JP5466811B2 - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数の検査対象領域が形成された基板を検査する基板検査装置および基板検査方法に関する。

従来、半導体集積回路や液晶表示装置等の製造工程においては、基板検査装置を用いた検査が行われる。例えば、フォトレジストが表面に塗布された半導体基板やガラス基板等の基板に対して露光装置で露光を行った後の検査では、フォトレジストに転写された回路パターンにおける傷、汚れ、異物、露光不良等の欠陥の検出が行われる。このような検査の一種として、良品を撮像して得られた参照画像と、実際の基板上の検査対象領域であるチップとを検査者が目視で比較し、チップ上の欠陥の有無を判定するという方法をとる検査がある。特許文献１および２には、電子機器に用いられるプリント基板の検査に関して、参照画像を用いた検査方法が記載されている。

上記のような従来の検査では、複数のチップの検査を行う場合には、各チップ上の検査点毎に撮像を行って参照画像を取得し、登録（保存）していた。また、登録した参照画像を表示する場合には、検査者が、画面上の表示用ボタンを押下したり、参照したい参照画像を一覧から手動で選択したりする等の操作を行って参照画像を表示させていた。
特開平９−３０７２９９号公報 特開２００５−９１１６１号公報

従来の検査では、検査を行う各チップの検査点毎に参照画像を登録する必要があったため、参照画像によって記憶装置の記憶容量が圧迫されるという問題があった。また、参照画像を表示させるための手動操作が必要であったため、手動操作に時間がかかると検査効率が低下するという問題があった。

本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであって、参照画像の保存量を低減することができる基板検査装置および基板検査方法を提供することを第１の目的とする。また、本発明は、検査効率を向上させることができる基板検査装置および基板検査方法を提供することを第２の目的とする。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、設計上、同一のパターンを有する複数の検査対象領域が形成された基板を検査する基板検査装置において、代表的な検査対象領域である代表領域内の基準検査点で前記基板を撮像して得られた１枚の参照画像を記憶する参照画像記憶手段と、検査対象領域内の複数の第１の検査点に対応した前記代表領域内の前記基準検査点である第２の検査点における前記参照画像と、検査対象領域の位置を識別するチップ座標と、前記代表領域内における前記第２の検査点の位置を識別するチップ内相対座標とが関連付けられた検査情報を記憶する検査情報記憶手段と、前記複数の第１の検査点のそれぞれで検査を行う場合に、前記検査情報に基づいて、前記第１の検査点に対応した前記第２の検査点における前記参照画像を選択する参照画像選択手段と、前記参照画像選択手段によって選択された前記参照画像を表示する参照画像表示手段と、前記基板を撮像する撮像手段と、前記基板を撮像して得られたライブ画像を表示するライブ画像表示手段と、を備え、前記参照画像は、前記複数の第１の検査点のそれぞれで撮像されたライブ画像と前記参照画像との目視による比較において共通に使用されることを特徴とする基板検査装置である。

また、本発明は、設計上、同一のパターンを有する複数の検査対象領域が形成された基板を検査する基板検査方法において、代表的な検査対象領域である代表領域内の基準検査点で前記基板を撮像して得られた１枚の参照画像を記憶する参照画像記憶ステップと、検査対象領域内の複数の第１の検査点に対応した前記代表領域内の前記基準検査点である第２の検査点における前記参照画像と、検査対象領域の位置を識別するチップ座標と、前記代表領域内における前記第２の検査点の位置を識別するチップ内相対座標とが関連付けられた検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、前記複数の第１の検査点のそれぞれで検査を行う場合に、前記検査情報に基づいて、前記第１の検査点に対応した前記第２の検査点における前記参照画像を選択する参照画像選択ステップと、前記参照画像選択ステップによって選択された前記参照画像を表示する参照画像表示ステップと、前記基板を撮像して得られたライブ画像を表示するライブ画像表示ステップと、を備え、前記参照画像は、前記複数の第１の検査点のそれぞれで撮像されたライブ画像と前記参照画像との目視による比較において共通に使用されることを特徴とする基板検査方法である。

本発明によれば、第１の検査対象領域と第２の検査対象領域が、設計上、同一のパターンを有している場合には、各検査対象領域について共通の参照画像を用意しておき、各検査対象領域の検査では共通の参照画像を参照して検査を行うことが可能となるので、参照画像の保存量を低減することができる。また、本発明によれば、ライブ画像の表示領域に相当する基板上の観察領域内に含まれる検査点を検出し、その検査点に対応した参照画像を表示することによって、検査者の手動操作を省略することが可能となるので、検査効率を向上させることができる。

