[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR101165935B1 - 적층판의 제조 방법 및 적층판 - Google Patents

적층판의 제조 방법 및 적층판 Download PDF

Info

Publication number
KR101165935B1
KR101165935B1 KR1020097021770A KR20097021770A KR101165935B1 KR 101165935 B1 KR101165935 B1 KR 101165935B1 KR 1020097021770 A KR1020097021770 A KR 1020097021770A KR 20097021770 A KR20097021770 A KR 20097021770A KR 101165935 B1 KR101165935 B1 KR 101165935B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
carrier
insulating resin
resin layer
prepreg
laminate
Prior art date
Application number
KR1020097021770A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090132601A (ko
Inventor
가즈유키 요시자키
마로시 유아사
Original Assignee
스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 filed Critical 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드
Publication of KR20090132601A publication Critical patent/KR20090132601A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101165935B1 publication Critical patent/KR101165935B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/56—Compression moulding under special conditions, e.g. vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/20—Making multilayered or multicoloured articles
    • B29C43/203—Making multilayered articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/22—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of indefinite length
    • B29C43/30—Making multilayered or multicoloured articles
    • B29C43/305—Making multilayered articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/02—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/78—Means for handling the parts to be joined, e.g. for making containers or hollow articles, e.g. means for handling sheets, plates, web-like materials, tubular articles, hollow articles or elements to be joined therewith; Means for discharging the joined articles from the joining apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/04—Layered products comprising a layer of synthetic resin as impregnant, bonding, or embedding substance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/0007—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding involving treatment or provisions in order to avoid deformation or air inclusion, e.g. to improve surface quality
    • B32B37/003—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding involving treatment or provisions in order to avoid deformation or air inclusion, e.g. to improve surface quality to avoid air inclusion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/16—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating
    • B32B37/20—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating involving the assembly of continuous webs only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B5/00—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
    • B32B5/22—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed
    • B32B5/24—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed one layer being a fibrous or filamentary layer
    • B32B5/26—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed one layer being a fibrous or filamentary layer another layer next to it also being fibrous or filamentary
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/24—Impregnating materials with prepolymers which can be polymerised in situ, e.g. manufacture of prepregs
    • C08J5/241—Impregnating materials with prepolymers which can be polymerised in situ, e.g. manufacture of prepregs using inorganic fibres
    • C08J5/244—Impregnating materials with prepolymers which can be polymerised in situ, e.g. manufacture of prepregs using inorganic fibres using glass fibres
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00—Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/24—Impregnating materials with prepolymers which can be polymerised in situ, e.g. manufacture of prepregs
    • C08J5/247—Impregnating materials with prepolymers which can be polymerised in situ, e.g. manufacture of prepregs using fibres of at least two types
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/44—Compression means for making articles of indefinite length
    • B29C43/46—Rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2105/00—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped
    • B29K2105/06—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped containing reinforcements, fillers or inserts
    • B29K2105/08—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped containing reinforcements, fillers or inserts of continuous length, e.g. cords, rovings, mats, fabrics, strands or yarns
    • B29K2105/0854—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped containing reinforcements, fillers or inserts of continuous length, e.g. cords, rovings, mats, fabrics, strands or yarns in the form of a non-woven mat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2105/00—Condition, form or state of moulded material or of the material to be shaped
    • B29K2105/25—Solid
    • B29K2105/253—Preform
    • B29K2105/256—Sheets, plates, blanks or films
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2995/00—Properties of moulding materials, reinforcements, fillers, preformed parts or moulds
    • B29K2995/0003—Properties of moulding materials, reinforcements, fillers, preformed parts or moulds having particular electrical or magnetic properties, e.g. piezoelectric
    • B29K2995/0007—Insulating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2009/00—Layered products
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2305/00—Condition, form or state of the layers or laminate
    • B32B2305/07—Parts immersed or impregnated in a matrix
    • B32B2305/076—Prepregs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2309/00—Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
    • B32B2309/60—In a particular environment
    • B32B2309/68—Vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/08—PCBs, i.e. printed circuit boards
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/08—Impregnating
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/022—Processes for manufacturing precursors of printed circuits, i.e. copper-clad substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Reinforced Plastic Materials (AREA)

Abstract

본 발명에 관한 적층판의 제조 방법은 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층을 적층한 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)를 준비하는 공정과, 감압하에서 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a)의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)의 절연 수지층을 직접 또는 다른 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 것에 의해 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)를 적층하는 공정을 포함한다.

