JP3078418B2 - セラミック発熱体 - Google Patents
セラミック発熱体Info
- Publication number
- JP3078418B2 JP3078418B2 JP05038689A JP3868993A JP3078418B2 JP 3078418 B2 JP3078418 B2 JP 3078418B2 JP 05038689 A JP05038689 A JP 05038689A JP 3868993 A JP3868993 A JP 3868993A JP 3078418 B2 JP3078418 B2 JP 3078418B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating element
- ceramic
- ceramic heating
- heating resistor
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はディーゼルエンジンの始
動補助用グロープラグや、各種燃焼機器の点火用及び各
種加熱機器や測定機器の加熱用ヒーター等に用いられる
高温用のセラミック発熱体に関するものである。
動補助用グロープラグや、各種燃焼機器の点火用及び各
種加熱機器や測定機器の加熱用ヒーター等に用いられる
高温用のセラミック発熱体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりディーゼルエンジンの始動促進
に用いられるグロープラグや各種点火用及び加熱用ヒー
ターとして、耐熱金属製のシース内に耐熱絶縁粉末を充
填し、該耐熱絶縁粉末中にニッケル（Ｎｉ）−クロム
（Ｃｒ）等を主体とする高融点金属線から成る発熱抵抗
体を埋設したシーズヒーターや、高電圧の火花放電を利
用する各種点火装置が使用されていた。
に用いられるグロープラグや各種点火用及び加熱用ヒー
ターとして、耐熱金属製のシース内に耐熱絶縁粉末を充
填し、該耐熱絶縁粉末中にニッケル（Ｎｉ）−クロム
（Ｃｒ）等を主体とする高融点金属線から成る発熱抵抗
体を埋設したシーズヒーターや、高電圧の火花放電を利
用する各種点火装置が使用されていた。
【０００３】しかしながら、前記シーズヒーターは耐熱
金属製のシース内に充填された耐熱絶縁粉末を介して発
熱抵抗体の熱を伝えるため、短時間の急速昇温が困難で
ありその上、耐摩耗性や耐久性に劣るという問題がある
他、前記火花放電を利用した各種点火装置も、点火時に
雑音等の電波障害を生じたり、確実な点火という観点か
らの信頼性に欠け、未着火の場合の安全性に問題がある
等の欠点があった。
金属製のシース内に充填された耐熱絶縁粉末を介して発
熱抵抗体の熱を伝えるため、短時間の急速昇温が困難で
ありその上、耐摩耗性や耐久性に劣るという問題がある
他、前記火花放電を利用した各種点火装置も、点火時に
雑音等の電波障害を生じたり、確実な点火という観点か
らの信頼性に欠け、未着火の場合の安全性に問題がある
等の欠点があった。
【０００４】そこで、短時間の急速昇温が可能で、電波
障害が発生せず、しかも確実に点火して安全性を確保
し、耐摩耗性と耐久性に優れた信頼性の高い発熱体とし
て、無機導電材から成る発熱抵抗体をセラミック焼結体
中に埋設したセラミック発熱体が、１０００℃前後のヒ
ーターとして内燃機関のグロープラグをはじめ、広く利
用されるようになってきた。
障害が発生せず、しかも確実に点火して安全性を確保
し、耐摩耗性と耐久性に優れた信頼性の高い発熱体とし
て、無機導電材から成る発熱抵抗体をセラミック焼結体
中に埋設したセラミック発熱体が、１０００℃前後のヒ
ーターとして内燃機関のグロープラグをはじめ、広く利
用されるようになってきた。
【０００５】前記セラミック発熱体としては、例えば図
３に示すように高融点金属の一種であるモリブデン（Ｍ
ｏ）の珪化物を発熱抵抗体１５としたり、該モリブデン
（Ｍｏ）の珪化物を含有した絶縁体を発熱抵抗体の基体
１６とするものが提案されている（特開平２−５１２３
５号公報参照）。
３に示すように高融点金属の一種であるモリブデン（Ｍ
ｏ）の珪化物を発熱抵抗体１５としたり、該モリブデン
（Ｍｏ）の珪化物を含有した絶縁体を発熱抵抗体の基体
１６とするものが提案されている（特開平２−５１２３
５号公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記セ
ラミック発熱体１７を１０００℃前後のヒーターとして
急速昇温すると、飽和温度が１３００℃以上の高温とな
り、前記発熱抵抗体１５が酸化して抵抗変化を起こし、
高温耐久性が劣化する恐れがあるため、ブレーキングコ
イル１８等の部品を余分に設けて温度を下げて使用しな
ければならず、また、前記基体１６に関しても１３００
℃を超える高温下では絶縁抵抗が低下し、前記同様に高
温耐久性に劣る恐れがあり、複雑な構造の上、高コスト
となる等の課題がある。
ラミック発熱体１７を１０００℃前後のヒーターとして
急速昇温すると、飽和温度が１３００℃以上の高温とな
り、前記発熱抵抗体１５が酸化して抵抗変化を起こし、
高温耐久性が劣化する恐れがあるため、ブレーキングコ
