JP5759831B2 - 電力用半導体装置及びその動作方法 - Google Patents

Description

本発明は、電力用半導体装置（ｐｏｗｅｒ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ ｄｅｖｉｃｅ）及びその動作方法に関する。

負荷に対して電力を供給するための電力用半導体装置が知られている。例えば、インテリジェントパワーデバイス（ＩＰＤ：Ｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔ Ｐｏｗｅｒ Ｄｅｖｉｃｅ）と呼ばれる電力用半導体装置は、自動車の電子制御システムにおいて用いられ、マイコンからの命令に従ってヘッドライト等への電力供給を制御する。このような電力用半導体装置では、典型的には、ハイサイドスイッチが使用される（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。

図１は、特許文献１に記載されている電力用半導体装置の構成を示している。この電力用半導体装置は、電源端子ＴＶ、入力端子ＴＩ、出力端子ＴＯ、出力トランジスタ１０、及びゲート充放電回路３０を備えている。電源端子ＴＶには、電源電圧ＶＤＤが供給される。入力端子ＴＩには、パワーＯＮ信号ＰＷＲが入力される。そのパワーＯＮ信号ＰＷＲの活性化に応答して、電力用半導体装置は出力端子ＴＯから電力を出力する。

出力トランジスタ１０は、電源端子ＴＶと出力端子ＴＯとの間に接続されている。より詳細には、出力トランジスタ１０は、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、ドレイン及びソースは、それぞれノードＮＤ、電源端子ＴＶ及び出力端子ＴＯに接続されている。出力端子ＴＯは負荷２０の一端に接続され、負荷２０の他端はグランド端子ＴＧに接続される。このように、出力トランジスタ１０は、ハイサイドスイッチとして機能するように接続される。

ゲート充放電回路３０は、ノードＮＤを充放電し、それにより出力トランジスタ１０をＯＮ／ＯＦＦ制御する。より詳細には、ゲート充放電回路３０は、制御入力回路３１、昇圧回路３２、放電トランジスタ（放電スイッチ）３３、及びダイオード３４、３５を備えている。制御入力回路３１は、パワーＯＮ信号ＰＷＲに応じて、昇圧回路３２及び放電トランジスタ３３を制御する。昇圧回路３２は、ノードＮＤを、電源電圧ＶＤＤよりも高い高電圧まで充電する。放電トランジスタ３３は、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、バックゲート、ソース及びドレインは、それぞれノードＮＡ、ノードＮＢ、ノードＮＣ及びノードＮＤに接続されている。ダイオード３４のアノード及びカソードは、それぞれノードＮＣ及びグランド端子に接続されている。ダイオード３５のアノード及びカソードは、それぞれノードＮＣ及び出力端子ＴＯに接続されている。

パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化されると、制御入力回路３１は、昇圧回路３２を活性化し、且つ、ノードＮＡにＬｏｗレベル信号を供給して放電トランジスタ３３をＯＦＦする。昇圧回路３２は、ノードＮＤを、電源電圧ＶＤＤよりも高い高電圧まで充電する。その結果、出力トランジスタ１０がＯＮし、負荷２０に電力が供給される。

パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化されると、制御入力回路３１は、昇圧回路３２を非活性化し、且つ、ノードＮＡにＨｉｇｈレベル信号を供給する。これにより、昇圧回路３２が動作を停止する一方で、放電トランジスタ３３がＯＮする。その結果、ノードＮＤが放電され、出力トランジスタ１０がＯＦＦする。尚、ノードＮＤの電圧が、グランド電圧ＧＮＤからダイオード３４またはダイオード３５の順方向降下電圧（ＶＦ）分だけ高いレベルになると、放電トランジスタ３３を介した放電は行われなくなる。

特開平６−９７３７５号公報 特開２００２−２９０２２１号公報

ここで、本願発明者は、次のような課題を発見した。それは、上述のような電力用半導体装置を単一の半導体基板上に形成したときに、外部から印加されるサージ電圧により、出力トランジスタ１０が熱破壊する可能性があるということである。この課題について、以下に説明する。

上述のような電力用半導体装置において、出力トランジスタ１０（パワーＭＯＳＦＥＴ）のオン抵抗は十分に低いことが望ましい。そのためには、出力トランジスタ１０のゲートにつながるノードＮＤに、十分高い駆動電圧を印加する必要がある。このようにノードＮＤには高電圧が印加されるため、一般的には、高圧ＭＯＳＦＥＴが放電トランジスタ３３として使用される。図２は、出力トランジスタ１０及び放電トランジスタ３３の一例の断面構造を示している。放電トランジスタ３３は、高圧ＭＯＳＦＥＴ構造を有している。

この放電トランジスタ３３は、図２に示されるような縦型の寄生バイポーラトランジスタを有する。図３は、その寄生バイポーラトランジスタを含めた回路構成を示している。図３に示されるように、放電トランジスタ３３のドレイン及びバックゲートは、それぞれノードＮＤ及びノードＮＢに接続されており、寄生バイポーラトランジスタＱ１のコレクタ、エミッタ及びベースは、それぞれ電源端子ＴＶ、ノードＮＤ及びノードＮＢに接続されている。また、寄生容量（コレクタ−ベース間容量）Ｃ１が、電源端子ＴＶとノードＮＢとの間に生成される。

ここで、電力用半導体装置（出力トランジスタ１０）がＯＦＦ状態の時に、電源電圧ＶＤＤの急峻な増加が発生した場合を考える。ＯＦＦ状態において、ノードＮＢ（放電トランジスタ３３のバックゲート）はハイインピーダンスとなっている。従って、電源電圧ＶＤＤの急峻な増加が発生すると、寄生容量Ｃ１を通して、ノードＮＢの電圧（寄生バイポーラトランジスタＱ１のベース電圧）が持ち上がる。その結果、寄生バイポーラトランジスタＱ１がＯＮする。この時、コレクタ−エミッタ間電圧ＶＣＥが耐圧ＢＶＣＥＯを超えていると、大きな降伏電流が流れる。ここで、図４は、寄生バイポーラトランジスタＱ１の電流−電圧特性を示している。コレクタ−エミッタ間電圧ＶＣＥが耐圧ＢＶＣＥＯを超えると、大きな降伏電流が流れることが分かる。

この降伏電流により、出力トランジスタ１０のゲートにつながるノードＮＤの電圧が持ち上がるため、出力トランジスタ１０がＯＮしてしまう。但し、この時、出力トランジスタ１０は、高オン抵抗でオンする（ハーフオン）。この場合、出力トランジスタ１０に過大な電力が印加されるため、熱破壊が発生する可能性がある。

例えば、自動車に搭載される電力用半導体装置の電源端子ＴＶは、バッテリーに接続される。この場合の電源電圧ＶＤＤの急峻な増加の一例として、図５に示されるような「ダンプサージ」が考えられる。ダンプサージとは、オルタネータの発電中にバッテリーが外れたときに、電源端子ＴＶに発生するサージのことである。ダンプサージが電源端子ＴＶに印加されると、上述の理由により、寄生バイポーラトランジスタＱ１が動作し、出力トランジスタ１０の熱破壊が発生する可能性がある。

以上に説明されたように、電力用半導体装置がＯＦＦ状態の時に、電源電圧の急峻な増加が発生した場合、出力トランジスタがハーフオンして熱破壊される可能性があった。電力用半導体装置がＯＦＦ状態の時に、電源電圧の急峻な増加が発生した場合であっても、出力トランジスタがＯＮすることを防止することができる技術が望まれる。

本発明の１つの観点において、電力用半導体装置が提供される。その電力用半導体装置は、電源端子と出力端子との間に接続された出力トランジスタと、出力トランジスタのゲートに接続された第１ノードを充放電し、出力トランジスタをＯＮ／ＯＦＦ制御するゲート充放電回路と、第１ノードと出力端子との間に接続されたショートスイッチ回路と、ショートスイッチ回路を制御するショート制御回路と、を備える。第１ノードが充電された後、出力トランジスタが安定的にＯＮしている期間がＯＮ期間である。第１ノードが放電された後、出力トランジスタが安定的にＯＦＦしている期間がＯＦＦ期間である。ＯＦＦ期間からＯＮ期間への遷移期間がターンオン期間である。ＯＮ期間からＯＦＦ期間への遷移期間がターンオフ期間である。ターンオン期間、ＯＮ期間及びターンオフ期間において、ショート制御回路は、ショートスイッチ回路を介した第１ノードと出力端子との間の電気的接続を切断する。ＯＦＦ期間において、ショート制御回路は、ショートスイッチ回路を介して第１ノードと出力端子との間を電気的に接続する。

本発明によれば、電力用半導体装置がＯＦＦ状態の時に、電源電圧の急峻な増加が発生した場合であっても、出力トランジスタがＯＮすることを防止することが可能となる。更に、本発明に係る機構は、出力トランジスタのターンオン／ターンオフに関連する特性に影響を与えない。

図１は、関連技術に係る電力用半導体装置の構成を示す回路図である。 図２は、出力トランジスタ及び放電トランジスタの典型的な断面構造を示す概略図である。 図３は、寄生バイポーラトランジスタを含む電力用半導体装置の構成を示す回路図である。 図４は、寄生バイポーラトランジスタの電流−電圧特性を示すグラフ図である。 図５は、自動車に搭載される電力用半導体装置の電源端子に印加されるダンプサージを示す概念図である。 図６は、本発明の実施の形態に係る電力用半導体装置の構成を概略的に示すブロック図である。 図７は、本発明の実施の形態に係る電力用半導体装置の動作を示すタイミングチャートである。 図８は、ダンプサージ印加時の電力用半導体装置の動作を説明するための回路図である。 図９は、本発明の第１の実施の形態に係る電力用半導体装置の構成を概略的に示すブロック図である。 図１０は、本発明の第１の実施の形態に係るショート制御回路の構成を概略的に示す回路図である。 図１１は、本発明の第１の実施の形態に係るショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図１２は、本発明の第１の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第１の例を示す回路図である。 図１３は、本発明の第１の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第２の例を示す回路図である。 図１４は、本発明の第１の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第３の例を示す回路図である。 図１５は、図１４に示されたショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図１６Ａは、図１４に示されたショート制御回路中の遅延回路の構成例を示す回路図である。 図１６Ｂは、図１４に示されたショート制御回路中の遅延回路の他の構成例を示す回路図である。 図１７は、ターンオフ期間が放電期間と負電圧期間を含む場合を説明するための概念図である。 図１８は、本発明の第１の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第４の例を示す回路図である。 図１９は、図１８に示されたショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図２０は、本発明の第１の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第５の例を示す回路図である。 図２１は、本発明の第２の実施の形態に係るショート制御回路の構成を概略的に示す回路図である。 図２２は、本発明の第２の実施の形態に係るショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図２３は、本発明の第２の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第１の例を示す回路図である。 図２４は、ターンオフ期間が放電期間と負電圧期間を含む場合を説明するための概念図である。 図２５は、本発明の第２の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第２の例を示す回路図である。 図２６は、図２５に示されたショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図２７は、本発明の第２の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第３の例を示す回路図である。 図２８は、図２７に示されたショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図２９Ａは、図２７に示されたショート制御回路中の遅延回路の構成例を示す回路図である。 図２９Ｂは、図２７に示されたショート制御回路中の遅延回路の他の構成例を示す回路図である。 図３０は、本発明の第２の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第４の例を示す回路図である。 図３１は、本発明の第２の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第５の例を示す回路図である。 図３２は、本発明の実施の形態におけるタイマー回路の構成例を示す回路図である。 図３３は、図３２に示されたタイマー回路の動作を示すタイミングチャートである。 図３４は、本発明の第３の実施の形態に係る電力用半導体装置の構成を概略的に示すブロック図である。 図３５は、本発明の第３の実施の形態に係る電力用半導体装置の動作を示すタイミングチャートである。 図３６は、ダンプサージ印加時の電力用半導体装置の動作を説明するための回路図である。 図３７は、本発明の第３の実施の形態に係るショート制御回路の構成を概略的に示す回路図である。 図３８は、本発明の第３の実施の形態に係るショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図３９は、本発明の第３の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第１の例を示す回路図である。 図４０は、ターンオフ期間が放電期間と負電圧期間を含む場合を説明するための概念図である。 図４１は、本発明の第３の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第２の例を示す回路図である。 図４２は、図４１に示されたショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図４３は、本発明の第３の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第３の例を示す回路図である。 図４４は、図４３に示されたショート制御回路の動作を示すタイミングチャートである。 図４５Ａは、図４３に示されたショート制御回路中の遅延回路の構成例を示す回路図である。 図４５Ｂは、図４３に示されたショート制御回路中の遅延回路の他の構成例を示す回路図である。 図４６は、本発明の第３の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第４の例を示す回路図である。 図４７は、本発明の第３の実施の形態に係るショート制御回路の構成の第５の例を示す回路図である。 図４８は、本発明の実施の形態に係る電力用半導体装置が自動車の電子制御システムに適用される例を示すブロック図である。

添付図面を参照して、本発明の実施の形態に係る電力用半導体装置を説明する。

＜基本構成＞
図６は、本発明の実施の形態に係る電力用半導体装置１の構成を概略的に示すブロック図である。電力用半導体装置１は、電源端子ＴＶ、入力端子ＴＩ、及び出力端子ＴＯを備えている。出力端子ＴＯは負荷２０の一端に接続され、負荷２０の他端はグランド端子ＴＧに接続される。電源端子ＴＶには、電源電圧ＶＤＤが供給される。入力端子ＴＩには、パワーＯＮ信号ＰＷＲが入力される。そのパワーＯＮ信号ＰＷＲの活性化に応答して、電力用半導体装置１はＯＮし、出力端子ＴＯを通して負荷２０に電力を供給する。

より詳細には、電力用半導体装置１は、出力トランジスタ１０及びゲート充放電回路３０を備えている。出力トランジスタ１０は、電源端子ＴＶと出力端子ＴＯとの間に接続されている。具体的には、出力トランジスタ１０は、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、ドレイン及びソースは、それぞれ第１ノードＮ１、電源端子ＴＶ及び出力端子ＴＯ（出力ノードＮＺ）に接続されている。尚、出力ノードＮＺは、出力端子ＴＯと同電位であり、出力端子ＴＯと等価なものとして扱われる。

出力トランジスタ１０のゲートにつながる第１ノードＮ１は、抵抗素子ＲＥＳを介して、ノードＮＤに接続されている。ノードＮＤは、ゲート充放電回路３０の出力端子に接続されている。つまり、ゲート充放電回路３０の出力は、抵抗素子ＲＥＳを介して、第１ノードＮ１に接続されている。

ゲート充放電回路３０は、ノードＮＤすなわち第１ノードＮ１を充放電し、それにより出力トランジスタ１０をＯＮ／ＯＦＦ制御する。例えば、ゲート充放電回路３０は、既出の図１で示されたものと同じ構成を有する。パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化されると、ゲート充放電回路３０は、ノードＮＤ（第１ノードＮ１）を、電源電圧ＶＤＤよりも高い高電圧まで充電する。その結果、出力トランジスタ１０がＯＮし、負荷２０に電力が供給される。一方、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化されると、ゲート充放電回路３０は、ノードＮＤ（第１ノードＮ１）を放電する。その結果、出力トランジスタ１０がＯＦＦする。

本実施の形態に係る電力用半導体装置１は、更に、ショートスイッチ回路４及びショート制御回路５０を備えている。ショートスイッチ回路４は、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間を必要に応じてショートさせるために設けられている。すなわち、ショートスイッチ回路４は、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間に接続されている。ショートスイッチ回路４を制御することにより、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＮ／ＯＦＦすることができる。そのショートスイッチ回路４を制御するのが、ショート制御回路５０である。

＜基本動作＞
図７は、本実施の形態に係る電力用半導体装置１の動作を示すタイミングチャートである。以下、図６及び図７を参照して、電力用半導体装置１の基本的な動作を説明する。その動作を説明するにあたり、４つの期間（フェーズ）：ターンオン期間ＰＡ、ＯＮ期間ＰＢ、ターンオフ期間ＰＣ、及びＯＦＦ期間ＰＤ、を考える。

ターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢは、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化（ＰＷＲ＝Ｈｉｇｈレベル）されている期間である。パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化されると、第１ノードＮ１は充電され、出力トランジスタ１０はＯＮし、出力ノードＮＺも充電される。ＯＮ期間ＰＢは、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺの電圧が安定し、出力トランジスタ１０が安定的にＯＮしている期間である。一方、ターンオン期間ＰＡは、パワーＯＮ信号ＰＷＲの活性化タイミングからＯＮ期間ＰＢまでの期間である。言い換えれば、ターンオン期間ＰＡは、ＯＦＦ期間ＰＤからＯＮ期間ＰＢへの遷移期間である。