Description

적층판의 제조 방법 및 적층판{METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATED BOARD, AND LAMINATED BOARD}
본 발명은 전자, 전기 기기에 사용되는 프린트 배선판의 재료로 이용되는 적층판의 제조 방법 및 이 방법에 의해 얻어진 적층판에 관한 것이다.
최근 전자기기의 경박단소화(輕薄短小化)의 요구에 대응하기 위해서, 반도체 부품을 프린트 배선판에 직접 실장 및 고밀도 실장하는 기술이 발달해 왔다. 그에 수반하여 반도체 부품을 탑재하는 프린트 배선판에 이용되는 적층판에 요구되는 품질도 높아졌다.
종래 양면 금속 부착 적층판은 유리 직물 등의 기재층을 에폭시 수지나 페놀 수지 등의 열경화성 수지로 피복한 절연재층의 양면에 혹은 전술한 절연재층을 복수매 겹친 양면에 구리박 등의 금속박을 접착시켜 일체적으로 구성되어 있다. 이 양면 금속 부착 적층판의 제조 방법은 긴 기재층에 수지를 순차 함침시킴과 함께 순차 건조시켜서 긴 프리프레그를 성형하고, 이 긴 프리프레그를 소정의 크기로 절단하여 일정길이의 프리프레그(standard prepreg)를 얻고, 이 일정길이의 프리프레그를 소정 매수 겹친 양측에 이 일정길이의 프리프레그와 같은 크기의 절단된 금속박을 적층한 후, 열반(hot platen) 사이에 구리박, 프리프레그, 내층용 프린트 회 로판, 경면판(鏡面板) 등을 여러 매나 겹쳐 가열 가압 성형하여 수지를 경화시키는 다단형의 배치 프레스가 일반적이다.
그러나 이와 같은 다단의 배치 프레스에서는 각 적층판의 열반 내에서의 위치에 의해 적층 성형시에 각 적층판에 가해지는 열 이력이 다르기 때문에 성형성, 휨, 치수 변화율 등의 품질에 있어서 차이가 생겨 품질의 불균형이 적은 제품을 공급하는 것은 곤란하였다.
또한, 기재층 사이에 잔류하는 공기를 제거하기 위해서, 20～100kg/㎠의 고압에 의해 적층판을 프레스할 필요가 있기 때문에 수지 플로우에 의해 판 두께 정밀도가 나오지 않는 문제가 있었다.
종래의 배치 프레스에서는 양면 금속 부착 적층판의 절연재층의 두께는 60㎛가 한도라고 여겨져, 경박단소화가 진행되는 업계 내에서 요구되는 보다 얇은 양면 금속 부착 적층판의 요구에 부응하지 못하고, 만약 60㎛보다 얇게 하려고 하면 기재가 직접 양면의 금속박과 접촉하기 쉬워지고, 또 기재층 사이에 잔류하는 공기(air)의 영향에 의해 절연성의 신뢰도가 저하된다고 하는 문제가 있었다.
또, 프리프레그를 이용한 다단(多段)의 배치 프레스는 상기와 같이 많은 공정을 필요로 하기 때문에 공정이 번잡해져서 생산성이 낮다고 하는 문제도 있었다.
종래 프리프레그의 제조 방법, 예를 들어 통상의 도공 장치를 이용하여 섬유포 기재를 수지 바니시에 침지 함침?건조시키는 방법에서는 도공 방향으로 줄무늬 모양의 요철이 발생하기 쉽고, 두께 정밀도를 확보하는 것이 곤란했었다.
한편, 롤 라미네이터 장치를 이용하는 방법에서는 형성되는 절연층의 두께 정밀도를 제어할 수 있어 원하는 절연층을 형성하기 쉬우며, 또 연속적으로 실시할 수 있으므로 생산성 면에서 효율적이라는 이점을 갖는다. 이 때문에, 롤 라미네이터 장치를 이용하는 방법으로는 두께 정밀도, 함침성이 뛰어난 프리프레그를 이용하는 것이 유효한 수단이라고 생각된다.
그러나, 롤 라미네이터 장치를 이용하는 방법은 복수의 프리프레그를 연속적으로 적층하므로 제조 조건의 설정이 곤란하며, 절연층 수지에서의 보이드의 발생이 현저해지는 문제가 있었다. 또한, 롤 라미네이터 장치를 이용했을 경우에 있어서도, 도공 방향으로 줄무늬 모양의 요철이 발생하기 쉽고, 두께 정밀도를 확보하는 것이 곤란하였다.
이와 같은 문제에 대해, 두께 정밀도가 뛰어난 프리프레그의 제조 방법으로서 섬유포 기재의 표리에 캐리어 부착 절연 수지를 라미네이트하는 방법이 개시되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 특허 문헌 1에는 섬유포 기재의 표리에 캐리어 부착 절연 수지를 라미네이트하는 방법에 의하면 두께 정밀도가 뛰어난 프리프레그를 얻을 수 있다고 기재되어 있다.
특허 문헌 1: 일본 특개2004-123870호
특허 문헌 2: 일본 특개2001-138437호
특허 문헌 3: 일본 특개2005-262591호
발명의 개시
그러나, 이 방법으로도 섬유 기재에 대한 수지 성분의 충분한 함침성을 반드시 얻을 수 있는 것이 아니고, 보이드가 잔존한 프리프레그가 되는 일이 있었다. 그 때문에 이와 같은 프리프레그를 이용하여 적층판을 제작하였다 하더라도 절연 신뢰성에 개선의 여지가 있었다.
본 발명은 이와 같은 배경을 감안하여, 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판의 제조 방법 및 이 방법으로 작성된 적층판을 제공하는 것이다. 또한, 본 발명은 라미네이트 롤을 이용하는 경우에 있어서, 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 얻을 수 있음과 함께 생산 효율도 뛰어난 적층판의 제조 방법 및 이 방법으로 작성된 적층판을 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층을 적층한 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과, 감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 직접 또는 다른 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 것에 의해 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 공정을 가지는 적층판의 제조 방법이 제공된다.
본 발명에 있어서는, 제1 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층을 감압하에서 접합함과 동시에 가열 처리를 실시하고 있다. 이에 의해, 절연 수지층과 절연 수지층의 접합 면에 있어서 보이드를 효과적으로 소실시킬 수 있어 비충전 부분이 거의 존재하지 않는다. 그 때문에, 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 간단하고 쉽게 제조할 수 있다.
본 발명에 의하면, 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 적층하는 적층판의 제조 방법으로서, 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층과 다른 캐리어를 적층한 긴 띠 모양의 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과, 상기 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 편의 상기 캐리어를 박리 제거하여 한쪽 편에 상기 절연 수지층이 노출된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정과, 감압하에서 긴 띠 모양의 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층끼리를 직접 또는 다른 부재를 통하여 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압(押壓)하여 상기 절연 수지층끼리를 접합하는 공정과, 상기 공정에 의해 얻어진 적층체를 가열 처리하는 공정을 포함하며, 모든 상기 공정을 연속적으로 반복하여 실시하는 제조 방법이 제공된다.
본 발명에 있어서는, 감압하에서 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 제1 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층을 연속적으로 접합함과 함께 가열 처리를 실시하고 있다. 이에 의해, 절연 수지층과 절연 수지층의 접합 면에 있어서 보이드를 효과적으로 소실시킬 수 있어 비충전 부분이 거의 존재하지 않는다. 그 때문에, 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 제조할 수 있다. 또한, 한 쌍의 라미네이트 롤을 이용하고 있기 때문에 적층체를 연속적으로 제조할 수 있어 생산 효율이 뛰어나다.
또한, 본 발명에 있어서 「캐리어」란 금속박 또는 수지 필름을 의미하는 것이다.
본 발명의 적층판의 제조 방법에 의하면 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 간단하고 쉽게 제조할 수 있다. 또, 본 발명의 라미네이트 롤을 이용하여 적층판을 연속적으로 제조하는 방법에 의하면 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 얻을 수 있음과 동시에 생산 효율도 뛰어나다.
이러한 방법에 의해 얻어지는 본 발명의 적층판은 고밀도화, 고다층화가 요구되는 다층 프린트 배선판의 제조에 적합하게 이용된다.
발명을 실시하기 위한 바람직한 형태
이하에, 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 제조 방법 및 적층판에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 모든 도면에 있어서, 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고 적절히 설명을 생략한다. 이하, 실시 형태 A 및 실시 형태 B에 의해 설명한다.
<실시 형태 A>
본 실시 형태 A에 관한 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 제조 방법은 이하의 공정을 포함한다.
(1) 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층을 적층한 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정
(2) 감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 직접 또는 다른 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 것에 의해 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 공정
(실시 형태 A1)
실시 형태 A1의 적층판의 제조 방법에 있어서는, 상기 (1) 공정은 이하의 (a) 공정～(d) 공정을 포함하며, 상기 (2) 공정은 이하의 (e) 공정～(f) 공정을 포함한다.
(a) 한쪽 면에 캐리어가 형성된 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층측면을 섬유포의 양면에 각각 겹쳐 맞추고, 감압 조건하에서 이들을 접합하는 공정
(b) 접합 후에 절연 수지층을 구성하는 절연 수지 성분의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하여 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(c) (a) 공정 및 (b) 공정을 재차 반복하는 것에 의하여 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(d) 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 면의 상기 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층을 노출시키는 공정
(e) 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 노출된 절연 수지층을 대향하도록 배치함과 함께 감압하에서 절연 수지층을 접합하는 공정
(f) (e) 공정 후에 가열 처리하여 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 공정
우선, (a) 공정에 대해 설명한다.
(a) 공정에 있어서는 한쪽 면에 캐리어가 형성된 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층측면을 섬유포의 양면에 각각 겹쳐 맞추고, 감압 조건하에서 이들을 접합한다.
이에 의해, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층과 섬유포를 접합할 때에 섬유포의 내부 혹은 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층과 섬유포의 접합 부위에 비충전 부분이 존재하더라도, 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있다.
이 감압 조건으로는 진공도 60Torr의 조건하에서 실시하는 것이 바람직하고, 진공도 20Torr의 조건하에서 실시하는 것이 더욱 바람직하다. 이에 의해 상기 효과를 높게 발현시킬 수 있다.
(a) 공정에서 이용하는 제1 절연 수지층 부착 캐리어 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어는 같은 것을 이용할 수도 있으며, 다른 것을 이용할 수도 있다. 또한, 절연 수지층 부착 캐리어란 절연 수지층 부착 금속박 또는 절연 수지층 부착 수지 필름을 의미한다.
제1 절연 수지층 부착 캐리어 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포를 접합하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 섬유포와 절연 수지층 부착 캐리어를 연속적으로 공급해서 겹쳐 맞추면서 접합하는 방법을 들 수 있다.
또, 감압 조건하에서 접합하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 진공 라미네이트 장치, 진공 박스 장치 등을 이용할 수 있다.
이들 중에서도, 진공 라미네이트 장치를 이용하여 섬유포와 절연 수지층 부착 캐리어를 연속적으로 겹쳐 맞추면서 접합하는 방법이 바람직하다. 이에 의해, 연속적인 처리를 할 수 있어, 간단하고 쉬운 장치로 효율적으로 캐리어 부착 프리프레그를 제조할 수 있다.
(a) 공정에 있어서, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측과 섬유포를 접합할 때에는 절연 수지층의 수지 성분의 유동성이 향상하는 온도로 가온(加溫)하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 섬유포와 절연 수지층을 용이하게 접합할 수 있다. 또, 절연 수지층의 적어도 일부가 용융하여 섬유포 내부에 함침함으로써, 함침성이 양호한 캐리어 부착 프리프레그를 얻기 쉬워진다.
여기서 가온하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 접합할 때에 소정 온도로 가열한 라미네이트 롤을 이용하는 방법 등을 적합하게 이용할 수 있다. 여기서 가온하는 온도로는 절연 수지층을 형성하는 수지의 종류나 배합에 따라 다르지만, 60～100℃로 실시할 수 있다.
(a) 공정에서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어에 대해 설명한다.
도 1(b)는 본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어(3)를 예시한 것이다.
절연 수지층 부착 캐리어(3)는 캐리어(1)의 한쪽 면 측에 절연 수지층(2)이 박층 모양으로 형성된 것이다. 절연 수지층(2)은 폭 방향 치수(8)를 가지며, 캐리어(1)의 한쪽 면 측에 소정 두께로 형성할 수 있다. 여기서 폭 방향 치수(8)란, 캐리어(1)의 반송 방향과 직교하는 방향에서의 절연 수지층(2)의 치수를 가리킨다.
절연 수지층 부착 캐리어에 이용되는 캐리어에 대해 설명한다.
도 1(a)은 본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어(3)에 적용되는 캐리어(1)를 예시한 것이다.
캐리어(1)는 화살표(6) 측에 연속적으로 반송하여 공급할 수 있으며, 폭 방향 치수(7)를 가지고 있다. 여기서, 폭 방향 치수(7)란 캐리어(1)의 반송 방향과 직교 방향에서의 치수를 가리킨다.
이와 같은 캐리어(1)로는 예를 들어 긴 띠 모양의 시트 형태인 것을 적합하게 이용할 수 있다.
캐리어의 재질로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌, 폴리이미드 등의 열가소성 수지로 형성되는 열가소성 수지 필름 시트, 혹은 구리 또는 구리합금, 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 은 또는 은합금과 같은 금속으로 형성되는 금속박을 적합하게 이용할 수 있다.
이들 중에서도 열가소성 수지 필름 시트를 형성하는 열가소성 수지로는 내열성이 뛰어나고, 염가인 것으로 폴리에틸렌 테레프탈레이트가 바람직하다.
또, 금속박을 형성하는 금속으로는 도전성이 뛰어나고, 에칭에 의한 회로 형성이 용이하며, 또 염가인 것으로 구리 또는 구리합금이 바람직하다.
캐리어로서 열가소성 수지 필름 시트를 이용하는 경우는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 것이 바람직하다. 이에 의해, 다층 프린트 배선판의 제조시 또는 제조 후에 절연 수지층과 캐리어를 용이하게 분리할 수 있다.
이 열가소성 수지 필름 시트의 두께로는 25～75㎛인 것을 이용할 수 있다. 이에 의해, 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때의 작업성을 양호하게 할 수 있다.
열가소성 수지 필름 시트의 두께가 너무 작으면 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때에 기계적 강도가 충분하지 않은 경우가 있다. 또, 두께가 너무 크면 절연 수지층 부착 캐리어의 제조시에는 문제없으나, 절연 수지층 부착 캐리어의 생산성이 저하되는 경우가 있다.
캐리어로서 금속박을 이용하는 경우는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 것을 이용해도 된다. 또, 이와 같은 처리가 실시되지 않은 것을 이용해도 되며, 그 경우에는 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 것을 이용할 수도 있다.
캐리어로서 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 금속박을 이용했을 경우는 열가소성 수지 필름 시트를 이용했을 경우와 동일한 효과를 발현시킬 수 있다.
이 금속박의 두께로는 1～70㎛인 것을 이용할 수 있다. 이에 의해 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때의 작업성을 양호하게 할 수 있다.
금속박의 두께가 너무 작으면 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때에 기계적 강도가 충분하지 않은 경우가 있다. 또, 두께가 너무 크면 절연 수지층 부착 캐리어의 제조시에는 문제없으나, 생산성이 저하되는 경우가 있다.
또한, 캐리어로서 박리 가능한 처리가 실시되지 않은 금속박이나, 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 금속박을 이용하는 경우는 다층 프린트 배선판의 제조시에 이 금속박을 회로 형성을 위한 도체층으로서 그대로 이용할 수 있다.
이때, 절연 수지층이 형성되는 측의 캐리어 표면의 요철로는 일례를 들면, Ra: 0.1～0.5㎛인 것을 이용할 수 있다. 이에 의해, 절연층과 금속박의 밀착성을 충분히 확보할 수 있음과 함께 이 금속박을 에칭 처리 등을 실시하는 것에 의해 미세한 회로를 용이하게 가공 형성할 수 있다.
또, 이 금속박의 두께로는 1～35㎛인 것을 매우 적합하게 이용할 수 있다. 이 금속박의 두께가 너무 작으면 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때에 기계적 강도가 충분하지 않은 경우가 있다. 또, 두께가 너무 크면 미세한 회로를 가공 형성하기 어려워지는 경우가 있다. 즉, 금속박의 두께가 상기 범위이면 기계적 강도와 가공 특성 모두 뛰어나다.
이 금속박은 2개의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 경우에는, 캐리어 부착 프리프레그 중 한쪽의 캐리어로서 이용할 수 있다. 또한, 캐리어 부착 프리프레그를 3개 이상 이용하여 적층판을 제조하는 경우, 적층판의 최외층이 되는 2개의 캐리어 부착 프리프레그에 끼워지는 캐리어 부착 프리프레그에는 이용되지 않는다. 또한, 금속박에 박리 처리가 실시되어 있으면 이용할 수도 있다.
또한, 이런 용도로 이용하는 금속박으로는 1개의 층으로 형성되는 금속박을 이용할 수도 있으며, 금속박끼리 박리 가능한 2개 이상의 층으로 구성되는 금속박을 이용할 수도 있다. 예를 들어, 절연 수지층에 밀착시키는 측의 제1 금속박과 절연층에 밀착시키는 측과 반대 측에 제1 금속박을 지지할 수 있는 제2 금속박을 박리 가능하게 접합한 2층 구조의 금속박을 이용할 수 있다.
다음으로, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층을 형성하는 절연 수지 재료에 대해 설명한다.
절연 수지층 형성에 이용되는 절연 수지 재료로는, 예를 들어 에폭시 수지, 페놀 수지, 시아네이트 수지, 불포화 폴리에스테르 수지, 디시클로펜타디엔 수지, 비스말레이미드트리아진 수지 등의 열경화성 수지를 적합하게 이용할 수 있다. 이 밖에, 필요에 따라서 경화제, 경화촉진제, 열가소성 수지, 무기 충전재, 유기 충전재, 커플링제 등의 첨가제를 적절히 배합할 수 있다.
본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지는 상기 성분을 유기용제 등에 의해 용해 및/또는 분산시킨 액상 형태로 적합하게 이용할 수 있다.
다음으로, 절연 수지층 부착 캐리어에 대해 설명한다.
본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어는 캐리어의 한쪽 면 측에 절연 수지 재료로 형성된 절연 수지층을 갖는다. 그 조제 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 콤마 코터, 나이프 코터 등 각종 코터 장치를 이용하여 액상의 절연 수지를 캐리어에 도공하는 방법, 분무 노즐 등의 각종 스프레이 장치를 이용하여 액상의 절연 수지를 캐리어에 도공하는 방법 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 각종 코터 장치를 이용하여 액상의 절연 수지를 캐리어에 도공하는 방법이 바람직하다. 이에 의해, 간단하고 쉬운 장치로 두께 정밀도가 뛰어난 절연 수지층을 형성할 수 있다.
절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때에는 캐리어에 액상의 절연 수지를 도공한 후, 필요에 따라서 상온(常溫) 또는 가온하에서 건조시킬 수 있다.
이에 의해, 액상의 절연 수지를 조제할 때에 유기용매나 분산 매체 등을 이용했을 경우는, 이들을 실질적으로 제거하여 절연 수지층 표면의 점착성을 없애 취급성이 뛰어난 절연 수지층 부착 캐리어로 할 수 있다.
또, 절연 수지의 경화 반응을 중도까지 진행하고, (a) 공정 혹은 후술하는 (b) 공정에 있어서 절연 수지의 유동성을 조정할 수도 있다.
상기와 같이 가온하에서 건조시키는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치 등을 이용하여 연속적으로 처리하는 방법을 바람직하게 적용할 수 있다.
본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어에 있어서, 절연 수지층의 두께는 이용하는 섬유포의 두께 등에 따라 적절히 설정할 수 있으며, 5～100㎛로 할 수 있다.
또한, 이 절연 수지층은 같은 절연 수지를 이용하여 1회 또는 복수 회수의 도공으로 형성되어도 되며, 다른 절연 수지를 이용하여 복수 회수의 도공으로 형성된 것이어도 된다.
이와 같이 하여 절연 수지층 부착 캐리어를 제조한 후, 절연 수지층을 형성한 윗면 측, 즉 캐리어와 반대면 측에 절연 수지층 표면의 보호를 위해서 보호 필름을 겹쳐 맞출 수 있다.
다음으로, 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포를 겹쳐 맞출 때의 형태에 대해 설명한다.
도 1(c)는 절연 수지층 부착 캐리어(3)와 섬유포(4)를 겹쳐 맞출 때의 형태(5)를 예시한 것이다.
섬유포(4)는 캐리어(1)의 반송 방향과 같은 방향으로 연속적으로 공급?반송할 수 있는 것으로, 폭 방향 치수(9)를 가지고 있다. 여기서, 폭 방향 치수(9)란, 섬유포(4)의 반송 방향과 직교 방향에서의 섬유포(4)의 치수를 가리킨다. 이와 같은 섬유포(4)로는 예를 들어 긴 띠 모양의 시트 형태인 것을 매우 적합하게 이용할 수 있다.
섬유포의 재질로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 유리 섬포, 유리 불섬포(unwoven glass fabric) 등의 유리 섬유포, 유리 이외의 무기 화합물을 성분으로 하는 섬포 또는 불섬포 등의 무기 섬유포, 방향족 폴리아미드 수지, 폴리아미드 수지, 방향족 폴리에스테르 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리이미드 수지, 불소 수지 등의 유기 섬유로 구성되는 유기 섬유포 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 유리 섬유포인 유리 직포를 이용하면 다층 프린트 배선판의 기계적 강도, 내열성을 양호하게 할 수 있다.
섬유포로서 유리 직포를 이용하는 경우, 그 두께로는 15～180㎛인 것을 이용할 수 있다. 또, 평량(1㎡당의 섬유포의 중량)으로는 예를 들어 17～209g/㎡인 것을 이용할 수 있다.
그리고, 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서는, 특히 두께 15～35㎛, 평량 17～25g/㎡인 얇은 유리 직포를 이용할 수 있다. 그리고, 이와 같은 유리 직포를 이용했을 경우에도 섬유포를 구성하는 섬유 다발에 구부러짐이 생기기 어렵기 때문에, 기계적 특성이나 함침성이 뛰어난 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판으로 할 수 있다.
종래의 프리프레그의 제조 방법은 예를 들어 통상의 도공 장치를 이용하여, 섬유포를 수지 바니시에 침지 함침?건조시키는 방법이 이용되고 있다. 이 방법에서는 다수의 반송 롤을 통과시키거나, 섬유포에 함침시키는 절연 수지량을 조정하거나 할 때에, 섬유포에 응력이 작용하기 쉽다고 하는 문제가 있었다.
이는 특히 상기와 같은 얇은 유리 직포를 이용했을 경우에는 그 영향이 현저하여, 섬유 다발에 구부러짐을 생기게 하거나, 날실과 씨실의 벌어진 틈의 부분이 확대되거나 하기 쉽다. 이와 같은 프리프레그를 이용한 적층판은 내부 변형을 가지는 것으로 다층 프린트 배선판의 휨, 치수 안정성 등의 기계적 특성에 영향을 미친다고 하는 문제가 있었다.
또, 종래의 프리프레그의 제조 방법은 예를 들어 통상의 도공 장치를 이용하여 섬유포를 수지 바니시에 침지 함침?건조시키는 방법을 이용하고 있으나, 이 건조 공정에 있어서 미경화의 수지 바니시가 섬유포 표면에 도공된 상태에서 건조를 행한다. 그 때문에, 건조로 중에서의 수지 바니시의 점도가 내려가, 액체 흘러내림 및 열풍에 의한 표면 얼룩짐이 발생하여 두께 정밀도가 부족하다는 문제가 있었다.
이 프리프레그를 이용하여 배치 프레스로 적층판을 제작하는 방법은 고압 성형에 의해 목표 두께 범위 내로 하는 것은 가능하기는 하지만, 고압에서의 경화에 의해 내부에 잔류 변형(residual strain)을 가지게 된다. 그 때문에, 다층 프린트 배선판의 휨, 치수 안정성 등의 기계적 특성에 영향을 주는 문제가 있었다.
한편, 내부 변형을 억제하는 저압 성형에서는 프리프레그 내의 잔존 보이드를 진공하에서 수지 유동에 의해 제거하기에는 불충분하여 보이드가 잔존한 적층판이 되기 쉽기 때문에, 이와 같은 프리프레그를 이용하여 저압 성형으로 적층판을 제조하면 절연 신뢰성이 저하되는 문제가 있었다.
이에 대조적으로, 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 제조 방법에서는 섬유포의 두께나 평량, 또 적층 매수나 총 두께에 관계없이 섬유포에 응력이 작용하기 어렵기 때문에, 섬유 다발의 구부러짐 등이 생기기 어려우며, 또한 함침성이 뛰어나 두께 정밀도가 높은 적층판으로 할 수 있다.
다음으로, (b) 공정에 대해 설명한다.
이 (b) 공정은 (a) 공정에서의 접합 후에 절연 수지층을 구성하는 절연 수지 성분의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하여 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 것이다.
이에 의해, (a) 공정에 있어서 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포가 접합한 시점에서 잔존하고 있던 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드를 소실시킬 수 있어, 비충전 부분이 매우 적은 혹은 비충전 부분이 실질적으로 존재하지 않는 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제조할 수 있다.
가열 처리하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치, 가열 롤 장치, 평판 모양의 열반 프레스 장치 등을 이용하여 실시할 수 있다.
열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치를 이용했을 경우는 접합한 것에 실질적으로 압력을 작용시키는 일 없이 실시할 수 있다.
또, 가열 롤 장치, 평판 모양의 열반 프레스 장치를 이용했을 경우는 접합한 것에 소정의 압력을 작용시킴으로써 실시할 수 있다.
이들 중에서도, 접합한 것에 실질적으로 압력을 작용시키는 일 없이 실시하는 방법이 바람직하다.
이 방법에 의하면, (b) 공정에서 수지 성분을 과잉으로 유동시키는 일이 없기 때문에 원하는 절연층 두께를 가지며, 또한 이 절연층 두께에 있어서 높은 균일성을 가진 캐리어 부착 프리프레그를 효율적으로 제조할 수 있다.
또, 수지 성분의 유동에 수반하여 섬유포 기재에 작용하는 응력을 최소한으로 할 수 있으므로, 내부 변형을 매우 적게 할 수 있다.
또한, 수지 성분이 용융했을 때에, 실질적으로 압력이 작용하고 있지 않기 때문에, 이 공정에서의 타흔(打痕, dent) 불량의 발생을 실질적으로 없앨 수 있다.
가열 처리할 때의 온도는 절연 수지가 유동성을 가지는 상태가 되는 유리 전이 온도 이상으로 할 수 있으며, 절연 수지의 경화 반응이 급속하게 진행하지 않는 온도 영역으로 하는 것이 바람직하다.
또, 가열 처리하는 시간은 이용하는 절연 수지의 종류 등에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 1～10 분간 처리하는 것에 의해 실시할 수 있다.
(b) 공정에 있어서 얻어지는 양면 캐리어 부착 프리프레그에 대해, 도 2(a)～(c), 도 3(a)～(c), 도 4(a)～(c)에 나타낸 각 형태를 참조하면서 설명한다.
우선, 도 2(a)～(c)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 2(a)～(c)에 있어서는, 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a') 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a)로서 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 캐리어를 가짐과 함께 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고 있다. 여기서, 캐리어, 절연 수지층, 섬유포의 각각의 폭 방향 치수의 관계를 도 2(a)에 나타낸다.
또한, 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')의 캐리어는 절연 수지층과 박리 가능하게 구성되어 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 필름 시트나 금속박을 이용할 수 있다. 한편, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a)의 캐리어는 절연 수지층과 밀착해 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 금속박을 이용할 수 있다.
이 형태에서는, (a) 공정에 있어서 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역, 즉 폭 방향에서 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')의 절연 수지층과 섬유포(4), 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a)의 절연 수지층과 섬유포(4)를 각각 접합할 수 있다.
또, 섬유포(4)의 폭 방향의 외측 영역, 즉 섬유포가 존재하고 있지 않은 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')가 가지는 절연 수지층 면과 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a)가 가지는 절연 수지층 면을 직접 접합하여 섬유포(4)를 절연 수지층에 의해 봉지할 수 있다. 이 상태를 도 2(b)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에, 섬유포(4)의 내부 혹은 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a', 3a)의 절연 수지층과 섬유포(4)의 접합 면 등에 비충전 부분이 잔존해 있더라도, 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있으므로, (b) 공정에서 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도 영역에서 가열 처리할 경우, 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (b) 공정에 있어서, 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 2(c)에 나타낸다.
다음으로, 도 3(a)～(c)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 3(a)～(c)에 있어서는, 예를 들어 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')로서 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)로서 섬유포(4)와 폭 방향 치수가 같은 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고 있다. 여기서, 캐리어, 절연 수지층, 섬유포의 각각의 폭 방향 치수의 관계를 도 3(a)에 나타낸다.
또한, 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')의 캐리어는 절연 수지층과 박리 가능하게 구성되어 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 필름 시트나 금속박을 이용할 수 있다. 한편, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 캐리어는 절연 수지층과 밀착해 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 금속박을 이용할 수 있다.
이 형태에서는, (a) 공정에 있어서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a', 3b)의 폭 방향의 내측 영역, 즉 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')의 절연 수지층과 섬유포(4), 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 절연 수지층과 섬유포(4)를 각각 접합할 수 있다.
또, 섬유포(4)의 폭 방향의 외측 영역, 즉 섬유포가 존재하고 있지 않은 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')가 가지는 절연 수지층 면과 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 캐리어 면을 직접 접합할 수 있다. 이 상태를 도 3(b)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에, 섬유포(4)의 내부 혹은 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어 절연 수지층(3a', 3b)과 섬유포(4)의 접합 면 등에 비충전 부분이 잔존해 있더라도, 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있으므로, (b) 공정에 있어서 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도 영역으로 가열 처리할 경우, 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (b) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 3(c)에 나타낸다.
다음으로, 도 4(a)～(c)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 4(a)～(c)에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3b') 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)로서 섬유포(4)와 폭 방향 치수가 같은 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고 있다. 여기서, 캐리어, 절연 수지층, 섬유포의 각각의 폭 방향 치수의 관계를 도 4(a)에 나타낸다.
또한, 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3b')의 캐리어는 절연 수지층과 박리 가능하게 구성되어 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 필름 시트나 금속박을 이용할 수 있다. 한편, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 캐리어는 절연 수지층과 밀착해 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 금속박을 이용할 수 있다.
이 형태에서는 (a) 공정에 있어서 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역, 즉 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3b')의 절연 수지층과 섬유포(4) 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 절연 수지층과 섬유포(4)를 각각 접합할 수 있다.
이 상태를 도 4(b)에 나타낸다.
이 형태에서는 (a) 공정 후, 즉 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b', 3b)와 섬유포(4)를 접합한 시점에서, 폭 방향의 단(端)부위에 존재하는 비충전 부분과 폭 방향의 단부위 이외의 부위에 존재하는 비충전 부분이 연통하지 않도록 하여 두는 것이 바람직하다.
이에 의해, 폭 방향의 단부위 이외의 부위에 존재하는 비충전 부분에 대해서는 (a) 공정을 감압하에서 실시하고 있기 때문에 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있고, (b) 공정에 있어서 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도 영역에서 가열 처리되었을 경우, 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (b) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 경우에도 이를 폭 방향의 단부위만으로 할 수 있다. 이 상태를 도 4(c)에 나타낸다.
다음으로, (c) 공정에 대해 설명한다.
이 (c) 공정은 상기 (a) 공정 및 상기 (b) 공정을 재차 반복함으로써, 2개의 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 것이다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는 (a) 공정 및 (b) 공정 이외에 다른 공정을 가지고 있어도 된다.
본 실시 형태에 있어서는, 적층판의 두께가 30㎛ 이상 200㎛ 이하가 되도록 조제하는 것이 생산성 면에서 바람직하다. 이 때문에, 적층판의 두께가 상기 범위가 되도록 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하면 되며, 예를 들어 양면 캐리어 부착 프리프레그를 2개 이상 4개 이하 이용하면 된다. 본 실시 형태에 있어서는 양면 캐리어 부착 프리프레그를 2개 이용한 예에 의해서 설명한다.
다음으로, (d) 공정에 대해 설명한다.
이 (d) 공정은 도 5(a), (b)(또는 도 6(a),(b))에 나타내는 바와 같이, 상기 공정에서 얻어진 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(30, 30)에 있어서, 한쪽의 캐리어를 제거하고, 절연 수지면이 노출된 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)를 얻는 공정이다.
캐리어 부착 프리프레그의 캐리어를 제거하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 양면 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 공급하고, 각각의 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽의 캐리어를 연속적으로 감아내는 방법을 들 수 있다.
다음으로, (e) 공정에 대해 설명한다.
이 (e) 공정은, 도 5(b), (c)(또는 도 6(b), (c))에 나타내는 바와 같이 최외층이 캐리어가 되도록 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)의 노출된 상기 절연 수지층을 대향하도록 배치함과 함께 감압하에서 상기 절연 수지층을 직접 접합하는 것이다.