イル１８等の部品を余分に設けて温度を下げて使用しな
ければならず、また、前記基体１６に関しても１３００
℃を超える高温下では絶縁抵抗が低下し、前記同様に高
温耐久性に劣る恐れがあり、複雑な構造の上、高コスト
となる等の課題がある。
【０００７】
【発明の目的】本発明は前記欠点に鑑み開発されたもの
で、その目的は発熱抵抗体及び基体の耐酸化性を向上さ
せ、かつ高温での絶縁抵抗の劣化を防止した長時間の連
続稼動が可能で、複雑な構造を必要とせず、耐久性に優
れたセラミック発熱体を提供することにある。
で、その目的は発熱抵抗体及び基体の耐酸化性を向上さ
せ、かつ高温での絶縁抵抗の劣化を防止した長時間の連
続稼動が可能で、複雑な構造を必要とせず、耐久性に優
れたセラミック発熱体を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のセラミック発熱
体は、母材が窒化珪素または窒化アルミニウムを主成分
とし、該母材より大きい熱膨張係数を有する金属の炭化
物、珪化物、窒化物および硼化物より選ばれた一種以上
を３〜２５重量％含有し、かつその含有物が３〜２５μ
ｍの平均粒径を有するセラミック焼結体中に無機導電材
から成る発熱抵抗体を埋設し、とりわけ前記セラミック
焼結体中に埋設した発熱抵抗体の発熱部における両電極
間の絶縁抵抗が、１４００℃の高温において１０．０ｋ
Ω／ｍｍ以上であることを特徴とするものである。
体は、母材が窒化珪素または窒化アルミニウムを主成分
とし、該母材より大きい熱膨張係数を有する金属の炭化
物、珪化物、窒化物および硼化物より選ばれた一種以上
を３〜２５重量％含有し、かつその含有物が３〜２５μ
ｍの平均粒径を有するセラミック焼結体中に無機導電材
から成る発熱抵抗体を埋設し、とりわけ前記セラミック
焼結体中に埋設した発熱抵抗体の発熱部における両電極
間の絶縁抵抗が、１４００℃の高温において１０．０ｋ
Ω／ｍｍ以上であることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】本発明のセラミック発熱体は、母材を窒化珪素
または窒化アルミニウムを主成分とし、該母材より大き
い熱膨張係数を有する金属の炭化物、珪化物、窒化物お
よび硼化物より選ばれた一種以上を３〜２５重量％含有
させ、かつその含有物が３〜２５μｍの平均粒径を有す
るセラミック焼結体中に無機導電材から成る発熱抵抗体
を埋設することにより、母材の耐酸化性が向上して、高
温での耐久性が増すこととなる。
または窒化アルミニウムを主成分とし、該母材より大き
い熱膨張係数を有する金属の炭化物、珪化物、窒化物お
よび硼化物より選ばれた一種以上を３〜２５重量％含有
させ、かつその含有物が３〜２５μｍの平均粒径を有す
るセラミック焼結体中に無機導電材から成る発熱抵抗体
を埋設することにより、母材の耐酸化性が向上して、高
温での耐久性が増すこととなる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明のセラミック発熱体の一実施例
を図面に基づき説明する。図１は本発明のセラミック発
熱体の基体を成す窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とす
る母材に、含有物がモリブデン（Ｍｏ）の珪化物（Ｍｏ
Ｓｉ2 ）であるセラミック焼結体を示す組織を２００倍
に拡大した模式図である。
を図面に基づき説明する。図１は本発明のセラミック発
熱体の基体を成す窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とす
る母材に、含有物がモリブデン（Ｍｏ）の珪化物（Ｍｏ
Ｓｉ2 ）であるセラミック焼結体を示す組織を２００倍
に拡大した模式図である。
【００１１】図１において、２は窒化珪素（Ｓｉ
3 Ｎ4 ）を主成分とする母材４中に、含有物５として珪
化モリブデン（ＭｏＳｉ2 ）の粒子を分散して成るセラ
ミック焼結体である。
3 Ｎ4 ）を主成分とする母材４中に、含有物５として珪
化モリブデン（ＭｏＳｉ2 ）の粒子を分散して成るセラ
ミック焼結体である。
【００１２】図２は本発明のセラミック発熱体をディー
ゼルエンジンの始動補助用に使用されるグロープラグに
適用した一実施例を示す断面図である。
ゼルエンジンの始動補助用に使用されるグロープラグに
適用した一実施例を示す断面図である。
【００１３】図１及び図２において、１はセラミック焼
結体２中に無機導電材から成る発熱抵抗体３を埋設した
セラミック発熱体で、セラミック発熱体１の発熱部６の
発熱抵抗体３は、コイル状に密に捲回した無機導電材か
ら成る発熱抵抗線７で構成され、発熱抵抗線７の軸芯方
向の断面形状は偏平な楕円形状を成し、基体を成すセラ
ミック焼結体２が、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）または窒化
アルミニウム（ＡｌＮ）を主成分とする母材４中に、含
有物５として珪化モリブデン（ＭｏＳｉ2 ）の粒子を分
散して成るものである。
結体２中に無機導電材から成る発熱抵抗体３を埋設した