以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態による基板検査装置の構成を示している。この基板検査装置は、検査対象の基板の表面を拡大観察して検査するミクロ検査用の装置である。撮像部１は、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices）等の撮像素子を有しており、基板の表面を撮像して画像を生成する。顕微鏡部２は、基板を拡大観察するための顕微鏡を有している。撮像部１は、この顕微鏡部２が有する顕微鏡の観察像を撮像する。アライメント部３は、ステージ部４が有するステージ上に載置される基板のアライメントを行う。

ステージ部４は、基板を支持するステージとその移動機構とを有する。制御部５は基板検査装置内の各部の動作を制御する。表示部６は、液晶ディスプレイ等を有しており、撮像部１が撮像した画像や各種の情報を表示する。操作部７は、操作者（検査者）が操作するマウスやキーボード等を有している。記憶部８は、一時的または長期的に情報を保持するためのメモリやハードディスクドライブ等を有しており、参照画像や各種の情報を記憶する。

次に、本実施形態における検査方法を説明する。まず、レシピ（検査時の処理手順や設定条件等を示すデータ）の作成方法を説明する。図２はレシピの作成手順を示しており、適宜、図２を参照して説明を行う。レシピの作成の途中では、適宜、操作者が操作部７を操作して必要な情報を入力し、制御部５は、操作部７から出力される信号に基づいて入力内容を認識し、レシピに反映させる。

まず、制御部５は、チップ座標（各チップの位置を識別するための座標）を設定するため、基準とする（原点となる）チップの座標を示す情報と、座標の増加方向を示す情報とをレシピに格納する（ステップＳ１００）。図３はチップ座標の設定例を示している。図３には、基板３０１上に実際に存在するチップと実際には存在しないチップとの両方のチップと基板３０１の位置関係が示されている。図３では、左下に位置するチップ３０２が原点のチップであり、矢印３０３と３０４が座標の増加方向を示している。図３に示した例では、チップ３０２のチップ座標は（０，０）と表され、チップ３０５，３０６，３０７の各チップ座標はそれぞれ（０，１０）、（１０，１０）、（１０，０）と表される。

チップ座標の設定に続いて、制御部５は、チップ内相対座標を設定するため、チップ内の基準位置（原点）の座標を示す情報と、座標の増加方向を示す情報とをレシピに格納する（ステップＳ１１０）。チップ内相対座標は、チップ内における位置を識別するための座標であり、チップ内での相対的な位置が同一の点については、チップが異なっていても、チップ内相対座標は同一となる。チップ座標とチップ内相対座標により、チップ内の各点の絶対的な位置を識別することが可能となる。

図４はチップ内相対座標の設定例を示している。図４（ａ）では、チップ４０１の左下に位置する点４０２が原点であり、矢印４０３と４０４が座標の増加方向を示している。図４（ｂ）では、チップ４０５の左上に位置する点４０６が原点であり、矢印４０７と４０８が座標の増加方向を示している。図４（ｃ）では、チップ４０９の右上に位置する点４１０が原点であり、矢印４１１と４１２が座標の増加方向を示している。図４（ｄ）では、チップ４１３の右下に位置する点４１４が原点であり、矢印４１５と４１６が座標の増加方向を示している。図４（ｅ）では、チップ４１７の中心に位置する点４１８が原点であり、矢印４１９と４２０が座標の増加方向を示している。

チップ内相対座標の設定に続いて、制御部５はチップのサイズ（チップの横方向（Ｘ方向）および縦方向（Ｙ方向）の長さ）を示す情報をレシピに格納する（ステップＳ１２０）。続いて、制御部５は、検査を行うチップを設定するため、検査対象とするチップのチップ座標をレシピに格納する（ステップＳ１３０）。図５は検査対象のチップと検査点の設定例を示しており、チップ５０１，５０２，５０３が検査対象となっている。基板５０４上には、周期的な回路パターンが形成されており、チップ５０１，５０２，５０３上の回路パターンは、設計上、同一であるものとする。