이에 의해, 캐리어 부착 프리프레그끼리를 접합할 때에, 겹쳐 맞춰진 절연 수지층의 접합 부위에 공극부가 존재하여도, 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있다.
이 감압 조건으로는 진공도 20Torr 이하, 바람직하게는 10Torr 이하이다. 이에 의해, 상기 효과를 높게 발현시킬 수 있다. 또한, 하한값은 특별히 한정되지 않으며, 1Torr이면 상기 효과의 관점에서 충분하다.
상술한 바와 같이 제조된 캐리어 부착 프리프레그를 이용하며, 또한 상기한 것 같은 감압 조건하에서 적층시키므로, 두께 정밀도가 뛰어난 적층판을 얻을 수 있다.
2개의 캐리어 부착 프리프레그를 접합하는 방법으로는 한쪽의 캐리어가 제거된 2개의 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 공급하여 절연 수지층끼리를 겹쳐 맞추면서 접합하는 방법을 들 수 있다.
또, 감압 조건하에서 접합하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 진공 라미네이트 장치, 진공 박스 장치 등을 이용할 수 있다.
이들 중에서도, 진공 라미네이트 장치를 이용하여 한쪽의 캐리어가 제거된 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 겹쳐 맞추면서 접합하는 방법이 바람직하다. 이에 의해, 연속적인 처리를 할 수 있어, 간단하고 쉬운 장치로 효율적으로 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 제조할 수 있다.
(e) 공정에 있어서, 캐리어가 제거된 캐리어 부착 프리프레그를 접합할 때에는, 소정 온도로 가온하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 캐리어가 제거된 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층 측을 용이하게 접합할 수 있다. 또, 절연 수지층의 적어도 일부가 용융하여 붙여 맞춰짐으로써 층간 보이드가 적은 적층판을 얻기 쉬워진다.
여기서 가온하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 접합할 때에 소정 온도로 가열한 라미네이트 롤을 이용하는 방법 등을 적합하게 이용할 수 있다.
여기서 가온하는 온도로는 절연 수지층을 형성하는 수지의 종류나 배합에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 60℃ 이상 100℃ 이하에서 실시할 수 있다.
다음으로, (f) 공정에 대해 설명한다.
이 (f) 공정은 도 5(d)(또는 도 6(d))에 나타내는 바와 같이, 상기 (e) 공정에 있어서 얻어진 적층체를 가열 처리하여, 적층판을 제작하는 것이다.
이에 의해, (e) 공정에 있어서 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 접합한 시점에서 잔존하고 있던 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드를 거의 소실시킬 수 있어, 비충전 부분이 매우 적은 혹은 비충전 부분이 실질적으로 존재하지 않는 적층판을 제조할 수 있다. 그 때문에 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 얻을 수 있다.
또, 가열 처리할 때에는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그가 접합 된 접합체에 대하여 실질적으로 압력을 작용시키지 않는다.
이에 의해, 수지의 고르지 못함이 발생하는 일이 없어 적층판은 두께 정밀도가 뛰어나다.
한편, 종래의 배치 프레스에서는 양면 금속장 적층판의 절연 수지층의 두께는 60㎛가 한도라고 여겨져, 최근에서의 보다 얇은 양면 금속장 적층판의 요구에 부응할 수 없다. 배치 프레스에 있어서, 절연재층의 두께를 60㎛보다 얇게 하려고 하면, 기재가 직접 양면의 금속박과 접촉하기 쉬워져서 절연성의 신뢰도가 저하된다고 하는 문제가 있었다.
이에 대조적으로 본 실시 형태의 방법에 의하면, 이와 같은 절연 수지층의 두께가 60㎛보다 얇은 적층판을 제조하는 경우에도 적층판의 두께 정밀도가 뛰어나기 때문에 절연성의 신뢰도가 보다 향상되어 제품의 수율이 향상된다.
가열 처리는, 예를 들어 열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치, 가열 롤 장치, 평판 모양의 열반 프레스 장치 등을 이용하여 실시할 수 있다.
열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치를 이용했을 경우는 접합한 것에 실질적으로 압력을 작용시키는 일 없이 실시할 수 있다.
또, 가열 롤 장치, 평판 모양의 열반 프레스 장치를 이용했을 경우는 접합한 것에 소정의 압력을 작용시킴으로써 실시할 수 있다.
이들 중에서도 적층체에 실질적으로 압력을 작용시키는 일 없이 실시하는 방법이 바람직하다.
이 방법에 의하면, (f) 공정에서 수지 성분을 과잉으로 유동시키는 일이 없기 때문에, 원하는 절연층 두께를 가지며, 또한 이 절연층 두께에 있어서 높은 균일성을 갖는 적층판을 효율적으로 제조할 수 있다.
또, 수지 성분의 유동에 수반하여 섬유포 기재에 작용하는 응력을 최소한으로 할 수 있으므로, 내부 변형을 적은 것으로 할 수 있다.
또한, 수지 성분을 가온했을 때에 실질적으로 압력이 작용하고 있지 않기 때문에, 이 공정에서의 타흔 불량의 발생을 실질적으로 없앨 수 있다.
본 실시 형태에 있어서는, (e) 공정에서 얻어진 적층체를 상압(常壓, ambient pressure) 하에 반출함과 함께 연속적으로 상압하에서 가열 처리하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 유리 섬유 직물의 공극 중에 용융 수지가 충전되어 대기압에서 성형됨으로써, 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제하여 절연 신뢰성이 더욱 뛰어난 적층체를 제조할 수 있다.
가열 처리할 때의 온도는 60℃ 이상 200℃ 이하, 바람직하게는 150℃ 이상 200℃ 이하로 할 수 있다. 이에 의해, 절연 수지의 유동성이 향상됨과 함께 절연 수지의 경화 반응이 충분하게 진행하므로 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 가열 처리하는 시간은 이용하는 절연 수지의 종류 등에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 일례를 들면 10～20 분간 처리함으로써 실시할 수 있다.
상기한 바와 같은 (a) 공정～(f) 공정으로 이루어진 본 실시 형태의 적층판의 제조 방법에 의하면, 함침성과 두께 정밀도가 뛰어난 캐리어 부착 프리프레그를 이용하며, 또한 소정의 조건으로 적층판을 제조하고 있으므로, 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 간단하고 쉽게 제조할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 접합한 후, 얻어진 접합체에 실질적으로 압력을 작용시키지 않고 가열 처리를 실시할 수 있다. 이에 의해, 원하는 절연층 두께를 가지며, 또한 이 절연층 두께에 있어서 높은 균일성을 가지는 두께 정밀도가 뛰어난 캐리어 부착 프리프레그를 효율적으로 제조할 수 있다.
본 실시 형태의 제조 방법에 의해 얻어지는 적층판은 고밀도화, 고다층화가 요구되는 다층 프린트 배선판의 제조에 적합하게 이용된다.
다음으로, 본 실시 형태에서의 적층판의 제조 방법에 대해 도 5(a)～(d), 도 6(a)～(d)를 참조하여 설명한다.
도 5(a)～(d)에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(30) 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(30)로서 섬유포의 폭 방향 치수가 절연 수지층의 폭 방향 치수보다 작은 것을 이용하고 있다. 여기서, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(30, 30)의 폭 방향 치수의 관계를 도 5(a)에 나타낸다. 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)에 있어서 한쪽 면의 캐리어는 제거되어 있어, 노출된 절연 수지층끼리 대향하도록 배치되어 있다.
이 형태에서는, (e) 공정에 있어서 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향의 내측 영역, 즉 폭 방향으로 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a)의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)의 절연 수지층을 각각 접합할 수 있다.
또, 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향의 외측 영역, 즉 섬유포(4)가 존재하고 있지 않은 영역에 있어서도 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a)가 가지는 절연 수지층면과 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)가 가지는 절연 수지층면을 접합할 수 있다. 이 상태를 도 5(c)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)의 절연 수지층의 접합면에 비충전 부분이 잔존해 있어도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있으므로 (f) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리할 경우 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (f) 공정에 있어서, 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 5(d)에 나타낸다.
다음으로, 도 6(a)～(d)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 6에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(30) 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(30)로서 섬유포(4)와 폭 방향 치수가 같은 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고 있다. 여기서, 캐리어, 절연 수지층, 섬유포의 각각의 폭 방향 치수의 관계를 도 6(a)에 나타낸다. 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)의 한쪽 면의 캐리어는 제거되어 노출된 절연 수지층끼리 대향하도록 배치되어 있다.
이 형태에서는 (e) 공정에 있어서 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)의 폭 방향 치수의 내측 영역, 즉 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a)의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)의 절연 수지층을 각각 접합할 수 있다. 이 상태를 도 6(c)에 나타낸다.
이 형태에서는 (e) 공정 후, 즉 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 접합한 시점에서 폭 방향의 단부위에 존재하는 비충전 부분과 폭 방향의 단부위 이외의 부위에 존재하는 비충전 부분이 연통하지 않도록 해 두는 것이 바람직하다.
이에 의해 폭 방향의 단부위 이외의 부위에 존재하는 비충전 부분에 대해서는 (a) 공정 및 (e) 공정을 감압하에서 실시하고 있기 때문에 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있어, (f) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리되었을 경우 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (f) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 경우에도 이를 폭 방향의 단부위만으로 할 수 있다. 이 상태를 도 6(d)에 나타낸다.
(실시 형태 A2)
실시 형태 A2의 적층판의 제조 방법에 있어서는 상기 (1) 공정은 이하의 (a) 공정～(d) 공정을 포함하며, 상기 (2) 공정은 이하의 (e) 공정～(f) 공정을 포함한다.
(a) 한쪽 면에 캐리어가 형성된 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층측면을 섬유포의 양면에 각각 겹춰 맞추고 감압 조건하에서 이들을 접합하는 공정
(b) 접합 후에 절연 수지층을 구성하는 절연 수지 성분의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하여 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(c) (a) 공정 및 (b) 공정을 재차 반복함으로써 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작함과 함께 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(d) 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 면의 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층을 한쪽면에 노출시킴과 함께 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그의 양면의 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층이 양면에 노출된 필름 모양의 절연 수지 부재를 얻는 공정
(e) 제1 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 필름 모양의 절연 수지 부재의 한쪽면과, 또한 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 필름 모양의 절연 수지 부재의 다른 쪽 면을 대향하도록 배치함과 함께 감압하에서 절연 수지층을 접합하는 공정
(f) (e) 공정 후에 가열 처리하여 제1 캐리어 부착 프리프레그, 필름 모양의 절연 수지 부재 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 차례로 적층하는 공정
본 실시 형태에 있어서는 실시 형태 A1과 동일한 공정에 대해서는 적절히 설명을 생략한다. 또한, 이하의 공정에 있어서도 실시 형태 A1과 동일하게 행해지는 경우는 적절히 설명을 생략한다.
본 실시 형태에서의 (d) 공정은 도 7(a),(b)(도 8(a),(b))에 나타내는 바와 같이, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(31, 31)의 한쪽 면의 상기 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층을 편면에 노출시켜, 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31a, 31c)를 얻는다. 또, 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31')의 양면의 상기 캐리어를 제거함으로써 상기 절연 수지층이 양면에 노출된 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)를 얻는다.
양면 캐리어 부착 프리프레그의 캐리어를 제거하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 양면 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 공급하고, 각각의 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 또는 양쪽의 캐리어를 연속적으로 감아내는 방법을 들 수 있다.
(e) 공정은 도 7(b),(c)(도 8(b),(c))에 나타내는 바와 같이, 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a)의 절연 수지층과 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)의 한쪽면과, 또한 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)의 상기 절연 수지층과 필름상의 절연 수지 부재(31b)의 다른 한쪽 면을 대향하도록 배치함과 함께 감압하에서 상기 절연 수지층을 접합하는 것이다.
3개의 양면 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 접합하는 방법은 구체적으로 최외층에 위치하게 되는 2개의 양면 캐리어 부착 프리프레그에 있어서는 한쪽의 캐리어만을 제거하고, 2개의 캐리어 부착 프리프레그에 끼워지는 캐리어 부착 프리프레그에 있어서는 양쪽의 캐리어를 제거한다. 이와 같이 하여 얻어진 캐리어 부착 프리프레그(31a), 필름 모양의 절연 수지 부재(31b) 및 캐리어 부착 프리프레그(31c)를 연속적으로 공급하여 최외층이 캐리어가 되도록 절연 수지층끼리 겹쳐 맞추면서 접합한다.
다음으로, (f) 공정에 대해 설명한다.
(f) 공정은 도 7(c),(d)(도 8(c),(d))에 나타내는 바와 같이, 상기(e) 공정에 의해 얻어진 접합체를 가열 처리하고, 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a), 필름 모양의 절연 수지 부재(31b) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)를 최외층이 캐리어가 되도록 적층하는 것이다.
이에 의해 (e) 공정에 있어서 절연 수지층의 계면에 잔존해 있던 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드를 대부분 소실시킬 수 있어, 비충전 부분이 매우 적은 혹은 비충전 부분이 실질적으로 존재하지 않는 적층판을 제조할 수 있다. 그 때문에 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 얻을 수 있다.
또, 가열 처리할 때에는 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a), 필름 모양의 절연 수지 부재(31b) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)가 접합된 접합체에 대하여 실질적으로 압력을 작용시키지 않는다.
이에 의해 수지의 고르지 못함 발생하는 일이 없어, 적층판은 두께 정밀도가 뛰어나다.
그로 인하여, 절연성의 신뢰도가 보다 향상되어 제품의 수율이 향상된다.
본 실시 형태에 있어서는 (e) 공정에서 얻어진 적층체를 대기압하에 반출함과 함께 연속적으로 대기압하에서 가열 처리하는 것이 바람직하다. 이에 의해 유리 섬유 직물 공극 중에 용융 수지가 충전되어 대기압에서 성형됨으로써, 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제하여 절연 신뢰성에 더욱 뛰어난 적층체를 제조할 수 있다.
가열 처리할 때의 온도는 60℃ 이상 200℃ 이하, 바람직하게는 150℃ 이상 200℃ 이하로 할 수 있다. 이에 의해 절연 수지의 유동성이 향상됨과 함께 절연 수지의 경화 반응이 충분히 진행하므로 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 가열 처리하는 시간은 이용하는 절연 수지의 종류 등에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 일례를 들면 10～20 분간 처리함으로써 실시할 수 있다.
다음으로, 본 실시 형태에서의 적층판의 제조 방법에 대해 도 7(a)～(d), 도 8(a)～(d)를 참조하여 추가로 설명한다.
도 7(a)～(d)에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(31), 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31') 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31)로서 섬유포의 폭 방향 치수가 절연 수지층의 폭 방향 치수보다 작은 것을 이용하고 있다. 도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(31) 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(31)의 한쪽 면의 캐리어는 제거되어, 절연 수지층이 노출된 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)가 형성되어 있다. 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31')는 양면의 캐리어가 제거되어 절연 수지층이 노출되어, 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)가 형성되어 있다. 이러한 절연 수지층끼리 대향하도록 배치되어 있다. 여기서, 제1, 제2 및 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향 치수의 관계를 도 7(a)에 나타낸다.
이 형태에서는 (e) 공정에 있어서 대향하는 절연 수지층끼리를 접합할 수 있다. 이 상태를 도 7(c)에 나타낸다.
그리고 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에 절연 수지층의 접합면에 비충전 부분이 잔존하고 있더라도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있으므로, (f) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리할 경우, 이를 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (f) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 7(d)에 나타낸다.
다음으로, 도 8(a)～(d)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 8(a)～(d)에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(31), 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31') 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31)로서 섬유포의 폭 방향 치수가 절연 수지층의 폭 방향 치수와 동일한 것을 이용하고 있다. 도 8(b)에 나타내는 바와 같이, 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(31) 및 제 2 양면 캐리어 부착 프리프레그(31)의 한쪽 면의 캐리어는 제거되어, 절연 수지층이 노출된 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)가 형성되어 있다. 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31')는 양면의 캐리어가 제거되어 절연 수지층이 노출하여, 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)가 형성되어 있다. 이러한 절연 수지층끼리 대향하도록 배치되어 있다. 여기서, 제1, 제2 및 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향 치수의 관계를 도 8(a)에 나타낸다.
이 형태에서는 (e) 공정에 있어서 대향하는 절연 수지층끼리를 접합할 수 있다. 이 상태를 도 8(c)에 나타낸다.
그리고 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에 절연 수지층의 접합면에 비충전 부분이 잔존하고 있어도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있으므로, (f) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리할 경우, 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고 (f) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입해 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 8(d)에 나타낸다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는 도 7 및 8에 나타나는 형태에 있어서 양면에 절연 수지층이 노출된 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)를 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a) 및 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)의 사이에 추가로 마련함으로써, 캐리어 부착 프리프레그가 4층 이상 적층된 적층판을 작성할 수 있다.
(실시 형태 A3)
실시 형태 A3의 적층판의 제조 방법에 있어서는 상기 (1) 공정은 이하의 (a) 공정～(d) 공정을 포함하며, 상기 (2) 공정은 이하의 (e) 공정～(f) 공정을 포함한다.
(a) 한쪽 면에 캐리어가 형성된 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층측면을 섬유포의 양면에 각각 겹춰 맞추고, 감압 조건에서 이들을 접합하는 공정
(b) 접합 후에 절연 수지층을 구성하는 절연 수지 성분의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하여 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(c) (a) 공정 및 (b) 공정을 재차 반복함으로써, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작함과 함께 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(d) 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 면의 상기 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층을 편면에 노출시킴과 함께 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그의 양면의 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층이 양면에 노출된 필름 모양의 절연 수지 부재를 얻는 공정
(e)
(e1) 감압하에서 제1 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층을 다른 부재로서 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합하여 양 최외층에 캐리어를 구비하는 접합체를 얻은 후에, 이 접합체의 적어도 한쪽의 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층을 노출시키는 공정
(e2) 감압하에서 접합체의 노출된 절연 수지층과 다른 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층을 직접 또는 다른 부재를 통하여 접합하는 공정
(f) (e) 공정 후에 가열 처리하여 제1 캐리어 부착 프리프레그, 필름 모양의 절연 수지 부재 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 차례로 적층하는 공정
본 실시 형태에 있어서 제1 또는 실시 형태 A2와 동일한 공정에 대해서는 적절히 설명을 생략한다. 또한, 이하의 공정에 있어서도 실시 형태 A1과 동일하게 행해지는 경우는 적절히 설명을 생략한다.
(e1) 공정은 감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층을 직접 또는 다른 부재를 통하여 접합하여 도 9(a)에 나타내는 바와 같은 양 최외층에 캐리어를 구비하는 접합체(33)를 얻는다. 또한, 양면 캐리어 부착 프리프레그(32)를 별도 마련한다(도 9(a)). 또한, 접합체(33)는 도 5(d)의 접합체와 동일한 방법으로 얻을 수 있다.
접합체(33)의 최외층의 캐리어는 그 한쪽이 박리 가능하게 구성되어 있다. 또, 양면 캐리어 부착 프리프레그(32)의 캐리어는 그 한쪽이 박리 가능하게 구성되어 있다.
그 후, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 접합체(33)의 한쪽의 캐리어를 제거하는 것에 의해 절연 수지층을 노출시킨 접합체(33a)로 함과 함께 양면 캐리어 부착 프리프레그(32)의 한쪽의 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층을 노출시킨 캐리어 부착 프리프레그(32a)로 한다.
그리고, (e2) 공정에 있어서는 감압하에 있어서 접합체(33a)의 노출된 절연 수지층과 캐리어 부착 프리프레그(32a)의 절연 수지층을 직접 또는 다른 부재를 통하여 접합한다(도 9(c)). 다른 부재로는 양면 캐리어 부착 프리프레그의 양면의 캐리어가 제거된 필름 모양의 절연 수지 부재 등을 들 수 있다.
또한, (f) 공정을 실시함으로써 적층판을 제작할 수 있다. 본 실시 형태의 (f) 공정은 (e) 공정에서 얻어진 적층체를 대기압하에 반출함과 함께 연속적으로 대기압하에서 가열 처리하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 유리 섬유 직물 공극 중에 용융 수지가 충전되어 대기압에서 성형됨으로써, 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제하여 절연 신뢰성이 더욱 뛰어난 적층체를 제조할 수 있다.
가열 처리할 때의 온도는 60℃ 이상 200℃ 이하, 바람직하게는 150℃ 이상 200℃ 이하로 할 수 있다. 이에 의해, 절연 수지의 유동성이 향상됨과 함께 절연 수지의 경화 반응이 충분히 진행되기 때문에 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 가열 처리하는 시간은 이용하는 절연 수지의 종류 등에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 일례를 들면 10～20 분간 처리함으로써 실시할 수 있다.
본 실시 형태에 있어서는 접합체(33a)의 한쪽 면에 캐리어 부착 프리프레그(32a)를 적층한 형태에 대해 설명하였으나, 접합체(33)의 양면의 캐리어를 제거하고, 양면에 노출된 절연 수지층에 각각 캐리어 부착 프리프레그(32a)를 적층해도 된다. 또, 접합체(33)끼리를 적층해도 되며, 또한 캐리어 부착 프리프레그를 적층해도 된다. 이와 같이, 적절히 캐리어 부착 프리프레그나 접합체를 적층함으로써 캐리어 부착 프리프레그가 4층 이상으로 적층된 적층판을 제조할 수 있다.
본 실시 형태의 적층판의 제조 방법에 있어서는 상기 형태 중에서도 도 2(a)～(c)에 나타낸 형태, 도 3(a)～(c), 도 5(a)～(d), 도 7(a)～(d), 도 9(a)～(c)에 나타낸 형태가 바람직하다. 즉, 제1 캐리어 부착 프리프레그 및 제2 캐리어 부착 프리프레그로서 섬유포 및 절연 수지층보다 폭 방향 치수가 큰 캐리어를 가짐과 함께 쌍방의 절연 수지층이 모두 섬유포보다 폭 방향 치수가 큰 것을 이용하는 것이 바람직하다.
이에 의해 (a) 공정 및 (e) 공정에서 절연 수지층에 의해 섬유포를 봉지하여 밀폐할 수 있어, 섬유포가 존재하는 영역 전체에 있어서 보이드가 적은 혹은 실질적으로 보이드가 존재하지 않는 적층판을 제조할 수 있다.
특히, 본 적층판의 제조 방법에 이용하는 캐리어 부착 프리프레그에 있어서는 도 2(a)～(c)에 나타낸 형태, 즉, 제1 절연 수지층 부착 캐리어 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어로서 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 캐리어를 가짐과 함께 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 절연 수지층을 가지는 것을 이용하는 것이 바람직하다.
이 형태에서는 섬유포(4)의 폭 방향에서의 양 외측에서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층끼리 접합하므로, 보다 간단하고 쉽게 절연 수지층에 의해 섬유포(4)를 밀봉할 수 있어 상기 효과를 보다 효과적으로 발현시킬 수 있다.
본 실시 형태의 적층판의 제조 방법에 이용하는 캐리어 부착 프리프레그는 (b) 공정 후, 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 연속해서 감아내는 공정을 가지는 것이 바람직하다.
이에 의해 캐리어 부착 프리프레그를 롤 형태로 할 수 있어, 이 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 (d) 공정 및 (e) 공정의 작업성을 향상시킬 수 있다.
본 실시 형태의 적층판은 (b) 공정의 후, 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 연속해서 감아내는 혹은 반송출구에서 소정의 흐름 방향 치수로 절단하는 공정을 가지는 것이 바람직하다.
이에 의해, 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 소정의 형태로 할 수 있어 효율적인 생산을 효과적으로 발현시킬 수 있다.
(제조 장치)
본 실시 형태의 적층판의 제조 방법은 도 10～12에 나타낸 제조 장치를 이용하여 실시할 수 있다. 또한, 도 10～12에 있어서는 제조 장치의 측면을 단면도를 이용하여 설명한다.
도 10(a)은 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하는 적층판의 제조에 있어서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어를 제조하는 장치의 일례를 나타내는 것이다.
도 10(a)에 있어서 캐리어는 예를 들어 긴 시트를 롤 형태로 한 캐리어(1)를 이용하며, 이로부터 연속적으로 감아냄으로써 공급할 수 있다.
액상의 절연 수지(11)는 도시되지 않은 절연 수지의 공급 장치에 의해, 소정량이 연속적으로 캐리어(1a) 상에 공급된다. 절연 수지(11)의 도공량은 콤마 롤(12)과 콤마 롤(12)의 백업 롤(13)과의 클리어런스에 의해 제어할 수 있다.
소정량의 절연 수지가 도공된 캐리어(1b)는 횡반송형의 열풍 건조 장치(14, 14)의 내부를 이송하여, 액상의 절연 수지 중에 함유되는 유기용제 등을 실질적으로 건조 제거하고, 필요에 따라서 경화 반응을 도중까지 진행한 절연 수지층 부착 캐리어(1c)로 할 수 있다. 절연 수지층 부착 캐리어(1c)는 그대로 감아낼 수도 있지만, 도 10(a)의 형태에 있어서는 라미네이트 롤(16, 16)에 의해 절연 수지층이 형성된 측에 보호 필름(15)을 겹쳐 맞추어 보호 필름(15)이 라미네이트된 절연 수지층 부착 캐리어(1d)로 하고, 이를 감아 롤 형태의 절연 수치층 부착 캐리어(17)를 얻었다.
도 10(b)은 본 실시 형태의 제조 방법의 (a) 공정～(c) 공정을 실시할 수 있는 장치의 일례를 나타내는 단면도이다. 구체적으로는 섬유포의 양면 측에 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 겹쳐 맞추고, 감압하에서 접합한 후, 절연 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하고, 이를 연속해서 감아내어 캐리어 부착 프리프레그를 제조할 수 있다.
도 10(b)에 있어서 (a) 공정은 진공 라미네이트 장치(20)를 사용하여 실시된다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부는 도시되지 않은 진공 펌프 등의 감압 수단에 의해 소정의 감압 조건으로 설정되어 있다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부에는 (a) 공정에서 얻어진 절연 수지층 부착 캐리어(17, 17)와 섬유포(21)가 각각 연속적으로 공급 가능하게 설치되어 있다.
절연 수지층 부착 캐리어(17, 17)는 절연 수지층 표면에 상기 보호 필름이 라미네이트되어 있다. 그 때문에 감음 롤(23, 23)에 의해 해당 보호 필름을 박리하면서 절연 수지층 부착 캐리어(1e)로서 연속적으로 공급된다. 또, 섬유포(21a)는 롤 형태의 섬유포(21)로부터 연속적으로 공급된다.
보호 필름이 박리 제거된 절연 수지층 부착 캐리어(1e, 1e)와 섬유포(21a)는 절연 수지층 부착 캐리어(1e, 1e)의 각각 절연 수지층 측에서 섬유포(21a)를 사이에 두는 형태로 겹쳐져 라미네이트 롤(24, 24)에 의해 접합된다.
라미네이트 롤(24, 24) 사이의 클리어런스는 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포의 접합시에 실질적으로 압력이 작용하지 않을 정도로 설정할 수도 있으며, 임의의 압력이 작용하도록 설정할 수도 있다.
접합 후의 접합물(22a)은 그대로 다음 공정으로 보낼 수도 있고, 라미네이트 롤(25, 25), (26, 26), (27, 27)에 의해 온도와 압력을 작용시켜, 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포의 접합 정도를 조정할 수도 있다.
또한, 도 10(b)에 있어서, 라미네이트 롤(27, 27)은 진공 라미네이트 장치(20)의 내부를 소정의 감압 조건으로 유지하기 때문에 진공 라미네이트 장치(20)의 외부로부터 내부로의 공기의 침입을 억제하는 씰 롤(seal roll)으로서의 기능도 가지고 있다.
접합 후의 접합물(22b)은 횡반송형의 열풍 건조 장치(28, 28) 사이를 이송하고, 절연 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리한다. 이에 의해, 접합물의 내부에 잔존해 있는 비충전 부분을 소실시킬 수 있다.
가열 처리 후의 캐리어 부착 프리프레그(22c)는 핀치 롤(29, 29)로 끼우면서, 이를 연속적으로 감아냄으로써 롤 형태의 양면 캐리어 부착 프리프레그(30)로 할 수 있다.
도 11은 실시 형태 A1에 있어서의 제조 방법의 (d) 공정～(f) 공정을 실시할 수 있는 장치의 일례를 나타내는 단면 측면도이다. (d) 공정 및 (e) 공정은 진공 라미네이트 장치(20)를 사용하여 실시된다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부는 도시되지 않은 진공 펌프 등의 감압 수단에 의해 소정의 감압 조건으로 설정되어 있다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부에는 (d) 공정에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)가 각각 연속적으로 공급 가능하게 설치되어 있다.
양면 캐리어 부착 프리프레그(30)는 절연 수지층 표면에 캐리어가 라미네이트 되어 있으므로, 감음 롤(23, 23)에 의해 캐리어를 박리하면서 연속적으로 공급된다. 캐리어가 박리 제거된 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)는 각각 절연 수지층 측에서 겹쳐져서 라미네이트 롤(24, 24)에 의해 접합된다.
라미네이트 롤(24, 24) 사이의 클리어런스는 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포의 접합시에 실질적으로 압력이 작용하지 않을 정도로 설정할 수도 있고, 임의의 압력이 작용하도록 설정할 수도 있다.
접합 후의 접합물(34)은 그대로 다음 공정으로 보낼 수도 있고, 라미네이트 롤(25, 25), (26, 26), (27, 27)에 의해 온도와 압력을 작용시켜, 캐리어 부착 프리프레그의 수지층 측의 접합 정도를 조정할 수도 있다.
또한, 도 11에 있어서 라미네이트 롤(27, 27)은 진공 라미네이트 장치(20)의 내부를 소정의 감압 조건으로 유지하기 때문에, 진공 라미네이트 장치(20)의 외부로부터 내부로의 공기의 침입을 억제하는 씰 롤으로서의 기능도 가지고 있다.
접합 후의 접합물(34)은 횡반송형의 열풍 건조 장치(28, 28) 사이를 이송하고, 절연 수지의 소정의 온도 범위의 온도에서 가열 처리한다. 이에 의해 접합물의 내부에 잔존해 있는 비충전 부분을 소실시킬 수 있다.
가열 처리 후의 적층판(35)은 핀치 롤(29, 29)로 끼우면서, 이를 연속적으로 감아냄으로써 롤 형태의 적층판(35)으로 할 수 있다.
또한, 실시 형태 A3의 적층판의 제조도, 도 11의 제조 장치를 이용하여 실시할 수 있다.
도 12는 실시 형태 A2의 제조 방법의 (d) 공정～(f) 공정을 실시할 수 있는 장치의 예를 나타내는 단면도이다. (d) 공정은 진공 라미네이트 장치(20)를 사용하여 실시된다. 또한, 도 12에 있어서 동일한 구성 요소에는 동일 부호를 붙이고 적절히 설명을 생략한다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부에는 (d) 공정에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그(31a), 절연 수지 부재(31b), 캐리어 부착 프리프레그(31c)가 각각 연속적으로 공급 가능하게 설치되어 있다.
캐리어 부착 프리프레그(31a, 31c)는 양면 캐리어 부착 프리프레그(31, 31)로부터 감음 롤(23)에 의해 각각 한쪽 편의 캐리어를 박리하면서 연속적으로 공급된다. 한편, 절연 수지 부재(31b)는 양면 캐리어 부착 프리프레그(31)로부터 감아내고, 롤(23, 23)에 의해 양측의 캐리어를 박리하면서 연속적으로 공급된다. 양측의 캐리어가 박리 제거된 절연 수지 부재(31b)는 캐리어 부착 프리프레그(31a, 31c)의 각각 절연 수지층측에서 겹쳐져서 라미네이트 롤(24, 24)에 의해 접합된다.
접합 후의 접합물(36)은 그대로 다음 공정으로 보낼 수도 있고, 라미네이트 롤(25, 25), (26, 26), (27, 27)에 의해 온도와 압력을 작용시켜, 캐리어 부착 프리프레그의 수지층 측의 접합 정도를 조정할 수도 있다.
접합 후의 접합물(36)은 횡반송형의 열풍 건조 장치(28, 28) 사이를 이송하고, 절연 수지의 소정 범위의 온도로 가열 처리한다. 이에 의해, 접합물의 내부에 잔존해 있는 비충전 부분을 소실시킬 수 있다.