セラミック発熱体で、セラミック発熱体１の発熱部６の
発熱抵抗体３は、コイル状に密に捲回した無機導電材か
ら成る発熱抵抗線７で構成され、発熱抵抗線７の軸芯方
向の断面形状は偏平な楕円形状を成し、基体を成すセラ
ミック焼結体２が、窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）または窒化
アルミニウム（ＡｌＮ）を主成分とする母材４中に、含
有物５として珪化モリブデン（ＭｏＳｉ2 ）の粒子を分
散して成るものである。
【００１４】前記セラミック発熱体１には、筒状金具８
を外嵌めして一方の電極端子として導出し、該筒状金具
８と取付金具９をろう接して負電極とし、セラミック発
熱体１の後端部には電極取り出し金具１０をろう接して
他方の電極端子として導出するとともに、端子棒１１と
も接続して正電極とし、端子棒１１にベークライト等の
絶縁性ワッシャー１２を挿通してナット１３で固定する
ことにより、取付金具９の負電極と端子棒１１の正電極
とが絶縁されたグロープラグ１４が構成されている。
を外嵌めして一方の電極端子として導出し、該筒状金具
８と取付金具９をろう接して負電極とし、セラミック発
熱体１の後端部には電極取り出し金具１０をろう接して
他方の電極端子として導出するとともに、端子棒１１と
も接続して正電極とし、端子棒１１にベークライト等の
絶縁性ワッシャー１２を挿通してナット１３で固定する
ことにより、取付金具９の負電極と端子棒１１の正電極
とが絶縁されたグロープラグ１４が構成されている。
【００１５】尚、発熱抵抗体３を構成する無機導電材か
ら成るコイル状の発熱抵抗線７は、タングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、レニウム（Ｒｅ）等の高
融点金属またはその合金の他、例えばタングステンカー
バイド（ＷＣ）、窒化チタン（ＴｉＮ）や硼化ジルコニ
ウム（ＺｒＢ2 ）等の第４ａ族、第５ａ族、第６ａ族の
炭化物または窒化物等から成る線材が好適である。
ら成るコイル状の発熱抵抗線７は、タングステン
（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、レニウム（Ｒｅ）等の高
融点金属またはその合金の他、例えばタングステンカー
バイド（ＷＣ）、窒化チタン（ＴｉＮ）や硼化ジルコニ
ウム（ＺｒＢ2 ）等の第４ａ族、第５ａ族、第６ａ族の
炭化物または窒化物等から成る線材が好適である。
【００１６】本発明のセラミック発熱体を評価するにあ
たり、先ず、高純度の窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）粉末８
８．４重量％に、焼結助剤としてイッテリビア（Ｙｂ2
Ｏ3 ）等の第３ａ族元素の酸化物を１１．６重量％添加
混合した原料粉末と、平均粒径が１．６μｍ、酸素量が
０．９重量％の窒化アルミニウム（ＡｌＮ）粉末８６．
０重量％に、焼結助剤としてイットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）を
１２．０重量％とカルシア（ＣａＯ）を２．０重量％添
加混合した原料粉末に、それぞれ母材より大きい熱膨張
係数を有する金属、例えばモリブデン（Ｍｏ）、クロム
（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）等の平均
粒径が３〜２５μｍの炭化物、珪化物、窒化物および硼
化物より選ばれた一種以上を、その種類と添加量を種々
変えて調製したそれぞれの混合物から成る造粒体を使用
し、プレス成形法により２種類の母材から成る棒状のセ
ラミック成形体を作製する。
たり、先ず、高純度の窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）粉末８
８．４重量％に、焼結助剤としてイッテリビア（Ｙｂ2
Ｏ3 ）等の第３ａ族元素の酸化物を１１．６重量％添加
混合した原料粉末と、平均粒径が１．６μｍ、酸素量が
０．９重量％の窒化アルミニウム（ＡｌＮ）粉末８６．
０重量％に、焼結助剤としてイットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）を
１２．０重量％とカルシア（ＣａＯ）を２．０重量％添
加混合した原料粉末に、それぞれ母材より大きい熱膨張
係数を有する金属、例えばモリブデン（Ｍｏ）、クロム
（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）等の平均
粒径が３〜２５μｍの炭化物、珪化物、窒化物および硼
化物より選ばれた一種以上を、その種類と添加量を種々
変えて調製したそれぞれの混合物から成る造粒体を使用
し、プレス成形法により２種類の母材から成る棒状のセ
ラミック成形体を作製する。
【００１７】次に、直径が０．０２ｍｍのタングステン
線を捲回したコイル状の発熱抵抗線と、該発熱抵抗線に
接続したリード線部を構成するタングステン線とから成
る発熱抵抗体を、母材主成分と第３ａ族元素の酸化物や
アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）、モリブデン（Ｍｏ）の珪化
