JP6097604B2

JP6097604B2 - シート貼付装置及び貼付方法

Info

Publication number: JP6097604B2
Application number: JP2013055239A
Authority: JP
Inventors: 和寿山口
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-03-18
Filing date: 2013-03-18
Publication date: 2017-03-15
Anticipated expiration: 2033-03-18
Also published as: JP2014183095A

Description

本発明は、接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置及び貼付方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）に接着シートを貼付する技術として、貼付手段の前段に接着シートを所定形状に切断する切断手段を設けた貼付装置が提案されている（特許文献１参照）。

特開２０１０−４０８７４号公報

しかしながら、特許文献１のような従来技術では、切断手段と貼付手段とを個別に設ける必要があり、装置が大型化するという問題を有している。

本発明の目的は、接着シートの切断及び貼付を簡素な構成で行うことができるシート貼付装置及びシート貼付方法を提供することである。

このような目的を達成するために、本発明に係るシート貼付装置は、
帯状の原シートを繰り出す繰出手段と、
切断媒体によって前記原シートに閉ループ状の切り込みを施し、当該切り込みの内側を接着シートとして形成する切断手段と、
前記切断媒体の内側に位置し、前記接着シートを保持するとともに、保持した当該接着シートを被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備えることを特徴とする。

また、前記切断媒体の切り込み深さは、前記接着シートと前記被着体とを合わせた厚みよりも深く設定され、前記切断手段は、前記貼付手段が前記被着体に前記接着シートを貼付すると同時に、当該被着体に閉ループ状の切り込みを施し、当該被着体を前記接着シートと同形状に切断することを特徴とする。

また、本発明に係るシート貼付方法は、
帯状の原シートを繰り出す工程と、
切断媒体によって前記原シートに閉ループ状の切り込みを施し、当該切り込みの内側を接着シートとして形成する工程と、
前記切断媒体の内側で前記接着シートを保持するとともに、保持した当該接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを行うことを特徴とする。

本発明によれば、切断媒体の内側に設けられた貼付手段により接着シートを保持して被着体に貼付するため、接着シートの切断及び貼付を簡素な構成で行うことができる。

また、切断媒体の切り込み深さを接着シートと被着体とを合わせた厚みより長く設定し、貼付手段による接着シートの貼付と同時に、切断手段が被着体を当該接着シートと同形状に切断することにより、被着体と接着シートとが同形状の貼付物を形成することができる。

第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。第１実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。変形例に係る切断媒体及び被着体の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を図１〜図３に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１及び図３の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の紙面に直交する手前方向、「後」がその逆方向とする。

図１に示すように、本発明のシート貼付装置１０は、帯状の原シートＡＳを繰り出す繰出手段２０と、切断媒体としての切断刃３１によって原シートＡＳに閉ループ状の切り込みを施し、切り込みの内側を接着シートＡＳ１として形成する切断手段３０と、切断刃３１の内側に位置し、接着シートＡＳ１を保持するとともに、保持した接着シートＡＳ１を被着体としてのウエハＷＦに押圧して貼付する貼付手段としての自粘性部材４０とを備え、ウエハＷＦを支持する支持手段５０の上方に配置されている。

繰出手段２０は、原シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持軸２１と、原反ＲＳから接着シートＡＳ１が剥離された不要シートを巻き取る巻取軸２２を回転可能に支持する駆動機器としての回動モータ２３と、複数のガイドローラ２４とを備えている。

切断手段３０は、金属等の磁性材料を含むシート部材３５上に形成された切断刃３１と、内部に永久磁石や電磁石等の磁気発生手段を有し、シート部材３５を支持することで切断刃３１及び自粘性部材４０を間接的に支持するマグネットローラ３３と、マグネットローラ３３を回転可能に支持する出力軸３４Ａを備えた駆動機器としての回動モータ３４と、原反ＲＳを間に挟んでマグネットローラ３３に対向配置されるとともに、図示しない駆動機器によってマグネットローラ３３と同期して当該マグネットローラ３３の回転方向の反対方向に回転可能な受けローラ３２とを備えている。なお、切断刃３１の切り込み深さＬ１すなわち、自粘性部材４０の表面から切断刃３１の刃先までの高さは、接着シートＡＳ１の厚みＬ２以上であり、接着シートＡＳ１の厚みＬ２とウエハＷＦの厚みＬ３とを合わせた厚み以下に設定されている。