가열 처리 후의 적층판(38)은 핀치 롤(29, 29)로 끼우면서, 이를 연속적으로 감아냄으로써 롤 형태의 적층판(38)으로 할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 4개 이상의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 경우, 양면 캐리어 부착 프리프레그(31)로부터 양쪽의 캐리어를 제거함과 함께 연속적으로 공급하는 장치를 추가로 마련하면 된다.
다음으로, 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 얻어진 적층판에 대해 설명한다.
본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판은 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 제조 방법에 의해 얻을 수 있다.
본 실시 형태에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판은 금속박을 에칭 처리함으로써 소정의 도체 회로를 형성할 수 있다.
이상에 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 제조 방법에 의하면 섬유포의 골격재를 포함하는 절연 수지층을 가지는 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 연속적으로 제조하는 방법이 제공되고, 이 방법에 의해 함침성, 두께 정밀도가 뛰어남과 동시에 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 간단하고 쉽게 제조할 수 있다. 특히, 두께가 얇은 섬유포를 이용했을 경우에도 내부 변형이 적고 함침성이 뛰어난 것으로 할 수 있다.
그리고, 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판은 휨, 치수 안정성 등의 기계적 특성, 성형성이 뛰어난 것으로서, 고밀도화, 고다층화가 요구되는 프린트 배선판 등 신뢰성이 요구되는 용도에 적합하게 이용할 수 있는 것이다.
< 실시 형태 B >
다음으로, 실시 형태 B의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 제조 방법 및 적층판에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 모든 도면에 있어서, 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고 적절히 설명을 생략한다.
(실시 형태 B1)
실시 형태 B1에 관한 적층판의 제조 방법은 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 적층하는 방법으로서, 이하의 전 공정을 연속적으로 반복해서 실시한다.
(a) 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층과 다른 캐리어를 적층한 긴 띠 모양의 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정
(b) 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 측의 캐리어를 박리 제거하여 한쪽 측에 절연 수지층이 노출된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(c) 감압하에서 긴 띠 모양의 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층끼리를 직접 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압(押壓)하여 절연 수지층끼리를 접합하는 공정
(d) 상기 공정에 의해 얻어진 적층체를 가열 처리하는 공정
우선, (a) 공정에 대해 설명한다.
본 실시 형태에 있어서 (a) 공정은 이하의 (a1) 공정 및 (a2) 공정을 포함한다.
(a1) 감압하에서 한쪽 면에 캐리어가 형성된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층측면을 긴 띠 모양의 섬유포의 양면에 각각 접합하는 공정
(a2) 상기 접합 후에 절연 수지층을 구성하는 절연 수지 성분의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하여, 긴 띠 모양의 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
본 실시 형태에 있어서는, 적층판의 두께가 30㎛ 이상 200㎛ 이하가 되도록 조제하는 것이 생산성 면에서 바람직하다. 이 때문에, 적층판의 두께가 상기 범위가 되도록 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하면 되며, 예를 들어 양면 캐리어 부착 프리프레그를 2개 이상 4개 이하 이용하면 된다. 또, 섬유포를 적절히 조합할 수도 있다. 본 실시 형태에 있어서는 양면 캐리어 부착 프리프레그를 2개 이용한 예에 의해 설명한다.
우선, (a1) 공정에 대해 설명한다.
(a1) 공정에 있어서는 한쪽 면에 캐리어가 형성된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층측면을 긴 띠 모양의 섬유포의 양면에 각각 겹쳐 맞추고 감압 조건하에서 이들을 접합한다.
이에 의해 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층과 섬유포를 접합할 때에, 섬유포의 내부, 혹은 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층과 섬유포의 접합 부위에 비충전 부분이 존재하더라도, 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있다.
이 감압 조건으로는 진공도 60Torr의 조건하에서 실시하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 진공도 20Torr의 조건하에서 실시하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 상기 효과를 높게 발현시킬 수 있다.
(a1) 공정에서 이용하는 제1 절연 수지층 부착 캐리어 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어는 같은 것을 이용해도 되고, 다른 것을 이용해도 된다. 또한, 절연 수지층 부착 캐리어란 절연 수지층 부착 금속박 또는 절연 수지층 부착 수지 필름을 의미한다.
긴 띠 모양의 제1 절연 수지층 부착 캐리어 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포를 접합하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 섬유포와 절연 수지층 부착 캐리어를 연속적으로 공급하여 겹쳐 맞추면서 접합하는 방법을 들 수 있다.
또, 감압 조건하에서 접합하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 진공 라미네이트 장치, 진공 박스 장치 등을 이용할 수 있다.
이들 중에서도, 진공 라미네이트 장치를 이용하여 긴 띠 모양의 섬유포와 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어를 연속적으로 겹쳐 맞추면서 접합하는 방법이 바람직하다. 이에 의해, 연속적인 처리를 할 수 있어, 간단하고 쉬운 장치로 효율적으로 긴 띠 모양의 캐리어 부착 프리프레그를 제조할 수 있다.
(a1) 공정에 있어서, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측과 섬유포를 접합할 때에는, 절연 수지층의 수지 성분의 유동성이 향상되는 온도 이상으로 가온하는 것이 바람직하다. 이에 의해 섬유포와 절연 수지층을 용이하게 접합할 수 있다. 또, 절연 수지층의 적어도 일부가 용융하여 섬유포 내부에 함침함으로써 함침성이 양호한 캐리어 부착 프리프레그를 얻기 쉬워진다.
여기서 가온하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 접합할 때에 소정 온도로 가열한 라미네이트 롤을 이용하는 방법 등을 적합하게 이용할 수 있다. 여기서 가온하는 온도로는 절연 수지층을 형성하는 수지의 종류나 배합에 따라 다르지만, 60～100℃로 실시할 수 있다.
(a1) 공정에서 이용되는 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어에 대해 설명한다. 또한, 도면에 있어서는 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어의 일부분을 이용하여 설명한다.
도 1(b)은 본 실시 형태에서 이용되는 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어(3)를 예시한 것이다.
절연 수지층 부착 캐리어(3)는 캐리어(1)의 한쪽 면 측에 절연 수지층(2)이 박층 모양으로 형성된 것이다. 절연 수지층(2)은 폭 방향 치수(8)를 가지며, 캐리어(1)의 한쪽 면 측에 소정 두께로 형성할 수 있다. 여기서 폭 방향 치수(8)란, 캐리어(1)의 반송 방향(긴 방향)으로 직교하는 방향에서의 절연 수지층(2)의 치수를 가리킨다.
상기 절연 수지층 부착 캐리어에 이용되는 캐리어에 대해 설명한다.
도 1(a)은 본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어(3)에 적용되는 캐리어(1)를 예시한 것이다.
캐리어(1)는 화살표(6) 측에 연속적으로 반송하여 공급할 수 있으며, 폭 방향 치수(7)를 가지고 있다. 여기서, 폭 방향 치수(7)란, 캐리어(1)의 반송 방향으로 직교하는 방향에서의 치수를 가리킨다.
이와 같은 캐리어(1)로는 예를 들어 긴 모양의 시트 형태인 것을 적합하게 이용할 수 있다.
캐리어의 재질로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌, 폴리이미드 등의 열가소성 수지로 형성되는 열가소성 수지 필름 시트, 혹은 구리 또는 구리합금, 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 은 또는 은합금과 같은 금속으로 형성되는 금속박을 적합하게 이용할 수 있다.
이들 중에서도 열가소성 수지 필름 시트를 형성하는 열가소성 수지로는 내열성이 뛰어나고, 염가인 이유로 폴리에틸렌 테레프탈레이트가 바람직하다.
또, 금속박을 형성하는 금속으로는 도전성이 뛰어나고, 에칭에 의한 회로 형성이 용이하며, 또 염가인 이유로 구리 또는 구리합금이 바람직하다.
캐리어로서 열가소성 수지 필름 시트를 이용하는 경우는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 것이 바람직하다. 이에 의해 다층 프린트 배선판의 제조시 또는 제조 후에 절연 수지층과 캐리어를 용이하게 분리할 수 있다.
이 열가소성 수지 필름 시트로는 25～75㎛의 두께인 것을 이용할 수 있다. 이에 의해 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때의 작업성을 양호하게 할 수 있다.
열가소성 수지 필름 시트의 두께가 너무 작으면 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때에 기계적 강도가 충분하지 않은 경우가 있다. 또, 두께가 너무 크면 절연 수지층 부착 캐리어의 제조시에는 문제없으나, 절연 수지층 부착 캐리어의 생산성이 저하되는 일이 있다.
캐리어로서 금속박을 이용하는 경우는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 것을 이용해도 되며 이와 같은 처리가 실시되어 있지 않은 것이나, 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 것을 이용할 수도 있다.
캐리어로서 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 금속박을 이용했을 경우는, 열가소성 수지 필름 시트를 이용했을 경우와 동일한 효과를 발현시킬 수 있다.
이 금속박으로는 1～70㎛의 두께인 것을 이용할 수 있다. 이에 의해 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때의 작업성을 양호한 것으로 할 수 있다.
금속박의 두께가 너무 작으면 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때에 기계적 강도가 충분하지 않은 경우가 있다. 또, 두께가 너무 크면 절연 수지층 부착 캐리어의 제조시에는 문제없으나, 적층판의 생산성이 저하되는 경우가 있다.
또한, 캐리어로서 박리 가능한 처리가 실시되어 있지 않은 금속박 또는 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 금속박을 이용하는 경우는 다층 프린트 배선판의 제조시에 이 금속박을 회로 형성을 위한 도체층으로서 그대로 이용할 수 있다.
이때, 절연 수지층이 형성되는 측의 캐리어 표면의 요철로는, 일례를 들면 Ra: 0.1～0.5㎛인 것을 이용할 수 있다. 이에 의해 절연층과 금속박의 밀착성을 충분히 확보할 수 있음과 함께 이 금속박을 에칭 처리 등을 실시함으로써 미세한 회로를 용이하게 가공 형성할 수 있다.
또, 이 금속박의 두께로는 1～35㎛인 것을 적합하게 이용할 수 있다. 이 금속박의 두께가 너무 작으면 절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때에 기계적 강도가 충분하지 않은 경우가 있다. 또, 두께가 너무 크면 미세한 회로를 가공 형성하기 어려워지는 경우가 있다. 즉, 금속박의 두께가 상기 범위이면 기계적 강도와 가공 특성 모두 뛰어나다.
이 금속박은 2개의 양면 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 경우에는 양면 캐리어 부착 프리프레그 중 한쪽의 캐리어로서 이용할 수 있다. 또한, 캐리어 부착 프리프레그를 3개 이상 이용하여 적층판을 제조하는 경우 적층판의 최외층이 되는 2개의 캐리어 부착 프리프레그에 끼워지는 캐리어 부착 프리프레그에는 이용되지 않는다. 또한, 금속박에 박리 처리가 실시되어 있으면 이용할 수도 있다.
또한, 이 용도에서 이용하는 금속박으로는 1개 층으로 형성되는 금속박을 이용할 수도 있고, 금속박끼리 박리 가능한 2개 이상의 층으로 구성되는 금속박을 이용할 수도 있다. 예를 들어, 절연 수지층에 밀착시키는 측의 제1 금속박과 절연층에 밀착시키는 측과 반대측에 제1 금속박을 지지할 수 있는 제2 금속박을 박리 가능하게 접합한 2층 구조의 금속박을 이용할 수 있다.
다음으로, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층을 형성하는 절연 수지 재료에 대해 설명한다.
절연 수지층 형성에 이용되는 절연 수지 재료로는 60℃ 이상 200℃ 이하의 온도 범위에서의 용융 점도(복소점성률, complex viscosity coefficient)가 0.1MPa?s 이하, 바람직하게는 0.01MPa?s 이하인 것을 이용할 수 있다. 이에 의해 복수의 긴 띠 모양의 프리프레그를 라미네이트 롤을 이용하여 연속적으로 적층하는 경우라도 절연 수지층에서의 보이드의 발생을 효과적으로 억제할 수 있어 제품의 수율이 향상된다. 절연 수지 재료의 용융 점도의 하한값은 상기 효과의 관점에서 10MPa?s면 충분하다.
상기 용융 점도는 60℃ 이상 200℃ 이하에서의 동적점탄성 측정에서의 주파수 1 라디안/초로 측정한 복소점성률이다. 이 용융 점도는 복소점성률 동적점탄성 측정 장치를 이용하여, 직경 25㎜, 두께 0.8㎜의 원반 모양 샘플을 지그(jig)에 끼우고 가열하면서, 각 온도 분위기 중 주파수 1Hz의 비틀림을 가해 측정할 수 있다.
이와 같은 절연 수지 재료로는 비스페놀 A 형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 노볼락 에폭시 수지, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 아릴알킬렌형 에폭시 수지, 비페닐 디메틸렌형 에폭시 수지 등이나 이들의 프리폴리머 등의 에폭시 수지;
노볼락형 페놀 수지, 레졸형 페놀 수지, 아릴알킬렌형 페놀 수지 등이나 이들의 프리폴리머 등의 페놀 수지;
노볼락형 시아네이트 수지, 비스페놀 A형 시아네이트 수지, 비스페놀 E형 시아네이트 수지, 테트라메틸비스페놀 F형 시아네이트 수지 등이나 이들의 프리폴리머 등의 시아네이트 수지;
불포화 폴리에스테르 수지; 디시클로펜타디엔 수지; 비스말레이미드트리아진 수지 등의 열경화성 수지를 적합하게 이용할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 이러한 열경화성 수지를 1종 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.
이 외, 필요에 따라서 경화제, 경화촉진제, 열가소성 수지, 무기 충전재, 유기 충전재, 커플링제 등의 첨가제를 적절히 배합할 수 있다.
본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지는 상기 성분을 유기용제 등에 의해 용해 및/또는 분산시킨 액상 형태로 적합하게 이용할 수 있다.
다음으로, 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어에 대해 설명한다.
본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어는 캐리어의 한쪽 면 측에 상기 절연 수지 재료로 형성된 절연 수지층을 가지는 것이다. 그 조제 방법으로는 특별히 한정되지 않지만, 콤마 코터, 나이프 코터 등 각종 코터 장치를 이용하여 액상의 절연 수지를 캐리어에 도공하는 방법, 분무 노즐 등의 각종 스프레이 장치를 이용하여 액상의 절연 수지를 캐리어에 도공하는 방법 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 각종 코터 장치를 이용하여 액상의 절연 수지를 캐리어에 도공하는 방법이 바람직하다. 이에 의해 간단하고 쉬운 장치로 두께 정밀도가 뛰어난 절연 수지층을 형성할 수 있다.
절연 수지층 부착 캐리어를 제조할 때에는 캐리어에 액상의 절연 수지를 도공 후, 필요에 따라서 상온 또는 가온하에서 건조시킬 수 있다.
이에 의해, 액상의 절연 수지를 조제할 때에 유기용매나 분산 매체 등을 이용했을 경우는 이들을 실질적으로 제거하여, 절연 수지층 표면의 점착성을 없애 취급성이 뛰어난 절연 수지층 부착 캐리어로 할 수 있다.
또, 절연 수지의 경화 반응을 중도까지 진행하고, (a) 공정 혹은 후술하는 (b) 공정에 있어서 절연 수지의 유동성을 조정할 수도 있다.
가온하에서 건조시키는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치 등을 이용하여 연속적으로 처리하는 방법을 바람직하게 적용할 수 있다.
본 실시 형태에서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어에 있어서, 절연 수지층의 두께는 이용하는 섬유포의 두께 등에 따라 적절히 설정할 수 있으며, 5～100㎛로 할 수 있다.
또한, 이 절연 수지층은 같은 절연 수지를 이용하여 1회 또는 복수 회수의 도공으로 형성되어도 되며, 다른 절연 수지를 이용하여 복수 회수의 도공으로 형성된 것이어도 된다.
이와 같이하여 절연 수지층 부착 캐리어를 제조 후, 절연 수지층을 형성한 윗면 측, 즉 캐리어와 반대면 측에 절연 수지층 표면의 보호를 위해서 보호 필름을 겹쳐 맞출 수 있다.
다음으로, 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포를 겹칠 때의 형태에 대해 설명한다.
도 1(c)는 절연 수지층 부착 캐리어(3)와 섬유포(4)를 겹칠 때의 형태(5)를 예시한 것이다.
섬유포(4)는 캐리어(1)의 반송 방향과 같은 방향으로 연속적으로 공급?반송할 수 있는 것이며, 폭 방향 치수(9)를 가지고 있다. 여기서, 폭 방향 치수(9)란 섬유포(4)의 반송 방향과 직교 방향에서의 섬유포(4)의 치수를 가리킨다. 이와 같은 섬유포(4)로는 예를 들어 길이가 긴 모양의 시트 형태인 것을 적합하게 이용할 수 있다.
섬유포의 재질로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 유리 섬포, 유리 불섬포 등의 유리 섬유포, 유리 이외의 무기 화합물을 성분으로 하는 섬포 또는 불섬포 등의 무기 섬유포, 방향족 폴리아미드 수지, 폴리아미드 수지, 방향족 폴리에스테르 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리이미드 수지, 불소 수지 등의 유기 섬유로 구성되는 유기 섬유포 등을 들 수 있다.
이들 중에서도, 유리 섬유포인 유리 직포를 이용하면, 다층 프린트 배선판의 기계적 강도, 내열성을 양호한 것으로 할 수 있다.
섬유포로서 유리 직포를 이용하는 경우, 그 두께로는 15～180㎛인 것을 이용할 수 있다. 또, 평량(1㎡당의 섬유포의 중량)으로는 예를 들어, 17～209g/㎡인 것을 이용할 수 있다.
그리고, 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서는, 특히 두께 15～35㎛, 평량 17～25g/㎡인 얇은 유리 직포를 이용할 수 있다. 그리고, 이와 같은 유리 직포를 이용했을 경우에도 섬유포를 구성하는 섬유 다발에 구부러짐이 생기기 어렵기 때문에 기계적 특성이나 함침성이 뛰어난 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판으로 할 수 있다.
종래의 프리프레그의 제조 방법은, 예를 들어 통상의 도공 장치를 이용하여 섬유포를 수지 바니시에 침지 함침?건조시키는 방법이 이용되고 있다. 이 방법에서는 다수의 반송 롤을 통과시키거나, 섬유포에 함침시키는 절연 수지량을 조정하거나 할 때에 섬유포에 응력이 작용하기 쉽다고 하는 문제가 있었다.
이는 특히 상기와 같은 얇은 유리 직포를 이용했을 경우에는 그 영향이 현저하여, 섬유 다발에 구부러짐을 생기게 하거나, 날실과 씨실의 벌어진 틈의 부분이 확대되기 쉽다. 이와 같은 프리프레그를 이용한 적층판은 내부 변형을 가지는 이유로 다층 프린트 배선판의 휨, 치수 안정성 등의 기계적 특성에 영향을 미친다고 하는 문제가 있었다.
또, 종래의 프리프레그의 제조 방법은, 예를 들어 통상의 도공 장치를 이용하여 섬유포를 수지 바니시에 침지 함침?건조시키는 방법을 이용하고 있으나, 이 건조 공정에 있어서 미경화된 수지 바니시가 섬유포 표면에 도공된 상태에서 건조를 실시한다. 그 때문에 건조로 중에서의 수지 바니시의 점도가 내려가, 액체 흘러내림 및 열풍에 의한 표면 얼룩짐이 발생하여 두께 정밀도가 부족하다고 하는 문제가 있었다.
이 프리프레그를 이용하여 배치 프레스에서 적층판을 제작하는 방법은 고압 성형에 의해 목표 두께 범위 내로 하는 것은 가능하나, 고압에서의 경화에 의해 내부에 잔류 변형을 가지게 된다. 그 때문에 다층 프린트 배선판의 휨, 치수 안정성 등의 기계적 특성에 영향을 준다고 하는 문제가 있었다.
한편, 내부 변형을 억제하는 저압 성형에서는 프리프레그 내의 잔존 보이드를 진공하에서 수지 유동에 의해 제거하기에는 불충분하여 보이드가 잔존한 적층판이 되기 쉽기 때문에 이와 같은 프리프레그를 이용하여 저압 성형에서 적층판을 제조하면 절연 신뢰성이 저하되는 문제가 있었다.
이에 대조적으로, 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 제조 방법에서는 섬유포의 두께나 평량, 또 적층 매수나 총 두께에 관계없이, 섬유포에 응력이 작용하기 어렵기 때문에, 섬유 다발의 구부러짐 등이 생기기 어렵고, 또한 함침성이 뛰어나, 두께 정밀도가 높은 적층판으로 할 수 있다.
다음으로, (a2) 공정에 대해 설명한다.
이 (a2) 공정은 (a1) 공정에서 접합 후에, 절연 수지층을 구성하는 절연 수지 성분의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하여 제1 및 제2의 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 것이다.
이에 의해, (a1) 공정에 있어서 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포가 접합한 시점에서 잔존해 있던 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드를 소실시킬 수 있어, 비충전 부분이 매우 적은 혹은 비충전 부분이 실질적으로 존재하지 않는 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제조할 수 있다.
가열 처리하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치, 가열 롤 장치, 평판 모양의 프레스 장치 등을 이용하여 실시할 수 있다.
열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치를 이용했을 경우는 접합한 것에 실질적으로 압력을 작용시키는 일 없이 실시할 수 있다.
또, 가열 롤 장치, 평판 모양의 열반 프레스 장치를 이용했을 경우는 접합한 것에 소정의 압력을 작용시킴으로써 실시할 수 있다.
이들 중에도 접합한 것에 실질적으로 압력을 작용시키는 일 없이 실시하는 방법이 바람직하다.
이 방법에 의하면 (b) 공정에서 수지 성분을 과잉으로 유동시키는 일이 없기 때문에 원하는 절연층 두께를 가지며, 또한 이 절연층 두께에 있어서 높은 균일성을 가진 캐리어 부착 프리프레그를 효율적으로 제조할 수 있다.
또, 수지 성분의 유동에 수반하여 섬유포 기재에 작용하는 응력을 최소한으로 할 수 있으므로 내부 변형을 매우 작게 할 수 있다.
나아가서는 수지 성분이 용융했을 때에, 실질적으로 압력이 작용하고 있지 않기 때문에, 이 공정에서 타흔 불량의 발생을 실질적으로 없앨 수 있다.
가열 처리할 때의 온도는 절연 수지가 유동성을 가지는 상태가 되는 유리 전이 온도 이상으로 할 수 있고, 절연 수지의 경화 반응이 급속히 진행하지 않는 온도 영역으로 하는 것이 바람직하다.
또, 가열 처리하는 시간은 이용하는 절연 수지의 종류 등에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 1～10 분간 처리함으로써 실시할 수 있다.
(a2) 공정에 있어서 얻어지는 양면 캐리어 부착 프리프레그에 대해, 도 2(a)～(c), 도 3(a)～(c), 도 4(a)～(c)에 나타낸 각 형태를 참조하면서 설명한다.
우선, 도 2(a)～(c)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 2(a)～(c)에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a') 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a)로서 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 캐리어를 가짐과 함께 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고 있다. 여기서, 캐리어, 절연 수지층, 섬유포의 각각의 폭 방향 치수의 관계를 도 2(a)에 나타낸다.
또한, 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')의 캐리어는 절연 수지층과 박리 가능하게 구성되어 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 필름 시트나 금속박을 이용할 수 있다. 한편, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a)의 캐리어는 절연 수지층과 밀착해 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 금속박을 이용할 수 있다.
이 형태에서는 (a1) 공정에 있어서 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역, 즉 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')의 절연 수지층과 섬유포(4) 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a)의 절연 수지층과 섬유포(4)를 각각 접합할 수 있다.
또, 섬유포(4)의 폭 방향의 외측 영역, 즉 섬유포가 존재하고 있지 않은 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')가 가지는 절연 수지층 면과, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a)가 가지는 절연 수지층 면을 직접 접합하여 섬유포(4)를 절연 수지층에 의해 봉지할 수 있다. 이 상태를 도 2(b)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에, 섬유포(4)의 내부 혹은 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a', 3a)의 절연 수지층과 섬유포(4)의 접합면 등에 비충전 부분이 잔존해 있어도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있으므로, (a2) 공정에 있어서 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도 영역으로 가열 처리할 경우, 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (a2) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 2(c)에 나타낸다.
다음으로, 도 3(a)～(c)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 3(a)～(c)에 있어서는 예를 들어 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')로서 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)로서 섬유포(4)와 폭 방향 치수가 같은 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고 있다. 여기서, 캐리어, 절연 수지층, 섬유포의 각각의 폭 방향 치수의 관계를 도 3(a)에 나타낸다.
또한, 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')의 캐리어는 절연 수지층과 박리 가능하게 구성되어 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 필름 시트나 금속박을 이용할 수 있다. 한편, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 캐리어는 절연 수지층과 밀착해 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 금속박을 이용할 수 있다.
이 형태에서는, (a1) 공정에 있어서 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역, 즉 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')의 절연 수지층과 섬유포(4) 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 절연 수지층과 섬유포(4)를 각각 접합할 수 있다.
또, 섬유포(4)의 폭 방향의 외측 영역, 즉 섬유포가 존재하고 있지 않은 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a')가 가지는 절연 수지층 면과 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 캐리어 면을 직접 접합할 수 있다. 이 상태를 도 3(b)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에 섬유포(4)의 내부 혹은 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어 절연 수지층(3a', 3b)과 섬유포(4)의 접합 면 등에 비충전 부분이 잔존해 있어도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있으므로, (a2) 공정에 있어서 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도 영역으로 가열 처리할 경우, 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (a2) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 3(c)에 나타낸다.
다음으로, 도 4(a)～(c)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 4(a)～(c)에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3b') 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)로서 섬유포(4)와 폭 방향 치수가 같은 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고 있다. 여기서, 캐리어, 절연 수지층, 섬유포의 각각의 폭 방향 치수의 관계를 도 4(a)에 나타낸다.
또한, 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3b')의 캐리어는 절연 수지층과 박리 가능하게 구성되어 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층이 형성되는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 필름 시트나 금속박을 이용할 수 있다. 한편, 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 캐리어는 절연 수지층과 밀착해 있다. 이 캐리어로는 절연 수지층과의 밀착성을 향상시키는 처리가 실시된 금속박을 이용할 수 있다.
이 형태에서는 (a1) 공정에 있어서 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역, 즉 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3b')의 절연 수지층과 섬유포(4) 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b)의 절연 수지층과 섬유포(4)를 각각 접합할 수 있다. 이 상태를 도 4(b)에 나타낸다.
이 형태에서는 (a1) 공정 후, 즉 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3b', 3b)와 섬유포(4)를 접합한 시점에서 폭 방향의 단부위에 존재하는 비충전 부분과 폭 방향의 단부위 이외의 부위에 존재하는 비충전 부분이 연통하지 않도록 해 두는 것이 바람직하다.
이에 의해 폭 방향의 단부위 이외의 부위에 존재하는 비충전 부분에 대해서는, (a1) 공정을 감압하에서 실시하고 있기 때문에 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있어, (a2) 공정에 있어서 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도 영역에서 가열 처리되었을 경우, 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (a2) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 경우에도 이들을 폭 방향의 단부위만으로 할 수 있다. 이 상태를 도 4(c)에 나타낸다.
다음으로, (b) 공정에 대해 설명한다.
이 (b) 공정은 도 5(a),(b)(또는 도 6(a),(b))에 나타내는 바와 같이, 상기 공정에서 얻어진 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(30, 30)의 한쪽 편의 캐리어를 박리 제거하고, 한쪽 편에 상기 절연 수지층이 노출된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)를 제작하는 것이다.
캐리어 부착 프리프레그의 캐리어를 박리 제거하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 양면 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 공급하고, 각각의 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽의 캐리어를 연속적으로 감아내는 방법을 들 수 있다.
다음으로, (c) 공정에 대해 설명한다.
이 (c) 공정은, 도 5(b),(c)(또는 도 6(b),(c))에 나타내는 바와 같이 감압하에서, 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)의 절연 수지층끼리를 직접 맞닿게 하는 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 상기 절연 수지층끼리를 접합하는 것이다.
이에 의해 캐리어 부착 프리프레그끼리를 접합할 때에, 겹쳐지는 절연 수지층의 접합 부위에 공극부가 존재하여도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있다.
이 감압 조건으로는 진공도 20Torr 이하, 바람직하게는 10Torr 이하이다. 이에 의해 상기 효과를 높게 발현시킬 수 있다. 또한, 하한값은 특별히 한정되지 않으며, 1Torr이면 상기 효과의 관점에서 충분하다.
상술한 바와 같이 제조된 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 나아가 상기의 감압 조건하에서 적층시키므로 두께 정밀도가 뛰어난 적층판을 얻을 수 있다.
또, 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압할 때의 라미네이트 압력은 1N/㎠ 이상 50 N/㎠ 이하, 바람직하게는 1N/㎠ 이상 10N/㎠ 이하로 할 수 있다. 복수의 긴 띠 모양의 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 공급하여 일괄적으로 접합하는 경우, 절연 수지층끼리의 접합 면에 공극부가 생기기 쉬워, 적층판의 절연 신뢰성이 저하되는 경우가 있다. 본 실시 형태에 있어서는 상기 범위의 라미네이트 압력으로 함으로써 절연 수지층끼리의 접합 면에 공극부가 존재해 있어도 공극부를 효과적으로 감소시킬 수 있어 절연 신뢰성이 뛰어난 적층체를 얻을 수 있다.
이와 같은 효과는 상기의 감압 조건과 조합함으로써 더욱 효과적으로 발휘된다.
2개의 캐리어 부착 프리프레그를 접합하는 방법으로는 한쪽의 캐리어가 제거된 2개의 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 공급하여 절연 수지층끼리를 겹쳐 맞추면서 한 쌍의 라미네이트 롤로 압압하여 접합하는 방법을 들 수 있다.
또, 감압 조건하에서 접합하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 진공 라미네이트 장치, 진공 박스 장치 등을 이용할 수 있다.
이들 중에서도 진공 라미네이트 장치를 이용하여 한쪽의 캐리어가 제거된 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 겹쳐 맞추면서 접합하는 방법이 바람직하다. 이에 의해 연속적인 처리를 할 수 있어 간단하고 쉬운 장치로 효율적으로 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 제조할 수 있다.
(c) 공정에 있어서 캐리어가 제거된 캐리어 부착 프리프레그를 접합할 때에는 소정 온도로 가온하는 것이 바람직하다. 이에 의해 캐리어가 제거된 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층 측을 용이하게 접합할 수 있다. 또, 절연 수지층의 적어도 일부가 용융하여 서로 붙음으로써 층간 보이드가 적은 적층판을 얻기 쉬워진다.
여기서 가온하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 접합할 때에 소정 온도로 가열한 라미네이트 롤을 이용하는 방법 등을 적합하게 이용할 수 있다.
여기서 가온하는 온도로는 절연 수지층을 형성하는 수지의 종류나 배합에 따라 다르기 때문에 특히 한정되지 않으나, 60～100℃로 실시할 수 있다.
다음으로, (d) 공정에 대해 설명한다.
이 (d) 공정은 도 5(d)(또는 도 6(d))에 나타내는 바와 같이, 상기 (c) 공정에서 얻어진 적층체를 가열 처리하여 적층판을 제작하는 것이다.
이에 의해 (d) 공정에 있어서 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그가 접합한 시점에서 잔존해 있던 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드를 대부분 소실시킬 수 있어, 비충전 부분이 매우 적은 혹은 비충전 부분이 실질적으로 존재하지 않는 적층판을 제조할 수 있다. 그 때문에 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 얻을 수 있다.
또, 가열 처리할 때에는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그로 이루어진 적층체에 대하여 실질적으로 압력을 작용시키지 않는다.
이에 의해 수지의 고르지 못함이 발생하는 일이 없어 적층판은 두께 정밀도가 뛰어나다.
한편, 종래의 배치 프레스에서는 양면 금속장 적층판의 절연 수지층의 두께는 60㎛가 한도라고 여겨져, 최근에서의 보다 얇은 양면 금속장 적층판의 요구에 부응할 수 없다. 배치 프레스에 있어서 절연재층의 두께를 60㎛보다 얇게 하면 기재가 직접 양면의 금속박과 접촉하기 쉬워져서 절연성의 신뢰도가 저하된다고 하는 문제가 있었다.
이에 대조적으로 본 실시 형태의 방법에 의하면, 이와 같은 절연 수지층의 두께가 60㎛보다 얇은 적층판을 제조하는 경우라도, 적층판은 두께 정밀도가 뛰어나기 때문에 절연성의 신뢰도가 보다 향상되어 제품의 수율이 향상된다.
가열 처리는, 예를 들어 열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치, 가열 롤 장치, 평판 모양의 열반 프레스 장치 등을 이용하여 실시할 수 있다.
열풍 건조 장치, 적외선 가열 장치를 이용했을 경우는 접합한 것에 실질적으로 압력을 작용시키는 일 없이 실시할 수 있다.
또, 가열 롤 장치, 평판 모양의 열반 프레스 장치를 이용했을 경우는 접합한 것에 소정의 압력을 작용시킴으로써 실시할 수 있다.
