JPH09196375A

JPH09196375A - セラミックヒータ

Info

Publication number: JPH09196375A
Application number: JP2626796A
Authority: JP
Inventors: Hidenori Kita; 英紀北
Original assignee: Isuzu Ceramics Research Institute Co Ltd
Current assignee: Isuzu Ceramics Research Institute Co Ltd
Priority date: 1996-01-22
Filing date: 1996-01-22
Publication date: 1997-07-29

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、コイルを必要としない低コストの
セラミックヒータを提供する。【解決手段】このセラミックヒータは、窒化ケイ素質
の保護管１内を絶縁セラミック製の仕切部材２によって
二分割し、空間部９，１０及び連通空間部１１内に発熱
部を構成する第１抵抗部３、第１抵抗部３に接続した比
抵抗が大きい第２抵抗部４、第２抵抗部４に接続した非
導電性の第１封止部５、及び第２抵抗部４にそれぞれ接
続されて保護管１の外側まで延びるリード線７から構成
されている。保護管１は、窒化ケイ素、サイアロン等の
窒化ケイ素質の材料で作製され、第１抵抗部３及び第２
抵抗部４は、導電性金属粒子を分散した反応焼結窒化ケ
イ素を主成分とするセラミックスから構成されている。
第１封止部５は反応焼結窒化ケイ素を主成分とするセラ
ミックスから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ディーゼルエンジン
等に使用されるセラミックヒータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のグロープラグに関して、導電性サ
イアロン等のセラミックスを発熱部に構成したものが知
られている。例えば、特開昭６２−１４１４２４号公報
に開示されたディーゼルエンジン用グロープラグは、薄
板状絶縁体と抵抗体とは、βサイアロン又はαとβとの
混相しているサイアロンに窒化チタンの添加量を調整す
ることで絶縁性、導電性を選択し得るセラミック材によ
って一体的に形成されている。また、特開平４−２６８
１１２号公報に開示されたセラミックヒータ型グロープ
ラグは、窒化ケイ素等の絶縁性セラミック材によるセラ
ミックヒータ内でその先端側に導電性サイアロン等の導
電性セラミック材による第１発熱体を埋設する。第１発
熱体よりも正の抵抗温度係数の大きな導電性セラミック
材による第２発熱体をセラミックヒータ内でその後端側
に直列接続した状態で埋設する。

【０００３】また、特開平５−３３２２４１号公報に開
示されたセラミックグロープラグの通電発熱装置は、セ
ラミックグロープラグと通電制御装置から成り、セラミ
ックグロープラグはプラグハウジングの先端部にセラミ
ック発熱体を絶縁性セラミックスに埋設してなる発熱部
を有する。

【０００４】また、反応焼結基導電セラミックスの製造
法として、特開平６３−２５２９７３号公報や特開平１
−１５７２４４号公報に開示されたものがある。更に、
窒化ケイ素を添加した導電材として、特開平７−９８１
２１号公報や特開平６−２７２８６１号公報に開示され
たものがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
発熱部は、ＴｉＮ，ＳｉＡｌＯＮ，ＳｉＣのような導電
性セラミックスから構成されているものである。前掲特
開平６３−２５２９７３号公報や前掲特開平１−１５７
２４４号公報に開示された反応焼結セラミックスは、導
電性成分として、無機化合物粒子（窒化物等）から作製
されているものである。

【０００６】また、前掲特開平７−９８１２１号公報や
前掲特開平６−２７２８６１号公報に開示された窒化ケ
イ素を添加した導電材は、ＷＣやＭｏの珪化物に窒化ケ
イ素粉末を添加して発熱体を得ているが、窒化ケイ素は
粒子上で分散しているため結合力がなく、不安定である
か、或いは高温で焼成されるため、導電粒子と反応して
いるものである。

【０００７】従来の自己電流制御型グロープラグは、通
電電力即ち温度を制御する手段として、発熱線と抵抗線
に抵抗温度係数の異なる材質を用いている。即ち、発熱
線には抵抗温度係数の小さな材料を用い、抵抗線には抵
抗温度係数の大きな材料を用い、常温時には発熱線の部
分の抵抗値が大きく、高温時には抵抗線の部分の抵抗値
が大きくなるように設計されている。そのため、発熱線
の材質にはできるだけ、小さな正の抵抗温度係数を持つ
材料が設計の自由度の点から望まれる。一方、作動中に
発生する熱応力、環境の点から見ると、熱膨張係数がセ
ラミック基体に近くて小さく、融点の高いタングステン
等の材質に限定せざるを得ない。また、発熱線をセラミ
ックス中に埋設するため、ホットプレスを用いているた
め、発熱線の形状は二次元形状になっている。そのた
め、発熱線とセラミック基体の表面の距離が一定距離に
ならず、表面温度にバラツキが生じる。

