[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP6460697B2 - 角度検出方法、角度検出装置、およびロボット装置 - Google Patents

角度検出方法、角度検出装置、およびロボット装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6460697B2
JP6460697B2 JP2014194015A JP2014194015A JP6460697B2 JP 6460697 B2 JP6460697 B2 JP 6460697B2 JP 2014194015 A JP2014194015 A JP 2014194015A JP 2014194015 A JP2014194015 A JP 2014194015A JP 6460697 B2 JP6460697 B2 JP 6460697B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
encoder
rotation angle
angle
detection error
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014194015A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015194462A (ja
Inventor
智 長谷部
智 長谷部
洋二 中島
洋二 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2014194015A priority Critical patent/JP6460697B2/ja
Publication of JP2015194462A publication Critical patent/JP2015194462A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6460697B2 publication Critical patent/JP6460697B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/12Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
    • B25J9/126Rotary actuators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00Controls for manipulators
    • B25J13/08Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B25J13/088Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices with position, velocity or acceleration sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24471Error correction
    • G01D5/24485Error correction using other sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24471Error correction
    • G01D5/2449Error correction using hard-stored calibration data
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K11/00Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
    • H02K11/20Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
    • H02K11/21Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
    • H02K11/22Optical devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/20Detecting rotary movement
    • G01D2205/28The target being driven in rotation by additional gears
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S901/00Robots
    • Y10S901/19Drive system for arm
    • Y10S901/23Electric motor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S901/00Robots
    • Y10S901/46Sensing device
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00Machine element or mechanism
    • Y10T74/20Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20207Multiple controlling elements for single controlled element
    • Y10T74/20305Robotic arm
    • Y10T74/20317Robotic arm including electric motor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Description

本発明は、軸と回転ディスクの偏心に起因するエンコーダ検出誤差を補正する方法に関するものである。
ロボットアームは従来、関節機構を駆動するためのサーボモータ(以下、モータ)、高出力トルクを得るための減速機からなる回転駆動装置を有している。回転駆動装置には回転子の角度検出するためのロータリエンコーダ(以下、エンコーダ)が具備されている。エンコーダはモータの回転軸に直結されており、エンコーダで検出した回転角度の情報をモータにフィードバックすることで、ロボットアームの先端位置を制御していた。
近年、高精度な部品を組み立てることができる産業用ロボットの需要が増えているため、ロボットアームの先端位置の制御においても高精度化が求められている。ロボットアームの先端位置の位置決め精度の劣化要因としては、ロボットアームの回転駆動装置における減速機の角度伝達誤差やねじれ、エンコーダ検出誤差などがある。このエンコーダ検出誤差とは、エンコーダの軸と回転ディスクの取付け時の偏心による理想的な位置に対しての偏差から生じる誤差である。
