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JP5631138B2 - レーザ切断加工方法及び装置 - Google Patents

レーザ切断加工方法及び装置 Download PDF

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Description

本発明は、板状のワークをレーザ切断加工するレーザ切断加工方法及び装置に係り、さらに詳細には、ワークに対してピアシング加工を行うことにより、当該ワークに対する適正な焦点位置を検出し、この検出した焦点位置でもってワークのレーザ切断加工を行うレーザ切断加工方法及び装置に関する。
従来、板状のワークのレーザ切断加工を行うレーザ加工機においては、当該レーザ加工機の制御を行うCNC装置に、各被加工材毎の加工条件を予め登録した条件ファイルを備えている。そして、ワークの切断加工を行うときには、レーザ加工機にセットしたワークに対応した条件ファイルを呼び出し、この条件ファイルに登録してある加工条件によって前記ワークのレーザ切断加工を行っている。
ところで、レーザ切断加工において安定的な加工を行なうには、ワークの表面に対するレーザ光の焦点位置は重要な条件である。そこで、前記条件ファイルに登録してある加工条件の位置に焦点位置を合せるべく集光レンズの位置を調節した場合であっても、使用している集光レンズの劣化状態や、使用レンズの個体差、レーザ発振器の経時変化による焦点長さの変動などの外乱に対する補正機能を有していないため、前記外乱によって安定した加工ができない場合がある。この場合、集光レンズの焦点位置を再び検出して再登録する必要がある。
すなわち、レーザ切断加工を行う場合、集光レンズの焦点位置は重要な要素であるから、集光レンズの焦点位置を検出することが行われている(例えば特許文献1、2参照)。
特開平7−132391号公報 特開2005−334928号公報
前記特許文献1に記載の発明においては、ワークの表面に対する集光レンズの焦点位置を上下に調節し、ワークの表面に焦点位置が一致して、検出した加工光の強度が最大になったときに、焦点位置がワーク表面に一致したものとして検出する構成がある。
前記特許文献2に記載の発明においては、ワークの表面に焦点位置が一致すると、輝度の高い青色のプラズマが発生することを利用し、このプラズマの発生を検出したときに、焦点位置がワーク表面に一致したものとして検出するものである。
すなわち、従来は、ワークの表面に焦点位置が一致したときの集光レンズの位置を検出し、この検出位置を基準にしてワークに対する焦点位置を調節して各種のレーザ加工を行うものである。すなわち、従来は、ワークのレーザ切断加工を行う前に、焦点位置検出の工程が必要であり、かつ焦点位置検出後には、焦点位置を調節する工程が必要であり、作業能率向上において問題がある。
本発明は、前述のごとき従来の問題に鑑みてなされたもので、レーザ切断加工方法であって、板状のワークのレーザ切断加工を行うに先立って、ワークに対する集光レンズの接近位置を種々変更してワークに対する焦点位置を種々変更した複数回のピアシング加工を行い、この複数回のピアシング加工時においてピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの時間に検出した散乱光量の検出値が最小値のときの焦点位置を保持してワークのレーザ切断加工を行うことを特徴とするものである。
また、レーザ切断加工方法であって、板状のワークのレーザ切断加工を行うに先立って、ワークに対する集光レンズの接近位置を種々変更してワークに対する焦点位置を種々変更した複数回のピアシング加工を行い、この複数回のピアシング加工時に検出した加工時間が最小のときの焦点位置を保持してワークのレーザ切断加工を行うことを特徴とするものである。
また、レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光するための集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、ワークに対して前記集光レンズの焦点位置を調節する焦点位置調節手段と、ワークのピアシング加工時においてピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの時間の散乱光量を検出して電圧に変換する光・電気変換手段と、この光・電気変換手段によって変換した検出光電圧と前記焦点位置調節手段によって調節した焦点位置とを関連付けて記憶する第1のメモリと、次回のピアシング加工時においてピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの時間に検出した検出光電圧と焦点位置とを関連付けて記憶する第2のメモリと、前記第1メモリの検出光電圧と第2メモリの検出光電圧とを比較して小さい値を選択し、第1メモリを更新する比較手段と、この比較手段によって選択された検出光電圧に関連した焦点位置に焦点位置を調節する前記焦点位置調節手段と、を備えていることを特徴とするものである。
