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JPH01254877A - Lsiテスタ - Google Patents

Lsiテスタ

Info

Publication number
JPH01254877A
JPH01254877A JP63083675A JP8367588A JPH01254877A JP H01254877 A JPH01254877 A JP H01254877A JP 63083675 A JP63083675 A JP 63083675A JP 8367588 A JP8367588 A JP 8367588A JP H01254877 A JPH01254877 A JP H01254877A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
output
address
input
comparison
data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63083675A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Sakurai
健 桜井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
PFU Ltd
Original Assignee
PFU Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by PFU Ltd filed Critical PFU Ltd
Priority to JP63083675A priority Critical patent/JPH01254877A/ja
Publication of JPH01254877A publication Critical patent/JPH01254877A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
〔概要〕 出力遅延時間の測定を行い得るLSIテスタの改良に関
し、 LSIの出力遅延時間の測定において、測定データの信
憑性を高めること及び測定時間を短縮させることを目的
とし、 パターン・データ格納部から読み出された入力データを
被試験装置に与え、被試験装置からの出力データをパタ
ーン・データ格納部から読み出された期待値データと比
較する形式のLSIテスタにおいて、パターン・データ
格納部の読出アドレスが予め定められたアドレスと一致
する場合には、目標とする出力データと期待値データと
の比較判定を行い、パターン・データ格納部の読出アド
レスが予め定められたアドレスと一致しない場合には、
目標とする出力データと期待値データとの比較判定を行
わず、その他の出力データについて期待値データとの比
較判定を行うようにしたものである。 〔産業上の利用分野〕 本発明は、出力遅延時間の測定を行い得るLSIテスタ
の改良に関するものである。 〔従来の技術〕 第5図は従来のテスタの構成を示すブロック図である。 同図において、1はテスト・プロセッサ、2はパターン
・アドレス発生部、3はパターン発生制御データ格納部
、4はパターン・データ格納部、5はタイミング発生部
、6は波形整形部、7は被試験装置、8は出力比較判定
部、10は比較イネーブル信号発生部、11はCP E
 (Comparat。 r Enable)データ格納部、12はアドレス一致
検出部、13はAND回路、20はCPEウィンドウ・
アドレス格納部をそれぞれ示している。 テストを実行する際、テスト・プロセッサlは、測定命
令を発行する。測定命令とは、 (1)測定に関係するテスタ内ユニットの電源オン(2
)測定の開始 (3)測定結果のPa5s/Failの表示を行う一連
の命令を意味している。プログラム上に記述された測定
命令を実行する際に、パターン・アドレス発生部2は、
テスト・プロセッサ1より起動信号を受は取り、パター
ン・アドレス発生部2の中のスタート・アドレス・レジ
スタ及びストップ・アドレス・レジスタ内に予めプログ
ラム上で設定されていたスタート・アドレスからストッ
プ・アドレス迄を順番にパターン発生制御データ格納部
3に対して発行する。パターン発生制御データ格納部3
及びパターン・データ格納部4のデータは、アドレス方
向に両者が1対1で対応する形で格納されており、成る
パターン・アドレスに対するパターン・データ格納部4
内のパターン・データはそれに対応するパターン発生制
御データ格納部3内のパターン制御データに基づいて出
力される。パターン・データ格納部4の各番地には、入
力データ11ないしI、及び期待値データ(11ないし
o7が格納されている(第7図参照)。 パターン・データ格納部4から読み出された入力データ
11ないし1.は波形整形部6によって波形整形され、
波形整形された入力データ
【1ないしI、が被試験装置
7に入力される。パターン・データ格納部4から読み出
された期待値データ0、ないし07は出力比較判定部8
に与えられる。 タイミング発生部5は、波形整形部6に与える入力タイ
ミングと、出力比較判定部8に与える出力タイミングを
発生する。入力タイミングは各入力データ毎に存在し、
出力タイミングは各出力データ毎に存在する。入力タイ
ミングの発生位置は可変であり、出力タイミングの発生
位置も可変である。出力比較判定部8は、被試験装置7
の出力と対応する期待値データとを比較し、一致してお
ればPa5sを、不一致であればFailを出力する。 比較イネーブル信号発生部10は、CPEデータ格納部
11、アドレス一致検出部12およびAND回路13な
どを有している。CPEデータ格納部11の各番地には
、CPEデータが格納されている。 CPEアドレスとパターン・アドレスの関係は第8図に
示される。CPEデータは、nビット構成のものであり
、各ビットが各期待値データに対応している。例えば、
被試験装置7の第j番目の出力と期待値データOjとの
比較を行わない場合にはCPEデータの第j番目のビッ