이들 중에서도 적층체에 실질적으로 압력을 작용시키는 일 없이 실시하는 방법이 바람직하다. 이 방법에 의하면, (d) 공정에서 수지 성분을 과잉으로 유동시키는 일이 없기 때문에 원하는 절연층 두께를 가지며, 또한 이 절연층 두께에 있어서 높은 균일성을 가진 적층판을 효율적으로 제조할 수 있다.
또, 수지 성분의 유동에 수반하여 섬유포 기재에 작용하는 응력을 최소한으로 할 수 있으므로, 내부 변형을 매우 적게 할 수 있다.
또한, 수지 성분을 가온했을 때에 실질적으로 압력이 작용하고 있지 않으므로 이 공정에서 타흔 불량의 발생을 실질적으로 없앨 수 있다.
본 실시 형태에 있어서는 (c) 공정에서 얻어진 적층체를 대기압하에 반출함과 함께 연속적으로 대기압하에서 가열 처리하는 것이 바람직하다. 이에 의해 유리 섬유 직물 공극 중에 용융 수지가 충전되어 대기압에서 성형됨으로써, 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제하여 절연 신뢰성이 더욱 뛰어난 적층체를 연속적으로 제조할 수 있다.
가열 처리할 때의 온도는 60℃ 이상 200℃ 이하, 바람직하게는 150℃ 이상 200℃ 이하로 할 수 있다. 이에 의해 절연 수지의 유동성이 향상됨과 함께 절연 수지의 경화 반응이 충분히 진행하므로 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 가열 처리하는 시간은 이용하는 절연 수지의 종류 등에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 일례를 들면 10～20 분간 처리함으로써 실시할 수 있다.
상기한 바와 같은 (a) 공정～(d) 공정으로 이루어진 본 실시 형태의 적층판의 제조 방법에 의하면, 감압하에서 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층끼리를 접합함과 함께 가열 처리를 실시하고 있기 때문에 절연 수지층과 절연 수지층의 접합 면에 있어서 보이드를 효과적으로 소실시킬 수 있어, 비충전 부분이 거의 존재하지 않는다. 그 때문에, 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 제조할 수 있어 제품의 수율이 향상된다.
또한, 한 쌍의 라미네이트 롤을 이용하여 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층끼리를 접합하고 있기 때문에 적층체를 연속적으로 제조할 수 있어 적층체의 생산 효율이 뛰어나다.
또, 본 실시 형태에 있어서는 또한 함침성과 두께 정밀도가 더욱 뛰어난 양면 캐리어 부착 프리프레그를 이용하고 있기 때문에, 두께 정밀도가 뛰어난 동시에 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 용이하게 제조할 수 있다.
본 실시 형태의 제조 방법에 의해 얻어지는 적층판은 고밀도화, 고다층화를 요구되는 다층 프린트 배선판의 제조에 적합하게 이용된다.
다음으로, 본 실시 형태에서의 적층판의 제조 방법에 대해 도 5(a)～(d), 도 6(a)～(d)를 참조하여 설명한다.
도 5(a)～(d)에 있어서는, 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(30) 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(30)로서 섬유포의 폭 방향 치수가 절연 수지층의 폭 방향 치수보다 작은 것을 이용하고 있다. 여기서, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(30, 30)의 폭 방향 치수의 관계를 도 5(a)에 나타낸다. 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)에 있어서, 한쪽 면의 캐리어는 제거되어 있어, 노출된 절연 수지층끼리 대향하도록 배치되어 있다.
이 형태에서는, (c) 공정에 있어서 제1 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향의 내측 영역, 즉 폭 방향에서 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층을 각각 접합할 수 있다.
또, 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 외측 영역, 즉 섬유포가 존재하고 있지 않은 영역에 있어서도 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a)가 가지는 절연 수지층 면과 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)가 가지는 절연 수지층 면을 접합할 수 있다. 이 상태를 도 5(c)에 나타낸다.
그리고 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에, 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)의 절연 수지층의 접합면에 비충전 부분이 잔존해 있더라도, 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있으므로 (d) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리할 경우 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (d) 공정에 있어서, 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 5(d)에 나타낸다.
다음으로, 도 6(a)～(d)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 6에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(30) 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(30)로서 섬유포(4)와 폭 방향 치수가 같은 절연 수지층을 가지는 것을 이용하고 있다. 여기서, 캐리어, 절연 수지층, 섬유포의 각각의 폭 방향 치수의 관계를 도 6(a)에 나타낸다. 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a) 및 제 2 캐리어 부착 프리프레그(30b)의 한쪽 면의 캐리어는 제거되어 노출된 절연 수지층끼리 대향하도록 배치되어 있다.
이 형태에서는 (c) 공정에 있어서 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향 치수의 내측 영역, 즉 섬유포(4)가 존재하는 영역에 있어서는 제1 캐리어 부착 프리프레그(30a)의 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그(30b)의 절연 수지층을 각각 접합할 수 있다. 이 상태를 도 6(c)에 나타낸다.
이 형태에서는 (d) 공정 후, 즉 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 접합한 시점에서 폭 방향의 단부위에 존재하는 비충전 부분과 폭 방향의 단부위 이외의 부위에 존재하는 비충전 부분이 연통하지 않도록 해 두는 것이 바람직하다.
이에 의해 폭 방향의 단부위 이외의 부위에 존재하는 비충전 부분에 대해서는 (a1) 공정 및 (c) 공정을 감압하에서 실시하고 있기 때문에 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있어 (d) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리되었을 경우 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (d) 공정에 있어서, 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 경우에도 이들을 폭 방향의 단부위만으로 할 수 있다. 이 상태를 도 6(d)에 나타낸다.
(실시 형태 B2)
실시 형태 B2에 관한 적층판의 제조 방법은 이하의 전 공정을 연속적으로 반복하여 실시한다.
(a) 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층과 다른 캐리어를 적층한 긴 띠 모양의 제1, 제2 및 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정
(b1) 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 편의 캐리어를 박리 제거하여 한쪽 편에 절연 수지층이 노출된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(b2) 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그의 양측의 캐리어를 박리 제거하여 절연 수지층이 양면에 노출된 긴 띠 모양의 절연 수지 부재로 하는 공정
(c) 감압하에서 제1 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 절연 수지 부재의 절연 수지층, 또한 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층과 절연 수지 부재의 절연 수지층을 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 절연 수지층끼리를 접합하는 공정
(d) 상기 공정에 의해 얻어진 적층체를 가열 처리하는 공정
본 실시 형태에 있어서 (a) 공정은 이하의 (a1) 공정 및 (a2) 공정을 포함한다.
(a1) 감압하에서 한쪽 면에 캐리어가 형성된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층측면을 긴 띠 모양의 섬유포의 양면에 각각 접합하는 공정
(a2) 상기 접합 후에 절연 수지층을 구성하는 절연 수지 성분의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하여 긴 띠 모양의 제1, 제2 및 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
본 실시 형태에 있어서는 실시 형태 B1과 동일한 공정에 대해서는 적절히 설명을 생략한다. 또한, 이하의 공정에 있어서도 실시 형태 B1과 동일하게 행해지는 경우는 적절히 설명을 생략한다.
본 실시 형태에서의 (a1) 공정 및 (a2) 공정은 양면의 캐리어가 박리 처리되는 긴 띠 모양의 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31')를 제작하는 이외는 실시 형태 B1과 동일하게 실시한다.
본 실시 형태에서의 (b1) 공정 및 (b2) 공정은 동시에 행해진다. 도 7(a),(b)(도 8(a),(b))에 나타내는 바와 같이, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(31, 31)의 한쪽 면의 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층을 편면에 노출시킨 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31a, 31c)를 얻는다. 또한, 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31')의 양면의 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층이 양면에 노출된 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)를 얻는다.
양면 캐리어 부착 프리프레그의 캐리어를 제거하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 양면 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 공급하여, 각각의 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 또는 양쪽 모두의 캐리어를 연속적으로 감아내는 방법을 들 수 있다.
(c) 공정은 도 7(b),(c)(도 8(b),(c))에 나타내는 바와 같이 제1 의 캐리어 부착 프리프레그(31a)의 절연 수지층과 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)의 한쪽면, 또한 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)의 절연 수지층과 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)의 다른 한쪽 면을 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 상기 절연 수지층끼리를 접합하는 것이다.
다음으로, (d) 공정에 대해 설명한다.
(d) 공정은 도 7(c),(d)(도 8(c),(d))에 나타내는 바와 같이, 상기 (c) 공정에 의해 얻어진 접합체를 가열 처리하여, 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a), 필름 모양의 절연 수지 부재(31b) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)를 차례로 적층하는 것이다.
이에 의해, (c) 공정에 있어서 절연 수지층의 계면에 잔존해 있던 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드를 대부분 소실시킬 수 있어, 비충전 부분이 매우 적은 혹은 비충전 부분이 실질적으로 존재하지 않는 적층판을 제조할 수 있다. 그 때문에, 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 얻을 수 있다.
또, 가열 처리할 때에는 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a), 필름 모양의 절연 수지 부재(31b) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)가 접합된 접합체에 대해 실질적으로 압력을 작용시키지 않는다.
이에 의해 수지의 고르지 못함이 발생되는 일이 없어 적층판은 두께 정밀도가 뛰어나다.
그 때문에 절연성의 신뢰도가 보다 향상되어 제품의 수율이 향상된다.
본 실시 형태에 있어서는 (c) 공정에서 얻어진 적층체를 대기압하에 반출함과 함께 연속적으로 대기압하에서 가열 처리하는 것이 바람직하다. 이에 의해 유리 섬유 직물 공극 중에 용융 수지가 충전되어 대기압에서 성형됨으로써, 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제하여 절연 신뢰성이 더욱 뛰어난 적층체를 연속적으로 제조할 수 있다.
가열 처리할 때의 온도는 60℃ 이상 200℃ 이하, 바람직하게는 150℃ 이상 200℃ 이하로 할 수 있다. 이에 의해 절연 수지의 유동성이 향상됨과 함께 절연 수지의 경화 반응이 충분하게 진행되기 때문에, 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 가열 처리하는 시간은 이용하는 절연 수지의 종류 등에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 일례를 들면 10～20 분간 처리함으로써 실시할 수 있다.
다음으로, 본 실시 형태에서의 적층판의 제조 방법에 대해 도 7(a)～(d), 도 8(a)～(d)를 참조하여 추가로 설명한다.
도 7(a)～(d)에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(31), 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31') 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31)로서 섬유포의 폭 방향 치수가 절연 수지층의 폭 방향 치수보다 작은 것을 이용하고 있다. 도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(31) 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(31)의 한쪽 면의 캐리어는 제거되어, 절연 수지층이 노출된 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)가 형성되어 있다. 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31')는 양면의 캐리어가 제거되어 절연 수지층이 노출되어, 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)가 형성되어 있다. 이러한 절연 수지층끼리 대향하도록 배치되어 있다. 여기서, 제1, 제2 및 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향 치수의 관계를 도 7(a)에 나타낸다.
이 형태에서는 (c) 공정에 있어서 대향하는 절연 수지층끼리를 접합할 수 있다. 이 상태를 도 7(c)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에 절연 수지층의 접합면에 비충전 부분이 잔존해 있더라도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있기 때문에, (d) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리할 경우 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (d) 공정에 있어서, 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 7(d)에 나타낸다.
다음으로, 도 8(a)～(d)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 8(a)～(d)에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(31), 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31') 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(31)로서 섬유포의 폭 방향 치수가 절연 수지층의 폭 방향 치수와 동일한 것을 이용하고 있다. 도 8(b)에 나타내는 바와 같이, 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(31) 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(31)의 한쪽 면의 캐리어는 제거되어, 절연 수지층이 노출된 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)가 형성되고 있다. 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그(31')는 양면의 캐리어가 제거되어 절연 수지층이 노출되어 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)가 형성되고 있다. 이러한 절연 수지층끼리 대향하도록 배치되어 있다. 여기서, 제1, 제2 및 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향 치수의 관계를 도 8(a)에 나타낸다.
이 형태에서는, (c) 공정에 있어서 대향하는 절연 수지층끼리를 접합할 수 있다. 이 상태를 도 8(c)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에, 절연 수지층의 접합면에 비충전 부분이 잔존해 있더라도, 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있기 때문에, (d) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리할 경우 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (d) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 8(d)에 나타낸다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는 도 7 및 8에 나타나는 형태에 있어서, 양면에 절연 수지층이 노출된 필름 모양의 절연 수지 부재(31b)를 제1 캐리어 부착 프리프레그(31a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(31c)의 사이에 추가로 마련함으로써 캐리어 부착 프리프레그가 4층 이상 적층된 적층판을 작성할 수 있다.
(실시 형태 B3)
실시 형태 B3에 관한 적층판의 제조 방법은 이하의 전 공정을 연속적으로 반복하여 실시한다.
(a) 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층과 다른 캐리어를 적층한 긴 띠 모양의 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정
(b) 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 편의 캐리어를 박리 제거하여 한쪽 편에 절연 수지층이 노출된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
(c) 감압하에서 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층끼리를 섬유포를 통하여 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 절연 수지층끼리를 접합하는 공정
(d) 상기 공정에 의해 얻어진 적층체를 가열 처리하는 공정
본 실시 형태에 있어서 제1 또는 실시 형태 B2와 동일한 공정에 대해서는 적절히 설명을 생략한다. 또한, 이하의 공정에 있어서도 실시 형태 B1과 동일하게 행해지는 경우는 적절히 설명을 생략한다.
본 실시 형태에 있어서 (a) 공정은 이하의 (a1) 공정 및 (a2) 공정을 포함한다.
(a1) 감압하에서 한쪽 면에 캐리어가 형성된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층측면을 긴 띠 모양의 섬유포의 양면에 각각 접합하는 공정
(a2) 상기 접합 후에 절연 수지층을 구성하는 절연 수지 성분의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하여 긴 띠 모양의 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정
본 실시 형태의 (a1) 공정에 있어서 이용되는 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(40, 40)는 도 13(a)(도 14(a))에 나타내는 바와 같이 박리 가능하게 형성된 캐리어 측의 절연 수지층을 다른 한쪽의 절연 수지층보다 2배 정도 두껍게 형성한다. 이 점 이외는 실시 형태 B1의 (a1) 공정과 동일하게 실시한다. 이와 같이 층 두께를 변경함으로써, 섬유포(4)에 절연 수지가 함침?경화되었다 하여도 섬유포 상호간을 확실하게 이간시킬 수 있다.
본 실시 형태에서의 (b) 공정에 있어서는 도 13(a),(b)(도 14(a),(b))에 나타내는 바와 같이, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(40, 40)의 한쪽 면의 캐리어를 제거함으로써 절연 수지층을 편면에 노출시킨 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40a, 40b)를 얻는다.
양면 캐리어 부착 프리프레그의 캐리어를 제거하는 방법으로는 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 양면 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 공급하여, 각각의 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽의 캐리어를 연속적으로 감아내는 방법을 들 수 있다.
(c) 공정은 도 13(b),(c)(도 14(b),(c))에 나타내는 바와 같이 제1 캐리어 부착 프리프레그(40a)의 절연 수지층과 섬유포(21a)의 편면 또한 제2 캐리어 부착 프리프레그(40b)의 절연 수지층과 섬유포(21a)의 다른 한쪽 면을 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 상기 절연 수지층끼리를 섬유포(4)를 통하여 접합하는 것이다.
또, 섬유포(21a)는 예를 들어 길이가 긴 시트 제품을 롤 형태로 한 것 등을 이용하여 이로부터 연속적으로 감아냄으로써 공급할 수 있다.
다음으로, (d) 공정에 대해 설명한다.
(d) 공정은 도 13(c),(d)(도 14(c),(d))에 나타내는 바와 같이 상기 (c) 공정에 의해 얻어진 접합체를 가열 처리하고, 섬유포(21a)에 절연 수지를 함침 경화시킴과 함께 프리프레그를 3층 가지는 적층판을 제작하는 것이다.
(d) 공정에서의 가열 처리에 의해, (c) 공정에 있어서 절연 수지층의 계면에 잔존해 있던 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드를 대부분 소실시킬 수 있어 비충전 부분이 매우 적은 혹은 비충전 부분이 실질적으로 존재하지 않는 적층판을 제조할 수 있다. 그 때문에 절연 신뢰성이 뛰어난 적층판을 얻을 수 있다.
또, 가열 처리할 때에는 섬유포(21a)를 통하여 접합된 제1 캐리어 부착 프리프레그(40a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40b)에 대해 실질적으로 압력을 작용시키지 않는다.
이에 의해 수지의 고르지 못함이 발생하는 일이 없어 적층판은 두께 정밀도가 뛰어나다.
그 때문에 절연성의 신뢰도가 보다 향상되어 제품의 수율이 향상된다.
본 실시 형태에 있어서는 (c) 공정에서 얻어진 적층체를 대기압하에 반출함과 함께 연속적으로 대기압하에서 가열 처리하는 것이 바람직하다. 이에 의해 유리 섬유 직물 공극 중에 용융 수지가 충전되어 대기압에서 성형됨으로써 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제하여 절연 신뢰성이 더욱 뛰어난 적층체를 연속적으로 제조할 수 있다.
가열 처리할 때의 온도는 60℃ 이상 200℃ 이하, 바람직하게는 150℃ 이상 200℃ 이하로 할 수 있다. 이에 의해 절연 수지의 유동성이 향상됨과 함께 절연 수지의 경화 반응이 충분하게 진행되기 때문에 보이드의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 가열 처리하는 시간은 이용하는 절연 수지의 종류 등에 따라 다르기 때문에 특별히 한정되지 않으나, 일례를 들면 10～20 분간 처리함으로써 실시할 수 있다.
다음으로 본 실시 형태에 있어서의 적층판의 제조 방법에 대해 도 13(a)～(d), 도 14(a)～(d)를 참조하여 설명한다.
도 13(a)～(d)에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(40) 및 제 2 캐리어 부착 프리프레그(40)로서 섬유포의 폭 방향 치수가 절연 수지층의 폭 방향 치수보다 작은 것을 이용하고 있다. 도 13(b)에 나타내는 바와 같이 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(40) 및 제 2 양면 캐리어 부착 프리프레그(40)의 한쪽 면의 캐리어는 제거되어, 절연 수지층이 노출된 제1 캐리어 부착 프리프레그(40a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40b)가 형성되어 있다. 이러한 절연 수지층끼리는 섬유포(21a)를 통하여 대향하도록 배치되어 있다. 여기서, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향 치수의 관계를 도 13(a)에 나타낸다.
이 형태에서는, (c) 공정에 있어서 대향하는 절연 수지층끼리를 섬유포(21a)를 통하여 접합할 수 있다. 이 상태를 도 13(c)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에 절연 수지층의 접합 면에 비충전 부분이 잔존해 있더라도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있기 때문에, (d) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리할 경우, 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (d) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 13(d)에 나타낸다.
다음으로, 도 14(a)～(d)에 나타낸 형태에 대해 설명한다.
도 14(a)～(d)에 있어서는 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(40) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40)로서 섬유포의 폭 방향 치수가 절연 수지층의 폭 방향 치수와 동일한 것을 이용하고 있다. 도 14(b)에 나타내는 바와 같이 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그(40) 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(40)의 한쪽 면의 캐리어는 제거되어, 한쪽의 절연 수지층이 노출된 제1 캐리어 부착 프리프레그(40a) 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40b)가 형성되고 있다. 이러한 절연 수지층끼리 섬유포(21a)를 통하여 대향하도록 배치되어 있다. 여기서, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(40, 40)와 섬유포(21a)의 폭 방향 치수의 관계를 도 14(a)에 나타낸다.
이 형태에서는 (c) 공정에 있어서 섬유포(21a)를 통하여 대향하는 절연 수지층끼리를 접합할 수 있다. 이 상태를 도 14(c)에 나타낸다.
그리고, 이러한 접합을 감압하에서 실시하기 때문에 절연 수지층의 접합 면에 비충전 부분이 잔존해 있더라도 이들을 감압 보이드 혹은 실질적인 진공 보이드로 할 수 있기 때문에, (d) 공정에 있어서 소정의 온도 범위에서 가열 처리할 경우 이들을 용이하게 소실시킬 수 있다. 그리고, (d) 공정에 있어서 폭 방향의 주변부로부터 공기가 침입하여 새로운 보이드가 형성되는 것을 막을 수 있다. 이 상태를 도 14(d)에 나타낸다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는 도 13 및 도 14에 나타난 형태에 있어서 양면에 절연 수지층이 노출된 필름 모양의 절연 수지 부재를 적절히 마련함으로써, 프리프레그를 4층 이상 가지는 적층판을 작성할 수 있다.
본 실시 형태의 적층판의 제조 방법에 있어서는 상기 형태 중에서도 도 2(a)～(c)에 나타낸 형태, 도 3(a)～(c), 도 5(a)～(d), 도 7(a)～(d), 도 13(a)～(d)에 나타낸 형태가 바람직하다. 즉, 제1 캐리어 부착 프리프레그 및 제2 캐리어 부착 프리프레그로서 섬유포 및 절연 수지층보다 폭 방향 치수가 큰 캐리어를 가짐과 함께 쌍방의 절연 수지층이 모두 쌍방의 섬유포보다 폭 방향 치수가 큰 것을 이용하는 것이 바람직하다.
이에 의해 (a2) 공정 및 (d) 공정에서 절연 수지층에 의해 섬유포를 밀폐할 수 있어, 섬유포가 존재하는 영역 전체에 있어서 보이드가 적은 혹은 실질적으로 보이드가 존재하지 않는 적층판을 제조할 수 있다.
특히, 본 적층판의 제조 방법으로 이용하는 캐리어 부착 프리프레그에 있어서는 도 2(a)～(c)에 나타낸 형태, 즉 제1 절연 수지층 부착 캐리어(3a) 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(3a')로서 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 캐리어를 가짐과 함께 섬유포(4)보다 폭 방향 치수가 큰 절연 수지층을 가지는 것을 이용하는 것이 바람직하다.
이 형태에서는 섬유포(4)의 폭 방향에서의 양 외측에서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층끼리 접합하므로, 보다 간단하고 쉽게 절연 수지층에 의해 섬유포(4)를 밀봉할 수 있어 상기 효과를 보다 효과적으로 발현시킬 수 있다.
본 실시 형태의 적층판의 제조 방법으로 이용하는 캐리어 부착 프리프레그는 (b) 공정 후, 상기에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 연속해서 감아내는 공정을 가지는 것이 바람직하다.
이에 의해 캐리어 부착 프리프레그를 롤 형태로 할 수 있어, 이 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 (b) 공정～(d) 공정의 작업성을 향상시킬 수 있다.
본 실시 형태의 적층판은 (d) 공정 후, 상기에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 연속해서 감아내거나 혹은 반송 출구에서 소정의 흐름 방향 치수로 절단하는 공정을 가지는 것이 바람직하다.
이에 의해 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 소정의 형태로 할 수 있어 효율적인 생산을 효과적으로 발현시킬 수 있다.
(제조 장치)
(실시 형태 B1의 제조 방법에 있어서 이용되는 장치)
본 실시 형태의 적층판의 제조 방법은 도 15～16에 나타낸 제조 장치를 이용하여 실시할 수 있다. 또한, 도 15～16에 있어서는 제조 장치의 단면도를 이용하여 설명한다.
도 15(a)는 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하는 적층판의 제조에 있어서 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어를 제조하는 장치의 일례를 나타내는 것이다.
도 15(a)에 있어서 캐리어로서 예를 들어 길이가 긴 시트 제품을 롤 형태로 한 캐리어(1)를 이용하여 이들을 연속적으로 감아냄으로써 공급할 수 있다.
액상의 절연 수지(11)는 도시되지 않은 절연 수지의 공급 장치에 의해 소정량이 연속적으로 캐리어(1a)상에 공급된다. 절연 수지(11)의 도공량은 콤마 롤(12)과 콤마 롤(12)의 백업 롤(13)의 클리어런스에 의해 제어할 수 있다.
소정량의 절연 수지가 도공된 캐리어(1b)는 횡반송형의 열풍 건조 장치(14, 14)의 내부를 이송하여, 액상의 절연 수지 중에 함유되는 유기용제 등을 실질적으로 건조 제거하고, 필요에 따라서 경화 반응을 도중까지 진행한 절연 수지층 부착 캐리어(1c)로 할 수 있다. 절연 수지층 부착 캐리어(1c)는 그대로 감아낼 수도 있지만, 도 15(a)의 형태에 있어서는 라미네이트 롤(16, 16)에 의해 절연 수지층이 형성된 측에 보호 필름(15)을 겹쳐 맞추어 보호 필름(15)이 라미네이트된 절연 수지층 부착 캐리어(1d)로 하고, 이를 감아내어 롤 형태의 절연 수지층 부착 캐리어(17)를 얻고 있다.
도 15(b)는 본 실시 형태의 제조 방법의 (a) 공정을 실시할 수 있는 장치의 일례를 나타내는 단면도이다. 구체적으로는 섬유포의 양면 측에 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 겹쳐 맞추고, 감압하에서 접합한 후, 절연 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리하고, 이를 연속해서 감아내어 캐리어 부착 프리프레그를 제조할 수 있다.
도 15(b)에 있어서 (a) 공정은 진공 라미네이트 장치(20)를 사용하여 실시된다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부는 도시되지 않은 진공 펌프 등의 감압 수단에 의해 소정의 감압 조건으로 설정되어 있다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부에는 도 15(a)의 장치에 의해 얻어진 절연 수지층 부착 캐리어(17, 17)와 섬유포(21)가 각각 연속적으로 공급 가능하게 설치되어 있다.
절연 수지층 부착 캐리어(17, 17)는 절연 수지층 표면에 상기 보호 필름이 라미네이트되어 있기 때문에 감음 롤(23, 23)에 의해 해당 보호 필름을 박리하면서 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(1e, 1e)로서 연속적으로 공급된다. 또, 섬유포(21a)는 롤 형태의 섬유포(21)로부터 연속적으로 공급된다.
보호 필름이 박리 제거된 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어(1e, 1e)와 섬유포(21a)는 절연 수지층 부착 캐리어(1e, 1e)의 각각 절연 수지층 측에서 섬유포(21a)를 끼워 넣듯이 맞닿게 함과 함께 라미네이트(24, 24)에 의해 압압하여 접합된다.
라미네이트 롤(24, 24) 사이의 클리어런스는 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포의 접합시에 실질적으로 압력이 작용하지 않을 정도로 설정할 수도 있고, 임의의 압력이 작용하도록 설정할 수도 있다.
접합 후의 접합물(22a)은 그대로 다음 공정으로 보낼 수도 있고, 라미네이트 롤(25, 25), (26, 26), (27, 27)에 의해 온도와 압력을 작용시켜, 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포의 접합 정도를 조정할 수도 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는 접합면으로 기포가 휩쓸려 들어가는 것을 억제하는 관점에서, 어느 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 캐리어 측으로부터 라미네이트 압력이 작용하도록 설정하는 것이 바람직하다.
또한, 도 15(b)에 있어서 라미네이트 롤(27, 27)은 진공 라미네이트 장치(20)의 내부를 소정의 감압 조건으로 유지하기 때문에, 진공 라미네이트 장치(20)의 외부로부터 내부로의 공기의 침입을 억제하는 씰 롤으로서의 기능도 가지고 있다.
접합 후의 접합물(22b)은 횡반송형의 열풍 건조 장치(28, 28) 사이를 이송하여 절연 수지의 유리 전이 온도 이상의 온도로 가열 처리한다. 이에 의해 접합물의 내부에 잔존해 있는 비충전 부분을 소실시킬 수 있다.
가열 처리 후의 캐리어 부착 프리프레그(22c)는 핀치 롤(29, 29)로 끼우면서, 이를 연속적으로 감아냄으로써 롤 형태의 캐리어 부착 프리프레그(30)로 할 수 있다.
도 16은 실시 형태 B1에서의 제조 방법의 (b) 공정～(d) 공정을 실시할 수 있는 장치의 일례를 나타내는 단면 측면도이다. (b) 공정 및 (c) 공정은 진공 라미네이트 장치(20)를 사용하여 실시된다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부는 도시되지 않은 진공 펌프 등의 감압 수단에 의해 소정의 감압 조건으로 설정되어 있다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부에는 (a1) 공정에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)가 각각 연속적으로 공급 가능하게 설치되어 있다.
캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)는 감음 롤(23, 23)에 의해 절연 수지층 표면에 캐리어가 라미네이트되어 있는 양면 캐리어 부착 프리프레그(30)의 한쪽의 캐리어를 박리하면서 연속적으로 공급된다. 캐리어가 박리 제거된 캐리어 부착 프리프레그(30a, 30b)는 한 쌍의 라미네이트 롤(24, 24)의 외주를 따라서 반송되어 절연 수지층끼리 맞닿게 함과 함께 라미네이트 롤(24, 24)에 의해 캐리어측으로부터 압압되어 접합된다.
라미네이트 롤(24, 24) 사이의 클리어런스는 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포의 접합시에 실질적으로 압력이 작용하지 않을 정도로 설정할 수도 있고, 임의의 압력이 작용하도록 설정할 수도 있다.
접합 후의 적층체(34)는 그대로 다음 공정으로 보낼 수도 있고, 라미네이트 롤(25, 25), (26, 26), (27, 27)에 의해 온도와 압력을 작용시켜, 캐리어 부착 프리프레그의 수지층 측의 접합 정도를 조정할 수도 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는 접합면으로 기포가 휩쓸려 들어가는 것을 억제하는 관점에서, 어느 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 캐리어측으로부터 라미네이트 압력이 작용하도록 설정하는 것이 바람직하다.
또한, 도 16에 있어서, 라미네이트 롤(27, 27)은 진공 라미네이트 장치(20)의 내부를 소정의 감압 조건으로 유지하기 때문에, 진공 라미네이트 장치(20)의 외부로부터 내부로의 공기의 침입을 억제하는 씰 롤으로서의 기능도 가지고 있다.
접합 후의 적층체(34)는 횡반송형의 열풍 건조 장치(28, 28) 사이를 이송하고, 절연 수지의 소정의 온도 범위의 온도로 가열 처리한다. 이에 의해 접합물 내부에 잔존해 있는 비충전 부분을 소실시킬 수 있다.
가열 처리 후의 적층판(35)은 핀치 롤(29, 29)로 끼우면서, 이를 연속적으로 감아냄으로써 롤 형태의 적층판(35)으로 할 수 있다.
또한, 실시 형태 B3의 적층판의 제조 방법에 있어서도, 도 15의 제조 장치를 이용할 수 있다.
(실시 형태 B2의 제조 방법에 있어서 이용되는 장치)
실시 형태 B2에 있어서는, 실시 형태 B1과 동일하게 도 15(a)의 제조 장치를 이용하여 절연 수지층 부착 캐리어가 제조된다. 또한, 실시 형태 B1과 동일하게 도 15(b)의 제조 장치를 이용하여 본 실시 형태의 제조 방법의 (a) 공정을 실시할 수 있다. 이에 의해 긴 띠 모양의 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 얻을 수 있다.
도 17은 실시 형태 B2의 제조 방법의 (b) 공정～(d) 공정을 실시할 수 있는 장치의 예를 나타내는 단면도이다. (b) 공정 및 (c) 공정은 진공 라미네이트 장치(20)를 사용하여 실시된다. 또한, 도 17에 있어서 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 적절히 설명을 생략한다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부에는 (b) 공정에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그(31a), 절연 수지 부재(31b), 캐리어 부착 프리프레그(31c)가 각각 연속적으로 공급 가능하게 설치되어 있다.
