KR100301563B1

KR100301563B1 - Read/write head device

Info

Publication number: KR100301563B1
Application number: KR1019970063765A
Authority: KR
Inventors: 심페이 요시오카; 준 이토; 야스히토 사이토
Original assignee: 니시무로 타이죠; 가부시끼가이샤 도시바
Priority date: 1996-11-29
Filing date: 1997-11-28
Publication date: 2001-10-19
Also published as: KR19980042877A; JPH10162333A

Abstract

본 발명은 기록 매체로부터 정보를 판독하고 기록 매체에 정보를 기록하는 헤드를 구비한 판독/기록 헤드 장치에 관한 것으로, 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체 상에서 정보를 기록 및/또는 판독을 행하는 소자와, 상기 소자가 배치되는 상기 헤드의 영역에 접하는 결합면에서 상기 헤드와 기계적으로 결합된 헤드 지지부재를 포함하고 있다.The present invention relates to a read / write head device having a head for reading information from a recording medium and recording information on the recording medium, the device being coupled to the head to record and / or read information on the recording medium; And a head support member mechanically coupled to the head at a mating surface in contact with an area of the head on which the element is disposed.

Description

Read / Write Head Device {READ / WRITE HEAD DEVICE}

본 발명은 정보 기록 매체상에서 정보의 판독/기록을 행하는 소자를 탑재한 헤드를 구비하는 판독/기록 헤드 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a read / write head device having a head mounted with an element for reading / writing information on an information recording medium.

공지된 바와 같이, 자기 디스크 구동 장치나 광 디스크 구동 장치 등의 판독/기록 헤드 장치는 컴퓨터의 외부 메모리 장치로서 널리 사용되고 있다.As is known, read / write head devices such as magnetic disk drive devices and optical disk drive devices are widely used as external memory devices of computers.

이러한 판독/기록 헤드 장치, 예컨대 자기 기록 매체를 사용하는 자기 디스크 구동 장치는 정보가 기록되는 자기 기록 매체인 자기 디스크와, 이 자기 디스크가 회전하는 동안 자기 디스크에 있는 정보의 재생과 기록을 행하는 자기 헤드를 구비한다. 자기 디스크의 회전에 의해 발생되는 동압(dynamic pressure)을 이용함으로써, 자기 헤드가 자기 디스크상에서 미세한 간극(gap)을 유지하여 부상하도록구성되어 있다.Such a read / write head apparatus, such as a magnetic disk drive apparatus using a magnetic recording medium, is a magnetic disk that is a magnetic recording medium on which information is recorded, and a magnetic disk that reproduces and records information on the magnetic disk while the magnetic disk is rotating. With a head. By using the dynamic pressure generated by the rotation of the magnetic disk, the magnetic head is configured to float while maintaining a fine gap on the magnetic disk.

도 1은 종래의 자기 디스크 구동 장치의 주요부의 구성을 도시한다.1 shows the configuration of main parts of a conventional magnetic disk drive apparatus.

도 1에서, 도면 부호1은 자기 헤드를 나타낸다. 자기 헤드(1)는 적당한 크기로 형성된 슬라이더(2)와, 이 슬라이더(2)의 후단면에 박막 형성 기술 등에 의해 제조되어 자기 디스크(M)상에서 정보의 기록 및 재생을 행하는 소자(3)로 구성되어 있다. 소자(3)는 자극(4)을 가지며, 이 자극(4)은 자기 디스크(M)측에 위치하도록 제조된다.In Fig. 1, reference numeral 1 denotes a magnetic head. The magnetic head 1 is a slider 2 formed in a suitable size, and an element 3 manufactured on the rear end surface of the slider 2 by a thin film forming technique or the like to record and reproduce information on the magnetic disk M. Consists of. The element 3 has a magnetic pole 4, which is manufactured to be located on the magnetic disk M side.

실제적으로 자기 디스크(M)와 마주하는 면과는 반대측에 위치하는 자기 헤드(1) 면의 거의 전역은, 자기 헤드(1)의 위치를 자기 디스크(M)의 표면을 따르게 하기 위해 가소성 물질로 이루어진 짐벌(gimbal)(5)에 접착제(6)로 고정되어 있다.Virtually the entirety of the surface of the magnetic head 1, which is located on the side opposite to the surface facing the magnetic disk M, is made of a plastic material to align the position of the magnetic head 1 along the surface of the magnetic disk M. It is fixed with an adhesive 6 to a gimbal 5 made up.

짐벌(5)은 자기 헤드(1)를 자기 디스크(M)상에 강압시키는 서스펜션(7)에 점용접(spot-welding) 등의 수단에 의해 고정된다. 서스펜션(7)의 기단부측은 회전 운동을 자유롭게 지지하는 회전 지지 기구에 접속되어 있다. 서스펜션(7)에는 피벗(8)이 설치되어 있고, 이 피벗(8)을 통해 자기 헤드(1)의 소정 위치에 서스펜션(7)으로부터의 가압력을 가하는 구조로 되어 있다.The gimbal 5 is fixed to the suspension 7 for forcing the magnetic head 1 on the magnetic disk M by means of spot-welding or the like. The proximal end side of the suspension 7 is connected to a rotation support mechanism for freely supporting the rotational movement. The suspension 7 is provided with a pivot 8, and is configured to apply a pressing force from the suspension 7 to a predetermined position of the magnetic head 1 via the pivot 8.

또한, 소자(3)에는 외부와의 신호 교환을 위해 제공되는 전극(9)이 설치되어 있다. 이들 전극(9)에는 각 리드선(10)의 일단측이 접속되어 있다. 이 리드선(10)의 타단측은 서스펜션(7)을 따라 도시하지 않은 신호 송수신 유닛에 연결되어 있다.In addition, the element 3 is provided with an electrode 9 provided for exchanging signals with the outside. One end side of each lead wire 10 is connected to these electrodes 9. The other end side of the lead wire 10 is connected to a signal transmission / reception unit not shown along the suspension 7.

그러나, 상기와 같이 구성된 종래 기술의 자기 헤드 장치는 다음과 같은 문제가 있다.However, the magnetic head device of the prior art configured as described above has the following problems.

최근에는, 판독/기록 헤드 장치가 온도적으로 엄격한 환경하에서 안정된 기능을 발휘할 수 있는 것이 요구되고 있다. 그러나, 종래의 경우에는, 짐벌, 헤드 및 접착제가 각각 다른 재료로 구성되어, 그들의 열 팽창 계수가 다르다. 이로 인해, 도 1의 이점 쇄선(A)으로 도시되어 있는 바와 같이 자기 디스크(M)와 면하는 자기 헤드(1)의 부상면에 미소한 곡률 변화가 생긴다. 이 곡률의 변화(왕관 형태의 곡률)는 자기 헤드(1)의 부상 높이의 변동을 초래하게 되고, 자기 헤드(1)의 부상 높이의 저감 또는 기록 밀도의 향상을 방해하게 된다.In recent years, there is a demand for the read / write head device to be able to exert a stable function under a severe temperature environment. However, in the conventional case, the gimbal, the head and the adhesive are each composed of different materials, and their thermal expansion coefficients are different. As a result, a slight curvature change occurs on the floating surface of the magnetic head 1 facing the magnetic disk M, as shown by the dashed-dotted line A of FIG. This change in curvature (curvature in the form of a crown) causes fluctuations in the lift height of the magnetic head 1, and impedes the reduction of the lift height or the improvement of the recording density of the magnetic head 1.

최근에는, 자기 디스크 구동 장치의 소형화 및 기록/재생의 고속화에 따라, 자기 헤드 자체의 크기도 소형화되고 있다. 그 결과, 자기 헤드(1)와 자기 디스크(M) 사이에서 발생하는 동압에 의해 자기 헤드(1)를 소정의 자세로 유지하는 공기막 강성이 저하되는 경향이 있다.In recent years, with the miniaturization of the magnetic disk drive device and the high speed of recording / reproducing, the size of the magnetic head itself has also been reduced. As a result, the air film stiffness holding the magnetic head 1 in a predetermined posture tends to decrease due to dynamic pressure generated between the magnetic head 1 and the magnetic disk M. As shown in FIG.

이러한 경향을 보상하기 위해, 자기 헤드(1)를 자기 디스크(M)에 소정의 자세로 따르게 하기 위해서는 자기 헤드(1)와 서스펜션(8) 사이에 설치된 짐벌(5)의 유연성을 더욱 향상시킬 필요가 있다.To compensate for this tendency, in order to align the magnetic head 1 with the magnetic disk M in a predetermined posture, it is necessary to further improve the flexibility of the gimbal 5 provided between the magnetic head 1 and the suspension 8. There is.

그러나, 종래에는 소자(3)와 기록/재생 증폭기 사이에서 신호의 교환을 위해 사용된 리드선(10)은 비교적 강성이 높은 것을 이용할 필요가 있다. 리드선(10)의 강성이 자기 헤드(1)를 자기 디스크(M)에 소정의 자세로 따르게 하는 것을 방해하였다.However, the lead wire 10 used for the exchange of signals between the element 3 and the recording / reproducing amplifier conventionally needs to use a relatively high rigidity. The rigidity of the lead wire 10 prevented the magnetic head 1 from following the magnetic disk M in a predetermined posture.

이러한 문제를 해결하기 위해 제안된 기술은 리소그래피(lithography)를 이용하여 짐벌이나 서스펜션상에 배선을 제조하는 것이 제안되고 있다. 이 때문에, 이러한 배선과 자기 헤드에 설치되는 소자를 전기적으로 접속하는 간단한 기술이 요구된다.In order to solve this problem, a proposed technique has been proposed to manufacture wires on gimbals or suspensions using lithography. For this reason, a simple technique for electrically connecting such wiring and an element provided in the magnetic head is required.