ターンオフ期間ＰＣ及びＯＦＦ期間ＰＤは、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化（ＰＷＲ＝Ｌｏｗレベル）されている期間である。パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化されると、第１ノードＮ１は放電され、出力トランジスタ１０はＯＦＦし、出力ノードＮＺも放電される。ＯＦＦ期間ＰＤは、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺの電圧が安定し、出力トランジスタ１０が安定的にＯＦＦしている期間である。一方、ターンオフ期間ＰＣは、パワーＯＮ信号ＰＷＲの非活性化タイミングからＯＦＦ期間ＰＤまでの期間である。言い換えれば、ターンオフ期間ＰＣは、ＯＮ期間ＰＢからＯＦＦ期間ＰＤへの遷移期間である。

（ターンオン期間ＰＡ：時刻ｔ１〜ｔ２）
時刻ｔ１において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化され、ＬｏｗレベルからＨｉｇｈレベルに変わる。それに応答して、ゲート充放電回路３０は、ノードＮＤ及び第１ノードＮ１を充電し始める。このターンオン期間ＰＡにおいて、ショート制御回路５０は、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＦＦ（切断）する。出力トランジスタ１０はＯＮし、出力ノードＮＺの電圧も徐々に上昇する。尚、ターンオン期間ＰＡにおいて、第１ノードＮ１は、電源電圧ＶＤＤよりも高い高電圧まで充電される。

（ＯＮ期間ＰＢ：時刻ｔ２〜ｔ３）
ＯＮ期間ＰＢにおいて、ショート制御回路５０は、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＦＦのまま維持する。第１ノードＮ１の電圧は、電源電圧ＶＤＤよりも高い高電圧で安定する。出力ノードＮＺの電圧は、電源電圧ＶＤＤ近傍で安定する。出力トランジスタ１０は、安定的にＯＮしている。

（ターンオフ期間ＰＣ：時刻ｔ３〜ｔ４）
時刻ｔ３において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化され、ＨｉｇｈレベルからＬｏｗレベルに変わる。それに応答して、ゲート充放電回路３０は、ノードＮＤ及び第１ノードＮ１を放電し始める。このターンオフ期間ＰＣにおいても、ショート制御回路５０は、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＦＦのまま維持する。従って、ショートスイッチ回路４を通した放電は発生しない。すなわち、第１ノードＮ１の放電は、従来通りゲート充放電回路３０によってのみ行われる。第１ノードＮ１の電圧が低下すると、出力ノードＮＺの電圧も徐々に低下し、最終的に０Ｖになる。出力トランジスタ１０はＯＦＦする。

（ＯＦＦ期間ＰＤ：時刻ｔ４〜）
ＯＦＦ期間ＰＤの少なくとも一部において、ショート制御回路５０は、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＮ（有効化）する。従って、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間、すなわち、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間がショートする。出力トランジスタ１０は、安定的にＯＦＦしている。

このように、ショート制御回路５０は、ＯＦＦ期間ＰＤにおいてのみ、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＮ（有効化）する。その他の期間ＰＡ〜ＰＣにおいて、ショート制御回路５０は、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＦＦ（切断）する。このショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続がＯＦＦである期間は、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化されている期間と一致しない。すなわち、ショート制御回路５０は、単純にパワーＯＮ信号ＰＷＲに同期してショートスイッチ回路４をＯＮ／ＯＦＦ制御しているわけではない。ショート制御回路５０は、ターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢだけでなく、ターンオフ期間ＰＣにおいても、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＦＦのまま維持する。その結果、ターンオフ期間ＰＣにおいて、ショートスイッチ回路４を通した第１ノードＮ１の放電が防止される。すなわち、本実施の形態に係るショートスイッチ回路４及びショート制御回路５０は、出力トランジスタ１０のターンオフに関連する特性（ターンオフに要する時間等）に影響を与えない。

＜ダンプサージ印加時の動作＞
次に、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ダンプサージ等の印加によって、電源電圧ＶＤＤの急峻な増加が発生した場合を考える。図７に示される例では、ＯＦＦ期間ＰＤの最中の時刻ｔ５〜ｔ６において、ダンプサージが電源端子ＴＶに印加される。

図８は、ゲート充放電回路３０が既出の図１、図３で示されたものと同じ構成を有している場合を示している。上述の通り、ゲート充放電回路３０の放電トランジスタ３３は、寄生バイポーラトランジスタＱ１を有している。寄生バイポーラトランジスタＱ１のコレクタ、エミッタ及びベースは、それぞれ電源端子ＴＶ、ノードＮＤ及びノードＮＢに接続されている。また、寄生容量（コレクタ−ベース間容量）Ｃ１が、電源端子ＴＶとノードＮＢとの間に接続されている。

ＯＦＦ期間ＰＤの最中に、電源電圧ＶＤＤの急峻な増加が発生した場合、上述の通り、寄生バイポーラトランジスタＱ１がＯＮする可能性がある。寄生バイポーラトランジスタＱ１がＯＮすると、ノードＮＤの電圧が持ち上がる。しかしながら、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ショートスイッチ回路４を介した電気的接続はＯＮしており、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間、すなわち、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間はショートしている。ゲート−ソース間電圧が閾値電圧を超えないため、出力トランジスタ１０はＯＮすることなく、ＯＦＦ状態を維持する。

尚、ノードＮＤと第１ノードＮ１との間には抵抗素子ＲＥＳが介在している。ノードＮＤの電圧が持ち上がった場合、ノードＮＤから、抵抗素子ＲＥＳ、第１ノードＮ１及びショートスイッチ回路４を通して、出力ノードＮＺへ電流が流れる。この時、抵抗素子ＲＥＳにおいてＩＲドロップが発生するため、第１ノードＮ１の電圧がＬｏｗレベルに維持される。つまり、抵抗素子ＲＥＳを利用することによって、第１ノードＮ１の電圧をＬｏｗレベルに維持しやすくなる。

＜効果＞
本実施の形態によれば、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続がＯＮする。これにより、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間、すなわち、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間がショートする。従って、電源電圧ＶＤＤの急峻な増加が発生した場合であっても、出力トランジスタ１０がＯＮすることが防止される。すなわち、出力トランジスタ１０の熱破壊が防止される。

また、本実施の形態によれば、ＯＦＦ期間ＰＤ以外において、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続はＯＦＦのまま維持される。従って、ＯＦＦ期間ＰＤ以外において、ショートスイッチ回路４及びショート制御回路５０は、第１ノードＮ１に影響を及ぼさない。つまり、ショートスイッチ回路４及びショート制御回路５０は、出力トランジスタ１０のターンオン／ターンオフに関連する特性（ターンオン／ターンオフに要する時間等）に影響を与えない。すなわち、本実施の形態によれば、ターンオン／ターンオフに関連する特性に影響を及ぼすことなく、出力トランジスタ１０の熱破壊を防止することが可能である。

以下、本発明の様々な実施の形態を説明する。

１．第１の実施の形態
図９は、第１の実施の形態に係る電力用半導体装置１の構成を概略的に示すブロック図である。第１の実施の形態において、ショートスイッチ回路４は、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間に接続されたショートスイッチ４０Ａを含んでいる。また、第１の実施の形態におけるショート制御回路５０は、ショート制御回路５０Ａと参照される。ショート制御回路５０Ａは、ショートスイッチ４０ＡをＯＮ／ＯＦＦ制御することによって、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＮ／ＯＦＦすることができる。

図１０は、第１の実施の形態に係るショートスイッチ４０Ａ及びショート制御回路５０Ａの構成を概略的に示している。ショートスイッチ４０Ａとして、例えば、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ（以下、「ショートトランジスタ４０Ａ」と参照される）が用いられる。ショートトランジスタ４０Ａのソース、ドレイン及びゲートは、それぞれ出力ノードＮＺ、第１ノードＮ１及び第２ノードＮ２に接続されている。この第２ノードＮ２の電圧を制御することによって、ショートトランジスタ４０ＡをＯＮ／ＯＦＦ制御することが可能である。

ショート制御回路５０Ａは、第２ノードＮ２に接続されており、第２ノードＮ２の電圧を制御する。詳細には、ショート制御回路５０Ａは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続された第１スイッチ５１Ａと、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとの間に接続された電源接続回路６０Ａとを備えている。第１スイッチ５１Ａは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続を制御する。電源接続回路６０Ａは、制御信号ＣＯＮに応じて、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとの間の電気的接続を制御する。

ターンオン期間ＰＡ、ＯＮ期間ＰＢ及びターンオフ期間ＰＣにおいて、ショート制御回路５０Ａは、第１スイッチ５１ＡをＯＮする。これにより、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間、すなわち、ショートトランジスタ４０Ａのゲート−ソース間がショートする。その結果、ショートトランジスタ４０ＡがＯＦＦに維持される。一方、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ショート制御回路５０Ａは、第１スイッチ５１ＡをＯＦＦし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続を切断する。また、電源接続回路６０Ａは、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとを電気的に接続する。その結果、第２ノードＮ２に電源電圧ＶＤＤが印加され、ショートトランジスタ４０ＡがＯＮする。このようにして、上述のショートトランジスタ４０ＡのＯＮ／ＯＦＦ制御が実現される。

第１スイッチ５１Ａとして、例えば、図１０に示されるようなＮチャネルＭＯＳＦＥＴが用いられる。そのＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第１ノードＮ１、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。このような構成の場合のショート制御回路５０Ａの動作を、図１１を参照して説明する。尚、既出の図７と重複する説明は、適宜省略される。

（ターンオン期間ＰＡ：時刻ｔ１〜ｔ２）
時刻ｔ１において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化され、ＬｏｗレベルからＨｉｇｈレベルに変わる。それに応答して、制御信号ＣＯＮがＨｉｇｈレベルからＬｏｗレベルに変わる。制御信号ＣＯＮがＬｏｗレベルの場合、電源接続回路６０Ａは、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとの間の電気的接続を切断する。その一方で、上述の通り、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺの電圧は徐々に上昇する。昇圧回路３２によって昇圧される第１ノードＮ１の電圧は、出力ノードＮＺの電圧より高く、それらノード間には電圧差（Ｎ１−ＮＺ）が発生する。すなわち、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａのゲート−ソース間にある程度の電圧が印加され、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＡがＯＮする。その結果、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとは電気的に接続され、ショートトランジスタ４０ＡがＯＦＦする。

（ＯＮ期間ＰＢ：時刻ｔ２〜ｔ３）
ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＡはＯＮのままであり、ショートトランジスタ４０ＡはＯＦＦのままである。

（ターンオフ期間ＰＣ：時刻ｔ３〜ｔ４）
時刻ｔ３において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化され、ＨｉｇｈレベルからＬｏｗレベルに変わる。それに応答して、制御信号ＣＯＮがＬｏｗレベルからＨｉｇｈレベルに変わる。制御信号ＣＯＮがＨｉｇｈレベルの場合、電源接続回路６０Ａは、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとを電気的に接続する。但し、ターンオフ期間ＰＣにおいても、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間にはある程度の電圧差（Ｎ１−ＮＺ）が存在し、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＡはＯＮ状態に維持される。つまり、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとは電気的に接続されたままである。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａの電流能力は十分に大きく設計されるため、ショートトランジスタ４０Ａのゲート−ソース間電圧（Ｎ２−ＮＺ）は十分に低く維持される。従って、ショートトランジスタ４０ＡはＯＦＦ状態に維持される。

（ＯＦＦ期間ＰＤ：時刻ｔ４〜）
第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺの放電が進み、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電圧差（Ｎ１−ＮＺ）がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａの閾値電圧を下回ると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＡはＯＦＦする。すなわち、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続が切断される。その結果、ノードＮ２に電源電圧ＶＤＤが印加され、ショートトランジスタ４０ＡがＯＮする。

このように、ゲートが第１ノードＮ１に接続されたＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａを用いることによって、上述のショートトランジスタ４０ＡのＯＮ／ＯＦＦ制御が実現される。

以下、第１の実施の形態に係るショート制御回路５０Ａの構成の様々な例を説明する。尚、上記と重複する説明は適宜省略される。

１−１．第１の例
図１２は、第１の例を示す回路図である。電源接続回路６０Ａは、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ａ、６３Ａ、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ａ、６４Ａを備えている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ａ及びＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ａは、第１のインバータ回路を構成している。具体的には、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ａのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、ノードＮＡ、電源端子ＴＶ及び第３ノードＮ３に接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ａのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ出力ノードＮＺ、出力ノードＮＺ及び第３ノードＮ３に接続されている。尚、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ａは、デプレッション型である。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ａ及びＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ａは、第２のインバータ回路を構成している。具体的には、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ａのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、第３ノードＮ３、電源端子ＴＶ及び第２ノードＮ２に接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ａのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第３ノードＮ３、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。

このような第１及び第２のインバータ回路が、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとの間の電気的接続を制御する。このとき、第１のインバータ回路に入力されるノードＮＡの信号（ゲート充放電回路の放電トランジスタ３３のゲート制御信号）が、図１０及び図１１で示された制御信号ＣＯＮに相当する。

ターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢにおいて、ノードＮＡの信号（制御信号ＣＯＮ)はＬｏｗレベルである。この場合、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１ＡがＯＮし、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６３ＡはＯＦＦする。従って、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとの間の電気的接続が切断される。第２ノードＮ２は、少なくともＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａ（第１スイッチ）を介して、出力ノードＮＺと電気的に接続される。

ターンオフ期間ＰＣ及びＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ノードＮＡの信号（制御信号ＣＯＮ)はＨｉｇｈレベルである。この場合、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ａ及びＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＡがＯＦＦし、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６３ＡがＯＮする。従って、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとが電気的に接続される。

但し、ターンオフ期間ＰＣでは、上述の通り、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＡもＯＮしている。ターンオフ期間ＰＣにおいてもショートトランジスタ４０ＡをＯＦＦに維持しておくために、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａの電流能力は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ａの電流能力よりも十分に大きく設計される。

ＯＦＦ期間ＰＤでは、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＡもＯＦＦするため、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続が切断される。従って、ショート制御回路５０Ａを通って電源端子ＴＶから出力端子ＴＯに向かって電流は流れない。すなわち、オフ時消費電流は発生しない。

尚、ショート制御回路５０Ａに含まれるＮチャネルＭＯＳＦＥＴのそれぞれのバックゲートは、出力ノードＮＺに直接接続されている。そのため、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、それらバックゲートがハイインピーダンスになることはない。従って、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ダンプサージの印加によって、それらＮチャネルＭＯＳＦＥＴの寄生バイポーラトランジスタが動作することはない。

１−２．第２の例
図１３は、第２の例を示す回路図である。第２の例では、図１２で示された回路構成に対して、デプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６５Ａが更に追加されている。このデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６５Ａは、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ａと第２ノードＮ２との間に介在しており、定電流源として機能する。

上述の第１の例で示されたように、ターンオフ期間ＰＣ中には、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＡとＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ａが同時にオンする期間がある。しかしながら、ターンオフ期間ＰＣにおいてもショートトランジスタ４０ＡをＯＦＦに維持しておくことが望ましい。その目的のため、第１の例では、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａの電流能力は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ａの電流能力よりも十分に大きく設計される。つまり、電流能力の設計に十分な注意を払う必要がある。第２の例では、定電流源として機能するＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６５Ａの定電流値を小さくする（インピーダンスを高くする）ことにより、当該目的を容易に達成することができる。つまり、第１の例と比較して、設計がより容易になる。

１−３．第３の例
図１４は、第３の例を示す回路図である。第３の例では、図１２で示された回路構成に対して、遅延回路７０Ａ及び補助スイッチ６６Ａが更に追加されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａのドレインは、第２ノードＮ２の代わりにノードＮ２’に接続されている。そのノードＮ２’が、遅延回路７０Ａを介して、第２ノードＮ２に接続されている。

図１４及び図１５を参照して、ＯＦＦ期間ＰＤ中に電源端子ＴＶにダンプサージが印加された場合を考える。出力トランジスタ１０は大面積を有するように作成されることが多く、その場合、ゲート−ドレイン間の寄生容量Ｃｇｄ（図１４参照）を無視することができない。時刻ｔ５においてダンプサージが印加されると、その寄生容量Ｃｇｄによって、第１ノードＮ１の電圧が持ち上げられる。その後、第１ノードＮ１は、寄生容量Ｃｇｄと抵抗素子ＲＥＳと放電トランジスタ３３のインピーダンスに依って決まる時定数で放電される。

ＯＦＦ期間ＰＤの最中に第１ノードＮ１の電圧が上昇すると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａ（第１スイッチ）がＯＮしてしまう。図１５の例では、時刻ｔ５〜ｔｓの短い期間、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＡがＯＮし、ノードＮ２’が放電されてしまう。もし、遅延回路７０Ａがなければ、ショートトランジスタ４０Ａのゲートにつながる第２ノードＮ２も放電されてしまい、ショートトランジスタ４０ＡがＯＦＦしてしまう。このことは、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間のショートの解除を意味し、好ましくない。