캐리어 부착 프리프레그(31a, 31c)는 양면 캐리어 부착 프리프레그(31, 31)로부터 감음 롤(23)에 의해 각각 한쪽 편의 캐리어를 박리하면서 연속적으로 공급된다. 한편, 절연 수지 부재(31b)는 양면 캐리어 부착 프리프레그(31')로부터 감음 롤(23, 23)에 의해 양측의 캐리어를 박리하면서 연속적으로 공급된다.
도 17에 나타난 제조 장치의 진공 라미네이트 장치(20)에 있어서 4개의 캐리어가 박리 제거되므로 그때에 수지 조각이나 분진이 발생하는 경우가 있다. 캐리어의 박리를 용이하게 하여 수지 조각 등의 발생을 억제하기 위해서 박리 제거하는 캐리어와 절연 수지의 계면에 미리 슬릿을 마련할 수 있다.
한쪽 편의 캐리어가 박리 제거된 캐리어 부착 프리프레그(31a, 31c)는 라미네이트 롤(24, 24)의 외주를 따라서 반송된다. 한편, 양측의 캐리어가 박리 제거된 절연 수지 부재(31b)는 캐리어 부착 프리프레그(31a, 31c)의 사이에 공급된다. 한 쌍의 라미네이트 롤(24, 24)의 사이에서 절연 수지층끼리 맞닿게 함과 함께 캐리어측으로부터 압압되어 접합된다.
접합 후의 적층체(36)는 그대로 다음 공정으로 보낼 수도 있고, 라미네이트 롤(25, 25), (26, 26), (27, 27)에 의해 온도와 압력을 작용시켜 캐리어 부착 프리프레그의 수지층 측의 접합 정도를 조정할 수도 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는 접합면으로 기포가 휩쓸려 들어가는 것을 억제하는 관점에서 어느 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 캐리어측으로부터 라미네이트 압력이 작용하도록 설정된다.
접합 후의 적층체(36)는 횡반송형의 열풍 건조 장치(28, 28) 사이를 이송하여, 절연 수지의 소정의 범위의 온도로 가열 처리한다. 이에 의해 적층체 내부에 잔존해 있는 비충전 부분을 소실시킬 수 있다.
가열 처리 후의 적층체(36)는 핀치 롤(29, 29)로 끼우면서, 이를 연속적으로 감아냄으로써 롤 형태의 적층판(38)으로 할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서 4개 이상의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 경우, 또한 양면 캐리어 부착 프리프레그로부터 양쪽 모두의 캐리어를 제거함과 함께 연속적으로 공급하는 장치를 마련하면 된다.
(실시 형태 B3의 제조 방법에 있어서 이용되는 장치)
실시 형태 B3에 있어서는 실시 형태 B1과 동일하게 도 15(a)의 제조 장치를 이용하여 절연 수지층 부착 캐리어가 제조된다. 또한, 실시 형태 B1과 동일하게 도 15(b)의 제조 장치를 이용하여 본 실시 형태의 제조 방법의 (a) 공정을 실시할 수 있다. 이에 의해 긴 띠 모양의 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 얻을 수 있다.
실시 형태 B3의 제조 방법에서의 (b) 공정～(d) 공정을 실시할 수 있는 장치로는 도 15(b)에 나타나는 장치를 이용할 수 있다.
도 15(b)에 있어서 (b) 공정 및 (C) 공정은 진공 라미네이트 장치(20)를 사용하여 실시된다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부는 도시되지 않은 진공 펌프 등의 감압 수단에 의해 소정의 감압 조건으로 설정되어 있다.
진공 라미네이트 장치(20)의 내부에는 (a) 공정에 의해 얻어진 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(40, 40)와 섬유포(21)가 각각 연속적으로 공급 가능하게 설치되어 있다.
제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(40, 40)는 절연 수지층 표면에 캐리어가 라미네이트되어 있기 때문에 감음 롤(23, 23)에 의해 해당 캐리어를 박리하고, 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40a, 40b)로서 연속적으로 공급된다. 또, 섬유포(21a)는 롤 형태의 섬유포(21)로부터 연속적으로 공급된다.
캐리어가 박리 제거된 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40a, 40b)와 섬유포(21a)는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40a, 40b)의 각각 절연 수지층 측에서 섬유포(21a)를 끼워 넣듯이 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 접합된다.
라미네이트 롤(24, 24) 사이의 클리어런스는 캐리어 부착 프리프레그와 섬유포의 접합시에, 실질적으로 압력이 작용하지 않을 정도로 설정할 수도 있고, 임의의 압력이 작용하도록 설정할 수도 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는 접합 면으로 기포가 휩쓸려 들어가는 것을 억제하는 관점에서 어느 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 캐리어측으로부터 라미네이트 압력이 작용하도록 설정한다.
접합 후의 적층체(42a)는 그대로 다음 공정으로 보낼 수도 있고, 라미네이트 롤(25, 25), (26, 26), (27, 27)에 의해 온도와 압력을 작용시켜, 절연 수지층 부착 캐리어와 섬유포의 접합 정도를 조정할 수도 있다.
또한, 도 15(b)에 있어서, 라미네이트 롤(27, 27)은 진공 라미네이트 장치(20)의 내부를 소정의 감압 조건으로 유지하기 때문에 진공 라미네이트 장치(20)의 외부로부터 내부로의 공기의 침입을 억제하는 씰 롤으로서의 기능도 가지고 있다.
접합 후의 적층체(42b)는 횡반송형의 열풍 건조 장치(28, 28) 사이를 이송하여, 소정의 온도로 가열 처리한다. 이에 의해 적층체의 내부에 잔존해 있는 비충전 부분을 소실시킬 수 있다.
가열 처리 후의 적층판(42c)은 핀치 롤(29, 29)로 끼우면서, 이를 연속적으로 감아냄으로써 롤 형태의 적층판(44)으로 할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서, 4층 이상의 프리프레그를 가지는 적층판을 제조하는 경우, 도 17에 나타내는 양면 캐리어 부착 프리프레그로부터 양쪽 모두의 캐리어를 제거함과 동시에 연속적으로 공급하는 장치를 추가로 마련하면 된다.
다음으로, 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 얻어진 적층판에 대해 설명한다.
본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판은 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 제조 방법에 의해 얻어진 것을 특징으로 한다.
상기에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판은 금속박을 에칭 처리함으로써 소정의 도체 회로를 형성할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 실시 형태의 제조 방법에 의하면 섬유포의 골격재를 포함하는 절연 수지층을 가지는 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 연속적으로 제조하는 방법이 제공되며, 이 방법에 의해 함침성, 두께 정밀도가 뛰어난 동시에 접속 신뢰성이 뛰어난 적층판을 간단하고 쉽게 제조할 수 있다. 특히, 두께가 얇은 섬유포를 이용했을 경우에도 내부 변형이 적고 함침성이 뛰어난 것으로 할 수 있다.
그리고, 본 실시 형태의 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판은 휨, 치수 안정성 등의 기계적 특성, 성형성이 뛰어난 것으로, 고밀도화, 고다층화가 요구되는 프린트 배선판 등 신뢰성이 요구되는 용도에 적합하게 이용할 수 있는 것이다.
도 1은 본 실시 형태의 제조 방법에 이용되는 캐리어, 절연 수지층 부착 캐리어 및 섬유포에 대하여 각각의 위치 관계를 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 실시 형태의 제조 방법에 이용되는 캐리어 부착 프리프레그를 제조하는 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 3은 본 실시 형태의 제조 방법에 이용되는 캐리어 부착 프리프레그를 제조하는 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 4는 본 실시 형태의 제조 방법에 이용되는 캐리어 부착 프리프레그를 제조하는 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 5는 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서 2개의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 6은 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서 2개의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 다른 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 7은 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서 3개의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 8은 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서 3개의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 다른 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 9는 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서 3개의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 다른 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 10의 (a)는 본 실시 형태의 제조 방법에 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어를 제조하는 장치 형태의 일례를 나타내는 개략측단면도이며, (b)는 본 실시 형태의 제조 방법에 이용되는 캐리어 부착 프리프레그를 제조하는 장치 형태의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
도 11은 2개의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층체를 제조하는 장치 형태의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
도 12는 3개의 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층체를 제조하는 장치 형태의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
도 13은 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서 2개의 양면 캐리어 부착 프리프레그와 섬유포를 이용하여 적층판을 제조하는 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 14는 본 실시 형태의 제조 방법에 있어서 2개의 양면 캐리어 부착 프리프레그와 섬유포를 이용하여 적층판을 제조하는 다른 예를 나타내는 개략 공정 단면도이다.
도 15의 (a)는 본 실시 형태의 제조 방법에 이용되는 절연 수지층 부착 캐리어를 제조하는 장치의 일례를 나타내는 개략 단면도이며, (b)는 본 실시 형태의 제조 방법에 이용되는 양면 캐리어 부착 프리프레그를 제조하는 장치 또는 2개의 양면 캐리어 부착 프리프레그와 섬유포를 이용하여 적층체를 제조하는 장치의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
도 16은 2개의 양면 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 장치의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
도 17은 3개의 양면 캐리어 부착 프리프레그를 이용하여 적층판을 제조하는 장치의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
이하, 본 발명을 실시예 및 비교예에 의해 설명하겠으나, 본 발명은 여기에서 예시된 형태로 한정되는 것은 아니다.
(실시예 A)
1. 절연 수지층 형성용의 액상 수지 조성물의 조제
수지 성분으로서 에폭시 수지(재팬 에폭시레진사제?「Ep5048」) 100중량부, 경화제 (디시안디아미드) 2중량부 및 경화촉진제(2-에틸-4-메틸이미다졸) 0.1중량부를 메틸 셀로솔브 100중량부에 용해시켜 수지 바니시를 조정하였다.
2. 절연 수지층 부착 캐리어의 제조
(1) 절연 수지층 부착 캐리어 A의 제조
캐리어로서 두께 35㎛, 폭 480㎜의 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 이용하였다.
도 10(a)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 캐리어에 액상 수지 조성물을 콤마 코터 장치로 도공하고, 170℃의 건조 장치에서 3 분간 건조시켜, 두께 30㎛, 폭 410㎜의 절연 수지층을 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 형성하였다.
이 절연 수지층 측에 보호 필름(폴리에틸렌)을 라미네이트하여 절연 수지층 부착 캐리어를 제조하였다.
(2) 절연 수지층 부착 캐리어 B의 제조
캐리어로는 상기와 같은 것을 이용하였다.
도 10(a)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 캐리어에 액상 수지 조성물을 콤마 코터 장치로 도공하고, 170℃의 건조 장치에서 3 분간 건조시켜, 두께 30㎛, 폭 360㎜의 절연 수지층을 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 형성하였다.
이 절연 수지층 측에 보호 필름(폴리에틸렌)을 라미네이트하여 절연 수지층 부착 캐리어를 제조하였다.
(3) 절연 수지층 부착 캐리어 C의 제조
캐리어로서 두께 12㎛, 폭 480㎜의 구리박 필름을 이용하였다.
도 10(a)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 캐리어에 액상 수지 조성물을 콤마 코터 장치로 도공하고, 170℃의 건조 장치에서 3분간 건조시켜, 두께 30㎛, 폭 410㎜의 절연 수지층을 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 형성하였다.
이 절연 수지층 측에 보호 필름(폴리에틸렌)을 라미네이트하여 절연 수지층 부착 캐리어를 제조하였다.
(4) 절연 수지층 부착 캐리어 D의 제조
캐리어로서 두께 12㎛, 폭 480㎜의 구리박 필름을 이용하였다.
도 10(a)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 캐리어에 액상 수지 조성물을 콤마 코터 장치로 도공하고, 170℃의 건조 장치에서 3분간 건조시켜, 두께 30㎛, 폭 360㎜의 절연 수지층을 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 형성하였다.
이 절연 수지층 측에 보호 필름(폴리에틸렌)을 라미네이트하여 절연 수지층 부착 캐리어를 제조하였다.
3. 양면 캐리어 부착 프리프레그의 제조
(1) 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(1)의 제조
섬유포로서 유리 직포(유니티카 글라스 파이버사제?「E10T-SK」, 폭 360㎜, 평량 104g/㎡)를 이용하였다.
또, 상기에서 얻어진 절연 수지층 부착 캐리어 A 및 C를 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어로서 이용하였다.
도 10(b)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 보호 필름을 벗기면서, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 섬유포가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 조건하에서 60℃의 라미네이트 롤(24)을 이용하여 접합하였다.
여기서, 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역에 있어서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 각각 접합함과 함께 섬유포의 폭 방향의 외측 영역에 있어서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층끼리를 접합하였다.
이어서, 상기와 같이 접합한 것을 120℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 2분간 통과시켜 가열 처리하고, 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시킴으로써 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(1)를 제조하였다.
(2) 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(2)의 제조
섬유포로는 상기와 같은 것을 이용하였다.
또, 상기에서 얻어진 절연 수지층 부착 캐리어 A를 제1 절연 수지층 부착 캐리어, 절연 수지층 부착 캐리어 D를 제2 절연 수지층 부착 캐리어로서 이용하였다.
도 10(b)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여, 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 보호 필름을 벗기면서, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 섬유포가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 조건하에서 80℃의 라미네이트 롤(24)을 이용하여 접합하였다.
여기서, 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역에 있어서는, 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 각각 접합함과 함께 섬유포의 폭 방향의 외측 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층과 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 캐리어를 접합하였다.
이어서, 상기와 같이 접합한 것을 120℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 2분간 통과시켜 가열 처리하고, 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시킴으로써 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(2)를 제조하였다.
(3) 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(3)의 제조
섬유포로는 상기와 같은 것을 이용하였다.
또, 얻어진 절연 수지층 부착 캐리어 B를 제1 절연 수지층 부착 캐리어, 절 연 수지층 부착 캐리어 C를 제2 절연 수지층 부착 캐리어로서 이용하였다.
도 10(b)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여, 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 보호 필름을 벗기면서, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 섬유포가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 조건하에서 80℃의 라미네이트 롤(24)을 이용하여 접합하였다.
여기서, 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향에서의 내측 영역에 있어서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 각각 접합함과 함께 섬유포의 폭 방향의 외측 영역에 있어서는 제1 절연 수지층 부착 캐리어의 수지층과 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 수지층을 접합하였다.
이어서, 상기와 같이 접합한 것을 120℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 2분간 통과시켜 가열 처리하고, 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시킴으로써 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(3)를 제조하였다.
(4) 양면 캐리어 부착 프리프레그 F의 제조
섬유포로는 상기와 같은 것을 이용하였다.
또, 상기에서 얻어진 절연 수지층 부착 캐리어 B를 제1 절연 수지층 부착 캐리어, 절연 수지층 부착 캐리어 D를 제2 절연 수지층 부착 캐리어로서 이용하였다.
도 10(b)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 보호 필름을 벗기면서, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 섬유포가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 조건하에서 80℃의 라미네이트 롤(24)을 이용하여 접합하였다.
여기서, 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역에 있어서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 각각 접합하였다.
이어서, 상기와 같이 접합한 것을 120℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 2분간 통과시켜 가열 처리하고, 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시킴으로써 양면 캐리어 부착 프리프레그 F를 제조하였다.
4. 양면 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 제조
<실시예 A1>
양면 캐리어 부착 프리프레그로서 상기에서 얻어진 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(1)를 미리 롤 형태로 2롤 준비하여, 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그로서 이용하였다.
도 11에 나타낸 형태의 장치를 이용하여, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 벗기면서, 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층의 노출면 측에 섬유포가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 조건하에서 60℃의 라미네이트 롤(24)을 이용하여 절연 수지층끼리를 접합하였다.
여기서, 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향에서의 내측 영역에서는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층 측을 각각 접합함과 함께 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향에서의 양 외측 영역에 있어서는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층끼리를 접합하였다.
이어서, 상기와 같이 접합한 것을 200℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 10분간 통과시켜 가열 처리하고, 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시킴으로써 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 제조하였다.
<실시예 A2>
양면 캐리어 부착 프리프레그로서 상기에서 얻어진 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(1) 및 양면 캐리어 부착 프리프레그 F를 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그로서 이용하였다.
도 11에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 벗기면서, 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층의 노출면 측에 섬유포가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 조건하에서 60℃의 라미네이트 롤(24)을 이용하여 절연 수지층끼리를 접합하였다.
여기서, 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향에서의 내측 영역에서는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층 측을 각각 접합함과 함께 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향에서의 외측 영역에 있어서는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층끼리를 접합하였다.
이어서, 상기와 같이 접합한 것을 200℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 10분간 통과시켜 가열 처리하고, 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시킴으로써 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 제조하였다.
<실시예 A3>
양면 캐리어 부착 프리프레그로는 상기에서 얻어진 양면 캐리어 부착 프리프레그 F를 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그로서 이용하였다.
도 11에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 제1 및 제2 양면 절연 수지층 부착 캐리어의 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 벗기면서, 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층의 노출면 측에 섬유포가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 조건하에서 80℃의 라미네이트 롤(24)을 이용하여 절연 수지층끼리를 접합하였다.
여기서, 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향에서의 내측 영역에서는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층 측을 각각 접합함과 함께 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향에서의 외측 영역에 있어서는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 절연 수지층끼리를 접합하였다.
이어서, 상기 접합한 것을 200℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 10분간 통과시켜 가열 처리하고, 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시킴으로써 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 제조하였다.
<비교예 A1>
실시예에 이용한 것과 동일한 수지 바니시를 유리 직포(두께 94㎛, 닛토(日東)방적제, WEA-2116)에 함침하고, 150℃의 가열로에서 2분간 건조하여 프리프레그 중의 바니시 고형분이 약 50중량%인 길이가 긴 모양의 프리프레그를 얻었다. 이 길이가 긴 모양의 프리프레그를 한 조각이 500㎜인 정사각형의 프리프레그가 되도록 잘라내었다. 두께 12㎛, 폭 480㎜의 구리박 필름을 한 조각이 500㎜인 정사각형이 되도록 절단하여 캐리어로서 이용하였다. 그리고 2개의 프리프레그를 겹쳐 맞춘 후, 양측으로부터 캐리어를 적층하고, 한 쌍의 열반에서 압력 4MPa, 온도 200℃에서 2시간 가열 가압 성형함으로써, 두께 0.2㎜의 양면 구리부착 적층판을 얻었다.
5. 평가
실시예 및 비교예에서 얻어진 양면 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판에 대해 특성 평가를 실시하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.
[표 1]
함침성 두께 정밀도
평균(㎛) 편차(㎛)
실시예 A1 단부로부터 중앙부까지 침투액의 침투없음, 팽창 없음 220 1.2
실시예 A2 단부로부터 중앙부까지 침투액의 침투없음, 팽창 없음 219 1.5
실시예 A3 단부로부터 중앙부까지 침투액의 침투없음, 팽창 없음 220 0.8
비교예 A1 단부로부터 중앙부까지 침투액의 침투없음, 팽창 없음 227 2.4
상기 결과로부터, 실시예 A1～A3의 적층판은 비교예 A1과 비교해서 두께 정 밀도가 뛰어난 것이 확인되었다. 또한, 함침성의 결과로부터 절연 신뢰성도 뛰어난 것이 확인되었다. 또, 표 1의 결과로부터 양면 캐리어 부착 프리프레그를 3개 이상 이용하여 적층판을 제작했을 경우에 있어서도, 두께 정밀도가 뛰어남과 함께 절연 신뢰성도 뛰어난 적층판을 얻을 수 있음이 확인되었다.
또한, 실시예 A1～A2에 있어서 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(1)로 바꾸고 양면 캐리어 부착 프리프레그 E(2) 또는 E(3)를 이용했을 경우에 있어서도 동일한 결과를 얻을 수 있었다.
평가방법은 이하와 같다.
(1) 함침성
실시예에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 적층판을 형광 침지액에 침지한 후, 형광 침투액의 침투 유무를 현미경으로 관찰하였다.
또, 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 PCT 처리(121℃/100%/120분)한 후, 260℃의 땜납조에 30초간 침지하여 기포의 발생 유무를 확인하였다.
(2) 두께 정밀도
실시예에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 단면을 현미경으로 관찰하고, 폭 방향에 있어서 100㎜ 피치로 3개소에 대해 두께를 측정하여, 그 평균값과 표준 편차값을 산출하였다.
(실시예 B)
1. 절연 수지층 형성용 액상 수지 조성물의 조제
(1) 수지 바니시 A의 조제
수지 성분으로서 에폭시 수지(재팬 에폭시레진사제?「Ep5048」) 100중량부, 경화제(디시안디아미드) 2중량부 및 경화촉진제(2-에틸-4-메틸이미다졸) 0.1중량부를 메틸 셀로솔브 100중량부에 용해시켜 수지 바니시 A를 조제하였다.
(2) 수지 바니시 B의 조제
고형 노볼락형 에폭시 수지(에폭시 당량 190) 30중량%, 액상 비스페놀 A형 에폭시 수지(에폭시 당량 190) 15중량%, 고형 노볼락형 페놀 수지(수산기 당량 110) 30중량%, 경화촉진제로서 2-페닐-4-메틸-5-히드록시메틸이미다졸 1%중량부, 수산화알루미늄 19%로 수지 바니시 B를 조제하였다.
(3) 수지 바니시 C의 조제
노볼락형 시아네이트 수지(PT-30, 론자주식회사제, 중량 평균 분자량 1,300) 30중량%, 비스페놀 A형, F형 혼합 에폭시 수지(에피코트 4275, JER제, 중량 평균 분자량 57,000) 10중량%, 비페닐디메틸렌형 에폭시 수지(NC-3000P, 일본화약주식회사제, 에폭시 당량 275) 19.5중량%, 이미다졸 화합물(2-페닐-4,5-디히드록시메틸이미다졸, 시코쿠 화성공업주식회사제) 0.5중량%를 메틸 에틸 케톤에 용해, 분산시켰다. 또한, 무기 충전제로서 구상 용융 실리카(SO-25H, 아드마텍스주식회사제) 40중량%를 배합하고, 고속교반기를 이용하여 10 분간 교반하여 수지 농도 65중량%의 수지 바니시 C를 얻었다.
구상 용융 실리카(S0-25H)는 미리 에폭시실란 커플링제(A-187, 일본 유니카주식회사제)를 구상 용융 실리카 100중량부에 대해 0.5중량부 첨가하고, 표면 처리한 것을 이용하였다.
(4) 수지 바니시 D의 조제
테트라브로모 비스페놀 A형 에폭시 수지(에폭시 당량 500, 다우케미컬사제, 품번 DER511) 53.7중량부, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지(에폭시 당량 200, 토토화성사제, 품번 YDCN702P) 23중량부, 페놀 노볼락 수지(0H 당량 105, 아라카와화학공업사제, 타마놀 752) 23.3중량부, 페녹시 수지(중량 평균 분자량 Mw 42,600, 수평균 분자량 Mn 11,200, 유니온 카바이드사제, PKHH) 3중량부 및 경화촉진제 트리페닐포스핀 0.15중량부를 메틸 에틸 케톤 65중량부에 용해시켜 수지 바니시 D를 조제하였다.
2. 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어의 제조
(1) 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어 A의 제조
캐리어로서 두께 35㎛, 폭 480㎜의 길이가 긴 모양의 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 이용하였다.
도 15(a)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 캐리어에 수지 바니시 A를 콤마 코터 장치로 도공하고, 170℃의 건조 장치에서 3.5 분간 건조시켜, 두께 60㎛, 폭 410㎜의 절연 수지층을 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 형성하였다. 이 절연 수지층 측에 보호 필름(폴리에틸렌)을 라미네이트하여 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어 A를 제조하였다.
얻어진 절연 수지층 부착 캐리어 A의 절연 수지층에 대해 동적점탄성 측정을 실시한 바, 절연 수지층의 용융 점도(복소점성률)는 120℃에서 100Pa?s였다.
상기 용융 점도는 동적점탄성 측정장치(Paar Physica사제, UDS 200)를 이용하여 직경 25㎜ 두께 0.8㎜의 원반 모양 샘플을 지그에 끼우고, 3℃/min에서 가열하면서 각 온도 분위기 중에서 주파수 1Hz의 비틀림을 가하여 측정하였다.
또한, 수지 바니시 B～D를 동일하게 가공했을 경우의 수지층의 용융 점도는 각각 이하와 같았다.
수지 바니시 B: 25,000Pa?s(80℃)
수지 바니시 C: 1,000Pa?s(80℃)
수지 바니시 D: 11,000Pa?s(130℃)
(2) 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어 B의 제조
캐리어로서 두께 12㎛, 폭 480㎜의 길이가 긴 형상의 구리박 필름을 이용하였다.
도 15(a)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 캐리어에 수지 바니시 A를 콤마 코터 장치로 도공하고, 170℃의 건조 장치에서 3분간 건조시켜, 두께 30㎛, 폭 410㎜의 절연 수지층을 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 형성하였다. 이 절연 수지층 측에 보호 필름(폴리에틸렌)을 라미네이트하여 긴 띠 모양의 절연 수지층 부착 캐리어 B를 제조하였다.
얻어진 절연 수지층 부착 캐리어 B의 절연 수지층을 상기와 동일하게 하여 동적점탄성 측정을 실시한 바, 절연 수지층의 용융 점도(복소점성률)는 120℃에서 100Pa?s였다.
또한, 수지 바니시 B～D를 동일하게 도공 했을 경우의 수지층의 용융 점도는 각각 이하와 같았다.
수지 바니시 B: 25,000Pa?s(80℃)
수지 바니시 C: 1,000Pa?s(80℃)
수지 바니시 D: 11,000Pa?s(130℃)
3. 긴 띠 모양의 양면 캐리어 부착 프리프레그의 제조
(1) 긴 띠 모양의 양면 캐리어 부착 프리프레그 C의 제조
섬유포로서 긴 띠 모양의 유리 직포(유니티카 글라스파이버사제?「E10T-SK」, 폭 360㎜, 평량 104g/㎡)를 이용하였다.
또, 상기에서 얻어진 절연 수지층 부착 캐리어 A를 제1 절연 수지층 부착 캐리어로서 이용하고, 절연 수지층 부착 캐리어 B를 제2 절연 수지층 부착 캐리어로서 이용하였다.
도 15(b)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 보호 필름을 벗기면서, 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 섬유포가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 조건하에서 60℃의 라미네이트 롤(24)을 이용하여 접합하였다.
여기서, 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향의 내측 영역에 있어서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층 측을 섬유포의 양면 측에 각각 접합함과 함께 섬유포의 폭 방향의 외측 영역에 있어서는 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층끼리를 접합하였다.
이어서, 접합한 것을 120℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 2분간 통과시켜 가열 처리하고, 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시킴으로써, 긴 띠 모양의 양면 캐리어 부착 프리프레그 C를 제조하였다.
4. 양면 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 일괄 제조
<실시예 B1>
섬유포로서 유리 직포(유니티카 글라스파이버사제?「E10T-SK」, 폭 360㎜, 평량 104g/㎡)를 이용하였다.
양면 캐리어 부착 프리프레그로서 상기에서 얻어진 양면 캐리어 부착 프리프레그 C를 미리 롤 형태로 2롤 준비하여, 제1 양면 캐리어 부착 프리프레그 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그로서 이용하였다.
도 15(b)에 나타낸 형태의 장치를 이용하여, 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그(40, 40)의 캐리어를 벗겨 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40a, 40b)를 얻는다. 이러한 절연 수지층 측의 노출면 측이 섬유포(21a)의 양면 측에 대향하고, 또한 섬유포(21a)가 폭 방향에 있어서 캐리어의 중심에 위치하도록 각각 겹쳐 맞추고, 진공도 10Torr의 감압 조건하에서 60℃의 한 쌍의 라미네이트 롤(24, 24)을 이용하여 압력 10N/㎠에서 접합하였다.
여기서, 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향에서의 내측 영역에서는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40a, 40b)의 절연 수지층 측을 각각 섬유포(21a)의 양 면 측에 접합함과 함께 캐리어 부착 프리프레그의 폭 방향에서의 양 외측 영역에 있어서는 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그(40a, 40b)의 절연 수지층끼리를 접합하였다.
이어서, 접합한 것을 120℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 1분간 통과시켜 가열 처리하고, 200℃로 설정한 횡반송형의 열풍 건조 장치 내를 10분간 통과시켜 가열 처리하였다. 이 가열 처리시에는 압력을 작용시키는 일 없이 절연 수지층을 용융시켰다. 이에 의해, 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판(44)을 제조하였다.
<비교예 B1>
실시예에 이용한 것과 같은 수지 바니시를 유리 직포(두께 94㎛, 닛토 방적제, WEA-2116)에 함침하고, 150℃의 가열로에서 2분간 건조하여 프리프레그 중의 바니시 고형분이 약 50중량%인 길이가 긴 모양의 프리프레그를 얻었다. 이 길이가 긴 모양의 프리프레그를 한 조각이 500㎜인 정사각형의 프리프레그가 되도록 잘라내었다. 두께 12㎛, 폭 480㎜의 구리박 필름을 한 조각이 500㎜인 정사각형이 되도록 절단하여 캐리어로서 이용하였다. 그리고, 2개의 프리프레그를 겹쳐 맞춘 후, 양측으로부터 캐리어를 적층하고 한 쌍의 열반에서 압력 4MPa, 온도 200℃에서 2시간 가열 가압 성형함으로써, 두께 0.2㎜의 양면 구리 부착 적층판을 얻었다.
5. 평가
실시예 B1 및 비교예 B1에서 얻어진 적층판에 대해 이하의 방법에 따라 물성 평가를 실시하였다. 그 결과, 실시예 B1의 적층판은 비교예 B1과 비교해서 두께 정밀도가 뛰어난 것이 확인되었다. 또한, 실시예 B1은 함침성이 뛰어나고, 접속 신뢰성도 우수한 것이 확인되었다. 또, 이 결과로부터, 양면 캐리어 부착 프리프레그를 2개 이상 이용하여 적층판을 제작했을 경우에 있어서도, 두께 정밀도가 뛰어남과 동시에 접속 신뢰성도 뛰어난 적층판을 얻을 수 있음이 확인되었다.
또한, 수지 바니시 B～D를 이용했을 경우에 있어서도, 실시예 B1의 결과와 동일한 경향이었다.
평가방법은 이하와 같다.
(1) 함침성
실시예에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 형광 침투액에 침지한 후, 형광 침투액의 침투 유무를 현미경으로 관찰하였다.
또, 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판을 PCT 처리(121℃/100%/120분)한 후, 260℃의 땜납조에 30초간 침지하여 기포의 발생 유무를 확인하였다.
(2) 두께 정밀도
실시예에서 얻어진 캐리어 부착 프리프레그를 이용한 적층판의 단면을 현미경으로 관찰하여, 폭 방향에 있어서 100㎜ 피치로 3개소에 대해 두께를 측정하고, 그 평균값과 표준 편차값을 산출하였다.

