JP5082316B2 - 集光ブロック - Google Patents
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Description
例えば一般的な半導体レーザアレイは、長さ約10mm、厚さ約0.2mm、幅約1mmの外形寸法の半導体レーザチップをヒートシンクにマウントしたもので、この中に厚さ方向に約1μm、長さ方向に約150μmの発光部がピッチ約500μmで10数個集積化されている。そして1個の発光部からは約2Wの出力のレーザ光が出射される。これらを集光してパワー密度を高くして励起光として用いたり、直接加工光源として用いたりすれば、金属の溶接や穴あけ、切断等を行うことができる。
レーザ光の集光性は「ビーム径*広がり角」で示されるビームパラメータプロダクトに依存し、上述のような半導体レーザアレイの場合、長軸方向のビームパラメータプロダクトは0.2mm・mrad程度で、短軸方向のビームパラメータプロダクトは200mm・mradである。このため、集光する場合、長軸方向には比較的容易に小さく集光できるが、短軸方向に小さく集光することは比較的困難である。
また、特許文献2及び特許文献3に記載された従来技術では、半導体レーザスタックまたは半導体レーザアレイから出射される光束を短軸方向に2分割し、分割した光束を長軸方向の間隔が小さくなるように並べて光束の密度を高くしている。
また、空間からプリズムに光束が入射される面には、表面での反射を考慮する場合、反射防止膜を施す必要があり、反射防止膜を施す面の数が増えるとコストも高くなる。
また、半導体レーザアレイ(または半導体レーザスタック)から出射された光束を短軸方向に平行光に変換しない場合、出射されてから集光されるまでの経路において、空間を伝送する距離が長いと、短軸方向への広がり角θsの影響で短軸方向への広がりが大きくなり、集光の効率が低下する可能性があり、好ましくない。
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、半導体レーザアレイ等から出射される光束について、空間での伝送距離をより短くし、プリズム内に閉じ込めて伝送する伝送距離をより長くすることで、長軸方向及び短軸方向への拡散を抑制し、前記光束を集光する効率をより向上させることができる集光ブロックを提供することを課題とする。
請求項1に記載の集光ブロックは、入射された光を入射方向に直交する幅方向に2分割した第1分割光と第2分割光とに分ける分割反射面を有する分割プリズムと、複数のプリズムで構成されて前記第1分割光を内部に閉じ込めて伝送する第1プリズム群と、複数のプリズムで構成されて前記第2分割光を内部に閉じ込めて伝送する第2プリズム群と、で構成され、前記入射された光を集光する集光ブロックである。
前記分割プリズムは、底面が直角二等辺三角形の三角柱状の形状を有し、底面の直角二等辺三角形の直角を形成している2つの側面である自身の2つの直角形成側面が前記光の入射方向に向くように配置され、自身の2つの直角形成側面である前記分割反射面にて前記入射された光を前記幅方向に2分割し、当該光の入射方向に直交する方向であり且つ互いに反対となる方向に進行する第1分割光と第2分割光とに分割し、前記第1分割光を前記第1プリズム群に入射するとともに、前記第2分割光を前記第2プリズム群に入射する。
前記第1プリズム群は、前記第1分割光が入射されると、当該第1分割光の進行方向を、前記入射方向に直交する任意の方向に変換するように反射しながら、当該第1プリズム群の第1出射面へと前記第1分割光をプリズム内で伝送する第1伝送経路を構成している。
そして、前記第1プリズム群は、底面が直角二等辺三角形の三角柱状の形状を有する第1方向変換プリズム及び第2方向変換プリズムにて構成されており、前記第1方向変換プリズム及び前記第2方向変換プリズムは、前記分割プリズムに入射された光の入射方向に底面が直交するように配置されており、前記第1方向変換プリズムは、底面の直角二等辺三角形の斜辺を形成している側面である自身の斜辺形成側面が、前記分割プリズムにて分割された第1分割光に直交するように向けられて配置されており、自身の斜辺形成側面から入射された第1分割光を、底面の直角二等辺三角形の直角を形成している自身の2つの直角形成側面における一方の直角形成側面から他方の直角形成側面に向けて反射し、反射された第1分割光を、さらに他方の直角形成側面から自身の斜辺形成側面に向けて反射して自身の斜辺形成側面から第1分割光を出射させることで、自身の斜辺形成側面に直交する方向から入射された第1分割光を、自身の斜辺形成側面において前記第1分割光が入射された位置とは異なる位置から、入射時とは反対方向に出射し、前記第2方向変換プリズムは、自身の2つの直角形成側面における一方の直角形成側面が、前記第1方向変換プリズムから出射された第1分割光と直交するように配置され、一方の直角形成側面から入射された第1分割光を、自身の斜辺形成側面にて他方の直角形成側面である第1出射面に向けて反射し、反射された第1分割光を前記第1出射面から出射する。