トは「0」とされ、被試験装置7の第j番目の出力と期
待値データOj との比較を行う場合にはCPEデータ
の第j番目のビットは「1」とされる。アドレス−敗検
出部12は、読出パターン・アドレスとCPEウィンド
ウ・アドレス格納部20から出力されるアドレスとを比
較し、両者が一致した場合には「1」を出力し、両者が
不一致の場合には「0」を出力する。図にはAND回路
13は1個しか示されていないが、AND回路13は各
期待値データ毎に存在する。例えば、期待値データOj
に対応するAND回路13から「1」が出力された時に
は、出力比較判定部8は被試験装置7から出力された第
j番目の出力と第j番目の期待値データ0、との比較を
行う。なお、第5図はアトパンテスト社製のT 320
/23と呼ばれるLSIテスタの構成を示すものである
。 LSIテスタ上で出力遅延時間を測定する際には、第6
図に示すように、テスト・パターンをスタート・サイク
ルから、着目の入力信号及び出力信号が測定しようとし
ている成る状態(第6図の例では入力■、のH→Lに対
する出力OjのL→H)を引き起こす測定サイクルまで
走らせ、その度に位置設定が行われた出力Oj用のスト
ローブにより、期待値Hとの比較を行い、その結果がF
aNからPa5sに切り換わる時刻と入力I、の状態変
化時刻の差を遅延時間値t6として得ている。 〔発明が解決しようとする課I) 遅延時間値む、を求めるに当たっては、第5図のLSI
テスタのCPEウィンドウ機能を用いるが、このモード
の機能では、第7図に示すように斜線部のみの比較しか
行えないため、スタート・サイクルから測定サイクルに
到るまでの期間内において果して被試験装置が正常動作
を行ってきた結果、測定サイクルの所望の状態変化に到
達したのかどうか不明であるので、測定データの信憑性
が損なわれていた。 本発明は、この点に鑑みて創作されたものであって、L
SIの出力遅延時間値の測定において、測定データの信
憑性を高めること及び測定時間を短縮させることを目的
としている。 〔課題を解決するための手段〕 第1図は本発明の原理図である。本発明のLSIテスタ
は、mビットの入力印加パターンとnビットの出力期待
値パターンが各番地に予め記入されているパターン・デ
ータ格納部4と、パターン・データ格納部4から読み出
されたmビットの入力印加パターンを波形整形し波形整
形されたmビットの入力印加パターンを入力信号として
被試験装置7に与える波形整形部6と、被試験装置7か
らの出力信号とnビットの出力期待値パターンとの比較
判定を行う出力比較判定部8と、波形整形部6に入力タ
イミングを与えると共に出力比較判定部8に出力タイミ
ングを与えるタイミング発生部5と、nビットの比較イ
ネーブル・データが各番地に予め記入されている比較イ
ネーブル・データ格納部11と、パターン・データ格納
部4に対する読出アドレスと予め定められたアドレスと
の一致/不一致を検出するアドレス一致検出部12と、
nビットのマスク・データが予め記入されている比較イ
ネーブル・マスク・データ格納部14と、n個のトライ
ステート・ゲート15と、n個の論理積手段13と、n
個の論理積手段13の出力を比較判定イネーブル信号と
して出力比較判定部8に与える信号線群Sとを具備して
いる。 第i番目(但し、i=1.2、…、n)のトライステー
ト・ゲート15の入力には、比較イネーブル・マスク・
データ格納部14から読み出されたマスク・データの第
i番目のビットが入力され、トライステート・ゲート1
5の制御端子にはアドレス一致検出部12の出力が印加
される。第i番目の論理積手段13の一方の入力端子に
は、比較イネーブル・データ格納部11から読み出され
た比較イネーブル・データの第i番目のビットが入力さ
れ、第i番目の論理積手段13の他方の入力端子には、
第i番目のトライステート・ゲート15の出力が入力さ
れている。 〔実施例〕 第2図は本発明の1実施例のブロック図である。 同図において、14は出力OJのCPEマスク・データ
格納部、15はトライステート・ゲート回路をそれぞれ
示している。なお、第5図と同一符号は同一物を示す。 出力0.のCPEマスク・データ格納部14には、第j
番目のビットのみがrQJでその他のビットが「1」で
あるnビットのデータが格納されている。上述のように
、アドレス一致検出部12は、読出パターン・アドレス
とCPEウィンドウ・アドレス格納部20から出力され
るアドレスとが一致した場合には「1」を出力し、両者
が不一致の場合には「0」を出力する。トライステート
・ゲート15の制御端子にはアドレス一致検出部12の
出力が印加されている。制御端子に「1」が印加された
ときには、トライステート・ゲート15は高インピーダ
ンス状態になり、AND回路13の下側入力端子には「
1」が印加される。制御端子に「0」が印加されている
状態の下では、トライステート・ゲート15は入力がr
□、のときには「0」を出力し、入力が「1」のときに
は「1」を出力する。図にはAND回路13は1個しか
示されていなか、AND回路13はn個存在する。第j
番口のAND回路13の上側入力端子には、CPEデー
タ格納部11から出力されたデータの中の第j番目のビ
ットが印加される。図にはトライステート・ゲート15
は1個しか示されていなか、トライステート・ゲート1
5もn個存在する。第j番目のトライステート・ゲート
15の入力にはCP′Eマスク・データ格納部14から
出力されたデータの中の第j番目のビットが印加され、
第j番目のトライステート・ゲート15の出力は第j番
目のAND回路13の下側入力端子に印加される。各ト
ライステート・ゲート15の制御端子には、アドレス一
致検出部12の出力が印加される。 本発明では、第3図に示すように、スタート・サイクル
から測定サイクルに到るまでの期間において着目の出力
0.以外の他の出力を位置固定ストローブにより期待値
と比較させる。部ち、第4図に示すように点線の部分全
体の比較をも行わせる。 (発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、 (a)  測定データの信憑性が向上する。 (1))測定サイクルに到るまでの途中のサイクルにお