まず、エンコーダの内部構造について図3を用いて説明する。図3において、エンコーダ301は軸303に固定され周方向に透過部と不透過部が回転ディスクパターンとして規則的に配列された回転ディスク302である。さらに、この回転ディスク302に対向して配置されエンコーダ301の匡体に対して位置が固定された固定スリット305、発光素子304、受光素子306で構成されている。
軸303には、ユーザーが回転角度を検出したい回転軸(以下の議論では減速機に対するインプットの意味で、“入力軸”と記載することがある)に接続される。入力軸と軸303とが互いに接続されて一体に回転することで入力軸の回転角度をエンコーダ301で検出することができる。
これは、一般的な透過型光学式アブソリュートエンコーダである。発光素子304からの光が回転ディスク302に投光されると、固定スリット305を介して、受光素子306が受光・不受光を繰返しオンオフの電気信号として検出することで回転位置を演算する。
エンコーダはモータの軸芯などの回転子に具備され、ロボットアームの回転駆動装置における高精度な回転位置の制御を実現している。以下順を追って説明するが、回転ディスク302の回転中心と軸303とに偏心があると、この偏心に起因するエンコーダ検出誤差が、高精度な回転位置の制御に無視できない影響を与える。
一方、ロボットアームなど、モータの回転を、減速機を介してトルクに変換することで駆動する機器に関しては、減速機の出力軸(以下、“出力軸”と記載することがある)にエンコーダを設ける技術が知られている。この技術は出力軸を高精度に位置決めする制御や、減速機のトルクに比例したねじれを検出するねじれフィードバック制御を行うものである。このねじれフィードバック制御とは、減速機自体のねじれ剛性が必ずしも高くないため、モータの回転軸(入力軸)が決められた回転角度に回転位置が制御されていても、出力軸がその狙いの回転角度に制御されない問題に対処するものである。
このねじれフィードバック制御を実行する方法が、例えば、特開2012−137310号(特許文献1)に記載されている。特許文献1記載のようにモータの回転角度を検出する入力軸エンコーダ、減速機の出力側の回転子の回転角度を検出する出力軸エンコーダ、モータ、減速機などで構成されるロボットアームの回転駆動装置が知られている。
しかし、ねじれフィードバック制御は、出力軸エンコーダと入力軸エンコーダの回転位置情報の差をねじれ量として検出し、そのねじれ量をモータにフィードバックすることで制御する。したがって、回転駆動装置における減速機の角度伝達誤差に対する補正にはなるが、エンコーダ検出誤差が原因で発生する位置決め精度の劣化に対処する技術ではない。
そのため、そもそもエンコーダ自体に、回転ディスクの回転中心と軸との偏心に起因するエンコーダ検出誤差があると、正確な回転駆動装置の回転角度を検出することは難しい。このエンコーダ検出誤差があるために、ロボットアームなど減速機を利用した機器においては、特許文献1記載の技術を活用したとしても出力軸を高精度に位置決めする制御やねじれフィードバック制御を行うことには限界がある。
たとえば入力軸エンコーダのエンコーダ検出誤差の対処を行わずに、出力軸エンコーダの出力値から回転位置を補正しようとすると、エンコーダ検出誤差が小さいエンコーダを出力軸に設ける必要がある。これは、入力軸エンコーダ検出誤差に減速機の減速比を乗算した量が出力軸の位置決め誤差として生じてしまうためである。
特開2012−137310号公報
一般的に、エンコーダ検出誤差が小さいエンコーダは非常に高価であるため、そのエンコーダをロボットアームの入出力軸に設けることは必ずしも現実的ではない。
すなわち、この従来の方法では、回転駆動装置に配置したエンコーダのエンコーダ検出誤差を十分に考慮していなかった。そのため、ロボットアームの先端位置決め精度を向上させるための出力軸を高精度に位置決めする制御やねじれフィードバック制御を行うことが現実的には困難であるという問題があった。
本発明は上述した課題を解決するためになされたものであって、入力軸エンコーダ、出力軸エンコーダを利用した出力軸を高精度に位置決めする制御やねじれフィードバック制御を実現させることができる角度検出方法、および該角度検出方法を実行する角度検出装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の角度検出方法は、第一の軸、動力伝達部、および第二の軸が順に連結され、前記第一の軸および前記第二の軸の回転角度をそれぞれ検出する第一のエンコーダおよび第二のエンコーダを備えた角度検出装置による角度検出方法であって、前記第一の軸の第一の回転角度、および前記第二の軸の第二の回転角度を検出する工程と、第一のエンコーダにて検出された回転角度が180度毎または360度毎の第一の回転角度群にそれぞれ対応する第二のエンコーダにて検出された第二の回転角度群のデータを採取する工程と、前記第二の回転角度群のデータを線形補間、または、正弦波推定補間によりに基づいて生成される第二の補正データを作成する工程と、前記補正データに基づいて前記第二の回転角度を補正する工程とを有することを特徴とする。
本発明によれば、入力軸エンコーダ(第一のエンコーダ)の回転の周期性を利用した回転位置情報を基準にして出力軸エンコーダ(第二のエンコーダ)の検出誤差を補正している。そのため、入力軸エンコーダにエンコーダ検出誤差がある場合でもロボットアームの回転駆動装置における高い位置決め精度を達成できる。
また、エンコーダ検出誤差がある安価なエンコーダをロボットアームの入出力軸に設けても上記の高精度補正をすることができるため、追加的構成物を設けることなく高い位置決め精度を達成できる。
角度検出方法のフローチャートである。 回転駆動装置の断面図及び信号フローである。 エンコーダの内部構造を示す図である。 偏心とエンコーダ検出誤差の関係を示す図である。 エンコーダ出力値と偏心によるエンコーダ検出誤差の関係を示す図である。 減速比10:1における入出力軸のエンコーダ検出誤差の関係を示す図である。 入力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め誤差を示す図である。 入出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め合計誤差を示す図である。 出力軸エンコーダ検出誤差のサンプリング方法を示す図である。 出力軸エンコーダ検出誤差のサンプリングデータの線形補間を示す図である。 補正後の出力軸エンコーダ検出誤差を示す図である。 補正後の出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす入力軸位置決め誤差を示す図である。 入出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす入力軸位置決め合計誤差を示す図である。 補正後の入力軸エンコーダ検出誤差を示す図である。 本発明と従来技術を比較する補正シミュレーション結果を示す図である。 垂直多関節6軸ロボットを示す図である。 エンコーダ検出誤差補正を繰り返し行った時のフローチャートである。 第5の実施例の回転駆動装置の断面図である。 第5の実施例のエンコーダ検出誤差補正方法のフローチャートである。 第5の実施例の出力軸エンコーダ検出誤差のサンプリング方法を示す図である。 第5の実施例の出力軸エンコーダ検出誤差のサンプリングデータの正弦波推定補間を示す図である。 第5の実施例の補正後の出力軸エンコーダ検出誤差を示す図である。
