KR100301563B1 - 판독/기록헤드장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기록 매체로부터 정보를 판독하고 기록 매체에 정보를 기록하는 헤드를 구비한 판독/기록 헤드 장치에 관한 것으로, 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체 상에서 정보를 기록 및/또는 판독을 행하는 소자와, 상기 소자가 배치되는 상기 헤드의 영역에 접하는 결합면에서 상기 헤드와 기계적으로 결합된 헤드 지지부재를 포함하고 있다.

Description

판독/기록 헤드 장치{READ/WRITE HEAD DEVICE}

본 발명은 정보 기록 매체상에서 정보의 판독/기록을 행하는 소자를 탑재한 헤드를 구비하는 판독/기록 헤드 장치에 관한 것이다.

공지된 바와 같이, 자기 디스크 구동 장치나 광 디스크 구동 장치 등의 판독/기록 헤드 장치는 컴퓨터의 외부 메모리 장치로서 널리 사용되고 있다.

이러한 판독/기록 헤드 장치, 예컨대 자기 기록 매체를 사용하는 자기 디스크 구동 장치는 정보가 기록되는 자기 기록 매체인 자기 디스크와, 이 자기 디스크가 회전하는 동안 자기 디스크에 있는 정보의 재생과 기록을 행하는 자기 헤드를 구비한다. 자기 디스크의 회전에 의해 발생되는 동압(dynamic pressure)을 이용함으로써, 자기 헤드가 자기 디스크상에서 미세한 간극(gap)을 유지하여 부상하도록구성되어 있다.

도 1은 종래의 자기 디스크 구동 장치의 주요부의 구성을 도시한다.

도 1에서, 도면 부호1은 자기 헤드를 나타낸다. 자기 헤드(1)는 적당한 크기로 형성된 슬라이더(2)와, 이 슬라이더(2)의 후단면에 박막 형성 기술 등에 의해 제조되어 자기 디스크(M)상에서 정보의 기록 및 재생을 행하는 소자(3)로 구성되어 있다. 소자(3)는 자극(4)을 가지며, 이 자극(4)은 자기 디스크(M)측에 위치하도록 제조된다.

실제적으로 자기 디스크(M)와 마주하는 면과는 반대측에 위치하는 자기 헤드(1) 면의 거의 전역은, 자기 헤드(1)의 위치를 자기 디스크(M)의 표면을 따르게 하기 위해 가소성 물질로 이루어진 짐벌(gimbal)(5)에 접착제(6)로 고정되어 있다.

짐벌(5)은 자기 헤드(1)를 자기 디스크(M)상에 강압시키는 서스펜션(7)에 점용접(spot-welding) 등의 수단에 의해 고정된다. 서스펜션(7)의 기단부측은 회전 운동을 자유롭게 지지하는 회전 지지 기구에 접속되어 있다. 서스펜션(7)에는 피벗(8)이 설치되어 있고, 이 피벗(8)을 통해 자기 헤드(1)의 소정 위치에 서스펜션(7)으로부터의 가압력을 가하는 구조로 되어 있다.

또한, 소자(3)에는 외부와의 신호 교환을 위해 제공되는 전극(9)이 설치되어 있다. 이들 전극(9)에는 각 리드선(10)의 일단측이 접속되어 있다. 이 리드선(10)의 타단측은 서스펜션(7)을 따라 도시하지 않은 신호 송수신 유닛에 연결되어 있다.

그러나, 상기와 같이 구성된 종래 기술의 자기 헤드 장치는 다음과 같은 문제가 있다.

최근에는, 판독/기록 헤드 장치가 온도적으로 엄격한 환경하에서 안정된 기능을 발휘할 수 있는 것이 요구되고 있다. 그러나, 종래의 경우에는, 짐벌, 헤드 및 접착제가 각각 다른 재료로 구성되어, 그들의 열 팽창 계수가 다르다. 이로 인해, 도 1의 이점 쇄선(A)으로 도시되어 있는 바와 같이 자기 디스크(M)와 면하는 자기 헤드(1)의 부상면에 미소한 곡률 변화가 생긴다. 이 곡률의 변화(왕관 형태의 곡률)는 자기 헤드(1)의 부상 높이의 변동을 초래하게 되고, 자기 헤드(1)의 부상 높이의 저감 또는 기록 밀도의 향상을 방해하게 된다.

최근에는, 자기 디스크 구동 장치의 소형화 및 기록/재생의 고속화에 따라, 자기 헤드 자체의 크기도 소형화되고 있다. 그 결과, 자기 헤드(1)와 자기 디스크(M) 사이에서 발생하는 동압에 의해 자기 헤드(1)를 소정의 자세로 유지하는 공기막 강성이 저하되는 경향이 있다.

이러한 경향을 보상하기 위해, 자기 헤드(1)를 자기 디스크(M)에 소정의 자세로 따르게 하기 위해서는 자기 헤드(1)와 서스펜션(8) 사이에 설치된 짐벌(5)의 유연성을 더욱 향상시킬 필요가 있다.

그러나, 종래에는 소자(3)와 기록/재생 증폭기 사이에서 신호의 교환을 위해 사용된 리드선(10)은 비교적 강성이 높은 것을 이용할 필요가 있다. 리드선(10)의 강성이 자기 헤드(1)를 자기 디스크(M)에 소정의 자세로 따르게 하는 것을 방해하였다.

이러한 문제를 해결하기 위해 제안된 기술은 리소그래피(lithography)를 이용하여 짐벌이나 서스펜션상에 배선을 제조하는 것이 제안되고 있다. 이 때문에, 이러한 배선과 자기 헤드에 설치되는 소자를 전기적으로 접속하는 간단한 기술이 요구된다.

또한 최근에는, 자기 디스크 구동 장치의 기록 밀도를 향상시키기 위해 자기 디스크(M)와 자기 헤드(1) 사이의 간극을 가능한 한 좁게 만드는 것이 필요하다. 이것은 자기 헤드(1)와 자기 디스크(M)가 접촉한 상태에서 기록 재생을 행하는 접촉 기록 기술의 개발을 가져왔다.