また、レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光するための集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、ワークに対して前記集光レンズの焦点位置を調節する焦点位置調節手段と、ワークのピアシング加工時の貫通時間を検出するための貫通時間検出手段と、この貫通時間検出手段によって検出した貫通時間と前記焦点位置調節手段によって調節した焦点位置とを関連付けて記憶する第1のメモリと、次回のピアシング加工時に検出した貫通時間と焦点位置とを関連付けて記憶する第2のメモリと、前記第1メモリの貫通時間と第2メモリの貫通時間とを比較して小さい値を選択し、第1メモリを更新する比較手段と、この比較手段によって選択された貫通時間に関連した焦点位置に焦点位置を調節する前記焦点位置調節手段と、を備えていることを特徴とするものである。
また、レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光するための集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、ワークに対して前記集光レンズの焦点位置を調節する焦点位置調節手段と、前記レーザ加工ヘッドの移動を制御するための制御装置における加工条件ファイルから選択された加工条件における焦点位置を含み、この焦点位置に対して+方向、−方向に焦点位置を調節してのワークに対する複数回のピアシング加工時においてピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの時間の散乱光量をその都度検出して電圧に変換する光・電気変換手段と、この光・電気変換手段によって変換した複数回の検出光電圧と前記焦点位置調節手段によって調節した焦点位置とを関連付けて記憶するメモリと、前記メモリの複数回の検出光電圧を比較して最小値を選択する比較手段と、この比較手段によって選択された最小値の検出光電圧に関連した焦点位置に焦点位置を調節する前記焦点位置調節手段と、を備えていることを特徴とするものである。
また、レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光するための集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、ワークに対して前記集光レンズの焦点位置を調節する焦点位置調節手段と、前記レーザ加工ヘッドの移動を制御するための制御装置における加工条件ファイルから選択された加工条件における焦点位置を含み、この焦点位置に対して+方向、−方向に焦点位置を調節してのワークに対する複数回のピアシング加工時の貫通時間をその都度検出するための貫通時間検出手段と、この貫通時間検出手段によって検出した複数回の貫通時間と前記焦点位置調節手段によって調節した焦点位置とを関連付けて記憶するメモリと、前記メモリの貫通時間を比較して最小値を選択する比較手段と、この比較手段によって選択された最小値の貫通時間に関連した焦点位置に焦点位置を調節する前記焦点位置調節手段と、を備えていることを特徴とするものである。
本発明によれば、予めピアシング加工を行ってピアシング加工時における適正な焦点位置を求め、この求めた焦点位置の条件でもってレーザ切断加工を行うものであるから、例えば集光レンズが劣化しているような場合であっても、適正な焦点位置を直ちに求めることができ、切断面精度を良好に保持しての、ワークのレーザ切断加工を能率よく開始することができるものである。
本発明の実施形態に係るレーザ切断加工装置の全体的構成を概念的、概略的に示した説明図である。 ピアシング加工の説明図である。 ピアシング加工時の焦点位置と検出光電圧との関係を示す説明図である。
図1を参照するに、概念的、概略的に示すように、板状のワークWのレーザ切断加工を行うレーザ切断加工装置1は、一般的なレーザ加工機と同様に、X,Y,Z軸方向へ移動位置決め自在なレーザ加工ヘッド3を備えている。周知のように、上記レーザ加工ヘッド3内には集光レンズ5が備えられていると共に、レーザ発振器7から発振されたレーザ光LBを前記集光レンズ5の方向へ反射するためのベンドミラー9が備えられている。
