서 이동한다(긁어냄 동작). 이에 의해, 스크레이퍼는, 노즐(2)의 하단부(2a)에 부착된 도포액 등을 긁어내 제거한다. 이 제거된 도포액은, 세정 유닛(7)에 설치되는 회수부 및 배출부를 통해, 후에 설명하는 린스액과 함께 도포 장치(1)의 외부로 배출된다. 또한, 세정 유닛(7)의 구성에 대해서는, 후에 상술한다.

또 다른 세정 유닛(8)은, 상기 세정 유닛(7)에 의해서는 제거할 수 없었던 잔류 부착물을 세정액과 초음파 진동을 이용하여 노즐(2)로부터 제거하기 위한 장치이다. 이 세정 유닛(8)에서는, 노즐(2)의 하단부(2a)를 세정하기 위한 세정액이 세정조(81)에 저류되어 있다. 세정 유닛(8)은, 노즐(2)의 하단부(2a)를 세정조(81)에 침지한 상태에서 세정액을 통해 초음파 진동을 하단부(2a)에 가함으로써, 잔류 부착물을 제거한다.

도 4는, 본 발명에 따른 노즐 세정 장치의 제1 실시형태인 세정 유닛의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다. 또, 도 5는 도 4에 나타내는 세정 유닛의 부착물 제거부 및 회수부의 구성을 나타내는 사시도이다. 세정 유닛(7)은, 부착물 제거부(71)와, 노즐 세정 이동부(72)와, 회수부(73)와, 배출부(74)를 구비하고 있다.

부착물 제거부(71)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 스프레더(711) 및 스크레이퍼(712)의 두 종류의 노즐 세정 부재와, 스프레더(711) 및 스크레이퍼(712)를 노즐(2)의 하단부(2a)를 향하게 한 상태에서 지지하는 지지 부재(713)를 갖는다. 이들 중, 스프레더(711)는, 도시를 생략하는 린스액 공급 기구로부터 노즐(2)의 하단부(2a)에 공급된 린스액을 노즐(2)의 하단부(2a)에 펼쳐 바르는 린스액 공급 기능을 담당한다. 스크레이퍼(712)는, 스프레더(711)의 이동 방향 X의 하류 측에서 노즐(2)의 하단부(2a)로부터 린스액을 제거하는 액 제거 기능을 담당한다. 이에 의해서, 노즐(2)의 하단부(2a)의 부착물을 린스액과 함께 제거할 수 있다. 즉, 건조되어 고화된 도포액 등의 부착물이 하단부(2a)의 경사면에 부착되어 있는 경우, 스프레더(711)에 의해 펼쳐 발린 린스액이 부착물을 어느 정도 용해하고, 이 용해물(부착물)을 포함하는 린스액이 스크레이퍼(712)에 의해서 제거된다. 이와 같이 본 실시형태에서는, 스크레이퍼(712)가, 본 발명의 「노즐 맞닿음 부재」의 일례에 상당하고 있으며, 노즐(2)의 하단부(2a)에 부착되는 도포액을 린스액과 함께 제거하는 기능을 가지고 있다. 또한, 세정 유닛(7)의 더 상세한 구성 및 동작은 특허 문헌 1에 기재된 장치와 동일하기 때문에, 그들의 설명을 생략한다.

지지 부재(713)에는, 노즐 세정 이동부(72)가 접속되어 있다. 이 노즐 세정 이동부(72)는, 제어부(100)로부터의 이동 지령에 따라 지지 부재(713)를 토출구(21)의 연장 방향(X)으로 왕복 이동시킨다. 이에 의해 스프레더(711) 및 스크레이퍼(712)가 도 4에 나타내는 이동 범위(MR)에서 X방향으로 왕복 이동한다. 이 이동 범위(MR)는, 노즐(2)의 하단부(2a)의 하방이고, 또한 하단부(2a)의 X방향 사이즈보다 약간 넓은 사이즈를 가지고 있다. 동 도면에 1점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 노즐(2)이 세정 유닛(7)의 세정 위치에 위치하고 있는 상태에서, 노즐 세정 이동부(72)에 의해 부착물 제거부(71)가 (+X)방향 측으로부터 (-X)방향 측으로 이동한다. 즉, 상기 스크레이퍼(712)가 노즐(2)의 하단부(2a)에 맞닿은 상태에서, 부착물 제거부(71)가 (+X)방향 측으로부터 (-X)방향 측으로 이동한다. 이에 의해 노즐(2)의 하단부(2a)의 세정 처리가 실행된다. 한편, 세정 처리가 완료되고, 노즐(2)이 세정 유닛(7)의 세정 위치로부터 이격된 상태에서, 부착물 제거부(71)가 (-X)방향 측으로부터 (+X)방향 측으로 이동하여, 도 4에 실선으로 나타내는 바와 같이 배출부(74)의 상방에 위치 결정된다. 이와 같이, 노즐 세정 이동부(72)가 본 발명의 「이동부」로서 기능한다.