一方、本例によれば、ノードＮ２’と第２ノードＮ２との間に遅延回路７０Ａが設けられている。従って、たとえノードＮ２’が放電されても、第２ノードＮ２の電圧レベルは、ある程度の時間Ｈｉｇｈレベルに維持される。つまり、時刻ｔ５〜ｔｓの期間においても、ショートトランジスタ４０ＡはＯＮ状態のまま維持される。このように、ＯＦＦ期間ＰＤの最中に出力トランジスタ１０のゲート−ソース間のショートが解除されることが防止される。

図１６Ａ及び図１６Ｂは、遅延回路７０Ａの構成例を示している。図１６Ａの例では、抵抗素子７１Ａと容量素子７２Ａとにより、遅延回路７０Ａが構成されている。図１６Ｂの例では、定電流源として機能するデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ７３Ａと、ショートトランジスタ４０Ａのゲート−ソース間の寄生容量Ｃ４０Ａとにより、遅延回路７０Ａが構成されている。ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、遅延回路７０Ａの容量素子（７２ＡあるいはＣ４０Ａ）は、電源電圧ＶＤＤに充電されている。上記理由によりノードＮ２’が放電された場合であっても、遅延回路７０Ａの容量素子が放電されるまでは、第２ノードＮ２の電圧レベルをＨｉｇｈレベルに保つことができる。尚、遅延回路７０Ａの放電時定数は、第１ノードＮ１の放電時定数よりも大きく設計される。

尚、ターンオン期間ＰＡの開始時（時刻ｔ１：図１１参照）、第２ノードＮ２を速やかに放電し、ショートトランジスタ４０ＡをＯＦＦする必要がある。しかしながら、本例では、ノードＮ２’と第２ノードＮ２との間に遅延回路７０Ａが介在しており、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａ、６４Ａを通した放電は遅延する。このような遅延回路７０Ａの影響を無くすために、補助スイッチ６６Ａが追加されている。補助スイッチ６６Ａは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続されており、ターンオン期間ＰＡにおいてＯＮする。その結果、ターンオン期間ＰＡの開始時に、補助スイッチ６６Ａを通して第２ノードＮ２が速やかに放電される。つまり、ターンオン期間ＰＡへの遅延回路７０Ａの影響が排除される。

例えば、補助スイッチ６６ＡはＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第３ノードＮ３、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。ターンオン期間ＰＡにおいて、第３ノードＮ３には電源電圧ＶＤＤが印加される。第３ノードＮ３と出力ノードＮＺとの間の電圧差（Ｎ３−ＮＺ）が閾値電圧を下回るまで、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６６ＡはＯＮする。ターンオン期間ＰＡ以外において、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６６ＡはＯＦＦする。これにより、上記目的が達成される。

１−４．第４の例
出力端子ＴＯに接続される負荷２０が誘導性負荷の場合、ターンオフの際に、逆起電圧（負電圧）が出力端子ＴＯに印加される可能性がある。また、負荷２０を接続する配線のインダクタンス成分によっても、同様のことが発生し得る。このような場合、図１７に示されるように、ターンオフ期間ＰＣは、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺが放電される「放電期間ＰＣ１」だけでなく、続いて出力端子ＴＯ（出力ノードＮＺ）に負電圧が印加される「負電圧期間ＰＣ２」をも含む。

既出の例では、ターンオフ期間ＰＣは、放電期間ＰＣ１だけを含んでいた。その放電期間ＰＣ１において、第１スイッチ５１ＡがＯＮし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間が電気的に接続される。その結果、ショートトランジスタ４０Ａが、放電期間ＰＣ１においてもＯＦＦ状態に維持される。しかしながら、第１スイッチ５１Ａ（ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ａ）は、負電圧期間ＰＣ２においてもＯＮするとは限らない。従って、第４の例では、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続され、負電圧期間ＰＣ２においてＯＮする第２スイッチ５２Ａが追加される。

図１８は、第４の例を示す回路図である。第４の例では、図１２で示された回路構成に対して、過電圧保護回路８０、制御回路９０、及び第２スイッチ５２Ａが更に追加されている。

過電圧保護回路８０（ダイナミッククランプ回路）は、電源端子ＴＶと第１ノードＮ１との間に接続されている。具体的には、過電圧保護回路８０は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１、ダイオード８２、８３を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のソースは、電源端子ＴＶに接続されている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のゲート及びドレインは、ダイオード８２のカソードに接続されている。ダイオード８２のアノードは、ダイオード８３のアノードに接続されている。ダイオード８３のカソードは、第１ノードＮ１に接続されている。この過電圧保護回路８０は、負電圧期間ＰＣ２において動作する。

制御回路９０は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ９１及びデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ９２を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ９１のゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のゲート、電源端子ＴＶ及び第５ノードＮ５に接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ９２のドレインは第５ノードＮ５に接続され、そのソース及びゲートは出力ノードＮＺに接続されている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１、９１はカレントミラー回路を構成している。過電圧保護回路８０が動作すると、第５ノードＮ５が充電され、その電圧はＨｉｇｈレベルになる。過電圧保護回路８０が非動作の場合、第５ノードＮ５の電圧は出力ノードＮＺの電圧と同等になる。この第５ノードＮ５の電圧が、第２スイッチ５２ＡをＯＮ／ＯＦＦ制御するための制御信号ＣＯＮ２として使用される。すなわち、制御回路９０は、過電圧保護回路８０の動作時にだけ制御信号ＣＯＮ２を活性化（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）する。

第２スイッチ５２Ａは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続されている。この第２スイッチ５２Ａは、制御信号ＣＯＮ２が活性化されている時（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）にＯＮし、非活性化されている時にＯＦＦする。第２スイッチ５２Ａは、例えばＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第５ノードＮ５、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。制御信号ＣＯＮ２が活性化されＨｉｇｈレベルになると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２ＡはＯＮする。その結果、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺが電気的に接続される。

図１８及び図１９を参照して、本例におけるターンオフ期間ＰＣについて説明する。そのターンオフ期間ＰＣは、放電期間ＰＣ１と負電圧期間ＰＣ２を含んでいる。

（放電期間ＰＣ１：時刻ｔ３〜ｔｍ）
既出の例の場合と同様に、第１スイッチ５１ＡがＯＮする。そのため、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとが電気的に接続され、ショートトランジスタ４０ＡはＯＦＦ状態に維持される。

（負電圧期間ＰＣ２：時刻ｔｍ〜ｔ４）
負電圧期間ＰＣ２において、過電圧保護回路８０を正常に動作させるためには、出力トランジスタ１０を低いゲート−ソース間電圧でオンさせる必要がある。従って、ショートトランジスタ４０ＡがＯＮして、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとがショートすることは望ましくない。すなわち、負電圧期間ＰＣ２においてもショートトランジスタ４０ＡをＯＦＦのまま保つ必要がある。しかしながら、負電圧期間ＰＣ２において、第１スイッチ５１ＡはＯＦＦする可能性がある。従って、負電圧期間ＰＣ２用に第２スイッチ５２Ａが設けられている。

より詳細には、出力端子ＴＯに負電圧が印加されると、過電圧保護回路８０のＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１からダイオード８２、８３、抵抗素子ＲＥＳ、ゲート充放電回路３０の放電トランジスタ３３を通して出力端子ＴＯへの電流経路が形成される。これにより、出力トランジスタ１０のドレイン−ソース間電圧が、過電圧保護回路のクランプ電圧にクランプされる。過電圧保護回路８０がこのように動作すると、上述の通り、制御回路９０は、制御信号ＣＯＮ２を活性化（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）する。それに応答して、第２スイッチ５２ＡがＯＮし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺが電気的に接続される。その結果、ショートトランジスタ４０ＡがＯＦＦ状態に保たれる。

負電圧期間ＰＣ２が終わると、第２スイッチ５２ＡはＯＦＦする。

以上に説明されたように、第１の実施の形態に係るショートトランジスタ４０Ａ及びショート制御回路５０Ａは、負電圧期間ＰＣ２に関連する特性（過電圧保護等）にも影響を及ぼさない。

１−５．第５の例
上述の例のうちいくつかを組み合わせることも可能である。図２０は、第１〜第４の例の全てを組み合わせた場合の回路構成を示している。

２．第２の実施の形態
第２の実施の形態において、ショートスイッチ回路４は、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間に接続されたショートスイッチ４０Ｂを含んでいる。また、第２の実施の形態におけるショート制御回路５０は、ショート制御回路５０Ｂと参照される。ショート制御回路５０Ｂは、ショートスイッチ４０ＢをＯＮ／ＯＦＦ制御することによって、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＮ／ＯＦＦすることができる。

図２１は、第２の実施の形態に係るショートスイッチ４０Ｂ及びショート制御回路５０Ｂの構成を概略的に示している。ショートスイッチ４０Ｂとして、例えば、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ（以下、「ショートトランジスタ４０Ｂ」と参照される）が用いられる。ショートトランジスタ４０Ｂのソース、ドレイン及びゲートは、それぞれ出力ノードＮＺ、第１ノードＮ１及び第２ノードＮ２に接続されている。この第２ノードＮ２の電圧を制御することによって、ショートトランジスタ４０ＢをＯＮ／ＯＦＦ制御することが可能である。

ショート制御回路５０Ｂは、第２ノードＮ２に接続されており、第２ノードＮ２の電圧を制御する。より詳細には、ショート制御回路５０Ｂは、第２ノードＮ２に接続された電源接続回路６０Ｂを備えている。この電源接続回路６０Ｂは、制御信号ＣＯＮに応じて、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとの間の電気的接続、及び、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続を制御する。

また、ショート制御回路５０Ｂは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続された複数のスイッチを備えている。複数のスイッチは、特に、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続の制御に用いられる。より詳細には、複数のスイッチは、少なくとも第１スイッチ５１Ｂと第２スイッチ５２Ｂを含んでいる。第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に直列に接続されている。

第１スイッチ５１Ｂとして、例えば、図２１に示されるようなＮチャネルＭＯＳＦＥＴが用いられる。そのＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、第１ノードＮ１、第２スイッチ５２Ｂ（出力ノードＮＺ側）及び第２ノードＮ２に接続されている。

第２スイッチ５２Ｂとして、例えば、図２１に示されるようなＮチャネルＭＯＳＦＥＴが用いられる。そのＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、ノードＮＥ、出力ノードＮＺ及び第１スイッチ５１Ｂ（第２ノードＮ２側）に接続されている。

電源接続回路６０Ｂは、ノードＮＥにも接続されており、ノードＮＥの電圧を制御することによってＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）をＯＮ／ＯＦＦ制御する。つまり、電源接続回路６０Ｂは、ノードＮＥと電源端子ＴＶとの間の電気的接続、及び、ノードＮＥと出力ノードＮＺとの間の電気的接続を制御する。特に、電源接続回路６０Ｂは、「所定のタイマー期間ＰＴ」において、ノードＮＥと電源端子ＴＶとを電気的に接続し、それによりＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）をＯＮする。

ここで、その所定のタイマー期間ＰＴは、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化されるタイミング（時刻ｔ３）、すなわち、ターンオフ期間ＰＣの開始と同時に始まる。また、所定のタイマー期間ＰＴの長さは、典型的には、ターンオフ期間ＰＣの長さ以上に設計される。但し、後述の第２の例において説明されるように、ターンオフ期間ＰＣが放電期間ＰＣ１と負電圧期間ＰＣ２を含んでいる場合（図２４参照）、所定のタイマー期間ＰＴの長さは、放電期間ＰＣ１の長さ以上であればよい。

所定のタイマー期間ＰＴは、タイマー回路１００から出力される第１制御信号ＣＯＮ１に基いて把握することができる。具体的には、タイマー回路１００は、所定のタイマー期間ＰＴの間だけ、第１制御信号ＣＯＮ１を活性化（ＣＯＮ１＝Ｌｏｗレベル）する。所定のタイマー期間ＰＴ以外においては、タイマー回路１００は、第１制御信号ＣＯＮ１を非活性化（ＣＯＮ１＝Ｈｉｇｈレベル）する。

図２１及び図２２を参照して、第２の実施の形態に係るショート制御回路５０Ｂの動作を説明する。尚、既出の図７と重複する説明は、適宜省略される。

（ターンオン期間ＰＡ：時刻ｔ１〜ｔ２）
時刻ｔ１において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化され、ＬｏｗレベルからＨｉｇｈレベルに変わる。それに応答して、制御信号ＣＯＮがＨｉｇｈレベルからＬｏｗレベルに変わる。制御信号ＣＯＮがＬｏｗレベルの場合、電源接続回路６０Ｂは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとを電気的に接続する。これにより、ショートトランジスタ４０Ｂのゲート−ソース間がショートし、ショートトランジスタ４０ＢがＯＦＦする。

また、上述の通り、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺの電圧は徐々に上昇する。昇圧回路３２によって昇圧される第１ノードＮ１の電圧は、出力ノードＮＺの電圧より高く、それらノード間には電圧差（Ｎ１−ＮＺ）が発生する。すなわち、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂのゲート−ソース間にある程度の電圧が印加され、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂ（第１スイッチ）がＯＮする。

また、電源接続回路６０Ｂは、ノードＮＥと電源端子ＴＶとを電気的に接続する。これにより、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ５２Ｂ）がＯＮする。但し、出力ノードＮＺの電圧が電源電圧ＶＤＤ近傍まで上昇し、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂのゲート−ソース間電圧（ＮＥ−ＮＺ）がその閾値電圧より低くなると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２ＢはＯＦＦする。

（ＯＮ期間ＰＢ：時刻ｔ２〜ｔ３）
制御信号ＣＯＮはＬｏｗレベルのままであり、電源接続回路６０Ｂは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとを電気的に接続する。従って、ショートトランジスタ４０ＢはＯＦＦのままである。また、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂ（第１スイッチ）はＯＮし、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）はＯＦＦする。

（ターンオフ期間ＰＣ：時刻ｔ３〜ｔ４）
時刻ｔ３において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化され、ＨｉｇｈレベルからＬｏｗレベルに変わる。それに応答して、制御信号ＣＯＮがＬｏｗレベルからＨｉｇｈレベルに変わる。制御信号ＣＯＮがＨｉｇｈレベルの場合、電源接続回路６０Ｂは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続を切断する。但し、以下に説明されるように、ターンオフ期間ＰＣにおいて第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂの両方がＯＮする。そのため、ターンオフ期間ＰＣにおいても、第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂを介して第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続が維持される。

まず、第１スイッチ５１Ｂに関しては次の通りである。ターンオフ期間ＰＣにおいても、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間にはある程度の電圧差（Ｎ１−ＮＺ）が存在する。従って、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂ（第１スイッチ５１Ｂ）はＯＮ状態に維持される。

次に、第２スイッチ５２Ｂに関しては次の通りである。パワー信号ＰＷＲの非活性化に応答して、上述のタイマー期間ＰＴが始まり、タイマー回路１００が、第１制御信号ＣＯＮ１を活性化（ＣＯＮ１＝Ｌｏｗレベル）する。第１制御信号ＣＯＮ１が活性化されているタイマー期間ＰＴの間、電源接続回路６０Ｂは、ノードＮＥと電源端子ＴＶとを電気的に接続し、それによりＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）をＯＮ状態に維持する。

このように、ターンオフ期間ＰＣにおいても、第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂによって、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続が維持される。従って、ショートトランジスタ４０ＢはＯＦＦ状態に維持される。

（ＯＦＦ期間ＰＤ：時刻ｔ４〜）
第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺの放電が進み、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電圧差（Ｎ１−ＮＺ）がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂの閾値電圧を下回ると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂ（第１スイッチ）はＯＦＦする。すなわち、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続が切断される。電源接続回路６０Ｂは、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとを電気的に接続する。その結果、ショートトランジスタ４０ＢがＯＮする。

尚、ＯＦＦ期間ＰＤ中に、所定のタイマー期間ＰＴが終了し、タイマー回路１００は、第１制御信号ＣＯＮ１を非活性化（ＣＯＮ１＝Ｈｉｇｈレベル）する。第１制御信号ＣＯＮ１が非活性化された後のＯＦＦ期間ＰＤにおいて、電源接続回路６０Ｂは、ノードＮＥと電源端子ＴＶとの間の電気的接続を切断し、ノードＮＥを出力ノードＮＺと電気的に接続する。これにより、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）もＯＦＦする。

このようにして、上述のショートトランジスタ４０ＢのＯＮ／ＯＦＦ制御が実現される。尚、第１スイッチ５１Ｂに加えて第２スイッチ５２Ｂも設けている理由は、次の通りである。

ＯＦＦ期間ＰＤ中に電源端子ＴＶにダンプサージが印加された場合を考える。出力トランジスタ１０は大面積を有するように作成されることが多く、その場合、ゲート−ドレイン間の寄生容量Ｃｇｄ（図２１参照）を無視することができない。ダンプサージが印加されると、その寄生容量Ｃｇｄによって、第１ノードＮ１の電圧が持ち上げられる。その後、第１ノードＮ１は、寄生容量Ｃｇｄと抵抗素子ＲＥＳと放電トランジスタ３３のインピーダンスに依って決まる時定数で放電される。