物、チタン（Ｔｉ）の窒化物等の焼結助剤から成る泥漿
中に浸漬して乾燥した後、前記成形体上に載置し、前記
組成物を付着した発熱抵抗体を挟むように前記同形状の
別のセラミック成形体を重ねて加圧焼成した。
線を捲回したコイル状の発熱抵抗線と、該発熱抵抗線に
接続したリード線部を構成するタングステン線とから成
る発熱抵抗体を、母材主成分と第３ａ族元素の酸化物や
アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）、モリブデン（Ｍｏ）の珪化
物、チタン（Ｔｉ）の窒化物等の焼結助剤から成る泥漿
中に浸漬して乾燥した後、前記成形体上に載置し、前記
組成物を付着した発熱抵抗体を挟むように前記同形状の
別のセラミック成形体を重ねて加圧焼成した。
【００１８】かくして得られた焼結体の側面を研磨して
前記リード線の一部を露出させ、少なくとも該露出部に
メタライズ法やメッキ法等によりニッケル（Ｎｉ）等の
金属被膜を形成した後、筒状金具を外嵌めし、還元ガス
雰囲気中で銀ろうにて接合して負電極とし、一方、前記
焼結体の端部に露出したリード線に、線材またはキャッ
プ状の金具より成る電極取り出し金具を同様に銀ろうに
て接合して正電極として接続し、正負の電極を導出した
直径約３．４ｍｍの評価用のセラミック発熱体を作製し
た。
前記リード線の一部を露出させ、少なくとも該露出部に
メタライズ法やメッキ法等によりニッケル（Ｎｉ）等の
金属被膜を形成した後、筒状金具を外嵌めし、還元ガス
雰囲気中で銀ろうにて接合して負電極とし、一方、前記
焼結体の端部に露出したリード線に、線材またはキャッ
プ状の金具より成る電極取り出し金具を同様に銀ろうに
て接合して正電極として接続し、正負の電極を導出した
直径約３．４ｍｍの評価用のセラミック発熱体を作製し
た。
【００１９】次いで、前記評価用のセラミック発熱体の
一部を使用し、基体中に分散して存在する前記母材より
大きい熱膨張係数を有する金属の炭化物、珪化物、窒化
物および硼化物等の含有量をＩＣＰ発光分光分析法にて
測定するとともに、前記セラミック発熱体の断面を研磨
加工した後、研磨面を走査型電子顕微鏡にて撮影し、写
真より前記含有物の平均粒径を求めた。
一部を使用し、基体中に分散して存在する前記母材より
大きい熱膨張係数を有する金属の炭化物、珪化物、窒化
物および硼化物等の含有量をＩＣＰ発光分光分析法にて
測定するとともに、前記セラミック発熱体の断面を研磨
加工した後、研磨面を走査型電子顕微鏡にて撮影し、写
真より前記含有物の平均粒径を求めた。
【００２０】また、前記セラミック発熱体と同様にして
作製した略並行に埋設した発熱部の発熱抵抗線の間隔と
ほぼ同寸法の電極部を有する評価用試料を用いて、前記
発熱抵抗線に通電して加熱し、放射温度計にて表面温度
を測定しながら、１４００℃に保持した時の前記発熱部
の両電極間の抵抗を測定し、単位距離当たりの抵抗値を
算出して絶縁抵抗とした。
作製した略並行に埋設した発熱部の発熱抵抗線の間隔と
ほぼ同寸法の電極部を有する評価用試料を用いて、前記
発熱抵抗線に通電して加熱し、放射温度計にて表面温度
を測定しながら、１４００℃に保持した時の前記発熱部
の両電極間の抵抗を測定し、単位距離当たりの抵抗値を
算出して絶縁抵抗とした。
【００２１】一方、他の前記評価用のセラミック発熱体
を使用し、１４Ｖの直流を２分間通電して１４５０℃ま
で急速昇温した後、通電を停止して２分間圧搾空気を吹
きつけ強制冷却する工程を１サイクルとする高負荷耐久
試験を、断線して発熱しなくなるまで継続した。以上の
結果を表１及び表２に示す。
を使用し、１４Ｖの直流を２分間通電して１４５０℃ま
で急速昇温した後、通電を停止して２分間圧搾空気を吹
きつけ強制冷却する工程を１サイクルとする高負荷耐久
試験を、断線して発熱しなくなるまで継続した。以上の
結果を表１及び表２に示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【表２】
【００２４】その結果、前記含有量が３重量％未満では
１４００℃の絶縁抵抗は高いものの、高温耐久試験が１
００００サイクル以下と低く、逆に２５重量％を超える
と絶縁抵抗が極端に低くなり、一方、前記含有物の平均
粒径が３μｍ未満では絶縁抵抗が１０．０ｋΩ／ｍｍ未
満となり、逆に２５μｍを超えると高温耐久試験は１０
０００サイクル以下となった。これに対し、本願発明の
セラミック発熱体は、１４００℃における１０．０ｋΩ
／ｍｍ以上の絶縁抵抗を有し、かつ高温耐久試験も１３
０００サイクル以上であることが確認できた。
１４００℃の絶縁抵抗は高いものの、高温耐久試験が１
００００サイクル以下と低く、逆に２５重量％を超える
と絶縁抵抗が極端に低くなり、一方、前記含有物の平均
粒径が３μｍ未満では絶縁抵抗が１０．０ｋΩ／ｍｍ未
満となり、逆に２５μｍを超えると高温耐久試験は１０
０００サイクル以下となった。これに対し、本願発明の
セラミック発熱体は、１４００℃における１０．０ｋΩ
／ｍｍ以上の絶縁抵抗を有し、かつ高温耐久試験も１３
０００サイクル以上であることが確認できた。