세정 처리에 의해 노즐(2)의 하단부(2a)로부터 제거된 도포액이나 린스액 등(이하에 있어서, 이들을 총칭하여 적당히 「제거된 도포액」이라고 한다)은, 도 5에 점선 화살표로 나타내는 바와 같이, 부착물 제거부(71)를 경유하여 하방으로 흐른다. 이 도포액을 회수하기 위해서, 본 실시형태에서는, 회수부(73)가 설치되어 있다. 회수부(73)는 연직 상방으로 개구된 박스 형상을 갖는 구조체로 구성되어 있다. 보다 상세하게는, 회수부(73)는, 부착물 제거부(71)를 하방으로부터 덮는 데에 충분한 사이즈의 개구를 가짐과 더불어, 당해 개구와 대향하는 직사각형 형상의 내저면(731a)을 갖는 저부(731)를 가지고 있다. 또, 저부(731)의 네 변으로부터 측벽(732~735)이 각각 세워 설치되어 있다. 이에 의해, 부착물 제거부(71)를 경유하여 낙하해 오는 제거된 도포액을 회수하는, 회수 영역(736)이 형성되어 있다.

이와 같이 구성된 회수부(73)는, 내저면(731a)이 연직 상방으로부터의 평면에서 볼 때 부착물 제거부(71)를 하방으로부터 덮도록 배치된 상태에서, 도시를 생략하는 브래킷에 의해 부착물 제거부(71)와 접속되어 있다. 이 때문에, 회수부(73)는, 노즐 세정 이동부(72)의 작동에 의해, 부착물 제거부(71)와 일체적으로 연장 방향(X)으로 이동한다. 이 때문에, 노즐(2)의 하단부(2a)의 세정 처리 중, 제거된 도포액이 연속적으로 회수부(73)의 회수 영역(736)에 회수된다.

또, 본 실시형태에서는, 내저면(731a)이 배출부(74)를 향하여 경사지도록, 저부(731)가 구성되어 있다. 배출부(74)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 이동 범위(MR)의 (+X)방향 측에서, 회수부(73)의 (-Y)방향 부위의 연직 하방에 배치되어 있다. 이에 대응하여, 내저면(731a)은 연직 방향(Z)에 있어서 (-Y)방향 부위가 가장 낮게 되어 있다. 이 때문에, 회수 영역(736)의 회수된 도포액은 내저면(731a)을 따라서 (-Y)방향 측으로 유동하고, (-Y) 방향 부위에 집적된다. 즉, (-Y)방향 부위가 본 발명의 「집적 부위」의 일례에 상당하고 있다. 또, 부착물 제거부(71) 및 회수부(73)가 도 4에 실선으로 나타내는 바와 같이 이동 범위(MR)의 (+X)방향 측에 위치 결정된 상태(이하, 「세정 대기 상태」라고 한다), 즉 배출부(74)의 바로 위 위치에 회수부(73)가 위치한 상태에서, 회수부(73)에서 회수한 도포액을 배출부(74)에 유출시키기 위해서, 배액구(737)가 회수부(73)의 저부(731)에 형성되어 있다. 보다 자세하게는, 회수부(73) 중 집적 부위(736a)에 대응하는 개소에, 배액구(737)가 배출부(74)를 바라보도록 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 저부(731)의 (-Y)방향 부위에 배액구(737)가 형성되어 있는데, 예를 들면 측벽(732)의 하단 부위에 배액구(737)가 형성되어도 된다.

배액구(737)에 대해서 개폐 가능한 개폐 부재(738)가 회수부(73)에 설치되어 있다. 그리고, 이동 범위(MR) 중 회수부(73)가 배출부(74)의 바로 위 위치에서 벗어나 위치하는 동안, 개폐 부재(738)에 의해 배액구(737)는 닫힌다. 따라서, 그 동안, 제거된 도포액은 회수 영역(736) 내에 저류된다. 한편, 부착물 제거부(71) 및 회수부(73)가 세정 대기 상태에 있을 때에는, 회수부(73)는 배출부(74)의 바로 위 위치에 위치하고 있다. 예를 들면 오퍼레이터가 개폐 부재(738)에 의한 배액구(737)의 닫음을 해제하여 배액구(737)를 여는 것에 의해, 회수된 도포액은 배출부(74)에 유출된다.