自粘性部材４０は、シート部材３５に支持され、接着シートＡＳ１、ＡＳ２に対向する面に粘着層が形成されたシート状部材であり、例えば、自粘性のエラストマーや両面接着シート等が例示できる。

支持手段５０は、ウエハＷＦを保持するテーブル５１と、テーブル５１を支持する出力軸５２Ａを備えた駆動機器としての直動モータ５２と、直動モータ５２を支持するスライダ５３Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ５３とを備えている。テーブル５１の上面には、図示しない吸引孔が形成され、当該吸引孔に図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段が接続されている。

次に、シート貼付装置１０の動作について説明する。まず、原反ＲＳを図１に示すように繰出手段２０にセットする。そして、図示しない操作パネル等を介して運転開始の信号が入力されると、図示しない搬送手段によりテーブル５１上にウエハＷＦが搬送され、支持手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。その後、繰出手段２０が回動モータ２３を駆動し、原反ＲＳを繰り出すと、切断手段３０が回動モータ３４及び図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳの繰出速度に合わせてマグネットローラ３３を反時計回転方向に、受けローラ３２を時計回転方向に回転させる。これにより、切断刃３１と受けローラ３２とが最も接近する切断位置Ｐ１で当該切断刃３１により原シートＡＳに閉ループ状の切り込みを施し、当該切り込みの内側に接着シートＡＳ１を形成する。そして、当該接着シートＡＳ１は、切断刃３１による切断と同時に自粘性部材４０に当接することで、当該自粘性部材４０の接着力によって保持されて剥離シートＲＬから剥離される。その後もマグネットローラ３３と受けローラ３２とが回転することで、図２（Ａ）に示すように、切断刃３１とテーブル５１とが最も接近する貼付位置Ｐ２に接着シートＡＳ１の先端部を移動させる。そして、接着シートＡＳ１の先端部が貼付位置Ｐ２に移動したことが図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３の駆動を停止し、切断手段３０が回動モータ３４及び図示しない駆動機器の駆動を停止する。

その後、支持手段５０が直動モータ５２及びリニアモータ５３を駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、ウエハＷＦの右端部を貼付位置Ｐ２に移動させ、ウエハＷＦの右端部と接着シートＡＳ１の先端部とを接触させる。

次いで、繰出手段２０が回動モータ２３を駆動し、原反ＲＳを繰り出すとともに、切断手段３０が回動モータ３４及び図示しない駆動機器を駆動し、マグネットローラ３３及び受けローラ３２を上述と同じ回転方向に回転させる。また、支持手段５０がリニアモータ５３を駆動し、テーブル５１を右方向へ移動させ、図２（Ｂ）で示すように、自粘性部材４０に保持された接着シートＡＳ１をウエハＷＦに押圧して貼付する。なお、接着シートＡＳ１がウエハＷＦに貼付されている最中に、切断位置Ｐ１では、図２（Ｂ）で示すように、次の接着シートＡＳ２の形成が行われる。

そして、接着シートＡＳ１全体がウエハＷＦに貼付されると、支持手段５０が直動モータ５２及びリニアモータ５３を駆動し、テーブル５１を所定の位置に配置させた後、図示しない搬送手段により接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを次工程に搬送する。なお、接着シートＡＳ２の先端部が貼付位置Ｐ２に移動したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０が回動モータ２３の駆動を停止し、切断手段３０が回動モータ３４及び図示しない駆動機器の駆動を停止する。次いで、支持手段５０が直動モータ５２及びリニアモータ５３を駆動し、テーブル５１を図１中実線で示す位置に移動させ、以後上記と同様の動作を繰り返す。

以上のような実施形態によれば、切断刃３１の内側に設けられた自粘性部材４０により接着シートＡＳ１を保持してウエハＷＦに貼付するため、接着シートＡＳ１の形成及び貼付を簡素な構成で行うことができる。

