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JP5531029B2 - 導電性フィルム及び導電性フィルムロール - Google Patents

導電性フィルム及び導電性フィルムロール Download PDF

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JP5531029B2 JP2012000736A JP2012000736A JP5531029B2 JP 5531029 B2 JP5531029 B2 JP 5531029B2 JP 2012000736 A JP2012000736 A JP 2012000736A JP 2012000736 A JP2012000736 A JP 2012000736A JP 5531029 B2 JP5531029 B2 JP 5531029B2
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Description

本発明は、指やスタイラスペン等の接触によって情報を入力することが可能な入力表示装置等に適用される導電性フィルム及び導電性フィルムロールに関する。
従来、フィルム基材の両面に形成された透明導電体層と、各透明導電体層の表面に形成された金属層とを備えた導電性フィルムが知られている(特許文献1)。このような導電性フィルムを、例えばタッチセンサに用いる際に、金属層を加工して、タッチ入力領域の外縁部に引き回し配線を形成することにより、狭額縁化を実現することが可能となっている。
特開2011−060146号公報
しかしながら、上記従来の導電性フィルムでは、該フィルムをロール状に巻き回した場合に、隣接するフィルム同士が圧着してしまうという問題がある。そして、圧着したフィルム同士を剥がすと、フィルム内の透明導電体層に傷が発生する場合があり、品質低下を招く虞がある。
本発明の目的は、導電性フィルムをロール状に巻き回した場合に、隣接するフィルムが圧着されずに高品質を維持することができる導電性フィルム及び導電性フィルムロールを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明に係る導電性フィルムは、フィルム基材と、前記フィルム基材の一方の側に形成された第1透明導電体層と、前記第1透明導電体層の前記フィルム基材とは反対側に形成された第1銅層と、前記フィルム基材の他方の側に形成された第2透明導電体層と、前記第2透明導電体層の前記フィルム基材とは反対側に形成された第2銅層と、前記第1銅層の前記第1透明導電体層とは反対側に形成され、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの第1酸化皮膜層とを備えることを特徴とする。
好ましくは、前記第1酸化皮膜層の厚みが、1.0nm〜8.0nmである。
また、好ましくは、前記第1酸化皮膜層は、酸化銅(I)を50重量%以上含み、且つ銅、酸化銅(II)、炭酸銅及び水酸化銅を含む組成物からなる。更に好ましくは、前記第1酸化皮膜層は、実質的に酸化銅(I)のみからなる。
前記導電性フィルムは、好ましくは、前記第2銅層に形成され、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの第2酸化皮膜層を更に備える。
また、上記目的を達成するために、本発明に係る導電性フィルムロールは、上記導電性フィルムをロール状に巻き回して構成されることを特徴とする。
本発明によれば、第1酸化皮膜層が第1銅層の第1透明導電体層とは反対側に形成されている。これにより、本導電性フィルムをロール状に巻き回した場合、第1銅層と第2銅層との間に第1酸化皮膜層が介在するので、第1銅層と第2銅層との金属結合を抑制することができる。また、酸化銅(I)を含有する第1酸化皮膜層の厚みを1nm〜15nmとすることで、隣接するフィルム同士が圧着しないため、第1透明導電体層に傷が生じることがなく、高品質を維持することができる。
また、第1酸化皮膜層の厚みが1.0nm〜8.0nmであるので、隣接するフィルム同士の圧着を確実に防止することができる。
さらに、第1酸化皮膜層は、酸化銅(I)を50重量%以上含み、且つ銅、酸化銅(II)、炭酸銅及び水酸化銅を含む組成物からなるので、隣接するフィルム同士の圧着を確実に防止することができる。
本発明の実施形態に係る導電性フィルムを巻き回した導電性フィルムロールの構成を概略的に示す斜視図である。 図1の導電性フィルムの変形例を示す部分拡大図である。 図1の導電性フィルムロールの変形例を示す斜視図である。
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本実施形態に係る導電性フィルムを巻き回した導電性フィルムロールの構成を概略的に示す斜視図である。尚、図1における各層の厚みは、その一例を示すものであり、本発明の導電性フィルムにおける各層の厚みは、図1のものに限られないものとする。
図1に示すように、本発明の導電性フィルム1は、フィルム基材2と、該フィルム基材の一方の側に形成された透明導電体層(第1透明導電体層)3と、透明導電体層3のフィルム基材2とは反対側に形成された銅層(第1銅層)4と、フィルム基材2の他方の側に形成された透明導電体層(第2透明導電体層)5と、透明導電体層5のフィルム基材2とは反対側に形成された銅層(第2銅層)6と、銅層4の透明導電体層3とは反対側に形成され、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの酸化皮膜層(第1酸化皮膜層)7とを備えている。