図２１に示される例において、第１スイッチ５１Ｂは、ゲートが第１ノードＮ１に接続されたＮチャネルＭＯＳＦＥＴである。従って、ＯＦＦ期間ＰＤの最中に第１ノードＮ１の電圧が持ち上げられると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１ＢがＯＮしてしまう。この時、もし第２スイッチ５２Ｂが無ければ、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとが電気的に接続され、ＯＦＦ期間ＰＤの最中にショートトランジスタ４０ＢがＯＦＦしてしまう。このことは、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間のショートの解除を意味し、好ましくない。このような現象を防止するために、第１スイッチ５１Ｂとは別に第２スイッチ５２Ｂが設けられている。

以下、第２の実施の形態に係るショート制御回路５０Ｂの構成の様々な例を説明する。尚、上記と重複する説明は適宜省略される。

２−１．第１の例
図２３は、第１の例を示す回路図である。電源接続回路６０Ｂは、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｂ、６７Ｂ、６９Ｂ、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ｂ、６３Ｂ、６４Ｂ、６８Ｂを備えている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｂ及びデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ｂは、第１のインバータ回路を構成している。具体的には、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、ノードＮＡ、電源端子ＴＶ及び第３ノードＮ３に接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ出力ノードＮＺ、出力ノードＮＺ及び第３ノードＮ３に接続されている。

ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｂは、デプレッション型である。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｂ、６４Ｂは、第２のインバータ回路を構成している。具体的には、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、第２ノードＮ２、第２ノードＮ２及び電源端子ＴＶに接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第３ノードＮ３、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６７Ｂ及びデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６８Ｂは、第３のインバータ回路を構成している。具体的には、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６７Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、ノードＮＡ、電源端子ＴＶ及びノードＮＥに接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６８Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ出力ノードＮＺ、出力ノードＮＺ及びノードＮＥに接続されている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６９Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、第４ノードＮ４、電源端子ＴＶ及びノードＮＥに接続されている。この第４ノードＮ４には、タイマー回路１００から第１制御信号ＣＯＮ１が供給される。

このような構成において、第１及び第３のインバータ回路に入力されるノードＮＡの信号（ゲート充放電回路の放電トランジスタ３３のゲート制御信号）が、図２１及び図２２で示された制御信号ＣＯＮに相当する。以下、図２２及び図２３を参照して、本例に係るショート制御回路５０Ｂの動作を説明する。

ターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢにおいて、ノードＮＡの信号（制御信号ＣＯＮ)はＬｏｗレベルである。この場合、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｂ、６７ＢがＯＮし、第３ノードＮ３及びノードＮＥがプルアップされる。これにより、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｂ及びＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）がＯＮし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとが電気的に接続される。従って、ショートトランジスタ４０ＢがＯＦＦする。

出力ノードＮＺの電圧が上昇し、第３ノードＮ３と出力ノードＮＺとの間の電圧差がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｂの閾値電圧を下回ると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＢがＯＦＦする。また、ノードＮＥと出力ノードＮＺとの間の電圧差がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂの閾値電圧を下回ると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２ＢがＯＦＦする。この場合、第２ノードＮ２は、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｂによってプルアップされる。

尚、デプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｂは、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ、６４ＢがＯＦＦした後に第２ノードＮ２がフローティング状態になることを防止する役割も果たしている。これにより、第２ノードＮ２に対するノイズ耐性が強まる。

ターンオフ期間ＰＣ及びＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ノードＮＡの信号（制御信号ＣＯＮ)はＨｉｇｈレベルである。この場合、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｂ、６７Ｂ、及びＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＢがＯＦＦする。

その一方で、タイマー回路１００は、ターンオフ期間ＰＣの開始から所定のタイマー期間ＰＴの間、第１制御信号ＣＯＮ１をＬｏｗレベルに設定する。これにより、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６９ＢがＯＮし、ノードＮＥがプルアップされる。その結果、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）がＯＮする。すなわち、ターンオフ期間ＰＣにおいても、第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂを介して、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続が維持される。従って、ショートトランジスタ４０ＢもＯＦＦ状態のまま維持される。

ＯＦＦ期間ＰＤでは、上述の通り、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂ（第１スイッチ）がＯＦＦする。これにより、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続が切断される。第２ノードＮ２がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｂによってプルアップされるため、ショートトランジスタ４０ＢがＯＮする。

尚、ＯＦＦ期間ＰＤ中に、所定のタイマー期間ＰＴが終了し、タイマー回路１００は、第１制御信号ＣＯＮ１をＨｉｇｈレベルに設定する。これにより、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６９ＢがＯＦＦし、ノードＮＥがプルダウンされる。その結果、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ５２Ｂ）もＯＦＦする。

ＯＦＦ期間ＰＤでは、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｂ、６７Ｂ、６９Ｂ、及びＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５１Ｂ、６４ＢはＯＦＦしている。従って、ショート制御回路５０Ｂを通って電源端子ＴＶから出力端子ＴＯに向かって電流は流れない。すなわち、オフ時消費電流は発生しない。

尚、ショート制御回路５０Ｂに含まれるＮチャネルＭＯＳＦＥＴのそれぞれのバックゲートは、出力ノードＮＺに直接接続されている。そのため、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、それらバックゲートがハイインピーダンスになることはない。従って、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ダンプサージの印加によって、それらＮチャネルＭＯＳＦＥＴの寄生バイポーラトランジスタが動作することはない。

２−２．第２の例
出力端子ＴＯに接続される負荷２０が誘導性負荷の場合、ターンオフの際に、逆起電圧（負電圧）が出力端子ＴＯに印加される可能性がある。また、負荷２０を接続する配線のインダクタンス成分によっても、同様のことが発生し得る。このような場合、図２４に示されるように、ターンオフ期間ＰＣは、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺが放電される「放電期間ＰＣ１」だけでなく、続いて出力端子ＴＯ（出力ノードＮＺ）に負電圧が印加される「負電圧期間ＰＣ２」をも含む。

既出の例では、ターンオフ期間ＰＣは、放電期間ＰＣ１だけを含んでいた。その放電期間ＰＣ１において、第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂの両方がＯＮし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間が電気的に接続される。その結果、ショートトランジスタ４０Ｂが、放電期間ＰＣ１においてＯＦＦ状態に維持される。しかしながら、第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂは、負電圧期間ＰＣ２においてもＯＮするとは限らない。従って、第２の例では、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続され、負電圧期間ＰＣ２においてＯＮする第３スイッチ５３Ｂが追加される。

図２５は、第２の例を示す回路図である。第２の例では、図２３で示された回路構成に対して、過電圧保護回路８０、制御回路９０、及び第３スイッチ５３Ｂが更に追加されている。

過電圧保護回路８０（ダイナミッククランプ回路）は、電源端子ＴＶと第１ノードＮ１との間に接続されている。具体的には、過電圧保護回路８０は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１、ダイオード８２、８３を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のソースは、電源端子ＴＶに接続されている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のゲート及びドレインは、ダイオード８２のカソードに接続されている。ダイオード８２のアノードは、ダイオード８３のアノードに接続されている。ダイオード８３のカソードは、第１ノードＮ１に接続されている。この過電圧保護回路８０は、負電圧期間ＰＣ２において動作する。

制御回路９０は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ９１及びデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ９２を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ９１のゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のゲート、電源端子ＴＶ及び第５ノードＮ５に接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ９２のドレインは第５ノードＮ５に接続され、そのソース及びゲートは出力ノードＮＺに接続されている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１、９１はカレントミラー回路を構成している。過電圧保護回路８０が動作すると、第５ノードＮ５が充電され、その電圧はＨｉｇｈレベルになる。過電圧保護回路８０が非動作の場合、第５ノードＮ５の電圧は出力ノードＮＺの電圧と同等になる。この第５ノードＮ５の電圧が、第３スイッチ５３ＢをＯＮ／ＯＦＦ制御するための第２制御信号ＣＯＮ２として使用される。すなわち、制御回路９０は、過電圧保護回路８０の動作時にだけ第２制御信号ＣＯＮ２を活性化（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）する。

第３スイッチ５３Ｂは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続されている。特に、第３スイッチ５３Ｂは、既出の第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂに対して並列となるように接続されている。第３スイッチ５３Ｂは、第２制御信号ＣＯＮ２が活性化されている時（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）にＯＮし、非活性化されている時にＯＦＦする。第３スイッチ５３Ｂは、例えばＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第５ノードＮ５、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。制御信号ＣＯＮ２が活性化されＨｉｇｈレベルになると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５３ＢはＯＮする。その結果、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺが電気的に接続される。

図２５及び図２６を参照して、本例におけるターンオフ期間ＰＣについて説明する。そのターンオフ期間ＰＣは、放電期間ＰＣ１と負電圧期間ＰＣ２を含んでいる。

（放電期間ＰＣ１：時刻ｔ３〜ｔｍ）
既出の例の場合と同様に、第１スイッチ５１Ｂ及び第２スイッチ５２Ｂの両方がＯＮする。そのため、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとが電気的に接続され、ショートトランジスタ４０ＢはＯＦＦ状態に維持される。

（負電圧期間ＰＣ２：時刻ｔｍ〜ｔ４）
負電圧期間ＰＣ２において、過電圧保護回路８０を正常に動作させるためには、出力トランジスタ１０を低いゲート−ソース間電圧でオンさせる必要がある。従って、ショートトランジスタ４０ＢがＯＮして、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとがショートすることは望ましくない。すなわち、負電圧期間ＰＣ２においてもショートトランジスタ４０ＢをＯＦＦのまま保つ必要がある。しかしながら、負電圧期間ＰＣ２では第１スイッチ５１Ｂあるいは第２スイッチ５２ＢがＯＦＦする可能性がある。従って、負電圧期間ＰＣ２用に第３スイッチ５３Ｂが設けられている。

より詳細には、出力端子ＴＯに負電圧が印加されると、過電圧保護回路８０のＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１からダイオード８２、８３、抵抗素子ＲＥＳ、ゲート充放電回路３０の放電トランジスタ３３を通して出力端子ＴＯへの電流経路が形成される。これにより、出力トランジスタ１０のドレイン−ソース間電圧が、過電圧保護回路のクランプ電圧にクランプされる。過電圧保護回路８０がこのように動作すると、上述の通り、制御回路９０は、第２制御信号ＣＯＮ２を活性化（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）する。それに応答して、第３スイッチ５３ＢがＯＮし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺが電気的に接続される。その結果、ショートトランジスタ４０ＢがＯＦＦ状態に保たれる。

負電圧期間ＰＣ２が終わると、第３スイッチ５３ＢはＯＦＦする。

以上に説明されたように、第２の実施の形態に係るショートトランジスタ４０Ｂ及びショート制御回路５０Ｂは、負電圧期間ＰＣ２に関連する特性（過電圧保護等）にも影響を及ぼさない。

２−３．第３の例
図２７は、第３の例を示す回路図である。第３の例では、図２５で示された回路構成に対して、遅延回路７０Ｂ及び補助スイッチ６６Ｂが更に追加されている。第３スイッチ５３ＢとしてのＮチャネルＭＯＳＦＥＴのドレインは、第２ノードＮ２の代わりにノードＮ２’に接続されている。そのノードＮ２’が、遅延回路７０Ｂを介して、第２ノードＮ２に接続されている。

図２７及び図２８を参照して、ＯＦＦ期間ＰＤ中に電源端子ＴＶにダンプサージが印加された場合を考える。電源端子ＴＶにダンプサージが印加された際、過電圧保護回路８０のＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のゲート電圧が一瞬Ｌｏｗレベルに下がることがある。この場合、第２制御信号ＣＯＮ２が活性化され、第３スイッチ５３ＢのＯＦＦ状態が解除されてしまう。図２８の例では、時刻ｔ５〜ｔｓの短い期間、第３スイッチ５３ＢがＯＮし、ノードＮ２’が放電されてしまう。もし、遅延回路７０Ｂがなければ、ショートトランジスタ４０Ｂのゲートにつながる第２ノードＮ２も放電されてしまい、ショートトランジスタ４０ＢがＯＦＦしてしまう。このことは、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間のショートの解除を意味し、好ましくない。

一方、本例によれば、ノードＮ２’と第２ノードＮ２との間に遅延回路７０Ｂが設けられている。従って、たとえノードＮ２’が放電されても、第２ノードＮ２の電圧レベルは、ある程度の時間Ｈｉｇｈレベルに維持される。つまり、時刻ｔ５〜ｔｓの期間においても、ショートトランジスタ４０ＢはＯＮ状態のまま維持される。このように、ＯＦＦ期間ＰＤの最中に出力トランジスタ１０のゲート−ソース間のショートが解除されることが防止される。

図２９Ａ及び図２９Ｂは、遅延回路７０Ｂの構成例を示している。図２９Ａの例では、抵抗素子７１Ｂと容量素子７２Ｂとにより、遅延回路７０Ｂが構成されている。図２９Ｂの例では、定電流源として機能するデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ７３Ｂと、容量素子７２Ｂとにより、遅延回路７０Ｂが構成されている。ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、遅延回路７０Ｂの容量素子７２Ｂは、電源電圧ＶＤＤに充電されている。上記理由によりノードＮ２’が放電された場合であっても、遅延回路７０Ｂの容量素子７２Ｂが放電されるまでは、第２ノードＮ２の電圧レベルをＨｉｇｈレベルに保つことができる。尚、遅延回路７０Ｂの放電時定数は、ノードＮ２’の放電時定数よりも大きく設計される。

尚、ターンオン期間ＰＡの開始時（時刻ｔ１：図２２参照）、第２ノードＮ２を速やかに放電し、ショートトランジスタ４０ＢをＯＦＦする必要がある。しかしながら、本例では、ノードＮ２’と第２ノードＮ２との間に遅延回路７０Ｂが介在しており、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｂを通した放電は遅延する。このような遅延回路７０Ｂの影響を無くすために、補助スイッチ６６Ｂが追加されている。補助スイッチ６６Ｂは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続されており、ターンオン期間ＰＡにおいてＯＮする。その結果、ターンオン期間ＰＡの開始時に、補助スイッチ６６Ｂを通して第２ノードＮ２が速やかに放電される。つまり、ターンオン期間ＰＡへの遅延回路７０Ｂの影響が排除される。

例えば、補助スイッチ６６ＢはＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第３ノードＮ３、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。ターンオン期間ＰＡにおいて、第３ノードＮ３には電源電圧ＶＤＤが印加される。第３ノードＮ３と出力ノードＮＺとの間の電圧差（Ｎ３−ＮＺ）が閾値電圧を下回るまで、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６６ＢはＯＮする。ターンオン期間ＰＡ以外において、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６６ＢはＯＦＦする。これにより、上記目的が達成される。

２−４．第４の例
既出の例において、ターンオフ期間ＰＣでの初期動作には注意を要する。上述の通り、ターンオフ期間ＰＣの開始時に、第１制御信号ＣＯＮ１がＬｏｗレベルに変わり、ノードＮＥが電源電圧ＶＤＤにプルアップされる。但し、出力ノードＮＺの電圧が電源電圧ＶＤＤに近い初期段階では、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂのゲート−ソース間電圧がその閾値電圧よりも低く、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）がＯＦＦのままである可能性がある。この場合、第２ノードＮ２がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｂによってプルアップされ、それにより、ショートトランジスタ４０ＢがＯＮする可能性がある。すなわち、ターンオフ期間ＰＣの初期段階において、一瞬、ショートトランジスタ４０ＢがＯＮし、第１ノードＮ１からショートトランジスタ４０Ｂを通して出力ノードＮＺへ向かう放電経路が形成されてしまう可能性がある。

このような現象を防止するためには、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂ（第２スイッチ）が、ショートトランジスタ４０Ｂよりも早くＯＮすればよい。つまり、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２Ｂの閾値電圧が、ショートトランジスタ４０Ｂの閾値電圧よりも小さく設計されていればよい。

あるいは、図３０に示される構成も有効である。図３０に示される例では、図２３で示された回路構成に対して、ショートスイッチ回路４の構成要素として他のショートトランジスタ４１Ｂ（ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ）が更に追加されている。ショートトランジスタ４０Ｂ、４１Ｂは、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間に直列に接続されている。図３０では、ショートトランジスタ４１Ｂのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、第４ノードＮ４、出力ノードＮＺ及び第１ノードＮ１側に接続されている。タイマー期間ＰＴにおいて、第１制御信号ＣＯＮ１はＬｏｗレベルになり、ショートトランジスタ４１ＢはＯＦＦする。その他の期間において、第１制御信号ＣＯＮ１はＨｉｇｈレベルになり、ショートトランジスタ４１ＢはＯＮする。

ターンオフ期間ＰＣの初期段階において、出力ノードＮＺの電圧は電源電圧ＶＤＤに近い。その一方で、第４ノードＮ４にはＬｏｗレベルの第１制御信号ＣＯＮ１が印加される。従って、ショートトランジスタ４１Ｂは完全にＯＦＦする。よって、ターンオフ期間ＰＣの初期段階においてショートトランジスタ４０Ｂが一瞬ＯＮしたとしても、第１ノードＮ１からショートトランジスタ４０Ｂ、４１Ｂを通して出力ノードＮＺへ向かう放電経路は形成されない。タイマー期間ＰＴ以外においては、ショートトランジスタ４１ＢはＯＮするため、既出の例の場合と同じ動作が実現される。