또한 최근에는, 자기 디스크 구동 장치의 기록 밀도를 향상시키기 위해 자기 디스크(M)와 자기 헤드(1) 사이의 간극을 가능한 한 좁게 만드는 것이 필요하다. 이것은 자기 헤드(1)와 자기 디스크(M)가 접촉한 상태에서 기록 재생을 행하는 접촉 기록 기술의 개발을 가져왔다.Also recently, it is necessary to make the gap between the magnetic disk M and the magnetic head 1 as narrow as possible in order to improve the recording density of the magnetic disk driving apparatus. This has led to the development of a contact recording technique for recording and reproducing in a state where the magnetic head 1 and the magnetic disk M are in contact with each other.

이러한 접촉 기록 기술의 한 방식으로는 슬라이더의 일부를 자기 디스크(M)에 접촉시키는 방식이 제안되고 있다(일본 특허 공보 평성 제7-307069호 참조). 이 방식에서는 자기 헤드의 일부에 부상 패드를 설치하고, 서스펜션으로부터의 가압력의 대부분을 부상력으로 부담하고, 나머지의 작은 힘은 접촉력으로 배분한다. 접촉력을 안정하게 유지하기 위해 상기 부상 패드에서 발생하는 부상력을 안정하게 유지할 필요가 있다.As a method of such a contact recording technique, a method of bringing a part of the slider into contact with the magnetic disk M has been proposed (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-307069). In this system, a floating pad is provided on a part of the magnetic head, and most of the pressing force from the suspension is applied to the floating force, and the remaining small force is distributed to the contact force. In order to maintain a stable contact force, it is necessary to stably maintain the floating force generated in the floating pad.

그러나, 부상 패드의 자세가 짐벌과의 접착에 의해 어긋나므로 부상 헤드의 경우와 같은 문제가 생기게 된다.However, since the posture of the floating pad is shifted by adhesion with the gimbal, the same problem as that of the floating head occurs.

따라서, 종래의 기록/재생 장치에 있어서, 자기 헤드와 서스펜션 사이의 접착에 의한 기계적 결합 구조에 기인하여, 환경 온도 변화에 따라 자기 헤드의 부상면에 변형이 생긴다. 이러한 변형은 부상량의 변동을 야기하는 문제를 발생한다.더욱이, 서스펜션이나 짐벌상에 리소그래피를 이용하여 배선을 제조할 경우에, 이들 배선과 자기 헤드상에 설치되는 기록/재생용 소자를 전기적으로 접속하는 간단한 기술도 요망되고 있다.Therefore, in the conventional recording / reproducing apparatus, due to the mechanical coupling structure by the adhesion between the magnetic head and the suspension, deformation occurs on the floating surface of the magnetic head in accordance with environmental temperature change. Such deformation causes a problem of causing fluctuations in the amount of floating. Furthermore, when a wiring is manufactured by lithography on a suspension or gimbal, the recording / reproducing element provided on the wiring and the magnetic head is electrically connected. A simple technique for connecting is also desired.

본 발명의 목적은 안정된 부상 특성 또는 접촉 특성을 실현할 수 있고, 자기 헤드와 서스펜션의 기계적 결합 및 전기적 결합을 용이하게 행할 수 있는 판독/기록 헤드 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a read / write head apparatus which can realize stable floating characteristics or contact characteristics and can easily perform mechanical coupling and electrical coupling of a magnetic head and a suspension.

또한, 본 발명의 다른 목적은 자기 헤드의 부상 높이를 저감하고, 기록 밀도의 향상을 도모할 수 있는 판독/기록 헤드 장치를 제공하는 데 있다.Further, another object of the present invention is to provide a read / write head apparatus capable of reducing the floating height of the magnetic head and improving the recording density.

도 1은 자기 디스크 구동 장치에 내장된 종래의 판독/기록 헤드 장치를 도시한 측면도.1 is a side view showing a conventional read / write head device incorporated in a magnetic disk drive device.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치를 내장한 자기 디스크 구동 장치의 분해 사시도.2 is an exploded perspective view of a magnetic disk drive device incorporating a read / write head device according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에 도시된 판독/기록 헤드 장치의 측면도.3 is a side view of the read / write head device shown in FIG.

도 4는 도 3의 B-B 라인을 따라 판독/기록 헤드 장치를 화살표 방향에서 본 측면도.4 is a side view of the read / write head device in the direction of the arrow along the B-B line of FIG. 3;

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 측면도.Fig. 5 is a side view of the read / write head device according to the second embodiment of the present invention.

도 6은 도 5에 도시된 판독/기록 헤드 장치에 내장된 서스펜션을 도시한 사시도.FIG. 6 is a perspective view showing a suspension incorporated in the read / write head device shown in FIG. 5; FIG.

도 7은 도 6의 C-C 라인을 따라 절단하여 서스펜션을 화살표 방향에서 본 단면도.FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line C-C of FIG. 6 and viewed from the direction of the arrow; FIG.

도 8은 도 6의 D-D 라인을 따라 절단하여 서스펜션을 화살표 방향에서 본 단면도.FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line D-D of FIG. 6 and viewed from the direction of the arrow; FIG.

도 9는 도 5의 Dm-Dm 라인을 따라 절취한 단면을 도시하며, 판독/기록 헤드 장치의 서스펜션과 자기 헤드의 접속부의 결합 형태를 설명하는 도면.FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the Dm-Dm line in FIG. 5, illustrating the coupling form of the suspension of the read / write head device and the connection portion of the magnetic head. FIG.

도 10은 도 5의 Dm-Dm 라인을 따라 절취한 단면을 도시하며, 판독/기록 헤드 장치의 서스펜션과 자기 헤드의 접속부의 결합 형태의 이점을 설명하는 도면.FIG. 10 shows a cross section taken along the Dm-Dm line of FIG. 5, illustrating the advantage of the coupling form of the suspension of the read / write head device and the connection of the magnetic head; FIG.

도 11은 자기 헤드와 서스펜션의 결합 공정의 순서를 설명한 플로차트.11 is a flowchart for explaining the sequence of the coupling process of the magnetic head and the suspension;

도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 측면도.12 is a side view of a read / write head device according to a third embodiment of the present invention.

도 13은 도 12에 도시된 판독/기록 헤드 장치에 내장된 서스펜션을 도시한 사시도.FIG. 13 is a perspective view showing a suspension incorporated in the read / write head device shown in FIG. 12; FIG.

도 14는 도 12의 Em-Em 라인을 따라 절취한 단면을 도시하며, 판독/기록 헤드 장치의 서스펜션과 자기 헤드의 접속부의 결합 형태를 설명하는 도면.FIG. 14 is a cross-sectional view taken along the line Em-Em in FIG. 12, illustrating the coupling form of the suspension of the read / write head device and the connection portion of the magnetic head; FIG.

도 15는 자기 헤드와 서스펜션의 결합 공정의 순서를 설명하는 플로차트.15 is a flowchart for explaining a procedure of a coupling process of a magnetic head and a suspension;

도 16은 본 발명의 제4 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 측면도.Fig. 16 is a side view of the read / write head device according to the fourth embodiment of the present invention.

도 17은 도 16의 F-F 라인을 따라 절단하여 판독/기록 헤드 장치를 화살표 방향에서 본 측면도.FIG. 17 is a side view of the read / write head device seen in the direction of the arrow by cutting along the F-F line of FIG. 16; FIG.

도 18은 도 16에 도시된 판독/기록 헤드 장치의 변형된 예를 설명한 측면도.18 is a side view illustrating a modified example of the read / write head device shown in FIG. 16;

도 19는 본 발명의 제5 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 측면도.Fig. 19 is a side view of a read / write head device according to a fifth embodiment of the present invention.

도 20은 도 19에 도시된 판독/기록 헤드 장치에 내장된 서스펜션을 도시하는 단면도.20 is a sectional view showing a suspension incorporated in the read / write head device shown in FIG. 19;

도 21은 도 19의 G-G 라인을 따라 절취한 단면을 도시하며, 판독/기록 헤드 장치의 서스펜션과 자기 헤드의 접속부의 결합 형태를 설명하는 도면.FIG. 21 is a cross-sectional view taken along the line G-G in FIG. 19, illustrating the coupling form of the suspension of the read / write head device and the connection portion of the magnetic head; FIG.

도 22는 자기 헤드와 서스펜션의 결합 공정의 순서를 설명하는 플로차트.Fig. 22 is a flowchart for explaining the procedure of the coupling step of the magnetic head and the suspension;

도 23은 본 발명의 제6 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 주요 부분을도시한 사시도.Fig. 23 is a perspective view showing a major part of the read / write head device according to the sixth embodiment of the present invention.