前記第2プリズム群は、前記第2分割光が入射されると、当該第2分割光の進行方向を、前記入射方向に直交する任意の方向に変換するように反射しながら、当該第2プリズム群の第2出射面へと前記第2分割光をプリズム内で伝送する第2伝送経路を構成している。
そして、前記第2プリズム群は、底面が直角二等辺三角形の三角柱状の形状を有する第3方向変換プリズム及び第4方向変換プリズムにて構成されており、前記第3方向変換プリズム及び前記第4方向変換プリズムは、前記分割プリズムに入射された光の入射方向に底面が直交するように配置されており、前記第3方向変換プリズムは、底面の直角二等辺三角形の斜辺を形成している側面である自身の斜辺形成側面が、前記分割プリズムにて分割された第2分割光に直交するように向けられて配置されており、自身の斜辺形成側面から入射された第2分割光を、底面の直角二等辺三角形の直角を形成している自身の2つの直角形成側面における一方の直角形成側面から他方の直角形成側面に向けて反射し、反射された第2分割光を、さらに他方の直角形成側面から自身の斜辺形成側面に向けて反射して自身の斜辺形成側面から第2分割光を出射させることで、自身の斜辺形成側面に直交する方向から入射された第2分割光を、自身の斜辺形成側面において前記第2分割光が入射された位置とは異なる位置から、入射時とは反対方向に出射し、前記第4方向変換プリズムは、自身の2つの直角形成側面における一方の直角形成側面が、前記第3方向変換プリズムから出射された第2分割光と直交するように配置され、一方の直角形成側面から入射された第2分割光を、自身の斜辺形成側面にて他方の直角形成側面である第2出射面に向けて反射し、反射された第2分割光を前記第2出射面から出射する。
また、前記第1方向変換プリズムは前記分割プリズムと隣り合わせに配置され、前記第2方向変換プリズムは前記第1方向変換プリズムと隣り合わせに配置され、前記第3方向変換プリズムは前記分割プリズムと隣り合わせに配置され、前記第4方向変換プリズムは前記第3方向変換プリズムと隣り合わせに配置され、前記第2方向変換プリズムと前記第4方向変換プリズムは隣り合わせに配置されている。
そして、前記第1出射面と前記第2出射面とを前記入射方向に直交する方向に沿って隣り合うように並べて配置し、前記第1出射面から出射される前記第1分割光と、前記第2出射面から出射される前記第2分割光とを、前記第1分割光と前記第2分割光の前記幅方向と進行方向とに直交する厚さ方向に隣り合うように並べて出射することで、前記入射された光を集光する。
また、前記入射された光は、進行方向に直交する厚さ方向に対しては平行光であり且つ進行方向と厚さ方向とに直交する幅方向に対しては所定角度で広がりながら進行する光であり、前記第1プリズム群は、前記第1分割光の幅方向の長さに対応するプリズム幅を有する前記第1方向変換プリズム及び前記第2方向変換プリズムにて構成されており、伝送する前記第1分割光の幅を前記プリズム幅に維持して伝送し、前記第2プリズム群は、前記第2分割光の幅方向の長さに対応するプリズム幅を有する前記第3方向変換プリズム及び前記第4方向変換プリズムにて構成されており、伝送する前記第2分割光の幅を前記プリズム幅に維持して伝送する。
前記第1プリズム群の第1出射面と前記第2プリズム群の第2出射面とを隣り合うように並べて配置する代わりに、前記第1出射面が前記合波プリズムの第1入射面と一致するように第1伝送経路を構成し、前記第2出射面が前記合波プリズムの第2入射面と一致するように第2伝送経路を構成し、前記第1プリズム群は、第1偏光方向を有する前記第1分割光を、前記第1伝送経路にて前記合波プリズムの前記第1入射面に伝送し、前記第2プリズム群は、第1偏光方向を有する前記第2分割光を、前記第2伝送経路にて前記位相差部材を通過させて偏光方向を第2偏光方向に変換した後、前記合波プリズムの前記第2入射面に伝送する。
そして、前記合波プリズムは、前記第1入射面及び前記第2入射面から入射された前記第1分割光と前記第2分割光とを重ね合わせて前記第3出射面から出射することで、前記入射された光を集光する。
そして、前記第1プリズム群は、前記第1分割光の幅方向の長さに対応するプリズム幅を有する複数のプリズムで構成されており、伝送する前記第1分割光の幅を前記プリズム幅に維持して伝送する。
また、前記第2プリズム群は、前記第2分割光の幅方向の長さに対応するプリズム幅を有する複数のプリズムで構成されており、伝送する前記第2分割光の幅を前記プリズム幅に維持して伝送する。
前記集光ブロックに、前記プリズム幅以下の第1幅と前記プリズム厚さ以下の第1厚さと所定の偏光方向を示す第1偏光方向とを有する第1光と、前記プリズム幅以下の第2幅と前記プリズム厚さ以下の第2厚さと前記第1偏光方向を有する第2光とを、前記集光ブロックにおける側面の異なる位置に設けられた第3入射面と第4入射面とから入射する。