【０００８】従来の自己電流制御型グロープラグは、遮
熱エンジン等の高温燃焼室での使用では、耐熱性、熱シ
ョックに対する強度、高温強度等について十分なものと
はいえないものであった。従来の自己制御型グロープラ
グは、炭化タングステン線を用いて作製した発熱線コイ
ルとＮｉ線コイルを用いて作製した抵抗体コイルとを接
続し、両者を抵抗温度係数が異なる材料で作製したり、
或いは巻線の発熱体と抵抗体とを異なった形状に作製し
たものであるので、使用中にＮｉ線が過熱によって断線
したり、経時変化によって劣化するという問題があり、
しかも構造が複雑になり、コスト、強度に関して満足で
きるものではなかった。

【０００９】即ち、従来の自己電流制御型グロープラグ
は、導電性材料を用いて作製し、生産性の低いホットプ
レスで作製され、コスト高となっていた。また、グロー
プラグにおいて、コイルを用いた構造を採用すると、コ
イル自体のコストが高い上、印刷による配線や導電性セ
ラミックスを発熱体とした構造のものと比較して耐久性
が劣るという問題がある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明の目的は、上記
の課題を解決することであり、高価で断線し易いコイル
を用いることなく、発熱部と該発熱部に直列に接続した
抵抗部とをＷ等の金属粒子を主成分として構成し、保護
管を生産性の高い雰囲気焼成で作製し、該保護管への発
熱部と抵抗部を構成する材料の充填及び成形を同時に行
って従来に比較して部品点数を低減したセラミックヒー
タを提供することである。

【００１１】この発明は、窒化ケイ素質から中空状に形
成された保護管、前記保護管内を二つの空間部に二分割
して前記保護管の先端部で前記各空間部を連通する部分
を形成するように前記保護管内に配置された絶縁セラミ
ック製の仕切部材、前記保護管の先端側の前記各空間部
内に充填された発熱部を構成する第１抵抗部、前記第１
抵抗部に接続して前記各空間部内に充填された前記第１
抵抗部より比抵抗が大きい第２抵抗部、前記第２抵抗部
に接続して前記各空間部内に充填された非導電性の第１
封止部、及び前記各空間部に充填された前記第２抵抗部
にそれぞれ接続されて前記仕切部材に沿って前記保護管
の外側まで延びるリード線、を有するセラミックヒータ
に関する。

【００１２】また、このセラミックヒータにおいて、前
記第１抵抗部及び前記第２抵抗部は導電性金属粒子が焼
結時に収縮の小さい或いは焼結時に収縮の無いセラミッ
クスにより結合された複合材料から構成されている。更
に、焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に収縮の無い前
記セラミックスは反応焼結窒化ケイ素である。

【００１３】また、このセラミックヒータにおいて、前
記第１封止部は反応焼結窒化ケイ素を主成分とするセラ
ミックスから構成されている。

【００１４】また、このセラミックヒータは、前記保護
管内の前記第１封止部の端部側の前記各空間部内に充填
されたガラスから成る第２封止部を有するものである。

【００１５】また、このセラミックヒータでは、前記第
１抵抗部における前記金属粒子はＷとＭｏ粒子から選ば
れる少なくとも１種の粒子から成り、焼結時に収縮の小
さい或いは焼結時に収縮の無いセラミックスを主成分と
するセラミックスはＴｉＮを添加したセラミックスから
成る。沙汰に、焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に収
縮の無い前記セラミックスは反応焼結窒化ケイ素であ
る。

【００１６】また、このセラミックヒータにおいて、前
記第２抵抗部における前記金属粒子はＷとＭｏ粒子から
選ばれる少なくとも１種の粒子及びＮｉ粒子から成り、
焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に収縮の無いセラミ
ックスを主成分とするセラミックスはＴｉＮが添加され
たセラミックスから成る。更に、焼結時に収縮の小さい
或いは焼結時に収縮の無い前記セラミックスは反応焼結
窒化ケイ素である。