배출부(74)는, 세정 대기 상태의 회수부(73)를 향하여 개구된 박스 형상의 수취 부재(741)와, 수취 부재(741)의 저면으로부터 도포 장치(1)의 외부로 연장되는 배관(742)을 가지고 있다. 배출부(74)에서는, 수취 부재(741)가 회수부(73)로부터 배출되는 도포액을 받아, 배관(742)을 통해, 도포 장치(1)의 외부에 설치된 배액 처리 장치(도시 생략)에 배출한다.

이상과 같이, 제1 실시형태에 의하면, 부착물 제거부(71)에 설치되는 스크레이퍼(712)에 의해 노즐(2)로부터 제거된 도포액은, 회수부(73) 및 배출부(74)를 통해 도포 장치(1)의 외부로 배출된다. 또한, 상기 회수부(73)는, 부착물 제거부(71)의 하방에서 배출부(74)를 향하여 경사지는 내저면(731a)을 갖는 저부(731)와, 저부(731)의 변부로부터 세워 설치된 측벽(732~735)을 갖는 구조체로 구성되어 있다. 따라서, 필름에 의해 도포액의 회수를 행하고 있던 종래 기술로 발생하고 있던 각종 문제는 해소되어, 노즐(2)의 하단부(2a)로부터 제거된 도포액을 원활하게 도포 장치(1)의 외부로 배출할 수 있다.

또, 제1 실시형태에서는, 저부(731)와 측벽(732~735)으로 구성되는 구조체에 의해 부착물 제거부(71)를 하방으로부터 덮으면서, 회수부(73)를 부착물 제거부(71)와 일체적으로 이동시키고 있다. 이 때문에, 회수부(73)의 소형화를 도모할 수 있다. 또, 도 4의 실선으로 나타내는 바와 같이 세정 대기 상태에서 회수부(73)로부터 배출부(74)에 도포액을 배출하고 있다. 따라서, 도포액으로 더러워지는 개소가 한정되고, 메인터넌스에 필요로 하는 부담을 경감할 수 있다.

그런데, 상기 제1 실시형태에서는, 회수부(73)가 부착물 제거부(71)와 일체적으로 이동하고 있는데, 이것은 본 발명의 필수 요건은 아니다. 즉, 부착물 제거부(71)가 이동하는 것에 비해, 회수부가 소정 위치에서 정지하도록 구성되어도 된다. 이하, 도 6 및 도 7을 참조하면서, 본 발명의 제2 실시형태에 대해 설명한다.

도 6은 본 발명에 따른 노즐 세정 장치의 제2 실시형태인 세정 유닛의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다. 또, 도 7은 도 6에 나타내는 세정 유닛의 부착물 제거부 및 회수부의 구성을 나타내는 사시도이다. 제2 실시형태에서는, 회수부(75)는, 부착물 제거부(71)의 이동 범위(MR)의 하방 위치에서 노즐 메인터넌스 유닛(6)의 프레임(도시 생략)에 대해서 착탈 가능하게 설치되어 있다. 회수부(75)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 부착물 제거부(71)의 이동 범위(MR)를 따라서 연장 설치되고, 연직 상방으로 개구된 홈통 형상을 갖는 구조체로 구성되어 있다. 보다 상세하게는, 회수부(75)는, 부착물 제거부(71)의 이동 경로를 하방으로부터 바라보도록 이동 범위(MR)를 따라서 연장된, 대략 V자형 단면을 갖는 저부(751)와, 노즐(2)의 연장 방향(X)과 직교하는 수평 방향(Y)에 있어서의 저부(751)의 (+Y)방향 측의 장변부로부터 세워 설치된 측벽(752)을 가지고 있다. 즉, 회수부(75)는 YZ단면에 있어서 오목 형상을 갖는 홈통 부재(753)로 구성되어 있다. 오목 형상의 일례로서, 본 실시형태에서는, 홈통 부재(753)를 대략 V자 형상으로 마무리하고 있다. 이 홈통 부재(753)는, 이동 범위(MR)의 한쪽 측(도 6 중의 (-X)방향 측)에서의 내저면(751a)의 연직 방향(Z)에 있어서의 높이 위치가 이동 범위(MR)의 다른 쪽 측(도 6 중의 (+X)방향 측)에서의 높이 위치보다 낮아지도록, 경사져 배치되어 있다.