また、前記レーザ加工ヘッド3には、前記ワークWに対する焦点位置の調節を行うために、前記集光レンズ5をワークWに対して接近離反する方向(図1においては上下方向)へ位置調節するためのサーボモータ11が備えられている。さらに、前記レーザ加工ヘッド3には、ワークWのレーザ加工位置から散乱光(可視光)を検出するための適数の光センサ13が備えられている。なお、前記散乱光は、ワークWにレーザ光LBが照射されて金属が溶けて発光した可視光であって、加工位置からのレーザ光LBの反射光ではない。
前記レーザ切断加工装置1の制御を行うための制御装置15はCNC制御装置などからなるものであって、CPU17、入力手段19、ROM21、RAM23及び表示手段25を備えている。さらに前記制御装置15には、ワークWのレーザ切断加工を行うときの加工条件を、各種のワークWの材質、板厚に対応して予め登録した加工条件ファイル27が備えられている。この加工条件ファイル27に登録してある加工条件としては、例えば、ワーク表面に対する切断焦点位置、切断速度、レーザ出力、パルスレーザの周波数、デューティ比、使用ガス種、ガス圧、レーザ加工ヘッドに備えたノズルとワーク表面との切断ギャップなどである。そして、前記加工条件ファイル27に予め格納してある加工条件に基づいてレーザ発振器7、サーボモータ7などの制御が行われて、ワークWに対するレーザ切断加工が行われるものである。
また、前記制御装置15は、ワークWに対するレーザ加工時に、レーザ加工位置の散乱光を検出する前記光センサ13でもって検出した光量を電圧(検出光電圧)に変換するための光・電圧変換手段29を備えていると共に、前記サーボモータ11を制御して、ワークWの表面に対する前記集光レンズ5の焦点位置を調節するための焦点位置調節手段31を備えている。
さらに、前記制御装置15には、ワークWに対してピアシング加工を行ったときに、前記光センサ13によって検出した散乱光の光量(この光量は、ピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの非常に短い時間に検出した光量である)を前記光・電気変換手段29によって電圧に変換した検出光電圧の値、すなわち散乱光量の検出値と、ピアシング加工時の焦点位置とを関連付けて記憶する第1メモリ33を備えている。また、次に焦点位置を変更してピアシング加工を行ったときの焦点位置と検出光電圧の検出値とを関連付けて記憶する第2メモリ35を備えている。
さらに制御装置15は、前記第1,第2のメモリ33,35に格納されている検出光電圧の検出値を比較する比較手段37を備えている。この比較手段37は、第1,第2のメモリ33,35の検出光電圧を比較して小さい値を選択し、そして、第1メモリ33の内容を選択した小さい値に更新する機能及びワークWのレーザ切断加工を行うために予めRAM23に格納した加工プログラムにおける焦点位置のパラメータを、第1メモリ33に格納された焦点位置に更新する機能を有するものである。したがって、第1メモリ33には、ワークWにピアシング加工を行ったときに検出した最小の検出光電圧の値と、そのときの焦点位置とが関連付けて格納されているものである。
また、前記制御装置15には、前記第1メモリ33に格納されている焦点位置に集光レンズ5の焦点位置を調節した状態において、前記RAM23に格納されている加工プログラムに従ってワークWのレーザ切断加工を行うべく、前記レーザ加工ヘッド3のX,Y,Z軸方向への移動を制御する軸動作制御手段39が備えられている。
以上のごとき構成において、ワークWのレーザ切断加工を行うには、ワークWの表面に対する集光レンズ5の焦点位置を適正の位置に位置調節を行うために複数回のピアシング加工を行うものである。この場合、ピアシング加工は、ワークWの端材となる部分に行うものである。そして、ピアシング加工を行うに際しては、ワークWの材質、板厚に対応して加工条件ファイル27から対応する加工条件が選択される。この選択した加工条件における焦点位置が正しければ問題ないが、例えば集光レンズ5の劣化等によって焦点位置が僅かに変化している場合がある。
そこで、図2の(A),(B),(C),(D)及び(E)に示すように、選択した前記加工条件における焦点位置Aを中心として、予め設定してあるパラメータB1,B2でもって焦点位置をワークWの上面側(A+B1,A+B2)及び下面側(A−B1,A−B2)へ位置変更して複数回のピアシング加工を、例えばA+B2,A+B1,A,A−B1,A−B2の順に行うものである。上述のごとくピアシング加工を順次行うとき、光センサ13によって検出した散乱光の光量を光・電気変換手段29によって電圧に変換する。そして順次検出した電圧(検出光電圧)を比較手段37によって比較することを繰り返し、最小の検出光電圧を第1メモリ33に格納し、第1メモリ33の内容を更新する。