以下本発明にかかる実施形態・実施例を説明するにあたり、まずエンコーダ301の軸303と回転ディスク302にかかる偏心とエンコーダ検出誤差について定量的に説明する。
図4は偏心とエンコーダ検出誤差の関係を示す図である。ここで説明する偏心とはエンコーダ301の軸303の中心点と回転ディスク302の中心点との偏差のことである。図4において、401はエンコーダ位置情報を示す回転ディスクパターンであり、402は回転ディスクパターン401が軸303の在る点Aに対して偏心距離εだけ偏心した時の回転ディスクパターンを示している。
このような偏心は、回転ディスクと軸との取付けの際などに生じるものである。また図4では説明のため、回転ディスクパターンが描く円の半径に対する偏心の大きさを誇張して描いている。
図中、軸303の在るA点から、回転ディスクパターンの中心がA´点に偏心した様子を描いており、その方向を基準角度である0度とし、左回転を正回転として描いている。
二点破線によって描かれている円は、偏心した回転ディスクパターンが軸303の在るA点を中心として回転した際の包絡線を示している。偏心距離εの大きさに応じて回転ディスクパターンはこの二点破線の円の内側を回転移動する。もちろん偏心距離εがゼロの場合は、この二点破線の円は図中の点Aを中心とする半径Rの円に一致する。
偏心した方向の軸と偏心した方向と垂直に交わる軸、つまり、0度から180度の軸と90度から270度の軸については、理想的なエンコーダ検出位置を示している。A点は軸303の中心点、すなわち、回転ディスクパターン401の中心点であり、A´点は偏心時回転ディスクパターン402の中心点である。B点、C点、D点、E点は回転ディスクパターン401の位置情報0度、90度、180度、270度をそれぞれ示しており、B´点、C´点、D´点、E´点は、偏心時のエンコーダ検出位置情報をそれぞれ示している。まず、偏心した方向の軸の検出誤差について、すなわち図4中のA点を起点としてB点とB´点、D点とD´点ではそれぞれ0度、180度の位置で検出されるため、偏心によるエンコーダ検出誤差は実質的には生じない。
それに対して、偏心した方向と垂直に交わる軸の検出誤差について、C点とC´点で比較すると、C´点はC点よりも進んだ位置として検出され、E点とE´点では、E´点はE点よりも遅れた位置で検出されるため、偏心によるエンコーダ検出誤差が生じてしまう。ここで、エンコーダ検出誤差をθ[rad]、偏心距離をε、回転ディスクパターン401の半径をRとした場合、エンコーダ検出誤差θ[rad]は、関係式(1)によって表現される。
θ=sin−1(ε/R)・・・(1)
つまり、この関係式(1)に基づいたエンコーダ検出誤差θ[rad]が現れてしまうことで、理想的な位置に対して偏差が生じてしまう。
図5は偏心のあるエンコーダにおけるエンコーダ出力値とエンコーダ検出誤差の関係を示す図である。図5(A)において、A線は偏心がない時のエンコーダ出力値であり、B線は偏心がある時のエンコーダ出力値である。つまり、B線とA線のエンコーダ出力値の差分の量が偏心によるエンコーダ検出誤差であり、このエンコーダ検出誤差を表している図が図5(B)である。エンコーダ偏心とエンコーダ検出誤差の関係は、sin関数で表わされていることより、エンコーダ301の軸303が1回転(360度)すると正弦波状のエンコーダ検出誤差が1周期分生じ、2回転(720度)すると2周期分生じることを示している。すなわち、エンコーダ301の軸303がN回転(360×N度)すると正弦波状のエンコーダ検出誤差がN周期分現れる。このようなエンコーダ検出誤差があるために、ロボットアームの先端位置決め精度が劣化してしまうため、以下説明する構成を以て解決する。
また、検出誤差として、エンコーダ301と回転ディスク302の取付け時の軸303と回転ディスク302の中心とのずれによる誤差と説明したが、原因はこれに限定されるものではない。例えば、入力軸205と出力軸206との検出誤差を含める形態であってもよい。つまり、入力軸205と出力軸206との検出誤差とは、入力軸205と出力軸206との偏心によっても誤差が生じる。この軸同士を精度よく組み立てたつもりでも軸部材の剛性や噛み合わせ、負荷などにより回転させると発生する誤差を示す。すなわち、検出誤差として、軸303が1回転した時に位置再現性を示す正弦波状の誤差であれば、以下に示す本発明は実施できる。
図2は本発明の特徴を最もよく表す図であり、本発明の角度検出装置を備えた回転駆動装置の断面図及び信号フローである。図2(A)において、モータ203は第一の回転軸である入力軸205を回転させる。また、動力伝達部である減速機204は入力軸205の回転に応じて、あらかじめ定められている減速比、例えば10:1で減速して第二の軸である出力軸206を回転させる。すなわち、モータ203が入力軸205を回転させ、この入力軸205が回転することで、減速機204を介して出力軸206が回転する。
ここで、減速機204について説明する。入力軸205と結合された波動を発生させるウェーブジェネレータ(WG)213が回転することにより、外歯車であるフレックススプライン(FS)214が楕円形状に撓められ、フレックススプライン(FS)214における楕円の長軸方向の両端位置で内歯車であるサーキュラースプライン(CS)215と噛み合う。この時、フレックススプライン(FS)214とサーキュラースプライン(CS)215との間に相対回転が発生し、フレックススプライン(FS)から大幅に減速された回転力が出力軸に伝達されて出力される。本実施例では、波動歯車を利用した減速機204について説明しているが、これに限定されるものではない。
入力軸エンコーダ201はモータ203によって回転される入力軸205の回転位置に応じた入力軸信号を検出する。また、出力軸エンコーダ202は入力軸205と減速機204を介して連結される出力軸206の回転位置に応じた出力軸信号を出力する。すなわち、入力軸エンコーダ201はモータ203の入力軸205の軸芯を中心に入力軸の回転角度を検知する機能を有しており、入力軸205の機械角360度の何処に位置するのかを検知できる。それに対して、出力軸エンコーダ202はモータ203の入力軸205から減速機を介して接続された出力軸206の回転における回転角度を検知する機能を有しており、出力軸205の機械角360度の何処に位置するのかを検知できる。
このように、第一の軸、動力伝達部、および第二の軸が順に連結され、前記第一の軸および前記第二の軸の回転角度をそれぞれ検出する第一のエンコーダおよび第二のエンコーダを備えた角度検出装置が構成されている。そしてモータ203とこの角度検出装置とで回転駆動装置が形成されている。