２−５．第５の例
上述の例のうちいくつかを組み合わせることも可能である。図３１は、第１〜第４の例の全てを組み合わせた場合の回路構成を示している。

２−６．タイマー回路
本実施の形態に係るタイマー回路１００は、パワーＯＮ信号ＰＷＲがＨｉｇｈレベルからＬｏｗレベルに変わった後、所定のタイマー期間ＰＴだけ、Ｌｏｗレベルの第１制御信号ＣＯＮ１を第４ノードＮ４に出力する。その他の期間、タイマー回路１００は、Ｈｉｇｈレベルの第１制御信号ＣＯＮ１を第４ノードＮ４に出力する。このようなタイマー回路１００の一例を説明する。

図３２は、タイマー回路１００の構成例を示す回路図である。タイマー回路１００は、インバータ回路１３１、内部電圧制御回路１５０、遅延生成回路１５１、レベルシフト回路１５２、及びＲＳフリップフロップ回路１４６を備えている。

インバータ回路１３１は、電源端子ＴＶとグランド端子ＴＧとの間に接続されている。インバータ回路１３１は、パワーＯＮ信号ＰＷＲを受け取り、その反転信号ＰＷＲＢを出力する。

内部電圧制御回路１５０は、反転信号ＰＷＲＢとＲＳフリップフロップ回路１４６の出力信号によって、第４ノードＮ４の電圧を制御する。内部電圧制御回路１５０は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３２、１３３、ツェナーダイオード１３４、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３５、１３６、１３７を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３２、１３３のソースは電源端子ＴＶに接続されており、それらのドレインは第４ノードＮ４に接続されている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３２のゲートには、反転信号ＰＷＲＢが入力される。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３３のゲートは、ＲＳフリップフロップ回路１４６の出力端子ＱＢに接続されている。ツェナーダイオード１３４のカソード及びアノードは、それぞれ電源端子ＴＶ及び第４ノードＮ４に接続されている。デプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３５のドレインは、第４ノードＮ４に接続されており、そのソース及びゲートは、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３６のドレインに接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３６ソース及びゲートは、それぞれ、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３７のドレイン及びＲＳフリップフロップ回路１４６の出力端子ＱＢに接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３７のソースは、グランド端子ＴＧに接続されており、そのゲートには反転信号ＰＷＲＢが入力される。

遅延生成回路１５１は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３８、１４０、１４２、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３９、１４３、及び容量素子１４１を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３８のソースは電源端子ＴＶに接続され、そのドレイン及びゲートはＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３９のドレインに接続されている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１４０のソース、ドレイン及びゲートは、それぞれ、電源端子ＴＶ、容量素子１４１の一端（ｔｉｍｅｒ＿ａ）及びＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３８のゲートに接続されている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３８、１４０は、カレントミラー回路を構成している。デプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３９のソースとゲートは、第４ノードＮ４に接続されている。このＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３９は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３８、１４０から構成されるカレントミラー回路の基準電流源となる。容量素子１４１の他端は、第４ノードＮ４に接続されている。この容量素子１４１は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１４０からの定電流を充電して、遅延時間を生成する。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１４２のソース、ドレイン及びゲートは、それぞれ、電源端子ＴＶ、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１４３のドレイン、及び容量素子１４１の一端（ｔｉｍｅｒ＿ａ）に接続されている。デプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１４３のソースとゲートは、第４ノードＮ４に接続されている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１４２とＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１４３は、インバータ回路を構成しており、容量素子１４１の充電電圧（ｔｉｍｅｒ＿ａの電圧）がその論理しきい値と越えると、遅延時間信号を出力する。

レベルシフト回路１５２は、遅延生成回路１５１から出力される遅延時間信号のレベルシフトを行う。レベルシフト回路１５２は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１４４及びデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１４５を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１４４のソース、ドレイン及びゲートは、それぞれ、電源端子ＴＶ、出力端子ｔｉｍｅｒ＿ｂ、及び遅延生成回路１５１のインバータ回路の出力端子に接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１４５のソース及びゲートは、グランド端子ＴＧに接続されており、そのドレインは出力端子ｔｉｍｅｒ＿ｂに接続されている。レベルシフト回路１５２の出力端子ｔｉｍｅｒ＿ｂは、ＲＳフリップフロップ回路１４６のセット端子Ｓに接続されている。

ＲＳフリップフロップ回路１４６は、パワーＯＮ信号ＰＷＲとレベルシフト回路１５２の出力信号（ｔｉｍｅｒ＿ｂ）に応じて、出力信号Ｑ、ＱＢを出力し、内部電圧制御回路１５０を制御する。ＲＳフリップフロップ回路１４６はセット優先で動作する。ＲＳフリップフロップ回路１４６は、電源端子ＴＶとグランド端子ＴＧとの間に接続されている。ＲＳフリップフロップ回路１４６のセット端子Ｓはレベルシフト回路１５２の出力端子ｔｉｍｅｒ＿ｂに接続され、そのリセット端子Ｒは入力端子ＴＩに接続されている。

図３３は、図３２に示されたタイマー回路１００の動作を示すタイミングチャートである。

状態（１）は、ＯＦＦ期間ＰＤに相当する。状態（１）では、ＲＳフリップフロップ回路１４６がセット優先で動作するため、反転信号ＱＢはＬｏｗレベルである。そのため、内部電圧制御回路１５０のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３６がＯＦＦし、第４ノードＮ４とグランド端子ＴＧとの間の電気的接続が遮断される。一方、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３３はＯＮするため、第４ノードＮ４は電源電圧ＶＤＤにプルアップされる。

状態（２）は、ターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢに相当する。パワーＯＮ信号ＰＷＲがＨｉｇｈレベルに変化するため、ＲＳフリップフロップ回路１４６がリセットされ、反転信号ＱＢはＨｉｇｈレベルとなる。これにより、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３６はＯＮし、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３３はＯＦＦする。その一方、パワーＯＮ信号ＰＷＲの反転信号ＰＷＲＢがＬｏｗレベルであるため、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３７はＯＦＦし、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３２はＯＮする。従って、第４ノードＮ４とグランド端子ＴＧとの間の電気的接続が遮断され、第４ノードＮ４は電源電圧ＶＤＤにプルアップされる。

状態（３）は、タイマー期間ＰＴに相当する。パワーＯＮ信号ＰＷＲがＬｏｗレベルに変化するため、ＲＳフリップフロップ回路１４６のリセットが解除されるが、ＲＳフリップフロップ１４６の状態は変化しない。従って、反転信号ＱＢはＨｉｇｈレベルのままである。その一方で、パワーＯＮ信号ＰＷＲの反転信号ＰＷＲＢがＨｉｇｈレベルに変わるため、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１３２はＯＦＦし、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３７はＯＮする。その結果、第４ノードＮ４がグランド端子ＴＧと電気的に接続される。

このとき、ツェナーダイオード１３４により、第４ノードＮ４の電圧は、電源電圧ＶＤＤからツェナー耐圧だけ低い電圧となる。デプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１３５は、ツェナーダイオード１３４に流れる電流を制限する役割を持つ。

第４ノードＮ４の電圧が電源電圧ＶＤＤよりも低くなると、遅延生成回路１５１がアクティブとなり、遅延時間の生成を開始する。具体的には、遅延生成回路１５１は、カレントミラー回路により容量素子１４１に対して定電流を供給して、容量素子１４１を充電する。つまり、ノードｔｉｍｅｒ＿ａの電圧は、時間と共に単調増加する。ノードｔｉｍｅｒ＿ａの電圧が、次段のインバータ回路（ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ１４２とＮチャネルＭＯＳＦＥＴ１４３から構成される）の論理しきい値を越すまでは、レベルシフト回路１５２の出力端子ｔｉｍｅｒ＿ｂはＬｏｗレベルのままである。

ノードｔｉｍｅｒ＿ａの電圧が、次段のインバータ回路の論理しきい値を越すと、レベルシフト回路１５２の出力端子ｔｉｍｅｒ＿ｂはＨｉｇｈレベルとなる。つまり、ＲＳフリップフロップ回路１４６のセット端子ＳにＨｉｇｈレベル信号（セット信号）が与えられ、ＲＳフリップフロップ回路１４６の反転信号ＱＢはＬｏｗレベルに変化する。この状態（４）は、タイマー期間ＰＴ後のＯＦＦ期間ＰＤに相当する。

３．第３の実施の形態
＜基本構成＞
図３４は、第３の実施の形態に係る電力用半導体装置１の構成を概略的に示すブロック図である。第３の実施の形態において、ショートスイッチ回路４は、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間に直列に接続された第１ショートスイッチ４１Ｃ及び第２ショートスイッチ４２Ｃを含んでいる。また、本実施の形態におけるショート制御回路５０は、ショート制御回路５０Ｃと参照される。ショート制御回路５０Ｃは、第１ショートスイッチ４１Ｃと第２ショートスイッチ４２ＣのそれぞれをＯＮ／ＯＦＦ制御することによって、ショートスイッチ回路４を介した第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間の電気的接続をＯＮ／ＯＦＦすることができる。

＜基本動作＞
図３５は、第３の実施の形態に係る電力用半導体装置１の動作を示すタイミングチャートである。以下、図３４及び図３５を参照して、電力用半導体装置１の基本的な動作を説明する。その動作を説明するにあたり、４つの期間（フェーズ）：ターンオン期間ＰＡ、ＯＮ期間ＰＢ、ターンオフ期間ＰＣ、及びＯＦＦ期間ＰＤ、を考える。

ターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢは、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化（ＰＷＲ＝Ｈｉｇｈレベル）されている期間である。パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化されると、第１ノードＮ１は充電され、出力トランジスタ１０はＯＮし、出力ノードＮＺも充電される。ＯＮ期間ＰＢは、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺの電圧が安定し、出力トランジスタ１０が安定的にＯＮしている期間である。一方、ターンオン期間ＰＡは、パワーＯＮ信号ＰＷＲの活性化タイミングからＯＮ期間ＰＢまでの期間である。言い換えれば、ターンオン期間ＰＡは、ＯＦＦ期間ＰＤからＯＮ期間ＰＢへの遷移期間である。

ターンオフ期間ＰＣ及びＯＦＦ期間ＰＤは、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化（ＰＷＲ＝Ｌｏｗレベル）されている期間である。パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化されると、第１ノードＮ１は放電され、出力トランジスタ１０はＯＦＦし、出力ノードＮＺも放電される。ＯＦＦ期間ＰＤは、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺの電圧が安定し、出力トランジスタ１０が安定的にＯＦＦしている期間である。一方、ターンオフ期間ＰＣは、パワーＯＮ信号ＰＷＲの非活性化タイミングからＯＦＦ期間ＰＤまでの期間である。言い換えれば、ターンオフ期間ＰＣは、ＯＮ期間ＰＢからＯＦＦ期間ＰＤへの遷移期間である。

更に、第３の実施の形態では、「制御期間ＰＸ」が説明に用いられる。制御期間ＰＸは、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化されるタイミング、すなわち、ターンオフ期間ＰＣの開始と同時に始まる。その制御期間ＰＸの長さは、ターンオフ期間ＰＣの長さ以上である。制御期間ＰＸとターンオフ期間ＰＣとが一致する場合もある。後に詳しく説明されるように、この制御期間ＰＸでは、第１ショートスイッチ４１Ｃ及び第２ショートスイッチ４２Ｃのうち少なくとも一方がＯＦＦする。

（ターンオン期間ＰＡ：時刻ｔ１〜ｔ２）
時刻ｔ１において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化され、ＬｏｗレベルからＨｉｇｈレベルに変わる。それに応答して、ゲート充放電回路３０は、ノードＮＤ及び第１ノードＮ１を充電し始める。このターンオン期間ＰＡにおいて、ショート制御回路５０Ｃは、第１ショートスイッチ４１Ｃと第２ショートスイッチ４２Ｃのうち少なくとも一方をＯＦＦする。図３５で示される例では、ショート制御回路５０Ｃは、第２ショートスイッチ４２ＣをＯＦＦする。従って、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間、すなわち、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間はショートしない。出力トランジスタ１０はＯＮし、出力ノードＮＺの電圧も徐々に上昇する。尚、ターンオン期間ＰＡにおいて、第１ノードＮ１は、電源電圧ＶＤＤよりも高い高電圧まで充電される。

（ＯＮ期間ＰＢ：時刻ｔ２〜ｔ３）
ＯＮ期間ＰＢにおいて、ショート制御回路５０Ｃは、第２ショートスイッチ４２ＣをＯＦＦのまま維持する。第１ノードＮ１の電圧は、電源電圧ＶＤＤよりも高い高電圧で安定する。出力ノードＮＺの電圧は、電源電圧ＶＤＤ近傍で安定する。出力トランジスタ１０は、安定的にＯＮしている。

（ターンオフ期間ＰＣ：時刻ｔ３〜ｔ４）
時刻ｔ３において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化され、ＨｉｇｈレベルからＬｏｗレベルに変わる。それに応答して、ゲート充放電回路３０は、ノードＮＤ及び第１ノードＮ１を放電し始める。このターンオフ期間ＰＣにおいても、ショート制御回路５０Ｃは、第１ショートスイッチ４１Ｃと第２ショートスイッチ４２Ｃのうち少なくとも一方をＯＦＦする。図３５で示される例では、ショート制御回路５０Ｃは、パワーＯＮ信号ＰＷＲの非活性化に応答して、第２ショートスイッチ４２ＣをＯＮする。その一方で、ショート制御回路５０Ｃは、上述の制御期間ＰＸ（時刻ｔ３〜ｔｘ）の間、第１ショートスイッチ４１ＣをＯＦＦする。従って、第１ショートスイッチ４１Ｃ及び第２ショートスイッチ４２Ｃを通した放電は発生しない。すなわち、第１ノードＮ１の放電は、従来通りゲート充放電回路３０によってのみ行われる。第１ノードＮ１の電圧が低下すると、出力ノードＮＺの電圧も徐々に低下し、最終的に０Ｖになる。出力トランジスタ１０はＯＦＦする。

（ＯＦＦ期間ＰＤ：時刻ｔ４〜）
ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ショート制御回路５０Ｃは、第２ショートスイッチ４２ＣをＯＮのまま維持する。また、制御期間ＰＸが終了すると、ショート制御回路５０Ｃは、第１ショートスイッチ４１ＣもＯＮする。すなわち、制御期間ＰＸ終了後のＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ショート制御回路５０Ｃは、第１ショートスイッチ４１Ｃと第２ショートスイッチ４２Ｃの両方をＯＮする。これにより、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間、すなわち、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間がショートする。出力トランジスタ１０は、安定的にＯＦＦしている。

このように、ショート制御回路５０Ｃは、パワーＯＮ信号ＰＷＲに同期して第２ショートスイッチ４２ＣをＯＮ／ＯＦＦ制御し、特にパワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化されている間は第２ショートスイッチ４２ＣをＯＦＦする。その一方で、ショート制御回路５０Ｃは、ターンオフ期間ＰＣを含む制御期間ＰＸにおいて、第１ショートスイッチ４１ＣをＯＦＦする。その結果、ターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢだけでなく、ターンオフ期間ＰＣにおいても、第１ショートスイッチ４１Ｃ及び第２ショートスイッチ４２Ｃを通した第１ノードＮ１の放電が防止される。すなわち、第３の実施の形態に係るショートスイッチ４１Ｃ、４２Ｃ及びショート制御回路５０Ｃは、出力トランジスタ１０のターンオフに関連する特性（ターンオフに要する時間等）に影響を与えない。

＜ダンプサージ印加時の動作＞
次に、制御期間ＰＸ終了後のＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ダンプサージ等の印加によって、電源電圧ＶＤＤの急峻な増加が発生した場合を考える。図３５に示される例では、制御期間ＰＸ終了後のＯＦＦ期間ＰＤの最中の時刻ｔ５〜ｔ６において、ダンプサージが電源端子ＴＶに印加される。

図３６は、ゲート充放電回路３０が既出の図１、図３で示されたものと同じ構成を有している場合を示している。上述の通り、ゲート充放電回路３０の放電トランジスタ３３は、寄生バイポーラトランジスタＱ１を有している。寄生バイポーラトランジスタＱ１のコレクタ、エミッタ及びベースは、それぞれ電源端子ＴＶ、ノードＮＤ及びノードＮＢに接続されている。また、寄生容量（コレクタ−ベース間容量）Ｃ１が、電源端子ＴＶとノードＮＢとの間に接続されている。