検査対象のチップの設定に続いて、制御部５は、検査対象に設定したチップ内の検査点を設定するため、各検査点のチップ内相対座標をレシピに格納する（ステップＳ１４０）。図５に示した例では、検査対象に設定された３つのチップのそれぞれに対して４つの検査点が設定されている。すなわち、チップ５０１には検査点５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ，５０１ｄが設定され、チップ５０２１には検査点５０２ａ，５０２ｂ，５０２ｃ，５０２ｄが設定され、チップ５０３には検査点５０３ａ，５０３ｂ，５０３ｃ，５０３ｄが設定されている。

検査点５０１ａ，５０２ａ，５０３ａのチップ内の相対位置が同一であるので、各検査点のチップ内相対座標は同一である。同様に、検査点５０１ｂ，５０２ｂ，５０３ｂのチップ内相対座標は同一であり、検査点５０１ｃ，５０２ｃ，５０３ｃのチップ内相対座標は同一であり、検査点５０１ｄ，５０２ｄ，５０３ｄのチップ内相対座標は同一である。したがって、４つの検査点のチップ内相対座標がレシピに格納される。

検査点の設定に続いて、参照画像の撮像が行われ、参照画像が記憶部８に保存される（ステップＳ１５０）。この際に、操作者によって操作部７が操作され、ステージの移動指示が入力される。制御部５は、操作部７から出力される信号に基づいてこの移動指示を検出し、ステージを移動するための信号をステージ部４へ出力する。ステージ部４は、この信号に基づいてステージを駆動し、基板の載置されたステージを移動させる。所望の検査点が撮像部１の撮像視野に入っている状態で撮像が行われ、参照画像が生成される。制御部５は、生成された参照画像を記憶部８に格納する。

本実施形態では、複数の検査対象のチップが、設計上、同一のパターンを有している場合には、それらのチップのうちの代表的なチップ（以下、代表チップとする）の検査点のみで撮像を行えばよい。図５の例では、チップ５０１が代表チップに選択され、検査点５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ，５０１ｄのそれぞれで撮像が行われ、参照画像が生成される。生成された参照画像は、３つのチップについて共通の参照画像となる。図５の例の場合、従来は１２個の検査点のそれぞれについての１２個の参照画像を保存する必要があったが、本実施形態では４個の参照画像のみを保存すればよい。

参照画像の撮像に続いて、制御部５は、生成された参照画像の情報（参照画像のファイル名等）と、その参照画像が撮像された検査点のチップ内相対座標とを関連付けてレシピに格納し、完成したレシピを記憶部８に格納する（ステップＳ１６０）。上述した各ステップが終了すると、レシピの作成が終了する。これによって、設定された全ての検査点に対して、対応する参照画像が設定されたことになる。

図５の例では、チップ５０２，５０３で撮像が行われていないが、例えば検査点５０２ａ，５０３ａはチップ５０１内の検査点５０１ａと関連付けられているため、検査点５０２ａ，５０３ａに対しては、検査点５０１ａにおける参照画像が設定されていることになる。チップ５０２，５０３内のその他の検査点についても、チップ５０１内の検査点のいずれかにおける参照画像が設定されていることになる。

図６は、図５に示した手順に従ってレシピを作成した後に記憶部８に格納される情報の内容を示している。図６は、図５の例に対応している。第１の参照画像６０１ａ、第２の参照画像６０１ｂ、第３の参照画像６０１ｃ、第４の参照画像６０１ｄはそれぞれ、図５のチップ５０１内の検査点５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ，５０１ｄのそれぞれで撮像された画像である。レシピ６０２（検査情報）は、図２に示した手順に従って生成されたレシピである。本来、レシピには様々な情報が含まれるが、図６に示したレシピ６０２では、主に本実施形態に特有の情報が図示されており、その他の情報の図示は省略されている。

チップ座標設定情報６０３は、検査対象に設定されたチップ５０１，５０２，５０３のチップ座標を示す情報である。チップ座標が図３のように設定されているものとすると、チップ５０１，５０２，５０３の座標はそれぞれ（３，８）、（７，２）、（７，８）となる。検査点設定情報６０４は、設定された検査点に関する情報であり、検査点のチップ内相対座標を示している。ここでは、代表チップであるチップ５０１内の検査点５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ，５０１ｄのチップ内相対座標（Ｘ１，Ｙ１）、（Ｘ２，Ｙ２）、（Ｘ３，Ｙ３）、（Ｘ４，Ｙ４）がレシピ６０２に設定されている。