【００１７】また、前記第２抵抗部の抵抗温度係数は、
前記第１抵抗部の抵抗温度係数の１．２倍以上に設定さ
れている。

【００１８】このセラミックヒータは、上記のように、
保護管内で仕切部材で導電材によるＷ等の金属粒子を主
成分とした導電セラミックスで導電通路が形成されるの
で、コイル等の導線を用いる必要がなく、発熱部と抵抗
部とが形成される。しかも、前記導電セラミックスは、
金属粒子をＴｉＮ添加反応焼結Ｓｉ₃Ｎ₄によって結合
させて発熱部を構成する第１抵抗部を前記保護管の先端
部に配置し、前記第１抵抗部の両端に直列に接続した比
抵抗の大きいＮｉ添加反応焼結Ｓｉ₃Ｎ₄によって金属
粒子を結合させた第２抵抗部から構成されている。

【００１９】このセラミックヒータにおいて、前記第１
抵抗部と前記第２抵抗部とを作製するには、前記保護管
内に前記仕切部材を配置し、前記第１抵抗部を形成する
原料としてＷ，Ｓｉ，Ｔｉ粉末を充填し、次いで、前記
保護管内が前記仕切部材で区切られた両側空間部にＷ，
Ｓｉ，Ｔｉ，Ｎｉ粉末を充填する。これをＮ₂中で反応
焼成し、Ｗ，ＴｉＮが分散した反応焼結窒化ケイ素から
成る第１抵抗部とＷ，Ｎｉ，ＴｉＮが分散した反応焼結
窒化ケイ素から成る第２抵抗部とが一体的に生成され
る。第１抵抗部の比抵抗ρはρ＝８．７×１０^{- 4}Ω・
ｃｍ、抵抗ＲはＲ＝０．１２Ω、及び抵抗温度係数ｋは
ｋ＝１．１７×１０^{- 4}／℃である。また、第２抵抗部
の比抵抗ρはρ＝１．９×１０^{- 4}Ω・ｃｍ、抵抗Ｒは
Ｒ＝０．１３Ω、及び抵抗温度係数はｋ＝１．４０×１
０^{- 4}／℃である。

【００２０】このセラミックヒータは、上記のように作
製できるので、従来のホットプレス方式で作製されるヒ
ータに比較して部品点数及び製造行程は少なくなり、生
産性も高いことから、低コストで製造でき、しかも焼成
温度は従来より２００〜４００℃程度低くすることがで
き、再結晶によるＷ線の劣化が抑制でき、信頼性が向上
する。更に、このセラミックヒータは、焼成温度が低い
ため、Ｗと窒化ケイ素、或いは雰囲気との間には反応が
生じることがなく、Ｗのままの状態で反応焼結セラミッ
クスにて結合される。

【００２１】

【発明の実施の態様】以下、図面を参照して、この発明
によるセラミックヒータの実施例を説明する。図１はこ
の発明によるセラミックヒータの一実施例を示す概略断
面図、図２は図１のセラミックヒータの線Ａ−Ａにおけ
る断面図、及び図３は図１のセラミックヒータの性能を
示すグラフである。

【００２２】このセラミックスは、主として、セラミッ
クスから中空状に形成された保護管１、保護管１内を二
つの空間部９，１０に二分割し且つ先端部で各空間部
９，１０を連通する連通空間部１１を形成するするよう
に保護管１内に配置された絶縁セラミック製仕切部材
２、保護管１の先端部に充填された発熱部を構成する第
１抵抗部３、第１抵抗部３に接続して各空間部９，１０
内に充填された第１抵抗部３より比抵抗が大きい第２抵
抗部４、第２抵抗部４に接続して各空間部９，１０内に
充填された非導電性の第１封止部５、及び各空間部９，
１０に充填された第２封止部６にそれぞれ接続されて仕
切部材２に沿って保護管１の外側まで延びるリード線７
から構成されている。

【００２３】このセラミックヒータにおいて、第１抵抗
部３及び第２抵抗部４は、導電性の金属粒子を分散した
反応焼結窒化ケイ素を主成分とするセラミックスから構
成されている。また、第１封止部５は、反応焼結窒化ケ
イ素を主成分とするセラミックスから構成され、また、
第２封止部６は、保護管１内の第１封止部５の端部側の
各空間部９，１０内に充填されたガラスから構成されて
いる。