이러한 접촉 기록 기술의 한 방식으로는 슬라이더의 일부를 자기 디스크(M)에 접촉시키는 방식이 제안되고 있다(일본 특허 공보 평성 제7-307069호 참조). 이 방식에서는 자기 헤드의 일부에 부상 패드를 설치하고, 서스펜션으로부터의 가압력의 대부분을 부상력으로 부담하고, 나머지의 작은 힘은 접촉력으로 배분한다. 접촉력을 안정하게 유지하기 위해 상기 부상 패드에서 발생하는 부상력을 안정하게 유지할 필요가 있다.

그러나, 부상 패드의 자세가 짐벌과의 접착에 의해 어긋나므로 부상 헤드의 경우와 같은 문제가 생기게 된다.

따라서, 종래의 기록/재생 장치에 있어서, 자기 헤드와 서스펜션 사이의 접착에 의한 기계적 결합 구조에 기인하여, 환경 온도 변화에 따라 자기 헤드의 부상면에 변형이 생긴다. 이러한 변형은 부상량의 변동을 야기하는 문제를 발생한다.더욱이, 서스펜션이나 짐벌상에 리소그래피를 이용하여 배선을 제조할 경우에, 이들 배선과 자기 헤드상에 설치되는 기록/재생용 소자를 전기적으로 접속하는 간단한 기술도 요망되고 있다.

본 발명의 목적은 안정된 부상 특성 또는 접촉 특성을 실현할 수 있고, 자기 헤드와 서스펜션의 기계적 결합 및 전기적 결합을 용이하게 행할 수 있는 판독/기록 헤드 장치를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 자기 헤드의 부상 높이를 저감하고, 기록 밀도의 향상을 도모할 수 있는 판독/기록 헤드 장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 자기 디스크 구동 장치에 내장된 종래의 판독/기록 헤드 장치를 도시한 측면도.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치를 내장한 자기 디스크 구동 장치의 분해 사시도.

도 3은 도 2에 도시된 판독/기록 헤드 장치의 측면도.

도 4는 도 3의 B-B 라인을 따라 판독/기록 헤드 장치를 화살표 방향에서 본 측면도.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 측면도.

도 6은 도 5에 도시된 판독/기록 헤드 장치에 내장된 서스펜션을 도시한 사시도.

도 7은 도 6의 C-C 라인을 따라 절단하여 서스펜션을 화살표 방향에서 본 단면도.

도 8은 도 6의 D-D 라인을 따라 절단하여 서스펜션을 화살표 방향에서 본 단면도.

도 9는 도 5의 Dm-Dm 라인을 따라 절취한 단면을 도시하며, 판독/기록 헤드 장치의 서스펜션과 자기 헤드의 접속부의 결합 형태를 설명하는 도면.

도 10은 도 5의 Dm-Dm 라인을 따라 절취한 단면을 도시하며, 판독/기록 헤드 장치의 서스펜션과 자기 헤드의 접속부의 결합 형태의 이점을 설명하는 도면.

도 11은 자기 헤드와 서스펜션의 결합 공정의 순서를 설명한 플로차트.

도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 측면도.

도 13은 도 12에 도시된 판독/기록 헤드 장치에 내장된 서스펜션을 도시한 사시도.

도 14는 도 12의 Em-Em 라인을 따라 절취한 단면을 도시하며, 판독/기록 헤드 장치의 서스펜션과 자기 헤드의 접속부의 결합 형태를 설명하는 도면.

도 15는 자기 헤드와 서스펜션의 결합 공정의 순서를 설명하는 플로차트.

도 16은 본 발명의 제4 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 측면도.

도 17은 도 16의 F-F 라인을 따라 절단하여 판독/기록 헤드 장치를 화살표 방향에서 본 측면도.

도 18은 도 16에 도시된 판독/기록 헤드 장치의 변형된 예를 설명한 측면도.

도 19는 본 발명의 제5 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 측면도.

도 20은 도 19에 도시된 판독/기록 헤드 장치에 내장된 서스펜션을 도시하는 단면도.

도 21은 도 19의 G-G 라인을 따라 절취한 단면을 도시하며, 판독/기록 헤드 장치의 서스펜션과 자기 헤드의 접속부의 결합 형태를 설명하는 도면.

도 22는 자기 헤드와 서스펜션의 결합 공정의 순서를 설명하는 플로차트.

도 23은 본 발명의 제6 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치의 주요 부분을도시한 사시도.

도 24는 도 23에 도시된 주요부의 측면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

21 : 자기 디스크

22 : 스핀들 모터

23, 23a~23e : 자기 헤드

24, 24a~24e : 서스펜션

31 : 슬라이더

32 : 소자

33 : 돌출부

34a, 34b, 35a, 35b, 37a, 37b, 38a, 38b : 전극

36, 43, 61, 73 : 접합면

39 : 접착제

40 : 금속 볼

41a, 41b, 42a, 42b, 74a, 74b : 배선

44, 71 : 선단부

45 : 노치

46a, 46b, 46c, 46d, 72a, 72b : 돌출부

47a, 47b, 48a, 48b : 전극

50, 52 : 절연층

51, 53 : 오버레이층

55 : 금속 볼 범프

57 : 긴 슬롯

58a, 58b, 58c, 58d : 분리편

59 : 이방성의 전도성 접착제

60 : 절곡부

62a, 62b, 63a, 63b, 73a, 73b : 전극

76 : 도선

본 발명은 이러한 목적을 실현하기 위해, 기록 매체에 정보를 기록하고 이 기록 매체로부터 정보를 판독하는 헤드를 구비한 판독/기록 헤드 장치를 제공하며, 이 장치는 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 판독 및/또는 기록을 행하는 소자와, 상기 헤드의 상기 소자의 배치 영역에 대항하는 접합면에서 상기 헤드와의 기계적인 결합을 이루는 헤드 지지 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 장치는 접합면에서 상기 소자와의 전기적인 접속을 이루도록 상기 접합면으로부터 상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치된 배선을 추가로 포함한다.