또, 측벽(752)에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 서로 상이한 경사각을 갖는 측벽 부위(752a~752c)가 설치되어 있다. 저부(751)의 (+Y)방향 측의 장변부로부터 비스듬한 상방 외측으로 연장되는 측벽 부위(752a)는, 비교적 가파른 경사면으로 되어 있다. 측벽 부위(752a)로부터 (+Y)방향으로 측벽 부위(752b)가 비교적 완만한 경사각으로 비스듬한 상방 외측으로 연장되어 있다. 또한, 측벽 부위(752b)로부터 측벽 부위(752c)가 거의 수직으로 연장 설치되어 있다.

이와 같이 구성된 홈통 부재(753)는, 다음에 설명하는 부착물 제거부(71)의 슈터(715)의 유출구가 V자 형상의 내저면(751a)을 구성하는 한쪽 사면(751b)(도 7)에 대향하도록, 또한 노즐 메인터넌스 유닛(6)의 프레임에 대해서 착탈 가능하게 장착되어 있다. 또한, 도 6 중의 부호 754는 홈통 부재(753)를 상기 프레임에 고정하기 위한 볼트이며, 볼트(754)를 풀음으로써 프레임에 고정되어 있는 홈통 부재(753)를 떼어내, 신품 또는 세정 완료된 교환용 홈통 부재(753)로 교환 가능하게 되어 있다.

제2 실시형태에 있어서의 부착물 제거부(71)의 기본 구성은 제1 실시형태와 동일하지만, 홈통 부재(753)의 측벽 부위(752b)에 회수한 도포액을 낙하시키기 위해서, 제1 실시형태의 부착물 제거부(71)와는 이하와 같은 상이점을 가지고 있다. 부착물 제거부(71)의 지지 부재(713)의 상면은, 도 7에 나타내는 바와 같이, (-Y)방향 측으로부터 (+Y)방향 측을 향하여 내려가는 경사면(713a)으로 마무리된다. 또, 지지 부재(713)의 (+Y)방향 측의 측면에 대해서, 안내 부재(714)가 장착되어 있다. 이 안내 부재(714)는, 상기 (+Y)방향 측의 측면을 따라서 흐르는 도포액을 (+X)방향 측에 모아 협소 부위(714a)로부터 낙하시키는 기능을 가지고 있다. 또, 협소 부위(714a)의 하방에 슈터(715)가 설치되어 있다. 또한, 지지 부재(713) 및 안내 부재(714)를 외측으로부터 덮도록 커버하는 커버 부재(716)가 착탈 가능하게 장착되어 있다. 이 때문에, 세정 처리에 의해 노즐(2)의 하단부(2a)로부터 제거된 도포액은, 도 7의 점선 화살표로 나타내는 바와 같이, 커버 부재(716)의 상단부에서 X방향으로의 유출을 규제한 상태에서, 지지 부재(713)의 상면(경사면(713a))을 따라서 커버 부재(716)와 안내 부재(714)의 사이로 흘러들어간다. 이 도포액은, 또한 협소 부위(714a)를 통해 슈터(715)로 흘러, 슈터(715)의 선단부로부터 홈통 부재(753)의 한쪽 사면(751b)에 흘러내린다. 이렇게 하여 도포액이 홈통 부재(753)에 회수된다.

이 회수 처리는, 스크레이퍼(712)가 노즐(2)의 하단부(2a)(노즐 립부)의 외면에 맞닿으면서 당해 외면을 따라서 X방향을 따라서 이동하고 있는 동안, 연속적으로 실행된다. 또, 홈통 부재(753)에 회수된 도포액은, 측벽 부위(752b)로부터 내저면(751a)으로 이동하고, 도 6 중의 점선 화살표로 나타내는 바와 같이, 내저면(751a)을 따라서 (-X)방향으로 흘러, 배출부(74)로 보내진다. 그리고, 수취 부재(741)가 홈통 부재(753)로부터의 도포액을 받아, 배관(742)을 통해, 도포 장치(1)의 외부에 설치된 배액 처리 장치(도시 생략)에 배출한다.

이상과 같이, 제2 실시형태에 있어서는, 회수부(75)가, 저부(751)의 한 쌍의 장변부로부터 측벽(752)을 세워 설치시켜 YZ단면에 있어서 대략 U 형상을 갖는 홈통 형상을 갖는 구조체(홈통 부재(753))로 구성되어 있다. 따라서, 제1 실시형태와 동일하게, 필름에 의해 도포액의 회수를 행하고 있던 종래 기술로 발생하고 있던 각종 문제는 해소되어, 노즐(2)의 하단부(2a)로부터 제거된 도포액을 원활하게 도포 장치(1)의 외부로 배출할 수 있다.

