JPH0477012A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH0477012A JPH0477012A JP18763690A JP18763690A JPH0477012A JP H0477012 A JPH0477012 A JP H0477012A JP 18763690 A JP18763690 A JP 18763690A JP 18763690 A JP18763690 A JP 18763690A JP H0477012 A JPH0477012 A JP H0477012A
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- Japan
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- electrode finger
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は弾性表面波装置に関する。
弾性表面波装置では、第４図に示すように、圧電基板３
上に１対の接続用の電極２を設け、各電極２に接続した
交差状電極指１を形成して、弾性表面波の励振および受
信を行なわせる。従来の弾性表面波装置の設計パラメー
タ、すなわち交差状電極指１の幅や膜厚、配列ピッチ等
は、特に限定条件を課さずに設定されている。
上に１対の接続用の電極２を設け、各電極２に接続した
交差状電極指１を形成して、弾性表面波の励振および受
信を行なわせる。従来の弾性表面波装置の設計パラメー
タ、すなわち交差状電極指１の幅や膜厚、配列ピッチ等
は、特に限定条件を課さずに設定されている。
上述した従来の弾性表面波装置では、交差状電極指１の
幅の製造ばらつきが、装置の中心周波数を変動させる。
幅の製造ばらつきが、装置の中心周波数を変動させる。
特に、（膜厚）／（電極指間圧ｌＩｉりつまり（膜厚）
／（中心周波数の波長）の値が大きい程、電極指幅のば
らつきが中心周波数変動に与える影響が大きい。このよ
うな場合、所望の周波数特性を持つ製品を得るためには
、精密な成膜装置のコントロールを必要とし、特に膜厚
の厚いもの、周波数規格の狭いものは製造時の良品率が
低下するという問題点がある。
／（中心周波数の波長）の値が大きい程、電極指幅のば
らつきが中心周波数変動に与える影響が大きい。このよ
うな場合、所望の周波数特性を持つ製品を得るためには
、精密な成膜装置のコントロールを必要とし、特に膜厚
の厚いもの、周波数規格の狭いものは製造時の良品率が
低下するという問題点がある。
本発明の装置は、複数本の交差指状電極を配列した圧電
基板を有する弾性表面波装置において、前記交差指状電
極の膜厚と配列ピッチとの比を−定値以下に押さえ、前
記交差指状電極の幅の変動に対する中心周波数の変動が
極小になるよう該交差指状電極の幅を設定している。
基板を有する弾性表面波装置において、前記交差指状電
極の膜厚と配列ピッチとの比を−定値以下に押さえ、前
記交差指状電極の幅の変動に対する中心周波数の変動が
極小になるよう該交差指状電極の幅を設定している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）、（ｂ）ならびに第２図（ａ）（ｂ）は本
発明の第１ならびに第２の実施例の部分側面図、部分平
面図である。交差状電極指１は、圧電基板３上にフォト
エツチングによって形成されたアルミニウムの膜パター
ンで、膜厚をｈ、電極指間距離をλ、電極指幅をＨで表
わしである。寸法比のパラメータとして、膜厚／波長−
ｈ／λ、および電極指幅比率−Ｈ／（λ／４）を定義す
る。なお、電極指幅比率の方は、Ｈ＝λ／４となる電極
指幅比率を１００％と定義している。
発明の第１ならびに第２の実施例の部分側面図、部分平
面図である。交差状電極指１は、圧電基板３上にフォト
エツチングによって形成されたアルミニウムの膜パター
ンで、膜厚をｈ、電極指間距離をλ、電極指幅をＨで表
わしである。寸法比のパラメータとして、膜厚／波長−
ｈ／λ、および電極指幅比率−Ｈ／（λ／４）を定義す
る。なお、電極指幅比率の方は、Ｈ＝λ／４となる電極
指幅比率を１００％と定義している。
圧電基板３上に交差状電極指１を形成すると、質量付加
効果、電気的短絡効果および弾性表面波の反射効果など
によって、弾性表面波、素子の中心周波数が低、下する
が、この低下量は、第３図に示すように、膜厚／′波長
−ｈ７・′λおよび電極指幅比率＝Ｈ／（λ／４）をパ
ラメータとする関数である。
効果、電気的短絡効果および弾性表面波の反射効果など
によって、弾性表面波、素子の中心周波数が低、下する
が、この低下量は、第３図に示すように、膜厚／′波長
−ｈ７・′λおよび電極指幅比率＝Ｈ／（λ／４）をパ
ラメータとする関数である。
本実施例では電極指幅比率Ｈ／（λ／′４）のばらつき
に対して周波数変化か最も小さいポイント、つまり中心
周波数低下量のＨ／′（λ／４）についての微係数がゼ
ロとなる点にパラメータを設定する。第３図において、
ｈ／λ−Ａ＋２ｂ、ｈ／λ−Ａ＋３ｂ、ｈ／λ二Ａ＋４
ｂの膜厚／波長では、上述の微係数ゼロの極小点は無い
が、ｈｌ、・′λ−Ａ、ｈ／λ−Ａ十すでは、極小点ポ