본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 헤드는 기록 매체측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에서 상기 소자의 배치 영역 부근에 돌출부를 구비한다.

또한, 기록 매체에 정보를 기록하고 이 기록 매체로부터 정보를 판독하는 헤드를 구비한 판독/기록 헤드 장치를 제공하며, 이 장치는 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 판독 및/또는 기록을 행하는 소자와, 상기 헤드상에 설치되고 상기 소자에 전기적으로 접속된 제1 전극과, 상기 헤드의 상기 소자의 배치 영역에 대항하는 접합면에서 상기 헤드와의 기계적인 결합을 이루는 헤드 지지 부재와, 상기 헤드 지지 부재상에 설치되고 상기 제1 전극과 접속하도록 상기 제1 전극과 전기적으로 접속된 제2 전극과, 상기 접합면에서 상기 소자와의 전기적인 접속을 이루도록 상기 제2 전극으로부터 상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치된 배선을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 제1 전극은 상기 헤드의 후단부에 설치되고, 상기 헤드 지지 부재의 접합면은 절곡된 상태로 형성된다.

본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 헤드 지지 부재는 상기 제2 전극을 독립적으로 각각 탄성 지지하는 탄성 지지 기구를 구비한다.

또한, 본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 탄성 지지 기구는 상기 제2 전극을 각각 분리 배치하기 위해 접합면을 형성하고 있는 부분에 설치된 노치 또는 구멍에 의해 형성된다.

본 발명에 따른 상기 판독/기록 헤드 장치에서, 상기 헤드 지지 부재는 상기 헤드를 기록 매체상을 따르게 하기 위한 짐벌 기능을 갖는다.

또한, 본 발명은 기록 매체에 정보를 기록하고 이 기록 매체로부터 정보를 재생하는 헤드를 구비한 정보 기록 장치를 제공하며, 이 장치는 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 기록 및/또는 재생을 행하는 소자와, 상기 헤드의 상기 소자의 배치 영역에 대항하는 접합면에서 상기 헤드와의 기계적인 결합을 이루는 헤드 지지 부재와, 상기 헤드 지지 부재의 기단부에서 외팔보식으로 상기 헤드 지지 부재에 결합되어 상기 헤드를 기록 매체상으로 이동시키는 지지 아암을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 상기 정보 기록 장치에서, 상기 접합면에서 상기 소자와의 전기적인 접속을 이루도록 상기 접합면으로부터 상기 헤드 지지 부재를 따라 일체적으로 설치된 배선을 추가로 포함한다.

본 발명에 따른 상기 정보 기록 장치에서, 상기 헤드는 기록 매체측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에서 상기 소자의 배치 영역 부근에 돌출부를 구비한다.

또한, 본 발명은 기록 매체에 정보를 기록하고 이 기록 매체로부터 정보를 재생하는 헤드를 구비한 정보 기록 장치를 제공하며, 이 장치는 상기 헤드와 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 기록 및/또는 재생을 행하는 소자와, 상기 헤드상에 설치되고 상기 소자와의 전기적으로 접속된 제1 전극과, 상기 헤드의 상기 소자의 배치 영역에 대항하는 접합면에서 상기 헤드와의 기계적인 결합을 이루는 헤드 지지 부재와, 상기 헤드 지지 부재의 기단부에서 외팔보식으로 상기 헤드 지지 부재에 결합되어 상기 헤드를 기록 매체상으로 이동시키는 지지 아암과, 상기 헤드 지지 부재상에 설치되고 상기 제1 전극과 접속하도록 상기 제1 전극과 전기적으로 접속된 제2 전극과, 상기 접합면에서 상기 소자와의 전기적인 접속을 이루도록 상기 제2 전극으로부터 상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치된 배선을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시예는 도면을 참조하면서 설명된다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기 디스크 구동 장치를 내장한 판독/기록 헤드 장치를 도시하고 있다. 자기 디스크 구동 장치의 분해 사시도는 정보 기록 장치와 같은 종류의 예로서 설명한다. 본 발명은 여기서 예시하는 자기 디스크 구동 장치에만 한정하는 것이 아니고, 광 디스크 구동 장치와 같은 정보 기록 장치나 다른 판독/기록 헤드 장치도 적용될 수 있다.

도 2에서, 도면 부호21은 자기 디스크를 나타낸다. 이 자기 디스크(21)는 소정의 회전수로 회전하는 스핀들 모터(22)에 장착되어 있다. 자기 디스크(21)상에 부상 혹은 접촉한 상태로 정보의 판독/기록을 행하는 자기 헤드(23)는 헤드 지지 부재로서의 박판형의 서스펜션(24)의 선단부에 장착되어 있다. 이 서스펜션(24)의 기단측은 외팔보 형태의 액츄에이터 아암(25)의 일단에 접속되어 있다. 액츄에이터 아암(25)은 도시 생략된 구동 코일을 유지하는 보빈(bobbin)부 등을 갖는다. 이 액츄에이터 아암(25)의 타단에는 선형 모터의 일종인 보이스(voice) 코일 모터(26)가 설치되어 있다. 보이스 코일 모터(26)는 액츄에이터 아암(25)의 보빈부에 감겨진 도시 생략된 구동 코일과, 이들 사이에 구동 코일과 대항 배치된 영구자석 및 요크(yoke)를 포함한다. 영구 자석과 요크는 자기 회로로 구성된다. 액츄에이터 아암(25)은 고정축(27)의 상부 및 하부의 2지점에 설치된 도시 생략된 볼 베어링에 의해 지지되어, 보이스 코일 모터(26)에 의한 구동력에 의해 고정축(27)에 집중되는 요동을 행할 수 있게 된다.