また、図3を用いて前述したように、入出力軸エンコーダとして透過型光学式アブソリュートエンコーダを説明したが、反射型、磁気式、インクリメンタルなどの種類のエンコーダ301を組み合わせて用いても良い。さらに、エンコーダ301の替わりにレゾルバなどの角度検出器を備えさせても同様の効果があるため、本実施例を含む各実施例に適用することができる。
出力軸206には通常、負荷207と連結されており、入力軸エンコーダ201側には後述する第1の位置情報生成部208と第1の補正演算部210を備えている。出力軸エンコーダ202側には後述する第2の位置情報生成部209と第2の補正演算部211等からなる演算部を備えてある。
回転駆動装置によって例えばロボットアームを駆動させるケースでは、負荷はロボットアームにおけるリンクなどが相当し、負荷の大きさに応じて減速機の減速比やモータのスペックがユーザーによって選択されることになる。
本発明は次の点で従来技術と異なっている。すなわち、入力軸エンコーダ201の回転の周期性を利用し、例えば、入力軸エンコーダ201の360度毎の周期的な回転位置情報を基準にして、出力軸エンコーダ検出誤差を補正することである。
本発明について具体的に説明する。図1(A)は本実施例にかかる角度検出方法における信号や情報のやり取りを描いたフローチャートである。まず入力軸エンコーダ201からの入力軸信号を第1の位置情報生成部208が受信し、同様に、出力軸エンコーダ202からの出力軸信号を第2の位置情報生成部209が受信する。次に、第1の位置情報生成部208から出力される第一の回転角度である第1の回転位置情報と第2の位置情報生成部208から出力される第二の回転角度である第2の回転位置情報を第2の補正演算部211に入力する。
第2の補正演算部211では、まず、出力軸エンコーダ(第二のエンコーダ)における検出誤差のサンプリングを行う。そのために、入力軸エンコーダ201(第一のエンコーダ)の360度毎の第1の回転位置情報(第一の回転角度群)に対する第2の回転位置情報(第二の回転角度群)を演算する。
すなわち第一の回転角度群のデータは、第一の回転角度のデータから規則的かつ離散的に採取したものであり、第一の回転角度のデータの全体に対する部分集合になっている。
おなじく、第二の回転角度群のデータも第二の回転角度のデータ全体に対する部分集合になっている。
図9は出力軸エンコーダの検出誤差のサンプリング方法を示す図である。図9のように入力軸エンコーダ201の360度毎の第1の回転位置情報(第一の回転角度群)に対する第2の回転位置情報(第二の回転角度群)を演算すると、減速比10:1であるため、出力軸エンコーダ検出誤差のサンプル数は10点となる。次に、図1のフローチャートにも記載の通り、出力軸エンコーダ検出誤差をサンプリングしたデータを補間し、補間した情報に基づいて、補正テーブルを生成する。図10は出力軸エンコーダ検出誤差のサンプリングデータの線形補間を示す図である。図10では、減速比が10:1であるため、サンプル数は10点で線形補間しているが、減速比が大きければ大きいほどサンプル数が増えるため、線形補間された波形は正弦波の形に近くなる。補正テーブルに関して、補正するということはエンコーダ検出誤差を打ち消すように制御することであるため、図10のような補間した波形を打ち消すようなデータを補正テーブルとすればよい。図10の下図に描いた補完データは、入力軸エンコーダ201の360度毎の第1の回転位置情報(第一の回転角度群)に対応するデータから生成されたものである。したがって、入力軸エンコーダがたとえ偏心によるエンコーダ検出誤差を持っていたとしても、上述したようにその影響は低く抑えられている。
そして、第2の補正演算部211により、補正テーブル(補正テーブルが補完データそのものであってもよい)に基づいて出力軸エンコーダの検出誤差を補正し、第2の位置情報生成部209を更新することで、出力軸エンコーダ検出誤差の補正は完了である。
図11は補正前後の出力軸エンコーダ検出誤差をそれぞれ示す図である。図11に描かれているように、補正前では出力軸エンコーダ検出誤差の絶対値が10分であった。それに対して、補正後では出力軸エンコーダの検出誤差の絶対値0.48分となり、エンコーダ検出誤差に起因する角度の検出誤差が改善されていることがわかる。
なおエンコーダ検出誤差に起因する角度の検出誤差の改善の度合いは後にまとめて表記する。
このように、本実施例の角度検出方法を用いることで、エンコーダを構成する部品の偏心に起因するエンコーダ検出誤差の補正をすることができる。
図1(A)、図9を用いて前述したように本実施例では、入力軸エンコーダ201の360度毎の回転位置情報を基準にして、出力軸エンコーダ検出誤差を補正すると説明したが、これに限定されるものではない。例えば、サンプリングデータの量を少なくするために、サンプリングを間引くことでサンプル数を減らしても、入力軸エンコーダ201の回転位置情報の基準が一定であるため、出力軸エンコーダの検出誤差を補正することができる。また、入力軸エンコーダ201の360度毎以外の回転位置情報のサンプリング間隔を、例えば、180度毎の周期的な回転位置情報でも出力軸エンコーダ検出誤差を補正することができる。
また、図9に示すように、入力軸エンコーダ201のサンプリング初期位相を270度で、説明したが、サンプリング初期位相は任意であっても入出力軸エンコーダの相対的な検出誤差を演算することができるため、本発明は実施できる。また、図10に示すように、サンプリングデータの補間方法を線形補間として説明したが、サンプリングデータの中から、正のピーク点、負のピーク点、ゼロクロス点をピックアップしてその点から正弦波を推定する一般的な正弦波推定補間などでも良い。
以上のように、本発明はエンコーダ誤差の補正効果が大きいため、ロボットアームの先端位置決め精度を向上させるための出力軸を高精度に位置決めする制御やねじれフィードバック制御に好適に適用できる。
また本実施例の角度検出方法における各工程をコンピュータに実行させるプログラムを作成し利用してもよいし、プログラムを記録した記憶媒体を利用することももちろん可能である。
実施例2において、実施例1と同様なものに関しては説明を省略し、実施例1と異なるものに関してのみ説明する。実施例1では、入力軸エンコーダ201の360度毎の回転位置情報を基準にして出力軸エンコーダ検出誤差を補正すると説明した。これに対して、実施例2では、補正後の出力軸エンコーダ202の回転位置情報を基準にして入力軸エンコーダ検出誤差を補正することについて説明する。
図1(B)は本実施例にかかる角度検出方法における信号や情報のやり取りを描いたフローチャートである。
第1の補正演算部210では補正後の出力軸エンコーダ202の第2の回転位置情報に対する入力軸エンコーダ201の第1の回転位置情報を演算する。補正後の出力軸エンコーダ202の第2の回転位置情報(補正された前記第二の回転角度)を基準としているため、回転位置に対応する検出誤差は一定となる。つまり、入力軸エンコーダの検出誤差を補正する場合には、入力軸エンコーダの検出誤差のサンプリング間隔は任意でよく、それ以外の演算方法の詳細については、前述した第2の補正演算部における処理と同様である。