ＯＦＦ期間ＰＤの最中に、電源電圧ＶＤＤの急峻な増加が発生した場合、上述の通り、寄生バイポーラトランジスタＱ１がＯＮする可能性がある。寄生バイポーラトランジスタＱ１がＯＮすると、ノードＮＤの電圧が持ち上がる。しかしながら、制御期間ＰＸ終了後のＯＦＦ期間ＰＤにおいて、第１ショートスイッチ４１Ｃ及び第２ショートスイッチ４２ＣはＯＮしており、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間、すなわち、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間はショートしている。ゲート−ソース間電圧が閾値電圧を超えないため、出力トランジスタ１０はＯＮすることなく、ＯＦＦ状態を維持する。

尚、ノードＮＤと第１ノードＮ１との間には抵抗素子ＲＥＳが介在している。ノードＮＤの電圧が持ち上がった場合、ノードＮＤから、抵抗素子ＲＥＳ、第１ノードＮ１及びショートスイッチ４１Ｃ、４２Ｃを通して、出力ノードＮＺへ電流が流れる。この時、抵抗素子ＲＥＳにおいてＩＲドロップが発生するため、第１ノードＮ１の電圧がＬｏｗレベルに維持される。つまり、抵抗素子ＲＥＳを利用することによって、第１ノードＮ１の電圧をＬｏｗレベルに維持しやすくなる。

＜効果＞
第３の実施の形態によれば、制御期間ＰＸ終了後のＯＦＦ期間ＰＤにおいて、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間に接続された第１ショートスイッチ４１Ｃ及び第２ショートスイッチ４２ＣがＯＮする。これにより、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間、すなわち、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間がショートする。従って、電源電圧ＶＤＤの急峻な増加が発生した場合であっても、出力トランジスタ１０がＯＮすることが防止される。すなわち、出力トランジスタ１０の熱破壊が防止される。

また、第３の実施の形態によれば、ターンオン期間ＰＡ、ＯＮ期間ＰＢ及びターンオフ期間ＰＣにおいて、第１ショートスイッチ４１Ｃ及び第２ショートスイッチ４２Ｃの少なくとも一方はＯＦＦのまま維持される。従って、ターンオン期間ＰＡ、ＯＮ期間ＰＢ及びターンオフ期間ＰＣにおいて、ショートスイッチ４１Ｃ、４２Ｃ及びショート制御回路５０Ｃは、第１ノードＮ１に影響を及ぼさない。つまり、ショートスイッチ４１Ｃ、４２Ｃ及びショート制御回路５０Ｃは、出力トランジスタ１０のターンオン／ターンオフに関連する特性（ターンオン／ターンオフに要する時間等）に影響を与えない。すなわち、第３の実施の形態によれば、ターンオン／ターンオフに関連する特性に影響を及ぼすことなく、出力トランジスタ１０の熱破壊を防止することが可能である。

＜ショート制御回路の概要＞
図３７は、第３の実施の形態に係る第１ショートスイッチ４１Ｃ、第２ショートスイッチ４２Ｃ及びショート制御回路５０Ｃの構成を概略的に示している。第１ショートスイッチ４１Ｃとして、例えば、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ（以下、「第１ショートトランジスタ４１Ｃ」と参照される）が用いられる。また、第２ショートスイッチ４２Ｃとして、例えば、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ（以下、「第２ショートトランジスタ４２Ｃ」と参照される）が用いられる。第１ショートトランジスタ４１Ｃのソース、ドレイン及びゲートは、それぞれ、第２ショートトランジスタ４２Ｃのドレイン、第１ノードＮ１及び第２ノードＮ２に接続されている。第２ショートトランジスタ４２Ｃのソース及びドレインは、それぞれ、出力ノードＮＺ及び第１ショートトランジスタ４１Ｃのソースに接続されている。

第２ショートトランジスタ４２Ｃのゲートには、制御信号ＰＷＲ’が供給される。ショート制御回路５０Ｃは、制御信号ＰＷＲ’を供給することにより、第２ショートトランジスタ４２ＣをＯＮ／ＯＦＦ制御する。例えば、制御信号ＰＷＲ’は、パワーＯＮ信号ＰＷＲの反転信号である。この場合、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化（ＰＷＲ＝Ｈｉｇｈレベル）されるターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢにおいて、制御信号ＰＷＲ’が非活性化され（ＰＷＲ’＝Ｌｏｗレベル）、第２ショートトランジスタ４２ＣがＯＦＦする。また、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化（ＰＷＲ＝Ｌｏｗレベル）されるターンオフ期間ＰＣ及びＯＦＦ期間ＰＤにおいて、制御信号ＰＷＲ’が活性化され（ＰＷＲ’＝Ｈｉｇｈレベル）、第２ショートトランジスタ４２ＣがＯＮする。

第１ショートトランジスタ４１Ｃのゲートは、第２ノードＮ２に接続されている。この第２ノードＮ２の電圧を制御することによって、第１ショートトランジスタ４１ＣをＯＮ／ＯＦＦ制御することが可能である。ショート制御回路５０Ｃは、第２ノードＮ２に接続されており、第２ノードＮ２の電圧を制御する。より詳細には、ショート制御回路５０Ｃは、スイッチ部６０Ｃ及びタイマー回路１００を備えている。

スイッチ部６０Ｃは、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとの間の電気的接続、及び、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続を制御する。より詳細には、少なくとも上記制御期間ＰＸにおいて、スイッチ部６０Ｃは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとを電気的に接続する。これにより、第１ショートトランジスタ４１Ｃのゲート−ソース間がショートするため、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＦＦする。また、制御期間ＰＸ終了後のＯＦＦ期間ＰＤにおいて、スイッチ部６０Ｃは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続を切断し、その一方で、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとを電気的に接続する。その結果、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＮする。

ここで、制御期間ＰＸは、所定のタイマー期間ＰＴを含んでいる。その所定のタイマー期間ＰＴは、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化されるタイミング（時刻ｔ３）、すなわち、ターンオフ期間ＰＣの開始と同時に始まる。また、所定のタイマー期間ＰＴの長さは、典型的には、ターンオフ期間ＰＣの長さ以上に設計される。但し、後述の第２の例において説明されるように、ターンオフ期間ＰＣが放電期間ＰＣ１と負電圧期間ＰＣ２を含んでいる場合（図４０参照）、所定のタイマー期間ＰＴの長さは、放電期間ＰＣ１の長さ以上であればよい。

所定のタイマー期間ＰＴは、タイマー回路１００から出力される第１制御信号ＣＯＮ１に基いて把握することができる。具体的には、タイマー回路１００は、所定のタイマー期間ＰＴの間だけ、第１制御信号ＣＯＮ１を活性化（ＣＯＮ１＝Ｌｏｗレベル）する。所定のタイマー期間ＰＴ以外においては、タイマー回路１００は、第１制御信号ＣＯＮ１を非活性化（ＣＯＮ１＝Ｈｉｇｈレベル）する。尚、タイマー回路１００は、既出の図３２、図３３で示されたものと同様である。

図３７及び図３８を参照して、第３の実施の形態に係るショート制御回路５０Ｃの動作を説明する。最も簡単な例として、ターンオフ期間ＰＣが放電期間ＰＣ１だけを含んでおり、タイマー期間ＰＴと制御期間ＰＸが一致する場合を考える。また、スイッチ部６０Ｃは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続された第１スイッチ５１Ｃを備えているとする。尚、既出の図３５と重複する説明は、適宜省略される。

（ターンオン期間ＰＡ：時刻ｔ１〜ｔ２）
時刻ｔ１において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが活性化され、ＬｏｗレベルからＨｉｇｈレベルに変わる。それに応答して、制御信号ＰＷＲ’が非活性化され（ＰＷＲ’＝Ｌｏｗレベル）、第２ショートトランジスタ４２ＣがＯＦＦする。

（ＯＮ期間ＰＢ：時刻ｔ２〜ｔ３）
制御信号ＰＷＲ’はＬｏｗレベルのままであり、第２ショートトランジスタ４２ＣはＯＦＦのままである。

（ターンオフ期間ＰＣ：時刻ｔ３〜ｔ４）
時刻ｔ３において、パワーＯＮ信号ＰＷＲが非活性化され、ＨｉｇｈレベルからＬｏｗレベルに変わる。それに応答して、制御信号ＰＷＲ’が活性化され（ＰＷＲ’＝Ｈｉｇｈレベル）、第２ショートトランジスタ４２ＣがＯＮする。その一方で、パワー信号ＰＷＲの非活性化に応答して、タイマー回路１００が、第１制御信号ＣＯＮ１を活性化（ＣＯＮ１＝Ｌｏｗレベル）する。第１制御信号ＣＯＮ１が活性化されている時、スイッチ部６０Ｃは、第１スイッチ５１ＣをＯＮし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとを電気的に接続する。これにより、第１ショートトランジスタ４１Ｃのゲート−ソース間がショートするため、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＦＦする。

（ＯＦＦ期間ＰＤ：時刻ｔ４〜）
制御信号ＰＷＲ’はＨｉｇｈレベルのままであり、第２ショートトランジスタ４２ＣはＯＮのままである。ＯＦＦ期間ＰＤ中の時刻ｔｔにおいて、所定のタイマー期間ＰＴが終了し、タイマー回路１００は、第１制御信号ＣＯＮ１を非活性化（ＣＯＮ１＝Ｈｉｇｈレベル）する。第１制御信号ＣＯＮ１が非活性化された後のＯＦＦ期間ＰＤにおいて、スイッチ部６０Ｃは、第１スイッチ５１ＣをＯＦＦすることによって第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続を切断し、その一方で、第２ノードＮ２と電源端子ＴＶとを電気的に接続する。その結果、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＮする。すなわち、第１ショートトランジスタ４１Ｃと第２ショートトランジスタ４２Ｃの両方がＯＮする。

このように、制御信号ＰＷＲ’及び第１制御信号ＣＯＮ１を用いることによって、第１ショートトランジスタ４１Ｃ及び第２ショートトランジスタ４２ＣのＯＮ／ＯＦＦ制御が実現される。

以下、第３の実施の形態に係るショート制御回路５０Ｃの構成の様々な例を説明する。尚、上記と重複する説明は適宜省略される。

３−１．第１の例
図３９は、第１の例を示す回路図である。スイッチ部６０Ｃは、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｃ、６５Ｃ、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ｃ、６３Ｃ、６４Ｃを備えている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｃ及びＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ｃは、第１のインバータ回路を構成している。具体的には、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｃのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、ノードＮＡ、電源端子ＴＶ及び第３ノードＮ３に接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ｃのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ出力ノードＮＺ、出力ノードＮＺ及び第３ノードＮ３に接続されている。尚、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６２Ｃは、デプレッション型である。

ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｃは、デプレッション型である。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｃ、６４Ｃは、第２のインバータ回路を構成している。具体的には、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｃのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、第２ノードＮ２、第２ノードＮ２及び電源端子ＴＶに接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第３ノードＮ３、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６５Ｃのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、第４ノードＮ４、電源端子ＴＶ及び第３ノードＮ３に接続されている。この第４ノードＮ４には、タイマー回路１００から第１制御信号ＣＯＮ１が供給される。

また、ノードＮＡの信号（ゲート充放電回路の放電トランジスタ３３のゲート制御信号）が、図３７及び図３８で示された制御信号ＰＷＲ’として用いられる。以下、図３８及び図３９を参照して、本例に係るショート制御回路５０Ｃの動作を説明する。

ターンオン期間ＰＡ及びＯＮ期間ＰＢにおいて、ノードＮＡの信号（制御信号ＰＷＲ’)はＬｏｗレベルである。従って、第２ショートトランジスタ４２ＣがＯＦＦする。また、ゲートがノードＮＡに接続されたＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１ＣがＯＮし、第３ノードＮ３がプルアップされる。出力ノードＮＺの電圧が比較的低い間、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＣがＯＮするため、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとが電気的に接続される。従って、第１ショートトランジスタ４１ＣもＯＦＦする。出力ノードＮＺの電圧が上昇し、第３ノードＮ３と出力ノードＮＺとの間の電圧差がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃの閾値電圧を下回ると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＣがＯＦＦする。この場合、第２ノードＮ２は、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｃによってプルアップされる。このとき、第１ショートトランジスタ４１ＣはＯＮするかもしれない。しかしながら、第２ショートトランジスタ４２ＣがＯＦＦしているため、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間がショートすることはない。

尚、デプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｃは、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＣがＯＦＦした後に第２ノードＮ２がフローティング状態になることを防止する役割も果たしている。これにより、第２ノードＮ２に対するノイズ耐性が強まる。

ターンオフ期間ＰＣ及びＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ノードＮＡの信号（制御信号ＰＷＲ’)はＨｉｇｈレベルである。従って、第２ショートトランジスタ４２ＣがＯＮし、また、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１ＣがＯＦＦする。その一方で、タイマー回路１００は、ターンオフ期間ＰＣの開始から所定のタイマー期間ＰＴの間、第１制御信号ＣＯＮ１をＬｏｗレベルに設定する。これにより、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６５ＣがＯＮし、第３ノードＮ３がプルアップされる。その結果、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＣがＯＮするため、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとが電気的に接続される。このＮチャネルトランジスタ６４Ｃが、図３７及び図３８で示された「第１スイッチ５１Ｃ」に相当する。第１ショートトランジスタ４１Ｃのゲート−ソース間がショートするため、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＦＦする。すなわち、タイマー期間ＰＴの間、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間のショートが防止される。

ＯＦＦ期間ＰＤ中の時刻ｔｔにおいて、所定のタイマー期間ＰＴが終了し、タイマー回路１００は、第１制御信号ＣＯＮ１をＨｉｇｈレベルに設定する。これにより、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６５ＣがＯＦＦし、第３ノードＮ３がプルダウンされる。その結果、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃ（第１スイッチ５１Ｃ）がＯＦＦし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間の電気的接続が切断される。第２ノードＮ２がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｃによってプルアップされるため、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＮする。すなわち、第１ショートトランジスタ４１Ｃと第２ショートトランジスタ４２Ｃの両方がＯＮする。

尚、タイマー期間ＰＴ後のＯＦＦ期間ＰＤでは、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ６１Ｃ、６５Ｃ、及びＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＣはＯＦＦしている。従って、ショート制御回路５０Ｃを通って電源端子ＴＶから出力端子ＴＯに向かって電流は流れない。すなわち、オフ時消費電流は発生しない。

また、ショート制御回路５０Ｃに含まれるＮチャネルＭＯＳＦＥＴのそれぞれのバックゲートは、出力ノードＮＺに直接接続されている。そのため、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、それらバックゲートがハイインピーダンスになることはない。従って、ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、ダンプサージの印加によって、それらＮチャネルＭＯＳＦＥＴの寄生バイポーラトランジスタが動作することはない。

３−２．第２の例
出力端子ＴＯに接続される負荷２０が誘導性負荷の場合、ターンオフの際に、逆起電圧（負電圧）が出力端子ＴＯに印加される可能性がある。また、負荷２０を接続する配線のインダクタンス成分によっても、同様のことが発生し得る。このような場合、図４０に示されるように、ターンオフ期間ＰＣは、第１ノードＮ１及び出力ノードＮＺが放電される「放電期間ＰＣ１」だけでなく、続いて出力端子ＴＯ（出力ノードＮＺ）に負電圧が印加される「負電圧期間ＰＣ２」をも含む。

既出の例では、ターンオフ期間ＰＣは、放電期間ＰＣ１だけを含んでいた。その放電期間ＰＣ１よりも長い所定のタイマー期間ＰＴにおいて、第１スイッチ５１Ｃ（ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃ）がＯＮし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間が電気的に接続される。その結果、第１ショートトランジスタ４１Ｃが、放電期間ＰＣ１においてＯＦＦ状態に維持される。しかしながら、第１スイッチ５１Ｃ（ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃ）は、負電圧期間ＰＣ２においてもＯＮするとは限らない。従って、第２の例では、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続され、負電圧期間ＰＣ２においてＯＮする第２スイッチ５２Ｃが追加される。

図４１は、第２の例を示す回路図である。第２の例では、図３９で示された回路構成に対して、過電圧保護回路８０、制御回路９０、及び第２スイッチ５２Ｃが更に追加されている。

過電圧保護回路８０（ダイナミッククランプ回路）は、電源端子ＴＶと第１ノードＮ１との間に接続されている。具体的には、過電圧保護回路８０は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１、ダイオード８２、８３を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のソースは、電源端子ＴＶに接続されている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のゲート及びドレインは、ダイオード８２のカソードに接続されている。ダイオード８２のアノードは、ダイオード８３のアノードに接続されている。ダイオード８３のカソードは、第１ノードＮ１に接続されている。この過電圧保護回路８０は、負電圧期間ＰＣ２において動作する。

制御回路９０は、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ９１及びデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ９２を備えている。ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ９１のゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のゲート、電源端子ＴＶ及び第５ノードＮ５に接続されている。ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ９２のドレインは第５ノードＮ５に接続され、そのソース及びゲートは出力ノードＮＺに接続されている。

ＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１、９１はカレントミラー回路を構成している。過電圧保護回路８０が動作すると、第５ノードＮ５が充電され、その電圧はＨｉｇｈレベルになる。過電圧保護回路８０が非動作の場合、第５ノードＮ５の電圧は出力ノードＮＺの電圧と同等になる。この第５ノードＮ５の電圧が、第２スイッチ５２ＣをＯＮ／ＯＦＦ制御するための第２制御信号ＣＯＮ２として使用される。すなわち、制御回路９０は、過電圧保護回路８０の動作時にだけ第２制御信号ＣＯＮ２を活性化（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）する。

