JPH04356742A - 光記録ディスク - Google Patents
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- JPH04356742A JPH04356742A JP3131234A JP13123491A JPH04356742A JP H04356742 A JPH04356742 A JP H04356742A JP 3131234 A JP3131234 A JP 3131234A JP 13123491 A JP13123491 A JP 13123491A JP H04356742 A JPH04356742 A JP H04356742A
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Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザー光により情報
の書込・読出を行う光記録ディスクに関し、特に追記形
光記録ディスクや光磁気記録単板ディスクの層構造に関
する。
の書込・読出を行う光記録ディスクに関し、特に追記形
光記録ディスクや光磁気記録単板ディスクの層構造に関
する。
【0002】
【従来の技術】光記録ディスクは、記録密度が極めて高
いことから大容量記憶媒体として優れた特徴を有してい
る。この種の光ディスクとして追記形光記録ディスクや
、書き換え自在の光磁気記録用単板ディスクがある。 特に後者はカー効果を利用したもので、そのコンパクト
性から極めて実用性が高い。
いことから大容量記憶媒体として優れた特徴を有してい
る。この種の光ディスクとして追記形光記録ディスクや
、書き換え自在の光磁気記録用単板ディスクがある。 特に後者はカー効果を利用したもので、そのコンパクト
性から極めて実用性が高い。
【0003】追記形光記録ディスクには、当初、Taと
Pbとが用いられており{サイエンス(Science
)154、1550、(1966)}、その後、数々の
材料および層構造のものが開発されてきた。
Pbとが用いられており{サイエンス(Science
)154、1550、(1966)}、その後、数々の
材料および層構造のものが開発されてきた。
【0004】図7は従来の代表的な追記形光記録ディス
クの層構造を示す概略断面図である。この図を参照する
と、従来の追記形光記録ディスクは、例えば、基板1に
、第一の透明干渉層2、活性記録層3、第二の透明干渉
層4、反射層57 を順次積み重ねた層構造を有する。 他の付着層等を介在させる場合もあるが、少なくとも図
7に示した順に積層される。
クの層構造を示す概略断面図である。この図を参照する
と、従来の追記形光記録ディスクは、例えば、基板1に
、第一の透明干渉層2、活性記録層3、第二の透明干渉
層4、反射層57 を順次積み重ねた層構造を有する。 他の付着層等を介在させる場合もあるが、少なくとも図
7に示した順に積層される。
【0005】基板1にはポリカーボネート樹脂板やフォ
トポリマーのついたガラス板、あるいはフォトポリマー
のついたアクリル樹脂板が用いられ、トラッキング・サ
ーボ用に案内溝や案内ピットが形成されている。
トポリマーのついたガラス板、あるいはフォトポリマー
のついたアクリル樹脂板が用いられ、トラッキング・サ
ーボ用に案内溝や案内ピットが形成されている。
【0006】また、第一および第二の透明干渉層2、4
には少なくともZnSとSiO2 とを含む混合物が用
いられ、活性記録層3は少なくともGe2Sb2 Te
5 化合物を含み、反射層57 にはAlTi合金が用
いられる。
には少なくともZnSとSiO2 とを含む混合物が用
いられ、活性記録層3は少なくともGe2Sb2 Te
5 化合物を含み、反射層57 にはAlTi合金が用
いられる。
【0007】追記形光記録ディスクは、この図7の層構
造のままでレーザー光を基板1を通して入射することに
より情報の書込・読出を行う場合もあるが、反射層57
の上にホットメルト剤を塗布して図7の層構造の追記
形光記録ディスクを二組設け、各基板1が外側になるよ
うに貼合わせて情報の書込・読出を行う場合もある。こ
のとき、反射層57 にUV硬化樹脂のオーバーコート
層を形成してから貼合わせることもある。また、二組の
追記形光記録ディスクを設け、各々基板1を外側に配し
、内側の反射層57 同士を空気間隙を介して対向させ
たエアサンドイッチ構造にして情報の書込・読出を行う
場合もある。
造のままでレーザー光を基板1を通して入射することに
より情報の書込・読出を行う場合もあるが、反射層57
の上にホットメルト剤を塗布して図7の層構造の追記
形光記録ディスクを二組設け、各基板1が外側になるよ
うに貼合わせて情報の書込・読出を行う場合もある。こ
のとき、反射層57 にUV硬化樹脂のオーバーコート
層を形成してから貼合わせることもある。また、二組の
追記形光記録ディスクを設け、各々基板1を外側に配し
、内側の反射層57 同士を空気間隙を介して対向させ
たエアサンドイッチ構造にして情報の書込・読出を行う
場合もある。
【0008】書込・読出用のレーザー光は基板1を通し
て入射し、活性記録層3の近傍でおよそφ1.4[μm
]になるようにフォーカシング・サーボにより集光され
る。レーザー光源としては波長8300オングストロー
ム前後の半導体レーザーが用いられる。
て入射し、活性記録層3の近傍でおよそφ1.4[μm