図12は補正後の出力軸エンコーダの検出誤差がもたらす入力軸位置決め誤差を示す図である。減速機204の減速比が10:1であるため、補正後の出力軸エンコーダ検出誤差の絶対値(0.48分)に減速比(1/10)を除算したものが、補正後の出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす入力軸位置決め誤差の絶対値(4.8分)になることを示している。図13は入出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす入力軸位置決め合計誤差を示す図である。これは、図6の入力軸エンコーダ検出誤差と図12の補正後の出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす入力軸位置決め誤差を加算した図である。絶対値で20分の正弦波1周期の入力軸エンコーダ検出誤差に、絶対値4.8分の補正後の出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす入力軸位置決め誤差を加算している。そのため、入出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす入力軸位置決め合計誤差は、図13のような絶対値で最大24.8分の誤差を持つ波形となる。図14は補正後の入力軸エンコーダ検出誤差を示す図である。図14より、補正前では入力軸エンコーダ検出誤差の絶対値が20分であったのに対して、入力軸エンコーダ検出誤差の絶対値が4.8分となり、改善されていることは明らかである。この実施例においては、減速比(1/10)の逆数分、つまり10回転分のデータを入力軸エンコーダ201の補正テーブルとして使用している。
以上のように、本発明はエンコーダ誤差の補正効果が大きいため、ロボットアームの先端位置決め精度を向上させるための出力軸を高精度に位置決めする制御やねじれフィードバック制御に好適に適用できる。
図16は垂直多関節6軸ロボットアームを示す図である。図16において、601〜606はそれぞれ第1〜第6の関節を示していて、それぞれの関節はリンクによって連結されている。図16は前述の角度検出方法をロボットアームに適用した例である。ただし本発明は垂直多関節6軸ロボットへの適用に限定されるものではない。本発明の角度検出装置は第1〜第6の関節のうち少なくとも1つに備えられ、ロボットアームのそれぞれの関節における基準角度からの回転角度を検出させるためのものである。モータと角度検出装置とで回転駆動装置を構成している。関節部を有するロボットアームと、そのロボットアームの関節部に回転駆動装置を備えている点に特徴がある。
また、本実施例の角度検出方法における各工程をコンピュータに実行させるプログラムを記憶した制御部を備えた角度検出装置を備えたロボットアームでもある。制御部は角度検出装置に設けられていてもよいし、ロボットアームの制御部がその機能を兼ねても良い。
実施例4において、実施例2と同様なものに関しては説明を省略し、実施例2と異なるものに関してのみ説明する。実施例2では、入力軸エンコーダ201の360度毎の回転位置情報を基準にして出力軸エンコーダ検出誤差を補正し、補正後の出力軸エンコーダ202の回転位置情報を基準にして入力軸エンコーダ検出誤差を補正すると説明した。これに対して、実施例4では、実施例2の一連の補正手順を繰返し行うことで、さらなる誤差の低減が期待できる。図17はエンコーダ検出誤差の補正を繰り返し行った時のフローチャートである。図17に示すように、1回目の補正では、実施例2と同様に、第1、第2の位置情報生成部から出力される第1、第2の回転位置情報を利用してエンコーダ検出誤差を補正する。そして、2回目の補正では1回目で補正した第1、第2の補正後の回転位置情報を利用してエンコーダ検出誤差を補正する。つまり、2回目の補正では、補正後の入力軸エンコーダ201の回転位置情報を基準にして、補正後の出力軸エンコーダの検出誤差を再度補正する。
そして再度補正した出力軸エンコーダ202の回転位置情報を基準にして補正後の入力軸エンコーダ検出誤差を再度補正することである。ここで、補正する回数は限定されるものではなく、交互に何度繰り返し補正してもよい。
すなわち、補正後の前述の第一の回転角度における周期的な角度ごとに補正後の第二の回転角度を再度補正する工程、を少なくとも1回以上繰り返す点に特徴がある。
以上、説明したように、補正後の回転位置情報を利用してエンコーダ検出誤差を繰り返し補正することで、補正効果を大きくすることができる。
実施例5において、実施例1ないし2と同様なものに関しては説明を省略し、実施例1ないし2と異なるものに関してのみ説明する。実施例1ないし2では、出力軸エンコーダ202により出力軸206の回転角度を検出していた。これに対して、実施例5では、出力軸エンコーダ202により入力軸205の回転角度を検出し、入力軸エンコーダ201により検出された入力軸205の回転角度と出力軸エンコーダ202により検出された入力軸205の回転角度の差を計算することで、出力軸206の回転角度を求める方法である。
次に、回転駆動装置の構成を説明する。図18は第5の実施例の回転駆動装置のブロック図を示している。212はリンクであり、リンク212は減速機204の出力軸206に接続させていて、リンク212に出力軸エンコーダ202を連結させている。また、入力軸205の回転角度を出力軸エンコーダ202で検出できるように、リンク212を中空構造にさせている。このように構成させることで、出力軸エンコーダ202で入力軸205の回転角度を検出させることができる。
次に、出力軸206の回転角度を求める方法について、具体的に説明する。例えば、減速機204の減速比が10:1の場合、出力軸206を1回転(360度)させるためには、入力軸205を10回転(3600度)させる必要がある。入力軸205を10回転(3600度)させると、出力軸エンコーダ202はリンク212に連結されているため、出力軸エンコーダ202自身が1回転(360度)する。そのため、入力軸205と出力軸206が同じ方向で回転した場合、出力軸エンコーダ202で検出される回転角度は9回転(3240度)となる。そして、入力軸エンコーダ201で検出される回転角度3600度と出力軸エンコーダ202で検出される回転角度3240度の差を計算することで、出力軸206の回転角度360度を求めることができる。
次に、エンコーダ検出誤差の補正方法について説明する。図20は第5の実施例の出力軸エンコーダ検出誤差のサンプリング方法を示す図である。入力軸エンコーダ201の検出誤差が±20分、出力軸エンコーダ202の検出誤差が±10分、減速機204の減速比が10:1の条件において、出力軸206を1回転(360度)させた場合の例である。この場合、入力軸エンコーダ201は10回転するため、10周期分の正弦波状の検出誤差が現れ、また、出力軸エンコーダ202は9回転するため、9周期分の正弦波状の検出誤差が現れることを示している。そして、入力軸エンコーダ201の360度毎の回転角度を基準にして得られる出力軸エンコーダ202の検出誤差のサンプル数については、入力軸エンコーダ201の正弦波が10周期分であるため、10ポイントである。