参照画像設定情報６０５は、参照画像に関する情報であり、４つの参照画像の識別情報（ファイル名等）を示している。どの参照画像がどの検査点についてのものであるのかを識別できるように、検査点のチップ内相対座標と参照画像の識別情報とが関連付けられている。チップサイズ設定情報６０６は、チップサイズに関する情報であり、Ｘ方向サイズおよびＹ方向サイズを示している。チップ内相対座標設定情報６０７は、チップ内相対座標の形態を示す情報であり、原点位置と座標増加方向を示している。チップ座標設定情報６０８は、チップ座標の形態を示す情報であり、原点位置と座標増加方向を示している。

チップ座標６０３と検査点設定情報６０４により、チップ５０１，５０２，５０３内の全ての検査点の位置を識別することが可能となる。また、検査点設定情報６０４が示す各検査点のチップ内相対座標に対して、参照画像設定情報６０５が示す参照画像が関連付けられているので、検査点の位置が特定されれば、レシピ６０２に基づいて、その検査点に対応した参照画像を選択することが可能となる。

次に、レシピを用いた検査方法を説明する。図７は検査手順を示しており、適宜、図７を参照して説明を行う。まず、検査対象の基板に対して、操作者によって指示されたレシピが割り付けられる（ステップＳ２００）。続いて、基板が基板検査装置内に搬入され（ステップＳ２１０）、アライメント部３によって基板のアライメントが行われる（ステップＳ２２０）。アライメント後、基板はステージ上に載置される（ステップＳ２３０）。

続いて、ミクロ検査が開始され（ステップＳ２４０）、ステージが移動する（ステップＳ２５０）。ステージの移動に関しては、レシピに設定された検査点の座標を装置が認識し、その座標へステージを自動的に移動させてもよいし、操作者が指示した任意の位置へ装置がステージを自動的に移動させてもよい。ステージの移動に伴って、制御部５はステージ部４からステージの座標を取得する（ステップＳ２６０）。また、図示していないが、撮像部１によって撮像が行われ、画像（以下、検査時に周期的に基板を撮像して得られたこの画像をライブ画像とする）が制御部５へ出力される。制御部５はライブ画像を表示部６へ出力し、表示部６にライブ画像を表示させる。

ステップＳ２６０に続いて、制御部５は、ステージの座標をチップ内相対座標に変換する（ステップＳ２７０）。これは以下のようにして行われる。撮像部１の絶対位置は検査中に変化しないため、ステージの座標から、基板に対する撮像部１の相対位置が決まる。したがって、撮像部１の撮像視野の中心位置すなわちライブ画像の中心位置に相当する基板上の点の位置が求まる。すると、レシピに含まれるチップ座標とチップサイズの設定情報（図６のチップ座標設定情報６０８とチップサイズ設定情報６０６）から、この点の属するチップのチップ座標が求まる。さらに、レシピに含まれるチップ内相対座標の設定情報（図６のチップ内相対座標設定情報６０７）から、この点のチップ内相対座標が求まる。

ステップＳ２７０に続いて、制御部５は、表示部６の画面に表示されているライブ画像の表示領域に相当する基板上の観察領域の基準点のチップ内相対座標を算出する（ステップＳ２８０）。以下、図８を参照し、この処理の詳細を説明する。図８では、チップ内相対座標の増加方向が矢印８０１および８０２の方向であるものとする。顕微鏡の対物レンズの倍率（観察倍率）に応じて、基板上の観察領域の大きさが変わるが、予めこれらの関係を求めることが可能である。観察倍率を１０倍とすると、図８に示すように、ライブ画像の表示領域８０３の横幅（ライブ画像表示Ｘ長とする）に相当する実際の基板上の観察領域の横幅は例えば１９００μｍであり、表示領域８０３の縦幅に相当する実際の基板上の観察領域の縦幅（ライブ画像表示Ｙ長とする）は例えば１４２６μｍである。

ライブ画像を撮像している基板上の位置を示す点８０４がライブ画像の表示領域８０３の中心に表示され、この点８０４のチップ内相対座標が（０，０）である場合、例えば表示領域８０３の左上の基準点８０５の座標は（−９５０，７１３）と求まり、右下の基準点８０６の座標は（９５０，−７１３）と求まる。これらの２点（４点等でもよい）によって、ライブ画像の表示領域８０３に相当する基板上の観察領域が規定される。このように、観察倍率から求まるライブ画像表示Ｘ長およびライブ画像表示Ｙ長と、ステップＳ２７０で求まった、ライブ画像の基準位置に相当する基板上の点のチップ内相対座標とから、ライブ画像の表示領域内の任意の点に相当する基板上の点のチップ内相対座標を算出することが可能である。