【００２４】また、第１抵抗部３における金属粒子は、
ＷとＭｏ粒子から選ばれる少なくとも１種の粒子から構
成されている。また、第２抵抗部４における金属粒子
は、ＷとＭｏ粒子から選ばれる少なくとも１種の粒子及
びＮｉ粒子から構成されている。第１抵抗部３及び第２
抵抗部４における導電性セラミックスは、反応焼結窒化
ケイ素を主成分とするセラミックスにＴｉＮを添加した
セラミックスから構成されている。

【００２５】更に、第２抵抗部４の抵抗温度係数は、第
１抵抗部３の抵抗温度係数の１．２倍以上に設定されて
いる。例えば、第１抵抗部３の抵抗温度係数ｋが１．１
７×１０^{- 4}／℃であり、第２抵抗部４の抵抗温度係数
ｋが１．４０×１０^{- 4}／℃である。第１抵抗部３の抵
抗Ｒが０．１２Ωであり、第２抵抗部４の抵抗Ｒが０．
１３である。また、第１抵抗部３の比抵抗ρは８．７×
１０^{- 4}Ω・ｃｍであるのに対して、第２抵抗部４の比
抵抗ρは１．９×１０^{- 4}Ω・ｃｍである。

【００２６】或いは、この発明によるセラミックヒータ
では、上記のように、ＷやＭｏの粒子を反応焼結窒化ケ
イ素で結合する以外にも、無収縮性セラミックスで結合
することもできる。例えば、ＰＣＳ（ポリカルボシラ
ン）の２０％トルエン溶液中にＷやＭｏの粒子を分散さ
せ、ペースト状とした後、Ｎ₂或いはＮＨ₃中で焼成
し、ＰＣＳをＳｉＣ或いはＳｉ₃Ｎ₄に転化させて作製
することができる。又は、１２００〜１３００℃程度の
温度に耐えることができる脱水縮合型のガラス（ＳｉＯ
₂・ＺｒＯ₂）中にＷやＭｏを分散させて結合すること
によって作製することができる。ガラス（ＳｉＯ₂・Ｚ
ｒＯ₂）は、熱膨張係数が４×１０^{- 6}／℃であり、Ｗ
の熱膨張係数に極めて近いものであるので、Ｗ粒子の結
合材として好ましいものである。

【００２７】従って、このセラミックヒータでは、第１
抵抗部３及び第２抵抗部４は、端子８からリード線７を
通じて通電されることによって、第１抵抗部３は通電さ
れると、図３に示すように、外部に熱を直ちに放熱でき
る発熱部を構成し、例えば、３．８秒で８００℃にな
り、燃焼室内の燃料を着火させるのに充分な温度に上昇
する。しかしながら、第２抵抗部４は通電されると、そ
こに熱が籠もって高温になり、その抵抗が極端に大きく
なって電流の流れが抑制されてブレーキ作用を果し、第
１抵抗部３に流れる電流も小さくなって第１抵抗部３の
発熱量が自己制御される。また、第２抵抗部４に流れる
電流が抑制されると、第２抵抗部４の温度が下がり、第
１抵抗部３に電流が再び流れて発熱部が加熱されるの
で、発熱部が常に適性な発熱量に自己制御される。

【００２８】このセラミックヒータにおいて、保護管１
は耐熱性で高強度の窒化ケイ素等のセラミックスから構
成されている。第１抵抗部３及び第２抵抗部４は、加圧
無しで焼成することができ、焼成時に若干膨張するＳｉ
₃Ｎ₄−ＴｉＮ系セラミックス即ち反応焼結セラミック
スから構成されている。