導電性フィルムロール8は、長尺状の導電性フィルム1をロール状に巻き回すことで構成されている。導電性フィルム1の長さは、代表的には100m以上であり、好ましくは、500m〜5000mである。導電性フィルムロール8の中心部には、通常、導電性フィルム1を巻き付けるためのプラスチック製又は金属製の巻芯9が配置される。
このような導電性フィルムロールは、銅層4の透明導電体層3とは反対側に、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの酸化皮膜層7を形成することによって、巻き取る際に導電性フィルムの間に合紙(slip sheet)を挿入しなくても圧着しないという優れた効果を奏する。これは、導電性フィルムをロール状に巻き取った際に、隣接する銅層4と銅層6との間に、自由電子を持たない酸化銅(I)を含有する酸化皮膜層7が介在することによって、銅層4と銅層6とが金属結合するのを防止することができるからと推測される。
なお、導電性フィルム1の変形例として、図2に示すように、導電性フィルム10は、銅層6上に、銅層4に形成された酸化皮膜層7と同様の酸化皮膜層11を更に有していてもよい。また、本発明の導電性フィルム1は、銅層4に形成された酸化皮膜層7を有しているが(図1)、これに代えて、銅層6に形成された酸化皮膜層11を有していてもよい(図3)。
次に、導電性フィルム1の各構成要素の詳細を以下に説明する。
(1)フィルム基材
本発明におけるフィルム基材は、透明導電体層3,5をそれぞれ支持するものである。上記フィルム基材の厚みは、例えば、20μm〜200μmである。上記フィルム基材を形成する材料としては、好ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリシクロオレフィン又はポリカーボネートである。このフィルム基材は、その表面に、透明導電体層とフィルム基材との密着性を高めるための易接着層、フィルム基材の反射率を調整するための屈折率調整層(Index-matching layer)、又はフィルム基材の表面に傷が付き難くするためのハードコート層を有していてもよい。
(2)透明導電体層
本発明に用いられる2つの透明導電体層は、上記フィルム基材の両面に各々形成される。これら透明導電体層の厚みは、好ましくはそれぞれ20nm〜80nmである。この透明導電体層は所定の透明導電体から構成され、透明導電体は、例えば、可視光領域で透過率が高く(最高透過率が80%以上)、且つ単位面積当たりの表面抵抗値(Ω/□:Ohms per square)が500Ω/□以下である材料が用いられる。この透明導電体を形成する材料は、好ましくはインジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物又は酸化インジウム−酸化亜鉛複合酸化物である。
(3)銅層
本発明に用いられる2つの銅層は、上記2つの透明導電体層にそれぞれ形成される。上記2つの銅層は、例えばタッチパネルに用いる際に、各銅層の中央部をエッチング加工して、タッチ入力領域の外縁部に引き回し配線を形成するために用いられる。
上記2つの銅層の厚みは、好ましくは20nm〜300nmであり、さらに好ましくは25nm〜250nmである。このような厚み範囲を有することによって、形成する引き回し配線を細くすることができる。
(4)酸化皮膜層
本発明に用いられる酸化皮膜層は、酸化銅(I)を含有し、銅層に関して透明導電体層の反対側に形成される。上記酸化皮膜層は、好ましくは、上記銅層が酸化する前に、その表面に密着するように形成される。
酸化銅(I)は、化学式:CuOで表される1価の酸化銅である。酸化皮膜層の酸化銅(I)の含有量は、好ましくは50重量%以上であり、さらに好ましくは60重量%以上である。
上記酸化皮膜層は、酸化銅(I)のみから構成されてもよいし、酸化銅(I)に加えて、銅(酸化されていない銅)、酸化銅(II)、炭酸銅、水酸化銅等を含んだ組成物から構成されてもよい。
この酸化皮膜層の厚みは、1nm〜15nmであり、好ましくは1.0nm〜8.0nmである。本発明の導電性フィルムは、上記厚みの範囲の酸化皮膜層を有することにより、接着或いは圧着を防止することができる。
上記酸化皮膜層の厚みが1nm未満である場合は、導電性フィルムロールで圧着が生じる虞があり、15nmを大きく超える場合は、導電性フィルムの生産性の低下を招く虞がある。
次に、本発明に係る導電性フィルムの製造方法を説明する。
先ず、長さ500m〜5000mのフィルム基材2のロールをスパッタ装置内に入れ、これを一定速度で繰り出す。そして、フィルム基材2の一方の面に、透明導電体層3、銅層4及び酸化皮膜層7をスパッタリングにより順次形成する。このとき、酸化皮膜層7の厚みが1nm〜15nmとなるよう制御する。次いで、フィルム基材の他方の面に、透明導電体層5、銅層6、及び必要に応じて酸化皮膜層11を、スパッタリングにより順次形成する。酸化皮膜層11を銅層6に形成する場合は、酸化皮膜層7と同様に、酸化皮膜層11の厚みが1〜15nmとなるよう制御する。
上記スパッタリングは、低圧気体中で発生させたプラズマ中の陽イオンを、負電極であるターゲット材に衝突させることにより、上記ターゲット材表面から飛散した物質を基板に付着させる方法である。この際、上記インジウムスズ酸化物層の成膜には、例えば酸化インジウムと酸化スズの焼成体ターゲットが用いられ、上記銅層の成膜には、無酸素銅(Oxygen-free copper)ターゲットが用いられる。上記酸化皮膜層の成膜には、酸化銅ターゲットを用いるか、或いは無酸素銅ターゲットを用いて、酸素ガスの存在下でスパッタリングすることにより達成できる。
尚、本実施形態では、導電性フィルムを構成する各層がスパッタ法により形成されるが、これに限らず、真空蒸着法により形成することも可能である。