図21は第5の実施例の出力軸エンコーダ検出誤差のサンプリングデータの正弦波推定補間を示す図である。出力軸エンコーダ202のサンプリングデータは10ポイントであり、そのサンプルの中から、最大値、最小値、回転位置間隔(サンプリング周波数)を求めることができるため、図21のような正弦波を推定することができる。図22は第5の実施例の補正後の出力軸エンコーダ検出誤差を示す図である。図22は補正前の出力軸エンコーダ202の検出誤差から正弦波推定補完した補正量との差を補正後の出力軸エンコーダ202の検出誤差としている。補正効果としては、補正前の出力軸エンコーダ202の検出誤差の絶対値±10分に対して、補正後の出力軸エンコーダ202の検出誤差の絶対値±0.49分であるため、97.6%の補正効果がある。
図19は第5の実施例のエンコーダ検出誤差補正方法のフローチャートを示している。図19のように、出力軸エンコーダ202は入力軸信号を第2の位置情報生成部209に送信している。また、第2の補正演算部211では、第1の回転位置情報と補正した第2の回転位置情報の差を計算する出力軸角度計算工程を追加している。その他のフローに関しては、実施例1ないし2と同様であり、補正した第2の回転位置情報に対する第1の回転位置情報を演算することで、入力軸エンコーダ201の検出誤差を補正することができる。
ここで、本実施例と実施例1ないし2の違いについて説明する。実施例1ないし2では、例えば、回転駆動装置の構成を多軸のロボットアームに適用した場合、出力軸エンコーダ202を固定する手段として、入力軸エンコーダ201と共通の固定台216にする必要がある。しかし、このように構成させると、出力軸206が無限回転できず、また、回転駆動装置のサイズも大きくなってしまう。これに対して、実施例5では、回転駆動装置の構成を多軸のロボットアームに適用した場合、出力軸エンコーダ202をリンク212に接続させている構成をとっているため、リンク212を無限回転させることが可能となり、また、回転駆動装置の小型化を図ることができる。
以上、説明したように、第5の実施形態においても、本発明の補正方法を用いることで、入力軸エンコーダと出力軸エンコーダの検出誤差を低減させることができる。
(比較例1)
ここで、従来技術(上述の特開2012−137310号公報)によるエンコーダ検出誤差の補正方法について図を用いて詳細に説明する。まず、図6、図7、図8について説明する。図6は減速比10:1における入出力軸のエンコーダ検出誤差を示す図である。減速比が10:1、入力軸エンコーダ検出誤差の絶対値が20分、出力軸エンコーダ検出誤差の絶対値が10分の場合の例である。減速比が10:1であるため、入力軸エンコーダの入力軸が10回転(3600度)すると、出力軸エンコーダの出力軸が1回転(360度)することを示している。すなわち、正弦波状の出力軸エンコーダ検出誤差の1周期分を得るためには、入力軸エンコーダの軸を減速比(1/10)の逆数分(10)の回転をさせる必要がある。図7は入力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め誤差を示す図である。これは、図6の入力軸エンコーダ検出誤差を出力軸換算した図である。減速比が10:1であるため、入力軸エンコーダ検出誤差の絶対値(20分)に減速比(1/10)を乗算したものが、入力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め誤差の絶対値(2分)になることを示している。図8は入出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め合計誤差を示す図である。図6の出力軸エンコーダ検出誤差と図7の入力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め誤差を加算した図である。これは、絶対値10分の正弦波1周期の出力軸エンコーダ検出誤差に、絶対値2分の正弦波10周期の入力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め誤差を加算している。そのため、入出力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め合計誤差は、絶対値12分の誤差を持つ波形となる。
従来技術では、出力軸エンコーダ検出誤差を入力軸エンコーダの回転位置情報を基準に補正しようとしているため、図7のような入力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め誤差が生じてしまう。つまり、実際には、図6のような絶対値10分の正弦波1周期の出力軸エンコーダ検出誤差しかないものが、図8のような絶対値12分の誤差を持つ波形に見えてしまう。そのため、この出力軸位置決め誤差が出力軸エンコーダ検出誤差の補正に影響を与えることとなり、入力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め誤差の分が出力軸エンコーダ検出誤差として残ってしまうため、補正効果が小さくなってしまうことがわかる。
まとめとして、図15に本発明と従来技術(比較例1)を比較する補正シミュレーション結果を図示した。前提条件として、補正前の入出力軸のエンコーダ検出誤差は理想的な正弦波と仮定している。また、パラメータとして、減速比は10:1、50:1、出力軸エンコーダ検出誤差の絶対値は±10分、±5分、入力軸エンコーダ検出誤差の絶対値は±20分としている。図15より、条件Aでは、前述した例を示している。条件Bでは、条件Aに対して減速比を10:1から50:1に変更した場合である。条件Cでは、条件Bに対して出力軸エンコーダ検出誤差を10分から5分に変更した場合である。図15より、全ての条件において、本発明は従来技術よりも補正効果が大きいことは明らかである。また、本発明の補正効果の特徴としては、2つある。1つ目は、減速比が大きければ大きいほど、入出力軸エンコーダ検出誤差の補正効果が大きいことである。これは、減速比が大きいほど、出力軸エンコーダ検出誤差のサンプル数が増え、線形補間された波形が正弦波の形に近くなるためである。2つ目は、出力軸エンコーダ検出誤差に対する入力軸エンコーダ検出誤差の比が大きければ大きいほど、従来技術に対して、本発明の効果が大きくなることである。これは、従来技術では、前述した通り、補正した結果として、入力軸エンコーダ検出誤差がもたらす出力軸位置決め誤差が生じてしまうため、出力軸エンコーダ検出誤差が小さいほど、入力軸エンコーダ検出誤差の影響が大きくなってしまうためである。
このように、本発明の補正方法を用いることで、従来技術よりも効果が大きいエンコーダ検出誤差の補正をすることができる。
以上のことから、本発明はエンコーダ検出誤差の補正効果が大きく、高精度に入出力軸位置を検知できるため、ロボットアームの先端位置決め精度を向上に好適な出力軸を高精度に位置決めする制御やねじれフィードバック制御ができるようになることが分かる。
201 入力軸エンコーダ
202 出力軸エンコーダ
203 モータ
204 減速機