また、入力手段19から入力され、加工すべきワークWに対応して加工条件ファイル27から選択した加工条件に従ってレーザ切断加工を行うべくRAM23に格納されている加工プログラムにおける焦点位置のパラメータを、前記第1メモリ33に格納し更新した焦点位置に更新する。
すなわち、前述のごとく、複数回のピアシング加工を順次行ったときの検出光電圧が、図3に示すように、最小の値がA−B1の焦点位置の場合には、加工条件ファイル27に登録されている焦点位置Aは、レーザ切断加工を行う加工プログラム中においては焦点位置A−B1に更新され、この焦点位置A−B1に焦点位置を保持してワークWのレーザ切断加工が行われるものである。
ところで、ワークWのピアシング加工を行ったときに、検出光電圧の値が最小となることは、光センサ13の散乱光の受光量が少ないことである。換言すれば、ピアシング加工時間が最も短いことになる。ピアシング加工時間が最も短いことは、当該ワークWの表面に対する焦点位置が最適な位置に位置調節してあることになる。したがって、ピアシング加工時間が最小のときにおける焦点位置に焦点位置を調節してレーザ切断加工を行うことにより、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
既に理解されるように、ワークWのレーザ切断加工を行うに先立って、ワークWに対する集光レンズ5の接近位置を種々変更することによってワークWに対する焦点位置を変更して複数回のピアシング加工を行ったときに検出した散乱光量の検出値が最小値となるときの焦点位置に焦点位置を調節してワークWのレーザ切断加工を行うものであるから、集光レンズ5の劣化等によって焦点位置が変化しているような場合であっても、レーザ切断加工時にはワークWの表面に対して焦点位置を適正の位置に調節した状態でもってレーザ切断加工が行われることとなるものである。したがって、レーザ切断加工を常に高精度に行うことができるものである。
ところで、前記説明においては、ワークWにピアシング加工を開始して、穴が貫通するまでの間の散乱光の光量を検出し、検出値が最小の値の焦点位置を求めている。しかし、散乱光量が最小になることはピアシング加工時間が最小になることに等しいから、ピアシング加工開始時から穴貫通時までの時間を検出し、複数回のピアシング加工時に検出した加工時間が最小のときの焦点位置を第1メモリ33に格納すると共に、加工プログラムにおける焦点位置のパラメータを、第1メモリ33に格納した焦点位置に更新する構成とすることも可能である。
この場合、制御装置15に貫通時間検出手段41を備える。そして、ワークWに対してレーザ光LBを照射してピアシング加工を開始すると、ワーク表面の金属が溶けて散乱光を発光するので、この散乱光を前記光センサ13によって検出したときから貫通時間(ピアシング加工時間)の計時を開始する。そして、ワークWに穴が貫通されると、ワークWの金属が溶けている部分が急激に少なくなって散乱光量が急激に少なくなるので、このときに計時を終了することによってピアシング加工の加工時間を検出することができるものである。
したがって、前述と同様に、検出したピアシング加工時間とそのときの焦点位置を関連付けて第1メモリ33に格納し、次のピアシング加工時のピアシング加工時間とそのときの焦点位置を関連付けて第2メモリ35に格納する。そして、前述したように、比較手段37によって第1,第2のメモリ33,35に格納されているピアシング加工時間を比較することを順次繰り返すことにより、最小のピアシング加工時間を求めることができる。したがって、この求めた最小のピアシング加工時間に対応した焦点位置に集光レンズ5の焦点位置を調節してレーザ切断加工を行うことにより、前述と同様の効果を奏し得るものである。
なお、本発明は前述したごとき実施形態に限ることなく、適宜の変更を行うことにより、その他の形態でも実施可能である。すなわち、前記説明においては、焦点位置を、A+B2,A+B1,A,A−B1,A−B2に順次変更して複数回のピアシング加工を順次行なう毎に、検出光電圧又はピアシング加工時間を検出し、前回の検出値と今回の検出値とを比較し、今回の検出値が小さい場合にはメモリに格納することを繰り返す。そして、今回の検出値が前回の検出値よりも大きくなったときに、前回の検出値が最小の値であるとしている。