자기 헤드(23)와 서스펜션(24)의 실시예는 도 3과 도 4에 도시된 것과 같이 구성되어 있다.

자기 헤드(23)는 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에 박막 형성 기술 등으로 제조되어 자기 디스크(M)상에서 정보의 기록 및 판독을 행하는 소자(32)로 구성되어 있다.

여기서는 기록 및 판독을 행하는 소자로서 MR(magneto-resistance) 소자를 이용할 경우에 관해서 설명한다. 소자(32)는 기록용 자극과 판독용 자극인 적어도 2개의 자극을 갖는다. 이들 자극은 자기 디스크(M)측에 위치하도록 제조되어 있다. 자기 헤드(23)의 자기 디스크(M)측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에서, 소자(32)가 형성되어 있는 영역의 부근에는 서스펜션(24)을 향해서 국부적으로 돌출한 돌출부(33)가 형성되어 있다. 또한, 소자(32)의 단면, 즉 자기 헤드(23)의 후단면에서 돌출부(33)가 형성되어 있는 부분의 가까운 위치에는, 외부와의 신호의 교환을 위해 제공되는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)이 노출 상태로 전술한 자극 1개에 대해 2개의 비율로 설치되어 있다.

서스펜션(24)은 짐벌 기능을 발휘하도록 구성되어 있다. 서스펜션(24)의 선단부에서, 돌출부(33)와 소자(32)의 배치 영역에 대향하는 면에는 접합면(36)이 제공된다. 서스펜션(24)의 접합면(36)이 제공되어 있는 면에는 리소그래피 기술에 의해 4개의 도시 생략된 배선이 절연 피복된 상태로 형성되어 있다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 접합면(36)에는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)에 대해 90°의 개방각으로 전극(37a, 37b, 38a, 38b)이 노출 상태로, 또 배선과 접속 상태로 설치되어 있다. 배선의 타단측은 서스펜션(24)에 표면을 따라 서스펜션(24)의 기단측으로 유도된다.

이와 같이 형성된 서스펜션(24)에 대해 자기 헤드(23)는 기계적 및 전기적으로 접속되어 있다. 즉, 자기 헤드(23)에 설치된 돌출부(33)의 상부면은 접착제(39)에 의해 서스펜션(24)에 제공된 접합면(36)에 고정된다. 또한, 자기 헤드(23)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과, 서스펜션(24)의 접합면(36)에 설치된 전극(37a, 37b, 38a, 38b)의 대응하는 것은 금속 볼(40)을 사용하여 초음파 결합에 의해 접속되어 있다.

이와 같이 상기 실시예에 따르면, 자기 헤드(23)와 헤드 지지 부재인 서스펜션(24)과의 기계적인 결합 부분을 자기 헤드(23)에서의 소자(32)의 배치 영역 또는 그 부근의 극히 좁은 범위로 한정하고 있다. 이 때문에, 구성 재료의 열 팽창 계수의 차이에 의한 부상면의 곡률의 변동도 극히 좁은 부분으로 한정되고, 그 이외의 부분은 환경 온도가 변화하여도 곡률 변화는 생기지 않는다. 따라서, 환경 온도의 변화에 의한 헤드의 부상면의 곡률의 변동을 방지할 수 있게 되고, 헤드의 저부상화 및 기록 밀도의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 자기 헤드(23)는 슬라이더(31)의 단부에서만 서스펜션(24)에 접착 고정된다. 이와 같이 자기 헤드(23)의 일단부에서만 고정되기 때문에, 자기 헤드(23)는 서스펜션(24)에 대해 피벗할 수 있고, 또 불균일한 열 팽창 또는 수축 문제를 줄일 수 있다. 따라서, 고정 위치가 슬라이더(31)의 중앙부에 설정되어 있는 경우와 비교하면, 예컨대 전체 슬라이더가 볼록하게 변형한 경우에서의 주변부와 정점과의 높이의 차이는 현저히 작게 할 수 있으며, 헤드 부상량 변화라는 관점에서는 거의 영향을 받지 않는다.

또한, 자기 헤드(23)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)에 대해 90°의 개방각을 이루는 서스펜션(24)측에도 전극(37a, 37b, 38a, 38b)을 설치하고 있기 때문에 대응하는 전극끼리를 용이하게 접속할 수 있다. 따라서, 서스펜션(24)측에 리소그래피 기술로 배선을 설치한 것에 의한 이점을 최대로 발휘시킬 수 있다.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 판독/기록 헤드 장치를 도시한다. 이 실시예에서, 상기 판독/기록 헤드 장치는 정보 기록/재생 장치의 자기 디스크 구동 장치에 적용된다.

이 판독/기록 헤드 장치도 크게 나누면, 자기 헤드(23a)와, 선단부에서 자기 헤드(23a)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24a)으로 구성되어 있다. 이는 이전의 실시예와 동일하다.

자기 헤드(23a)는 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에 박막 형성 기술 등으로 형성되어 자기 디스크상에서 정보의 판독과 기록을 행하는 소자(32)로 구성되어 있다. 소자(32)는 기록용 자극과 판독용 자극인 적어도 2개의 자극을 갖는다. 이들 자극은 자기 디스크측에 위치하도록 제조되어 있다. 이 실시예에 따른 자기 헤드(23a)에서는, 도 9에 도시된 바와 같이, 소자(32)의 자기 디스크측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에 외부와의 신호의 교환을 위해 제공되는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)이 노출 상태로 전술한 자극 1개에 대해 2개의 비율로 설치되어 있다.