도 24는 도 23에 도시된 주요부의 측면도.FIG. 24 is a side view of the main part shown in FIG. 23; FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

21 : 자기 디스크21: magnetic disk

22 : 스핀들 모터22: spindle motor

23, 23a~23e : 자기 헤드23, 23a ~ 23e: magnetic head

24, 24a~24e : 서스펜션24, 24a ~ 24e: Suspension

31 : 슬라이더31: slider

32 : 소자32: device

33 : 돌출부33: protrusion

34a, 34b, 35a, 35b, 37a, 37b, 38a, 38b : 전극34a, 34b, 35a, 35b, 37a, 37b, 38a, 38b: electrode

36, 43, 61, 73 : 접합면36, 43, 61, 73: joint surface

39 : 접착제39: adhesive

40 : 금속 볼40: metal ball

41a, 41b, 42a, 42b, 74a, 74b : 배선41a, 41b, 42a, 42b, 74a, 74b: wiring

44, 71 : 선단부44, 71: tip

45 : 노치45: notch

46a, 46b, 46c, 46d, 72a, 72b : 돌출부46a, 46b, 46c, 46d, 72a, 72b: protrusion

47a, 47b, 48a, 48b : 전극47a, 47b, 48a, 48b: electrode

50, 52 : 절연층50, 52: insulation layer

51, 53 : 오버레이층51, 53: overlay layer

55 : 금속 볼 범프55: Metal Ball Bump

57 : 긴 슬롯57: long slot

58a, 58b, 58c, 58d : 분리편58a, 58b, 58c, 58d: Separation piece

59 : 이방성의 전도성 접착제59: Anisotropic Conductive Adhesive

60 : 절곡부60: bend

62a, 62b, 63a, 63b, 73a, 73b : 전극62a, 62b, 63a, 63b, 73a, 73b: electrode

76 : 도선76: lead wire

본 발명은 이러한 목적을 실현하기 위해, 기록 매체에 정보를 기록하고 이 기록 매체로부터 정보를 판독하는 헤드를 구비한 판독/기록 헤드 장치를 제공하며, 이 장치는 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 판독 및/또는 기록을 행하는 소자와, 상기 헤드의 상기 소자의 배치 영역에 대항하는 접합면에서 상기 헤드와의 기계적인 결합을 이루는 헤드 지지 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a read / write head apparatus having a head for recording information on and reading information from a recording medium for realizing this object, which device is combined with the head on the recording medium. An element for reading and / or writing information, and a head support member for forming a mechanical coupling with the head at a joining surface facing the arrangement area of the element of the head.

상기 장치는 접합면에서 상기 소자와의 전기적인 접속을 이루도록 상기 접합면으로부터 상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치된 배선을 추가로 포함한다.The apparatus further includes a wiring integrally provided with the head support member from the joint surface to make an electrical connection with the element at the joint surface.

본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 헤드는 기록 매체측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에서 상기 소자의 배치 영역 부근에 돌출부를 구비한다.In the read / write head apparatus according to the present invention, the head has a protrusion near the arrangement area of the element on the surface located on the side opposite to the surface located on the recording medium side.

또한, 기록 매체에 정보를 기록하고 이 기록 매체로부터 정보를 판독하는 헤드를 구비한 판독/기록 헤드 장치를 제공하며, 이 장치는 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 판독 및/또는 기록을 행하는 소자와, 상기 헤드상에 설치되고 상기 소자에 전기적으로 접속된 제1 전극과, 상기 헤드의 상기 소자의 배치 영역에 대항하는 접합면에서 상기 헤드와의 기계적인 결합을 이루는 헤드 지지 부재와, 상기 헤드 지지 부재상에 설치되고 상기 제1 전극과 접속하도록 상기 제1 전극과 전기적으로 접속된 제2 전극과, 상기 접합면에서 상기 소자와의 전기적인 접속을 이루도록 상기 제2 전극으로부터 상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치된 배선을 포함하는 것을 특징으로 한다.Also provided is a read / write head device having a head for recording information on and reading information from the recording medium, the device being combined with the head to read and / or record information on the recording medium. An element to be carried out, a first electrode provided on the head and electrically connected to the element, a head support member for forming a mechanical coupling with the head at a bonding surface facing the arrangement area of the element of the head; A second electrode provided on the head support member and electrically connected to the first electrode to connect with the first electrode, and the head support from the second electrode to form an electrical connection with the element at the bonding surface; And wirings integrally provided with the member.

본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 제1 전극은 상기 헤드의 후단부에 설치되고, 상기 헤드 지지 부재의 접합면은 절곡된 상태로 형성된다.In the read / write head apparatus according to the present invention, the first electrode is provided at the rear end of the head, and the joining surface of the head support member is formed in a bent state.

본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 헤드 지지 부재는 상기 제2 전극을 독립적으로 각각 탄성 지지하는 탄성 지지 기구를 구비한다.In the read / write head device according to the present invention, the head support member is provided with an elastic support mechanism for respectively elastically supporting the second electrode.

또한, 본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 탄성 지지 기구는 상기 제2 전극을 각각 분리 배치하기 위해 접합면을 형성하고 있는 부분에 설치된 노치 또는 구멍에 의해 형성된다.Further, in the read / write head apparatus according to the present invention, the elastic support mechanism is formed by a notch or a hole provided in a portion forming a joining surface for separating and arranging the second electrodes, respectively.

본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 헤드 지지 부재는 상기 헤드를 기록 매체상을 따르게 하기 위한 짐벌 기능을 갖는다.In the read / write head apparatus according to the present invention, the head support member has a gimbal function for causing the head to follow on a recording medium.

또한, 본 발명은 기록 매체에 정보를 기록하고 이 기록 매체로부터 정보를 재생하는 헤드를 구비한 정보 기록 장치를 제공하며, 이 장치는 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 기록 및/또는 재생을 행하는 소자와, 상기 헤드의 상기 소자의 배치 영역에 대항하는 접합면에서 상기 헤드와의 기계적인 결합을 이루는 헤드 지지 부재와, 상기 헤드 지지 부재의 기단부에서 외팔보식으로 상기 헤드 지지 부재에 결합되어 상기 헤드를 기록 매체상으로 이동시키는 지지 아암을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention also provides an information recording apparatus having a head for recording information on and reproducing information from the recording medium, the apparatus being combined with the head to record and / or reproduce information on the recording medium. And a head support member for mechanically engaging the head at a joining surface of the head against an arrangement area of the device, and cantilevered to the head support member at a proximal end of the head support member. And a support arm for moving the head onto the recording medium.

본 발명에 따른 상기 정보 기록 장치에서, 상기 접합면에서 상기 소자와의 전기적인 접속을 이루도록 상기 접합면으로부터 상기 헤드 지지 부재를 따라 일체적으로 설치된 배선을 추가로 포함한다.In the information recording apparatus according to the present invention, the apparatus further includes a wiring integrally provided along the head support member from the bonding surface to make electrical connection with the element at the bonding surface.

본 발명에 따른 상기 정보 기록 장치에서, 상기 헤드는 기록 매체측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에서 상기 소자의 배치 영역 부근에 돌출부를 구비한다.In the information recording apparatus according to the present invention, the head is provided with a protruding portion in the vicinity of the arrangement area of the element on the surface located on the side opposite to the surface located on the recording medium side.

또한, 본 발명은 기록 매체에 정보를 기록하고 이 기록 매체로부터 정보를 재생하는 헤드를 구비한 정보 기록 장치를 제공하며, 이 장치는 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 기록 및/또는 재생을 행하는 소자와, 상기 헤드상에 설치되고 상기 소자와의 전기적으로 접속된 제1 전극과, 상기 헤드의 상기 소자의 배치 영역에 대항하는 접합면에서 상기 헤드와의 기계적인 결합을 이루는 헤드 지지 부재와, 상기 헤드 지지 부재의 기단부에서 외팔보식으로 상기 헤드 지지 부재에 결합되어 상기 헤드를 기록 매체상으로 이동시키는 지지 아암과, 상기 헤드 지지 부재상에 설치되고 상기 제1 전극과 접속하도록 상기 제1 전극과 전기적으로 접속된 제2 전극과, 상기 접합면에서 상기 소자와의 전기적인 접속을 이루도록 상기 제2 전극으로부터 상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치된 배선을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention also provides an information recording apparatus having a head for recording information on and reproducing information from the recording medium, the apparatus being combined with the head to record and / or reproduce information on the recording medium. A head supporting member which is mechanically engaged with the head at a joining surface facing the arrangement area of the head of the head, and a first electrode provided on the head and electrically connected to the device. A support arm coupled to the head support member at a proximal end of the head support member to move the head onto a recording medium, the first arm being provided on the head support member and connected to the first electrode; A second electrode electrically connected to the electrode, and from the second electrode to form an electrical connection with the element at the bonding surface; It characterized by including a wiring formed in the head support member and the group to be integrated therewith.

본 발명의 실시예는 도면을 참조하면서 설명된다.Embodiments of the present invention are described with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기 디스크 구동 장치를 내장한 판독/기록 헤드 장치를 도시하고 있다. 자기 디스크 구동 장치의 분해 사시도는 정보 기록 장치와 같은 종류의 예로서 설명한다. 본 발명은 여기서 예시하는 자기 디스크 구동 장치에만 한정하는 것이 아니고, 광 디스크 구동 장치와 같은 정보 기록 장치나 다른 판독/기록 헤드 장치도 적용될 수 있다.Fig. 2 shows a read / write head device incorporating a magnetic disk drive device according to the first embodiment of the present invention. An exploded perspective view of the magnetic disk drive device will be described as an example of the same kind as the information recording device. The present invention is not limited to the magnetic disk drive device exemplified herein, but an information recording device such as an optical disk drive device or other read / write head device can also be applied.

도 2에서, 도면 부호21은 자기 디스크를 나타낸다. 이 자기 디스크(21)는 소정의 회전수로 회전하는 스핀들 모터(22)에 장착되어 있다. 자기 디스크(21)상에 부상 혹은 접촉한 상태로 정보의 판독/기록을 행하는 자기 헤드(23)는 헤드 지지 부재로서의 박판형의 서스펜션(24)의 선단부에 장착되어 있다. 이 서스펜션(24)의 기단측은 외팔보 형태의 액츄에이터 아암(25)의 일단에 접속되어 있다. 액츄에이터 아암(25)은 도시 생략된 구동 코일을 유지하는 보빈(bobbin)부 등을 갖는다. 이 액츄에이터 아암(25)의 타단에는 선형 모터의 일종인 보이스(voice) 코일 모터(26)가 설치되어 있다. 보이스 코일 모터(26)는 액츄에이터 아암(25)의 보빈부에 감겨진 도시 생략된 구동 코일과, 이들 사이에 구동 코일과 대항 배치된 영구자석 및 요크(yoke)를 포함한다. 영구 자석과 요크는 자기 회로로 구성된다. 액츄에이터 아암(25)은 고정축(27)의 상부 및 하부의 2지점에 설치된 도시 생략된 볼 베어링에 의해 지지되어, 보이스 코일 모터(26)에 의한 구동력에 의해 고정축(27)에 집중되는 요동을 행할 수 있게 된다.In Fig. 2, reference numeral 21 denotes a magnetic disk. This magnetic disk 21 is attached to a spindle motor 22 rotating at a predetermined rotational speed. The magnetic head 23 which reads / writes information while floating or in contact with the magnetic disk 21 is attached to the distal end of the thin suspension 24 serving as the head support member. The proximal end of the suspension 24 is connected to one end of the cantilever-shaped actuator arm 25. The actuator arm 25 has a bobbin portion or the like for holding a drive coil, not shown. At the other end of the actuator arm 25, a voice coil motor 26, which is a kind of linear motor, is provided. The voice coil motor 26 includes a drive coil, not shown, wound around the bobbin portion of the actuator arm 25, and a permanent magnet and a yoke disposed against the drive coil therebetween. Permanent magnets and yokes consist of magnetic circuits. The actuator arm 25 is supported by a ball bearing (not shown) provided at two points of the upper and lower portions of the fixed shaft 27, and the swing is concentrated on the fixed shaft 27 by a driving force by the voice coil motor 26. Can be done.