前記第4入射面は、前記第3入射面よりも前記4出射面から遠い位置に設けられており、前記第3入射面から入射された第1光が到達する位置には、当該第3入射面から入射された第1光が第1偏光方向である場合に、入射された光の進行方向を前記第4出射面の方向に変換し、前記第1偏光方向に直交する第2偏光方向の光を透過する選択反射面が設けられており、前記第4入射面から入射された第2光が到達する位置には、当該第4入射面から入射された第2光の進行方向を前記第4出射面の方向に変換する反射面が設けられており、前記第4入射面から前記選択反射面に至る第2光の経路には、第1偏光方向の光を、第1偏光方向に直交する第2偏光方向の光に変換する位相差部材が設けられている。
そして、前記第4入射面から入射された前記第2光を、前記反射面にて進行方向を変換し、前記選択反射面を透過させて前記第4出射面に到達させる経路にて伝送し、前記第3入射面から入射された前記第1光を、前記選択反射面にて進行方向を変換し、前記第4出射面に到達させる経路にて伝送し、前記第1光と前記第2光とを重ね合わせて前記第4出射面から出射することで集光する。
第1分割光と第2分割光とをプリズム内に閉じ込めて伝送するため、長軸方向及び短軸方向への拡散を抑制することが可能であり、光束を集光する効率をより向上させることができる。
このように、重ね合わせることで、光束の密度を更に高くすることができる。また、第1分割光と第2分割光とをプリズム内に閉じ込めて伝送するため、長軸方向及び短軸方向への拡散を抑制することが可能であり、光束を集光する効率をより向上させることができる。
これにより、光束を集光する効率をより向上させることができる。
また、集光ブロックの構造が非常に単純であり、偏光方向が揃った異なる2つの光が有る場合、容易に重ね合わせて集光することができる。
図2は、本発明の集光ブロック10を用いたレーザ発生装置100の一実施の形態における概略構成図の例を示している。
図2に示す本実施の形態にて説明するレーザ発生装置100は、ファイバレーザ用光ファイバ70に出力レーザ光Loutを発生させる励起光束Linを入射し、発生した出力レーザ光Loutを伝送用光ファイバ90に入射して、伝送用光ファイバ90の出射面から出射される出力レーザ光Loutをレーザ加工等に利用するものである。
励起光束Linには、例えば図1に示す半導体レーザアレイ31から出射されるレーザ光L1を用いる。図2の例に示すレーザ発生装置100は、出力レーザ光Loutの出力を高出力化するために、複数の半導体レーザアレイ31から出射されるレーザ光L1(図1参照)を集光してファイバレーザ用光ファイバ70に入射している。
ファイバレーザ用光ファイバ70の入射面の径は数mm程度(あるいは数100μm程度)であり、この入射面に励起光束Linを集光する場合、前記したように、ビームパラメータプロダクトが小さな長軸方向には比較的容易に集光可能であるが、ビームパラメータプロダクトが大きな短軸方向に集光することは非常に困難である。
そこで、本実施の形態にて説明する集光ブロック10を用い、励起光束Linの短軸方向におけるビームパラメータプロダクトをより小さくし、励起光束Linをより適切にファイバレーザ用光ファイバ70の入射面に集光可能とする。
励起光束Linには、半導体レーザアレイ31から出射されるレーザ光を用いる。
図1(D)に示すように、レーザユニット36は、互いに直交する短軸方向と長軸方向に広がりながら進行する励起レーザ光L1を出射する複数の発光部(この場合、31a〜31h)が短軸方向に一列に配置された半導体レーザアレイ31と、発光部に対向する位置に設けられて励起レーザ光L1を長軸方向に対して平行光に変換する長軸方向コリメートレンズ35とで構成されている。
図1(D)の概略図に示すように、レーザユニット36から出射される光束Lkは、長軸方向については平行光に変換されており、短軸方向については、広がり角θsを有している。この光束Lkを空間で伝送すると、距離が長くなるにつれて短軸方向への広がりが大きくなるため、集光ダクト65(図3(A)参照)を用いて、集光ダクト65内で全反射させながら伝播させて拡散させることなく伝播させる。なお、光束Lkは複数の励起レーザ光L1にて構成されているが、図1(D)では模式的に箱状として記載している。
そして、ダクト幅方向とダクト長手方向とを含む面をダクト上面MU(対向する面も同様)、ダクト厚さ方向とダクト長手方向とを含む面をダクト側面MS(対向する面も同様)として、長手方向の一方の端面を端面MM、長手方向の他方の端面を端面MRとする。
一方の端面MMは、ダクト上面MUに対して所定角度θを有するとともにダクト側面MSに対して直交するように設けられた反射面であり、光束Lkを反射可能である(以下、一方の端面MMを反射面MMと記載する)。
次に、集光ユニット67において、レーザユニット36と集光ダクト65の位置について説明する。図3(B)に示すように、レーザユニット36の短軸方向に対して集光ダクト65のダクト幅方向とが一致するようにレーザユニット36の発光部と集光ダクト65のダクト上面MUとを対向させる。且つ、レーザユニット36から出射される光束Lkを、集光ダクト65の内側から反射面MMに当て、当該反射面MMにて反射した光束Lkが集光ダクト65内をダクト長手方向に導光されるように、集光ダクト65に対してレーザユニット36を配置する。