서스펜션(24a)은 스프링성이 있는 고강도 재료, 예컨대 스프링용 스테인레스강이나 이 청동 등으로 형성되어 있고, 구체적으로는 도 6에서 도시된 바와 같이 형성되어 있다. 특히, 서스펜션(24a)의 이면에는 자기 헤드(23a)와 판독/기록 증폭기에 신호를 전송하기 위한 4개의 배선(41a, 41b, 42a, 42b)이 설치된다. 상기 배선(41a, 41b, 42a, 42b)은 구리로 형성되어 있다. 또한, 서스펜션(24a)의 선단부 이면에는 접합면(43)이 설정되어 있다. 또한, 접합면(43)에 형성된 선단부(44)에서, 서스펜션(24a)의 길이 방향으로 연장되는 노치(45)가 폭방향으로 3개가 형성되어 있다. 선단부(44)는 상기 노치(45)에 의해 4개의 탄력 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)로 분할되어 있다.

각 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 이면에는 대응하는 배선(41a, 41b, 42a, 42b)에 접속되는 동시에 자기 헤드(23a)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과의 전기적 접속을 돕는 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 노출 상태로 설치된다.

도 7에 도시된 바와 같이, 배선(41a, 41b, 42a, 42b)은 서스펜션(24a)의 이면에 설치된 절연층(50)상에 형성되고, 또한 그 위에서 형성된 절연성의 오버레이층(51)에 의해 보호되어 있다. 또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 전극(47a, 47b, 48a, 48b)은 각 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 이면에 설치된 절연층(52)상에 형성되고, 그 주위가 벗겨지는 것을 방지하기 위해 절연성의 오버레이층(53)으로 둘러싸여 있다. 또한, 노출되어 있는 표면은 물질 특성의 변경을 방지하기 위해 도금층(54)에 의해 보호된다. 절연층(50, 52)과 오버레이층(51, 53)으로서는 예컨대,에폭시 수지나 폴리아미드 수지와 같은 유기 절연 물질이 이용되고, 도금층(54)으로서는 니켈과 금이 이용된다.

이와 같이 형성된 서스펜션(24a)에 대하여 자기 헤드(23a)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속되어 있다. 즉, 서스펜션(24a)의 각 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)에 형성된 각 전극(47a, 47b, 48a, 48b)상에 금속 볼 범프(55)를 형성하고, 이 금속 볼 범프(55)상의 자기 헤드(23a)상에 형성된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 압접한다. 그 상태에서, 각 돌출부의 표면에 초음파 장치로 초음파를 동작시키고, 이것에 의해 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 초음파 결합하는 것으로 되어 있다.

도 11은 금속 볼 범프를 사용하여 초음파 결합 기술에 의해 서스펜션(24a)과 자기 헤드(23a)를 접속할 경우의 공정 순서를 설명한 플로차트이다.

우선, 서스펜션(24a)상의 전극(47a, 47b, 48a, 48b)상에 금속 볼 범프(55)를 각각 도선 결합 방법에 의해 형성한다. 다음에, 서스펜션(24a)상의 범프 부분과 자기 헤드(23a)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 서로 대향하도록 배치하고, 위치를 결정한 후에 가압한다. 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 표면측에 배치된 초음파 처리 장치에 의해 금속 볼 범프(55)와 자기 헤드(23a)의 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과의 접속 영역에 초음파를 인가함으로써 양자를 접속한다.

이 경우에는, 독립하여 탄성 변형 가능한 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)에 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 설치된다. 그 결과, 금속 볼 범프(55)의 크기에 격차가 있는 경우라도, 도 10에 도시된 바와 같이, 각 돌출부를 변형시킴으로써 각 접속영역에 가장 적합한 가압력을 인가한 상태에서 초음파 결합을 실행할 수 있으며, 신뢰성 높은 접속을 행할 수 있다.

다음에, 접속부에 액상 수지(56)를 적하하여, 서스펜션(24a)과 자기 헤드(23a)와의 기계적 결합 강도를 증가시킨다(도 5참조). 이 경우, 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)를 형성하기 위해 설치한 노치(45)의 존재에 의해, 액상 수지가 서스펜션(24a)과 자기 헤드(23a)의 접속 부분에 적절히 스며들 수 있다. 액상 수지에 의한 소정의 보강을 실현할 수 있다. 판독/기록 헤드 장치의 사용 조건에 따라, 액상 수지에 의한 보강 및 밀봉을 생략할 수 있다.

이 실시예에 있어서도, 서스펜션(24a)에 고착된 자기 헤드(23b)의 고정 위치는 슬라이더(31)의 단부에만 설정되어 있다. 따라서, 슬라이더 전체가 볼록하게 변형한 경우에도, 주변부와 정점부의 높이의 차를 작게 할 수 있게 되어, 헤드의 부상 높이의 변동에 거의 영향이 존재하지 않게 된다.

또한, 이 실시예에서는, 독립적으로 탄성 변형 가능한 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)상에 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 설치되어 있다. 따라서, 자기 헤드(23a)와 서스펜션(24a)을 금속 볼 범프(55)를 이용한 초음파 결합 기술로 접속한 경우, 금속 볼 범프(55)의 크기에 격차가 있어도, 이 크기의 변화를 돌출부의 높이의 변화로 흡수할 수 있다. 이것은 안정된 접속을 실현할 수 있다.

도 12 내지 도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 헤드 장치를 도시한다.

이 헤드 장치도, 크게 나누면 자기 헤드(23b)와, 선단부에서 자기 헤드(23b)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24b)으로 구성되어 있다.

자기 헤드(23b)는 상기 설명한 제2 실시예의 자기 헤드와 완전히 동일한 구조로 형성되어 있다. 따라서, 동일한 부분은 동일한 참조 부호로 나타내고, 중복되는 부분의 상세한 설명은 생략한다.

이 실시예에 따른 자기 헤드 장치가 이전에 설명한 제2 실시예에 따른 자기 헤드 장치와의 다른 점은 서스펜션(24b)에서 접합면(43)을 형성하고 있는 선단부(44)의 형상에 있다.