]になるようにフォーカシング・サーボにより集光され
る。レーザー光源としては波長8300オングストロー
ム前後の半導体レーザーが用いられる。
【0009】情報を書き込むときには、該情報に対応さ
せて高パワーのレーザー光を照射することにより、活性
記録層3にレーザー光のエネルギーを吸収させ、それを
熱エネルギーに変換させ昇温させる。このとき活性記録
層3の状態が変化したりその上下の層が変形したりする
ことで記録マークが形成される。
せて高パワーのレーザー光を照射することにより、活性
記録層3にレーザー光のエネルギーを吸収させ、それを
熱エネルギーに変換させ昇温させる。このとき活性記録
層3の状態が変化したりその上下の層が変形したりする
ことで記録マークが形成される。
【0010】情報の読出は、低パワーのレーザー光を移
動させながら記録マークに照射することにより、記録マ
ークのあるところからの反射光と記録マークのないとこ
ろからの反射光との差を検出することによる。
動させながら記録マークに照射することにより、記録マ
ークのあるところからの反射光と記録マークのないとこ
ろからの反射光との差を検出することによる。
【0011】図8は従来の代表的な光磁気記録単板ディ
スクの層構造を示す概略断面図である。この図を参照す
ると、従来の光磁気記録単板ディスクは、例えば、基板
1に、第三の透明干渉層6、垂直磁化可能な光磁気層7
、第四の透明干渉層8、反射層98 を順次積み重ねた
層構造を有する。他の付着層等を介在させる場合もある
が、少なくとも図8に示した順に積層される。
スクの層構造を示す概略断面図である。この図を参照す
ると、従来の光磁気記録単板ディスクは、例えば、基板
1に、第三の透明干渉層6、垂直磁化可能な光磁気層7
、第四の透明干渉層8、反射層98 を順次積み重ねた
層構造を有する。他の付着層等を介在させる場合もある
が、少なくとも図8に示した順に積層される。
【0012】基板1には、追記形光記録ディスクと同様
に、ポリカーボネート樹脂板やフォトポリマーのついた
ガラス板、あるいはフォトポリマーのついたアクリル樹
脂板が用いられ、トラッキング・サーボ用に案内溝や案
内ピットが形成されている。
に、ポリカーボネート樹脂板やフォトポリマーのついた
ガラス板、あるいはフォトポリマーのついたアクリル樹
脂板が用いられ、トラッキング・サーボ用に案内溝や案
内ピットが形成されている。
【0013】また、光磁気層7は、鉄族遷移金属と希土
類遷移金属との非晶質合金のフェリ磁性体から成る膜で
あり、例えばTbFeCoの3元合金やDyFeCoの
3元合金が提案されている(特公平第1−23927号
公報参照)。このようなフェリ磁性体は非常に酸化され
やすいので、これを防止するために、第三の透明干渉層
6と第四の透明干渉層8とで挟みこんでいる。第三およ
び第四の透明干渉層6,8には、通常、窒化シリコン膜
が用いられる。
類遷移金属との非晶質合金のフェリ磁性体から成る膜で
あり、例えばTbFeCoの3元合金やDyFeCoの
3元合金が提案されている(特公平第1−23927号
公報参照)。このようなフェリ磁性体は非常に酸化され
やすいので、これを防止するために、第三の透明干渉層
6と第四の透明干渉層8とで挟みこんでいる。第三およ
び第四の透明干渉層6,8には、通常、窒化シリコン膜
が用いられる。
【0014】また、反射層98 には、通常、AlTi
合金から成る膜が用いられる。
合金から成る膜が用いられる。
【0015】書込・読出用のレーザー光は、追記形光記
録ディスクの場合と同様に、基板1を通して入射され、
光磁気層7の近傍でおよそφ1.4[μm]になるよう
にフォーカシング・サーボにより集光される。レーザー
光源としては波長8300オングストローム前後の半導
体レーザーが用いられる。
録ディスクの場合と同様に、基板1を通して入射され、
光磁気層7の近傍でおよそφ1.4[μm]になるよう
にフォーカシング・サーボにより集光される。レーザー
光源としては波長8300オングストローム前後の半導
体レーザーが用いられる。
【0016】光磁気記録単板ディスクへの情報の書込は
、情報に対応させて高パワーのレーザー光を照射するこ
とにより、光磁気層7にレーザー光のエネルギーを吸収
させ、それを熱エネルギーに変換させ、キュリー温度近
傍にまで昇温させる。この昇温部分を含む領域に記録バ
イアス磁界をかけておき、昇温部分の磁化を他の部分と
は逆の方向に配向せしめることで情報の書込状態を形成
する。
、情報に対応させて高パワーのレーザー光を照射するこ
とにより、光磁気層7にレーザー光のエネルギーを吸収
させ、それを熱エネルギーに変換させ、キュリー温度近
傍にまで昇温させる。この昇温部分を含む領域に記録バ
イアス磁界をかけておき、昇温部分の磁化を他の部分と
は逆の方向に配向せしめることで情報の書込状態を形成
する。
【0017】情報の読出は、直線偏光した集束レーザー
光を光磁気層7に照射し、そこからの反射光を検光子を
介して光学的に検出することによる。即ち、光磁気層7
は、カー効果により反射光の偏光面を回転させる効果が
あるので、反射光の偏光回転角θk が光磁気層7の垂
直磁化の向きにより異なる利用して、反射光が光検出手
段に入射する前に検光子を通し、磁化の向きに対応した
情報を光量変化として読み出す。光磁気層7の材料自体
の偏光回転角θk は小さいので、第三および第四の透
明干渉層6,8と反射層98 とによる多重干渉効果に
よる読出信号の増幅が行われる。