또, 제거된 도포액을, 슈터(715)의 선단부로부터 홈통 부재(753)의 한쪽 사면(751b)을 경유하여 내저면(751a)에 유동시켜, 배출부(74)에 보내고 있다. 따라서, 내저면(751a)을 따라서 흐르고 있는 도포액에 대해서 슈터(715)로부터 새로운 도포액을 직접 흘러내리게 하는 것을 방지하고 있다. 이 때문에, 회수부(75) 내에서의 도포액의 비산을 효과적으로 방지할 수 있어, 스크레이퍼(712)에 의해 제거된 도포액의 회수를 안정적으로 행할 수 있다.

또, 홈통 부재(753)가 교환 가능하게 되어 있기 때문에, 메인터넌스 시에 필요한 작업은, 신품 또는 세정 완료된 교환용 홈통 부재(753)와 교환하기만 하면 되어, 메인터넌스성을 높일 수 있다. 또한, 떼어낸 홈통 부재(753)에 대해서는, 도포 장치(1)를 재가동한 후에 작업자가 시간이 있을 때 홈통 부재(753)를 세정하면 되어, 작업 효율을 높일 수 있다.

또한, 제2 실시형태에서는, 슈터(715)가 지지 부재(713)의 하방에 배치되어, 지지 부재(713)를 따라서 하방으로 흘러 오는 도포액을 받아 홈통 부재(753)에 흘러내리게 하도록 구성되어 있다. 이 때문에, 제거된 도포액을 안정적으로 홈통 부재(753)로 회수할 수 있다. 또, 경사면(713a), 안내 부재(714) 및 커버 부재(716)를 설치함으로써, 제거된 도포액이 흐르는 경로를 규정하여, 슈터(715)로 확실히 안내하고 있다. 이 때문에, 도포액의 회수 효율을 더 높일 수 있다. 단, 이러한 경로를 형성하는 것은 필수 요건은 아니며, 예를 들면 제1 실시형태와 동일하게, 지지 부재(713)를 하방으로부터 덮도록 슈터(715)를 배치해도 된다. 이 슈터(715)는, 지지 부재(713)의 측면을 흐르는 도포액을 받아, 그 선단부로부터 홈통 부재(753)의 한쪽 사면(751b)에 흘러내리게 한다.

상기한 바와 같이, 제1 실시형태 및 제2 실시형태에서는, 토출구(21)로부터 도포액을 토출하는 노즐(2)을 도포 처리부(5)에 의해 Y방향으로 이동시켜 기판(3)에 도포액을 도포하고 있으며, 노즐(2) 및 도포 처리부(5)의 조합이 본 발명의 「도포부」로서 기능하고 있다.

또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 그 취지를 벗어나지 않는 한에 있어서 상술한 것 이외로 여러 가지의 변경을 행하는 것이 가능하다. 예를 들면, 상기 실시형태에서는, 스프레더(711) 및 스크레이퍼(712)를 갖는 부착물 제거부(71)에 의해 노즐 세정을 행하는 장치에 본 발명을 적용하고 있는데, 스크레이퍼(712)만을 갖는 노즐 세정 장치에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다.

또, 상기 제2 실시형태에서는, 홈통 부재(753)의 측벽(752)을 단일의 측벽 부위로 구성함과 더불어, 측벽(752)을 서로 상이한 경사각을 갖는 3개의 측벽 부위(752a~752c)로 구성하고 있다. 측벽의 구성은 이들에 한정되는 것은 아니며, 측벽(752)을 구성하는 측벽 부위의 수는 임의이다.

또한, 상기 제1 실시형태에서는 본 발명의 「내저면」의 YZ단면 형상을 「평면」으로 마무리하고, 상기 제2 실시형태에서는 본 발명의 「내저면」의 YZ단면 형상을 대략 「V자 면」으로 마무리하고 있는데, 「내저면」의 형상은 이들에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 YZ단면 형상을 호상(弧狀)으로 마무리해도 된다.

이 발명은, 기판에 대해서 노즐의 하단부에 형성된 토출구로부터 도포액을 토출하여 도포하는 도포 장치, 및 상기 노즐의 하단부에 부착되는 부착물을 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거하여 세정하는 노즐 세정 기술 전반에 적용할 수 있다.