205 入力軸
206 出力軸
207 負荷
208 第1の位置情報生成部
209 第2の位置情報生成部
210 第1の補正演算部
211 第2の補正演算部
212 リンク
213 ウェーブジェネレータ(WG)
214 フレックススプライン(FS)
215 サーキュラースプライン(CS)
216 固定台
217 ベアリング
218 空隙
301 エンコーダ
302 回転ディスク
303 軸
304 発光素子
305 固定スリット
306 受光素子
401 回転ディスクパターン
402 偏心時回転ディスクパターン
601−606 関節

Claims (9)

  1. 第一の軸、動力伝達部、および第二の軸が順に連結され、前記第一の軸および前記第二の軸の回転角度をそれぞれ検出する第一のエンコーダおよび第二のエンコーダを備えた角度検出装置による角度検出方法であって、
    前記第一の軸の第一の回転角度、および前記第二の軸の第二の回転角度を検出する工程と、
    第一のエンコーダにて検出された回転角度が180度毎または360度毎の第一の回転角度群にそれぞれ対応する第二のエンコーダにて検出された第二の回転角度群のデータを採取する工程と、
    前記第二の回転角度群のデータを線形補間、または、正弦波推定補間によりに基づいて生成される第二の補正データを作成する工程と、
    前記補正データに基づいて前記第二の回転角度を補正する工程と、
    を備えた角度検出方法。
  2. 第一の軸、動力伝達部、および第二の軸が順に連結され、前記第一の軸の回転角度を検出する第一のエンコーダと前記第二の軸に連結され、前記第一の軸の回転角度を検出する第二のエンコーダとを備えた角度検出装置による角度検出方法であって、
    前記第一の軸の第一の回転角度、および前記第一の軸の第二の回転角度を検出する工程と、
    第一のエンコーダにて検出された回転角度が180度毎または360度毎の第一の回転角度群にそれぞれ対応する第二のエンコーダにて検出された第二の回転角度群のデータを採取する工程と、
    前記第二の回転角度群のデータを線形補間、または、正弦波推定補間により生成される第二の補正データを作成する工程と、
    前記補正データに基づいて前記第二の回転角度を補正する工程と、
    第一の回転角度と第二の回転角度の差を計算することで第二の軸の回転角度を検出する工程と、
    を備えた角度検出方法。
  3. 補正された前記第二の回転角度に対応する第一の回転角度を演算することで前記第一の回転角度を補正する工程を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の角度検出方法。
  4. 補正した前記第一の回転角度を基準にして、補正後の前記第一の回転角度における周期的な角度ごとに補正後の前記第二の回転角度を再度補正する工程、を少なくとも1回以上繰り返すことを特徴とする請求項記載の角度検出方法。
  5. 請求項1ないしのいずれか1項記載の角度検出方法における各工程をコンピュータに実行させるプログラム。
  6. 請求項記載のプログラムを記録した記憶媒体。
  7. 第一の軸、動力伝達部、および第二の軸が順に連結され、前記第一の軸および前記第二の軸の回転角度をそれぞれ検出する第一のエンコーダおよび第二のエンコーダを備えた角度検出装置であって、
    請求項6記載のプログラムを記憶した制御部を備えた角度検出装置。
  8. モータと請求項7記載の角度検出装置よりなる回転駆動装置。
  9. 関節部を有するロボットアームと、前記ロボットアームの関節部に請求項8記載の回転駆動装置を備えていることを特徴とするロボット装置。
JP2014194015A 2014-03-27 2014-09-24 角度検出方法、角度検出装置、およびロボット装置 Active JP6460697B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014194015A JP6460697B2 (ja) 2014-03-27 2014-09-24 角度検出方法、角度検出装置、およびロボット装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014067097 2014-03-27
JP2014067097 2014-03-27
JP2014194015A JP6460697B2 (ja) 2014-03-27 2014-09-24 角度検出方法、角度検出装置、およびロボット装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015194462A JP2015194462A (ja) 2015-11-05
JP6460697B2 true JP6460697B2 (ja) 2019-01-30

Family

ID=54189872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014194015A Active JP6460697B2 (ja) 2014-03-27 2014-09-24 角度検出方法、角度検出装置、およびロボット装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10363658B2 (ja)
JP (1) JP6460697B2 (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3054158B1 (fr) * 2016-07-21 2019-06-28 Comau France Machine-outil d’usinage
GB2552385B (en) * 2016-07-22 2021-09-15 Cmr Surgical Ltd Calibrating position sensor readings
JP6743597B2 (ja) * 2016-09-02 2020-08-19 株式会社デンソーウェーブ たわみ角検出装置
JP7070556B2 (ja) * 2017-04-13 2022-05-18 ソニーグループ株式会社 位置検出装置及び位置検出方法
US20180355859A1 (en) * 2017-06-08 2018-12-13 Taiko Investment Co.,Ltd. Meter-type magnetic pump and a light interrupting module thereof
JP2018202589A (ja) * 2017-06-09 2018-12-27 セイコーエプソン株式会社 制御装置、ロボット、およびロボットシステム
JP6844462B2 (ja) * 2017-07-21 2021-03-17 株式会社デンソーウェーブ 角度検出器の偏心誤差補正方法、ロボットシステム
JP7118628B2 (ja) * 2017-12-01 2022-08-16 キヤノン株式会社 ロボット装置、およびロボット装置の制御方法