자기 헤드(23)와 서스펜션(24)의 실시예는 도 3과 도 4에 도시된 것과 같이 구성되어 있다.Embodiments of the magnetic head 23 and the suspension 24 are configured as shown in FIGS. 3 and 4.

자기 헤드(23)는 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에 박막 형성 기술 등으로 제조되어 자기 디스크(M)상에서 정보의 기록 및 판독을 행하는 소자(32)로 구성되어 있다.The magnetic head 23 is composed of a slider 31 and an element 32 which is manufactured by a thin film forming technique or the like on the rear end surface of the slider 31 and writes and reads information on the magnetic disk M. As shown in FIG.

여기서는 기록 및 판독을 행하는 소자로서 MR(magneto-resistance) 소자를 이용할 경우에 관해서 설명한다. 소자(32)는 기록용 자극과 판독용 자극인 적어도 2개의 자극을 갖는다. 이들 자극은 자기 디스크(M)측에 위치하도록 제조되어 있다. 자기 헤드(23)의 자기 디스크(M)측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에서, 소자(32)가 형성되어 있는 영역의 부근에는 서스펜션(24)을 향해서 국부적으로 돌출한 돌출부(33)가 형성되어 있다. 또한, 소자(32)의 단면, 즉 자기 헤드(23)의 후단면에서 돌출부(33)가 형성되어 있는 부분의 가까운 위치에는, 외부와의 신호의 교환을 위해 제공되는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)이 노출 상태로 전술한 자극 1개에 대해 2개의 비율로 설치되어 있다.Here, a case of using a magneto-resistance (MR) element as the element for writing and reading is described. The element 32 has at least two magnetic poles, a recording magnetic pole and a reading magnetic pole. These magnetic poles are manufactured to be located on the magnetic disk M side. On the surface located on the side opposite to the surface located on the magnetic disk M side of the magnetic head 23, a projection 33 projecting locally toward the suspension 24 in the vicinity of the region where the element 32 is formed. ) Is formed. In addition, the electrodes 34a, 34b, 35a provided for exchanging signals with the outside are located at a cross section of the element 32, that is, at a position near the portion where the protrusion 33 is formed at the rear end face of the magnetic head 23. , 35b) is provided in an exposed state at two ratios to one of the aforementioned stimuli.

서스펜션(24)은 짐벌 기능을 발휘하도록 구성되어 있다. 서스펜션(24)의 선단부에서, 돌출부(33)와 소자(32)의 배치 영역에 대향하는 면에는 접합면(36)이 제공된다. 서스펜션(24)의 접합면(36)이 제공되어 있는 면에는 리소그래피 기술에 의해 4개의 도시 생략된 배선이 절연 피복된 상태로 형성되어 있다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 접합면(36)에는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)에 대해 90°의 개방각으로 전극(37a, 37b, 38a, 38b)이 노출 상태로, 또 배선과 접속 상태로 설치되어 있다. 배선의 타단측은 서스펜션(24)에 표면을 따라 서스펜션(24)의 기단측으로 유도된다.The suspension 24 is configured to exert a gimbal function. At the distal end of the suspension 24, a joining surface 36 is provided on the surface opposite the projecting portion 33 and the arrangement area of the element 32. On the surface on which the bonding surface 36 of the suspension 24 is provided, four unillustrated wirings are formed in an insulating coating state by lithography. In addition, as shown in FIG. 4, the junction surface 36 is exposed to the electrodes 37a, 37b, 38a, and 38b at an opening angle of 90 ° with respect to the electrodes 34a, 34b, 35a, and 35b. It is installed in the state of wiring and connection. The other end side of the wiring is led to the base end side of the suspension 24 along the surface of the suspension 24.

이와 같이 형성된 서스펜션(24)에 대해 자기 헤드(23)는 기계적 및 전기적으로 접속되어 있다. 즉, 자기 헤드(23)에 설치된 돌출부(33)의 상부면은 접착제(39)에 의해 서스펜션(24)에 제공된 접합면(36)에 고정된다. 또한, 자기 헤드(23)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과, 서스펜션(24)의 접합면(36)에 설치된 전극(37a, 37b, 38a, 38b)의 대응하는 것은 금속 볼(40)을 사용하여 초음파 결합에 의해 접속되어 있다.The magnetic head 23 is mechanically and electrically connected to the suspension 24 thus formed. In other words, the upper surface of the protrusion 33 provided on the magnetic head 23 is fixed to the bonding surface 36 provided on the suspension 24 by the adhesive 39. The electrodes 34a, 34b, 35a, 35b provided on the magnetic head 23 and the electrodes 37a, 37b, 38a, 38b provided on the joint surface 36 of the suspension 24 correspond to metal balls ( 40) is connected by ultrasonic coupling.

이와 같이 상기 실시예에 따르면, 자기 헤드(23)와 헤드 지지 부재인 서스펜션(24)과의 기계적인 결합 부분을 자기 헤드(23)에서의 소자(32)의 배치 영역 또는 그 부근의 극히 좁은 범위로 한정하고 있다. 이 때문에, 구성 재료의 열 팽창 계수의 차이에 의한 부상면의 곡률의 변동도 극히 좁은 부분으로 한정되고, 그 이외의 부분은 환경 온도가 변화하여도 곡률 변화는 생기지 않는다. 따라서, 환경 온도의 변화에 의한 헤드의 부상면의 곡률의 변동을 방지할 수 있게 되고, 헤드의 저부상화 및 기록 밀도의 향상을 도모할 수 있다.Thus, according to this embodiment, the mechanical coupling portion between the magnetic head 23 and the suspension 24 serving as the head support member has an extremely narrow range in the arrangement area of the element 32 in the magnetic head 23 or its vicinity. It is limited to. For this reason, the fluctuation | variation of the curvature of the floating surface by the difference of the thermal expansion coefficient of a structural material is also limited to the extremely narrow part, and the other part does not produce a curvature change even if an environmental temperature changes. Therefore, the fluctuation of the curvature of the floating surface of the head due to the change of the environmental temperature can be prevented, and the head can be lowered and the recording density can be improved.

또한, 자기 헤드(23)는 슬라이더(31)의 단부에서만 서스펜션(24)에 접착 고정된다. 이와 같이 자기 헤드(23)의 일단부에서만 고정되기 때문에, 자기 헤드(23)는 서스펜션(24)에 대해 피벗할 수 있고, 또 불균일한 열 팽창 또는 수축 문제를 줄일 수 있다. 따라서, 고정 위치가 슬라이더(31)의 중앙부에 설정되어 있는 경우와 비교하면, 예컨대 전체 슬라이더가 볼록하게 변형한 경우에서의 주변부와 정점과의 높이의 차이는 현저히 작게 할 수 있으며, 헤드 부상량 변화라는 관점에서는 거의 영향을 받지 않는다.In addition, the magnetic head 23 is adhesively fixed to the suspension 24 only at the end of the slider 31. Since it is fixed only at one end of the magnetic head 23 in this way, the magnetic head 23 can pivot with respect to the suspension 24, and can reduce the problem of uneven thermal expansion or contraction. Therefore, compared with the case where the fixed position is set at the center portion of the slider 31, the difference in height between the periphery and the vertex in the case where all the sliders are convexly deformed, for example, can be significantly reduced, and the head floating amount is changed. It is hardly affected from the point of view.

또한, 자기 헤드(23)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)에 대해 90°의 개방각을 이루는 서스펜션(24)측에도 전극(37a, 37b, 38a, 38b)을 설치하고 있기 때문에 대응하는 전극끼리를 용이하게 접속할 수 있다. 따라서, 서스펜션(24)측에 리소그래피 기술로 배선을 설치한 것에 의한 이점을 최대로 발휘시킬 수 있다.In addition, since the electrodes 37a, 37b, 38a, 38b are provided on the suspension 24 side which forms an opening angle of 90 degrees with respect to the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b provided on the magnetic head 23, the corresponding The electrodes can be easily connected. Therefore, the advantage by providing the wiring by the lithographic technique on the suspension 24 side can be exhibited to the maximum.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치를 도시한다. 이 실시예에서, 상기 판독/기록 헤드 장치는 정보 기록/재생 장치의 자기 디스크 구동 장치에 적용된다.5 shows a read / write head apparatus according to a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the read / write head apparatus is applied to the magnetic disk drive apparatus of the information recording / reproducing apparatus.

이 판독/기록 헤드 장치도 크게 나누면, 자기 헤드(23a)와, 선단부에서 자기 헤드(23a)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24a)으로 구성되어 있다. 이는 이전의 실시예와 동일하다.The read / write head apparatus is also broadly divided into a magnetic head 23a and a suspension 24a as a head support member that supports the magnetic head 23a at the tip portion. This is the same as in the previous embodiment.