しかし、加工条件における焦点位置Aを含み、この焦点位置Aを中心として+方向、−方向(上下方向)に焦点位置を調節して(A+B1,A+B2:A−B1,A−B2)、ワークに対する複数回のピアシング加工時の散乱光量をその都度検出した値(検出値)とその際の焦点位置とを関連付けて、例えば第1メモリ33にその都度記憶する構成とする。そして、上記メモリ33に記憶した全ての検出値を比較手段37によって比較して、最小の検出値を選択する構成とする。そして、この選択した最小の検出値に対応した位置に焦点位置を調節してレーザ切断加工を行う構成とすることもできるものである。
1 レーザ切断加工装置
3 レーザ加工ヘッド
5 集光レンズ
7 レーザ発振器
13 光センサ
15 制御装置
27 加工条件ファイル
29 光・電気変換手段
31 焦点位置調節手段
33 第1メモリ
35 第2メモリ
37 比較手段
39 軸動作制御手段
41 貫通時間検出手段

Claims (6)

  1. レーザ切断加工方法であって、板状のワークのレーザ切断加工を行うに先立って、ワークに対する集光レンズの接近位置を種々変更してワークに対する焦点位置を種々変更した複数回のピアシング加工を行い、この複数回のピアシング加工時においてピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの時間に検出した散乱光量の検出値が最小値のときの焦点位置を保持してワークのレーザ切断加工を行うことを特徴とするレーザ切断加工方法。
  2. レーザ切断加工方法であって、板状のワークのレーザ切断加工を行うに先立って、ワークに対する集光レンズの接近位置を種々変更してワークに対する焦点位置を種々変更した複数回のピアシング加工を行い、この複数回のピアシング加工時に検出した加工時間が最小のときの焦点位置を保持してワークのレーザ切断加工を行うことを特徴とするレーザ切断加工方法。
  3. レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光するための集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、ワークに対して前記集光レンズの焦点位置を調節する焦点位置調節手段と、ワークのピアシング加工時においてピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの時間の散乱光量を検出して電圧に変換する光・電気変換手段と、この光・電気変換手段によって変換した検出光電圧と前記焦点位置調節手段によって調節した焦点位置とを関連付けて記憶する第1のメモリと、次回のピアシング加工時においてピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの時間に検出した検出光電圧と焦点位置とを関連付けて記憶する第2のメモリと、前記第1メモリの検出光電圧と第2メモリの検出光電圧とを比較して小さい値を選択し、第1メモリを更新する比較手段と、この比較手段によって選択された検出光電圧に関連した焦点位置に焦点位置を調節する前記焦点位置調節手段と、を備えていることを特徴とするレーザ切断加工装置。
  4. レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光するための集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、ワークに対して前記集光レンズの焦点位置を調節する焦点位置調節手段と、ワークのピアシング加工時の貫通時間を検出するための貫通時間検出手段と、この貫通時間検出手段によって検出した貫通時間と前記焦点位置調節手段によって調節した焦点位置とを関連付けて記憶する第1のメモリと、次回のピアシング加工時に検出した貫通時間と焦点位置とを関連付けて記憶する第2のメモリと、前記第1メモリの貫通時間と第2メモリの貫通時間とを比較して小さい値を選択し、第1メモリを更新する比較手段と、この比較手段によって選択された貫通時間に関連した焦点位置に焦点位置を調節する前記焦点位置調節手段と、を備えていることを特徴とするレーザ切断加工装置。