本実施の形態では所定角度θを45度に設定しているので、レーザユニット36から出射される光束Lkの進行方向に対して、ダクト上面MUは垂直となる。
なお、集光ダクト65の材質は、石英ガラス等である。
レーザ集光装置68の出射面MRから出射される光束Lkの間隔Dkは非常に小さく、半導体レーザアレイ31を長軸方向に積層した半導体レーザスタックの長軸方向の間隔よりも小さくすることが可能であり、光束の密度を非常に高くすることができる。
また、集光ダクト65内で光束を閉じ込めて伝送するため、長い距離を伝送しても、光束が短軸方向に広がることを防止することができるため、半導体レーザアレイ31の間隔Daを任意の距離に設定することが可能である。このため、半導体レーザアレイ31を密集させることなく放熱に適した間隔とすることができるため、空冷の冷却機構で充分に冷却することが可能である。
図2の例は、4組の集光ユニット67にてレーザ集光装置68を構成し、このレーザ集光装置68を2組用いて集光された励起光束Linをファイバレーザ用光ファイバ70に入射している。各レーザ集光装置68の出射面には各々進路変換プリズム66が設けられており、出射された光束の進行方向を同一の方向にするとともに、各々光束の間隔がより小さくなるように進路変換プリズム66が配置されており、一方のレーザ集光装置68からの光束と、他方のレーザ集光装置68からの光束との間隔を小さくし、励起光束Linの密度を高めている。なお、進路変換プリズム66のY軸方向の長さは、集光ダクト65のダクト幅方向の長さWg(図2では集光ダクト65のY軸方向の長さ)と同一である。
集光ブロック10にて集光された励起光束Linは、長軸方向(図2の場合、半導体レーザアレイ31から出射された時点ではX軸方向)には平行光であるが、短軸方向(図2の場合、半導体レーザアレイ31から出射された時点ではY軸方向)には広がっているため、短軸方向コリメートレンズ61(第1レンズ)を通過させて短軸方向について平行光に変換し、長軸方向にも短軸方向にも平行光とする。そして、平行光の励起光束Linを、長軸方向集光レンズ64aを通過させて長軸方向に絞り(集光し)、短軸方向集光レンズ64bを通過させて短軸方向に絞り(集光し)、ファイバレーザ用光ファイバ70の入射面に入射する。
ファイバレーザ用光ファイバ70のコア72内で励起されて発生した出力レーザ光Loutは、励起光束Linの入射面から出力され、第2レンズ64にてほぼ平行光に変換され、ダイクロイックミラー63にて進行方向を変えられる。ダイクロイックミラー63は、励起光束Linの波長の光を透過させて、出力レーザ光Loutの波長の光を反射するものである。そして、進行方向を変えられた出力レーザ光Loutは、第3レンズ81にて集光されて伝送用光ファイバ90の入射面に入射される。
以下にて、本発明の集光ブロック10における第1の実施の形態、第1の参考例、第2の参考例、及び進路変換プリズム66に代わる集光ブロック18(第3の参考例)について説明する。
次に図4及び図5を用いて、第1の実施の形態における集光ブロック10の構造について説明する。図4(A)は、集光ブロック10の外観と集光動作を示しており、図4(B)は、集光ブロック10内の第1伝送経路と第2伝送経路を示しており、図5(A)は、集光ブロック10を構成する各プリズムの概略形状を示している。
図4(A)に示すように、第1の実施の形態における集光ブロック10は、直角二等辺三角形の底面を持つ複数の三角柱形状のプリズム(分割プリズム10A、プリズム10B〜10E)にて構成されている。
分割プリズム10Aは、底面を形成している直角二等辺三角形の斜辺の長さが、入射される励起光束Linの短軸方向(図4の場合、Y軸方向)の幅Wgに相当する長さに設定されている。例えば、実際の斜辺の長さは、誤差及び励起光束Linの広がり角θsを考慮した微小距離αを用い、Wg+αに設定されている。また、直角二等辺三角形の直角を形成する面10ARと面10ALには、励起光束Linを全反射する反射コーティング等を施し、面10ARと面10ALにて分割反射面を構成する。この分割反射面は、入射された光(図4の例では、励起光束Lin)を、入射方向に直交する幅方向(図4の例ではY軸方向)に2分割した第1分割光と第2分割光に分ける。なお、分割した第1分割光と第2分割光の進行方向は、入射された励起光束Linの進行方向(入射方向)と直交する方向であり、互いに重ならない反対方向となるように分割している。
第1プリズム群は、図4の例では、プリズム10Bとプリズム10Cとで構成されている。プリズム10B及びプリズム10Cは、第1分割光LRの幅方向の長さ(Wg/2)に対応した長さのプリズム幅((Wg+α)/2)を有している。