자기 헤드(23a)는 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에 박막 형성 기술 등으로 형성되어 자기 디스크상에서 정보의 판독과 기록을 행하는 소자(32)로 구성되어 있다. 소자(32)는 기록용 자극과 판독용 자극인 적어도 2개의 자극을 갖는다. 이들 자극은 자기 디스크측에 위치하도록 제조되어 있다. 이 실시예에 따른 자기 헤드(23a)에서는, 도 9에 도시된 바와 같이, 소자(32)의 자기 디스크측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에 외부와의 신호의 교환을 위해 제공되는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)이 노출 상태로 전술한 자극 1개에 대해 2개의 비율로 설치되어 있다.The magnetic head 23a is composed of a slider 31 and an element 32 formed on the rear end surface of the slider 31 by a thin film forming technique or the like to read and write information on a magnetic disk. The element 32 has at least two magnetic poles, a recording magnetic pole and a reading magnetic pole. These magnetic poles are manufactured to be located on the magnetic disk side. In the magnetic head 23a according to this embodiment, as shown in Fig. 9, a surface provided on the side opposite to the surface located on the magnetic disk side of the element 32 is provided for exchange of signals with the outside. The electrodes 34a, 34b, 35a, and 35b are provided in an exposed state at two ratios with respect to one of the aforementioned magnetic poles.

서스펜션(24a)은 스프링성이 있는 고강도 재료, 예컨대 스프링용 스테인레스강이나 이 청동 등으로 형성되어 있고, 구체적으로는 도 6에서 도시된 바와 같이 형성되어 있다. 특히, 서스펜션(24a)의 이면에는 자기 헤드(23a)와 판독/기록 증폭기에 신호를 전송하기 위한 4개의 배선(41a, 41b, 42a, 42b)이 설치된다. 상기 배선(41a, 41b, 42a, 42b)은 구리로 형성되어 있다. 또한, 서스펜션(24a)의 선단부 이면에는 접합면(43)이 설정되어 있다. 또한, 접합면(43)에 형성된 선단부(44)에서, 서스펜션(24a)의 길이 방향으로 연장되는 노치(45)가 폭방향으로 3개가 형성되어 있다. 선단부(44)는 상기 노치(45)에 의해 4개의 탄력 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)로 분할되어 있다.The suspension 24a is formed of a spring-like high-strength material such as spring stainless steel, bronze or the like, and is specifically formed as shown in FIG. In particular, four wirings 41a, 41b, 42a, and 42b are provided on the rear surface of the suspension 24a for transmitting signals to the magnetic head 23a and the read / write amplifier. The wirings 41a, 41b, 42a, and 42b are made of copper. Moreover, the joining surface 43 is set in the back surface of the front-end | tip part of the suspension 24a. Moreover, in the front-end | tip part 44 formed in the bonding surface 43, three notches 45 extended in the longitudinal direction of the suspension 24a are formed in the width direction. The tip portion 44 is divided into four elastic protrusions 46a, 46b, 46c, 46d by the notch 45.

각 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 이면에는 대응하는 배선(41a, 41b, 42a, 42b)에 접속되는 동시에 자기 헤드(23a)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과의 전기적 접속을 돕는 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 노출 상태로 설치된다.On the back surface of each of the projections 46a, 46b, 46c, 46d is connected to the corresponding wirings 41a, 41b, 42a, 42b and electrically connected to the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b provided on the magnetic head 23a. Electrodes 47a, 47b, 48a and 48b to assist the connection are provided in an exposed state.

도 7에 도시된 바와 같이, 배선(41a, 41b, 42a, 42b)은 서스펜션(24a)의 이면에 설치된 절연층(50)상에 형성되고, 또한 그 위에서 형성된 절연성의 오버레이층(51)에 의해 보호되어 있다. 또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 전극(47a, 47b, 48a, 48b)은 각 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 이면에 설치된 절연층(52)상에 형성되고, 그 주위가 벗겨지는 것을 방지하기 위해 절연성의 오버레이층(53)으로 둘러싸여 있다. 또한, 노출되어 있는 표면은 물질 특성의 변경을 방지하기 위해 도금층(54)에 의해 보호된다. 절연층(50, 52)과 오버레이층(51, 53)으로서는 예컨대,에폭시 수지나 폴리아미드 수지와 같은 유기 절연 물질이 이용되고, 도금층(54)으로서는 니켈과 금이 이용된다.As shown in FIG. 7, the wirings 41a, 41b, 42a, 42b are formed on the insulating layer 50 provided on the rear surface of the suspension 24a and further formed by the insulating overlay layer 51 formed thereon. It is protected. In addition, as shown in FIG. 8, electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b are formed on the insulating layer 52 provided on the back surface of each of the protrusions 46a, 46b, 46c, and 46d, and the surroundings thereof are peeled off. It is surrounded by an insulating overlay layer 53 to prevent it from falling. In addition, the exposed surface is protected by plating layer 54 to prevent alteration of material properties. As the insulating layers 50 and 52 and the overlay layers 51 and 53, for example, an organic insulating material such as epoxy resin or polyamide resin is used, and nickel and gold are used as the plating layer 54.

이와 같이 형성된 서스펜션(24a)에 대하여 자기 헤드(23a)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속되어 있다. 즉, 서스펜션(24a)의 각 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)에 형성된 각 전극(47a, 47b, 48a, 48b)상에 금속 볼 범프(55)를 형성하고, 이 금속 볼 범프(55)상의 자기 헤드(23a)상에 형성된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 압접한다. 그 상태에서, 각 돌출부의 표면에 초음파 장치로 초음파를 동작시키고, 이것에 의해 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 초음파 결합하는 것으로 되어 있다.The magnetic head 23a is electrically and mechanically connected to the suspension 24a thus formed as follows. That is, the metal ball bumps 55 are formed on the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b formed on the protrusions 46a, 46b, 46c, and 46d of the suspension 24a, and the metal ball bumps 55 are formed. The electrodes 34a, 34b, 35a, and 35b formed on the magnetic head 23a on the face are pressed. In this state, ultrasonic waves are operated on the surface of each protruding portion by ultrasonic waves, thereby ultrasonically coupling the electrodes 47a, 47b, 48a, 48b and the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b.

도 11은 금속 볼 범프를 사용하여 초음파 결합 기술에 의해 서스펜션(24a)과 자기 헤드(23a)를 접속할 경우의 공정 순서를 설명한 플로차트이다.FIG. 11 is a flowchart for explaining a process sequence in the case where the suspension 24a and the magnetic head 23a are connected by the ultrasonic coupling technique using the metal ball bumps.

우선, 서스펜션(24a)상의 전극(47a, 47b, 48a, 48b)상에 금속 볼 범프(55)를 각각 도선 결합 방법에 의해 형성한다. 다음에, 서스펜션(24a)상의 범프 부분과 자기 헤드(23a)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 서로 대향하도록 배치하고, 위치를 결정한 후에 가압한다. 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 표면측에 배치된 초음파 처리 장치에 의해 금속 볼 범프(55)와 자기 헤드(23a)의 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과의 접속 영역에 초음파를 인가함으로써 양자를 접속한다.First, metal ball bumps 55 are formed on the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b on the suspension 24a by conducting wire joining methods, respectively. Next, the bump portion on the suspension 24a and the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b provided on the magnetic head 23a are arranged to face each other, and are pressed after determining the position. Ultrasonic waves are applied to the connection area between the metal ball bumps 55 and the electrodes 34a, 34b, 35a, and 35b of the magnetic head 23a by the ultrasonic processing apparatus disposed on the surface side of the protrusions 46a, 46b, 46c, 46d. Both are connected by applying.

이 경우에는, 독립하여 탄성 변형 가능한 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)에 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 설치된다. 그 결과, 금속 볼 범프(55)의 크기에 격차가 있는 경우라도, 도 10에 도시된 바와 같이, 각 돌출부를 변형시킴으로써 각 접속영역에 가장 적합한 가압력을 인가한 상태에서 초음파 결합을 실행할 수 있으며, 신뢰성 높은 접속을 행할 수 있다.In this case, the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b are provided in the protruding portions 46a, 46b, 46c, 46d that are independently elastically deformable. As a result, even when there are gaps in the size of the metal ball bumps 55, as shown in FIG. 10, ultrasonic coupling can be performed in a state where the most suitable pressing force is applied to each connection area by deforming each protrusion, Reliable connection can be made.

다음에, 접속부에 액상 수지(56)를 적하하여, 서스펜션(24a)과 자기 헤드(23a)와의 기계적 결합 강도를 증가시킨다(도 5참조). 이 경우, 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)를 형성하기 위해 설치한 노치(45)의 존재에 의해, 액상 수지가 서스펜션(24a)과 자기 헤드(23a)의 접속 부분에 적절히 스며들 수 있다. 액상 수지에 의한 소정의 보강을 실현할 수 있다. 판독/기록 헤드 장치의 사용 조건에 따라, 액상 수지에 의한 보강 및 밀봉을 생략할 수 있다.Next, the liquid resin 56 is dripped in the connection part, and the mechanical bond strength of the suspension 24a and the magnetic head 23a is increased (refer FIG. 5). In this case, due to the presence of the notches 45 provided to form the protrusions 46a, 46b, 46c, and 46d, the liquid resin can permeate the connection portion between the suspension 24a and the magnetic head 23a as appropriate. . Predetermined reinforcement by liquid resin can be realized. Depending on the conditions of use of the read / write head device, reinforcement and sealing by the liquid resin can be omitted.