  5. レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光するための集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、ワークに対して前記集光レンズの焦点位置を調節する焦点位置調節手段と、前記レーザ加工ヘッドの移動を制御するための制御装置における加工条件ファイルから選択された加工条件における焦点位置を含み、この焦点位置に対して+方向、−方向に焦点位置を調節してのワークに対する複数回のピアシング加工時においてピアシング加工を開始して穴が貫通するまでの時間の散乱光量をその都度検出して電圧に変換する光・電気変換手段と、この光・電気変換手段によって変換した複数回の検出光電圧と前記焦点位置調節手段によって調節した焦点位置とを関連付けて記憶するメモリと、前記メモリの複数回の検出光電圧を比較して最小値を選択する比較手段と、この比較手段によって選択された最小値の検出光電圧に関連した焦点位置に焦点位置を調節する前記焦点位置調節手段と、を備えていることを特徴とするレーザ切断加工装置。
  6. レーザ発振器から発振されたレーザ光を集光するための集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、ワークに対して前記集光レンズの焦点位置を調節する焦点位置調節手段と、前記レーザ加工ヘッドの移動を制御するための制御装置における加工条件ファイルから選択された加工条件における焦点位置を含み、この焦点位置に対して+方向、−方向に焦点位置を調節してのワークに対する複数回のピアシング加工時の貫通時間をその都度検出するための貫通時間検出手段と、この貫通時間検出手段によって検出した複数回の貫通時間と前記焦点位置調節手段によって調節した焦点位置とを関連付けて記憶するメモリと、前記メモリの貫通時間を比較して最小値を選択する比較手段と、この比較手段によって選択された最小値の貫通時間に関連した焦点位置に焦点位置を調節する前記焦点位置調節手段と、を備えていることを特徴とするレーザ切断加工装置。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2981287B1 (fr) * 2011-10-13 2013-12-27 Commissariat Energie Atomique Appareil et procede de decoupe au laser a impulsions de gaz asservies en frequence ou en pression
WO2013179430A1 (ja) * 2012-05-30 2013-12-05 三菱電機株式会社 レーザ加工方法、加工制御プログラムおよび加工制御装置
CN104002039B (zh) * 2014-04-29 2016-08-24 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光设备获取激光焦点的方法
JP6190855B2 (ja) * 2015-09-08 2017-08-30 株式会社アマダホールディングス レーザ加工方法およびレーザ加工装置
JP6423812B2 (ja) 2016-02-29 2018-11-14 ファナック株式会社 反射光を抑制しつつレーザ加工を開始できるレーザ加工装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60154892A (ja) * 1984-01-23 1985-08-14 Mitsubishi Electric Corp レーザ切断方法
JPH0813430B2 (ja) * 1988-10-05 1996-02-14 株式会社小松製作所 レーザ加工装置
JPH0481286A (ja) * 1990-07-21 1992-03-13 Kitagawa Iron Works Co Ltd レーザ加工装置
JPH067980A (ja) * 1992-06-29 1994-01-18 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工機
JP2830899B2 (ja) * 1994-01-28 1998-12-02 澁谷工業株式会社 レーザ加工機
JP4046852B2 (ja) * 1997-06-24 2008-02-13 株式会社アマダ レーザ加工機用支援装置及びこれを備えたレーザ加工機
JP2006167728A (ja) * 2004-12-13 2006-06-29 Yamazaki Mazak Corp レーザ加工機における集光レンズの汚れ検出方法及び装置
JP4774260B2 (ja) * 2005-09-26 2011-09-14 株式会社キーエンス レーザ加工条件設定装置、レーザ加工条件設定方法、レーザ加工条件設定プログラム、コンピュータで読み取り可能な記録媒体及び記録した機器並びにレーザ加工システム

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