イント１、ポイント２が存在する。従って、このポイン
ト１あるいはポイント２に対応するＭ厚／波長ｈ／λお
よび電極指幅比率−Ｈ（λ７／４）になるようい膜厚ｈ
、電極指間隔λ、電極指幅Ｈを設定して設計すれば、電
極指幅Ｈのばらつきな中心周波数が影響を受けにくい装
置を実現できる。第１図（ａ＞、（ｂ）、ならびに第２
図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、第３図中のポイント１な
らひにポイント２に対応した設計例であり、後者は前者
よりも膜厚りを厚くしであるが、これに対応して電極指
幅Ｈを広くして、上述の極小値ポイントを保っている。
に対して周波数変化か最も小さいポイント、つまり中心
周波数低下量のＨ／′（λ／４）についての微係数がゼ
ロとなる点にパラメータを設定する。第３図において、
ｈ／λ−Ａ＋２ｂ、ｈ／λ−Ａ＋３ｂ、ｈ／λ二Ａ＋４
ｂの膜厚／波長では、上述の微係数ゼロの極小点は無い
が、ｈｌ、・′λ−Ａ、ｈ／λ−Ａ十すでは、極小点ポ
イント１、ポイント２が存在する。従って、このポイン
ト１あるいはポイント２に対応するＭ厚／波長ｈ／λお
よび電極指幅比率−Ｈ（λ７／４）になるようい膜厚ｈ
、電極指間隔λ、電極指幅Ｈを設定して設計すれば、電
極指幅Ｈのばらつきな中心周波数が影響を受けにくい装
置を実現できる。第１図（ａ＞、（ｂ）、ならびに第２
図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、第３図中のポイント１な
らひにポイント２に対応した設計例であり、後者は前者
よりも膜厚りを厚くしであるが、これに対応して電極指
幅Ｈを広くして、上述の極小値ポイントを保っている。
以上説明したように本発明によれば、膜厚／波長に対し
最適の電極指幅比率を設定して、電極指幅のばらつきに
対して中心周波数の変化量が小さい弾性表面波装置が得
られる。従って、電極指幅が製造時に若干ばらついてい
ても、製品の特性ばらつきを最小におさえることができ
、良品率を高めて価格を低減できる効果がある。
最適の電極指幅比率を設定して、電極指幅のばらつきに
対して中心周波数の変化量が小さい弾性表面波装置が得
られる。従って、電極指幅が製造時に若干ばらついてい
ても、製品の特性ばらつきを最小におさえることができ
、良品率を高めて価格を低減できる効果がある。
第１図（ａ）、（ｂ）ならびに第２図（ａ）。
（ｂ）は本発明の実施例の部分側面図ならびに部分平面
図、第３図は本発明の詳細な説明するための特性図、第
４図は従来および本発明の装置を示す平面図である。 １・・・交差状電極指、２・・・電極、３・・・圧電基
板。
図、第３図は本発明の詳細な説明するための特性図、第
４図は従来および本発明の装置を示す平面図である。 １・・・交差状電極指、２・・・電極、３・・・圧電基
板。
Claims (1)
- 複数本の交差指状電極を配列した圧電基板を有する弾
性表面波装置において、前記交差指状電極の膜厚と配列
ピッチとの比を一定値以下に押さえ、前記交差指状電極
の幅の変動に対する中心周波数の変動が極小になるよう
該交差指状電極の幅を設定していることを特徴とする弾
性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18763690A JPH0477012A (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18763690A JPH0477012A (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0477012A true JPH0477012A (ja) | 1992-03-11 |
Family
ID=16209583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18763690A Pending JPH0477012A (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0477012A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6940208B2 (en) * | 2001-07-24 | 2005-09-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
-
1990
- 1990-07-16 JP JP18763690A patent/JPH0477012A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6940208B2 (en) * | 2001-07-24 | 2005-09-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US7132779B2 (en) | 2001-07-24 | 2006-11-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
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