JP5531029B2 - 導電性フィルム及び導電性フィルムロール - Google Patents
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Description
前記導電性フィルムは、好ましくは、前記第2銅層に形成され、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの第2酸化皮膜層を更に備える。
本発明におけるフィルム基材は、透明導電体層3,5をそれぞれ支持するものである。上記フィルム基材の厚みは、例えば、20μm〜200μmである。上記フィルム基材を形成する材料としては、好ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリシクロオレフィン又はポリカーボネートである。このフィルム基材は、その表面に、透明導電体層とフィルム基材との密着性を高めるための易接着層、フィルム基材の反射率を調整するための屈折率調整層(Index-matching layer)、又はフィルム基材の表面に傷が付き難くするためのハードコート層を有していてもよい。
本発明に用いられる2つの透明導電体層は、上記フィルム基材の両面に各々形成される。これら透明導電体層の厚みは、好ましくはそれぞれ20nm〜80nmである。この透明導電体層は所定の透明導電体から構成され、透明導電体は、例えば、可視光領域で透過率が高く(最高透過率が80%以上)、且つ単位面積当たりの表面抵抗値(Ω/□:Ohms per square)が500Ω/□以下である材料が用いられる。この透明導電体を形成する材料は、好ましくはインジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物又は酸化インジウム−酸化亜鉛複合酸化物である。
本発明に用いられる2つの銅層は、上記2つの透明導電体層にそれぞれ形成される。上記2つの銅層は、例えばタッチパネルに用いる際に、各銅層の中央部をエッチング加工して、タッチ入力領域の外縁部に引き回し配線を形成するために用いられる。
本発明に用いられる酸化皮膜層は、酸化銅(I)を含有し、銅層に関して透明導電体層の反対側に形成される。上記酸化皮膜層は、好ましくは、上記銅層が酸化する前に、その表面に密着するように形成される。
先ず、長さ1000m、厚み100μmのポリシクロオレフィンフィルム(日本ゼオン社製 商品名「ZEONOR(登録商標)」からなるフィルム基材の一方の側に、厚み20nmのインジウムスズ酸化物層からなる第1透明導電体層を、スパッタ法により形成した。続いて、この第1透明導電体層の表面に、厚み50nmの第1銅層と、酸化銅(I)を80重量%含有する、厚み2.5nmの酸化皮膜層とを、スパッタ法により順次形成した。次に、上記フィルム基材の他方の側に、厚み30nmのインジウムスズ酸化物層からなる第2透明導電体層を、スパッタ法により形成した。続いて、この第2透明導電体層の表面に、厚み50nmの第2銅層をスパッタ法により形成した。
スパッタリング時間を変更することにより、第1酸化皮膜層の厚みを1.8nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
スパッタリング時間を変更することにより、第1酸化皮膜層の厚みを5.0nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
スパッタリング時間を変更することにより、第1酸化皮膜層の厚みを0.5nmに変更した以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
第1酸化皮膜層を第1銅層に形成しなかったこと以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
X線光電子分光(X-ray Photoelectron Spectroscopy)分析装置(PHI社製 製品名「QuanteraSXM」)を用いて、酸化皮膜層の厚みと、酸化皮膜層に含有される酸化銅(I)の重量%とを測定した。
導電性フィルムロールから導電性フィルムを巻き戻してロール表面を観察し、フィルム同士の圧着の有無を確認した。
2 フィルム基材
3 透明導電体層
4 銅層
5 透明導電体層
6 銅層
7 酸化皮膜層
8,8’ 導電性フィルムロール
9,9’ 巻芯
10,20 導電性フィルム
11 酸化皮膜層
Claims (6)
- フィルム基材と、
前記フィルム基材の一方の側に形成された第1透明導電体層と、
前記第1透明導電体層の前記フィルム基材とは反対側に形成された第1銅層と、
前記フィルム基材の他方の側に形成された第2透明導電体層と、
前記第2透明導電体層の前記フィルム基材とは反対側に形成された第2銅層と、
前記第1銅層の前記第1透明導電体層とは反対側に形成され、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの第1酸化皮膜層と、を備えることを特徴とする導電性フィルム。 - 前記第1酸化皮膜層の厚みが、1.0nm〜8.0nmであることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 前記第1酸化皮膜層は、酸化銅(I)を50重量%以上含み、且つ銅、酸化銅(II)、炭酸銅及び水酸化銅を含む組成物からなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 前記第1酸化皮膜層は、実質的に酸化銅(I)のみからなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 前記第2銅層に形成され、酸化銅(I)を含有する厚み1nm〜15nmの第2酸化皮膜層を更に備えることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルム。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の導電性フィルムをロール状に巻き回して構成されることを特徴とする導電性フィルムロール。
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