第２スイッチ５２Ｃは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続されている。この第２スイッチ５２Ｃは、第２制御信号ＣＯＮ２が活性化されている時（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）にＯＮし、非活性化されている時にＯＦＦする。第２スイッチ５２Ｃは、例えばＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第５ノードＮ５、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。制御信号ＣＯＮ２が活性化されＨｉｇｈレベルになると、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ５２ＣはＯＮする。その結果、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺが電気的に接続される。

図４１及び図４２を参照して、本例におけるターンオフ期間ＰＣについて説明する。そのターンオフ期間ＰＣは、放電期間ＰＣ１と負電圧期間ＰＣ２を含んでいる。

（放電期間ＰＣ１：時刻ｔ３〜ｔｍ）
既出の例の場合と同様に、第１スイッチ５１ＣがＯＮする。そのため、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとが電気的に接続され、第１ショートトランジスタ４１ＣはＯＦＦ状態に維持される。

（負電圧期間ＰＣ２：時刻ｔｍ〜ｔ４）
負電圧期間ＰＣ２において、過電圧保護回路８０を正常に動作させるためには、出力トランジスタ１０を低いゲート−ソース間電圧でオンさせる必要がある。従って、第１ショートトランジスタ４１Ｃ及び第２ショートトランジスタ４２Ｃの両方がＯＮして、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとがショートすることは望ましくない。すなわち、負電圧期間ＰＣ２においても第１ショートトランジスタ４１ＣをＯＦＦのまま保つ必要がある。しかしながら、負電圧期間ＰＣ２中にタイマー期間ＰＴが終了すると、第１スイッチ５１ＣはＯＦＦする可能性がある。従って、負電圧期間ＰＣ２用に第２スイッチ５２Ｃが設けられている。

より詳細には、出力端子ＴＯに負電圧が印加されると、過電圧保護回路８０のＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１からダイオード８２、８３、抵抗素子ＲＥＳ、ゲート充放電回路３０の放電トランジスタ３３を通して出力端子ＴＯへの電流経路が形成される。これにより、出力トランジスタ１０のドレイン−ソース間電圧が、過電圧保護回路のクランプ電圧にクランプされる。過電圧保護回路８０がこのように動作すると、上述の通り、制御回路９０は、第２制御信号ＣＯＮ２を活性化（ＣＯＮ２＝Ｈｉｇｈレベル）する。それに応答して、第２スイッチ５２ＣがＯＮし、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺが電気的に接続される。その結果、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＦＦ状態に保たれる。

負電圧期間ＰＣ２が終わると、第２スイッチ５２ＣはＯＦＦする。

以上に説明されたように、第３の実施の形態に係るショートトランジスタ４１Ｃ、４２Ｃ及びショート制御回路５０Ｃは、負電圧期間ＰＣ２に関連する特性（過電圧保護等）にも影響を及ぼさない。

３−３．第３の例
図４３は、第３の例を示す回路図である。第３の例では、図４１で示された回路構成に対して、遅延回路７０Ｃ及び補助スイッチ６６Ｃが更に追加されている。第２スイッチ５２ＣとしてのＮチャネルＭＯＳＦＥＴのドレインは、第２ノードＮ２の代わりにノードＮ２’に接続されている。そのノードＮ２’が、遅延回路７０Ｃを介して、第２ノードＮ２に接続されている。

図４３及び図４４を参照して、ＯＦＦ期間ＰＤ中に電源端子ＴＶにダンプサージが印加された場合を考える。電源端子ＴＶにダンプサージが印加された際、過電圧保護回路８０のＰチャネルＭＯＳＦＥＴ８１のゲート電圧が一瞬Ｌｏｗレベルに下がることがある。この場合、第２制御信号ＣＯＮ２が活性化され、第２スイッチ５２ＣのＯＦＦ状態が解除されてしまう。図４４の例では、時刻ｔ５〜ｔｓの短い期間、第２スイッチ５２ＣがＯＮし、ノードＮ２’が放電されてしまう。もし、遅延回路７０Ｃがなければ、第１ショートトランジスタ４１Ｃのゲートにつながる第２ノードＮ２も放電されてしまい、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＦＦしてしまう。このことは、出力トランジスタ１０のゲート−ソース間のショートの解除を意味し、好ましくない。

一方、本例によれば、ノードＮ２’と第２ノードＮ２との間に遅延回路７０Ｃが設けられている。従って、たとえノードＮ２’が放電されても、第２ノードＮ２の電圧レベルは、ある程度の時間Ｈｉｇｈレベルに維持される。つまり、時刻ｔ５〜ｔｓの期間においても、第１ショートトランジスタ４１ＣはＯＮ状態のまま維持される。このように、ＯＦＦ期間ＰＤの最中に出力トランジスタ１０のゲート−ソース間のショートが解除されることが防止される。

図４５Ａ及び図４５Ｂは、遅延回路７０Ｃの構成例を示している。図４５Ａの例では、抵抗素子７１Ｃと容量素子７２Ｃとにより、遅延回路７０Ｃが構成されている。図４５Ｂの例では、定電流源として機能するデプレッション型のＮチャネルＭＯＳＦＥＴ７３Ｃと、容量素子７２Ｃとにより、遅延回路７０Ｃが構成されている。ＯＦＦ期間ＰＤにおいて、遅延回路７０Ｃの容量素子７２Ｃは、電源電圧ＶＤＤに充電されている。上記理由によりノードＮ２’が放電された場合であっても、遅延回路７０Ｃの容量素子７２Ｃが放電されるまでは、第２ノードＮ２の電圧レベルをＨｉｇｈレベルに保つことができる。尚、遅延回路７０Ｃの放電時定数は、ノードＮ２’の放電時定数よりも大きく設計される。

尚、ターンオン期間ＰＡの開始時（時刻ｔ１：図３８参照）、第２ノードＮ２を速やかに放電し、第１ショートトランジスタ４１ＣをＯＦＦする必要がある。しかしながら、本例では、ノードＮ２’と第２ノードＮ２との間に遅延回路７０Ｃが介在しており、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃ（第１スイッチ５１Ｃ）を通した放電は遅延する。このような遅延回路７０Ｃの影響を無くすために、補助スイッチ６６Ｃが追加されている。補助スイッチ６６Ｃは、第２ノードＮ２と出力ノードＮＺとの間に接続されており、ターンオン期間ＰＡにおいてＯＮする。その結果、ターンオン期間ＰＡの開始時に、補助スイッチ６６Ｃを通して第２ノードＮ２が速やかに放電される。つまり、ターンオン期間ＰＡへの遅延回路７０Ｃの影響が排除される。

例えば、補助スイッチ６６ＣはＮチャネルＭＯＳＦＥＴであり、そのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ第３ノードＮ３、出力ノードＮＺ及び第２ノードＮ２に接続されている。ターンオン期間ＰＡにおいて、第３ノードＮ３には電源電圧ＶＤＤが印加される。第３ノードＮ３と出力ノードＮＺとの間の電圧差（Ｎ３−ＮＺ）が閾値電圧を下回るまで、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６６ＣはＯＮする。ターンオン期間ＰＡ以外において、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６６ＣはＯＦＦする。これにより、上記目的が達成される。

３−４．第４の例
既出の例において、ターンオフ期間ＰＣでの初期動作には注意を要する。上述の通り、ターンオフ期間ＰＣの開始時に、ノードＮＡの信号（制御信号ＰＷＲ’)がＨｉｇｈレベルに変わり、第２ショートトランジスタ４２ＣがＯＮする。また、第１制御信号ＣＯＮ１がＬｏｗレベルに変わり、第３ノードＮ３が電源電圧ＶＤＤにプルアップされる。但し、出力ノードＮＺの電圧が電源電圧ＶＤＤに近い初期段階では、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃのゲート−ソース間電圧がその閾値電圧よりも低く、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４ＣがＯＦＦのままである可能性がある。この場合、第２ノードＮ２がＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６３Ｃによってプルアップされ、それにより、第１ショートトランジスタ４１ＣがＯＮする可能性がある。すなわち、ターンオフ期間ＰＣの初期段階において、一瞬、ショートトランジスタ４１Ｃ、４２Ｃの両方がＯＮし、第１ノードＮ１からショートトランジスタ４１Ｃ、４２Ｃを通して出力ノードＮＺへ向かう放電経路が形成されてしまう可能性がある。

このような現象を防止するためには、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃが、第１ショートトランジスタ４１Ｃよりも早くＯＮすればよい。つまり、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ６４Ｃの閾値電圧が、第１ショートトランジスタ４１Ｃの閾値電圧よりも小さく設計されていればよい。

あるいは、図４６に示される構成も有効である。図４６に示される例では、図３９で示された回路構成に対して、ショートスイッチ回路４の構成要素として第３ショートスイッチ４３Ｃが更に追加されている。第１〜第３ショートスイッチ４１Ｃ〜４３Ｃは、第１ノードＮ１と出力ノードＮＺとの間に直列に接続されている。第３ショートスイッチ４３Ｃは、第１制御信号ＣＯＮ１によってＯＮ／ＯＦＦ制御される。具体的には、第１制御信号ＣＯＮ１が活性化されるタイマー期間ＰＴにおいて、第３ショートスイッチ４３ＣはＯＦＦする。第１制御信号が非活性化されるその他の期間において、第３ショートスイッチ４３ＣはＯＮする。

例えば、第３ショートスイッチ４３Ｃとして、ＮチャネルＭＯＳＦＥＴ（以下、「第３ショートトランジスタ４３Ｃ」と参照される）が用いられる。第３ショートトランジスタ４３Ｃのゲート、ソース及びドレインは、それぞれ、第４ノードＮ４、出力ノードＮＺ及び第１ノードＮ１側に接続されている。タイマー期間ＰＴにおいて、第１制御信号ＣＯＮ１はＬｏｗレベルになり、第３ショートトランジスタ４３ＣはＯＦＦする。その他の期間において、第１制御信号ＣＯＮ１はＨｉｇｈレベルになり、第３ショートトランジスタ４３ＣはＯＮする。

ターンオフ期間ＰＣの初期段階において、出力ノードＮＺの電圧は電源電圧ＶＤＤに近い。その一方で、第４ノードＮ４にはＬｏｗレベルの第１制御信号ＣＯＮ１が印加される。従って、第３ショートトランジスタ４３Ｃは完全にＯＦＦする。よって、ターンオフ期間ＰＣの初期段階において第１ショートトランジスタ４１Ｃが一瞬ＯＮしたとしても、第１ノードＮ１からショートトランジスタ４１Ｃ〜４３Ｃを通して出力ノードＮＺへ向かう放電経路は形成されない。タイマー期間ＰＴ以外においては、第３ショートトランジスタ４３ＣはＯＮするため、既出の例の場合と同じ動作が実現される。

３−５．第５の例
上述の例のうちいくつかを組み合わせることも可能である。図４７は、第１〜第４の例の全てを組み合わせた場合の回路構成を示している。

尚、第３の実施の形態の一部又は全部は、以下の付記のように記載されうるが、以下には限られない。

（付記１）
電源端子と出力端子との間に接続された出力トランジスタと、
前記出力トランジスタのゲートに接続された第１ノードを充放電し、前記出力トランジスタをＯＮ／ＯＦＦ制御するゲート充放電回路と、
前記第１ノードと前記出力端子との間に直列に接続された第１ショートスイッチ及び第２ショートスイッチと、
前記第１ショートスイッチ及び前記第２ショートスイッチをＯＮ／ＯＦＦ制御するショート制御回路と
を備え、
前記第１ノードが充電された後、前記出力トランジスタが安定的にＯＮしている期間がＯＮ期間であり、
前記第１ノードが放電された後、前記出力トランジスタが安定的にＯＦＦしている期間がＯＦＦ期間であり、
前記ＯＦＦ期間から前記ＯＮ期間への遷移期間がターンオン期間であり、
前記ＯＮ期間から前記ＯＦＦ期間への遷移期間がターンオフ期間であり、
制御期間は、前記ターンオフ期間と同時に始まり、且つ、前記ターンオフ期間以上の長さを有し、
前記ターンオン期間、前記ＯＮ期間及び前記制御期間において、前記ショート制御回路は、前記第１ショートスイッチと前記第２ショートスイッチの少なくとも一方をＯＦＦし、
前記制御期間終了後の前記ＯＦＦ期間において、前記ショート制御回路は、前記第１ショートスイッチと前記第２ショートスイッチの両方をＯＮする
電力用半導体装置。

（付記２）
付記１に記載の電力用半導体装置であって、
前記ショート制御回路は、前記ターンオン期間及び前記ＯＮ期間において前記第２ショートスイッチをＯＦＦし、前記ターンオフ期間及び前記ＯＦＦ期間において前記第２ショートスイッチをＯＮし、
前記ショート制御回路は、少なくとも前記制御期間において前記第１ショートスイッチをＯＦＦし、前記制御期間終了後の前記ＯＦＦ期間において前記第１ショートスイッチをＯＮする
電力用半導体装置。

（付記３）
付記２に記載の電力用半導体装置であって、
前記第１ショートスイッチは、ゲートが第２ノードに接続された第１ショートトランジスタであり、
前記ショート制御回路は、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された少なくとも１つのスイッチを備え、
少なくとも前記制御期間において、前記ショート制御回路は、前記少なくとも１つのスイッチをＯＮすることによって、前記第２ノードと前記出力端子とを電気的に接続し、
前記制御期間終了後の前記ＯＦＦ期間において、前記ショート制御回路は、前記少なくとも１つのスイッチをＯＦＦし、前記第２ノードと前記電源端子とを電気的に接続する
電力用半導体装置。

（付記４）
付記３に記載の電力用半導体装置であって、
前記ターンオフ期間は、前記第１ノード及び前記出力端子が放電される放電期間を含み、
前記制御期間は、所定のタイマー期間を含み、
前記所定のタイマー期間は、前記放電期間と同時に始まり、且つ、前記放電期間以上の長さを有し、
前記ショート制御回路は、更に、前記所定のタイマー期間の間だけ第１制御信号を活性化するタイマー回路を備え、
前記少なくとも１つのスイッチは、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された第１スイッチを含み、
前記第１スイッチは、少なくとも前記第１制御信号が活性化されている時にＯＮし、前記第１制御信号が非活性化された後の前記ＯＦＦ期間においてＯＦＦする
電力用半導体装置。

（付記５）
付記４に記載の電力用半導体装置であって、
前記ターンオフ期間は、更に、前記放電期間に続いて前記出力端子に負電圧が印加される負電圧期間を含み、
前記ショート制御回路は、更に、
前記電源端子と前記第１ノードとの間に接続され、前記負電圧期間に動作する過電圧保護回路と、
前記過電圧保護回路の動作時にだけ第２制御信号を活性化する制御回路と
を備え、
前記少なくとも１つのスイッチは、更に、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された第２スイッチを備え、
前記第２スイッチは、前記第２制御信号が活性化されている時にＯＮし、前記第２制御信号が非活性化されている時にＯＦＦする
電力用半導体装置。

（付記６）
付記５に記載の電力用半導体装置であって、
前記第２スイッチは、遅延回路を介して前記第２ノードに接続されており、
前記ショート制御回路は、更に、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された補助スイッチを備え、
前記補助スイッチは、少なくとも前記ターンオン期間においてＯＮする
電力用半導体装置。

（付記７）
付記４乃至６のいずれか一項に記載の電力用半導体装置であって、
更に、第３ショートスイッチを備え、
前記第１ショートスイッチ、前記第２ショートスイッチ及び前記第３ショートスイッチは、前記第１ノードと前記出力端子との間に直列に接続され、
前記第３ショートスイッチは、前記第１制御信号が活性化されている時にＯＦＦする
電力用半導体装置。

（付記８）
付記１乃至７のいずれか一項に記載の電力用半導体装置であって、
前記ゲート充放電回路の出力は、抵抗素子を介して、前記第１ノードに接続されている
電力用半導体装置。

（付記９）
付記１乃至８のいずれか一項に記載の電力用半導体装置であって、
前記ゲート充放電回路は、
前記ターンオン期間及び前記ＯＮ期間において前記第１ノードを充電する昇圧回路と、
前記第１ノードとグランド端子との間に介在する放電トランジスタと
を備え、
前記放電トランジスタは、前記ターンオン期間及び前記ＯＮ期間においてＯＦＦし、前記ターンオフ期間及び前記ＯＦＦ期間においてＯＮする
電力用半導体装置。

（付記１０）
付記９に記載の電力用半導体装置であって、
前記放電トランジスタは、寄生バイポーラトランジスタを有し、
前記寄生バイポーラトランジスタのコレクタ、エミッタ及びベースは、それぞれ、前記電源端子、前記第１ノード、及び前記放電トランジスタのバックゲートに接続されている
電力用半導体装置。