US10895445B2 (en) * 2018-09-14 2021-01-19 Faro Technologies, Inc. Articulated arm coordinate measuring machines with active counterbalance
CN112805536A (zh) * 2018-09-24 2021-05-14 株式会社尼康 编码器、驱动装置、机器人装置、控制系统及其控制方法
JP7234577B2 (ja) * 2018-10-31 2023-03-08 セイコーエプソン株式会社 ロボットシステム、ロボット制御方法、及びエンコーダー
DE102018133349A1 (de) * 2018-12-21 2020-06-25 Pilz Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Momentschätzung
CN111044982B (zh) * 2019-12-23 2021-09-28 广东纳睿雷达科技股份有限公司 一种雷达方位定位的方法
CN111872947B (zh) * 2020-07-07 2022-02-11 福建迅腾辉机器人有限公司 一种实现智能化餐桌机器人的方法
CN113804099B (zh) * 2021-07-21 2023-05-23 安徽哈工标致医疗健康产业有限公司 一种上下肢康复设备多传感器融合角度检测系统及方法
CN114459416B (zh) * 2021-12-29 2024-03-01 湖南中联重科应急装备有限公司 旋转角度检测装置及高空作业设备

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4055462B2 (ja) * 2002-04-24 2008-03-05 トヨタ自動車株式会社 車両の操舵輪操作装置
WO2004092683A1 (ja) * 2003-04-11 2004-10-28 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha 回転型エンコーダ
US7152456B2 (en) * 2004-01-14 2006-12-26 Romer Incorporated Automated robotic measuring system
CN102132126B (zh) * 2008-08-26 2015-04-08 株式会社尼康 编码器系统、信号处理方法
JP5640732B2 (ja) * 2010-12-24 2014-12-17 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、及びロボット装置
JP5640733B2 (ja) * 2010-12-24 2014-12-17 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、及びロボット装置
JP5948023B2 (ja) * 2011-07-08 2016-07-06 オークマ株式会社 異常検出機能を備えた絶対位置検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015194462A (ja) 2015-11-05
US10363658B2 (en) 2019-07-30
US20150276436A1 (en) 2015-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6460697B2 (ja) 角度検出方法、角度検出装置、およびロボット装置
JP5488494B2 (ja) ロボットシステム
JP6477933B2 (ja) 回転角度検出装置及び回転角度検出方法
JP6844462B2 (ja) 角度検出器の偏心誤差補正方法、ロボットシステム
JP2016168651A (ja) ロボット制御方法、ロボット装置、プログラム及び記録媒体
CN103395073A (zh) 一种六轴工业机器人的零点标定方法
CN105229424A (zh) 用于自校准旋转编码器的方法
JP6717305B2 (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、回転情報取得方法及び回転情報取得プログラム
JP2018036230A (ja) たわみ角検出装置
US6664752B2 (en) Method and apparatus for correcting actuator positioning error
JP7173010B2 (ja) 校正装置、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置、エンコーダ装置の製造方法、及び校正プログラム
KR20160100013A (ko) 레이저트레이서를 이용한 회전축의 오차측정 및 보상을 위한 시스템 및 방법
JP7000263B2 (ja) 初期設定方法及び初期設定装置
JP2016032326A (ja) モータ制御装置、ロボット装置、モータ制御方法、プログラム及び記録媒体
JP2016197094A (ja) 変位検出装置、トルク検出装置、ロボット装置、および変位検出方法
JP3644558B2 (ja) 撓み噛み合い式歯車装置のトルク検出機構
CN114636387A (zh) 一种圆光栅编码器双读数头非对称安装偏心误差补偿方法
US11092224B2 (en) Method of developing spline profile
JPS6362934A (ja) 動力伝達装置
JP2000055664A (ja) 姿勢を計測する機能を持つ多関節型ロボット・システム、ターン・テーブルを校正基準に用いてジャイロの計測精度を検証する方法及びシステム、及び、n軸で構成されるターン・テーブルのキャリブレーションを行う装置及び方法
KR101461627B1 (ko) 감속기 출력축의 절대위치 검출방법
JP2012192498A (ja) ロボット制御装置およびキャリブレーション方法
WO2009142118A1 (ja) 速度検出装置およびサーボモータ
JP2001057761A (ja) レゾルバの組立装置
JP2018036097A (ja) 角度位置検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170921

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180911

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181112

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181127

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181225

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6460697

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151