ステップＳ２８０に続いて、制御部５は、レシピに登録された検査点が基板上の観察領域内に含まれるか否かを判定する（ステップＳ２９０）。以下、再び図８を参照してこの処理の詳細を説明する。ステップＳ２７０において、ライブ画像を撮像している基板上の位置を示す点８０４の属するチップのチップ座標が求まっているので、そのチップ内の検査点が基板上の観察領域内に含まれるか否かを判定することが可能である。

制御部５は、検査点の位置を示す情報と、基板上の観察領域の位置を示す情報とに基づいて、検査点が基板上の観察領域に含まれるか否かを判定する。より具体的には、制御部５は、レシピに設定されている検査点のチップ内相対座標と、ステップＳ２８０で求めた基板上の観察領域の基準点のチップ内相対座標とを比較し、比較結果に基づいて判定を行う。

例えば、検査点のチップ内相対座標と図８の基準点８０５，８０６のチップ内相対座標とが比較され、検査点のＸ方向のチップ内相対座標が基準点８０５のＸ方向座標（−９５０）と基準点８０６のＸ方向座標（９５０）との間にあり、かつ検査点のＹ方向のチップ内相対座標が基準点８０５のＹ方向座標（７１３）と基準点８０６のＹ方向座標（−７１３）との間にある場合には、検査点が基板上の観察領域に含まれると判定され、その他の場合には、検査点が基板上の観察領域に含まれないと判定される。検査点のチップ内相対座標が例えば（４２５，３５６）である場合、この検査点は基板上の観察領域に含まれることになる。図８において、点８０７がこの検査点の位置を示している。

ステップＳ２９０において、検査点が基板上の観察領域内に含まれると判定された場合には、制御部５は、レシピに基づいて、その検査点に対応した参照画像を選択する。例えば、制御部５は、図６の検査点設定情報６０４および参照画像設定情報６０５を参照し、検査点のチップ内相対座標と関連付けられている参照画像の識別情報を取得する。続いて、制御部５は、その識別情報が示す参照画像を記憶部８から読み出し、表示部６へ出力して参照画像を表示させる（ステップＳ３００）。参照画像を表示する際には、観察倍率に合わせて参照画像を拡大または縮小して表示する等の処理を行ってもよい。

ステップＳ２９０において、検査点が基板上の観察領域内に含まれないと判定された場合には、上記のステップＳ３００がスキップされる。続いて、ミクロ検査を終了するか否かが制御部５によって判定され（ステップＳ３１０）、レシピに設定された全ての検査点の検査が終了した場合には、ミクロ検査が終了する。また、レシピに設定された検査点のうち未検査の検査点がある場合には、ステップＳ２５０に戻り、検査が継続される。

上述したように、本実施形態によれば、複数のチップが、設計上、同一のパターンを有している場合には、各チップについて共通の参照画像を用意しておき、各チップの検査では共通の参照画像を参照して検査を行うことが可能となるので、参照画像の保存量を低減することができる。また、ライブ画像の表示領域に相当する基板上の観察領域内に含まれる検査点を検出し、その検査点に対応した参照画像を表示することによって、画面上の表示用ボタンを押下したり、参照したい参照画像を一覧から手動で選択したりする等の手動操作を省略することが可能となるので、検査効率を向上させることができる。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成は上記の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、上記の実施形態では、検査点の属するチップ座標と検査点のチップ内相対座標とによって検査点を区別しているが、検査点の絶対座標によって検査点を区別してもよい。したがって、参照画像に関連付けて各検査点の絶対座標をレシピに登録してもよい。

本発明の一実施形態による基板検査装置の構成を示すブロック図である。 本発明の一実施形態におけるレシピの作成手順を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態におけるチップ座標の設定例を示す参考図である。 本発明の一実施形態におけるチップ内相対座標の設定例を示す参考図である。 本発明の一実施形態における検査対象チップと検査点の設定例を示す参考図である。 本発明の一実施形態において記憶部に格納される情報の内容例を示す参考図である。 本発明の一実施形態における検査手順を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態において、ライブ画像の表示領域とチップ内相対座標の関係を示す参考図である。

符号の説明

１・・・撮像部（撮像手段）、２・・・顕微鏡部、３・・・アライメント部、４・・・ステージ部（移動手段）、５・・・制御部（参照画像選択手段）、６・・・表示部、７・・・操作部、８・・・記憶部（参照画像記憶手段、検査情報記憶手段）

Claims (6)

1. 設計上、同一のパターンを有する複数の検査対象領域が形成された基板を検査する基板検査装置において、
   代表的な検査対象領域である代表領域内の基準検査点で前記基板を撮像して得られた１枚の参照画像を記憶する参照画像記憶手段と、
   検査対象領域内の複数の第１の検査点に対応した前記代表領域内の前記基準検査点である第２の検査点における前記参照画像と、検査対象領域の位置を識別するチップ座標と、前記代表領域内における前記第２の検査点の位置を識別するチップ内相対座標とが関連付けられた検査情報を記憶する検査情報記憶手段と、
   前記複数の第１の検査点のそれぞれで検査を行う場合に、前記検査情報に基づいて、前記第１の検査点に対応した前記第２の検査点における前記参照画像を選択する参照画像選択手段と、
   前記参照画像選択手段によって選択された前記参照画像を表示する参照画像表示手段と、
   前記基板を撮像する撮像手段と、
   前記基板を撮像して得られたライブ画像を表示するライブ画像表示手段と、
   を備え、
   前記参照画像は、前記複数の第１の検査点のそれぞれで撮像されたライブ画像と前記参照画像との目視による比較において共通に使用される
   ことを特徴とする基板検査装置。
2. 前記基板を移動する移動手段と、
   前記移動手段によって移動される前記基板の位置に基づいて、前記ライブ画像の表示領域に相当する前記基板上の観察領域の位置を検出する位置検出手段と、
   前記基板内における前記第１の検査点の位置を示す情報と、前記前記基板上の観察領域の位置を示す情報とに基づいて、前記第１の検査点が前記観察領域内に含まれるか否かを判定する判定手段とをさらに備え、
   前記参照画像選択手段は、前記第１の検査点が前記観察領域内に含まれていると判定された場合に、前記検査情報に基づいて、前記第１の検査点に対応した前記第２の検査点における前記参照画像を選択する
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記参照画像を表示する際に観察倍率に合わせて前記参照画像を拡大または縮小して表示することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査装置。
4. 設計上、同一のパターンを有する複数の検査対象領域が形成された基板を検査する基板検査方法において、
   代表的な検査対象領域である代表領域内の基準検査点で前記基板を撮像して得られた１枚の参照画像を記憶する参照画像記憶ステップと、
   検査対象領域内の複数の第１の検査点に対応した前記代表領域内の前記基準検査点である第２の検査点における前記参照画像と、検査対象領域の位置を識別するチップ座標と、前記代表領域内における前記第２の検査点の位置を識別するチップ内相対座標とが関連付けられた検査情報を記憶する検査情報記憶ステップと、
   前記複数の第１の検査点のそれぞれで検査を行う場合に、前記検査情報に基づいて、前記第１の検査点に対応した前記第２の検査点における前記参照画像を選択する参照画像選択ステップと、
   前記参照画像選択ステップによって選択された前記参照画像を表示する参照画像表示ステップと、
   前記基板を撮像して得られたライブ画像を表示するライブ画像表示ステップと、
   を備え、
   前記参照画像は、前記複数の第１の検査点のそれぞれで撮像されたライブ画像と前記参照画像との目視による比較において共通に使用される
   ことを特徴とする基板検査方法。
5. 移動する前記基板の位置に基づいて、前記ライブ画像の表示領域に相当する前記基板上の観察領域の位置を検出する位置検出ステップと、
   前記基板内における前記第１の検査点の位置を示す情報と、前記観察領域の位置を示す情報とに基づいて、前記第１の検査点が前記観察領域内に含まれるか否かを判定する判定ステップとをさらに備え、
   前記参照画像選択ステップでは、前記第１の検査点が前記観察領域内に含まれていると判定された場合に、前記検査情報に基づいて、前記第１の検査点に対応した前記第２の検査点における前記参照画像を選択することを特徴とする請求項４に記載の基板検査方法。
6. 前記参照画像表示ステップでは、観察倍率に合わせて前記参照画像を拡大または縮小して表示することを特徴とする請求項５に記載の基板検査方法。

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