이 실시예에 있어서도, 서스펜션(24a)에 고착된 자기 헤드(23b)의 고정 위치는 슬라이더(31)의 단부에만 설정되어 있다. 따라서, 슬라이더 전체가 볼록하게 변형한 경우에도, 주변부와 정점부의 높이의 차를 작게 할 수 있게 되어, 헤드의 부상 높이의 변동에 거의 영향이 존재하지 않게 된다.Also in this embodiment, the fixed position of the magnetic head 23b fixed to the suspension 24a is set only at the end of the slider 31. Therefore, even when the entire slider is convexly deformed, the difference between the height of the periphery and the apex can be made small, and there is almost no influence on the fluctuations in the height of the float.

또한, 이 실시예에서는, 독립적으로 탄성 변형 가능한 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)상에 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 설치되어 있다. 따라서, 자기 헤드(23a)와 서스펜션(24a)을 금속 볼 범프(55)를 이용한 초음파 결합 기술로 접속한 경우, 금속 볼 범프(55)의 크기에 격차가 있어도, 이 크기의 변화를 돌출부의 높이의 변화로 흡수할 수 있다. 이것은 안정된 접속을 실현할 수 있다.In this embodiment, the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b are provided on the protruding portions 46a, 46b, 46c, 46d that are independently elastically deformable. Therefore, in the case where the magnetic head 23a and the suspension 24a are connected by the ultrasonic coupling technique using the metal ball bumps 55, even if there is a gap in the size of the metal ball bumps 55, the change in the size is applied to the height of the protrusion. Can be absorbed by the change of. This can realize a stable connection.

도 12 내지 도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 헤드 장치를 도시한다.12 to 14 show a head device according to a third embodiment of the present invention.

이 헤드 장치도, 크게 나누면 자기 헤드(23b)와, 선단부에서 자기 헤드(23b)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24b)으로 구성되어 있다.This head device is also largely divided into a magnetic head 23b and a suspension 24b as a head support member that supports the magnetic head 23b at the tip end thereof.

자기 헤드(23b)는 상기 설명한 제2 실시예의 자기 헤드와 완전히 동일한 구조로 형성되어 있다. 따라서, 동일한 부분은 동일한 참조 부호로 나타내고, 중복되는 부분의 상세한 설명은 생략한다.The magnetic head 23b is formed in the same structure as the magnetic head of the second embodiment described above. Therefore, the same parts are denoted by the same reference numerals, and detailed description of the overlapping parts is omitted.

이 실시예에 따른 자기 헤드 장치가 이전에 설명한 제2 실시예에 따른 자기 헤드 장치와의 다른 점은 서스펜션(24b)에서 접합면(43)을 형성하고 있는 선단부(44)의 형상에 있다.The difference between the magnetic head device according to this embodiment and the magnetic head device according to the second embodiment described above lies in the shape of the tip portion 44 forming the joining surface 43 in the suspension 24b.

상기 제2 실시예에 따른 자기 헤드 장치에서는, 선단부(44)에 3개의 노치를 형성하고, 이 노치에 4개의 독립한 돌출부가 구비되어 있으며, 이들 돌출부에 각각 전극이 설치되어 있다. 그러나, 상기 제3 실시예에서는 노치 대신 긴 슬롯(57)을 3개 설치하여 이 긴 슬롯(57)의 존재로 실질적으로 탄성 변형 가능하게 분리된 4개의 분리편(58a, 58b, 58c, 58d)을 설치하고, 이들 분리편(58a, 58b, 58c, 58d)의 이면에 제2 실시예와 동일하게 구성된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 설치되어 있다.In the magnetic head device according to the second embodiment, three notches are formed in the tip portion 44, and four independent protrusions are provided in the notches, and electrodes are provided in these protrusions, respectively. However, in the third embodiment, four separation pieces 58a, 58b, 58c, 58d are provided in which three long slots 57 are provided in place of the notch, so that they are elastically deformable in the presence of the long slots 57. And the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b configured in the same manner as in the second embodiment are provided on the rear surfaces of the separating pieces 58a, 58b, 58c, and 58d.

이와 같이 형성된 서스펜션(24b)에 대하여 자기 헤드(23b)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속된다. 즉, 서스펜션(24b)의 분리편(58a, 58b, 58c, 58d)상에 형성된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)에, 도 14에 도시된 바와 같이, 금속 볼 범프(55)를 형성한다. 이들 금속 볼 범프(55)상에 이방성의 전도성 접착제(59)를 도포하여, 그 위에 자기 헤드(23b)에 형성된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 압접한다. 이 상태에서, 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 전극(34a, 34b, 35a, 35b)은 가압 및 가열에 의해 접속하게 된다.The magnetic head 23b is electrically and mechanically connected to the suspension 24b thus formed as follows. That is, the metal ball bumps 55 are formed in the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b formed on the separating pieces 58a, 58b, 58c, and 58d of the suspension 24b, as shown in FIG. . Anisotropic conductive adhesive 59 is applied onto these metal ball bumps 55 to press-contact the electrodes 34a, 34b, 35a, and 35b formed on the magnetic head 23b thereon. In this state, the electrodes 47a, 47b, 48a, 48b and the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b are connected by pressing and heating.

도 15는 금속 볼 범프(55)와 이방성의 전도성 접착제(59)를 이용한 결합 기술에 의해 서스펜션(24b)과 자기 헤드(23b)의 결합 공정의 순서를 설명하는 플로차트이다.FIG. 15 is a flowchart for explaining the procedure of the joining process of the suspension 24b and the magnetic head 23b by the joining technique using the metal ball bumps 55 and the anisotropic conductive adhesive 59. As shown in FIG.

우선, 서스펜션(24b)에 설치된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)상에, 금속 볼 범프(55)를 도선 결합 방법으로 형성된다. 다음에, 서스펜션(24b)상에 형성된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 자기 헤드(23b)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 대향시켜서, 그 부분에 이방성의 전도성 접착제(59)를 도포한 후에 위치를 결정한다. 다음에, 가압 및 가열함으로써 자기 헤드(23b)의 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과 금속 볼 범프(55)를 접속한다.First, the metal ball bumps 55 are formed on the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b provided in the suspension 24b by a conducting wire joining method. Next, the electrodes 47a, 47b, 48a, 48b formed on the suspension 24b and the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b provided on the magnetic head 23b are opposed to each other, and anisotropic conductive adhesive ( 59) Determine the location after application. Next, the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b of the magnetic head 23b and the metal ball bumps 55 are connected by pressing and heating.

이 경우, 전극(47a, 47b, 48a, 48b)은 독립적으로 탄성 변형 가능한 분리편(58a, 58b, 58c, 58d)상에 설치된다. 따라서, 금속 볼 범프(55)의 크기에 격차가 있는 경우라도, 도 14에 도시된 바와 같이, 각 분리편의 탄성을 변형시킴으로써 각 접속 영역에 균일한 가압력을 인가한 상태에서 결합을 실행할 수 있다. 이로 인해, 신뢰성이 높은 접속을 행할 수 있다. 더욱이, 긴 슬롯(57)의 존재에 의해 이방성의 전도성 접착제의 접착 면적이 증대하기 때문에, 더욱 양호한 결합 강도를 얻을 수 있다.In this case, the electrodes 47a, 47b, 48a, 48b are provided on the separating pieces 58a, 58b, 58c, 58d independently elastically deformable. Therefore, even when there are gaps in the size of the metal ball bumps 55, as shown in FIG. 14, the coupling can be performed in a state in which a uniform pressing force is applied to each connection region by deforming the elasticity of each separating piece. For this reason, highly reliable connection can be performed. Furthermore, since the adhesion area of the anisotropic conductive adhesive increases due to the presence of the long slot 57, a better bond strength can be obtained.

따라서, 이 실시예에 관한 헤드 장치에 있어서도, 전술한 제2 실시 형태에 관한 헤드 장치와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Therefore, also in the head apparatus which concerns on this Example, the same effect as the head apparatus which concerns on 2nd Embodiment mentioned above can be acquired.

도 16은 본 발명의 제4 실시예에 따른 헤드 장치를 도시한다.16 shows a head device according to a fourth embodiment of the present invention.

이 헤드 장치도, 크게 나누면, 자기 헤드(23c)와, 선단부에서 자기 헤드(23c)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24c)으로 구성되어 있다.The head apparatus is also broadly divided into a magnetic head 23c and a suspension 24c as a head support member that supports the magnetic head 23c at the tip end thereof.

자기 헤드(23b)는 이전에 설명한 제2 및 제3 실시예에서의 자기 헤드와 동일하게, 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에 박막 형성 기술 등으로 제조되어 자기 디스크상에서 정보의 판독/기록을 행하는 소자(32)를 포함한다. 소자(32)는 기록용 자극과 판독용 자극을 가지며, 이들 자극이 자기 디스크측에 위치하도록 제조되어 있다. 자기 헤드(23c)는 후단면에서 외부와의 신호의 교환을 행하는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)[다만, 전극(34b, 35a, 35b)은 도시되지 않음)]이 노출 상태로 전술한 자극 1개에 대하여 2개의 비율로 설치된다.The magnetic head 23b is manufactured in the same manner as the magnetic heads in the second and third embodiments described above by using the slider 31 and a thin film forming technique or the like on the rear end surface of the slider 31 to provide information on the magnetic disk. And an element 32 for reading / writing the data. The element 32 has a recording magnetic pole and a reading magnetic pole, and is manufactured such that these magnetic poles are located on the magnetic disk side. As for the magnetic head 23c, the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b (but the electrodes 34b, 35a, 35b are not shown) which exchange signals with the outside at the rear end face are exposed as described above. It is established at two rates per one stimulus.