光を光磁気層7に照射し、そこからの反射光を検光子を
介して光学的に検出することによる。即ち、光磁気層7
は、カー効果により反射光の偏光面を回転させる効果が
あるので、反射光の偏光回転角θk が光磁気層7の垂
直磁化の向きにより異なる利用して、反射光が光検出手
段に入射する前に検光子を通し、磁化の向きに対応した
情報を光量変化として読み出す。光磁気層7の材料自体
の偏光回転角θk は小さいので、第三および第四の透
明干渉層6,8と反射層98 とによる多重干渉効果に
よる読出信号の増幅が行われる。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来、追記
形光記録ディスクや光磁気記録単板ディスク等の光記録
ディスクでは、耐候性についての配慮がなされていない
。そのため、高温多湿の環境で使用したり、温度変化が
変化する場所で使用すると、ディスクの反射層57 ,
98 が酸化して局部的に腐食するとともに、使用時に
おける書込・読出特性が悪化する問題があった。通常環
境の下であっても経年変化により同様の問題を生じさせ
ていた。
形光記録ディスクや光磁気記録単板ディスク等の光記録
ディスクでは、耐候性についての配慮がなされていない
。そのため、高温多湿の環境で使用したり、温度変化が
変化する場所で使用すると、ディスクの反射層57 ,
98 が酸化して局部的に腐食するとともに、使用時に
おける書込・読出特性が悪化する問題があった。通常環
境の下であっても経年変化により同様の問題を生じさせ
ていた。
【0019】本発明はかかる問題点を解決するためにな
されたものであり、その目的とするところは、耐候性に
優れた光記録ディスクを提供することにある。
されたものであり、その目的とするところは、耐候性に
優れた光記録ディスクを提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、基板上に第一の透明干渉層と活性記
録層と第二の透明干渉層と反射層とを少なくともこの順
に形成して成り、レーザー光を基板を通して活性記録層
に集束して照射することで情報の書込が行われ、一方、
レーザー光を基板を通して活性記録層に集束して移動さ
せながら照射することで情報の読出が行われる光記録デ
ィスクであって、前記第一および第二の透明干渉層はZ
nOとSiO2 とを少なくとも含む膜であり、前記活
性記録層はGe2 Sb2 Te5 化合物を少なくと
も含む膜であり、前記反射層はAlNi合金の膜である
ことを特徴とする。
の本発明の構成は、基板上に第一の透明干渉層と活性記
録層と第二の透明干渉層と反射層とを少なくともこの順
に形成して成り、レーザー光を基板を通して活性記録層
に集束して照射することで情報の書込が行われ、一方、
レーザー光を基板を通して活性記録層に集束して移動さ
せながら照射することで情報の読出が行われる光記録デ
ィスクであって、前記第一および第二の透明干渉層はZ
nOとSiO2 とを少なくとも含む膜であり、前記活
性記録層はGe2 Sb2 Te5 化合物を少なくと
も含む膜であり、前記反射層はAlNi合金の膜である
ことを特徴とする。
【0021】また、上記目的を達成するための本発明の
構成は、基板上に第三の透明干渉層と垂直磁化可能な光
磁気層と第四の透明干渉層と反射層とを少なくともこの
順に形成して成り、レーザー光を基板を通して光磁気層
に集束して照射することで情報の書込が行われ、一方、
レーザー光を基板を通して光磁気層に集束して移動させ
ながら照射することで情報の読出が行われる光記録ディ
スクであって、前記第三および第四の透明干渉層は窒化
シリコンの膜であり、前記光磁気層はTbFeCoTi
を必須成分とするフェリ磁性体の膜であり、前記反射層
はAlNi合金の膜であることを特徴とする。
構成は、基板上に第三の透明干渉層と垂直磁化可能な光
磁気層と第四の透明干渉層と反射層とを少なくともこの
順に形成して成り、レーザー光を基板を通して光磁気層
に集束して照射することで情報の書込が行われ、一方、
レーザー光を基板を通して光磁気層に集束して移動させ
ながら照射することで情報の読出が行われる光記録ディ
スクであって、前記第三および第四の透明干渉層は窒化
シリコンの膜であり、前記光磁気層はTbFeCoTi
を必須成分とするフェリ磁性体の膜であり、前記反射層
はAlNi合金の膜であることを特徴とする。
【0022】なお、このような光記録ディスクにおいて
、前記反射層の露出部にUV硬化樹脂から成るオーバー
コート層を形成し、更に、前記基板の露出部にSiO2
から成るバックコート層を形成した。
、前記反射層の露出部にUV硬化樹脂から成るオーバー
コート層を形成し、更に、前記基板の露出部にSiO2
から成るバックコート層を形成した。
【0023】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。なお、本発明は従来の追記形光記録媒体を改良し
たものなので、従来のものと同一材料および層構造につ
いては同一符号を付してその説明を省略する。 (第一実施例)図1は本発明の第一実施例に係る追記形
光記録ディスクの層構造を示す概略断面図である。
する。なお、本発明は従来の追記形光記録媒体を改良し
たものなので、従来のものと同一材料および層構造につ
いては同一符号を付してその説明を省略する。 (第一実施例)図1は本発明の第一実施例に係る追記形
光記録ディスクの層構造を示す概略断面図である。