1…도포 장치
2…슬릿 노즐(도포부)
2a…(노즐의) 하단부
3…기판
5…도포 처리부(도포부)
7…세정 유닛(노즐 세정 장치)
21…토출구
71…부착물 제거부
72…노즐 세정 이동부
73, 75…회수부
74…배출부
731, 751…저부
731 a, 751 a…(저부의) 내저면
732~735, 752…측벽
736…회수 영역
736a…집적 부위
738…개폐 부재
753…홈통 부재
MR…이동 범위
X…연장 방향
Y…수평 방향
Z…연직 방향

Claims

노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 상기 도포액을 기판에 도포하는 도포 장치에 장비되어, 상기 노즐을 세정하는 노즐 세정 장치로서,
노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부와,
상기 노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서, 상기 토출구의 연장 방향으로 상기 부착물 제거부를 이동시키는 이동부와,
상기 이동부에 의한 상기 노즐 맞닿음 부재의 이동에 의해서 제거된 후에 상기 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 상기 도포액을 상기 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 회수부와,
상기 회수부에서 회수된 상기 도포액을 상기 도포 장치의 외부로 안내하여 배출하는 배출부를 구비하고,
상기 회수부는, 상기 부착물 제거부의 하방에서 상기 배출부를 향하여 경사지는 내저면을 갖는 저부와, 상기 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체이며, 상기 저부 및 상기 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 상기 도포액을 상기 배출부를 향하여 유동시키고,
상기 회수부는,
상기 회수 영역 중 연직 방향에 있어서 가장 낮고 상기 도포액이 모여드는 집적 부위에서 상기 배출부를 바라보도록 상기 구조체에 개구된 배액구에 대해서 개폐 가능한 개폐 부재를 더 갖고,
상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구를 닫음으로써 상기 회수 영역에서 상기 도포액을 저류하는 한편, 상기 개폐 부재에 의한 상기 배액구의 닫음을 해제하여 상기 배액구를 여는 것에 의해 상기 도포액을 상기 배출부에 유출시키고,
상기 부착물 제거부에 의한 세정 상태에서는 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구가 닫히고, 상기 부착물 제거부의 세정 대기 상태에서는 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구가 열려 도포액을 상기 배출부로 배출하는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 장치.
노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 상기 도포액을 기판에 도포하는 도포 장치에 장비되어, 상기 노즐을 세정하는 노즐 세정 장치로서,
노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부와,
상기 노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서, 상기 토출구의 연장 방향으로 상기 부착물 제거부를 이동시키는 이동부와,
상기 이동부에 의한 상기 노즐 맞닿음 부재의 이동에 의해서 제거된 후에 상기 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 상기 도포액을 상기 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 회수부와,
상기 회수부에서 회수된 상기 도포액을 상기 도포 장치의 외부로 안내하여 배출하는 배출부를 구비하고,
상기 회수부는, 상기 부착물 제거부의 하방에서 상기 배출부를 향하여 경사지는 내저면을 갖는 저부와, 상기 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체이며, 상기 저부 및 상기 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 상기 도포액을 상기 배출부를 향하여 유동시키고,
상기 회수부는, 상기 내저면이 연직 상방으로부터의 평면에서 볼 때 상기 부착물 제거부를 하방으로부터 덮도록 배치된 상태에서, 상기 부착물 제거부와 일체적으로 상기 이동부에 의해 상기 연장 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 회수부는,
상기 회수 영역 중 연직 방향에 있어서 가장 낮고 상기 도포액이 모여드는 집적 부위에서 상기 배출부를 바라보도록 상기 구조체에 개구된 배액구에 대해서 개폐 가능한 개폐 부재를 더 갖고,
상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구를 닫음으로써 상기 회수 영역에서 상기 도포액을 저류하는 한편, 상기 개폐 부재에 의한 상기 배액구의 닫음을 해제하여 상기 배액구를 여는 것에 의해 상기 도포액을 상기 배출부에 유출시키고,
상기 부착물 제거부에 의한 세정 상태에서는 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구가 닫히고, 상기 부착물 제거부의 세정 대기 상태에서는 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구가 열려 도포액을 상기 배출부로 배출하는, 노즐 세정 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 배출부는 상기 회수부의 이동 범위의 하방에 배치되고,
상기 개폐 부재는, 상기 이동 범위 중 상기 회수부가 상기 배출부의 바로 위 위치에서 벗어난 위치에 위치하는 동안에는 상기 배액구를 닫고, 상기 회수부가 상기 배출부의 바로 위 위치에 위치할 때에 상기 배액구를 여는, 노즐 세정 장치.