상기 제2 실시예에 따른 자기 헤드 장치에서는, 선단부(44)에 3개의 노치를 형성하고, 이 노치에 4개의 독립한 돌출부가 구비되어 있으며, 이들 돌출부에 각각 전극이 설치되어 있다. 그러나, 상기 제3 실시예에서는 노치 대신 긴 슬롯(57)을 3개 설치하여 이 긴 슬롯(57)의 존재로 실질적으로 탄성 변형 가능하게 분리된 4개의 분리편(58a, 58b, 58c, 58d)을 설치하고, 이들 분리편(58a, 58b, 58c, 58d)의 이면에 제2 실시예와 동일하게 구성된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 설치되어 있다.

이와 같이 형성된 서스펜션(24b)에 대하여 자기 헤드(23b)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속된다. 즉, 서스펜션(24b)의 분리편(58a, 58b, 58c, 58d)상에 형성된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)에, 도 14에 도시된 바와 같이, 금속 볼 범프(55)를 형성한다. 이들 금속 볼 범프(55)상에 이방성의 전도성 접착제(59)를 도포하여, 그 위에 자기 헤드(23b)에 형성된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 압접한다. 이 상태에서, 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 전극(34a, 34b, 35a, 35b)은 가압 및 가열에 의해 접속하게 된다.

도 15는 금속 볼 범프(55)와 이방성의 전도성 접착제(59)를 이용한 결합 기술에 의해 서스펜션(24b)과 자기 헤드(23b)의 결합 공정의 순서를 설명하는 플로차트이다.

우선, 서스펜션(24b)에 설치된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)상에, 금속 볼 범프(55)를 도선 결합 방법으로 형성된다. 다음에, 서스펜션(24b)상에 형성된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 자기 헤드(23b)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 대향시켜서, 그 부분에 이방성의 전도성 접착제(59)를 도포한 후에 위치를 결정한다. 다음에, 가압 및 가열함으로써 자기 헤드(23b)의 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과 금속 볼 범프(55)를 접속한다.

이 경우, 전극(47a, 47b, 48a, 48b)은 독립적으로 탄성 변형 가능한 분리편(58a, 58b, 58c, 58d)상에 설치된다. 따라서, 금속 볼 범프(55)의 크기에 격차가 있는 경우라도, 도 14에 도시된 바와 같이, 각 분리편의 탄성을 변형시킴으로써 각 접속 영역에 균일한 가압력을 인가한 상태에서 결합을 실행할 수 있다. 이로 인해, 신뢰성이 높은 접속을 행할 수 있다. 더욱이, 긴 슬롯(57)의 존재에 의해 이방성의 전도성 접착제의 접착 면적이 증대하기 때문에, 더욱 양호한 결합 강도를 얻을 수 있다.

따라서, 이 실시예에 관한 헤드 장치에 있어서도, 전술한 제2 실시 형태에 관한 헤드 장치와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

도 16은 본 발명의 제4 실시예에 따른 헤드 장치를 도시한다.

이 헤드 장치도, 크게 나누면, 자기 헤드(23c)와, 선단부에서 자기 헤드(23c)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24c)으로 구성되어 있다.

자기 헤드(23b)는 이전에 설명한 제2 및 제3 실시예에서의 자기 헤드와 동일하게, 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에 박막 형성 기술 등으로 제조되어 자기 디스크상에서 정보의 판독/기록을 행하는 소자(32)를 포함한다. 소자(32)는 기록용 자극과 판독용 자극을 가지며, 이들 자극이 자기 디스크측에 위치하도록 제조되어 있다. 자기 헤드(23c)는 후단면에서 외부와의 신호의 교환을 행하는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)[다만, 전극(34b, 35a, 35b)은 도시되지 않음)]이 노출 상태로 전술한 자극 1개에 대하여 2개의 비율로 설치된다.

서스펜션(24c)은 짐벌의 기능을 발휘하도록 구성되어 있고, 선단부에 90°로 절곡된 절곡부(60)를 구비한다. 그리고, 이 절곡부(60)의 내면에 접합면(61)이 설정되어 있다. 서스펜션(24c)의 접합면(61)이 설정되어 있는 측의 면에는 도시 생략된 4개의 배선이 리소그래피 기술에 의해 절연 피복된 상태로 형성되어 있다. 또한, 도 17에 도시된 바와 같이, 접합면(61)에는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과 대항하는 관계의 전극(62a, 62b, 63a, 63b)이 노출 상태로, 또한 배선과 접속 상태로 설치된다. 또, 배선의 타단측은 서스펜션(24c)의 이면을 따라서 서스펜션(24c)의 기단측으로 유도된다.

이와 같이 형성된 서스펜션(24c)에 대하여 자기 헤드(23c)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속되어 있다. 즉, 절곡부(60)에 설치된 전극(62a, 62b, 63a, 63b)과 자기 헤드(23c)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)중 어느 하나에 반구형의 전도성 범프(64)가 설치되어 있다. 절곡부(60)와 자기 헤드(23c)는 전도성의 범프(64)에 의해 소정의 간격을 유지한다. 이 간격은 접착제(65)에 의해 충전되어 있다. 이 접착제(65)에는 미세한 금속 가루가 함유되어 있고, 전도성 범프(64)의 반구형의 부분이 그것과 대향하는 전극과 접촉하고 있는 부근에서 도통한다. 따라서, 접착제(65)는 복수의 전극에 걸쳐서 도포되어 있지만, 도통은 대향하는 전극간에서만 확보되어, 그 이외의 조합에 관해서는 실질적으로 절연되어 있다.

접착제(65)는 전기적인 결합과 동시에 자기 헤드(23c)와 서스펜션(24c)에서 이 절곡부(60)를 기계적 결합하는 역할도 해내고 있다.