【0024】本実施例の追記形光記録ディスクは、図1
のように、基板1、第一の透明干渉層2、活性記録層3
、第二の透明干渉層4を順次積層し、更に、第二の透明
干渉層4の上にAlNi合金の膜から成る反射層51
を形成したものである。この反射層51 の材料となる
AlNi合金のNi含有量は、Niが少なくとも10重
量%を超えるものが望ましい。
のように、基板1、第一の透明干渉層2、活性記録層3
、第二の透明干渉層4を順次積層し、更に、第二の透明
干渉層4の上にAlNi合金の膜から成る反射層51
を形成したものである。この反射層51 の材料となる
AlNi合金のNi含有量は、Niが少なくとも10重
量%を超えるものが望ましい。
【0025】このようにすることで、耐候性に優れる追
記形光記録ディスクが得られることが本発明者らによる
数々の試みの結果、明らかになった。
記形光記録ディスクが得られることが本発明者らによる
数々の試みの結果、明らかになった。
【0026】以下、具体的に説明する。
【0027】まず、フォトポリマーによって案内溝が形
成された直径305.5[mm]、厚さ1.18[mm
]のガラスディスクの基板1を図示を省略したスパッタ
装置内に載置し、1×10−6[Torr]以下に真空
排気した後、フォトポリマー層をおよそ2オングストロ
ーム程度逆スパッタし、その後、ZnSとSiO2 と
の混合物(SiO2 の含有量は17モル%)の焼結タ
ーゲットをアルゴンガスによりスパッタすることで、6
00オングストローム厚のZnSとSiO2 との混合
物の第一の透明干渉層2を形成した。
成された直径305.5[mm]、厚さ1.18[mm
]のガラスディスクの基板1を図示を省略したスパッタ
装置内に載置し、1×10−6[Torr]以下に真空
排気した後、フォトポリマー層をおよそ2オングストロ
ーム程度逆スパッタし、その後、ZnSとSiO2 と
の混合物(SiO2 の含有量は17モル%)の焼結タ
ーゲットをアルゴンガスによりスパッタすることで、6
00オングストローム厚のZnSとSiO2 との混合
物の第一の透明干渉層2を形成した。
【0028】次に、第一の透明干渉層2の上に、Ge2
Sb2 Te5 ターゲットをアルゴンガスによりス
パッタすることで、80オングストローム厚のGe2
Sb2 Te5の活性記録層3を形成した。
Sb2 Te5 ターゲットをアルゴンガスによりス
パッタすることで、80オングストローム厚のGe2
Sb2 Te5の活性記録層3を形成した。
【0029】次に、活性記録層3の上にZnSとSiO
2 との混合物(SiO2 の含有量は17モル%)の
焼結ターゲットをアルゴンガスによりスパッタすること
で、1000オングストローム厚のZnSとSiO2
との混合物の第二の透明干渉層4を形成した。
2 との混合物(SiO2 の含有量は17モル%)の
焼結ターゲットをアルゴンガスによりスパッタすること
で、1000オングストローム厚のZnSとSiO2
との混合物の第二の透明干渉層4を形成した。
【0030】そして、この第二の透明干渉層4の上にA
lNi合金ターゲット(Niの含有量は19. 47重
量%)をアルゴンガスによりスパッタすることで、40
0オングストローム厚のAlNiの反射層51 を形成
して図1に示す層構造とした。
lNi合金ターゲット(Niの含有量は19. 47重
量%)をアルゴンガスによりスパッタすることで、40
0オングストローム厚のAlNiの反射層51 を形成
して図1に示す層構造とした。
【0031】その後、スパッタ装置から大気に取り出し
、この反射層51 の上にUV硬化樹脂をスピンコート
し、UV照射することにより、UV硬化樹脂の10[μ
m]厚の貼合保護膜を形成するとともに、このようにし
て形成したディスクを二枚準備し、基板1を外側、各膜
を内側になるようにエアサンドイッチ構造で貼合わせた
。これを線速度5.65[m/s]一定で楕円形状のレ
ーザー光を照射し、情報を書き込むべき領域の活性記録
層3を結晶状態に揃えることで初期化を行い、追記形光
記録ディスクを作製した。
、この反射層51 の上にUV硬化樹脂をスピンコート
し、UV照射することにより、UV硬化樹脂の10[μ
m]厚の貼合保護膜を形成するとともに、このようにし
て形成したディスクを二枚準備し、基板1を外側、各膜
を内側になるようにエアサンドイッチ構造で貼合わせた
。これを線速度5.65[m/s]一定で楕円形状のレ
ーザー光を照射し、情報を書き込むべき領域の活性記録
層3を結晶状態に揃えることで初期化を行い、追記形光
記録ディスクを作製した。
【0032】このようにして作製した追記形光記録ディ
スクを線速度8.01[m/s]で回転させ、波長83
00オングストロームの半導体レーザー光を基板1を通
して活性記録層3上でおよそφ1.4[μm]に絞って
照射した。トラッキング・サーボおよびフォーカシング
・サーボにも用いる読出パワーは1.5[mW]とした
。記録周波数6.28[MHZ ]の信号をパルス幅5
0[ns]、記録パワー10[mW]で書込を行ったと
ころ、書込後の反射率が増大するというモードで、54
[dB]のC/Nが得られ、記録感度が良く、且つ、信
号品質も良い追記形光記録ディスクであることが確認さ
れた。
スクを線速度8.01[m/s]で回転させ、波長83
00オングストロームの半導体レーザー光を基板1を通
して活性記録層3上でおよそφ1.4[μm]に絞って
照射した。トラッキング・サーボおよびフォーカシング