プリズム10Bは、分割プリズム10Aから入力された第1分割光LRの進行方向(1)を、励起光束Linの入射方向(図4の場合、Z軸方向)と直交する方向(2)及び(3)に変換し、プリズム10Cに第1分割光LRを入射する。
プリズム10Cは、プリズム10Bから入射された第1分割光LRの進行方向(3)を、励起光束Linの入射方向と直交する方向(4)に変換し、励起光束Linの入射方向に直交する方向を向いた第1出射面10CUから第1分割光LRを出射する。
なお、第1分割光LRを反射する面10BD、面10BU、面10CDには、反射コーティング等を施しておく。
このように、第1プリズム群は、分割プリズム10Aから入射された第1分割光LRを内部に閉じ込めて、入射された第1分割光LRの幅を維持して、励起光束Linの入射方向と直交する任意の方向に進行方向を変換するように反射しながら第1出射面10CUへと第1分割光LRを第1プリズム群内で伝送する第1伝送経路を構成している。
以上の説明では、第1プリズム群及び第2プリズム群のプリズム幅を、第1分割光LR及び第2分割光LLの幅に対応する(Wg+α)/2に設定し、プリズムで伝送中において幅方向への広がりをより適切に抑制できる例を説明したが、それよりも大きなプリズム幅に設定してもよい(幅方向に広がったとしても、第1プリズム群及び第2プリズム群内に、第1分割光LR及び第2分割光LLを閉じ込めることが可能であるため)。
この図5(B)に示す集光ブロック10は、励起光束Linが入射される入射面10AINを、図2に示す進路変換プリズム66の出射面に接触するように配置することが可能である。この場合、励起光束Linが進路変換プリズム66から出射されてから、集光ブロック10に入射されて集光ブロック10から出射されるまでの経路にて空間を伝送する経路がなくなり、励起光束Linを幅方向に(短軸方向に)より確実に閉じ込めることができる。
なお、図5(B)に示す集光ブロック10は、平面部材10Hを用いることなく一体的に構成(接着等)することができる。
次に図6及び図7を用いて、第1の参考例における集光ブロック10の構造について説明する。
図6(B)は、集光ブロック10の平面図(上図)、正面図(左下)、右側面図(右図)を示しており、図6(A)は図6(B)に示す集光ブロック10を構成する各プリズムの外観斜視図を示している。第1の参考例に使用する分割プリズム11A、プリズム11B〜11Gは、いずれの角度も直角または45度または135度(直角+45度)である。
分割プリズム11Aは、底面を形成している直角二等辺三角形の斜辺の長さが、入射される励起光束Linの短軸方向(図6の場合、Y軸方向)の幅Wgに相当する長さに設定されている。例えば、第1の実施の形態と同様に、Wg+αに設定されている。また、直角二等辺三角形の直角を形成する面11ARと面11ALには、励起光束Linを全反射する反射コーティング等を施し、面11ARと面11ALにて分割反射面を構成する。この分割反射面は、入射された光(図6の例では、励起光束Lin)を、幅方向(図6の例ではY軸方向)に2分割した第1分割光と第2分割光に分ける。なお、分割した第1分割光と第2分割光の進行方向は、入射された励起光束Linの進行方向と直交する方向であり、互いに重ならない反対方向となるように分割している。
第1プリズム群は、図6の例では、プリズム11Bとプリズム11Cとプリズム11Dとで構成されている。
プリズム11Bは、底面の形状が等脚台形(直角二等辺三角形の直角部分を切り取った形状)であり、分割プリズム11Aから入力された第1分割光LRの進行方向(1)を、励起光束Linの入射方向(図6の場合、Z軸方向)と直交する方向(2)及び(3)に変換し、プリズム11Cに第1分割光LRを入射する。
プリズム11Cは、底面の形状が直角二等辺三角形であり、プリズム11Bから入射された第1分割光LRの進行方向(3)を、励起光束Linの入射方向と同じ方向(4)に変換し、プリズム11Dに第1分割光LRを入射する。
プリズム11Dは、底面の形状が直角二等辺三角形を2つ並べた平行四辺形(図7のプリズム11Dを参照)であり、プリズム11Cから入射された第1分割光LRの進行方向(4)を、励起光束Linの入射方向と直交する方向(5)に変換し、更に、励起光束Linの入射方向と同じ方向(6)に変換し、励起光束Linの入射方向と同じ方向を向いた第1出射面11DLから第1分割光LRを出射する。
なお、第1分割光LRを反射する各面には、反射コーティング等を施しておく。
第2プリズム群は、図6の例では、プリズム11Eと、プリズム11Fと、プリズム11Gとで構成されている。上記の説明と同様に、第2プリズム群は、分割プリズム11Aから入射された第2分割光LLを内部に閉じ込めて、励起光束Linの入射方向と直交する任意の方向、及び前記入射方向と同方向に進行方向を変換するように反射しながら第2出射面11GLへと第2分割光LLを第2プリズム群内で伝送する第2伝送経路を構成している。
また、図6(B)に示すように、集光ブロック10は、各プリズム同士の接触する面を接着等して固定することで、一体的に構成することが可能である。集光ブロック10を一体的に構成することで、レーザ発生装置100における位置調整が容易となる。
図7(A)及び(B)は、図6に示す集光ブロック10の他の形態を示しており、底面が直角二等辺三角形のプリズムと、底面が正方形のプリズムと、平面部材11H(材質はプリズムと同じ)にて一体的に構成した集光ブロック10の例を示している。以下、図6に示す集光ブロック10との相違点について説明する。
図7に示す集光ブロック10において、分割プリズム11Aの底面の直角二等辺三角形の斜辺の長さは、図6に示す分割プリズム11Aと同様に、Wg+αに設定されている。
プリズム11Bは、底面が直角二等辺三角形のプリズム11B1及び11B3と、底面が正方形のプリズム11B2にて構成されている。
プリズム11Cは、底面が直角二等辺三角形のプリズム11C2と、底面が正方形のプリズム11C1にて構成されている。
プリズム11Dは、底面が直角二等辺三角形のプリズム11D1及び11D2にて構成されている。
なお、プリズム11E、プリズム11F、プリズム11Gも同様である。
これにより、図7(A)及び(B)に示す集光ブロック10は、第1出射面11DLから出射される第1分割光LRを伝送する第1伝送経路において、第1分割光LRの短軸方向の幅を(Wg+α)/2の幅に閉じ込めることが可能であり、第1分割光LRが短軸方向に広がることを抑制することができる。また同様に、第2出射面11GLから出射される第2分割光LLを伝送する第2伝送経路において、第2分割光LLの短軸方向の幅を(Wg+α)/2の幅に閉じ込めて、第2分割光LLが短軸方向に広がることを抑制することができる。
次に図8を用いて、第2の参考例における集光ブロック10の構造について説明する。図8(A)は、集光ブロック10の外観と集光動作を説明する図であり、図8(B)は、集光ブロック10を構成している各プリズムの概略形状を説明する図であり、図8(C)は、第1分割光LR及び第2分割光LLの集光される経路(第1伝送経路と第2伝送経路)を説明する図である。
図8(A)及び(B)に示すように、第2の参考例における集光ブロック10は、直角二等辺三角形の底面を持つ複数の三角柱状のプリズム(分割プリズム12A、プリズム12A1、12A2、12B、12D)と、正方形の底面を持つ複数のプリズム(プリズム12C、12E)にて構成されている。以下、第1の実施の形態との相違点について説明する。
ここで、励起光束Linの偏光方向は第1偏光方向であるものとする。
また、プリズム12Eは、入射された第1偏光方向の光の偏光方向を、第1偏光方向と直交する第2偏光方向に変換する位相差部材12E1を有している。なお、位相差部材12E1は、第2分割光LLが伝送される第2伝送経路((a)−(b)−(c)−(c)´−(d)の経路)のどこに配置されていてもよい。
第1プリズム群は、プリズム12A1、プリズム12Bにて構成されている。この第1プリズム群にて、第1分割光LR(偏光方向は第1偏光方向)は、入射された励起光束Linの入射方向と直交する方向(2)に反射され、第1入射面12C1へと伝送される。そして、合波プリズム12Cは、第1入射面12C1から入射された第1分割光LR(第1偏光方向)を透過して、第3出射面12C3から出射する。
また、第2プリズム群は、プリズム12A2、プリズム12D、プリズム12Eにて構成されている。この第2プリズム群にて、第2分割光LL(分割プリズム12Aにて分割及び反射された時点での偏光方向は第1偏光方向)は、入射された励起光束Linの入射方向と直交する方向(b)、(c)に反射され、第2入射面12C2へと伝送され、その伝送経路の任意の位置に配置された位相差部材12E1にて偏光方向が第2偏光方向に変換される。そして、合波プリズム12Cは、第2偏光方向に変換された第2分割光LLが第2入射面12C2から入射されると、選択反射面12CAにて反射して第3出射面12C3から出射する。
以上の説明では、第1プリズム群及び第2プリズム群のプリズム幅を、第1分割光LR及び第2分割光LLの幅に対応する(Wg+α)/2に設定し、プリズムで伝送中において幅方向への広がりをより適切に抑制できる例を説明したが、それよりも大きなプリズム幅に設定してもよい(幅方向に広がったとしても、第1プリズム群及び第2プリズム群内に、第1分割光LR及び第2分割光LLを閉じ込めることが可能であるため)。
しかし、第1の実施の形態及び第1の参考例では、偏光方向の操作も利用も行わないため、集光ブロック10を2段、3段・・と連続して集光するように利用(1段目の集光ブロック10が集光した光を、更に2段目の集光ブロック10で集光する等)することが可能であるが、第2の参考例に示す集光ブロック10は偏光方向を操作して利用しており、集光ブロック10を2段以上連続して利用することはできない。なお、第2の参考例の集光ブロック10を1段と第1の実施の形態または第1の参考例の集光ブロック10を1段以上を連続して使用することは可能である。
次に図9(A)及び(B)を用いて、第3の参考例における集光ブロック18の構造について説明する。第1の実施の形態、第1の参考例、第2の参考例にて説明した集光ブロック10では、入射された1つの光束を幅方向(短軸方向)に2分割して再配置することで幅方向(短軸方向)の長さを短くし、厚さ方向(長軸方向)に並べて(第1の実施の形態または第1の参考例)、または重ね合わせて(第2の参考例)集光することに対して、第3の参考例では、異なる2つの光束を分割することなくそのまま重ね合わせて集光する。
第3の参考例における集光ブロック18は、一部に傾斜面(反射面18C)を有しているが、略直方体の形状を有している。
集光ブロック18は、長手方向(図9の例では、Z軸の方向)に直交するプリズム幅Wg(レーザ集光装置68A及び68Bの集光ダクトの幅Wgと同じ)と、前記長手方向とプリズム幅とに直交するプリズム厚さTn(レーザ集光装置68A及び68Bの集光ダクトの厚さTnと同じ)とを有する複数のプリズムで構成されている。各プリズムは、底面が直角二等辺三角形のプリズム、あるいは底面が正方形または長方形のプリズム、あるいはそれらのプリズムを組み合わせた形状のプリズムである。
第3入射面18Aは、レーザ集光装置68Bの出射面が当接する面であり、第1偏光方向の偏光方向を有する幅Wg、厚さTnの第1光が、第3入射面18Aに対して垂直に入射される。なお、第1光の幅及び厚さは、Wg以下及びTn以下であればよい。
第4入射面18Bは、第3入射面18Aよりも第4出射面18Fから遠い位置に設けられている。従って、第4出射面18Fと第4入射面18Bの間に第3入射面18Aが設けられている。
第4入射面18Bは、レーザ集光装置68Aの出射面が当接する面であり、第1偏光方向の偏光方向を有する幅Wg、厚さTnの第2光が、第4入射面18Bに対して垂直に入射される。なお、第2光の幅及び厚さは、Wg以下及びTn以下であればよい。
また、第4入射面18Bから入射された第2光が到達する位置には、第4入射面18Bから入射された光の進行方向を第4出射面18Fに向かうように90度変換する反射面18Cが設けられている。第2光は、第4入射面18Bから反射面18Cそして選択反射面18Eを経由して第4出射面18Fに到達する経路にて伝送される。
ここで、第4入射面18Bから選択反射面18Eに至る第2光の経路中の任意の位置には、第1偏光方向の光の偏光方向を、第1偏光方向に直交する第2偏光方向に変換する位相差部材18Dが設けられている。
なお、集光ブロック18から出射された光は、第1の実施の形態及び第1の参考例にて説明した集光ブロック10を用いて、更に集光することが可能である。
また、図2及び図9に示すレーザ発生装置100は、この構成に限定されるものではない。
本実施の形態にて説明した集光ブロック10、18は、半導体レーザアレイから出射される光束の集光に限定されず、種々の光を集光する用途に利用することができる。
また、本実施の形態の説明では、冷却機構として空冷式の例を説明したが、他の冷却機構(例えば、ペルチェ(電子冷却装置)や水冷式の冷却装置)を用いてもよい。
また、本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、この数値に限定されるものではない。
また、以上(≧)、以下(≦)、より大きい(>)、未満(<)等は、等号を含んでも含まなくてもよい。
10A、11A、12A 分割プリズム
10B〜10E プリズム
11B〜11G プリズム
12B、12D、12E プリズム
12C 合波プリズム
12CA、18E 選択反射面
12E1、18D 位相差部材
20 冷却ファン
31 半導体レーザアレイ
31a〜31h 発光部
32 ベース放熱板
33 半導体レーザ放熱フィン
35 長軸方向コリメートレンズ
65 集光ダクト
100 レーザ発生装置
Wg ダクト幅
Tg ダクト厚さ
70 ファイバレーザ用光ファイバ
90 伝送用光ファイバ
Lin 励起光束
Claims (1)
- 入射された光を入射方向に直交する幅方向に2分割した第1分割光と第2分割光とに分ける分割反射面を有する分割プリズムと、
複数のプリズムで構成されて前記第1分割光を内部に閉じ込めて伝送する第1プリズム群と、
複数のプリズムで構成されて前記第2分割光を内部に閉じ込めて伝送する第2プリズム群と、で構成され、前記入射された光を集光する集光ブロックであって、
前記分割プリズムは、底面が直角二等辺三角形の三角柱状の形状を有し、底面の直角二等辺三角形の直角を形成している2つの側面である自身の2つの直角形成側面が前記光の入射方向に向くように配置され、自身の2つの直角形成側面である前記分割反射面にて前記入射された光を前記幅方向に2分割し、当該光の入射方向に直交する方向であり且つ互いに反対となる方向に進行する第1分割光と第2分割光とに分割し、前記第1分割光を前記第1プリズム群に入射するとともに、前記第2分割光を前記第2プリズム群に入射し、