４．自動車の電子制御システムへの応用
図４８は、本実施の形態に係る電力用半導体装置１が自動車の電子制御システムに適用される例を示している。電子制御システムは、バッテリー電源２００、電子制御ユニット２０８、及び負荷２０−Ａ、２０−Ｂを備えている。電子制御ユニット２０８には、外部のバッテリー電源２００から電力が供給される。そして、電子制御ユニット２０８は、負荷２０−Ａ（例えばランプ）や負荷２０−Ｂ（例えばソレノイド）に対する電力供給を制御する。

電子制御ユニット２０８は、電力用半導体装置１−Ａ、１−Ｂ、電源ＩＣ２０１、マイコン２０２、ツェナーダイオード２０５、及び容量２０６、２０７を備えている。電源端子とグランド端子との間には、安定化用の容量２０６と、ダンプサージに対して電圧をクランプするツェナーダイオード２０５が接続されている。電源ＩＣ２０１及び電力用半導体装置１−Ａ、１−Ｂには、外部のバッテリー電源２００から電源電圧ＶＤＤが供給される。電源ＩＣ２０１は、電源電圧ＶＤＤから安定化電圧を生成し、マイコン２０２に対してその安定化電圧を供給する。電源ＩＣ２０１の出力端子とグランド端子との間には、安定化用の容量２０７が接続されている。

マイコン２０２は、電力用半導体装置１−Ａ、１−Ｂのそれぞれに対してパワーＯＮ信号ＰＷＲを供給する。電力用半導体装置１−Ａは、負荷２０−Ａに接続されており、マイコン２０２から入力されるパワーＯＮ信号ＰＷＲに応じて負荷２０−Ａへの電力供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する。同様に、電力用半導体装置１−Ｂは、負荷２０−Ｂに接続されており、マイコン２０２から入力されるパワーＯＮ信号ＰＷＲに応じて負荷２０−Ｂへの電力供給をＯＮ／ＯＦＦ制御する。

自動車の走行時には、オルタネータ（不図示）が発電を行い、バッテリー電源２００を充電する。オルタネータとバッテリー電源２００との間に接続不良が生じると、オルタネータの負荷に変動が生じるため、逆起電圧が発生する。この逆起電圧がダンプサージ電圧と呼ばれる。本実施の形態によれば、その場合であっても、電力用半導体装置１−Ａ、１−Ｂの出力トランジスタ１０の熱破壊が防止される。

以上、本発明の実施の形態が添付の図面を参照することにより説明された。但し、本発明は、上述の実施の形態に限定されず、要旨を逸脱しない範囲で当業者により適宜変更され得る。

１ 電力用半導体装置
４ ショートスイッチ回路
１０ 出力トランジスタ
２０ 負荷
３０ ゲート充放電回路
３１ 制御入力回路
３２ 昇圧回路
３３ 放電トランジスタ
４０Ａ ショートスイッチ、ショートトランジスタ
４０Ｂ ショートスイッチ、ショートトランジスタ
４１Ｂ ショートスイッチ、ショートトランジスタ
４１Ｃ 第１ショートスイッチ、第１ショートトランジスタ
４２Ｃ 第２ショートスイッチ、第２ショートトランジスタ
４３Ｃ 第３ショートスイッチ、第３ショートトランジスタ
５０、５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ ショート制御回路
７０、７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ 遅延回路
８０ 過電圧保護回路
９０ 制御回路
１００ タイマー回路
２００ バッテリー電源
２０１ 電源ＩＣ
２０２ マイコン
２０５ ツェナーダイオード
２０６ 容量素子
２０７ 容量素子
２０８ 電子制御ユニット
ＣＯＮ 制御信号
Ｎ１ 第１ノード
Ｎ２ 第２ノード
ＮＺ 出力ノード
ＰＡ ターンオン期間
ＰＢ ＯＮ期間
ＰＣ ターンオフ期間
ＰＣ１ 放電期間
ＰＣ２ 負電圧期間
ＰＤ ＯＦＦ期間
ＰＴ タイマー期間
ＰＸ 制御期間
ＰＷＲ パワーＯＮ信号
Ｑ１ 寄生バイポーラトランジスタ
ＲＥＳ 抵抗素子
ＴＧ グランド端子
ＴＩ 入力端子
ＴＯ 出力端子
ＴＶ 電源端子

Claims (18)

1. 電源端子と出力端子との間に接続された出力トランジスタと、
   前記出力トランジスタのゲートに接続された第１ノードを充放電し、前記出力トランジスタをＯＮ／ＯＦＦ制御するゲート充放電回路と、
   前記第１ノードと前記出力端子との間に接続されたショートトランジスタと、
   前記ショートトランジスタを制御するショート制御回路と
   を備え、
   前記ショートトランジスタは、
   前記出力端子に接続されたソースと、
   前記第１ノードに接続されたドレインと、
   第２ノードに接続されたゲートと
   を備え、
   前記ショート制御回路は、
   前記第２ノードと前記出力端子との間に接続されたスイッチングトランジスタと、
   前記第２ノードと前記電源端子との間に接続された第１スイッチと
   を含み、
   前記スイッチングトランジスタは、
   前記スイッチングトランジスタのＯＮ／ＯＦＦを制御するための制御端子であって、前記第１ノードに接続されており、前記出力トランジスタのゲート電圧が与えられる前記制御端子と、
   前記出力端子に接続された第１電極と、
   前記第２ノードに接続された第２電極と
   を備え、
   前記第１ノードが充電された後、前記出力トランジスタが安定的にＯＮしている期間がＯＮ期間であり、
   前記第１ノードが放電された後、前記出力トランジスタが安定的にＯＦＦしている期間がＯＦＦ期間であり、
   前記ＯＦＦ期間から前記ＯＮ期間への遷移期間がターンオン期間であり、
   前記ＯＮ期間から前記ＯＦＦ期間への遷移期間がターンオフ期間であり、
   前記ショート制御回路は、
   前記ターンオン期間及び前記ＯＮ期間において、前記第１スイッチをＯＦＦし、
   前記ターンオフ期間及び前記ＯＦＦ期間において、前記第１スイッチをＯＮし、
   前記ターンオン期間、前記ＯＮ期間及び前記ターンオフ期間において、前記スイッチングトランジスタは、前記出力トランジスタの前記ゲート電圧を受けてＯＮし、前記ショートトランジスタは、ＯＦＦし、
   前記ＯＦＦ期間において、前記スイッチングトランジスタは、前記出力トランジスタの前記ゲート電圧を受けてＯＦＦし、前記ショートトランジスタは、ＯＮする
   電力用半導体装置。
2. 請求項１に記載の電力用半導体装置であって、
   前記ターンオフ期間は、前記第１ノード及び前記出力端子が放電される放電期間を含み、
   前記スイッチングトランジスタは、前記ターンオン期間、前記ＯＮ期間及び前記放電期間においてＯＮする
   電力用半導体装置。
3. 請求項１又は２に記載の電力用半導体装置であって、
   前記スイッチングトランジスタは、前記制御端子としてのゲートが前記第１ノードに接続され、前記第１電極としてのソースが前記出力端子に接続され、前記第２電極としてのドレインが前記第２ノードに接続されたＮチャネルトランジスタである
   電力用半導体装置。
4. 請求項３に記載の電力用半導体装置であって、
   前記Ｎチャネルトランジスタの前記ドレインは、遅延回路を介して前記第２ノードに接続されており、
   前記ショート制御回路は、更に、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された補助スイッチを備え、
   前記補助スイッチは、前記ターンオン期間においてＯＮする
   電力用半導体装置。
5. 請求項２乃至４のいずれか一項に記載の電力用半導体装置であって、
   前記ターンオフ期間は、更に、前記放電期間に続いて前記出力端子に負電圧が印加される負電圧期間を含み、
   前記ショート制御回路は、更に、
   前記電源端子と前記第１ノードとの間に接続され、前記負電圧期間に動作する過電圧保護回路と、
   前記過電圧保護回路の動作時にだけ制御信号を活性化する制御回路と、
   前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された第２スイッチと
   を備え、
   前記第２スイッチは、前記制御信号が活性化されている時にＯＮし、前記制御信号が非活性化されている時にＯＦＦする
   電力用半導体装置。
6. 電源端子と出力端子との間に接続された出力トランジスタと、
   前記出力トランジスタのゲートに接続された第１ノードを充放電し、前記出力トランジスタをＯＮ／ＯＦＦ制御するゲート充放電回路と、
   前記第１ノードと前記出力端子との間に接続されたショートスイッチ回路と、
   前記ショートスイッチ回路を制御するショート制御回路と
   を備え、
   前記ショートスイッチ回路は、前記第１ノードと前記出力端子との間に接続されたショートトランジスタを含み、
   前記ショートトランジスタのゲートは、第２ノードに接続され、
   前記ショート制御回路は、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された複数のスイッチを備え、
   前記第１ノードが充電された後、前記出力トランジスタが安定的にＯＮしている期間がＯＮ期間であり、
   前記第１ノードが放電された後、前記出力トランジスタが安定的にＯＦＦしている期間がＯＦＦ期間であり、
   前記ＯＦＦ期間から前記ＯＮ期間への遷移期間がターンオン期間であり、
   前記ＯＮ期間から前記ＯＦＦ期間への遷移期間がターンオフ期間であり、
   前記ターンオン期間、前記ＯＮ期間及び前記ターンオフ期間において、前記ショート制御回路は、前記第２ノードと前記出力端子とを電気的に接続することによって、前記ショートトランジスタをＯＦＦし、
   前記ＯＦＦ期間において、前記ショート制御回路は、前記複数のスイッチの少なくとも一部をＯＦＦし、前記第２ノードと前記出力端子との電気的接続を切断し、前記第２ノードと前記電源端子とを電気的に接続することによって、前記ショートトランジスタをＯＮする
   電力用半導体装置。
7. 請求項６に記載の電力用半導体装置であって、
   前記複数のスイッチは、前記第２ノードと前記出力端子との間に直列に接続された第１スイッチ及び第２スイッチを備え、
   前記ターンオフ期間は、前記第１ノード及び前記出力端子が放電される放電期間を含み、
   所定のタイマー期間は、前記放電期間と同時に始まり、且つ、前記放電期間以上の長さを有し、
   前記放電期間において、前記ショート制御回路は、前記第１スイッチをＯＮし、
   前記所定のタイマー期間において、前記ショート制御回路は、前記第２スイッチをＯＮし、
   前記所定のタイマー期間終了後の前記ＯＦＦ期間において、前記ショート制御回路は、前記第２スイッチをＯＦＦする
   電力用半導体装置。
8. 請求項７に記載の電力用半導体装置であって、
   前記第１スイッチは、ゲートが前記第１ノードに接続され、ソースが前記出力端子に接続され、ドレインが前記第２ノードに接続されたＮチャネルトランジスタである
   電力用半導体装置。
9. 請求項７又は８に記載の電力用半導体装置であって、
   前記ショート制御回路は、更に、前記所定のタイマー期間の間だけ第１制御信号を活性化するタイマー回路を備え、
   前記第２スイッチは、少なくとも前記第１制御信号が活性化されている時にＯＮし、前記第１制御信号が非活性化された後の前記ＯＦＦ期間においてＯＦＦする
   電力用半導体装置。
10. 請求項９に記載の電力用半導体装置であって、
    前記ターンオフ期間は、更に、前記放電期間に続いて前記出力端子に負電圧が印加される負電圧期間を含み、
    前記ショート制御回路は、更に、
    前記電源端子と前記第１ノードとの間に接続され、前記負電圧期間に動作する過電圧保護回路と、
    前記過電圧保護回路の動作時にだけ第２制御信号を活性化する制御回路と
    を備え、
    前記複数のスイッチは、更に、前記第１スイッチ及び前記第２スイッチに対して並列となるように前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された第３スイッチを備え、
    前記第３スイッチは、前記第２制御信号が活性化されている時にＯＮし、前記第２制御信号が非活性化されている時にＯＦＦする
    電力用半導体装置。
11. 請求項１０に記載の電力用半導体装置であって、
    前記第３スイッチは、遅延回路を介して前記第２ノードに接続されており、
    前記ショート制御回路は、更に、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された補助スイッチを備え、
    前記補助スイッチは、少なくとも前記ターンオン期間においてＯＮする
    電力用半導体装置。
12. 請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の電力用半導体装置であって、
    前記ショートスイッチ回路は、更に、他のショートトランジスタを備え、
    前記ショートトランジスタ及び前記他のショートトランジスタは、前記第１ノードと前記出力端子との間に直列に接続され、
    前記他のショートトランジスタは、前記第１制御信号が活性化されている時にＯＦＦする
    電力用半導体装置。
13. 電源端子と出力端子との間に接続された出力トランジスタと、
    前記出力トランジスタのゲートに接続された第１ノードを充放電し、前記出力トランジスタをＯＮ／ＯＦＦ制御するゲート充放電回路と、
    前記第１ノードと前記出力端子との間に接続されたショートスイッチ回路と、
    前記ショートスイッチ回路を制御するショート制御回路と
    を備え、
    前記ショートスイッチ回路は、前記第１ノードと前記出力端子との間に直列に接続された第１ショートスイッチ及び第２ショートスイッチを含み、
    前記第１ノードが充電された後、前記出力トランジスタが安定的にＯＮしている期間がＯＮ期間であり、
    前記第１ノードが放電された後、前記出力トランジスタが安定的にＯＦＦしている期間がＯＦＦ期間であり、
    前記ＯＦＦ期間から前記ＯＮ期間への遷移期間がターンオン期間であり、
    前記ＯＮ期間から前記ＯＦＦ期間への遷移期間がターンオフ期間であり、
    制御期間は、前記ターンオフ期間と同時に始まり、且つ、前記ターンオフ期間以上の長さを有し、
    前記ターンオン期間、前記ＯＮ期間及び前記制御期間において、前記ショート制御回路は、前記第１ショートスイッチと前記第２ショートスイッチの少なくとも一方をＯＦＦし、
    前記制御期間終了後の前記ＯＦＦ期間において、前記ショート制御回路は、前記第１ショートスイッチと前記第２ショートスイッチの両方をＯＮする
    電力用半導体装置。
14. 請求項１３に記載の電力用半導体装置であって、
    前記ショート制御回路は、前記ターンオン期間及び前記ＯＮ期間において前記第２ショートスイッチをＯＦＦし、前記ターンオフ期間及び前記ＯＦＦ期間において前記第２ショートスイッチをＯＮし、
    前記ショート制御回路は、少なくとも前記制御期間において前記第１ショートスイッチをＯＦＦし、前記制御期間終了後の前記ＯＦＦ期間において前記第１ショートスイッチをＯＮする
    電力用半導体装置。
15. 請求項１４に記載の電力用半導体装置であって、
    前記第１ショートスイッチは、ゲートが第２ノードに接続された第１ショートトランジスタであり、
    前記ショート制御回路は、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された少なくとも１つのスイッチを備え、
    少なくとも前記制御期間において、前記ショート制御回路は、前記少なくとも１つのスイッチをＯＮすることによって、前記第２ノードと前記出力端子とを電気的に接続し、
    前記制御期間終了後の前記ＯＦＦ期間において、前記ショート制御回路は、前記少なくとも１つのスイッチをＯＦＦし、前記第２ノードと前記電源端子とを電気的に接続する
    電力用半導体装置。
16. 請求項１５に記載の電力用半導体装置であって、
    前記ターンオフ期間は、前記第１ノード及び前記出力端子が放電される放電期間を含み、
    前記制御期間は、所定のタイマー期間を含み、
    前記所定のタイマー期間は、前記放電期間と同時に始まり、且つ、前記放電期間以上の長さを有し、
    前記ショート制御回路は、更に、前記所定のタイマー期間の間だけ第１制御信号を活性化するタイマー回路を備え、
    前記少なくとも１つのスイッチは、前記第２ノードと前記出力端子との間に接続された第１スイッチを含み、
    前記第１スイッチは、少なくとも前記第１制御信号が活性化されている時にＯＮし、前記第１制御信号が非活性化された後の前記ＯＦＦ期間においてＯＦＦする
    電力用半導体装置。
17. 請求項１乃至１６のいずれか一項に記載の電力用半導体装置であって、
    前記ゲート充放電回路は、
    前記ターンオン期間及び前記ＯＮ期間において前記第１ノードを充電する昇圧回路と、
    前記第１ノードとグランド端子との間に介在する放電トランジスタと
    を備え、
    前記放電トランジスタは、前記ターンオン期間及び前記ＯＮ期間においてＯＦＦし、前記ターンオフ期間及び前記ＯＦＦ期間においてＯＮする
    電力用半導体装置。
18. 請求項１７に記載の電力用半導体装置であって、
    前記放電トランジスタは、寄生バイポーラトランジスタを有し、
    前記寄生バイポーラトランジスタのコレクタ、エミッタ及びベースは、それぞれ、前記電源端子、前記第１ノード、及び前記放電トランジスタのバックゲートに接続されている
    電力用半導体装置。

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