・サーボにも用いる読出パワーは1.5[mW]とした
。記録周波数6.28[MHZ ]の信号をパルス幅5
0[ns]、記録パワー10[mW]で書込を行ったと
ころ、書込後の反射率が増大するというモードで、54
[dB]のC/Nが得られ、記録感度が良く、且つ、信
号品質も良い追記形光記録ディスクであることが確認さ
れた。
【0033】また、この追記形光記録ディスクを80[
℃]90[%]の高温多湿環境に500時間保存して耐
候性の試験を行ったところ、酸化や剥離がなく、実用に
供せるものであることが確認された。
℃]90[%]の高温多湿環境に500時間保存して耐
候性の試験を行ったところ、酸化や剥離がなく、実用に
供せるものであることが確認された。
【0034】次に、スパッタ装置で各膜の厚さを次のよ
うに積層し、上記と同様の方法、環境で書込・読出特性
と耐候性の評価を行った。各膜厚の単位はオングストロ
ームとする。
うに積層し、上記と同様の方法、環境で書込・読出特性
と耐候性の評価を行った。各膜厚の単位はオングストロ
ームとする。
【0035】
第一の透明干渉層2 活性記録層3 第二
の透明干渉層4 反射層5 650
→ 80 → 11
00 → 400 700
→ 60 → 1
100 → 400 600
→ 60 →
1000 → 400 600
→ 40 →
1000 → 400 65
0 → 100 →
900 → 400これらの条
件例では、いずれも書込・読出特性が良く、しかも酸化
、剥離が生じない追記形光記録ディスクであることが確
認された。
の透明干渉層4 反射層5 650
→ 80 → 11
00 → 400 700
→ 60 → 1
100 → 400 600
→ 60 →
1000 → 400 600
→ 40 →
1000 → 400 65
0 → 100 →
900 → 400これらの条
件例では、いずれも書込・読出特性が良く、しかも酸化
、剥離が生じない追記形光記録ディスクであることが確
認された。
【0036】なお、比較例として、反射層51 がAl
Ti合金からなる追記形光記録ディスク(これは図7の
ものと同じ)を作製し、80[℃]90[%]の高温多
湿環境に500時間保存した後に外観検査を行ったとこ
ろ、反射層51 が部分的に酸化している箇所が観察さ
れた。これは、25[℃]50[%]の通常環境に温度
、湿度をおろす際に反射層51 に部分的に結露が生じ
、局部腐食が発生したものと思われる。
Ti合金からなる追記形光記録ディスク(これは図7の
ものと同じ)を作製し、80[℃]90[%]の高温多
湿環境に500時間保存した後に外観検査を行ったとこ
ろ、反射層51 が部分的に酸化している箇所が観察さ
れた。これは、25[℃]50[%]の通常環境に温度
、湿度をおろす際に反射層51 に部分的に結露が生じ
、局部腐食が発生したものと思われる。
【0037】このように、従来の追記形光記録ディスク
は温度、湿度の影響を受けて反射層51 の変質を生じ
易いのに対し、本実施例では、この反射層51 をAl
Ni合金で形成したことで、反射層51 の局部腐食が
抑止されるようになった。したがって、反射層51 の
酸化、剥離が防止されるとともに、AlNi合金はレー
ザー光に悪影響を及ぼさないので、書込・読出特性を劣
下させることもなくなった。
は温度、湿度の影響を受けて反射層51 の変質を生じ
易いのに対し、本実施例では、この反射層51 をAl
Ni合金で形成したことで、反射層51 の局部腐食が
抑止されるようになった。したがって、反射層51 の
酸化、剥離が防止されるとともに、AlNi合金はレー
ザー光に悪影響を及ぼさないので、書込・読出特性を劣
下させることもなくなった。
【0038】更に、反射層51 の上にUV硬化樹脂を
オーバーコートすることで、使用環境の変化による反射
層51 の変質をより効果的に防止することができる。 (第二実施例)図2〜図6は本発明の第二実施例に係る
光磁気記録単板ディスクの層構造の概略断面図である。
オーバーコートすることで、使用環境の変化による反射
層51 の変質をより効果的に防止することができる。 (第二実施例)図2〜図6は本発明の第二実施例に係る
光磁気記録単板ディスクの層構造の概略断面図である。
【0039】本実施例の光磁気記録単板ディスクは、ま
ず、図2に示すように、基板1、第三の透明干渉層6、
光磁気層7、第四の透明干渉層8を順次積層し、更に、
第四の透明干渉層8の上にAlNi合金の膜から成る反
射層92 を形成したものである。この反射層92 の
材料となるAlNi合金のNi含有量は、Niが少なく
とも10重量%を超えるものが望ましい。
ず、図2に示すように、基板1、第三の透明干渉層6、
光磁気層7、第四の透明干渉層8を順次積層し、更に、
第四の透明干渉層8の上にAlNi合金の膜から成る反
射層92 を形成したものである。この反射層92 の
材料となるAlNi合金のNi含有量は、Niが少なく
とも10重量%を超えるものが望ましい。
【0040】なお、第三および第四の透明干渉層は従来
のものと同様、窒化シリコンが最も望ましいが、ZnS
と金属酸化物、ZnSと金属窒化物、ZnSと金属炭化
物、ZnSと金属フッ化物、ZnSと金属ホウ化物、Z
nSと他の金属硫化物との各混合物、あるいは、高屈折
率の多元金属硫化物、窒化アルミニウム、窒化酸化シリ
コン、サイアロン(SiAlON)であっても良い。ま
た多層膜で形成しても構わない。