따라서, 자기 헤드(23c)와 서스펜션(24c)은 자기 헤드(23c)에서의 소자 형성면에만 결합되고, 자기 헤드(23c)의 부상면의 이면측을 접착면으로서 이용하지 않는다. 이것은 환경 온도의 변화에 의한 부상면의 곡률 변동을 방지하는 것이 가능해져서 저부상화 및 기록 밀도의 향상을 실현할 수 있다. 또, 자기 헤드(23c)는 이 자기 헤드(23c)를 자기 디스크에 누르는 힘을 동작시키기 위해서, 통상 자기 헤드(23c)의 부상면의 이면측에 힘을 가할 필요가 있다. 상기한 설명에서와 같이 서스펜션(24c)이 자기 헤드(23c)의 후단부에 결합하는 구성으로, 조립시에 서스펜션(24c)에 초기 변형을 부여하고, 누르는 압력(66)과 함께 적당한 초기 모멘트(67)가 발생하도록 함으로써 실질적인 하중 작용 위치(68)를 자기 헤드의 위치로 설정할 수 있다.

본 발명의 제5 실시예에 따른 헤드 장치는 도 19에 도시된다.

이 헤드 장치도, 크게 나누면, 자기 헤드(23d)와, 선단부에 자기 헤드(23d)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24d)으로 구성되어 있다.

자기 헤드(23d)는 이전에 설명한 제4 실시예에서의 자기 헤드와 같이, 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에서 박막 형성 기술 등으로 제조되어 자기 디스크상에서 정보의 판독과 기록을 행하는 소자(32)로 구성되어 있다. 소자(32)는 기록용 자극과 판독용 자극을 가지며, 이들 자극은 자기 디스크측에 위치하도록 제조된다. 자기 헤드(23d)의 후단면에서, 전술한 바와 같이 외부와의 신호 교환을 돕는 전극(34a, 34b, 35a, 35b)(도 21 참조)이 노출된 상태로 자극 1개에 대해 2개의 비율로 설치된다.

서스펜션(24d)은 스프링성이 있는 고강도 재료, 예컨대 스프링용 스테인레스강이나 이 청동 등으로 형성되어 있다. 기본적으로, 서스펜션(24d)은 도 6에 나타낸 것과 도 16에 나타낸 것을 조합시킨 형상으로 형성되어 있다. 도 6과 동일한 부분은 동일한 참조 부호로 표시하고, 중복되는 부분의 상세한 설명은 생략한다.

도 20에 도시된 것과 같이, 서스펜션(24d)의 선단부의 이면에는 접합면(43)이 설정되어 있다. 또한, 이 접합면(43)이 형성된 선단부에는 서스펜션(24d)의 길이 방향으로 연장된 노치(45)가 폭 방향으로 3개 형성되어 있고, 이들 노치(45)에 의해 선단부(44)가 탄성 변형 가능한 4개의 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)로 분할된다. 이 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)는 각각 90°로 절곡되어 있다.

돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 이면에는 대응하는 배선(41a, 41b, 42a, 42b)에 접속하는 동시에 자기 헤드(23a)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)과의 전기적 접속에 이바지하는 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 노출 상태로 설치된다.

이와 같이 형성된 서스펜션(24d)에 대하여 자기 헤드(23d)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속되어 있다. 즉, 이 실시예에서는 제1 실시예와 같이 서스펜션(24d)에 설치된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 자기 헤드(23d)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)은 도 21에 도시된 것과 같이 금속 볼 범프(55)에 의한 초음파 결합에 의해서 접속되어 있다.

도 22에는 금속 볼 범프를 사용한 초음파 결합 기술에 의해 서스펜션(24d)과 자기 헤드(23d)를 접속할 경우의 플로차트가 표시되어 있다.

우선, 자기 헤드(23d)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)상에, 금속 볼 범프(55)를 도선 결합법에 의해 형성한다. 다음에, 서스펜션(24d)에 설치된 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과 자기 헤드(23d)에 설치된 전극(34a, 34b, 35a, 35b)을 대향하여 위치를 결정한 후에 가압한다. 각 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)의 배면측에 개별적으로 배치된 초음파 장치에 의해서 금속 볼 범프(55)와 전극(47a, 47b, 48a, 48b)과의 접속 부분에 초음파를 인가함으로써 양쪽을 접속한다.

이 경우, 독립적으로 탄성 변형 가능한 돌출부(46a, 46b, 46c, 46d)상에 전극(47a, 47b, 48a, 48b)이 설치된다. 그 결과, 금속 볼 범프(55)의 크기에 격차가 있는 경우라도, 각 돌출부의 탄성을 변형시킴으로써 각 접속부에 균일한 가압력을 인가한 상태로 초음파 결합을 행할 수 있게 되어, 신뢰성이 높은 접속을 행할 수 있다.

또한, 이 실시예에서, 자기 헤드(23d)에서의 서스펜션(24d)으로의 고정부를 자기 헤드(23d)의 단부만으로 하고 있기 때문에, 환경 온도의 변화에 의한 부상면의 곡률 변동을 막는 것이 가능해지고, 저부상화 및 기록 밀도의 향상을 실현할 수있다.

도 23과 도 24에는 본 발명의 제6 실시예에 따른 헤드 장치가 도시되어 있다.

이 헤드 장치도, 크게 나누면, 자기 헤드(23e)와, 선단부에서 자기 헤드(23e)를 지지하는 헤드 지지 부재로서의 서스펜션(24e)으로 구성되어 있다.

자기 헤드(23e)는 이전에 설명한 제5 실시예에의 자기 헤드와 같이, 슬라이더(31)와, 이 슬라이더(31)의 후단면에 박막 형성 기술에 의해 제조되어, 자기 디스크상에서 정보의 판독 및 기록을 행하는 소자(32)로 구성되어 있다. 또, 소자(32)는 판독과 기록을 행하는 1개의 자극을 갖고 자기 디스크측에 위치하도록 제조된다. 그리고, 자기 헤드(23a)는 후단면에서 외부와의 신호 교환을 돕는 전극(34a, 34b)이 노출 상태로 설치된다.

서스펜션(24e)은 스프링성이 있는 고강도 재료, 예컨대 스프링용 스테인레스강이나 인청동 등으로 형성되어 있다. 기본적으로 도 6에 나타낸 것과 도 20에 나타낸 것을 조합시킨 형상으로 형성되어 있다.