서스펜션(24c)은 짐벌의 기능을 발휘하도록 구성되어 있고, 선단부에 90°로 절곡된 절곡부(60)를 구비한다. 그리고, 이 절곡부(60)의 내면에 접합면(61)이 설정되어 있다. 서스펜션(24c)의 접합면(61)이 설정되어 있는 측의 면에는 도시 생략된 4개의 배선이 리소그래피 기술에 의해 절연 피복된 상태로 형성되어 있다. 또한, 도 17에 도시된 바와 같이, 접합면(61)에는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과 대항하는 관계의 전극(62a, 62b, 63a, 63b)이 노출 상태로, 또한 배선과 접속 상태로 설치된다. 또, 배선의 타단측은 서스펜션(24c)의 이면을 따라서 서스펜션(24c)의 기단측으로 유도된다.The suspension 24c is comprised so that the function of a gimbal may be provided, and the bending part 24c is provided with the bending part 60 bent by 90 degrees in the front-end | tip part. And the joining surface 61 is set in the inner surface of this bending part 60. As shown in FIG. Four wirings (not shown) are formed on the surface on the side where the joint surface 61 of the suspension 24c is set in an insulating coating state by lithography. In addition, as shown in FIG. 17, electrodes 62a, 62b, 63a, and 63b in a relation to the electrodes 34a, 34b, 35a, and 35b are exposed on the joint surface 61 and are connected to the wiring. Installed in a state. The other end side of the wiring is led to the proximal end side of the suspension 24c along the rear surface of the suspension 24c.

이와 같이 형성된 서스펜션(24c)에 대하여 자기 헤드(23c)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속되어 있다. 즉, 절곡부(60)에 설치된 전극(62a, 62b, 63a, 63b)과 자기 헤드(23c)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)중 어느 하나에 반구형의 전도성 범프(64)가 설치되어 있다. 절곡부(60)와 자기 헤드(23c)는 전도성의 범프(64)에 의해 소정의 간격을 유지한다. 이 간격은 접착제(65)에 의해 충전되어 있다. 이 접착제(65)에는 미세한 금속 가루가 함유되어 있고, 전도성 범프(64)의 반구형의 부분이 그것과 대향하는 전극과 접촉하고 있는 부근에서 도통한다. 따라서, 접착제(65)는 복수의 전극에 걸쳐서 도포되어 있지만, 도통은 대향하는 전극간에서만 확보되어, 그 이외의 조합에 관해서는 실질적으로 절연되어 있다.The magnetic head 23c is electrically and mechanically connected to the suspension 24c thus formed as follows. That is, hemispherical conductive bumps 64 are provided in any one of the electrodes 62a, 62b, 63a, 63b provided in the bent portion 60 and the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b provided in the magnetic head 23c. It is. The bent portion 60 and the magnetic head 23c are maintained at predetermined intervals by the conductive bumps 64. This gap is filled by the adhesive 65. The adhesive 65 contains fine metal powder, and conducts in the vicinity where the hemispherical portion of the conductive bump 64 is in contact with the electrode facing it. Therefore, although the adhesive 65 is apply | coated over the some electrode, conduction is ensured only between opposing electrodes, and is substantially insulated about the other combination.

접착제(65)는 전기적인 결합과 동시에 자기 헤드(23c)와 서스펜션(24c)에서 이 절곡부(60)를 기계적 결합하는 역할도 해내고 있다.The adhesive 65 plays a role of mechanically coupling the bent portion 60 at the magnetic head 23c and the suspension 24c at the same time as the electrical coupling.

따라서, 자기 헤드(23c)와 서스펜션(24c)은 자기 헤드(23c)에서의 소자 형성면에만 결합되고, 자기 헤드(23c)의 부상면의 이면측을 접착면으로서 이용하지 않는다. 이것은 환경 온도의 변화에 의한 부상면의 곡률 변동을 방지하는 것이 가능해져서 저부상화 및 기록 밀도의 향상을 실현할 수 있다. 또, 자기 헤드(23c)는 이 자기 헤드(23c)를 자기 디스크에 누르는 힘을 동작시키기 위해서, 통상 자기 헤드(23c)의 부상면의 이면측에 힘을 가할 필요가 있다. 상기한 설명에서와 같이 서스펜션(24c)이 자기 헤드(23c)의 후단부에 결합하는 구성으로, 조립시에 서스펜션(24c)에 초기 변형을 부여하고, 누르는 압력(66)과 함께 적당한 초기 모멘트(67)가 발생하도록 함으로써 실질적인 하중 작용 위치(68)를 자기 헤드의 위치로 설정할 수 있다.Therefore, the magnetic head 23c and the suspension 24c are coupled only to the element formation surface in the magnetic head 23c, and do not use the rear surface side of the floating surface of the magnetic head 23c as an adhesive surface. This becomes possible to prevent the fluctuation of the curvature of the floating surface by the change of environmental temperature, and can realize low injuries and the improvement of recording density. Moreover, in order to operate the force which presses this magnetic head 23c to a magnetic disk, the magnetic head 23c needs to apply a force to the back surface side of the floating surface of the magnetic head 23c normally. As described in the above description, the suspension 24c is coupled to the rear end of the magnetic head 23c, which gives an initial deformation to the suspension 24c at the time of assembly, and together with the pressing pressure 66, a suitable initial moment ( By causing 67 to occur, the actual loading position 68 can be set to the position of the magnetic head.

본 발명의 제5 실시예에 따른 헤드 장치는 도 19에 도시된다.The head device according to the fifth embodiment of the present invention is shown in FIG.

이 헤드 장치도, 크게 나누면, 자기 헤드(23d)와, 선단부에 자기 헤드(23d)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24d)으로 구성되어 있다.The head apparatus is also broadly divided into a magnetic head 23d and a suspension 24d as a head support member for supporting the magnetic head 23d at the tip end thereof.

자기 헤드(23d)는 이전에 설명한 제4 실시예에서의 자기 헤드와 같이, 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에서 박막 형성 기술 등으로 제조되어 자기 디스크상에서 정보의 판독과 기록을 행하는 소자(32)로 구성되어 있다. 소자(32)는 기록용 자극과 판독용 자극을 가지며, 이들 자극은 자기 디스크측에 위치하도록 제조된다. 자기 헤드(23d)의 후단면에서, 전술한 바와 같이 외부와의 신호 교환을 돕는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)(도 21 참조)이 노출된 상태로 자극 1개에 대해 2개의 비율로 설치된다.The magnetic head 23d, like the magnetic head in the fourth embodiment described previously, is manufactured by a slider 31 and a thin film forming technique or the like on the rear end surface of the slider 31 to read and write information on the magnetic disk. It is comprised by the element 32 which performs. The element 32 has a recording magnetic pole and a reading magnetic pole, which are manufactured to be located on the magnetic disk side. At the rear end face of the magnetic head 23d, as described above, the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b (see FIG. 21), which assist in signal exchange with the outside, are exposed at two ratios for one stimulus. Is installed.

서스펜션(24d)은 스프링성이 있는 고강도 재료, 예컨대 스프링용 스테인레스강이나 이 청동 등으로 형성되어 있다. 기본적으로, 서스펜션(24d)은 도 6에 나타낸 것과 도 16에 나타낸 것을 조합시킨 형상으로 형성되어 있다. 도 6과 동일한 부분은 동일한 참조 부호로 표시하고, 중복되는 부분의 상세한 설명은 생략한다.The suspension 24d is formed of a springy high strength material such as stainless steel for spring, bronze or the like. Basically, the suspension 24d is formed in the shape which combined the thing shown in FIG. 6 with that shown in FIG. The same parts as in Fig. 6 are denoted by the same reference numerals, and detailed descriptions of overlapping parts will be omitted.

도 20에 도시된 것과 같이, 서스펜션(24d)의 선단부의 이면에는 접합면(43)이 설정되어 있다. 또한, 이 접합면(43)이 형성된 선단부에는 서스펜션(24d)의 길이 방향으로 연장된 노치(45)가 폭 방향으로 3개 형성되어 있고, 이들 노치(45)에 의해 선단부(44)가 탄성 변형 가능한 4개의 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)로 분할된다. 이 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)는 각각 90°로 절곡되어 있다.As shown in FIG. 20, the joining surface 43 is set in the back surface of the front-end | tip part of the suspension 24d. In addition, three notches 45 extending in the longitudinal direction of the suspension 24d are formed in the width direction at the distal end portion on which the joining surface 43 is formed, and the distal end portion 44 is elastically deformed by these notches 45. Four possible projections 46a, 46b, 46c, 46d are divided. These protrusions 46a, 46b, 46c, 46d are each bent at 90 degrees.

돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 이면에는 대응하는 배선(41a, 41b, 42a, 42b)에 접속하는 동시에 자기 헤드(23a)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과의 전기적 접속에 이바지하는 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 노출 상태로 설치된다.The back surface of the protrusions 46a, 46b, 46c, 46d is connected to the corresponding wirings 41a, 41b, 42a, 42b and at the same time electrically connected with the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b provided on the magnetic head 23a. The electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b serving are provided in an exposed state.

이와 같이 형성된 서스펜션(24d)에 대하여 자기 헤드(23d)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속되어 있다. 즉, 이 실시예에서는 제1 실시예와 같이 서스펜션(24d)에 설치된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 자기 헤드(23d)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)은 도 21에 도시된 것과 같이 금속 볼 범프(55)에 의한 초음파 결합에 의해서 접속되어 있다.The magnetic head 23d is electrically and mechanically connected to the suspension 24d thus formed as follows. That is, in this embodiment, as in the first embodiment, the electrodes 47a, 47b, 48a, 48b provided in the suspension 24d and the electrodes 34a, 34b, 35a, 35b provided in the magnetic head 23d are shown in FIG. As shown, it is connected by the ultrasonic coupling by the metal ball bump 55. As shown in FIG.

도 22에는 금속 볼 범프를 사용한 초음파 결합 기술에 의해 서스펜션(24d)과 자기 헤드(23d)를 접속할 경우의 플로차트가 표시되어 있다.FIG. 22 shows a flowchart in the case where the suspension 24d and the magnetic head 23d are connected by an ultrasonic coupling technique using metal ball bumps.