のものと同様、窒化シリコンが最も望ましいが、ZnS
と金属酸化物、ZnSと金属窒化物、ZnSと金属炭化
物、ZnSと金属フッ化物、ZnSと金属ホウ化物、Z
nSと他の金属硫化物との各混合物、あるいは、高屈折
率の多元金属硫化物、窒化アルミニウム、窒化酸化シリ
コン、サイアロン(SiAlON)であっても良い。ま
た多層膜で形成しても構わない。
【0041】また、光磁気層7の材料は、TbFeTi
、TbFeCr、TbFeNi、TbFeNiCr、T
bFeTa、TbFeNb、TbFePt、TbFeC
oTi、TbFeCoCr、TbFeCoNi、TbF
eCoNiCr、TbFeTiCoTa、TbFeCo
Nb、TbFeCoPt、TbDyFeCoTi、Tb
DyFeCoCr、TbDyFeCoNi、TbDyF
eCoNiCr、TbDyFeCoTa、TbDyFe
CoNb、TbDyFeCoPt、TbNdFeCoT
i、TbNdFeCoCr、TbNdFeCoNi、T
bNdFeCoNiCr、TbNdFeCoTa、Tb
NdFeCoNb、TbNdFeCoPt、TbGdF
eCoNi、TbGdFeCoCr、TbGdFeCo
Ni、TbGdFeCoNiCr、TbGdFeCoT
a、TbGdFeCoNb、TbGdFeCoPtが望
ましく、特にTbFeCoTiが望ましい。
、TbFeCr、TbFeNi、TbFeNiCr、T
bFeTa、TbFeNb、TbFePt、TbFeC
oTi、TbFeCoCr、TbFeCoNi、TbF
eCoNiCr、TbFeTiCoTa、TbFeCo
Nb、TbFeCoPt、TbDyFeCoTi、Tb
DyFeCoCr、TbDyFeCoNi、TbDyF
eCoNiCr、TbDyFeCoTa、TbDyFe
CoNb、TbDyFeCoPt、TbNdFeCoT
i、TbNdFeCoCr、TbNdFeCoNi、T
bNdFeCoNiCr、TbNdFeCoTa、Tb
NdFeCoNb、TbNdFeCoPt、TbGdF
eCoNi、TbGdFeCoCr、TbGdFeCo
Ni、TbGdFeCoNiCr、TbGdFeCoT
a、TbGdFeCoNb、TbGdFeCoPtが望
ましく、特にTbFeCoTiが望ましい。
【0042】このようにすることで、耐候性に優れる光
磁気記録単板ディスクが得られることが本発明者らによ
る数々の試みの結果、明らかになった。
磁気記録単板ディスクが得られることが本発明者らによ
る数々の試みの結果、明らかになった。
【0043】更に、図3に示すように、反射層92 の
上にUV硬化樹脂のオーバーコート層10を形成するこ
とで、より耐候性に優れる光磁気記録単板ディスクが得
られることが明らかになった。以下、具体的に説明する
。
上にUV硬化樹脂のオーバーコート層10を形成するこ
とで、より耐候性に優れる光磁気記録単板ディスクが得
られることが明らかになった。以下、具体的に説明する
。
【0044】案内溝が形成された直径86[mm]、厚
さ1.20[mm]のポリカーボネイト樹脂製の基板1
を図示を省略したスパッタ装置内に載置し、5×10−
7[Torr]以下に真空排気した後、ポリカーボネイ
ト樹脂表面をおよそ60オングストローム程度逆スパッ
タし、その後、タンタルターゲットをアルゴンと酸素と
の混合ガスによりスパッタすることにより、図4に示し
たような300オングストローム厚の酸化タンタルの付
着層64 を形成し、その上にシリコンターゲットをア
ルゴンと窒素との混合ガスでスパッタすることで650
オングストローム厚の窒化シリコンから成る第三の透明
干渉層6を形成した。
さ1.20[mm]のポリカーボネイト樹脂製の基板1
を図示を省略したスパッタ装置内に載置し、5×10−
7[Torr]以下に真空排気した後、ポリカーボネイ
ト樹脂表面をおよそ60オングストローム程度逆スパッ
タし、その後、タンタルターゲットをアルゴンと酸素と
の混合ガスによりスパッタすることにより、図4に示し
たような300オングストローム厚の酸化タンタルの付
着層64 を形成し、その上にシリコンターゲットをア
ルゴンと窒素との混合ガスでスパッタすることで650
オングストローム厚の窒化シリコンから成る第三の透明
干渉層6を形成した。
【0045】次に、この第三の透明干渉層6を10オン
グストローム程度逆スパッタし、その後、TbFeCo
Tiターゲットをアルゴンガスでスパッタすることで、
200オングストローム厚のTbFeCoTiの非晶質
の光磁気層7を形成した。
グストローム程度逆スパッタし、その後、TbFeCo
Tiターゲットをアルゴンガスでスパッタすることで、
200オングストローム厚のTbFeCoTiの非晶質
の光磁気層7を形成した。
【0046】次に、シリコンターゲットをアルゴンと窒
素との混合ガスでスパッタすることで、250オングス
トローム厚の窒化シリコンの第四の透明干渉層8を形成
した。
素との混合ガスでスパッタすることで、250オングス
トローム厚の窒化シリコンの第四の透明干渉層8を形成
した。
【0047】そして、この第四の透明干渉層8の上にA
lNi合金ターゲット(Niの含有量は19. 47重
量%)をアルゴンガスによりスパッタすることで、30
0オングストローム厚のAlNiの反射層92 を形成
した。
lNi合金ターゲット(Niの含有量は19. 47重
量%)をアルゴンガスによりスパッタすることで、30
0オングストローム厚のAlNiの反射層92 を形成
した。
【0048】その後、このディスクをスパッタ装置から