【００２９】次に、この発明によるセラミックヒータの
製造方法の一実施例を説明する。まず、サイアロン（Ｓ
ｉＡｌＯＮ）によって、内径３．５ｍｍ、外径５ｍｍ、
長さ４０ｍｍのサイズの先端部を閉鎖し且つ他端を開口
した保護管１を作製した。従って、保護管１の肉厚は、
０．７５ｍｍ程度になる。一方、同材質のサイアロン
（ＳｉＡｌＯＮ）によって、幅３．５ｍｍ、厚さ１ｍ
ｍ、長さ３８ｍｍのサイズの仕切部材２を作製した。次
いで、保護管１に仕切部材２を挿入し、保護管１の先端
内壁と仕切部材２の先端に連通空間部１１の隙間を形成
するように、保護管１内に仕切部材２を配置し、保護管
１の内部を仕切部材２で二分割して空間部９，１０を形
成した。従って、保護管１の開口側端面と仕切部材２の
端面とを同位置に整合させた場合には、連通空間部１１
の隙間は１．２５ｍｍであり、空間部９，１０の最大横
断面長さは１．２５ｍｍである。保護管１の先端部にお
ける空間部９，１０にＳｉ，Ｗ，Ｔｉの各粉末から成る
混合物のスラリーを所定量注入し、該スラリーを乾燥さ
せた後、保護管１内の空間部９，１０にＳｉ，Ｗ，Ｔ
ｉ，Ｎｉの各粉末から成る混合物のスラリーを所定量注
入した。その後、スラリーが完全に乾く前の半乾燥状態
でリード線７となる直径０．５ｍｍのＷ線を仕切部材２
に沿って空間部９，１０にそれぞれ配置した。更に、第
１封止部５を生成するため、保護管１内の空間部９，１
０にＴｉ，Ｓｉから成る混合物のスラリーを所定量注入
した。この時、Ｔｉの添加量は１０ｗｔ％であり、窒化
後に導電性を持たない第１封止部５を構成するようにス
ラリーを配合した。

【００３０】上記のように、保護管１内に第１抵抗部
３、第２抵抗部４、リード線７及び第１封止部５を形成
する原料を充填した後に、これを窒素雰囲気中で１４０
０℃で焼成し、Ｓｉ，ＴｉをそれぞれＳｉ₃Ｎ₄，Ｔｉ
Ｎに転化させると共に、第１抵抗部３と第２抵抗部４、
第２抵抗部４とリード線７、第２抵抗部４と第１封止部
５、及びリード線７と第１封止部５の接触部分をそれぞ
れ結合させた。その後、保護管１の管端部をＭｇＯ，Ａ
ｌ₂Ｏ₃，ＳｉＯ₂から成るガラスの第２封止部６によ
って封止し、保護管１の管端部から延び出しているリー
ド線７の端部にコバール製チューブを嵌め込んで端子８
を形成した。

【００３１】このセラミックヒータを、上記のようにし
て試験片Ｎｏ．１を作製したが、更に、第１抵抗部３と
第２抵抗部４の原料を種々に配合して複数種類の試験片
Ｎｏ．２〜Ｎｏ．１０を作製した。そこで、これらの試
験片Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０のセラミックヒータの端子８
にＮｉ線を接続して通電してオン・オフを繰り返して耐
久性試験を行った。耐久性試験として、第１抵抗部３と
第２抵抗部４とから成るセラミックヒータの断線に到る
までの通電回数を測定した。耐久性試験における通電条
件は、１４Ｖにて１分間通電をオンにし、次いで１分間
通電をオフにし、断線に到るまでの通電回数を測定し
た。その結果を、表１に示す。

【表１】

【００３２】表１において、試験片Ｎｏ．５（第１抵抗
部３の原料がＳｉ：３０，Ｍｏ：６０，Ｔｉ：１０であ
り、第２抵抗部４の原料がＳｉ：３０，Ｍｏ：５０，Ｔ
ｉ：１０，Ｎｉ：１０である。）が断線に到るまでの通
電回数が２５８４００回と最も多く、耐久性に富んでい
ることが分かる。また、試験片Ｎｏ．１（第１抵抗部３
の原料がＳｉ：２０，Ｗ：７０，Ｔｉ：１０であり、第
２抵抗部４の原料がＳｉ：２０，Ｗ：６０，Ｔｉ：１
０，Ｎｉ：１０である。）及び試験片Ｎｏ．２（第１抵
抗部３の原料がＳｉ：２０，ＭｏＳ₂：７０，Ｔｉ：１
０であり、第２抵抗部４の原料がＳｉ：２０，Ｗ：６
０，Ｔｉ：１０，Ｎｉ：１０である。）は他のものに比
較して通電回数が８０１００回及び７５０００回と少な
かった。更に、試験片Ｎｏ．９では、第１抵抗部３の結
合材として、ＰＣＳ（ポリカルボシラン）が転化した無
収縮性セラミックスを使用したものであるが、断線に至
るまでの通電回数が５２５００回であり、セラミックヒ
ータは強度を要求されるものでないので、セラミックヒ
ータとして使用できることが分かった。また、試験片Ｎ
ｏ．１０では、第１抵抗部３の結合材として、１２００
〜１３００℃程度の温度に耐えることができる脱水縮合
型のガラス（ＳｉＯ₂・ＺｒＯ₂）を使用したものであ
る。ガラス（ＳｉＯ₂・ＺｒＯ₂）は、熱膨張係数がＷ
の熱膨張係数に極めて近いので、Ｗ粒子の結合材として
好ましいものであることが分かった。断線に至るまでの
通電回数が７２６００回であり、セラミックヒータは強
度を要求されるものでないので、セラミックヒータとし
て使用できることが分かった。