노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 상기 도포액을 기판에 도포하는 도포 장치에 장비되어, 상기 노즐을 세정하는 노즐 세정 장치로서,
노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부와,
상기 노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서, 상기 토출구의 연장 방향으로 상기 부착물 제거부를 이동시키는 이동부와,
상기 이동부에 의한 상기 노즐 맞닿음 부재의 이동에 의해서 제거된 후에 상기 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 상기 도포액을, 상기 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 회수부와,
상기 회수부에서 회수된 상기 도포액을 상기 도포 장치의 외부로 안내하여 배출하는 배출부를 구비하고,
상기 회수부는, 상기 부착물 제거부의 하방에서 상기 배출부를 향하여 경사지는 내저면을 갖는 저부와, 상기 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체이며, 상기 저부 및 상기 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 상기 도포액을 상기 배출부를 향하여 유동시키고,
상기 회수부는, 상기 저부가 상기 이동부에 의한 상기 노즐 맞닿음 부재의 이동 범위를 따라서 연장됨과 더불어 상기 측벽이 상기 연장 방향과 직교하는 수평 방향에 있어서의 상기 저부의 한 쌍의 변부로부터 세워 설치되고, 단면이 오목 형상을 갖는 홈통 부재이며,
상기 부착물 제거부는, 상기 지지 부재와 일체적으로 이동하면서, 상기 지지 부재의 하방에서 상기 지지 부재를 따라서 하방으로 흘러오는 상기 도포액을 받아 상기 홈통 부재에 흘러내리게 하는 슈터를 갖는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 배출부는, 상기 이동 범위의 일방 측에 배치되고,
상기 홈통 부재는, 상기 이동 범위의 일방 측에서의 상기 내저면의 높이 위치가 상기 이동 범위의 타방 측에서의 높이 위치보다 낮아지도록, 경사지게 배치되는, 노즐 세정 장치.
청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
상기 홈통 부재는 교환 가능하게 설치되는, 노즐 세정 장치.
노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 상기 도포액을 도포하는 도포 장치에 있어서, 상기 노즐을 세정하는 노즐 세정 방법으로서,
노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부를, 상기 노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서 상기 토출구의 연장 방향으로 이동시켜 상기 노즐의 하단부에 부착되는 상기 도포액을 상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거하는 제1 공정과,
상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거된 후에 상기 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 상기 도포액을, 상기 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 제2 공정과,
회수된 상기 도포액을, 배출부를 통해 상기 도포 장치의 외부로 배출하는 제3 공정을 구비하고,
상기 제2 공정은, 상기 부착물 제거부의 하방에서 상기 배출부를 향하여 경사지는 내저면을 갖는 저부와, 상기 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체와, 상기 저부 및 상기 측벽으로 형성되는 회수 영역 중 연직 방향에 있어서 가장 낮고 상기 도포액이 모여드는 집적 부위에서 상기 배출부를 바라보도록 상기 구조체에 개구된 배액구에 대해서 개폐 가능한 개폐 부재로 구성되는 회수부에 의해 상기 도포액을 회수하고, 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구를 닫음으로써 상기 회수 영역에서 상기 도포액을 저류하는 한편, 상기 개폐 부재에 의한 상기 배액구의 닫음을 해제하여 상기 배액구를 여는 것에 의해 상기 도포액을 상기 배출부에 유출시키는 공정이고,
상기 제2 공정에서 상기 부착물 제거부에 의한 세정 상태에서는 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구가 닫히고, 상기 부착물 제거부의 세정 대기 상태에서는 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구가 열려 도포액을 상기 배출부로 배출하는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 상기 도포액을 도포하는 도포 장치에 있어서, 상기 노즐을 세정하는 노즐 세정 방법으로서,
노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부를, 상기 노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서 상기 토출구의 연장 방향으로 이동시켜 상기 노즐의 하단부에 부착되는 상기 도포액을 상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거하는 제1 공정과,
상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거된 후에 상기 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 상기 도포액을, 상기 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 제2 공정과,