大気に取り出し、この反射層92 の上にUV硬化樹脂
をスピンコートし、UV照射することにより、UV硬化
樹脂の10[μm]厚のオーバーコート層10を形成し
、図4のような層構造の光磁気記録単板ディスクを作成
した。
大気に取り出し、この反射層92 の上にUV硬化樹脂
をスピンコートし、UV照射することにより、UV硬化
樹脂の10[μm]厚のオーバーコート層10を形成し
、図4のような層構造の光磁気記録単板ディスクを作成
した。
【0049】このようにして作製した光磁気記録単板デ
ィスクを線速度3600[rpm]で回転させ、波長7
800オングストロームの半導体レーザー光を基板1を
通して光磁気層7でおよそφ1.4[μm]に絞って照
射した。
ィスクを線速度3600[rpm]で回転させ、波長7
800オングストロームの半導体レーザー光を基板1を
通して光磁気層7でおよそφ1.4[μm]に絞って照
射した。
【0050】半径30[mm]のところで記録周波数2
.12[MHZ ]の信号をデューティ50[%]、記
録バイアス磁界350エルステッド、記録パワー9[m
W]で書込を行ったところ、46[dB]のC/Nが得
られ、記録感度が良く、且つ、信号品質も良い光磁気記
録単板ディスクであることが確認された。
.12[MHZ ]の信号をデューティ50[%]、記
録バイアス磁界350エルステッド、記録パワー9[m
W]で書込を行ったところ、46[dB]のC/Nが得
られ、記録感度が良く、且つ、信号品質も良い光磁気記
録単板ディスクであることが確認された。
【0051】また、この光磁気記録単板ディスクを80
[℃]90[%]の高温多湿環境に500時間保存して
耐候性の試験を行ったところ、酸化や剥離がなく、実用
に供せるものであることが確認された。 (第三実施例)図5および図6は本発明の第三実施例に
係る光磁気記録単板ディスクの層構造を示す概略断面図
である。
[℃]90[%]の高温多湿環境に500時間保存して
耐候性の試験を行ったところ、酸化や剥離がなく、実用
に供せるものであることが確認された。 (第三実施例)図5および図6は本発明の第三実施例に
係る光磁気記録単板ディスクの層構造を示す概略断面図
である。
【0052】本実施例に係る光磁気記録単板ディスクは
、図5及び図6に示すように、基板1の露出部にSiO
2 から成るバックコート層11を形成したものである
。これにより、さらに耐候性に優れた光磁気記録単板デ
ィスクが得られることが本発明者らの実験により確認さ
れた。これは、バックコート層11により基板1の中に
水の分子が入りにくくなるので、急激な温度あるいは湿
度変化にさらされても基板の反りが起こりにくくなるた
めである。
、図5及び図6に示すように、基板1の露出部にSiO
2 から成るバックコート層11を形成したものである
。これにより、さらに耐候性に優れた光磁気記録単板デ
ィスクが得られることが本発明者らの実験により確認さ
れた。これは、バックコート層11により基板1の中に
水の分子が入りにくくなるので、急激な温度あるいは湿
度変化にさらされても基板の反りが起こりにくくなるた
めである。
【0053】具体的に説明すると、前記第二実施例での
光磁気記録単板ディスクの製造過程において、反射層9
2 およびUV硬化樹脂のオーバーコート層10を形成
した後、これをスパッタ装置内に再び載置し、9×10
−7[Torr]以下に真空排気し、その後、SiO2
ターゲットをアルゴンガスによりスパッタすることで
、500オングストローム厚のバックコート層11を基
板1の露出面、すなわち、第三の透明干渉層6あるいは
酸化タンタル64 の反対側の基板1の表面に形成して
図5あるいは図6のような層構造の光磁気記録単板ディ
スクを作製した。これを第二の実施例に係る光磁気記録
単板ディスクと同様の耐候性試験を行ったところ、記録
感度および信号品質に影響を与えず、実用に適するもの
であることが確認された。
光磁気記録単板ディスクの製造過程において、反射層9
2 およびUV硬化樹脂のオーバーコート層10を形成
した後、これをスパッタ装置内に再び載置し、9×10
−7[Torr]以下に真空排気し、その後、SiO2
ターゲットをアルゴンガスによりスパッタすることで
、500オングストローム厚のバックコート層11を基
板1の露出面、すなわち、第三の透明干渉層6あるいは
酸化タンタル64 の反対側の基板1の表面に形成して
図5あるいは図6のような層構造の光磁気記録単板ディ
スクを作製した。これを第二の実施例に係る光磁気記録
単板ディスクと同様の耐候性試験を行ったところ、記録
感度および信号品質に影響を与えず、実用に適するもの
であることが確認された。
【0054】なお、バックコート層11は、オーバーコ
ート層10の形成前に形成しても良い。また、第一実施
例の追記形光記録ディスクにこのバックコート層を形成
することもできる。
ート層10の形成前に形成しても良い。また、第一実施
例の追記形光記録ディスクにこのバックコート層を形成
することもできる。
【0055】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明では、
光記録ディスクの反射層をAlNi合金で形成したので
、レーザー光による書込・読出特性に悪影響を及ぼさず
、しかも、反射層の酸化、剥離が防止されるという優れ
た効果を奏する光記録ディスクを実現することができる
。
光記録ディスクの反射層をAlNi合金で形成したので