Claims (44)

  1. 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층과 다른 캐리어를 차례로 적층하여 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과,
    상기 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그에 있어서 한쪽의 캐리어를 제거하여 상기 절연 수지층을 노출시켜서 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과,
    감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 것에 의해 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  2. 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층을 적층한 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과,
    섬유포가 매설된 필름 모양의 절연 수지 부재를 준비하는 공정과,
    감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 상기 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 것에 의해 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 공정을 가지고,
    상기 절연 수지 부재를 준비하는 상기 공정은
    캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층과 다른 캐리어를 차례로 적층한 양면 캐리어 부착 절연 수지 부재를 준비하는 공정과,
    상기 양면 캐리어 부착 절연 수지 부재의 양쪽의 캐리어를 제거하여 상기 절연 수지층을 노출시키는 공정을 가지며,
    상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 상기 공정은
    감압하에서 상기 절연 수지 부재의 한쪽 면에 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 접합함과 함께 상기 절연 수지 부재의 다른 쪽 면에 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 접합하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  3. 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층을 적층한 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과,
    감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 것에 의해 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 공정을 가지며,
    상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 상기 공정은
    감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합하여 양쪽 최외층에 캐리어를 구비한 접합체를 얻은 후에 이 접합체의 적어도 한 쪽 캐리어를 제거하는 것에 의해 절연 수지층을 노출시키는 공정과,
    감압하에서 상기 접합체의 노출된 상기 절연 수지층과 다른 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  4. 캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층을 적층한 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과, 감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 것에 의해 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 공정을 가지며,
    상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 상기 공정은
    감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층을 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합하고, 양쪽 최외층에 캐리어를 구비한 접합체를 얻은 후에 상기 접합체의 적어도 한 쪽 캐리어를 제거하는 것에 의해 절연수지층을 노출시키는 공정과,
    감압하에서 상기 접합체의 노출된 상기 절연 수지층과 다른 접합체의 절연 수지층을 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합함과 함께 가열 처리를 실시하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 상기 공정에 있어서 얻어진 적층체를 상압하에 반출함과 함께 연속적으로 상압하에서 가열하는 공정을 ㄱ가지는 적층판의 제조 방법.
  6. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 상기 공정에서의 감압 조건은 진공도 20Torr 이하인 적층판의 제조 방법.
  7. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 상기 공정에서의 가열 온도가 60℃ 이상 200℃ 이하인 적층판의 제조 방법.
  8. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적층판의 두께가 30㎛ 이상 200㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  9. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 적층하는 상기 공정에 있어서 가열 처리할 때에는, 접합된 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그에 실질적으로 압력을 작용시키지 않는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  10. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    감압된 진공 라미네이트 장치 내에 있어서, 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연수지층을 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 접합하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  11. 삭제
  12. 청구항 2에 있어서,
    상기 양면 캐리어 부착 절연 수지 부재를 준비하는 상기 공정은,
    한쪽 면에 캐리어가 형성된 제1 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층과 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층을 섬유포를 개재시켜 감압하에서 접합함과 함께 가열 처리하여, 양면 캐리어 부착 절연 수지 부재를 제작하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제1 및/또는 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 캐리어 및 절연 수지층이 상기 섬유포보다 폭 방향에 있어서 긴 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  14. 청구항 12에 있어서,
    양면 캐리어 부착 절연 수지 부재를 제작하는 상기 공정은,
    상기 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향에서의 내부 영역에 있어서는 상기 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층을 상기 섬유포의 양면에 각각 접합함과 함께 상기 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향에서의 양 단부 영역에 있어서는 상기 섬유포를 봉지하도록 상기 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층끼리를 접합하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  15. 청구항 12에 있어서,
    양면 캐리어 부착 절연 수지 부재를 준비하는 상기 공정은,
    감압된 진공 라미네이트 장치 내에 있어서, 상기 제1 절연 수지층 부착 캐리어의 상기 절연 수지층과 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 상기 절연 수지층을 상기 섬유포를 통하여 접합하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  16. 청구항 12에 있어서,
    양면 캐리어 부착 절연 수지 부재를 제작하는 상기 공정은,
    상기 제1 절연 수지층 부착 캐리어 및 상기 제2 절연 수지층 부착 캐리어를 한 쌍의 라미네이트 롤로 캐리어측으로부터 압압하여 접합시키는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  17. 청구항 12에 있어서,
    상기 양면 캐리어 부착 절연 수지 부재를 제작하는 상기 공정에 있어서 가열 처리할 때에는 접합된 상기 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어에 실질적으로 압력을 작용시키지 않는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 청구항 3에 있어서,
    상기 필름 모양의 절연 수지 부재가 섬유포가 매설된 필름 모양의 절연 수지 부재인 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  21. 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 연속적으로 적층하는 적층판의 제조 방법으로서,
    캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층과 다른 캐리어를 적층한 긴 띠 모양의 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과,
    상기 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그의 한쪽 편의 상기 캐리어를 박리 제거하여 한쪽 편에 상기 절연 수지층이 노출된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그를 제작하는 공정과,
    감압하에서 긴 띠 모양의 상기 제1 및 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층끼리를 직접 또는 필름 모양의 절연 수지 부재를 통하여 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 상기 절연 수지층끼리를 접합하는 공정과,
    상기 공정에 의해 얻어진 적층체를 가열 처리하는 공정을 포함하며,
    모든 상기 공정을 연속적으로 반복하여 실시하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  22. 청구항 21에 있어서,
    상기 적층체를 가열 처리하는 상기 공정은 상기 적층체를 상압하에 반출함과 함께 상압하에서 가열 처리를 실시하는 적층판의 제조 방법.
  23. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정에서의 감압 조건은 20Torr 이하인 적층판의 제조 방법.
  24. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정에서의 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압할 때의 라미네이트 압력은 1N/㎠ 이상 50N/㎠ 이하인 적층판의 제조 방법.
  25. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 적층체를 가열 처리하는 상기 공정에서의 가열 처리 온도가 60℃ 이상 200℃ 이하인 적층판의 제조 방법.
  26. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    긴 띠 모양의 상기 적층판의 두께가 30㎛ 이상 200㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  27. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정의 전에,
    캐리어와 섬유포가 매설된 절연 수지층과 다른 캐리어를 차례로 적층한 긴 띠 모양의 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 공정과,
    상기 제3 양면 캐리어 부착 프리프레그의 양측의 캐리어를 박리 제거하여 절연 수지층이 양면에 노출된 긴 띠 모양의 절연 수지 부재로 하는 공정을 가지며,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정은,
    상기 필름 모양의 절연 수지 부재로서 긴 띠 모양의 상기 절연 수지 부재를 이용하고,
    감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 상기 절연 수지 부재의 상기 절연 수지층을 맞닿게 함과 함께 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그의 상기 절연 수지층과 상기 절연 수지 부재의 상기 절연 수지층을 맞닿게 하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  28. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 필름 모양의 절연 수지 부재가 긴 띠 모양의 섬유포인 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  29. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정의 전에,
    상기 필름 모양의 절연 수지 부재로서 섬유포가 긴 쪽 방향에 매설된 긴 띠 모양의 2개의 절연 수지 부재를 준비하는 공정을 가지며,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정은,
    상기 필름 모양의 절연 수지 부재로서 긴 띠 모양의 2개의 상기 절연 수지 부재를 이용하며,
    감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그, 2개의 상기 절연 수지 부재 및 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그를 양 최외층이 캐리어가 되도록 절연 수지끼리를 맞닿게 하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  30. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정의 전에,
    상기 필름 모양의 절연 수지 부재로서 긴 띠 모양의 섬유포 및 섬유포가 긴 쪽 방향에 매설된 긴 띠 모양의 절연 수지 부재를 준비하는 공정을 가지며,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정은,
    상기 필름 모양의 절연 수지 부재로서 긴 띠 모양의 상기 섬유포 및 상기 절연 수지 부재를 이용하며,
    감압하에서 상기 제1 캐리어 부착 프리프레그, 상기 섬유포, 상기 절연 수지 부재 및 상기 제2 캐리어 부착 프리프레그를 양 최외층이 캐리어가 되도록 적층하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  31. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 적층체를 가열 처리하는 상기 공정에 있어서는 상기 적층체에 실질적으로 압력을 작용시키지 않는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  32. 청구항 21 또는 청구항 22에 있어서,
    상기 절연 수지층끼리를 접합하는 상기 공정은 감압된 진공 라미네이트 장치 내에서 실시되는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  33. 청구항 21에 있어서,
    긴 띠 모양의 상기 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 상기 공정은,
    한쪽 면에 캐리어가 형성된 긴 띠 모양의 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층끼리를 섬유포를 개재시켜 감압하에서 접합함과 함께 가열 처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  34. 청구항 33에 있어서,
    상기 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 상기 절연 수지층에 포함되는 절연 수지의 용융 점도는 60℃ 이상 200℃ 이하에 있어서 0.1MPa?s 이하인 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  35. 청구항 33에 있어서,
    긴 띠 모양의 상기 제1 및/또는 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 캐리어 및 절연 수지층이 긴 쪽 방향으로 직교하는 폭 방향에 있어서 상기 섬유포보다 긴 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  36. 청구항 35에 있어서,
    긴 띠 모양의 상기 제1 및 제2 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 상기 공정은,
    긴 띠 모양의 상기 절연 수지층 부착 캐리어의 폭 방향에서의 내부 영역에 있어서는 상기 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층을 상기 섬유포의 양면에 각각 접합함과 함께 상기 절연 수지층 부착 캐리어의 긴 쪽 방향으로 직교하는 폭 방향에서의 양 단부 영역에 있어서는 상기 섬유포를 봉지하도록 상기 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 절연 수지층끼리를 접합하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  37. 청구항 33에 있어서,
    긴 띠 모양의 상기 제1 및 제2의 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 상기 공정을 포함하는 가열 처리하는 상기 공정은,
    감압된 진공 라미네이트 장치 내에 있어서, 상기 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 상기 절연 수지층끼리를 상기 섬유포를 통하여 접합하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  38. 청구항 33에 있어서,
    긴 띠 모양의 상기 제1 및 제2의 양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 상기 공정을 포함하는 가열 처리하는 상기 공정에 있어서,
    감압하에서 긴 띠 모양의 상기 제1 및 제2 절연 수지층 부착 캐리어의 상기 절연 수지층끼리를 직접 또는 다른 부재를 통하여 맞닿게 함과 함께 한 쌍의 라미네이트 롤에 의해 압압하여 상기 절연 수지층끼리를 접합하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  39. 청구항 33에 있어서,
    양면 캐리어 부착 프리프레그를 준비하는 상기 공정에 있어서 가열 처리할 때에는 실질적으로 압력을 작용시키지 않는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  40. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 섬유포는 유리 직포인 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  41. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 절연 수지층과 접하는 면에 박리 가능한 처리가 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  42. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는 금속박인 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  43. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 절연 수지층과 접하는 면에 박리 가능한 처리가 실시된 필름 시트인 것을 특징으로 하는 적층판의 제조 방법.
  44. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 제조 방법에 의해 얻어진 것을 특징으로 하는 적층판.
KR1020097021770A 2007-03-20 2008-03-13 적층판의 제조 방법 및 적층판 KR101165935B1 (ko)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2007-071967 2007-03-20
JPJP-P-2007-071969 2007-03-20
JP2007071967 2007-03-20
JP2007071969 2007-03-20
PCT/JP2008/000573 WO2008129784A1 (ja) 2007-03-20 2008-03-13 積層板の製造方法および積層板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090132601A KR20090132601A (ko) 2009-12-30
KR101165935B1 true KR101165935B1 (ko) 2012-07-19