いて、何れかの出力比較結果がFailとなればその時
点で1回の測定命令が終了し、次の測定命令の実行に移
れるので、その分だけ測定時間の短縮が図れる。 と言う顕著な効果を奏することが出来る。 4、【図(13)の簡単な説明】 第1図は本発明の原理図、第2図は本発明の1実施例の
ブロック図、第3図は本発明のタイミング・チャートを
示す図、第4図は本発明における出力比較を行う出力番
号とサイクルをパターン・データ格納ブロック内にて示
した図、第5図は従来のテスタの構成例を示すブロック
図、第6図は従来のタイミング・チャートを示す図、第
7図は従来技術における出力比較を行う出力番号とサイ
クルをパターン・データ格納部内にて示す図、第8図は
CPEアドレスとパターン・アドレスの関係を示す図で
ある。 1・・・テスト・プロセッサ、2・・・パターン・アド
レス発生部、3・・・パターン発生制御データ格納部、
4・・・パターン・データ格納部、5・・・タイミング
発生部、6・・・波形整形部、7・・・被試験装置、8
・・・出力比較判定部、10・・・比較イネーブル信号
発生部、11・・・CPEデータ格納部、12・・・ア
ドレス一致検出部、13・・・AND回路、14・・・
出力OjのCPEマスク・データ格納部、15・・・ト
ライステート・ゲート、20・・・CPEウィンドウ・
アドレス格納部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  mビットの入力印加パターンとnビットの出力期待値
    パターンが各番地に予め記入されているパターン・デー
    タ格納部(4)と、 パターン・データ格納部(4)から読み出されたmビッ
    トの入力印加パターンを波形整形し、波形整形されたm
    ビットの入力印加パターンを入力信号として被試験装置
    (7)に与える波形整形部(6)と、被試験装置(7)
    からの出力信号とnビットの出力期待値パターンとの比
    較判定を行う出力比較判定部(8)と、 波形整形部(6)に入力タイミングを与えると共に出力
    比較判定部(8)に出力タイミングを与えるタイミング
    発生部(5)と、 nビットの比較イネーブル・データが各番地に予め記入
    されている比較イネーブル・データ格納部(11)と、 パターン・データ格納部(4)に対する読出アドレスと
    予め定められたアドレスとの一致/不一致を検出するア
    ドレス一致検出部(12)と、 nビットのマスク・データが予め記入されている比較イ
    ネーブル・マスク・データ格納部(14)と、n個のト
    ライステート・ゲート(15)と、n個の論理積手段(
    13)と、 n個の論理積手段(13)の出力を比較判定イネーブル
    信号として出力比較判定部(8)に与える信号線群(S
    )と を具備し、 第i番目(但し、i=1、2、…、n)のトライステー
    ト・ゲート(15)の入力には、比較イネーブル・マス
    ク・データ格納部(14)から読み出されたマスク・デ
    ータの第i番目のビットが入力され、トライステート・
    ゲート(15)の制御端子にはアドレス一致検出部(1
    2)の出力が印加され、 第i番目の論理積手段(13)の一方の入力端子には、
    比較イネーブル・データ格納部(11)から読み出され
    た比較イネーブル・データの第i番目のビットが入力さ
    れ、第i番目の論理積手段(13)の他方の入力端子に
    は、第i番目のトライステート・ゲート(15)の出力
    が入力される ことを特徴とするLSIテスタ。
JP63083675A 1988-04-05 1988-04-05 Lsiテスタ Pending JPH01254877A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63083675A JPH01254877A (ja) 1988-04-05 1988-04-05 Lsiテスタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63083675A JPH01254877A (ja) 1988-04-05 1988-04-05 Lsiテスタ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01254877A true JPH01254877A (ja) 1989-10-11

Family

ID=13809057

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63083675A Pending JPH01254877A (ja) 1988-04-05 1988-04-05 Lsiテスタ

Country Status (1)

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JP (1) JPH01254877A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002156414A (ja) * 2000-11-16 2002-05-31 Advantest Corp タイミング校正機能を具備した半導体デバイス試験装置
WO2010026765A1 (ja) * 2008-09-05 2010-03-11 株式会社アドバンテスト 試験装置、及び試験方法

Cited By (4)

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US8502523B2 (en) 2008-09-05 2013-08-06 Advantest Corporation Test apparatus and test method

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