上述したように、本実施形態によれば、酸化皮膜層7が銅層4の透明導電体層3とは反対側に形成されている。これにより、導電性フィルム1をロール状に巻き回した場合、銅層4と銅層6との間に酸化皮膜層7が介在するので、合紙等の他の部材を挿入することなく銅層4と銅層6との金属結合を抑制することができる。また、酸化銅(I)を含有する酸化皮膜層7の厚みを1nm〜15nmとすることで、隣接するフィルム同士が圧着しないため、透明導電体層3に剥離が生じることがなく、高品質を維持することができる。
以上、本実施形態に係る導電性フィルム及び導電性フィルムロールについて述べたが、本発明は記述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想に基づいて各種の変形および変更が可能である。
以下、本発明の実施例を説明する。
(実施例1)
先ず、長さ1000m、厚み100μmのポリシクロオレフィンフィルム(日本ゼオン社製 商品名「ZEONOR(登録商標)」からなるフィルム基材の一方の側に、厚み20nmのインジウムスズ酸化物層からなる第1透明導電体層を、スパッタ法により形成した。続いて、この第1透明導電体層の表面に、厚み50nmの第1銅層と、酸化銅(I)を80重量%含有する、厚み2.5nmの酸化皮膜層とを、スパッタ法により順次形成した。次に、上記フィルム基材の他方の側に、厚み30nmのインジウムスズ酸化物層からなる第2透明導電体層を、スパッタ法により形成した。続いて、この第2透明導電体層の表面に、厚み50nmの第2銅層をスパッタ法により形成した。
このように得られた導電性フィルムを、プラスチック製の巻芯に巻き取って、導電性フィルムロールを作製した。
(実施例2)
スパッタリング時間を変更することにより、第1酸化皮膜層の厚みを1.8nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
(実施例3)
スパッタリング時間を変更することにより、第1酸化皮膜層の厚みを5.0nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
(比較例1)
スパッタリング時間を変更することにより、第1酸化皮膜層の厚みを0.5nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
(比較例2)
第1酸化皮膜層を第1銅層に形成しなかったこと以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
次に、これら実施例1〜3および比較例1〜2を、以下の方法にて測定・観察した。
(1)酸化皮膜層の厚み、及び酸化銅(I)の含有量の測定
X線光電子分光(X-ray Photoelectron Spectroscopy)分析装置(PHI社製 製品名「QuanteraSXM」)を用いて、酸化皮膜層の厚みと、酸化皮膜層に含有される酸化銅(I)の重量%とを測定した。
(2)導電性フィルムの圧着の有無
導電性フィルムロールから導電性フィルムを巻き戻してロール表面を観察し、フィルム同士の圧着の有無を確認した。
上記(1)〜(3)の方法にて評価した結果を表1に示す。
一方、比較例1及び比較例2に示すように、酸化皮膜層の厚みを0nm〜0.5nmにすると、巻き戻しの際、剥離音が生じ、第1透明導電体層或いは第2透明導電体層の表面に多数の傷が生じた。
したがって、本発明の導電性フィルムの構成において、酸化皮膜層の厚みを1nm〜15nm、とりわけ1.8nm〜5.0nmにすると、隣接するフィルムが圧着されずに高品質を維持できることが分かった。
本発明に係る導電性フィルムは、好ましくは、ディスプレイサイズに切断加工され、静電容量式等のタッチセンサに使用される。
1 導電性フィルム
2 フィルム基材
3 透明導電体層
4 銅層
5 透明導電体層
6 銅層
7 酸化皮膜層
8,8’ 導電性フィルムロール
9,9’ 巻芯
10,20 導電性フィルム
11 酸化皮膜層

Claims (6)

  1. フィルム基材と、
    前記フィルム基材の一方の側に形成された第1透明導電体層と、
    前記第1透明導電体層の前記フィルム基材とは反対側に形成された第1銅層と、
    前記フィルム基材の他方の側に形成された第2透明導電体層と、
    前記第2透明導電体層の前記フィルム基材とは反対側に形成された第2銅層と、
    前記第1銅層の前記第1透明導電体層とは反対側に形成され、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの第1酸化皮膜層と、を備えることを特徴とする導電性フィルム。
  2. 前記第1酸化皮膜層の厚みが、1.0nm〜8.0nmであることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  3. 前記第1酸化皮膜層は、酸化銅(I)を50重量%以上含み、且つ銅、酸化銅(II)、炭酸銅及び水酸化銅を含む組成物からなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  4. 前記第1酸化皮膜層は、実質的に酸化銅(I)のみからなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  5. 前記第2銅層に形成され、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの第2酸化皮膜層を更に備えることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
  6. 請求項1から5のいずれか1項に記載の導電性フィルムをロール状に巻き回して構成されることを特徴とする導電性フィルムロール。
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