Family

ID=39875319

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097021770A KR101165935B1 (ko) 2007-03-20 2008-03-13 적층판의 제조 방법 및 적층판

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8636868B2 (ko)
JP (1) JP5251866B2 (ko)
KR (1) KR101165935B1 (ko)
CN (1) CN101678609B (ko)
MY (1) MY151516A (ko)
TW (1) TWI428236B (ko)
WO (1) WO2008129784A1 (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5540984B2 (ja) * 2010-08-11 2014-07-02 味の素株式会社 積層板の製造方法
JP5552969B2 (ja) * 2010-08-31 2014-07-16 住友ベークライト株式会社 プリプレグ、基板および半導体装置
JP5165773B2 (ja) * 2011-02-10 2013-03-21 フリージア・マクロス株式会社 キャリヤー付金属箔及びこれを用いた積層基板の製造方法
JP5915301B2 (ja) * 2011-03-30 2016-05-11 住友ベークライト株式会社 積層シートの製造方法および積層シート製造装置
JP5962289B2 (ja) * 2011-07-22 2016-08-03 住友ベークライト株式会社 積層シート製造装置および積層シートの製造方法
KR20140144177A (ko) * 2012-03-14 2014-12-18 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 금속장 적층판, 프린트 배선 기판, 반도체 패키지 및 반도체 장치
CN103072290B (zh) * 2012-11-27 2014-12-17 常州悦诚新材料有限公司 连续玻纤布热塑性塑料叠压板的生产设备
KR101975446B1 (ko) * 2013-10-10 2019-05-07 삼성전기주식회사 인쇄회로기판용 프리프레그, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 인쇄회로기판
JP5830197B1 (ja) * 2014-02-20 2015-12-09 積水化学工業株式会社 合わせガラス用中間膜及び合わせガラス
KR102025851B1 (ko) * 2017-06-01 2019-11-04 한국과학기술연구원 실리카를 이용한 탄소복합소재의 물성 향상 기술
JP7196514B2 (ja) 2018-10-04 2022-12-27 信越化学工業株式会社 希土類焼結磁石
US11701815B2 (en) * 2019-08-07 2023-07-18 Phifer Incorporated Lamination process and using coated fiber cores to create an adhesive layer and/or a reinforcement layer
CN112248595A (zh) * 2020-09-22 2021-01-22 瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司 绝缘板及其制备方法、层压板及其制备方法、和应用

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11181122A (ja) * 1997-12-25 1999-07-06 Hitachi Chem Co Ltd 絶縁接着材料及びこれを用いた多層プリント配線板
JP2005262591A (ja) * 2004-03-18 2005-09-29 Sumitomo Bakelite Co Ltd 積層板の連続製造方法および装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4872825A (en) * 1984-05-23 1989-10-10 Ross Milton I Method and apparatus for making encapsulated electronic circuit devices
JP2803272B2 (ja) * 1990-01-09 1998-09-24 東レ株式会社 プリプレグの製造方法
JPH04345813A (ja) * 1991-05-23 1992-12-01 Hitachi Chem Co Ltd 積層板の連続製造法及びその装置
JP2001138437A (ja) * 1999-11-17 2001-05-22 Sumitomo Bakelite Co Ltd 積層板の製造方法
JP2001260241A (ja) * 2000-03-17 2001-09-25 Sumitomo Bakelite Co Ltd 積層板の製造方法
WO2003021610A1 (fr) * 2001-08-31 2003-03-13 Tdk Corporation Element stratifie constitue d'un materiau magnetique doux, feuille constituee d'un materiau magnetique doux et procede de production dudit element stratifie
JP2004123870A (ja) * 2002-10-01 2004-04-22 Sumitomo Bakelite Co Ltd プリプレグの製造方法および転写シート
JP4148747B2 (ja) * 2002-10-09 2008-09-10 住友ベークライト株式会社 積層板の製造方法
JP2004188709A (ja) * 2002-12-10 2004-07-08 Toray Ind Inc プリプレグの製造方法および製造装置
JP2004249641A (ja) * 2003-02-21 2004-09-09 Sumitomo Bakelite Co Ltd 積層板の製造方法
JP2004319888A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Mitsubishi Gas Chem Co Inc 多層プリント配線板。
JP2005059486A (ja) * 2003-08-19 2005-03-10 Sumitomo Bakelite Co Ltd 積層板の製造方法と製造装置
JP3977790B2 (ja) * 2003-09-01 2007-09-19 古河サーキットフォイル株式会社 キャリア付き極薄銅箔の製造方法、及び該製造方法で製造された極薄銅箔、該極薄銅箔を使用したプリント配線板、多層プリント配線板、チップオンフィルム用配線基板
JP4957552B2 (ja) * 2005-09-30 2012-06-20 住友ベークライト株式会社 プリント配線板用キャリア付きプリプレグの製造方法、プリント配線板用キャリア付きプリプレグ、プリント配線板用薄型両面板の製造方法、プリント配線板用薄型両面板、及び多層プリント配線板の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11181122A (ja) * 1997-12-25 1999-07-06 Hitachi Chem Co Ltd 絶縁接着材料及びこれを用いた多層プリント配線板
JP2005262591A (ja) * 2004-03-18 2005-09-29 Sumitomo Bakelite Co Ltd 積層板の連続製造方法および装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20100297420A1 (en) 2010-11-25
TWI428236B (zh) 2014-03-01
MY151516A (en) 2014-05-30
US8636868B2 (en) 2014-01-28
JP5251866B2 (ja) 2013-07-31
CN101678609A (zh) 2010-03-24
KR20090132601A (ko) 2009-12-30
WO2008129784A1 (ja) 2008-10-30
TW200846173A (en) 2008-12-01
CN101678609B (zh) 2015-04-22
JPWO2008129784A1 (ja) 2010-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101165935B1 (ko) 적층판의 제조 방법 및 적층판
KR101014517B1 (ko) 캐리어 장착 프리프레그의 제조방법, 캐리어 장착 프리프레그, 박형 양면판의 제조방법, 박형 양면판, 및 다층 프린트 배선판의 제조방법
TWI575003B (zh) 預浸體及預浸體之製造方法
KR101530874B1 (ko) 다층 프린트 배선판의 제조 방법
JP5678657B2 (ja) 絶縁樹脂シート及び該絶縁樹脂シートを用いた多層プリント配線板の製造方法
JP5685946B2 (ja) プリプレグの積層方法、プリント配線板の製造方法およびプリプレグのロール
TW201311453A (zh) 積層板之製造方法
JP5417724B2 (ja) 多層プリント配線板の製造方法。
TWI496805B (zh) 附有載體材料之層間絕緣膜及使用其之多層印刷佈線板
JP4286060B2 (ja) 絶縁層付き銅箔の製造方法
KR20140144177A (ko) 금속장 적층판, 프린트 배선 기판, 반도체 패키지 및 반도체 장치
EP2678156B1 (en) Ultrathin laminates
JP2010028036A (ja) 多層プリント配線板の製造方法
JP5704216B2 (ja) 多層プリント配線板の製造方法。
JP4784082B2 (ja) プリント配線板およびその製造方法
JPH10338758A (ja) プリプレグ及び積層板の製造方法
KR20190072297A (ko) 회로 기판 제조용 연속 시트의 제조 방법 및 이로부터 제조된 회로 기판 제조용 연속 시트
JP2007136835A (ja) 積層板の製造装置および積層板の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150618

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160617

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170616

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee