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JP5441986B2 - 固体撮像装置およびカメラ - Google Patents

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Description

本発明は、画像を電気信号に変換する固体撮像装置に関するものであり、特に画素ごと、もしくは複数画素ごとに増幅器を有する能動画素センサ(Active-Pixel-Sensor,以下「APS」という)に関するものである。
APSである固体撮像装置は、CMOSセンサとも呼ばれ、デジタルカメラ等に広く応用されている。このような従来の固体撮像装置について、図11〜14を用いて説明する。
図11は、従来技術における固体撮像装置の画素の平面レイアウト図である。
図12は、図11において線X−Xに沿っての断面構造図である。
図13は、図12において線Y−Yに沿っての濃度プロファイルである。
図14は、図11の固体撮像装置に用いた画素の等価回路図である。
図14において、121は光を信号電荷に変換するフォトダイオードであり、122以下はフォトダイオードを駆動させ、あるいはフォトダイオード121の信号電荷を処理するための処理回路を示している。122はフォトダイオードで発生した信号電荷を転送する転送MOSトランジスタ、123は転送された信号電荷を一時的に蓄えておく浮遊拡散領域(「フローティングディフュージョン」ともいう)、124は浮遊拡散領域123及びフォトダイオード121をリセットするためのリセットMOSトランジスタ、125は浮遊拡散領域123の信号電荷を電圧に変換してソースフォロワ型増幅器で増幅するソースフォロワMOSトランジスタ、126はアレイ中の任意の1行を選択するための選択MOSトランジスタ、127は1つの列で共通化され画素電圧信号を読み出す読み出し線である。各画素は、アレイ状に配置され固体撮像装置を構成する。
図11,12において、光電変換部のフォトダイオードは、N型基板101上のP型のウエル領域(以下、「PWL」という)102とN領域103のPN接合から成り、107は、N+領域であり、例えば、フォトダイオードで発生した信号電荷を増幅する回路の一部であるソースフォロワMOSトランジスタのソース・ドレイン領域となるN+領域である。
従来技術のAPSにおいては、光電変換部であるフォトダイオードのN領域103を暗電流発生の大きな源の一つとして、N領域103の面全体で発生する成分のほかに、周辺部の分離層105近傍で発生する暗電流成分が存在する。この発生源である分離層105からフォトダイオードのN領域103を離すとともに、分離層105とフォトダイオードのN領域103の間にP型不純物濃度の高いP+ガード層(チャネルストップ層)104を配置していた。この目的は、フォトダイオードのN領域103から延びる空乏層を分離層に到達させないことである。このような構成の一例として、下記特許文献1がある。また、下記特許文献2においては、分離領域上のポリ配線の下において著しく発生電流が生じることが報告されており、このP+ガード層104は、ポリ配線(又はポリゲート)106が配置されている分離領域下のP型濃度を高くするとともに、N領域103への経路に対し、濃度障壁を形成し、暗電流抑制の効果がなされていた。
特開平10−308507号公報 特開2003−258229号公報
しかしながら、このようなP+ガード層を設けた場合においてもPWLの濃度プロファイルを深くしフォトダイオードでの光電変換の量子効率を向上させるPWL構造を有した場合、暗電流が増加する問題が発生するという新たな技術課題を見出した。
具体的には、図13に示すように、PWL1102−1の濃度プロファイルから、PWL2102−2にすることで暗電流が十数パーセントの割合で増加する。更にPWL3102−3のプロファイルにすると数十パーセントのオーダで暗電流が増加する。このことは、従来の空乏層が分離層に接するために暗電流が発生するという考え方からでは説明できない現象である。また、ウエルが深くなることによって、更に隣接画素からの漏れ込み電荷が増加する問題も発生していた。具体的には、飽和した画素からあふれだした電荷が隣の画素へと漏れ込むブルーミング現象の悪化や混色などの問題である。
そこで、本発明の目的は、P+ガード層を設けた場合においてもPWLの濃度プロファイルを深くしフォトダイオードでの光電変換の量子効率を向上させるPWL構造を有した場合、暗電流、ブルーミング及び混色などを大幅に抑制することにある。
本発明の1つの側面は、複数の画素を含む固体撮像装置において、各画素は、第一導電型の半導体領域内に配された第二導電型の第一の不純物領域を含んで構成された光電変換部を含み、第一の画素における前記第一の不純物領域と前記第一の画素に隣接する第二の画素における前記第一の不純物領域との間であって前記半導体領域内に、前記第一の画素に含まれるトランジスタの一部を構成する第二導電型の第二の不純物領域が配置され、前記第二の不純物領域と前記第一の画素における前記第一の不純物領域との間の素子分離層の下に、前記半導体領域の濃度よりも不純物濃度が高い第一導電型の第三の不純物領域が配置され、前記第三の不純物領域の下に前記第三の不純物領域に接して第一導電型の第四の不純物領域が配置され、前記半導体領域は、第一の層と、前記第一の層の下に配置された第二の層とを含み、前記第三の不純物領域が前記第一の層の側方に配置され、前記第四の不純物領域が前記第二の層の側方に配置されており、前記第一の層と前記第二の層とは、それぞれ異なるエネルギ条件のイオン注入により作製され、前記第三の不純物領域は、前記第一の層と同一のエネルギ条件のイオン注入により作製され、前記第四の不純物領域は、前記第二の層と同一のエネルギ条件のイオン注入により作製される、ことを特徴とする。
本発明によれば、APS構造を有する固体撮像装置においてPWL構造に応じ、最適なP+ガード構造を提供し、暗電流、ブルーミング及び混色などを大幅に抑制することが可能となった。
本発明の実施形態1における固体撮像装置の画素の平面レイアウト図 本発明の図1において線X−Xに沿っての断面構造図 本発明の実施形態2における固体撮像装置の画素の断面構造図 本発明の実施形態3における固体撮像装置の画素の平面レイアウト図 暗電流、混色、ブルーミングが発生する経路を示す図 実施例1におけるPWLの濃度プロファイル 実施例2における固体撮像装置の画素の断面構造図 実施例3におけるPWL及びP+ガード層の濃度プロファイル 濃度プロファイルを用いて実施例5を説明する図 実施例5における固体撮像装置の画素の平面レイアウト図 従来技術における固体撮像装置の画素の平面レイアウト図 図11において線X−Xに沿っての断面構造図 図12において線Y−Yに沿っての濃度プロファイル 図11に用いた画素の等価回路図 従来技術の課題を説明するための画素の断面構造図(i) 従来技術の課題を説明するための画素の断面構造図(ii) 本発明による固体撮像装置をカメラに応用する場合の回路ブロックの例を示した図
まず、本発明の原理及び手段について詳細に説明する。本発明者らは、上述の課題に対して鋭意検討した結果、次のような解決手段を見出した。
P+ガード層は、その濃度が濃いため、MOSトランジスタ側の分離層からは少し離して配置することが有用である。P+ガード層がMOSトランジスタ側の分離層に接して配置された場合、狭チャンネル現象が生じ、MOSトランジスタの実効的なチャネル幅が減少し、微細な画素を形成するのが困難になるからである。したがって、そのレイアウト上の問題から、図12に示すように、ポリ配線106下でもP+ガード層がない領域がどうしても残ってしまう。従来においては、この領域から発生した電流は、そのほとんどが経路2を通ってMOSトランジスタのN+領域107に排出されると考えられていた。しかし、一部は経路3によりN型基板101に、またその一部がP+ガード層の下を通ってフォトダイオードのN領域103に排出されることを見出した。特に、深い濃度プロファイルを有するPWL構造において、経路4による暗電流が増加するというPWL構造と暗電流の関係を見出したのである。
更に詳しく説明する。例えば、ポリ配線106下で発生した電子のうち、100(単位は任意)が経路2以外(経路3及び経路4)に流れる。例えば、PWL1102−1の濃度プロファイルでは、この内90が経路3に、残り10が経路4に流れる。面全体で発生している暗電流成分にこの成分が上乗せされることになる。これに対し、PWL2102−2の濃度プロファイルでは、例えば、80が経路3に、残り20が経路4に流れる。この結果暗電流成分が増加する。これに対し、PWL3102−3の構造では、深い部分に濃度障壁ができるため、経路3が大幅に減少し、この結果経路4は例えば50程度にまで増加する場合がある。
以下、本発明の具体的な実施形態について説明するが、従来の装置と共通する部分については同じ符号を用いる。なお、本明細書では、材料基板である半導体基板を「基板」と表現しているが、このような基板が処理されて、例えば、1又は複数の半導体領域等が形成された状態の部材、又は、一連の製造工程を途中にある部材、又は、一連の製造工程を経た部材を基板と呼ぶこともできる。また、基板内の不純物領域の位置関係において、深いとは半導体素子が形成された一主面もしくは受光面を基準にして基板の深さ方向の距離を指す。
[実施形態1]
図1は、本発明の実施形態1における固体撮像装置の画素の平面レイアウト図である。
図2は、図1において線X−Xに沿っての断面構造図である。
図2において、204は実施形態1に特有のP+ガード層である。
本発明は、図2に示すように、以下の構造をとることで上述の暗電流発生のモデルによって暗電流を大幅に減少させるものである。そのような構成としては、(イ)P+ガード層204をN型基板101近傍まで延在させ、かつ(ロ)P+ガード層204と隣接する画素のP+ガード層204の間にN+領域107を配置する構成である。このN+領域107は、例えば信号電荷の増幅に用いるソースフォロワMOSトランジスタなどのソース・ドレイン領域となるN+領域である。この場合には、増幅部が画素間に形成された形となる。
なお、ここではP+ガード層、N+領域としているが、これは、P+ガード層に関しては光電変換部を形成する103で示される領域と反対導電型の不純物領域であればよく、N+領域とは該不純物領域の反対導電型の不純物領域であればよい。ここで図1には、複数の画素(図では2×2=4画素)が形成されている。
(イ)の構造は、図2における経路4への流れを抑制し、(ロ)の構造は、経路2への流れを促し、結果的に経路4への流れを減少させるものである。
特に、図13で示したようなPWLの濃度プロファイルPWL3102−3(濃度プロファイルが従来のものよりも深い、または深い位置に濃度のピークを有する(リトログレードウエル構造))においては、特に、経路3が大幅に抑制されることから、元来経路3に流れるはずの電子が行き場を無くし、経路4に流れるケースが増えてくる。これに対して、(イ)の構造だけではなく、(ロ)の構造を併せ持った構成によって経路4を大幅に抑えることが可能となる。
図15,16は、従来技術の課題を説明するための画素の断面構造図(i),(ii)である。
図16に示すように、右の画素の右側の素子分離部にN+領域を配置しなければ、発生電子を吸い込む場所がないため、最終的にはフォトダイオードのN領域103に流れ込んでしまう。また、図16中央にあるような、Pガード層を104−1のように配置しても、閉じ込め効果がないため、やはりフォトダイオードのN領域103に流れ込んでしまう。
次に、隣接画素からの漏れ込み電荷が増加する現象について、図15,16を用いて説明する。
浅いPWL構造においては、図15の経路6は考える必要はなく、経路5が主であった。経路5においては、N+領域を設ければ、該領域に吸い込まれるため、ブルーミング現象や混色はきわめて小さいものであった。
これに対し、深いPWL構造を採用することで、経路6が生じる割合が増加する。特に図13のPWL3102−3のような構造にすると、濃度の障壁があるため暗電流のN型基板101への経路が抑制されるため、経路6を通って隣接画素へ流れ込む電荷が増大する。前述の(イ)の構造は、隣接画素へ流れ込む際にP+ガード層が濃度障壁となり、隣接画素への漏れ込みを抑制する。図16を用いて説明すると、図の中央部に示す構造においてPガード層104−1でもその機能は有するものの、Pガード層104−1がMOSトランジスタのウエルを兼ねるため濃度設定の自由度が低くなる。
これに対して、本発明の図2に示す構造によって、すなわち、画素間のN+領域が形成されるPウエルがP+ガード層によって挟まれる構造によって、隣接画素に漏れ込むには2重の濃度障壁を越える必要があり、更に隣接画素のP+ガード層204の濃度障壁を越えるまえにN+領域107が存在するため、暗電流がこのN+領域107に吸い込まれることにより、P+ガード層204の濃度障壁を越える頻度が大幅に抑制される。
[実施形態2]
図3は、実施形態2における固体撮像装置の画素の断面構造図である。
図3に示す構造では、P+ガード層304の下部に、光電変換部と隣接する画素の光電変換部との間に、MOSトランジスタの下部にわたって配置されたP+ガード層3041を有する。P+ガード層304−1は、MOSトランジスタのウエルとは別に濃度設定しており高い濃度障壁を設けることができる。濃度障壁を越えたわずかな電荷もP+ガード層304−1の濃度プロファイルを最適化することで、N+領域107への排出を促し、隣接画素への漏れ込みを更に抑制することが可能である。
[実施形態3]
図4は、実施形態3における固体撮像装置の画素の平面レイアウト図である。
図4に示すように、P+ガード層404を環状とし、その中に光電変換部と電荷電圧変換部(浮遊拡散領域)が含まれるように配置すると更に暗電流、ブルーミング及び混色などを更に抑制された固体撮像装置を提供することができる。
図5は、暗電流、混色、ブルーミングが発生する経路を示す図である。
図5に示すように、P+ガード層504を前述のように配置すると、経路4−1、経路6−1が残り、わずかではあるが暗電流、ブルーミング及び混色が残るが、図4に示すような構造をとると、P+ガード層404により経路4−1、経路6−1が抑制されるとともに、P+ガード層404で覆われた領域内に電荷電圧変換部を配置することで過剰電荷、暗電流電荷の排出先にすることができる。更にはこの部分を蓄積期間中固定電圧に設定することでより能力の高い排出口にすることができる。この排出口がない場合、濃度障壁により障壁は高くなり、経路は抑制されるものの、過剰に電荷が発生した場合は、この濃度障壁すらも越えて隣接画素に流れ込んでしまう。この排出口を設けることで過剰な電荷が排出され、経路4−1、経路6−1を大幅に抑制することができる。
すなわち、本発明において重要なことは、濃度障壁を設けるだけでなく、電荷の排出口を設け、その排出口へ流れ易い構造を設けることである。
本実施例は、ウエル内に光電変換部及び増幅部を設けた構成となっている。
図6は、本実施例におけるPWLの濃度プロファイルである。
図6(a)中濃度プロファイルPWL1602−1は、従来のPWL構造であり、PWL2602−2は、本実施例のPWL構造である。従来のウエル構造に比べて深くすることによって、より深い部分で発生したキャリアをフォトダイオードに捕獲することができるため、感度向上をさせることが可能となる。
本発明のように、暗電流や混色などの問題が性能に影響するのは、概ねデジタルカメラやビデオなどに搭載される、可視光センサである。可視光センサにおいては、人間の視感度に重きをおいて設計され、好ましくは半導体層での分光感度のピークが波長=550nm近傍になるようにする。すなわち、図6(a)に示す光信号分水嶺が約4μm程度になるのが理想となる。
従って、本発明はその性能上特に可視光センサに有効でありPWLの深さは理想的には、4μmであり、その実質的な適用範囲は1〜6μm程度が目安となる。
図6(b)は、P+ガード層の濃度プロファイルである。PWL構造が深くなったことで従来からある表面からの第1のP+ガード領域604−1では図中Cに示す「光電荷がN領域103に流れる境界深さ(光信号分水嶺)」にまで達しない。そこで、本実施例においては、第2のP+ガード領域604−2を設けた。
第1のP+ガード層を「C」まで延在させるには、横への広がりが問題となり、画素の微細化が困難である。この横広がりの影響でフォトダイオードのN領域が実質的に小さくなるため、本実施例においては、第1のP+ガード領域より深い位置に第1のP+ガード領域形成とは異なるイオン注入エネルギで第2のP+ガード領域を形成した。
この結果、暗電流は、次の表1に示すような比率で改善した。
Figure 0005441986
このように、本実施形態によれば、PWLを深くすることによって、フォトダイオードで捕獲できるキャリアを増加させることによって感度を向上させるような構成においても、暗電流を浅い場合とほぼ同じレベルにまで低減させることが可能となった。
図7は、実施例2における固体撮像装置の画素の断面構造図である。
図7において、P+ガード層704、P+ガード層704−1を形成した場合と、P+ガード層704、P+ガード層704−1、P+ガード層704−2を形成した場合について説明する。
本実施例の特徴は、P+ガード層704、P+ガード層704−1、P+ガード層704−2のそれぞれの幅が、(P+ガード層704)<(P+ガード層704−1)<(P+ガード層704−2)という関係にあることである。好ましくは、実施例1の通り、第2のP+ガード領域(P+ガード層704−1)が「C」まで到達していることであるが、この第2のP+ガード領域が「C」まで到達していなくとも、この第2のP+ガード領域を第1のP+ガード領域とは別の工程(異なるイオン注入条件を含む)で形成するだけで効果的な特性改善が見られた。第1のP+ガード領域にあたるP+ガード層704は、MOSトランジスタやフォトダイオードのN領域に接することから、その幅や濃度にも制限があり、十分に大きくとることができなかった。
この制限を有した状態で、第1のP+ガード領域を深い方向に延在させるのに比べて、本実施例においては、P+ガード層704−1をP+ガード層704とは別に設けることで前述のMOSトランジスタやフォトダイオードの性能を劣化させることなく濃度及び幅を設定することが可能になった。すなわち、P+ガード層704−1の濃度をP+ガード層704の濃度よりも高くまた、幅も広く設定することが可能になった。幅を広く設定する手法としては、別マスクにより実施した。また、P+ガード層704と同一マスクで行う場合には、P+ガード層704−1の形成の際には斜めイオン注入法を用いて実施すればよい。
この結果、暗電流及び混色率は、次の表2に示すような比率で改善した。
Figure 0005441986
また、P+ガード層704−2は、増幅部の下にも配置されている。更には、フォトダイオードのN領域の下の一部まで及んでいる。本実施例の特徴は、構造的には、深い位置にある光電荷がフォトダイオードのN領域103に、暗電流電荷や混色電荷などの画像形成には用いない電荷をN+領域107に正しく捕獲、排出する構造となっている。加えて、製造上の観点からも好適である。すなわち、深い位置にP+ガード層を設ける場合に高エネルギでイオン注入を行う必要があるが、その際はレジストを厚くしなければならない。この結果必然的に解像能力が劣化し、細かい解像が困難になる。本実施例の構造を用いれば、前述の製造上の問題も回避できる。
図3に示す構造でもその効果を確認した。すなわち、実質的には、図3の構造でも十分にその効果を得ることができる。しかし、前述したとおり図7の構造を適用することで更に大きな効果を得ることができる。また、その適用範囲を広げることができる。
図8は、実施例3におけるPWL及びP+ガード層の濃度プロファイル図である。
図8(a)は、本実施例のPWL構造の濃度プロファイルを示す。図に示すとおりPWLをエネルギの異なる複数のイオン注入を繰り返し作製したものであり、PWL3802−3,PWL4802−4は、複数の不純物濃度ピークを持った複数のウエルから形成されている。
図8(b)は、P+ガード層の濃度プロファイルを示したものである。PWLと同一の注入エネルギ条件で作製した。作製工程は、PWL及びP+ガード層のイオン注入後に分離層を形成するために、LOCOS法で作製した。804−1〜804−4は、それぞれ第1〜4のP+ガード領域を示している。図8(b)の細線は図8(a)における802−4PWL4を示す。
また、図8(c)は、図8(b)と同一の注入エネルギ条件であるものの、LOCOS法による分離層を形成した後に、PWL及びP+ガード層のイオン注入を行って作製した。いずれも、暗電流、ブルーミング及び混色などを大幅に抑制された良好な特性が得られた。特に、(c)においては、PWLのプロファイルにおいて、濃度に山や谷が存在し、電荷が滞在し易い谷の部分の濃度障壁を高くすることができた。
更に、本実施例においては第4のP+ガード領域804−4は、光信号分水嶺に達していないが、図中に示す通りP+ガード領域が不足している領域で発生した光電荷は、その濃度勾配のため、直ちに濃度の低いPWLに流れ込むため、この部分での隣接画素への漏れ込みは十分小さく、本実施例に示すような構造でも、十分に抑制効果があることが確認できた。
本実施例には、もう一つ大きな特徴がある。PWL及びP+ガード層を複数回のイオン注入工程で形成することにより、各深さで適切な濃度を選択し、より高いセンサ性能を引き出すことができることである。具体的には、図中フォトダイオードのN領域103下部にある濃度の高いP型の不純物層である。この不純物層は、フォトダイオードの取り扱い電荷量を多く得るためには、5E16cm−3以上の濃度が好適である。また、最も深く位置するP型の不純物層は、感度向上のためには1E17cm−3以上が好適である。加えてそれらの中間にあるP型の不純物層は最も深く位置するP型の不純物層に比べ1/5から1/10の濃度が信号電荷をフォトダイオードに流し込むには好適である。
また、このようにセンサ性能向上するために、設計されたPWL構造に対しP+ガード層もPWL構造に対応して、設計する必要があり、本実施例のように第1のP+ガード領域とは独立に第2及び第3のガード領域を設けることが、複数のピークを有する、複数のウエルを有するセンサの性能向上のためには特に有効である。
図8(a)〜(c)において各濃度の概ねの値について述べる。図中PWLはトランジスタとも共存する必要から表面濃度で1E16〜3E17cm−3、最も深い位置にあるPWLの濃度は最大でも1E18cm−3であり、中間のPWLはその値より小さい値であり、好ましくは1/2以下である。ただし、1/2以下でなくとも、改善の傾向は得られるものである。上記構造により、より効率的に光電荷をフォトダイオードに集めることができる。加えて、このガード領域は、好ましくはそれぞれのPWLに対し2倍以上の濃度が高いとより効果的である。しかし、濃度を高くすることで改善の傾向は得られるものである。
本実施例は、図4の実施形態3に対応するものである。
濃度プロファイルは、図8(c)と同様な条件で作製した。
この結果、暗電流等は、次の表3に示すような比率で改善した。
Figure 0005441986
本実施例においては、図4のような画素レイアウトを採用することで、図5に示す経路を抑えることができ、図1の深いガード層を有するものに比べて、更にセンサ特性を改善することができた。なお、表で示す深いガード層とは、複数回のイオン注入工程で形成された804-2〜4の少なくともいずれか一つである。
実施例3で述べた構成について、本実施例を用い更に詳細に説明する。
図9は、濃度プロファイルを用いて実施例5を説明する図である。
入射光により深い位置で発生した光電荷は、濃度が無限に一様であれば、ほぼ等方的に拡散輸送により広がっていく。すなわち、発生した光電荷は過剰電荷であるため、その過剰キャリアを一様にするために等方的に広がる。図9において、901は基板の不純物濃度、902−4はPWLの不純物濃度、903は光電変換部を形成するN型領域の不純物濃度を示す。904−4はP+ガード層(以下、「ガードリング」という)の不純物濃度、908は光電変換部のN型領域の表面に形成されたP型不純物領域の不純物濃度を示す。
実際は、これに対し、フォトダイオード側がフォトダイオードのPN接合により空乏化しており、電子濃度が低いため、この電子濃度差により拡散輸送による電流量は増加する。このため、大部分の光キャリアがフォトダイオードに到達するわけであるが、数%が隣接画素へ漏れ込んでしまう。これを抑制するためには、他の輸送機構でフォトダイオードに流れ易くする必要がある。そこで、本実施例においては、不純物濃度に勾配をつけることで、ポテンシャル勾配を形成し、その電界によりフォトダイオード側に流れるようにする。
拡散電流は、D×(dn/dx) Dは拡散定数、nはキャリア濃度を表す。
ドリフト電流は、μ×n×E Eは電界を表す。
また、一般的な光によるキャリアの発生量は概ね〜10万電子/画素/秒であることを考慮すれば、概ね一桁程度の不純物の濃度勾配を設ければ十分な効果が得られる。
図9において、図中、実線はフォトダイオード下の濃度プロファイルであり、破線は本実施例のガードリングの濃度プロファイルである。
図9(a)の構造では、概ね混色は抑制されるものの、わずかな量が領域Fを介して、隣接画素へ漏れ込んでしまう場合がある。混色をより抑制するためには、(b)のようにガードリングを位置C近傍まで深くする必要がある。このためには、ガードリングを高エネルギでイオン注入する必要がある。すなわち膜厚が厚いレジストでかつ微細なパターニングを必要とする。これに対し、図9(c)のように、濃度差を深い位置に集中させ、その分中間層の濃度勾配を小さく抑えその領域での混色は深いガードリングで抑制する構造とすることによって、簡易なプロセスで混色を低減できる。
すなわち、フォトダイオードの濃度プロファイルを大きく3つの領域に分け、
(1)濃度勾配の大きい深い領域(好ましくは1桁/1.5μm)
(2)濃度勾配のないもしくは小さい中間領域
(3)フォトダイオードのある浅い領域
このような構成にすることにより、深い部分では、ポテンシャル勾配により横方向への拡散が抑えられ、中間層はガードリングで混色を抑制することが可能となる。具体的には、Cを3.5μmとし、ボロン約2.5MeVのイオン注入で形成し、ピークの濃度を2E17cm−3程度とした。約2μm程度の位置で中間領域となりボロン約1.5MeVのイオン注入で深いガードリングを形成した。この効果として、深いガードリングを、比較的容易な中程度のイオン注入で、高い混色抑制力を得ることができた。
次に、中間領域のガードリングの濃度であるが、フォトダイオード下の濃度に対し、ガードリング幅1μmに対し、少なくとも約5倍、この好ましくは約10倍程度の濃度を有することで約1%以下の混色までに抑制することが可能である。この深いガードリングは、表面デバイスであるMOSトランジスタ下などにも配置することも可能であり、それは従来の浅い位置のガードリングに比べ、同じ濃度であればより高い抑止効果を得ることができる。また同じ抑止効果であれば、白キズやトランジスタへのダメージを抑制するために濃度を抑えることが可能となる。
本実施例においては、MOSトランジスタなどの電極の下にも深いガードリングを設けることでより高い混色抑止効果を得られることであるが、断面構造として、その電極が必須というわけではなく、そのどこか一部にN+の電極が配置されていればよい。幅広いガードリングを配置することだけでも混色抑止効果を有する。
図10は、実施例5における固体撮像装置の画素の平面レイアウト図である。
1103はフォトダイオードのN領域、1104はガードリング、1106はポリシリコン配線、1105は浮遊拡散領域、1107はN+領域、すなわちMOSトランジスタの電極領域である。領域Aや領域BはMOSトランジスタなどの電極が配置されてない領域ではあるものの、この領域下にも幅の広い深いガードリングを配置することで、本発明による混色抑止効果を十分に得られる。その深いガードリング領域の一部にでもN+の電極が配置されていれば、最終的に混色の原因となるキャリアはその電極に流れる。
[カメラ本体への応用]
図15は、本発明による固体撮像装置をカメラに応用する場合の回路ブロックの例を示した図である。
撮影レンズ1002の手前にはシャッタ1001があり、露出を制御する。絞り1003により必要に応じ光量を制御し、固体撮像装置1004に結像させる。固体撮像装置1004から出力された信号は撮像信号処理回路1005で処理され、A/D変換器1006によりアナログ信号からディジタル信号に変換される。出力されるディジタル信号はさらに信号処理部1007で演算処理される。処理されたディジタル信号はメモリ部1010に蓄えられたり、外部I/F部1013を通して外部の機器に送られる。固体撮像装置1004、撮像信号処理回路1005、A/D変換器1006、信号処理部1007はタイミング発生部1008により制御される他、システム全体は全体制御部・演算部1009で制御される。記録媒体1012に画像を記録するために、出力ディジタル信号は全体制御部・演算部で制御される記録媒体制御I/F部1011を通して、記録される。
101…N型基板
102…PWL
103…N領域
204…P+ガード層
105…分離層
106…ポリ配線
107…N+領域
108…表面P+ガード層

Claims (13)

  1. 複数の画素を含む固体撮像装置において、
    各画素は、第一導電型の半導体領域内にされた第二導電型の第一の不純物領域を含んで構成された光電変換部を含み、
    第一の画素における前記第一の不純物領域と前記第一の画素に隣接する第二の画素における前記第一の不純物領域との間であって前記半導体領域内に、前記第一の画素に含まれるトランジスタの一部を構成する第二導電型の第二の不純物領域が配置され、
    前記第二の不純物領域と前記第一の画素における前記第一の不純物領域との間の素子分離層の下に、前記半導体領域の濃度よりも不純物濃度が高い第一導電型の第三の不純物領域が配置され、
    前記第三の不純物領域の下に前記第三の不純物領域に接して第一導電型の第四の不純物領域が配置され、
    前記半導体領域は、第一の層と、前記第一の層の下に配置された第二の層とを含み、前記第三の不純物領域が前記第一の層の側方に配置され、前記第四の不純物領域が前記第二の層の側方に配置されており、
    前記第一の層と前記第二の層とは、それぞれ異なるエネルギ条件のイオン注入により作製され、
    前記第三の不純物領域は、前記第一の層と同一のエネルギ条件のイオン注入により作製され、
    前記第四の不純物領域は、前記第二の層と同一のエネルギ条件のイオン注入により作製される、ことを特徴とする固体撮像装置。
  2. 前記トランジスタは、前記第一の不純物領域で発生した信号電荷を増幅する増幅部を構成する、ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 前記第四の不純物領域は、前記第二の不純物領域の下方に延在する部分を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
  4. 前記トランジスタの入力端子には、信号電荷を電圧変換する電荷電圧変換部が接続されており、
    前記第三および第四の不純物領域は、前記第一の不純物領域および前記電荷電圧変換部を、それらを含む領域の側方から全周的に囲むように配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  5. 前記第四の不純物領域は、複数の不純物層から成る、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  6. 前記第四の不純物領域の幅は、前記第三の不純物領域の幅よりも大きい、ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置。
  7. 複数の画素を含む固体撮像装置において、
    各画素は、第一導電型の半導体領域内に形成された第二導電型の第一の不純物領域を含んで構成された光電変換部を含み、
    第一の画素における前記第一の不純物領域と前記第一の画素に隣接する第二の画素における前記第一の不純物領域との間であって前記半導体領域内に、前記第一の画素に含まれるトランジスタの一部を構成する第二導電型の第二の不純物領域が配置され、
    前記第二の不純物領域と前記第一の画素における前記第一の不純物領域との間の素子分離層の下に、前記半導体領域の濃度よりも不純物濃度が高い第一導電型の第三の不純物領域が配置され、
    前記第三の不純物領域の下に前記第三の不純物領域に接して第一導電型の第四の不純物領域が配置され、
    前記半導体領域は、第一の層と、前記第一の層の下に配置された第二の層とを含み、前記第三の不純物領域が前記第一の層の側方に配置され、前記第四の不純物領域が前記第二の層の側方に配置されており、
    前記第一の層と前記第二の層とは、それぞれ異なるエネルギ条件のイオン注入により作製され、
    前記第三の不純物領域と前記第四の不純物領域とは、それぞれ異なるエネルギ条件のイオン注入により作製され、
    前記第一の層の不純物濃度ピークの高さは、前記第二の層の不純物濃度ピークの高さよりも高く、
    前記第三の不純物領域の不純物濃度ピークの高さは、前記第一の層の不純物濃度のピークの高さよりも高く、
    前記第四の不純物領域の不純物濃度ピークの高さは、前記第二の層の不純物濃度のピークの高さよりも高い、ことを特徴とする固体撮像装置。
  8. 前記トランジスタは、前記第一の不純物領域で発生した信号電荷を増幅する増幅部を構成する、ことを特徴とする請求項7に記載の固体撮像装置。
  9. 前記第四の不純物領域は、前記第二の不純物領域の下方に延在する部分を含むことを特徴とする請求項7又は8に記載の固体撮像装置。
  10. 前記トランジスタの入力端子には、信号電荷を電圧変換する電荷電圧変換部が接続されており、
    前記第三および第四の不純物領域は、前記第一の不純物領域および前記電荷電圧変換部を、それらを含む領域の側方から全周的に囲むように配置されている、ことを特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  11. 前記第四の不純物領域は、複数の不純物層から成る、ことを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
  12. 前記第四の不純物領域の幅は、前記第三の不純物領域の幅よりも大きい、ことを特徴とする請求項11に記載の固体撮像装置。
  13. 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
    該固体撮像装置から出力された信号を処理する信号処理回路と、
    前記固体撮像装置の受光面に、被写体を結像させるための光学部材とを有することを特徴とするカメラ。
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