즉, 서스펜션(24e)의 선단부(71)는 90°로 절곡되어 있고, 이 선단부(71)에는 전술한 전극(34a, 34b)보다 넓은 간격으로 돌출부(72a, 72b)가 형성되어 있다. 그리고, 선단부(71)의 이면에는 접합면(73)이 설정되어 있다. 돌출부(72a, 72b)의 표면에는 전술한 각 예와 동일하게 전극(73a, 73b)이 설치되어 있고, 이들 전극(73a, 73b)은 서스펜션(24e)의 표면에 전술한 각 예와 동일하게 설치된 배선(74a, 74b)에 접속되어 있다.

이와 같이 형성된 서스펜션(24e)에 대하여 자기 헤드(23e)는 다음과 같이 전기적 및 기계적으로 접속되어 있다. 즉, 자기 헤드(23e)는 자기 헤드의 후단면의 전극(34a, 34b)을 피한 위치에 있어서, 접착제(75)로 돌출부(72a, 72b)의 이면에 고정되어 있다. 자기 헤드(23e)에 설치된 전극(34a, 34b)은 도선(76)을 통해 서스펜션(24e)에 설치된 전극(73a, 73b)에 접속되어 있다.

따라서, 상기한 구성에 의하면, 자기 헤드(23e)와 서스펜션(24e)은 자기 헤드(23e)에서의 소자 형성면만에서 결합되기 때문에, 환경 온도의 변화에 의한 부상면의 곡률 변동을 막는 것이 가능해지고, 저부상화 및 기록 밀도 향상을 실현할 수 있게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 환경 온도의 변화에 의한 부상면의 곡률 변동을 막을 수 있으며, 저부상화 및 기록 밀도의 향상에 기여할 수 있다. 또한, 서스펜션에 설치된 배선과 헤드와의 전기적 접속의 용이화 및 접속 부분의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Claims (14)

1. 기록 매체로부터 정보를 판독하고 이 기록 매체에 정보를 기록하는 판독/기록 헤드 장치에 있어서,

   슬라이더와, 이 슬라이더에 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 판독 및/또는 기록을 행하는 소자를 구비하는 헤드와,

   상기 헤드의 일단부에서만 상기 헤드에 기계적으로 결합된 헤드 지지 부재와,

   상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치되고 상기 소자에 전기적으로 접속된 배선을 포함하며,

   상기 지지 부재는 상기 소자의 표면에서만 상기 헤드에 결합되는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 헤드는 기록 매체측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에서 상기 소자의 배치 영역 부근에 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
3. 기록 매체로부터 정보를 판독하고 이 기록 매체에 정보를 기록하는 판독/기록 헤드 장치에 있어서,

   슬라이더와, 이 슬라이더에 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 판독 및/또는 기록을 행하는 소자를 구비하는 헤드와,

   상기 헤드상에 설치되고 상기 소자에 전기적으로 접속된 제1 전극과,

   상기 소자의 표면에서만 상기 헤드에 기계적으로 결합된 헤드 지지 부재와,

   상기 헤드 지지 부재상에 설치되고 상기 제1 전극에 전기적으로 접속된 제2 전극과,

   상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치되고 상기 소자에 전기적으로 접속된 배선을 포함하는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 제1 전극은 상기 헤드의 후단부에 설치되고, 상기 헤드 지지 부재는 절곡부를 포함하는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
5. 제3항에 있어서, 상기 헤드 지지 부재는 상기 제2 전극을 독립적으로 탄성 지지하는 탄성 지지 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 탄성 지지 기구는 노치와 구멍 중 어느 하나로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
7. 제3항에 있어서, 상기 헤드 지지 부재는 상기 헤드를 기록 매체상을 따르게 하기 위한 짐벌 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
8. 기록 매체로부터 정보를 판독하고 이 기록 매체에 정보를 기록하는 정보 기록 장치에 있어서,

   슬라이더와, 이 슬라이더에 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 판독 및/또는 재생을 행하는 소자를 구비하는 헤드와,

   상기 소자에 대향하는 표면에서 상기 헤드에 기계적으로 결합된 헤드 지지 부재와,

   상기 헤드 지지 부재에 접속되어 상기 헤드를 상기 기록 매체상으로 이동시키는 지지 아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치되고 상기 소자에 전기적으로 접속된 배선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 헤드는 기록 매체측에 위치하는 면과는 반대측에 위치하는 면에서 상기 소자의 배치 영역 부근에 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 장치.
11. 기록 매체상에서 정보를 기록 재생하는 정보 기록 장치에 있어서,

    슬라이더와, 이 슬라이더에 결합되어 상기 기록 매체상에서 정보의 판독 및/또는 기록을 행하는 소자를 구비하는 헤드와,

    상기 헤드상에 설치되고 상기 소자에 전기적으로 접속된 제1 전극과,

    상기 소자의 표면에서만 상기 헤드에 기계적으로 결합된 헤드 지지 부재와,

    상기 헤드 지지 부재에 접속되어 상기 헤드를 상기 기록 매체상으로 이동시키는 지지 아암과,

    상기 헤드 지지 부재상에 설치되고 상기 제1 전극에 전기적으로 접속된 제2 전극과,

    상기 헤드 지지 부재와 일체적으로 설치되고 상기 소자에 전기적으로 접속된 배선을 포함하는 것을 특징으로 정보 기록 장치.
12. 제1 단부 및 제2 단부를 구비한 헤드와,

    상기 헤드의 제1 단부에 있는 정보의 판독 및/또는 기록을 행하는 소자와,

    상기 헤드의 제1 단부에서만 상기 헤드에 접속된 헤드 지지부를 포함하며, 상기 헤드가 상기 헤드 지지부에 대해 이동하는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 헤드 지지부와 상기 소자와의 사이에 접속된 배선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.
14. 제13항에 있어서, 상기 배선은 4개의 금속 볼을 포함하는 것을 특징으로 하는 판독/기록 헤드 장치.

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