以上、本発明の実施形態を説明してきたが、本発明は上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
例えば、図３に示すように、接着シートＡＳ１の外形よりも大きい外形又は幅を有する被着体としての基材シートＢＳを用意し、切断刃３１の切り込み深さＬ１を接着シートＡＳ１の厚みＬ２と基材シートＢＳの厚みＬ４とを合わせた厚みよりも深く設定し、貼付位置Ｐ２で基材シートＢＳに接着シートＡＳ１を貼付すると同時に、当該基材シートＢＳに閉ループ状の切り込みを施し、当該基材シートＢＳを接着シートＡＳ１と同形状に切断し、基材シートＢＳと接着シートＡＳ１とが同形状の貼付物ＡＳ３を形成することもできる。
更に、切断媒体は、レーザーカッタやウォータカッタを採用しても良い。
また、切断刃３１をマグネットローラ３３に直接形成したり、自粘性部材４０をマグネットローラ３３に直接取り付けてもよい。
更に、切断刃３１及び自粘性部材４０の交換方式は、マグネットローラ３３を交換する構成であってもよいし、切断刃３１及び自粘性部材４０をそれぞれ個別に交換可能な構成であってもよい。
また、切断刃３１及び自粘性部材４０の形状は、円形、多角形、楕円形等の形状であってよく、自粘性部材４０の形状は、切断刃３１の形状に対応していなくてもよい。
更に、貼付手段を切断媒体の内側に形成した通気孔と、当該通気孔に連通した減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段とで構成し、通気孔を介して接着シートＡＳ１を吸着保持するとともに、保持した接着シートＡＳ１をウエハＷＦに押圧して貼付する構成としてもよいし、通気孔に加圧ポンプやタービン等の加圧手段を連通させ、接着シートを被着体に押圧して貼付するときに、通気孔を介して気体を噴出させて接着シートＡＳ１を被着体に押圧するようにしてもよい。
また、貼付手段は、静電気でものを引き付ける所謂静電チャックで構成してもよい。

更に、本発明における原シートＡＳ（接着シートＡＳ１、ＡＳ２）及び被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、原シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性の原シートＡＳが採用された場合は、形成された接着シートＡＳ１を加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような原シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における各手段は、それら手段について説明した動作または機能を果たすことができる限りなんら限定されるものではなく、まして、前記実施形態で示した単なる１実施形態の構成物に全く限定されるものではない。例えば、繰出手段は、帯状の原シートを繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段についての説明は省略する）。
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０…シート貼付装置
２０…繰出手段
３０…切断手段
３１…切断刃（切断媒体）
４０…自粘性部材（貼付手段）
ＡＳ…原シート
ＡＳ１…接着シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）
ＢＳ…基材シート（被着体）

Claims

帯状の原シートを繰り出す繰出手段と、
切断媒体によって前記原シートに閉ループ状の切り込みを施し、当該切り込みの内側を接着シートとして形成する切断手段と、
前記切断媒体の内側に位置し、前記接着シートを保持するとともに、保持した当該接着シートを被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備え、
前記貼付手段は、前記接着シートを形成している最中に当該接着シートの先端部を前記被着体に貼付することを特徴とするシート貼付装置。
帯状の原シートを繰り出す繰出手段と、
切断媒体によって前記原シートに閉ループ状の切り込みを施し、当該切り込みの内側を接着シートとして形成する切断手段と、
前記切断媒体の内側に位置し、前記接着シートを保持するとともに、保持した当該接着シートを被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備え、
前記切断媒体の切り込み深さは、前記接着シートと前記被着体とを合わせた厚みよりも深く設定され、前記切断手段は、前記貼付手段が前記被着体に前記接着シートを貼付すると同時に、当該被着体に閉ループ状の切り込みを施し、当該被着体を前記接着シートと同形状に切断することを特徴とするシート貼付装置。
帯状の原シートを繰り出す工程と、
切断媒体によって前記原シートに閉ループ状の切り込みを施し、当該切り込みの内側を接着シートとして形成する工程と、
前記切断媒体の内側で前記接着シートを保持するとともに、保持した当該接着シートを被着体に押圧して貼付する貼付工程とを備え、
前記貼付工程は、前記接着シートを形成している最中に当該接着シートの先端部を前記被着体に貼付することを特徴とするシート貼付方法。