前記第1プリズム群は、前記第1分割光が入射されると、当該第1分割光の進行方向を、前記入射方向に直交する任意の方向に変換するように反射しながら、当該第1プリズム群の第1出射面へと前記第1分割光をプリズム内で伝送する第1伝送経路を構成し、
前記第1プリズム群は、底面が直角二等辺三角形の三角柱状の形状を有する第1方向変換プリズム及び第2方向変換プリズムにて構成されており、
前記第1方向変換プリズム及び前記第2方向変換プリズムは、前記分割プリズムに入射された光の入射方向に底面が直交するように配置されており、
前記第1方向変換プリズムは、底面の直角二等辺三角形の斜辺を形成している側面である自身の斜辺形成側面が、前記分割プリズムにて分割された第1分割光に直交するように向けられて配置されており、自身の斜辺形成側面から入射された第1分割光を、底面の直角二等辺三角形の直角を形成している自身の2つの直角形成側面における一方の直角形成側面から他方の直角形成側面に向けて反射し、反射された第1分割光を、さらに他方の直角形成側面から自身の斜辺形成側面に向けて反射して自身の斜辺形成側面から第1分割光を出射させることで、自身の斜辺形成側面に直交する方向から入射された第1分割光を、自身の斜辺形成側面において前記第1分割光が入射された位置とは異なる位置から、入射時とは反対方向に出射し、
前記第2方向変換プリズムは、自身の2つの直角形成側面における一方の直角形成側面が、前記第1方向変換プリズムから出射された第1分割光と直交するように配置され、一方の直角形成側面から入射された第1分割光を、自身の斜辺形成側面にて他方の直角形成側面である第1出射面に向けて反射し、反射された第1分割光を前記第1出射面から出射し、
前記第2プリズム群は、前記第2分割光が入射されると、当該第2分割光の進行方向を、前記入射方向に直交する任意の方向に変換するように反射しながら、当該第2プリズム群の第2出射面へと前記第2分割光をプリズム内で伝送する第2伝送経路を構成し、
前記第2プリズム群は、底面が直角二等辺三角形の三角柱状の形状を有する第3方向変換プリズム及び第4方向変換プリズムにて構成されており、
前記第3方向変換プリズム及び前記第4方向変換プリズムは、前記分割プリズムに入射された光の入射方向に底面が直交するように配置されており、
前記第3方向変換プリズムは、底面の直角二等辺三角形の斜辺を形成している側面である自身の斜辺形成側面が、前記分割プリズムにて分割された第2分割光に直交するように向けられて配置されており、自身の斜辺形成側面から入射された第2分割光を、底面の直角二等辺三角形の直角を形成している自身の2つの直角形成側面における一方の直角形成側面から他方の直角形成側面に向けて反射し、反射された第2分割光を、さらに他方の直角形成側面から自身の斜辺形成側面に向けて反射して自身の斜辺形成側面から第2分割光を出射させることで、自身の斜辺形成側面に直交する方向から入射された第2分割光を、自身の斜辺形成側面において前記第2分割光が入射された位置とは異なる位置から、入射時とは反対方向に出射し、
前記第4方向変換プリズムは、自身の2つの直角形成側面における一方の直角形成側面が、前記第3方向変換プリズムから出射された第2分割光と直交するように配置され、一方の直角形成側面から入射された第2分割光を、自身の斜辺形成側面にて他方の直角形成側面である第2出射面に向けて反射し、反射された第2分割光を前記第2出射面から出射し、
前記第1方向変換プリズムは前記分割プリズムと隣り合わせに配置され、前記第2方向変換プリズムは前記第1方向変換プリズムと隣り合わせに配置され、前記第3方向変換プリズムは前記分割プリズムと隣り合わせに配置され、前記第4方向変換プリズムは前記第3方向変換プリズムと隣り合わせに配置され、前記第2方向変換プリズムと前記第4方向変換プリズムは隣り合わせに配置されており、
前記第1出射面と前記第2出射面とを前記入射方向に直交する方向に沿って隣り合うように並べて配置し、前記第1出射面から出射される前記第1分割光と、前記第2出射面から出射される前記第2分割光とを、前記第1分割光と前記第2分割光の前記幅方向と進行方向とに直交する厚さ方向に隣り合うように並べて出射することで、前記入射された光を集光し、
前記入射された光は、進行方向に直交する厚さ方向に対しては平行光であり且つ進行方向と厚さ方向とに直交する幅方向に対しては所定角度で広がりながら進行する光であり、
前記第1プリズム群は、前記第1分割光の幅方向の長さに対応するプリズム幅を有する前記第1方向変換プリズム及び前記第2方向変換プリズムにて構成されており、伝送する前記第1分割光の幅を前記プリズム幅に維持して伝送し、
前記第2プリズム群は、前記第2分割光の幅方向の長さに対応するプリズム幅を有する前記第3方向変換プリズム及び前記第4方向変換プリズムにて構成されており、伝送する前記第2分割光の幅を前記プリズム幅に維持して伝送する、
ことを特徴とする集光ブロック。
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