、レーザー光による書込・読出特性に悪影響を及ぼさず
、しかも、反射層の酸化、剥離が防止されるという優れ
た効果を奏する光記録ディスクを実現することができる
。
【0056】更に、反射層の上にUV硬化樹脂から成る
オーバーコート層を形成し、基板の露出面にSiO2
から成るバックコート層を形成したので、より耐候性に
優れた光記録ディスクを実現することができる。
オーバーコート層を形成し、基板の露出面にSiO2
から成るバックコート層を形成したので、より耐候性に
優れた光記録ディスクを実現することができる。
【図1】本発明の第一実施例に係る追記形光記録ディス
クの層構造を示す概略断面図である。
クの層構造を示す概略断面図である。
【図2】本発明の第二実施例に係る光磁気記録単板ディ
スクの層構造を示す概略断面図である。
スクの層構造を示す概略断面図である。
【図3】本発明の第二実施例に係る光磁気記録単板ディ
スクの他の層構造を示す概略断面図である。
スクの他の層構造を示す概略断面図である。
【図4】本発明の第二実施例に係る光磁気記録単板ディ
スクの他の層構造を示す概略断面図である。
スクの他の層構造を示す概略断面図である。
【図5】本発明の第三実施例に係る光磁気記録単板ディ
スクの層構造を示す概略断面図である。
スクの層構造を示す概略断面図である。
【図6】本発明の第三実施例に係る光磁気記録単板ディ
スクの他の層構造を示す概略断面図である。
スクの他の層構造を示す概略断面図である。
【図7】従来の代表的な追記形光記録ディスクの層構造
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図8】従来の代表的な光磁気記録単板ディスクの層構
造を示す概略断面図である。
造を示す概略断面図である。
1 基板
2 第一の透明干渉層
3 活性記録層
4 第二の透明干渉層
57 ,51 ,98 ,92 反射層6 第三
の透明干渉層 64 酸化タンタル付着層 7 光磁気層 8 第四の透明干渉層 10 オーバーコート層 11 バックコート層
の透明干渉層 64 酸化タンタル付着層 7 光磁気層 8 第四の透明干渉層 10 オーバーコート層 11 バックコート層
Claims (4)
- 【請求項1】 基板上に第一の透明干渉層と活性記録
層と第二の透明干渉層と反射層とを少なくともこの順に
形成して成り、レーザー光を基板を通して活性記録層に
集束して照射することで情報の書込が行われ、一方、レ
ーザー光を基板を通して活性記録層に集束して移動させ
ながら照射することで情報の読出が行われる光記録ディ
スクであって、前記第一および第二の透明干渉層はZn
OとSiO2 とを少なくとも含む膜であり、前記活性
記録層はGe2 Sb2 Te5 化合物を少なくとも
含む膜であり、前記反射層はAlNi合金の膜であるこ
とを特徴とする光記録ディスク。 - 【請求項2】 基板上に第三の透明干渉層と垂直磁化
可能な光磁気層と第四の透明干渉層と反射層とを少なく
ともこの順に形成して成り、レーザー光を基板を通して
光磁気層に集束して照射することで情報の書込が行われ
、一方、レーザー光を基板を通して光磁気層に集束して
移動させながら照射することで情報の読出が行われる光
記録ディスクであって、前記第三および第四の透明干渉
層は窒化シリコンの膜であり、前記光磁気層はTbFe
CoTiを必須成分とするフェリ磁性体の膜であり、前
記反射層はAlNi合金の膜であることを特徴とする光
記録ディスク。 - 【請求項3】 前記反射層の露出部にUV硬化樹脂か
ら成るオーバーコート層を形成したことを特徴とする請
求項1および請求項2記載の光記録ディスク。 - 【請求項4】 前記基板の露出部にSiO2 から成
るバックコート層を形成したことを特徴とする請求項1
ないし請求項3記載の光記録ディスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3131234A JPH04356742A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 光記録ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3131234A JPH04356742A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 光記録ディスク |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04356742A true JPH04356742A (ja) | 1992-12-10 |
Family
ID=15053149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP3131234A Pending JPH04356742A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | 光記録ディスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04356742A (ja) |
-
1991
- 1991-06-03 JP JP3131234A patent/JPH04356742A/ja active Pending
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