회수된 상기 도포액을, 배출부를 통해 상기 도포 장치의 외부로 배출하는 제3 공정을 구비하고,
상기 제2 공정은, 상기 부착물 제거부의 하방에서 상기 배출부를 향하여 경사지는 내저면을 갖는 저부와, 상기 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체로 구성되고, 상기 내저면이 연직 상방으로부터의 평면에서 볼 때 상기 부착물 제거부를 하방으로부터 덮도록 배치된 상태에서, 상기 부착물 제거부와 일체적으로 상기 연장 방향으로 이동되는 회수부에 의해 상기 도포액을 회수하여, 상기 저부 및 상기 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 상기 배출부를 향하여 유동시키는 공정인 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 상기 도포액을 도포하는 도포 장치에 있어서, 상기 노즐을 세정하는 노즐 세정 방법으로서,
노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부를, 상기 노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서 상기 토출구의 연장 방향으로 이동시켜 상기 노즐의 하단부에 부착되는 상기 도포액을 상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거하는 제1 공정과,
상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거된 후에 상기 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 상기 도포액을, 상기 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 제2 공정과,
회수된 상기 도포액을, 배출부를 통해 상기 도포 장치의 외부로 배출하는 제3 공정을 구비하고,
상기 제2 공정은, 상기 부착물 제거부의 하방에서 상기 배출부를 향하여 경사지는 내저면을 갖는 저부와, 상기 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖고, 상기 저부가 상기 노즐 맞닿음 부재의 이동 범위를 따라서 연장됨과 더불어 상기 측벽이 상기 연장 방향과 직교하는 수평 방향에 있어서의 상기 저부의 한 쌍의 변부로부터 세워 설치되고, 단면이 오목 형상을 갖는 홈통 부재인 회수부에 의해 상기 도포액을 회수하고, 상기 저부 및 상기 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 상기 배출부를 향하여 유동시키는 공정이며,
상기 부착물 제거부는, 상기 지지 부재와 일체적으로 이동하는 슈터를 갖고,
상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거된 상기 도포액을 상기 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동시킬 때에는, 상기 지지 부재의 하방에서 상기 지지 부재를 따라서 하방으로 흘러오는 상기 도포액을 상기 슈터에 의해 받아 상기 홈통 부재에 흘러내리게 하는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 상기 도포액을 기판에 도포하는 도포부와,
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 노즐 세정 장치
를 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
노즐의 하단부에 형성된 슬릿 형상의 토출구로부터 도포액을 토출하여 상기 도포액을 도포하는 도포 장치에 있어서, 상기 노즐을 세정하는 노즐 세정 방법으로서,
노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부를 향하게 한 상태에서 지지 부재에 의해 지지한 부착물 제거부를, 상기 노즐 맞닿음 부재를 상기 노즐의 하단부에 맞닿게 한 상태에서 상기 토출구의 연장 방향으로 이동시켜 상기 노즐의 하단부에 부착되는 상기 도포액을 상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거하는 제1 공정과,
상기 노즐 맞닿음 부재에 의해 제거된 후에 상기 부착물 제거부를 경유하여 하방으로 유동하는 상기 도포액을, 상기 부착물 제거부의 하방에서 회수하는 제2 공정과,
회수된 상기 도포액을, 배출부를 통해 상기 도포 장치의 외부로 배출하는 제3 공정을 구비하고,
상기 제2 공정은, 상기 부착물 제거부의 하방에서 상기 배출부를 향하여 경사지는 내저면을 갖는 저부와, 상기 저부의 변부로부터 세워 설치된 측벽을 갖는 구조체로 구성되고, 상기 내저면이 연직 상방으로부터의 평면에서 볼 때 상기 부착물 제거부를 하방으로부터 덮도록 배치된 상태에서, 상기 부착물 제거부와 일체적으로 상기 연장 방향으로 이동되는 회수부에 의해 상기 도포액을 회수하여, 상기 저부 및 상기 측벽으로 형성되는 회수 영역을 따라서 상기 배출부를 향하여 유동시키는 공정이고,
상기 회수부는,
상기 회수 영역 중 연직 방향에 있어서 가장 낮고 상기 도포액이 모여드는 집적 부위에서 상기 배출부를 바라보도록 상기 구조체에 개구된 배액구에 대해서 개폐 가능한 개폐 부재를 더 갖고,
상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구를 닫음으로써 상기 회수 영역에서 상기 도포액을 저류하는 한편, 상기 개폐 부재에 의한 상기 배액구의 닫음을 해제하여 상기 배액구를 여는 것에 의해 상기 도포액을 상기 배출부에 유출시키고,
상기 부착물 제거부에 의한 세정 상태에서는 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구가 닫히고, 상기 부착물 제거부의 세정 대기 상태에서는 상기 개폐 부재에 의해 상기 배액구가 열려 도포액을 상기 배출부로 배출하는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.