【００３３】

【発明の効果】この発明によるセラミックヒータは、上
記のように、従来のように、断線し易く且つ高価なコイ
ルを必要とせず、第１抵抗部及び第２抵抗部が導電材と
なって第１抵抗部が発熱部を構成し、第２抵抗部が電流
ブレーキ部を構成できる。しかも、セラミックスから成
る保護管に第１抵抗部と第２抵抗部との原料を充填して
窒素雰囲気で焼成するのみで同時に一体構造に作製でき
るので、部品点数を低減できると共に製造工程を低減で
き、製造コストを低減できる。しかも、このセラミック
ヒータは、生産性の高い雰囲気焼成で作製でき、製造コ
ストを低減でき、安価なセラミックヒータを提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるセラミックヒータの一実施例を
示す概略断面図である。

【図２】図１のセラミックヒータの線Ａ−Ａにおける断
面図である。

【図３】図１のセラミックヒータの性能を示すグラフで
ある。

【符号の説明】

１保護管２仕切部材３第１抵抗部４第２抵抗部５第１封止部６第２封止部７リード線８端子９，１０空間部１１連通空間部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】中空状に形成されたセラミックス製の保
護管、前記保護管内を二つの空間部に二分割して前記保
護管の先端部で前記各空間部を連通する部分を形成する
ように前記保護管内に配置された絶縁セラミック製の仕
切部材、前記保護管の先端側の前記各空間部内に充填さ
れた発熱部を構成する第１抵抗部、前記第１抵抗部に接
続して前記各空間部内に充填された前記第１抵抗部より
比抵抗が大きい第２抵抗部、前記第２抵抗部に接続して
前記各空間部内に充填された非導電性の第１封止部、及
び前記各空間部に充填された前記第２抵抗部にそれぞれ
接続されて前記仕切部材に沿って前記保護管の外側まで
延びるリード線、を有するセラミックヒータ。
【請求項２】前記保護管は、窒化ケイ素、サイアロン
等の窒化ケイ素質の材料で作製されている請求項１に記
載のセラミックヒータ。
【請求項３】前記第１抵抗部及び前記第２抵抗部は導
電性金属粒子が焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に収
縮の無いセラミックスにより結合された複合材料から構
成されている請求項１又は２に記載のセラミックヒー
タ。
【請求項４】焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に収
縮の無い前記セラミックスは反応焼結窒化ケイ素である
請求項３に記載のセラミックヒータ。
【請求項５】前記第１封止部は反応焼結窒化ケイ素を
主成分とするセラミックスから構成されている請求項１
〜４のいずれかの１項に記載のセラミックヒータ。
【請求項６】前記保護管内の前記第１封止部の端部側
の前記各空間部内に充填されたガラスから構成されてい
る第２封止部を有する請求項１〜５のいずれかの１項に
記載のセラミックヒータ。
【請求項７】前記第１抵抗部における前記金属粒子は
ＷとＭｏ粒子から選ばれる少なくとも１種の粒子から成
り、焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に収縮の無いセ
ラミックスを主成分とするセラミックスはＴｉＮを添加
したセラミックスから成る請求項１〜６のいずれかの１
項に記載のセラミックヒータ。
【請求項８】焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に収
縮の無い前記セラミックスは反応焼結窒化ケイ素である
請求項７に記載のセラミックヒータ。
【請求項９】前記第２抵抗部における前記金属粒子は
ＷとＭｏ粒子から選ばれる少なくとも１種の粒子及びＮ
ｉ粒子から成り、焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に
収縮の無いセラミックスを主成分とするセラミックスは
ＴｉＮが添加されたセラミックスから成る請求項１〜８
のいずれか１項に記載のセラミックヒータ。
【請求項１０】焼結時に収縮の小さい或いは焼結時に
収縮の無い前記セラミックスは反応焼結窒化ケイ素であ
る請求項９に記載のセラミックヒータ。
【請求項１１】前記第２抵抗部の抵抗温度係数は、前
記第１抵抗部の抵抗温度係数の１．２倍以上に設定され
ている請求項１〜１０のいずれか１項に記載のセラミッ
クヒータ。