우선, 자기 헤드(23d)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)상에, 금속 볼 범프(55)를 도선 결합법에 의해 형성한다. 다음에, 서스펜션(24d)에 설치된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 자기 헤드(23d)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 대향하여 위치를 결정한 후에 가압한다. 각 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 배면측에 개별적으로 배치된 초음파 장치에 의해서 금속 볼 범프(55)와 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과의 접속 부분에 초음파를 인가함으로써 양쪽을 접속한다.First, metal ball bumps 55 are formed on the electrodes 34a, 34b, 35a, and 35b provided in the magnetic head 23d by the conduction coupling method. Next, the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b provided in the suspension 24d and the electrodes 34a, 34b, 35a, and 35b provided in the magnetic head 23d are opposed to each other and then pressurized. Both ultrasonic waves are applied to the connection portions of the metal ball bumps 55 and the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b by an ultrasonic device individually disposed on the back side of each of the protrusions 46a, 46b, 46c, and 46d. Connect

이 경우, 독립적으로 탄성 변형 가능한 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)상에 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 설치된다. 그 결과, 금속 볼 범프(55)의 크기에 격차가 있는 경우라도, 각 돌출부의 탄성을 변형시킴으로써 각 접속부에 균일한 가압력을 인가한 상태로 초음파 결합을 행할 수 있게 되어, 신뢰성이 높은 접속을 행할 수 있다.In this case, the electrodes 47a, 47b, 48a, and 48b are provided on the protrusions 46a, 46b, 46c, 46d that are independently elastically deformable. As a result, even when there are gaps in the size of the metal ball bumps 55, the elasticity of each protrusion is deformed, so that ultrasonic coupling can be performed in a state where a uniform pressing force is applied to each of the connecting portions. Can be.

또한, 이 실시예에서, 자기 헤드(23d)에서의 서스펜션(24d)으로의 고정부를 자기 헤드(23d)의 단부만으로 하고 있기 때문에, 환경 온도의 변화에 의한 부상면의 곡률 변동을 막는 것이 가능해지고, 저부상화 및 기록 밀도의 향상을 실현할 수있다.In addition, in this embodiment, since the fixing portion from the magnetic head 23d to the suspension 24d is formed only at the end of the magnetic head 23d, it is possible to prevent fluctuations in the curvature of the floating surface due to changes in environmental temperature. It is possible to realize lowering of flotation and improvement of recording density.

도 23과 도 24에는 본 발명의 제6 실시예에 따른 헤드 장치가 도시되어 있다.23 and 24 show a head device according to a sixth embodiment of the present invention.

이 헤드 장치도, 크게 나누면, 자기 헤드(23e)와, 선단부에서 자기 헤드(23e)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24e)으로 구성되어 있다.The head apparatus is also broadly divided into a magnetic head 23e and a suspension 24e as a head support member that supports the magnetic head 23e at the tip portion.

자기 헤드(23e)는 이전에 설명한 제5 실시예에의 자기 헤드와 같이, 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에 박막 형성 기술에 의해 제조되어, 자기 디스크상에서 정보의 판독 및 기록을 행하는 소자(32)로 구성되어 있다. 또, 소자(32)는 판독과 기록을 행하는 1개의 자극을 갖고 자기 디스크측에 위치하도록 제조된다. 그리고, 자기 헤드(23a)는 후단면에서 외부와의 신호 교환을 돕는 전극(34a, 34b)이 노출 상태로 설치된다.The magnetic head 23e is manufactured by the thin film forming technique on the slider 31 and the rear end surface of the slider 31, like the magnetic head in the fifth embodiment described previously, to read information on the magnetic disk and It consists of the element 32 which writes. The element 32 is manufactured so as to be located on the magnetic disk side with one magnetic pole for reading and writing. Then, the magnetic head 23a is provided with electrodes 34a and 34b exposed to assist signal exchange with the outside at the rear end face.

서스펜션(24e)은 스프링성이 있는 고강도 재료, 예컨대 스프링용 스테인레스강이나 인청동 등으로 형성되어 있다. 기본적으로 도 6에 나타낸 것과 도 20에 나타낸 것을 조합시킨 형상으로 형성되어 있다.The suspension 24e is formed of a springy high strength material such as spring stainless steel, phosphor bronze or the like. Basically, it forms in the shape which combined what was shown in FIG. 6 with what was shown in FIG.

즉, 서스펜션(24e)의 선단부(71)는 90°로 절곡되어 있고, 이 선단부(71)에는 전술한 전극(34a, 34b)보다 넓은 간격으로 돌출부(72a, 72b)가 형성되어 있다. 그리고, 선단부(71)의 이면에는 접합면(73)이 설정되어 있다. 돌출부(72a, 72b)의 표면에는 전술한 각 예와 동일하게 전극(73a, 73b)이 설치되어 있고, 이들 전극(73a, 73b)은 서스펜션(24e)의 표면에 전술한 각 예와 동일하게 설치된 배선(74a, 74b)에 접속되어 있다.That is, the tip portion 71 of the suspension 24e is bent at 90 degrees, and the tip portions 71 are formed with protrusions 72a and 72b at a wider interval than the electrodes 34a and 34b described above. And the joining surface 73 is set in the back surface of the front-end | tip part 71. As shown in FIG. The electrodes 73a and 73b are provided on the surfaces of the protrusions 72a and 72b in the same manner as the above-described examples, and these electrodes 73a and 73b are provided in the same manner as the above-described examples on the surface of the suspension 24e. It is connected to the wiring 74a, 74b.

이와 같이 형성된 서스펜션(24e)에 대하여 자기 헤드(23e)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속되어 있다. 즉, 자기 헤드(23e)는 자기 헤드의 후단면의 전극(34a, 34b)을 피한 위치에 있어서, 접착제(75)로 돌출부(72a, 72b)의 이면에 고정되어 있다. 자기 헤드(23e)에 설치된 전극(34a, 34b)은 도선(76)을 통해 서스펜션(24e)에 설치된 전극(73a, 73b)에 접속되어 있다.The magnetic head 23e is electrically and mechanically connected to the suspension 24e thus formed as follows. That is, the magnetic head 23e is fixed to the back surface of the protrusions 72a and 72b with the adhesive 75 at the position avoiding the electrodes 34a and 34b of the rear end surface of the magnetic head. The electrodes 34a and 34b provided on the magnetic head 23e are connected to the electrodes 73a and 73b provided on the suspension 24e via the conductive wire 76.

따라서, 상기한 구성에 의하면, 자기 헤드(23e)와 서스펜션(24e)은 자기 헤드(23e)에서의 소자 형성면만에서 결합되기 때문에, 환경 온도의 변화에 의한 부상면의 곡률 변동을 막는 것이 가능해지고, 저부상화 및 기록 밀도 향상을 실현할 수 있게 된다.Therefore, according to the above configuration, since the magnetic head 23e and the suspension 24e are coupled only at the element formation surface in the magnetic head 23e, it becomes possible to prevent fluctuations in the curvature of the floating surface due to changes in environmental temperature. As a result, low flotation and improved recording density can be realized.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 환경 온도의 변화에 의한 부상면의 곡률 변동을 막을 수 있으며, 저부상화 및 기록 밀도의 향상에 기여할 수 있다. 또한, 서스펜션에 설치된 배선과 헤드와의 전기적 접속의 용이화 및 접속 부분의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, fluctuations in the curvature of the floating surface due to changes in the environmental temperature can be prevented, which can contribute to low injuries and improvement in recording density. In addition, it is possible to facilitate the electrical connection between the wiring and the head provided in the suspension and to improve the reliability of the connection portion.

Claims

A read / write head device for reading information from a recording medium and recording the information on the recording medium,

A head having a slider and elements coupled to the slider for reading and / or writing information on the recording medium;

A head support member mechanically coupled to the head only at one end of the head,

A wire integrally installed with the head support member and electrically connected to the device,

And the support member is coupled to the head only at the surface of the element.

The read / write head device as claimed in claim 1, wherein the head has a protruding portion in the vicinity of an arrangement area of the element on a surface opposite to a surface located on the recording medium side.

A first electrode provided on the head and electrically connected to the element;

A head support member mechanically coupled to the head only at the surface of the element,

A second electrode provided on the head support member and electrically connected to the first electrode;

And wires integrally provided with said head support member and electrically connected to said element.

4. The read / write head device according to claim 3, wherein the first electrode is provided at the rear end of the head, and the head support member includes a bent portion.

4. The read / write head device according to claim 3, wherein the head support member has an elastic support mechanism for elastically supporting the second electrode independently.

6. The read / write head device according to claim 5, wherein the elastic support mechanism is formed by any one of a notch and a hole.

4. A read / write head device as claimed in claim 3, wherein said head support member has a gimbal function for causing said head to follow on a recording medium.

An information recording apparatus for reading information from a recording medium and recording the information on the recording medium.

A head having a slider and elements coupled to the slider for reading and / or reproducing information on the recording medium;

A head support member mechanically coupled to the head at a surface opposite the element,

And a support arm connected to said head support member for moving said head onto said recording medium.

10. The information recording apparatus according to claim 8, further comprising a wiring integrally provided with said head support member and electrically connected to said element.

10. The information recording apparatus as claimed in claim 9, wherein the head has a protruding portion in the vicinity of an arrangement area of the element on the side opposite to the surface located on the recording medium side.

An information recording apparatus for recording and reproducing information on a recording medium,

A support arm connected to the head support member to move the head onto the recording medium;

And wirings integrally provided with said head support member and electrically connected to said element.

A head having a first end and a second end,

An element for reading and / or writing information at the first end of the head;

And a head support connected to the head only at the first end of the head, wherein the head moves relative to the head support.

13. The read / write head device according to claim 12, further comprising wiring connected between the head support and the element.

14. The read / write head device of claim 13, wherein the wiring comprises four metal balls.