【００２５】叙上の如く、本発明のセラミック発熱体
は、母材を窒化珪素または窒化アルミニウムを主成分と
し、該母材より大きい熱膨張係数を有する金属の炭化
物、珪化物、窒化物および硼化物より選ばれた一種以上
を３〜２５重量％含有させ、その含有物が３〜２５μｍ
の平均粒径を有し、かつ１４００℃の絶縁抵抗が１０．
０ｋΩ／ｍｍ以上であるセラミック焼結体中に無機導電
材から成る発熱抵抗体を埋設したことから、発熱抵抗体
及び母材の耐酸化性を向上させ、かつ高温での絶縁抵抗
の劣化を防止し、長時間の連続稼働が可能で、複雑な構
造を必要としない耐久性に優れたセラミック発熱体を得
ることができる。
は、母材を窒化珪素または窒化アルミニウムを主成分と
し、該母材より大きい熱膨張係数を有する金属の炭化
物、珪化物、窒化物および硼化物より選ばれた一種以上
を３〜２５重量％含有させ、その含有物が３〜２５μｍ
の平均粒径を有し、かつ１４００℃の絶縁抵抗が１０．
０ｋΩ／ｍｍ以上であるセラミック焼結体中に無機導電
材から成る発熱抵抗体を埋設したことから、発熱抵抗体
及び母材の耐酸化性を向上させ、かつ高温での絶縁抵抗
の劣化を防止し、長時間の連続稼働が可能で、複雑な構
造を必要としない耐久性に優れたセラミック発熱体を得
ることができる。
【図１】本発明のセラミック発熱体の基体を成す窒化珪
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とする母材に、含有物がモリ
ブデン（Ｍｏ）の珪化物（ＭｏＳｉ2 ）であるセラミッ
ク焼結体を示す組織を２００倍に拡大した模式図であ
る。
素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）を主成分とする母材に、含有物がモリ
ブデン（Ｍｏ）の珪化物（ＭｏＳｉ2 ）であるセラミッ
ク焼結体を示す組織を２００倍に拡大した模式図であ
る。
【図２】本発明のセラミック発熱体をディーゼルエンジ
ンの始動補助用に使用されるグロープラグに適用した一
実施例を示す断面図である。
ンの始動補助用に使用されるグロープラグに適用した一
実施例を示す断面図である。
【図３】従来のセラミック発熱体の要部を示す断面図で
ある。
ある。
１ セラミック発熱体 ２ セラミック焼結体 ３ 発熱抵抗体 ４ 母材 ５ 含有物
Claims (1)
- 【請求項１】セラミック焼結体中に無機導電材から成る
発熱抵抗体を埋設したセラミック発熱体において、前記
セラミック発熱体が窒化珪素または窒化アルミニウムを
主成分とする母材に、該母材より熱膨張係数が大なる金
属の炭化物、珪化物、窒化物および硼化物より選ばれた
一種以上を３〜２５重量％含有し、該含有物の平均粒径
が３〜２５μｍであるとともに、前記発熱抵抗体の少な
くとも発熱部における両電極間の絶縁抵抗が、１４００
℃で１０．０ｋΩ／ｍｍ以上であることを特徴とするセ
ラミック発熱体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05038689A JP3078418B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | セラミック発熱体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05038689A JP3078418B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | セラミック発熱体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06251862A JPH06251862A (ja) | 1994-09-09 |
| JP3078418B2 true JP3078418B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=12532272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05038689A Expired - Lifetime JP3078418B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | セラミック発熱体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078418B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3115254B2 (ja) * | 1996-03-29 | 2000-12-04 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ |
| JPH10300085A (ja) * | 1997-04-22 | 1998-11-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒータおよびセラミックグロープラグ |
| JP3411498B2 (ja) * | 1997-04-23 | 2003-06-03 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ、その製造方法、及びセラミックグロープラグ |
| JP2001153360A (ja) * | 1999-11-22 | 2001-06-08 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒータ及びそれを備えるグロープラグ |
| JP4795534B2 (ja) | 2000-12-28 | 2011-10-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
| JP4685257B2 (ja) | 2001-03-09 | 2011-05-18 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
| JP4996283B2 (ja) * | 2006-05-18 | 2012-08-08 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ及びグロープラグ |
| US8227726B2 (en) | 2006-05-18 | 2012-07-24 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Ceramic heater and glow plug |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP05038689A patent/JP3078418B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06251862A (ja) | 1994-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5989896B2 (ja) | セラミックヒータ | |
| JP5261103B2 (ja) | セラミックヒーター | |
| JPS6219034B2 (ja) | ||
| JPH09137945A (ja) | セラミックヒータ、セラミックグロープラグおよびその製造方法 | |
| JP3078418B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
| JP2005315447A (ja) | セラミックヒーターおよびグロープラグ | |
| JP4018998B2 (ja) | セラミックヒータおよびグロープラグ | |
| JP3886699B2 (ja) | グロープラグ及びその製造方法 | |
| JP2004061041A (ja) | セラミックグロープラグ | |
| JP3601079B2 (ja) | セラミックヒータ | |
| JP3426678B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
| JP2735725B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
| JP3807813B2 (ja) | セラミックヒータ及びセラミックグロープラグ | |
| JPH0128467B2 (ja) | ||
| JPH07151332A (ja) | セラミックグロープラグ | |
| JP3588227B2 (ja) | セラミックヒータ | |
| JP4153840B2 (ja) | セラミックヒータ | |
| JPH07139737A (ja) | セラミック発熱体 | |
| JP2735721B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
| JP3439807B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
| JP4038138B2 (ja) | セラミックヒータおよびその製造方法 | |
| JP3004134B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
| JPH05242957A (ja) | セラミック発熱体 | |
| JP3004141B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
| JPH1154246A (ja) | セラミック発熱体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090616 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090616 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110616 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130616 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |